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JP2007292879A - 液晶表示装置 - Google Patents

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徹也 川村
Masashi Sato
政志 佐藤
Masanori Okawa
政徳 大川
Kenta Kamoshita
健太 鴨志田
Nagatoshi Kurahashi
永年 倉橋
Hiroaki Iwato
宏明 岩戸
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Abstract

【課題】TFT方式の液晶表示装置において、薄膜トランジスタの動作異常に対処する。
【解決手段】ゲート配線GL上に、データ信号配線DLと画素電極PXに接続されている通常のトランジスタCTFTと、フローティング状態の予備のトランジスタFTFTを形成する。通常のトランジスタCTFTに動作異常が生じた場合は、切断線CLによって、データ信号配線DLから切り離すと共に、スルーホールTHを介して接続されている画素電極PXから切り離す。その後、予備トランジスタFTFTを、修正線RLにて、データ信号配線DLと画素電極PXに接続する。
【選択図】図1

Description

本発明は、薄膜トランジスタ方式の液晶表示装置に関し、薄膜トランジスタの動作異常に対処するものであるする。
液晶表示素子は、配向処理をされた2枚の基板の間に液晶材料を入れ、周辺をシールにて密閉しており、2枚の基板間に挟まれた液晶材料の配向状態を制御することで表示を行う。この配向状態の制御の手法は多様であるが、2枚の基板表面の配向処理にて、定常状態の液晶材料の配向状態を制御し、少なくとも一方の基板に設けた電極にて、液晶材料に電界を印加して、定常状態から変化させる手法が広く一般的に行われている。
TFT方式の液晶表示装置は、各画素の液晶に印加する電圧レベルに対応したデータを送るデータ信号配線と、各画素へのデータ信号の書き込みを制御する走査信号配線がそれぞれ画面の縦方向と横方向に配線されており、マトリクス状に配置された各画素にそれぞれ1個以上のトランジスタが接続されている。
これらトランジスタに動作異常が生じた場合、異常の内容と液晶の動作モードとの関係により、輝点欠陥又は黒点欠陥が発生する。これら欠陥の修正には様々な方法があるが、動作異常となったトランジスタを修正するのは困難であり、トランジスタによる駆動動作をあきらめて、画素電極を他の配線とショートさせる黒点化修正や他の画素電極とショートさせて2画素で同じ表示として欠陥を目立たなくする方法が一般的である。
このように、トランジスタの動作異常が生じた場合は、異常トランジスタを画素電極から切り離すと同時に画素電極を他の配線や隣接する画素電極に接続して欠陥を目立たなくする。
また、下記特許文献1には、1画素にトランジスタを2個接続し、異常となったトランジスタを切り離すことが記載されている。
そこで、本発明は、薄膜トランジスタの動作異常を解消した液晶表示装置を提供することを目的とする。
特開平5−341316号公報
薄膜トランジスタの動作異常による表示装置としての欠陥を修正するために、動作異常トランジスタに接続されている画素を、動作異常トランジスタから切り離して、他の配線に接続して黒点化する場合、本来表示させようとする画面に関係なく、黒点化された画素は黒を表示し続ける。
カラー液晶表示装置は、3色以上のカラーフィルタを持つ各画素が同時に点灯して白色を表示するため、仮に1色の黒点が生じると白表示状態では、その1色が点灯しないので、その点灯しない色の補色として見えてしまう。特に、画素サイズの大きい液晶TV等の用途においては黒色欠陥でありながら、白表示において色付きの点欠陥として見えてしまう。
また、動作異常トランジスタに接続されている画素を、動作異常トランジスタから切り離して、隣接する画素と接続する方法は、白色を表示する場合においては有効であるが、しかし、例えば、単色のカラーフィルタを用いて赤、緑、青を表示した場合、本来光らなくて良い画素が光る、または、光るべき画素が光らないという現象が生じるため、完全な修正とはいいがたい。
さらに、1画素にトランジスタを2個接続する方法は、ゲート配線とデータ配線間との寄生容量が大きくなり、信号遅延の問題が発生し、画面内の輝度が不均一となるために、大画面で高精細の製品では採用できない。
このように、薄膜トランジスタの動作が異常の場合においても、画面内均一な白色表示、画面内均一な単色表示、画面内均一な輝度表示を実現することが必要である。
本発明は、通常の画素駆動用トランジスタの他に、データ信号配線と画素電極に接続されていない予備トランジスタを形成する。そして、通常の画素駆動用トランジスタの動作異常を発見した段階で、このトランジスタをデータ信号配線と画素電極から切り離し、予備のトランジスタをデータ信号配線と画素電極に接続する。
以上、本発明によると、薄膜トランジスタの動作異常による点欠陥について、動作が異常な薄膜トランジスタを切り離して、予備の薄膜トランジスタに接続し直すことで、白表示と単色表示での黒点や信号遅延による色ずれのない表示を行うことができる。
また、薄膜トランジスタの最終工程にて、欠陥を修正することが可能であるため、検査・修正工程を最終工程に集約可能となり、プロセスの簡略化が実現できる。
以下、図面を用いて、本発明の実施例を説明する。
図1は、マトリクス状に配置された画素部を有する液晶表示装置において、その画素部の基本的な構成図であって、同図(a)は通常の薄膜トランジスタに動作異常がない場合の構成図、同図(b)は保持容量配線CSLを省略した構成図、同図(c)は、動作異常を修正した後の同図(a)対応する構成図である。
図1において、データ信号配線DLと画素電極PXに接続されている通常のトランジスタCTFTと、データ信号配線DLと画素電極PXに接続されていない予備のトランジスタFTFTを、ゲート配線GL上に形成する。
図1(a)(b)に示す通常のトランジスタCTFTに動作異常が生じた場合は、図1(c)に示す切断線CLによって、動作異常のトランジスタCTFTを、データ信号配線DLから切り離すと共に、スルーホールTHを介して接続されている画素電極PXから切り離す。
さらに、図1(c)に示すように、予備トランジスタFTFTのドレイン電極D及びソース電極S並びにデータ信号配線DLにコンタクトホールCHを形成した後、修正線RLにて、データ信号配線DLと予備トランジスタFTFTのソース電極Sを接続すると共に、画素電極PXと予備トランジスタFTFTのドレイン電極Dを接続する。この修正線RLの接続方法としては、局所的に導電体を形成できる方法であれば何でもよく、既存の技術、例えば、レーザーCVD等で問題なく接続できる。
なお、本実施例では、最上層に画素電極PXが存在する構造としているため、図1(c)に示すように、画素電極PX部分にはコンタクトホールを形成していない。また、仮に画素電極PX部分上に何らかの絶縁膜が存在する場合は、これを除去して予備トランジスタFTFTと接続することはいうまでもない。
図2は、本実施例の画素部の構成図であって、図1に示す実施例1と異なるのは、予備トランジスタFTFTのソース電極SからチャネルCと反対方向に突起又は引き出し線ELを形成した点である。同図(a)(b)(c)は、図1(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図2において、予備トランジスタFTFTをデータ信号配線DLと画素電極PXに接続する際に、チャネルCの直上部分に誤ってコンタクトホールCHや導電体RLを形成してしまった場合、予備トランジスタFTFTの動作異常が懸念される。また、コンタクトホールの形成や導電体形成において、レーザーCVD等加熱プロセスを用いた場合、同じく予備トランジスタへの悪影響が懸念される。
そのため、出来得る限り何らかの引出し部分を設けて予備トランジスタFTFTから遠い部分で、コンタクトホールCHの形成と導電体RLの接続を行うことが望ましい。
したがって、予備トランジスタFTFTのソース電極Sから引き出し線ELを形成することによって、予備トランジスタFTFTの動作異常や加熱による悪影響が緩和される。
本実施例では、この引き出し線ELの本数と形状は、画素部の修正作業の容易性と熱等の副作用を考慮して決定すればよく、必ずしも図2に示す形状である必要はない。
図3は、本実施例の画素部の構成図であって、図2に示す実施例2と異なるのは、修正接続用の引き出し線ELをゲート配線GLの外側まで引き出した点である。同図(a)(b)(c)は、図2(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図3において、予備トランジスタFTFTをデータ信号配線DLと画素電極PXに接続する際に、コンタクトホールCHの形成や導電体ELの接続に、レーザーCVD等の熱プロセスを用いている。そのため、実施例2のように、ゲート配線GL上に引き出し線ELを配置して、コンタクトホールCHを形成する場合には、引き出し線ELとゲート配線GLとの間の絶縁膜が熱で破壊される恐れがある。そこで、本実施例では、予備トランジスタFTFTからゲート配線GLの外側まで配線を引き出しておくと、引き出し部分においては下地絶縁膜の破壊を懸念することなく接続作業を実施することができる。
本実施例では、予備トランジスタFTFTから1本だけゲート配線GLの外側まで引き出し線ELを設けているが、引き出し線ELの数は、画素部の修正作業の容易性と熱等の副作用とのバランスを考慮して決定すればよく、1本でも2本でもどちらでもよい。
図4は、本実施例の画素部の構成図であって、図2,3に示す実施例2,3と異なるのは、引き出し線ELを画素電極PXと保持容量配線CSLと交差させないようにした点である。同図(a)(b)(c)は、図2,3(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図4において、予備トランジスタFTFTのドレイン電極Dからの引き出し線ELが、画素電極PXと平面交差すると、画素電極PX(又はドレイン電極D)とゲート配線GLとの間の寄生容量が大きくなり画面内の表示均一性に問題を生じてしまう。そこで、本実施例では、画素電極PX方向に引き出し線ELを形成する場合は、引き出し線ELは、画素電極PXと平面交差させていない。同様に、引き出し線ELは、保持容量配線CSLとも平面交差していない。
図5は、本実施例の画素部の構成図であって、これまでの実施例と異なるのは、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELが、データ配線DLと画素電極PXの双方に平面交差するが、引き出し線ELを直流的に接続されないフローティング状態とした点である。同図(a)(b)(c)は、これまでの図(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図5において、フローティングメタルFMは、ゲート配線GLと同層で、データ信号配線DLとは絶縁層を介して平面交差している。予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELとデータ信号配線DLは同層で、絶縁膜を介して、フローティングメタルFMと重なっている。この重なり部分を、同図(c)に示すように、レーザー等を利用して熱溶着したレーザスポットLSにより接続することが可能で、予備トランジスタFTFTのソース電極Sとデータ信号配線DLとの接続が容易である。
本実施例は、フローティングメタルFMの平面交差部分の2ヶ所で、データ信号配線DLと引き出し線ELが容量結合することによって、結果的に、データ信号配線DLとゲート配線GLとが容量結合するため、実施例1に比べるとゲート配線GLとデータ信号配線DLとの間の結合容量が大きくなってしまう。しかし、従来のように、データ信号配線と予備トランジスタとを常時直接接続した場合と比べて、ゲート配線とデータ信号配線の容量結合は小さくすることができる。
また、実施例では、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELが、画素電極PXと平面交差しつつ直流的には接続されていない構造となっている。これについてもレーザー等の熱溶着のみで予備トランジスタFTFTと画素電極PXをレーザスポットLSで接続できる利点を持つ。これについても実施例1と比べると、画素電極PXとゲート配線GLの容量結合値が大きくなってしまうものの、従来のものに比べると画素電極とゲート配線の結合容量は小さい。
本実施例では、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELが、データ信号配線DLと画素電極PXの両方に平面交差しているが、いずれか一方は、平面交差しないように構成してもよい。
図6は、本実施例の画素部の構成図であって、図3に示す実施例3と異なるのは、ゲート配線GLに切り欠き部分を設けた点である。同図(a)(b)(c)は、図3(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図6において、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELをゲート配線GLからはみ出させるために、ゲート配線GLに切り欠き部分を設けた。実施例3のように、ゲート配線GLにきり欠き部分を設けないで、ゲート配線GLから引き出し線ELをはみ出させた場合、上側の画素電極等への干渉を避けるために、画素部の開口率が低下する恐れがある。そこで、本実施例では、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELを設けるゲート配線GL部分のみに、切り欠きを設けることで、開口率の低下を抑え、また、ゲート配線の抵抗増加を最小限に抑えることができる。
図7は、本実施例の画素部の構成図であって、図2に示す実施例2と異なるのは、引き出し線ELの一部分を太くした点である。同図(a)(b)(c)は、図2(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図7において、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELの一部分を太くして、データ配線DLとの接続時に、コンタクトホールCHの形成や導電体RLの接続作業を容易にした。なお、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELの幅を全体的に太くした場合には、ゲート配線GLとの交差面積が増大し、ゲート絶縁膜異常等により、引き出し線ELとゲート配線GLとのショート不良発生の懸念が高まる。また、画素電極PXと接続する引き出し線を太くすると、太くした引き出し線とゲート配線GLとの交差面積が増加し、ゲート配線GLと画素電極PXとの容量結合が大きくなり、修正した画素部の輝度を修正しない画素部の輝度と同じくすることが困難になる恐れがある。したがって、引き出し線全体ではなく、接続に用いる一部分のみを太くすることは、修正作業性の向上と、その他懸念事項を払拭するのに有効である。
図8は、本実施例の画素部の構成図であって、図7に示す実施例7と異なるのは、引き出し線ELを太くした部分の周辺のゲート配線GLに切り欠き部を形成した点である。同図(a)は開口した切り欠き部、同図(b)はゲート配線GL中の切り欠き部を示す。
図8において、ゲート配線GLの切り欠き部を、通常のトランジスタCTFTと予備トランジスタFTFTとの間に設け、切り欠き部分に、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELを引き出す。このように、通常のトランジスタCTFTと予備トランジスタFTFTとの距離が離れているため、両トランジスタが異物等で同時に不良となる可能性が低く冗長性が高い。
図9は、本実施例の画素部の構成図であって、図5に示す実施例5と異なるのは、予備トランジスタFTFTのソース電極Sと平行して引き出し線ELをゲート配線GLからはみ出させた点である。同図(a)は引き出し線ELを屈曲させた場合、同図(b)は屈曲した引き出し線ELの末端をゲート配線GLの切り欠き部に配置した場合を示す。
図9において、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELをゲート配線GLからはみ出すまでは、ゲート配線GLの方向と直交に近い角度、例えば、90°±45°程度にて引き出し、その後、引き出し線ELをデータ信号配線DLの方向に屈曲させる。
本実施例では、実施例5に比べて、ゲート配線GLと引き出し線ELとの交差面積が小さいので、予備トランジスタFTFTとゲート配線GLとのショート不良発生率を低減できる。
図9(a)においては、修正作業において、成膜する導電体の距離を短くすることができ、修正効率を向上させることができる。
図9(b)においては、引き出し線ELの末端の線幅を太くして、その末端をゲート配線GLの一部の切り欠き部に設けたので、実施例8に比べて、ゲート配線GLの抵抗の上昇を抑え、また、引き出し線ELの末端とゲート配線GLとのショート不良発生率を最小限に抑えつつ引き出し線ELに線幅拡大領域を設けることができる。
図10は、本実施例の画素部の構成図であって、図4に示す実施例4と同じ構成であるが、2本の引き出し線の角度を45°以上としたものである。同図中の符号は、これまで説明したものと同じである。
図10において、予備トランジスタFTFTから2本の引き出し線ELを設ける際に、引き出し線ELの先端2ヶ所が、予備トランジスタFTFTのチャネルCの中心を頂点として成す角度が45°以上となるようにした。仮に、引き出し線を同一方向に引き出した場合は、引き出し線が近接しているので、近接した引き出し線に導電体を接続する修正作業において、ショート不良を発生する恐れがある。これを防止するために、本実施例では、引き出し線の先端を遠く引き離すことが必要である。
図11は、本実施例の画素部の構成図であって、図4に示す実施例4と異なるのは、画素電極PXの一部に切り欠き部を設けた点である。同図(a)(b)(c)は、図4(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図11において、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELが画素電極PXと交差するのを防ぐため、画素電極PXに切り欠き部を設けた。画素電極PXの一部に切り欠きを設けることで、画素部の開口率の低下を最小限に抑えつつ、ゲート配線GLと画素電極PXとの間の寄生容量が増加するのを防ぐことができる。
図12は、本実施例の画素部の構成図であって、図4に示す実施例4と異なるのは、保持容量線CSLの一部に切り欠き部を設けた点である。同図中の符号は、これまで説明してきたものと同じである。
図12において、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELと保持容量配線CSLが交差することを防ぐために、保持容量配線CSLを切り欠いた。保持容量線CSLを切り欠くことで、開口率の低下を最小限に防ぎながら、ゲート配線GLと保持容量配線CSLの寄生容量が増加するのを防げる。なお、本実施例では、保持容量配線CSLの線幅を一部切り欠いたが、同じ線幅のまま迂回させても同様の効果を得ることができる。
図13は、本実施例の画素部の構成図であって、図4に示す実施例4と異なるのは、修正作業時に形成するコンタクトホールCHに代えて、予めスルーホールTHを形成した点である。同図(a)(b)(c)は、図4(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図13において、予備トランジスタFTFTの引き出し線ELの先端とデータ信号配線DLとに、絶縁膜を除去した領域にスルーホールTHを設ける。予備トランジスタFTFTをデータ信号配線DLと画素電極PXに接続するときに、実施例4のように、接続作業時に、コンタクトホールを形成することが不要となり、本実施例では、接続作業を効率よくすることができる。
図14は、本実施例の画素部の構成図であって、図13に示す実施例13と異なるのは、スルーホールTH上に導電体領域RPを設けた点である。同図(a)(b)(c)は、図13(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図14において、スルーホールTH上に、画素電極PXの材料にて、接続用の導電体領域RPを、画素電極PXと同層に設けた。スルーホールTH上に、導電体にて接続領域を設けることで、スルーホールTHの大きさや引き出し線ELのソースドレインメタルの線幅に関係なく、必要な接続領域を確保することができる。
また、実施例13に比べて、画素電極PXのパターン形成時に、本実施例では、導電体領域RP下のデータ信号配線DLと、予備トランジスタFTFTの引き出し配線ELが、画素電極PXのエッチング液に触れることがないため、画素電極PXを形成する時のデータ信号配線DLと引き出し線ELへのダメージを気にすることなく、データ信号配線DL及び画素電極PXの材料とそのエッチング液を選択することができる。
なお、本実施例では、導電体領域RPを、画素電極PXと同層で同じ材料を用いて形成したが、導電体領域RPを形成する層や材料は、データ信号配線DLや予備トランジスタFTFTのソースドレイン電極よりも上層であればよく、必ずしも画素電極PXと同層で同じ材料である必要はない。
図15は、本実施例の画素部の構成図であって、図14に示す実施例14と異なるのは、予備トランジスタFTFTからの引き出し線ELを画素電極PXの材料にて形成した点である。同図(a)(b)(c)は、図13(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図15において、予備トランジスタFTFTのソースドレインメタルからスルーホールTHを介して引き出し線ELを引き出しているので、ソースドレインメタルがゲート配線GLと交差する面積を小さくできる。画素電極PXの材料にて形成された引き出し線ELは、ゲート配線GLとの間に、ゲート絶縁膜とその上層絶縁膜の2層を持つため、引き出し線ELとゲート配線GLのショート不良発生ポテンシャルを下げることができる。
本実施例では、引き出し線ELを画素電極PXと同層で同じ材料としたが、画素電極PXよりも上層の導電体材料であればよい。また、本実施例では、データ信号配線DLと予備トランジスタFTFTの両方に、スルーホールTHと画素電極PXの材料による引き出し線ELを設けたが、必ずしも両方同時に設ける必要はなく、データ信号配線DL上単独、又は予備トランジスタFTFTの各々の引き出し線EL単独でもよい。
図16は、本実施例の画素部の構成図であって、図1に示す実施例1と異なるのは、データ信号配線DLの一部の線幅を太くした点である。同図(a)(b)(c)は、図1(a)(b)(c)に対応し、同じ符号の説明は省略する。
図16において、ゲート配線GLと交差しないデータ信号配線DLの一部の線幅を、予備トランジスタFTFTを接続し易くするために、太くしてある。データ信号配線DLが細いと、予備トランジスタFTFTとの十分なコンタクトエリアが取れず、コンタクトホールCHを形成する接続作業時に断線等を発生する恐れがある。
したがって、ゲート配線GLと交差していない部分のデータ信号配線DLの線幅を太くした領域を設けると、これらの懸念がなく接続作業を行うことができる。
図17は、本実施例の画素部の構成図であって、これまでの実施例と異なるのは、通常のトランジスタCTFTのサイズよりも小さい予備トランジスタFTFTとした点である。同図(a)は通常のトランジスタCTFTのチャネルCが縦型のもの、同図(b)は横型のものを示し、図中の符号は、これまで説明したものと同じである。
図17において、予備トランジスタFTFTのチャネル幅サイズを通常のトランジスタCTFTよりも小さくした。本来、通常のトランジスタCTFTと予備トランジスタFTFTは同じ大きさ、同じ性能のものを用意すべきであるが、本実施例のように、チャネル幅寸法の小さいトランジスタを搭載した場合でも、電圧印加なしで黒表示となるディスプレイを想定すると、データ信号配線DLの電圧が低い灰色から黒の信号は、チャネル幅寸法の小さいトランジスタでも正確に画素電極PXに伝えることができる。しかし、印加電圧が高い白画面表示においては、修正した画素のみ灰色となってしまうが、修正しないで完全な黒表示になる場合と比べて、本実施例では、灰色として目立たなくすることができ、特に、個々の画素サイズが小さくなる小型高精細液晶表示装置においては有効である。
図18は、本実施例の画素部の構成図であって、これまでの実施例と異なるのは、画素部にセルギャップスペーサSPを配置した点である。その他の構成はこれまで説明したものと同じである。
図18において、トランジスタCTFT,FTFTが形成されるTFT基板と、このTFT基板と対向する対向基板との間の距離を保つセルギャップスペーサSPが配置されている。このセルギャップスペーサSPが配置される画素部における予備トランジスタFTFTのチャネル幅の寸法をセルギャップスペーサSPが配置されない画素部における予備トランジスタFTFTに比べて、小さくする。
液晶表示装置においては、TFT基板と対向基板との間の距離を保つセルギャップスペーサを持つが、これらはフォトリソグラフィー等により特定画素部の特定領域に配置されることがある。この時、セルギャップスペーサを配置する位置に、通常のトランジスタと同じ大きさの予備トランジスタが形成されていると、スペーサの配置を制御するのに困難を伴う場合がある。それを回避するために、スペーサを配置する画素部では、予備トランジスタを小さくしてスペーサとの配置上の干渉を避ける。
図19は、本実施例の画素部の構成図であって、図18に示す実施例18と異なるのは、セルギャップスペーサSPが配置される画素部と配置されない画素部で予備トランジスタFTFTの位置を変更した点である。その他の構成は実施例18と同じである。
図19において、セルギャップスペーサSPが配置される画素部では、開口率が低下しているが、予備トランジスタFTFTの配置とセルギャップスペーサSPの配置とが干渉することはない。本実施例では、画素サイズの大きい大画面低精細度製品に特に有効である。
図20は、本実施例の画素部の構成図であって、図18に示す実施例18と異なるのは、セルギャップスペーサSPが配置される画素部にだけ予備トランジスタを配置しない点である。その他の構成は実施例18と同じである。
図20において、画素部に配置される予備トランジスタFTFTのサイズは、通常のトランジスタCTFTと同じであっても異なっていても、そのサイズは問わない。本実施例では、セルギャップスペーサSPと予備トランジスタFTFTの配置上の干渉を避けられることはいうまでもない。なお、予備トランジスタが配置されていない画素部における通常のトランジスタCTFTが異常の場合には、隣接する予備トランジスタFTFTを利用することができる。
図21は、本実施例の画素部の構成図であって、これまでの実施例と異なるのは、通常のトランジスタCTFTの異常が画素電極PXを形成する前に発見できた場合の構成図である。同図中の符号は、これまで説明してきた実施例と同じものである。
図21において、通常のトランジスタCTFTの異常が画素電極PXを形成する前に発見できた場合、画素電極PXを形成する時に、画素電極PXを加工して、画素電極PXと同じ材料にて、導電体RLを形成する。
ここで、画素電極PX加工とは、画素電極PXのエッチング加工前に、導電体RL用のエッチングレジストを直接描画してもよい。また、例えば、非結晶状態で成膜されてエッチングを待っている画素電極PXとなるITO膜に、熱を加えて、導電体RLを形成する領域を結晶化して、この領域のエッチングを防止してもよい。
導電体RLと予備トランジスタFTFTの接続には、ソースドレイン膜上の絶縁膜にスルーホールTHを事前に形成するか、導電体RLの形成後に熱溶着してもよい。本実施例では、予備トランジスタFTFTとデータ信号配線DLの接続のために、新たな導電体を形成する必要がなく効率的な修正が可能である。
図22は、本実施例の画素部の構成図であって、これまでの実施例と異なるのは、チャネル寸法が小さい2個の予備トランジスタFTFTを1つの画素部に接続して修正した点である。同図中の符号は、これまで説明してきた実施例と同じものである。
図22において、予備トランジスタFTFTのチャネル寸法が小さい場合に、隣接する複数(2個以上)の予備トランジスタFTFTを接続して修正する。予備トランジスタFTFTのサイズを縮小しつつ画素電極PXに十分な電荷を供給できる。
以上の実施例は、保持容量配線CSLがゲート配線GLとは独立したTFT方式の液晶表示装置について説明してきたが、本発明は、要するに、TFT方式の液晶表示装置の各画素部に予備トランジスタを配置することが要点であり、全てのTFT方式の液晶表示装置であれば適用可能である。
本発明に係る液晶表示装置における画素部の基本的な実施例1の構成図。 画素部の実施例2の構成図。 画素部の実施例3の構成図。 画素部の実施例4の構成図。 画素部の実施例5の構成図。 画素部の実施例6の構成図。 画素部の実施例7の構成図。 画素部の実施例8の構成図。 画素部の実施例9の構成図。 画素部の実施例10の構成図。 画素部の実施例11の構成図。 画素部の実施例12の構成図。 画素部の実施例13の構成図。 画素部の実施例14の構成図。 画素部の実施例15の構成図。 画素部の実施例16の構成図。 画素部の実施例17の構成図。 画素部の実施例18の構成図。 画素部の実施例19の構成図。 画素部の実施例20の構成図。 画素部の実施例21の構成図。 画素部の実施例22の構成図。
符号の説明
CSL…保持容量配線、DL…データ信号配線、PX…画素電極、CTFT…通常のトランジスタ、FTFT…予備のトランジスタ、GL…ゲート配線、CL…切断線、TH…スルーホール、D…ドレイン電極、S…ソース電極、CH…コンタクトホール、RL…修正線(導電体)、C…チャネル、EL…引き出し線、FM…フローティングメタル、LS…レーザスポット、RP…導電体領域、SP…セルギャップスペーサ。

Claims (23)

  1. マトリクス状に配置された画素部を有する液晶表示装置において、
    前記画素部に、通常のトランジスタと、データ信号配線と画素電極に接続されていない予備トランジスタとを設けることを特徴とする液晶表示装置。
  2. 前記予備トランジスタに、引き出し線を設けることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 前記引き出し線は、ゲート配線からはみ出して形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  4. 前記引き出し線は、ゲート配線からはみ出すまではゲート配線の方向と直交に近い角度(90°±45°)にて形成され、はみ出した後にはデータ信号配線方向に屈曲して形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  5. 前記引き出し線がゲート配線と平面交差しないように、ゲート配線に切り欠き部を設けることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  6. 前記切り欠き部は、通常のトランジスタと予備のトランジスタとの間に設けられていることを特徴とする請求項5に記載の液晶表示装置。
  7. 前記引き出し線は、画素電極と平面交差しないように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  8. 前記引き出し線は、保持容量配線と平面交差しないように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  9. 前記保持容量配線は、引き出し線との平面交差しないように迂回して形成されているか又は引き出し線との平面交差する部分に切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置。
  10. 前記引き出し線は、画素電極と平面交差するように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  11. 前記平面交差する画素電極の部分に、切り欠き部を設けたことを特徴とする請求項10に記載の液晶表示装置。
  12. 前記引き出し線の一部分が太く形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  13. 前記引き出し線上とデータ信号配線上の少なくとも1箇所にスルーホールが形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
  14. 前記予備トランジスタには、2本の引き出し線が設けられ、2本の引き出し線それぞれの先端と予備トランジスタのチャネルとの中心を結ぶ線のなす角度が45°以上であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  15. 前記データ信号配線は、ゲート配線と交差していない部分の一部の線幅が太く形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  16. 前記予備トランジスタのサイズは、通常のトランジスタより小さいことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  17. 前記予備トランジスタのサイズを通常のトランジスタより小さくして、スペーサを画素部に配置することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  18. 前記予備トランジスタは、スペーサを配置する画素部とそれ以外の画素部とでは異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  19. 前記予備トランジスタは、スペーサが配置されていない画素部にだけ配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  20. マトリクス状に配置された画素部を有する液晶表示装置において、
    前記画素部には、通常のトランジスタと、データ信号配線と画素電極に接続されていない予備トランジスタと、データ信号配線と交差するフローティングメタルとが設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
  21. 前記フローティングメタルと交差する引き出し線が予備トランジスタに設けられていることを特徴とする請求項20に記載の液晶表示装置。
  22. マトリクス状に配置された画素部を有する液晶表示装置において、
    前記画素部には、通常のトランジスタと、データ信号配線と画素電極に接続されていない予備トランジスタとが設けられ、
    前記予備トランジスタからの引き出し線と前記データ信号配線の少なくとも1つの線上に導電体領域を設けたこと特徴とする液晶表示装置。
  23. 前記導電体領域は、スルーホールを介して、引き出し線又はデータ信号配線に接続されていることを特徴とする請求項22に記載の液晶表示装置。
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