JP2016521216A - ポリイミドカバー基板 - Google Patents
ポリイミドカバー基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016521216A JP2016521216A JP2016505413A JP2016505413A JP2016521216A JP 2016521216 A JP2016521216 A JP 2016521216A JP 2016505413 A JP2016505413 A JP 2016505413A JP 2016505413 A JP2016505413 A JP 2016505413A JP 2016521216 A JP2016521216 A JP 2016521216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- polyimide
- cover substrate
- silicon oxide
- transparent electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 title claims abstract description 158
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 title claims abstract description 87
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 57
- -1 urethane acrylate compound Chemical class 0.000 claims abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 249
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 103
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 102
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 32
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 18
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 10
- BSZXAFXFTLXUFV-UHFFFAOYSA-N 1-phenylethylbenzene Chemical group C=1C=CC=CC=1C(C)C1=CC=CC=C1 BSZXAFXFTLXUFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000005224 alkoxybenzenes Chemical group 0.000 claims description 3
- 150000004996 alkyl benzenes Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 claims description 3
- XXKOQQBKBHUATC-UHFFFAOYSA-N cyclohexylmethylcyclohexane Chemical group C1CCCCC1CC1CCCCC1 XXKOQQBKBHUATC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000006840 diphenylmethane group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 3
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- TYHJXGDMRRJCRY-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) tin(4+) Chemical compound [O-2].[Zn+2].[Sn+4].[In+3] TYHJXGDMRRJCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 22
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 19
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 17
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 17
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 16
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 16
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate group Chemical group C(C=C)(=O)[O-] NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 11
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 8
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-trien-2-yl)-2-phenylethanone Chemical compound OC(C(=O)c1cccc2Oc12)c1ccccc1 NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101000856234 Clostridium acetobutylicum (strain ATCC 824 / DSM 792 / JCM 1419 / LMG 5710 / VKM B-1787) Butyrate-acetoacetate CoA-transferase subunit A Proteins 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- LXEJRKJRKIFVNY-UHFFFAOYSA-N terephthaloyl chloride Chemical compound ClC(=O)C1=CC=C(C(Cl)=O)C=C1 LXEJRKJRKIFVNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 2
- FKTHNVSLHLHISI-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(isocyanatomethyl)benzene Chemical compound O=C=NCC1=CC=CC=C1CN=C=O FKTHNVSLHLHISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXHZWRZAWJVPIC-UHFFFAOYSA-N 1,2-diisocyanatonaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=C(N=C=O)C(N=C=O)=CC=C21 ZXHZWRZAWJVPIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BYPFICORERPGJY-UHFFFAOYSA-N 3,4-diisocyanatobicyclo[2.2.1]hept-2-ene Chemical compound C1CC2(N=C=O)C(N=C=O)=CC1C2 BYPFICORERPGJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APXJLYIVOFARRM-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(3,4-dicarboxyphenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]phthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 APXJLYIVOFARRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 5-phenylbenzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1C(O)=O JVERADGGGBYHNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 241001274216 Naso Species 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001652 electrophoretic deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 230000033444 hydroxylation Effects 0.000 description 1
- 238000005805 hydroxylation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000013086 organic photovoltaic Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 238000000527 sonication Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019801 trisodium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- 229920001345 ε-poly-D-lysine Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
- B32B5/02—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by structural features of a fibrous or filamentary layer
- B32B5/024—Woven fabric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
- B32B27/20—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using fillers, pigments, thixotroping agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/28—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
- B32B27/281—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyimides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/34—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyamides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
- B32B9/005—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising one layer of ceramic material, e.g. porcelain, ceramic tile
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
- B32B9/04—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B9/047—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material made of fibres or filaments
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2255/00—Coating on the layer surface
- B32B2255/10—Coating on the layer surface on synthetic resin layer or on natural or synthetic rubber layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2255/00—Coating on the layer surface
- B32B2255/20—Inorganic coating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2255/00—Coating on the layer surface
- B32B2255/26—Polymeric coating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2255/00—Coating on the layer surface
- B32B2255/28—Multiple coating on one surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2262/00—Composition or structural features of fibres which form a fibrous or filamentary layer or are present as additives
- B32B2262/10—Inorganic fibres
- B32B2262/101—Glass fibres
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2457/00—Electrical equipment
- B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2457/00—Electrical equipment
- B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
- B32B2457/206—Organic displays, e.g. OLED
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31721—Of polyimide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
Abstract
Description
このようなフレキシブルディスプレイ用カバー基板の素材としては、様々な高硬度のプラスチック基板が候補として検討されている。特に、薄厚でも高硬度の実現が可能な透明ポリイミドフィルムが主要な候補として考えられている。
フレキシブル電子機器用カバー基板の素材として検討されるフィルムは、硬度を向上させるために、従来ではアクリル系またはエポキシ系有機硬化膜を透明フィルムの表面に形成する方法で製造されたが、このような有機硬化膜は、フレキシブルではないため、曲げ特性や耐衝撃性などの評価時に表面が割れるという問題点があった。
本発明の好適な一実施形態において、前記ウレタンアクリレート化合物は、下記化学式1で表されるウレタンアクリレート化合物である。
<化学式1>
式中、Rはそれぞれ独立にベンゼン基、炭素数1〜5のアルキルベンゼン基、炭素数1〜5のアルコキシベンゼン基、シクロヘキサン基、炭素数1〜5のアルキルシクロヘキサン基、ジフェニルメタン基、ジフェニルエタン基、ジシクロヘキシルメタン基、または炭素数1〜10のアルキル基である。
本発明の好適な一実施形態において、前記素子保護層は1.0〜30μmの厚さを有する。
本発明の好適な一実施形態において、前記ポリイミドカバー基板は、シリコン酸化物層、ハードコート層および透明電極層よりなる群から選ばれる1種以上をさらに含む。
本発明の好適な一実施形態において、前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層およびハードコート層が順次積層されるように構成される。
本発明の好適な一実施形態において、前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層およびハードコート層が順次積層されるように構成される。
本発明の好適な一実施形態において、前記ポリイミドカバー基板は、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、素子保護層、透明電極層およびハードコート層が順次積層されるように構成される。
本発明の好適な一実施形態において、前記ポリイミドカバー基板は、透明電極層、素子保護層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層およびハードコート層が順次積層されるように構成される。
本発明の好適な一実施形態において、前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、ハードコート層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、ハードコート層および素子保護層が順次積層されるように構成される。
本発明の好適な一実施形態において、前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、ハードコート層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層およびハードコート層が順次積層されるように構成される。
<化学式2>
式中、mおよびnはそれぞれ独立に0〜10の整数である。
本発明の好適な一実施形態において、前記シリコン酸化物層は0.3〜2.0μmの厚さを有する。
<化学式4>
式中、Xは
(ここで、nは0〜5の整数であり、mは1〜5の整数であり、R1は炭素数1〜10のアルキル基または水素原子である。)
であり、R2は炭素数1〜10のアルキル基である。
本発明の好適な一実施形態において、前記ハードコート層は1.0〜20.0μmの厚さを有する。
ここで、ある部分がある要素を“含む”または“含有する”とすると、これは他の要素を排除するのではなく、特別な言及がなければ他の要素がさらに含まれることができることを意味する。
本明細書全体において、ある部分がある要素の「一方側」に含まれるとすると、これはある要素が他の要素の一面に形成されてもよく、他の要素を中心に一方側に位置してもよいことを意味し、もし他の要素を中心に一方側に位置した場合には、ある要素と他の要素との間に別の要素を含んでもよいことを意味する。
本発明は、ポリイミドフィルムと、前記ポリイミドフィルムの少なくとも一面上にウレタンアクリレート化合物から形成された素子保護層とを含むポリイミドカバー基板に関する。
本発明のポリイミドカバー基板は、ポリイミドフィルムの少なくとも一面にウレタンアクリレート化合物から形成された素子保護層を含む。
前記ポリイミドフィルムは、通常、ジアミンと酸二無水物を重合した後、イミド化して得られる。本発明のポリイミドフィルムは、ポリイミド系樹脂固有の耐熱性を有するとともに、黄色を帯びない無色透明なフィルムであれば制限なく使用可能である。好ましくは、フィルム厚さ10〜100μmを基準に、 UV分光光度計で測定された350〜700nmにおける平均透過度が85%以上であり、 黄色度が15以下であり、TMA−Method法に従って50〜250℃で測定した平均線膨張係数(CTE)が50.0ppm/℃以下であるポリイミドフィルムを使用することができる。
フィルム厚さ10〜100μmを基準として平均透過度が85%未満であるか或いは黄色度が15を超える場合には、透明度に劣ってディスプレイまたは光学素子などに適用することができないという問題点があり、平均線膨張係数(CTE)が50.0ppm/℃を超過する場合には、プラスチック基板との熱膨張係数の差が大きくなり、素子が加熱されまたは高温となり、短絡が発生するおそれがある。
<化学式1>
式中、Rはそれぞれ独立に、ベンゼン基、炭素数1〜5のアルキルベンゼン基、炭素数1〜5のアルコキシベンゼン基、シクロヘキサン基、炭素数1〜5のアルキルシクロヘキサン基、ジフェニルメタン基、ジフェニルエタン基、ジシクロヘキシルメタン基、または炭素数1〜10のアルキル基である。
もし、前記化学式1で表されるウレタンアクリレート化合物の重量平均分子量が1,000g/mol未満である場合には、折畳(folding)の際にクラックが発生するおそれがあり、50,000g/molを超える場合には、弾性力が弱くなって硬度及び素子保護力が低下するおそれがある。
上記範囲内の分子量は、ゲル透過クロマトグラフィー(GPC)(Waters E2695)によってポリスチレン換算重量平均分子量を求めた。測定する重合体は、1重量%の濃度となるようにテトラヒドロフランに溶解してGPCに20μLを注入した。GPCの移動相としてテトラヒドロフランを使用し、1mL/分の流速で流入した。分析は40℃で行った。カラムは2つのPlgel mixed Dと1つのPlgel guard columnを直列に連結した。検出器としてWaters 2414 RI Detectorを使用した。
このようなウレタンアクリレート化合物は、強い弾性力および柔軟性を有しており、ポリイミドフィルムの一面または両面に素子保護層として含まれることにより、ポリイミドフィルムの優れた特性を維持すると同時に、基板の耐衝撃性および曲げ特性を向上させる役割を果たす。
本発明に係る素子保護層は、ウレタンアクリレートを含有する溶液をポリイミドフィルムまたは特定の層上にコートし、乾燥および硬化させる一連の工程を介して得られる。ここで、前記ウレタンアクリレートを含有する溶液は、溶液の全重量%に対し、ウレタンアクリレート化合物が15〜80重量%含有されることが均一なコートおよび厚さ調節の面で好ましい。
前記硬化方法は紫外線硬化方法によって行うことができる。これを考慮して、ウレタンアクリレート化合物を含有する溶液中に光開始剤を含むことができる。前記光開始剤の一例としては、ベンゾインエーテル系光開始剤、ベンゾフェノン系光開始剤またはこれらの組み合わせを挙げることができる。前記紫外線硬化の際に、波長312および/または365nmの紫外線を500〜10,000J/m2で照射して紫外線硬化する。上記範囲未満で硬化を行う場合には、十分な弾性の物性を確保することができず、上記範囲超過で硬化を行う場合には、クラックが発生するおそれがあるという問題点がある。
一方、本発明に係るポリイミドカバー基板は、用途によって、シリコン酸化物層、ハードコート層および透明電極層よりなる群から選ばれる1種以上をさらに含むことができる。
<化学式2>
式中、mおよびnはそれぞれ独立に0〜10の整数である。
化学式2において、nまたはmが0である場合には、純粋な無機物層であって、耐溶剤性および高耐熱性を極大化させることができ、場合に応じて、ポリイミド基板の柔軟性を向上させるためには、化学式1において、nまたはmが1以上の自然数であって、適切な長さのアルキル鎖を有することが有利である。但し、nまたはmが10以上である場合には、疎水性のため、コートの際にコート液の凝集現象が発生するおそれがある。
このようにシリコン酸化物層が含まれた本発明のポリイミドカバー基板は、透過度の向上、黄色度の低下および低い水分透過度の物性を得ることができるという点で有利である。低い水分透過度は、TFTおよびOLED素子を外部の湿潤環境から保護するために不可欠な要素である。
本発明のポリイミドカバー基板の一面または両面にシリコン酸化物層を形成するための一つの方法は、ポリイミドフィルムの一面または両面にポリシラザン含有溶液をコートおよび乾燥させる工程と、前記コートされたポリシラザンを硬化させる工程とを含んでなる。
すなわち、ポリイミドフィルムの少なくとも一面にシリコン酸化物層を形成するためにポリシラザンをコートしてこれを硬化させることにより、下記化学式3の単位構造に存在する−NH−基を、化学式2の単位構造に存在する−O−基に変換して、シリコン酸化物層を形成することができる。硬化は200〜300℃の温度で熱処理して熱硬化させる方法で行われることが好ましい。
<化学式3>
式中、mおよびnはそれぞれ0〜10の整数である。
前記熱硬化方式を採用する場合には、コートされたポリシラザンを200〜300℃の温度で熱処理することにより可能である。熱処理温度を200℃以上にすることにより、ポリシラザンがシリコン酸化物層に硬化するが、硬化時間を短縮させることができ、熱処理温度を300℃以下にすることにより、ポリイミドフィルムとシリコン酸化物層の熱膨張係数の差による歪みを防止することが好ましい。
前記ポリシラザンは、前記化学式3の単位構造を含み、重量平均分子量が1,000〜5,000g/molとしてもよい。
前記化学式3において、m及びnは、最終的に形成されるシリコン酸化物の特性に応じて適切に選択できる。ポリシラザンの重量平均分子量を1,000g/mol以上とすることにより、より優れた耐溶剤性および高耐熱性を確保することができ、5,000g/mol以下にすることにより、溶液の均一なコート性を確保することができる。
前記ポリシラザンを含む溶液を透明ポリイミドフィルムの一面または両面にコートする方法は、スプレーコート、バーコート、スピンコート、ディップコードなどの様々な方法から適切な方法を選択して実施することができる。
<化学式4>
式中、Xは
(ここで、nは0〜5の整数であり、mは1〜5の整数であり、R1は炭素数1〜10のアルキル基または水素原子である)
であり、R2は炭素数1〜10のアルキル基である。
このようなポリイソシアネート化合物は、ヒドロキシル基を有するアクリル樹脂と反応して、アクリレート基を含有するポリイソシアネート化合物を形成することができる。アクイレート基を含有するポリイソシアネート化合物は、硬化の際にコーティング膜の物理的性質を改善することが可能な架橋構造を形成することができる。アクリレート基を含有するポリイソシアネート化合物において、イソシアネート基が5つ以上であれば、硬度の面では有利であるが、架橋度が高いため膜が剛直であってフレキシブルカバー基板における重要な物性としての曲げ特性が低下するおそれがある。
前記アクリレート基を含有するポリイソシアネートのハードコート層は、透明ポリイミドフィルム上に、アクリレート基含有ポリイソシアネートを含む溶液をコートし、乾燥および硬化させる一連の工程を介して得られる。
アクリレート基含有ポリイソシアネートを含む溶液を透明ポリイミドフィルムの一面または両面にコートする方法は、スプレーコート、バーコート、スピンコート、ディップコードなどの様々な方法から適切な方法を選択して実施することができる。
このような透明伝導性物質を用いた透明電極層の形成方法は、化学気相蒸着法(CVD)またはスパッタ蒸着法から適切な方法を選択して実施することができる。このように形成された透明電極層の厚さは10〜50nmであることが好ましいが、抵抗が多少高くても透明性を確保するためには透明電極層の厚さを20nm以下とすることが好ましく、透明性よりは低い抵抗を確保するためには30nm以上の厚さに蒸着することがより好ましい。
本発明に係るポリイミドカバー基板は、素子保護層50、透明電極層40、シリコン酸化物層20、ポリイミドフィルム10、シリコン酸化物層20、透明電極層40およびハードコート層30が順次積層されるように構成されてもよい(図2)。
本発明に係るポリイミドカバー基板は、シリコン酸化物層20、ポリイミドフィルム10、シリコン酸化物層20、透明電極層40、素子保護層50、透明電極層40およびハードコート層30が順次積層されるように構成されてもよい(図3)。
本発明に係るポリイミドカバー基板は、素子保護層50、シリコン酸化物層20、ポリイミドフィルム10、シリコン酸化物層20、透明電極層40、素子保護層50、透明電極層40およびハードコート層30が順次積層されるように構成されてもよい(図4)。
本発明に係るポリイミドカバー基板は、透明電極層40、素子保護層50、シリコン酸化物層20、ポリイミドフィルム10、シリコン酸化物層20およびハードコート層30が順次積層されるように構成されてもよい(図5)。
本発明に係るポリイミドカバー基板は、素子保護層50、ハードコート層30、透明電極層40、シリコン酸化物層20、ポリイミドフィルム10、シリコン酸化物層20、透明電極層40、ハードコート層30および素子保護層50が順次積層されるように構成されてもよい(図6)。
本発明に係るポリイミドカバー基板は、素子保護層50、ハードコート層30、透明電極層40、シリコン酸化物層20、ポリイミドフィルム10、シリコン酸化物層20、透明電極層40およびハードコート層30が順次積層されるように構成されてもよい(図7)。
1−1:ポリイミド粉末の製造
反応器として、攪拌器、窒素注入装置、滴下漏斗、温度調節器及び冷却器を取り付けた1Lの反応器に窒素を通過させながらN,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)832gを満たした後、反応器の温度を25℃にし、ビストリフルオロメチルベンジジン(TFDB)64.046g(0.2mol)を溶解し、この溶液を25℃に維持した。ここに、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物(6FDA)31.09g(0.07mol)とビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)8.83g(0.03mol)を投入し、一定の時間撹拌して溶解及び反応させた。この際、溶液の温度は25℃に維持した。そして、塩化テレフタロイル(TPC)20.302g(0.1mol)を添加して、固形分濃度13重量%のポリアミック酸溶液を得た。前記ポリアミック酸溶液にピリジン25.6g、無水酢酸33.1gを投入して30分撹拌し、さらに70℃で1時間撹拌して常温に冷却し、これをメタノール20Lで沈澱させ、沈澱した固形分を濾過して粉砕した。その後、100℃で真空で6時間乾燥させて111gの固形分粉末のポリイミドを得た。
表面にOH基が結合した非晶質シリカ粒子0.03g(0.03wt%)をN,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)に分散濃度0.1%で投入し、溶媒が透明になるまで超音波処理を施した。その後、前記100gの固形分粉末のポリイミドを670gのN,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)に溶かして13wt%の溶液を得た。こうして得られた溶液をステンレス板に塗布し、340μmにキャスティングし、130℃の熱風で30分乾燥させた。その後、フィルムをステンレス板から剥離してフレームにピンで固定した。フィルムが固定されたフレームを真空オーブンに入れ、100℃から300℃まで2時間ゆっくり加熱し、徐々に冷却し、フレームから分離してポリイミドフィルムを得た。その後、最終熱処理工程として、さらに300℃で30分間熱処理した。このとき、製造されたポリイミドフィルムは厚さが50μmであり、平均光透過度が88%であり、黄色度が3.0であり、TMA−Methodによって50〜250℃で測定した平均線膨張係数(CTE)が20ppm/℃であった。
製造例1で製造されたポリイミドフィルムを準備して比較例1にした。
<比較例2>
化学式2において、m及びnがそれぞれ1で、重量平均分子量が2,000g/molであるポリシラザン(OPTS25 20wt%、Az Materials社製)10gをジブチルエーテル(DBE)10mLに10wt%で溶かした溶液を比較例1の無色透明なポリイミドフィルムの一面にワイヤーで塗布した。その後、80℃の温度で乾燥させて厚さ0.5μmのポリシラザン膜を形成した。次いで、常温で約5分間放置し、約250℃の温度で熱硬化させて厚さ0.5μmのシリコン酸化物層を形成することにより、無色透明なポリイミドフィルムおよびシリコン酸化物層の構造を有するポリイミドカバー基板を製造した。
化学式4において、mおよびnがそれぞれ1であり、R1がヘキシル基であり、R2がヘキシル基であるアクリレート含有ポリイソシアネート(Natoco社製、KLS−009 55wt%)10gをPGMEA10mLに溶かした溶液をバーコートで比較例1の無色透明なポリイミドフィルムの一面に塗布した。その後、80℃の温度で乾燥させて厚さ10μmの塗膜を得た。次いで、312nmおよび365nmの紫外線硬化器を用いて2つの波長を同時に100mW/cm2のエネルギーで10秒間照射して厚さ10μmのハードコート層を形成することにより、無色透明なポリイミドフィルムおよびハードコート層の構造を有するポリイミドカバー基板を製造した。
比較例1のポリイミドフィルムの両面に比較例2と同様の方法でシリコン酸化物層を形成し、前記形成されたシリコン酸化物層の一面に比較例3と同様の方法で厚さ10μmのハードコート層を形成した。裏面にはITOを、スパッタを用いて蒸着させて厚さ20nmの透明電極層を形成することにより、透明電極層、シリコン酸化物層、無色透明なポリイミドフィルム、シリコン酸化物層およびハードコート層が順次積層されたポリイミド基板を製造した。
比較例2と同法の方法で無色透明なポリイミドフィルムの両面にシリコン酸化物層を形成した後、シリコン酸化物層の一面に、比較例3で使用されたアクリレート含有ポリイソシアネート溶液を比較例3と同様の方法で塗布、乾燥および硬化させて厚さ10μmのハードコート層を形成した。その後、ハードコート層が形成されていないシリコン酸化物層の一面にスパッタを用いてITOを蒸着し、透明電極層を形成した。前記形成された透明電極層の一面に、重量平均分子量が8,000g/molであり、化学式1におけるRがヘキシル基であるウレタンアクリレート化合物(Natoco社製、KLH−100)10gをメチルエチルケトン(MEK)10gに溶解し、前記ウレタンアクリレート化合物が溶解した溶液をバーコーターで塗布した後、80℃の温度で乾燥させて厚さ10μmの塗膜を得た。前記得られた塗膜上に、312nmおよび365nmの紫外線硬化器を用いて2つの波長を同時に100mW/cm2のエネルギーで10秒間照射して厚さ10μmの素子保護層を形成することにより、素子保護層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層およびハードコート層が順次積層された構造を有するポリイミドカバー基板(図1)を製造した。
実施例1と同様に、ポリイミドフィルムの両面にシリコン酸化物層を形成し、前記形成されたシリコン酸化物層の両面に透明電極層を形成し、前記透明電極層の一面にハードコート層を形成した。前記ハードコート層が形成されていない透明電極層の一面には素子保護層を形成することにより、素子保護層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層およびハードコート層が順次積層された構造を有するポリイミドカバー基板(図2)を製造した。
実施例1と同様に、ポリイミドフィルムの両面にシリコン酸化物層を形成し、前記形成されたシリコン酸化物層の一面に透明電極層を形成し、前記透明電極層の一面に素子保護層を形成した。素子保護層の一面にさらに透明電極層を形成し、前記形成された透明電極層の一面にハードコート層を形成することにより、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、素子保護層、透明電極層およびハードコート層が順次積層された構造を有するポリイミドカバー基板(図3)を製造した。
実施例1と同様に、ポリイミドフィルムの両面にシリコン酸化物層を形成し、前記形成されたシリコン酸化物層の一面に素子保護層を形成し、素子保護層が形成されていないシリコン酸化物層には透明電極層を形成した。前記形成された透明電極層の一面には素子保護層を形成し、前記形成された素子保護層に透明電極層を形成し、形成された透明電極層の一面上にハードコート層を形成することにより、素子保護層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、 素子保護層、 透明電極層およびハードコート層が順次積層された構造を有するポリイミドカバー基板(図4)を製造した。
実施例1と同様に、ポリイミドフィルムの両面にシリコン酸化物層を形成し、前記形成されたシリコン酸化物層の一面に素子保護層を形成し、前記形成された素子保護層の一面に透明電極層を形成した。 前記透明電極層が形成されていないシリコン酸化物層の一面にハードコート層を形成することにより、透明電極層、素子保護層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、およびハードコート層が順次積層された構造を有するポリイミドカバー基板(図5)を製造した。
実施例1と同様に、ポリイミドフィルムの両面にシリコン酸化物層を形成し、前記形成されたシリコン酸化物層の両面に透明電極層を形成し、前記形成された透明電極層の両面にハードコート層を形成した。 前記形成されたハードコート層の両面に素子保護層を形成することにより、素子保護層、ハードコート層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、ハードコート層および素子保護層が順次積層された構造を有するポリイミドカバー基板(図6)を製造した。
実施例1と同様に、ポリイミドフィルムの両面にシリコン酸化物層を形成し、前記形成されたシリコン酸化物層の両面に透明電極層を形成し、前記形成された透明電極層の両面にハードコート層を形成した。 前記形成されたハードコート層の一面に素子保護層を形成することにより、素子保護層、ハードコート層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層およびハードコート層が順次積層された構造を有するポリイミドカバー基板(図7)を製造した。
下記の方法で物性を測定することにより、その結果を表1および表2に示した。
(1)平均光透過度(%)の測定
各ポリイミドカバー基板の光透過度を分光光度計(CU−3700D、KONICA MINOLTA社製)を用いて350〜700nmで測定した。
(2)黄色度の測定
各ポリイミドカバー基板の黄色度を分光光度計(CU−3700D、KONICA MINOLTA社製)を用いて測定した。
(3)水分透過度(g/m2*day)の測定
各ポリイミドカバー基板の水分透過度(WVTR)を水分透過度器(MOCON/US/Aquatran−model−1)を用いて測定した。
三菱評価用鉛筆(UNI)で電動式鉛筆硬度測定器を用いて1kgの荷重180mm/minの速度で50mmを5回描いた後、表面にスクラッチが全くない鉛筆硬度を測定した。
(5)接着性の測定
標準規格(ASTM D3359)で各ポリイミドカバー基板をクロスカット(Cross Cut)し、テーピング処理して測定した。
(6)曲げ特性の測定
直径10mmのシリンダーに対して各ポリイミドカバー基板を巻いたり解いたりすることを10,000回繰り返し行い、膜の割れの有無を肉眼および顕微鏡で観察し、割れ現象が少しでもある場合には「Failed」と表示し、割れ現象がない場合には「OK」と表示した。
Steelwoolを用いて500gの荷重、50mm/secの速度、100mmの長さで各ポリイミドカバー基板を500回往復擦った後、肉眼および光学顕微鏡でスクラッチの個数を測定した。スクラッチの個数が一つもなければ「○」、1個〜5個未満であれば「△」、5個以上であれば「X」とそれぞれ表示した。
(8)耐衝撃性の測定
0.7Tのガラス上に試片をのせ、ガラスからの50cmの高さでボールを落下してガラスの損傷およびクラックの有無を肉眼および光学顕微鏡で観察し、微細クラックが一つでも観察されれば「Failed」と表示し、観察されなければ「OK」と表示した。
(9)耐化学性の測定
各ポリイミドカバー基板を、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)、ジメチルアセトアミド(DMAc)、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、1%の水酸化カリウム(KOH)、アセトン、イソプロピルアルコール(IPA)、メチルエチルケトン(MEK)およびNaSO2(硫酸ナトリウム)に1時間浸漬した後、肉眼で観察して、白濁現象または異常現象が発生する場合には「X」と表示し、乾燥後の重量変化率が0.01%以内である場合には「○」と表示した。
また、実施例1〜7は、素子保護層を含むことにより、素子保護層を備えていない比較例4と比較して、曲げ特性および耐衝撃性が向上することを確認することができる。また、表面に何らの処理も施していない比較例1と比較することにより、光学電子機器に使用することが可能な適正水準85%以上の透過度および5以下の黄色度を有しながら、水分透過度、鉛筆硬度、接着性、曲げ特性、耐スクラッチ性、耐衝撃性および耐化学性が向上することが分かる。
よって、本発明に係るポリイミドカバー基板は、フレキシブル電子機器のカバー基板として有用に使用することができることを確認することができた。
Claims (17)
- ポリイミドフィルムと、
前記ポリイミドフィルムの少なくとも一面上にウレタンアクリレート化合物から形成された素子保護層とを含むポリイミドカバー基板。 - 前記ウレタンアクリレート化合物は1,000〜50,000g/molの重量平均分子量を有する請求項1または2に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記素子保護層は1.0〜30μmの厚さを有する請求項1に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、シリコン酸化物層、ハードコート層および透明電極層よりなる群から選ばれる1種以上をさらに含む請求項1に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層およびハードコート層が順次積層されて構成されている請求項5に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層およびハードコート層が順次積層されて構成されている請求項5に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、素子保護層、透明電極層およびハードコート層が順次積層されて構成されている請求項5に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、素子保護層、透明電極層およびハードコート層が順次積層されて構成されている請求項5に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、透明電極層、素子保護層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層およびハードコート層が順次積層されて構成されている請求項5に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、ハードコート層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層、ハードコート層および素子保護層が順次積層されて構成されている請求項5に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ポリイミドカバー基板は、素子保護層、ハードコート層、透明電極層、シリコン酸化物層、ポリイミドフィルム、シリコン酸化物層、透明電極層およびハードコート層が順次積層されて構成されている請求項5に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記シリコン酸化物層は0.3〜2.0μmの厚さを有する請求項5〜12のいずれか1項に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ハードコート層は1.0〜20.0μmの厚さを有する請求項5〜12のいずれか1項に記載のポリイミドカバー基板。
- 前記ハードコート層は、10〜50nmの厚さを有する、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)およびインジウムスズ亜鉛酸化物(ITZO)よりなる群から選ばれる1種以上を含む請求項5〜12のいずれか1項に記載のポリイミドカバー基板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2013-0035605 | 2013-04-02 | ||
KR1020130035605A KR101545779B1 (ko) | 2013-04-02 | 2013-04-02 | 폴리이미드 커버기판 |
PCT/KR2014/002733 WO2014163352A1 (en) | 2013-04-02 | 2014-03-31 | Polyimide cover substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016521216A true JP2016521216A (ja) | 2016-07-21 |
JP6276839B2 JP6276839B2 (ja) | 2018-02-07 |
Family
ID=51658589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016505413A Active JP6276839B2 (ja) | 2013-04-02 | 2014-03-31 | ポリイミドカバー基板 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11040522B2 (ja) |
EP (1) | EP2981413B1 (ja) |
JP (1) | JP6276839B2 (ja) |
KR (1) | KR101545779B1 (ja) |
CN (1) | CN105121159B (ja) |
WO (1) | WO2014163352A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018122583A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 東京応化工業株式会社 | 積層体、フレキシブルデバイス及び積層体の製造方法 |
JP2018134808A (ja) * | 2017-02-22 | 2018-08-30 | 三菱瓦斯化学株式会社 | ポリイミドフィルム積層体 |
JP2021030735A (ja) * | 2019-08-14 | 2021-03-01 | エスケイシー・カンパニー・リミテッドSkc Co., Ltd. | ポリイミド系複合フィルムおよびこれを含むディスプレイ装置 |
US11360243B2 (en) | 2015-07-17 | 2022-06-14 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Layered body for optical member and image display device |
WO2022209248A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | Tdk株式会社 | 樹脂複合積層体、樹脂複合積層体の製造方法および伸縮性デバイス |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014124006A1 (en) | 2013-02-05 | 2014-08-14 | The Johns Hopkins University | Nanoparticles for magnetic resonance imaging tracking and methods of making and using thereof |
KR102327147B1 (ko) * | 2014-12-26 | 2021-11-16 | 삼성전자주식회사 | 표시장치용 윈도우 및 이를 포함하는 표시 장치 |
CA2974715C (en) | 2015-01-27 | 2020-05-05 | The Johns Hopkins University | Hypotonic hydrogel formulations for enhanced transport of active agents at mucosal surfaces |
KR102298373B1 (ko) * | 2015-03-27 | 2021-09-03 | 동우 화인켐 주식회사 | 커버 윈도우 기판 및 이를 구비하는 화상표시장치 |
CN105280836B (zh) * | 2015-09-10 | 2018-03-02 | 上海和辉光电有限公司 | 一种制备柔性保护层的方法及柔性显示器件 |
CN107068892B (zh) | 2015-12-17 | 2019-02-19 | 财团法人工业技术研究院 | 保护结构以及电子装置 |
CN109154683A (zh) * | 2016-04-29 | 2019-01-04 | 沙特基础工业全球技术公司 | 高折射率(hri)衬底以及其制造方法 |
KR102040358B1 (ko) * | 2016-06-01 | 2019-11-04 | 주식회사 엘지화학 | 고강도 투명 폴리아미드이미드 필름 및 이의 제조방법 |
KR102040355B1 (ko) * | 2016-06-01 | 2019-11-04 | 주식회사 엘지화학 | 고강도 투명 폴리아미드이미드 및 이의 제조방법 |
KR102040357B1 (ko) * | 2016-06-01 | 2019-11-04 | 주식회사 엘지화학 | 고강도 투명 폴리아미드이미드 및 이의 제조방법 |
KR102040356B1 (ko) * | 2016-06-01 | 2019-11-04 | 주식회사 엘지화학 | 고강도 투명 폴리아미드이미드 및 이의 제조방법 |
TWI638843B (zh) | 2016-06-01 | 2018-10-21 | Lg化學股份有限公司 | 聚醯胺醯亞胺及其製備方法、聚醯胺醯亞胺膜以及顯示器用覆蓋基板 |
KR101801471B1 (ko) * | 2016-06-23 | 2017-11-24 | 동우 화인켐 주식회사 | 하드코팅 필름 및 이를 이용한 화상표시장치 |
US10591761B2 (en) | 2016-10-21 | 2020-03-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flexible plastic substrate and display device including same |
US10418237B2 (en) * | 2016-11-23 | 2019-09-17 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Amorphous boron nitride dielectric |
KR102620962B1 (ko) * | 2016-12-07 | 2024-01-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광표시장치 및 이의 제조방법 |
WO2019083606A1 (en) | 2017-10-27 | 2019-05-02 | Applied Materials, Inc. | FILMS OF SOFT COVERING LENSES |
KR102459607B1 (ko) | 2017-11-08 | 2022-10-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치용 윈도우, 그 윈도우의 제조 방법 및 그 윈도우를 포함하는 표시 장치 |
CN107984839A (zh) * | 2017-12-04 | 2018-05-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种复合保护层及柔性显示装置 |
CN108342082B (zh) * | 2018-02-27 | 2020-12-04 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种具有表面保护层的柔性材料的制备方法 |
KR102691346B1 (ko) | 2018-05-10 | 2024-08-05 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 플렉서블 디스플레이를 위한 교체가능한 커버 렌즈 |
WO2020036693A1 (en) | 2018-08-14 | 2020-02-20 | Applied Materials, Inc. | Multi-layer wet-dry hardcoats for flexible cover lens |
CN111849007B (zh) * | 2019-04-01 | 2021-10-22 | 律胜科技股份有限公司 | 柔性显示覆盖基板 |
US11442201B2 (en) | 2019-04-01 | 2022-09-13 | Microcosm Technology Co., Ltd. | Flexible display cover substrate |
US11934056B2 (en) | 2019-06-26 | 2024-03-19 | Applied Materials, Inc. | Flexible multi-layered cover lens stacks for foldable displays |
KR102147342B1 (ko) * | 2019-09-30 | 2020-08-24 | 에스케이이노베이션 주식회사 | 폴리이미드계 필름 및 이를 이용한 윈도우 커버 필름 |
KR102643076B1 (ko) * | 2020-11-19 | 2024-03-04 | 주식회사 엘지화학 | 디스플레이 장치용 또는 플렉서블 디스플레이 장치용 기판, 및 디스플레이 장치 또는 플렉서블 디스플레이 장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050067037A (ko) * | 2003-12-26 | 2005-06-30 | 린텍 가부시키가이샤 | 하드코트필름 |
JP2006297737A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | ガスバリアフィルム |
JP2009218034A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Toppan Printing Co Ltd | 透明導電性フィルム及びタッチパネル |
WO2010067857A1 (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-17 | リンテック株式会社 | 積層体、その製造方法、電子デバイス部材および電子デバイス |
KR20120078514A (ko) * | 2010-12-31 | 2012-07-10 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 투명 폴리이미드 기판 및 그 제조방법 |
KR20130007238A (ko) * | 2011-06-30 | 2013-01-18 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 기판 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002009478A1 (fr) * | 2000-07-24 | 2002-01-31 | Tdk Corporation | Dispositif luminescent |
CN1301510C (zh) * | 2001-10-05 | 2007-02-21 | 普利司通股份有限公司 | 透明导电性薄膜、其制造方法以及触摸面板 |
US7217344B2 (en) * | 2002-06-14 | 2007-05-15 | Streaming Sales Llc | Transparent conductive film for flat panel displays |
US7297414B2 (en) * | 2003-09-30 | 2007-11-20 | Fujifilm Corporation | Gas barrier film and method for producing the same |
US20060134400A1 (en) * | 2004-12-17 | 2006-06-22 | Nitto Denko Corporation | Hard-coated film and method of manufacturing the same |
JP4855781B2 (ja) * | 2005-02-01 | 2012-01-18 | 日東電工株式会社 | 反射防止ハードコートフィルム、光学素子および画像表示装置 |
US20090056981A1 (en) | 2005-04-18 | 2009-03-05 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Thin film-laminated polyimide film and flexible printed wiring board |
KR100615338B1 (ko) | 2005-06-15 | 2006-08-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 장치 |
JP4350112B2 (ja) | 2005-10-13 | 2009-10-21 | 尾池工業株式会社 | フレキシブル回路基板用積層体及び該フレキシブル回路基板用積層体を用いたフレキシブル回路基板 |
KR101421756B1 (ko) * | 2006-08-18 | 2014-07-22 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 광학 적층체, 편광판 및 화상 표시 장치 |
TW200848835A (en) * | 2007-06-12 | 2008-12-16 | Eternal Chemical Co Ltd | Scratch-resistant optical film having organic particles with highly uniform particle size |
KR101321628B1 (ko) | 2009-06-26 | 2013-10-23 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 플라스틱 기판 및 이를 포함하는 소자 |
EP2310443B1 (en) | 2008-06-30 | 2018-05-30 | Kolon Industries, Inc. | Plastic substrate and device including the same |
KR101020767B1 (ko) | 2010-08-13 | 2011-03-09 | (주)유시스텍 | 투명성 전도박막 제조방법 |
TWI450650B (zh) | 2011-05-16 | 2014-08-21 | Ind Tech Res Inst | 可撓式基材及可撓式電子裝置 |
JP2015522454A (ja) * | 2012-06-25 | 2015-08-06 | コーロン インダストリーズ インク | 透明ポリイミド基板およびその製造方法 |
-
2013
- 2013-04-02 KR KR1020130035605A patent/KR101545779B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-03-31 JP JP2016505413A patent/JP6276839B2/ja active Active
- 2014-03-31 US US14/781,829 patent/US11040522B2/en active Active
- 2014-03-31 CN CN201480019435.9A patent/CN105121159B/zh active Active
- 2014-03-31 EP EP14778211.4A patent/EP2981413B1/en active Active
- 2014-03-31 WO PCT/KR2014/002733 patent/WO2014163352A1/en active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050067037A (ko) * | 2003-12-26 | 2005-06-30 | 린텍 가부시키가이샤 | 하드코트필름 |
JP2006297737A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | ガスバリアフィルム |
JP2009218034A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Toppan Printing Co Ltd | 透明導電性フィルム及びタッチパネル |
WO2010067857A1 (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-17 | リンテック株式会社 | 積層体、その製造方法、電子デバイス部材および電子デバイス |
US20110274933A1 (en) * | 2008-12-12 | 2011-11-10 | Lintec Corporation | Laminate, method for producing same, electronic device member, and electronic device |
KR20120078514A (ko) * | 2010-12-31 | 2012-07-10 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 투명 폴리이미드 기판 및 그 제조방법 |
KR20130007238A (ko) * | 2011-06-30 | 2013-01-18 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 기판 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11360243B2 (en) | 2015-07-17 | 2022-06-14 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Layered body for optical member and image display device |
JP2018122583A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 東京応化工業株式会社 | 積層体、フレキシブルデバイス及び積層体の製造方法 |
JP2018134808A (ja) * | 2017-02-22 | 2018-08-30 | 三菱瓦斯化学株式会社 | ポリイミドフィルム積層体 |
JP2021030735A (ja) * | 2019-08-14 | 2021-03-01 | エスケイシー・カンパニー・リミテッドSkc Co., Ltd. | ポリイミド系複合フィルムおよびこれを含むディスプレイ装置 |
JP7307036B2 (ja) | 2019-08-14 | 2023-07-11 | エスケーマイクロワークス 株式会社 | ポリイミド系複合フィルムおよびこれを含むディスプレイ装置 |
WO2022209248A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | Tdk株式会社 | 樹脂複合積層体、樹脂複合積層体の製造方法および伸縮性デバイス |
CN115413258A (zh) * | 2021-03-31 | 2022-11-29 | Tdk株式会社 | 树脂复合层叠体、树脂复合层叠体的制造方法及伸缩性设备 |
CN115413258B (zh) * | 2021-03-31 | 2024-01-02 | Tdk株式会社 | 树脂复合层叠体、树脂复合层叠体的制造方法及伸缩性设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11040522B2 (en) | 2021-06-22 |
US20160040027A1 (en) | 2016-02-11 |
KR20140120058A (ko) | 2014-10-13 |
EP2981413A1 (en) | 2016-02-10 |
CN105121159A (zh) | 2015-12-02 |
KR101545779B1 (ko) | 2015-08-19 |
EP2981413B1 (en) | 2019-11-13 |
JP6276839B2 (ja) | 2018-02-07 |
CN105121159B (zh) | 2017-03-08 |
WO2014163352A1 (en) | 2014-10-09 |
EP2981413A4 (en) | 2017-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6276839B2 (ja) | ポリイミドカバー基板 | |
TWI507448B (zh) | 透明聚亞醯胺基板及其製造方法 | |
EP2984544B1 (en) | Polyimide cover substrate | |
KR102312462B1 (ko) | 수지 전구체 및 그것을 함유하는 수지 조성물, 폴리이미드 수지막, 수지 필름 및 그 제조 방법 | |
CN108473677B (zh) | 粘接力提高了的聚酰胺酸组合物及包含其的聚酰亚胺膜 | |
US9856399B2 (en) | Polyamic acid, varnish containing same, and polyimide film | |
TW201336679A (zh) | 透明可撓性積層體及積層卷 | |
KR102147330B1 (ko) | 대전방지 폴리이미드계 필름 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이 패널 | |
US20120269990A1 (en) | Phenoxy resin composition for transparent plastic substrate and transparent plastic substrate using the same | |
US11845842B2 (en) | Window cover film and flexible display panel including the same | |
US20240199878A1 (en) | Resin composition, formed article and film | |
US11796718B2 (en) | Optical laminate and flexible display panel including the same | |
KR20180072268A (ko) | 하드 코팅용 수지 조성물 및 이의 경화물을 하드 코팅층으로 포함하는 폴리이미드 기판 | |
US20210002440A1 (en) | Polyimide-Based Film, Film for Cover Window, and Display Device Including the Same | |
KR20160082478A (ko) | 폴리이미드 기판 및 이를 포함하는 표시 기판 모듈 | |
KR102021618B1 (ko) | 박막 트랜지스터용 기판 | |
KR20160081116A (ko) | 디스플레이용 플라스틱 기판 | |
JP2021107534A (ja) | ポリイミドフィルム及びその製造方法並びにフレキシブルデバイス | |
JP2022083786A (ja) | ポリイミド前駆体、ポリイミド、ポリイミドフィルム及びそれを用いた表示装置 | |
JP2020105447A (ja) | ポリイミド前駆体及びポリイミド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161108 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170207 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170606 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170905 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20171102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6276839 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |