JP2020100019A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出ヘッドのサイズを抑制しながら、液体吐出ヘッドの液体貯留室の容積を充分に確保する。【解決手段】ノズルＮに連通し、第１軸Ｘに沿う圧力室Ｃと、前記第１軸に交差する第２軸Ｚの方向からみて一部が前記圧力室に重なり、前記圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留室Ｒと、前記第２軸の方向に延在し、前記圧力室と前記液体貯留室とを連通させる第１連通流路３２４ａおよび第２連通流路３２４ｂとを具備する液体吐出ヘッド２６。【選択図】図７

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

圧力室内の液体をノズルから吐出する技術が従来から提案されている。例えば特許文献１には、ノズルに連通する圧力室と、圧力室に供給されるインクを貯留する共通液室とが、分岐流路を介して相互に連通する構成が開示されている。

特開２０１８−１５４０５１号公報

圧力室内の液体に充分な圧力を付与するためには圧力室の容積を充分に確保する必要がある。また、共通液室の容積を充分に確保する必要もある。しかし、圧力室および共通液室の容積を大きくすると、液体吐出ヘッドのサイズが大きくなるという課題がある。

本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、ノズルに連通し、第１軸に沿う圧力室と、前記第１軸に交差する第２軸の方向からみて一部が前記圧力室に重なり、前記圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留室と、前記第２軸の方向に延在し、前記圧力室と前記液体貯留室とを連通させる第１連通流路および第２連通流路とを具備する。

第１実施形態に係る液体吐出装置の構成を例示する模式図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 液体吐出ヘッドの断面図である。 連通流路の近傍を拡大した平面図および断面図である。 第２実施形態における液体吐出ヘッドの断面図である。 第２実施形態における第１連通流路および第２連通流路の近傍を拡大した平面図および断面図である。 第３実施形態における液体吐出ヘッドの断面図である。

＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００を例示する模式図である。第１実施形態の液体吐出装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の記録装置である。媒体１２は、典型的には記録用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の記録対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体吐出装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体吐出ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を統括的に制御する。制御ユニット２０は「制御部」の一例である。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ軸に沿って搬送する。

移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体吐出ヘッド２６をＸ軸に沿って往復させる。Ｘ軸は、媒体１２が搬送されるＹ軸に交差する。Ｘ軸は「第１軸」の一例である。例えばＸ軸とＹ軸とは相互に直交する。第１実施形態の移動機構２４は、液体吐出ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体２４２と、搬送体２４２が固定された搬送ベルト２４４とを具備する。なお、複数の液体吐出ヘッド２６を搬送体２４２に搭載した構成、または、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともに搬送体２４２に搭載した構成も採用され得る。

液体吐出ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズルから媒体１２に吐出する。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体２４２の反復的な往復とに並行して各液体吐出ヘッド２６が媒体１２にインクを吐出することで、媒体１２の表面に画像が形成される。

図２は、液体吐出ヘッド２６の分解斜視図であり、図３は、図２におけるａ−ａ線の断面図である。図２に例示される通り、Ｘ-Ｙ平面に垂直なＺ軸を想定する。図３に図示された断面は、Ｘ-Ｚ平面に平行な断面である。Ｚ軸は、液体吐出ヘッド２６によるインクの吐出方向に沿う軸線である。Ｚ軸は「第２軸」の一例である。図２に例示される通り、任意の地点からみてＺ軸に沿う一方側を「Ｚ1側」と表記し、反対側を「Ｚ2側」と表記する。同様に、任意の地点からみてＸ軸に沿う一方側を「Ｘ1側」と表記し、反対側を「Ｘ2側」と表記する。Ｘ軸に沿う方向を「第１方向」と表記し、Ｚ軸に沿う方向を「第２方向」と表記してもよい。

図２に例示される通り、液体吐出ヘッド２６は、Ｙ軸に沿って長尺な略矩形状の流路基板３２を具備する。流路基板３２におけるＺ1側の面上には、圧力室基板３４と振動板３６と複数の圧電素子３８と筐体部４２と封止体４４とが設置される。流路基板３２におけるＺ2側の面上には、ノズル板４６と緩衝体４８とが設置される。液体吐出ヘッド２６の各要素は、概略的には流路基板３２と同様にＹ軸に沿って長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。

図２に例示される通り、ノズル板４６は、Ｙ軸に沿って配列する複数のノズルＮが形成された板状部材である。各ノズルＮは、インクが通過する貫通孔である。Ｙ軸に沿う複数のノズルＮの配列はノズル列とも表現される。なお、流路基板３２と圧力室基板３４とノズル板４６とは、例えばシリコン（Ｓi）の単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により加工することで形成される。ただし、液体吐出ヘッド２６の各要素の材料や製法は任意である。Ｙ軸の方向は、複数のノズルＮが配列する方向とも換言され得る。

流路基板３２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２および図３に例示される通り、流路基板３２には、第１空間３２１と第２空間３２２と連通流路３２４と吐出流路３２６とが形成される。第１空間３２１は、Ｙ軸に沿って複数のノズルＮにわたり連続する貫通孔である。第２空間３２２は、流路基板３２におけるＺ2側の表面に形成された有底孔であり、Ｙ軸に沿って複数のノズルＮにわたり連続する。連通流路３２４および吐出流路３２６は、ノズルＮ毎に個別に形成された貫通孔である。

筐体部４２は、例えば樹脂材料の射出成形で製造された構造体であり、流路基板３２におけるＺ1側の表面に固定される。図３に例示される通り、筐体部４２には第３空間４２２と導入口４２４とが形成される。第３空間４２２は、流路基板３２の第１空間３２１に対応した外形の有底孔である。導入口４２４は、第３空間４２２に連通する貫通孔である。図３から理解される通り、流路基板３２の第１空間３２１および第２空間３２２と筐体部４２の第３空間４２２とを相互に連通させた空間が、液体貯留室Ｒとして機能する。液体容器１４から供給されて導入口４２４を通過したインクが液体貯留室Ｒに貯留される。

緩衝体４８は、液体貯留室Ｒ内の圧力変動を抑制する。緩衝体４８は、例えば弾性変形が可能な可撓性のシート部材を含む。具体的には、流路基板３２の第１空間３２１と第２空間３２２とを閉塞して液体貯留室Ｒの底面を構成するように、流路基板３２におけるＺ2側の表面に緩衝体４８が設置される。すなわち、液体貯留室Ｒのうち第１空間３２１と第２空間３２２とで構成される部分の底面が緩衝体４８により構成される。

なお、液体貯留室Ｒ内の圧力変動を抑制する緩衝機能を実現するための具体的な構成は以上の例示に限定されない。例えば、緩衝体４８は、第１空間３２１および第２空間３２２とある程度離間した位置に設けられていてもよい。例えば、第１空間３２１と第２空間３２２で構成される部分の底面は別部材で構成され、その別部材の第１空間３２１、第２空間３２２と反対側に緩衝体４８が接触するように設けられていてもよい。

図２および図３に例示される通り、圧力室基板３４は、複数のノズルＮにそれぞれ対応する複数の圧力室Ｃが形成された板状部材である。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸に沿って相互に間隔をあけて配列する。各圧力室Ｃは、Ｘ軸に沿って長尺な開口である。圧力室ＣのうちＸ1側の端部Ｅc1の近傍の部分は、平面視で１個の連通流路３２４に重なる。すなわち、連通流路３２４は圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとを連通させる。また、圧力室ＣにおけるＸ2側の端部Ｅc2の近傍の部分は、平面視で流路基板３２の１個の吐出流路３２６に重なる。すなわち、吐出流路３２６は圧力室ＣとノズルＮとを連通させる。

圧力室基板３４のうち流路基板３２に対向する表面とは反対側の表面には振動板３６が設置される。振動板３６は、弾性的に変形可能な板状部材である。例えば、振動板３６は、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）で形成された第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）で形成された第２層との積層で構成される。

図３から理解される通り、流路基板３２と振動板３６とは、各圧力室Ｃの内側で相互に間隔をあけて対向する。圧力室Ｃは、流路基板３２と振動板３６との間に位置し、当該圧力室Ｃ内に充填されたインクに圧力を付与するための空間である。振動板３６は、圧力室Ｃの壁面を構成する。液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、第２空間３２２から各連通流路３２４に分岐して複数の圧力室Ｃに並列に供給および充填される。すなわち、液体貯留室Ｒは、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留する共通液室として機能する。

図２および図３に例示される通り、振動板３６のうち圧力室基板３４に対向する表面とは反対側の表面には、複数のノズルＮにそれぞれ対応する複数の圧電素子３８が設置される。各圧電素子３８は、第１電極と圧電体層と第２電極との積層体であり、Ｘ軸に沿う長尺状に形成される。圧電体層は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）等の圧電材料で形成される。複数の圧電素子３８は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ軸に沿って配列する。圧電素子３８は、駆動信号の供給により変形する圧電アクチュエーターである。圧電素子３８の変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが吐出流路３２６とノズルＮとを通過して吐出される。すなわち、圧電素子３８は、振動板３６を振動させることで圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから吐出させる駆動素子である。

図２および図３の封止体４４は、複数の圧電素子３８を外気から保護するとともに圧力室基板３４および振動板３６の機械的な強度を補強する構造体である。封止体４４は、振動板３６の表面に例えば接着剤で固定される。封止体４４のうち振動板３６との対向面に形成された凹部の内側に複数の圧電素子３８が収容される。また、図３に例示される通り、振動板３６の表面には、例えば配線基板６０が接合される。配線基板６０は、制御ユニット２０と液体吐出ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線（図示略）が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板６０が好適に採用される。

図４は、連通流路３２４の近傍を拡大した平面図および断面図である。図４に例示される通り、液体貯留室Ｒの一部は、Ｚ軸の方向からの平面視において圧力室Ｃに重なる。すなわち、圧力室ＣにおけるＸ1側の端部Ｅc1からＸ2側に向けて所定長の範囲Ｑにわたる部分が平面視で液体貯留室Ｒに重なる。第１実施形態では、圧電素子３８のうち駆動信号の供給により変形する範囲にもＺ方向からみて重なる。

連通流路３２４は、圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとが重なる範囲Ｑに形成されることで圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとを連通させる。具体的には、連通流路３２４は、圧力室Ｃから液体貯留室ＲまでＺ方向に直線状に延在する貫通孔である。

なお、液体吐出ヘッド２６内のインクには気泡が混入する場合がある。ここで、第１実施形態では、図４に例示される通り、各圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとが１個の連通流路３２４により連通される。連通流路３２４が圧力室ＣにおけるＸ1側の端部Ｅc1に連結される構成では、液体貯留室ＲにおけるＸ2側の端部Ｅrに気泡が滞留し、結果的にインクの流動が阻害される可能性がある。他方、連通流路３２４が液体貯留室Ｒの端部Ｅrに連結される構成では、圧力室Ｃの端部Ｅc1に気泡が滞留する可能性がある。

以上に説明した気泡の滞留の可能性を低減する観点からは、図４の例示の通り、Ｘ軸の方向における範囲Ｑの略中央に連通流路３２４を設置した構成が好適である。以上の構成によれば、圧力室Ｃの端部Ｅc1および液体貯留室Ｒの端部Ｅrの何れか一方のみに気泡が偏在する可能性を低減できる。なお、Ｘ軸の方向における範囲Ｑの略中央に連通流路３２４を設置した構成とは、範囲ＱにおけるＸ1側の端部を０％としてＸ2側の端部を１００％とした場合に、連通流路３２４が３０％以上かつ７０％以下の範囲内に設置されていることを意味する。

また、Ｘ軸の方向における連通流路３２４の位置を以上の条件で決定した構成において、圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとが重なる範囲Ｑが充分に小さければ、気泡の滞留が効果的に抑制される。以上の効果を実現するためのＸ軸の方向における範囲Ｑの好適な寸法は、液体吐出ヘッド２６の具体的な構成に依存するが、例えば、Ｘ軸の方向における圧力室Ｃの寸法の１／３以下であり、かつ、Ｘ軸の方向における第２空間３２２の寸法の１／３以下である構成が好適である。

以上に説明した通り、第１実施形態では、圧力室Ｃと液体貯留室ＲとがＺ軸の方向からみて重なる。したがって、圧力室Ｃと液体貯留室ＲとがＺ軸の方向からみて重ならない構成と比較して、Ｘ軸の方向における液体吐出ヘッド２６のサイズを低減しながら、液体貯留室Ｒの容積を確保し易いという利点がある。

＜第２実施形態＞
第２実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

液体吐出ヘッド２６内のインクには気泡が混入する場合がある。インクに混入した気泡は、例えば図４に符号αで図示される通り、流路の行止まり部分に滞留し易いという傾向がある。第１実施形態について前述した通り、Ｘ軸の方向における範囲Ｑの略中央に連通流路３２４を設置することで気泡の滞留は適度に抑制されるが、実際には多少の気泡が残留し得る。以上の事情を考慮して、第２実施形態は、液体吐出ヘッド２６内のインクに気泡が発生した場合に当該気泡を円滑に排出するための形態である。

図５は、第２実施形態における液体吐出ヘッド２６の断面図である。図５に例示される通り、第２実施形態の流路基板３２には、第１実施形態における連通流路３２４に代えて、第１連通流路３２４aと第２連通流路３２４bとが形成される。

図６は、第２実施形態における第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bの近傍を拡大した平面図および断面図である。図５および図６に例示される通り、第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bの各々は、第１実施形態の連通流路３２４と同様に、圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとが重なる範囲Ｑに形成されることで圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとを連通させる。具体的には、第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bは、圧力室Ｃから液体貯留室ＲまでＺ方向に直線状に延在する貫通孔である。以上の説明から理解される通り、第２実施形態では、第２空間３２２から第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bの各々を介して圧力室Ｃにインクを供給する２系統の流路が形成される。

図５および図６に例示される通り、第１連通流路３２４aと第２連通流路３２４bとは、Ｘ軸の方向における位置が異なる。第２連通流路３２４bは、第１連通流路３２４aに対して所定の間隔をあけてＸ2側に位置する。具体的には、第１連通流路３２４aは、圧力室ＣのうちノズルＮとは反対側の端部Ｅc1と、液体貯留室Ｒのうち端部Ｅc1に重なる部分とに連結される。端部Ｅc1は、圧力室ＣにおけるＸ1側の端部であり、第１連通流路３２４aの上端に位置する。

第２連通流路３２４bは、液体貯留室ＲのうちノズルＮ側の端部Ｅrと、圧力室Ｃのうち端部Ｅrに重なる部分とに連結される。端部Ｅrは、液体貯留室ＲにおけるＸ2側の端部であり、第２連通流路３２４bの下端に位置する。Ｚ軸の方向からの平面視において、第２連通流路３２４bは、Ｘ軸の方向における圧力室Ｃの中点よりもＸ1側に位置する。

以上に説明した通り、第２実施形態では、圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとが第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bにより連通するから、インクに混入した気泡の移動が促進される。例えば、第１連通流路３２４aに進入した気泡は、図６の矢印ａ1の通り圧力室Ｃ内をノズルＮ側に進行し、第２連通流路３２４bに進入した気泡は、図６の矢印ａ2の通り圧力室Ｃ内をノズルＮ側に進行する。したがって、液体貯留室ＲからノズルＮに至る流路上に気泡が滞留する可能性を低減できる。第２実施形態では特に、第１連通流路３２４aが圧力室Ｃの端部Ｅc1に連結され、第２連通流路３２４bが液体貯留室Ｒの端部Ｅrに連結される。すなわち、圧力室Ｃの端部Ｅc1および液体貯留室Ｒの端部Ｅrの何れにも行止まり部分が形成されない。したがって、インクに混入した気泡の滞留を効果的に低減できるという利点がある。

第１連通流路３２４aの流路抵抗と第２連通流路３２４bの流路抵抗との合成抵抗は、ノズルＮの流路抵抗よりも大きい。以上の構成によれば、圧電素子３８の変形時に圧力室Ｃから液体貯留室Ｒにインクが逆流する可能性が低減される。したがって、圧力室Ｃ内の圧力変動に応じて適切な重量のインクをノズルＮから吐出させることが可能である。

なお、第１連通流路３２４aの流路抵抗と第２連通流路３２４bの流路抵抗との合成抵抗がノズルＮの流路抵抗よりも小さい構成も好適である。以上の構成によれば、第１連通流路３２４ａaまたは第２連通流路３２４bのほうがノズルＮよりもインクが流れ易くなる。したがって、例えば連続的にインクを吐出する場合でも、圧力室Ｃのインクの充填が間に合わずに吐出量が不足する可能性を低減することが可能である。

また、第１連通流路３２４aの流路抵抗は、第２連通流路３２４bの流路抵抗よりも小さい。例えば、第１連通流路３２４aの流路断面積は、第２連通流路３２４bの流路断面積よりも大きい。以上の構成によれば、第１連通流路３２４aを優先的に利用して液体貯留室Ｒから圧力室Ｃにインクを供給することが可能である。圧力室Ｃに対するインクの供給には第１連通流路３２４aを優先的に利用し、気泡の排出には第２連通流路３２４bを優先的に利用する、と表現してもよい。

＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド２６の構成を例示する断面図である。図７に例示される通り、第３実施形態の液体吐出ヘッド２６は、第２実施形態におけるノズル板４６と緩衝体４８とを板状部４９に置換した構成である。板状部４９は、流路基板３２におけるＺ2側の表面の全域にわたる平板材である。

板状部４９には複数のノズルＮが形成される。すなわち、板状部４９は、第１実施形態のノズル板４６として機能する。また、板状部４９は、流路基板３２の第１空間３２１と第２空間３２２とを閉塞し、液体貯留室Ｒ内の圧力変動に応じて弾性変形することで当該圧力変動を抑制する。すなわち、板状部４９は、第１実施形態の緩衝体４８としても機能する。以上の説明から理解される通り、第１実施形態におけるノズル板４６および緩衝体４８が、第３実施形態では板状部４９として一体化される。複数のノズルＮは、緩衝体４８としても機能する板状部４９に形成された貫通孔である。

第３実施形態によれば、ノズル板４６および緩衝体４８とが別個に設置される第１実施形態と比較して、液体吐出ヘッド２６の構成を簡素化できる。また、ノズル板４６と緩衝体４８との間隙にインクや水分が進入する可能性を低減できるという利点もある。なお、図７においては流路基板３２に第１連通流路３２４aと第２連通流路３２４bとが形成された構成を例示したが、第１実施形態のように圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとが１個の連通流路３２４で連通する構成にも、板状部４９を具備する構成は同様に適用される。

＜変形例＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）第１実施形態および第２実施形態では、ノズル板４６と緩衝体４８とを流路基板３２に設置した構成を例示したが、ノズル板４６および緩衝体４８の一方または双方を流路基板３２と一体に形成してもよい。第３実施形態の板状部４９も同様に、流路基板３２と一体に形成してもよい。

（２）第２実施形態では、第１連通流路３２４aと第２連通流路３２４bとがＸ軸の方向に間隔をあけて配列する構成を例示したが、第１連通流路３２４aと第２連通流路３２４bとの位置関係は以上の例示に限定されない。例えば、第１連通流路３２４aと第２連通流路３２４bとをＹ方向に配列してもよい。また、圧力室Ｃの端部Ｅc1から離間した位置に第１連通流路３２４aを形成した構成、または、液体貯留室Ｒの端部Ｅrから離間した位置に第２連通流路３２４bを形成した構成も想定される。

（３）第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bの形状または方向は、第２実施形態での例示には限定されない。例えば、第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bの一方または双方が湾曲してもよい。ただし、湾曲した形状の流路は直線状の流路と比較してインクの流動が阻害される。したがって、第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bの一方を直線状に形成することでインクの円滑な流動を実現することが望ましい。第１連通流路３２４aおよび第２連通流路３２４bが、Ｚ軸に対して傾斜した方向に延在する構成も採用される。また、第２実施形態において、圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとを連通させる連通流路の個数は２個に限定されない。３個以上の連通流路を介して圧力室Ｃと液体貯留室Ｒとを連通させてもよい。

（４）圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから噴射させる駆動素子は、前述の各形態で例示した圧電素子３８に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子を駆動素子として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、駆動素子は、圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから噴射させる要素として包括的に表現され、圧電方式または熱方式等の動作方式、および、駆動素子の具体的な構成の如何は不問である。

（５）前述の各形態では、液体吐出ヘッド２６を搭載した搬送体２４２を往復させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、搬送体２４２を一方向のみに移動させてもよい。また、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本発明を適用することが可能である。

（６）前述の各形態で例示した液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。細胞等の生体分子を吐出する液体吐出装置は、生体分子を基板上に固定したバイオチップの製造装置として利用される。

１００…液体吐出装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２６…液体吐出ヘッド、３２……流路基板、３２１…第１空間、３２２…第２空間、３２４…連通流路、３２４a…第１連通流路、３２４b…第２連通流路、３２６…吐出流路、３４……圧力室基板、３６……振動板、３８……圧電素子、４２……筐体部、４４……封止体、４６……ノズル板、Ｎ……ノズル、４８……緩衝体、４９…板状部、６０……配線基板、Ｃ…圧力室、Ｒ…液体貯留室。

Claims (9)

1. ノズルに連通し、第１軸に沿う圧力室と、
   前記第１軸に交差する第２軸の方向からみて一部が前記圧力室に重なり、前記圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留室と、
   前記第２軸の方向に延在し、前記圧力室と前記液体貯留室とを連通させる第１連通流路および第２連通流路と
   を具備することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１連通流路と前記第２連通流路とは、前記第１軸の方向における位置が異なる
   ことを特徴とする請求項１の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１連通流路は、前記第１軸の方向における前記圧力室の端部に連結され、
   前記第２連通流路は、前記第１軸の方向における前記液体貯留室の端部に連結される
   ことを特徴とする請求項２の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１連通流路の流路抵抗と前記第２連通流路の流路抵抗との合成抵抗は、前記ノズルの流路抵抗よりも大きい
   ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかの液体吐出ヘッド。
5. 前記第１連通流路の流路抵抗と前記第２連通流路の流路抵抗との合成抵抗は、前記ノズルの流路抵抗よりも小さい
   ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかの液体吐出ヘッド。
6. 前記第１連通流路の流路抵抗は、前記第２連通流路の流路抵抗よりも小さい
   ことを特徴とする請求項１から請求項５の何れかの液体吐出ヘッド。
7. 前記液体貯留室は、当該液体貯留室内の圧力変動を抑制する緩衝機能を有する
   ことを特徴とする請求項１から請求項６の何れかの液体吐出ヘッド。
8. 前記ノズルは、前記緩衝機能を有する板状部に形成された貫通孔である
   ことを特徴とする請求項７の液体吐出ヘッド。
9. 液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドを制御する制御部とを具備する液体吐出装置であって、
   前記液体吐出ヘッドは、
   ノズルに連通し、第１軸に沿う圧力室と、
   前記第１軸に交差する第２軸の方向からみて一部が前記圧力室に重なり、前記圧力室に供給される液体を貯留する液体貯留室と、
   前記第２軸の方向に延在し、前記圧力室と前記液体貯留室とを連通させる第１連通流路および第２連通流路とを具備する
   ことを特徴とする液体吐出装置。

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