JP2015176935A - 分離再生装置および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分離再生装置30はフッ素含有有機溶剤に溶解せずなおかつ比重が軽い液体と、第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤と、第1沸点より高い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤とを有する混合液体を生成する混合排液タンク31(混合液生成部)と、混合液のうち第1のフッ素含有有機溶剤と第2のフッ素含有有機溶剤を第1沸点と第2沸点との間の温度に加熱して気体状の第1のフッ素含有有機溶剤と液体状の第2のフッ素含有有機溶剤とに分離する蒸留タンク34と、蒸留タンク34からの第1のフッ素含有有機溶剤を液化して貯留する第1のタンク35と、蒸留タンク34からの第2のフッ素含有有機溶剤を貯留する第2のタンク36とを備えている。第1のタンク35および第2のタンク36に、余剰圧を混合排液タンク31側へ導く余剰圧戻しライン51、53、55が設けられている。
【選択図】図5
Description
まず本発明による分離再生装置が組込まれた基板処理装置について説明する。基板処理装置の一例として、基板であるウエハW(被処理体)に各種処理液を供給して液処理を行う液処理ユニット2と、液処理後のウエハWに付着している乾燥防止用の液体を超臨界流体(高圧流体)と接触させて除去する超臨界処理ユニット3(高圧流体処理ユニット)とを備えた液処理装置1について説明する。
次に基板処理装置に組み込まれた本実施の形態による分離再生装置について図5乃至図9により説明する。
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
1 液処理装置
2 液処理ユニット
3 超臨界処理ユニット
3A 処理容器
4A 超臨界流体供給部
5 制御部
30 分離再生装置
31 混合排液タンク
32 油水分離器
33 バッファタンク
34 蒸留タンク
34a ヒータ
35 第1のタンク
36 第2のタンク
38 第1の供給ライン
42 第2の供給ライン
51 余剰圧戻しライン
52 余剰圧戻しライン
52a 先端
53 余剰圧戻しライン
55 合流ライン
55a 先端
61 逆止弁
62 逆止弁
63 逆止弁
70 液面センサ
Claims (11)
- フッ素含有有機溶剤に溶解せずなおかつ比重が軽い液体と、第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤と、第1沸点より高い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤とを有する混合液を生成する大気開放系の混合液生成部と、
前記混合液のうち第1のフッ素含有有機溶剤と第2のフッ素含有有機溶剤を前記第1沸点と前記第2沸点との間の温度に加熱するヒータを含み、前記第1のフッ素含有有機溶剤と第2のフッ素含有有機溶剤を気体状の前記第1のフッ素含有有機溶剤と液体状の前記第2のフッ素含有有機溶剤とに分離する蒸留タンクと、
前記蒸留タンクから流れてくる気体状の前記第1のフッ素含有有機溶剤を液化して貯留する第1のタンクと、
前記蒸留タンクから流れてくる液体状の前記第2のフッ素含有有機溶剤を貯留する第2のタンクとを備え、
前記第1のタンクと前記混合液生成部との間、および前記第2のタンクと前記混合液生成部との間に、前記第1のタンクおよび前記第2のタンクからの余剰圧を前記混合生成部へ戻す余剰圧戻しラインを各々設け、各余剰圧戻しラインの先端を前記混合液生成部内の混合液のうちフッ素含有有機溶剤に溶解せずなおかつ比重が軽い液体の下方に配置したことを特徴とする分離再生装置。 - 前記混合液生成部と前記蒸留タンクとの間に、混合液をフッ素含有有機溶剤に溶解せずなおかつ比重が軽い液体と、第1のフッ素含有有機溶剤および第2のフッ素含有有機溶剤とに分離する油水分離器を設けたことを特徴とする請求項1記載の分離再生装置。
- 各余剰圧戻しラインに逆流を防止する逆止弁を設けたことを特徴とする請求項1または2記載の分離再生装置。
- 前記逆止弁はリリーフ弁又は圧力制御弁からなることを特徴とする請求項3記載の分離再生装置。
- 前記第1のタンクおよび前記第2のタンクは、前記混合液生成部より高い場所に設置されて余剰圧戻しライン内の逆流を防止することを特徴とする請求項1または2記載の分離再生装置。
- フッ素含有有機溶剤に溶解せずなおかつ比重が軽い液体と、フッ素含有有機溶剤とを有する混合液を生成する混合液生成部と、
前記混合液のうちフッ素含有有機溶剤を貯留するバッファタンクを備え、
前記バッファタンクと前記混合液生成部との間に、前記バッファタンクからの余剰圧を前記混合液生成部へ戻す余剰圧戻しラインを設け、余剰圧戻しラインの先端を前記混合液生成部のうちフッ素含有有機溶剤に溶解せずなおかつ比重が軽い液体の下方に配置したことを特徴とする分離再生装置。 - 前記混合液生成部と前記バッファタンクとの間に、混合液をフッ素含有有機溶剤に溶解せずなおかつ比重が軽い液体と、フッ素含有有機溶剤とに分離する油水分離器を設けたことを特徴とする請求項6記載の分離再生装置。
- 余剰圧戻しラインに逆流を防止する逆止弁を設けたことを特徴とする請求項6または7記載の分離再生装置。
- 前記逆止弁はリリーフ弁又は圧力制御弁からなることを特徴とする請求項8記載の分離再生装置。
- 前記バッファタンクは、前記混合液生成部より高い場所に設置されて、余剰圧戻しライン内の逆流を防止することを特徴とする請求項6または7記載の分離再生装置。
- 被処理体に第1沸点をもつ第1のフッ素含有有機溶剤と、第1沸点より高い第2沸点をもつ第2のフッ素含有有機溶剤を供給して液処理を行う液処理ユニットと、
液処理後の被処理体に付着しているフッ素含有有機溶剤の液体をフッ素含有有機溶剤の超臨界流体と接触させて除去する超臨界処理ユニットと、
前記液処理ユニットで液処理された被処理体を前記超臨界処理ユニットへ搬送する基板搬送ユニットと、を備え、
前記液処理ユニットまたは/および前記超臨界処理ユニットに請求項1記載の分離再生装置が組み込まれている、ことを特徴とする基板処理装置。
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