JP2017034784A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 第１面と、前記第１面の裏面側にあって凹部が形成された第２面とを有する振動体と、
   前記第１面に設けられた圧電素子と、を含み、
   前記凹部と前記圧電素子とは、前記第２面の法線方向から見て、重なる部分を有するこ
   とを特徴とする圧電駆動装置。
2. 請求項１に記載の圧電駆動装置において、
   前記凹部は、溝状又は穴状の形状の少なくとも一つを有することを特徴とする圧電駆動
   装置。
3. 請求項１又は２に記載の圧電駆動装置において、
   前記第２面の法線方向から見て、
   前記振動体は、第１線に対して対称な形状であり、
   前記凹部は、前記第１線に対して対称に配置されていることを特徴とする圧電駆動装置
   。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
   前記第２面の法線方向から見て、
   前記振動体は、第１線に対して対称な形状であり、
   前記凹部は、前記第１線に対して非対称に配置されていることを特徴とする圧電駆動装
   置。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
   前記第１面は、平坦であることを特徴とする圧電駆動装置。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
   前記圧電素子は、第１電極、第２電極、及び前記第１電極と前記第２電極との間に位置
   する圧電体を有し、
   前記圧電体の厚さは、５０ｎｍ以上２０μｍ以下であることを特徴とする圧電駆動装置
   。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
   前記振動体は、シリコンを含むことを特徴とする圧電駆動装置。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
   前記振動体と前記圧電素子とを含む第１圧電振動部及び第２圧電振動部を有することを
   特徴とする圧電駆動装置。
9. 請求項８に記載の圧電駆動装置において、
   前記第１圧電振動部の上に前記第２圧電振動部が積層されていることを特徴とする圧電
   駆動装置。
10. 複数のリンク部と、
    前記複数のリンク部を接続する関節部と、
    前記リンク部を前記関節部で回動させる請求項１〜９のいずれか一項に記載の圧
    電駆動装置と、
    を有することを特徴とするロボット。
11. 請求項１〜９のいずれか一項に記載の圧電駆動装置の駆動方法であって、
    前記圧電駆動装置は、第１電極、第２電極、及び前記第１電極と前記第２電極との間に
    位置する圧電体を有し、
    前記第１電極と前記第２電極との間に、周期的に変化する電圧を印加することを特徴と
    する圧電駆動装置の駆動方法。