JP4888792B2 - 検査工程管理システム - Google Patents
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Description
この種の検査工程管理システムの技術においては、例えば、特許文献1及び2記載の技術が提案されている。
特許文献1には、検査工程における測定結果表示システムの技術が記載されている。
この測定結果表示システムは、検査工程に対応する測定条件に基づき、ロットの測定を行い測定データを得る装置と、一つ又は複数の工程における装置の制御・管理を集中して行うホストとを備えている。
そして、装置は、ホストから受信した測定値判定結果と予め登録された表示基準とに従い、測定値判定結果に対応する表示を行なう。
この製造システムは、半導体装置の製造システムとして、複数の処理装置と、複数の検査装置と、これらの処理装置及び検査装置に接続された製造工程管理システムなどから構成される。
検査装置は、外観検査、異物検査工程などの各工程において各検査を行なう。
製造工程管理システムは、製造フローに基づいて各処理装置及び各検査装置を動作させて、半導体装置の製造工程を管理するためのシステムであって、半導体ウェハ上に導電膜を形成する第一の処理工程の終了からの経過時間を監視し、この経過時間が半導体装置の電気特性を規定する規格値を超える制限時間となったときに、以降に行なうべき第一の検査工程をスキップするように製造工程フローを自動的に書き換える。そして、この書き換えた製造工程フローに基づいて工程を進めていく機能を備えている。
そのため、このような検査工程が未完了で、製造不良等で検査基準に満たない物品が、次の検査工程に移送されてしまうと、これを以降の検査工程で見つけることができないので商品として流出してしまうことがあった。
また、このような事態の防止には、検査工程を一箇所に集中し、物品の移送を行なうことなく全ての検査を行なうことが考えられるが、検査環境の見直しや検査装置や検査プログラム等の開発などに、多大な時間や費用がかかってしまうという問題があった。
まず、図1及び図2を参照して本発明の第一実施形態に係る検査工程管理システムについて説明する。
図1は、本発明の第一実施形態に係る検査工程管理システムを示す概略図である。
図2は、本発明の第一実施形態に係る検査工程管理システムであって、(a)は、端末装置、(b)は、サーバ装置を示すブロック図である。
これらの複数の検査工程は、例えば、それぞれが別々の位置で行なわれるものであり、各検査工程と次の検査工程間の物品の移送は、検査作業者によって人手や、検査作業者が操作する機器により行なわれる。
また、検査対象は、例えば、全ての検査工程が行なわれた後に出荷されて製品となる、例えば、テレビ、コンピュータ等の電気機器などの物品である。この物品は、例えば、その表面に、物品毎に固有のIDコードに対応したバーコードが表面に表されるバーコードシールが貼付されている。
これらの端末装置11〜1m及びサーバ装置20は、例えば、LAN(Local Area Network)などのネットワーク30を介して電気的に接続されており、互いに通信可能となっている。
また、端末装置11〜1mは、検査作業者が操作する、例えば、キーボード、マウス及びバーコードやRFID等のハンドスキャナなどの入力装置(図示せず)を備えている。
識別情報入力手段101は、物品の識別情報を入力するものであって、識別情報として、IDコードが入力される。識別情報入力手段101は、例えば、シールのバーコードを読み込むバーコードスキャナで構成されている。
なお、識別情報入力手段101は、キーボードを含んでいる。キーボードでのIDコードの入力は、例えば、バーコードスキャナでのバーコードの読み込みが不調のときに行なわれる。
検査情報入力手段103は、物品の検査に関連する情報が入力するものであって、検査により測定された数値の入力などが行なわれるキーボードである。
また、検査情報入力手段103は、マウスも含み、後述の表示手段に表示された項目をクリックすることにより検査情報の入力を行なうようにしてもよい。
情報取得手段102は、識別情報入力手段101で入力されたIDコードに対応した物品の検査結果情報を、ネットワーク30を介して取得する機能を備えている。本実施形態では、情報取得手段102は、入力されたIDコードを、サーバ装置20に送信する送信機能と、サーバ装置20からIDコードに対応した検査結果情報を受信する受信機能とを備えている。
表示手段105は、例えば、ディスプレイなどの所定の情報を表示可能な表示装置であって、直前の検査結果情報を、検査作業者が認識可能に表示する。
情報作成手段100は、検査情報入力手段103で入力された情報に基づいて検査結果情報を作成する。検査結果情報は、例えば、検査項目ごとの検査結果と、各検査項目が実施されたか否かを含んでいる。
情報送信手段104は、例えば、情報作成手段100が作成した検査結果情報をサーバ装置20に送信する。
また、第1の端末装置11は、第1の検査工程より前の検査工程が無いことから、情報取得手段102などがなくてもよい。
サーバ装置20が備える情報記憶手段200は、記憶装置で構成されている。
また、サーバ装置20は、IDコード及び検査結果情報を受信する情報受信手段202と、情報受信手段202が受信したIDコード及びIDコードに関連付けた検査結果情報を情報記憶手段200に記憶させる情報管理手段201と、を備えている。
情報管理手段201は、IDコード及び検査結果情報が情報受信手段202から入力されるとこれらを関連付けてデータベース化して情報記憶手段200に記憶する。
情報管理手段201、情報受信手段202、検査結果情報を検索する手段、情報検索手段及び情報発信手段(図示せず)は、その機能が、記憶装置に記憶されRAMにアップロードされてCPUで実行されるプログラムにより実現される。
本実施形態においては、物品に対する第1から第mの検査工程は、第1の検査工程から順に実施される。
第nの端末装置1nの情報取得手段102は、識別情報入力手段101にIDコードの入力があると(S2−1)、サーバ装置20にアクセスするとともにIDコードを送信する。
サーバ装置20は、第nの端末装置1nからIDコードを受信すると、情報記憶手段200のデータベースから、IDコードに対応した第nの検査工程より前の検査工程の検査結果情報を参照する(S2−3)。次に、サーバ装置20は、参照した検査結果情報を、IDコードを送信した端末装置1nに対して検査結果情報を送信する(S2−4)。
検査作業者は、この表示手段105の表示を視認することにより、第nの検査工程より前の検査工程(本実施形態では、第n−1の検査工程)で、この物品の検査が実施されたか否かを判断する(S1−3)。
検査作業者は、第n−1の検査工程において、物品の検査がなされていたときは(S1−3Yes)、第nの検査工程における検査を行ない、この検査の検査結果を検査情報入力手段103を用いて入力する(S1−4)。
また、第nの端末装置1nは、入力された検査結果が所定基準を満たすときには(S2−12OK)、表示手段105に第n+1の検査工程に送る旨の表示を行なう(S2−10)。
検査作業者は、表示手段105に表示された検査結果情報を視認することにより、検査結果が良好であるときは(S1−5OK)、第n+1の検査工程に物品を移送し、検査結果が不良であるときは(S1−5NG)問題有りとして、以降の検査ラインから除外する。
一方、サーバ装置20の情報受信手段202が、端末装置1nからの識別情報及び検査結果情報を受信すると、情報管理手段201がこれらを関連付けて情報記憶手段200のデータベースに格納する(S2−9)。
このようにして、その他の検査工程においても、検査作業者が、上記した第nの検査工程と同様にして検査を行なう。
表示手段105が、検査結果情報に基づく所定の表示を行なうので、検査作業者が、端末装置11〜1mに対応する検査工程より前の検査工程の検査結果情報の有無を認識できる。
また、表示手段105が、各端末装置11〜1mに対応する検査工程の検査結果情報自体を表示するので、端末装置11〜1mにおいて、例えば、検査結果情報が実行されない検査工程を判定する判定手段を省略することができ、特に、検査ラインの検査工程が少ないときなどに特に有効である。
図5は、本実施形態に係る検査工程管理システムの端末装置を示す概略ブロック図である。図6は、本実施形態に係る検査工程管理システムの構成図である。
なお、本実施形態の検査工程管理システムは、上記第一実施形態と同様のものには同一の符号を付している。
そして、端末装置11〜1mが、検査対象に所定の検査信号を送受信して検査を行なう検査手段106と、未実施の検査工程の有無を判定する判定手段108とを備え、未実施の検査工程が有りのときに、表示手段105が、受けるべき検査工程の表示を行なう点で、上記第一実施形態と異なる。
これらの制御I/F部65、71は、例えば、図示しない、PCI−Express、RS−232等のシリアル転送方式、PCI、SCSIやIEEE等のパラレル転送方式などのコネクタなどを備えている。
本実施形態においては、検査対象は、機能拡張用ボード70が、例えば、検査対象側制御I/F71として、PCI−Expressのコネクタを備えたコンピュータの機能拡張用ボード70であり、識別情報は、この機能拡張用ボード70に付されたシリアルナンバーである。また、端末側制御I/F65は、機能拡張用ボード70の端末側制御I/F65を接続可能なPCI−Expressのポートである。
この検査手段106は、機能拡張用ボード70に、所定の電気信号を入出力することにより機能拡張用ボード70が正常に動作するか否かの検査を行なう。また、本実施形態の情報作成手段100は、検査手段106による検査結果に基づいて検査結果情報を作成する。
そして、判定手段108は、この前の検査工程が実施されなかったときに、その旨の表示を表示手段105に行なわせる。
また、検査工程用プログラムは、検査の実施前に、端末装置11〜1mの入力装置67でシリアルナンバーが入力されたときに、起動させられる。
検査プログラムは、検査工程上、必要な検査を、機能拡張用ボード70に対して行なう。
なお、検査作業者が、検査工程において行なう作業としては、第一実施形態と同様に、第n−1の検査工程から第nの検査工程に機能拡張用ボード70が移送されてくると、検査作業者は、この機能拡張用ボード70を受け入れるとともに、第nの端末装置1n及び機能拡張用ボード70の制御I/F部65、71を介して接続する(S3−1)。そして、第nの端末装置1nの入力装置67を用い機能拡張用ボード70のシリアルナンバーを入力する(図7参照、S3−2)。
すなわち、第nの端末装置1nは、第n−1の検査工程が行なわれており(S4−6Yes)、機能拡張用ボード70に対して必要な検査工程が第nの検査工程であるので、検査プログラムが第nの検査工程における機能拡張用ボード70の検査を進め(S4−7)、ディスプレイ64に第nの検査工程の検査結果の表示を行なわせ、検査結果を自動的にサーバ装置20に送信する(S4−8)。そして、検査結果が良好であれば(S4−12OK)、ディスプレイ64に第n+1の検査工程に進む旨の表示を行なう(S4−10)。
すなわち、検査工程管理システムは、各検査工程の端末装置11〜1mに、検査工程毎の検査用プログラムを備え、この検査用プログラムを実行させることにより、機能拡張用ボード70に対するすべての検査工程をスムーズに進めることができる。
また、識別情報が、IDコード、シリアルナンバーである構成としたが、これに限定されるものでなく、各物品に固有のものであればなんでもよい。
また、識別情報が、各物品に固有のものでなくとも、例えば、ロットナンバーなど生産単位毎に付されるものであってもよい。この場合、検査ラインで検査される検査対象は、同一のロットナンバーが付された一組の物品がまとめてに移送されるようにすることが好ましい。
また、検査手段が、有線で物品と接続されるものとしたが、これに限定されるものでなく、無線通信やX線などの所定の検査信号を送受信できるものであればなんでもよい。
また、各検査工程において、直前の検査工程を受けていないときに、その検査工程に返送するようにしたが、それ以前のいずれかの検査工程に返送するようにしてもよい。
また、第二実施形態では、端末側制御I/F部及び検査対象側制御I/F部が直接接続されるようにしたが、例えば、ケーブルを介して接続するようにしてもよい。
また、検査工程管理システムは、上記各実施形態の端末装置が混在していてもよく適宜設計変更して差支えない。
100 情報作成手段
101 識別情報入力手段
102 情報取得手段
103 検査情報入力手段
104 情報送信手段
105 表示手段
106 検査手段
108 判定手段
20 サーバ装置
200 情報記憶手段
201 情報管理手段
202 情報受信手段
30 ネットワーク
60 CPU部
61 メモリ部
62 記憶装置部
63 画像出力部
64 ディスプレイ
65 端末側制御I/F部
66 通信部
67 入力装置
70 機能拡張用ボード
71 検査対象側制御I/F部
Claims (7)
- 所定の検査対象に対する複数の検査工程に対応して配置される端末装置と、前記各検査工程の検査結果情報が記憶される情報記憶手段を有したサーバ装置と、を備え、
前記検査対象と前記端末装置がI/F部を介して互いに接続され、
前記端末装置が、
前記検査対象についての検査工程用プログラムを記憶装置に記憶するとともに、
前記検査対象に付される固有の識別情報を入力する識別情報入力手段と、
前記サーバ装置の情報記憶手段から当該端末装置に対応する検査工程より前の検査工程の検査結果情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段で取得した検査結果情報に基づいて所定の通知を行なう通知手段と、
前記I/F部を介して検査対象に所定の検査信号を送受信して検査を行なう検査手段と、
前記情報取得手段が取得した検査結果情報に基づいて、未実施の検査工程の有無を判定する判定手段と、
当該端末装置に対応する検査工程における前記検査対象の検査結果情報を作成する情報作成手段と、
前記情報作成手段で作成した検査結果情報及び前記識別情報入力手段で入力された前記検査対象に対応する識別情報を前記サーバ装置に送信する情報送信手段とを備え、
前記情報取得手段が、前記識別情報入力手段で入力された識別情報に基づいて、前記検査結果情報を取得し、
前記検査工程用プログラムが、前記識別情報入力手段により前記検査対象に付される固有の識別情報が入力されると、当該識別情報に対応する検査プログラムを起動して前記検査手段による検査及び前記判定手段による判定を自動実行させ、
前記情報作成手段が、前記検査手段が行なった検査の結果に基づいて前記検査結果情報を作成し、
前記判定手段が未実施の検査工程が有ることを判定したときに、前記通知手段が、受けるべき検査工程の通知を行ない、
前記サーバ装置が、
前記識別情報及び検査結果情報を受信する情報受信手段と、
該情報受信手段が受信した識別情報及び当該識別情報に関連付けた検査結果情報を前記情報記憶手段に記憶させる情報管理手段と、
を備えることを特徴とする検査工程管理システム。 - 前記端末装置が、
前記検査対象の検査に関連する情報を入力可能な検査情報入力手段を備え、
前記情報作成手段が、前記検査情報入力手段により入力された情報に基づいて検査結果情報を作成する請求項1記載の検査工程管理システム。 - 前記通知手段が、前記所定の通知として前記検査結果情報自体を通知する請求項1又は2記載の検査工程管理システム。
- 前記通知手段が、検査結果情報に基づく所定の表示を行なう表示手段を備える請求項1〜3のいずれか一項に記載の検査工程管理システム。
- 所定の検査対象に対する複数の検査工程に対応して配置され、当該検査対象とI/F部を介して接続される端末装置であって、
前記検査対象についての検査工程用プログラムを記憶装置に記憶するとともに、
前記検査対象に付される固有の識別情報を入力する識別情報入力手段と、
サーバ装置が備える前記各検査工程の検査結果情報が記憶される情報記憶手段から、対応する検査工程より前の検査工程の検査結果情報を取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段で取得した検査結果情報に基づいて所定の通知を行なう通知手段と、
前記I/F部を介して検査対象に所定の検査信号を送受信して検査を行なう検査手段と、
前記情報取得手段が取得した検査結果情報に基づいて、未実施の検査工程の有無を判定する判定手段と、
当該端末装置に対応する検査工程における前記検査対象の検査結果情報を作成する情報作成手段と、
前記情報作成手段で作成した検査結果情報及び前記識別情報入力手段で入力された前記検査対象に対応する識別情報を前記サーバ装置に送信する情報送信手段とを備え、
前記情報取得手段が、前記識別情報入力手段で入力された識別情報に基づいて、検査結果情報を取得し、
前記検査工程用プログラムが、前記識別情報入力手段により前記検査対象に付される固有の識別情報が入力されると、当該識別情報に対応する検査プログラムを起動して前記検査手段による検査及び前記判定手段による判定を自動実行させ、
前記情報作成手段が、前記検査手段が行なった検査の結果に基づいて前記検査結果情報を作成し、
前記判定手段が未実施の検査工程が有ることを判定したときに、前記通知手段が、受けるべき検査工程の通知を行なうことを特徴とする端末装置。 - 所定の検査対象に対する複数の検査工程において、
前記検査対象についての検査工程用プログラムを記憶装置に記憶した端末装置をI/F部を当該検査対象に接続するステップと、
前記検査対象に付される固有の識別情報を入力する識別情報入力ステップと、
前記各検査工程の検査結果情報が記憶されるサーバ装置の情報記憶手段から、実行する検査工程より前の検査工程の検査結果情報を取得する情報取得ステップと、
前記情報取得ステップで取得した検査結果情報に基づいて所定の通知を行なう通知ステップと、
前記I/F部を介して検査対象に所定の検査信号を送受信して検査を行なう検査ステップと、
前記情報取得ステップで取得した検査結果情報に基づいて、未実施の検査工程の有無を判定する判定ステップと、
前記端末装置に対応する検査工程における前記検査対象の検査結果情報を作成する情報作成ステップと、
前記情報作成ステップで作成した検査結果情報及び前記識別情報入力ステップで入力された前記検査対象に対応する識別情報を前記サーバ装置に送信する情報送信ステップとを有し、
前記情報取得ステップにより、前記識別情報入力ステップで入力された識別情報に基づいて、検査結果情報を取得し、
前記検査工程用プログラムにより、前記識別情報入力ステップにより前記検査対象に付される固有の識別情報が入力されると、当該識別情報に対応する検査プログラムを起動して前記検査ステップによる検査及び前記判定ステップによる判定を自動実行させ、
前記情報作成ステップにより、前記検査ステップで行なわれた検査の結果に基づいて前記検査結果情報を作成し、
前記判定ステップが未実施の検査工程が有ることを判定したときに、前記通知ステップにより、受けるべき検査工程の通知を行なうことを特徴とする検査工程管理方法。 - 所定検査対象に対する複数の検査工程毎に配置され、当該検査対象とI/F部を介して接続される端末装置を、
前記検査対象についての検査工程用プログラムを記憶する記憶手段、
前記検査対象に付される固有の識別情報を入力する識別情報入力手段、
サーバ装置に備えられる情報記憶手段から、当該端末装置に対応する検査工程より前の検査工程の検査結果情報を取得する情報取得手段、
前記情報取得手段で取得した検査結果情報に基づいて所定の通知を行なう通知手段、
前記I/F部を介して検査対象に所定の検査信号を送受信して検査を行なう検査手段、
前記情報取得手段が取得した検査結果情報に基づいて、未実施の検査工程の有無を判定する判定手段、
当該端末装置に対応する検査工程における前記検査対象の検査結果情報を作成する情報作成手段、
前記情報作成手段で作成した検査結果情報及び前記識別情報入力手段で入力された前記検査対象に対応する識別情報を前記サーバ装置に送信する情報送信手段として機能させるとともに、
前記情報取得手段に、前記識別情報入力手段で入力された識別情報に基づいて、検査結果情報を取得させ、
前記検査工程用プログラムにより、前記識別情報入力手段によって前記検査対象に付される固有の識別情報が入力されると、当該識別情報に対応する検査プログラムを起動して前記検査手段による検査及び前記判定手段による判定を自動実行させ、
前記情報作成手段に、前記検査手段が行なった検査の結果に基づいて前記検査結果情報を作成させ、
前記判定手段が未実施の検査工程が有ることを判定したときに、前記通知手段に、受けるべき検査工程の通知を行なわせるための検査工程管理プログラム。
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