JP2019203548A - 流体圧バルブ - Google Patents

Abstract

【課題】ハウジングの外径寸法が大型にならない構造の流体圧サーボ機構に用いられ得る流体圧バルブを提供する。【解決手段】流体圧サーボ機構に用いられ得る。流体圧バルブは、隣接する第２ハウジング部材より大きな外径を有するように構成されている第１ハウジングに、第１ポート６１ａ、第２ポート６１ｂ、及び第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路と、第１周回流路を画定する第１壁、第２壁、第３壁、及び第４壁の少なくとも一つを、中心軸Ｃに沿う軸方向において湾曲するように構成することにより、開弁時に第１ポート６１ａから湾曲面を通って第２ポート６１ｂに流れ込む作動流体の圧力損失を低減する。【選択図】図４

Description

本開示は、流体圧バルブに関する。本開示は、より具体的には、流体圧サーボ機構において用いられる流体圧バルブに関する。

航空機の舵面などの様々な物体の位置や姿勢を制御するために流体圧サーボ機構が用いられている。流体圧サーボ機構は、制御対象の物体を駆動するための流体圧アクチュエータと、当該流体圧アクチュエータへの作動流体の流れを制御するための流体圧バルブと、を備える。流体圧アクチュエータは、ピストンにより区画された一対の流体圧室を有する。流体圧アクチュエータは、流体圧バルブの弁体の位置に応じて当該一対の流体圧室の一方へ作動流体が供給され他方の流体圧室から作動流体が排出されることにより作動される。

従来の流体圧バルブは、例えば、特開平６−１４４３８５号公報及び特開２０１６−０６８８８９号公報に開示されている。同公報に記載されているように、従来の流体圧バルブは、中空のハウジングと、当該ハウジング内において２つのポート間の流路を遮断するための弁体と、を備えている。この２つのポート間の流路は、ハウジング内に嵌め込まれたリング状のバルブシート支持体、及び、当該バルブシート支持体内に嵌め込まれたバルブシートにより画定されている。弁体は、閉弁位置においてバルブシートの開口を閉塞することにより２つのポート間の連通を遮断し、他方、開弁位置においてバルブシートから離間することにより２つのポート間を連通させるように構成されている。

特開平６−１４４３８５号公報 特開２０１６−０６８８８９号公報

従来の流体圧バルブにおいては、ハウジングの内部に設けられたバルブシート支持体及びバルブシートによりポート間の流路が画定されている。このため、従来の流体圧バルブにおいては、流路を画定するための部材の厚みに応じて、その径方向の寸法が大型化するという問題がある。流路を画定するための部材は、作動流体から作用する流体圧に耐えられる構造的強度を持たなければならないため、肉厚に構成されることが多い。また、従来の流体圧バルブにおいては、バルブシート支持体とハウジングとの間及びバルブシート支持体とバルブシートとの間に、作動流体のリークを防止するためのシール部材が設けられる。このシール部材も流体圧バルブの径方向の寸法を大きくする原因となる。

このように、従来の流体圧バルブにおいては、バルブシート支持体及びバルブシートを用いて２つのポート間の流路を画定しているため、ハウジングの径方向寸法を小型化することが難しいという問題がある。

本開示の目的の一つは、上記の問題の少なくとも一部を緩和又は解消することである。本開示の具体的な目的の一つは、ハウジングの径方向における大型化を抑制可能な流体圧バルブを提供することである。本開示のこれ以外の目的は、本明細書全体を通じて明らかとなる。

本発明の一態様による流体圧バルブは、第１ポート、第２ポート、及び当該第１ポートと当該第２ポートとを接続する流路を有するように一体形成されたハウジング部材を有するハウジングを備える。

当該流体圧バルブにおいては、第１ポートと第２ポートとを接続する流路が一体形成されたハウジングにより画定されているため、当該流路を画定するためにハウジングと別の部材（例えば、バルブシート支持体）を設ける必要がない。また、第１ポートと第２ポートとを接続する流路が一体形成されたハウジングにより画定されているため、作動流体のリークを防止するためのシール部材を設ける必要がない。このように、上記態様により、流体圧バルブのハウジングの径方向の大型化を抑制することができる。

本発明の一態様による流体圧バルブにおいて、前記ハウジングは、その軸方向に延在する第１ハウジング部分と、第１ハウジング部分と前記軸方向において隣接しており前記第１ハウジング部分よりも小さな外径を有するように形成された第２ハウジング部分と、を有しており、前記第１ポート、前記第２ポート、及び前記流路は、前記第１ハウジング部分に形成されている。

当該流体圧バルブによれば、ハウジングは、第１ポートと第２ポートとを接続する流路が形成されていない第２ハウジング部分の外径が小さくなるように形成される。これにより、第２ハウジング部分において、ハウジングの径方向の大型化を抑制できる。

本発明の一態様による流体圧バルブは、前記流路を開閉する弁体をさらに備えている。本発明の一態様において、前記ハウジングは、その軸方向において前記弁体と対向する位置にバルブシートを有しており、前記弁体は、前記ハウジングの軸方向に移動可能に設けられ、閉止位置において前記バルブシートに当接することにより前記流路を閉塞するように構成されている。

当該流体圧バルブによれば、弁体とハウジングに形成されたバルブシートとが当接することにより、別部材のバルブシートを設けなくとも、流路を閉鎖することができる。

本発明の一態様による流体圧バルブにおいて、前記弁体は、その径が前記バルブシートの径よりも大きくなるように形成されている。

当該流体圧バルブによれば、弁体がハウジングのバルブシートに接触することにより、別体のバルブシートを設けなくとも、第１ポートと第２ポートとの間の流路を閉鎖することができる。

本発明の一態様による流体圧バルブにおいて、前記ハウジングに作動流体の流れを整流する突起が形成されている。

当該流体圧バルブによれば、バルブシートに設けられた突起によって作動流体を整流することができる。これによって、作動流体の流れの最適化を図ることができる。

本発明の一態様による流体圧バルブにおいては、前記前記弁体の前記バルブシートと対向する端面に作動流体の流れを整流する突起が形成されている。

当該流体圧バルブによれば、弁体に設けられた突起によって作動流体の流れを整流することができる。これによって、作動流体の流れの最適化を図ることができる。

本発明の一態様による流体圧バルブにおいて、前記流路は、前記ハウジングの周方向に延伸する周回流路を有し、前記周回流路の断面は、前記ハウジングの径方向における寸法が前記ハウジングの軸方向における寸法よりも小さい。

当該流体圧バルブによれば、ハウジングの径方向において流路の周回流路の寸法を小さくすることができる。これにより、ハウジングの径方向の大型化が抑制される。

本発明の一態様による流体圧バルブにおいて、前記周回流路は、前記第１ポートに接続されており、前記周回流路の前記第１ポートから遠位にある第１の位置における流路断面積が、当該第１の位置よりも前記第１ポートの近位にある第２の位置における流路断面積よりも小さくなるように形成されている。

当該流体圧バルブによれば、第１ポートから流入する作動流体を、第１ポートから遠位にある位置へも導きやすい。よって、弁体の開弁時に、第１ポートから流れ込んだ作動流体の流れを均一化することができる。

本発明の一態様による流体圧バルブにおいて、前記ハウジングは、前記周回流路は、その流路断面の少なくとも一部が湾曲面で形成されている。

当該流体圧バルブによれば、作動流体は、開弁時に湾曲面を通って周回流路から流れ出す。これにより、作動流体の圧力損失を低減することができる。このため、ハウジングの小型化が可能となる。

本発明の一態様による流体圧サーボ機構は、一組の流体圧室を有する流体圧アクチュエータと、ハウジングを有し、前記一組の流体圧室のうちの少なくとも一方と連絡流路を介して連通する流体圧バルブと、を備える。当該流体圧式サーボ機構において、前記連絡流路の少なくとも一部は、前記ハウジングの外表面に沿って延伸している。

当該流体圧式サーボ機構によれば、流体圧アクチュエータと流体圧バルブとを接続する連絡流路の長さの短縮化を図ることができる。例えば、流体圧アクチュエータに形成されたポートと流体圧バルブに形成されたポートとを隣接して配置することにより、当該ポート間を接続する連絡流路の長さを短縮化できる。

本発明の各実施形態によれば、流体圧バルブのハウジングの径方向における大型化を抑制できる。

本発明の一実施形態による流体圧バルブが用いられるサーボ機構を模式的に示す図である。 本発明の一実施形態による流体圧バルブが実装されたマニホールドを概略的に示す斜視図である。 本発明の一実施形態による流体圧バルブを図２のＡ−Ａ線で切断した断面を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施形態による流体圧バルブを図３のＢ−Ｂ線で切断した断面を模式的に示す断面図である。 ポート間の流路について説明するための図３の流体圧バルブの拡大断面図である。図５においては、ポート間の流路が開放されている。 流体圧バルブのハウジングの一部の断面を模式的に示す断面図である。 図３の流体圧バルブの一部を拡大して示す拡大断面図である。図５においては、ポート間の流路が弁体により閉止されている。 図３の流体圧バルブの一部を拡大して示す拡大断面図である。図６においては、ポート間の流路が弁体により開放されている。 本発明の別の実施形態による流体圧バルブの断面図である。 本発明のさらに別の実施形態による流体圧バルブの断面図である。 本発明のさらに別の実施形態による流体圧バルブに用いられる弁体の模式的な斜視図である。

以下、添付の図面を適宜参照し、本発明の様々な実施形態を説明する。各図面において共通する構成要素に対しては同一の参照符号が付されている。各図面は、説明の便宜上、必ずしも正確な縮尺で記載されているとは限らない点に留意されたい。

本発明は、少なくとも２つのポートを有する流体圧バルブに適用され得る。図１を参照して、本発明の一態様による流体圧バルブが用いられるサーボ機構について説明する。

図１は、本発明の一態様による流体圧バルブ５を備える流体圧サーボ機構１を示している。流体圧サーボ機構１は、アクチュエータ８を作動させることにより航空機の舵面１Ａを駆動する舵面駆動機構である。流体圧サーボ機構１は、本発明による流体圧バルブが用いられるサーボ機構の一例である。本発明による流体圧バルブは、舵面駆動機構以外にも様々なサーボ機構において用いられ得る。

流体圧サーボ機構１は、舵面１Ａを駆動させるためのアクチュエータ８と、アクチュエータ８に作動流体を供給する流体圧源２と、アクチュエータ８から排出された作動流体を貯留するリザーバ３と、制御バルブ４と、流体圧バルブ５と、を備える。

舵面１Ａは、例えば、補助翼（エルロン）、方向舵（ラダー）、及び昇降舵（エレベータ）などの主操縦翼面、又は、フラップ及びスポイラーなどの二次操縦翼面である。

図示の実施形態において、アクチュエータ８は、例えば油圧式アクチュエータである。アクチュエータ８は、圧油以外の作動液体により作動される液圧式アクチュエータ、圧縮空気により作動される空気圧式アクチュエータ、及びこれら以外の作動流体により作動される任意の流体圧式アクチュエータであってもよい。流体圧サーボ機構１は、複数のアクチュエータを備えてもよい。

アクチュエータ８は、中空のシリンダ１３内に設けられたピストン８ｃにより、第１流体圧室８ａ及び第２流体圧室８ｂに区画される。アクチュエータ８のシリンダ１３は、その長手方向の一方が開口し他方が閉塞するように構成されている。ピストン８ａには、ピストンロッド８ｂが接続されている。ピストンロッド８ｂは、その一部がシリンダ１３の外部に突出している。

制御バルブ４は、例えばソレノイドバルブである。制御バルブ４は、流体圧源２及びリザーバ３とアクチュエータ８との間に配されており、流体圧源２から第１流体圧室８ａ及び第２流体圧室８ｂへの作動流体の供給、及び、第１流体圧室８ａ及び第２流体圧室８ｂからリザーバ３への作動流体の排出を制御する。制御バルブ４は、流路１２ａにより流体圧源２に接続され、流路１２ｂによりリザーバ３に接続され、流路１１ｄによりアクチュエータ８の第１流体圧室８ａに接続されている。制御バルブ４は、電磁コイルと、可動コイルと、を有しており、コントローラ１０から入力される制御信号に基づいて電磁コイルを励磁し、この励磁された電磁コイルから生じる磁束により可動コアを変位させることで、各流体圧室８ａ，８ｂへ連通する圧油の経路を切り替え可能に構成される。具体的には、制御バルブ４は、第１流体圧室８ａに油を供給し、第２流体圧室８ｂから油を排出する第１連通位置４Ｘ、第１流体圧室８ａから油を排出し、第２流体圧室８ｂに油を供給する第２連通位置４Ｙ、及び、各流体圧室８ａ，８ｂへの油の供給及び各流体圧室８ａ，８ｂからの油の排出を遮断する遮断位置４Ｚに切り替え可能である。

流体圧バルブ５は、制御バルブ４と流路１１ａにより接続され、アクチュエータ８の第２流体圧室８ｂと流路１１ｂにより接続され、流体圧源２と流路１１ｃにより接続され、リザーバ３と流路１１ｅにより接続されている。流体圧バルブ５は、チェックバルブ６と、リリーフバルブ７と、を備えている。チェックバルブ６は、第２流体圧室８ｂと制御バルブ４とを連通する連通位置６Ｘ、及び、第２流体圧室８ｂと制御バルブ４との連通を遮断する遮断位置６Ｙに切り替え可能である。チェックバルブ６は、流体圧源２から流路１１ｃを介して流体圧（パイロット圧）が供給されているときには、連通位置６Ｘに設定される。リリーフバルブ７は、アクチュエータ８の第２流体圧室８ｂの液圧が規定値以上となったときにリザーバ３に作動流体を排出するように構成されている。チェックバルブ６には、遮断位置６Ｙに設定されたときにチェックバルブ６に形成される閉鎖流路からパイロット圧を取り出すための補助流路１１ｆが設けられている。

アクチュエータ８は、ピストン８ｃの位置を検出する位置センサ９を備えてもよい。この位置センサ９は、例えば、線形可変差動変圧器（ＬＶＤＴ）である。

コントローラ１０は、各種の演算処理を行うプロセッサと、各種プログラム及び各種データを格納するメモリと、位置センサ９及びこれ以外の機器と接続される機器インタフェースと、を備える。コントローラ１０は、制御バルブ４に制御パルスを出力することで制御バルブ４を切り替えることができる。コントローラ１０は、位置センサ９からの検知信号に基づいてピストン８ｃの位置を特定し、特定されたピストン８ｃの位置に基づいて、舵面１Ａの位置が航空機の飛行状態に応じた目標位置となるようにフィードバック制御を行うことができる。

流体圧サーボ機構１の動作について説明する。流体圧源２からの流体圧がパイロット圧として流体圧バルブ５に供給され、これにより、流体圧バルブ５が連通位置６Ｘとなる。

コントローラ１０からの制御信号に基づいて制御バルブ４が第１連通位置４Ｘに設定されたときには、流体圧源２の作動流体が制御バルブ４を介して第１流体圧室８ａに供給され、第２流体圧室８ｂの作動流体が流体圧バルブ５及び制御バルブ４を介してリザーバ３に排出される。これにより、第１流体圧室８ａが膨張し、第２流体圧室８ｂが収縮するため、舵面１Ａが上側に移動する。

コントローラ１０からの制御信号に基づいて制御バルブ４が第２連通位置４Ｙに設定されたときには、流体圧源２の油が制御バルブ４及び流体圧バルブ５を介して第２流体圧室８ｂに供給され、第１流体圧室８ａの油が制御バルブ４を介してリザーバ３に排出される。これにより、第２流体圧室８ｂが膨張し、第１流体圧室８ａが収縮するため、舵面１Ａが下側に移動する。

次に、図２を参照して、流体圧バルブ５及びアクチュエータ８が実装されたマニホールドについて説明する。図２は、流体圧バルブ５及びアクチュエータ８がが実装されるマニホールド２０を模式的に示す斜視図である。マニホールド２０には、流体圧バルブ５、アクチュエータ８、及びこれら以外の様々な流体圧装置が実装される。

図示のように、マニホールド２０は、流体圧バルブ５の外殻となるハウジング５１と、アクチュエータ８のシリンダ１３と、制御バルブ４が接続されるジョイント４ａと、流路１１ａ〜１１ｆ及び流路１２ａ，１２ｂと、を備える。流路１１ｄ，流路１２ａ、及び流路１２ｂは、シリンダ１３の裏側に設けられているため、図２では描かれていない。制御バルブ４は、例えばボルトを用いて、ジョイント４ａを介してマニホールド２０に取り付けられる。マニホールド２０には、制御バルブ４以外にも、アクチュエータ８及び／又は流体圧バルブ５と協働する様々な部材が取り付けられ得る。

マニホールド２０は、その全体、その主要部、又はその一部を一体として形成してもよい。例えば、流体バルブ５のハウジング５１とアクチュエータ８のシリンダ１３とが一体に形成されてもよい。

流路１１ａ〜１１ｆ及び流路１２ａ，１２ｂの各々の一部又は全部は、アクチュエータ８のシリンダ１３の外表面に沿って延伸するように形成されてもよい。図示の実施形態において、流路１１ａは、ジョイント４ａから流体圧バルブ５のハウジング５１までシリンダ１３の外表面に沿って延伸しており、流路１１ｂはシリンダ１３に形成された第２流体圧室８ｂと連通するポート（不図示）から流体圧バルブ５までシリンダ１３に沿って延伸している。

本発明の一態様において、マニホールド２０は、各種金属材料又は各種樹脂材料から積層造形法により形成される。マニホールド２０用の金属材料として、チタン、アルミニウム、ニッケル、コバルト、クロム、ステンレス鋼、及びこれら以外の積層造形法に適した各種金属材料が用いられ得る。マニホールド２０用の樹脂材料として、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルケトンケトン（ＰＥＫＫ）、ポリエーテルケトンエーテルケトンケトン（ＰＥＫＥＫＫ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリスルホン（ＰＳＵ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリフタルアミド（ＰＰＡ）、及びこれら以外の積層造形法に適した各種樹脂材料が用いられ得る。

本発明に適用可能な積層造形法として、直接金属レーザー溶融法（ＤＭＬＭ）、直接金属レーザー焼結法（ＤＭＬＳ）、選択的レーザー焼結法（ＳＬＳ）、選択的レーザー溶融法（ＳＬＭ）、電子ビーム溶融法（ＥＢＭ）、熱溶解積層法（ＦＤＭ）、光造形法、熱溶解積層法、粉末固着法、前記以外の当業者に知られている積層造形法、又はこれらを組合せたプロセスが用いられ得る。

上述したマニホールド２０は例示であり、マニホールド２０の形状、製造方法、配置、及びその他の特徴は、本明細書で明示的に説明された態様には限定されない。例えば、図示の実施形態においては、アクチュエータ８と流体圧バルブ５とは、それぞれの長手方向が互いに平行になるように配置されているが、アクチュエータ８の長手方向と流体圧バルブ５の長手方向とは平行でなくとも構わない。

流体圧サーボ機構１の構成部材を上記のマニホールド２０に実装することにより、流体圧アクチュエータ８と流体圧バルブ５とを接続する流路１１ｂの長さの短縮化を図ることができる。例えば、流体圧アクチュエータ８に形成されたポート（不図示）と流体圧バルブ５に形成されたポート（後述する第１ポート６１ａ）とを隣接して配置することにより、流路１１ｂの長さを短縮化できる。

次に、図３及び図４を参照して、本発明の一実施形態による流体圧バルブ５についてさらに説明する。図３は、図２に示されている流体圧バルブ５をＡ−Ａ線で切断した断面を模式的に示す断面図であり、図４は、当該流体圧バルブを図３のＢ−Ｂ線で切断した断面を模式的に示す断面図である。

これらの図に示されているように、流体圧バルブ５は、筐体となるハウジング５１を備えている。ハウジング５１は、中心軸Ｃの方向に伸びる筒状に形成されている。ハウジング５１には、中心軸Ｃに沿ってその内部を貫通する内部空間が形成されている。

本明細書においては、中心軸Ｃに沿う方向がハウジング５１の長手方向とされ、中心軸Ｃを通り中心軸Ｃに垂直な方向がハウジング５１の径方向とされることがある。

ハウジング５１は、中心軸Ｃに沿う第２方向Ｗ２側の端部から第１方向Ｗ１側の端部に向かって、ハウジング部材５１ａ、ハウジング部材５１ｂ、ハウジング部材５１ｃ、及びハウジング部材５１ｄを有する。各ハウジング部材は、中心軸Ｃ方向に延在している。ハウジング部材５１ｃは、隣接するハウジング部材５１ｂ及びハウジング部材５１ｄのいずれよりも大きな外径を有するように構成されている。

ハウジング５１は、その全体が一体形成されていてもよい。ハウジング５１は、その構成要素の一部分が一体形成されていてもよい。ハウジング５１は、別体として形成された複数の単位部材を、例えばボルト締結、溶接、又はそれ以外の接合方法で接合することにより構成されてもよい。本発明の一実施形態において、ハウジング５１のうちハウジング部材５１ｃは、その全体が一体形成される。本明細書において、ハウジング又はハウジング部材が「一体形成」されている場合には、当該ハウジング又はハウジング部材は、単一の連続体であり、複数の部分に分離可能な複合体ではないことを意味する。したがって、一体形成されたハウジング及び一体形成されたハウジング部材には、複数の部分の境界となる接合面は存在しない。したがって、ハウジング５１全体が一体形成されている場合には、当該ハウジング５１は単一の連続体である。ハウジング部材５１ｃが一体成形されている場合には、当該ハウジング部材５１ｃは単一の連続体である。ハウジング５１は、ハウジング部材５１ａ、ハウジング部材５１ｂ、ハウジング部材５１ｃ、及びハウジング部材５１ｄの４つの部材をそれぞれ一体形成し、このように一体形成された各ハウジング部材を隣接するハウジング部材と接合することにより作製されてもよい。

ハウジング５１には、その内部空間と外部とを連通する複数のポートが形成されている。図示の実施形態においては、第２流体圧室８ｂに連通する第１ポート６１ａ、制御バルブ４に連通する第２ポート６１ｂ、及び流体圧源２に連通する第３ポート６１ｃが示されている。ハウジング５１には、図示されているポート以外にも、リザーバ３に連通する排出用ポート及び補助油路１１ｆに連通する補助油路用ポートが形成されているが、図４においてはこれらの図示は省略されている。リザーバ３に連通する排出用ポートは、例えば第２ポート６１ｂと第３ポート６１ｃとの間に設けられる。補助油路１１ｆに連通する補助油路用ポートは、例えば第３ポート６１ｃよりも第１方向Ｗ１側に形成される。

ハウジング５１の内部空間には、キャップ５２、弁体５３、ロッド５５、スライダ５７、プランジャ５８、プラグ５９、及びこれら以外の流体圧バルブ５の構成部材が収容されている。

キャップ５２は、ハウジング５１の第２方向Ｗ２側の端部に取り付けられている。キャップ５２は、ハウジング５１の第２方向Ｗ２側の端部の開口を閉塞している。図示の実施形態では、キャップ５２は、キャップ基部５２ａと、キャップ基部５２ａから第１方向Ｗ１へ延伸する円筒形状のキャップスリーブ５２ｂと、を有している。キャップ基部５２ａの外周面には雄ねじが形成されている。キャップ５２は、この雄ねじがハウジング部材５１ａの内周面に形成された雌ねじと螺合され、キャップスリーブ５２ｂがハウジング部材５１ｂに内側から嵌め合わされることにより、ハウジング５１に取り付けられている。キャップ基部５２ａには中心軸Ｃ方向に凹んでいる第１凹部５２ｃが形成されており、キャップスリーブ５２ｂには、第１凹部５２ｃよりも大径の第２凹部５２ｄが形成されている。

弁体５３は、弁体ヘッド５３ａと、この弁体ヘッド５３ａから第２方向Ｗ２へ延伸する弁体基部５３ｂと、を有する。弁体５３は、弁体基部５３ｂの先端がキャップ５２の第１凹部５２ｃ及び第２凹部５２ｄに収容されるように設けられている。弁体ヘッド５３ａは、円柱形状に形成されており、ハウジング部材５１ｃの内側に嵌め合わされている。図示の実施形態において、弁体ヘッド５３ａの第１方向Ｗ１を向いている端面５３ｃは、中心軸Ｃと垂直な方向に延伸する平坦な形状を有している。弁体５３は、中心軸Ｃに沿って摺動可能に設けられる。

弁体５３は、中心軸Ｃに沿った閉止位置において、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとの間の流路を遮断するように構成及び配置される。図４には、閉止位置にある弁体５３が示されている。

キャップ５２のキャップスリーブ５２ｂには、押圧ばね５４が設けられている。押圧ばね５４は、キャップ５２の第２凹部５２ｄの底面と弁体ヘッド５３ａとの間に配されており、弁体ヘッド５３ａを第１方向Ｗ１に向かって付勢する。

スライダ５７は、ハウジング５１において第２ポート６１ｂと第３ポート６１ｃとの間に、ハウジング５１に対して中心軸Ｃ方向において摺動可能に設けられている。スライダ５７は、キャップ５２側（第２方向Ｗ２側）に開口するカップ状に形成されている。スライダ５７の内側には、ロッド５５が設けられている。ロッド５５は、円盤形状に形成されたロッド基部５５ａと、このロッド基部５５ａからキャップ５２側（第２方向Ｗ２側）に延伸するロッド本体５５ｂと、を有する。ロッド５５は、ロッド基部５５ａを介してスライダ５７に取り付けられている。ロッド本体５５ｂの先端（第２方向Ｗ２側の端）は、弁体５３に接触している。ロッド基部５５ａと、ハウジング５１の内壁との間には、押圧ばね５６が設けられている。押圧ばね５６は、ロッド基部５５ａをプラグ５９側（第１方向Ｗ１側）に付勢する。スライダ５７は、第３ポート６１ｃから供給されるパイロット圧により、中心軸Ｃに沿って第２方向Ｗ２へ移動することができる。スライダ５７の第２方向Ｗ２への移動に伴って、ロッド５５も第２方向Ｗ２へ移動する。これにより、ロッド本体５５ｂが弁体５３を第２方向Ｗ２へ押すため、弁体５３も第２方向Ｗ２へ移動する。これにより、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとの間の流路が連通される。このようにして、流体圧シリンダ５に供給されるパイロット圧により、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとの間の流路が連通される。

プラグ５９は、ハウジング５１の第１方向Ｗ１側の端部に取り付けられており、ハウジング５１の第１方向Ｗ１側の端部の開口を閉塞している。

プラグ５９には、プラグ６１側（第２方向Ｗ２側）に開口する凹部が設けられており、この凹部にプランジャ５８が設けられている。プランジャ５８とプラグ５９の凹部との間には内部空間６０ｃが形成されている。プラグ５９には不図示の切り欠きが形成されており、内部空間６０ｃは、この切り欠き及び不図示のポートを介して補助油路１１ｆに連通している。プランジャ５８は、その第２方向Ｗ２側の端面においてスライダ５７と接触するように設けられる。

図示のように、ハウジング５１のハウジング部材５１ｃには、中心軸Ｃの周方向に延伸する第１周回流路６２と、中心軸Ｃ方向において第１周回流路６２から第１方向Ｗ１側に離間した位置に形成されている第２周回流路６８と、が形成されている。第１周回流路６２は、第１ポート６１ａと接続されている。第２周回流路６８は、第２ポート６１ｂと接続されている。

次に、図５をさらに参照して、ハウジング５１内において第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路についてさらに説明する。図５は、流体圧バルブ５のハウジング部材５１ｃの一部を拡大して示す拡大断面図である

図示のように、第１周回流路６２は、その流路断面が概ね方形となるように形成されている。第１周回流路６２は、中心軸Ｃ方向に延伸し、第１ポート６１ａと接続される連通孔が形成された第１壁６２ａと、第１壁６２ａから概ね径方向に延伸する第２壁６２ｂと、第１壁６２ａと対向するように当該第１壁６２ａよりも径方向内側に形成された第３壁６２ｃと、第２壁６２ｂと対向するように中心軸Ｃ方向において当該第２壁６２ｂよりも第１方向Ｗ１側に形成された第４壁６２ｄと、により画定されている。第３壁６２ｃには、作動流体が径方向内側へ流れるための切り欠きが形成されている。本発明の一実施形態において、第１周回流路６２は、その流路断面の径方向における寸法Ｌ１（第１壁６２ａと第３壁６２ｃとの間隔Ｌ１）が中心軸Ｃ方向における寸法Ｌ２（第２壁６２ｂと第４壁６２ｄとの間隔Ｌ２）よりも小さくなるように形成される。

第１周回流路６２と同様に、第２周回流路６８も、その流路断面が概ね方形となるように形成される。第２周回流路６８は、中心軸Ｃ方向に延伸し、第２ポート６２ａと接続される連通孔が形成された第１壁６８ａと、第１壁６８ａから概ね径方向に延伸する第２壁６８ｂと、第１壁６８ａと対向するように当該第１壁６８ａよりも径方向内側に形成された第３壁６８ｃと、第２壁６８ｂと対向するように中心軸Ｃ方向において当該第２壁６８ｂよりも第１方向Ｗ１側に形成された第４壁６８ｄと、により画定されている。第３壁６８ｃには、作動流体が径方向内側へ流れるための切り欠きが形成されている。本発明の一実施形態において、第１周回流路６８は、その流路断面の径方向における寸法Ｌ３（第１壁６８ａと第３壁６８ｃとの間隔Ｌ３）が中心軸Ｃ方向における寸法Ｌ４（第２壁６８ｂと第４壁６８ｄとの間隔Ｌ４）よりも小さくなるように形成される。

第１周回流路６２に関し、第１壁６２ａ、第２壁６２ｂ、第３壁６２ｃ、及び第４壁６２ｄはそれぞれ、中心軸Ｃに沿う軸方向において湾曲していてもよい。第１壁６２ａは、中心軸Ｃと平行に延伸するように形成されてもよいし、中心軸Ｃに沿う軸方向において第３壁６２ｃよりも大きな曲率半径を有する湾曲面であってもよい。これと同様に、第２周回流路６８に関しても、第１壁６８ａ、第２壁６８ｂ、第３壁６８ｃ、及び第４壁６８ｄはそれぞれ、中心軸Ｃに沿う軸方向において湾曲していてもよい。第１壁６８ａは、中心軸Ｃと平行に延伸するように形成されてもよいし、中心軸Ｃに沿う軸方向において第３壁６８ｃよりも大きな曲率半径を有する湾曲面であってもよい。

第１周回流路６２と第２周回流路６８との間には、ハウジング部材５１ｃの一部であるマウント７０が配されている。マウント７０は、ハウジング部材５１ｃと一体形成されている。マウント７０の一部は、第１周回流路６２と第２周回流路６８との間に介在している。マウント７０は、ハウジング５１の径方向の外側から内側に向かって突出するように形成されている。図示の実施形態において、マウント７０は、第１周回流路６２と第２周回流路６８との間の領域から、第１周回流路６２の径方向内側の領域まで延伸している。マウント７０は、第１周回流路６２の第３壁６２ｃに接しているスロープ面７１と、第１スロープ面に接しているシート面７２と、シート面７２に接している筒状面７３と、筒状面７３から第２周回流路６８まで延伸する複数の管状面７４と、を有する。スロープ面７１、シート面７２、筒状面７３、及び複数の管状面７４はいずれも、ハウジング部材５１ｃの内壁の一部である。

スロープ面７１は、中心軸Ｃ周りの周方向、及び、第１周回流路６２の第３壁６２ｃから径方向内側に向かって中心軸Ｃに対して傾いている方向に延伸している。スロープ面７１は、中心軸Ｃ方向において湾曲していてもよい。スロープ面７１と第１周回流路６２の第３壁６２ｃとは湾曲面により接続されていてもよい。

シート面７２は、スロープ面７１の径方向内側の端から概ね径方向に内側に向かって延伸している。シート面７２の中心軸Ｃ付近には開口が形成されている。シート面７２は、弁体５３の端面５３ｃと対向している。シート面７２には、中心軸Ｃ方向において第１方向Ｗ１に向かって凹む凹部７２ａが形成されている。凹部７２ａは、中心軸Ｃ周りの周方向に延伸している。シート面７２の凹部７２ａの径方向外側には外側バルブシート７２ｂが設けられており、シート面７２の凹部７２ａの径方向内側には内側バルブシート７２ｃが設けられている。内側バルブシート７２ｃは、中心軸Ｃの周回方向において延伸するリング形状を有している。この内側バルブシート７２ｃの内周面により、シート面７２の開口が画定される。このように、シート面７２においては、その径方向の外側から内側に向かって、外側バルブシート７２ｂ、凹部７２ａ、及び内側バルブシート７２ｃが形成されている。弁体５３は、弁体ヘッド５３ａが端面５３ｃにおいて内側バルブシート７２ｃと接触することにより、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとの間の流路を遮断する。この流路の遮断を確立するために、弁体５３は、弁体ヘッド５３ａの径が内側バルブシート７２ｃの径よりも大きくなるように形成される。

スロープ面７１には、第１方向Ｗ１に向かって凹んでいる４つの凹部６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄが形成されている。これらの凹部６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄの各々は、中心軸Ｃ周りの周方向において、ほぼ均等な間隔だけ互いから離間した位置に形成されている。凹部６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄの各々は、径方向において、スロープ面７１からシート面７２の外縁まで延伸している。このため、凹部６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄの各々は、凹部７２ａに接続されている。このように形成された凹部６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄにより、図３に示されているように、外側バルブシート７２ｂは４つの部分に分離されている。この外側バルブシート７２ｂの４つの部分の各々は、中心軸Ｃ周りの周方向に約９０°未満延伸している。

筒状面７３は、概ね筒状に形成されており、シート面７２の径方向内側の端から中心軸Ｃに沿って延伸している。筒状面７３は、大径の第１筒状面７３ａと、第１筒状面７３ｂよりも小径の第２筒状面７３ｂと、第１筒状面７３ａと第２筒状面７３ｂとを連結する傾斜面７３ｃと、を有する。

複数の管状面７４の各々は、管状に形成されており、筒状面７３の第１方向Ｗ１側の端から径方向外側に向かって中心軸Ｃに対して傾いている方向に延伸している。管状面の本数は、任意に定め得る。

第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する作動流体の流路６５について、図６をさらに参照して説明する。図６は、図３のＢ−Ｂ線で切断されたハウジング部材５１ｃの断面図を示す。図６においては、流路をより明瞭に示すために、弁体５３、ロッド５５ｂ、及び押圧ばね５６の図示を省略している。

図示のように、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する作動流体の流路６５は、第１周回流路６２、第１流路６５ａ、第２流路６５ｂ、第３流路６５ｃ、及び第２周回流路６８を有する。第１周回流路６２及び第２周回流路６８は、上述のとおり、中心軸Ｃまわりの周方向に延伸している。第１周回流路６２は第１ポート６１ａと連通しており、第２周回流路６８は第１ポート６１ｂと連通している。第１流路６５ａは、第１周回流路６２から径方向内側に向かって延伸している。第１流路６５ａの少なくとも一部は、スロープ面７１及びシート面７２により画定されている。第２流路６５ｂは、筒状面７３により画定されている。第２流路６５ｂは、第１流路６５ａから中心軸Ｃに沿う第１方向Ｗ１に延伸している。第３流路６５ｃは、管状面７４により画定されている。第３流路６５ｃは、第２流路６５ｂと第２周回流路６８とを接続する。この流路６５に、弁体５３及びロッド５５ｂが配置される。

このように、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路６５は、ハウジング５１（図示の実施形態ではハウジング５１ｃ）によって画定されている。よって、流体圧バルブ５においては、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路６５を画定するために、ハウジング５１の内部空間にハウジング５１と別体の部材（例えば、従来技術におけるバルブシート支持体やハウジングとは別体のバルブシート）を設ける必要がない。流路６５には、当該流路６５を開閉するための弁体５３及び当該弁体５３を押すためのロッド５５ｂが配置されているが、これらの部材は、流路６５の開閉のための部材であり、流路６５を画定するための部材ではない。よって、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路６５は、当該流路６５を開閉するための部材以外には、ハウジング５１のみによって画定されるということができる。

図７及び図８を参照して、流体圧バルブ５の弁体５３の開弁動作について説明する。図７及び図８は、流体圧バルブ５のハウジング部材５１ｃ周辺を拡大して示す拡大断面図である。図７においては、弁体５３が閉止位置にあり、図８においては、弁体５３が開放位置にある。

図７に示すように、閉止位置における弁体５３は、その端面５３ｃが４つの外側バルブシート７２ｂの各々及び内側バルブシート７２ｃと接触する閉止位置にある。

弁体５３は、例えば、第３ポート６１ｃを介して流体圧源２からパイロット圧が供給されたときに、図７に示されている閉止位置から、中心軸Ｃに沿う第２方向Ｗ２に向かって、図８に示す開弁位置まで移動する。弁体５３は、開放位置において、外側バルブシート７２ｂ及び内側バルブシート７２ｃから離隔している。このように、弁体５３は、閉止位置から開放位置に移動することができる。弁体５３は、第３ポート６１ｃを介して流体圧源２からパイロット圧が供給されたとき以外にも、パイロット圧未供給時において舵面１Ａが動いたとき、及び弁体５３と第２流体圧室８ｂとの間の閉鎖油路の圧力が規定値より高くなったときに閉止位置から開放位置へ移動することができる。

弁体５３が開放位置へ移動すると、第１周回流路６２に溜まっていた作動流体及び第２流体圧室８ｂから排出された作動流体が、第１流路６５ａ、第２流路６５ｂ、及び第３流路６５ｃを通過して第２周回流路６８に流れ込み、この第２周回流路６８から、第２ポート６１ｂ、流路１１ａ、制御バルブ４、及び流路１２ｂを介してリザーバ３に流れ込む。

上記の流体圧バルブ５によれば、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路６５が、一体形成されたハウジング５１（又はハウジング５１の一部である、一体形成されたハウジング部材５１ｃ）により画定されているため、当該流路６５を画定するためにハウジング５１と別の部材（例えば、従来のバルブシート支持体）を設ける必要がない。また、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路６５が一体形成されたハウジング５１（又はハウジング５１の一部である、一体形成されたハウジング部材５１ｃ）により画定されているため、作動流体のリークを防止するためのシール部材を設ける必要がない。このように、上記実施態様によれば、流体圧バルブ５のハウジング５１の径方向の大型化を抑制することができる。

流体圧バルブ５のハウジング５１においては、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとを接続する流路が形成されているハウジング部材５１ｃ以外のハウジング部材（例えば、ハウジング部材５１ａ、ハウジング部材５１ｂ、及びハウジング部材５１ｄの少なくとも一つ）の外径寸法を、ハウジング部材５１ｃの外径寸法よりも小さくすることができる。これにより、ハウジング部材５１ｃ以外の部分において、ハウジング５１の径方向の大型化をさらに抑制できる。

流体圧バルブ５によれば、弁体５３とハウジング５１に形成された内側バルブシート７２ｃとが当接することにより、別部材のバルブシートを設けなくとも、流路６５を閉鎖することができる。

流体圧バルブ５によれば、弁体５３がハウジング５１の内側バルブシート７２ｃに接触することにより、別体のバルブシートを設けなくとも、第１ポート６１ａと第２ポート６１ｂとの間の流路を閉鎖することができる。

流体圧バルブ５によれば、第１周回流路６２のハウジング５１の径方向における寸法を、その長手方向における寸法よりも小さくすることができる。これにより、ハウジング５１の径方向の大型化がさらに抑制される。

流体圧バルブ５によれば、第１周回流路６２を画定する第１壁６２ａ、第２壁６２ｂ、第３壁６２ｃ、及び第４壁６２ｄの少なくとも一つを、中心軸Ｃに沿う軸方向において湾曲するように構成することをができる。これにより、作動流体は、開弁時に、湾曲面を通って第２流路６５ｂに流れ込む。これにより、第１ポート６１ａから第２ポート６１ｂに流れ込む作動流体の圧力損失を低減することができる。このため、ハウジング５１の小型化が可能となる。

次に、図９を参照して、本発明の別の態様による流体圧バルブについて説明する。図９は、本発明の別の実施形態による流体圧バルブ１０５をＡ−Ａ線に対応する切断線で切断した断面図を示す。流体圧バルブ１０５は、第１周回流路６２に作動流体の流れを整流するための突起が形成されている点で流体圧バルブ５と異なる。

図示のように、流体圧バルブ１０５において、第１周回流路６２には、突起１０６が形成されている。図示の実施形態において、突起１０６は、第１周回流路６２を画定する第４壁６２ｄから、中心軸Ｃに沿って第２方向Ｗ２に向けて突出するように形成されている。突起１０６は、ハウジング５１と一体に形成される。すなわち、突起１０６は、ハウジング５１の一部である。突起１０６は、例えば、第１ポート６１ａと中心軸Ｃ（又は第２流路６５ｂ）を結ぶ仮想線上に配される。

この突起１０６により、第１ポート６１ａから第１周回流路６２に流れ込んだ作動流体は、突起１０６を迂回して又は突起１０６を乗り越えて、第２流路６５ｂに向かうように整流される。これにより、第１ポート６１ａから第２流路６５ｂへ向かう作動流体の流れを、中心軸Ｃ周りの周方向においてより均一化することができる。より具体的には、第１ポート６１ａから真っ直ぐに第２流路６５ｂへ向かう流れが突起１０６によって阻害され、中心軸Ｃ周りの周方向において突起１０６が形成されていない方向から第２流路６５ｂへ向かう流れが促進される。このようにして第１ポート６１ａから第２流路６５ｂへ向かう作動流体の流れを均一化することにより、作動流体からの流圧により弁体５３及びロッド５５ｂが中心軸Ｃに対して傾くことを防止できる。

流体圧バルブ１０５に形成される突起１０６の数、形状、及び配置は、図示された態様には限定されない。例えば、突起１０６は、２個以上形成されてもよい。突起１０６は、第１ポート６１ａと中心軸Ｃを結ぶ仮想線上以外の様々な位置に形成され得る。突起１０６の数、形状、及び配置は、作動流体の流れを最適化する観点又はそれ以外の観点から適宜変更され得る。

次に、図１０を参照して、本発明のさらに別の態様による流体圧バルブについて説明する。図１０は、本発明の別の実施形態による流体圧バルブ１１５をＡ−Ａ線に対応する切断線で切断した断面図を示す。流体圧バルブ１１５には、第１周回流路６２に代えて、第１周回流路１６２が形成されている。

図示のように、第１周回流路１６２は、第１ポート６１ａから遠位にある第１位置Ｐ１における径方向の寸法Ｌ５が、第１ポート６１ａの近位にある第２位置Ｐ２における径方向の寸法Ｌ６よりも大きくなるように形成されている。これにより、第１周回流路１６２の第１位置Ｐ１における流路断面積は、第２位置Ｐ２における流路断面積よりも大きくなる。

図１０に示した実施形態において、ハウジング部材５１ｃは、その第１位置Ｐ１における肉厚が第２位置Ｐ２における肉厚よりも薄くなるように形成されている。このように、ハウジング部材５１ｃの肉厚を第１位置Ｐ１と周方向において第１位置Ｐ１から離間している第２位置Ｐ２とで異ならせることにより、ハウジング部材５１ｃの流路断面積を周方向において異ならせることができる。第１周回流路１６２は、これ以外の方法により形成されてもよい。

上記実施形態によれば、第１ポート６１ａから第１周回流路６２へ流れ込んだ作動流体を、第１周回流路６２において第１ポート６１ａから遠位にある第１位置Ｐ１に誘導しやすくなる。これにより、第１ポート６１ａから第２流路６５ｂへ向かう作動流体の流れを、中心軸Ｃ周りの周方向においてより均一化することができる。よって、作動流体からの流圧により弁体５３及びロッド５５ｂが中心軸Ｃに対して傾くことを防止できる。

次に、図１１を参照して、本発明のさらに別の態様による流体圧バルブに用いられる弁体について説明する。図１１は、本発明のさらに別の実施形態による流体圧バルブに用いられる弁体１５３を模式的に示す斜視図である。弁体１５３は、流体圧バルブ５及びそれ以外の本発明が適用される流体圧バルブにおいて、弁体５３の代わりに用いられ得る。

図示のように、弁体１５３は、弁体ヘッド１５３ａと、この弁体ヘッド１５３ａから延伸する弁体基部１５３ｂと、を有する。弁体１５３が流体圧バルブ５に取り付けられる場合には、弁体基部１５３ｂの先端がキャップ５２の第１凹部５２ｃ及び第２凹部５２ｄに収容される。

弁体１５３の端面１５３ｃには、４つの突起１５４ａ〜１５４ｄが形成されている。突起１５４ａ〜１５４ｄは、弁体１５３の端面１５３ｃから突出している。突起１５４ａ〜１５４ｄは、弁体１５３が流体圧バルブ５に取り付けられた際に、第１周回流路６２内に配置される。弁体１５３は、突起１５４ａ〜１５４ｄのうちの１つが第１ポート６１ａと中心軸Ｃ（又は第２流路６５ｂ）を結ぶ仮想線上に配されるように、流体圧バルブ５に取り付けられてもよい。

突起１５４ａ〜１５４ｄは、第１周回流路６２内に配されることにより、第１周回流路６２内を流れる作動流体を整流することができる。例えば、突起１５４ａ〜１５４ｄのうちの１つを第１ポート６１ａと中心軸Ｃ（又は第２流路６５ｂ）を結ぶ仮想線上に配することにより、第１ポート６１ａから真っ直ぐに第２流路６５ｂへ向かう流れを阻害することができる。これにより、作動流体からの流圧によりロッド５５ｂが中心軸Ｃに対して傾くことを防止できる。

弁体１５３に形成される突起１５４ａ〜１５４ｄの数、形状、及び配置は、図示された態様には限定されない。例えば、弁体１５３には、３つ以下の突起が形成されてもよい。弁体１５３の端面１５３ｃに形成される突起の数、形状、及び配置は、作動流体の流れを最適化する観点又はそれ以外の観点から適宜変更され得る。

本明細書で説明された各構成要素の寸法、材料、及び配置は、実施形態中で明示的に説明されたものに限定されず、この各構成要素は、本発明の範囲に含まれうる任意の寸法、材料、及び配置を有するように変形することができる。また、本明細書において明示的に説明していない構成要素を、説明した実施形態に付加することもできるし、各実施形態において説明した構成要素の一部を省略することもできる。

図１に示されている流体圧サーボ機構１は、本発明が適用可能な流体圧サーボ機構の一例である。流体圧サーボ機構１は、当業者の知識に基づき、その用途に応じて適宜変更され得る。例えば、流体圧サーボ機構１は、本明細書及び添付図面において明示されていない流体圧装置を含むことができる。コントローラ１０で行われる処理及び制御は、複数のコントローラによって分散されて実行されてもよい。

本明細書及び添付図面で明示された流体圧バルブ５，１０５，１１５の構成部材の具体的な形状、配置、機能、及び材料は例示である。本発明の趣旨に反しない限り、流体圧バルブ５，１０５，１１５の各構成部材の形状、配置、機能、及び材料は、適宜変更され得る。

１ 流体圧サーボ機構
５，１０５，１１５ 流体圧バルブ

Claims (10)

1. 第１ポート、第２ポート、及び当該第１ポートと当該第２ポートとを接続する流路を有するように一体形成されたハウジング部材を有するハウジングを備える流体圧バルブ。
2. 前記ハウジングは、その軸方向に延在する第１ハウジング部分と、第１ハウジング部分と前記軸方向において隣接しており前記第１ハウジング部分よりも小さな外径を有するように形成された第２ハウジング部分と、を有しており、
   前記第１ポート、前記第２ポート、及び前記流路は、前記第１ハウジング部分に形成されている、
   請求項１に記載の流体圧バルブ。
3. 前記流路を開閉する弁体をさらに備え、
   前記ハウジングは、その軸方向において前記弁体と対向する位置にバルブシートを有しており、
   前記弁体は、前記ハウジングの軸方向に移動可能に設けられ、閉止位置において前記バルブシートに当接することにより前記流路を閉塞するように構成されている、
   請求項１又は請求項２に記載の流体圧バルブ。
4. 前記弁体は、その径が前記バルブシートの径よりも大きくなるように形成されている、
   請求項３に記載の流体圧バルブ。
5. 前記ハウジングにおいて作動流体の流れを整流する突起が形成されている、請求項４に記載の流体圧バルブ。
6. 前記弁体の前記バルブシートと対向する端面に作動流体の流れを整流する突起が形成されている、請求項４に記載の流体圧バルブ。
7. 前記流路は、前記ハウジングの周方向に延伸する周回流路を有し、
   前記周回流路の断面は、前記ハウジングの径方向における寸法が前記ハウジングの軸方向における寸法よりも小さい、
   請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の流体圧バルブ。
8. 前記周回流路は、前記第１ポートに接続されており、
   前記周回流路の前記第１ポートから遠位にある第１の位置における流路断面積が、当該第１の位置よりも前記第１ポートの近位にある第２の位置における流路断面積よりも小さくなるように形成されている、
   請求項７に記載の流体圧バルブ。
9. 前記周回流路は、その流路断面の少なくとも一部が湾曲面で形成されている、
   請求項８に記載の流体圧バルブ。
10. 一組の流体圧室が画成されたシリンダを有する流体圧アクチュエータと、
    前記一組の流体圧室のうちの一方と連絡流路を介して連通する流体圧バルブと、
    を備え、
    前記連絡流路の少なくとも一部は、前記シリンダの外表面に沿って延伸する、
    流体圧サーボ機構。