JP2018092016A - 光部品 - Google Patents
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Abstract
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について、図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における光部品の構成を示す構成図である。図1では、断面を模式的に示している。この光部品は、基板101の主表面上に形成された光導波路形成層102を備える。光導波路形成層102は、例えば複数の光導波路を備えて光回路が構成されている。例えば、単結晶シリコン(Si)から構成された基板101の上に、ガラス(酸化シリコン)より構成された光導波路形成層102により平面光波回路(PLC)が構成されている。
次に、本発明の実施の形態2について、図7を用いて説明する。図7は、本発明の実施の形態2における光部品の構成を示す構成図である。図7は、断面を模式的に示している。この光部品は、基板101の主表面上に形成された光導波路形成層102を備える。また、光部品は、光導波路形成層102の一部に設けられた発熱部103を備える。また、この光部品は、光導波路形成層102一端に設けられた空間光ビーム入出力部104を備える。
次に、本発明の実施の形態3について、図8を用いて説明する。図8は、本発明の実施の形態3における光部品の構成を示す構成図である。図8は、断面を模式的に示している。この光部品は、基板101の主表面上に形成された光導波路形成層102と、光導波路形成層102の一部に配置された発熱部103と、光導波路形成層102の一端に設けられた空間光ビーム入出力部104とを備える。
次に、本発明の実施の形態4について、図9を用いて説明する。図9は、本発明の実施の形態4における光部品の構成を示す構成図である。図9は、断面を模式的に示している。この光部品は、基板101の主表面上に形成された光導波路形成層102と、光導波路形成層102の一部に配置された発熱部103と、光導波路形成層102の一端に設けられた空間光ビーム入出力部104とを備える。また、実施の形態4における光部品は、空間光ビーム入出力部104と発熱部103との間の基板101の裏面に形成された溝部105を備える。
次に、本発明の実施の形態5について、図10を用いて説明する。図10は、本発明の実施の形態5における光部品の構成を示す構成図である。図10は、断面を模式的に示している。この光部品は、基板101の主表面上に形成された光導波路形成層102と、光導波路形成層102の一部に配置された発熱部103と、光導波路形成層102の一端に設けられた空間光ビーム入出力部104とを備える。また、実施の形態4における光部品は、空間光ビーム入出力部104と発熱部103との間の基板101の裏面に形成された溝部105を備える。
次に、本発明の実施の形態6について、図11を用いて説明する。図11は、本発明の実施の形態6における光部品の構成を示す構成図である。図11は、断面を模式的に示している。この光部品は、基板101aの主表面上に形成された光導波路形成層102と、光導波路形成層102の一部に配置された発熱部103と、光導波路形成層102の一端に設けられた空間光ビーム入出力部104とを備える。また、実施の形態4における光部品は、空間光ビーム入出力部104と発熱部103との間の基板101aの裏面に形成された溝部105を備える。実施の形態6において、基板101aは、実施の形態3における基板101を薄層化している。
次に、本発明の実施の形態7について、図12を用いて説明する。図12は、本発明の実施の形態7における光部品の構成を示す構成図である。図12は、断面を模式的に示している。この光部品は、基板101の主表面上に形成された光導波路形成層102と、光導波路形成層102の一部に配置された発熱部103と、光導波路形成層102の一端に設けられた空間光ビーム入出力部104とを備える。また、実施の形態4における光部品は、空間光ビーム入出力部104と発熱部103との間の基板101の裏面に形成された溝部105を備える。
Claims (7)
- 基板の主表面上に形成された光導波路を備える光導波路形成層と、
前記光導波路形成層の一部に配置された熱を発する発熱部と、
前記光導波路形成層の一端に設けられ、前記光導波路形成層より空間に光ビームを出射し、前記空間からの光ビームを前記光導波路形成層に入射するための空間光ビーム入出力部と、
前記空間光ビーム入出力部と前記発熱部との間の前記基板の裏面に形成された溝部と
を備えることを特徴とする光部品。 - 請求項1記載の光部品において、
前記基板よりも熱伝導率が低い物質から構成されて前記溝部に充填された補強部材を備えることを特徴とする光部品。 - 請求項1または2記載の光部品において、
前記発熱部が形成されている領域における前記基板の裏面に接続する放熱部品を備えることを特徴とする光部品。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光部品において、
前記溝部より空間光ビーム入出力部が配置されている側の前記基板の裏面に接続されて前記基板を保持する保持構造体を備えることを特徴とする光部品。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光部品において、
前記発熱部は、前記光導波路形成層の光導波路の一部を加熱する薄膜ヒータであることを特徴とする光部品。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光部品において、
前記発熱部は、半導体レーザであることを特徴とする光部品。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の光部品において、
前記基板は、単結晶Si、多結晶Si、アモルファスSi、タングステン、タングステンシリサイド、石英、タンタル酸リチウム、窒化アルミニウム、インジウムリン、水晶のいずれかから構成されていることを特徴とする光部品。
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