JP6915037B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体とウェハキャリヤとを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１参照）。

容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。容器本体を構成する第１分割容器、第２分割容器には、ウェーハ支持溝がそれぞれ設けられている。第１分割容器と第２分割容器とが組合されて容器本体が形成されたときに、第１分割容器のウェーハ支持溝と第２分割容器のウェーハ支持溝とは、複数の基板の縁部を支持可能である。

特許第３９６８１４２号公報

基板収納容器においては、第１分割容器と第２分割容器とが組合されて容器本体が形成されるときに、基板を第１分割容器のウェーハ支持溝の傾斜面と第２分割容器のウェーハ支持溝の傾斜面とで挟むようにして、当該傾斜面に対して基板の縁部を摺動させて、基板がせり上がるように基板を持上げて支持する。

このため、第１分割容器と第２分割容器とを組合せて容器本体を形成している最中に、当該傾斜面において、基板の縁部が滑らかに摺動せずに、基板がせり上がらなかったり、逆に、第１分割容器を第２分割容器から取り外しているときに、当該傾斜面において、基板が滑らかに滑り落ちなかったりする不具合の発生を抑えるために、当該傾斜面を含む第１分割容器のウェーハ支持溝、第２分割容器のウェーハ支持溝の材料としては、摺動性がよい材料が好まれる。

しかし、摺動性がよい材料の場合には、耐摩耗性が低く、基板収納容器を搬送している最中に摩耗して、パーティクルが発生することが考えられる。

本発明は、基板収納容器を搬送している最中にパーティクルの発生が抑えられ、且つ、傾斜面における基板の摺動が良好で基板の破損を抑えることが可能な、基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、前記奥側基板支持部は、前記基板収納空間の中心から離間するように傾斜して延び、前記基板の裏面の端部が摺動する下側傾斜面と、前記下側傾斜面よりも上側に位置し、前記基板の縁部を支持可能な基板支持部と、を有し、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部は、前記下側傾斜面に対して摺動して前記基板支持部へ至るまで移動し、少なくとも前記下側傾斜面の一部は、前記基板支持部を構成する第１部材とは別の第２部材により構成され、前記第２部材は、前記第１部材よりも、最大静摩擦係数が低く且つ耐摩耗性が低い基板収納容器に関する。

また、前記第２部材は、インサート成形又は二色成形により前記第１部材に対して一体成形されていることが好ましい。また、前記第２部材は、前記第１部材とは別の部品により構成されて、前記第１部材に対して固定されていることが好ましい。また、前記第１部材は、ポリカーボネート樹脂により構成され、前記第２部材は、ポリブチレンテレフタレート樹脂により構成されていることが好ましい。

本発明によれば、基板収納容器を搬送している最中にパーティクルの発生が抑えられ、且つ、傾斜面における基板の摺動が良好で基板の破損を抑えることが可能な、基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す側面図である。 図４のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を構成する材料の最大静摩擦係数を測定するための試験機を示す拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において基板Ｗと当接する部分Ｐを示す断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の効果を試す試験の結果を示すグラフである。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ａを示す側面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部６Ａを示す拡大斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部６Ａを示す拡大断面図である。

以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。

図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図３等参照）を備えている。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。

奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７（図３等参照）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。

以下、各部について、詳細に説明する。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す側面図である。図５は、図４のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部品である。具体的には、図２、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部としての支持壁５２とを有している。板部５１と支持壁５２は、樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、支持壁５２によって支持されている。

板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

支持壁５２は、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。支持壁５２は、図４に示すように、板部５１の長手方向において所定の長さを有しており、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。

即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。

このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

図４、図５に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されて構成されている。従って、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部品を構成する。

奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。

奥側端縁支持部６０は、図５に示すように、下側当接面６１１を有する支持部下側凸部６１と、下側傾斜面６２２を有する支持部下部６２と、基板支持部６３２及び上側傾斜面６３１を有する支持部上部６３と、を有している。

具体的には、下側当接面６１１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗの裏面の端縁に当接し、基板Ｗを支持する。
下側傾斜面６２２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図５における右側）から離間するように、下側当接面６１１の上端部から傾斜して延びる傾斜面により構成されており、基板Ｗの裏面の端部が摺動する。下側当接面６１１と上側傾斜面６３１との傾斜面同士を接続する接続部としての基板支持部６３２は、下側傾斜面６２２の上端部に接続された略Ｖ字状に屈曲して基板Ｗの縁部を支持する支持面を有する。上側傾斜面６３１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図６Ａにおける右側）に接近するように、基板支持部６３２の上端部から傾斜して延びる傾斜面により構成されている。

下側傾斜面６２２、基板支持部６３２、及び上側傾斜面６３１は、下側当接面６１１よりも上側に配置され、基板Ｗの端部が係合可能な基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝６４を形成し、基板支持部６３２はＶ字状溝６４の頂点の部分を構成する。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときに、基板Ｗが下側傾斜面６２２に対して摺動してせり上がり、基板ＷがＶ字状溝６４の頂点の位置に至ったときに、基板Ｗの表面の端縁と裏面の端縁とが基板支持部６３２にそれぞれ当接し、基板支持部６３２は、基板Ｗの縁部をＶ字状溝６４においてに支持する。

下側当接面６１１を有する支持部下側凸部６１、及び、上側傾斜面６３１及び基板支持部６３２を有する支持部上部６３は、同一の材料である第１部材としてのポリカーボネート（ＰＣ）により一体成形されて構成されている。下側傾斜面６２２を有する支持部下部６２は、下側傾斜面６２２を有する支持部下側凸部６１、及び、上側傾斜面６３１及び基板支持部６３２を有する支持部上部６３とは異なる材料である第２部材としてのポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）により構成されている。即ち、下側傾斜面６２２の全体は、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）により構成されている。支持部下側凸部６１及び支持部上部６３と、支持部下部６２とは、二色成形又はインサート成形により一体とされており、複数の下側傾斜面６２２のうちの一の下側傾斜面６２２の部分は、当該一の下側傾斜面６２２に隣接する上側及び下側の下側傾斜面６２２の部分と、上下方向延出部６０１により、一体的に接続されている。

ポリカーボネート（ＰＣ）により構成された下側当接面６１１、基板支持部６３２、及び、上側傾斜面６３１は、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）により構成された下側傾斜面６２２よりも、耐摩耗性が高い。耐摩耗性の高低については、ＪＩＳ Ｋ ７２０４に規定された規格による試験方法により確認可能である。
また、基板Ｗに対して下側傾斜面６２２を摺動させた場合の最大静摩擦係数は、基板Ｗに対して下側当接面６１１、基板支持部６３２、及び、上側傾斜面６３１を摺動させた場合のいずれの最大静摩擦係数よりも相対的に低い値となるように、下側傾斜面６２２、下側当接面６１１、基板支持部６３２、及び、上側傾斜面６３１は、適宜粗面加工等の表面処理が施されている。

基板Ｗに対する下側傾斜面６２２、下側当接面６１１、基板支持部６３２、及び、上側傾斜面６３１の最大静摩擦係数の値は、下側傾斜面６２２、下側当接面６１１、基板支持部６３２、及び、上側傾斜面６３１を有する部分を部分的に切断して得られたものＴ（図６参照）について、切断面以外の外表面の部分を、基板Ｗに対して摺動させる試験により得られる。図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を構成する材料の最大静摩擦係数を測定するための試験機を示す拡大断面図である。
ここで用いられる基板Ｗとは、基板Ｗを部分的に切断して得られたものであり、この切断面以外の外表面の部分に対して、摺動が行われる。試験では、「往復摩擦抵抗測定機」（例えば、新東科学株式会社製の表面性測定機Ｔｙｐｅ：３８）を用いて、最大静摩擦係数の値を確認可能である。

具体的には、最大静摩擦係数の値は、図６に示すように、往復摩擦抵抗測定機のアーム１００１に、基板Ｗを部分的に切断して得られたものを固定し、下側傾斜面６２２、下側当接面６１１、基板支持部６３２、及び、上側傾斜面６３１のうちのいずれかを部分的に切断して台座１００２上に固定されたものＴに対して、３５０ｇｆの荷重で１５００ｍｍ／分の速度で５ｍｍ摺動させることにより、最大静摩擦係数の値を確認可能である。

蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

図３に示すように、蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４の内側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。

フロントリテーナ７は、フロントリテーナ基板受け部７３を有している。フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ弾性変形可能な脚部により支持されている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、脚部の弾性力により、基板Ｗの縁部の端縁を、基板収納空間２７の中心へ付勢した状態で挟持して支持する。

次に、上述した基板収納容器１において、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞する際の動作について説明する。
先ず、図１に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３が水平面に平行の位置関係となるように容器本体２を配置させる。次に、複数枚の基板Ｗを基板支持板状部５の板部５１の凸部５１１、５１２、及び、奥側端縁支持部６０の支持部下側凸部６１の下側当接面６１１にそれぞれ載置する。

次に、蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆき、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３に当接させる。そして、更に蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆくと、下側当接面６１１に当接した状態の基板Ｗの縁部の裏面の端縁は、図５に示すように、奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６２２に当接し、下側傾斜面６２２に対して摺動してせり上がる。

この際、下側傾斜面６２２はＰＢＴにより構成されているため、下側傾斜面６２２に対する基板Ｗの摺動性は良好であり、基板Ｗの縁部の裏面の端縁と下側傾斜面６２２との間の摺動は滑らかであり、当該摺動によるパーティクルの発生が抑えられる。そして、基板ＷがＶ字状溝６４の頂点の位置に至ったときに、基板Ｗの表面の端縁と裏面の端縁とが基板支持部６３２にそれぞれ当接して、基板Ｗの縁部がＶ字状溝６４において基板支持部６３２に支持される。

基板収納容器１が搬送されている最中に、基板Ｗの縁部が基板支持部６３２に支持されている状態のときには、基板支持部６３２は、耐摩耗性がＰＢＴよりも高いＰＣにより構成されている。このため、基板収納容器１が振動を受けた場合に、基板支持部６３２が基板Ｗに対して摺動することによるパーティクルの発生が抑えられる。

次に、本実施形態による効果を確認する試験を行った。試験では、基板支持部６３２及びフロントリテーナ７を異なる材料により構成した基板収納容器１に基板Ｗを収納し、所定時間に所定の振動を与えて、パーティクルの発生量を比較することにより行った。

具体的には、基板支持部６３２を有する支持部上部６３、及び、支持部下側凸部６１と、フロントリテーナ７とを、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエステルエラストマー（ＰＥＥ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ＰＣとＰＢＴとの混合物、ＰＣとポリテトラフルオロエチレン４フッ化エチレンとの混合物、によってそれぞれ構成した基板収納容器を、本発明品、比較品１、比較品２、比較品３、比較品４とし、これらのそれぞれについて、基板支持部６３２とフロントリテーナ７との表面を表面処理し、表面粗さが０．５μｍ程度（鏡面）、５μｍ程度（粗小）、５０μｍ程度（粗中）、１００μｍ程度（粗大）の４種類のものをそれぞれ用意した。

そして、これらに基板Ｗを収納し、基板収納容器に対して０．３５Ｇの加速度で、５分間、上下方向Ｄ２に振動を与えた。これにより、図７においてＰで示す基板Ｗと基板支持部６３２との接触点、及び、基板Ｗとフロントリテーナ７との接触点において発生するパーティクルの量について、パーティクルによる色の濃さのレベルを０〜３の間の範囲の値で得た。試験結果は、表１及び図８に示すとおりである。図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において基板Ｗと当接する部分Ｐを示す断面図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の効果を試す試験の結果を示すグラフである。

表１及び図８に示すように、基板収納容器に収納されている基板Ｗに当接している部分に耐摩耗性に優れるＰＣが用いられている本発明品の場合には、表面粗さがいずれの表面状態の場合でも、パーティクルの発生量は低いレベルに抑えられていることが分かる。これに対して、他の材料の場合には、いずれもパーティクルの発生量は高いレベルであることが分かる。

この結果より、基板収納容器１を搬送しているときに、基板Ｗに当接する部分、具体的には、基板支持部６３２及びフロントリテーナ７は、耐摩耗性に優れるＰＣにより構成されることが好ましいことが分かる。そして、前述のように、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞している最中に基板Ｗの裏面の端縁が摺動する下側傾斜面６２２は、基板Ｗに対する最大静摩擦係数が小さいＰＢＴにより構成されることが好ましいことから、基板支持部６３２及びフロントリテーナ７をＰＣにより構成し、且つ、下側傾斜面６２２をＰＢＴにより構成することにより、パーティクルの発生を抑えることが可能であり、且つ、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞する際に、下側傾斜面６２２に対する基板Ｗの裏面の端縁の摺動を滑らかとすることが可能であることが分かる。

上記構成の第１実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納空間２７に対向する蓋体３の部分に配置されて、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗを支持可能な奥側基板支持部６と、を備えている。
奥側基板支持部６は、基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延び、基板Ｗの裏面の端部が摺動する下側傾斜面６２２と、下側傾斜面６２２よりも上側に位置し、基板Ｗの縁部を支持可能な基板支持部６３２と、を有する。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞している最中に、基板Ｗの縁部は、下側傾斜面６２２に対して摺動して基板支持部６３２へ至るまで移動し、少なくとも下側傾斜面６２２の一部は、基板支持部６３２を構成する第１部材としてのＰＣとは別の第２部材としてのＰＢＴにより構成され、第２部材は、第１部材よりも、最大静摩擦係数が低く且つ耐摩耗性が低い。

上記構成により、ＰＢＴにより構成される下側傾斜面６２２においては、基板Ｗの摺動が滑らかであり、基板Ｗの裏面の端縁が下側傾斜面６２２に対して滑らかにせり上がることを可能とする。このため、蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞させている最中に、下側傾斜面６２２に対する基板Ｗの摺動が滑らでないことによる、下側傾斜面６２２に対する基板Ｗのせり上がり不良が抑えられ、また、蓋体３により容器本体開口部２１を開いている最中に、下側傾斜面６２２に対して滑らかに滑り落ちない滑り落ち不良が抑えられる。この結果、基板Ｗの破損の発生を抑えることが可能となる。
また、基板収納容器１の搬送中に基板Ｗに当接する基板支持部６３２においては、耐摩耗性が高い。このため、パーティクルの発生や、基板Ｗへの樹脂付着量を低減することが可能となる。

また、ＰＢＴにより構成される第２部材は、インサート成形又は二色成形によりＰＣにより構成される第１部材に対して一体成形されている。この構成により、少なくとも下側傾斜面６２２の一部を、基板支持部６３２を構成する第１部材とは別の第２部材により構成することを容易に実現することができる。

また、第１部材は、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）により構成され、第２部材は、ポリブチレンテレフタレート樹脂（ＰＢＴ）により構成されている。この構成により、容易に第２部材を、第１部材よりも、最大静摩擦係数が低く且つ耐摩耗性が低く構成することが容易となる。

次に、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図９は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の基板支持板状部５Ａを示す側面図である。図１０は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部６Ａを示す拡大斜視図である。図１１は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部６Ａを示す拡大断面図である。

第２実施形態では、基板Ｗが摺動する取付部材６６Ａが奥側端縁支持部６０Ａに固定されて設けられている点、奥側端縁支持部６０Ａの形状が第１実施形態における奥側端縁支持部６０とは異なる点で、第１実施形態の基板収納容器とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

取付部材６６Ａは、角柱形状を有する本体部６６１Ａと、本体部６６１Ａから水平方向へ突出する突出部６６２Ａとを有している。突出部６６２Ａは、水平に延びる突出部水平面６６２１Ａと、突出部水平面６６２１Ａの突出端部から斜め上方向へ傾斜して延びる突出部傾斜面６６２２Ａと、を備えている。突出部傾斜面６６２２Ａの延出方向における中央部分６６２３Ａは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、第１実施形態における下側傾斜面６２２と同様に基板Ｗが摺動する下側傾斜面を構成する。これに対して奥側基板支持部６Ａの奥側端縁支持部６０Ａの下側傾斜面６２２−２は、第１実施形態における下側傾斜面６２２よりも上下方向Ｄ２に対して大きな角度で傾斜しており、下側傾斜面６２２−２には、基板Ｗにほとんど当接せず摺動しない。取付部材６６Ａは、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）により構成されている。

次に、上述した基板収納容器において、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞する際の動作について説明する。
先ず、図１に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３が水平面に平行の位置関係となるように容器本体２を配置させる。次に、図１１に示すように、複数枚の基板Ｗを基板支持板状部５の板部５１の凸部５１１、５１２、及び、奥側端縁支持部６０Ａの支持部下側凸部６１の下側当接面６１１にそれぞれ載置する。

次に、蓋体３（図３等参照）を容器本体開口部２１へ接近させてゆき、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３に当接させる。そして、更に蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆくと、下側当接面６１１当接した状態の基板Ｗの縁部の裏面の端縁は、下側当接面６１１から浮き上がり、突出部傾斜面６６２２Ａにおいて摺動してせり上がってゆく。

この際、突出部傾斜面６６２２ＡはＰＢＴにより構成されているため、突出部傾斜面６６２２Ａに対する基板Ｗの摺動性が良好であり、基板Ｗの縁部の裏面の端縁と突出部傾斜面６６２２Ａとの間の摺動は滑らかである。そして、図１１において一点鎖線で示すように、基板ＷがＶ字状溝６４の頂点の位置にある基板支持部６３２に至ったときに、基板Ｗの裏面の端縁は、突出部傾斜面６６２２Ａから浮き上がり、基板Ｗの表面の端縁と裏面の端縁とが基板支持部６３２にそれぞれ当接して、基板Ｗの縁部がＶ字状溝６４において基板支持部６３２に支持される。

基板収納容器が搬送されている最中に、基板Ｗの縁部が基板支持部６３２に支持されている状態のときには、基板支持部６３２は、第１実施形態と同様に、耐摩耗性がＰＢＴよりも高いＰＣにより構成されているため、基板収納容器が振動を受けた場合に、基板支持部６３２が基板Ｗに対して摺動することによるパーティクルの発生が抑えられる。

上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
ＰＢＴにより構成される第２部材は、ＰＣにより構成される第１部材とは別の部品である取付部材６６Ａにより構成されて、第１部材に対して固定されている。この構成により、奥側基板支持部６Ａの製造時に、インサート成形や二色成形により第１部材と第２部材とを一体としないで済むため、奥側基板支持部６Ａの製造を容易とすることができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。

例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。即ち、側方基板支持部や、蓋体側基板支持部や、奥側基板支持部の構成は、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７、奥側基板支持部６の構成に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
また、上述の実施形態においては、下側傾斜面６２２、突出部傾斜面６６２２Ａの全面は第２部材としてのＰＢＴにより構成されたが、この構成に限定されない。例えば、下側傾斜面、突出部傾斜面の少なくとも一部が第２部材により構成されていてもよい。
また、本実施形態においては、インサート成形や二色成形により第１部材と第２部材とを一体として構成したり、取付部材６６Ａを奥側端縁支持部６０Ａに固定したりしたが、これらの構成に限定されない。
また、下側当接面６１１は、ＰＣにより構成されたが、これに限定されない。例えば、下側当接面６１１は、ＰＢＴにより構成されてもよい。
また、奥側基板支持部は、本実施形態では奥側基板支持部６により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、容器本体に一体成形されて構成されたリアリテーナによって、奥側基板支持部が構成されてもよい。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
５ 基板支持板状部（側方基板支持部）
６ 奥側基板支持部
７ フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
６１１ 下側当接面
６２２ 下側傾斜面
６３２ 基板支持部
ＰＢＴ 第２部材
ＰＣ 第１部材
Ｗ 基板

Claims (4)

1. 一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
   前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
   前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、
   前記奥側基板支持部は、
   前記基板収納空間の中心から離間するように傾斜して延び、前記基板の裏面の端部が摺動する下側傾斜面と、
   前記下側傾斜面よりも上側に位置し、前記基板の縁部を支持可能な基板支持部と、を有し、
   前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部は、前記下側傾斜面に対して摺動して前記基板支持部へ至るまで移動し、
   少なくとも前記下側傾斜面の一部は、前記基板支持部を構成する第１部材とは別の材料により構成される第２部材により構成され、前記第２部材は、前記第１部材よりも、最大静摩擦係数が低く且つ耐摩耗性が低い基板収納容器。
2. 前記第２部材は、インサート成形又は二色成形により前記第１部材に対して一体成形されている請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記第２部材は、前記第１部材とは別の部品により構成されて、前記第１部材に対して固定されている請求項１に記載の基板収納容器。
4. 前記第１部材は、ポリカーボネート樹脂により構成され、
   前記第２部材は、ポリブチレンテレフタレート樹脂により構成されている請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。

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