JP2017204608A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】蓋体を開閉しても、収納した基板がパーティクルで汚染されない基板収納容器を提供すること。【解決手段】基板収納カセットＣを収納する基板収納容器１であって、開口部を有する容器本体２と、開口を覆う蓋体３と、容器本体２と蓋体３とを回動可能に接合するヒンジ手段と、容器本体２と蓋体３とを回動不能に係止する係止手段５（５２，５３）と、を備え、係止手段５（５２，５３）は、基板収納カセットＣの上方を通過しない位置に設けられること。【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウェハなどの基板を収納する基板収納容器に関する。

従来、半導体の製造工程において、工程内又は工程間での搬送や保管のために、半導体ウェハ（基板）を装填した基板収納カセット（キャリア）を収納・保管する基板収納容器が使用されている（特許文献１参照）。

特許文献１には、容器本体２’と蓋体３’とを背面側に設けられたヒンジ手段で回動可能に接合した基板収納容器１’であって、正面側に設けられた係止手段５’で、容器本体２’と蓋体３’とを回動不能に係止するものが記載されている（図７ａ参照）。この基板収納容器１’の蓋体３’を開ける場合は、正面側の係止手段５’を解除することで（図７ｂ参照）、背面側のヒンジ手段を軸として、蓋体３’が円弧軌道を描きながら開くようになっている。このとき、係止手段５’は、蓋体３’の開動作にともなって、基板収納容器１’に収納された基板収納カセットＣの上方を通過する（図７ｃ参照）。

特開平１１−１１１８３２号公報

しかしながら、特許文献１にみられる基板収納容器１’では、係止手段５’を解除する際、フックと係止部などが擦れるため、パーティクルが発生することがある。そのため、係止手段５’が基板収納カセットＣの上方を通過すると、パーティクルが落下して、基板及び基板収納カセットＣが汚染される懸念があった。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、蓋体を開閉しても、収納した基板がパーティクルで汚染されない基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る一つの態様は、基板収納カセットを収納する基板収納容器であって、開口を有する容器本体と、前記開口を覆う蓋体と、前記容器本体と前記蓋体とを回動可能に接合するヒンジ手段と、前記容器本体と前記蓋体とを回動不能に係止する係止手段と、を備え、前記係止手段は、前記基板収納カセットの上方を通過しない位置に設けられるものである。

（２）上記（１）の態様において、前記係止手段は、前記開口のうち前記ヒンジ手段に対向する側を正面としたとき、前記開口の側面側に設けられてもよい。

（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記係止手段は、前記容器本体又は前記蓋体のいずれか一方にフック部を有し、他方にフック部に嵌合する嵌合爪部を有してもよい。

（４）上記（１）から（３）までのいずれか一つの態様において、前記係止手段は、前記容器本体又は前記蓋体とは異なる部材として形成されてもよい。

（５）上記（１）から（４）までのいずれか一つの態様において、前記係止手段は、前記容器本体又は前記蓋体とは異なる材料で形成されてもよい。

（６）上記（１）から（５）までのいずれか一つの態様において、前記係止手段は、少なくとも１箇所に設けられてもよい。

本発明によれば、蓋体を開閉しても、収納した基板がパーティクルで汚染されない基板収納容器を提供することができる。

本発明の実施形態に係る基板収納容器１の開放状態を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す側面図である。 係止手段５の、（ａ）解除状態、（ｂ）係止状態、を示す斜視図である。 係止手段１５０の、（ａ）解除状態、（ｂ）係止状態、を示す斜視図である。 係止手段２５０の、（ａ）解除状態、（ｂ）係止状態、を示す斜視図である。 従来の基板収納容器の閉止状態を示す斜視図である。 従来の基板収納容器の係止手段の解除状態を示す斜視図である。 従来の基板収納容器の開放状態を示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同じ要素には同じ符号を付している。

図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の開放状態を示す斜視図である。
図１に示される基板収納容器１は、基板収納カセットＣを収納可能なものであり、容器本体２と、蓋体３とを備える。

基板収納カセットＣは、図示されない複数の基板Ｗを収納するものである。この基板収納カセットＣは、上方に開口を有し、内面に複数のリブが所定のピッチで形成されている。これにより、基板収納カセットＣは、２５枚程度の基板Ｗを整列させた状態で収納し、上方の開口から、基板Ｗが取り出されるように構成されている。なお、基板収納カセットＣは、例えばポリプロピレンなどを成形材料として射出成形されている。

図２は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す斜視図であり、図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す側面図である。
図２に示される容器本体２は、正面２ａと、背面２ｂと、左右の側面２ｃと、底面２ｄとを有する略立方体のものであり、上方が開口２ｅ（図示せず）となった箱状である。詳細には、図３に示されるように、正面２ａが、背面２ｂよりも低くなっており、左右の側面２ｃは、正面２ａから背面２ｂに向かうに従って、徐々に高くなっている。すなわち、左右の側面２ｃは、側面視略台形状に成形されている。

また、正面２ａ、背面２ｂ及び左右の側面２ｃの上部、すなわち開口２ｅの周囲は、枠状のガスケット６が着脱自在に嵌合されており（図１参照）、容器本体２が蓋体３に覆われた際の密封性が高められている。

この容器本体２は、機械的特性、対汚染性、及び成形性に優れた例えばポリカーボネートなどを成形材料として射出成形される。

一方、同じく図２に示される蓋体３は、容器本体２の開口２ｅを覆うもので、正面３ａと、背面３ｂと、左右の側面３ｃと、天井面３ｄとを有する略立方体のものであり、下方が開口３ｅ（図示せず）となった箱状である。詳細には、蓋体３は、容器本体２とは逆の形状で、図３に示されるように、正面３ａが、背面３ｂよりも高くなっており、左右の側面３ｃは、正面３ａから背面３ｂに向かうに従って、徐々に低くなっている。すなわち、左右の側面３ｃは、側面視略台形状に成形されている。

蓋体３の内面は、ガスケット６に当接する部分が段状に形成されている（図１参照）。この蓋体３も、機械的特性、対汚染性、及び成形性に優れた例えばポリカーボネートなどを成形材料として射出成形される。

これらの容器本体２と蓋体３とは、図３に示されるように、ヒンジ手段４により回動可能に接合されている。ヒンジ手段４は、容器本体２の背面２ｂの上部に、一対のナックルを備える袖体を有し、蓋体３の背面３ｂの下部に、単一のナックルを先端に備える羽体を有する蝶番タイプのものであり、これらの一対のナックルに単一のナックルを挟持させて直列状態とし、シャフトを挿着して回転可能に接合している。

なお、ヒンジ手段４は、特許文献１に開示された、容器本体２に、Ｕ字形の切欠部の開口を上下いずれか一方向に向ける第１の嵌合リブと、Ｕ字形の切欠部の開口を上下いずれか他方向に向ける第２の嵌合リブとを設け、蓋体３に、支持リブ間に架設されたシャフトを設け、シャフトを切欠部で支持するような構成としてもよい。

上述したように、容器本体２と蓋体３とはヒンジ手段４により回動可能に接合されている一方で、基板収納容器１の搬送や保管時の意図しないときに、蓋体３が開くことがないように、容器本体２と蓋体３とは、係止手段５により回動不能に係止されている。

図４は、係止手段５の、（ａ）解除状態、（ｂ）係止状態、を示す斜視図である。
この係止手段５は、開口２ｅ，３ｅのうちヒンジ手段４に対向する側を正面としたとき、開口２ｅ，３ｅの側面側の少なくとも１箇所に設けられる。すなわち、蓋体３が開かれても、係止手段５が容器本体２に収納した基板収納カセットＣの上方を通過しない位置に設けられる。なお、本実施形態では、係止手段５は、開口２ｅ，３ｅの左右の側面側の２箇所に設けられる。

この係止手段５は、容器本体２又は蓋体３のいずれか一方に嵌合爪部５２を有し、他方に嵌合爪部５２に嵌合するフック部５３を有する。本実施形態では、嵌合爪部５２が容器本体２に設けられ、フック部５３が蓋体３に設けられるものとして、以下、具体的に説明する。

嵌合爪部５２は、容器本体２の左右の側面２ｃに設けられるもので、容器本体２と一体成形されている。ただし、嵌合爪部５２は、容器本体２よりも耐摩耗性に優れた異なる材料で一体形成されてもよく、別の部材として形成され熱溶着で一体化されてもよい。

嵌合爪部５２は、後述するフック部５３の嵌合孔５３ａに嵌合するもので、底面２ｄ側の端部が、最も突設する状態で形成されている。

フック部５３は、蓋体３の左右の側面３ｃに設けられるもので、蓋体３と一体成形されている。ただし、フック部５３は、蓋体３よりも耐摩耗性に優れた異なる材料で一体形成されてもよく、別の部材として形成され熱溶着で一体化されてもよい。

フック部５３は、略矩形状の板体であり、中央に嵌合孔５３ａを有するものである。嵌合孔５３ａは、本実施形態では矩形であるが、円形であってもよい。フック部５３の基端は、蓋体３の側面３ｃに接続されており、基端が接続される側面３ｃの付近には、切込溝５３ｂが形成されている。切込溝５３ｂによって、フック部５３は弾性的にたわみ易くなっている。

係止手段５で容器本体２と蓋体３とを係止するときは、容器本体２の開口２ｅを蓋体３で覆い、フック部５３の嵌合孔５３ａと嵌合爪部５２とを対峙させる。そして、フック部５３を弾性変形させながら、嵌合孔５３ａを嵌合爪部５２に嵌合させることで、容器本体２及び蓋体３は、回動不能に係止される（図４（ｂ）参照）。

係止手段５を解除するときは、逆の手順で行えばよい。

ここで、係止手段５の変形例である係止手段１５０について説明する。図５は、係止手段１５０の、（ａ）解除状態、（ｂ）係止状態、を示す斜視図である。
この係止手段１５０は、係止具１５１と、第１の突部１５２と、第２の突部１５３とを有するもので、係止具１５１は、容器本体２及び蓋体３とは異なる部材として形成される。

係止具１５１は、断面視でコ字状の板体で、一方の主面が蟻溝１５１ａの形状となっている。この蟻溝１５１ａは、後述するホゾ１５２ａ，１５３ａに嵌合される。

第１の突部１５２は、容器本体２の側面２ｃに突設されており、底面２ｄ側に係止具１５１の蟻溝１５１ａに対応するホゾ１５２ａが形成されている。一方、第２の突部１５３は、蓋体３の側面３ｃに突設されており、天井面３ｄ側に係止具１５１の蟻溝１５１ａに対応するホゾ１５３ａが形成されている。

係止手段１５０で容器本体２と蓋体３とを係止するときは、容器本体２の開口２ｅを蓋体３で覆い、第１の突部１５２と第２の突部１５３とを境界に対峙させる。そして、係止具１５１の蟻溝１５１ａを、第１の突部１５２及び第２の突部１５３の外側に形成されているホゾ１５２ａ，１５３ａに嵌合させ、スライドしていくことで、容器本体２及び蓋体３は、回動不能に係止される（図５（ｂ）参照）。このとき、係止具１５１が、所定の位置までスライドされるように、蟻溝１５１ａ及びホゾ１５２ａ，１５３ａに、ノッチ及び突起を形成しておいてもよい。

係止手段１５０を解除するときは、逆の手順で行えばよい。なお、係止具１５１は、容器本体２及び蓋体３と異なる材料で形成されてもよく、同じ材料で形成されてもよい。また、第１の突部１５２及び第２の突部１５３は、容器本体２又は蓋体３と異なる材料で形成されてもよく、同じ材料で形成されてもよい。

つづいて、係止手段５の変形例である係止手段２５０について説明する。図６は、係止手段２５０の、（ａ）解除状態、（ｂ）係止状態、を示す斜視図である。
この係止手段２５０は、支持部２５１と、嵌合爪部２５２と、フック部２５３とを有するもので、フック部２５３は、容器本体２及び蓋体３とは異なる部材として形成される。

フック部２５３は、回動軸となるシャフト２５３ａと、シャフト２５３ａに立設された２本のアーム２５３ｂと、２本のアーム２５３ｂ間に設けられたフック本体２５３ｃとを有し、シャフト２５３ａ、アーム２５３ｂ及びフック本体２５３ｃの間に嵌合孔が形成されている。このフック本体２５３ｃは、２箇所のスリット２５３ｄにより２本のアーム２５３ｂ間で弾性変形可能に設けられている。

支持部２５１は、蓋体３の側面３ｃに、Ｌ字状に突設されており、天井面３ｄ側が開口した状態となっている。この開口側から、フック部２５３のシャフト２５３ａが装着され、支持部２５１は、フック部２５３を回動可能に支持する。さらに、支持部２５１には、フック部２５３が回動可能なように、アーム２５３ｂの回動に対応する位置に切欠き２５１ａが２箇所設けられている。これにより、支持部２５１は、シャフト２５３ａの２本のアーム２５３ｂよりも外側の部分及び２本のアーム２５３ｂ間の内側の部分を、実質的に支持する。

嵌合爪部２５２は、容器本体２の側面２ｃに突設されている。この嵌合爪部２５２は、上述した嵌合爪部５２と同様に、底面２ｄ側の端部が最も突設する状態で形成されてもよく、あるいは、フック部２５３のフック本体２５３ｃに嵌合するホゾが底面２ｄ側に形成されてもよい。

係止手段２５０で容器本体２と蓋体３とを係止するときは、容器本体２の開口２ｅを蓋体３で覆い、嵌合爪部２５２と支持部２５１（詳しくは、２箇所の切欠き２５１ａの間に位置する支持部２５１。）とを境界に対峙させる。そして、フック部２５３を容器本体２側に回動させ、フック部２５３の嵌合孔に嵌合爪部２５２を嵌合させることで、容器本体２及び蓋体３は、回動不能に係止される（図６（ｂ）参照）。

係止手段２５０を解除するときは、逆の手順で行えばよい。なお、支持部２５１及び嵌合爪部２５２は、上記の形態とは逆の形態で、容器本体２及び蓋体３に設けられてもよい。また、支持部２５１及び嵌合爪部２５２は、容器本体２又は蓋体３と異なる材料で形成されてもよく、同じ材料で形成されてもよい。

以上のとおり、本発明の実施形態に係る基板収納容器１は、基板収納カセットＣを収納する基板収納容器であって、開口２ｅを有する容器本体２と、開口２ｅを覆う蓋体３と、容器本体２と蓋体３とを回動可能に接合するヒンジ手段４と、容器本体２と蓋体３とを回動不能に係止する係止手段５，１５０，２５０と、を備え、係止手段５，１５０，２５０は、基板収納カセットＣの上方を通過しない位置に設けられるものである。

これにより、基板収納容器１の蓋体３が開放されても、係止手段５，１５０，２５０が基板収納カセットＣの上方を通過しないため、係止手段５，１５０，２５０の解除にともなって発生するパーティクルが収納した基板収納カセットＣに落下することがない。そのため、基板収納カセットＣに収納された基板Ｗも、パーティクルに汚染されることがない。

本実施形態では、係止手段５，１５０，２５０は、開口２ｅのうちヒンジ手段４に対向する側を正面２ａ，３ａとしたとき、開口２ｅの側面２ｃ，３ｃ側に設けられる。このように、係止手段５，１５０，２５０を、基板収納容器１の最外側に設けると、係止手段５，１５０，２５０が基板収納カセットＣの上方を通過することがない。

本実施形態では、係止手段５，２５０は、容器本体２又は蓋体３のいずれか一方にフック部５３，２５３を有し、他方にフック部５３，２５３に嵌合する嵌合爪部５２，２５２を有する。これにより、容器本体２及び蓋体３を、単純な構造で回動不能に係止することができる。また、係止手段５，２５０の係止及び解除の作業性を向上させることができる。

本実施形態では、係止手段１５０，２５０は、容器本体２及び蓋体３とは異なる部材として形成され、容器本体２及び蓋体３に嵌合し係止する。これにより、係止手段５を容器本体２又は蓋体３と一体成形する場合に比べて、容器本体２及び蓋体３の構造が単純化されるため、射出成形用の金型を単純化して設計製造することができる。また、係止手段１５０，２５０を、容器本体２又は蓋体３とは異なる材料で形成することもできる。

本実施形態では、係止手段５，１５０，２５０は、容器本体２又は蓋体３とは異なる材料で形成される。これにより、係止手段５，１５０，２５０を、例えば、耐摩耗性に優れた材料で形成することで、係止手段５，１５０，２５０の係止及び解除動作にともなって発生するパーティクルを減少させることができる。

本実施形態では、係止手段５，１５０，２５０は、少なくとも１箇所に設けられる。これにより、容器本体２と蓋体３とを回動不能に係止することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

１，１’ 基板収納容器
２，２’ 容器本体、２ａ 正面、２ｂ 背面、２ｃ 側面、２ｄ 底面、２ｅ 開口
３，３’ 蓋体、３ａ 正面、３ｂ 背面、３ｃ 側面、３ｄ 天井面、３ｅ 開口
４ ヒンジ手段
５，５’ 係止手段
５２ 嵌合爪部
５３ フック部、５３ａ 嵌合孔、５３ｂ 切込溝
６ ガスケット
１５０ 係止手段
１５１ 係止具、１５１ａ 蟻溝
１５２ 第１の突部、１５２ａ ホゾ
１５３ 第２の突部、１５３ａ ホゾ
２５０ 係止手段
２５１ 支持部、２５１ａ 切欠き
２５２ 嵌合爪部
２５３ フック部、２５３ａ シャフト、２５３ｂ アーム、２５３ｃ フック本体、２５３ｄ スリット
Ｃ 基板収納カセット
Ｗ 基板

Claims (6)

1. 基板収納カセットを収納する基板収納容器であって、
   開口を有する容器本体と、
   前記開口を覆う蓋体と、
   前記容器本体と前記蓋体とを回動可能に接合するヒンジ手段と、
   前記容器本体と前記蓋体とを回動不能に係止する係止手段と、を備え、
   前記係止手段は、前記基板収納カセットの上方を通過しない位置に設けられる
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記係止手段は、前記開口のうち前記ヒンジ手段に対向する側を正面としたとき、前記開口の側面側に設けられる
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記係止手段は、前記容器本体又は前記蓋体のいずれか一方にフック部を有し、
   他方にフック部に嵌合する嵌合爪部を有する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
4. 前記係止手段は、前記容器本体又は前記蓋体とは異なる部材として形成され、前記容器本体又は前記蓋体に嵌合し係止する
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
5. 前記係止手段は、前記容器本体又は前記蓋体とは異なる材料で形成される
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
6. 前記係止手段は、少なくとも１箇所に設けられる
   ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

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