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JP2011249664A - Display board module assembling device, and method of assembling the same - Google Patents

Display board module assembling device, and method of assembling the same Download PDF

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JP2011249664A
JP2011249664A JP2010122988A JP2010122988A JP2011249664A JP 2011249664 A JP2011249664 A JP 2011249664A JP 2010122988 A JP2010122988 A JP 2010122988A JP 2010122988 A JP2010122988 A JP 2010122988A JP 2011249664 A JP2011249664 A JP 2011249664A
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JP
Japan
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display substrate
substrate module
illumination
light
substrate
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Pending
Application number
JP2010122988A
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Japanese (ja)
Inventor
Takafumi Hisa
隆文 比佐
Junichi Tamamoto
淳一 玉本
Hiroshi Okada
弘 岡田
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi High Technologies Corp
Hitachi High Tech Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display board module assembling device capable of shortening the length of an assembling line and a tact for the entire line, by eliminating an inspection space and an inspection time exclusive for inspecting displacement of a mounted component.SOLUTION: A display board module assembling device has: a thermocompression processing operation unit 17 for thermally compressing and bonding the mounted component onto a display board P; a carrier device 2 for carrying the display board P; and a mounted component displacement inspection unit 20 for inspecting positional displacement of the mounted component with respect to the display board P. The mounted component displacement inspection unit 20 has imaging means to image an imaging area required to inspect the positional displacement during one time carriage of the display board P by the carrier device 2.

Description

本発明は、液晶やプラズマなどのFPD(=Flat Panel Display)の表示基板の周辺への駆動ICの搭載やCOF(Chip on Film)、FPC(Flexible Printed Circuits)などのいわゆるTAB(=Tape Automated Bonding)接続および周辺基板(PCB=Printed Circuit Board)を実装する処理作業装置及びそれ等から構成される表示基板モジュール組立ラインに関する。より具体的には、搭載したTABやICの位置ズレを検査する検査ユニットまたは検査結果に基づいて構成される表示基板モジュール組立装置及び組立方法に関する。   In the present invention, a driving IC is mounted around a display substrate of an FPD (= Flat Panel Display) such as liquid crystal or plasma, or so-called TAB (= Tape Automated Bonding) such as COF (Chip on Film) or FPC (Flexible Printed Circuits). The present invention relates to a processing work apparatus for mounting a connection and a peripheral board (PCB = Printed Circuit Board), and a display board module assembly line composed thereof. More specifically, the present invention relates to a display substrate module assembling apparatus and an assembling method configured based on an inspection unit or an inspection result for inspecting a positional deviation of a mounted TAB or IC.

表示基板モジュール組立ラインは、液晶、プラズマなどのFPDの表示基板(以下、基本的には単に基板と略し、その他の基板、例えばPCBの場合はPCB基板と明記する)に、複数の処理作業工程を順次行なうことで、該基板の周辺に、駆動IC、TABおよびPCB基板などを実装する装置である。   The display substrate module assembly line is a process substrate for FPD display substrates such as liquid crystal and plasma (hereinafter, simply abbreviated as a substrate, and clearly described as a PCB substrate in the case of a PCB, for example). Is a device for mounting a driving IC, a TAB, a PCB substrate, and the like around the substrate by sequentially performing the above.

例えば、処理工程の一例としては、(1)基板端部のTAB貼付け部を清掃する端子クリーニング工程、(2)清掃後の基板端部に異方性導電フィルム(ACF=Anisotropic Conductive Film)を貼付けるACF工程、(3)貼付けたACFの貼付け状態を検査するACF検査工程、(4)ACFを貼付けた位置の基板配線にTABやICを位置決めして搭載する搭載工程、(5)搭載したTABを加熱圧着することで、ACFにより固定する圧着工程、(6)圧着したTABやICの位置や接続状態を検査する搭載検査工程、(7)TABの基板側と反対側にPCB基板をACFなどで貼付け搭載するPCB工程(複数の工程)などからなる。さらには、処理する基板の辺の数や処理するTABやICの数などで各処理装置の数や基板を回転する処理ユニットなどが必要となる。このような工程を得ることによって、基板上の電極とTAB/IC等の電極との間に設けたACFを熱圧着することによって基板とTABやICを電気的に接続するものである。   For example, as an example of the processing step, (1) a terminal cleaning step for cleaning the TAB attachment portion at the end of the substrate, (2) an anisotropic conductive film (ACF = Anisotropic Conductive Film) is attached to the end of the substrate after cleaning. ACF process, (3) ACF inspection process for inspecting the pasted state of ACF, (4) Mounting process for positioning and mounting TAB and IC on the substrate wiring at the position where ACF is pasted, (5) Mounted TAB (6) Mounting inspection process for inspecting the position and connection state of the TAB or IC that has been crimped, (7) A PCB substrate on the opposite side of the TAB substrate side from the ACF, etc. It consists of a PCB process (multiple processes) and the like that are pasted and mounted. Furthermore, the number of processing apparatuses, processing units for rotating the substrates, and the like are required depending on the number of sides of the substrate to be processed and the number of TABs and ICs to be processed. By obtaining such a process, the substrate is electrically connected to the TAB or IC by thermocompression bonding of an ACF provided between the electrode on the substrate and an electrode such as TAB / IC.

前記ACFを熱圧着する際に、ACFやIC、TABの膨張、あるいはそれらが圧着時にわずかに移動し、搭載部品の位置ズレが発生する。そのため、その位置ズレ量が適正範囲に収まっているか検査する必要がある。従来は、基板を隣接位置に搬送し、停止させて検査していた。このような従来技術としては下記の特許文献1がある。   When the ACF is thermocompression-bonded, the expansion of the ACF, IC, and TAB, or they slightly move during the press-bonding, and a displacement of the mounted components occurs. Therefore, it is necessary to inspect whether the positional deviation amount is within an appropriate range. Conventionally, a substrate is transported to an adjacent position, stopped, and inspected. There exists following patent document 1 as such a prior art.

特開2002−110733号公報JP 2002-110733 A

上記従来技術は、基板の寸法に応じた検査場所を必要とし、表示基板モジュール組立ラインが長くなる課題があった。また、上記従来技術は、検査のみの時間を必要とし、ライン全体の処理時間であるタクトが長くなる課題があった。   The prior art described above requires an inspection place corresponding to the dimensions of the substrate, and there is a problem that the display substrate module assembly line becomes long. Further, the above-described conventional technique has a problem that it requires a time only for inspection, and the tact, which is the processing time for the entire line, becomes long.

そこで、本発明の目的は、表示基板への搭載部品の位置ズレ検査専用の検査スペースと検査時間とを排除し、組立ラインの長さ短縮とライン全体のタクト短縮が可能な表示基板モジュール組立装置及び組立方法を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to eliminate the inspection space and inspection time dedicated to the positional deviation inspection of the components mounted on the display board, and reduce the length of the assembly line and shorten the tact of the entire line. And providing an assembly method.

上記目的を達成するための一実施形態として、表示基板に搭載部品を熱圧着する熱圧着処理作業装置と、前記搭載部品が熱圧着された前記表示基板を搬送する搬送手段と、前記表示基板に対する前記搭載部品の位置ズレを検査する搭載部品ズレ検査ユニットとを有する表示基板モジュール組立装置において、前記搭載部品ズレ検査ユニットは、前記搬送手段による1回の搬送中に前記位置ズレ検査に必要な撮像エリアを撮像する撮像手段を有することを特徴とする表示基板モジュール組立装置とする。   As one embodiment for achieving the above object, a thermocompression processing work apparatus for thermocompression-bonding a mounting component to a display substrate, a transport means for transporting the display substrate to which the mounting component is thermocompression-bonded, and the display substrate In the display substrate module assembling apparatus having a mounting component displacement inspection unit for inspecting a positional displacement of the mounted component, the mounted component displacement inspection unit picks up an image necessary for the positional displacement inspection during one transport by the transport means. A display substrate module assembling apparatus having imaging means for imaging an area is provided.

また、搭載部品を表示基板に熱圧着する熱圧着工程と、前記搭載部品が熱圧着された前記表示基板を搬送する搬送工程と、前記搬送工程において1回の搬送中に前記表示基板に対する前記搭載部品の位置ズレ検査に必要な撮像エリアを撮像する工程とを有することを特徴とする表示基板モジュール組立方法とする。   Also, a thermocompression bonding step for thermocompression bonding the mounted component to the display substrate, a transporting step for transporting the display substrate on which the mounting component is thermocompression bonded, and the mounting on the display substrate during one transport in the transporting step. And a step of imaging an imaging area necessary for component misalignment inspection.

本発明によれば、位置ズレ検査に必要な撮像エリアを1回の基板搬送中に撮像することにより、表示基板への搭載部品の位置ズレ検査専用の検査スペースと検査時間とを排除し、組立ラインの長さ短縮とライン全体のタクト短縮が可能な表示基板モジュール組立装置及び組立方法を提供することができる。   According to the present invention, the imaging area necessary for the positional deviation inspection is imaged during one board transfer, thereby eliminating the inspection space and the inspection time dedicated to the positional deviation inspection of the components mounted on the display board, and assembling. It is possible to provide a display substrate module assembling apparatus and assembling method capable of reducing the length of the line and the tact of the entire line.

本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置を含む組立ラインの概略平面図である。1 is a schematic plan view of an assembly line including a display substrate module assembly apparatus according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置の搬送装置の動作を説明する為のX方向から見た概略断面図であり、(a)は搬送前又は搬送後の状態を、(b)は搬送途中の状態を示す。It is a schematic sectional drawing seen from the X direction for demonstrating operation | movement of the conveying apparatus of the display substrate module assembly apparatus which concerns on 1st Example of this invention, (a) is the state before conveyance or after conveyance ( b) shows the state in the middle of conveyance. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置における搭載部品ズレ検査の検査箇所(図下側)とタイミングチャート(図上側)を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an inspection location (lower side in the figure) and a timing chart (upper side in the figure) of the mounted component deviation inspection in the display substrate module assembling apparatus according to the first example of the present invention. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置におけるアライメントマークによる搭載部品ズレ検査原理と判定方法を示した図であり、(a)は不合格の例、(b)は合格の例を示す。It is the figure which showed the mounting component shift | offset | difference test | inspection principle and determination method by the alignment mark in the display board module assembly apparatus which concerns on 1st Example of this invention, (a) is an example of a disqualification, (b) is an example of a pass. Indicates. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置におけるダミーリードによる搭載部品ズレ検査原理と判定方法を示した概略平面図であり、(a)は搭載部品とそれが搭載される表示基板の対応する領域を、(b)(c)は位置ズレ評価に用いるパターンの例を、(d)(e)は位置ズレ評価判定の例を示す。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the schematic plan view which showed the mounting component shift | offset | difference test | inspection principle and determination method by the dummy lead in the display substrate module assembly apparatus based on 1st Example of this invention, (a) is a mounting component and the display substrate in which it is mounted. (B) and (c) show examples of patterns used for positional deviation evaluation, and (d) and (e) show examples of positional deviation evaluation determination. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置における搭載部品ズレ検査ユニットの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the mounting component shift | offset | difference test | inspection unit in the display substrate module assembly apparatus which concerns on 1st Example of this invention. 本発明の第1の実施例に係る、位置ズレ検査パターンを撮影する為の照明とカメラを備えた搭載部品ズレ検査ユニットの構成の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of a structure of the mounting components shift | offset | difference test | inspection unit provided with the illumination and the camera for imaging | photography the position shift inspection pattern based on 1st Example of this invention. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置におけるCADデータから得られる搭載部品ズレ検査データを示す図である。It is a figure which shows the mounting components shift | offset | difference test | inspection data obtained from CAD data in the display board module assembly apparatus based on the 1st Example of this invention. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置における検査フローチャートを示した図である。It is the figure which showed the test | inspection flowchart in the display board module assembly apparatus which concerns on the 1st Example of this invention. 本発明の第1の実施例に係る搭載部品ズレ検査ユニットにおける撮像手段のシャッタと照明手段の発光タイミングを示した図であり、(a)は撮像手段としてハイスピードエリアカメラを用いた場合、(b)は通常のCCDカメラ等のエリアカメラを用いた場合である。It is the figure which showed the light emission timing of the shutter of an imaging means and the illumination means in the mounting components shift | offset | difference inspection unit which concerns on 1st Example of this invention, (a) is a case where a high speed area camera is used as an imaging means, b) shows a case where an area camera such as a normal CCD camera is used. 本発明の第1の実施例に係る表示基板モジュール組立装置を用いて組立を行う時の処理フローを示した図である。It is the figure which showed the processing flow at the time of assembling using the display substrate module assembly apparatus which concerns on 1st Example of this invention. 本発明の第1の実施例に係る搭載部品ズレ検査ユニットにおける照明機器構成例を示す図であり、(a)は全体構成平面図を、(b)はライトガイド接続部の構成平面図を、(c)は光源出射端の構成平面図を、(d)はリング照明の概略側面図を、(e)はドーム型照明の概略断面図を示す。It is a figure which shows the illuminating device structural example in the mounting component shift | offset | difference inspection unit which concerns on 1st Example of this invention, (a) is a whole structure top view, (b) is a structure top view of a light guide connection part, (C) is a structural plan view of the light source emitting end, (d) is a schematic side view of ring illumination, and (e) is a schematic cross-sectional view of dome-shaped illumination. 本発明の第2の実施例に係る搭載部品ズレ検査ユニットにおける照明機器構成例を示す図であり、(a)はスポット照明の全体平面図を、(b)はリング照明の全体平面図を、(c)はリング照明先端部平面図を、(d)はスポット照明とリング照明の検出信号例を示す。It is a figure which shows the illuminating device structural example in the mounting component shift | offset | difference inspection unit which concerns on 2nd Example of this invention, (a) is the whole top view of spot illumination, (b) is the whole top view of ring illumination, (C) is a plan view of the ring illumination tip, and (d) is an example of detection signals for spot illumination and ring illumination.

以下、実施例により説明する。   Hereinafter, an example explains.

本発明の第一の実施例について、図1から図11を用いて説明する。図1は本実施例に係る表示基板モジュール組立装置を含む表示基板モジュール組立ライン1の概略平面図を、図2は基板の搬送装置2の動作を説明するための基本構成を示した概略断面図である。   A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic plan view of a display board module assembly line 1 including a display board module assembly apparatus according to this embodiment, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a basic configuration for explaining the operation of the board transfer apparatus 2. It is.

図1の装置は、基板Pを保持する基板保持手段12とその基板を隣接する処理作業装置の位置まで搬送するための基板搬送手段11からなる搬送装置2によって、図中左から右に向かって基板Pを順次搬送しながら、基板Pの周辺部に各種処理作業を行って、ICやTABなどの実装組立作業を行なう装置である。図1の装置は、まず、左側の基板長辺側の処理作業装置群13L(図1上段)で基板長辺側の処理を行ない、基板長辺側の処理を行った後、基板Pを基板回転手段19で回転させ(図1上段)、同様な構成を有する基板短辺側の処理作業装置群13S(図1下段)で基板短辺側の処理を行なう。基板長辺側処理作業装置群13L及び基板短辺側処理作業装置群13Sにおいて、以下同一装置、同一機能については同一符号を記す。   The apparatus of FIG. 1 is moved from left to right in the figure by a transfer device 2 comprising a substrate holding means 12 for holding a substrate P and a substrate transfer means 11 for transferring the substrate to the position of an adjacent processing work apparatus. This is an apparatus for performing various assembly operations on the periphery of the substrate P while sequentially transporting the substrates P to perform mounting and assembly operations such as IC and TAB. The apparatus shown in FIG. 1 first performs processing on the long side of the substrate by the processing apparatus group 13L on the left side of the long side of the substrate (upper stage in FIG. 1). The substrate is rotated by the rotating means 19 (upper stage in FIG. 1), and processing on the short side of the substrate is performed by the processing work apparatus group 13S (lower stage in FIG. 1) having the same configuration. In the substrate long side processing work device group 13L and the substrate short side processing work device group 13S, the same reference numerals are used for the same devices and functions.

図1で示す基板長辺側処理として、左から、(1)基板端部のTAB貼付け部を清掃する端子クリーニング工程(端子クリーニング処理作業装置での処理)、(2)清掃後の基板端部に異方性導電フィルム(ACF)を貼付けるACF貼付工程(ACF貼付処理作業装置での処理)及び(3)貼付けたACFの貼付け状態を検査するACF検査工程(ACF貼付処理作業装置での処理)、(4)ACFを貼付けた位置の基板配線にTABやICを位置決めして搭載する搭載工程(TAB/IC搭載処理作業装置での処理)、(5)搭載したTABやICを加熱圧着することで、ACFにより固定する圧着工程(本圧着処理作業装置での処理)を順次行ない、さらに基板長辺側の最後には周辺基板であるPCB基板を実装する処理作業を行なうように構成されている。   As the substrate long side processing shown in FIG. 1, from the left, (1) a terminal cleaning process (processing with a terminal cleaning processing apparatus) for cleaning the TAB attaching portion at the substrate end, (2) the substrate end after cleaning ACF pasting process (processing with an ACF pasting processing work device) for pasting an anisotropic conductive film (ACF) on (3) and ACF inspection step (processing with an ACF pasting processing work device) for inspecting the pasting state of the pasted ACF ), (4) Mounting process (processing with TAB / IC mounting processing work device) for positioning and mounting TAB and IC on the substrate wiring at the position where ACF is pasted, (5) Thermocompression bonding of mounted TAB and IC Thus, the crimping process (processing by the main crimping processing work apparatus) for fixing with the ACF is sequentially performed, and further, the processing work for mounting the PCB substrate as the peripheral substrate is performed at the end on the long side of the substrate. Is constructed sea urchin.

図中の符号14〜20は、長辺側、短辺側とも同一符号で示し、それぞれ、端子クリーニング処理作業装置14、ACF貼付処理作業装置15、TAB/IC搭載処理作業装置16、本圧着処理作業装置17、基板回転手段19及び本圧着処理作業装置17の下流側の搬送路上に設けられた搭載部品ズレ検査ユニット20を示している。また、ACF貼付処理作業装置15内に記載のa〜dは圧着ヘッドを備えた処理作業ユニットを、双方向を示す矢印は処理作業ユニットの移動方向を示す。なお、PCB基板実装作業処理装置は基板短辺側処理作業装置群13Sの下流側にあるがここでは割愛している。   Reference numerals 14 to 20 in the figure denote the same reference numerals on the long side and the short side, respectively, and the terminal cleaning processing work device 14, the ACF sticking processing work device 15, the TAB / IC mounting processing work device 16, and the main pressure bonding processing, respectively. A mounting component misalignment inspection unit 20 provided on the downstream side of the working device 17, the substrate rotating means 19, and the main pressure bonding processing working device 17 is shown. Further, a to d described in the ACF sticking processing work device 15 indicate processing work units provided with a pressure bonding head, and arrows indicating two-way indicate movement directions of the processing work units. Although the PCB substrate mounting work processing apparatus is on the downstream side of the substrate short side processing work apparatus group 13S, it is omitted here.

図2は基板Pの搬送方向であるX方向から見たA−A断面図である。同図に示すように、搬送装置2は、基板搬送手段11と基板保持手段12とを有し、後述する図6Aに示すように各処理作業装置に搬送される各基板の位置を検出するリニアエンコーダ2aが設けてある。基板保持手段12は基板搬送方向に細長い基板保持部材12Aを複数(図2では4本)有する。一方、基板搬送手段11は前記基板保持部材12Aの間に複数(図2では3本)並置した、やはり、基板搬送方向に細長い基板搬送部材11Aと、図2(a)(b)に示すように基板Pを前記基板保持部材12Aに載置又は離間するために前記基板搬送部材11Aを昇降させる基板搬送部材昇降手段11Bと、基板搬送手段11をガイドレール11C上で搬送方向に移動させるスライダ11Dを有する。   FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA when viewed from the X direction, which is the transport direction of the substrate P. As shown in the figure, the transfer device 2 includes a substrate transfer means 11 and a substrate holding means 12, and linearly detects the position of each substrate transferred to each processing work apparatus as shown in FIG. 6A described later. An encoder 2a is provided. The substrate holding means 12 has a plurality (four in FIG. 2) of substrate holding members 12A elongated in the substrate transport direction. On the other hand, a plurality of (three in FIG. 2) substrate transfer means 11 are juxtaposed between the substrate holding members 12A, and the substrate transfer member 11A is elongated in the substrate transfer direction, as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). In order to place the substrate P on or away from the substrate holding member 12A, a substrate transport member lifting / lowering means 11B for moving the substrate transport member 11A up and down, and a slider 11D for moving the substrate transport means 11 on the guide rail 11C in the transport direction. Have

このような構造における搬送方法を、図1に示す基板PをACF貼付処理作業装置15からTAB/IC搭載処理作業装置16に搬送する場合を例に説明する。基板搬送手段11は、ACF貼付処理作業装置15の場所で、図2(b)に示すように基板Pを基板搬送部材11Aにより保持し、基板搬送部材昇降手段11Bにより上昇させ、基板Pを基板保持部材12Aから離間させる。その後、基板Pを上昇保持したままで、スライダ11Dにより基板PをTAB/IC搭載処理作業装置16の位置まで搬送する。このとき、基板搬送部材11Aは、基板保持部材12Aの部材の間を移動する。TAB/IC搭載処理作業装置16では、基板Pを下降させ基板保持部材12Aに載置(図2(a))し、基板搬送部材11Aを基板Pから離間させる。そして、基板PはTAB/IC搭載処理作業装置16で搭載作業が行なわれる。この搭載作業中に、基板搬送手段11は、基板Pを保持していない姿勢を保持し、次の基板を搬送するためにACF貼付処理作業装置15まで戻る。上記一連動作は、組立ライン1で作業中のすべての基板Pに対して同期して行なわれるので、全ての基板Pが同期して搬送され、処理が行なわれることになる。   A transport method in such a structure will be described by taking as an example the case where the substrate P shown in FIG. 1 is transported from the ACF attachment processing work device 15 to the TAB / IC mounting processing work device 16. As shown in FIG. 2B, the substrate transfer means 11 holds the substrate P by the substrate transfer member 11A and raises the substrate P by the substrate transfer member lifting / lowering means 11B at the place of the ACF attaching processing work device 15. Separated from the holding member 12A. Thereafter, the substrate P is transported to the position of the TAB / IC mounting processing work device 16 by the slider 11D while the substrate P is held upward. At this time, the substrate transport member 11A moves between the members of the substrate holding member 12A. In the TAB / IC mounting processing apparatus 16, the substrate P is lowered and placed on the substrate holding member 12 </ b> A (FIG. 2A), and the substrate transport member 11 </ b> A is separated from the substrate P. The substrate P is loaded by the TAB / IC loading processing work device 16. During this mounting operation, the substrate transfer means 11 holds the posture not holding the substrate P, and returns to the ACF application processing work device 15 to transfer the next substrate. Since the above series of operations are performed in synchronism with all the substrates P in operation on the assembly line 1, all the substrates P are conveyed in synchronism and processed.

図1、図2に示す表示基板モジュール組立ライン1及び搬送装置2は一実施例であって、特に、どのような処理作業装置を連ねる必要があるかは、組立作業を行なう表示基板モジュール構成に依存する。また、上述の搬送装置2は一例であり、基板の搬送位置を検出する手段を備えた搬送手段であればよい。   The display substrate module assembly line 1 and the transfer device 2 shown in FIG. 1 and FIG. 2 are one example, and in particular, what kind of processing work devices need to be connected depends on the configuration of the display substrate module that performs the assembly work. Dependent. Further, the above-described transfer device 2 is an example, and any transfer means provided with means for detecting the transfer position of the substrate may be used.

次に、搭載部品ズレ検査ユニット20について説明する。まず、搭載部品ズレ検査について説明する。図3は、後述する搭載部品ズレ検査の検査箇所(図3下側)とタイミングチャート(図3上側)を、図4は、アライメントマークによる検査原理と判定方法を示した図である。   Next, the mounted component deviation inspection unit 20 will be described. First, the mounting component shift inspection will be described. FIG. 3 is a diagram showing an inspection location (lower side in FIG. 3) and a timing chart (upper side in FIG. 3) of a mounted component deviation inspection, which will be described later, and FIG. 4 is a diagram showing an inspection principle and a determination method using alignment marks.

図3の下側には、搭載部品B1〜B6が搭載される処理作業箇所S1〜S6(図3の例では6箇所)と各搭載部品B1〜B6のそれぞれの両端にはアライメントマークMm1、Mh1〜Mm6、Mh6を有する基板Pの一辺を示している。アライメントマークMm1、Mh1〜Mm6、Mh6には、図4(a)に示すように、基板Pに設けた基板アライメントマークMPと搭載部品Bに設けた搭載部品アライメントマークMTがある。そこで、それぞれのアライメントマークMm1、Mh1〜Mm6、Mh6を含む破線で示す撮像エリアHm1、Hh1〜Hm6、Hh6を撮像し、それぞれの両アライメントマークMP、MTを撮像して、そのズレ量、例えば図4(a)に示す両アライメントマークMP、MTの中心を示すプラスのクロス位置MPc、MTcのズレ量を求め、そのズレ量が所定の範囲にあれは合格と判定する。極端な例ではあるが、図4(a)はズレ量が大きい不合格の例を、図4(b)はクロス位置が一致した合格の例を示したものである。なお、クロス位置は必ずしも完全一致でなく、所定の範囲内であれば合格とすることができる。   On the lower side of FIG. 3, the processing work locations S1 to S6 (6 locations in the example of FIG. 3) on which the mounting components B1 to B6 are mounted and the alignment marks Mm1 and Mh1 on both ends of the mounting components B1 to B6. One side of the substrate P having ~ Mm6 and Mh6 is shown. As shown in FIG. 4A, the alignment marks Mm1, Mh1 to Mm6, and Mh6 include a substrate alignment mark MP provided on the substrate P and a mounting component alignment mark MT provided on the mounting component B. Therefore, the imaging areas Hm1, Hh1 to Hm6, and Hh6 indicated by the broken lines including the respective alignment marks Mm1, Mh1 to Mm6, and Mh6 are imaged, the respective alignment marks MP and MT are imaged, and the deviation amount, for example, FIG. 4 (a), the amount of deviation between the positive cross positions MPc and MTc indicating the centers of the alignment marks MP and MT is obtained, and if the amount of deviation is within a predetermined range, it is determined to be acceptable. Although it is an extreme example, FIG. 4 (a) shows an example of a failure with a large amount of deviation, and FIG. 4 (b) shows an example of a pass with matching cross positions. Note that the cross positions are not necessarily completely coincident and can be passed if they are within a predetermined range.

搭載部品Bの位置ズレを検査する箇所としては、上述のアライメントマークの他、ダミーリードDを用いることもできる。図5(a)は、図3に示す基板Pに搭載部品Bと対応する基板Pの処理作業箇所SにおけるダミーリードDT、DPと実際に使用される実リードRT、RPを示した図である。基板Pに基板ダミーリードDPが、搭載部品Bには搭載部品ダミーリードDTがある。それぞれダミーリードDP、DTは、それぞれ実際に使用されるリードRP、RTの端部に設けられている。ダミーリードには、図5(b)に示すように基板ダミーリードDPが搭載部品ダミーリードDTより幅広で2箇所に分かれる離別タイプと、図5(c)に示すように連続している連続タイプとがある。図5(d)は離別タイプの、図5(e)は連続タイプにおける、合格、不合格の例を示した図である。   In addition to the alignment mark described above, a dummy lead D can also be used as a location for inspecting the positional deviation of the mounted component B. FIG. 5A is a diagram showing dummy leads DT and DP and actual leads RT and RP that are actually used at the processing work site S of the substrate P corresponding to the mounting component B on the substrate P shown in FIG. . A substrate dummy lead DP is provided on the substrate P, and a mounting component dummy lead DT is provided on the mounting component B. The dummy leads DP and DT are provided at the ends of the leads RP and RT that are actually used, respectively. As shown in FIG. 5 (b), the dummy lead has a separation type in which the substrate dummy lead DP is wider than the mounting component dummy lead DT and is divided into two parts, and a continuous type as shown in FIG. 5 (c). There is. FIG. 5D is a diagram showing an example of pass / fail in the separation type, and FIG. 5E is a continuous type.

以下の説明では、アライメントマークを用いた検査例について説明する。
先ず、本実施例における搭載部品位置ズレ検査方法の基本的な考え方を説明する。図1に示すように、撮像手段を備えた搭載部品ズレ検査ユニット20を本圧着処理作業装置17の熱圧着ヘッドの搬送方向に対して下流に設け、次の処理作業装置(例えば、図1の長辺側では基板回転手段19)へ基板Pが搬送されている間に、各圧着処理作業箇所SのアライメントマークMを含む撮像エリアHを撮像し、画像を取込み検査する。基本的には、次の基板を処理する前に検査結果を得ることができる。たとえ、その後、検査時間を要したとしても、次の基板の熱圧着処理作業時間内に検査を完了することができるので、画像取込みと検査にのみ時間を設ける必要はない。
In the following description, an example of inspection using alignment marks will be described.
First, the basic concept of the mounting component position shift inspection method in the present embodiment will be described. As shown in FIG. 1, a mounting component deviation inspection unit 20 having an imaging means is provided downstream in the conveying direction of the thermocompression bonding head of the main pressure bonding processing work device 17, and the next processing work device (for example, FIG. On the long side, while the substrate P is being transported to the substrate rotating means 19), the imaging area H including the alignment mark M of each crimping work place S is imaged, and the image is captured and inspected. Basically, the inspection result can be obtained before processing the next substrate. Even if an inspection time is required thereafter, the inspection can be completed within the time of the thermocompression processing for the next substrate, so that it is not necessary to provide time only for image capture and inspection.

図6Aは、本圧着処理作業装置17、搭載部品ズレ検査ユニット20及び次の処理作業装置の例として基板回転手段19を示した図である。次の処理作業装置としては、基板回転手段19の他、PCB基板実装作業処理装置やラインから基板を搬出する基板搬出装置などが考えられる。図1、図6Aに示すように、長辺側では、本圧着処理作業装置17は2台の本圧着処理作業ユニット17a、17bを備えている。本実施例の搭載部品ズレ検査ユニット20は、2台の本圧着処理作業ユニットのうち下流のユニット17bと基板回転手段19間の搬送手段の下に設けられ、前段の2台の本圧着処理作業ユニット17a、17bで熱圧着した処理作業箇所を一度に(1回の搬送で)検査する。なお、1回の搬送とは、基板保持部材12Aで保持された基板Pを基板搬送手段11により持ち上げて移動し下ろすまでの搬送を意味し、この間にアライメントマークを撮像する。この搭載部品ズレ検査ユニット20は、図1に示すように基板短辺側及び基板長辺側の処理作業装置群13S、13L毎に四角形で示した本圧着処理作業装置17の下流側に1台ずつ設けられている。   FIG. 6A is a view showing the substrate rotating means 19 as an example of the main pressure bonding processing work device 17, the mounted component deviation inspection unit 20, and the next processing work device. As the next processing work device, in addition to the substrate rotating means 19, a PCB substrate mounting work processing device, a substrate unloading device for unloading a substrate from a line, and the like can be considered. As shown in FIGS. 1 and 6A, on the long side, the main crimping processing device 17 includes two main crimping processing units 17a and 17b. The mounted component misalignment inspection unit 20 of this embodiment is provided under the conveying means between the downstream unit 17b and the substrate rotating means 19 out of the two main pressure bonding processing work units, and the two main pressure bonding processing operations in the preceding stage. The processing work locations thermocompression-bonded by the units 17a and 17b are inspected at a time (by one transport). Note that one transfer means transfer until the substrate P held by the substrate holding member 12A is lifted and moved by the substrate transfer means 11, and an alignment mark is imaged during this time. As shown in FIG. 1, one mounting component misalignment inspection unit 20 is provided on the downstream side of the main pressure processing work device 17 shown by a rectangle for each of the processing work device groups 13S and 13L on the short substrate side and the long substrate side. It is provided one by one.

搭載部品ズレ検査ユニット20は、図6Aに示すように各辺にある複数の搭載部品Bが搭載される処理作業箇所SにあるアライメントマークMを撮像するための照明手段21及び撮像手段22と、搬送装置2上の基板Pのリニアエンコーダ2aから位置を検出する位置エンコーダセンサ24及び装置制御手段である装置制御部30からの指示を受けて、撮像タイミング等の制御、撮像した画像信号を処理する検査制御手段である画像処理部23とからなる。搭載部品ズレ検査ユニット20の搬送方向の装置の長さに影響を与える構成要素は、照明手段21と撮像手段22であるが、本実施例では特別な設置長さを必要とせず、従来の搬送装置2内に十分設置可能である。   As shown in FIG. 6A, the mounted component deviation inspection unit 20 includes an illumination unit 21 and an imaging unit 22 for imaging the alignment mark M in the processing work place S on which a plurality of mounted components B on each side are mounted. In response to an instruction from the position encoder sensor 24 that detects the position from the linear encoder 2a of the substrate P on the transport apparatus 2 and the apparatus control unit 30 that is an apparatus control means, the control of the imaging timing and the like, and the captured image signal are processed. The image processing unit 23 is an inspection control unit. The components that affect the length of the device in the conveyance direction of the mounted component deviation inspection unit 20 are the illumination unit 21 and the imaging unit 22, but in this embodiment, no special installation length is required, and the conventional conveyance is performed. It can be installed in the apparatus 2 sufficiently.

図6Bは、それを実現する搭載部品ズレ検査ユニットのブロック図である。照明は2種類の照明を使用している。これは、搭載部品に付されたアライメントマークの撮影と基板Pに付されたアライメントマークの撮影を同時に行うためである。搭載部品Bに付されたアライメントマークは、例えばポリイミド上の銅板をエッチングして形成されており表面がデコボコしているため、それを撮影する為には、拡散反射により撮影する必要がある。それに対し、基板Pに付されたアライメントマークは、例えばガラス上の導体パターンで表面が平坦であり、それを撮影するためには、正反射により撮影すればよい。搭載部品Bに付されたアライメントマークと基板Pに付されたアライメントマークの双方を撮影するために、拡散反射の照明と正反射の照明を設けている。これらのアライメントマークを同時に照明して撮影することにより、基板搬送中であっても短時間に搭載部品ズレ検査用の画像を得ることができる。ここで、符号21−1は光源、符号21−2はライトガイド、符号21−6はリング照明、符号122はハーフミラー、22−1はカメラ、22−2はレンズ、符号23−1は画像ボード、符号23−2はデジタルI/O、符号23−3はLANを示す。   FIG. 6B is a block diagram of a mounted component deviation inspection unit that realizes the above. There are two types of lighting. This is because the alignment mark attached to the mounted component and the alignment mark attached to the substrate P are simultaneously photographed. The alignment mark attached to the mounting component B is formed, for example, by etching a copper plate on polyimide, and the surface is uneven. In order to photograph it, it is necessary to photograph by diffuse reflection. On the other hand, the alignment mark attached to the substrate P is, for example, a conductive pattern on glass and has a flat surface, and in order to photograph it, the image may be photographed by regular reflection. In order to photograph both the alignment mark attached to the mounting component B and the alignment mark attached to the substrate P, diffuse reflection illumination and regular reflection illumination are provided. By illuminating and photographing these alignment marks at the same time, it is possible to obtain an image for mounting component displacement inspection in a short time even while the substrate is being conveyed. Here, reference numeral 21-1 is a light source, reference numeral 21-2 is a light guide, reference numeral 21-6 is ring illumination, reference numeral 122 is a half mirror, reference numeral 22-1 is a camera, reference numeral 22-2 is a lens, reference numeral 23-1 is an image. A board, reference numeral 23-2 represents digital I / O, and reference numeral 23-3 represents a LAN.

なお、搬送速度が高速で搬送中に画像を取得するために画像がブレない照明手段21、撮像手段22の構成及びそれらの制御タイミングが重要である。図9(a)は、撮像手段として、ハイスピードエリアカメラを用いた時、図9(b)は、通常のCCDカメラ等のエリアカメラを用いた時のシャッタと照明手段の発光タイミングを示した図である。   In addition, in order to acquire an image during conveyance with high conveyance speed, the structure of the illumination means 21 and the imaging means 22 in which an image does not blur, and those control timings are important. FIG. 9A shows the light emission timing of the shutter and the illumination means when a high speed area camera is used as the imaging means, and FIG. 9B shows the shutter and illumination means when an area camera such as a normal CCD camera is used. FIG.

先ず、カメラ22−1としてハイスピードエリアカメラを用いた時を説明する。ハイスピードエリアカメラのシャッタスピードは搬送速度に比べて速く、そのシャター開放時間Raは短いために、照明手段21を適切な光量Uaで点灯し続けて撮像する。本方法での照明機材は、連続点灯可能な水銀ランプ(アークランプ)やハロゲンランプ、フィラメント式ランプ等が使用可能である。さらに、カメラ22−1として、ラインセンサカメラを用いることができる。ラインセンサカメラを用いた場合、撮像範囲はライン状であり、光量はそれほど必要がないが、前述したアライメントマークMを検出できる分解能とシャッタスピードが必要である。なお、言うまでもないが、ラインセンサカメラは、そのライン方向が基板の搬送方向に対して直角となるように配置される。   First, the case where a high speed area camera is used as the camera 22-1 will be described. Since the shutter speed of the high-speed area camera is faster than the transport speed and the shutter release time Ra is short, the illumination means 21 continues to be lit with an appropriate amount of light Ua for imaging. As the lighting equipment in this method, a mercury lamp (arc lamp), a halogen lamp, a filament lamp, or the like that can be continuously lit can be used. Further, a line sensor camera can be used as the camera 22-1. When the line sensor camera is used, the imaging range is in a line shape and the amount of light is not so much, but the resolution and the shutter speed capable of detecting the alignment mark M described above are required. Needless to say, the line sensor camera is arranged such that its line direction is perpendicular to the substrate transport direction.

一方、通常のエリアカメラでは、カメラのシャタースピードは遅く、シャター開放時間Rbは搬送速度より十分は長いため、搬送により画像が流れてしまうために、照明手段21を短時間に発光Ubさせ、ブレのない画像を取得する。短時間Utの発光のため、高光量の照射手段が必要である。この際に、照明の点灯時間がシャターの開放時間に比べ十分に短いため、シャターの開放遅延時間dtを考慮して、事前にカメラのシャターを開き、続いて照明を点灯させるようにすることが必要である。   On the other hand, in a normal area camera, the shutter speed of the camera is slow and the shutter release time Rb is sufficiently longer than the transport speed, so that an image flows due to the transport. Get images without. For light emission in a short time Ut, a high light quantity irradiation means is necessary. At this time, since the lighting time of the illumination is sufficiently shorter than the shutter opening time, the shutter of the camera is opened in advance in consideration of the shutter opening delay time dt, and then the lighting is turned on. is necessary.

本実施例では図9(b)に示した場合の照明方法について説明するが、光源やカメラを除き特段の事情が無い限り図9(a)の場合にも適用できる。図11は本実施例に係る搭載部品ズレ検査ユニットにおける照明機器構成例を示す図であり、図11(a)は全体構成平面図を、図11(b)はライトガイド接続部の構成平面図を、図11(c)は光源出射端の構成平面図を、図11(d)はリング照明の概略側面図を、図11(e)はドーム型照明の概略断面図を示す。短時間に高光量を得る光源として、キセノンランプを用いた。図11(a)に示すように、例えば30W程度のキセノンランプの出射端に光ファイバを用いた2分岐ライトガイド21−2を取り付け、一方のライトガイド21−4を拡散反射の照明用とし他方のライトガイド21−3を正反射の照明用とすることにより、一度の発光で同時にそれぞれのアライメントマークを照明することが可能となる。   In this embodiment, the illumination method shown in FIG. 9B will be described. However, the present embodiment can also be applied to the case shown in FIG. 9A unless there are special circumstances except for the light source and the camera. 11A and 11B are diagrams showing an example of the configuration of the illumination device in the mounted component misalignment inspection unit according to the present embodiment. FIG. 11A is an overall configuration plan view, and FIG. 11B is a configuration plan view of the light guide connecting portion. 11 (c) is a structural plan view of the light source emitting end, FIG. 11 (d) is a schematic side view of ring illumination, and FIG. 11 (e) is a schematic cross-sectional view of dome-shaped illumination. A xenon lamp was used as a light source for obtaining a high amount of light in a short time. As shown in FIG. 11 (a), for example, a two-branch light guide 21-2 using an optical fiber is attached to the exit end of a xenon lamp of about 30 W, and one light guide 21-4 is used for diffuse reflection illumination and the other. By using the light guide 21-3 for regular reflection illumination, it becomes possible to simultaneously illuminate each alignment mark with one light emission.

次に、正反射用のスポット照明について説明する。正反射用のスポット照明21−5は、例えば2分岐ライトガイド21−2から分岐した一方の光ファイバを用いたライトガイドの先端を同軸落射用のレンズに取り付けることで可能である。或いは、図6Bに示すように、カメラ22−1のレンズ22−2と撮影する物体の間に、ハーフミラー122をカメラ22−1に対して45度の角度で配しハーフミラー面に対し45度の角度(カメラ22-1に対して90度)から前記光ファイバを用いたライトガイドの出射端を合わせることで、同軸落射用のレンズと同様の効果を得ることも可能である。   Next, regular reflection spot illumination will be described. For example, the spot illumination 21-5 for specular reflection can be achieved by attaching the tip of a light guide using one optical fiber branched from the two-branch light guide 21-2 to a coaxial incident lens. Alternatively, as shown in FIG. 6B, a half mirror 122 is arranged at an angle of 45 degrees with respect to the camera 22-1 between the lens 22-2 of the camera 22-1 and the object to be photographed, and 45 with respect to the half mirror surface. It is also possible to obtain the same effect as a coaxial incident lens by matching the light guide emission end using the optical fiber from an angle of 90 degrees (90 degrees with respect to the camera 22-1).

さらに、拡散反射用の照明について説明する。図11(a)(d)に示すように、2分岐ライトガイド21−2から分岐した拡散反射用に振り分けた光ファイバを用いたライトガイドを円周上に配してリング照明21−6aとし、物点の1点に向くように照射光31を調整することで(図11(d))、拡散反射用の照明とすることが可能である。例えば、φ20程度の円周上に内側45度に光ファイバを用いたライトガイドの出射端を均一になるように配し、リング状にする(図11(a))。リング状になった光ファイバを用いたライトガイドを撮影する物体(基板P)の高さ10mmに置くことで拡散反射用照明の最適化を図ることができる。   Furthermore, the diffuse reflection illumination will be described. As shown in FIGS. 11A and 11D, a light guide using an optical fiber distributed for diffuse reflection branched from the two-branch light guide 21-2 is arranged on the circumference to form a ring illumination 21-6a. By adjusting the irradiation light 31 so as to be directed to one of the object points (FIG. 11D), it is possible to obtain diffuse reflection illumination. For example, on the circumference of about φ20, the exit end of the light guide using the optical fiber is arranged uniformly at 45 degrees inside to form a ring shape (FIG. 11A). Optimizing the diffuse reflection illumination can be achieved by placing a light guide using a ring-shaped optical fiber at a height of 10 mm of the object (substrate P) to be photographed.

また、ファイバの出射端にレンズを入れ光の拡散を防止してN/Aを上げることも可能である。拡散反射の照明方法として、リング型の照明方法としたが、図11(e)に示すようにドーム型の拡散反射用照明21−6bを用いて撮影してもよい。ドーム内の照明は内周に沿って1列や2列に配置することができる。それ以上も可能だが、寸法や照度を考慮すると1〜3列が実用的であり、2列が好適である。また、リング型やドーム型のように周囲が連続した形態ではなく、照明部を幾つかのブロックに分割してもよい。この場合には、照明部のブロック数に応じた複数分岐ライトガイドを用いればよい。   It is also possible to increase the N / A by inserting a lens at the output end of the fiber to prevent light diffusion. Although the ring-type illumination method is used as the diffuse reflection illumination method, the dome-shaped diffuse reflection illumination 21-6b may be used as shown in FIG. The illumination in the dome can be arranged in one or two rows along the inner periphery. More than that is possible, but considering the dimensions and illuminance, 1-3 rows are practical, and 2 rows are preferred. In addition, the illumination unit may be divided into several blocks instead of a continuous form like a ring type or a dome type. In this case, a multi-branch light guide corresponding to the number of blocks in the illumination unit may be used.

なお、キセノンランプの発光ムラに対しては、図11(c)に示したように、例えばキセノンランプ21−10の出射端にレンズ21−9を配することにより、発光ムラを抑制することができる。   As shown in FIG. 11C, the uneven emission of the xenon lamp can be suppressed by arranging a lens 21-9 at the exit end of the xenon lamp 21-10, for example. it can.

次に、2つに分岐した光の使い方について説明する。一方の光を正反射用照明として、他方を拡散反射用照明として利用するが、その際に、正反射用照明より、拡散反射用照明の方により多くの光を割り振る必要がある。これは、正反射用照明は発光元の光がそのまま、受光側に取り入れられるのに対し、拡散反射用照明の場合、発光側の光の一部が受光側に取り入れられる為である。即ち、
正反射用照明光量<拡散反射用照明光量
とする。そのために、光ファイバを用いたライトガイドのファイバの振り分け量を例えば、正反射用照明光量:拡散反射用照明光量=3:7のように振り分け、正反射光量と拡散反射光量とを調整し、基板Pのアライメントマークと搭載部材Bのアライメントマークを同等の明るさで観察可能とする。
Next, how to use the light branched into two will be described. One light is used as regular reflection illumination, and the other is used as diffuse reflection illumination. At that time, it is necessary to allocate more light to the diffuse reflection illumination than to the regular reflection illumination. This is because, in the case of regular reflection illumination, the light from the light source is directly taken into the light receiving side, whereas in the case of diffuse reflection illumination, a part of the light on the light emitting side is taken into the light receiving side. That is,
Illumination light quantity for specular reflection <Illumination light quantity for diffuse reflection
And For this purpose, the light guide fiber distribution amount using the optical fiber is distributed, for example, as follows: regular reflection illumination light amount: diffuse reflection illumination light amount = 3: 7, and adjusting the regular reflection light amount and the diffuse reflection light amount, The alignment mark on the substrate P and the alignment mark on the mounting member B can be observed with the same brightness.

さらに、微細な光量の調整方法を説明する。図11(b)に示すように、例えば光ファイバを用いたライトガイドを途中で切断し、ライトガイド接続器21−8を挿入するように配し、ライトガイド接続器21−8内において光ファイバを用いたライトガイドの距離を調整する機構(光量絞り機構21−7)を設けることで減光し、照射光量の調整を行うことが可能となる。或いは、ライトガイド接続器21−8内において、光ファイバを用いたライトガイドの間に色つきのガラスフィルタ(光量絞り機構21−7)を挿入することで減光し、照射光量の調整を可能とする。なお、光量絞り機構を備えたライトガイド接続器は、正反射用ライトガイド又は拡散反射用ライトガイド、或いはその両者に取り付けることができる。   Furthermore, a fine light amount adjustment method will be described. As shown in FIG. 11B, for example, a light guide using an optical fiber is cut halfway and a light guide connector 21-8 is inserted, and the optical fiber is inserted in the light guide connector 21-8. By providing a mechanism (light quantity diaphragm mechanism 21-7) for adjusting the distance of the light guide using the light, it is possible to adjust the irradiation light quantity. Alternatively, in the light guide connector 21-8, a colored glass filter (light quantity diaphragm mechanism 21-7) is inserted between the light guides using optical fibers so that the light intensity can be reduced and the irradiation light quantity can be adjusted. To do. Note that the light guide connector having the light quantity stop mechanism can be attached to the regular reflection light guide, the diffuse reflection light guide, or both.

正反射用照明光量と拡散反射用照明光量を調整することにより確実に基板側および搭載部品側のアライメントマークの撮像が可能となり、搭載部品ズレ検査を行なうことができる。   By adjusting the amount of illumination light for regular reflection and the amount of illumination light for diffuse reflection, it is possible to reliably image the alignment marks on the substrate side and the mounted component side, and to perform a mounted component shift inspection.

次に、搭載部品Bが基板Pに搭載された後の搭載部品ズレ検査のためのアライメントマークの撮影タイミングについて説明する。図3(上側)は、前述したように図6Aに示した搭載部品ズレ検査ユニット20の処理タイミングチャートを示す。図7はCADデータから得られる搭載部品ズレ検査に必要な搭載部品ズレ検査データ(以下、単に検査データという)例を示す。また、基板Pは、図3(下側)に示す矢印Aの方向に、即ち、左から右に向けて搬送される。時間は逆に右から左へと流れる。なお、図3(下側)に示すWはY方向の距離を示す。   Next, the imaging timing of the alignment mark for mounting component deviation inspection after the mounting component B is mounted on the substrate P will be described. FIG. 3 (upper side) shows a processing timing chart of the mounted component deviation inspection unit 20 shown in FIG. 6A as described above. FIG. 7 shows an example of mounted component displacement inspection data (hereinafter simply referred to as inspection data) necessary for mounted component displacement inspection obtained from CAD data. The substrate P is transported in the direction of arrow A shown in FIG. 3 (lower side), that is, from left to right. Conversely, time flows from right to left. Note that W shown in FIG. 3 (lower side) indicates a distance in the Y direction.

基板Pが搬送された時に最初に撮像されるアライメントマークMは、一番右側にある搭載部品B1の右側アライメントマークMm1である。その後、搭載部品B1の左側アライメントマークMh1、搭載部品B2の右側、左側アライメントマークMm2、Mh2・・・と順次撮像される。図3(下側)において、アライメントマークMの周囲に示す破線は、各位置における撮像エリアHを表し、その添付符号は、アライメントマークMの符号に合わせて、Hm1、Hh1、Hm2、Hh2・・・と表す。その撮像エリアの位置はその中心位置で表し、その符号は、搬送方向はX方向であるから、Xm1、Xh1、Xm2、Xh2・・・と表す。式(1)、式(2)に示す各撮像エリアの位置を得るためには、第1に一番右側にあるアライメントマークMm1の本圧着処理作業装置における位置から撮像手段間での距離Lm1、第2に右側アライメントマーク間の距離Lm、第3に左右アライメントマーク間の距離Lmh及び搭載位置個数nである。   The alignment mark M that is first imaged when the substrate P is transported is the right alignment mark Mm1 of the mounting component B1 on the rightmost side. Then, the left alignment mark Mh1 of the mounting component B1, the right side of the mounting component B2, the left alignment marks Mm2, Mh2,. In FIG. 3 (lower side), a broken line around the alignment mark M represents the imaging area H at each position, and its attached code is Hm1, Hh1, Hm2, Hh2,... According to the code of the alignment mark M.・ It expresses. The position of the imaging area is represented by the center position, and the code is represented as Xm1, Xh1, Xm2, Xh2,... Since the transport direction is the X direction. In order to obtain the position of each imaging area shown in Expression (1) and Expression (2), first, the distance Lm1 between the imaging means from the position of the alignment mark Mm1 on the rightmost side in the main crimping processing work apparatus, The second is the distance Lm between the right alignment marks, the third is the distance Lmh between the left and right alignment marks, and the number n of mounting positions.

Xmn=Lm1+(n−1)×Lm・・・・・・・・・(1)
Xhn=Xmn+Lmh・・・・・・・・・・・・・・(2)
ここでn=1〜6の整数
また、検査データとしては、撮像エリアの寸法を規定する、X方向とY方向の長さ、HX、HYが必要である。実際の撮像エリアは、基板Pを搬送手段2上に、載置する際或いは搬送中に生じるズレのため位置ズレが発生する。しかし、この位置ズレは、そのズレを見込んで撮像エリアを広く設定するか、あるいは、本圧着処理作業装置のアライメントで得られる位置ズレ量により撮像エリアを補正することにより対応が可能である。
Xmn = Lm1 + (n−1) × Lm (1)
Xhn = Xmn + Lmh (2)
Here, n is an integer from 1 to 6. Further, as inspection data, lengths in the X and Y directions, HX, and HY that define the dimensions of the imaging area are required. In the actual imaging area, a positional shift occurs due to a shift that occurs when the substrate P is placed on the transfer means 2 or during the transfer. However, this misalignment can be dealt with by setting a wide imaging area in anticipation of the misalignment or by correcting the imaging area based on the misalignment amount obtained by the alignment of the present crimping processing apparatus.

従って、本実施例の撮像手段22の構成及びそれらの制御タイミングを制御するタイミング制御手段を有することで、確実に撮像エリアを撮像でき、搭載部品ズレ検査を行なうことができる。   Accordingly, by having the configuration of the imaging means 22 of this embodiment and the timing control means for controlling the control timing thereof, the imaging area can be reliably imaged and the mounted component deviation inspection can be performed.

次に、検査手順について説明する。
搭載部品ズレ検査ユニット20の検査処理フローを図8に示し、その検査フローを図3(上側)に示す処理タイミングチャートを参照して説明する。
Next, the inspection procedure will be described.
FIG. 8 shows an inspection processing flow of the mounted component deviation inspection unit 20, and the inspection flow will be described with reference to a processing timing chart shown in FIG. 3 (upper side).

搭載部品ズレ検査ユニット20は本圧着処理作業装置17が処理作業を終了すると下記のステップにより検査処理を行なう。
先ずステップS801において、画像処理部23はエンコーダパルス信号を監視する。搬送手段2が動き始めるとエンコーダパルス信号S2が出力し始める。そこで、エンコーダパルス信号S2をカウントする(ステップS802)。搬送手段2は、徐々に速度Vhを上げ、その後速度を一定に保持し、基板Pが次の処理作業装置である基板回転手段19に到着する手前から速度を徐々に低下させ停止する。エンコーダパルス信号S2は搬送手段2の速度の立上がりや立下がり時には、そのパルス幅は変化するが、撮像エリアHの位置は時間で管理するのではなく、距離で管理するのでエンコーダパルス数をカウントすれば得ることができる。
The mounted component misalignment inspection unit 20 performs an inspection process according to the following steps when the main crimping processing device 17 finishes the processing operation.
First, in step S801, the image processing unit 23 monitors the encoder pulse signal. When the conveying means 2 starts to move, the encoder pulse signal S2 starts to be output. Therefore, the encoder pulse signal S2 is counted (step S802). The transport means 2 gradually increases the speed Vh, and then keeps the speed constant, and stops by gradually decreasing the speed before the substrate P arrives at the substrate rotating means 19 that is the next processing work apparatus. The pulse width of the encoder pulse signal S2 changes when the speed of the conveying means 2 rises or falls, but the position of the imaging area H is managed not by time but by distance, so the number of encoder pulses can be counted. If you can get.

そこで、カウント数が式(1)、式(2)に示すカウントかを判断する(ステップS803)。撮像エリアと判断されると、画像処理部23は、照明手段21、撮像手段22に撮像パルスStを出力する。そこで、照明手段21は場合によってはフラッシングFsし、Fsに同期して撮像手段22は撮像し、画像データを画像処理部23に転送する。画像処理部23は、画像データを処理して位置ズレ検査をする(ステップS804)。検査の結果、位置ズレが規定範囲以上であるか判断し、合否の判定を行なう(ステップS805)。不合格ならば、不合格となった処理作業位置、処理作業した熱圧着ヘッドの番号及びその位置ズレ量等の検査結果を記憶する(ステップS806)。すべての処理作業箇所Sにおける検査が終了したら(ステップS807)、装置制御部30は画像処理部23による検査結果及び画像データを統括制御部60に送信する(ステップS808)。   Therefore, it is determined whether the count number is the count shown in Expression (1) or Expression (2) (Step S803). When it is determined that the area is an imaging area, the image processing unit 23 outputs an imaging pulse St to the illumination unit 21 and the imaging unit 22. Therefore, the illumination unit 21 performs flushing Fs depending on the case, and the imaging unit 22 captures images in synchronization with Fs and transfers the image data to the image processing unit 23. The image processing unit 23 processes the image data and performs a positional deviation inspection (step S804). As a result of the inspection, it is determined whether the positional deviation is equal to or greater than a specified range, and pass / fail is determined (step S805). If it fails, the processing results such as the processing work position that has been rejected, the number of the thermocompression bonding head that has been processed, and the amount of displacement are stored (step S806). When the inspection at all the processing work locations S is completed (step S807), the apparatus control unit 30 transmits the inspection result and image data by the image processing unit 23 to the overall control unit 60 (step S808).

本実施例では、画像処理部23は、本圧着処理作業装置17の制御部を兼ねる装置制御部30に内蔵したが、次の作業処理装置の制御部に内蔵してもよい。さらに、前述したように、搭載部品ズレ検査ユニット20は、装置長さを必要としないが、画像処理部23を装置制御部30から独立し、搭載部品ズレ検査ユニット専用のユニット制御部を設け、その内部に設けてもよい。   In the present embodiment, the image processing unit 23 is built in the device control unit 30 that also serves as the control unit of the main pressure bonding processing work device 17, but may be built in the control unit of the next work processing device. Furthermore, as described above, the mounted component deviation inspection unit 20 does not require an apparatus length, but the image processing unit 23 is independent from the apparatus control unit 30, and a unit control unit dedicated to the mounted component deviation inspection unit is provided. You may provide in the inside.

また、本実施例では、撮像手段等を搭載部品ズレ検査ユニット20として、本圧着処理作業装置17の後段に設けたが、撮像手段等を本圧着処理作業装置17の内部であって、最下流の本圧着処理作業ユニット、即ち本圧着処理作業ユニット17bの熱圧着ヘッド17bhの下流に設けてもよい。   Further, in this embodiment, the image pickup means and the like are provided as the mounted component deviation inspection unit 20 at the rear stage of the main pressure bonding processing work device 17. May be provided downstream of the thermocompression-bonding head 17bh of the main-compression processing operation unit, that is, the main-compression processing operation unit 17b.

さらに、1枚の基板に対して本圧着処理作業箇所Sが多く、取得した画像の処理時間が所望の時間内、例えば、搬送中に処理できなければ、さらに、他の熱圧着ヘッドの下流に撮像に必要な撮像手段等を設けてもよい。例えば、熱圧着ヘッド17ahと熱圧着ヘッド17bhの間に前記撮像手段等を設けることができる。   Furthermore, if there are many main crimping processing locations S for one substrate and the processing time of the acquired image cannot be processed within a desired time, for example, during conveyance, further downstream of other thermocompression bonding heads. An imaging means or the like necessary for imaging may be provided. For example, the imaging means and the like can be provided between the thermocompression bonding head 17ah and the thermocompression bonding head 17bh.

上述したように、搬送中に搭載部品ズレ検査を行なうことにより、搭載部品ズレ検査作業のみの処理時間が不要な、並びに搭載部品ズレ検査作業のために基板Pの寸法に応じた処理作業スペースが不要な、または基板Pの寸法に応じた専用の搭載部品ズレ検査装置が不要な、前記検査作業搭載部品ズレ検査が可能な処理作業装置または搭載部品ズレ検査方法を提供することができる。   As described above, by performing the mounted component shift inspection during the conveyance, the processing time for the mounted component shift inspection work alone is not required, and a processing work space corresponding to the size of the substrate P is provided for the mounted component shift inspection work. It is possible to provide a processing work device or a mounted component shift inspection method that can perform the inspection work mounted component shift inspection that is unnecessary or does not require a dedicated mounted component shift inspection device according to the dimensions of the substrate P.

また、搭載部品ズレ検査によりワーク(表示基板)の流れが妨げられないため、表示基板モジュール組立のタクト時間を短縮できる、また、搭載部品ズレ検査装置専用の基板搭載用ステージが不要であるため、ライン長の短い表示基板モジュール組立ライン及び表示基板モジュール組立方法を提供することができる。   In addition, because the flow of the workpiece (display substrate) is not hindered by the mounting component displacement inspection, the tact time of the display substrate module assembly can be shortened, and the substrate mounting stage dedicated to the mounting component displacement inspection device is unnecessary. A display substrate module assembly line and a display substrate module assembly method with a short line length can be provided.

次に、図8の搭載位置ズレ検査フローチャートのステップS806による判定結果を受信した装置制御部30と、ライン全体を制御する統括制御部60の処理を説明する。
装置制御部30は、画像処理部23から得た検査結果情報と不合格となった搭載位置を有する基板ID情報とを、統括制御部60に送信する。統括制御部60は、搭載部品ズレ検査ユニット20から下流の各装置に対して、例えば、基板回転手段19の装置制御部30等に前記基板ID情報を流し、各装置は当該基板に対して処理を行なわず、ただ単に流す、スルー処理をすることを指示する。
Next, processing of the apparatus control unit 30 that has received the determination result in step S806 of the mounting position deviation inspection flowchart of FIG. 8 and the overall control unit 60 that controls the entire line will be described.
The apparatus control unit 30 transmits the inspection result information obtained from the image processing unit 23 and the board ID information having the mounting position that has been rejected to the overall control unit 60. The overall control unit 60 sends the board ID information to, for example, the apparatus control unit 30 of the board rotating means 19 for each apparatus downstream from the mounted component deviation inspection unit 20, and each apparatus processes the board. Instructs to do the slewing process, without running.

また、装置制御部30は、検査より不合格が規定回数以上連続するか、又は不合格の頻度が指定割合を超えたときには、本圧着処理作業装置17に異常ありと判断し、統括制御部60にその旨を送信する。また、図1に示す装置では、本圧着処理作業装置17に対して複数(長辺側2つ)の本圧着処理作業ユニットを設けている。この場合、同じ本圧着処理作業ユニット、特にその本圧着作業処理ユニットの有する熱圧着ヘッドで不合格を多発する、あるいは不合格の頻度の高いときは、装置制御部30は、残りの本圧着処理作業ユニットで作業を継続させるかを判断し、その旨を統括制御部60に伝える。統括制御部60は、不合格を多発する、あるいは不合格の頻度の高い本圧着作業処理ユニットあるいは熱圧着ヘッドを表示装置62に表示する。継続する場合は、例えば、表示結果を見て、その間に対象の本圧着処理作業ユニットを交換、或いは修理を行ない、ラインの維持を行なう。   Further, the apparatus control unit 30 determines that there is an abnormality in the present crimping processing work device 17 when the number of failures continues more than the specified number of times from the inspection, or when the frequency of the failures exceeds a specified ratio, and the overall control unit 60 To that effect. Further, in the apparatus shown in FIG. 1, a plurality (two on the long side) of the main pressure-bonding work unit 17 is provided for the main pressure-bonding work device 17. In this case, when the failure frequently occurs in the same main pressure bonding processing unit, in particular, the thermocompression bonding head of the main pressure bonding processing unit, or when the frequency of the failure is high, the apparatus control unit 30 performs the remaining main pressure bonding processing. It is determined whether or not the work unit is to continue work, and the fact is notified to the overall control unit 60. The overall control unit 60 causes the display device 62 to display a main crimping operation processing unit or a thermocompression bonding head that frequently fails or has a high frequency of rejection. In the case of continuing, for example, the display result is viewed, and the target main crimping processing unit is replaced or repaired in the meantime to maintain the line.

さらに、装置制御部30は不合格情報だけでなく、画像処理データ及び検出結果等自体を統括制御部60に送信し、統括制御部60では、これらのデータをサーバ61に蓄積し、例えば貼付け誤差情報等を時系列的あるいは統計的に処理して、表示装置62によりオペレータに提供する。   Furthermore, the apparatus control unit 30 transmits not only the failure information but also the image processing data and the detection result itself to the overall control unit 60. The overall control unit 60 accumulates these data in the server 61, for example, pasting error Information or the like is processed in time series or statistically and provided to the operator by the display device 62.

次に、作業品種の指定からその作業が終了するまでの処理フローについて説明する。
図10は、本実施例に係る表示基板モジュール組立装置を用いて組立を行う時の処理フロー図である。
Next, the processing flow from the designation of the work type to the end of the work will be described.
FIG. 10 is a processing flowchart when assembling using the display substrate module assembling apparatus according to the present embodiment.

先ずステップS10Aにおいて作業員が作業品種を指定する。次に、ステップS10Bにおいて新品種かどうか判断し、既品種ならば直接ステップS10Dに進む。新品種であるならば、統括制御部60は、サーバ61に蓄積されているCADデータから図に示す搭載部品ズレ検査データを作成・保存(ステップS10C)した後に、ステップS10Dに進む。   First, in step S10A, an operator designates a work type. Next, in step S10B, it is determined whether or not it is a new variety. If it is a new product, the overall control unit 60 creates and saves the mounted component deviation inspection data shown in the figure from the CAD data stored in the server 61 (step S10C), and then proceeds to step S10D.

ステップS10Dにおいて、装置制御部30は、搭載部品ズレ検査データを統括制御部60から受取る。その後、図8に示すステップS801〜ステップS808の処理を行なう(ステップS10E)。次に、ステップS10Fにおいて、統括制御部60は、必要枚数の処理が終了したかどうかを判断する。終了でなければ、上述したステップS10Eに戻り、終了していれば次のステップS10Gに進む。ステップS10Gでは、品種切替の要求があるか判断し、あれば、ステップS10Aに戻り、なければ処理を終了する。   In step S <b> 10 </ b> D, the device control unit 30 receives the mounted component deviation inspection data from the overall control unit 60. Then, the process of step S801-step S808 shown in FIG. 8 is performed (step S10E). Next, in step S10F, the overall control unit 60 determines whether the necessary number of sheets has been processed. If not completed, the process returns to the above-described step S10E, and if completed, the process proceeds to the next step S10G. In step S10G, it is determined whether there is a request for switching the product type. If there is, the process returns to step S10A, and if not, the process is terminated.

以上、説明したように、検査データをCADデータから自動的に得ることができ、作業員の負担を軽減できる搭載部品ズレ検査ユニットあるいは表示基板モジュール組立ラインを提供することができる。上記ステップ(S10C)において、サーバ61に蓄積されているCADデータから自動的に作成したが、入出力装置63から入力してよい。   As described above, inspection data can be automatically obtained from CAD data, and a mounting component displacement inspection unit or a display substrate module assembly line that can reduce the burden on workers can be provided. In the step (S10C), it is automatically created from the CAD data stored in the server 61, but may be input from the input / output device 63.

また、搭載部品ズレに異常が発生したとき、その結果を本圧着処理作業装置にフィードバックすることで、稼働率の高い本圧着処理作業装置あるいは表示基板モジュール組立ラインを提供できる。また、搭載部品ズレに異常が発生したとき、その結果を表示基板モジュール組立ラインにフィードフォワードし、不要な作業を行なわず、効率のよい、信頼性の高い表示基板モジュール組立ラインを提供できる。さらに、搭載部品位置ズレ等の種々のデータを保存し、時系列変化、あるいは統計データを監視できる搭載部品ズレ検査ユニットまたは表示基板モジュール組立ラインを提供することができる。   In addition, when an abnormality occurs in the mounted component deviation, the result is fed back to the main crimping processing work apparatus, thereby providing a main pressing processing work apparatus or a display substrate module assembly line with a high operating rate. Further, when an abnormality occurs in the mounted component deviation, the result is fed forward to the display board module assembly line, and an efficient and highly reliable display board module assembly line can be provided without performing unnecessary work. Furthermore, it is possible to provide a mounting component shift inspection unit or a display board module assembly line that can store various data such as mounting component position shifts and monitor time-series changes or statistical data.

以上、本実施例によれば、単一光源からの光を正反射用照明と拡散反射用照明として1回の基板搬送中に基板と搭載部品のそれぞれの位置ズレ検査用マークを照明し、その照明を利用して位置ズレ検査に必要な撮像エリアを1回の基板搬送中に撮像することにより、表示基板への搭載部品の位置ズレ検査専用の検査スペースと検査時間とを排除し、組立ラインの長さ短縮とライン全体のタクト短縮が可能な表示基板モジュール組立装置及び組立方法を提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, the light from the single light source is illuminated as the specular reflection illumination and the diffuse reflection illumination during the one-time substrate transport, and the position inspection mark for each of the substrate and the mounted component is illuminated. By using the illumination to capture the imaging area necessary for positional deviation inspection during one board transfer, the inspection space and inspection time dedicated to positional deviation inspection of components mounted on the display board are eliminated, and the assembly line It is possible to provide a display substrate module assembling apparatus and an assembling method capable of reducing the length of the circuit board and reducing the tact time of the entire line.

第2の実施例について図12を用いて説明する。図12は本実施例に係る搭載部品ズレ検査ユニットにおける照明機器構成例を示す図であり、図12(a)はスポット照明の全体平面図を、図12(b)はリング照明の全体平面図を、図12(c)はリング照明先端部平面図を、図12(d)はスポット照明とリング照明の検出信号例を示す。なお、符号32は光ファイバ、符号40は光センサを示す。   A second embodiment will be described with reference to FIG. FIGS. 12A and 12B are diagrams showing an example of a configuration of an illumination device in the mounted component misalignment inspection unit according to the present embodiment. FIG. 12A is an overall plan view of spot illumination, and FIG. 12B is an overall plan view of ring illumination. FIG. 12C is a plan view of the ring illumination tip, and FIG. 12D is an example of detection signals for spot illumination and ring illumination. Reference numeral 32 denotes an optical fiber, and reference numeral 40 denotes an optical sensor.

実施例1では、フラッシュ発光光源として単一のキセノンランプを使用したが、本実施例では図12(a)(b)に示すように、正反射用照明(図12(a))と拡散反射用照明(図12(b))として別々のキセノンランプを用いる。なお、拡散反射用照明において、リング照明の各々の照明孔へは光ファイバ32を用いて導くことができる(図12(c))。   In the first embodiment, a single xenon lamp is used as a flash light source. However, in this embodiment, as shown in FIGS. 12A and 12B, regular reflection illumination (FIG. 12A) and diffuse reflection are used. A separate xenon lamp is used as the illumination (FIG. 12 (b)). In the diffuse reflection illumination, it can be guided to each illumination hole of the ring illumination by using the optical fiber 32 (FIG. 12C).

2台のキセノンランプを用いる場合、全く同じタイミングで発光の指示を行っても、キセノンランプの個体差により発光ズレ(n(ms))が発生することがある(図12(d))。これを抑制するために、本実施例では発光ジッタを測定し、発光タイミングを合わせた。実施例1では部材側と基板側のアライメントマークを同時に撮影しているが、本実施例ではそれらを1回の搬送中に別々に撮影し、位置補正を行って画像を合成することにより、搭載部材位置ズレ検査用の画像を得る。なお、光源の数を2台としたが、それ以上の複数台としてもよい。   When two xenon lamps are used, even if a light emission instruction is given at exactly the same timing, a light emission shift (n (ms)) may occur due to individual differences of the xenon lamps (FIG. 12D). In order to suppress this, in this embodiment, light emission jitter was measured and the light emission timing was adjusted. In the first embodiment, the alignment marks on the member side and the substrate side are photographed at the same time, but in this embodiment, they are separately photographed during one transport, and the position correction is performed to compose the image. An image for a member position deviation inspection is obtained. Although the number of light sources is two, a plurality of light sources may be used.

正反射用照明と拡散反射用照明のそれぞれの照明として図9(a)で説明した連続照射が可能なランプ(水銀ランプ等)と、ハイスピードカメラ或いはラインセンサカメラを用いることにより、発光タイミングの調整は不要となる。本照明法を用いても搭載部品位置ズレ検査用の画像を得ることができる。   By using a lamp (such as a mercury lamp) capable of continuous irradiation described in FIG. 9A and a high-speed camera or a line sensor camera as the illumination for specular reflection and diffuse reflection, the emission timing can be adjusted. No adjustment is necessary. Even when this illumination method is used, it is possible to obtain an image for mounting component position shift inspection.

なお、正反射用照明と拡散反射用照明として2台の光源を用いる構成を除き、特段の事情が無い限り実施例1で示した表示基板モジュール組立装置や搬送装置の構成、搭載部品ズレ検査ユニットの構成、検査方法や表示基板組立方法、正反射用照明と拡散用照明の光量の調整法等、実施例1に記載され本実施例に未記載の事項は本実施例にも適用できる。   Except for the configuration using two light sources as the regular reflection illumination and the diffuse reflection illumination, unless otherwise specified, the configuration of the display substrate module assembling apparatus and the conveying apparatus shown in the first embodiment, the mounted component deviation inspection unit The matters described in the first embodiment and not described in the present embodiment, such as the configuration of the above, the inspection method, the display substrate assembly method, the adjustment method of the light quantity of the regular reflection illumination and the diffusion illumination, and the like can also be applied to this embodiment.

以上、本実施例によれば、複数(2つ)の光源からの光をそれぞれ正反射用照明及び拡散反射用照明として1回の基板搬送中に基板と搭載部品のそれぞれの位置ズレ検査用マークを照明し、その照明を利用して位置ズレ検査に必要な撮像エリアを1回の基板搬送中に撮像することにより、表示基板への搭載部品の位置ズレ検査専用の検査スペースと検査時間とを排除し、組立ラインの長さ短縮とライン全体のタクト短縮が可能な表示基板モジュール組立装置及び組立方法を提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, light from a plurality of (two) light sources is used as a specular reflection illumination and a diffuse reflection illumination, respectively. By using this illumination, the imaging area necessary for the positional deviation inspection is imaged during one board transfer, so that the inspection space dedicated to the positional deviation inspection of the components mounted on the display board and the inspection time can be reduced. Accordingly, it is possible to provide a display substrate module assembling apparatus and an assembling method capable of eliminating the length of the assembling line and reducing the tact time of the entire line.

1:表示基板モジュール組立ライン、
2:搬送装置、2a:リニアエンコーダ、
11:基板搬送手段、11A:基板搬送部材、11B:基板搬送部材昇降手段、11C:ガイドレール、11D:スライダ、
12:基板保持手段、12A:基板保持部材、
13L:基板長辺側の処理作業装置群、13S:基板短辺側の処理作業装置群、
16:TAB/IC搭載処理作業装置、
17:本圧着処理作業装置、17a〜b:本圧着処理作業ユニット、17ah〜bh:熱圧着ヘッド、
19:基板回転手段、
20:搭載部品ズレ検査ユニット、
21:照明手段、21−1:フラッシュ発光光源、21−2:2分岐ライトガイド、21−3、21−4:ライトガイド、21−5:スポット照明、21−6、21−6a:リング照明、21−6b:拡散反射用ドーム照明、21−7:光量絞り機構、21−8:ライトガイド接続器、21−9:レンズ、21−10:Xeランプ、
22:撮像手段、22−1:カメラ、22−2:レンズ、
23:画像処理部、23−1:画像ボード、23−2:デジタルI/O、23−3:LAN、
24:位置エンコーダセンサ、
30:装置制御部、
31:リング照明照射光、
32:光ファイバ、
40:光センサ、
60:統括制御部、
61:サーバ、
62:表示装置、
63:入出力装置、
122:ハーフミラー、
M:アライメントマーク、MP:基板アライメントマーク、MT:アライメントマーク、
P:基板(表示基板)、
S:処理作業箇所。
1: Display board module assembly line,
2: conveying device, 2a: linear encoder,
11: Substrate transport means, 11A: Substrate transport member, 11B: Substrate transport member lifting / lowering means, 11C: Guide rail, 11D: Slider,
12: Substrate holding means, 12A: Substrate holding member,
13L: processing work equipment group on the long side of the substrate, 13S: processing work equipment group on the short side of the substrate,
16: TAB / IC mounting processing work device,
17: Main pressure bonding processing work apparatus, 17a-b: Main pressure bonding processing work unit, 17ah-bh: Thermocompression bonding head,
19: Substrate rotating means,
20: Mounting component deviation inspection unit,
21: Illumination means, 21-1: flash light source, 21-2: 2-branch light guide, 21-3, 21-4: light guide, 21-5: spot illumination, 21-6, 21-6a: ring illumination 21-6b: Diffuse reflection dome illumination, 21-7: Light quantity stop mechanism, 21-8: Light guide connector, 21-9: Lens, 21-10: Xe lamp,
22: imaging means, 22-1: camera, 22-2: lens,
23: Image processing unit, 23-1: Image board, 23-2: Digital I / O, 23-3: LAN,
24: Position encoder sensor,
30: Device control unit,
31: Ring illumination irradiation light,
32: optical fiber,
40: optical sensor,
60: General control unit,
61: server,
62: Display device
63: I / O device,
122: Half mirror,
M: alignment mark, MP: substrate alignment mark, MT: alignment mark,
P: substrate (display substrate),
S: Processing work location.

Claims (18)

表示基板に搭載部品を熱圧着する熱圧着処理作業装置と、前記搭載部品が熱圧着された前記表示基板を搬送する搬送手段と、前記表示基板に対する前記搭載部品の位置ズレを検査する搭載部品ズレ検査ユニットとを有する表示基板モジュール組立装置において、
前記搭載部品ズレ検査ユニットは、前記搬送手段による前記表示基板の1回の搬送中に前記位置ズレ検査に必要な撮像エリアを撮像する撮像手段を有することを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
A thermocompression processing operation apparatus for thermocompression-bonding the mounted component to the display substrate, a conveying means for conveying the display substrate on which the mounted component is thermocompression-bonded, and a mounted component displacement for inspecting the positional displacement of the mounted component with respect to the display substrate In a display substrate module assembly apparatus having an inspection unit,
The mounting component deviation inspection unit includes an imaging unit that images an imaging area necessary for the positional deviation inspection during one transfer of the display substrate by the transfer unit.
請求項1記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記搭載部品ズレ検査ユニットは、正反射用照明部および拡散反射用照明部と、前記正反射用照明部および拡散反射用照明部へ光を供給する光源とを含む照明手段を有することを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
In the display substrate module assembly apparatus according to claim 1,
The mounting component shift inspection unit includes illumination means including a regular reflection illumination unit and a diffuse reflection illumination unit, and a light source that supplies light to the regular reflection illumination unit and the diffuse reflection illumination unit. Display board module assembly apparatus.
請求項2記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記光源は単一光源であることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembly apparatus according to claim 2,
The display substrate module assembling apparatus, wherein the light source is a single light source.
請求項2記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記光源は複数光源であることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembly apparatus according to claim 2,
The display substrate module assembling apparatus, wherein the light source is a plurality of light sources.
請求項3又は4に記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記光源はフラッシュ発光光源であることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembly apparatus according to claim 3 or 4,
The display substrate module assembling apparatus, wherein the light source is a flash light source.
請求項5記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記フラッシュ発光光源の出射端には発光ムラを抑制する発光ムラ抑制手段が設けられていることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
In the display substrate module assembly apparatus according to claim 5,
A display substrate module assembling apparatus, wherein light emission unevenness suppressing means for suppressing light emission unevenness is provided at an emission end of the flash light emission source.
請求項6記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記発光ムラ抑制手段はレンズであることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
In the display substrate module assembly apparatus according to claim 6,
The display substrate module assembling apparatus, wherein the light emission unevenness suppressing means is a lens.
請求項3又は4に記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記光源は連続点灯光源であることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembly apparatus according to claim 3 or 4,
The display substrate module assembling apparatus, wherein the light source is a continuous lighting light source.
請求項2乃至8のいずれか1項に記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記拡散反射用照明部の拡散反射用照明光量と前記正反射用照明部の正反射用照明光量とは、
正反射用照明光量<拡散反射用照明光量
の関係にあることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembly apparatus according to any one of claims 2 to 8,
The diffuse reflection illumination light amount of the diffuse reflection illumination unit and the regular reflection illumination light amount of the regular reflection illumination unit are:
A display substrate module assembling apparatus having a relationship of illumination light quantity for regular reflection <light quantity for diffuse reflection.
請求項9記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記光源と、前記正反射用照明部或いは拡散反射用照明部とを接続するライトガイドと、
前記ライトガイドの途中に挿入され、前記正反射用照明光量の調整又は前記拡散反射用照明光量の調整、或いはその両者の調整を行う光量絞り機構を備えたライトガイド接続器とを有することを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembly apparatus according to claim 9,
A light guide connecting the light source and the regular reflection illumination unit or the diffuse reflection illumination unit;
A light guide connector that is inserted in the middle of the light guide and includes a light amount diaphragm mechanism that adjusts the amount of illumination light for regular reflection or the amount of illumination light for diffuse reflection, or both. Display board module assembly apparatus.
請求項2乃至10のいずれか1項に記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記拡散反射用照明部はリング状であることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembling apparatus according to any one of claims 2 to 10,
The display substrate module assembling apparatus according to claim 1, wherein the diffuse reflection illumination section has a ring shape.
請求項2乃至10のいずれか1項に記載の表示基板モジュール組立装置において、
前記拡散反射用照明部はドーム状であることを特徴とする表示基板モジュール組立装置。
The display substrate module assembling apparatus according to any one of claims 2 to 10,
The display substrate module assembling apparatus, wherein the diffuse reflection illumination section has a dome shape.
搭載部品を表示基板に熱圧着する熱圧着工程と、前記搭載部品が熱圧着された前記表示基板を搬送する搬送工程と、前記搬送工程において1回の搬送中に前記表示基板に対する前記搭載部品の位置ズレ検査に必要な撮像エリアを撮像する撮像工程とを有することを特徴とする表示基板モジュール組立方法。   A thermocompression bonding step of thermocompression-bonding the mounted component to the display substrate; a transporting step of transporting the display substrate on which the mounting component is thermocompression bonded; and the mounting component with respect to the display substrate during one transport in the transporting step. A display substrate module assembling method, comprising: an imaging step of imaging an imaging area necessary for the positional deviation inspection. 請求項13記載の表示基板モジュール組立方法において、
前記撮像工程は、1回の前記搬送工程の最中に、前記位置ズレ検査に必要な撮像エリアに対して正反射用照明と拡散反射用照明を行う照明工程を有することを特徴とする表示基板モジュール組立方法。
The display substrate module assembling method according to claim 13,
The imaging substrate includes an illumination step of performing illumination for specular reflection and illumination for diffuse reflection on an imaging area necessary for the positional deviation inspection during one transporting step. Module assembly method.
請求項14記載の表示基板モジュール組立方法において、
前記照明工程は単一光源を用いて行われることを特徴とする表示基板モジュール組立方法。
The display substrate module assembling method according to claim 14,
The method of assembling a display substrate module, wherein the illumination step is performed using a single light source.
請求項14記載の表示基板モジュール組立方法において、
前記照明工程は複数光源を用いて行われることを特徴とする表示基板モジュール組立方法。
The display substrate module assembling method according to claim 14,
The display substrate module assembling method, wherein the illumination step is performed using a plurality of light sources.
請求項16記載の表示基板モジュール組立方法において、
前記複数光源は複数のフラッシュ発光光源であり、
前記照明工程は、前記複数のフラッシュ発光光源の発光ジッタを測定し発光タイミングを合わせる工程を有することを特徴とする表示基板モジュール組立方法。
The display substrate module assembling method according to claim 16,
The plurality of light sources are a plurality of flash light sources;
The display substrate module assembling method, wherein the illuminating step includes a step of measuring a light emission jitter of the plurality of flash light emission sources and adjusting a light emission timing.
請求項14乃至16のいずれか1項に記載の表示基板モジュール組立方法において、
前記照明工程は、連続点灯光源を用いて行われることを特徴とする表示基板モジュール組立方法。
The display substrate module assembly method according to any one of claims 14 to 16,
The method of assembling a display substrate module, wherein the illumination step is performed using a continuous lighting light source.
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