JP2020088247A - 検査装置、メンテナンス方法、及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】複数の検査室を有する検査装置のメンテナンス性を向上する。【解決手段】対象物を検査する検査処理を行う検査装置で、検査装置を操作するための画面を表示する表示手段と、メンテナンス処理を行うメンテナンス制御手段と、メンテナンス画面を表示させる表示制御手段と、検査装置と外部装置とを接続させる接続手段と、同一の機構に対する検査処理又はメンテナンス処理における競合を禁止する排他制御を行う排他制御手段と、を有する。表示制御手段は、接続手段に接続された前記外部装置に前記メンテナンス画面を表示させる。メンテナンス制御手段は、外部装置に表示されたメンテナンス画面に対してなされた操作に応じてメンテナンス処理を行う。排他制御手段は、１つの機構に対してメンテナンス処理を行う際に、外部装置に表示されたメンテナンス画面又は表示手段に表示された画面のいずれか一方からの操作のみを有効とする。【選択図】図４

Description

本開示は、検査装置、メンテナンス方法、及びプログラムに関する。

半導体製造プロセスにおいて、製造した半導体デバイス（ウエハ）に電気的特性テスト等の検査を行う検査装置が利用されている。このような検査装置として、複数の検査室を有し、複数のウエハを同時に検査可能な検査装置がある。

特許文献１には、複数の検査室を有する検査装置において、検査回路であるメインボードを搭載したテストヘッドの交換作業性を向上させるために、テストヘッドが配される検査エリアを、ウエハを搬送する搬送機構が配される搬送エリアとテストヘッドが整備される整備エリアとの間に配置し、検査エリアに、テストヘッドを収容する複数の検査室を互いに隣接して配し、テストヘッドを検査室から整備エリアへ引き出し可能にする構成が開示されている。

特開２０１７−１１２３８７号公報

本開示は、複数の検査室を有する検査装置におけるメンテナンス性の向上に有利な技術を提供する。

本開示の一態様による検査装置は、複数の検査室を有し、検査室のそれぞれにおいて対象物を検査する検査処理を行う検査装置であって、検査装置を操作するための画面を表示する表示手段と、検査室に関連する機構をメンテナンスするためのメンテナンス処理を行うメンテナンス制御手段と、表示手段に前記メンテナンス処理を行うための操作を受け付けるメンテナンス画面を表示させる表示制御手段と、検査装置と外部装置とを接続させる接続手段と、同一の機構に対する検査処理又はメンテナンス処理における競合を禁止する排他制御を行う排他制御手段と、を有し、表示制御手段は、接続手段に接続された外部装置にメンテナンス画面を表示させ、メンテナンス制御手段は、外部装置に表示されたメンテナンス画面に対してなされた操作に応じてメンテナンス処理を行い、排他制御手段は、１つの機構に対してメンテナンス処理を行う際に、外部装置に表示されたメンテナンス画面又は表示手段に表示された画面のいずれか一方からの操作のみを有効とする。

本開示によれば、複数の検査室を有する検査装置におけるメンテナンス性の向上に有利な技術を提供することができる。

図１は、実施形態に係る検査装置の外観構成の一例を示す斜視図である。 図２は、実施形態に係る検査装置の内部構成の一例を示す図である。 図３は、実施形態に係る検査領域の構成の一例を示す、図２におけるIII−III断面図である。 図４は、実施形態に係る検査装置の機能構成の一例を示すブロック図である。 図５は、実施形態に係る検査装置において検査処理とメンテナンス処理とを実行する際の状態の一例を概念的に示す図である。 図６は、実施形態に係る表示制御部の機能の一例を概念的に示す図である。 図７は、実施形態に係る検査装置における処理の一例を示すフローチャートである。 図８は、実施形態に係るローカル画面の一例を示す図である。 図９は、実施形態に係るローカル画面においてメンテナンスモードが設定された場合の状態の一例を示す図である。 図１０は、実施形態に係る外部装置認識画面の一例を示す図である。 図１１は、実施形態に係る接続要求画面の一例を示す図である。 図１２は、実施形態に係る外部装置に表示されるメンテナンス画面の一例を示す図である。 図１３は、実施形態に係るローカル画面において排他制御が機能している状態の第１の例を示す図である。 図１４は、実施形態に係る外部装置のメンテナンス画面において排他制御が機能している状態の第２の例を示す図である。 図１５は、実施形態に係るローカル画面において排他制御が機能している状態の第３の例を示す図である。

以下、実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。

図１は、実施形態に係る検査装置１の外観構成の一例を示す斜視図である。検査装置１は、セルタワー１２、ローダ１３、メインモニタ１４（表示手段）、及びコネクタ１５（接続手段）を有する。図中、Ｘ軸は幅方向、Ｙ軸は奥行方向、Ｚ軸は高さ方向を示している。

セルタワー１２は、複数の検査室（セル）１１が多段式に配置されたユニットである。本実施形態に係るセルタワー１２は、１２（３段×４列）の検査室１１を有している。

ローダ１３は、セルタワー１２に隣接して配置され、検査対象となるウエハを搬送する機構を内蔵するユニットである。

メインモニタ１４は、検査装置１に備えられ、検査装置１を操作するためのユーザインターフェースである。メインモニタ１４は、検査装置１に内蔵されたコンピュータと接続しており、検査装置１が有する各種機能を実行するための各種操作画面を表示する。メインモニタ１４は、画像を表示するディスプレイの他、ユーザによる入力操作を受け付ける操作部（キーボード、タッチパネル機構等）を有している。本実施形態に係るメインモニタ１４が表示させる操作画面には、検査処理等の全般的な処理に関する操作を受け付けるローカル画面と、メンテナンス処理に関する操作を受け付けるメンテナンス画面とが含まれる。

コネクタ１５は、検査装置１と外部装置１７とを接続し、通信を確立するためのインターフェースである。ここでは、コネクタ１５にケーブルを介して１台の外部装置１７（例えば汎用のＰＣ：Personal Computer）が接続された状態を例示しているが、接続方法や接続台数はこれに限られるものではない。

図２は、実施形態に係る検査装置１の内部構成の一例を示す図である。検査装置１の内部には、検査領域２１、搬出入領域２２、及び搬送領域２３が含まれている。

検査領域２１は、ウエハ２０に対して電気的特性テスト等の検査を行うための領域であり、各検査室１１内の空間がこれに含まれる。搬出入領域２２は、ウエハ２０、プローブカード等の搬出入を行うための領域であり、ローダ１３内の空間がこれに含まれる。搬送領域２３は、搬出入領域２２と検査領域２１との間に設けられた空間である。

搬出入領域２２は、複数の単位搬出入領域２５により仕切られている。各単位搬出入領域２５には、例えば、フープ２６の受け入れ機構が設けられている。搬送領域２３には、搬出入機構３１が設けられている。搬出入機構３１は、搬出入領域２２のフープ２６から受け取った検査前のウエハ２０を搬送領域２３に沿って搬送し、検査領域２１の後述する搬送機構３２に受け渡す。また、搬出入機構３１は、検査後のウエハ２０を検査領域２１から受け取り、搬送領域２２まで搬送する。

図３は、実施形態に係る検査領域２１の構成の一例を示す、図２におけるIII−III断面図である。検査領域２１には、複数のテスタ３５が設けられている。ここで例示する構成においては、隣接するテスタ３５間は区画されておらず、連続する空間内に複数のテスタ３５が配列されている。

搬送機構３２は、搬出入機構３１によって検査領域２１と搬送領域２３との境界部まで搬送された検査前のウエハ２０を当該搬送機構３２のウエハプレート３４上に受け取り、当該ウエハ２０をテスタ３５に装着されたプローブカードに接触させるように搬送する。また、搬送機構３２は、検査後のウエハ２０を検査領域２１と搬送領域２３との境界部まで搬送し、当該ウエハ２０を搬出入機構３１に受け渡す。

図４は、実施形態に係る検査装置１の機能構成の一例を示すブロック図である。検査装置１は、検知部１０１（検知手段）、主制御部１０２、表示制御部１０３（表示制御手段）、表示部１０４（表示手段）、及び接続部１０５（接続手段）を有する。

検知部１０１は、検査室１１に関連する機構に発生した異常を検知する。検知部１０１は、検知の対象となる各機構の状態を示す情報（各機構に設置された各種センサによる検出信号等）に基づいて異常を検知する。検知対象となる機構とは、例えば、テスタ３５、ローダ１３、搬出入機構３１、搬送機構３２等であり得る。なお、「異常」とは、故障状態に限られるものではなく、例えば、定期的なメンテナンス時期の到来、部材毎に設定された使用可能期限の到来等を含んでもよい。検知部１０１は、各種センサ、ＣＰＵ、制御プログラム等を利用して構成され得る。

主制御部１０２は、検査装置１を制御する電子制御ユニットであり、検査制御部１１１、メンテナンス制御部１１２（メンテナンス制御手段）、及び排他制御部１１３（排他制御手段）を有する。主制御部１０２は、ＣＰＵ、制御プログラム等を利用して構成され得る。

検査制御部１１１は、テスタ３５によりウエハ２０を検査する検査処理を行う。

メンテナンス制御部１１２は、検査室１１に関連する機構をメンテナンスするためのメンテナンス処理を行う。メンテナンス処理は、検知部１０１により異常が検知された機構等に対して行われてもよいし、異常が検知されていない機構であってもユーザからの要求等に応じて行われてもよい。メンテナンス処理の具体的内容は特に限定されるべきものではなく、検査装置１が備える機構の種類に応じて適宜決定されるものであるが、例えば、テスタ３５、ローダ１３、搬出入機構３１、搬送機構３２等の修理作業、交換作業等であり得る。

排他制御部１１３は、同一の機構に対する検査処理又はメンテナンス処理における競合を禁止する排他制御を行う。本実施形態に係る排他制御部１１３は、１つの機構に対して検査処理とメンテナンス処理とが同時に行われないようにする第１の排他制御を行う。また、排他制御部１１３は、１つの機構に対してメンテナンス処理を行う際に、外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２又はメインモニタ１４に表示された操作画面（メンテナンス画面２０２又はローカル画面２０１）のいずれか一方からの操作のみを有効とする第２の排他制御を行う。これらの排他制御については後に詳述する。

表示制御部１０３は、検査装置１の機能を実行するための操作画面を表示するための処理を行う。表示制御部１０３は、ローカル画面表示部１２１及びメンテナンス画面表示部１２２を有する。表示制御部１０３は、ＣＰＵ、制御プログラム等を利用して構成され得る。

ローカル画面表示部１２１は、検査処理等の通常処理を実行するための操作画面であるローカル画面２０１を表示部１０４（メインモニタ１４）に表示させるための処理を行う。主制御部１０２の検査制御部１１１は、表示部１０４に表示されたローカル画面２０１になされた操作に応じて検査処理を制御する。

メンテナンス画面表示部１２２は、メンテナンス処理を実行するための操作画面であるメンテナンス画面２０２を表示部１０４（メインモニタ１４）又は外部装置１７に表示させるための処理を行う。すなわち、メンテナンス画面表示部１２２は、メンテナンス画面２０２をメインモニタ１４だけでなく、接続部１０５に接続された外部装置１７のディスプレイにも表示させる。主制御部１０２のメンテナンス制御部１１２は、表示部１０４（検査装置１のメインモニタ１４）に表示されたメンテナンス画面２０２又は外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２になされた操作に応じてメンテナンス処理を制御する。

表示部１０４は、表示制御部１０３による制御に基づいてローカル画面２０１及びメンテナンス画面２０２を表示する。表示部１０４は、メインモニタ１４、ＣＰＵ、制御プログラム、画像処理用回路（ＦＰＧＡ：Field Programmable Gate ArrayやＡＳＩＣ：Application Specific Integrated Circuit）等を利用して構成され得る。

接続部１０５は、検査装置１と外部装置１７とを接続させる。接続部１０５は、例えば、イーサネット（登録商標）、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）、無線ＬＡＮ等を利用して構成され得る。

上記のように、本実施形態に係る検査装置１は、接続部１０５に接続された外部装置１７にメンテナンス画面２０２を表示させ、外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２を介して検査装置１のメンテナンス処理を実行可能にする機能を有している。これにより、例えば、異常が検知されていない機構（検査室１１）についてはメインモニタ１４に表示されたローカル画面２０１を介して検査処理等を継続しながら、異常が検知された機構については外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２を介してメンテナンス処理を行うことが可能となる。

また、本実施形態に係る検査装置１は、１つの機構に対してメンテナンス処理を行う際に、外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２又はメインモニタ１４に表示された操作画面（メンテナンス画面２０２又はローカル画面２０１）のいずれか一方からの操作のみを有効とする、換言すれば、１つの機構に対して複数のメンテナンス画面２０２によるメンテナンス処理が同時に行われないようにする第２の排他制御が実行される。これにより、例えば、外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２によるメンテナンス処理が、あるテスタ３１に対して実行されている間は、当該テスタ３１に対してメインモニタ１４に表示されたメンテナンス画面２０２又はローカル画面２０１によるメンテナンス処理を行うことができなくなる。これにより、メンテナンス処理の対象となった１つの機構に対して複数の指示が競合することを防ぐことができる。

図５は、実施形態に係る検査装置１において検査処理とメンテナンス処理とを実行する際の状態の一例を概念的に示す図である。検査装置１の表示制御部１０３は、ローカル画面２０１を表示させるための画像データと、メンテナンス画面２０２を表示させるための画像データとを生成する。あるユーザＵ１がメインモニタ１４に表示されたローカル画面２０１を介して検査処理を行っているとき、メンテナンス画面２０２はローカル画面２０１に隠された状態となる。このような状態において、ユーザＵ１がある機構に対してメンテナンス処理を行おうとすると、メインモニタ１４においてローカル画面２０１がメンテナンス画面２０２に隠された状態となり、検査処理を続行できなくなる。若しくは、ローカル画面２０１とメンテナンス画面２０２との切り替えが必要となるため、検査処理及びメンテナンス処理の各々の操作がし難い状況となる。

このような場合、検査装置１に外部端末１７を接続すると、外部端末１７のディスプレイにメンテナンス画面２０２が表示される。そして、他のユーザＵ２が外部端末１７に表示されたメンテナンス画面２０２を操作することにより、検査装置１に対してメンテナンス処理を行うことができる。これにより、ユーザＵ１がメインモニタ１４に表示されたローカル画面２０１を介して検査処理を続行しつつ、ユーザＵ２が外部端末１７に表示されたメンテナンス画面２０２を介してメンテナンス処理を実行することができる。なお、ここでは２人のユーザＵ１，Ｕ２の各々がメインモニタ１４又は外部端末１７のいずれかを操作する例を示したが、１人のユーザがメインモニタ１４及び外部端末１７の両方を操作してもよい。

図６は、実施形態に係る表示制御部１０３の機能の一例を概念的に示す図である。外部装置１７は、メンテナンス画面２０２を介して検査装置１のメンテナンス処理を実行するためのメンテナンスツール１５１を有している。検査装置１の表示制御部１０３は、メンテナンス画面２０２の生成を行うメンテナンス画面プロセス１５５と、メンテナンスツール１５１と情報共有を行うためのウィンドウズ（登録商標）・キャプチャ・プロセス１５６とを有している。

ウィンドウズ・キャプチャ・プロセス１５６は、メンテナンス画面プロセス１５５からメンテナンス画面２０２の画面構成を示す画面構成データ（例えばＪＰＧ、ＧＩＦ、ＰＮＧ、ＢＭＰ等の画像データ）を取得し、メンテナンスツール１５１に送信する。このとき、メンテナンスツール１５１は、メンテナンス画面２０２上で行われるプロセスの実態ではなくメンテナンス画面２０２の画面構成データを受信し、画面構成データに基づくメンテナンス画面２０２を外部装置１７のディスプレイに表示させる。そして、メンテナンスツール１５１は、ディスプレイに表示されているメンテナンス画面２０２に対してなされた操作の操作情報（押下された画面の座標情報等）をウィンドウズ・キャプチャ・プロセス１５６に送信する。ウィンドウズ・キャプチャ・プロセス１５６は、メンテナンスツール１５１から取得した操作情報に対応するイベントを発行し、当該イベントが反映されたメンテナンス画面２０２の画面構成データをメンテナンス画面プロセス１５５から取得してメンテナンスツール１５１に送信する。メンテナンスツール１５１は、ウィンドウズ・キャプチャ・プロセス１５６から受信した画面構成データに基づいて、外部装置１７のディスプレイに表示されたメンテナンス画面２０２を遷移させる。これにより、外部装置１７がメンテナンス処理を実行するための実質的な機能を備えていなくても、外部装置１７のディスプレイを介して検査装置１のメンテナンス処理を行うことが可能となる。また、外部装置１７がメンテナンス処理を実行するための実質的な機能（ソフトウェア）を備えていないため、例えば、検査装置１のソフトウェアが変更された場合にも、それに伴う外部装置１７側のソフトウェアの更新は不要である。

図７は、実施形態に係る検査装置１における処理の一例を示すフローチャートである。先ず、ローカル画面表示部１２１が検査装置１のメインモニタ１４にローカル画面２０１を表示させる（Ｓ１０１）。

図８は、実施形態に係るローカル画面２０１の一例を示す図である。ここで例示するローカル画面２０１は、図１に示すような１２の検査室１１（セル１〜１２）を有する検査装置１に対応するものである。本例に係るローカル画面２０１には、セル状態表示部２１１、メンテナンスモード設定ボタン２１２、及びメンテナンスモード解除ボタン２１３が含まれている。セル状態表示部２１１は、各セルの状態を示す部分である。メンテナンスモード設定ボタン２１２は、任意のセルをメンテナンスモードに設定する（検査モードからメンテナンスモードに移行させる）ための操作部である。メンテナンスモード解除ボタン２１３は、メンテナンスモードに設定されたセルを解除する（メンテナンスモードから検査モードに復帰させる）ための操作部である。

図７に戻り、フローチャートの説明を続ける。ユーザが上記のようなローカル画面２０１を介して例えば全ての検査室１１を対象とする検査処理を開始させる（Ｓ１０２）。すなわち、全セル１〜１２を検査モードにする。

その後、検知部１０１が例えばセル１の異常を検知すると（Ｓ１０３）、ユーザはローカル画面２０１を介してセル１をメンテナンスモードに設定するか否かを選択する（Ｓ１０４）。セル１をメンテナンスモードに設定しない場合（Ｓ１０４：Ｎｏ）、ユーザはローカル画面２０１を介してセル１を検査処理の対象から切り離し、他のセル２〜１２の検査処理を続行させる（Ｓ１０５）。

一方、セル１をメンテナンスモードに設定する場合（Ｓ１０４：Ｙｅｓ）、ユーザはローカル画面２０１を介してセル１をメンテナンスモードに移行させる（Ｓ１０６）。これにより、セル１は検査処理の対象から切り離されると共に、メンテナンス処理の対象となる。

図９は、実施形態に係るローカル画面２０１においてメンテナンスモードが設定された場合の状態の一例を示す図である。ここでは、セル１の状態を示す部分に、メンテナンスモードが設定されたことを示すメンテナンスモード表示２１５が表示されている。

図７に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のように、異常が検知されたセル１をメンテナンスモードに設定した後、検査装置１の接続部１０５（コネクタ１５）に外部装置１７を接続すると（Ｓ１０７）、ローカル画面表示部１２１はコネクタ１５への接続が認識された外部装置１７を示す外部装置認識画面をメインモニタ１４に表示させる（Ｓ１０８）。その後、外部端末１７を操作するユーザが、外部端末１７のディスプレイに表示された接続要求画面を操作して検査装置１と接続するための操作を行うと（Ｓ１０９）、外部装置１７のディスプレイにメンテナンス画面２０２が表示される（Ｓ１１０）。ユーザは外部装置１７のディスプレイに表示されたメンテナンス画面２０２を介してメンテナンス処理を実行する（Ｓ１１１）。

図１０は、実施形態に係る外部装置認識画面２２１の一例を示す図である。ここで例示する外部装置認識画面２２１には、検査装置１により認識された外部装置１７を特定する特定情報２２５が含まれている。ここでは特定情報２２５として、ＩＰアドレス、端末名、及び表示中画面名が表示されているが、これに限られるものではない。

図１１は、実施形態に係る接続要求画面２３１の一例を示す図である。ここで例示する接続要求画面２３１は、外部装置１７にインストールされたメンテナンスツールの起動時における画面であり、検査装置１との接続を要求する接続要求ボタン２３５を含んでいる。ユーザが接続要求ボタン２３５を押す操作を行うことにより、検査装置１と外部装置１７との間の通信が確立する。なお、通信を確立するための認証処理が介在してもよい。

図１２は、実施形態に係る外部装置１７に表示されるメンテナンス画面２０２の一例を示す図である。ここで例示するメンテナンス画面２０２には、セル状態表示部２５１及びメンテナンス内容設定部２５２が含まれている。セル状態表示部２５１は、複数のセルのうちどのセルがメンテナンスモードに設定されているかを示す部分であり、本例ではセル１がメンテナンスモードに設定されていることを示す状態となっている。メンテナンス内容設定部２５２は、メンテナンスモードに設定されているセルに対して行われるメンテナンス処理の種類等を選択するための部分である。

図７に戻り、フローチャートの説明を続ける。上記のように外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２を介して行われたメンテナンス処理の終了後、セル１の正常動作が確認されると（Ｓ１１２）、ユーザは外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２を介してセル１のメンテナンスモードを解除する（Ｓ１１３）。その後、ユーザはメインモニタ１４に表示されたローカル画面２０１を介してセル１を検査対象に復帰させる（Ｓ１１４）。

上記ステップＳ１０６〜Ｓ１１４の実行中においては、第１の排他制御及び第２の排他制御が行われる。第１の排他制御は、１つの機構（本例ではセル１）に対して検査処理とメンテナンス処理とが同時に行われないようにする排他制御である。第２の排他制御は、１つの機構に対してメンテナンス処理を行う際に、外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２又はメインモニタ１４に表示された操作画面（メンテナンス画面２０２又はローカル画面２０１）のいずれか一方からの操作のみを有効とする排他制御である。

図１３は、実施形態に係るローカル画面２０１において排他制御が機能している状態の第１の例を示す図である。ここでは、メンテナンスモードに設定されたセル１に対して検査処理を実行しようとした場合が例示されている。このような場合、指定されたセルはメンテナンスモードに設定されているため検査処理を実行できない旨の禁止メッセージ２６１が表示される。この処理は上記第１の排他制御の一例である。

図１４は、実施形態に係る外部装置１７のメンテナンス画面２０２において排他制御が機能している状態の第２の例を示す図である。ここでは、検査モードに設定されたセル２〜１２のいずれかに対してメンテナンス処理を実行しようとした場合が例示されている。このような場合、指定されたセルは検査モードに設定されているためメンテナンス処理を実行できない旨の禁止メッセージ２６２が表示される。この処理は上記第１の排他制御の一例である。

図１５は、実施形態に係るローカル画面２０１において排他制御が機能している状態の第３の例を示す図である。ここでは、外部装置１７に表示されたメンテナンス画面２０２を介してメンテナンス処理が行われているセル１に対して、メインモニタ１４に表示されたローカル画面２０１を介してメンテナンスモードを解除しようとした場合が例示されている。このような場合、指定されたセルは外部装置１７により操作中のためメンテナンス処理を解除できない旨の禁止メッセージ２７１が表示される。この処理は上記第２の排他制御の一例である。

検査装置１の各機能を実現するプログラムは、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルでＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録して提供するように構成してもよい。また、プログラムを、インターネット等のネットワークに接続された他のコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成してもよい。また、プログラムをネットワーク経由で提供又は配布するように構成してもよい。

以上のように、本実施形態によれば、複数の検査室を有する検査装置におけるメンテナンス性の向上に有利な技術を提供することができる。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

１ 検査装置
１１ 検査室
１２ セルタワー
１３ ローダ
１４ メインモニタ（表示手段）
１５ コネクタ（接続手段）
１７ 外部装置
２０ ウエハ
２１ 検査領域
２２ 搬出入領域
２３ 搬送領域
２５ 単位搬出入領域
２６ フープ
３１ 搬出入機構
３２ 搬送機構
３４ ウエハプレート
３５ テスタ
１０１ 検知部（検知手段）
１０２ 主制御部
１０３ 表示制御部（表示制御手段）
１０４ 表示部（表示手段）
１０５ 接続部（接続手段）
１１１ 検査制御部
１１２ メンテナンス制御部（メンテナンス制御手段）
１１３ 排他制御部（排他制御手段）
１２１ ローカル画面表示部
１２２ メンテナンス画面表示部
１５１ メンテナンスツール
１５５ メンテナンス画面プロセス
１５６ ウィンドウズ・キャプチャ・プロセス
２０１ ローカル画面
２０２ メンテナンス画面
２１１，２５１ セル状態表示部
２１２ メンテナンスモード設定ボタン
２１３ メンテナンスモード解除ボタン
２１５ メンテナンスモード表示
２２１ 外部装置認識画面
２２５ 特定情報
２３１ 接続要求画面
２３５ 接続要求ボタン
２５２ メンテナンス内容設定部
２６１，２６２，２７１ 禁止メッセージ

Claims (6)

1. 複数の検査室を有し、前記検査室のそれぞれにおいて対象物を検査する検査処理を行う検査装置であって、
   前記検査装置を操作するための画面を表示する表示手段と、
   前記検査室に関連する機構をメンテナンスするためのメンテナンス処理を行うメンテナンス制御手段と、
   前記表示手段に前記メンテナンス処理を行うための操作を受け付けるメンテナンス画面を表示させる表示制御手段と、
   前記検査装置と外部装置とを接続させる接続手段と、
   同一の前記機構に対する前記検査処理又は前記メンテナンス処理における競合を禁止する排他制御を行う排他制御手段と、
   を有し、
   前記表示制御手段は、前記接続手段に接続された前記外部装置に前記メンテナンス画面を表示させ、
   前記メンテナンス制御手段は、前記外部装置に表示された前記メンテナンス画面に対してなされた操作に応じて前記メンテナンス処理を行い、
   前記排他制御手段は、１つの前記機構に対して前記メンテナンス処理を行う際に、前記外部装置に表示された前記メンテナンス画面又は前記表示手段に表示された画面のいずれか一方からの操作のみを有効とする、
   検査装置。
2. 前記表示制御手段は、前記検査装置内で生成された前記メンテナンス画面の画面構成データを前記外部装置に送信し、
   前記外部装置は、受信した画面構成データに基づいて前記メンテナンス画面を表示する、
   請求項１に記載の検査装置。
3. 前記外部装置は、自機に表示された前記メンテナンス画面に対してなされた操作を示す操作情報を前記検査装置に送信し、
   前記メンテナンス制御手段は、前記外部装置から受信した前記操作情報に基づいて前記メンテナンス処理を制御する、
   請求項２に記載の検査装置。
4. 前記検査室に関連する機構に関する異常を検知する検知手段、
   を更に有し、
   前記メンテナンス制御手段は、異常が検知された前記検査室に関連する機構に関する前記メンテナンス処理を行う、
   備える請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査装置。
5. 複数の検査室と、表示手段とを有し、前記検査室のそれぞれにおいて対象物を検査する検査処理を行う装置におけるメンテナンス方法であって、
   前記装置を操作するための画面を前記表示手段に表示させる工程と、
   前記検査室に関連する機構をメンテナンスするためのメンテナンス処理を行う工程と、
   前記表示手段に前記メンテナンス処理を行うための操作を受け付けるメンテナンス画面を表示させる工程と、
   前記装置と外部装置とを接続させる工程と、
   同一の前記機構に対する前記検査処理又は前記メンテナンス処理における競合を禁止する排他制御を行う工程と、
   接続された前記外部装置に前記メンテナンス画面を表示させる工程と、
   前記外部装置に表示された前記メンテナンス画面に対してなされた操作に応じて前記メンテナンス処理を制御する工程と、
   １つの前記機構に対して前記メンテナンス処理を行う際に、前記外部装置に表示された前記メンテナンス画面又は前記表示手段に表示された画面のいずれか一方からの操作のみを有効とする工程と、
   を含むメンテナンス方法。
6. 複数の検査室と、表示手段とを有し、前記検査室のそれぞれにおいて対象物を検査する検査処理を行う装置を制御するコンピュータに、
   前記装置を操作するための画面を前記表示手段に表示させる処理と、
   前記検査室に関連する機構をメンテナンスするためのメンテナンス処理を制御する処理と、
   前記表示手段に前記メンテナンス処理を行うための操作を受け付けるメンテナンス画面を表示させる処理と、
   前記装置と外部装置とを接続させる処理と、
   同一の前記機構に対する前記検査処理又は前記メンテナンス処理における競合を禁止する排他制御を行う処理と、
   接続された前記外部装置に前記メンテナンス画面を表示させる処理と、
   前記外部装置に表示された前記メンテナンス画面に対してなされた操作に応じて前記メンテナンス処理を制御する処理と、
   １つの前記機構に対して前記メンテナンス処理を行う際に、前記外部装置に表示された前記メンテナンス画面又は前記表示手段に表示された画面のいずれか一方からの操作のみを有効とする処理と、
   を実行させるプログラム。

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