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JP2009280661A - Novel polyimide precursor composition, use thereof and production process thereof - Google Patents

Novel polyimide precursor composition, use thereof and production process thereof Download PDF

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JP2009280661A
JP2009280661A JP2008132563A JP2008132563A JP2009280661A JP 2009280661 A JP2009280661 A JP 2009280661A JP 2008132563 A JP2008132563 A JP 2008132563A JP 2008132563 A JP2008132563 A JP 2008132563A JP 2009280661 A JP2009280661 A JP 2009280661A
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polyimide precursor
general formula
precursor composition
solution
diamine
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Application number
JP2008132563A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshihide Sekito
由英 関藤
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Kaneka Corp
Original Assignee
Kaneka Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide precursor solution that can be cured at a low temperature (250°C or lower) and has a low viscosity although it has a high concentration, to provide a process for producing the polyimide precursor solution, to provide a polyimide coating film that is produced from the polyimide precursor solution and has good physical properties, to provide a photosensitive resin composition and to provide a process for producing the photosensitive resin composition. <P>SOLUTION: A polyimide precursor composition characterized by containing an imidized dicarboxylic acid having a specific structure and a diamine having a specific structure and/or an isocyanate compound is used to solve the problem. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、250℃以下の低温硬化可能で長期貯蔵安定性に優れるポリイミド前駆体組成物及びその製造方法、さらにはポリイミド前駆体組成物から得られるポリイミド前駆体溶液、ポリイミド塗膜、感光性樹脂組成物、及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a polyimide precursor composition that can be cured at a low temperature of 250 ° C. or less and has excellent long-term storage stability, a method for producing the same, and a polyimide precursor solution, a polyimide coating film, and a photosensitive resin obtained from the polyimide precursor composition. The present invention relates to a composition and a method for producing the composition.

ポリイミド樹脂は、耐熱性、電気絶縁性や耐薬品性に優れ、機械特性に優れることから電気・電子用途に使用される。例えば、半導体デバイス上への絶縁フィルムや保護コーティング剤、フレキシブル回路基板や集積回路等の表面保護材料や基材樹脂、更には、微細な回路の層間絶縁膜や保護膜を形成させる場合に用いられる。特に、コーティング材料として用いる場合には、ポリイミドフィルム等の成形体を接着剤で接着した保護材料や、液状のポリイミド樹脂溶液などが用いられてきた。   Polyimide resins are used for electrical and electronic applications because of their excellent heat resistance, electrical insulation and chemical resistance, and excellent mechanical properties. For example, it is used to form insulating films and protective coatings on semiconductor devices, surface protective materials such as flexible circuit boards and integrated circuits, base resin, and fine circuit interlayer insulating films and protective films. . In particular, when used as a coating material, a protective material obtained by bonding a molded body such as a polyimide film with an adhesive or a liquid polyimide resin solution has been used.

ポリイミド樹脂溶液には大きく大別して2種類の溶液があり、1種はポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミド酸溶液、もう1種は有機溶剤に可溶なポリイミド樹脂の溶液である。ところが、これらのポリアミド酸溶液や、ポリイミド溶液は、高分子量体のポリマー溶液であるため、分子量が大きく、溶解性が低い為、溶質の濃度を高濃度に調整することができず、例えば、塗布膜を形成する際に、溶剤を大量に揮発させる必要があり、生産性が悪く問題であった。また、ポリイミド樹脂の前駆体溶液の場合には、塗膜に成形した際にイミド化を行う必要があり、その加熱温度が300℃を超える温度でイミド化する必要があり、例えばフレキシブル基板等の保護剤や成形体の接着剤等に使用した際には、配線材料が高温に耐えることができない等の問題があり、配線の劣化を生じさせない低温(250℃以下)で硬化できる樹脂が求められている。   There are roughly two types of polyimide resin solutions. One type is a polyamic acid solution which is a polyimide resin precursor, and the other type is a polyimide resin solution soluble in an organic solvent. However, since these polyamic acid solutions and polyimide solutions are high molecular weight polymer solutions, the molecular weight is large and the solubility is low, so the concentration of the solute cannot be adjusted to a high concentration. When forming a film, it was necessary to volatilize a large amount of the solvent, which was a problem of poor productivity. In the case of a polyimide resin precursor solution, it is necessary to imidize when it is formed into a coating film, and it is necessary to imidize at a temperature exceeding 300 ° C. When used as a protective agent or adhesive for molded products, there is a problem that the wiring material cannot withstand high temperatures, and a resin that can be cured at a low temperature (250 ° C. or lower) that does not cause deterioration of the wiring is required. ing.

これらのポリイミド樹脂溶液の技術に関し、テトラカルボン酸またはそのジエステル酸誘導体と、ジアミンを溶解した高濃度で低粘度のポリイミド前駆体溶液が提案されている(例えば、特許文献1〜4参照。)。   Regarding the technology of these polyimide resin solutions, a high-concentration and low-viscosity polyimide precursor solution in which tetracarboxylic acid or its diester acid derivative and diamine are dissolved has been proposed (for example, see Patent Documents 1 to 4).

また、構造中にアミド結合を有するカルボン酸とジアミンを溶解した高濃度で低粘度のポリイミド前駆体溶液が提案されている(例えば、特許文献5〜7参照。)。   In addition, a high-concentration and low-viscosity polyimide precursor solution in which a carboxylic acid having an amide bond and a diamine are dissolved in the structure has been proposed (see, for example, Patent Documents 5 to 7).

さらに、末端ハーフエステル化イミドシロキサンオリゴマーを用いた感光性樹脂組成物もしくはプラズマエッチングレジストが提案されている(例えば、特許文献8〜11参照。)。
特開平11−209609号公報 特開平11−217502号公報 特開2000−319389号公報 特開2000−319391号公報 特開2001−31764号公報 特開2001−163974号公報 特開2000−234023号公報 特開2000−212446号公報 特開2001−89656号公報 特開2001−125273号公報 特開2001−215702号公報
Furthermore, the photosensitive resin composition or plasma etching resist using the terminal half esterified imide siloxane oligomer is proposed (for example, refer patent documents 8-11).
Japanese Patent Laid-Open No. 11-209609 JP-A-11-217502 JP 2000-319389 A JP 2000-319391 A JP 2001-31764 A JP 2001-163974 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-234023 JP 2000-212446 A JP 2001-89656 A JP 2001-125273 A JP 2001-215702 A

上記特許文献中に記載があるように、高濃度に調整するための方法として種々の方法が提案されている。しかし、上記特許文献1〜4に記載されているテトラカルボン酸またはそのジエステル酸誘導体とジアミンを用いた塩の溶液は、イミド化温度が非常に高く、低温硬化可能な塩の溶液とはならないことが明らかになった。また、特許文献5〜7に記載のアミド結合を有するポリアミド酸溶液の場合、アミド結合が切れて溶液の安定性が悪く、特に溶液を高濃度に調製した際に溶液粘度の変化量が大きく問題があることが明らかになった。一方、特許文献8〜11に記載されている末端ハーフエステル化イミドシロキサンオリゴマーを用いた場合、エステル化物から有機分子が脱離してイミド化する際の温度が高いことや、アルコール系の脱離物質がポリイミド塗布膜から揮発しにくく、発泡等の原因になることがあり、問題があった。   As described in the above patent document, various methods have been proposed as a method for adjusting to a high concentration. However, the solution of a salt using tetracarboxylic acid or its diester acid derivative and diamine described in Patent Documents 1 to 4 has a very high imidization temperature and does not become a solution of a salt that can be cured at low temperature. Became clear. In addition, in the case of the polyamic acid solution having an amide bond described in Patent Documents 5 to 7, the amide bond is broken and the solution stability is poor, and particularly when the solution is prepared at a high concentration, the amount of change in the solution viscosity is large. It became clear that there is. On the other hand, when the terminal half esterified imide siloxane oligomer described in Patent Documents 8 to 11 is used, the temperature when the organic molecule is desorbed from the esterified product and imidized is high, and the alcohol-based desorbing material Is difficult to evaporate from the polyimide coating film, which may cause foaming and the like.

上記状況に鑑み、本発明の課題は、低温(250℃以下)で硬化可能であって高濃度にもかかわらず、低粘度であるポリイミド前駆体溶液及びその製造方法、それから得られる良好な物性を有するポリイミド塗膜、並びに、感光性樹脂組成物及びその製造方法を提供することにある。   In view of the above situation, an object of the present invention is to provide a polyimide precursor solution that can be cured at a low temperature (250 ° C. or lower) and has a low viscosity despite its high concentration, a method for producing the same, and good physical properties obtained therefrom. It is in providing the polyimide coating film which has, and the photosensitive resin composition and its manufacturing method.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、イミド化したジカルボン酸と、ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物とを含む組成物から、低温硬化で良好な物性を有するポリイミド塗膜が得られることを見出した。すなわち、後述する一般式(1)に示すイミド化したジカルボン酸と一般式(2)に示すジアミン及び/又はイソシアネート系化合物を含有するポリイミド前駆体組成物は、溶液に調製した場合に溶質が高濃度で溶解しているにもかかわらず、低粘度を示し、しかも、この溶液からは高強度のポリイミド塗膜が得られるとの知見を得、これらの知見に基づいて、本発明に到達したものである。本発明は以下の新規な構成のポリイミド樹脂前駆体組成物により上記課題を解決しうる。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have obtained a polyimide coating film having good physical properties by low-temperature curing from a composition containing an imidized dicarboxylic acid and a diamine and / or isocyanate compound. I found out that That is, the polyimide precursor composition containing the imidized dicarboxylic acid represented by the general formula (1) and the diamine and / or isocyanate compound represented by the general formula (2) has a high solute when prepared in a solution. Despite being dissolved at a concentration, it showed low viscosity, and obtained the knowledge that a high-strength polyimide coating film was obtained from this solution. Based on these findings, the present invention has been achieved. It is. The present invention can solve the above problems with a polyimide resin precursor composition having the following novel configuration.

すなわち、本願発明は、
少なくとも下記一般式(1)
That is, the present invention
At least the following general formula (1)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、Rは4価の有機基を示し、R’はそれぞれ独立して、2価の有機基を示し、R''はそれぞれ独立して、3価の有機基を示し、lは1〜20の整数を示す。)
に示すイミド化したジカルボン酸と、下記一般式(2)
(Wherein R represents a tetravalent organic group, R ′ independently represents a divalent organic group, R ″ each independently represents a trivalent organic group, and 1 represents 1 Represents an integer of ~ 20.)
And an imidized dicarboxylic acid represented by the following general formula (2)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R'''は2価の有機基を示す。)
に示されるジアミン及び/又はイソシアネート系化合物とを含むことを特徴とする、ポリイミド前駆体組成物である。
(In the formula, R ′ ″ represents a divalent organic group.)
It is a polyimide precursor composition characterized by including the diamine and / or isocyanate type compound shown by these.

また、前記一般式(1)におけるRは、下記一般式群(1)   In the general formula (1), R represents the following general formula group (1)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

より選ばれる4価の有機基であることが好ましい。 It is preferably a tetravalent organic group selected more.

また、前記一般式(1)におけるR'は、下記一般式群(2)   In the general formula (1), R ′ represents the following general formula group (2)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。)
で示される2価の有機基を少なくとも含むことが好ましい。
(In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)
It preferably contains at least a divalent organic group represented by

また、前記一般式(2)におけるR'''は、下記一般式群(3)   In addition, R ′ ″ in the general formula (2) represents the following general formula group (3)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。)
より選ばれる2価の有機基であることが好ましい。
(In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)
It is preferably a divalent organic group selected more.

本願発明の別の発明は、ポリイミド前駆体組成物を40〜90重量%の溶質濃度に溶解して得られるポリイミド前駆体組成物溶液である。   Another invention of the present invention is a polyimide precursor composition solution obtained by dissolving a polyimide precursor composition in a solute concentration of 40 to 90% by weight.

さらに本願発明の別の発明は、前記ポリイミド前駆体組成物または前記ポリイミド前駆体組成物溶液から得られるポリイミド塗膜である。   Furthermore, another invention of the present invention is a polyimide coating film obtained from the polyimide precursor composition or the polyimide precursor composition solution.

さらに本願発明の別の発明は、前記ポリイミド前駆体組成物または前記ポリイミド前駆体組成物溶液をプリント配線板に塗工し、加熱してイミド化して得られるポリイミド塗膜付きプリント配線板である。   Furthermore, another invention of the present invention is a printed wiring board with a polyimide coating obtained by applying the polyimide precursor composition or the polyimide precursor composition solution to a printed wiring board and imidizing by heating.

さらに本願発明の別の発明は、前記ポリイミド前駆体組成物と、少なくとも感光性樹脂、及び、光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。   Furthermore, another invention of the present invention is a photosensitive resin composition comprising the polyimide precursor composition, at least a photosensitive resin, and a photopolymerization initiator.

さらに本願発明の別の発明は、下記一般式(3)   Furthermore, another invention of the present invention is the following general formula (3)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、Rは4価の有機基を示す。)
に示すテトラカルボン酸二無水物と、
下記一般式(4)
(In the formula, R represents a tetravalent organic group.)
A tetracarboxylic dianhydride shown in
The following general formula (4)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R’は2価の有機基を示す。)
に示すジアミンとを、
一般式(3)に示すテトラカルボン酸二無水物1モルに対して一般式(4)に示すジアミン1.50〜2.50モルの比率で反応を行いアミド酸を得る工程(1)、前記アミド酸をイミド化し、
下記一般式(5)
(In the formula, R ′ represents a divalent organic group.)
A diamine shown in
The step (1) of obtaining an amic acid by reacting at a ratio of 1.50 to 2.50 mol of the diamine shown in the general formula (4) with respect to 1 mol of tetracarboxylic dianhydride shown in the general formula (3), Imidize amic acid,
The following general formula (5)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、Rは4価の有機基を示し、R’はそれぞれ独立して、2価の有機基を示し、lは1〜20の整数を示す。)
に示す内部がイミド化したジアミンを得る工程、及び
下記一般式(6)
(In the formula, R represents a tetravalent organic group, R ′ independently represents a divalent organic group, and l represents an integer of 1 to 20.)
And a step of obtaining a diamine in which the inside is imidized, and the following general formula (6)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R''は3価の有機基を示す。)
に示すトリカルボン酸無水物と、一般式(5)に示すイミド化したジアミンとを、
一般式(6)に示すトリカルボン酸無水物1モルに対して一般式(5)に示すイミド化したジアミン0.20〜0.80モルの比率で反応を行いアミド酸を得る工程(2)、前記アミド酸をイミド化し、内部がイミド化しており、末端がジカルボン酸である、イミド化したジカルボン酸を得る工程を含み、
さらに、前記工程で得たイミド化したジカルボン酸と、
下記一般式(2)
(In the formula, R ″ represents a trivalent organic group.)
And the imidized diamine represented by the general formula (5),
A step (2) of obtaining an amic acid by reacting at a ratio of 0.20 to 0.80 mol of an imidized diamine represented by the general formula (5) with respect to 1 mol of the tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6); Imidizing the amic acid, the inside is imidized, the terminal is a dicarboxylic acid, comprising the step of obtaining an imidized dicarboxylic acid,
Furthermore, the imidized dicarboxylic acid obtained in the step,
The following general formula (2)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R'''は2価の有機基を示す。)
に示すジアミン及び/又はイソシアネート系化合物とを、イミド化したジカルボン酸1モルに対して、ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物を、前記アミド酸を得る工程(2)で用いた一般式(5)に示すイミド化したジアミンとあわせた合計の比率が、0.70モル〜1.30モルとなる比率で、混合する工程を含むことを特徴とする、ポリイミド前駆体組成物の製造方法である。
(In the formula, R ′ ″ represents a divalent organic group.)
The diamine and / or isocyanate compound is converted into the general formula (5) used in the step (2) of obtaining the amic acid with respect to 1 mol of the imidized dicarboxylic acid. It is a manufacturing method of the polyimide precursor composition characterized by including the process of mixing in the ratio used as the total ratio united with the imidized diamine shown to be 0.70 mol-1.30 mol.

また、前記一般式(4)に示すジアミンは、下記一般式群(4)   The diamine represented by the general formula (4) is represented by the following general formula group (4).

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。)
で示されるジアミンを少なくとも含むことが好ましい。
(In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)
It is preferable that at least the diamine shown by these is included.

本願発明の別の発明は、前記製造方法で得られるポリイミド前駆体組成物を40〜90重量%の溶質濃度になるように有機溶剤中に溶解する工程を含むことを特徴とするポリイミド前駆体組成物溶液の製造方法である。   Another invention of the present invention includes a step of dissolving a polyimide precursor composition obtained by the above production method in an organic solvent so as to have a solute concentration of 40 to 90% by weight. It is a manufacturing method of a physical solution.

さらに本願発明の別の発明は、前記製造方法で得られるポリイミド前駆体組成物または前記ポリイミド前駆体組成物溶液からポリイミド塗膜を得る工程を含むことを特徴とする、ポリイミド塗膜の製造方法である。   Furthermore, another invention of the present invention is a method for producing a polyimide coating film, comprising a step of obtaining a polyimide coating film from the polyimide precursor composition obtained by the production method or the polyimide precursor composition solution. is there.

さらに本願発明の別の発明は、前記製造方法で得られるポリイミド前駆体組成物または前記ポリイミド前駆体組成物溶液をプリント配線板に塗工し、加熱してイミド化する工程を含むことを特徴とするポリイミド塗膜付きプリント配線板の製造方法である。   Furthermore, another invention of the present invention includes a step of applying a polyimide precursor composition obtained by the production method or the polyimide precursor composition solution to a printed wiring board and heating to imidize. It is a manufacturing method of the printed wiring board with a polyimide coating film.

さらに本願発明の別の発明は、前記製造方法で得られるポリイミド前駆体組成物と、少なくとも感光性樹脂、及び、光重合開始剤を混合する工程を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物の製造方法である。   Furthermore, another invention of the present invention includes a step of mixing a polyimide precursor composition obtained by the above production method, at least a photosensitive resin, and a photopolymerization initiator. It is a manufacturing method.

本発明のポリイミド前駆体組成物は、有機溶媒中に溶解した際に、溶質が高濃度に溶解しているにもかかわらず、その溶液は低粘度である。そして、本発明のポリイミド前駆体組成物から得られるポリイミド塗膜は、塗膜の接着性、耐環境試験安定性、耐薬品性、及び屈曲性に優れ、良好な物性を有する。したがって、本発明のポリイミド前駆体組成物は、種々の配線基板の保護膜等で使用でき、優れた効果を奏するものである。また、本発明のポリイミド前駆体組成物を用いた感光性樹脂組成物は、低温硬化可能であって、配線板上に塗布・成形した際に、優れた種々の特性を発現する感光性樹脂組成物である。また、本発明のポリイミド前駆体組成物の製造方法によれば、高濃度に溶解し、低粘度の溶液のポリイミド前駆体溶液を容易に製造することができ、ポリイミド塗膜の製造方法によればポリイミド塗膜を容易に製造することができる、更に、感光性樹脂組成物の製造方法によれば感光性樹脂組成物として種々の優れた特性を有する感光性樹脂組成物を製造することができる。   When the polyimide precursor composition of the present invention is dissolved in an organic solvent, the solution has a low viscosity even though the solute is dissolved at a high concentration. And the polyimide coating film obtained from the polyimide precursor composition of this invention is excellent in the adhesiveness of a coating film, environmental test stability, chemical resistance, and flexibility, and has a favorable physical property. Therefore, the polyimide precursor composition of the present invention can be used as a protective film for various wiring boards, and has excellent effects. In addition, the photosensitive resin composition using the polyimide precursor composition of the present invention can be cured at a low temperature, and exhibits a variety of excellent properties when applied and molded on a wiring board. It is a thing. Moreover, according to the method for producing a polyimide precursor composition of the present invention, a polyimide precursor solution that dissolves at a high concentration and has a low viscosity can be easily produced. A polyimide coating film can be easily produced. Furthermore, according to the method for producing a photosensitive resin composition, a photosensitive resin composition having various excellent properties can be produced as a photosensitive resin composition.

以下本発明について詳細に説明する。本発明のポリイミド前駆体組成物は、少なくとも下記一般式(1)   The present invention will be described in detail below. The polyimide precursor composition of the present invention has at least the following general formula (1)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、Rは4価の有機基を示し、R’はそれぞれ独立して、2価の有機基を示し、R''はそれぞれ独立して、3価の有機基を示し、lは1〜20の整数を示す。)
に示すイミド化したジカルボン酸と、
下記一般式(2)
(Wherein R represents a tetravalent organic group, R ′ independently represents a divalent organic group, R ″ each independently represents a trivalent organic group, and 1 represents 1 Represents an integer of ~ 20.)
An imidized dicarboxylic acid shown in
The following general formula (2)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R'''は2価の有機基を示す。)
に示すジアミン及び/又はイソシアネート系化合物とを含有することを特徴とするポリイミド前駆体組成物である。本願発明のポリイミド前駆体組成物とは上記一般式(1)の構造体、ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物を含有するものであるが、それぞれが共有結合を有していないものを示す。つまり、一般的なポリイミド前駆体組成物とは、例えばテトラカルボン酸二無水物及びジアミンが一部アミド結合で共有結合したポリマーを示すが、本願発明の上記ポリイミド前駆体組成物は一般式(1)、ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物が共有結合を有しないものを示す。このように共有結合を有しないポリイミド前駆体組成物とすることで上記一般式(1)、ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物を溶解した溶液の濃度を高めることが可能となり、溶液の粘度の変化(分子量変化)が生じにくくできる。
(In the formula, R ′ ″ represents a divalent organic group.)
The polyimide precursor composition characterized by containing the diamine and / or isocyanate type compound shown to these. The polyimide precursor composition of the invention of the present application contains the structure of the above general formula (1), diamine and / or isocyanate compound, but each does not have a covalent bond. That is, the general polyimide precursor composition refers to a polymer in which, for example, tetracarboxylic dianhydride and diamine are partially covalently bonded by an amide bond, but the polyimide precursor composition of the present invention has the general formula (1 ), A compound in which the diamine and / or isocyanate compound does not have a covalent bond. Thus, by setting it as the polyimide precursor composition which does not have a covalent bond, it becomes possible to raise the density | concentration of the solution which melt | dissolved the said General formula (1), a diamine, and / or an isocyanate type compound, and the change of the viscosity of a solution ( (Molecular weight change) can hardly occur.

<イミド化したジカルボン酸>
イミド化したジカルボン酸とは、下記一般式(1)
<Imidized dicarboxylic acid>
The imidized dicarboxylic acid is represented by the following general formula (1)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、Rは4価の有機基を示し、R’はそれぞれ独立して、2価の有機基を示し、R''はそれぞれ独立して、3価の有機基を示し、lは1〜20の整数を示す。)
で示されるように、構造式中に少なくとも4つのイミド結合を有しており、両末端がカルボン酸になっている構造を持つジカルボン酸である。また、本願発明のイミド化したジカルボン酸は、分子量が短い程、有機溶剤への溶解度が向上するので好ましい。例えば、オリゴマーと呼ばれる、比較的分子量の低い重合体であることが好ましい。このようなジカルボン酸構造とすることでイミド化しているにも係らず、有機溶剤への溶解性を高めることができる。また、構造中の結合がアミド結合ではなく、イミド結合となっているので、貯蔵安定性に優れる。その為、ポリイミド前駆体組成物の溶液を調整した際に溶液粘度の経時劣化を防ぎ、粘度変化を抑えることができる。
(Wherein R represents a tetravalent organic group, R ′ independently represents a divalent organic group, R ″ each independently represents a trivalent organic group, and 1 represents 1 Represents an integer of ~ 20.)
As shown in the above, it is a dicarboxylic acid having a structure in which at least four imide bonds are included in the structural formula and both ends are carboxylic acids. In addition, the imidized dicarboxylic acid of the present invention is preferable as the molecular weight is shorter because the solubility in an organic solvent is improved. For example, a polymer called an oligomer having a relatively low molecular weight is preferable. Although it is imidized by setting it as such a dicarboxylic acid structure, the solubility to an organic solvent can be improved. Moreover, since the bond in the structure is not an amide bond but an imide bond, the storage stability is excellent. Therefore, when the polyimide precursor composition solution is prepared, deterioration of the solution viscosity with time can be prevented, and a change in viscosity can be suppressed.

中でも、一般式(1)中のRは、下記一般式群(1)より選ばれる構造を有することが好ましい。   Especially, it is preferable that R in General formula (1) has a structure chosen from the following general formula group (1).

Figure 2009280661
Figure 2009280661

特に、上記の一般式群(1)の構造とすることで、イミド化したジカルボン酸の有機溶剤への溶解性が高くなり、ポリイミド前駆体の溶液を作製した場合に、濃度を高くすることができるので好ましい。 In particular, by using the structure of the above general formula group (1), the solubility of the imidized dicarboxylic acid in the organic solvent is increased, and the concentration can be increased when a solution of the polyimide precursor is prepared. It is preferable because it is possible.

更に、一般式(1)中のR’は、少なくとも下記一般式群(2)より選ばれる2価の有機基を有することが好ましい。   Furthermore, R ′ in the general formula (1) preferably has at least a divalent organic group selected from the following general formula group (2).

Figure 2009280661
Figure 2009280661

上記一般式(1)の構造を得るには、下記一般式(3)   In order to obtain the structure of the general formula (1), the following general formula (3)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、Rは4価の有機基を示す。)
に示すテトラカルボン酸二無水物と、下記一般式(4)
(In the formula, R represents a tetravalent organic group.)
And tetracarboxylic dianhydride shown in the following general formula (4)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R’は2価の有機基を示す。)
に示すジアミンとを反応させて、下記一般式(5)
(In the formula, R ′ represents a divalent organic group.)
Is reacted with the diamine shown in the following general formula (5):

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、Rは4価の有機基を示し、R’はそれぞれ独立して、2価の有機基を示し、lは1〜20の整数を示す。)
に示す内部がイミド化したジアミンを得、更に下記一般式(6)
(In the formula, R represents a tetravalent organic group, R ′ independently represents a divalent organic group, and l represents an integer of 1 to 20.)
Is obtained, and the following general formula (6)

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R''は3価の有機基を示す。)
に示すトリカルボン酸無水物を反応させることにより得られる。
(In the formula, R ″ represents a trivalent organic group.)
It can be obtained by reacting the tricarboxylic acid anhydride shown in FIG.

より具体的には、上記一般式(3)で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、3,3’,4,4’―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’―オキシジフタル酸二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3´,4,4´−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物を用いることが好ましく、特に好ましくは、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、3,3’,4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―オキシジフタル酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物を用いることがポリイミド前駆体の溶解性を向上させるとともに、ポリイミド樹脂の耐薬品性を向上させる上で好ましい。中でも特に、溶解性を向上させフィルムの特性を向上させる上で、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物を用いることが好ましい。   More specifically, as the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (3), 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) ) Propane dibenzoate-3,3 ′, 4,4′-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 ′ -Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ', 4-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene- 1,2-dicarboxylic anhydride Preferably used, particularly preferably 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride It is preferable to improve the solubility of the polyimide precursor and improve the chemical resistance of the polyimide resin. Among these, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is preferably used for improving solubility and improving film properties.

また、一般式(4)で示されるジアミンとしては、より具体的には、R’の構造として少なくとも下記一般式群(2)より選ばれる2価の有機基を含む構造であることが好ましい。   More specifically, the diamine represented by the general formula (4) preferably has a structure containing at least a divalent organic group selected from the following general formula group (2) as the structure of R ′.

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。) (In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)

上記構造骨格を持たせることで、ポリイミド樹脂に成形した際に、ポリイミド樹脂の被膜に柔軟性を付与できると共に、ポリイミド樹脂に成形する際のイミド化温度を低下させることができる。この構造骨格を併用することでポリイミド樹脂のイミド化温度を250℃以下に低下させることがより可能となる。   By giving the structural skeleton, flexibility can be imparted to the polyimide resin coating when the polyimide resin is molded, and the imidization temperature when molding into the polyimide resin can be lowered. By using this structural skeleton together, it is possible to lower the imidization temperature of the polyimide resin to 250 ° C. or lower.

特に好ましいR’の構造としては、下記一般式群(5)である。   A particularly preferred R ′ structure is the following general formula group (5).

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。) (Wherein, R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group or an aromatic group, of 1 to 12 carbon atoms, m is 1 to 40 integer, n is an integer of 1-20. m represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)

上記構造を使用することで、ポリイミド被膜に柔軟性を付与できると共に、イミド化温度を低下させ、溶質濃度を高濃度に調整できる共に、基材との密着性が向上するので好ましい。 Use of the above structure is preferable because flexibility can be imparted to the polyimide coating, the imidization temperature can be lowered, the solute concentration can be adjusted to a high concentration, and the adhesion to the substrate is improved.

上記構造を構造骨格中に導入するには、下記一般式群(4)で表される長鎖のジアミンを用いることで得られる。   In order to introduce the above structure into the structural skeleton, a long-chain diamine represented by the following general formula group (4) is used.

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。) (In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)

中でも、特に基材との密着性を考慮した場合、上記構造中、下記一般式群(6)であることが好ましい。   Especially, when the adhesiveness with a base material is considered especially, it is preferable that it is the following general formula group (6) in the said structure.

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、o及びpは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。) (Wherein, o and p each independently represent an integer of 1 to 30; R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group; m represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)

特に本願発明に用いられるシリコンジアミンの構造は、R,Rがメチル基、エチル基、フェニル基であって、mは1〜40、nが2以上であるものが好ましく用いられる。このような構造にすることで溶質濃度を高濃度に溶解することができる。
また、Rはへプタメチレン基、ヘキサメチレン基、ペンタメチレン基、テトラメチレン基、トリメチレン基であって、o及びpは、それぞれ独立して、1〜30の整数である構造が好ましく用いられる。
In particular, the structure of silicon diamine used in the present invention is preferably a structure in which R 1 and R 2 are a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group, m is 1 to 40, and n is 2 or more. With such a structure, the solute concentration can be dissolved at a high concentration.
R 3 is a heptamethylene group, a hexamethylene group, a pentamethylene group, a tetramethylene group, or a trimethylene group, and o and p are each independently a structure having an integer of 1 to 30.

このような構造にすることでポリイミド樹脂に柔軟性を付与できると共に、基材との密着性が向上するので好ましい。   Such a structure is preferable because flexibility can be imparted to the polyimide resin and adhesion with the substrate is improved.

尚、必要に応じてイミド化したジカルボン酸の製造において、一般式(7)で示されるジアミンを併用することも可能である。   In addition, it is also possible to use together the diamine shown by General formula (7) in manufacture of the imidized dicarboxylic acid as needed.

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R’’’’は、2価の有機基を示す。) (In the formula, R ′ ″ ″ represents a divalent organic group.)

また、一般式(7)で示されるジアミンとしては、より具体的には、R’’’’の構造として少なくとも下記一般式群(7)より選ばれる2価の有機基を含む構造である。   More specifically, the diamine represented by the general formula (7) has a structure containing at least a divalent organic group selected from the following general formula group (7) as the structure of R ′ ″ ″.

Figure 2009280661
Figure 2009280661

併用量は、一般式(4)のジアミンモル数を1とした場合に、一般式(7)のジアミンは、1.0以下、より好ましくは0.8以下、特に好ましくは0.5以下であることが一般式(1)のイミド化したジカルボン酸の有機溶剤溶解性を高め、しかも、イミド化する際のイミド化温度を低温でイミド化できるので好ましい。   The combined amount is 1 or less, more preferably 0.8 or less, and particularly preferably 0.5 or less when the diamine mole number of the general formula (4) is 1. This is preferable because it increases the solubility of the imidized dicarboxylic acid of the general formula (1) in an organic solvent and the imidization temperature at the time of imidization can be imidized at a low temperature.

また、一般式(6)で示されるトリカルボン酸無水物としては、より具体的には、トリメリット酸無水物、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸無水物が挙げられる。   More specific examples of the tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6) include trimellitic acid anhydride and naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid anhydride.

中でも特に、溶解性を向上させフィルムの特性を向上させる上で、トリメリット酸無水物を用いることが好ましい。   Among them, it is preferable to use trimellitic anhydride for improving the solubility and improving the properties of the film.

<イミド化したジカルボン酸の製造方法>
上記イミド化したジカルボン酸の製造方法としては、種々の方法が挙げられる。
<Method for producing imidized dicarboxylic acid>
Various methods are mentioned as a manufacturing method of the said imidized dicarboxylic acid.

方法1:上記一般式(3)で示されるテトラカルボン酸二無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、一般式(4)で示されるジアミン、もしくは、一般式(4)と一般式(7)のジアミンの両方を添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。この時のジアミンの総添加量はテトラカルボン酸二無水物1モルに対して、1.50〜2.50モルの比率になるように添加する。テトラカルボン酸二無水物とジアミンの反応が終了した後、得られたポリアミド酸溶液を100℃以上300℃以下、より好ましくは、150℃以上250℃以下に加熱してイミド化を行う。このようにして、一般式(5)で示される内部がイミド化したジアミン溶液を得る。次いで、得られたイミド化したジアミン溶液中に、一般式(6)で示されるトリカルボン酸無水物を添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。この時のイミド化したジアミンの添加量はトリカルボン酸無水物1モルに対して、0.20〜0.80モルの比率になるように添加する。トリカルボン酸無水物と、イミド化したジアミンの反応が終了した後、得られたポリアミド酸溶液を100℃以上300℃以下、より好ましくは、150℃以上250℃以下に加熱してイミド化を行う。このようにして一部イミド化したジカルボン酸を得ることができる。尚、本方法で用いられる溶剤は、ポリイミド樹脂のガラス転移温度以上まで加熱することができる溶剤を用いることが好ましく、特に好ましくは、ガラス転移温度よりも30℃以上高い温度まで加熱できるものを用いることが好ましい。   Method 1: In a solution in which a tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (3) is dispersed or dissolved in an organic solvent, a diamine represented by the general formula (4) or a general formula (4) A polyamic acid solution is prepared by adding and reacting both diamines of general formula (7). At this time, the total amount of diamine added is 1.50 to 2.50 moles per mole of tetracarboxylic dianhydride. After the reaction between the tetracarboxylic dianhydride and the diamine is completed, the resulting polyamic acid solution is heated to 100 ° C. or higher and 300 ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or higher and 250 ° C. or lower to perform imidization. In this way, a diamine solution in which the inside represented by the general formula (5) is imidized is obtained. Next, a tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6) is added to the obtained imidized diamine solution and reacted to prepare a polyamic acid solution. At this time, the amount of imidized diamine added is 0.20 to 0.80 mole per mole of tricarboxylic anhydride. After the reaction between the tricarboxylic acid anhydride and the imidized diamine is completed, the resulting polyamic acid solution is heated to 100 ° C. or higher and 300 ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or higher and 250 ° C. or lower to perform imidization. In this way, a partially imidized dicarboxylic acid can be obtained. In addition, it is preferable to use the solvent which can be heated to the glass transition temperature or more of the polyimide resin as the solvent used in this method, and it is particularly preferable to use a solvent which can be heated to a temperature higher by 30 ° C. than the glass transition temperature. It is preferable.

方法2:上記一般式(3)で示されるテトラカルボン酸二無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、一般式(4)で示されるジアミン、もしくは、一般式(4)と一般式(7)のジアミンの両方を添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。この時のジアミンの総添加量はテトラカルボン酸二無水物1モルに対して、1.50〜2.50モルの比率になるように添加する。次いで、このポリアミド酸溶液中にイミド化の触媒(好ましくは3級アミンであるピリジン、ピコリン、イソキノリン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン等が用いられる)及び脱水剤(無水酢酸等)を添加して60℃以上180℃以下に加熱してイミド化を行う。このようにして、一般式(5)で示される内部がイミド化したジアミン溶液を得る。次いで、得られたイミド化したジアミン溶液中に、一般式(6)で示されるトリカルボン酸無水物を添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。この時のイミド化したジアミンの添加量はトリカルボン酸無水物1モルに対して、0.20〜0.80モルの比率になるように添加する。トリカルボン酸無水物と、イミド化したジアミンの反応が終了した後、このポリアミド酸溶液にイミド化の触媒及び脱水剤を添加して60℃以上180℃以下に加熱してイミド化を行う。このイミド化を行った溶液に水を投入する、或いは、このイミド化を行った溶液を水に投入することで固体状に沈殿させてろ過・乾燥することでイミド化したジカルボン酸を得ることができる。   Method 2: In a solution in which the tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (3) is dispersed or dissolved in an organic solvent, the diamine represented by the general formula (4) or the general formula (4) A polyamic acid solution is prepared by adding and reacting both diamines of general formula (7). At this time, the total amount of diamine added is 1.50 to 2.50 moles per mole of tetracarboxylic dianhydride. Next, an imidization catalyst (preferably tertiary amines such as pyridine, picoline, isoquinoline, trimethylamine, triethylamine, and tributylamine are used) and a dehydrating agent (such as acetic anhydride) are added to the polyamic acid solution. The imidization is carried out by heating at a temperature of from ℃. In this way, a diamine solution in which the inside represented by the general formula (5) is imidized is obtained. Next, a tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6) is added to the obtained imidized diamine solution and reacted to prepare a polyamic acid solution. At this time, the amount of imidized diamine added is 0.20 to 0.80 mole per mole of tricarboxylic anhydride. After the reaction between the tricarboxylic acid anhydride and the imidized diamine is completed, an imidization catalyst and a dehydrating agent are added to the polyamic acid solution and heated to 60 ° C. or higher and 180 ° C. or lower to perform imidization. It is possible to obtain an imidized dicarboxylic acid by adding water to the imidized solution or by adding the imidized solution to water to precipitate it in a solid state, followed by filtration and drying. it can.

方法3:上記一般式(3)で示されるテトラカルボン酸二無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、一般式(4)で示されるジアミン、もしくは、一般式(4)と一般式(7)のジアミンの両方を添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。この時のジアミンの総添加量はテトラカルボン酸二無水物1モルに対して、1.50〜2.50モルの比率になるように添加する。このポリアミド酸溶液を100℃以上250℃以下に加熱した真空オーブン中に入れて加熱・乾燥を行いながら真空に引くことでイミド化を行う。このようにして、一般式(5)で示される内部がイミド化したジアミン溶液を得る。次いで、得られたイミド化したジアミン溶液中に、一般式(6)で示されるトリカルボン酸無水物を添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。この時のイミド化したジアミンの添加量はトリカルボン酸無水物1モルに対して、0.20〜0.80モルの比率になるように添加する。トリカルボン酸無水物と、イミド化したジアミンの反応が終了した後、このポリアミド酸溶液を100℃以上250℃以下に加熱した真空オーブン中に入れて加熱・乾燥を行いながら真空に引くことでイミド化を行うことでイミド化したジカルボン酸を得ることができる。   Method 3: In a solution in which the tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (3) is dispersed or dissolved in an organic solvent, the diamine represented by the general formula (4) or the general formula (4) A polyamic acid solution is prepared by adding and reacting both diamines of general formula (7). At this time, the total amount of diamine added is 1.50 to 2.50 moles per mole of tetracarboxylic dianhydride. The polyamic acid solution is placed in a vacuum oven heated to 100 ° C. or more and 250 ° C. or less, and imidation is performed by drawing a vacuum while heating and drying. In this way, a diamine solution in which the inside represented by the general formula (5) is imidized is obtained. Next, a tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6) is added to the obtained imidized diamine solution and reacted to prepare a polyamic acid solution. At this time, the amount of imidized diamine added is 0.20 to 0.80 mole per mole of tricarboxylic anhydride. After the reaction between the tricarboxylic acid anhydride and the imidized diamine is completed, the polyamic acid solution is placed in a vacuum oven heated to 100 ° C. or more and 250 ° C. or less and imidized by pulling a vacuum while performing heating and drying. To obtain an imidized dicarboxylic acid.

以上の方法が好ましく用いられるが、上記方法に係らず、両末端にカルボキシル基が存在し、中央がイミド化しているイミド化したジカルボン酸が得られる方法であればどのような方法を用いても問題がない。   The above method is preferably used, but regardless of the above method, any method can be used as long as a carboxyl group is present at both ends and an imidized dicarboxylic acid having an imidized center can be obtained. there is no problem.

一般式(5)に示す内部がイミド化したジアミンを得るための一般式(3)に示すテトラカルボン酸二無水物と一般式(4)に示すジアン、もしくは、一般式(4)と一般式(7)のジアミンの両方との反応は、テトラカルボン酸二無水物1モルに対しジアミン1.50〜2.50モルが好ましく、より好ましくはテトラカルボン酸二無水物1モルに対しジアミンが1.80〜2.20モルである。また、一般式(1)に示される内部がイミド化したジカルボン酸を得るための一般式(6)で示されるトリカルボン酸無水物と一般式(5)に示される内部がイミド化したジアミンとの反応は、トリカルボン酸無水物1モルに対して、一般式(5)に示される内部がイミド化したジアミン0.20〜0.80モルが好ましく、より好ましくはトリカルボン酸無水物1モルに対して、一般式(5)に示される内部がイミド化したジアミン0.40〜0.60モルである。このような範囲に制御することで一般式(1)に示されるイミド化したジカルボン酸の分子量を低く抑え、有機溶剤への溶解性の高いイミド化したジカルボン酸を効率良く得ることができることになる。   Tetracarboxylic dianhydride shown in the general formula (3) and diane shown in the general formula (4) or the general formula (4) and the general formula for obtaining a diamine in which the inside shown in the general formula (5) is imidized. (7) The reaction with both diamines is preferably 1.50 to 2.50 mol of diamine with respect to 1 mol of tetracarboxylic dianhydride, more preferably 1 diamine with respect to 1 mol of tetracarboxylic dianhydride. .80 to 2.20 moles. Further, a tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6) for obtaining a dicarboxylic acid having an imidized inside represented by the general formula (1) and a diamine having an imidized inside represented by the general formula (5) The reaction is preferably 0.20 to 0.80 mol of a diamine having an imidized interior represented by the general formula (5) with respect to 1 mol of a tricarboxylic acid anhydride, and more preferably with respect to 1 mol of a tricarboxylic acid anhydride. The inside of the diamine formed by imidation in the general formula (5) is 0.40 to 0.60 mol. By controlling in such a range, the molecular weight of the imidized dicarboxylic acid represented by the general formula (1) can be kept low, and an imidized dicarboxylic acid having high solubility in an organic solvent can be obtained efficiently. .

尚、本願発明で重合に用いられる溶剤としては、例えばジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン、メチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル) エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、γ―ブチロラクトンやN−メチル−2−ピロリドン、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。尚、必要に応じて低沸点のヘキサン、アセトン、トルエン、キシレン等も併用するこができる。   Examples of the solvent used for polymerization in the present invention include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide, and N, N-dimethylacetamide. , Acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or p-cresol, xylenol, halogenated Phenolic solvents such as phenol and catechol, or hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyl diglyme (bis (2-methoxyether) ether), methyl triglyme ( 1,2-bis 2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme (bis (2-ethoxyethyl) ) Ether), symmetric glycol diethers such as butyl diglyme (bis (2-butoxyethyl) ether), γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate , Butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)), diethylene glycol Reacted monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, acetates such as 1,3-butylene glycol diacetate, Dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n-propyl ether, propylene glycol Phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether , 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. If necessary, low-boiling hexane, acetone, toluene, xylene and the like can be used in combination.

さらに、本願発明のポリイミド前駆体組成物は、下記一般式(8)で示されるトリカルボン酸を含んでいてもよい。   Furthermore, the polyimide precursor composition of this invention may contain the tricarboxylic acid shown by following General formula (8).

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R’’は3価の有機基を示す。ただし、R’’はイミド環は含まない。) (Wherein R ″ represents a trivalent organic group, provided that R ″ does not include an imide ring.)

上記トリカルボン酸は、一般式(8)で示されるトリカルボン酸を予め作製しておいてポリイミド前駆体溶液の調整中に添加する方法や、上記一般式(1)で示される、一部イミド化したジカルボン酸溶液の作製中において、過剰にトリカルボン酸無水物を添加することで上記一般式(8)で示されるトリカルボン酸を同時に作製することもできる。つまり、上記一般式(1)の製造工程において、一般式(6)で示されるトリカルボン酸無水物1モルに対して、一般式(5)で示されるイミド化したジアミンのジアミン量が0.5モル以下の比率で反応させた場合に、最終得られるイミド化したジカルボン酸に、上記一般式(8)で示されるトリカルボン酸が共存することになる。ただし、反応の過程によっては0.5モル以上の量を添加した場合においても生じる場合がある。   The tricarboxylic acid is prepared by previously preparing the tricarboxylic acid represented by the general formula (8) and adding it during the preparation of the polyimide precursor solution, or partially imidized by the general formula (1). During the preparation of the dicarboxylic acid solution, the tricarboxylic acid represented by the general formula (8) can be simultaneously prepared by adding an excess of tricarboxylic acid anhydride. That is, in the production process of the general formula (1), the diamine amount of the imidized diamine represented by the general formula (5) is 0.5 with respect to 1 mol of the tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6). When the reaction is carried out at a molar ratio or less, the tricarboxylic acid represented by the above general formula (8) coexists in the finally obtained imidized dicarboxylic acid. However, depending on the reaction process, it may occur even when an amount of 0.5 mol or more is added.

上記一般式(8)で表されるトリカルボン酸の具体例としては、トリメリット酸、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸が挙げられる。   Specific examples of the tricarboxylic acid represented by the general formula (8) include trimellitic acid and naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid.

特に、溶液粘度を下げて最終のイミド化温度を下げる為には、トリメリット酸を用いることが好ましい。   In particular, trimellitic acid is preferably used to lower the solution viscosity and lower the final imidization temperature.

<ジアミン>
本願発明に好適に用いることのできる下記一般式(2)で示されるジアミンは、
<Diamine>
The diamine represented by the following general formula (2) that can be suitably used in the present invention is:

Figure 2009280661
Figure 2009280661

(式中、R'''は2価の有機基を示す。) (In the formula, R ′ ″ represents a divalent organic group.)

式中のR'''が下記一般式群(3)より選ばれる2価の有機基であることが好ましい。 R ′ ″ in the formula is preferably a divalent organic group selected from the following general formula group (3).

Figure 2009280661
Figure 2009280661

より具体的には、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルホキシド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルフィド、3,3’−ジアミノベンズアニリド、3,4’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] プロパン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] −1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−P−アミノベンゾエート、ポリ(テトラメチレン/3−メチルテトラメチレンエーテル)グリコールビス(4−アミノベンゾエート)、トリメチレン―ビス(4−アミノベンゾエート)、p-フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、m−フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、ビスフェノールA−ビス(4−アミノベンゾエート)、2,4−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,5−ジアミノ安息香酸、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、[ビス(4-アミノ-2-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(4-アミノ-3-カルボキシ)フェニル]メタン、[ビス(3-アミノ-4-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(3-アミノ-5-カルボキシ)フェニル]メタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、2,3−ジアミノフェノール、2,4−ジアミノフェノール、2,5−ジアミノフェノール、3,5−ジアミノフェノール等のジアミノフェノール類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシビフェニル等のヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルメタン等のジヒドロキシジフェニルメタン類、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル]プロパン等のビス[ヒドロキシフェニル]プロパン類、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン等のビス[ヒヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルエーテル等のヒドロキシジフェニルエーテル類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン等のジヒドロキシジフェニルスルフォン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド等のジヒドロキシジフェニルスルフィド類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド等のジヒドロキシジフェニルスルホキシド類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(ヒドロキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類をあげることができる。   More specifically, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, bis (3-aminophenyl) sulfide, (3-aminophenyl) (4 -Aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, bis (4-aminophenyl) sulfoxide, bis (3 -Aminophenyl) sulfone, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'- Diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenyl Tan, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, bis [4- (3-amino Phenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfoxide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] Sulfone, bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfone, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (Aminophenoxy ) Phenyl] sulfide, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfide, 3,3′-diaminobenzanilide, 3,4′-diaminobenzanilide, 4,4′-diaminobenzanilide, Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] Methane, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1- [4- (4-aminophenoxy) Phenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] ethane, 2, 2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [ 4- (3-aminophenoxyphenyl)] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-amino Phenoxyphenyl)]-1, , 1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) Benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3- Aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, poly Tetramethylene oxide-di-P-aminobenzoate, poly (tetramethylene / 3-methyltetramethylene ether) glycol bis ( 4-aminobenzoate), trimethylene-bis (4-aminobenzoate), p-phenylene-bis (4-aminobenzoate), m-phenylene-bis (4-aminobenzoate), bisphenol A-bis (4-aminobenzoate) 2,4-diaminobenzoic acid, 2,5-diaminobenzoic acid, 3,5-diaminobenzoic acid, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-3, 3′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxybiphenyl, [bis (4-amino-2-carboxy) phenyl] methane, [bis (4-amino-3-carboxy) phenyl ] Methane, [bis (3-amino-4-carboxy) phenyl] methane, [bis (3-amino-5-carboxy) phenyl] methane, 2,2-bis [3-amino-4- Ruboxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- Amino-3-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino- 2,2′-dicarboxydiphenyl ether, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino- 2,2′-dicarboxydiphenylsulfone, 2,3-diaminophenol, 2,4-diaminophenol, 2, -Diaminophenols such as diaminophenol and 3,5-diaminophenol, 3,3'-diamino-4,4'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxybiphenyl, 4,4 ' -Hydroxybiphenyl compounds such as diamino-2,2'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-diamino-2,2 ', 5,5'-tetrahydroxybiphenyl, 3,3'-diamino-4,4'- Dihydroxydiphenylmethanes such as dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4- Hydroxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] propane, etc. Bis [hydroxyphenyl] propanes, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane and the like Hydroxyphenyl] hexafluoropropanes, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′- Hydroxydiphenyl ethers such as dihydroxydiphenyl ether, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-2,2 Dihydroxydiphenyl, such as' -dihydroxydiphenylsulfone Sulfones, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfide, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfide, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl sulfide Dihydroxydiphenyl sulfides such as 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfoxide, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfoxide, 4,4′-diamino-2,2 ′ Dihydroxydiphenyl sulfoxides such as dihydroxydiphenyl sulfoxide, bis [(hydroxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] propane, 4,4 ′ -Bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy ) Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as biphenyl, bis [(hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as 2,2-bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone, 4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] propane, 4,4 Examples thereof include bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds such as' -bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl.

特に得られるポリイミド前駆体組成物を用いて作製されるポリイミド樹脂被膜の耐熱性を向上させる上で、その物質のガラス転位温度が50℃以上であることが好ましい。そのような原料としては、p−フェニレンジアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−P−アミノベンゾエート、ポリ(テトラメチレン/3−メチルテトラメチレンエーテル)グリコールビス(4−アミノベンゾエート)、トリメチレン―ビス(4−アミノベンゾエート)、p-フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、m−フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、ビスフェノールA−ビス(4−アミノベンゾエート)、3,5−ジアミノ安息香酸、 [ビス(4-アミノ-2-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(4-アミノ-3-カルボキシ)フェニル]メタン、[ビス(3-アミノ-4-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(3-アミノ-5-カルボキシ)フェニル]メタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパンが好ましく用いられる。   In particular, in order to improve the heat resistance of a polyimide resin film produced using the obtained polyimide precursor composition, the glass transition temperature of the substance is preferably 50 ° C. or higher. Such raw materials include p-phenylenediamine, bis (3-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4 ′. -Diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (3 -Aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3 , 3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1, 3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, , 3-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, polytetramethylene oxide-di-P-amino Benzoate, poly (tetramethylene / 3-methyltetramethylene ether) glycol bis (4-aminobenzoate), trimethylene-bis (4-aminobenzoate), p-phenylene-bis (4-aminobenzoate), m-phenylene-bis (4-aminobenzoate), bisphenol A-bis (4-aminobenzoate) G), 3,5-diaminobenzoic acid, [bis (4-amino-2-carboxy) phenyl] methane, [bis (4-amino-3-carboxy) phenyl] methane, [bis (3-amino-4- Carboxy) phenyl] methane, [bis (3-amino-5-carboxy) phenyl] methane, and 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] propane are preferably used.

上記ジアミンを用いることでポリイミド前駆体組成物を硬化したときに得られる硬化被膜に高い耐熱性を付与できるので好ましい。   It is preferable to use the diamine because high heat resistance can be imparted to the cured film obtained when the polyimide precursor composition is cured.

本願発明のポリイミド前駆体組成物の製造においては、一般式(2)に示すジアミンの添加量は、一般式(1)の製造方法で使用したトリカルボン酸無水物1モルに対して、一般式(5)に示すイミド化したジアミン量および一般式(2)に示されるジアミン量である最終的なポリイミド前駆体組成物中に存在するジアミンの合計の比率が0.70モル〜1.30モル、より好ましくは0.80〜1.10モル、特に好ましくは、0.90〜1.10となるような量である。一般式(2)に示すジアミンの添加割合が、上記範囲内で制御することで加熱イミド化した際に、イミド化反応が進み易く、高分子量化したポリイミド樹脂が得られ易いので好ましい。一般式(2)に示すジアミンを添加する際の温度はイミド化が進まない温度であれば制限は無く、100℃以下、より好ましくは80℃以下で混合することが好ましい。   In the production of the polyimide precursor composition of the present invention, the addition amount of the diamine represented by the general formula (2) is the general formula (1) with respect to 1 mol of the tricarboxylic acid anhydride used in the production method of the general formula (1). The total ratio of diamines present in the final polyimide precursor composition that is the amount of imidized diamine shown in 5) and the amount of diamine shown in general formula (2) is 0.70 mol to 1.30 mol, The amount is more preferably 0.80 to 1.10 mol, and particularly preferably 0.90 to 1.10. When the addition ratio of the diamine represented by the general formula (2) is controlled within the above range, it is preferable because imidization reaction proceeds easily and a high molecular weight polyimide resin is easily obtained. The temperature at which the diamine represented by the general formula (2) is added is not limited as long as imidization does not proceed, and mixing at 100 ° C. or lower, more preferably 80 ° C. or lower is preferable.

<イソシアネート系化合物>
本願発明で用いられるイソシアネート系化合物とは、イソシアネート基を2つ以上有する化合物である。
<Isocyanate compounds>
The isocyanate compound used in the present invention is a compound having two or more isocyanate groups.

かかるイソシアネート系化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリメリックジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、トリジンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート等のジイソシアネートである。特に本願発明に好適に用いられるイソシアネート系化合物は、トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリメリックジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、トリジンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネートである。   Examples of such isocyanate compounds include aromatic diisocyanates such as tolylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, polymeric diphenylmethane diisocyanate, naphthalene diisocyanate, tolidine diisocyanate, tetramethylxylene diisocyanate, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate, and hydrogenated xylylene diisocyanate. Diisocyanates such as alicyclic diisocyanates such as isophorone diisocyanate and norbornene diisocyanate, and aliphatic diisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate and lysine diisocyanate. In particular, the isocyanate compounds suitably used in the present invention are aromatic diisocyanates such as tolylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, polymeric diphenylmethane diisocyanate, naphthalene diisocyanate, tolidine diisocyanate, and tetramethylxylene diisocyanate.

上記イソシアネート系化合物を用いることでポリイミド前駆体組成物を硬化したときに得られる硬化被膜に高い耐熱性を付与できるので好ましい。   It is preferable to use the isocyanate compound because high heat resistance can be imparted to the cured film obtained when the polyimide precursor composition is cured.

また、本願発明では、上記イソシアネート系化合物をブロック剤で安定化したブロックイソシアネート化合物等を使用することができる。上記ブロックイソシアネート化合物とは、常温では不活性であり、加熱されることにより、オキシム類、ジケトン類、フェノール類、カプロラクタム類等のブロック剤が解離してイソシアネート基を再生する化合物であり、例えば、旭化成ケミカルズ株式会社製の商品名デュラネート17B−60PX、デュラネートTPA−B80E、デュラネートMF−B60X、デュラネートMF−K60X、デュラネートE402−B80T、三井化学ポリウレタン株式会社製の商品名タケネートB−830、タケネートB−815N、タケネートB−846N、タケネートB−882N、日本ポリウレタン工業株式会社製の商品名コロネートAP−M、コロネート2503、コロネート2507、コロネート2513、コロネート2515、ミリオネートMS−50等が挙げられる。特に本願発明に好適に用いられるブロックイソシアネート化合物は、ブロック剤の解離温度が160℃以下であるヘキサメチレンジイソシアネート系イソシアヌレート型、ビウレット型、アダクト型等のブロックイソシアネート化合物、水添ジフェニルメタンジイソシアネート系、水添キシリレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート化合物である。   Moreover, in this invention, the blocked isocyanate compound etc. which stabilized the said isocyanate type compound with the blocking agent can be used. The blocked isocyanate compound is a compound that is inactive at room temperature, and is heated to dissociate a blocking agent such as oximes, diketones, phenols, caprolactams, and regenerate isocyanate groups. Product names Duranate 17B-60PX, Duranate TPA-B80E, Duranate MF-B60X, Duranate MF-K60X, Duranate E402-B80T, Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. Trade names Takenate B-830, Takenate B- 815N, Takenate B-846N, Takenate B-882N, trade names Coronate AP-M, Coronate 2503, Coronate 2507, Coronate 2513, Coronate 2515, Million Over preparative MS-50 and the like. In particular, the blocked isocyanate compound suitably used in the present invention is a block isocyanate compound such as a hexamethylene diisocyanate type isocyanurate type, biuret type, adduct type, etc. in which the dissociation temperature of the blocking agent is 160 ° C. or less, hydrogenated diphenylmethane diisocyanate type, water It is an additive xylylene diisocyanate block isocyanate compound.

上記ブロックイソシアネート化合物を用いることでポリイミド前駆体組成物を硬化したときに得られる硬化被膜に高い基材との接着性を付与できるので好ましい。   It is preferable to use the above-mentioned blocked isocyanate compound because the cured film obtained when the polyimide precursor composition is cured can be provided with high adhesion to the substrate.

また、これらはイソシアネート系化合物は単独で、或いは2種類以上を組み合わせて用いることができる。   In addition, these isocyanate compounds may be used alone or in combination of two or more.

本願発明のポリイミド前駆体組成物の製造においては、一般式(2)に示すジアミン及び/又はイソシアネート系化合物の添加量は、一般式(1)の製造方法で使用したトリカルボン酸無水物1モルに対して、一般式(5)に示すイミド化したジアミン量および一般式(2)に示されるジアミン量である最終的なポリイミド前駆体組成物中に存在するジアミン及び/又はイソシアネート系化合物の合計の比率が0.70モル〜1.30モル、より好ましくは0.80〜1.10モル、特に好ましくは、0.90〜1.10となるような量である。ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物の添加割合が、上記範囲内で制御することで加熱イミド化した際に、イミド化反応が進み易く、高分子量化したポリイミド樹脂が得られ易いので好ましい。ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物を添加する際の温度はイミド化が進まない温度であれば制限は無く、100℃以下、より好ましくは80℃以下で混合することが好ましい。   In the production of the polyimide precursor composition of the present invention, the addition amount of the diamine and / or isocyanate compound shown in the general formula (2) is 1 mol of the tricarboxylic acid anhydride used in the production method of the general formula (1). In contrast, the amount of imidized diamine represented by general formula (5) and the total amount of diamine and / or isocyanate compound present in the final polyimide precursor composition having the diamine amount represented by general formula (2). The amount is such that the ratio is 0.70 to 1.30 mol, more preferably 0.80 to 1.10 mol, and particularly preferably 0.90 to 1.10. When the addition ratio of the diamine and / or isocyanate compound is controlled within the above range, when imidation is performed by heating, the imidization reaction easily proceeds, and a high molecular weight polyimide resin is easily obtained, which is preferable. The temperature at which the diamine and / or isocyanate compound is added is not limited as long as imidization does not proceed. Mixing is preferably performed at 100 ° C. or lower, more preferably 80 ° C. or lower.

<ポリイミド前駆体組成物溶液の調製方法>
本発明のポリイミド前駆体組成物溶液の調製方法について記載する。イミド化したジカルボン酸を合成した溶液中でポリイミド前駆体組成物溶液を調整する場合には、そのままその溶液を用いて、その溶液にジアミン及び/又はイソシアネート系化合物を投入してポリイミド前駆体組成物溶液を得ることが好ましく、一度、固形として分離したポリイミド前駆体組成物については、溶剤で希釈して用いることが好ましい。
使用する溶剤は、上記重合に用いられる溶剤として記載した溶剤を1種もしくは2種以上混合して用いることが好ましい。
<Preparation method of polyimide precursor composition solution>
It describes about the preparation method of the polyimide precursor composition solution of this invention. When preparing a polyimide precursor composition solution in a solution obtained by synthesizing an imidized dicarboxylic acid, the solution is used as it is, and a diamine and / or an isocyanate compound is added to the solution to obtain a polyimide precursor composition. It is preferable to obtain a solution, and the polyimide precursor composition once separated as a solid is preferably diluted with a solvent.
As the solvent to be used, it is preferable to use one or a mixture of two or more of the solvents described as the solvent used in the polymerization.

上記ポリイミド前駆体溶液の調製にあたり、溶質濃度は40〜90重量%がポリイミド前駆体組成物溶液の濃度として好ましく、特に好ましくは、45〜85重量%であることが好ましい。   In preparing the polyimide precursor solution, the solute concentration is preferably 40 to 90% by weight as the concentration of the polyimide precursor composition solution, and particularly preferably 45 to 85% by weight.

本願発明の溶質濃度とは、下記算出式1より算出される値である。   The solute concentration of the present invention is a value calculated from the following calculation formula 1.

溶質濃度(%)=溶質重量/(溶質重量+溶剤重量)×100 式1   Solute concentration (%) = solute weight / (solute weight + solvent weight) × 100 Equation 1

式中の溶質重量、溶剤重量とは、有機溶剤に溶解している溶剤以外の原料重量であり例えば、樹脂溶液を一定量(Aグラム)取り出して、溶剤の揮発できる温度以上に加熱して残る固形分の重量(Bグラム)を測定し、固形分の重量(Bグラム)が溶質重量、下記算出式2により算出される値が溶剤重量である。   The solute weight and solvent weight in the formula are raw material weights other than the solvent dissolved in the organic solvent. For example, a certain amount (A gram) of the resin solution is taken out and heated to a temperature at which the solvent can be volatilized or left. The weight (B gram) of the solid content is measured, the weight of the solid content (B gram) is the solute weight, and the value calculated by the following calculation formula 2 is the solvent weight.

溶剤重量=A−B 式2   Solvent weight = AB Formula 2

本発明におけるポリイミド前駆体組成物を溶解した溶液濃度は、上記に記載したように、40〜90重量%が好ましく、より好ましくは45〜85重量%である。このような範囲にすることでポリイミド樹脂組成物を用いて成形体を作製する上で、溶剤除去量が少なくなり、取り扱い性が向上すると共に、フィルム体等に成形する際の塗布膜厚から乾燥膜厚の変化量が少なくなり、成形性が格段に向上する。また、ポリイミド前駆体組成物溶液の粘度が最適な範囲に制御できるので好ましい。例えば、ポリイミド前駆体組成物溶液を塗布・乾燥してフィルム状の成形体を作製する場合には、塗工方法にもよるが、23℃で通常6000ポイズ以下が好ましく、5000ポイズ以下がより好ましい。粘度が6000ポイズを超えると塗工が困難になる場合がある。尚、本願発明の場合、濃度を調製することで高粘度から低粘度まで自在にコントロールすることが可能である。   As described above, the solution concentration in which the polyimide precursor composition in the present invention is dissolved is preferably 40 to 90% by weight, more preferably 45 to 85% by weight. When making a molded body using the polyimide resin composition by making such a range, the solvent removal amount is reduced, the handleability is improved, and the coating film thickness when being molded into a film body is dried. The amount of change in film thickness is reduced, and formability is significantly improved. Moreover, since the viscosity of a polyimide precursor composition solution can be controlled in the optimal range, it is preferable. For example, when a polyimide precursor composition solution is applied and dried to produce a film-shaped molded body, it depends on the coating method, but is usually preferably 6000 poise or less at 23 ° C., more preferably 5000 poise or less. . If the viscosity exceeds 6000 poise, coating may be difficult. In the present invention, it is possible to freely control from high viscosity to low viscosity by adjusting the concentration.

さらに、本発明のポリイミド前駆体溶液には、必要に応じて例えば、有機シラン、顔料、導電性のカーボンブラック及び金属粒子のような充填剤、摩滅剤、誘電体、潤滑剤等の他公知の添加物を本発明の効果を損なわない範囲で添加することができる。また、他の重合体や、水不溶性のエーテル類、アルコール類、ケトン類、エステル、ハロゲン化炭化水素類、炭化水素類等の溶媒を本発明の効果を損なわない範囲で添加することができる。   Furthermore, in the polyimide precursor solution of the present invention, other known materials such as organic silanes, pigments, conductive carbon black and fillers such as metal particles, abrasives, dielectrics, lubricants, etc. may be used as necessary. Additives can be added as long as the effects of the present invention are not impaired. In addition, other polymers and solvents such as water-insoluble ethers, alcohols, ketones, esters, halogenated hydrocarbons, hydrocarbons and the like can be added as long as the effects of the present invention are not impaired.

ポリイミド塗膜を得るには、ポリイミド前駆体組成物溶液を従来公知のスピンコート法、スプレイコート法、スクリーン印刷法、浸漬法、カーテンコート法、ディップコーティング法、ダイコート法等の公知な方法により基材上に塗工し、250℃以下の温度で乾燥して溶媒を除去した後、イミド化して得られる。   In order to obtain a polyimide coating film, a polyimide precursor composition solution is obtained by a known method such as a conventionally known spin coating method, spray coating method, screen printing method, dipping method, curtain coating method, dip coating method, or die coating method. It is obtained by imidation after coating on the material, drying at a temperature of 250 ° C. or less to remove the solvent.

本願発明のポリイミド前駆体組成物は、イミド化に必要な温度が低く、250℃以下での硬化が可能である。尚、低温で硬化できる例えばプリント配線板上に塗布した際に、導電体である銅箔が酸化劣化しないので好ましい。特に好ましい硬化温度は200℃以下が好ましく、本願発明のポリイミド前駆体組成物は200℃以下の低温での硬化にも対応している。   The polyimide precursor composition of the present invention has a low temperature required for imidization and can be cured at 250 ° C. or lower. In addition, when apply | coating on the printed wiring board which can be hardened at low temperature, since the copper foil which is a conductor does not oxidatively degrade, it is preferable. A particularly preferable curing temperature is preferably 200 ° C. or lower, and the polyimide precursor composition of the present invention also supports curing at a low temperature of 200 ° C. or lower.

<感光性樹脂組成物>
本願発明のポリイミド前駆体組成物の利用の1例として、感光性樹脂組成物が挙げられる。以下において、感光性樹脂組成物について詳述する。なお、本願発明のポリイミド前駆体組成物の利用の例としては、これに限られることは言うまでもない。感光性樹脂組成物の構成は、次のとおりである。すなわち、上記ポリイミド前駆体組成物と、少なくとも感光性樹脂、及び、光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。なお、感光性樹脂組成物に使用するポリイミド前駆体組成物については、上記ポリイミド前駆体組成物であれば、特に限定する事無く使用可能である。ポリイミド前駆体組成物の内、イミド化したジカルボン酸の方については、シリコンジアミン(シロキサンジアミン)を用いて得られる、末端ジカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーが好ましく用いられるが、これに限定されるものではない。
<Photosensitive resin composition>
A photosensitive resin composition is mentioned as an example of utilization of the polyimide precursor composition of this invention. Hereinafter, the photosensitive resin composition will be described in detail. In addition, it cannot be overemphasized that it is restricted to this as an example of utilization of the polyimide precursor composition of this invention. The composition of the photosensitive resin composition is as follows. That is, a photosensitive resin composition comprising the polyimide precursor composition, at least a photosensitive resin, and a photopolymerization initiator. In addition, about the polyimide precursor composition used for the photosensitive resin composition, if it is the said polyimide precursor composition, it can be used without specifically limiting. Of the polyimide precursor composition, for the imidized dicarboxylic acid, a terminal dicarboxylic acid siloxane imide oligomer obtained using silicon diamine (siloxane diamine) is preferably used, but is not limited thereto. .

それぞれの構成材料について説明を行う。   Each constituent material will be described.

<感光性樹脂>
本願発明における感光性樹脂とは、光もしくは熱によって発生したラジカル、酸、塩基、プロトン、アミン等によって、重合するモノマー、オリゴマーもしくは高分子樹脂である。より好ましくは、少なくとも不飽和二重結合を1つ有する樹脂である。さらには、前記不飽和二重結合は、アクリル基(CH=CH−基)、メタアクリロイル基(CH=C(CH)−基)もしくはビニル基(−CH=CH−基)であることが好ましい。下記に本願発明で好適に用いられる感光性樹脂を例示するが、上記不飽和二重結合を少なくとも1つ有する樹脂であればどのような樹脂を用いても良い。
<Photosensitive resin>
The photosensitive resin in the present invention is a monomer, oligomer, or polymer resin that is polymerized by radicals, acids, bases, protons, amines, etc. generated by light or heat. More preferred is a resin having at least one unsaturated double bond. Furthermore, the unsaturated double bond is an acryl group (CH 2 ═CH— group), a methacryloyl group (CH 2 ═C (CH 3 ) — group) or a vinyl group (—CH═CH— group). It is preferable. Although the photosensitive resin used suitably by this invention below is illustrated below, what kind of resin may be used if it is resin which has at least one said unsaturated double bond.

例えばビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1 − アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレート、等が好ましいが、これらに限定されない。特に、ジアクリレートあるいはメタアクリレートの一分子中に含まれるEO(エチレンオキサイド)の繰り返し単位が、2〜50の範囲のものが好ましく、さらに好ましくは2〜40である。EOの繰り返し単位が2〜50の範囲の物を使用することにより、アルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮される。更に、感光性樹脂組成物を硬化した硬化膜中に応力が残りにくく、例えばプリント配線板の中でも、ポリイミド樹脂を基材とするフレキシブルプリント配線板上に積層した際に、プリント配線板のカールを抑えることができるなどの特徴を有する。   For example, bisphenol F EO modified (n = 2-50) diacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) diacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) diacrylate, bisphenol F EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, Ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate Tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, tetramethylol Propane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, Allyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, 1 , 3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4- ( Methacryloxyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bi [4- (methacryloxy / diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy / polyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, 2,2- Bis [4- (acryloxy-diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy-polyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryloxypropane, trimethylolpropane trimethacrylate, Tetramethylol methane triacrylate, tetramethylol methane tetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, nonylphenol Xylethylene glycol acrylate, nonylphenoxy polypropylene glycol acrylate, 1-acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4-butanediol di Methacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1, 4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tricyclodecane dimethanol dia Chryrate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, 2,4-diethyl-1,5-pentane Diol diacrylate, ethoxylated totimethylolpropane triacrylate, propoxylated tomethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid tri (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxylated pentathritol tetraacrylate, Ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, glycidyl allyl ether, 1,3,5-triac Liloylhexahydro-s-triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallyl phosphate, allobarbital, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl disulfide, diallyl ether, zalyl sialate Diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4′-isopropylidene diphenol dimethacrylate, 4,4′-isopropylidene diphenol diacrylate, etc. Although preferable, it is not limited to these. In particular, the repeating unit of EO (ethylene oxide) contained in one molecule of diacrylate or methacrylate is preferably in the range of 2-50, more preferably 2-40. By using a product having an EO repeating unit in the range of 2 to 50, the solubility in an aqueous developer typified by an alkaline aqueous solution is improved, and the development time is shortened. Furthermore, it is difficult for stress to remain in the cured film obtained by curing the photosensitive resin composition. For example, among the printed wiring boards, when laminated on a flexible printed wiring board based on a polyimide resin, curling of the printed wiring board is prevented. Features such as being able to be suppressed.

また、上記の例示に加えて、例えば、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、アクリル酸ダイマー、ペンタエスリトールトリ及びテトラアクリレート等の分子構造骨格中にヒドロキシル基、カルボニル基を有する物も好適に用いられる。   In addition to the above examples, for example, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, monohydroxyethyl acrylate phthalate, ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate, acrylic acid dimer, pentaerythritol tri, tetraacrylate, etc. Those having a hydroxyl group or a carbonyl group in the molecular structure skeleton are also preferably used.

この他、例えば、エポキシ変性のアクリル(メタクリル)樹脂や、ウレタン変性のアクリル(メタクリル)樹脂、ポリエステル変性のアクリル(メタクリル)樹脂等どのような感光性樹脂を用いても良い。   In addition, any photosensitive resin such as an epoxy-modified acrylic (methacrylic) resin, a urethane-modified acrylic (methacrylic) resin, or a polyester-modified acrylic (methacrylic) resin may be used.

尚、感光性樹脂としては、1種を使用することも可能であるが、2種以上を併用することが、光硬化後の硬化膜の耐熱性を向上させる上で好ましい。   In addition, although it is also possible to use 1 type as a photosensitive resin, using 2 or more types together is preferable when improving the heat resistance of the cured film after photocuring.

<光重合開始剤>
光重合開始剤としては、光の照射により、ラジカル、酸、塩基、プロトン、アミン等を発生するものであればどのような構造のものも使用することができる。例えば、ミヒラ−ズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4’’−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチルエ−テル、ベンゾインイソプロピルエ−テル、ベンゾインイソブチルエ−テル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5’’−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネ−ト、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタノンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)などが挙げられる。上記光重合開始剤は適宜選択することが好ましく、1種以上を混合させて用いることが好ましい。
<Photopolymerization initiator>
As the photopolymerization initiator, those having any structure can be used as long as they generate radicals, acids, bases, protons, amines and the like upon irradiation with light. For example, Michler's ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) triphenylmethane, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, diacetylbenzyl, benzyldimethylket -Ru, benzyldiethylketa- 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methylfuryl) ethylidene] -4,6-bis (trichloromethyl) -S -Triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4,4'-diazidochalcone, Di (tetraalkylammonium) -4,4′-diazidostilbene-2,2′-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl- Ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl 1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morphol Linophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, 2, 4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-ketone, bis (n5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2 , 6-Difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, 1,2-octanonedione, 1- [4- (phenyl) Ruthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iododium, (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1-), ethyl-4-dimethyl Aminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxyome) Etc. The photopolymerization initiator is preferably selected as appropriate, and one or more types are preferably mixed and used.

本願発明における、感光性樹脂組成物におけるポリイミド前駆体組成物、感光性樹脂、光重合開始剤の成分割合は、ポリイミド前駆体組成物の固形分100重量部に対して、感光性樹脂が、10〜200重量部、光重合開始剤が、0.1〜50重量部となるように配合されていることが好ましい。   In the present invention, the component ratio of the polyimide precursor composition, the photosensitive resin, and the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition is 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the polyimide precursor composition. It is preferable that ˜200 parts by weight and the photopolymerization initiator are blended so as to be 0.1 to 50 parts by weight.

上記配合割合にすることで最終的に得られる硬化物や絶縁膜の諸特性(電気絶縁信頼性等)が向上するので好ましい。   The blending ratio is preferable because various properties (such as electrical insulation reliability) of the cured product and insulating film finally obtained are improved.

感光性樹脂が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂を光硬化した後の硬化被膜の耐熱性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストがつきにくくなる傾向にある。そのため、上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。   When the photosensitive resin is less than the above range, the heat resistance of the cured film after photo-curing the photosensitive resin is lowered and the contrast when exposed and developed tends to be difficult. For this reason, it is possible to set the resolution at the time of exposure / development to an optimal range by setting the value within the above range.

光重合開始剤が上記範囲よりも少ない場合には、光照射時の感光性樹脂の硬化反応が起こりにくく、硬化が不十分となることがある。また、多すぎた場合には、光照射量の調整が難しくなり、過露光状態となる場合がある。そのため、光硬化反応を効率良く進めるためには上記範囲内に調整することが好ましい。   When the photopolymerization initiator is less than the above range, the curing reaction of the photosensitive resin during light irradiation hardly occurs, and curing may be insufficient. Moreover, when there is too much, adjustment of light irradiation amount becomes difficult and may be in an overexposure state. Therefore, in order to advance the photocuring reaction efficiently, it is preferable to adjust within the above range.

<熱硬化性樹脂>
本願発明の感光性樹脂組成物は、硬化後の耐熱性(半田耐熱性等)、耐薬品性(アルカリ溶液耐性、耐酸性、耐溶剤性等)、耐湿環境安定性、耐熱環境安定性に優れる樹脂組成物にするために、熱硬化性樹脂を配合することが好ましい。
<Thermosetting resin>
The photosensitive resin composition of the present invention is excellent in heat resistance after curing (solder heat resistance, etc.), chemical resistance (alkali solution resistance, acid resistance, solvent resistance, etc.), moisture resistance environment stability, and heat resistance environment stability. In order to make a resin composition, it is preferable to mix a thermosetting resin.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられる熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ヒドロシリル硬化樹脂、アリル硬化樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂;高分子鎖の側鎖または末端にアリル基、ビニル基、アルコキシシリル基、ヒドロシリル基、等の反応性基を有する側鎖反応性基型熱硬化性高分子等を用いることができる。上記熱硬化性成分は、1種又は2種以上を適宜組み合わせて用いればよい。   Thermosetting resins used in the photosensitive resin composition of the present invention include epoxy resins, bismaleimide resins, bisallyl nadiimide resins, acrylic resins, methacrylic resins, hydrosilyl cured resins, allyl cured resins, unsaturated polyester resins, etc. Thermosetting resin: Use of a side chain reactive group type thermosetting polymer having a reactive group such as an allyl group, a vinyl group, an alkoxysilyl group, or a hydrosilyl group at the side chain or terminal of the polymer chain. it can. The thermosetting component may be used alone or in combination of two or more.

この中でも、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。エポキシ樹脂成分を含有することにより、熱硬化性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化樹脂に対して耐熱性(半田耐熱性等)、耐薬品性(アルカリ溶液耐性、耐酸性、耐溶剤性等)、耐湿環境安定性、耐熱環境安定性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与することができる。   Among these, it is preferable to use an epoxy resin. By containing an epoxy resin component, heat resistance (solder heat resistance, etc.) and chemical resistance (alkali solution resistance, acid resistance, solvent resistance, etc.) for a cured resin obtained by curing a thermosetting resin composition ), Humidity resistance environment stability and heat resistance environment stability can be imparted, and adhesion to a conductor such as a metal foil or a circuit board can be imparted.

上記エポキシ樹脂としては、分子内に少なくとも2個のエポキシ基を含むものであれば、どのような構造の物を用いても良い。例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、水添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、エチレンオキシド付加体ビスフェノールA型エポキシ樹脂、プロピレンオキシド付加体ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ポリグリコール型エポキシ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂、シクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ウレタン変性エポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹脂、エポキシ変性ポリシロキサン等のエポキシ樹脂類を挙げることができる。これらエポキシ樹脂は、1種のみを用いてもよく、2 種以上を任意の割合で組み合わせて用いてもよい。   Any epoxy resin may be used as long as it contains at least two epoxy groups in the molecule. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, water-added bisphenol A type epoxy resin, ethylene oxide adduct bisphenol A type epoxy resin, Propylene oxide adduct bisphenol A type epoxy resin, novolak type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, alkylphenol novolak type epoxy resin, polyglycol type epoxy resin, cyclic aliphatic epoxy resin, Cyclopentadiene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, glycidyl a Emission type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, urethane modified epoxy resins, rubber-modified epoxy resins, and epoxy resins such as epoxy-modified polysiloxane. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more at any ratio.

上記エポキシ樹脂としては、例えば、大日本インキ化学(株)製ナフタレン型4官能エポキシ樹脂の商品名エピクロンHP―4700、シクロペンタジエン型エポキシ樹脂の商品名エピクロンHP―7200、フェノールノボラック型エポキシ樹脂の商品名エピクロンN―740、高耐熱性のエポキシ樹脂であるエピクロンEXA―7240、クレゾールノボラック型の多官能エポキシ樹脂であるエピクロンN―660、N―665、N―670、N―680、N―655―EXP、フェノールノボラック型エポキシ樹脂の商品名エピクロンN―740、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂の商品名エピクロンETePE、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂の商品名エピクロンETrPM、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名エピコート828等のビスフェノールA 型エポキシ樹脂、東都化成(株)製の商品名YDF−170等のビスフェノールF型エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名エピコート152、154、日本化薬(株)製の商品名EPPN−201、ダウケミカル社製の商品名DEN−438等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、日本化薬(株)製の商品名EOCN−125S,103S、104S等のo−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名Epon1031S、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製の商品名アラルダイト0163、ナガセ化成(株)製の商品名デナコールEX−611、EX−614、EX−614B、EX−622、EX−512、EX−521、EX−421、EX−411、EX−321等の多官能エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名エピコート604、東都化成(株)製の商品名YH434、三菱ガス化学(株)製の商品名TETRAD−X、TERRAD−C 、日本化薬(株)製の商品名GAN、住友化学(株)製の商品名ELM−120等のアミン型エポキシ樹脂、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製の商品名アラルダイトPT810等の複素環含有エポキシ樹脂、UCC社製のERL4234,4299、4221、4206等の脂環式エポキシ樹脂などが挙げられ、これらを単独で又は2種類以上組合せて使用することができる。   Examples of the epoxy resin include, for example, the product name Epicron HP-4700 of the naphthalene type tetrafunctional epoxy resin manufactured by Dainippon Ink Chemical Co., Ltd., the product name Epicron HP-7200 of the cyclopentadiene type epoxy resin, and the product of the phenol novolac type epoxy resin. The name Epicron N-740, Epicron EXA-7240, which is a high heat resistance epoxy resin, Epicron N-660, N-665, N-670, N-680, N-655-, which is a cresol novolac type polyfunctional epoxy resin EXP, trade name of phenol novolac type epoxy resin Epicron N-740, trade name of tetraphenylethane type epoxy resin, Epicron ETePE, trade name of triphenylmethane type epoxy resin, Epicron ETrPM, trade name of Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Bisphenol A type epoxy resin such as Tote Kasei Co., Ltd., Bisphenol F type epoxy resin such as YDF-170, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., Epicoat 152, 154 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Nippon Kayaku ( Phenol novolac type epoxy resin such as trade name EPPN-201 manufactured by Dow Chemical Co., Ltd., and trade name EOCN-125S, 103S, 104S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Novolac type epoxy resin, trade name Epon 1031S manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd., trade name Araldite 0163 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., trade names Denacol EX-611, EX-614 manufactured by Nagase Chemical Co., Ltd. EX-614B, EX-622, EX-512, EX-521, EX 421, EX-411, EX-321 and other polyfunctional epoxy resins, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. trade name Epicoat 604, Toto Kasei Co., Ltd. trade name YH434, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. trade name TETRAD-X, TERRAD-C, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade name GAN, Sumitomo Chemical Co., Ltd. trade name ELM-120, etc. Amine type epoxy resin, Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. Heterocycle-containing epoxy resins such as the name Araldite PT810, and alicyclic epoxy resins such as ERL4234, 4299, 4221, and 4206 manufactured by UCC, and the like can be used alone or in combination of two or more.

本発明における熱硬化性樹脂の使用量は、ポリイミド前駆耐組成物、感光性樹脂、及び光重合開始剤を合計した固形分100重量部に対して、0.5〜100重量部となるように配合することが好ましい。更に好ましくは、1.0〜50重量部であり、特に好ましくは、1.0〜10重量部である。上記範囲に配合することで感光性樹脂組成物の硬化膜の耐熱性、耐薬品性、電気絶縁信頼性を向上することができるので好ましい。また、配合割合を上記範囲に制御することで感光性樹脂組成物が硬化した後に、硬化物に柔軟性を付与できるので好ましい。   The amount of the thermosetting resin used in the present invention is 0.5 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the polyimide precursor resistant composition, the photosensitive resin, and the photopolymerization initiator. It is preferable to mix. More preferably, it is 1.0-50 weight part, Most preferably, it is 1.0-10 weight part. It is preferable to add it in the above range since the heat resistance, chemical resistance and electrical insulation reliability of the cured film of the photosensitive resin composition can be improved. Moreover, since a softness | flexibility can be provided to hardened | cured material after the photosensitive resin composition hardens | cures by controlling a compounding ratio to the said range, it is preferable.

また、更に、本発明の感光性樹脂組成物に用いられるエポキシ樹脂は、上記エポキシ樹脂に加えて、1分子中にエポキシ基を1個だけ有するエポキシ化合物を併用することもできる。例えばn−ブチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ジブロモフェニルグシジルエーテル、ジブロモクレジルグリシジルエーテル等がある。また、3,4−エポキシシクロヘキシル、メチル(3,4−エポキシシクロヘキサン)カルボキシレート等の脂環式エポキシ化合物が挙げられる。   Furthermore, the epoxy resin used in the photosensitive resin composition of the present invention can be used in combination with an epoxy compound having only one epoxy group in one molecule, in addition to the above epoxy resin. For example, there are n-butyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, dibromophenyl glycidyl ether, dibromocresyl glycidyl ether and the like. In addition, alicyclic epoxy compounds such as 3,4-epoxycyclohexyl and methyl (3,4-epoxycyclohexane) carboxylate are exemplified.

本発明の感光性樹脂組成物には、上記熱硬化性樹脂の硬化剤として、フェノール性水酸基を有する化合物や、アミン基を有する化合物、或いは、カルボン酸を有する化合物、メルカプト基を有する化合物、イソシアネート基を有する化合物を用いることもできる。例えば、フェノールノボラック型フェノール樹脂、クレゾールノボラック型フェノール樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂類、ユリア樹脂類、メラミン樹脂類、ジシアンジアミド、ジヒドラジン化合物類、イミダゾール化合物類、ルイス酸、及びブレンステッド酸塩類、ポリメルカプタン化合物類、イソシアネートおよびブロックイソシアネート化合物類、等を併用することができる。   The photosensitive resin composition of the present invention includes a compound having a phenolic hydroxyl group, a compound having an amine group, a compound having a carboxylic acid, a compound having a mercapto group, an isocyanate as a curing agent for the thermosetting resin. A compound having a group can also be used. For example, phenol novolac type phenol resin, cresol novolac type phenol resin, phenol resin such as naphthalene type phenol resin, amino resins, urea resins, melamine resins, dicyandiamide, dihydrazine compounds, imidazole compounds, Lewis acid, and Bronsted acid salts, polymercaptan compounds, isocyanates and blocked isocyanate compounds, and the like can be used in combination.

また、熱硬化性樹脂の硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物;3級アミン系、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラエタノールアミン等のアミン系化合物;1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート等のボレート系化合物等、イミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;2−メチルイミダゾリン、2−エチルイミダゾリン、2−イソプロピルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−ウンデシルイミダゾリン、2,4−ジメチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリン等のイミダゾリン類;2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のアジン系イミダゾール類等が挙げられる。ウレタン樹脂にアミノ基が含まれる場合、回路埋め込み性が向上させることができるる点で、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のイミダゾール類を用いることが好ましい。   In addition, the curing accelerator for the thermosetting resin is not particularly limited. For example, phosphine compounds such as triphenylphosphine; amine compounds such as tertiary amine, trimethanolamine, triethanolamine, and tetraethanolamine Borate compounds such as 1,8-diaza-bicyclo [5,4,0] -7-undecenium tetraphenylborate, imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl; Imidazoles such as imidazole, 2-undecylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole; Methyl imidazoline, 2-ethyl ester Imidazolines such as dazoline, 2-isopropylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-undecylimidazoline, 2,4-dimethylimidazoline, 2-phenyl-4-methylimidazoline; 2,4-diamino-6- [2'- Methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 Examples include azine-based imidazoles such as-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine. When an amino group is contained in the urethane resin, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2,4-diamino-6- [ It is preferable to use imidazoles such as 2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine.

<その他の成分>
この発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じて難燃剤、消泡剤、カップリング剤、充填剤、接着助剤、レベリング剤、重合禁止剤等の各種添加剤を加えることができる。充填剤としては、シリカ、マイカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウムなどの微細な無機充填剤、微細な有機ポリマ−充填剤を含有させてもよい。含有量は適宜選定することが好ましい。
<Other ingredients>
Various additives such as a flame retardant, an antifoaming agent, a coupling agent, a filler, an adhesion aid, a leveling agent, and a polymerization inhibitor can be added to the photosensitive resin composition of the present invention as necessary. . As the filler, a fine inorganic filler such as silica, mica, talc, barium sulfate, wollastonite, calcium carbonate, or a fine organic polymer filler may be contained. It is preferable to select the content appropriately.

<感光性樹脂組成物溶液>
本願発明の感光性樹脂組成物は、取扱いの観点から有機溶剤に溶解した感光性樹脂組成物溶液として用いることが好ましい。本願発明の感光性樹脂組成物は、種々の有機溶剤に溶解性が高く、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン、メチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、γ―ブチロラクトンやN−メチル−2−ピロリドン、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。尚、必要に応じて低沸点のヘキサン、アセトン、トルエン、キシレン等を用いて感光性樹脂組成物溶液とすることができる。
<Photosensitive resin composition solution>
The photosensitive resin composition of the present invention is preferably used as a photosensitive resin composition solution dissolved in an organic solvent from the viewpoint of handling. The photosensitive resin composition of the present invention is highly soluble in various organic solvents, such as sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, and formamide systems such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide. Solvents, acetamide solvents such as N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or Phenolic solvents such as p-cresol, xylenol, halogenated phenol, catechol, or hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, methylmonoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) ) Ether), Methyl Trigura (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldigig Symmetric glycol diethers such as lime (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyldiglyme (bis (2-butoxyethyl) ether), γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, methyl acetate, ethyl acetate , Isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)) Acetates such as diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, Dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n-propyl ether, propylene glycol Phenyl ether, dipropylene glycol Methyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. In addition, it can be set as the photosensitive resin composition solution using hexane, acetone, toluene, xylene, etc. of low boiling point as needed.

中でも特に対称グリコールジエーテル類が感光性樹脂組成物の溶解性が高いので好ましい。   Among these, symmetric glycol diethers are particularly preferable because the solubility of the photosensitive resin composition is high.

本願発明の感光性樹脂組成物溶液は、感光性樹脂組成物の全固形分100重量部に対して、有機溶剤が、10重量部以上100重量部以下で配合されていることが好ましい。   In the photosensitive resin composition solution of the present invention, the organic solvent is preferably blended in an amount of 10 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition.

この範囲内の感光性樹脂組成物溶液にすることで乾燥後の膜減り率が小さくなるので好ましい。   It is preferable to use a photosensitive resin composition solution within this range because the film reduction rate after drying becomes small.

<感光性樹脂組成物の製造方法>
この発明の感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂組成物に配合される各種原料を均一に混合して得られる。均一に混合する方法としては、例えば3本ロール、ビーズミル装置等の一般的な混練装置を用いて混合すればよい。また、溶液の粘度が低い場合には、一般的な攪拌装置を用いて混合してもよい。
<Method for producing photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention is obtained by uniformly mixing various raw materials blended in the photosensitive resin composition. As a method of uniformly mixing, for example, a general kneading apparatus such as a three roll or bead mill apparatus may be used for mixing. Moreover, when the viscosity of a solution is low, you may mix using a general stirring apparatus.

<感光性樹脂組成物の使用方法>
この発明の感光性樹脂組成物を直接に、もしくは、上記感光性樹脂組成物溶液を調整した後に、以下のようにしてパタ−ンを形成することができる。先ず上記の感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥して有機溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ−ン印刷、カ−テンロ−ル、リバ−スロ−ル、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜(好ましくは厚み:5〜100μm、特に10〜100μm)の乾燥は120℃以下、好ましくは40〜100℃で行う。乾燥後、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線などの活性光線を照射する。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりレリ−フパタ−ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、エッチング液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが好ましい。
<Usage method of photosensitive resin composition>
The pattern can be formed as follows, either directly with the photosensitive resin composition of the present invention or after preparing the photosensitive resin composition solution. First, the photosensitive resin composition is applied to a substrate and dried to remove the organic solvent. The substrate can be applied by screen printing, curtain roll, river roll, spray coating, spin coating using a spinner, or the like. Drying of the coating film (preferably thickness: 5 to 100 μm, particularly 10 to 100 μm) is performed at 120 ° C. or less, preferably 40 to 100 ° C. After drying, a negative photomask is placed on the dried coating film and irradiated with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, and electron beams. Next, the relief pattern can be obtained by washing out the unexposed portion with a developer using various methods such as shower, paddle, immersion, or ultrasonic wave. Since the time until the pattern is exposed varies depending on the spraying pressure and flow velocity of the developing device and the temperature of the etching solution, it is preferable to find optimal apparatus conditions as appropriate.

上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましく。この現像液には、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。上記のアルカリ性水溶液を与えるアルカリ性化合物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオンの、水酸化物または炭酸塩や炭酸水素塩、アミン化合物などが挙げられ、具体的には水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、N−メチルジエタノ−ルアミン、N−エチルジエタノ−ルアミン、N,N−ジメチルエタノ−ルアミン、トリエタノ−ルアミン、トリイソプロパノ−ルアミン、トリイソプロピルアミンなどを挙げることができ、水溶液が塩基性を呈するものであればこれ以外の化合物も当然使用することができる。本願発明の感光性樹脂組成物の現像工程に好適に用いることのできる、アルカリ性化合物の濃度は、0.01〜20重量%、特に好ましくは、0.02〜10重量%とすることが好ましい。また、現像液の温度は感光性樹脂組成物の組成や、アルカリ現像液の組成に依存しており、一般的には0℃以上80℃以下、より一般的には、10℃以上60℃以下で使用することが好ましい。   As the developer, an alkaline aqueous solution is preferably used. This developer may contain a water-soluble organic solvent such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, or N-methyl-2-pyrrolidone. Examples of the alkaline compound that gives the alkaline aqueous solution include hydroxides, carbonates, hydrogen carbonates, amine compounds, and the like of alkali metals, alkaline earth metals, or ammonium ions, specifically sodium hydroxide. , Potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, ammonium bicarbonate, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium Hydroxide, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N, N-dimethylethanolamine, triethanolamine, triisopropanolamine, trii Such as propylamine can be mentioned, the aqueous solution is a compound other than this as long as it exhibits basicity can also be naturally used. The concentration of the alkaline compound that can be suitably used in the development step of the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.01 to 20% by weight, particularly preferably 0.02 to 10% by weight. Further, the temperature of the developer depends on the composition of the photosensitive resin composition and the composition of the alkali developer, and is generally 0 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, more generally 10 ° C. or higher and 60 ° C. or lower. Is preferably used.

上記現像工程によって形成したレリ−フパタ−ンは、リンスして不用な残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。   The relief pattern formed by the development process is rinsed to remove unnecessary residues. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

次に、加熱処理を行うことによりイミド化したジカルボン酸とジアミンをイミド化させることにより、耐熱性に富む硬化膜を得ることができる。硬化膜は配線厚み等を考慮して決定されるが、厚みが2〜50μm程度であることが好ましい。このときの最終硬化温度は配線等の酸化を防ぎ、配線と基材との密着性を低下させないことを目的として低温で加熱してイミド化できることが望まれている。   Next, a cured film rich in heat resistance can be obtained by imidizing dicarboxylic acid and diamine imidized by heat treatment. Although a cured film is determined in consideration of wiring thickness etc., it is preferable that thickness is about 2-50 micrometers. In this case, it is desired that the final curing temperature can be imidized by heating at a low temperature for the purpose of preventing the oxidation of the wiring and the like and not reducing the adhesion between the wiring and the substrate.

このときにかけるイミド化温度は100℃以上250℃以下であることが好ましく、更に好ましくは120℃以上200℃以下であることが好ましく、特に好ましくは130℃以上190℃以下である。最終加熱温度が高くなると配線の酸化劣化が進むので好ましくない。   The imidization temperature applied at this time is preferably 100 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, and particularly preferably 130 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. If the final heating temperature is high, the wiring is oxidatively deteriorated, which is not preferable.

この発明の感光性樹脂組成物から形成した硬化膜からなるパタ−ンは、耐熱性、電気的及び機械的性質に優れており、特に柔軟性に優れている。例えば、この発明の絶縁膜は、好適には厚さ2〜50μm程度の膜厚で光硬化後少なくとも10μmまでの解像力、特に10〜1000μm程度の解像力のものである。このためこの発明の絶縁膜は高密度フレキシブル基板の絶縁材料として特に適しているのである。また更には、光硬化型の各種配線被覆保護剤、感光性の耐熱性接着剤、電線・ケーブル絶縁被膜、等に用いられる。   A pattern comprising a cured film formed from the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in heat resistance, electrical and mechanical properties, and particularly excellent in flexibility. For example, the insulating film of the present invention preferably has a thickness of about 2 to 50 μm and a resolution of at least 10 μm after photocuring, particularly a resolution of about 10 to 1000 μm. Therefore, the insulating film of the present invention is particularly suitable as an insulating material for a high-density flexible substrate. Furthermore, it is used for various photo-curing wiring coating protective agents, photosensitive heat-resistant adhesives, electric wire / cable insulation coatings, and the like.

このように低温加工性に優れることから、本願発明のポリイミド前駆体組成物は、例えば、基材としてポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アラミド樹脂等の樹脂からなるプリント配線板(フレキシブルプリント配線板を含む)を基材としてその表面を保護する為の配線被覆保護剤や、電線・ケーブルなどの配線被覆保護剤、フレキシブルプリント配線板を積層する際の耐熱性層間接着剤等に好ましく用いることができる。特に、電気絶縁信頼性に優れることから、プリント配線板用配線被覆保護剤として用いられる。   Thus, the polyimide precursor composition of the present invention is excellent in low-temperature processability, and the printed wiring board (including a flexible printed wiring board) made of a resin such as a polyimide resin, an epoxy resin, or an aramid resin as a base material, for example. It can preferably be used as a wiring coating protective agent for protecting the surface of the substrate as a base material, a wiring coating protective agent for electric wires and cables, a heat resistant interlayer adhesive when laminating a flexible printed wiring board, and the like. In particular, since it has excellent electrical insulation reliability, it is used as a wiring coating protective agent for printed wiring boards.

このようなプリント配線板の表面をコートする方法としては、上記の塗膜の製造方法と同様な方法を用いることで塗布することができる。   As a method of coating the surface of such a printed wiring board, it can apply | coat by using the method similar to the manufacturing method of said coating film.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン189gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
Example 1
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 189 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, 80 Kept at ℃. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を256g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。次いでこの溶液を、室温まで冷却し1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを45.1g(0.154mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で280ポイズであった。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. ) Was added in an amount of 256 g (0.308 mol) and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. Next, the solution was cooled to room temperature, charged with 45.1 g (0.154 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, and stirred uniformly for 1 hour at room temperature to obtain a polyimide precursor composition solution. It was. The solute concentration of this solution was 70% by weight, and the viscosity of the solution was 280 poise at 23 ° C.

ポリイミド前駆体組成物溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で280ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。   In order to confirm the storage stability of the polyimide precursor composition solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 280 poise at 23 ° C., and it was revealed that the viscosity was not changed and could be stored at room temperature for a long time.

(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)
上記ポリイミド前駆体組成物溶液を用いて、ベーカー式アプリケーターを用いて、75μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名75NPI)に最終乾燥厚みが25μmになるように流延・塗布し、120℃で60分乾燥した後、窒素雰囲気下160℃で90分加熱してイミド化を行った。
(Preparation of coating film on polyimide film)
Using the above-mentioned polyimide precursor composition solution, using a Baker type applicator, it was cast and applied to a 75 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Corporation: trade name 75 NPI) so that the final dry thickness was 25 μm, and 120 ° C. After drying for 60 minutes, imidization was performed by heating at 160 ° C. for 90 minutes in a nitrogen atmosphere.

(塗膜の接着性)
このポリイミドフィルムの接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。
碁盤目テープ法で剥がれの無いものを○、
升目の半分以上が残存している場合を△、
升目の残存量が半分未満のものを×とした。
(Adhesiveness of coating film)
The adhesive strength of this polyimide film was evaluated by a cross-cut tape method according to JIS K5400.
○ The one that does not peel off by the cross-cut tape method
△, if more than half of the cells remain
The case where the residual amount of the squares was less than half was marked with x.

(フィルムの耐環境試験安定性)
ポリイミドフィルムのイミド化が充分でないと、環境試験装置内での安定性が低下する。そのため、環境試験装置内での安定性を測定した。
環境試験装置は、エスペック株式会社製恒温高湿器 型式:PR−1Kを用いて85℃/85%RH 1000時間試験後のポリイミドフィルム上の塗膜の状態で判断した。
ポリイミド樹脂が変化無いものを〇、
ポリイミド樹脂が一部溶解しているものを△、
ポリイミド樹脂が完全に溶解しているもの×とした。
(Stability of environmental resistance test of film)
If the imidization of the polyimide film is not sufficient, the stability in the environmental test apparatus is lowered. Therefore, the stability in the environmental test apparatus was measured.
The environmental test apparatus was judged by the state of the coating film on the polyimide film after the 85 ° C./85% RH 1000 hour test using a constant temperature and high humidity device manufactured by ESPEC CORP. Model: PR-1K.
Yes, polyimide resin does not change
△, where the polyimide resin is partly dissolved
The polyimide resin was completely dissolved.

(耐薬品性)
ポリイミドフィルム表面の耐薬品性の評価を行った。評価方法は下記評価項目1〜3の評価条件でフィルムを浸漬した後にフィルム表面の状態を観察して評価を行った。
評価項目1:25℃のイソプロパノール中に10分浸漬した後、風乾した。
評価項目2:25℃の2Nの塩酸溶液中に10分間浸漬した後、純水で洗浄して風乾燥した。
評価項目3:25℃の2Nの水酸化ナトリウム溶液中に浸漬した後、純水で洗浄して風乾した。
ポリイミド樹脂が変化無いものを〇、
ポリイミド樹脂が一部溶解しているものを△、
ポリイミド樹脂が完全に溶解しているものを×とした。
(chemical resistance)
The chemical resistance of the polyimide film surface was evaluated. The evaluation method evaluated by observing the state of the film surface, after immersing a film on the evaluation conditions of the following evaluation items 1-3.
Evaluation item 1: After dipping in 25 ° C. isopropanol for 10 minutes, it was air-dried.
Evaluation item 2: After immersing in a 2N hydrochloric acid solution at 25 ° C. for 10 minutes, it was washed with pure water and air-dried.
Evaluation item 3: After dipping in a 2N sodium hydroxide solution at 25 ° C., it was washed with pure water and air-dried.
Yes, polyimide resin does not change
△, where the polyimide resin is partly dissolved
A sample in which the polyimide resin was completely dissolved was taken as x.

(屈曲性評価)
25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面にポリイミド樹脂溶液を最終フィルム厚みが25μmになるように塗布して、120℃で60分、160℃で90分乾燥してポリイミドフィルム積層体を得た。本ポリイミドフィルム積層体を30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで180°に10回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。
硬化膜にクラックが無いものを○、
硬化膜に若干クラックがあるものを△、
硬化膜にクラックがあるものを×とした。
上記の評価結果を表1に記載する。
(Flexibility evaluation)
A polyimide resin solution is applied to the surface of a 25 μm-thick polyimide film (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) so that the final film thickness is 25 μm, and dried at 120 ° C. for 60 minutes and at 160 ° C. for 90 minutes to obtain a polyimide film laminate. Got. This polyimide film laminate was cut into 30 mm × 10 mm strips, bent 10 times at 180 ° at 15 mm, and the coating film was visually confirmed to check for cracks.
○ that there is no crack in the cured film,
△ that there are some cracks in the cured film,
The case where there was a crack in the cured film was rated as x.
The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例2)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン181gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Example 2)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 181 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, 80 Kept at ℃. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を256g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。次いでこの溶液を、室温まで冷却しトリレンジイソシアネート(トリレン−2,4−ジイソシアネート80%とトリレン−2,6−ジイソシアネート20%との混合物)を26.8g(0.154mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で260ポイズであった。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. ) Was added in an amount of 256 g (0.308 mol) and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 26.8 g (0.154 mol) of tolylene diisocyanate (a mixture of 80% tolylene-2,4-diisocyanate and 20% tolylene-2,6-diisocyanate) was added at room temperature. Were mixed uniformly for 1 hour to obtain a polyimide precursor composition solution. The solution had a solute concentration of 70% by weight and a solution viscosity of 260 poise at 23 ° C.

ポリイミド前駆体組成物溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で260ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表1に記載する。
In order to confirm the storage stability of the polyimide precursor composition solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 260 poise at 23 ° C., and it was revealed that the viscosity was not changed and could be stored for a long time at room temperature.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例3)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン276gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名X−22−9409S、分子量1492、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Example 3)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 276 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, 80 Kept at ℃. Silicon diamine (siloxane diamine) (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: trade name X-22-9409S, molecular weight 1492, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1,Rがメチル基もしくはフェニル基、n=3、m=9〜12である。)を460g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。次いでこの溶液を、室温まで冷却し1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを45.1g(0.154mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で120ポイズであった。 In the formula, R 1 and R 2 are a methyl group or a phenyl group, n = 3, and m = 9 to 12. ) (460 g (0.308 mol)) was added and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. Next, the solution was cooled to room temperature, charged with 45.1 g (0.154 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, and stirred uniformly for 1 hour at room temperature to obtain a polyimide precursor composition solution. It was. The solute concentration of this solution was 70% by weight, and the viscosity of the solution was 120 poise at 23 ° C.

ポリイミド前駆体組成物溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で120ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表1に記載する。
In order to confirm the storage stability of the polyimide precursor composition solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 120 poise at 23 ° C., and it was revealed that the viscosity was not changed and could be stored at room temperature for a long time.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例4)
4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物55.0g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン178gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
Example 4
55.0 g (0.154 mol) of 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride was dispersed in 178 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and kept at 80 ° C. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を256g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。次いでこの溶液を、室温まで冷却し1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを45.1g(0.154mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で300ポイズであった。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. ) Was added in an amount of 256 g (0.308 mol) and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. Next, the solution was cooled to room temperature, charged with 45.1 g (0.154 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, and stirred uniformly for 1 hour at room temperature to obtain a polyimide precursor composition solution. It was. The solution had a solute concentration of 70% by weight and a solution viscosity of 300 poise at 23 ° C.

ポリイミド前駆体組成物溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で300ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表1に記載する。
In order to confirm the storage stability of the polyimide precursor composition solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 300 poise at 23 ° C., and it was revealed that the viscosity was not changed and could be stored for a long time at room temperature.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例5)
4,4’―オキシジフタル酸二無水物47.8g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン175gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Example 5)
47.8 g (0.154 mol) of 4,4′-oxydiphthalic dianhydride was dispersed in 175 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and kept at 80 ° C. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を256g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。次いでこの溶液を、室温まで冷却し1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを45.1g(0.154mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で250ポイズであった。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. ) Was added in an amount of 256 g (0.308 mol) and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. Next, the solution was cooled to room temperature, charged with 45.1 g (0.154 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, and stirred uniformly for 1 hour at room temperature to obtain a polyimide precursor composition solution. It was. The solution had a solute concentration of 70% by weight and a solution viscosity of 250 poise at 23 ° C.

ポリイミド前駆体組成物溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で250ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表1に記載する。
In order to confirm the storage stability of the polyimide precursor composition solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 250 poise at 23 ° C., and it became clear that it could be stored at room temperature for a long time without any change in viscosity.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例6)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン235gに分散し、80℃に保った。これにポリカーボネートジオールビス(4−アミノベンゾエート)(下記一般式(10)で表されるジアミンであり、
(Example 6)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 235 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, and 80 Kept at ℃. This is polycarbonate diol bis (4-aminobenzoate) (a diamine represented by the following general formula (10),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中の、Rは、ヘキサメチレン基、Rはペンタメチレン基であり、o、p=1〜20であり、分子量1180)を363g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。次いでこの溶液を、室温まで冷却し1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを45.1g(0.154mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で180ポイズであった。 In the formula, R 3 is a hexamethylene group, R 4 is a pentamethylene group, o, p = 1 to 20, 363 g (0.308 mol) of molecular weight 1180) is charged, and uniform stirring is performed for 30 minutes. It was. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. Next, the solution was cooled to room temperature, charged with 45.1 g (0.154 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, and stirred uniformly for 1 hour at room temperature to obtain a polyimide precursor composition solution. It was. The solution had a solute concentration of 70% by weight and a solution viscosity of 180 poise at 23 ° C.

ポリイミド前駆体組成物溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で180ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表1に記載する。
In order to confirm the storage stability of the polyimide precursor composition solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 180 poise at 23 ° C., and it was revealed that the viscosity was not changed and could be stored for a long time at room temperature.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(実施例7)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン173gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Example 7)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 173 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, 80 Kept at ℃. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を205g(0.246mol)投入し、更に、3,3’−ジアミノジフェニルスルホンを15.2g(0.062mol)投入して、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。次いでこの溶液を、室温まで冷却し1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを45.1g(0.154mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で320ポイズであった。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. ) Was added in an amount of 205 g (0.246 mol), and 15.2 g (0.062 mol) of 3,3′-diaminodiphenylsulfone was further added, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. Next, the solution was cooled to room temperature, charged with 45.1 g (0.154 mol) of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, and stirred uniformly for 1 hour at room temperature to obtain a polyimide precursor composition solution. It was. The solution had a solute concentration of 70% by weight and a solution viscosity of 320 poise at 23 ° C.

ポリイミド前駆体組成物溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で320ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表1に記載する。
In order to confirm the storage stability of the polyimide precursor composition solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 320 poise at 23 ° C., and it became clear that it could be stored at room temperature for a long time without any change in viscosity.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

(比較例1)
ヘキサメチレンジアミン2.73g(23.5mmol)をジメチルアセトアミド24.0gに溶解し、これに3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物3.78g(11.75mmol)を30分間にわたり徐々に加え、ポリアミド結合を持ったオリゴマーを得た。1時間均一攪拌した後、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸3.02g(9.40mmol)を加え1時間撹拌を続けたところ、粘調な溶液が得られた(溶質濃度28重量%)。この溶液の粘度を測定したところ、3100ポイズであった。
(Comparative Example 1)
2.73 g (23.5 mmol) of hexamethylenediamine was dissolved in 24.0 g of dimethylacetamide, and 3.78 g (11.75 mmol) of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride was added thereto. Gradually added over a minute to obtain an oligomer with polyamide linkages. After stirring uniformly for 1 hour, 3.02 g (9.40 mmol) of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid was added and stirring was continued for 1 hour to obtain a viscous solution (solute concentration) 28% by weight). When the viscosity of this solution was measured, it was 3100 poise.

溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で300ポイズであり、粘度変化が大きく貯蔵安定性に問題があった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表2に記載する。
In order to confirm the storage stability of the solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 300 poise at 23 ° C., the viscosity change was large, and there was a problem in storage stability.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

(比較例2)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン183gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Comparative Example 2)
200 g (0.384 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 183 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and heated to 80 ° C. Kept. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1,Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を128g(0.154mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。反応終了後、室温まで冷却しメタノールを49.3g(1.54mol)投入した。均一に30分間攪拌した後、80℃に加熱して3時間加熱還流を行った。このようにして末端のカルボン酸がハーフエステル化されたイミド溶液を得た。次いで溶液を、室温まで冷却してビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホンを99.7g(0.230mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で120ポイズであった。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. 128 g (0.154 mol) was added and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. After completion of the reaction, the reaction solution was cooled to room temperature and 49.3 g (1.54 mol) of methanol was added. After stirring uniformly for 30 minutes, the mixture was heated to 80 ° C. and refluxed for 3 hours. Thus, an imide solution in which the terminal carboxylic acid was half-esterified was obtained. Next, the solution was cooled to room temperature, charged with 99.7 g (0.230 mol) of bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, and stirred uniformly at room temperature for 1 hour to obtain a polyimide precursor composition solution. Obtained. The solute concentration of this solution was 70% by weight, and the viscosity of the solution was 120 poise at 23 ° C.

溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で120ポイズであり、粘度変化が無く室温で長期間保存可能であることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表2に記載する。
In order to confirm the storage stability of the solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 120 poise at 23 ° C., and it was revealed that the viscosity was not changed and could be stored at room temperature for a long time.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

耐環境試験安定性が悪く、耐溶剤性、耐アルカリ性が悪いことが明らかになった。   It became clear that the stability of the environmental resistance test was poor and the solvent resistance and alkali resistance were poor.

(比較例3)
4,4’−ジアミノジフェニルエーテル8.22g(41.1mmol)をN,N−ジメチルアセトアミド55.0gに溶解し、室温下で攪拌した。これにピロメリット酸二無水物11.9g(54.8mmol)を添加して、室温下で2時間攪拌した。メタノールを1.32g(41.1mmol)及びジメチルアミノエタノール0.066gを加えて、70℃湯浴上で2時間加熱攪拌した。室温まで冷却した後、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル2.74g(13.7mmol)を加え、更に1時間攪拌を続けたところ、均一な溶液が得られた。この溶液の粘度は23℃で18ポイズであった。
(Comparative Example 3)
8.22 g (41.1 mmol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether was dissolved in 55.0 g of N, N-dimethylacetamide and stirred at room temperature. To this was added 11.9 g (54.8 mmol) of pyromellitic dianhydride, and the mixture was stirred at room temperature for 2 hours. 1.32 g (41.1 mmol) of methanol and 0.066 g of dimethylaminoethanol were added, and the mixture was heated and stirred on a 70 ° C. hot water bath for 2 hours. After cooling to room temperature, 2.74 g (13.7 mmol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether was added, and stirring was further continued for 1 hour to obtain a uniform solution. The viscosity of this solution was 18 poise at 23 ° C.

溶液の貯蔵安定性を確認する為に、20℃に保った部屋の中で、10mlのスクリュー管で密封した状態で1ヶ月間放置し、1ヶ月後の粘度を測定した。そのときの粘度が23℃で50ポイズであり、室温での貯蔵安定性に問題があることが明らかになった。
更に、ポリイミド前駆体組成物から得られる硬化被膜の特性を実施例1と同様の方法で行った。その評価結果を表2に記載する。
In order to confirm the storage stability of the solution, it was left for 1 month in a room kept at 20 ° C. and sealed with a 10 ml screw tube, and the viscosity after 1 month was measured. The viscosity at that time was 50 poise at 23 ° C., and it became clear that there was a problem in storage stability at room temperature.
Furthermore, the characteristic of the cured film obtained from a polyimide precursor composition was performed by the same method as Example 1. The evaluation results are shown in Table 2.

(比較例4)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン183gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Comparative Example 4)
200 g (0.384 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 183 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and heated to 80 ° C. Kept. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1,Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を128g(0.154mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。室温まで冷却し水を27.7g(1.54mol)投入した。均一に30分間攪拌した後、80℃に加熱して3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したテトラカルボン酸を溶解した溶液を得た。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. 128 g (0.154 mol) was added and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. After cooling to room temperature, 27.7 g (1.54 mol) of water was added. After stirring uniformly for 30 minutes, the mixture was heated to 80 ° C. and refluxed for 3 hours. A solution in which the imidized tetracarboxylic acid was dissolved was obtained.

上記、ジアミンを含まないイミド化したテトラカルボン酸を溶解した溶液を実施例1と同様の方法で評価を行った。その結果を表2に記載する。   The solution obtained by dissolving the imidized tetracarboxylic acid containing no diamine was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are listed in Table 2.

(比較例5)
ピロメリット酸二無水物 7.00g(32.1mmol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン31.3gに分散して、水 2.31gを添加して、80℃で10時間攪拌して、ピロメリット酸溶液を得た。この溶液に、4,4−ジアミノジフェニルエーテル6.43g(32.1mmol)を添加して溶液を調製した。
(Comparative Example 5)
Disperse 7.00 g (32.1 mmol) of pyromellitic dianhydride in 31.3 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, add 2.31 g of water, and stir at 80 ° C. for 10 hours. As a result, a pyromellitic acid solution was obtained. To this solution, 6.43 g (32.1 mmol) of 4,4-diaminodiphenyl ether was added to prepare a solution.

この溶液を実施例1と同様の評価方法でフィルム化を試みたが、ポリイミドフィルム表面で固化してしまい、膜状にはならなかった。   Although this solution was tried to form a film by the same evaluation method as in Example 1, it was solidified on the surface of the polyimide film and did not become a film.

(比較例6)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン183gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Comparative Example 6)
200 g (0.384 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 183 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and heated to 80 ° C. Kept. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1,Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を128g(0.154mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。室温まで冷却して、水を添加することなく、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホンを99.7g(0.230mol)投入して室温下で1時間均一攪拌を行いポリイミド前駆体組成物溶液を得た。この溶液の溶質濃度は70重量%、溶液の粘度は23℃で10000ポイズ以上の高粘度弾性体になった。この溶液を溶質濃度が20重量%になるように希釈しても、23℃で6000ポイズと非常に高粘度の溶液となり、物性値の評価できない溶液となった。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. 128 g (0.154 mol) was added and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. After cooling to room temperature, without adding water, 99.7 g (0.230 mol) of bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone was added and stirred uniformly for 1 hour at room temperature to obtain a polyimide precursor. A composition solution was obtained. The solution had a solute concentration of 70% by weight, and the viscosity of the solution became a high-viscosity elastic body at 10000 poise at 23 ° C. Even when this solution was diluted to a solute concentration of 20% by weight, it became a very viscous solution of 6000 poise at 23 ° C., and the physical property value could not be evaluated.

(合成例1)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン189gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Synthesis Example 1)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 189 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, 80 Kept at ℃. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を256g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。この溶液の溶質濃度は66重量%、溶液の粘度は23℃で210ポイズであった。この末端カルボン酸溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成した化合物を化合物Aと略す。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. ) Was added in an amount of 256 g (0.308 mol) and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. The solution had a solute concentration of 66% by weight and a solution viscosity of 210 poise at 23 ° C. This terminal carboxylic acid solution was a stable solution with almost no change in viscosity even when left at room temperature for 1 month. This synthesized compound is abbreviated as Compound A.

(合成例2)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン276gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名X−22−9409S、分子量1492、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Synthesis Example 2)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 276 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, 80 Kept at ℃. Silicon diamine (siloxane diamine) (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: trade name X-22-9409S, molecular weight 1492, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1,Rがメチル基もしくはフェニル基、n=3、m=9〜12である。)を460g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。この溶液の溶質濃度は66重量%、溶液の粘度は23℃で120ポイズであった。この末端カルボン酸溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成した化合物を化合物Bと略す。 In the formula, R 1 and R 2 are a methyl group or a phenyl group, n = 3, and m = 9 to 12. ) (460 g (0.308 mol)) was added and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. The solution had a solute concentration of 66% by weight and a solution viscosity of 120 poise at 23 ° C. This terminal carboxylic acid solution was a stable solution with almost no change in viscosity even when left at room temperature for 1 month. This synthesized compound is abbreviated as Compound B.

(合成例3)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン235gに分散し、80℃に保った。これにポリカーボネートジオールビス(4−アミノベンゾエート)(下記一般式(10)で表されるジアミンであり、
(Synthesis Example 3)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 235 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, and 80 Kept at ℃. This is polycarbonate diol bis (4-aminobenzoate) (a diamine represented by the following general formula (10),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中の、Rは、ヘキサメチレン基、Rはペンタメチレン基であり、o、p=1〜20であり、分子量1180)を363g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。この溶液の溶質濃度は66重量%、溶液の粘度は23℃で150ポイズであった。この末端カルボン酸溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成した化合物を化合物Cと略す。 In the formula, R 3 is a hexamethylene group, R 4 is a pentamethylene group, o, p = 1 to 20, 363 g (0.308 mol) of molecular weight 1180) is charged, and uniform stirring is performed for 30 minutes. It was. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. The solute concentration of this solution was 66% by weight, and the viscosity of the solution was 150 poise at 23 ° C. This terminal carboxylic acid solution was a stable solution with almost no change in viscosity even when left at room temperature for 1 month. This synthesized compound is abbreviated as Compound C.

(合成例4)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物80.2g(0.154mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン173gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Synthesis Example 4)
80.2 g (0.154 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 173 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, 80 Kept at ℃. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を205g(0.246mol)投入し、更に、3,3’−ジアミノジフェニルスルホンを15.2g(0.062mol)投入して、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジアミン溶液を得た。次いで、この溶液を、室温まで冷却し、トリメリット酸無水物59.2g(0.308mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。このようにしてイミド化したジカルボン酸(末端カルボン酸シロキサンイミドオリゴマー)を溶解した溶液を得た。この溶液の溶質濃度は66重量%、溶液の粘度は23℃で280ポイズであった。の末端カルボン酸溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成した化合物を化合物Dと略す。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. ) Was added in an amount of 205 g (0.246 mol), and 15.2 g (0.062 mol) of 3,3′-diaminodiphenylsulfone was further added, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. Thus, an imidized diamine solution was obtained. Next, this solution was cooled to room temperature, and 59.2 g (0.308 mol) of trimellitic anhydride was added thereto, followed by uniform stirring for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. A solution in which the imidized dicarboxylic acid (terminal carboxylic acid siloxane imide oligomer) was dissolved was obtained. The solute concentration of this solution was 66% by weight, and the viscosity of the solution was 280 poise at 23 ° C. The terminal carboxylic acid solution was a stable solution with little change in viscosity even when it was allowed to stand at room temperature for 1 month. This synthesized compound is abbreviated as Compound D.

(合成例5)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン183gに分散し、80℃に保った。これにシリコンジアミン(シロキサンジアミン)(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、下記一般式(9)のシリコンジアミン、
(Synthesis Example 5)
200 g (0.384 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is dispersed in 183 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and heated to 80 ° C. Kept. Silicon diamine (siloxane diamine) (trade name: KF8010, molecular weight 830, silicon diamine of the following general formula (9),

Figure 2009280661
Figure 2009280661

式中R1,Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を128g(0.154mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間攪拌を行い、反応を終了させた後、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行った。反応終了後、室温まで冷却しメタノールを49.3g(1.54mol)投入した。均一に30分間攪拌した後、80℃に加熱して3時間加熱還流を行った。このようにして末端のカルボン酸がハーフエステル化されたイミド溶液を得た。この溶液の溶質濃度は66重量%、溶液の粘度は23℃で140ポイズであった。の末端カルボン酸溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成した化合物を化合物Eと略す。 In the formula, R 1 and R 2 are methyl groups, n = 3, and m = 6 to 11. 128 g (0.154 mol) was added and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred for 1 hour to complete the reaction, and then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours. After completion of the reaction, the reaction solution was cooled to room temperature and 49.3 g (1.54 mol) of methanol was added. After stirring uniformly for 30 minutes, the mixture was heated to 80 ° C. and refluxed for 3 hours. Thus, an imide solution in which the terminal carboxylic acid was half-esterified was obtained. The solute concentration of this solution was 66% by weight, and the viscosity of the solution was 140 poise at 23 ° C. The terminal carboxylic acid solution was a stable solution with little change in viscosity even when it was allowed to stand at room temperature for 1 month. This synthesized compound is abbreviated as Compound E.

(実施例8〜11)
合成例1〜4で得られた末端テトラカルボン酸(表3においては(A)成分と表す。)にジアミン及び/又はイソシアネート系化合物(表3においては(B)成分と表す。)、感光性樹脂(表3においては(C)成分と表す。)、光重合開始剤(表3においては(D)成分と表す。)、有機溶剤を添加して感光性樹脂組成物溶液を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表3に記載する。なお、表中の溶媒である1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタンは上記感光性樹脂組成物溶液等に含まれる溶剤等も含めた全溶剤量である。
(Examples 8 to 11)
The terminal tetracarboxylic acid obtained in Synthesis Examples 1 to 4 (represented as (A) component in Table 3), diamine and / or isocyanate compound (represented as (B) component in Table 3), and photosensitivity. A resin (represented as component (C) in Table 3), a photopolymerization initiator (represented as component (D) in Table 3), and an organic solvent were added to prepare a photosensitive resin composition solution. Table 3 shows the blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the kind of the raw material. In addition, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, which is a solvent in the table, is the total amount of solvent including the solvent and the like contained in the photosensitive resin composition solution.

感光性樹脂組成物ははじめに一般的な攪拌翼のついた攪拌装置で混合し、その溶液を3本ロールミルで2回パスし均一な溶液とした。混合溶液を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して下記評価を実施した。
評価結果を表4に示す。
The photosensitive resin composition was first mixed with a general stirring device equipped with a stirring blade, and the solution was passed twice with a three-roll mill to obtain a uniform solution. The following evaluation was carried out by completely defoaming the foam in the solution with a defoaming device.
The evaluation results are shown in Table 4.

(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)
上記感光性樹脂組成物溶液を、ベーカー式アプリケーターを用いて、75μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名75NPI)に最終乾燥厚みが25μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した。この乾燥フィルムは10枚用意した。9枚は50mm×50mmの面積が完全に透明な、ネガ型のフォトマスクをおいて、1枚には、ライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスク(30mm長さ×100μm幅のラインが10本残るフォトマスク)を置いて窒素雰囲気下で紫外線を300mJ/cm露光して感光させた。この感光フィルムに対し、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mmの吐出圧で30秒間、スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、170℃のオーブン中で60分加熱乾燥させて感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。
(Preparation of coating film on polyimide film)
The above photosensitive resin composition solution is cast and coated on a 75 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Co., Ltd .: trade name 75 NPI) using a Baker type applicator to an area of 100 mm × 100 mm so that the final dry thickness is 25 μm. And dried at 80 ° C. for 20 minutes. Ten sheets of this dry film were prepared. Nine sheets have a negative photomask with a completely transparent area of 50 mm × 50 mm, and one sheet has a negative photomask with a line width / space width = 100 μm / 100 μm (30 mm length × 100 μm width). A photomask with 10 lines left) was placed and exposed to UV light at 300 mJ / cm 2 in a nitrogen atmosphere. This photosensitive film was subjected to spray development for 30 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 1.0 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After development, the film was thoroughly washed with pure water, and then dried by heating in an oven at 170 ° C. for 60 minutes to prepare a cured film of the photosensitive resin composition.

(感光性評価)
感光性樹脂組成物の感光性の評価は、上記(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)の項目で得られた硬化膜の表面観察を行い判定した。
ポリイミドフィルム表面に
〇:くっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けており、ライン部の剥離に伴うラインの揺れが発生しておらず、スペース部にも溶解残りが無いもの。
△:くっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けており、ライン部に剥離に伴うラインの揺れが発生しているが、スペース部には溶解残りが無いもの。
×:くっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けておらず、ライン部が剥離しており、しかも、スペース部には溶解残りが発生しているもの。
(Photosensitivity evaluation)
The evaluation of the photosensitivity of the photosensitive resin composition was determined by observing the surface of the cured film obtained in the above item (Preparation of coating film on polyimide film).
◯: Clear line width / space width = 100/100 μm photosensitive pattern is drawn on the polyimide film surface, no line shaking occurs due to peeling of the line part, and there is no residual residue in the space part thing.
Δ: A clear photosensitive pattern having a line width / space width = 100/100 μm is drawn, and the line portion is shaken due to peeling, but there is no undissolved residue in the space portion.
X: A clear line width / space width = 100/100 μm photosensitive pattern was not drawn, the line portion was peeled off, and a dissolution residue was generated in the space portion.

(塗膜の密着性)
上記(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。
○:碁盤目テープ法で剥がれの無いもの。
△:升目の95%以上が残存しているもの。
×:升目の残存量が80%未満のもの。
(Coating film adhesion)
The adhesive strength of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (Preparation of coating film on polyimide film) was evaluated by a cross-cut tape method according to JIS K5400.
○: No peeling by cross-cut tape method.
Δ: 95% or more of the cells remain.
X: The remaining amount of the mesh is less than 80%.

(耐溶剤性)
上記(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の耐溶剤性の評価を行った。評価方法は25℃のイソプロパノール中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常がない。
×:塗膜に異常が発生する。
(Solvent resistance)
The solvent resistance of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (preparation of coating film on polyimide film) was evaluated. In the evaluation method, the film was dipped in isopropanol at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
○: There is no abnormality in the coating film.
X: Abnormality occurs in the coating film.

(耐酸性)
上記(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の耐酸性の評価を行った。評価方法は25℃の2N塩酸溶液中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常(白化もしくは剥離)がないもの。
×:塗膜に異常(白化もしくは剥離)が発生する。
(Acid resistance)
The acid resistance of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (Preparation of coating film on polyimide film) was evaluated. In the evaluation method, the film was immersed in a 2N hydrochloric acid solution at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
○: The coating film has no abnormality (whitening or peeling).
X: Abnormality (whitening or peeling) occurs in the coating film.

(耐アルカリ性)
上記(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の耐アルカリ性の評価を行った。評価方法は25℃の2N水酸化ナトリウム溶液中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常(白化もしくは剥離)がない。
×:塗膜に異常(白化もしくは剥離)が発生する。
(Alkali resistance)
The alkali resistance of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (preparation of coating film on polyimide film) was evaluated. In the evaluation method, the film was dipped in a 2N sodium hydroxide solution at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
○: There is no abnormality (whitening or peeling) in the coating film.
X: Abnormality (whitening or peeling) occurs in the coating film.

(屈曲性)
上記(ポリイミドフィルム上への塗膜の作製)の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。硬化膜積層フィルムを30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで180°に10回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。
○:硬化膜にクラックが無いもの。
△:硬化膜に若干クラックがあるもの。
×:硬化膜にクラックがあるもの。
(Flexibility)
A cured film laminated film of a photosensitive resin composition was prepared on the surface of a 25 μm-thick polyimide film (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as the above item (Preparation of a coating film on a polyimide film). The cured film laminated film was cut into a 30 mm × 10 mm strip, bent 10 times at 180 ° at 15 mm, and the coating film was visually confirmed to check for cracks.
○: The cured film has no cracks.
Δ: The cured film has some cracks.
X: The cured film has cracks.

(耐湿絶縁性)
フレキシブル銅貼り積層版(銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製アピカル25NPI、ポリイミド系接着剤で銅箔を接着している)上にライン幅/スペース幅=100μm/100μmの櫛形パターンを作製し、10容量%の硫酸水溶液中に1分間浸漬した後、純水で洗浄し銅箔の表面処理を行った。その後、ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製方法と同様の方法で櫛形パターン上に感光性樹脂組成物の硬化膜を作製し試験片の調整を行った。85℃、85%RHの環境試験機中で試験片の両端子部分に100Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗値の変化やマイグレーションの発生などを観察した。
○:試験開始後、500時間で10の6乗以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの。
×:試験開始後、500時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの。
(Moisture resistance)
A comb-shaped pattern of line width / space width = 100 μm / 100 μm on a flexible copper-clad laminate (copper foil thickness 12 μm, polyimide film is Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Corporation, and polyimide adhesive is used to bond copper foil) After being prepared and immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, the surface of the copper foil was treated by washing with pure water. Then, the cured film of the photosensitive resin composition was produced on the comb pattern by the method similar to the production method of the cured film on a polyimide film, and the test piece was adjusted. A 100 V direct current was applied to both terminals of the test piece in an environmental test machine at 85 ° C. and 85% RH, and changes in the insulation resistance value and occurrence of migration were observed.
◯: A resistance value of 10 6 or more in 500 hours after the start of the test, and no occurrence of migration or dendrite.
X: Migration, dendrite, etc. occurred in 500 hours after the start of the test.

(実施例12)
上記実施例8の感光性樹脂組成物の固形分100重量部に対して、エポキシ樹脂(クレゾールノボラック型の多官能エポキシ樹脂であるエピクロンN―665)を5重量部投入した以外は、実施例8と同様の方法で評価を行った。更に、半田耐熱性の試験として、下記評価方法で評価を行った。評価結果を表4に示す。
Example 12
Example 8 except that 5 parts by weight of an epoxy resin (Epicron N-665, which is a cresol novolac type polyfunctional epoxy resin) was added to 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition of Example 8 above. The evaluation was performed in the same manner as above. Further, as a solder heat resistance test, evaluation was performed by the following evaluation method. The evaluation results are shown in Table 4.

(半田耐熱性)
感光性樹脂組成物溶液を、ベーカー式アプリケーターを用いて、75μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名75NPI)に最終乾燥厚みが25μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した後、50mm×50mmの面積が完全に透明なネガ型フォトマスクを置いて窒素雰囲気下で紫外線を300mJ/cm露光して感光させた。この感光フィルムに対し、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mmの吐出圧で30秒間、スプレー現像を行った。現像後、純粋で十分洗浄した後、170℃のオーブン中で60分加熱乾燥させて感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。
(Solder heat resistance)
The photosensitive resin composition solution is cast and applied to an area of 100 mm × 100 mm on a 75 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Corporation: trade name 75 NPI) using a Baker type applicator so that the final dry thickness is 25 μm. After drying at 80 ° C. for 20 minutes, a negative photomask having a completely transparent area of 50 mm × 50 mm was placed and exposed to UV light at 300 mJ / cm 2 in a nitrogen atmosphere. This photosensitive film was subjected to spray development for 30 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 1.0 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After the development, it was washed purely and sufficiently, and then dried by heating in an oven at 170 ° C. for 60 minutes to prepare a cured film of the photosensitive resin composition.

上記塗工膜を260℃で完全に溶解してある半田浴に感光性樹脂組成物の硬化膜が塗工してある面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、硬化膜の接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。
○:碁盤目テープ法で剥がれの無いもの。
△:升目の95%以上が残存しているもの。
×:升目の残存量が80%未満のもの。
The coated film was floated so that the surface coated with the cured film of the photosensitive resin composition was in contact with a solder bath completely dissolved at 260 ° C., and then pulled up 10 seconds later. The operation was performed three times, and the adhesive strength of the cured film was evaluated by a cross-cut tape method according to JIS K5400.
○: No peeling by cross-cut tape method.
Δ: 95% or more of the cells remain.
X: The remaining amount of the mesh is less than 80%.

(実施例13)
上記実施例9の感光性樹脂組成物の固形分100重量部に対して、エポキシ樹脂(クレゾールノボラック型の多官能エポキシ樹脂であるエピクロンN―665)を5重量部投入した以外は、実施例8と同様の方法で評価を行った。更に、半田耐熱性の試験として、実施例12と同様の評価方法で評価を行った。評価結果を表4に示す。
(Example 13)
Example 8 except that 5 parts by weight of an epoxy resin (Epicron N-665, which is a cresol novolac type polyfunctional epoxy resin) was added to 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition of Example 9 above. The evaluation was performed in the same manner as above. Furthermore, as a solder heat resistance test, evaluation was performed by the same evaluation method as in Example 12. The evaluation results are shown in Table 4.

(比較例7)
合成例5で得られたハーフエステル化した化合物を用いた以外は実施例8と同様の方法で感光性樹脂組成物溶液を作製し、実施例8と同様の方法で評価を行った。評価結果を表4に示す。イミド化が充分には進んでおらず、耐湿絶縁性の非常に悪いものになった。
(Comparative Example 7)
A photosensitive resin composition solution was prepared in the same manner as in Example 8 except that the half-esterified compound obtained in Synthesis Example 5 was used, and evaluation was performed in the same manner as in Example 8. The evaluation results are shown in Table 4. The imidization did not proceed sufficiently, and the moisture resistance insulation was very poor.

Figure 2009280661
Figure 2009280661

Figure 2009280661
Figure 2009280661

Figure 2009280661
Figure 2009280661

※1 トリレン−2,4−ジイソシアネート80%とトリレン−2,6−ジイソシアネート20%との混合物
※2 東亜合成社製 製品名M−5710(2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート)
※3 新中村化学社製 ビスフェノールA EO変性ジアクリレート 分子量が1684
※4 チバ・スペシャルティーケミカルズ社製 光重合開始剤
* 1 Mixture of 80% tolylene-2,4-diisocyanate and 20% tolylene-2,6-diisocyanate * 2 Product name M-5710 (2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate) manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.
* 3 Bisphenol A EO-modified diacrylate manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., molecular weight 1684
* 4 Photopolymerization initiator manufactured by Ciba Specialty Chemicals

Figure 2009280661
Figure 2009280661

Claims (14)

少なくとも下記一般式(1)
Figure 2009280661
(式中、Rは4価の有機基を示し、R’はそれぞれ独立して、2価の有機基を示し、R''はそれぞれ独立して、3価の有機基を示し、lは1〜20の整数を示す。)
に示すイミド化したジカルボン酸と、下記一般式(2)
Figure 2009280661
(式中、R'''は2価の有機基を示す。)
に示されるジアミン及び/又はイソシアネート系化合物とを含むことを特徴とする、ポリイミド前駆体組成物。
At least the following general formula (1)
Figure 2009280661
(Wherein R represents a tetravalent organic group, R ′ independently represents a divalent organic group, R ″ each independently represents a trivalent organic group, and 1 represents 1 Represents an integer of ~ 20.)
And an imidized dicarboxylic acid represented by the following general formula (2)
Figure 2009280661
(In the formula, R ′ ″ represents a divalent organic group.)
The polyimide precursor composition characterized by including the diamine and / or isocyanate type compound shown by these.
前記一般式(1)におけるRは、下記一般式群(1)
Figure 2009280661
より選ばれる4価の有機基であることを特徴とする請求項1記載のポリイミド前駆体組成物。
R in the general formula (1) represents the following general formula group (1)
Figure 2009280661
The polyimide precursor composition according to claim 1, wherein the polyimide precursor composition is a tetravalent organic group.
前記一般式(1)におけるR'は、下記一般式群(2)
Figure 2009280661
(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。)
で示される2価の有機基を少なくとも含むことを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載のポリイミド前駆体組成物。
R ′ in the general formula (1) represents the following general formula group (2)
Figure 2009280661
(In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)
The polyimide precursor composition according to claim 1, comprising at least a divalent organic group represented by the formula:
前記一般式(2)におけるR'''は、下記一般式群(3)
Figure 2009280661
(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。)
より選ばれる2価の有機基であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミド前駆体組成物。
R ′ ″ in the general formula (2) represents the following general formula group (3)
Figure 2009280661
(In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)
The polyimide precursor composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the polyimide precursor composition is a divalent organic group selected from the above.
請求項1〜4のいずれか1項に記載のポリイミド前駆体組成物を40〜90重量%の溶質濃度に溶解して得られるポリイミド前駆体組成物溶液。   The polyimide precursor composition solution obtained by melt | dissolving the polyimide precursor composition of any one of Claims 1-4 in the solute concentration of 40 to 90 weight%. 請求項1〜4のいずれか1項に記載のポリイミド前駆体組成物または請求項5に記載のポリイミド前駆体組成物溶液から得られるポリイミド塗膜。   The polyimide coating film obtained from the polyimide precursor composition of any one of Claims 1-4, or the polyimide precursor composition solution of Claim 5. 請求項1〜4のいずれか1項に記載のポリイミド前駆体組成物または請求項5に記載のポリイミド前駆体組成物溶液をプリント配線板に塗工し、加熱してイミド化して得られるポリイミド塗膜付きプリント配線板。   A polyimide coating obtained by applying the polyimide precursor composition according to any one of claims 1 to 4 or the polyimide precursor composition solution according to claim 5 to a printed wiring board and imidizing by heating. Printed wiring board with film. 請求項1〜4のいずれか1項に記載のポリイミド前駆体組成物と、少なくとも感光性樹脂、及び、光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition comprising the polyimide precursor composition according to claim 1, at least a photosensitive resin, and a photopolymerization initiator. 下記一般式(3)
Figure 2009280661
(式中、Rは4価の有機基を示す。)
に示すテトラカルボン酸二無水物と、
下記一般式(4)
Figure 2009280661
(式中、R’は2価の有機基を示す。)
に示すジアミンとを、
一般式(3)に示すテトラカルボン酸二無水物1モルに対して一般式(4)に示すジアミン1.50〜2.50モルの比率で反応を行いアミド酸を得る工程(1)、前記アミド酸をイミド化し、
下記一般式(5)
Figure 2009280661
(式中、Rは4価の有機基を示し、R’はそれぞれ独立して、2価の有機基を示し、lは1〜20の整数を示す。)
に示す内部がイミド化したジアミンを得る工程、及び
下記一般式(6)
Figure 2009280661
(式中、R''は3価の有機基を示す。)
に示すトリカルボン酸無水物と、一般式(5)に示すイミド化したジアミンとを、
一般式(6)に示すトリカルボン酸無水物1モルに対して一般式(5)に示すイミド化したジアミン0.20〜0.80モルの比率で反応を行いアミド酸を得る工程(2)、前記アミド酸をイミド化し、内部がイミド化しており、末端がジカルボン酸である、イミド化したジカルボン酸を得る工程を含み、
さらに、前記工程で得たイミド化したジカルボン酸と、
下記一般式(2)
Figure 2009280661
(式中、R'''は2価の有機基を示す。)
に示すジアミン及び/又はイソシアネート系化合物とを、イミド化したジカルボン酸1モルに対して、ジアミン及び/又はイソシアネート系化合物を、前記アミド酸を得る工程(2)で用いた一般式(5)に示すイミド化したジアミンとあわせた合計の比率が、0.70モル〜1.30モルとなる比率で、混合する工程を含むことを特徴とする、ポリイミド前駆体組成物の製造方法。
The following general formula (3)
Figure 2009280661
(In the formula, R represents a tetravalent organic group.)
A tetracarboxylic dianhydride shown in
The following general formula (4)
Figure 2009280661
(In the formula, R ′ represents a divalent organic group.)
A diamine shown in
The step (1) of obtaining an amic acid by reacting at a ratio of 1.50 to 2.50 mol of the diamine shown in the general formula (4) with respect to 1 mol of tetracarboxylic dianhydride shown in the general formula (3), Imidize amic acid,
The following general formula (5)
Figure 2009280661
(In the formula, R represents a tetravalent organic group, R ′ independently represents a divalent organic group, and l represents an integer of 1 to 20.)
And a step of obtaining a diamine in which the inside is imidized, and the following general formula (6)
Figure 2009280661
(In the formula, R ″ represents a trivalent organic group.)
And the imidized diamine represented by the general formula (5),
A step (2) of obtaining an amic acid by reacting at a ratio of 0.20 to 0.80 mol of an imidized diamine represented by the general formula (5) with respect to 1 mol of the tricarboxylic acid anhydride represented by the general formula (6); Imidizing the amic acid, the inside is imidized, the terminal is a dicarboxylic acid, comprising the step of obtaining an imidized dicarboxylic acid,
Furthermore, the imidized dicarboxylic acid obtained in the step,
The following general formula (2)
Figure 2009280661
(In the formula, R ′ ″ represents a divalent organic group.)
The diamine and / or isocyanate compound is converted into the general formula (5) used in the step (2) of obtaining the amic acid with respect to 1 mol of the imidized dicarboxylic acid. The manufacturing method of the polyimide precursor composition characterized by including the process of mixing in the ratio used as the total ratio united with the imidized diamine shown to be 0.70 mol-1.30 mol.
前記一般式(4)に示すジアミンは、下記一般式群(4)
Figure 2009280661
(式中、o、p及びqは、それぞれ独立して、1〜30の整数を示す。R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基、または芳香族基を示し、mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12のアルキル基である。)
で示されるジアミンを少なくとも含むことを特徴とする請求項9記載のポリイミド前駆体組成物の製造方法。
The diamine represented by the general formula (4) is represented by the following general formula group (4).
Figure 2009280661
(In the formula, o, p and q each independently represent an integer of 1 to 30. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic group. M represents an integer of 1 to 40, and n represents an integer of 1 to 20. R 3 and R 4 are each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.)
The manufacturing method of the polyimide precursor composition of Claim 9 characterized by including the diamine shown by these.
請求項9または10で得られるポリイミド前駆体組成物を40〜90重量%の溶質濃度になるように有機溶剤中に溶解する工程を含むことを特徴とするポリイミド前駆体組成物溶液の製造方法。   A method for producing a polyimide precursor composition solution comprising a step of dissolving the polyimide precursor composition obtained in claim 9 or 10 in an organic solvent so as to have a solute concentration of 40 to 90% by weight. 請求項9または10で得られるポリイミド前駆体組成物または請求項11で得られるポリイミド前駆体組成物溶液からポリイミド塗膜を得る工程を含むことを特徴とする、ポリイミド塗膜の製造方法。   The manufacturing method of a polyimide coating film characterized by including the process of obtaining a polyimide coating film from the polyimide precursor composition obtained by Claim 9 or 10, or the polyimide precursor composition solution obtained by Claim 11. 請求項9または10で得られるポリイミド前駆体組成物または請求項11で得られるポリイミド前駆体組成物溶液をプリント配線板に塗工し、加熱してイミド化する工程を含むことを特徴とするポリイミド塗膜付きプリント配線板の製造方法。   A polyimide precursor comprising a step of applying a polyimide precursor composition obtained in claim 9 or 10 or a polyimide precursor composition solution obtained in claim 11 to a printed wiring board and heating to imidize. A method for producing a printed wiring board with a coating film. 請求項9または10で得られるポリイミド前駆体組成物と、少なくとも感光性樹脂、及び、光重合開始剤を混合する工程を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物の製造方法。   The manufacturing method of the photosensitive resin composition characterized by including the process of mixing the polyimide precursor composition obtained by Claim 9 or 10, at least photosensitive resin, and a photoinitiator.
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