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JP2010079209A - Novel photosensitive resin composition, and use thereof - Google Patents

Novel photosensitive resin composition, and use thereof Download PDF

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JP2010079209A
JP2010079209A JP2008250553A JP2008250553A JP2010079209A JP 2010079209 A JP2010079209 A JP 2010079209A JP 2008250553 A JP2008250553 A JP 2008250553A JP 2008250553 A JP2008250553 A JP 2008250553A JP 2010079209 A JP2010079209 A JP 2010079209A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition allowing micro-fine working owing to its photosensitivity, developable by an dilute alkaline solution, curable at low temperatures (200°C or lower), rich in flexibility, excellent in electric insulation reliability, soldering heat resistance, stability against an organic solvent and flame retardancy, capable of reducing a warpage after cured, and excellent in tightness with a sealant. <P>SOLUTION: The problem is solved using the photosensitive resin composition containing at least (A) a polyimide precursor imidized partially and having an amido bond other than a polyamido acid region, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

この発明は、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温(200℃以下)で硬化可能であり、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、半田耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、封止剤との密着性に優れる感光性樹脂組成物、それから得られる樹脂フィルム、絶縁膜、及び絶縁膜付きプリント配線板に関するものである。   Since this invention has photosensitivity, it can be finely processed, can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, can be cured at a low temperature (200 ° C. or less), has high flexibility, electrical insulation reliability, and solder heat resistance. , A photosensitive resin composition having excellent organic solvent resistance and flame retardancy, small warpage of the substrate after curing, and excellent adhesion to the sealant, a resin film obtained therefrom, an insulating film, and a printed film with an insulating film The present invention relates to a wiring board.

ポリイミド樹脂は、耐熱性、電気絶縁信頼性や耐薬品性、機械特性に優れることから電気・電子用途に広く使用されている。例えば、半導体デバイス上への絶縁フィルムや保護コーティング剤、フレキシブル回路基板や集積回路等の基材材料や表面保護材料、更には、微細な回路の層間絶縁膜や保護膜を形成させる場合に用いられる。   Polyimide resins are widely used in electrical and electronic applications because of their excellent heat resistance, electrical insulation reliability, chemical resistance, and mechanical properties. For example, it is used to form insulating films and protective coatings on semiconductor devices, base materials such as flexible circuit boards and integrated circuits, surface protective materials, and further, interlayer insulating films and protective films for fine circuits. .

特に、フレキシブル回路基板用の表面保護材料として用いる場合には、ポリイミドフィルム等の成形体に接着剤を塗布して得られるカバーレイフィルムが用いられてきた。このカバーレイフィルムをフレキシブル回路基板上に接着する場合、回路の端子部や部品との接合部に予めパンチングなどの方法により開口部を設け、位置合わせをした後に熱プレス等で熱圧着する方法が一般的である。   In particular, when used as a surface protective material for a flexible circuit board, a coverlay film obtained by applying an adhesive to a molded body such as a polyimide film has been used. When bonding this coverlay film on a flexible circuit board, there is a method in which an opening is provided in advance by a method such as punching in a terminal portion of a circuit or a joint portion with a component, and after aligning, a method of thermocompression bonding by a hot press or the like is used. It is common.

しかし、薄いカバーレイフィルムに高精度な開口部を設けることは困難であり、また、貼り合わせ時の位置合わせは手作業で行われる場合が多いため、位置精度が悪く、貼り合わせの作業性も悪く、コスト高となっていた。   However, it is difficult to provide a high-precision opening in a thin coverlay film, and the alignment at the time of bonding is often performed manually, so the positional accuracy is poor and the workability of bonding is also low. It was bad and expensive.

一方、回路基板用の表面保護材料としては、液状のカバーコートインクなどが用いられる場合もあり、特に感光性機能を有する液状カバーコートインクは、微細な加工が必要な場合には好ましく用いられている。この液状カバーコートインクとしては、エポキシ樹脂等を主体とした感光性のインク(一般には、ソルダーレジストとも称する)が用いられるが、このインクは、絶縁材料としては電気絶縁信頼性に優れるが、屈曲性等の機械特性が悪く、硬化収縮が大きいためフレキシブル回路基板などの薄くて柔軟性に富む回路基板に積層した場合、基板の反りが大きくなり、フレキシブル回路基板用に用いるのは難しかった。   On the other hand, a liquid cover coat ink or the like may be used as a surface protection material for a circuit board. In particular, a liquid cover coat ink having a photosensitive function is preferably used when fine processing is required. Yes. As the liquid cover coat ink, a photosensitive ink mainly composed of epoxy resin or the like (generally also referred to as a solder resist) is used. This ink is excellent in electrical insulation reliability as an insulating material, but is bent. Therefore, when it is laminated on a thin and flexible circuit board such as a flexible circuit board, the warpage of the board becomes large and it is difficult to use it for a flexible circuit board.

近年では、柔軟性や高い電気絶縁信頼性を発現することができる種々の提案として、フィルムタイプの感光性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献1〜2参照。)。
特開2000−98607号公報 特開2004−361883号公報
In recent years, film-type photosensitive resin compositions have been proposed as various proposals that can exhibit flexibility and high electrical insulation reliability (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
JP 2000-98607 A Japanese Patent Laid-Open No. 2004-361883

特許文献1に記載されている感光性樹脂組成物は、フレキシブルプリント回路基板用に用いた場合、反りが大きかったことと、硬化温度が高いという問題があった。特許文献2では、柔軟なシロキサンジアミンを用いることにより、柔軟でそりの小さな感光性樹脂組成物を提供している。しかしながら、骨格内にシロキサンジアミン構造を有しており、シロキサンジアミンに含まれる不純物が硬化膜からブリードアウトし、半導体の動作不良を誘発させるという問題がある。また、同時にシキサンジアミン構造を含む樹脂組成物から形成される硬化膜を回路基板材料に用いた場合、硬化膜表面の濡れ性が悪く、各種封止剤との密着性が悪いという問題もある。   When the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 is used for a flexible printed circuit board, there are problems that warpage is large and a curing temperature is high. Patent Document 2 provides a photosensitive resin composition that is flexible and has a small warp by using a flexible siloxane diamine. However, it has a siloxane diamine structure in the skeleton, and there is a problem that impurities contained in the siloxane diamine bleed out from the cured film and induce semiconductor malfunction. In addition, when a cured film formed from a resin composition containing a siloxane diamine structure is used as a circuit board material, there is a problem that the wettability of the cured film surface is poor and the adhesion to various sealants is poor. .

上記状況に鑑み、本発明の課題は、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温(200℃以下)で硬化可能であり、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、半田耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、封止剤との密着性に優れる感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、ポリイミド絶縁膜、絶縁膜付きプリント配線板を提供することにある。   In view of the above situation, the problem of the present invention is that it has photosensitivity, can be finely processed, can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, can be cured at a low temperature (200 ° C. or less), has high flexibility, Photosensitive resin composition, photosensitive resin film, polyimide insulation with excellent insulation reliability, solder heat resistance, organic solvent resistance, flame retardancy, low warpage of the substrate after curing, and excellent adhesion to the sealant It is to provide a printed wiring board with a film and an insulating film.

本願発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、少なくとも(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂及び(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を用いることにより、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温(200℃以下)で硬化可能であり、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、半田耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、封止剤との密着性に優れる感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、ポリイミド絶縁膜、絶縁膜付きプリント配線板を提供することができることを見出した。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the inventors of the present application have at least (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond in addition to the polyamic acid site, (B) a photosensitive resin, and (C). By using a photosensitive resin composition characterized by containing a photopolymerization initiator, it can be finely processed because it has photosensitivity, can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, and at a low temperature (200 ° C. or lower). Curability, flexibility, electrical insulation reliability, solder heat resistance, organic solvent resistance, flame resistance, low warpage of the cured substrate, and excellent adhesion to the sealant It has been found that a resin composition, a photosensitive resin film, a polyimide insulating film, and a printed wiring board with an insulating film can be provided.

また、本願発明の感光性樹脂組成物では、上記(A)ポリイミド前駆体が、少なくとも(a)ポリカーボネート残基及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物と(b)ジイソシアネート化合物とを反応させて末端イソシアネート化合物を合成し、次いで(c)テトラカルボン酸二無水物を反応させて末端酸無水物イミドオリゴマーを合成し、更に(d)ジアミン化合物を反応させて得られることを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the (A) polyimide precursor reacts at least (a) a dicarboxylic acid compound having a polycarbonate residue and / or a polyalkylene glycol residue with (b) a diisocyanate compound. And (c) a tetracarboxylic dianhydride is reacted to synthesize a terminal acid anhydride imide oligomer, and (d) a diamine compound is further reacted. It is preferable that it is the photosensitive resin composition of Claim 1.

本願発明の感光性樹脂組成物の(A)、(B)及び(C)成分に加えて、(D)イソシアネート系化合物(ブロックイソシアネート)を含有することが好ましい。   In addition to the components (A), (B) and (C) of the photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable to contain (D) an isocyanate compound (block isocyanate).

本願発明の感光性樹脂組成物における(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂及び(C)光重合開始剤について、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂を合計した固形分100重量部に対して、(C)光重合開始剤が、0.1〜50重量部となるように配合されていることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid site, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator, (A ) A partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid part, and (B) 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin, It is preferable to mix | blend so that it may become 1-50 weight part.

また、本願発明にかかる樹脂フィルムは、上記感光性樹脂組成物を基材表面に塗布した後、乾燥して得られるものである。   Moreover, the resin film concerning this invention is obtained by drying, after apply | coating the said photosensitive resin composition to the base-material surface.

また、本願発明にかかる絶縁膜は、上記樹脂フィルムを硬化させて得られるものである。   The insulating film according to the present invention is obtained by curing the resin film.

また、本願発明にかかる絶縁膜付きプリント配線板は、上記絶縁膜をプリント配線板に被覆してなるものである。   The printed wiring board with an insulating film according to the present invention is obtained by coating the insulating film on the printed wiring board.

本願発明の感光性樹脂組成物は、以上のように、少なくとも(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂及び(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を用いることにより、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温(200℃以下)で硬化可能であり、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、半田耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、封止剤との密着性に優れる。したがって、本願発明の感光性樹脂組成物は、種々の回路基板の保護膜等に使用でき、優れた効果を奏するものである。   As described above, the photosensitive resin composition of the present invention includes at least (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond in addition to the polyamic acid moiety, (B) a photosensitive resin, and (C) light. By using a photosensitive resin composition characterized by containing a polymerization initiator, it can be finely processed because it has photosensitivity, can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, and is cured at a low temperature (200 ° C. or lower). It is possible, has high flexibility, is excellent in electrical insulation reliability, solder heat resistance, organic solvent resistance, and flame resistance, has low warpage of the substrate after curing, and has excellent adhesion to the sealant. Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention can be used for protective films of various circuit boards and exhibits excellent effects.

以下本願発明について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

<感光性樹脂組成物>
本願発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂及び(C)光重合開始剤を含有していればよい。
<Photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention comprises at least (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than a polyamic acid site, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator. It should just contain.

なお、本願発明の感光性樹脂組成物における、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体については、ポリカーボネート残基及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物を用いて得られる、部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体がより好ましく用いられるが、これに限定されるものではない。   In the photosensitive resin composition of the present invention, (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid moiety has a polycarbonate residue and / or a polyalkylene glycol residue. A polyimide precursor obtained by using a dicarboxylic acid compound and partially imidized and having an amide bond other than the polyamic acid moiety is more preferably used, but is not limited thereto.

また、本願発明の感光性樹脂組成物は、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂及び(C)光重合開始剤に加えて、(D)イソシアネート系化合物(ブロックイソシアネート)を含有していてもよい。   Further, the photosensitive resin composition of the present invention includes (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid site, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator. In addition, (D) an isocyanate compound (block isocyanate) may be contained.

ここで、本願発明の感光性樹脂組成物は、各種特性に優れる事を、本発明者らは見出したが、これは、以下の理由によるのではないかと推測している。   Here, although the present inventors discovered that the photosensitive resin composition of this invention was excellent in various characteristics, it estimates that this may be based on the following reasons.

つまり、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体を熱硬化して得られるポリイミドは、分子中にイミド骨格有するため、イミド骨格由来の耐熱性や電気絶縁信頼性や柔軟性に優れる。また部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体は、ポリアミド酸由来のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液に代表される現像液に可溶となり、露光・現像により微細加工が可能となる。なかでも、ポリカーボネート残基及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物を用いて得られる、部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体を熱硬化して得られるポリイミドは、柔軟性と低吸湿性に優れる。   In other words, (A) a partially imidized polyimide having an amide bond other than the polyamic acid moiety and obtained by thermosetting a polyimide precursor has an imide skeleton in the molecule, and therefore has heat resistance and electrical properties derived from the imide skeleton. Excellent insulation reliability and flexibility. In addition, a partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid moiety has a carboxyl group derived from polyamic acid, and therefore becomes soluble in a developer typified by a dilute alkaline aqueous solution. Fine processing is possible. Especially, it is obtained by thermosetting a polyimide precursor obtained by using a dicarboxylic acid compound having a polycarbonate residue and / or a polyalkylene glycol residue and having a amide bond in addition to a partially imidized polyamic acid moiety. The resulting polyimide is excellent in flexibility and low moisture absorption.

また、分子骨格中にシロキサン骨格を含有しないため、得られる硬化膜表面の濡れ性が良好であり、種々の部材との密着性が非常に良好であるだけではなく、硬化膜からのシロキサン成分由来の不純物のブリードアウトが発生しないため、硬化膜をプリント配線板の絶縁膜などに用いた場合、半導体の動作不良を誘発しない。   In addition, since the molecular skeleton does not contain a siloxane skeleton, the resulting cured film surface has good wettability, not only very good adhesion to various members, but also derived from the siloxane component from the cured film Therefore, when a cured film is used as an insulating film of a printed wiring board, the semiconductor does not malfunction.

以下、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂、(C)光重合開始剤と(D)イソシアネート系化合物(ブロックイソシアネート)、その他の成分、及び、(A)〜(D)の混合方法について説明する。   Hereinafter, (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid site, (B) a photosensitive resin, (C) a photopolymerization initiator and (D) an isocyanate compound (block isocyanate) The other components and the mixing method of (A) to (D) will be described.

<(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体>
本願発明で用いられる、部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体とは、少なくともポリアミド酸骨格を有し、内部にはポリアミド酸以外のアミド結合を有し、部分的にイミド環を有している、数平均分子量がポリエチレングリコール換算で千以上、より好ましくは5千以上のポリイミド前駆体である。
<(A) Partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid moiety>
The polyimide precursor used in the present invention, which is partially imidized and has an amide bond other than the polyamic acid moiety, has at least a polyamic acid skeleton, and has an amide bond other than the polyamic acid inside, A polyimide precursor having an imide ring and having a number average molecular weight of 1,000 or more, more preferably 5,000 or more in terms of polyethylene glycol.

上記であれば特に限定はされないが、より具体的に、本願発明の(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の製造方法について以下でその一例を説明する。   If it is the above, there is no particular limitation, but more specifically, (A) partially imidized in the present invention, an example of a method for producing a polyimide precursor having an amide bond in addition to the polyamic acid moiety is described below. To do.

<(a)ポリカーボネート残基を有するジカルボン酸化合物>
最初に、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体に用いられる(a)ポリカーボネート残基を有するジカルボン酸化合物について説明する。
<(A) Dicarboxylic acid compound having a polycarbonate residue>
First, (A) a partially imidized dicarboxylic acid compound having (a) a polycarbonate residue used for a polyimide precursor having an amide bond other than a polyamic acid moiety will be described.

ポリカーボネート残基を有するジカルボン酸化合物は、ポリカーボネートジオールと下記に示すジカルボン酸とを当量比(ジカルボン酸のカルボキシル基/ポリカーボネートジオールの水酸基)が1を超える条件、好ましくは1.1〜3、より好ましくは1.5〜2で(脱水エステル化)させて合成することができる。   The dicarboxylic acid compound having a polycarbonate residue is a condition in which the equivalent ratio (carboxyl group of dicarboxylic acid / hydroxyl group of polycarbonate diol) of polycarbonate diol and dicarboxylic acid shown below exceeds 1, preferably 1.1 to 3, more preferably Can be synthesized at 1.5 to 2 (dehydration esterification).

ポリカーボネートジオールの化学構造については、例えば一般式(1)で表されるものが挙げられる。   About the chemical structure of polycarbonate diol, what is represented, for example by General formula (1) is mentioned.

Figure 2010079209
(式中、複数個のR1はそれぞれ独立に2価の有機基を示し、mは1〜20の整数である。)
Figure 2010079209
(Wherein represents a divalent organic group, each plurality of R 1 is independently, m is an integer from 1 to 20.)

ポリカーボネート残基を有するジカルボン酸化合物を合成するためのポリカーボネートジオールとしては、特に制限はなく、例えば、PLACCEL CDシリーズ、PLACCEL CD−PLシリーズ、PLACCEL CD−HLシリーズ(以上、ダイセル化学工業(株)製商品名)、PNOC−シリーズ((株)クラレ製商品名)、旭化成ケミカルズ株式会社製の商品名PCDL T−4671、T−4672、T−4691、T−4692、T−5650J、T−5651、T−5652、T−6001、T−6002、ダイセル化学工業株式会社製の商品名プラクセルCD CD205、CD205PL、CD205HL、CD210、CD210PL、CD210HL、CD220、CD220PL、CD220HL、日本ポリウレタン工業株式会社製の商品名ニッポラン981、980R、982Rなどが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as polycarbonate diol for synthesize | combining the dicarboxylic acid compound which has a polycarbonate residue, For example, PLACEL CD series, PLACEL CD-PL series, PLACEL CD-HL series (above, Daicel Chemical Industries Ltd. make) Trade name), PNOC-series (trade name, manufactured by Kuraray Co., Ltd.), trade names PCDL T-4671, T-4672, T-4691, T-4692, T-5650J, T-5651, manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation T-5652, T-6001, T-6002, Trade name Plaxel CD CD205, CD205PL, CD205HL, CD210, CD210PL, CD210HL, CD220, CD220PL, CD220HL, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd. Examples include the product names Nippon Run 981, 980R, 982R manufactured by Retan Kogyo Co., Ltd.

これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。上記ポリカーボネートジオールの数平均分子量は、ポリスチレン換算で好ましくは、500〜5000、より好ましくは750〜2500、特に好ましくは1000〜2000である。上記ポリカーボネートジオールの数平均分子量が上記範囲内であることにより、得られる硬化膜の耐薬品性、柔軟性を向上させることができる点で好ましい。数平均分子量が500未満の場合には、得られる硬化膜の柔軟性が低下する場合があり、5000以上の場合には、部分イミド化されたポリアミド酸部位以外にアミド結合を有するポリイミド前駆体の溶剤溶解性が低下する場合がある。   These can be used alone or in combination of two or more. The number average molecular weight of the polycarbonate diol is preferably 500 to 5000, more preferably 750 to 2500, and particularly preferably 1000 to 2000 in terms of polystyrene. When the number average molecular weight of the polycarbonate diol is within the above range, it is preferable in that the chemical resistance and flexibility of the obtained cured film can be improved. When the number average molecular weight is less than 500, the flexibility of the resulting cured film may be reduced. When the number average molecular weight is 5000 or more, the polyimide precursor having an amide bond in addition to the partially imidized polyamic acid moiety. Solvent solubility may be reduced.

<(a)ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物>
(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体に用いられる(a)ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物について説明する。
<(A) Dicarboxylic acid compound having polyalkylene glycol residue>
(A) A partially imidized dicarboxylic acid compound having a polyalkylene glycol residue (a) used for a polyimide precursor having an amide bond other than a polyamic acid moiety will be described.

ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物は、ポリアルキレングリコールと下記に示すジカルボン酸とを当量比( ジカルボン酸のカルボキシル基/ ポリアルキレングリコールの水酸基)が1を超える条件、好ましくは1.1〜3、より好ましくは1.5〜2で反応(脱水エステル化)させて合成することができる。   The dicarboxylic acid compound having a polyalkylene glycol residue is a condition in which the equivalent ratio of polyalkylene glycol and dicarboxylic acid shown below (carboxyl group of dicarboxylic acid / hydroxyl group of polyalkylene glycol) exceeds 1, preferably 1.1 to 3 and more preferably 1.5 to 2 for the reaction (dehydration esterification).

用いられるジカルボン酸としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、デカン二酸、ドデカン二酸、エイコサン二酸等の脂肪族ジカルボン酸、ダイマー酸、1 , 4 − シクロヘキサンジカルボン酸等の脂環式ジカルボン酸、イソフタル酸、テレフタル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、オキシジ安息香酸等の芳香族ジカルボンが挙げられる。   Examples of the dicarboxylic acid used include aliphatic dicarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, azelaic acid, sebacic acid, decanedioic acid, dodecanedioic acid, and eicosandioic acid, dimer acid, and 1,4- Examples include alicyclic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, and aromatic dicarboxylic acids such as isophthalic acid, terephthalic acid, phthalic acid, naphthalenedicarboxylic acid, and oxydibenzoic acid.

ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物を合成するためのポリアルキレングリコールとしては、特に制限はなく、例えば一般式(2)で表されるものが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as polyalkylene glycol for synthesize | combining the dicarboxylic acid compound which has a polyalkylene glycol residue, For example, what is represented by General formula (2) is mentioned.

Figure 2010079209
(式中、R2は炭素数1〜6の2価アルコール残基を表し、nは1〜500の整数である。)
Figure 2010079209
(In the formula, R 2 represents a dihydric alcohol residue having 1 to 6 carbon atoms, and n is an integer of 1 to 500.)

例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコールエチレンオキサイド付加物、ポリテトラメチレングリコールなどが挙げられる。   Examples thereof include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polypropylene glycol ethylene oxide adduct, and polytetramethylene glycol.

具体的には、ポリプロピレングリコール(例えば、三洋化成工業(株)製商品名ニューポールPP−シリーズ等)、ポリプロピレングリコールエチレンオキサイド付加物(例えば、三洋化成工業(株)製商品名ニューポールPE−61、ニューポールPE−62、ニューポールPE−71等)が挙げられる。これらのポリアルキレングリコールは、単独で又は2種類以上組み合わせて用いられる。なお、ポリアルキレングリコールの分子量(水酸価からの算出値)は、200〜5000とすることが好ましく、500〜4000とすることがより好ましく、1000 〜3000とすることが特に好ましい。   Specifically, polypropylene glycol (for example, Sanyo Chemical Industries Co., Ltd., trade name Newpol PP-series), polypropylene glycol ethylene oxide adduct (for example, Sanyo Chemical Industries, Ltd. trade name Newpol PE-61) , New Pole PE-62, New Pole PE-71, etc.). These polyalkylene glycols are used alone or in combination of two or more. The molecular weight of polyalkylene glycol (calculated value from the hydroxyl value) is preferably 200 to 5000, more preferably 500 to 4000, and particularly preferably 1000 to 3000.

別のポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物について説明する。   A dicarboxylic acid compound having another polyalkylene glycol residue will be described.

ポリアルキレングリコール鎖の両末端にアミノ基を有する化合物(以下ポリオキシアルキレンジアミンと記載する)にジカルボン酸あるいはトリカルボン酸無水物を反応させたもの、ポリプロピレンオキサイドにビスフェノールA を付加した化合物(例えば、ビスオール30PN、東邦化学製)にジカルボン酸を反応させたものも好ましく用いることができる。   A compound obtained by reacting a compound having an amino group at both ends of a polyalkylene glycol chain (hereinafter referred to as polyoxyalkylene diamine) with a dicarboxylic acid or a tricarboxylic anhydride, a compound obtained by adding bisphenol A to polypropylene oxide (for example, bisol) 30PN, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) can be preferably used.

ポリカーボネートジオール変性ジカルボン酸は、ポリカーボネートジオールとジカルボン酸とを当量比(ジカルボン酸のカルボキシル基/ポリカーボネートジオールの水酸基)が1を超える条件、好ましくは1.1〜3、より好ましくは1.5〜2で( 脱水エステル化)させて合成することができる。   Polycarbonate diol-modified dicarboxylic acid is a condition in which the equivalent ratio of polycarbonate diol and dicarboxylic acid (carboxyl group of dicarboxylic acid / hydroxyl group of polycarbonate diol) exceeds 1, preferably 1.1 to 3, more preferably 1.5 to 2. (Dehydration esterification).

例えば、(1)ポリオキシアルキレンジアミン(アルキレン基の炭素数は2〜6)〔例えば、ハンツマンコーポレーション製商品名 ジェファーミンD−230、D−400、D−2000、D−4000(以上のアルキレン基は、イソプロピレン基)、ED−600、ED−900、ED2001(以上のアルキレン基は、エチレン基及びイソプロピレン基)、EDR−148(アルキレン基は、エチレン基)、広栄化学工業(株)製 α,ω−(3−アミノプロピル)−ポリエチレングリコール等〕とジカルボン酸とを反応当量比(ジカルボン酸のカルボキシル基/ポリオキシアルキレンジアミンのアミノ基)が1を超える条件で反応させて得られるポリオキシアルキレンアミドジカルボン酸、(2)ポリオキシアルキレンジアミンとトリカルボン酸モノ無水物〔例えば、トリメリット酸無水物、トリカルバリル酸無水物、マレイン酸無水物のリシノール酸脱水化物付加物、マレイン酸無水物のソルビン酸付加物等〕とを反応当量比(トリカルボン酸モノ無水物の酸無水物基/ポリオキシアルキレンジアミンのアミノ基)が1の条件で反応させて得られるポリオキシアルキレンジイミドジカルボン酸、(3)ポリオキシアルキレンジアミンとテトラカルボン酸二無水物〔例えば、ピロメリット酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、s−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキセンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート等〕とを反応当量比(ポリオキシアルキレンジアミンのアミノ基/テトラカルボン酸二無水物の酸無水物基)が1を超える条件で反応させて得られるポリオキシアルキレンイミドジアミンに、上記トリカルボン酸モノ無水物を反応当量比(トリカルボン酸モノ無水物の酸無水物基/ポリオキシアルキレンイミドジアミンのアミノ基)が1の条件で反応させて得られるポリオキシアルキレンポリイミドジカルボン酸、(4)ポリオキシアルキレンジオール(アルキレン基の炭素数は2〜14)とジカルボン酸とを反応当量比(ジカルボン酸のカルボキシル基/ポリオキシアルキレンジオールの水酸基)が1を超える条件で反応させて得られるポリオキシアルキレンエステルジカルボン酸、(5)ポリオキシエチレンジグリコール酸(例えば、川研ファインケミカル(株)製商品名 PEO酸#400、#1000、#4000等)などが挙げられる。   For example, (1) polyoxyalkylene diamine (the number of carbon atoms of the alkylene group is 2 to 6) [for example, trade names Jeffamine D-230, D-400, D-2000, D-4000 (manufactured by Huntsman Corporation) Is isopropylene group), ED-600, ED-900, ED2001 (the above alkylene groups are ethylene group and isopropylene group), EDR-148 (alkylene group is ethylene group), manufactured by Guangei Chemical Industry Co., Ltd. α, ω- (3-aminopropyl) -polyethylene glycol, etc.] and dicarboxylic acid are reacted under the condition that the reaction equivalent ratio (carboxyl group of dicarboxylic acid / amino group of polyoxyalkylenediamine) exceeds 1. Oxyalkylene amide dicarboxylic acid, (2) polyoxyalkylene diamine and tricar A reaction equivalent ratio (tricarboxylic acid anhydride such as trimellitic anhydride, tricarballylic anhydride, ricinoleic acid dehydration adduct of maleic anhydride, sorbic acid adduct of maleic anhydride) Polyoxyalkylene diimide dicarboxylic acid obtained by reacting acid monoanhydride acid anhydride group / polyoxyalkylenediamine amino group) under the condition of 1, (3) polyoxyalkylenediamine and tetracarboxylic dianhydride [ For example, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, s-biphenyltetracarboxylic dianhydride, diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, methylcyclohexene tetracarboxylic dianhydride, ethylene glycol bisanhydrotri Reaction equivalent ratio (polyoxyalkylene) The above-mentioned tricarboxylic acid monoanhydride is added to the polyoxyalkyleneimide diamine obtained by the reaction under the condition that the amino group of diamine / acid anhydride group of tetracarboxylic dianhydride exceeds 1 (tricarboxylic acid monoanhydride). Polyoxyalkylene polyimide dicarboxylic acid obtained by reacting under conditions where the acid anhydride group of the product / the amino group of polyoxyalkylene imide diamine is 1, the polyoxyalkylene diol (the alkylene group has 2 to 14 carbon atoms) ) And dicarboxylic acid under the condition that the reaction equivalent ratio (carboxyl group of dicarboxylic acid / hydroxyl group of polyoxyalkylene diol) exceeds 1, (5) polyoxyethylene diglycolic acid (For example, product name PEO acid manufactured by Kawaken Fine Chemical Co., Ltd. 400, # 1000, # 4000, etc.), and the like.

なお、上記(1)及び(4)におけるジカルボン酸としては、例えば、脂肪族ジカルボン酸(コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ドデカン二酸、エイコサン二酸、ダイマー酸、1,4−シクロヘキサンジカルボン酸等)、芳香族ジカルボン酸(イソフタル酸、テレフタル酸、フタル酸、1,5−ナフタレンジカルボン酸、4,4′−ジフェニルエーテルジカルボン酸、4,4′−ジフェニルスルホンジカルボン酸、4,4′−ベンゾフェノンジカルボン酸等)などが挙げられる。   Examples of the dicarboxylic acid in the above (1) and (4) include aliphatic dicarboxylic acids (succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, azelaic acid, sebacic acid, dodecanedioic acid, eicosanedioic acid, dimer, and the like. Acid, 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid, etc.), aromatic dicarboxylic acid (isophthalic acid, terephthalic acid, phthalic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 4,4'-diphenyl ether dicarboxylic acid, 4,4'-diphenylsulfone) Dicarboxylic acid, 4,4'-benzophenone dicarboxylic acid, etc.).

これらのうちでは、得られるポリアミド樹脂の親水性と耐熱性とのバランスの点で、(1)ポリオキシアルキレンアミドジカルボン酸、(2)ポリオキシアルキレンジイミドジカルボン酸、(3)ポリオキシアルキレンポリイミドカルボン酸が好ましい。これらの(a)オキシアルキレン基を有するジカルボン酸は、単独で又は二種類以上組み合わせて用いられる。   Among these, (1) polyoxyalkylene amide dicarboxylic acid, (2) polyoxyalkylene diimide dicarboxylic acid, and (3) polyoxyalkylene polyimide carboxylic acid in terms of the balance between hydrophilicity and heat resistance of the polyamide resin to be obtained. Acid is preferred. These (a) dicarboxylic acids having an oxyalkylene group may be used alone or in combination of two or more.

(a)オキシアルキレン基を有するジカルボン酸中のオキシアルキレン基は1個でもよく、連続してつながっていてもよく、いずれの場合でも、オキシアルキレン基部分すべてを合計した分子量としては、200〜10000が好ましく、500〜5000がより好ましく、1000〜3000が特に好ましい。この分子量が200未満では、得られる(A)成分の親水性、屈曲性が低下する傾向があり、10000を超えると、得られる(A)成分の耐熱性が低下する傾向がある。   (A) The number of oxyalkylene groups in the dicarboxylic acid having an oxyalkylene group may be one or may be continuously connected. In any case, the molecular weight of all the oxyalkylene groups is 200 to 10,000. Is preferable, 500 to 5000 is more preferable, and 1000 to 3000 is particularly preferable. If the molecular weight is less than 200, the hydrophilicity and flexibility of the component (A) to be obtained tend to decrease, and if it exceeds 10,000, the heat resistance of the component (A) to be obtained tends to decrease.

<末端イソシアネート化合物>
前述のポリカーボネート残基を有するジカルボン酸化合物及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物とジイソシアネート化合物を反応させて末端イソシアネート化合物を合成する。
<Terminal isocyanate compound>
A diisocyanate compound having a polycarbonate residue and / or a dicarboxylic acid compound having a polyalkylene glycol residue and a diisocyanate compound are reacted to synthesize a terminal isocyanate compound.

本願発明で用いられる(b)ジイソシアネート化合物とは、一般式(3)で示される、分子内に2つのイソシアネート基を有する化合物である。   The (b) diisocyanate compound used in the present invention is a compound having two isocyanate groups in the molecule, represented by the general formula (3).

Figure 2010079209
(式中、Xは2価の有機基を示す。)
Figure 2010079209
(In the formula, X represents a divalent organic group.)

かかる(b)ジイソシアネート化合物としては、例えば、ジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジメチルジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジエチルジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、3,2′−又は3,3′−又は4,2′−又は4,3′−又は5,2′−又は5,3′−又は6,2′−又は6,3′−ジメトキシジフェニルメタン−2,4′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,3′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,4′−ジイソシアネート、ジフェニルエーテル−4,4′−ジイソシアネート、ベンゾフェノン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェニルスルホン−4,4′−ジイソシアネート、トリレン−2,4−ジイソシアネート、トリレン−2,6−ジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート、p−キシリレンジイソシアネート、ナフタレン−2,6−ジイソシアネート、4,4′−[2,2−ビス(4−フェノキシフェニル)プロパン]ジイソシアネートなどの芳香族ジイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート化合物、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。これらを使用することは得られる硬化膜の耐熱性を上げる上で好ましい。また、経日変化を避けるために必要なブロック剤で安定化したものを使用してもよい。かかるブロック剤としては、アルコール、フェノール、オキシム等があるが、特に制限はない。   Examples of the (b) diisocyanate compound include diphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- Or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-diethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2 ' -Or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethoxydiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate, Diphenylmethane-3,3'-diiso Anate, diphenylmethane-3,4'-diisocyanate, diphenyl ether-4,4'-diisocyanate, benzophenone-4,4'-diisocyanate, diphenylsulfone-4,4'-diisocyanate, tolylene-2,4-diisocyanate, tolylene-2 , 6-diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, naphthalene-2,6-diisocyanate, 4,4 '-[2,2-bis (4-phenoxyphenyl) propane] diisocyanate Compounds, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, norbornene diisocyanate, etc., hexamethylene diisocyanate Sulfonate, trimethyl hexamethylene diisocyanate, aliphatic diisocyanate compounds and the like such as lysine diisocyanate, and these may be used alone or in combinations of two or more. Use of these is preferable for increasing the heat resistance of the resulting cured film. Moreover, you may use what was stabilized with the blocking agent required in order to avoid a change over time. Such blocking agents include alcohol, phenol, oxime and the like, but are not particularly limited.

(b)ジイソシアネート化合物としては、ジフェニルメタン−4,4′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,3′−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−3,4′−ジイソシアネート、トリレン−2,4−ジイソシアネート、トリレン−2,6−ジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネートを用いることが特に好ましい。これにより、得られる硬化膜の耐熱性、耐水性をさらに向上させることができる点で好ましい。   (B) As the diisocyanate compound, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate, diphenylmethane-3,3'-diisocyanate, diphenylmethane-3,4'-diisocyanate, tolylene-2,4-diisocyanate, tolylene-2,6-diisocyanate It is particularly preferable to use norbornene diisocyanate. Thereby, it is preferable at the point which can improve the heat resistance of the cured film obtained, and water resistance further.

また、感光性樹脂組成物の現像性を向上させるためには、(b)ジイソシアネート化合物としては、トリレン−2,6−ジイソシアネート、トリレン−2,4−ジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネートが好適に用いられる。   In order to improve the developability of the photosensitive resin composition, (b) tolylene-2,6-diisocyanate, tolylene-2,4-diisocyanate and 1,6-hexamethylene diisocyanate are suitable as the diisocyanate compound. Used for.

<末端イソシアネート化合物の合成方法>
本願発明で用いられる(a)ポリカーボネート残基及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物と(b)ジイソシアネート化合物とを反応させて得られる末端イソシアネート化合物の合成方法は、ポリカーボネート残基及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物とジイソシアネート化合物との配合量を、カルボン酸基数とイソシアネート基数との比率が、イソシアネート基/カルボン酸基=1.00以上2.10以下、より好ましくは1.10以上2.10以下、さらに好ましくは1.90以上2.10以下になるように無溶媒あるいは有機溶媒中で反応させることで得られる。
<Method for synthesizing terminal isocyanate compound>
The method for synthesizing a terminal isocyanate compound obtained by reacting (a) a dicarboxylic acid compound having a polycarbonate residue and / or a polyalkylene glycol residue and (b) a diisocyanate compound used in the present invention comprises a polycarbonate residue and / or Alternatively, the blending amount of the dicarboxylic acid compound having a polyalkylene glycol residue and the diisocyanate compound is such that the ratio of the number of carboxylic acid groups to the number of isocyanate groups is isocyanate group / carboxylic acid group = 1.00 or more and 2.10 or less, more preferably It is obtained by reacting in a solvent-free or organic solvent so as to be 1.10 or more and 2.10 or less, more preferably 1.90 or more and 2.10 or less.

また、2種類以上の(a)ジカルボン酸化合物を用いる場合、(b)ジイソシアネート化合物との反応は、2種類以上の(a)ジカルボン化合物を混合した後に行ってもよいし、それぞれの(a)ジカルボン化合物と(b)ジイソシアネート化合物とを別個に反応させてもよい。また、(a)ジカルボン化合物と(b)ジイソシアネート化合物とを反応させた後に、得られた末端イソシアネート化合物をさらに他の(a)ジカルボン化合物と反応させ、さらにこれを(b)ジイソシアネート化合物と反応させてもよい。また、2種類以上の(b)ジイソシアネート化合物を用いる場合も同様である。このようにして、所望の末端イソシアネート化合物を製造することができる。   When two or more kinds of (a) dicarboxylic acid compounds are used, the reaction with (b) diisocyanate compound may be carried out after mixing two or more kinds of (a) dicarboxylic acid compounds, and each (a) The dicarboxylic compound and (b) diisocyanate compound may be reacted separately. Moreover, after reacting (a) dicarboxylic compound and (b) diisocyanate compound, the obtained terminal isocyanate compound is further reacted with another (a) dicarboxylic compound, and this is further reacted with (b) diisocyanate compound. May be. The same applies when two or more types of (b) diisocyanate compounds are used. In this way, a desired terminal isocyanate compound can be produced.

(a)と(b)との反応温度は、40〜160℃とすることが好ましく、60〜150℃とすることがより好ましい。40℃未満では反応時間が長くなり過ぎ、160℃を超えると反応中に三次元化反応が生じてゲル化が起こり易い。反応時間は、バッチの規模、採用される反応条件により適宜選択することができる。また、必要に応じて、三級アミン類、アルカリ金属、アルカリ土類金属、錫、亜鉛、チタニウム、コバルト等の金属又は半金属化合物等の触媒存在下に反応を行っても良い。   The reaction temperature between (a) and (b) is preferably 40 to 160 ° C, more preferably 60 to 150 ° C. If it is less than 40 ° C., the reaction time becomes too long. If it exceeds 160 ° C., a three-dimensional reaction occurs during the reaction and gelation tends to occur. The reaction time can be appropriately selected depending on the scale of the batch and the reaction conditions employed. If necessary, the reaction may be performed in the presence of a catalyst such as a tertiary amine, an alkali metal, an alkaline earth metal, a metal such as tin, zinc, titanium, cobalt, or a metalloid compound.

上記反応は、無溶媒で反応させることもできるが、反応を制御する為には、有機溶媒系で反応させることが望ましく、例えば有機溶媒としては、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。   The above reaction can be carried out in the absence of a solvent. However, in order to control the reaction, it is desirable to carry out the reaction in an organic solvent system. For example, examples of the organic solvent include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, N , N-dimethylformamide, formamide solvents such as N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2 Examples include pyrrolidone solvents such as -pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene.

更に、例えばメチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。中でも、副反応が生じにくいことから、対称グリコールジエーテル類を用いることが好ましい。   Furthermore, for example, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) ether), methyltriglyme (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (Bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyldiglyme (bis (2 Symmetric glycol diethers such as -butoxyethyl) ether), methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether Cetate (also known as carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether Acetates such as acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n Propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. Of these, symmetrical glycol diethers are preferably used because side reactions are unlikely to occur.

反応の際に用いられる溶剤量は、反応溶液中の溶質重量濃度すなわち溶液濃度が5重量%以上90重量%以下となるような量とすることが望ましい。反応溶液中の溶質重量濃度は、更に好ましくは、10重量%以上80重量%以下となることが望ましい。溶液濃度が5%以下の場合には、重合反応が起こりにくく反応速度が低下すると共に、所望の構造物質が得られない場合があるので好ましくない。   The amount of solvent used in the reaction is desirably such that the solute weight concentration in the reaction solution, that is, the solution concentration is 5% by weight or more and 90% by weight or less. The solute weight concentration in the reaction solution is more preferably 10 wt% or more and 80 wt% or less. When the solution concentration is 5% or less, the polymerization reaction is difficult to occur, the reaction rate is lowered, and a desired structural substance may not be obtained.

また、上記反応で得られる末端イソシアネート化合物は、合成終了後に樹脂末端のイソシアネート基をアルコール類、ラクタム類、オキシム類等のブロック剤でブロックすることもできる。   Moreover, the terminal isocyanate compound obtained by the said reaction can also block the isocyanate group of the resin terminal after completion | finish of synthesis | combination with blocking agents, such as alcohol, lactams, and oximes.

<末端酸無水物イミドオリゴマーの合成>
本願発明の合成方法の一例として用いられる末端酸無水物を有する、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、イミドオリゴマー(末端酸無水物イミドオリゴマー)は、上記のようにして得られた末端イソシアネート化合物に、テトラカルボン酸二無水物を反応させることにより得ることができる。この時、末端イソシアネート化合物とテトラカルボン酸二無水物との配合量は、イソシアネート基数と酸二無水物基数の比率が、酸二無水物基/イソシアネート基=1.01以上2.10以下であることが好ましく、1.10以上2.10以下であることがより好ましく、1.90以上2.10以下であることがさらに好ましい。また、末端イソシアネート化合物とテトラカルボン酸二無水物との反応には、上記末端イソシアネート化合物の合成時に使用した溶媒をそのまま使用してもよいし、更に追加して上記の溶媒を加えることもできる。
<Synthesis of terminal acid anhydride imide oligomer>
An imide oligomer (terminal acid anhydride imide oligomer) having a terminal acid anhydride and having an amide bond in addition to the polyamic acid moiety used as an example of the synthesis method of the present invention is a terminal isocyanate compound obtained as described above. And tetracarboxylic dianhydride can be reacted. At this time, the blending amount of the terminal isocyanate compound and the tetracarboxylic dianhydride is such that the ratio of the number of isocyanate groups to the number of acid dianhydride groups is acid dianhydride groups / isocyanate groups = 1.01 or more and 2.10 or less. It is preferably 1.10 to 2.10, more preferably 1.90 to 2.10. Moreover, the solvent used at the time of the synthesis | combination of the said terminal isocyanate compound may be used for reaction of a terminal isocyanate compound and tetracarboxylic dianhydride as it is, and also said solvent can be added in addition.

末端酸無水物イミドオリゴマーとテトラカルボン酸二無水物の反応方法としては種々の方法が挙げられる。その代表的な方法を下記に例記する。但し、末端にテトラカルボン酸二無水物を配する方法であればどのような方法を用いてもよい。   Various methods are mentioned as a reaction method of a terminal acid anhydride imide oligomer and tetracarboxylic dianhydride. The typical method is illustrated below. However, any method may be used as long as tetracarboxylic dianhydride is arranged at the terminal.

方法1:テトラカルボン酸二無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、徐々に末端イソシアネート化合物を添加する。このときの反応温度は、100℃以上300℃以下、より好ましくは、140℃以上250℃以下である。かかる温度に加熱して末端イソシアネート化合物が添加されたと同時に反応が生じてイミド化が進むことが好ましい。但し、低温で完全に末端イソシアネート化合物とテトラカルボン酸二無水物を溶解した後に、高温に加熱してイミド化する方法を用いてもよい。   Method 1: A terminal isocyanate compound is gradually added to a solution in which tetracarboxylic dianhydride is dispersed or dissolved in an organic solvent. The reaction temperature at this time is 100 ° C. or higher and 300 ° C. or lower, more preferably 140 ° C. or higher and 250 ° C. or lower. It is preferred that the reaction occurs and imidization proceeds at the same time when the terminal isocyanate compound is added by heating to such a temperature. However, after the terminal isocyanate compound and tetracarboxylic dianhydride are completely dissolved at a low temperature, a method of imidizing by heating to a high temperature may be used.

方法2:テトラカルボン酸二無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、徐々に末端イソシアネート化合物を添加して溶解する。均一に溶解した溶液を100℃以上250℃以下に加熱した真空減圧乾燥機中で加熱・乾燥を行いながら真空に引くことでイミド化を行うことができる。   Method 2: A terminal isocyanate compound is gradually added and dissolved in a solution in which tetracarboxylic dianhydride is dispersed or dissolved in an organic solvent. Imidization can be carried out by drawing a vacuum while heating and drying a uniformly dissolved solution heated to 100 ° C. or higher and 250 ° C. or lower.

<テトラカルボン酸二無水物>
本願発明において部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の合成に用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば3,3’,4,4’―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’―オキシジフタル酸二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3´,4,4´−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いることができる。
<Tetracarboxylic dianhydride>
Examples of the tetracarboxylic dianhydride used in the synthesis of the polyimide precursor that is partially imidized in the present invention and has an amide bond other than the polyamic acid moiety include 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid. Acid dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propanedibenzoate-3,3 ′, 4,4′-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic acid Anhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydro-3 -Furani ) Methyl-3-cyclohexene-1,2-tetracarboxylic dianhydride, such as dicarboxylic acid anhydride can be used.

部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の合成に用いられるテトラカルボン酸二無水物は、より好ましくは、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、3,3’,4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―オキシジフタル酸二無水物である。これらを用いることで得られる部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の有機溶剤への溶解性を向上させることができるとともに、得られる硬化膜の耐薬品性を向上させる上で好ましい。   The tetracarboxylic dianhydride used for the synthesis of the polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid moiety which is partially imidized is more preferably 2,2-bis [4- (3,4-di Carboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride. Partially imidized by using these, having an amide bond in addition to the polyamic acid site, it is possible to improve the solubility of the polyimide precursor in an organic solvent, and to improve the chemical resistance of the resulting cured film It is preferable in terms of improvement.

また、上記テトラカルボン酸二無水物として、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物又は5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物を用いることが、感光性樹脂組成物中の他の材料との相溶性の観点からさらに好ましい。   The tetracarboxylic dianhydride is 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride or 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl). It is more preferable to use -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride from the viewpoint of compatibility with other materials in the photosensitive resin composition.

本願発明で用いられる上記テトラカルボン酸二無水物の使用量は、上記末端イソシアネート化合物の製造に用いられたポリカーボネート残基及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物の使用量を1モルとした場合に、1.50モル以上6.00モル以下の割合で用いれば、部分イミド化されたポリアミド酸部位以外にアミド結合を有するポリイミド前駆体が柔軟性に富んだものになり好ましく、特に好ましい使用範囲は、1.70モル以上5.00モル以下の割合で使用することである。これにより、反応に寄与しないテトラカルボン酸二無水物を減らすことができるので好ましい。   The amount of the tetracarboxylic dianhydride used in the present invention is 1 mol of the amount of the dicarboxylic acid compound having a polycarbonate residue and / or a polyalkylene glycol residue used in the production of the terminal isocyanate compound. When used at a ratio of 1.50 mol or more and 6.00 mol or less, the polyimide precursor having an amide bond in addition to the partially imidized polyamic acid portion is preferable and particularly preferable. The use range is to use it in a proportion of 1.70 mol or more and 5.00 mol or less. This is preferable because tetracarboxylic dianhydride that does not contribute to the reaction can be reduced.

<部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の合成>
上記の方法により得ることができる末端酸無水物イミドオリゴマーに、ジアミン化合物を反応させることで部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体を得ることができる。
<Synthesis of partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid moiety>
A polyimide precursor having an amide bond in addition to the polyamic acid moiety, which is partially imidized by reacting a diamine compound with the terminal acid anhydride imide oligomer that can be obtained by the above method, can be obtained.

本願発明で用いられるジアミン化合物とは、アミノ基を2つ以上有する化合物である。好ましくは、一般式(4)   The diamine compound used in the present invention is a compound having two or more amino groups. Preferably, the general formula (4)

Figure 2010079209
(式中、Zは2価の有機基を示す。)
で示される芳香族ジアミンである。
Figure 2010079209
(In the formula, Z represents a divalent organic group.)
Is an aromatic diamine.

上記ジアミン化合物としては、より具体的には、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルホキシド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルフィド、3,3’−ジアミノベンズアニリド、3,4’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] プロパン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] −1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−P−アミノベンゾエート、ポリ(テトラメチレン/3−メチルテトラメチレンエーテル)グリコールビス(4−アミノベンゾエート)、トリメチレン―ビス(4−アミノベンゾエート)、p-フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、m−フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、ビスフェノールA−ビス(4−アミノベンゾエート)、2,4−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,5−ジアミノ安息香酸、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、[ビス(4-アミノ-2-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(4-アミノ-3-カルボキシ)フェニル]メタン、[ビス(3-アミノ-4-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(3-アミノ-5-カルボキシ)フェニル]メタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、2,3−ジアミノフェノール、2,4−ジアミノフェノール、2,5−ジアミノフェノール、3,5−ジアミノフェノール等のジアミノフェノール類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシビフェニル等のヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルメタン等のジヒドロキシジフェニルメタン類、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル]プロパン等のビス[ヒドロキシフェニル]プロパン類、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン等のビス[ヒヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルエーテル等のヒドロキシジフェニルエーテル類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン等のジヒドロキシジフェニルスルフォン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド等のジヒドロキシジフェニルスルフィド類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド等のジヒドロキシジフェニルスルホキシド類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(ヒドロキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類を挙げることができる。これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   More specifically, the diamine compound is m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, bis (3-aminophenyl) sulfide, (3 -Aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, bis (4-aminophenyl) ) Sulphoxide, bis (3-aminophenyl) sulfone, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone 3,3′-diaminobenzophenone, , 3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylether, 3,3′-diaminodiphenylether, 3,4′-diaminodiphenylether, bis [4 -(3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfoxide, bis [4- (3-aminophenoxy) ) Phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfi Bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfide, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfide, 3,3′-diaminobenzanilide, 3,4′-diaminobenzanilide, 4 , 4'-diaminobenzanilide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] methane, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1- [4- (4-Aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] ethane, 1,2-bis [4- (3-a Nophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl) ] Ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2- [4- (4-amino) Phenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4 -(3-Ami Phenoxyphenyl)]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4 -Bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4- Aminophenoxy) phenyl] ether, polytetramethylene oxide-di-P-aminobenzoate, poly (tetramethylene / 3-methyltetramethyl) Ether) glycol bis (4-aminobenzoate), trimethylene-bis (4-aminobenzoate), p-phenylene-bis (4-aminobenzoate), m-phenylene-bis (4-aminobenzoate), bisphenol A-bis ( 4-aminobenzoate), 2,4-diaminobenzoic acid, 2,5-diaminobenzoic acid, 3,5-diaminobenzoic acid, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxybiphenyl, 4,4 ′ -Diamino-3,3'-dicarboxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-dicarboxybiphenyl, [bis (4-amino-2-carboxy) phenyl] methane, [bis (4-amino- 3-carboxy) phenyl] methane, [bis (3-amino-4-carboxy) phenyl] methane, [bis (3-amino-5-carboxy) phenyl] methane, , 2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoro Propane, 2,2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-di Carboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenyl ether, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxy Diphenylsulfone, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxydiphenylsulfone, 2,3-diaminophenol, 2, Diaminophenols such as 4-diaminophenol, 2,5-diaminophenol, 3,5-diaminophenol, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3 ′ Hydroxybiphenyl compounds such as -dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetrahydroxybiphenyl, 3,3' Dihydroxydiphenylmethanes such as -diamino-4,4'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenylmethane, 2,2- Bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3- Bis [hydroxyphenyl] propanes such as droxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexa Bis [hyhydroxyphenyl] hexafluoropropanes such as fluoropropane, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′- Hydroxydiphenyl ethers such as diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl ether, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4 '-Diamino-2,2'-dihydroxydiphenylsulfur Dihydroxydiphenyl sulphones such as 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfide, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfide, 4,4′-diamino-2, Dihydroxydiphenyl sulfides such as 2′-dihydroxydiphenyl sulfide, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfoxide, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfoxide, 4,4′- Dihydroxydiphenyl sulfoxides such as diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl sulfoxide, and bis [(hydroxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] propane 4,4′-bis (4- Bis [(hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as mino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl, bis [(hydroxyphenoxy) such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone Phenyl] sulfone compound, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxy Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as phenyl] propane and 4,4′-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl. These can be used alone or in combination of two or more.

特に本願発明の感光性樹脂組成物に好適に用いることのできるジアミン化合物は、m−フェニレンジアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン等の芳香族ジアミンである。上記芳香族ジアミンを用いることで得られる硬化膜の耐熱性が向上するので望ましい。   In particular, diamine compounds that can be suitably used in the photosensitive resin composition of the present invention include m-phenylenediamine, bis (3-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, and 3,3′-diaminodiphenylmethane. Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3 -Bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, etc. It is an aromatic diamine. Since the heat resistance of the cured film obtained by using said aromatic diamine improves, it is desirable.

<(B)感光性樹脂>
本願発明における(B)感光性樹脂とは、光重合開始剤により化学結合が形成される樹脂である。その中でも分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する樹脂であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、アクリル基(CH2=CH−基)、メタアクリロイル基(CH=C(CH3)−基)もしくはビニル基(−CH=CH−基)であることが好ましい。
<(B) Photosensitive resin>
The photosensitive resin (B) in the present invention is a resin in which a chemical bond is formed by a photopolymerization initiator. Among these, a resin having at least one unsaturated double bond in the molecule is preferable. Furthermore, the unsaturated double bond is preferably an acrylic group (CH2 = CH-group), a methacryloyl group (CH = C (CH3) -group) or a vinyl group (-CH = CH-group). .

かかる(B)感光性樹脂としては、例えばビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1 − アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレート、等が好ましいが、これらに限定されない。特に、ジアクリレートあるいはメタアクリレートの一分子中に含まれるEO(エチレンオキサイド)の繰り返し単位が、2〜50の範囲のものが好ましく、さらに好ましくは2〜40である。EOの繰り返し単位が2〜50の範囲の物を使用することにより、感光性樹脂組成物のアルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮される。更に、感光性樹脂組成物を硬化した硬化膜中に応力が残りにくく、例えばプリント配線板の中でも、ポリイミド樹脂を基材とするフレキシブルプリント配線板上に積層した際に、プリント配線板のカールを抑えることができるなどの特徴を有する。   Examples of the photosensitive resin (B) include bisphenol F EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, and bisphenol S EO modified (n = 2 to 50). Diacrylate, bisphenol F EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, 1,6-hexane Diol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethyl Propane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipenta Erythritol hexamethacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2- Hide Xylpropyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol Dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4- (Methacryloxyethoxy ) Phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy polyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, Polypropylene glycol diacrylate, 2,2-bis [4- (acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryl Roxypropane, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene group Cole acrylate, nonylphenoxy polyethylene glycol acrylate, nonyl phenoxy polypropylene glycol acrylate, 1-acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4 -Butanediol dimethacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol di Methacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, Tricyclodecane dimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, 2,4-diethyl -1,5-pentanediol diacrylate, ethoxylated tomethylolpropane triacrylate, propoxylated tomethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid tri (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxylation Pentathritol tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, glycidyl ali Ether, 1,3,5-triacryloylhexahydro-s-triazine, triallyl1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallyl phosphate, arborbital, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl Disulfide, diallyl ether, zalyl sialate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4′-isopropylidene diphenol dimethacrylate, 4,4′-isopropyl Redene diphenol diacrylate and the like are preferable, but are not limited thereto. In particular, the repeating unit of EO (ethylene oxide) contained in one molecule of diacrylate or methacrylate is preferably in the range of 2-50, more preferably 2-40. By using an EO repeating unit in the range of 2 to 50, the solubility of the photosensitive resin composition in an aqueous developer typified by an alkaline aqueous solution is improved, and the development time is shortened. Furthermore, it is difficult for stress to remain in the cured film obtained by curing the photosensitive resin composition. For example, among the printed wiring boards, when laminated on a flexible printed wiring board based on a polyimide resin, curling of the printed wiring board is prevented. Features such as being able to be suppressed.

特に、上記EO変性のジアクリレート或いは、ジメタクリレートと、アクリル基もしくは、メタクリル基を3以上有するアクリル樹脂を併用することが現像性を高める上で特に好ましく、例えばエトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタエリストールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルコハク酸、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸、プロポキシ化ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート、カプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、
下記一般式(5)
In particular, it is particularly preferable to use the EO-modified diacrylate or dimethacrylate together with an acrylic resin having 3 or more acrylic groups or methacrylic groups in order to improve developability. For example, ethoxylated isocyanuric acid EO-modified triacrylate, Ethoxylated isocyanuric acid EO modified trimethacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, propoxylated trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tri Acrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, ditrimethyl Propanetetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, propoxylated pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, 2,2,2-trisacryloyloxymethyl ethyl succinic acid, 2,2, 2-trisacryloyloxymethylethylphthalic acid, propoxylated ditrimethylolpropane tetraacrylate, propoxylated dipentaerythritol hexaacrylate, ethoxylated isocyanuric acid triacrylate, ε-caprolactone modified tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate, Caprolactone-modified ditrimethylolpropane tetraacrylate,
The following general formula (5)

Figure 2010079209
(式中、a+b=6、n=12である。)で表される化合物、
下記一般式(6)
Figure 2010079209
(Wherein, a + b = 6, n = 12.)
The following general formula (6)

Figure 2010079209
(式中、a+b=4、n=4である。)で表される化合物、
下記式(7)
Figure 2010079209
(Wherein a + b = 4 and n = 4),
Following formula (7)

Figure 2010079209
で表される化合物、
下記一般式(8)
Figure 2010079209
A compound represented by
The following general formula (8)

Figure 2010079209
(式中、m=1、a=2、b=4もしくは、m=1、a=3、b=3もしくは、m=1、a=6、b=0もしくは、m=2、a=6、b=0である。)で表される化合物、
下記一般式(9)
Figure 2010079209
(Where m = 1, a = 2, b = 4, or m = 1, a = 3, b = 3, or m = 1, a = 6, b = 0, or m = 2, a = 6 B = 0).)
The following general formula (9)

Figure 2010079209
(式中、a+b+c=3.6である。)で表される化合物、
下記式(10)
Figure 2010079209
(Wherein a + b + c = 3.6),
Following formula (10)

Figure 2010079209
で表される化合物、
下記一般式(11)
Figure 2010079209
A compound represented by
The following general formula (11)

Figure 2010079209
(式中、m・a=3、a+b=3、ここで「m・a」は、mとaとの積である。)で表される化合物等のアクリル樹脂が好適に用いられる。
Figure 2010079209
An acrylic resin such as a compound represented by the formula (where m · a = 3, a + b = 3, where “m · a” is a product of m and a) is preferably used.

また、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、アクリル酸ダイマー、ペンタエスリトールトリ及びテトラアクリレート等の分子構造骨格中にヒドロキシル基、カルボニル基を有する物も好適に用いられる。   In addition, hydroxyl groups in the molecular structure skeleton such as 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, monohydroxyethyl acrylate phthalate, ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate, acrylic acid dimer, pentaerythritol tri and tetraacrylate, Those having a carbonyl group are also preferably used.

この他、エポキシ変性のアクリル(メタクリル)樹脂や、ウレタン変性のアクリル(メタクリル)樹脂、ポリエステル変性のアクリル(メタクリル)樹脂等どのような感光性樹脂を用いてもよい。   In addition, any photosensitive resin such as an epoxy-modified acrylic (methacrylic) resin, a urethane-modified acrylic (methacrylic) resin, or a polyester-modified acrylic (methacrylic) resin may be used.

尚、感光性樹脂としては、1種を使用することも可能であるが、2種以上を併用することが、光硬化後の硬化膜の耐熱性を向上させる上で好ましい。   In addition, although it is also possible to use 1 type as a photosensitive resin, using 2 or more types together is preferable when improving the heat resistance of the cured film after photocuring.

本願発明の感光性樹脂組成物における(B)成分は、(A)成分の固形分100重量部に対して、(B)成分が、0.1〜500重量部となるように配合されていることが好ましく、10〜300重量部含まれていることが更に好ましい。   (B) component in the photosensitive resin composition of this invention is mix | blended so that (B) component may be 0.1-500 weight part with respect to 100 weight part of solid content of (A) component. It is preferable that 10 to 300 parts by weight are contained.

(B)成分の感光性樹脂が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂組成物を光硬化した後の硬化被膜の耐熱性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストが付きにくくなるので好ましくない場合がある。そのため、上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。   When the photosensitive resin of the component (B) is less than the above range, the heat resistance of the cured film after photocuring the photosensitive resin composition is lowered, and the contrast when exposed and developed is difficult to be applied. Therefore, it may not be preferable. For this reason, it is possible to set the resolution at the time of exposure / development to an optimal range by setting the value within the above range.

<(C)光重合開始剤>
本願発明における(C)光重合開始剤とは、UVなどのエネルギーによって活性化し、感光性樹脂の反応を開始・促進させる化合物である。かかる(C)光重合開始剤としては、例えば、ミヒラ−ズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4’’−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチルエ−テル、ベンゾインイソプロピルエ−テル、ベンゾインイソブチルエ−テル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5’’−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネ−ト、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタノンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)などが挙げられる。上記光重合開始剤は適宜選択することが望ましく、1種以上を混合させて用いることが望ましい。
<(C) Photopolymerization initiator>
The (C) photopolymerization initiator in the present invention is a compound that is activated by energy such as UV and starts and accelerates the reaction of the photosensitive resin. Examples of the (C) photopolymerization initiator include Mihilaz ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) triphenylmethane, and 2,2 ′. -Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, Benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1- Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, diacetylbenzyl, benzyldimethyl Ketal, benzyldiethylketal, 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methylfuryl) ethylidene] -4, 6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4,4′-diazidochalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4′-diazidostilbene-2,2′-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy)- Enyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4- Trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-ketone, bis (n5-2,4-cyclopentadiene -1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, 1,2- Kutanonedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iododium, (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1 -), Ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1 -(O-acetyloxyome) etc. are mentioned. The photopolymerization initiator is desirably selected as appropriate, and it is desirable to use a mixture of one or more.

本願発明の感光性樹脂組成物における(A)成分、(B)成分および(C)成分は、(A)成分と(B)成分を合計した固形分100重量部に対して、(C)成分が、0.1〜50重量部となるように配合されていることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the component (A), the component (B) and the component (C) are the component (C) with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the component (A) and the component (B). However, it is preferable to mix | blend so that it may become 0.1-50 weight part.

上記配合割合にすることで最終的に得られる硬化物や絶縁膜の諸特性(電気絶縁信頼性等)が向上するので好ましい。   The blending ratio is preferable because various properties (such as electrical insulation reliability) of the cured product and insulating film finally obtained are improved.

(C)光重合開始剤が上記範囲よりも少ない場合には、光照射時のアクリル樹脂の硬化反応が起こりにくく、硬化が不十分となることが多い場合がある。また、多すぎた場合には、光照射量の調整が難しくなり、過露光状態となる場合がある。そのため、光硬化反応を効率良く進めるためには上記範囲内に調整することが好ましい。   (C) When there are few photoinitiators than the said range, the hardening reaction of the acrylic resin at the time of light irradiation hardly occurs, and hardening may become inadequate in many cases. Moreover, when there is too much, adjustment of light irradiation amount becomes difficult and may be in an overexposure state. Therefore, in order to advance the photocuring reaction efficiently, it is preferable to adjust within the above range.

<(D)イソシアネート系化合物(ブロックイソシアネート)>
(D)成分であるイソシアネート系化合物(ブロックイソシアネート)とは、イソシアネート基をオキシム類、ジケトン類、フェノール類、カプロラクタム類等のブロック剤で安定化したイソシアネート化合物のことを意味する。上記ブロックイソシアネート化合物とは、常温では不活性であり、加熱されることにより、オキシム類、ジケトン類、フェノール類、カプロラクタム類等のブロック剤が解離してイソシアネート基を再生する化合物であり、例えば、旭化成ケミカルズ株式会社製の商品名デュラネート17B−60PX、デュラネートTPA−B80E、デュラネートMF−B60X、デュラネートMF−K60X、デュラネートE402−B80T、三井化学ポリウレタン株式会社製の商品名タケネートB−830、タケネートB−815N、タケネートB−846N、タケネートB−882N、日本ポリウレタン工業株式会社製の商品名コロネートAP−M、コロネート2503、コロネート2507、コロネート2513、コロネート2515、ミリオネートMS−50等が挙げられる。特に本願発明に好適に用いられるブロックイソシアネート化合物は、ブロック剤の解離温度が160℃以下であるヘキサメチレンジイソシアネート系イソシアヌレート型、ビウレット型、アダクト型等のブロックイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート系、水添キシリレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート化合物である。
<(D) Isocyanate compound (block isocyanate)>
The isocyanate compound (block isocyanate) as component (D) means an isocyanate compound whose isocyanate group is stabilized with a blocking agent such as oximes, diketones, phenols, caprolactams and the like. The blocked isocyanate compound is a compound that is inactive at room temperature, and is heated to dissociate a blocking agent such as oximes, diketones, phenols, caprolactams, and regenerate isocyanate groups. Product names Duranate 17B-60PX, Duranate TPA-B80E, Duranate MF-B60X, Duranate MF-K60X, Duranate E402-B80T manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. Trade names Takenate B-830, Takenate B- 815N, Takenate B-846N, Takenate B-882N, trade names Coronate AP-M, Coronate 2503, Coronate 2507, Coronate 2513, Coronate 2515, Million Over preparative MS-50 and the like. In particular, the blocked isocyanate compound suitably used in the present invention is a block isocyanate compound such as a hexamethylene diisocyanate type isocyanurate type, biuret type, adduct type, etc., in which the dissociation temperature of the blocking agent is 160 ° C. or less, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate type, water It is an additive xylylene diisocyanate block isocyanate compound.

上記ブロックイソシアネート化合物を用いることで感光性樹脂組成物を硬化したときに得られる硬化被膜に高い基材との密着性を付与できるので好ましい。   It is preferable to use the above-mentioned blocked isocyanate compound because high adhesiveness can be imparted to the cured film obtained when the photosensitive resin composition is cured.

また、これらイソシアネート系化合物は単独で、或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   These isocyanate compounds can be used alone or in combination of two or more.

上記ブロックイソシアネートの使用量は、上記(A)成分である部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体及び(B)成分である感光性樹脂の総重量100重量部に対し、1〜100重量部の範囲内とすることが好ましく、1〜50重量部の範囲内とすることがより好ましく、1〜40重量部の範囲内とすることが特に好ましい。   The use amount of the above-mentioned blocked isocyanate is 100 parts by weight of the total weight of the polyimide precursor having the amide bond in addition to the polyamic acid part partially imidized as the component (A) and the photosensitive resin as the component (B). On the other hand, it is preferably in the range of 1 to 100 parts by weight, more preferably in the range of 1 to 50 parts by weight, and particularly preferably in the range of 1 to 40 parts by weight.

上記ブロックイソシアネートが、100重量部を超えると、後述するBステージ状態の感光性樹脂組成物にベタツキが見られたりする場合があるために好ましくない。また、ブロックイソシアネートが、1重量部以上含まれていると、感光性樹脂組成物に残存する親水基である水酸基、カルボキシル基と反応するため好ましい。   When the said block isocyanate exceeds 100 weight part, since stickiness may be seen in the photosensitive resin composition of the B stage state mentioned later, it is unpreferable. Moreover, when 1 weight part or more of block isocyanate is contained, since it reacts with the hydroxyl group and carboxyl group which are the hydrophilic groups which remain | survive in the photosensitive resin composition, it is preferable.

<(E)難燃剤>
本願発明において、(A)〜(D)成分に加えて、難燃性を付与するために「難燃剤」を添加することができる。「難燃剤」とは、プラスチック、木材、または繊維等の可燃性物質に、添加または反応させることにより、可燃性物質を燃えにくくする働きのある物質のことを意味する。上記難燃剤としては、特に限定されないが、リン酸エステル、縮合リン酸エステル、ホスフィンオキサイド、ホスフィン、リン−窒素二重結合をもつホスファゼン化合物のようなリン系難燃剤、芳香族環の含有率が高いシリコーン化合物等を挙げることができる。これら難燃剤のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、本発明においてリン系難燃剤とは、リン酸エステル、縮合リン酸エステル、ホスフィンオキサイド、ホスフィン、ホスファゼン化合物のようにリンを含む化合物のことを指す。
<(E) Flame retardant>
In this invention, in addition to (A)-(D) component, in order to provide a flame retardance, a "flame retardant" can be added. “Flame retardant” means a substance that acts to make a flammable substance difficult to burn by adding or reacting with a flammable substance such as plastic, wood, or fiber. Although it does not specifically limit as said flame retardant, Phosphorus ester, condensed phosphate ester, phosphine oxide, phosphine, phosphorus-type flame retardants, such as a phosphazene compound having a phosphorus-nitrogen double bond, the content of aromatic rings Examples thereof include high silicone compounds. Among these flame retardants, one kind or a combination of two or more kinds may be used. In the present invention, the phosphorus-based flame retardant refers to a compound containing phosphorus such as a phosphate ester, a condensed phosphate ester, a phosphine oxide, a phosphine, and a phosphazene compound.

感光性樹脂組成物との相溶性、難燃性の観点から、縮合リン酸エステル、ホスファゼン化合物リン系難燃剤を用いることが好ましい。   From the viewpoint of compatibility with the photosensitive resin composition and flame retardancy, it is preferable to use a condensed phosphate ester and a phosphazene compound phosphorus flame retardant.

縮合リン酸エステルとしては、例えば、CR−733S(レゾシノ−ルジホスフェート)(大八化学製)、CR−741(大八化学製)、CR−747(大八化学製)、およびPX−200(大八化学製)などが挙げられ、ホスファゼン化合物としては、SPE−100(大塚化学製)、SPH−100(大塚化学製)などが挙げられる。   Examples of the condensed phosphate ester include CR-733S (resorcinol diphosphate) (manufactured by Daihachi Chemical), CR-741 (manufactured by Daihachi Chemical), CR-747 (manufactured by Daihachi Chemical), and PX-200 ( Daihachi Chemical Co., Ltd.), and the phosphazene compounds include SPE-100 (Otsuka Chemical Co., Ltd.), SPH-100 (Otsuka Chemical Co., Ltd.), and the like.

上記難燃剤の使用量は、上記(A)成分である部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体及び(B)成分である感光性樹脂の総重量100重量部に対し、1〜100重量部の範囲内とすることが好ましく、1〜50重量部の範囲内とすることがより好ましく、1〜40重量部の範囲内とすることが特に好ましい。   The amount of the flame retardant used is a partially imidized component (A), a polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid moiety, and a total weight of 100 parts by weight of the photosensitive resin (B). On the other hand, it is preferably in the range of 1 to 100 parts by weight, more preferably in the range of 1 to 50 parts by weight, and particularly preferably in the range of 1 to 40 parts by weight.

上記難燃剤が、1重量部未満であると、十分な難燃効果が得られない場合がある。一方、100重量部を超えると、後述するBステージ状態の感光性樹脂組成物にベタツキが見られたりする場合があり、さらに硬化物の物性に悪影響を与える場合があるために好ましくない。   If the flame retardant is less than 1 part by weight, a sufficient flame retardant effect may not be obtained. On the other hand, if it exceeds 100 parts by weight, stickiness may be seen in the photosensitive resin composition in the B-stage state described later, and the physical properties of the cured product may be adversely affected.

<(F)その他の成分>
本発明の感光性樹脂組成物には、上記(A)〜(E)成分以外に、必要に応じて(F)成分としてその他の成分が含有されていてもよい。その他の成分としては、例えば、エポキシ樹脂、硬化促進剤及び/又は硬化剤、重合禁止剤、安定剤、酸化防止剤、密着付与剤を挙げることができる。
<(F) Other ingredients>
In addition to the components (A) to (E), the photosensitive resin composition of the present invention may contain other components as the component (F) as necessary. Examples of other components include an epoxy resin, a curing accelerator and / or a curing agent, a polymerization inhibitor, a stabilizer, an antioxidant, and an adhesion imparting agent.

(エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂を用いることにより、作製される感光性ドライフィルムレジストに銅箔やポリイミドフィルム等に対する密着性を向上させることができる。
(Epoxy resin)
By using an epoxy resin, the adhesiveness with respect to copper foil, a polyimide film, etc. can be improved to the photosensitive dry film resist produced.

上記エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、例えば、製品名エピコート828、834、1001、1002、1003、1004、1005、1007、1010、1100L(ジャパンエポキシレジン(株)製)等のビスフェノールA型エポキシ樹脂、製品名ESCN−220L、220F、220H、220HH、180H65(ジャパンエポキシレジン(株)製)等のo−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、製品名EPPN−502H(日本化薬(株)製)等のトリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、製品名ESN−375等のナフタレンアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、製品名ESN−185(新日鐵化学(株))等のノボラック型エポキシ樹脂、製品名YX4000H等のビフェノール型エポキシ樹脂を挙げることができる。   Although it does not specifically limit as said epoxy resin, For example, bisphenol A type epoxy, such as product name Epicoat 828,834,1001,1002,1003,1004,1005,1007,1010,1100L (Japan Epoxy Resin Co., Ltd. product), etc. Resins, product names ESCN-220L, 220F, 220H, 220HH, 180H65 (Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and other o-cresol novolak type epoxy resins, product names EPPN-502H (Nippon Kayaku Co., Ltd.), etc. Trishydroxyphenylmethane type epoxy resin, naphthalene aralkyl novolak type epoxy resin such as product name ESN-375, novolak type epoxy resin such as product name ESN-185 (Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), biphenol type such as product name YX4000H Epoxy resin I can make it.

また、上記の他、ビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビスフェノールFグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ノボラックグリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂、芳香族型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂等であってもよい。   In addition to the above, bisphenol A glycidyl ether type epoxy resin, bisphenol F glycidyl ether type epoxy resin, novolac glycidyl ether type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, cyclic aliphatic epoxy resin, aromatic type An epoxy resin, a halogenated epoxy resin, or the like may be used.

上記エポキシ樹脂は、1種または2種以上を組み合わせて用いればよい。なお、上記エポキシ樹脂は、(A)成分100重量部に対し、必要に応じて1〜100重量部の範囲内で用いることが好ましく、0〜50重量部の範囲内で用いることがより好ましく、1〜30重量部の範囲内で用いることが特に好ましい。上記エポキシ樹脂が(A)成分100重量部に対して30重量部を超えると耐屈曲性の低下を引き起こす可能性がある。   The epoxy resin may be used alone or in combination of two or more. In addition, it is preferable to use the said epoxy resin within the range of 1-100 weight part as needed with respect to 100 weight part of (A) component, and it is more preferable to use within the range of 0-50 weight part, It is particularly preferable to use within the range of 1 to 30 parts by weight. If the epoxy resin exceeds 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the component (A), the flex resistance may be lowered.

(硬化促進剤及び/又は硬化剤)
感光性樹脂組成物の材料としてエポキシ樹脂を用いた場合、作製される感光性ドライフィルムレジストの硬化を効率良く行うために、感光性樹脂組成物に硬化促進剤及び/又は硬化剤を添加してもよい。このような硬化促進剤及び/又は硬化剤としては特に限定されないが、例えば、エポキシ樹脂の硬化を効率良く行うためには、イミダゾ−ル系化合物、酸無水物、第3級アミン類、ヒドラジン類、芳香族アミン類、フェノール類、トリフェニルホスフィン類、有機過酸化物などを挙げることができる。これらの硬化促進剤及び/又は硬化剤のうち、1種または2種以上を組み合わせて用いればよい。
(Curing accelerator and / or curing agent)
When an epoxy resin is used as the material of the photosensitive resin composition, a curing accelerator and / or a curing agent is added to the photosensitive resin composition in order to efficiently cure the photosensitive dry film resist to be produced. Also good. Although it does not specifically limit as such a hardening accelerator and / or a hardening | curing agent, For example, in order to cure | harden an epoxy resin efficiently, an imidazole type compound, an acid anhydride, a tertiary amine, hydrazines And aromatic amines, phenols, triphenylphosphines, and organic peroxides. What is necessary is just to use 1 type or in combination of 2 or more types among these hardening accelerators and / or hardening agents.

上記硬化促進剤及び/又は硬化剤の使用量は、(A)成分100重量部に対し0.1〜20重量部の範囲内であることが好ましく、0.5〜20重量部の範囲内であることがより好ましく、0.5〜15重量部の範囲内であることが特に好ましい。上記硬化促進剤及び/又は硬化剤が(A)成分100重量部に対して0.1重量部未満であると、エポキシ樹脂の硬化が十分に行われず、逆に20重量部を超えると耐熱性の低下を引き起こす可能性がある。   The amount of the curing accelerator and / or curing agent used is preferably in the range of 0.1 to 20 parts by weight, and in the range of 0.5 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of component (A). More preferably, it is particularly preferably in the range of 0.5 to 15 parts by weight. When the curing accelerator and / or curing agent is less than 0.1 part by weight with respect to 100 parts by weight of component (A), the epoxy resin is not sufficiently cured, and conversely, if it exceeds 20 parts by weight, heat resistance May cause a decrease in

(重合禁止剤、安定剤、酸化防止剤)
本発明の感光性樹脂組成物には、(A)成分及び/または(B)成分の感光性樹脂に含有されるビニル基、アクリル基、メタクリル基等の光重合性・熱重合性官能基が、感光性樹脂組成物及び感光性ドライフィルムレジストの貯蔵中に架橋反応するのを防止するため、重合禁止剤、安定剤、酸化防止剤からなる群より選ばれる少なくとも1種のポリマー添加剤を添加することが好ましい。
(Polymerization inhibitor, stabilizer, antioxidant)
The photosensitive resin composition of the present invention has a photopolymerizable / thermopolymerizable functional group such as a vinyl group, an acryl group or a methacryl group contained in the photosensitive resin of the component (A) and / or the component (B). In order to prevent a crosslinking reaction during storage of the photosensitive resin composition and the photosensitive dry film resist, at least one polymer additive selected from the group consisting of a polymerization inhibitor, a stabilizer and an antioxidant is added. It is preferable to do.

重合禁止剤としては、重合禁止剤、重合抑制剤として一般的に用いられているものであれば特に限定されない。安定剤としては、熱安定剤、光安定剤として一般に知られているものであれば、特に限定されない。酸化防止剤としては、酸化防止剤、ラジカル捕捉剤として一般的に用いられているものであれば特に限定されない。   The polymerization inhibitor is not particularly limited as long as it is generally used as a polymerization inhibitor or a polymerization inhibitor. The stabilizer is not particularly limited as long as it is generally known as a heat stabilizer or a light stabilizer. The antioxidant is not particularly limited as long as it is generally used as an antioxidant or a radical scavenger.

上記の重合禁止剤、安定剤、酸化防止剤は、それぞれ別個の化合物であるとは限らず、1つの化合物が重合禁止剤としても酸化防止剤としても用いられる場合もある。   The above polymerization inhibitor, stabilizer and antioxidant are not necessarily separate compounds, and one compound may be used as a polymerization inhibitor or an antioxidant.

本発明における重合禁止剤、安定剤及び酸化防止剤からなる群より選ばれるポリマー添加剤としては、一般的に重合禁止剤、重合抑制剤、熱安定剤、光安定剤、酸化防止剤、ラジカル捕捉剤として用いられているものであれば特に限定されないが、例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、2,5−ジ−t−ブチルハイドロキノン、t−ブチルハイドロキノン、2,5−ビス(1,1,3,3−テトラメチルブチル)ハイドロキノン(和光純薬(株)製、商品名DOHQ)、2,5−ビス(1,1−ジメチルブチル)ハイドロキノン(和光純薬(株)製、商品名DHHQ)等のハイドロキノン系化合物;p−ベンゾキノン、メチル−p−ベンゾキノン、t−ブチルベンゾキノン、2,5−ジフェニル−p−ベンゾキノン等のベンゾキノン化合物;ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート](チバ・スペシャルティー・ケミカルズ(株)製、商品名イルガノックス1010)、N,N‘−へキサン−1,6−ジイルビス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオンアミド](同社製、商品名イルガノックス1098)、1,3,5−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(同社製、商品名イルガノックス3114)、ヒドロキシフェノールベンゾトリアゾール(旭電化工業(株)製、商品名アデカAO−20)等のヒンダードフェノール系化合物;2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−p−;クレゾール(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ(株)製、商品名TINUVIN P)等のベンゾトリアゾ−ル系化合物;N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン(和光純薬(株)製、商品名Q−1300)、N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩(和光純薬(株)製、商品名Q−1301)等のニトロソアミン系化合物;フェノチアジン、ジチオベンゾイルスルフィド、ジベンジルテトラスルフィド等の有機硫黄化合物;ビス(1,2,2,6,6−ペンタメチル−4−ピぺリジル)[{3,5−ビス(1,1−ジメチルエチル)−4−ヒドロキシフェニル}メチル]ブチルマロネ−ト(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ(株)製、商品名イルガノックス144)等のヒンダードアミン系化合物;p−ェニレンジアミン(通称パラミン)、N,N−ジフェニル−p−フェニレンジアミン等の芳香族アミン;トリス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイト(同社製、商品名イルガノックス168)テトラキス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)[1,1−ビフェニル]−4,4’−ジイルビスホスフォネート(同社製、商品名イルガノックスP−EPQ)等のリン系化合物などが挙げられる。   As a polymer additive selected from the group consisting of a polymerization inhibitor, a stabilizer and an antioxidant in the present invention, a polymerization inhibitor, a polymerization inhibitor, a heat stabilizer, a light stabilizer, an antioxidant, and a radical scavenger are generally used. Although it will not specifically limit if it is used as an agent, For example, hydroquinone, methyl hydroquinone, 2,5-di-t-butyl hydroquinone, t-butyl hydroquinone, 2,5-bis (1,1,3, 3-tetramethylbutyl) hydroquinone (trade name DOHQ, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), 2,5-bis (1,1-dimethylbutyl) hydroquinone (trade name DHHQ, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), etc. Hydroquinone compounds; benzoyl such as p-benzoquinone, methyl-p-benzoquinone, t-butylbenzoquinone, 2,5-diphenyl-p-benzoquinone Compound: pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] (trade name: Irganox 1010, manufactured by Ciba Specialty Chemicals), N, N ′ -Hexane-1,6-diylbis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionamide] (manufactured by the company, trade name: Irganox 1098), 1,3,5-tris ( 3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione (product name: Irganox 3114), hydroxy Hindered phenol compounds such as phenol benzotriazole (trade name Adeka AO-20 manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.); 2- (2H-benzotriazole- -Il) -p-; Benzotriazole compounds such as Cresol (Ciba Specialty Chemicals, trade name TINUVIN P); N-nitrosophenylhydroxylamine (Wako Pure Chemical Industries, trade name) Nitrosamine compounds such as Q-1300) and N-nitrosophenylhydroxylamine aluminum salt (trade name Q-1301 manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.); organic sulfur compounds such as phenothiazine, dithiobenzoyl sulfide and dibenzyltetrasulfide; Bis (1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidyl) [{3,5-bis (1,1-dimethylethyl) -4-hydroxyphenyl} methyl] butyl malonate (Ciba Special Hindered amine compounds such as Tea Chemicals Co., Ltd., trade name Irganox 144) Aromatic aromatic amines such as p-phenylenediamine (commonly called paramine) and N, N-diphenyl-p-phenylenediamine; tris (2,4-di-t-butylphenyl) phosphite (trade name, Irganox 168, manufactured by the same company); Phosphorus compounds such as tetrakis (2,4-di-t-butylphenyl) [1,1-biphenyl] -4,4′-diylbisphosphonate (product name: Irganox P-EPQ) Can be mentioned.

特に、ハイドロキノン系化合物、ヒンダードフェノール系化合物、ニトロソアミン系化合物、芳香族アミンであることが好ましい。これらの化合物を用いることにより、光重合性・熱重合性官能基の架橋反応を防ぐことができるため、感光性樹脂組成物の貯蔵中にその感光性樹脂組成物の有機溶媒溶液の粘度の上昇を抑えることができ、酸化防止効果もあるので樹脂の劣化を防ぐことができ、感光性樹脂組成物の長期耐熱性や耐加水分解性を向上させることができる。   Particularly preferred are hydroquinone compounds, hindered phenol compounds, nitrosamine compounds, and aromatic amines. By using these compounds, the crosslinking reaction of the photopolymerizable / thermopolymerizable functional group can be prevented, so that the viscosity of the organic solvent solution of the photosensitive resin composition increases during storage of the photosensitive resin composition. Since there is also an antioxidant effect, the resin can be prevented from deteriorating, and the long-term heat resistance and hydrolysis resistance of the photosensitive resin composition can be improved.

(密着付与剤)
ポリイミドフィルム、金属等の基材との密着性を向上させるために、公知のいわゆる密着付与剤を添加してもよい。
(Adhesion imparting agent)
In order to improve the adhesion to a substrate such as a polyimide film or metal, a known so-called adhesion imparting agent may be added.

このような密着促進剤は特に限定されないが、例えば、ベンズイミダゾール、ベンズオキサゾール、ベンズチアゾール、トリアゾール、シランカップリング剤などが挙げられる。   Such an adhesion promoter is not particularly limited, and examples thereof include benzimidazole, benzoxazole, benzthiazole, triazole, and a silane coupling agent.

<(G)有機溶媒>
本願発明において、(A)〜(F)成分に加え、有機溶媒を混合することができる。(G)有機溶媒としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、メチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、γ―ブチロラクトン、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエーテル類等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。
<(G) Organic solvent>
In the present invention, in addition to the components (A) to (F), an organic solvent can be mixed. (G) Examples of the organic solvent include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyl diglyme (bis (2-methoxyether) ether), and methyl triglyme. (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme Symmetrical glycol diethers such as (bis (2-ethoxyethyl) ether) and butyldiglyme (bis (2-butoxyethyl) ether), γ-butyrolactone, methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, Butyl acetate, propylene glycol monomethyl Ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, Acetates such as ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl Ether, dipropylene glycol n-propyl ether , Propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n-propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono Examples thereof include ethers such as butyl ether and ethylene glycol monoethyl ether, and these can be used alone or in combination of two or more.

本願発明の感光性樹脂組成物における(G)成分は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、必要に応じて(D)成分及び(E)成分を合計した100重量部に対して、10〜400重量部、より好ましくは、20〜200重量部、特に好ましくは、40〜100重量部である。   The component (G) in the photosensitive resin composition of the present invention is 100 parts by weight of the sum of the component (A), the component (B), the component (C), and the component (D) and the component (E) as necessary. On the other hand, it is 10 to 400 parts by weight, more preferably 20 to 200 parts by weight, and particularly preferably 40 to 100 parts by weight.

上記範囲内に(G)成分の量を調整することにより、感光性樹脂組成物の粘度や粘性をスクリーン印刷などの塗工に適切な範囲内に調整することができるので好ましい。   It is preferable to adjust the amount of the component (G) within the above range because the viscosity and viscosity of the photosensitive resin composition can be adjusted within a range suitable for coating such as screen printing.

(G)成分が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂組成物の粘度が非常に高くなり、塗工が困難となり、塗工時の泡の巻き込み、レベリング性に劣る場合がある。また、(G)成分が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物の粘度が非常に低くなってしまい、塗工が困難となり、回路の被覆性に劣る場合がある。   When the component (G) is less than the above range, the viscosity of the photosensitive resin composition becomes very high, coating becomes difficult, and foam entrainment and leveling may be inferior during coating. Moreover, when there are more (G) components than the said range, the viscosity of the photosensitive resin composition will become very low, coating will become difficult and it may be inferior to the coverage of a circuit.

本願発明の感光性樹脂組成物には、更に必要に応じて、消泡剤、レベリング剤、着色剤、密着性付与剤、重合禁止剤等の添加剤を用いることができる。これら添加剤としては、特に限定はされないが、例えば、消泡剤としては、シリコン系化合物、アクリル系化合物、レベリング剤としては、シリコン系化合物、アクリル系化合物、着色剤としては、フタロシアニン系化合物、アゾ系化合物、カーボンブラック、酸化チタン、密着性付与剤としては、シランカップリング剤、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、トリアジン系化合物、重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, additives such as an antifoaming agent, a leveling agent, a colorant, an adhesion imparting agent, and a polymerization inhibitor can be used as necessary. These additives are not particularly limited. For example, as an antifoaming agent, a silicon compound, an acrylic compound, as a leveling agent, a silicon compound, an acrylic compound, and as a colorant, a phthalocyanine compound, Examples of the azo compound, carbon black, titanium oxide, and adhesion imparting agent include silane coupling agents, triazole compounds, tetrazole compounds, triazine compounds, and polymerization inhibitors include hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether. These can be used alone or in combination of two or more.

本願発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分(A)〜(G)成分を均一に混合して得られる。均一に混合する方法としては、例えば3本ロール、ビーズミル装置等の一般的な混練装置を用いて混合すればよい。また、溶液の粘度が低い場合には、一般的な攪拌装置を用いて混合してもよい。   The photosensitive resin composition of the present invention is obtained by uniformly mixing the components (A) to (G). As a method of uniformly mixing, for example, a general kneading apparatus such as a three roll or bead mill apparatus may be used for mixing. Moreover, when the viscosity of a solution is low, you may mix using a general stirring apparatus.

本願発明の感光性樹脂組成物は、以下のようにしてパタ−ンを形成することができる。先ず上記の感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥して有機溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ−ン印刷、ローラーコーティング、カ−テンコーティング、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜(好ましくは厚み:5〜100μm)の乾燥は120℃以下、好ましくは40〜100℃で行う。乾燥後、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線などの活性光線を照射する。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりパタ−ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、現像液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが好ましい。   The photosensitive resin composition of the present invention can form a pattern as follows. First, the photosensitive resin composition is applied onto a substrate and dried to remove the organic solvent. The substrate can be applied by screen printing, roller coating, curtain coating, spray coating, spin coating using a spinner, or the like. The coating film (preferably having a thickness of 5 to 100 μm) is dried at 120 ° C. or lower, preferably 40 to 100 ° C. After drying, a negative photomask is placed on the dried coating film and irradiated with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, and electron beams. Next, the pattern can be obtained by washing the unexposed portion with a developing solution using various methods such as shower, paddle, dipping or ultrasonic waves. Since the time until the pattern is exposed varies depending on the spray pressure and flow velocity of the developing device and the temperature of the developer, it is preferable to find the optimum device conditions as appropriate.

上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましく、この現像液には、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。上記のアルカリ性水溶液を与えるアルカリ性化合物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオンの、水酸化物または炭酸塩や炭酸水素塩、アミン化合物などが挙げられ、具体的には水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、N−メチルジエタノ−ルアミン、N−エチルジエタノ−ルアミン、N,N−ジメチルエタノ−ルアミン、トリエタノ−ルアミン、トリイソプロパノ−ルアミン、トリイソプロピルアミン等が挙げられ、水溶液が塩基性を呈するものであればこれ以外の化合物も使用することができる。   As the developer, an aqueous alkali solution is preferably used. The developer is water-soluble such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, N-methyl-2-pyrrolidone and the like. An organic solvent may be contained. Examples of the alkaline compound that gives the alkaline aqueous solution include hydroxides, carbonates, hydrogen carbonates, amine compounds, and the like of alkali metals, alkaline earth metals, or ammonium ions, specifically sodium hydroxide. , Potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, ammonium bicarbonate, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium Hydroxide, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N, N-dimethylethanolamine, triethanolamine, triisopropanolamine, trii Propylamine and the like, aqueous solution compound other than this as long as it exhibits basicity can also be used.

本願発明の感光性樹脂組成物の現像工程に好適に用いることのできる、アルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01〜10重量%、特に好ましくは、0.05〜5重量%とすることが好ましい。また、現像液の温度は感光性樹脂組成物の組成や、現像液の組成に依存しており、一般的には0℃以上80℃以下、より一般的には、20℃以上50℃以下で使用することが好ましい。   The concentration of the alkaline compound that can be suitably used in the development step of the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.01 to 10% by weight, particularly preferably 0.05 to 5% by weight. preferable. Further, the temperature of the developer depends on the composition of the photosensitive resin composition and the composition of the developer, and is generally 0 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, more generally 20 ° C. or higher and 50 ° C. or lower. It is preferable to use it.

上記現像工程によって形成したパタ−ンは、リンスして不用な現像液残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。   The pattern formed by the development step is rinsed to remove unnecessary developer residue. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

次に、加熱硬化処理を行うことにより耐熱性及び柔軟性に富む硬化膜を得ることができる。硬化膜は配線厚み等を考慮して決定されるが、厚みが2〜50μm程度であることが好ましい。このときの最終硬化温度は配線等の酸化を防ぎ、配線と基材との密着性を低下させないことを目的として低温で加熱して硬化させることが望まれている。この時の加熱硬化温度は100℃以上250℃以下であることが好ましく、更に好ましくは120℃以上200℃以下であることが望ましく、特に好ましくは130℃以上190℃以下である。最終加熱温度が高くなると配線の酸化劣化が進む場合がある。   Next, a cured film rich in heat resistance and flexibility can be obtained by performing heat curing treatment. Although a cured film is determined in consideration of wiring thickness etc., it is preferable that thickness is about 2-50 micrometers. The final curing temperature at this time is desired to be cured by heating at a low temperature for the purpose of preventing oxidation of the wiring and the like and not reducing the adhesion between the wiring and the substrate. The heat curing temperature at this time is preferably 100 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, and particularly preferably 130 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. When the final heating temperature becomes high, the wiring may be oxidized and deteriorated.

本願発明の感光性樹脂組成物から形成した硬化膜からなるパタ−ンは、耐熱性、難燃性、電気的及び機械的性質に優れており、特に柔軟性に優れている。例えば、この発明の絶縁膜は、好適には厚さ2〜50μm程度の膜厚で光硬化後少なくとも10μmまでの解像性、特に10〜1000μm程度の解像性である。この為、本願発明の絶縁膜は高密度フレキシブル基板の絶縁材料として特に適しているのである。また更には、光硬化型の各種配線被覆保護剤、感光性の耐熱性接着剤、電線・ケーブル絶縁被膜等に用いられる。   A pattern comprising a cured film formed from the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in heat resistance, flame retardancy, electrical and mechanical properties, and is particularly excellent in flexibility. For example, the insulating film of the present invention preferably has a thickness of about 2 to 50 μm and a resolution of at least 10 μm after photocuring, and particularly a resolution of about 10 to 1000 μm. For this reason, the insulating film of the present invention is particularly suitable as an insulating material for a high-density flexible substrate. Furthermore, it is used for various photo-curing type wiring coating protective agents, photosensitive heat-resistant adhesives, electric wire / cable insulation coatings, and the like.

本発明の感光性樹脂組成物溶液をPET等の支持体フィルム上に均一に塗布した後、加熱および/または熱風吹き付けを行い、感光性樹脂組成物溶液を乾燥、すなわち、感光性樹脂組成物溶液の有機溶媒を除去し、感光性樹脂組成物がフィルム状となった感光性ドライフィルムレジストとすることもできる。本発明の感光性樹脂組成物より得られる感光性ドライフィルムレジストをプリント配線板に熱ラミネート処理などの熱圧着処理を行い、プリント配線板のパターン回路を埋め込んだ後、露光処理、現像、熱硬化処理を行うことにより良好な特性を示す、本発明の感光性樹脂よりなる絶縁膜をプリント配線板に被覆した絶縁膜付きプリント配線板を製造することもできる。   After uniformly coating the photosensitive resin composition solution of the present invention on a support film such as PET, heating and / or hot air spraying is performed, and the photosensitive resin composition solution is dried, that is, the photosensitive resin composition solution. The organic solvent is removed to form a photosensitive dry film resist in which the photosensitive resin composition is in the form of a film. The photosensitive dry film resist obtained from the photosensitive resin composition of the present invention is subjected to thermocompression treatment such as thermal laminating treatment on the printed wiring board, and after embedding the pattern circuit of the printed wiring board, exposure processing, development, thermosetting It is also possible to produce a printed wiring board with an insulating film in which an insulating film made of the photosensitive resin of the present invention, which exhibits good characteristics by performing the treatment, is coated on the printed wiring board.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

なお、実施例および比較例における分子量、感光性樹脂組成物または感光性ドライフィルムレジストの密着性、半田耐熱性、感光能、耐マイグレーション性、反り、難燃性、耐溶剤性及び屈曲性の評価法は次の通りである。   In addition, evaluation of molecular weight, adhesiveness of photosensitive resin composition or photosensitive dry film resist, solder heat resistance, photosensitivity, migration resistance, warpage, flame resistance, solvent resistance and flexibility in Examples and Comparative Examples The law is as follows.

〔分子量測定法〕
分子量は、高速GPC(東ソー社製、商品名HLC−8220GPC)を用いて測定した。測定条件は、DMF(0.036M LiBr,0.019Mリン酸含む)を展開溶媒とし、カラムとしてShodex製、商品名:KD−805−M 2本を用い、カラム温度を40℃とし、検出器としてPI(PEO標準)を用い、流量を0.6ml/minとした。
(Molecular weight measurement method)
The molecular weight was measured using a high-speed GPC (trade name HLC-8220GPC, manufactured by Tosoh Corporation). Measurement conditions were DMF (0.036M LiBr, 0.019M phosphoric acid included) as a developing solvent, a column manufactured by Shodex, trade name: KD-805-M, a column temperature of 40 ° C., and a detector. PI (PEO standard) was used, and the flow rate was 0.6 ml / min.

〔密着性〕
感光性樹脂組成物をジメチルフォルムアミドに溶解して感光性樹脂組成物溶液としたものをPETフィルム(厚み25μm)上に、乾燥後の厚みが25μmになるように塗布し、乾燥して有機溶剤を除去し、感光性ドライフィルムレジストとした(乾燥条件は、100℃で10分である。)。ポリイミドフィルム アピカル25NPI(カネカ製)と感光性ドライフィルムレジストとをあわせ110℃、20000Pa・mの条件でラミネートした。続いて400nmの光を300mJ/cm2だけ露光し、その後PETフィルムを剥離して180℃で2時間加熱し積層体を得た。この積層体について、IPC TM650 2.4.28.1のクロスカットピールの試験に準じて密着性の評価を行い、結果として100個中に残っている個数を記載した(すべて残っていれば100個と記載。)。
[Adhesion]
A photosensitive resin composition dissolved in dimethylformamide is applied to a PET film (thickness 25 μm) on a PET film (thickness 25 μm) so that the thickness after drying is 25 μm. Was removed to obtain a photosensitive dry film resist (drying conditions were 10 minutes at 100 ° C.). Polyimide film Apical 25 NPI (manufactured by Kaneka) and a photosensitive dry film resist were combined and laminated under the conditions of 110 ° C. and 20000 Pa · m. Subsequently, 400 m light was exposed by 300 mJ / cm 2, and then the PET film was peeled off and heated at 180 ° C. for 2 hours to obtain a laminate. About this laminated body, adhesiveness evaluation was performed according to the test of the crosscut peel of IPC TM650 2.4.28.1, and as a result, the number remaining in 100 was described (if all remained, 100 Described as individual.).

〔半田耐熱性〕
上記<密着性>の項目と同様に作成した感光性ドライフィルムレジストを電解銅箔(三井金属製3EC−VLP 1オンス)の輝面にあわせ100℃、20000Pa・mの条件でラミネートした。続いて400nmの光を300mJ/cm2だけ露光し、その後PETフィルムを剥離して180℃で2時間加熱し積層体を得た。この積層体を40℃95%RH 24時間調湿後、270℃の半田浴に10秒間浸漬し、表面の膨れおよび変色の有無を観察した。膨れおよび変色のなかければ○、変化があれば×とした。
[Solder heat resistance]
A photosensitive dry film resist prepared in the same manner as in the above <Adhesion> was laminated to a bright surface of an electrolytic copper foil (3EC-VLP made by Mitsui Kinzoku) at 100 ° C. and 20000 Pa · m. Subsequently, 400 m light was exposed by 300 mJ / cm 2, and then the PET film was peeled off and heated at 180 ° C. for 2 hours to obtain a laminate. The laminate was conditioned at 40 ° C. and 95% RH for 24 hours, and then immersed in a solder bath at 270 ° C. for 10 seconds, and the presence or absence of surface swelling and discoloration was observed. If there was no blistering or discoloration, it was marked with ◯, and if there was a change, it was marked with ×.

〔感光能〕
上記<密着性>の項目と同様に作成した感光性ドライフィルムレジストを電解銅箔(三井金属製3EC−VLP 1オンス)の輝面に積層し、遮光しながら100℃、20000Pa・mでラミネート加工し積層体とした。
[Photosensitivity]
Photosensitive dry film resist prepared in the same way as the above <Adhesion> is laminated on the bright surface of electrolytic copper foil (3EC-VLP made by Mitsui Kinzoku) and laminated at 100 ° C. and 20000 Pa · m while shielding light. A laminated body was obtained.

積層体の上にマスクパターンをのせ、400nmの光を300mJ/cm2だけ露光し、1重量%の炭酸ナトリウム水溶液(液温35℃)で現像した。フォトマスクパターンは、500μmφ、200μmφ、100μmφの微細な穴およびライン/スペースが500μm/500μm、200μm/200μm、100μm/100μmのラインを描いたものである。現像によって形成したパターンは、次いで蒸留水により洗浄して、現像液を除去した。100μmφの微細な穴および100μm/100μmのライン/スペースが描けていれば○、現像によって形成したパターンは、次いで蒸留水により洗浄して、現像液を除去した。500μmφの微細な穴および500μm/500μmのライン/スペースまでが描けていれば△、描けていなければ×とした。   A mask pattern was placed on the laminate, 400 nm light was exposed by 300 mJ / cm 2, and developed with a 1 wt% aqueous sodium carbonate solution (liquid temperature 35 ° C.). The photomask pattern depicts fine holes of 500 μmφ, 200 μmφ, and 100 μmφ and lines having a line / space of 500 μm / 500 μm, 200 μm / 200 μm, and 100 μm / 100 μm. The pattern formed by development was then washed with distilled water to remove the developer. If a fine hole of 100 μmφ and a line / space of 100 μm / 100 μm were drawn, the pattern formed by development was then washed with distilled water to remove the developer. If fine holes of 500 μmφ and lines / spaces of 500 μm / 500 μm were drawn, Δ was marked, and if not fine, x was marked.

〔耐マイグレーション性〕
新日鐵化学製フレキシブル銅貼積層板(ポリイミド系の樹脂の片面に銅箔を形成している片面銅貼積層板:SC18−25−00FR)に、ライン/スペース=100/100μmの櫛型パターンを形成した。
[Migration resistance]
Combin pattern of line / space = 100 / 100μm on Nippon Steel Chemical's flexible copper-clad laminate (single-sided copper-clad laminate with a copper foil on one side of a polyimide resin: SC18-25-00FR) Formed.

この櫛型パターンの上に、上記<密着性>の項目と同様に作成した感光性ドライフィルムレジストを重ね合わせ、条件100℃、20000Pa・mでラミネートした。続いて400nmの光を400mJ/cm2だけ露光し、その後、PETフィルムを剥離して180℃で2時間加熱して積層体を得た。   On this comb pattern, a photosensitive dry film resist prepared in the same manner as in the above item <Adhesion> was superposed and laminated at 100 ° C. and 20000 Pa · m. Subsequently, 400 nm light was exposed by 400 mJ / cm 2, and then the PET film was peeled off and heated at 180 ° C. for 2 hours to obtain a laminate.

85℃、85%RHの環境試験機中で、得られた積層体の被覆した櫛型パターンの両端子に60Vの直流電圧を印加し、抵抗値の変化やマイグレーションの有無を観察した。
○:試験開始後、1000時間で10の8乗以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの
×:試験開始後、1000時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの
In an environmental test machine at 85 ° C. and 85% RH, a DC voltage of 60 V was applied to both terminals of the comb pattern covered with the obtained laminate, and changes in resistance and presence / absence of migration were observed.
○: A resistance value of 10 8 or more in 1000 hours after the start of the test and no occurrence of migration, dendrite, etc. ×: An occurrence of migration, dendrite, etc. in 1000 hours after the start of the test

〔反り〕
ポリイミドフィルム アピカル25NPI(カネカ製)に上記<密着性>の項目と同様に作成した感光性ドライフィルムレジストをあわせ110℃、20000Pa・mの条件でラミネートした。続いて、400nmの光を300mJ/cm2だけ露光し、その後PETフィルムを剥離して180℃で2時間加熱し積層体を得た。この積層体を5cm各にカットして5cm×5cmの試験サンプルとした。試験サンプルを23℃65%RHの環境下に24時間放置後、感光性ドライフィルムレジスト面を上にして平らな台の上におき、台からそりあがった部分の最大高さを定規で測定し反り(mm)とした。反りが5mm以下を合格ラインとした。
〔warp〕
A photosensitive dry film resist prepared in the same manner as in the above <Adhesion> was combined with polyimide film Apical 25 NPI (manufactured by Kaneka) and laminated under the conditions of 110 ° C. and 20000 Pa · m. Subsequently, 400 m light was exposed by 300 mJ / cm 2, and then the PET film was peeled off and heated at 180 ° C. for 2 hours to obtain a laminate. This laminate was cut into 5 cm pieces to obtain 5 cm × 5 cm test samples. After leaving the test sample in an environment of 23 ° C. and 65% RH for 24 hours, place the photosensitive dry film resist side up on a flat table, and measure the maximum height of the part that has been warped from the table with a ruler. Warpage (mm) was used. A warp of 5 mm or less was regarded as an acceptable line.

〔難燃性〕
ポリイミドフィルム アピカル25NPI(カネカ製)に上記<感光能>の項目と同様に作成した感光性ドライフィルムレジストを重ねあわせ110℃、20000Pa・mの条件でラミネートした。続いて400nmの光を300mJ/cm2だけ露光し、PETフィルムを剥離して180℃で2時間加熱し積層体を得た。この積層体についてUL94薄手材料垂直燃焼試験(VTM−0)にしたがって試験を行った。VTM−0相当を○、非相当を×とした。
〔Flame retardance〕
A photosensitive dry film resist prepared in the same manner as the above <Photosensitivity> was laminated on polyimide film Apical 25 NPI (manufactured by Kaneka) and laminated under the conditions of 110 ° C. and 20000 Pa · m. Subsequently, 400 nm light was exposed by 300 mJ / cm 2, the PET film was peeled off, and heated at 180 ° C. for 2 hours to obtain a laminate. This laminate was tested according to the UL94 thin material vertical combustion test (VTM-0). VTM-0 equivalent was marked with ◯, and non-corresponding with x.

〔耐溶剤性〕
上記<密着性>の項目と同様に作成した感光性ドライフィルムレジストを電解銅箔(三井金属製3EC−VLP 1オンス)の輝面に積層し、遮光しながら100℃、20000Pa・mでラミネート加工し積層体とした。積層体の上にマスクパターン(3cm角の黒色正方形)をのせ、400nmの光を300mJ/cm2だけ露光し、その後PETフィルムを剥離して1重量%の炭酸ナトリウム水溶液(液温35℃)で現像し、180℃で2時間加熱して、銅箔に3cm角の感光性樹脂が残ったパターンの積層体を得た。この積層体を常温で15分間、メチルエチルケトン溶液に浸漬後取出しで観察した。膜の厚さが5%以上減っている場合を×、減っていない場合を○とした。
[Solvent resistance]
Photosensitive dry film resist prepared in the same way as the above <Adhesion> is laminated on the bright surface of electrolytic copper foil (3EC-VLP made by Mitsui Kinzoku) and laminated at 100 ° C. and 20000 Pa · m while shielding light. A laminated body was obtained. A mask pattern (3-cm square black square) is placed on the laminate, 400 nm light is exposed by 300 mJ / cm2, and then the PET film is peeled off and developed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution (liquid temperature 35 ° C). And it heated at 180 degreeC for 2 hours, and obtained the laminated body of the pattern in which the 3 cm square photosensitive resin remained in copper foil. This laminate was immersed in a methyl ethyl ketone solution for 15 minutes at room temperature and then taken out and observed. The case where the thickness of the film was reduced by 5% or more was evaluated as x, and the case where the thickness was not decreased was evaluated as ◯.

〔屈曲性〕
上記<密着性>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。硬化膜積層フィルムを30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで180°に10回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。
○:硬化膜にクラックが無いもの
△:硬化膜に若干クラックがあるもの
×:硬化膜にクラックがあるもの
[Flexibility]
A cured film laminated film of a photosensitive resin composition was prepared on the surface of a polyimide film having a thickness of 25 μm (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as in the above item <Adhesion>. The cured film laminated film was cut into a 30 mm × 10 mm strip, bent 10 times at 180 ° at 15 mm, and the coating film was visually confirmed to check for cracks.
○: The cured film has no cracks Δ: The cured film has some cracks ×: The cured film has cracks

〔合成例1〕
<ポリカーボネートジオール残基を有するジカルボン酸化合物の合成>
攪拌機、油水分離器付冷却管、窒素導入管及び温度計を備えた4つ口フラスコに、ポリカーボネートジオールを200.0g(0.10モル)(旭化成株式会社製:商品名PCDL T5652、下記一般式(12)で表されるポリカーボネートジオール、平均分子量が2000)とアジピン酸29.22g(0.20モル)をとり、2時間かけて200℃まで昇温し、3時間反応させた後冷却して、酸価49.6mgKOH/g、分子量2260のポリカーボネートジオール残基を有するジカルボン酸化合物225gを得た。
[Synthesis Example 1]
<Synthesis of a dicarboxylic acid compound having a polycarbonate diol residue>
In a four-necked flask equipped with a stirrer, a cooling pipe with an oil / water separator, a nitrogen inlet pipe and a thermometer, 200.0 g (0.10 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd .: trade name PCDL T5652, the following general formula The polycarbonate diol represented by (12), having an average molecular weight of 2000) and 29.22 g (0.20 mol) of adipic acid, heated to 200 ° C. over 2 hours, reacted for 3 hours and then cooled. 225 g of a dicarboxylic acid compound having a polycarbonate diol residue with an acid value of 49.6 mg KOH / g and a molecular weight of 2260 was obtained.

Figure 2010079209
(式中、q、r、sは1以上の整数である。)
Figure 2010079209
(In the formula, q, r, and s are integers of 1 or more.)

<ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、イミドオリゴマーの合成>
上記ポリカーボネートジオール残基を有するジカルボン酸化合物113.0g(0.05モル)、コロネートT80(トリレンジイソシアネート:TDI:日本ポリウレタン工業社製)17.41g(0.10モル)、メチルトリグライム84gをとり、140℃で4時間反応させた。次いでベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA:ダイセル化学社製)64.45g(0.2モル)を加え、200℃で3時間反応させポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、イミドオリゴマーを得た。
<Synthesis of an imide oligomer having an amide bond other than the polyamic acid moiety>
113.0 g (0.05 mol) of dicarboxylic acid compound having the above polycarbonate diol residue, 17.41 g (0.10 mol) of coronate T80 (tolylene diisocyanate: TDI: manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), 84 g of methyl triglyme And reacted at 140 ° C. for 4 hours. Next, 64.45 g (0.2 mol) of benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA: manufactured by Daicel Chemical Industries) was added and reacted at 200 ° C. for 3 hours to obtain an imide oligomer having an amide bond other than the polyamic acid moiety. .

<(A)成分である部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の合成>
上記溶液を冷却し、105gのジメチルホルムアミド(以下DMFと略する)1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン43.85g(0.15モル、APB:三井化学株式会社製)を65.8gのジメチルホルムアミドに溶解して、1時間かけて添加し、2時間攪拌し部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体を得た。重量平均分子量82000、数平均分子量27000であった。
<Synthesis of (A) component partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid site>
The above solution was cooled and 105 g of dimethylformamide (hereinafter abbreviated as DMF) 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene 43.85 g (0.15 mol, APB: manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) 65.8 g Was dissolved in dimethylformamide, added over 1 hour, stirred for 2 hours, and partially imidized to obtain a polyimide precursor having an amide bond in addition to the polyamic acid moiety. The weight average molecular weight was 82,000, and the number average molecular weight was 27,000.

〔合成例2〕
<ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物の合成>
撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、PTG(ポリテトラメチレンエーテルグリコール、分子量1,000);1,000g、セバシン酸;405gを仕込み、2時間かけて200℃に昇温し更に3時間反応させた後冷却し、酸価81.9、分子量1,370のポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物を得た。
[Synthesis Example 2]
<Synthesis of dicarboxylic acid compound having polyalkylene glycol residue>
A flask equipped with a stirrer, reflux condenser, inert gas inlet, and thermometer was charged with PTG (polytetramethylene ether glycol, molecular weight 1,000); 1,000 g, sebacic acid; 405 g, over 2 hours. The temperature was raised to 200 ° C. and the reaction was further continued for 3 hours, followed by cooling to obtain a dicarboxylic acid compound having a polyalkylene glycol residue having an acid value of 81.9 and a molecular weight of 1,370.

<ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、イミドオリゴマーの合成>
上記ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物137.0g(0.10モル)、コロネートT80(トリレンジイソシアネート:TDI:日本ポリウレタン工業社製)34.82g(0.20モル)、メチルトリグライム197.2gをとり、140℃で4時間反応させた。次いで3,3’,4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA:マナック株式会社製)124.08g(0.4モル)を加え、200℃で3時間反応させポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、イミドオリゴマーを得た。
<Synthesis of an imide oligomer having an amide bond other than the polyamic acid moiety>
137.0 g (0.10 mol) of the dicarboxylic acid compound having the polyalkylene glycol residue, 34.82 g (0.20 mol) of coronate T80 (tolylene diisocyanate: TDI: manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), methyltriglyme 197 .2 g was taken and reacted at 140 ° C. for 4 hours. Next, 124.08 g (0.4 mol) of 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (ODPA: Manac Co., Ltd.) was added and reacted at 200 ° C. for 3 hours to amide bond other than the polyamic acid moiety. An imide oligomer having

<(A)成分である部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の合成>
上記溶液を冷却し、220.1gのDMFを添加し、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB:三井化学株式会社製)87.7g(0.3モル)を131.6gのDMFに溶解して、1時間かけて添加し、2時間攪拌し部分イミド化されたポリアミド酸部位以外にアミド結合を有するポリイミド前駆体を得た。重量平均分子量95000、数平均分子量30000であった。
<Synthesis of (A) component partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid site>
The above solution was cooled, 220.1 g of DMF was added, and 87.7 g (0.3 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB: Mitsui Chemicals, Inc.) was added to 131.6 g. It melt | dissolved in DMF, added over 1 hour, stirred for 2 hours, and obtained the polyimide precursor which has an amide bond other than the polyamic-acid part partially imidated. The weight average molecular weight was 95,000 and the number average molecular weight was 30000.

〔合成例3〕
<ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物の合成>
拌機、温度計、冷却管、留出管及び窒素ガス導入管を装備したフラスコに、ポリオキシプロピレンジアミン(ハンツマンコーポレーション製商品名、ジェファーミンD−2000、平均分子量2000)2000重量部、トリメリット酸無水物384重量部を仕込み、窒素ガス通気下、途中、副生してくる縮合水をトルエンで共沸させて留去しながら、1時間かけて200℃に昇温した。同温度で2時間保温して脱水イミド化反応を完結させた後、冷却し、ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物の合成を得た。
[Synthesis Example 3]
<Synthesis of dicarboxylic acid compound having polyalkylene glycol residue>
A flask equipped with a stirrer, a thermometer, a cooling pipe, a distilling pipe, and a nitrogen gas introduction pipe, 2000 parts by weight of polyoxypropylene diamine (trade name, Jeffamine D-2000, average molecular weight 2000, manufactured by Huntsman Corporation), Trimerit 384 parts by weight of acid anhydride was charged, and the temperature was raised to 200 ° C. over 1 hour while the condensed water produced as a by-product was azeotropically distilled off with toluene under nitrogen gas flow. The mixture was kept at the same temperature for 2 hours to complete the dehydrating imidization reaction, and then cooled to obtain a dicarboxylic acid compound having a polyalkylene glycol residue.

<ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、イミドオリゴマーの合成>
上記ポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物234.8g(0.10モル)、ノルボルネンジイソシアネート41.25g(0.2モル)、メチルトリグライム267gをとり、140℃で3時間反応させた。次いで3,3’,4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA:マナック株式会社製)124.08g(0.4モル)を加え、200℃で3時間反応させポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、イミドオリゴマーを得た。
<Synthesis of an imide oligomer having an amide bond other than the polyamic acid moiety>
234.8 g (0.10 mol) of the dicarboxylic acid compound having a polyalkylene glycol residue, 41.25 g (0.2 mol) of norbornene diisocyanate, and 267 g of methyltriglyme were taken and reacted at 140 ° C. for 3 hours. Next, 124.08 g (0.4 mol) of 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (ODPA: Manac Co., Ltd.) was added and reacted at 200 ° C. for 3 hours to amide bond other than the polyamic acid moiety. An imide oligomer having

<(A)成分である部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体の合成>
上記溶液を冷却し、306.7gのDMFを加え、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB:三井化学株式会社製)87.7g(0.3モル)をgの131.6gのDMFに溶解して、1時間かけて添加し、2時間攪拌し部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体を得た。重量平均分子量75000、数平均分子量26000であった。
<Synthesis of (A) component partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than the polyamic acid site>
The above solution was cooled, 306.7 g of DMF was added, and 87.7 g (0.3 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB: manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was added to 131.6 g of g. The polyimide precursor which melt | dissolved in DMF, added over 1 hour, stirred for 2 hours, and was partially imidized and which has an amide bond other than a polyamic-acid site | part was obtained. The weight average molecular weight was 75,000 and the number average molecular weight was 26000.

〔実施例1〜7〕
<感光性樹脂組成物の調製>
合成例1〜3で得られた(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂、(C)光重合開始剤、(D)イソシアネート系化合物(ブロックイソシアネート)、(E)難燃剤、(F)その他の成分、及び(G)有機溶媒を添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表1に記載する。その感光性樹脂組成物の評価結果を表2に記載した。
[Examples 1-7]
<Preparation of photosensitive resin composition>
(A) Partially imidized obtained in Synthesis Examples 1 to 3, a polyimide precursor having an amide bond in addition to the polyamic acid site, (B) a photosensitive resin, (C) a photopolymerization initiator, (D) A photosensitive resin composition was prepared by adding an isocyanate compound (block isocyanate), (E) a flame retardant, (F) other components, and (G) an organic solvent. Table 1 shows the blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the kind of the raw material. The evaluation results of the photosensitive resin composition are shown in Table 2.

〔比較例1〕
反応器(攪拌機、還流冷却器および窒素導入管付き)中、窒素雰囲気下、N,N−ジメチルアセトアミド135g、ジエチレングリコールジメチルエーテル135gに4,4'−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル67.16g(0.1825モル)を溶解し、これを攪拌しながら、3,3'−4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物53.214g(0.1810モル)を乾燥固体のまま少量ずつ添加した。この間、反応器の温度を25〜30℃に保ち、添加後20時間、窒素雰囲気下で攪拌を継続し、固形分30%のポリアミド酸を得た。
[Comparative Example 1]
In a reactor (with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen introduction tube), under nitrogen atmosphere, 135 g of N, N-dimethylacetamide and 135 g of diethylene glycol dimethyl ether were combined with 67.16 g of 0,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl (0 .1825 mol) was dissolved, and 53.214 g (0.1810 mol) of 3,3′-4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added little by little as a dry solid while stirring. During this time, the temperature of the reactor was kept at 25 to 30 ° C., and stirring was continued in a nitrogen atmosphere for 20 hours after the addition to obtain a polyamic acid having a solid content of 30%.

ポリアミド酸溶液200g、ペンタエリスリトールトリアクリレート(東亞合成社製アロニックスM−305)24g、ポリエチレングリコール200ジアクリレート(新中村化学工業社製NKA−200)6g、IRUGACURE907(チバガイギー社製)4g、カヤキュアーDETX(日本化薬製)1gを混合した。混合溶液を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して、この組成物を実施例1と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表3に記載する。   200 g of polyamic acid solution, 24 g of pentaerythritol triacrylate (Aronix M-305, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 6 g of polyethylene glycol 200 diacrylate (NKA-200, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), 4 g of IRUGACURE907 (manufactured by Ciba Geigy), Kayacure DETX ( Nippon Kayaku) 1g was mixed. The foam of the mixed solution was completely defoamed with a defoaming apparatus, and the physical properties of this composition were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are listed in Table 3.

〔比較例2〕
3Lセパラブルフラスコに攪拌機、還流冷却器、滴下ロート及び窒素導入菅を設置し、窒素雰囲気下、ピロメリット酸二無水物(ダイセル化学工業社製)87.3g、N−メチルピロリドン(和光純薬工業社製)496gをフラスコ内に投入し、これを攪拌しながら内部温度を50℃まで昇温した。その温度で、滴下ロートから変性アミノシリコーンBY16−853U(東レ・ダウコーニング・シリコーン社製)92.0g(アミンの当量463)を少量づつ2時間かけて滴下した。滴下終了後、その温度で1時間撹拌を継続させた。その後、反応温度を30℃以下に冷却し、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学社製)を87.7g添加後20時間窒素雰囲気下で攪拌を継続し、固形分35質量%のポリアミド酸溶液を得た。
[Comparative Example 2]
A 3 L separable flask was equipped with a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tank, and under a nitrogen atmosphere, 87.3 g of pyromellitic dianhydride (manufactured by Daicel Chemical Industries), N-methylpyrrolidone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 496 g (manufactured by Kogyo Co., Ltd.) was put into the flask, and the internal temperature was raised to 50 ° C. while stirring the flask. At that temperature, 92.0 g (an equivalent of amine 463) of modified amino silicone BY16-853U (manufactured by Toray Dow Corning Silicone) was added dropwise from the dropping funnel over 2 hours. After completion of the dropwise addition, stirring was continued for 1 hour at that temperature. Thereafter, the reaction temperature was cooled to 30 ° C. or lower, and after stirring, 87.7 g of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (manufactured by Mitsui Chemicals) was added and stirring was continued in a nitrogen atmosphere for a solid content of 35 A mass% polyamic acid solution was obtained.

これにポリエチレングリコール変性ビスフェノールAジメタクリレート(FA321M:日立化成工業社製)を88.5gと、ペンタエリスリトールトリアクリレート(M305:東亞合成社製)53.4gと、光開始剤として2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(SPEEDCURETPO:日本シーベルヘグナー社製)10.7g、および難燃剤としてビスフェノールAビス(ジフェニル)ホスフェート(CR−741:大八化学社製)50.4gを室温にて添加し、撹拌を5時間実施し、褐色の粘性液体を得た。溶液の粘度は15Pa・sであった。   88.5 g of polyethylene glycol-modified bisphenol A dimethacrylate (FA321M: manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 53.4 g of pentaerythritol triacrylate (M305: manufactured by Toagosei Co., Ltd.), and 2,4,6 as a photoinitiator. -10.7 g of trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (SPEEDCURETPO: manufactured by Nippon Sebel Hegner) and 50.4 g of bisphenol A bis (diphenyl) phosphate (CR-741: manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd.) as a flame retardant were added at room temperature And stirring was carried out for 5 hours to obtain a brown viscous liquid. The viscosity of the solution was 15 Pa · s.

混合溶液を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して、この組成物を実施例1と同様の方法で物性値の評価を行った。その結果を表3に記載する。   The foam of the mixed solution was completely defoamed with a defoaming apparatus, and the physical properties of this composition were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are listed in Table 3.

Figure 2010079209
Figure 2010079209

<1> 中村化学社製 製品名NKエステルA−9300(エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート)
<2> 中村化学社製 製品名NKエステルBPE−1300(ビスフェノールA EO変性ジアクリレート)分子量:1684
<3> チバ・スペシャルティーケミカルズ社製 光重合開始剤の製品名
<4>旭化成ケミカルズ株式会社製のブロックイソシアネート 商品名デュラネート
TPA-B80E 固形分濃度80% 酢酸エチル溶液
<5>大塚化学製 製品名SPB-100(ホスフェゼン化合物)
<6>大八化学工業製 製品名PX-200(芳香族縮合リン酸エステル)
<7> ナバルテック社製 難燃剤(特殊耐熱水酸化アルミ)の製品名 平均粒子径:0.9μm 熱分解開始温度:350℃
<8> クラリアント社製 難燃剤(ホスフィン酸塩)の製品名 平均粒子径:2−3μm 熱分解開始温度:300℃以上
<9> 大日本インキ株式会社製 クレゾールノボラック型の多官能エポキシ樹脂の製品名
<1> Product name NK ester A-9300 (ethoxylated isocyanuric acid triacrylate) manufactured by Nakamura Chemical Co., Ltd.
<2> Product name NK ester BPE-1300 (bisphenol A EO-modified diacrylate) manufactured by Nakamura Chemical Co., Ltd. Molecular weight: 1684
<3> Product name of photopolymerization initiator manufactured by Ciba Specialty Chemicals <4> Block isocyanate manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. Product name Duranate
TPA-B80E Solid Concentration 80% Ethyl Acetate Solution <5> Otsuka Chemical Product Name SPB-100 (phosphezene compound)
<6> Product name PX-200 (aromatic condensed phosphate ester) manufactured by Daihachi Chemical Industry
<7> Product name of flame retardant (special heat resistant aluminum hydroxide) manufactured by Naval Tech Co., Ltd. Average particle size: 0.9 μm Thermal decomposition start temperature: 350 ° C.
<8> Product name of flame retardant (phosphinic acid salt) manufactured by Clariant Co., Ltd. Average particle size: 2-3 μm Thermal decomposition start temperature: 300 ° C. or higher <9> Product of cresol novolac type polyfunctional epoxy resin manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd. Name

Figure 2010079209
Figure 2010079209

Figure 2010079209
Figure 2010079209

Claims (7)

少なくとも(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂及び(C)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition comprising at least (A) a partially imidized polyimide precursor having an amide bond other than a polyamic acid site, (B) a photosensitive resin, and (C) a photopolymerization initiator. object. 上記(A)ポリイミド前駆体が、少なくとも(a)ポリカーボネート残基及び/又はポリアルキレングリコール残基を有するジカルボン酸化合物と(b)ジイソシアネート化合物とを反応させて末端イソシアネート化合物を合成し、次いで(c)テトラカルボン酸二無水物を反応させて末端酸無水物イミドオリゴマーを合成し、更に(d)ジアミン化合物を反応させて得られることを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The (A) polyimide precursor is reacted with a dicarboxylic acid compound having at least (a) a polycarbonate residue and / or a polyalkylene glycol residue and (b) a diisocyanate compound to synthesize a terminal isocyanate compound, and then (c 2. The photosensitive resin composition according to claim 1, which is obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride to synthesize a terminal acid anhydride imide oligomer and further reacting with (d) a diamine compound. 上記(A)、(B)及び(C)成分に加えて、(D)イソシアネート系化合物(ブロックイソシアネート)を含有することを特徴とする請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。   3. The photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising (D) an isocyanate compound (block isocyanate) in addition to the components (A), (B), and (C). 上記感光性樹脂組成物における(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂及び(C)光重合開始剤について、(A)部分イミド化された、ポリアミド酸部位以外にアミド結合を有する、ポリイミド前駆体、(B)感光性樹脂を合計した固形分100重量部に対して、(C)光重合開始剤が、0.1〜50重量部となるように配合されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。   (A) Partially imidized polyimide precursor having an amide bond in addition to the polyamic acid moiety, (B) photosensitive resin and (C) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition (A) (C) The photopolymerization initiator is 0.1 to 0.1 parts by weight based on 100 parts by weight of the solid content in which the polyimide precursor having the amide bond other than the polyamic acid site and (B) the photosensitive resin is combined. It mix | blends so that it may become 50 weight part, The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 少なくとも請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を基材表面に塗布した後、乾燥して得られた樹脂フィルム。   The resin film obtained by apply | coating at least the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4 to the base-material surface, and drying. 請求項5記載の樹脂フィルムを硬化させて得られる絶縁膜。   An insulating film obtained by curing the resin film according to claim 5. 請求項6記載の絶縁膜をプリント配線板に被覆した絶縁膜付きプリント配線板。   The printed wiring board with an insulating film which coat | covered the insulating film of Claim 6 on the printed wiring board.
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