JP2013121190A5 - アクチュエーターおよびロボット - Google Patents
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- 屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが励振されて振動する圧電素子と、
前記圧電素子に備える接触部が接触し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、
前記圧電素子を保持する保持部材と、
前記保持部材を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備え、
前記保持部材は、前記圧電素子の振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第1支持部および第2支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して他方に配置される第3支持部と、前記第2支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第4支持部と、を有する、
ことを特徴とするアクチュエーター。 - 前記圧電素子は、前記屈曲振動モードの屈曲振動方向に直交する方向に沿った長さをL、前記屈曲振動方向に沿った長さをW、とする矩形基板であり、前記第1支持部と前記第3支持部と、が前記圧電素子を支持する第1支持領域と、前記第2支持部と前記第4支持部と、が前記圧電素子を支持する第2支持領域と、を有し、
前記第1支持領域の第1図心Q1と、前記圧電素子の前記長さL方向の一方の端部に最も近い振動の節P1と、の距離を距離D1とし、
前記第2支持領域の第2図心Q2と、前記圧電素子の前記長さL方向の他方の端部に最も近い振動の節P2と、の距離を距離D2とした場合の、
前記距離D1および前記距離D2が、
D1≦0.13L
D2≦0.13Lであり、且つ前記第1支持領域は前記振動の節P1を含み、前記第2支持領域は前記振動の節P2を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエーター。 - 前記第1支持領域および前記第2支持領域の外縁部は、前記圧電素子の振動面の外縁部の内側である、
ことを特徴とする請求項2に記載のアクチュエーター。 - 前記第1支持領域および前記第2支持領域の少なくとも一方が矩形である、
ことを特徴とする請求項2または3に記載のアクチュエーター。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のアクチュエーター、または請求項9に記載のロボットハンドを備えるロボット。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011266546A JP6008077B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | アクチュエータ―、ロボット、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
CN2012105148203A CN103151951A (zh) | 2011-12-06 | 2012-12-04 | 促动器、机器手、机器人、电子部件输送装置及打印机 |
EP12195452.3A EP2602928A3 (en) | 2011-12-06 | 2012-12-04 | Actuator, robot hand, robot, electronic component carrying device, electronic component inspection device, and printer |
KR1020120140268A KR20130063471A (ko) | 2011-12-06 | 2012-12-05 | 액튜에이터, 로봇 핸드, 로봇, 전자 부품 반송 장치, 전자 부품 검사 장치 및 프린터 |
US13/705,447 US9391257B2 (en) | 2011-12-06 | 2012-12-05 | Actuator, robot hand, robot, electronic component carrying device, electronic component inspection device, and printer |
TW101145869A TW201324884A (zh) | 2011-12-06 | 2012-12-06 | 致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011266546A JP6008077B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | アクチュエータ―、ロボット、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013121190A JP2013121190A (ja) | 2013-06-17 |
JP2013121190A5 true JP2013121190A5 (ja) | 2015-01-15 |
JP6008077B2 JP6008077B2 (ja) | 2016-10-19 |
Family
ID=47623803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011266546A Expired - Fee Related JP6008077B2 (ja) | 2011-12-06 | 2011-12-06 | アクチュエータ―、ロボット、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9391257B2 (ja) |
EP (1) | EP2602928A3 (ja) |
JP (1) | JP6008077B2 (ja) |
KR (1) | KR20130063471A (ja) |
CN (1) | CN103151951A (ja) |
TW (1) | TW201324884A (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BR112014000975A2 (pt) * | 2011-07-19 | 2017-02-21 | Mauser-Werke Oberndorf Maschb Gmbh | sistema de ajuste |
KR102177156B1 (ko) | 2014-03-10 | 2020-11-10 | 삼성전자주식회사 | 로봇 및 그를 구비한 기판 처리 장치 |
CN105538288B (zh) * | 2014-10-22 | 2020-08-28 | 精工爱普生株式会社 | 机器人 |
CN104538547B (zh) * | 2014-12-30 | 2017-06-30 | 西安工业大学 | 压电陶瓷传感器振子 |
JP6519207B2 (ja) | 2015-02-02 | 2019-05-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子駆動回路、及び、ロボット |
CN106253742B (zh) * | 2015-06-12 | 2019-07-12 | 精工爱普生株式会社 | 马达用压电驱动装置、马达、机器人以及泵 |
JP6601174B2 (ja) | 2015-11-13 | 2019-11-06 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、積層アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンド及び送液ポンプ |
CN105680718B (zh) * | 2016-04-11 | 2017-08-25 | 哈尔滨工业大学 | 蛙型一阶纵振直线超声电机 |
JP2018074723A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置およびプリンター |
DE102017102663B4 (de) * | 2017-02-10 | 2019-05-29 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Piezomotor |
JP6957322B2 (ja) | 2017-11-27 | 2021-11-02 | キヤノン株式会社 | 振動型モータ、レンズ装置、および、電子機器 |
CN109514594A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-03-26 | 南京航空航天大学 | 一种基于球形关节的压电机械手及其控制方法 |
WO2020229290A1 (en) * | 2019-05-10 | 2020-11-19 | Miniswys Sa | Drive unit and method for operating a drive unit |
KR102510929B1 (ko) * | 2020-04-23 | 2023-03-15 | 세메스 주식회사 | 하중 분산 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 |
JP2022011405A (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、圧電モーターおよびロボット |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5136200A (en) * | 1989-07-27 | 1992-08-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultransonic motor |
US5616980A (en) | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
IL106296A0 (en) | 1993-07-09 | 1993-12-28 | Nanomotion Ltd | Ceramic motor |
JPH0739178A (ja) | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波アクチュエータ |
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JP2007318997A (ja) | 2005-12-05 | 2007-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波アクチュエータ |
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JP2007221865A (ja) | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Seiko Epson Corp | 圧電振動体、圧電振動体の固有振動数調整方法、圧電アクチュエータ、および電子機器 |
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JP4245183B2 (ja) | 2007-04-23 | 2009-03-25 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
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JP4802313B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2011-10-26 | ニッコー株式会社 | 圧電振動子の保持装置 |
JP5244727B2 (ja) * | 2009-07-27 | 2013-07-24 | パナソニック株式会社 | 振動型アクチュエータ |
CN102092049B (zh) * | 2011-01-04 | 2013-02-13 | 天津大学 | 具有可变形状手掌的仿人灵巧手 |
-
2011
- 2011-12-06 JP JP2011266546A patent/JP6008077B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-12-04 EP EP12195452.3A patent/EP2602928A3/en not_active Withdrawn
- 2012-12-04 CN CN2012105148203A patent/CN103151951A/zh active Pending
- 2012-12-05 US US13/705,447 patent/US9391257B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-05 KR KR1020120140268A patent/KR20130063471A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-12-06 TW TW101145869A patent/TW201324884A/zh unknown
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