JP3326761B2 - 周波数可変光源モジュール - Google Patents
周波数可変光源モジュールInfo
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- JP3326761B2 JP3326761B2 JP15829994A JP15829994A JP3326761B2 JP 3326761 B2 JP3326761 B2 JP 3326761B2 JP 15829994 A JP15829994 A JP 15829994A JP 15829994 A JP15829994 A JP 15829994A JP 3326761 B2 JP3326761 B2 JP 3326761B2
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- waveguide
- optical
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- Semiconductor Lasers (AREA)
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の光信号を異なる
光周波数に割り当て1本の光ファイバで伝送する光周波
数分割多重(FDM)あるいは光波長多重(WDM)伝
送システム等で必要な光周波数可変光源モジュールに関
するものである。
光周波数に割り当て1本の光ファイバで伝送する光周波
数分割多重(FDM)あるいは光波長多重(WDM)伝
送システム等で必要な光周波数可変光源モジュールに関
するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】光周波
数/波長多重技術は、光ファイバ1本あたりの伝送容量
を大幅に増大するための技術として期待されている。ま
た最近では、光周波数毎に光信号の行き先を指定する光
周波数ルーティングへの適用も検討されている。このよ
うな、FDM/WDMを用いた光伝送システムを実現す
るためには、システムで必要となる特定の光周波数で安
定に発振する光周波数安定化光源、さらには、システム
で必要な光周波数のうちの任意の1つを選択的に発振で
きる光周波数可変光源が必要である。しかも、これらの
光源はアレイ化されていることが望ましい。
数/波長多重技術は、光ファイバ1本あたりの伝送容量
を大幅に増大するための技術として期待されている。ま
た最近では、光周波数毎に光信号の行き先を指定する光
周波数ルーティングへの適用も検討されている。このよ
うな、FDM/WDMを用いた光伝送システムを実現す
るためには、システムで必要となる特定の光周波数で安
定に発振する光周波数安定化光源、さらには、システム
で必要な光周波数のうちの任意の1つを選択的に発振で
きる光周波数可変光源が必要である。しかも、これらの
光源はアレイ化されていることが望ましい。
【0003】従来、光周波数可変光源としては、図6に
示すような回折格子を外付けにした外部共振器付半導体
レーザ、または、図7に示すようにレーザ共振器部に回
折格子と複数の電極を設けた多電極DBRレーザ、等が
検討されている。これらは、半導体レーザ共振器部での
回折条件を変化させることによりレーザ共振器中での共
振光周波数、すなわち、発振光周波数を可変にするもの
である。
示すような回折格子を外付けにした外部共振器付半導体
レーザ、または、図7に示すようにレーザ共振器部に回
折格子と複数の電極を設けた多電極DBRレーザ、等が
検討されている。これらは、半導体レーザ共振器部での
回折条件を変化させることによりレーザ共振器中での共
振光周波数、すなわち、発振光周波数を可変にするもの
である。
【0004】図6において、20はファブリペロ型レー
ザ(FP−LD)であり、その片方の端面には反射防止
膜20aが設けられている。100は外部共振器部であ
り、この例では、外部共振器部100は光ファイバ4
0、レンズ50、回折格子60で構成されており、FP
−LDの出力端20aと回折格子60との間で共振器が
形成される。回折格子60が有する光周波数選択機能に
より、回折格子60の回折条件を満たす特定の光周波数
f1 の光のみがこの共振器中を往復することになるの
で、FP−LDからの出力光の光周波数はf1 に安定化
される。この外部共振器付LDは、回折格子60の傾き
を変えて回折条件を満足する光周波数を変化させること
により、その発振波長を変化させることができる。
ザ(FP−LD)であり、その片方の端面には反射防止
膜20aが設けられている。100は外部共振器部であ
り、この例では、外部共振器部100は光ファイバ4
0、レンズ50、回折格子60で構成されており、FP
−LDの出力端20aと回折格子60との間で共振器が
形成される。回折格子60が有する光周波数選択機能に
より、回折格子60の回折条件を満たす特定の光周波数
f1 の光のみがこの共振器中を往復することになるの
で、FP−LDからの出力光の光周波数はf1 に安定化
される。この外部共振器付LDは、回折格子60の傾き
を変えて回折条件を満足する光周波数を変化させること
により、その発振波長を変化させることができる。
【0005】しかしながら、このような外部共振器付L
Dにおいては、レンズおよび回折格子を使用しているた
めに、アレイ化を図ることが困難である。さらに、LD
の発振周波数を変えるためには、回折格子60を回転し
て回折条件をかえる必要がある。この回折格子60の角
度を変えるには、機械的に行わなければならない。これ
に加えて、FDMシステム等で必要となる特定の離散的
な光周波数に発振周波数を精度よく合わせるためには、
回折格子の回転機構にきわめて高い精度が要求されるこ
ととなる。このために、この光源全体が大型化すること
はさけられない。
Dにおいては、レンズおよび回折格子を使用しているた
めに、アレイ化を図ることが困難である。さらに、LD
の発振周波数を変えるためには、回折格子60を回転し
て回折条件をかえる必要がある。この回折格子60の角
度を変えるには、機械的に行わなければならない。これ
に加えて、FDMシステム等で必要となる特定の離散的
な光周波数に発振周波数を精度よく合わせるためには、
回折格子の回転機構にきわめて高い精度が要求されるこ
ととなる。このために、この光源全体が大型化すること
はさけられない。
【0006】図7は3電極DBRレーザを示したもので
ある。同図中で21aは発振領域、21bは位相調整領
域、21cはDBR領域である。DBR領域21cには
回折格子が形成されてあるので、回折条件を満たす光周
波数のみが、レーザ出力端20aとDBR領域21c間
に形成される共振器中を往復することになるので、単一
周波数でのレーザ発振が実現される。そして、DBR領
域21c上に設けられた電極22c、および、位相調整
領域21b上に設けられた電極22bとに電流を流し
て、各々、DBR領域21cおよび位相調整領域21b
の屈折率を変化させることにより、共振器における回折
条件を変化させて、発振周波数を可変にすることが出来
る。
ある。同図中で21aは発振領域、21bは位相調整領
域、21cはDBR領域である。DBR領域21cには
回折格子が形成されてあるので、回折条件を満たす光周
波数のみが、レーザ出力端20aとDBR領域21c間
に形成される共振器中を往復することになるので、単一
周波数でのレーザ発振が実現される。そして、DBR領
域21c上に設けられた電極22c、および、位相調整
領域21b上に設けられた電極22bとに電流を流し
て、各々、DBR領域21cおよび位相調整領域21b
の屈折率を変化させることにより、共振器における回折
条件を変化させて、発振周波数を可変にすることが出来
る。
【0007】このような3電極DBRレーザでは発振周
波数を変化させるために、複数電極の電流を変化させる
必要がある。このために、発振周波数をある領域で掃引
するような使い方に対しては、3電極DBRレーザは効
果を発揮する。
波数を変化させるために、複数電極の電流を変化させる
必要がある。このために、発振周波数をある領域で掃引
するような使い方に対しては、3電極DBRレーザは効
果を発揮する。
【0008】しかしながら、FDMシステムでは、連続
的に光周波数を変化させるよりも、特定の離散的な光周
波数間(例えば、f1 ,f2 ,f3 ,f4 )では発振周
波数切り替えが必要とされる。このような場合には、多
電極型LDでは、2箇所の電極の電流値を最適値に設定
するために複雑な電気制御系が必要となるという問題が
ある。
的に光周波数を変化させるよりも、特定の離散的な光周
波数間(例えば、f1 ,f2 ,f3 ,f4 )では発振周
波数切り替えが必要とされる。このような場合には、多
電極型LDでは、2箇所の電極の電流値を最適値に設定
するために複雑な電気制御系が必要となるという問題が
ある。
【0009】さらに、このレーザでは、発振周波数を変
化させるために各領域の屈折率変化を利用している。こ
のことは、温度変動により各領域の屈折率変化が発生し
てもレーザの発振周波数が変動することを意味してい
る。一般に、レーザを構成する半導体材料の屈折率は比
較的大きな温度依存性を有する。したがって、このよう
なレーザにおいては、発振周波数の温度安定性が悪いと
いう問題がある。
化させるために各領域の屈折率変化を利用している。こ
のことは、温度変動により各領域の屈折率変化が発生し
てもレーザの発振周波数が変動することを意味してい
る。一般に、レーザを構成する半導体材料の屈折率は比
較的大きな温度依存性を有する。したがって、このよう
なレーザにおいては、発振周波数の温度安定性が悪いと
いう問題がある。
【0010】以上説明したように従来の光周波数可変光
源は、レーザに単一の共振機部を設けて、この共振器部
での回折条件を変化させることにより、発振光周波数を
可変にするものであった。この為、発振周波数をある範
囲で掃引するのは容易であるが、特定の光周波数値に精
度よく設定することが容易ではないこと、また、発振周
波数の温度安定性が悪い、という問題が生じた。
源は、レーザに単一の共振機部を設けて、この共振器部
での回折条件を変化させることにより、発振光周波数を
可変にするものであった。この為、発振周波数をある範
囲で掃引するのは容易であるが、特定の光周波数値に精
度よく設定することが容易ではないこと、また、発振周
波数の温度安定性が悪い、という問題が生じた。
【0011】本発明の目的は、上記の問題点を解決し、
発振光周波数を所定の値に設定することが容易で、か
つ、その光周波数安定性に優れ、さらに、アレイ化も容
易な光周波数可変光源モジュールを提供することにあ
る。
発振光周波数を所定の値に設定することが容易で、か
つ、その光周波数安定性に優れ、さらに、アレイ化も容
易な光周波数可変光源モジュールを提供することにあ
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の課題を達成するた
めに、本発明に係る請求項1の周波数可変光源モジュー
ルの構成は、共振器部と該共振器部の入力導波路の各々
に光接続された半導体レーザとで構成されるモジュール
であって、上記共振器部は、1本以上の入力導波路と、
該入力導波路から受光する第1のスラブ導波路と、該第
1のスラブ導波路から受光し、かつ、所定の導波路長差
が順次長くなる複数本の導波路からなる導波路アレイ
と、該導波路アレイから受光する第2のスラブ導波路
と、該第2のスラブ導波路から受光する2本以上の出力
導波路とを含むアレイ導波路格子と、該アレイ導波路格
子の出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路と、で構
成され、複数個の前記半導体レーザからなる半導体レー
ザアレイブロックを、複数個備え、 複数個の前記光スイ
ッチ回路からなる反射ポートブロックを、前記半導体レ
ーザブロックと同数備え、 前記半導体レーザアレイブロ
ックと前記反射ポートブロックとが一対一対応して共振
器を形成することを特徴とする。
めに、本発明に係る請求項1の周波数可変光源モジュー
ルの構成は、共振器部と該共振器部の入力導波路の各々
に光接続された半導体レーザとで構成されるモジュール
であって、上記共振器部は、1本以上の入力導波路と、
該入力導波路から受光する第1のスラブ導波路と、該第
1のスラブ導波路から受光し、かつ、所定の導波路長差
が順次長くなる複数本の導波路からなる導波路アレイ
と、該導波路アレイから受光する第2のスラブ導波路
と、該第2のスラブ導波路から受光する2本以上の出力
導波路とを含むアレイ導波路格子と、該アレイ導波路格
子の出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路と、で構
成され、複数個の前記半導体レーザからなる半導体レー
ザアレイブロックを、複数個備え、 複数個の前記光スイ
ッチ回路からなる反射ポートブロックを、前記半導体レ
ーザブロックと同数備え、 前記半導体レーザアレイブロ
ックと前記反射ポートブロックとが一対一対応して共振
器を形成することを特徴とする。
【0013】また、[請求項2]の発明は、共振器部と
該共振器部の入力導波路の各々に光接続された半導体レ
ーザとで構成されるモジュールであって、 上記共振器部
は、 1本以上の入力導波路と、該入力導波路から受光す
る第1のスラブ導波路と、該第1のスラブ導波路から受
光し、かつ、所定の導波路長差が順次長くなる複数本の
導波路からなる導波路アレイと、該導波路アレイから受
光する第2のスラブ導波路と、該第2のスラブ導波路か
ら受光する2本以上の出力導波路とを含むアレイ導波路
格子と、 該アレイ導波路格子の出力導波路の各々に設け
た光スイッチ回路と、で構成され、 複数個の前記光スイ
ッチ回路からなる反射ポートブロックを、前記半導体レ
ーザと同数備え、 前記半導体レーザと前記反射ポートブ
ロックとが一対一対応して共振器を形成することを特徴
とする。
該共振器部の入力導波路の各々に光接続された半導体レ
ーザとで構成されるモジュールであって、 上記共振器部
は、 1本以上の入力導波路と、該入力導波路から受光す
る第1のスラブ導波路と、該第1のスラブ導波路から受
光し、かつ、所定の導波路長差が順次長くなる複数本の
導波路からなる導波路アレイと、該導波路アレイから受
光する第2のスラブ導波路と、該第2のスラブ導波路か
ら受光する2本以上の出力導波路とを含むアレイ導波路
格子と、 該アレイ導波路格子の出力導波路の各々に設け
た光スイッチ回路と、で構成され、 複数個の前記光スイ
ッチ回路からなる反射ポートブロックを、前記半導体レ
ーザと同数備え、 前記半導体レーザと前記反射ポートブ
ロックとが一対一対応して共振器を形成することを特徴
とする。
【0014】[請求項3]の発明は、上記[請求項1]
又は[請求項2]の周波数可変光源モジュールにおい
て、前記アレイ導波路格子を石英系光導波路を用いて形
成してもよい。 [請求項4]の発明は、上記[請求項1]又は[請求項
2]の 周波数可変光源モジュールにおいて、前記の出力
導波路の各々に設けた光スイッチ回路が、光の透過およ
び不透過の2つの状態を実現する光ゲート部と、その端
部に設けた反射部とで構成されていてもよい。[請求項5]の発明は、上記[請求項1]又は[請求項
2]の周波数可変光源モジュールにおいて、前記出力導
波路端部の各々に設けた光スイッチ回路が、2本の光路
を選択する1×2光スイッチ部と、該2本の光路のうち
一方の光路端部には反射部を設け、他方の光路端部には
無反射部または光吸収部を設けていてもよい。
又は[請求項2]の周波数可変光源モジュールにおい
て、前記アレイ導波路格子を石英系光導波路を用いて形
成してもよい。 [請求項4]の発明は、上記[請求項1]又は[請求項
2]の 周波数可変光源モジュールにおいて、前記の出力
導波路の各々に設けた光スイッチ回路が、光の透過およ
び不透過の2つの状態を実現する光ゲート部と、その端
部に設けた反射部とで構成されていてもよい。[請求項5]の発明は、上記[請求項1]又は[請求項
2]の周波数可変光源モジュールにおいて、前記出力導
波路端部の各々に設けた光スイッチ回路が、2本の光路
を選択する1×2光スイッチ部と、該2本の光路のうち
一方の光路端部には反射部を設け、他方の光路端部には
無反射部または光吸収部を設けていてもよい。
【0015】[請求項6]の発明は、共振器部と該共振
器部の入力導波路の各々に光接続された半導体レーザと
で構成され、 上記共振器部は、 1本以上の入力導波路
と、該入力導波路から受光する第1のスラブ導波路と、
該第1のスラブ導波路から受光し、かつ、所定の導波路
長差が順次長くなる複数本の導波路からなる導波路アレ
イと、該導波路アレイから受光する第2のスラブ導波路
と、該第2のスラブ導波路から受光する2本以上の出力
導波路とを含むアレイ導波路格子と、 該アレイ導波路格
子の出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路と、 で構
成される周波数可変光源モジュールにおいて、 上記出力
導波路の各々に設けた光スイッチ回路は、2本の光路を
選択する1×2光スイッチ部と、該2本の光路のうち一
方の光路端部には反射部を設け、他方の光路端部には無
反射部または光吸収部を設けたことを特徴とする。
器部の入力導波路の各々に光接続された半導体レーザと
で構成され、 上記共振器部は、 1本以上の入力導波路
と、該入力導波路から受光する第1のスラブ導波路と、
該第1のスラブ導波路から受光し、かつ、所定の導波路
長差が順次長くなる複数本の導波路からなる導波路アレ
イと、該導波路アレイから受光する第2のスラブ導波路
と、該第2のスラブ導波路から受光する2本以上の出力
導波路とを含むアレイ導波路格子と、 該アレイ導波路格
子の出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路と、 で構
成される周波数可変光源モジュールにおいて、 上記出力
導波路の各々に設けた光スイッチ回路は、2本の光路を
選択する1×2光スイッチ部と、該2本の光路のうち一
方の光路端部には反射部を設け、他方の光路端部には無
反射部または光吸収部を設けたことを特徴とする。
【0016】
【作用】請求項1記載の発明は、LD共振器部にアレイ
導波路格子で規定される複数の共振経路を設けておき、
共振器部の光スイッチ回路によりこの共振経路を切り替
えることにより、LDの発振光周波数を切り替えること
ができる。このため、光スイッチ回路のオン/オフ操作
のみで、発振光周波数を所定の値に精度良く、かつ、簡
便に設定することが可能となった。
導波路格子で規定される複数の共振経路を設けておき、
共振器部の光スイッチ回路によりこの共振経路を切り替
えることにより、LDの発振光周波数を切り替えること
ができる。このため、光スイッチ回路のオン/オフ操作
のみで、発振光周波数を所定の値に精度良く、かつ、簡
便に設定することが可能となった。
【0017】請求項2記載の発明によれば、共振器部の
アレイ導波路格子を石英系光導波路で形成した。石英系
光導波路屈折率の温度変化は極めて小さいので、アレイ
格子で規定される共振光周波数は環境温度の変化に対し
て安定である。このために、光周波数可変で、しかも、
周波数安定性に優れた光周波数可変光源モジュールの実
現が可能となる。
アレイ導波路格子を石英系光導波路で形成した。石英系
光導波路屈折率の温度変化は極めて小さいので、アレイ
格子で規定される共振光周波数は環境温度の変化に対し
て安定である。このために、光周波数可変で、しかも、
周波数安定性に優れた光周波数可変光源モジュールの実
現が可能となる。
【0018】請求項3記載の発明によれば、光スイッチ
回路を光ゲートと反射部とで構成するので、例えば半導
体光ゲートスイッチ等を用いて光スイッチ回路部構成の
単純化が可能となる。
回路を光ゲートと反射部とで構成するので、例えば半導
体光ゲートスイッチ等を用いて光スイッチ回路部構成の
単純化が可能となる。
【0019】請求項4記載の発明によれば、光スイッチ
回路を、例えば、石英系光導波路のようなパッシブ光導
波路のみで構成することが可能となる。
回路を、例えば、石英系光導波路のようなパッシブ光導
波路のみで構成することが可能となる。
【0020】
【実施例】以下、本発明に係る周波数可変モジュールの
好適な実施例を説明する。
好適な実施例を説明する。
【0021】[実施例1]図1は、本発明の周波数可変
光源モジュールの第1の実施例の構成を示す概略平面図
である。本発明は、N本の入力導波路とM本の出力導波
路とを持つアレイ導波路格子と、そのN本の入力導波路
の各々に光接続されたN個の半導体レーザと、アレイ格
子のM本の出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路と
で構成する周波数可変光源モジュールであるが[ただ
し、NおよびMは正の整数]、図1に示す第1の実施例
では、N=4,M=4の場合を示している。
光源モジュールの第1の実施例の構成を示す概略平面図
である。本発明は、N本の入力導波路とM本の出力導波
路とを持つアレイ導波路格子と、そのN本の入力導波路
の各々に光接続されたN個の半導体レーザと、アレイ格
子のM本の出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路と
で構成する周波数可変光源モジュールであるが[ただ
し、NおよびMは正の整数]、図1に示す第1の実施例
では、N=4,M=4の場合を示している。
【0022】図1に示すように、本実施例の周波数可変
光源モジュールの構成は、1本以上の入力導波路11
と、該入力導波路11から受光する第1のスラブ光波路
12と、該第1のスラブ光波路12から受光し、かつ、
所定の導波路長差が順次長くなる複数本の導波路からな
る導波路アレイ13と、該導波路アレイ13から受光す
る第2のスラブ導波路14と、該第2のスラブ導波路1
4から受光する2本以上の出力導波路15と、を含むア
レイ導波路格子100を第1の構成要素とし、該アレイ
導波路格子100の出力導波路の各々に設けた光スイッ
チ回路300を第2の構成要素とする共振器部を有し、
その共振器部の入力導波路11の各々には、半導体レー
ザアレイ200が光結合しているものである。
光源モジュールの構成は、1本以上の入力導波路11
と、該入力導波路11から受光する第1のスラブ光波路
12と、該第1のスラブ光波路12から受光し、かつ、
所定の導波路長差が順次長くなる複数本の導波路からな
る導波路アレイ13と、該導波路アレイ13から受光す
る第2のスラブ導波路14と、該第2のスラブ導波路1
4から受光する2本以上の出力導波路15と、を含むア
レイ導波路格子100を第1の構成要素とし、該アレイ
導波路格子100の出力導波路の各々に設けた光スイッ
チ回路300を第2の構成要素とする共振器部を有し、
その共振器部の入力導波路11の各々には、半導体レー
ザアレイ200が光結合しているものである。
【0023】図1中、100はアレイ導波路格子、20
0は半導体レーザアレイ、300は共振経路選択用の光
スイッチ回路である。ここで、アレイ導波路格子100
において、11は4本の入力導波路群、12は第1のス
ラブ導波路、13は導波路長差ΔLを有する導波路アレ
イ、14は第2のスラブ導波路、15は第2のスラブ導
波路14からつながる4本の出力導波路群である。半導
体レーザアレイ200は、4アレイのファブリペロ型レ
ーザ(FP−LD)アレイであり、4つの活性層21
(#1〜#4)は、アレイ導波路格子の4本の入力導波
路群と各々光結合している。この際、導波路−レーザ接
続部での端面反射を防止するために、入力導波路端面、
および、導波路側のレーザ端面21aには無反射処理が
施されている。一方、レーザ端面21bは通常の壁界面
であり共振器の一方の反射面として機能している。光ス
イッチ回路300は、4アレイFP−LDの両端面に無
反射処理を施した構造の半導体光ゲートアレイ(SG)
30、結合導波路32および反射ミラー33とで構成し
ている。上記半導体光ゲートアレイ(SG)30の4つ
の活性層31(#1〜#4)は、アレイ導波路格子10
0の4本の出力導波路群15と各々光結合している。な
お、SG−導波路間での反射を防止するために、出力導
波路15および結合導波路32のSGとの結合端面には
無反射処理が施されている。
0は半導体レーザアレイ、300は共振経路選択用の光
スイッチ回路である。ここで、アレイ導波路格子100
において、11は4本の入力導波路群、12は第1のス
ラブ導波路、13は導波路長差ΔLを有する導波路アレ
イ、14は第2のスラブ導波路、15は第2のスラブ導
波路14からつながる4本の出力導波路群である。半導
体レーザアレイ200は、4アレイのファブリペロ型レ
ーザ(FP−LD)アレイであり、4つの活性層21
(#1〜#4)は、アレイ導波路格子の4本の入力導波
路群と各々光結合している。この際、導波路−レーザ接
続部での端面反射を防止するために、入力導波路端面、
および、導波路側のレーザ端面21aには無反射処理が
施されている。一方、レーザ端面21bは通常の壁界面
であり共振器の一方の反射面として機能している。光ス
イッチ回路300は、4アレイFP−LDの両端面に無
反射処理を施した構造の半導体光ゲートアレイ(SG)
30、結合導波路32および反射ミラー33とで構成し
ている。上記半導体光ゲートアレイ(SG)30の4つ
の活性層31(#1〜#4)は、アレイ導波路格子10
0の4本の出力導波路群15と各々光結合している。な
お、SG−導波路間での反射を防止するために、出力導
波路15および結合導波路32のSGとの結合端面には
無反射処理が施されている。
【0024】本実施例では、上述した3つの構成要素、
すなわち、アレイ導波路格子100、半導体レーザアレ
イ200、光スイッチ回路300ともに同一基板101
上に形成してある。
すなわち、アレイ導波路格子100、半導体レーザアレ
イ200、光スイッチ回路300ともに同一基板101
上に形成してある。
【0025】具体的には、基板101としてシリコン基
板を用い、この上に石英系光導波路を形成した。この石
英系光導波路は、アレイ導波路格子100の全体および
光スイッチ回路300の結合導波路32を構成する。こ
の石英系光導波路に光素子搭載部を設け、この上に4ア
レイのファブリペロ型レーザ(FP−LD)200およ
びスイッチ回路300を構成するSG30がハイブリッ
ド光集積されている。
板を用い、この上に石英系光導波路を形成した。この石
英系光導波路は、アレイ導波路格子100の全体および
光スイッチ回路300の結合導波路32を構成する。こ
の石英系光導波路に光素子搭載部を設け、この上に4ア
レイのファブリペロ型レーザ(FP−LD)200およ
びスイッチ回路300を構成するSG30がハイブリッ
ド光集積されている。
【0026】次に、本実施例を基に、本発明の原理を説
明する。FP−LDアレイの#1が発振する場合を考え
る。この光は、入力導波路群11の#1から第1のスラ
ブ導波路12に入射して回折により広がり、その回折面
に対して垂直に配置された導波路アレイ13により受光
される。上記導波路アレイ13は、各導波路が導波路長
差ΔLで順次長くなっているので、各導波路を伝搬して
第2のスラブ導波路14に到達した光には導波路長差Δ
Lに対応する位相差が生じている。この位相差は光周波
数により異なるので、第2のスラブ導波路14のレンズ
効果により出力導波路群15の入力端に集光する際に、
光周波数毎に異なる導波路に集光することになる。すな
わち、アレイ導波路格子100は、光周波数分波器とし
て動作する。
明する。FP−LDアレイの#1が発振する場合を考え
る。この光は、入力導波路群11の#1から第1のスラ
ブ導波路12に入射して回折により広がり、その回折面
に対して垂直に配置された導波路アレイ13により受光
される。上記導波路アレイ13は、各導波路が導波路長
差ΔLで順次長くなっているので、各導波路を伝搬して
第2のスラブ導波路14に到達した光には導波路長差Δ
Lに対応する位相差が生じている。この位相差は光周波
数により異なるので、第2のスラブ導波路14のレンズ
効果により出力導波路群15の入力端に集光する際に、
光周波数毎に異なる導波路に集光することになる。すな
わち、アレイ導波路格子100は、光周波数分波器とし
て動作する。
【0027】この結果、ファブリペロ型レーザ(FP−
LD)からの発振光は、その光周波数成分毎に異なる出
力導波路15に入射する。すなわち、出力導波路15#
1には、周波数f1 を中心とする光が入射する。同様
に、出力導波路15#2にはf 2 、#3にはf3 、#4
にはf4 が各々結合する。この時、特定の光ゲートのみ
をオン状態(光透過状態)として、残りのポートの光ゲ
ートをオフ状態(光吸収状態)に設定すれば、光ゲート
をオンにしたポートに対応する光周波数のみが光スイッ
チ回路の反射ミラーで反射され、アレイ導波路格子を経
てファブリペロ型レーザ(FP−LD)200に戻され
る。
LD)からの発振光は、その光周波数成分毎に異なる出
力導波路15に入射する。すなわち、出力導波路15#
1には、周波数f1 を中心とする光が入射する。同様
に、出力導波路15#2にはf 2 、#3にはf3 、#4
にはf4 が各々結合する。この時、特定の光ゲートのみ
をオン状態(光透過状態)として、残りのポートの光ゲ
ートをオフ状態(光吸収状態)に設定すれば、光ゲート
をオンにしたポートに対応する光周波数のみが光スイッ
チ回路の反射ミラーで反射され、アレイ導波路格子を経
てファブリペロ型レーザ(FP−LD)200に戻され
る。
【0028】例えば、光ゲートアレイ30のポート#1
をオン状態とすれば、モジュール中には(FP−LD)
200のポート#1の高反射端面21bと、出力導波路
15のポート#1端部の反射ミラー33との間に共振器
が形成される。この共振器にはアレイ導波路格子100
の分波特性によってきまる周波数f1 の光のみが存在す
る。この結果、ファブリペロ型レーザ(FP−LD)2
00の#1ポートはf 1 の光周波数で発振する。つぎ
に、光ゲートアレイ30のポート#1をオフ状態にしポ
ート#3をオン状態にすれば、ファブリペロ型レーザ
(FP−LD)200のポート#1の高反射端面21b
と、出力導波路15のポート#3端部の反射ミラー33
との間に共振器が形成される。この共振器中には光周波
数f3 の光が往復するので、ファブリペロ型レーザ(F
P−LD)200の#3ポートは、f3 で発振すること
になる。
をオン状態とすれば、モジュール中には(FP−LD)
200のポート#1の高反射端面21bと、出力導波路
15のポート#1端部の反射ミラー33との間に共振器
が形成される。この共振器にはアレイ導波路格子100
の分波特性によってきまる周波数f1 の光のみが存在す
る。この結果、ファブリペロ型レーザ(FP−LD)2
00の#1ポートはf 1 の光周波数で発振する。つぎ
に、光ゲートアレイ30のポート#1をオフ状態にしポ
ート#3をオン状態にすれば、ファブリペロ型レーザ
(FP−LD)200のポート#1の高反射端面21b
と、出力導波路15のポート#3端部の反射ミラー33
との間に共振器が形成される。この共振器中には光周波
数f3 の光が往復するので、ファブリペロ型レーザ(F
P−LD)200の#3ポートは、f3 で発振すること
になる。
【0029】ファブリペロ型レーザ(FP−LD)20
0の#2ポートが発振する場合には、アレイ導波路格子
の分波特性により、出力導波路15のポート#1にはf
2 が結合し、以下上記と同様に、ポート#2にはf3 、
#3にはf4 、ポート#4にはf5 が結合する。したが
って、出力導波路15のポート#1の光ゲートアレイ3
0をオンにすれば、ファブリペロ型レーザ(FP−L
D)200のポート#2はf2 で発振することになる。
0の#2ポートが発振する場合には、アレイ導波路格子
の分波特性により、出力導波路15のポート#1にはf
2 が結合し、以下上記と同様に、ポート#2にはf3 、
#3にはf4 、ポート#4にはf5 が結合する。したが
って、出力導波路15のポート#1の光ゲートアレイ3
0をオンにすれば、ファブリペロ型レーザ(FP−L
D)200のポート#2はf2 で発振することになる。
【0030】このような原理により、4アレイFP−L
Dの各ポートの発振周波数は、光ゲートによりモジュー
ル中での共振経路を再構成することにより、アレイ導波
路格子で規定される光周波数群の中から任意に選択する
ことができる。下記「表1」に、この共振器部に設けた
共振経路とFP−LDアレイ各ポートの発振周波数との
関係をまとめる。
Dの各ポートの発振周波数は、光ゲートによりモジュー
ル中での共振経路を再構成することにより、アレイ導波
路格子で規定される光周波数群の中から任意に選択する
ことができる。下記「表1」に、この共振器部に設けた
共振経路とFP−LDアレイ各ポートの発振周波数との
関係をまとめる。
【0031】
【表1】
【0032】以上のように本発明によれば、反射ポート
の光ゲートのオン/オフにより共振器部での共振経路を
再構成するだけで、LDアレイの発振周波数を、アレイ
導波路格子で規定される光周波数群の中から任意に設定
することが出来る。
の光ゲートのオン/オフにより共振器部での共振経路を
再構成するだけで、LDアレイの発振周波数を、アレイ
導波路格子で規定される光周波数群の中から任意に設定
することが出来る。
【0033】さらに、本実施例のようにアレイ導波路格
子を石英系光導波路を用いて製作した場合、石英系光導
波路の屈折率の環境温度による変動は極めて小さいの
で、「表1」の各共振経路中を往復する光周波数の安定
性は極めて高い。このために、本発明の周波数可変光源
モジュールでは高い周波数安定性が実現できる。
子を石英系光導波路を用いて製作した場合、石英系光導
波路の屈折率の環境温度による変動は極めて小さいの
で、「表1」の各共振経路中を往復する光周波数の安定
性は極めて高い。このために、本発明の周波数可変光源
モジュールでは高い周波数安定性が実現できる。
【0034】[実施例2]図2は、本発明の第2の実施
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。実施例1との違いは、共振経路選
択用の光スイッチ回路部300の構造を簡略化するとと
もに、モジュール規模を16アレイLD−16反射ポー
トに拡大したことにある。すなわち、光スイッチ回路部
は、光ゲート30の片端面の反射率を高くして、この面
を反射ミラー33として用いている。
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。実施例1との違いは、共振経路選
択用の光スイッチ回路部300の構造を簡略化するとと
もに、モジュール規模を16アレイLD−16反射ポー
トに拡大したことにある。すなわち、光スイッチ回路部
は、光ゲート30の片端面の反射率を高くして、この面
を反射ミラー33として用いている。
【0035】16LDアレイおよび16反射ポートは、
各々4アレイずつのブロックとなっている。すなわち、
LDアレイの第1ブロックは、LD#1〜#4までであ
り、これらのLDから発振した周波数f1からf7まで
の光は、反射ポートの第4ブロックのポート#13〜#
16のみに到達するようにアレイ導波路格子100を設
計してある。以下同様に、LDアレイ第2ブロックのL
D#5〜#8と反射ポート第3ブロックのポート#9〜
#12、LDアレイ第3ブロック#9〜#12と反射ポ
ート第2ブロック#5〜#8、LDアレイ第4ブロック
#13〜#16と反射ポート第1ブロック#13〜#1
6とが対応関係にある。すなわち、このモジュールは、
機能的には実施例1の4アレイ−4反射ポート構成のモ
ジュールが4段並列に並んだ構造をしている。
各々4アレイずつのブロックとなっている。すなわち、
LDアレイの第1ブロックは、LD#1〜#4までであ
り、これらのLDから発振した周波数f1からf7まで
の光は、反射ポートの第4ブロックのポート#13〜#
16のみに到達するようにアレイ導波路格子100を設
計してある。以下同様に、LDアレイ第2ブロックのL
D#5〜#8と反射ポート第3ブロックのポート#9〜
#12、LDアレイ第3ブロック#9〜#12と反射ポ
ート第2ブロック#5〜#8、LDアレイ第4ブロック
#13〜#16と反射ポート第1ブロック#13〜#1
6とが対応関係にある。すなわち、このモジュールは、
機能的には実施例1の4アレイ−4反射ポート構成のモ
ジュールが4段並列に並んだ構造をしている。
【0036】したがってこのモジュールにおいては、駆
動するLDと反射ポートとの組合せにより、下記「表
2」の発振周波数が任意に得られる。例えば、LDアレ
イとして、各ブロックの第1番目のLD、すなわち、#
1,#5,#9,#13を選べば、各LDともに周波数
f1〜f4のうちの任意の周波数のうちの1つが選択で
きる。したがって、この時のモジュールは、f1〜f4
光周波数を自由に選択できるLDアレイモジュールとし
て機能する。同様に、各ブロックの3番目のLD(#
3,#4,#11,#15)を選択すれば、これらは、
光周波数f3〜f6の光周波数の任意の組合せで発振で
きるLDアレイとして機能する。
動するLDと反射ポートとの組合せにより、下記「表
2」の発振周波数が任意に得られる。例えば、LDアレ
イとして、各ブロックの第1番目のLD、すなわち、#
1,#5,#9,#13を選べば、各LDともに周波数
f1〜f4のうちの任意の周波数のうちの1つが選択で
きる。したがって、この時のモジュールは、f1〜f4
光周波数を自由に選択できるLDアレイモジュールとし
て機能する。同様に、各ブロックの3番目のLD(#
3,#4,#11,#15)を選択すれば、これらは、
光周波数f3〜f6の光周波数の任意の組合せで発振で
きるLDアレイとして機能する。
【0037】
【表2】
【0038】[実施例3]図3は、本発明の第3の実施
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。本実施例は実施例2の構造を簡略
化したものである。すなわち、実施例2では各ブロック
から選択するLDを変えることにより、f1〜f4の4
周波数だけではなく、例えば、f3〜f6の4周波数で
発振するLDアレイが形成できたが、本実施例ではアレ
イ導波路格子の入力導波路の本数を減らして、実施例2
における#1,#5,#9,#13の4本の入力導波路
で構成した4LDアレイ−16反射ポートの構成であ
る。この場合には発振周波数はf1〜f4の4波に限定
されるが、これらの任意の組合せでのLD発振が可能と
なった。
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。本実施例は実施例2の構造を簡略
化したものである。すなわち、実施例2では各ブロック
から選択するLDを変えることにより、f1〜f4の4
周波数だけではなく、例えば、f3〜f6の4周波数で
発振するLDアレイが形成できたが、本実施例ではアレ
イ導波路格子の入力導波路の本数を減らして、実施例2
における#1,#5,#9,#13の4本の入力導波路
で構成した4LDアレイ−16反射ポートの構成であ
る。この場合には発振周波数はf1〜f4の4波に限定
されるが、これらの任意の組合せでのLD発振が可能と
なった。
【0039】[実施例4]図4は、本発明の第4の実施
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。本実施例と、実施例1〜3の違い
は、共振経路選択用光スイッチ回路部300の構成にあ
る。すなわち、実施例1〜3では、共振経路選択用光ス
イッチ回路300は、その出力導波路端部15に半導体
光ゲートアレイ30素子を搭載したハイブリッド構成を
とっていた。これに対して、本実施例の光スイッチは、
出力導波路途中に、マッハ−ツェンダ(MZ)干渉回路
型の1×2光路切り替えスイッチ34を形成し、その一
方の導波路15の端に反射ミラー33を設け、他方の導
波路15の端は無反射処理を施してある。1×2光路切
り替えスイッチ34においては、MZ干渉回路の一方の
腕に薄膜ヒータ35を設け、ヒータ加熱によるガラスの
熱光学効果による屈折率変化を利用してスイッチング動
作が実現されている。このような1×2光路切り替えス
イッチ構成とすることにより、光スイッチ回路部をすべ
てパッシブ光導波路を用いて形成することが可能とな
る。
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。本実施例と、実施例1〜3の違い
は、共振経路選択用光スイッチ回路部300の構成にあ
る。すなわち、実施例1〜3では、共振経路選択用光ス
イッチ回路300は、その出力導波路端部15に半導体
光ゲートアレイ30素子を搭載したハイブリッド構成を
とっていた。これに対して、本実施例の光スイッチは、
出力導波路途中に、マッハ−ツェンダ(MZ)干渉回路
型の1×2光路切り替えスイッチ34を形成し、その一
方の導波路15の端に反射ミラー33を設け、他方の導
波路15の端は無反射処理を施してある。1×2光路切
り替えスイッチ34においては、MZ干渉回路の一方の
腕に薄膜ヒータ35を設け、ヒータ加熱によるガラスの
熱光学効果による屈折率変化を利用してスイッチング動
作が実現されている。このような1×2光路切り替えス
イッチ構成とすることにより、光スイッチ回路部をすべ
てパッシブ光導波路を用いて形成することが可能とな
る。
【0040】[実施例5]図5は、本発明の第5の実施
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。本実施例と実施例1〜4までとの
違いは、実施例1〜4ではファブリペロ型レーザ(FP
−LD)200アレイはパッシブ光導波路基板上にハイ
ブリッド集積した構成であったのに対して、本実施例で
は、LDアレイ部200、アレイ導波路格子部100お
よび反射ポート選択光スイッチ部300を、それぞれ別
の独立した基板101A〜101Cで形成し、これらの
間を光ファイバ40で接続したことにある。このような
構成とする光モジュール全体が大きくなってしまうが、
より簡便に所望の機能が実現できる。
例の構成図であり、実施例1と同一部材には同符号を付
して説明は省略する。本実施例と実施例1〜4までとの
違いは、実施例1〜4ではファブリペロ型レーザ(FP
−LD)200アレイはパッシブ光導波路基板上にハイ
ブリッド集積した構成であったのに対して、本実施例で
は、LDアレイ部200、アレイ導波路格子部100お
よび反射ポート選択光スイッチ部300を、それぞれ別
の独立した基板101A〜101Cで形成し、これらの
間を光ファイバ40で接続したことにある。このような
構成とする光モジュール全体が大きくなってしまうが、
より簡便に所望の機能が実現できる。
【0041】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明したが、本発明は前記実施例の構成に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更
し得ることはいうまでもない。例えば、光導波路は上記
実施例では、石英系光導波路を用いていたが、例えば、
ポリイミド導波路等の高分子導波路を用いても実現可能
である。また、InP系の半導体光集積回路を用いて
も、光周波数安定化の性能は石英系光導波路アレイ格子
を用いたものより劣るものの、光周波数可変機能につい
ては同様の性能が期待できる。
明したが、本発明は前記実施例の構成に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更
し得ることはいうまでもない。例えば、光導波路は上記
実施例では、石英系光導波路を用いていたが、例えば、
ポリイミド導波路等の高分子導波路を用いても実現可能
である。また、InP系の半導体光集積回路を用いて
も、光周波数安定化の性能は石英系光導波路アレイ格子
を用いたものより劣るものの、光周波数可変機能につい
ては同様の性能が期待できる。
【0042】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、LD
の共振器に複数の共振経路をあらかじめ設けておき、こ
の共振経路を選択することにより発振周波数を離散的に
変化できる光周波数可変光源アレイモジュールが実現で
きる。このモジュールにおいては、LDアレイの各ポー
トの発振周波数が、共振経路を選択するためのスイッチ
操作のみで離散的な光周波数のうち任意のものを選択で
きるので、FDM伝送システム等で必要となる特定の発
振周波数を精度よく発振できる。
の共振器に複数の共振経路をあらかじめ設けておき、こ
の共振経路を選択することにより発振周波数を離散的に
変化できる光周波数可変光源アレイモジュールが実現で
きる。このモジュールにおいては、LDアレイの各ポー
トの発振周波数が、共振経路を選択するためのスイッチ
操作のみで離散的な光周波数のうち任意のものを選択で
きるので、FDM伝送システム等で必要となる特定の発
振周波数を精度よく発振できる。
【0043】また、共振器部に屈折率の温度係数の小さ
な材料(例えば、石英系光導波路)を用いることによ
り、その発振周波数の高い安定性も得られる。
な材料(例えば、石英系光導波路)を用いることによ
り、その発振周波数の高い安定性も得られる。
【0044】また、光スイッチ回路を光ゲートと反射部
とで構成することにより、例えば半導体光ゲートスイッ
チ等を用いて光スイッチ回路部構成の単純化が可能とな
る。
とで構成することにより、例えば半導体光ゲートスイッ
チ等を用いて光スイッチ回路部構成の単純化が可能とな
る。
【0045】また、光スイッチ回路を、例えば、石英系
光導波路のようなパッシブ光導波路のみで構成すること
が可能となる。
光導波路のようなパッシブ光導波路のみで構成すること
が可能となる。
【0046】さらに、LDアレイ部、アレイ導波路格子
部および反射ポート選択光スイッチ部を、それぞれ別の
独立した基板で形成し、これらの間を光ファイバで接続
することにより、より簡便に所望の機能が実現できる。
部および反射ポート選択光スイッチ部を、それぞれ別の
独立した基板で形成し、これらの間を光ファイバで接続
することにより、より簡便に所望の機能が実現できる。
【図1】本発明の第1の実施例である光周波数可変光源
モジュールの構成図である。
モジュールの構成図である。
【図2】本発明の第2の実施例である光周波数可変光源
モジュールの構成図である。
モジュールの構成図である。
【図3】本発明の第3の実施例である光周波数可変光源
モジュールの構成図である。
モジュールの構成図である。
【図4】本発明の第4の実施例の説明図である。
【図5】本発明の第5の実施例の説明図である。
【図6】従来技術の説明図である。
【図7】従来技術の説明図である。
100 アレイ導波路格子 101,101A〜101C 基板 11 入力導波路 12 第1のスラブ導波路 13 導波路長差ΔLを有する導波路アレイ 14 第2のスラブ導波路 15 出力導波路 200 ファブリペロ型レーザ(FP−LD) 21 活性層 21a 無反射処理を施したFP−LDの端面 300 共振経路選択用光スイッチ回路部 30 光ゲートアレイ 31 光ゲートアレイの活性層 32 結合導波路 33 無反射処理した光ゲート端面 34 MZ干渉系型1×2光スイッチ 35 薄膜ヒータ 40 光ファイバ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−252475(JP,A) 特開 平6−85374(JP,A) 特開 平1−199487(JP,A) 特開 平5−323246(JP,A) 特開 平6−3556(JP,A) Electronics Lette rs,1994年,30[9],p.701−702 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 5/00 - 5/50 G02B 6/42 G02B 6/122 H01L 33/00
Claims (6)
- 【請求項1】 共振器部と該共振器部の入力導波路の各
々に光接続された半導体レーザとで構成されるモジュー
ルであって、 上記共振器部は、 1本以上の入力導波路と、該入力導波路から受光する第
1のスラブ導波路と、該第1のスラブ導波路から受光
し、かつ、所定の導波路長差が順次長くなる複数本の導
波路からなる導波路アレイと、該導波路アレイから受光
する第2のスラブ導波路と、該第2のスラブ導波路から
受光する2本以上の出力導波路とを含むアレイ導波路格
子と、 該アレイ導波路格子の出力導波路の各々に設けた光スイ
ッチ回路と、 で構成され、複数個の前記半導体レーザからなる半導体レーザアレイ
ブロックを、複数個備え、 複数個の前記光スイッチ回路からなる反射ポートブロッ
クを、前記半導体レーザブロックと同数備え、 前記半導体レーザアレイブロックと前記反射ポートブロ
ックとが一対一対応して共振器を形成する ことを特徴と
する周波数可変光源モジュール。 - 【請求項2】 共振器部と該共振器部の入力導波路の各
々に光接続された半導体レーザとで構成されるモジュー
ルであって、 上記共振器部は、 1本以上の入力導波路と、該入力導波路から受光する第
1のスラブ導波路と、該第1のスラブ導波路から受光
し、かつ、所定の導波路長差が順次長くなる複数本の導
波路からなる導波路アレイと、該導波路アレイから受光
する第2のスラブ導波路と、該第2のスラブ導波路から
受光する2本以上の出力導波路とを含むアレイ導波路格
子と、 該アレイ導波路格子の出力導波路の各々に設けた光スイ
ッチ回路と 、で構成され、 複数個の前記光スイッチ回路 からなる反射ポートブロッ
クを、前記半導体レーザと同数備え、 前記半導体レーザと前記反射ポートブロックとが一対一
対応して共振器を形成することを特徴とする周波数可変
光源モジュール。 - 【請求項3】 請求項1又は2において、 上記アレイ導波路素子は石英系光導波路を用いて形成さ
れていること、 を特徴とする周波数可変光源モジュール。 - 【請求項4】 請求項1又は2において、 上記の出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路は、光
の透過および不透過の2つの状態を実現する光ゲート部
と、その端部に設けた反射部とで構成されることを特徴
とする周波数可変光源モジュール。 - 【請求項5】 請求項1又は2において、 上記出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路は、2本
の光路を選択する1×2光スイッチ部と、該2本の光路
のうち一方の光路端部には反射部を設け、他方の光路端
部には無反射部または光吸収部を設けたことを特徴とす
る周波数可変光源モジュール。 - 【請求項6】 共振器部と該共振器部の入力導波路の各
々に光接続された半導体レーザとで構成され、 上記共振器部は、 1本以上の入力導波路と、該入力導波路から受光する第
1のスラブ導波路と、該第1のスラブ導波路から受光
し、かつ、所定の導波路長差が順次長くなる複数本の導
波路からなる導波路アレイと、該導波路アレイから受光
する第2のスラブ導波路と、該第2のスラブ導波路から
受光する2本以上の出力導波路とを含むアレイ導波路格
子と、 該アレイ導波路格子の出力導波路の各々に設けた光スイ
ッチ回路と、 で構成される周波数可変光源モジュールにおいて、 上記出力導波路の各々に設けた光スイッチ回路は、2本
の光路を選択する1×2光スイッチ部と、該2本の光路
のうち一方の光路端部には反射部を設け、他方の光路端
部には無反射部または光吸収部を設けたことを特徴とす
る周波数可変光源モジュール。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15829994A JP3326761B2 (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | 周波数可変光源モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15829994A JP3326761B2 (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | 周波数可変光源モジュール |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0821932A JPH0821932A (ja) | 1996-01-23 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15829994A Expired - Fee Related JP3326761B2 (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | 周波数可変光源モジュール |
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US6803604B2 (en) | 2001-03-13 | 2004-10-12 | Ricoh Company, Ltd. | Semiconductor optical modulator, an optical amplifier and an integrated semiconductor light-emitting device |
SG142126A1 (en) * | 2003-10-28 | 2008-05-28 | Sony Corp | A waveguide system, a device for displaying an image using such a system and a method for displaying an image |
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-
1994
- 1994-07-11 JP JP15829994A patent/JP3326761B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Electronics Letters,1994年,30[9],p.701−702 |
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JPH0821932A (ja) | 1996-01-23 |
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