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JP2007173606A - Electronic device and its manufacturing method - Google Patents

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JP2007173606A
JP2007173606A JP2005370587A JP2005370587A JP2007173606A JP 2007173606 A JP2007173606 A JP 2007173606A JP 2005370587 A JP2005370587 A JP 2005370587A JP 2005370587 A JP2005370587 A JP 2005370587A JP 2007173606 A JP2007173606 A JP 2007173606A
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    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the erroneous mounting of a semiconductor memory device to a socket and reduce the number of times of mounting to the socket. <P>SOLUTION: The electronic device is provided with a plurality of semiconductor devices in which semiconductor chips are sealed by a resin sealing body, and a plurality of first terminals for external connection electrically connected to the semiconductor chips are projected out of the resin sealing body; a wiring substrate having a main surface and a rear surface which are positioned on the opposite side of each other and the plurality of semiconductor devices are mounted on the main surface; and a cover member provided on the main surface of the wiring substrate so as to cover the plurality of semiconductor devices. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子装置及びその製造技術に関し、特に、配線基板に複数の半導体装置が実装された電子装置(モジュール)に適用して有効な技術に関するものである。   The present invention relates to an electronic device and a manufacturing technique thereof, and more particularly to a technology effective when applied to an electronic device (module) in which a plurality of semiconductor devices are mounted on a wiring board.

インターネットやLANに代表される情報通信ネットワークから、最近では家電用電化製品や乗用車にまで、コンピュータをキーデバイスとした情報処理システムが急速に普及している。このような情報処理システムにおいても、高性能化や多機能化に伴い、電子情報を一時的或いは半永久的に記憶する記憶回路の大容量化が進んでおり、小型で大容量の記憶回路が要求されている。
そこで、情報処理システムにおける記憶回路の大容量化を実現するため、様々な半導体製品が提案され、製品化されている。
Information processing systems using computers as key devices are rapidly spreading from information communication networks represented by the Internet and LAN to consumer electronics and passenger cars. Even in such an information processing system, the capacity of a storage circuit for temporarily or semi-permanently storing electronic information has been increased along with higher performance and more functions, and a small and large capacity storage circuit is required. Has been.
Therefore, various semiconductor products have been proposed and commercialized in order to increase the capacity of the memory circuit in the information processing system.

例えば、特開2005−150647号公報には、記憶回路が搭載された2つの半導体チップを2段に積層し、この2つの半導体チップを1つの樹脂封止体によって樹脂封止した半導体記憶装置が開示されている。
また、特開2005−298003号公報には、記憶回路が搭載された半導体記憶装置を2段重ねで配線基板に実装した半導体モジュール(電子装置)が開示されている。
For example, Japanese Patent Laying-Open No. 2005-150647 discloses a semiconductor memory device in which two semiconductor chips each having a memory circuit are stacked in two stages, and the two semiconductor chips are resin-sealed with one resin sealing body. It is disclosed.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-298003 discloses a semiconductor module (electronic device) in which a semiconductor memory device on which a memory circuit is mounted is mounted on a wiring board in two stages.

特開2005−150647号公報JP 2005-150647 A 特開2005−298003号公報JP 2005-298003 A

ところで、遊技機の1つであるパチンコ台においても電子化が進んでおり、画像や音声などが情報処理システムによって制御されている。パチンコ台での情報処理システムにおいても画像や音声の高性能化や多機能化に伴って大容量の記憶回路が要求されており、多数の半導体記憶装置が組み込まれている。半導体記憶装置としては、例えば、フラッシュメモリとも呼称され、電子情報の電気的な書き換えが可能なEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)が使用されている。また、半導体記憶装置としては、例えば、小型化及び薄型化に好適なTSOP(Thin Small Outline Package)型の半導体記憶装置が使用されている。   By the way, computerization is also progressing in a pachinko machine that is one of the gaming machines, and images, sounds, and the like are controlled by an information processing system. In an information processing system using a pachinko machine, a large-capacity storage circuit is required as the performance and multifunction of images and sounds are increased, and a large number of semiconductor storage devices are incorporated. As the semiconductor memory device, for example, an EEPROM (Electrically Erasable Programmable Lead Only Memory), which is also referred to as a flash memory, and in which electronic information can be electrically rewritten, is used. As the semiconductor memory device, for example, a TSOP (Thin Small Outline Package) type semiconductor memory device suitable for miniaturization and thinning is used.

パチンコ台では、画像や音声の電子情報を記憶するため、例えば512Mbitの半導体記憶装置が8個使用されている。この8個の半導体記憶装置は、パチンコ台の機能変更に伴う電子情報の書き換えを容易にするため、ソケットを介して実装基板に着脱可能な状態で実装されている。   In the pachinko machine, for example, eight 512 Mbit semiconductor memory devices are used to store electronic information such as images and sounds. These eight semiconductor memory devices are mounted in a detachable state on a mounting board via a socket in order to facilitate rewriting of electronic information accompanying a change in function of the pachinko machine.

しかしながら、ソケットによる半導体記憶装置の実装においては、8個の半導体記憶装置に対して、夫々対応するソケットが8個並んでいるため、本来対応するソケットに半導体記憶装置を装着しなければならないところを誤って別の半導体記憶装置を装着してしまうといった誤装着が起き易い。   However, in the mounting of the semiconductor memory device by the socket, since eight corresponding sockets are arranged for each of the eight semiconductor memory devices, the semiconductor memory device must be originally mounted in the corresponding socket. Incorrect mounting is likely to occur when another semiconductor memory device is mounted by mistake.

また、8個の半導体記憶装置を夫々対応する8個のソケットに1個ずつ装着するため、装着工程も半導体記憶装置の数だけ必要となり、手間である。今後、更なる大容量化が進めば、装着するメモリの数もより増えるため、より手間となる。
また、パチンコ台の実装ボード上において、8個分のソケット領域が必要となり、実装ボードの小型化が困難である。
In addition, since eight semiconductor memory devices are mounted one by one in the corresponding eight sockets, the number of mounting steps required is the same as the number of semiconductor memory devices. If the capacity increases further in the future, the number of memories to be installed will increase, which will be more troublesome.
Moreover, on the mounting board of the pachinko machine, eight socket areas are required, and it is difficult to downsize the mounting board.

パチンコ台においては、不正を抑制するため、保安電子通信技術協会(保通協)から、半導体記憶装置の内容が識別できるように、全ての半導体記憶装置に識別ラベルを貼り付けることが義務付けられている。このため、半導体記憶装置毎に識別ラベルを1つ1つ手作業で貼り付ける必要があり、面倒で手間が掛かかる。   In the pachinko machine, in order to prevent fraud, the Secure Electronic Communication Technology Association (Hotsukyo Co., Ltd.) is obliged to attach identification labels to all semiconductor memory devices so that the contents of the semiconductor memory devices can be identified. Yes. For this reason, it is necessary to affix the identification label for each semiconductor memory device one by one, which is cumbersome and time-consuming.

TSOP型半導体記憶装置は、半導体チップの電極パッドと電気的に接続されたリードを樹脂封止体の側面から突出させて所定の形状に折り曲げ成形したパッケージ構造になっているため、ソケットに対する着脱によってリードが変形し易く、ソケットとの接触不良が起こり易い。
そこで、本発明者は、複数の半導体記憶装置をモジュール化することに着目し、本発明をなした。
The TSOP type semiconductor memory device has a package structure in which a lead electrically connected to an electrode pad of a semiconductor chip protrudes from a side surface of a resin sealing body and is bent into a predetermined shape. The lead is easily deformed, and poor contact with the socket is likely to occur.
Accordingly, the present inventor made the present invention paying attention to modularizing a plurality of semiconductor memory devices.

本発明の第1の目的は、半導体記憶装置のソケットへの誤装着を軽減すると共に、ソケットへの装着回数の軽減が可能な技術を提供することにある。
本発明の第2の目的は、実装ボードの小型化が可能な技術を提供することにある。
本発明の第3の目的は、識別ラベルの貼り付けに起因する労力を軽減することが可能な技術を提供することにある。
本発明の第4の目的は、前記第1の目的を達成すると共に、ソケットとの接続信頼性が高いモジュールを提供することにある。
本発明の第5の目的は、不正に対する信頼性が高いモジュールを提供することにある。
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
A first object of the present invention is to provide a technique capable of reducing erroneous mounting of a semiconductor memory device on a socket and reducing the number of mountings on the socket.
A second object of the present invention is to provide a technique capable of downsizing a mounting board.
A third object of the present invention is to provide a technique capable of reducing labor caused by attaching an identification label.
A fourth object of the present invention is to provide a module that achieves the first object and has high connection reliability with a socket.
A fifth object of the present invention is to provide a module having high reliability against fraud.
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
前記第1の目的は、配線基板の主面に複数の半導体記憶装置を実装してモジュール化することによって達成される。
前記第2の目的は、配線基板の主面に平面的に複数の第1の半導体装置を配置し、前記複数の第1の半導体装置に対応して前記複数の第1の半導体装置上に複数の第2の半導体装置を配置することによって達成される。
前記第3の目的は、前記複数の半導体記憶装置をカバー部材で覆うことによって達成される。
前記第4の目的は、前記配線基板の主面と反対側の裏面に外部接続用端子として複数の電極パッドを配置したLGA(Land Grid Array)型パッケージ構造にすることによって達成される。
前記第5の目的は、前記カバー部材として、前記複数の半導体記憶装置を樹脂封止する樹脂封止体とすることによって達成される。
Of the inventions disclosed in this application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.
The first object is achieved by mounting a plurality of semiconductor memory devices on the main surface of the wiring board to form a module.
The second object is to arrange a plurality of first semiconductor devices in a plane on the main surface of the wiring board, and a plurality of the first semiconductor devices corresponding to the plurality of first semiconductor devices on the plurality of first semiconductor devices. This is achieved by arranging the second semiconductor device.
The third object is achieved by covering the plurality of semiconductor memory devices with a cover member.
The fourth object is achieved by providing an LGA (Land Grid Array) type package structure in which a plurality of electrode pads are arranged as external connection terminals on the back surface opposite to the main surface of the wiring board.
The fifth object is achieved by using a resin sealing body that seals the plurality of semiconductor memory devices as the cover member.

前記半導体記憶装置は、記憶回路を搭載した半導体チップが樹脂封止体によって樹脂封止され、前記樹脂封止体から前記半導体チップと電気的に接続された複数のリードが突出するパッケージ構造になっている。   The semiconductor memory device has a package structure in which a semiconductor chip on which a memory circuit is mounted is resin-sealed by a resin sealing body, and a plurality of leads electrically connected to the semiconductor chip protrude from the resin sealing body. ing.

本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
本発明によれば、半導体記憶装置のソケットへの誤装着を軽減することができる共に、ソケットへの装着回数を軽減することができる。
本発明によれば、実装ボードの小型化を実現することができる。
本発明によれば、識別ラベルの貼り付けに起因する労力を軽減することができる。
本発明によれば、ソケットとの接続信頼性が高いモジュールを提供することができる。
本発明によれば、不正に対する信頼性が高いモジュールを提供することができる。
The effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
According to the present invention, it is possible to reduce the erroneous mounting of the semiconductor memory device to the socket, and to reduce the number of mountings to the socket.
According to the present invention, the mounting board can be reduced in size.
According to the present invention, it is possible to reduce labor caused by attaching an identification label.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a module with high connection reliability with a socket can be provided.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the module with high reliability with respect to fraud can be provided.

以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、発明の実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In all the drawings for explaining the embodiments of the invention, those having the same function are given the same reference numerals, and their repeated explanation is omitted.

図1乃至図23は、本発明の一実施例であるメモリモジュール(電子装置)に係る図であり、
図1は、メモリモジュールの外観構造を示す図((a)は模式的平面図,(b)は模式的側面図)、
図2は、図1のメモリモジュールの内部構造を示す図((a)は樹脂封止体を省略した模式的平面図,(b)は(a)のa’−a’線に沿う模式的断面図)、
図3は、図1のメモリモジュールの模式的底面図、
図4は、図2(b)を拡大した模式的断面図、
図5は、図4の一部を拡大した模式的断面図、
図6は、図5を簡略化して示す展開図、
図7は、図6の半導体記憶装置の外観構造を示す図((a)は下段の半導体記憶装置の模式的平面図,(b)は上段の半導体記憶装置の模式的平面図)、
図8は、図6とは異なる第1の断面を簡略化して示す展開図、
図9は、図6とは異なる第2の断面を簡略化して示す展開図、
図10は、図5の配線基板の主面に配置された電極パッドの配置パターンを示す模式的平面図、
図11乃至図14は、図5の配線基板において、第1層目〜第4層目の配線パターンを示す模式的平面図、
図15は、メモリモジュールの製造に使用されるマルチ配線基板の概略構成を示す模式的平面図、
図16は、メモリモジュールの製造工程を示すフローチャート、
図17は、メモリモジュールの製造において、マルチ配線基板に半導体記憶装置を実装した状態を示す模式的平面図、
図18は、メモリモジュールの製造において、成型金型にマルチ配線基板を型締めした状態を示す模式的透視平面図、
図19は、図18のb’−b’線に沿う模式的断面図、
図20は、図18の封止用キャビティの詳細を示す模式的透視平面図、
図21は、メモリモジュールの製造において、成型金型の封止用キャビティに樹脂を注入して樹脂封止体を形成した状態を示す模式的透視平面図、
図22は、図21のc’−c’線に沿う模式的断面図、
図23は、メモリモジュールの製造において、マルチ配線基板及び樹脂封止体を小片化した状態を示す模式的平面図、
図24は、メモリモジュールをソケットに装着した状態を示す模式的断面図、
図25は、ソケットのコンタクトピンの接触動作を説明するための模式図である。
1 to 23 are diagrams related to a memory module (electronic device) according to an embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a diagram showing an external structure of a memory module ((a) is a schematic plan view, (b) is a schematic side view),
2A and 2B are diagrams showing an internal structure of the memory module of FIG. 1 (a) a schematic plan view in which a resin sealing body is omitted, and FIG. 2b is a schematic diagram along the line a′-a ′ in FIG. Sectional view),
FIG. 3 is a schematic bottom view of the memory module of FIG.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view enlarging FIG.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view enlarging a part of FIG.
FIG. 6 is a development view showing a simplified view of FIG.
7 is a diagram showing an external structure of the semiconductor memory device of FIG. 6 ((a) is a schematic plan view of the lower semiconductor memory device, (b) is a schematic plan view of the upper semiconductor memory device),
FIG. 8 is a development view showing a simplified first cross section different from FIG.
FIG. 9 is a development view showing a second cross section different from FIG. 6 in a simplified manner,
10 is a schematic plan view showing an arrangement pattern of electrode pads arranged on the main surface of the wiring board of FIG.
11 to 14 are schematic plan views showing the first to fourth wiring patterns in the wiring board of FIG.
FIG. 15 is a schematic plan view showing a schematic configuration of a multi-wiring board used for manufacturing a memory module;
FIG. 16 is a flowchart showing a manufacturing process of a memory module;
FIG. 17 is a schematic plan view showing a state in which a semiconductor memory device is mounted on a multi-wiring board in manufacturing a memory module;
FIG. 18 is a schematic perspective plan view showing a state in which a multi-wiring board is clamped in a molding die in manufacturing a memory module;
19 is a schematic cross-sectional view taken along line b′-b ′ in FIG.
FIG. 20 is a schematic perspective plan view showing details of the sealing cavity of FIG.
FIG. 21 is a schematic perspective plan view showing a state where a resin sealing body is formed by injecting resin into a sealing cavity of a molding die in the manufacture of a memory module;
22 is a schematic cross-sectional view taken along the line c′-c ′ in FIG.
FIG. 23 is a schematic plan view showing a state in which a multi-wiring board and a resin sealing body are fragmented in the manufacture of a memory module;
FIG. 24 is a schematic cross-sectional view showing a state where the memory module is mounted in the socket;
FIG. 25 is a schematic diagram for explaining the contact operation of the contact pins of the socket.

また、図26は、本発明の一実施例の変形例であるメモリモジュールの模式的底面図であり、
図27は、本発明の一実施例の変形例であるメモリモジュールの模式的底面図である。
FIG. 26 is a schematic bottom view of a memory module which is a modification of the embodiment of the present invention.
FIG. 27 is a schematic bottom view of a memory module which is a modification of the embodiment of the present invention.

図2((a),(b))及び図3に示すように、本実施例のメモリモジュール(電子装置)1は、配線基板2の主面2xに複数の半導体記憶装置(半導体装置)10が実装され、配線基板2の主面2xと反対側の裏面2yに外部接続用端子として複数の電極パッド26(例えば120個)及び4つ電極パッド26sが配置されたLGA型パッケージ構造になっている。更に、本実施例のメモリモジュール1は、複数の半導体記憶装置10を覆うカバー部材として、複数の半導体記憶装置10を樹脂封止して覆う樹脂封止体3を有するパッケージ構造になっている。   2 ((a), (b)) and FIG. 3, the memory module (electronic device) 1 of this embodiment includes a plurality of semiconductor memory devices (semiconductor devices) 10 on the main surface 2x of the wiring board 2. Is mounted, and a plurality of electrode pads 26 (for example, 120) and four electrode pads 26s are arranged as external connection terminals on the back surface 2y opposite to the main surface 2x of the wiring board 2, resulting in an LGA type package structure. Yes. Furthermore, the memory module 1 of the present embodiment has a package structure having a resin sealing body 3 that covers and covers the plurality of semiconductor memory devices 10 as a cover member that covers the plurality of semiconductor memory devices 10.

複数の半導体記憶装置10は、図2((a),(b))及び図4に示すように、配線基板2の主面2xに二段重ねで実装されており、配線基板2の主面2xに平面的に配置された複数の半導体記憶装置10aと、この複数の半導体記憶装置10aに対応して各々の半導体記憶装置10a上に配置された複数の半導体記憶装置10bとを含んでいる。本実施例では、例えば、下段に4個の半導体記憶装置10a、上段に4個の半導体記憶装置10b、合計8個の半導体記憶装置10が実装されている。   The plurality of semiconductor memory devices 10 are mounted on the main surface 2x of the wiring board 2 in a two-tiered manner as shown in FIGS. 2 (a) and (b) and FIG. A plurality of semiconductor memory devices 10a arranged in a plane 2x and a plurality of semiconductor memory devices 10b arranged on each semiconductor memory device 10a corresponding to the plurality of semiconductor memory devices 10a are included. In the present embodiment, for example, four semiconductor memory devices 10a are mounted on the lower stage, four semiconductor memory devices 10b are mounted on the upper stage, and a total of eight semiconductor memory devices 10 are mounted.

下段の半導体記憶装置10a及び上段の半導体記憶装置10bは、図5及び図6に示すように、リード16の高さ(長さ)が異なっているが、基本的に同一のパッケージ構造になっている。本実施例の半導体記憶装置10a及び10bは、薄型化及び小型化に好適な例えばTSOP型パッケージ構造になっている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the lower semiconductor memory device 10a and the upper semiconductor memory device 10b have different lead 16 heights (lengths), but basically have the same package structure. Yes. The semiconductor memory devices 10a and 10b of the present embodiment have, for example, a TSOP type package structure suitable for thinning and miniaturization.

半導体記憶装置10a及び10bは、図6及び図7に示すように、2つの半導体チップ(12,13)11、ダイパッド15、複数のリード(第1の外部接続用端子)16からなる第1のリード群、複数のリード(第1の外部接続用端子)16からなる第2のリード群、及び複数のボンディングワイヤ17等を樹脂封止体18によって樹脂封止したパッケージ構造になっている。本実施例の全ての半導体記憶装置における樹脂封止体18の平面形状は、例えば2つの対向する短辺と、短辺の延在する方向と交差する方向に延在し、短辺よりも長い2つの対向する長辺から成る、所謂、長方形で構成されている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the semiconductor memory devices 10 a and 10 b include a first semiconductor chip (12, 13) 11, a die pad 15, and a plurality of leads (first external connection terminals) 16. It has a package structure in which a lead group, a second lead group including a plurality of leads (first external connection terminals) 16, a plurality of bonding wires 17, and the like are resin-sealed by a resin sealing body 18. The planar shape of the resin sealing body 18 in all the semiconductor memory devices of this embodiment extends, for example, in a direction intersecting with two opposing short sides and the direction in which the short sides extend, and is longer than the short sides. It consists of a so-called rectangle consisting of two opposing long sides.

半導体チップ12及び13は、その厚さ方向と交差する平面形状が方形状になっており、本実施例では例えば長方形になっている。半導体チップ12及び13は、これに限定されないが、主に、半導体基板、この半導体基板の主面に形成された複数のトランジスタ素子、前記半導体基板の主面上に設けられた薄膜積層体、この薄膜積層体を覆うようにして設けられた表面保護膜等を有する構成になっている。前記薄膜積層体は、絶縁層、配線層の夫々を複数段積み重ねた多層構造になっている。前記半導体基板は、例えば単結晶シリコンで形成されている。前記薄膜積層体の絶縁層は、例えば酸化シリコン膜等の絶縁膜で形成されている。前記薄膜積層体の配線層は、例えばアルミニウム(Al)、又はアルミニウム合金、又は銅(Cu)、又は銅合金等の金属膜で形成されている。前記表面保護膜は、例えば、酸化シリコン膜又は窒化シリコン膜等の無機絶縁膜及び有機絶縁膜を積み重ねた多層膜で形成されている。   The semiconductor chips 12 and 13 have a rectangular planar shape that intersects the thickness direction, and are, for example, rectangular in this embodiment. Although not limited to this, the semiconductor chips 12 and 13 mainly include a semiconductor substrate, a plurality of transistor elements formed on the main surface of the semiconductor substrate, a thin film stack provided on the main surface of the semiconductor substrate, It has a structure having a surface protective film provided so as to cover the thin film laminate. The thin film laminate has a multilayer structure in which a plurality of insulating layers and wiring layers are stacked. The semiconductor substrate is made of, for example, single crystal silicon. The insulating layer of the thin film stack is formed of an insulating film such as a silicon oxide film. The wiring layer of the thin film laminate is formed of a metal film such as aluminum (Al), an aluminum alloy, copper (Cu), or a copper alloy. The surface protective film is formed of, for example, a multilayer film in which an inorganic insulating film and an organic insulating film such as a silicon oxide film or a silicon nitride film are stacked.

半導体チップ12及び13は、互いに反対側に位置する主面(回路形成面,素子形成面)及び裏面を有し、半導体チップ12及び13の各々の主面には、記憶回路として、例えばフラッシュメモリと呼称される256メガビット(Mbit)のEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)が形成(搭載)されている。この記憶回路は、主に、半導体基板の主面に形成されたトランジスタ素子、及び薄膜積層体の配線層に形成された配線によって構築されている。即ち、本実施例のメモリモジュール1は、4ギガビット(Gbit)の大容量(256Mbit×2×8)になっている。   The semiconductor chips 12 and 13 have a main surface (circuit forming surface, element forming surface) and a back surface that are located on opposite sides, and each main surface of the semiconductor chips 12 and 13 has, for example, a flash memory as a memory circuit. A 256 megabit (Mbit) EEPROM (Electrically Erasable Programmable Lead Only Memory) is formed (mounted). This memory circuit is mainly constructed by transistor elements formed on the main surface of the semiconductor substrate and wiring formed in the wiring layer of the thin film stack. That is, the memory module 1 of this embodiment has a large capacity (256 Mbit × 2 × 8) of 4 gigabits (Gbit).

半導体チップ12及び13の各々の主面には、複数の電極パッド(ボンディングパッド)14が形成されている。この複数の電極パッド14は、例えば半導体チップ11(12,13)の互いに反対側に位置する2つの長辺側に各々の長辺に沿って配置されている。また、複数の電極パッド14は、薄膜積層体の最上層の配線層に形成され、複数の電極パッド14に対応して表面保護膜に形成されたボンディング開口から露出している。   A plurality of electrode pads (bonding pads) 14 are formed on the main surfaces of the semiconductor chips 12 and 13. For example, the plurality of electrode pads 14 are arranged along two long sides on two long sides located on opposite sides of the semiconductor chip 11 (12, 13). The plurality of electrode pads 14 are formed in the uppermost wiring layer of the thin film stack, and are exposed from bonding openings formed in the surface protective film corresponding to the plurality of electrode pads 14.

半導体チップ12及び13は、回路パターンがミラー反転になっているが、基本的に外形寸法及び記憶容量が同一になっている。半導体チップ12は、その裏面がダイパッド15の主面に接着材を介在して接着固定されている。半導体チップ13は、その裏面がダイパッド15の主面と反対側の裏面に接着材を介在して接着固定されている。   Although the circuit patterns of the semiconductor chips 12 and 13 are mirror-inverted, the outer dimensions and the storage capacity are basically the same. The back surface of the semiconductor chip 12 is bonded and fixed to the main surface of the die pad 15 with an adhesive interposed. The back surface of the semiconductor chip 13 is bonded and fixed to the back surface opposite to the main surface of the die pad 15 with an adhesive interposed.

樹脂封止体18は、図7((a),(b))に示すように、厚さ方向と交差する平面形状が方形状になっており、本実施例では長方形になっている。樹脂封止体18は、低応力化を図る目的として、例えば、フェノール系硬化剤、シリコーンゴム及び多数のフィラー(例えばシリカ)等が添加されたエポキシ系の熱硬化性絶縁樹脂で形成されている。樹脂封止体18の形成方法としては、例えば大量生産に好適なトランスファモールディング法が用いられている。   As shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b), the resin sealing body 18 has a rectangular planar shape that intersects the thickness direction, and is rectangular in this embodiment. For the purpose of reducing the stress, the resin sealing body 18 is formed of, for example, an epoxy-based thermosetting insulating resin to which a phenolic curing agent, silicone rubber, and a large number of fillers (for example, silica) are added. . As a method for forming the resin sealing body 18, for example, a transfer molding method suitable for mass production is used.

樹脂封止体18の互いに反対側に位置する2つの長辺のうち、一方の長辺側にはこの一方の長辺に沿って第1のリード群の複数のリード16が配置され、他方の長辺側にはこの他方の長辺に沿って第2のリード群の複数のリード16が配置されている。   Among the two long sides located on the opposite sides of the resin sealing body 18, a plurality of leads 16 of the first lead group are arranged along one long side on the long side, and the other A plurality of leads 16 of the second lead group are arranged along the other long side on the long side.

第1及び第2のリード群の各々のリード16は、図6に示すように、樹脂封止体18の内部に位置するインナー部と、このインナー部と一体に形成され、かつ樹脂封止体18の側面から突出(露出)するアウター部とを有する構成になっており、樹脂封止体18の内外に亘って延在している。リード16のアウター部は、所定のリード形状(例えばガルウィング形状)に折り曲げ成形されており、下段の半導体記憶装置10aよりも上段の半導体記憶装置10bの方が高く(長く)なっている。   As shown in FIG. 6, each lead 16 of the first and second lead groups is formed integrally with the inner portion located inside the resin sealing body 18 and the resin sealing body. 18 is configured to have an outer portion protruding (exposed) from the side surface of 18, and extends over the inside and outside of the resin sealing body 18. The outer portion of the lead 16 is bent into a predetermined lead shape (for example, a gull wing shape), and the upper semiconductor memory device 10b is higher (longer) than the lower semiconductor memory device 10a.

第1のリード群において、複数のリード16の各々のインナー部は、半導体チップ12の一方の長辺に沿って配置された複数の電極パッド14と複数のボンディングワイヤ17によって夫々電気的に接続され、更に半導体チップ13の一方の長辺に沿って配置された複数の電極パッド14と複数のボンディングワイヤ17によって夫々電気的に接続されている。   In the first lead group, the inner portions of each of the plurality of leads 16 are electrically connected to each other by a plurality of electrode pads 14 and a plurality of bonding wires 17 arranged along one long side of the semiconductor chip 12. Further, the plurality of electrode pads 14 arranged along one long side of the semiconductor chip 13 and the plurality of bonding wires 17 are electrically connected to each other.

第2のリード群において、複数のリード16の各々のインナー部は、半導体チップ12の他方の長辺に沿って配置された複数の電極パッド14と複数のボンディングワイヤ17によって夫々電気的に接続され、更に半導体チップ13の他方の長辺に沿って配置された複数の電極パッド14と複数のボンディングワイヤ17によって夫々電気的に接続されている。   In the second lead group, each inner portion of the plurality of leads 16 is electrically connected by a plurality of electrode pads 14 and a plurality of bonding wires 17 arranged along the other long side of the semiconductor chip 12. Further, the plurality of electrode pads 14 arranged along the other long side of the semiconductor chip 13 and the plurality of bonding wires 17 are electrically connected to each other.

なお、複数のリード16には、図8に示すように、半導体チップ12の電極パッド14のみボンディングワイヤ17を介して電気的に接続されたリード(下段の半導体記憶装置10aでは符号a1,上段の半導体記憶装置10bでは符号b1)と、図9に示すように、半導体チップ13の電極パッド14のみボンディングワイヤ17を介して電気的に接続されたリード(下段の半導体記憶装置10aでは符号a2,上段の半導体記憶装置10bでは符号b2)とが含まれている。この2本のリード(a1及びa2,b1及びb2)は、2つの半導体チップ(12,13)の中から1つの半導体チップを選択するためのセレクト信号が印加されるチップ選択用リードである。   As shown in FIG. 8, only the electrode pad 14 of the semiconductor chip 12 is electrically connected to the plurality of leads 16 via the bonding wires 17 (in the lower semiconductor memory device 10a, reference numeral a1 is the upper one). As shown in FIG. 9, only the electrode pad 14 of the semiconductor chip 13 is electrically connected via the bonding wire 17 (reference symbol a2 in the lower semiconductor memory device 10a, upper symbol in the upper stage). In the semiconductor memory device 10b, reference numeral b2) is included. These two leads (a1 and a2, b1 and b2) are chip selection leads to which a select signal for selecting one semiconductor chip from the two semiconductor chips (12, 13) is applied.

上段の半導体記憶装置10bの2本のチップ選択用リード(b1,b2)は、下段の半導体記憶装置10aの2本のチップ選択用リード(a1,a2)と夫々平面的に重なる位置に配置されている。   The two chip selection leads (b1, b2) of the upper semiconductor memory device 10b are arranged at positions where they overlap with the two chip selection leads (a1, a2) of the lower semiconductor memory device 10a, respectively. ing.

図2(a)に示すように、配線基板2は、その厚さ方向と交差する平面形状が方形状になっており、本実施例では例えば26mm×26mmの正方形になっている。   As shown in FIG. 2A, the wiring substrate 2 has a square shape that intersects the thickness direction thereof, and is a square of, for example, 26 mm × 26 mm in this embodiment.

図10に示すように、配線基板2の主面2xには、半導体記憶装置10を搭載するための製品搭載領域(デバイス搭載領域)33が4つ設けられており、各製品搭載領域33の中には、一方向に沿って一列で配置された複数の電極パッド25からなる第1及び第2のパッド群が設けられている。この第1及び第2のパッド群は、電極パッド25の配列方向と平面的に直行する方向に離間して配置されている。   As shown in FIG. 10, four product mounting areas (device mounting areas) 33 for mounting the semiconductor memory device 10 are provided on the main surface 2x of the wiring board 2. Are provided with a first and a second pad group composed of a plurality of electrode pads 25 arranged in a line along one direction. The first and second pad groups are spaced apart from each other in a direction orthogonal to the arrangement direction of the electrode pads 25 in a plane.

第1及び第2のパッド群のうち、第1のパッド群には、4つのチップ選択用電極パッド(25a1,25b1,25a2,25b2)が含まれている。チップ選択用電極パッド25a1及び25b1は、電極パッド25の配列方向に対して平面的に直行する方向に沿って互いに離間して直列に配置され、電気的に分離されている。チップ選択用電極パッド25a2及び25b2は、電極パッド25の配列方向に対して平面的に直行する方向に沿って互いに離間して直列に配置され、電気的に分離されている。チップ選択用電極パッド25a1及び25a2は、チップ選択用電極パッド25b1及び25b2よりも内側に配置されている。   Of the first and second pad groups, the first pad group includes four chip selection electrode pads (25a1, 25b1, 25a2, 25b2). The chip selection electrode pads 25a1 and 25b1 are spaced apart from each other in series along a direction orthogonal to the arrangement direction of the electrode pads 25 in a plane, and are electrically separated. The chip selection electrode pads 25a2 and 25b2 are spaced apart from each other in series along a direction perpendicular to the arrangement direction of the electrode pads 25 in a plane, and are electrically separated. The chip selection electrode pads 25a1 and 25a2 are disposed inside the chip selection electrode pads 25b1 and 25b2.

図8に示すように、チップ選択用電極パッド25a1には、下段の半導体記憶装置10aのチップ選択用リードa1、チップ選択用電極パッド25b1には、上段の半導体記憶装置10bのチップ選択用リードb1が、例えば半田材を介在して夫々電気的にかつ機械的に接続されている。   As shown in FIG. 8, the chip selection electrode pad 25a1 has a chip selection lead a1 of the lower semiconductor storage device 10a, and the chip selection electrode pad 25b1 has a chip selection lead b1 of the upper semiconductor storage device 10b. However, they are electrically and mechanically connected via a solder material, for example.

図9に示すように、チップ選択用電極パッド25a2には、下段の半導体記憶装置10aのチップ選択用リードa2、チップ選択用電極パッド25b2には、上段の半導体記憶装置10bのチップ選択用リードb2が、例えば半田材を介在して夫々電気的にかつ機械的に接続されている。   As shown in FIG. 9, the chip selection electrode pad 25a2 has a chip selection lead a2 of the lower semiconductor storage device 10a, and the chip selection electrode pad 25b2 has a chip selection lead b2 of the upper semiconductor storage device 10b. However, they are electrically and mechanically connected via a solder material, for example.

図6に示すように、第1及び第2のパッド群の複数の電極パッド25には、下段及び上段の半導体記憶装置(10a,10b)の第1及び第2のリード群の複数のリード25(チップ選択用リードを除く)が、例えば半田材を介在して夫々電気的にかつ機械的に接続されている。   As shown in FIG. 6, the plurality of electrode pads 25 of the first and second pad groups include a plurality of leads 25 of the first and second lead groups of the lower and upper semiconductor memory devices (10a, 10b). (Excluding chip selection leads) are electrically and mechanically connected, for example, via a solder material.

図2(a)に示すように、配線基板2の主面2xには、面実装型受動部品として例えば複数のコンデンサ5が実装されている。この複数のコンデンサ5は、配線基板2の主面2xにおいて、2つの対角線が交わる中央部分に配置されており、配線基板2の主面2xに設けられた複数の受動部品用電極パッドに例えば半田材を介して夫々電気的にかつ機械的に接続されている。   As shown in FIG. 2A, on the main surface 2x of the wiring board 2, for example, a plurality of capacitors 5 are mounted as surface mount type passive components. The plurality of capacitors 5 are arranged at the central portion where two diagonal lines intersect on the main surface 2x of the wiring board 2, and are soldered to the plurality of passive component electrode pads provided on the main surface 2x of the wiring board 2, for example. Each is electrically and mechanically connected via a material.

図10に示すように、4つの製品搭載領域33は、配線基板2の主面2xの中央部分と配線基板2の外周囲の辺との間、換言すれば、配線基板2の主面2xの中央部分を囲むようにして配置されている。   As shown in FIG. 10, the four product mounting areas 33 are formed between the central portion of the main surface 2 x of the wiring board 2 and the outer peripheral side of the wiring board 2, in other words, on the main surface 2 x of the wiring board 2. It is arranged so as to surround the central part.

4つの製品搭載領域33のうち、第1の製品搭載領域33aの第1及び第2のパッド群は、配線基板2の第1の辺2aの延在方向に沿って延在し、第2の製品搭載領域33bの第1及び第2のパッド群は、配線基板2の第2の辺2bの延在方向に沿って延在し、第3の製品搭載領域33cの第1及び第2のパッド群は、配線基板2の第3の辺2cの延在方向に沿って延在し、第4の製品搭載領域33dの第1及び第2のパッド群は、配線基板2の第4の辺2dの延在方向に沿って延在している。即ち、4つの製品搭載領域33は、配線基板2の外周囲に沿って隣り合う2つの製品搭載領域33において、各々の第1及び第2のパッド群の方向が90度異なる状態で配線基板2の主面2xの中央部分を囲むようにして配置されている。   Of the four product mounting regions 33, the first and second pad groups of the first product mounting region 33a extend along the extending direction of the first side 2a of the wiring board 2, and the second product mounting region 33a The first and second pad groups in the product mounting area 33b extend along the extending direction of the second side 2b of the wiring board 2, and the first and second pads in the third product mounting area 33c. The group extends along the extending direction of the third side 2c of the wiring board 2, and the first and second pad groups of the fourth product mounting region 33d are the fourth side 2d of the wiring board 2. It extends along the extending direction. That is, the four product mounting areas 33 are the wiring board 2 in the state where the directions of the first and second pad groups are 90 degrees different from each other in the two product mounting areas 33 adjacent along the outer periphery of the wiring board 2. It is arranged so as to surround the central portion of the main surface 2x.

図3に示すように、配線基板2の裏面2yに配置された複数の電極パッド26は、厚さ方向と交差する平面形状が長方形になっている。複数の電極パッド26は、各々の長辺が配線基板2の外周囲の辺から遠ざかる方向に沿うようにして配線基板2の各辺に沿って配置されている。配線基板2の裏面に配置された4つの電極パッド26は、配線基板2の4つの角部2sに夫々配置され、角部2sの2辺に沿う夫々の辺の長さが電極パッド26の幅(短辺)よりも広い平面形状になっている。   As shown in FIG. 3, the plurality of electrode pads 26 arranged on the back surface 2 y of the wiring board 2 have a rectangular shape that intersects the thickness direction. The plurality of electrode pads 26 are arranged along each side of the wiring board 2 such that each long side is along a direction away from the outer peripheral side of the wiring board 2. The four electrode pads 26 arranged on the back surface of the wiring board 2 are arranged at the four corners 2s of the wiring board 2, and the length of each side along the two sides of the corner 2s is the width of the electrode pad 26. The planar shape is wider than (short side).

配線基板2は、これに限定されないが、例えば、図5に示すように、主に、基材(コア材)20と、基材20の主面を覆うようにして設けられた保護膜27aと、基材20の主面と反対側の裏面を覆うようにして設けられた保護膜27bとを有する構成になっている。基材20は、例えばガラス繊維にエポキシ系、若しくはポリイミド系の樹脂を含浸させた高弾性樹脂基板を多段に複数枚積み重ね、主面及び裏面(表裏面)、並びに内部に配線層を有する多層配線構造になっており、本実施例では例えば4層配線構造になっている。保護膜27a及び27bは、主に、基材20の表裏面の配線層に形成された配線を保護する目的で設けられている。保護膜27a及び27bとしては、例えば絶縁膜の樹脂膜(ソルダーレジスト膜)が用いられている。   Although the wiring board 2 is not limited to this, for example, as shown in FIG. 5, mainly a base material (core material) 20 and a protective film 27 a provided so as to cover the main surface of the base material 20. The protective film 27 b is provided so as to cover the back surface opposite to the main surface of the base material 20. The base material 20 is, for example, a multilayer wiring in which a plurality of high-elasticity resin substrates impregnated with glass fiber epoxy resin or polyimide resin are stacked in multiple stages, and have a main surface and a back surface (front and back surfaces), and a wiring layer inside. In this embodiment, for example, a four-layer wiring structure is used. The protective films 27 a and 27 b are provided mainly for the purpose of protecting the wiring formed on the wiring layers on the front and back surfaces of the base material 20. As the protective films 27a and 27b, for example, an insulating resin film (solder resist film) is used.

複数の電極パッド25及び複数のチップ選択用電極パッド(25a1,25b1,25a2,25b2)は、配線基板2の主面2xから数えて第1の配線層に形成されており、各々の電極パッドに対応して保護膜27aに形成された開口から露出されている。   The plurality of electrode pads 25 and the plurality of chip selection electrode pads (25a1, 25b1, 25a2, 25b2) are formed in the first wiring layer counting from the main surface 2x of the wiring board 2, and Correspondingly, it is exposed from the opening formed in the protective film 27a.

複数の電極パッド26及び4つの電極パッド26sは、配線基板2の主面2xから数えて第4層目の配線層に形成されており、各々の電極パッドに対応して保護膜27bに形成された開口から露出されている。   The plurality of electrode pads 26 and the four electrode pads 26s are formed in the fourth wiring layer as counted from the main surface 2x of the wiring board 2, and are formed in the protective film 27b corresponding to each electrode pad. It is exposed from the opening.

配線基板2において、第1の配線層には、図11に示す配線パターン21が形成され、第2の層目の配線層には、図12に示す配線パターン22が形成され、第3層目の配線層には、図13に示す配線パターン23が形成され、第4層目の配線層には、図14に示す配線パターン24が形成されている。各配線層は、例えばCu、若しくはCu合金等の金属膜(導電膜)で形成されている。   In the wiring substrate 2, the wiring pattern 21 shown in FIG. 11 is formed in the first wiring layer, and the wiring pattern 22 shown in FIG. 12 is formed in the second wiring layer. A wiring pattern 23 shown in FIG. 13 is formed in this wiring layer, and a wiring pattern 24 shown in FIG. 14 is formed in the fourth wiring layer. Each wiring layer is formed of a metal film (conductive film) such as Cu or Cu alloy.

8個の半導体記憶装置10、複数のコンデンサ5等は、図2((a),(b))に示すように、配線基板2の主面2x上に形成された樹脂封止体3によって樹脂封止されている。樹脂封止体3は、低応力化を図る目的として、例えば、フェノール系硬化剤、シリコーンゴム及び多数のフィラー(例えばシリカ)等が添加されたエポキシ系の熱硬化性絶縁樹脂で形成されている。   Eight semiconductor memory devices 10, a plurality of capacitors 5 and the like are made of resin by a resin sealing body 3 formed on the main surface 2x of the wiring board 2, as shown in FIG. 2 ((a), (b)). It is sealed. For the purpose of reducing the stress, the resin sealing body 3 is formed of, for example, an epoxy thermosetting insulating resin to which a phenolic curing agent, silicone rubber, a large number of fillers (for example, silica) and the like are added. .

樹脂封止体3は、図1((a),(b))に示すように、厚さ方向と交差する平面形状が方形状になっており、本実施例では例えば配線基板2と同一の平面サイズ(26mm×26mm)になっている。樹脂封止体3の形成方法としては、例えば大量生産に好適なトランスファモールディング法が用いられている。   As shown in FIG. 1 ((a), (b)), the resin sealing body 3 has a rectangular planar shape that intersects the thickness direction. In this embodiment, for example, the same as the wiring board 2 is used. It has a planar size (26 mm × 26 mm). As a method for forming the resin sealing body 3, for example, a transfer molding method suitable for mass production is used.

ここで、メモリモジュール1の製造においては、スクライブラインによって区画された複数の製品形成領域(デバイス形成領域,製品取得領域)を有するマルチ配線基板(多数個取り配線基板)を使用し、各製品形成領域に実装された半導体記憶装置を各製品形成領域毎に樹脂封止する個別方式のトランスファモールディング法や、複数の製品形成領域を有するマルチ配線基板を使用し、各製品形成領域に実装された半導体記憶装置を1つの樹脂封止体で一括して樹脂封止する一括方式のトランスファモールディング法を採用することができる。本実施例では、小型化に有効な一括方式のトランスファモールディング法を採用している。   Here, in the manufacture of the memory module 1, each product is formed by using a multi-wiring board (multiple wiring board) having a plurality of product forming areas (device forming areas, product acquiring areas) partitioned by scribe lines. Semiconductors mounted in each product formation area using an individual transfer molding method that encapsulates the semiconductor memory device mounted in each area for each product formation area or a multi-wiring board that has multiple product formation areas A batch type transfer molding method in which the memory device is collectively sealed with a single resin sealing body can be employed. In this embodiment, a batch type transfer molding method effective for miniaturization is employed.

一括方式のトランスファモールディング法の場合、樹脂封止体を形成した後、マルチ配線基板及び樹脂封止体は、例えばダイシングによって複数の小片に分割される。従って、本実施例の樹脂封止体3及び配線基板2は、平面サイズがほぼ同一になっている。   In the case of the collective transfer molding method, after forming the resin sealing body, the multi-wiring substrate and the resin sealing body are divided into a plurality of small pieces by, for example, dicing. Therefore, the planar size of the resin sealing body 3 and the wiring board 2 of the present embodiment is almost the same.

樹脂封止体3は、図4に示すように、2段重ねで実装された2つの半導体記憶装置10の実装高さ(配線基板2の主面から上段の半導体記憶装置10bの樹脂封止体上面までの高さ)h1よりも厚さ(配線基板2の主面2xから上面までの厚さ)t1が厚い第1の部分3aと、この第1の部分3aに連なり、かつ第1の部分3aよりも厚さ(配線基板2の主面2xから上面までの厚さ)t2が厚い第2の部分3bとを有する構成になっている。第2の部分3bは、第1の部分3aよりも平面積が小さくなっており、配線基板2の一辺に沿って形成されている。即ち、本実施例の樹脂封止体3は、その上面に配線基板2の一辺に沿って延在する段差が設けられた外観構造になっている。本実施例において、第1の部分3aの厚さは、例えば2.5mm程度、第2の部分3bの厚さは、例えば4.0mm程度になっている。また、第1部分3aの平面積は、例えば26mm×21mm程度、第2の部分3bの平面積は、例えば26mm×4mm程度になっている。   As shown in FIG. 4, the resin sealing body 3 has a mounting height of two semiconductor memory devices 10 mounted in two layers (the resin sealing body of the upper semiconductor memory device 10 b from the main surface of the wiring board 2. A first portion 3a having a thickness (height from the main surface 2x of the wiring board 2 to the upper surface) t1 thicker than the height h1), and the first portion 3a. The second portion 3b is thicker than the thickness 3a (thickness from the main surface 2x to the upper surface of the wiring board 2) t2. The second portion 3 b has a smaller planar area than the first portion 3 a and is formed along one side of the wiring board 2. That is, the resin sealing body 3 according to the present embodiment has an external structure in which a step extending along one side of the wiring board 2 is provided on the upper surface thereof. In the present embodiment, the thickness of the first portion 3a is, for example, about 2.5 mm, and the thickness of the second portion 3b is, for example, about 4.0 mm. Further, the flat area of the first portion 3a is, for example, about 26 mm × 21 mm, and the flat area of the second portion 3b is, for example, about 26 mm × 4 mm.

図1((a),(b))に示すように、樹脂封止体3の第1の部分3aの上面3xには、識別ラベル4が貼り付けられている。識別ラベル4には、機種名とメモリの内容(記憶されているデータ)が記載されている。また、樹脂封止体3の上面3xには、製品名がレーザによりマーキングされている。   As shown in FIG. 1 ((a), (b)), an identification label 4 is attached to the upper surface 3x of the first portion 3a of the resin sealing body 3. The identification label 4 describes the model name and the memory contents (stored data). The product name is marked with a laser on the upper surface 3x of the resin sealing body 3.

図2(a)に示すように、上段の4つの半導体記憶装置10b及び下段の4つの半導体記憶装置10aは、配線基板2の主面2xの中央部分(複数のコンデンサ5)と配線基板2の外周囲の辺との間、換言すれば、配線基板2の主面2xの中央部分(複数のコンデンサ5)を囲むようにして配置されている。   As shown in FIG. 2A, the upper four semiconductor memory devices 10 b and the lower four semiconductor memory devices 10 a include a central portion (a plurality of capacitors 5) of the main surface 2 x of the wiring board 2 and the wiring board 2. In other words, it is arranged so as to surround the central portion (a plurality of capacitors 5) of the main surface 2 x of the wiring board 2.

上段の4つの半導体記憶装置10b及び下段の4つの半導体記憶装置10aのうち、図10に示す製品搭載領域33aに実装された上段及び下段の半導体記憶装置(10a,10b)は、各々の樹脂封止体18の長辺が配線基板2の第1の辺2aの延在方向に沿うようにして配置され、図10に示す製品搭載領域33bに実装された上段及び下段の半導体記憶装置(10a,10b)は、各々の樹脂封止体18の長辺が配線基板2の第2の辺2bの延在方向に沿うようにして配置され、図10に示す製品搭載領域33cに実装された上段及び下段の半導体記憶装置(10a,10b)は、各々の樹脂封止体18の長辺が配線基板2の第3の辺2cの延在方向に沿うようにして配置され、図10に示す製品搭載領域33dに実装された上段及び下段の半導体記憶装置(10a,10b)は、各々の樹脂封止体18の長辺が配線基板2の第4の辺2dの延在方向に沿うようにして配置されている。即ち、下段及び上段のそれぞれ4つの半導体記憶装置(10a,10b)は、配線基板2の外周囲に沿って隣り合う2つの半導体記憶装置(10a,10b)において、各々の樹脂封止体18の向きが90度異なる状態、換言すれば各々のリード16の先端が向かい合わない状態で配線基板2の主面2xの中央部分を囲むようにして配置されている。更に換言すると、樹脂封止体18の短辺は、配線基板2の外周囲に沿って隣り合う樹脂封止体18の長辺と向かい合う状態で配線基板2の主面2xの中央部を囲むように配置されている。   Of the upper four semiconductor memory devices 10b and the lower four semiconductor memory devices 10a, the upper and lower semiconductor memory devices (10a, 10b) mounted in the product mounting area 33a shown in FIG. The upper and lower semiconductor memory devices (10a, 10a, 10a, 10b) are arranged so that the long side of the stopper 18 extends along the extending direction of the first side 2a of the wiring board 2 and is mounted in the product mounting region 33b shown in FIG. 10b) is arranged such that the long side of each resin sealing body 18 is along the extending direction of the second side 2b of the wiring board 2, and the upper stage mounted on the product mounting region 33c shown in FIG. The lower semiconductor memory devices (10a, 10b) are arranged so that the long sides of the respective resin sealing bodies 18 are along the extending direction of the third side 2c of the wiring board 2, and the product mounting shown in FIG. The upper stage mounted in the area 33d and The semiconductor memory device of the stage (10a, 10b) are arranged long side of each of the resin sealing body 18 is set along the extending direction of the fourth side 2d of the wiring substrate 2. That is, each of the four semiconductor memory devices (10a, 10b) in the lower stage and the upper stage is divided into two semiconductor memory devices (10a, 10b) adjacent to each other along the outer periphery of the wiring board 2. It is arranged so as to surround the central portion of the main surface 2x of the wiring board 2 in a state where the directions are different by 90 degrees, in other words, in a state where the tips of the respective leads 16 do not face each other. In other words, the short side of the resin sealing body 18 surrounds the central portion of the main surface 2x of the wiring board 2 in a state of facing the long side of the resin sealing body 18 adjacent along the outer periphery of the wiring board 2. Is arranged.

次に、メモリモジュール1の製造に使用されるマルチ配線基板について、図15を用いて説明する。
図15に示すように、マルチ配線基板30は、その厚さ方向と交差する平面形状が方形状になっており、本実施例では例えば長方形になっている。マルチ配線基板30の主面には、モールド領域(樹脂封止領域)31が設けられ、このモールド領域31の中には平面的に配置された複数の製品形成領域32が設けられ、この各々の製品形成領域32の中には4つの製品搭載領域33が設けられている。メモリモジュール1の製造において、各製品形成領域32の各々の製品搭載領域33には2段重ねで半導体記憶装置10a及び10bが実装され、モールド領域31には、各製品形成領域32の各々の製品搭載領域33に対応して2段重ねで実装された複数の半導体記憶装置(10a,10b)を一括して樹脂封止する樹脂封止体(一括用樹脂封止体)が形成される。
Next, a multi-wiring substrate used for manufacturing the memory module 1 will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 15, the multi-wiring board 30 has a rectangular planar shape that intersects with the thickness direction thereof, and is, for example, a rectangle in this embodiment. A mold region (resin sealing region) 31 is provided on the main surface of the multi-wiring substrate 30, and a plurality of product formation regions 32 arranged in a plane are provided in the mold region 31. In the product formation area 32, four product mounting areas 33 are provided. In the manufacture of the memory module 1, the semiconductor storage devices 10 a and 10 b are mounted in two product layers in each product mounting region 33 of each product forming region 32, and each product in each product forming region 32 is mounted in the mold region 31. A resin sealing body (collective resin sealing body) for collectively sealing a plurality of semiconductor memory devices (10a, 10b) mounted in two layers corresponding to the mounting region 33 is formed.

各製品形成領域32は、スクライブライン(分離領域)によって区画され、基本的に図10乃至図14に示す配線基板2と同様の構造及び平面形状になっている。配線基板2は、マルチ配線基板30の複数の製品形成領域32を個々に小片化することによって形成される。本実施例において、マルチ配線基板30は、これに限定されないが、例えばX方向に2個、Y方向に2個の行列配置で配置された合計4個の製品形成領域32を有する構成になっている。   Each product formation region 32 is partitioned by a scribe line (separation region), and basically has the same structure and planar shape as the wiring substrate 2 shown in FIGS. The wiring board 2 is formed by individually dividing a plurality of product forming regions 32 of the multi-wiring board 30. In the present embodiment, the multi-wiring board 30 is not limited to this, but has a configuration including, for example, a total of four product formation regions 32 arranged in a matrix arrangement of two in the X direction and two in the Y direction. Yes.

次に、メモリモジュール1の製造工程中のモールディング工程(樹脂封止工程)で使用される成形金型の構成について、図18乃至図20を用いて説明する。なお、成形金型の構成は、成形金型の上型と下型との間にマルチ配線基板を位置決めして型締めした状態で説明する。   Next, the structure of the molding die used in the molding process (resin sealing process) during the manufacturing process of the memory module 1 will be described with reference to FIGS. The configuration of the molding die will be described in a state where the multi-wiring board is positioned and clamped between the upper die and the lower die of the molding die.

図18及び図19に示すように、成形金型40は、上下方向に重ね合う上型41及び下型42を有し、更に、ポット、カル部46、ランナ(樹脂流通路)45、樹脂注入ゲート44、及び封止用キャビティ(樹脂封止体形成部)43等を有する構成になっている。マルチ配線基板30は、上型41の挟持面(合わせ面)41aと下型42の挟持面(合わせ面)42aとの間に配置され、上型41と下型42とを型締めした時の型締め力によって挟持固定される。   As shown in FIGS. 18 and 19, the molding die 40 has an upper die 41 and a lower die 42 that overlap in the vertical direction, and further includes a pot, a cull portion 46, a runner (resin flow passage) 45, and a resin injection gate. 44, a sealing cavity (resin sealing body forming portion) 43, and the like. The multi-wiring board 30 is disposed between the clamping surface (mating surface) 41a of the upper mold 41 and the clamping surface (mating surface) 42a of the lower mold 42, and when the upper mold 41 and the lower mold 42 are clamped. It is clamped and fixed by the clamping force.

カル部46、ランナ45、樹脂注入ゲート44、及び封止用キャビティ43は、これに限定されないが、例えば上型41側に設けられ、上型41の挟持面41aよりも深さ方向に窪む凹部で構成されている。ポットは、これに限定されないが、例えば下型42側に設けられ、カル部46と平面的に重なる位置に配置されている。   The cull portion 46, the runner 45, the resin injection gate 44, and the sealing cavity 43 are not limited to this. For example, the cull portion 46, the runner 45, and the sealing cavity 43 are provided on the upper mold 41 side and are recessed in the depth direction from the clamping surface 41 a of the upper mold 41. It is comprised by the recessed part. The pot is not limited to this, but is provided on the lower mold 42 side, for example, and is disposed at a position overlapping the cull portion 46 in a planar manner.

封止用キャビティ43は、マルチ配線基板30の4つの製品形成領域32を覆うようにしてマルチ配線基板30の主面上に位置し、マルチ配線基板30の4つの製品形成領域32を一括して覆う大きさ(平面サイズ)で形成されている。封止用キャビティ43の平面形状は、マルチ配線基板30の平面形状に対応して長方形になっている。   The sealing cavity 43 is positioned on the main surface of the multi-wiring board 30 so as to cover the four product-forming areas 32 of the multi-wiring board 30, and collectively includes the four product-forming areas 32 of the multi-wiring board 30. It is formed in a size to cover (planar size). The planar shape of the sealing cavity 43 is a rectangle corresponding to the planar shape of the multi-wiring substrate 30.

ランナ45は、複数設けられている。複数のランナ45は、マルチ配線基板30の一辺に沿って配置されている。複数のランナ45は、マルチ配線基板30の一辺を横切り、マルチ配線基板30の内外に亘って延在している。複数のランナ45の各々の一端側は封止用キャビティ43に連結され、各々の他端側は複数のランナ45に対応して設けられた複数のカル部46に夫々連結されている。   A plurality of runners 45 are provided. The plurality of runners 45 are arranged along one side of the multi-wiring board 30. The plurality of runners 45 extend across the inside of the multi-wiring board 30 across one side of the multi-wiring board 30. One end side of each of the plurality of runners 45 is connected to the sealing cavity 43, and the other end side of each of the plurality of runners 45 is connected to a plurality of cull portions 46 provided corresponding to the plurality of runners 45.

樹脂注入ゲート45は、ランナ45と封止用キャビティ43との連結部に設けられており、ランナ45と同数設けられている。ランナ45は、ポットから封止用キャビティ43に樹脂を流すための樹脂流路であり、樹脂注入ゲート44は、封止用キャビティ43に注入される樹脂の入り口であって流量を制御するためのものである。   The resin injection gate 45 is provided at the connection portion between the runner 45 and the sealing cavity 43, and the same number as the runner 45 is provided. The runner 45 is a resin flow path for flowing resin from the pot to the sealing cavity 43, and the resin injection gate 44 is an inlet for the resin injected into the sealing cavity 43 and controls the flow rate. Is.

封止用キャビティ43は、図19に示すように、2段重ねで実装された2つの半導体記憶装置10の実装高さh1(図4参照)よりも高さ(マルチ配線基板30の主面からの深さ)43ahが高い第1の部分43aと、この第1の部分43aに連なり、かつ第1の部分43aよりも高さ(マルチ配線基板30の主面からの深さ)43bhが高い第2の部分43bとを有する構成(h1<43ah<43bh)になっている。   As shown in FIG. 19, the sealing cavity 43 is higher than the mounting height h1 (see FIG. 4) of the two semiconductor memory devices 10 mounted in two layers (from the main surface of the multi-wiring board 30). A first portion 43a having a high depth 43ah, and a first portion 43a that is continuous with the first portion 43a and has a height (depth from the main surface of the multi-wiring substrate 30) 43bh that is higher than the first portion 43a. 2 portion 43b (h1 <43ah <43bh).

図20に示すように、第2の部分43bは、ランナ45から封止用キャビティ43に注入される樹脂の注入方向48a、並びに複数のランナ45から封止用キャビティ43に注入された樹脂が封止用キャビティ43の一辺側からその反対側の他辺側に向かって流れる樹脂流動方向48bに対して平面的に交差する方向に沿って延在している。本実施例において、第2の部分43bは、マルチ配線基板30の一辺(ランナ45が横切る辺)に沿って配置された2つの製品形成領域32に対して1つ、マルチ配線基板30の一辺と反対側の他辺に沿って配置された2つの製品形成領域32に対して1つ、合計2つ設けられている。第2の部分43bは、第1の部分43aよりも平面積が小さくなっている。   As shown in FIG. 20, in the second portion 43b, the injection direction 48a of the resin injected from the runner 45 into the sealing cavity 43 and the resin injected into the sealing cavity 43 from the plurality of runners 45 are sealed. It extends along a direction that intersects the resin flow direction 48b that flows from one side of the stop cavity 43 toward the other side opposite to it. In the present embodiment, the second portion 43b is one for two product formation regions 32 arranged along one side of the multi-wiring substrate 30 (the side crossed by the runner 45), and one side of the multi-wiring substrate 30. A total of two are provided, one for the two product forming regions 32 arranged along the other side of the opposite side. The second portion 43b has a smaller planar area than the first portion 43a.

次に、メモリモジュール1の製造について、図16乃至図23を用いて説明する。
まず、図5に示す半導体記憶装置10a及び10bを準備する。半導体記憶装置10a及び10bは、主に、図16に示すダイボンディング工程〈101〉〜外観検査工程〈105〉を含む製造プロセスによって形成される。ダイボンディング工程〈101〉では、リードフレームのダイパッド15の主面及び裏面に夫々半導体チップ12及び13を接着固定する。ワイヤボンディング工程〈102〉では、半導体チップ12及び13の複数の電極パッド14とリードフレームの複数のリード16とを複数のボンディングワイヤ17で夫々電気的に接続する。樹脂封止工程〈103〉では、半導体チップ12及び13、複数のリード16の各々のインナー部、並びに複数のボンディングワイヤ17等を樹脂封止して樹脂封止体18を形成する。特性検査工程〈104〉では、半導体記憶装置10a及び10bの動作テストを行い、グレードの選別や不良の選別を行う。外観検査工程〈105〉では、樹脂封止体18のバリやキズ等の外観検査、及び樹脂封止体18から突出するリード16のリード曲がりや平坦度を検査し、不良の選別を行う。
Next, manufacture of the memory module 1 will be described with reference to FIGS.
First, the semiconductor memory devices 10a and 10b shown in FIG. 5 are prepared. Semiconductor memory devices 10a and 10b are mainly formed by a manufacturing process including a die bonding step <101> to an appearance inspection step <105> shown in FIG. In the die bonding step <101>, the semiconductor chips 12 and 13 are bonded and fixed to the main surface and the back surface of the die pad 15 of the lead frame, respectively. In the wire bonding step <102>, the plurality of electrode pads 14 of the semiconductor chips 12 and 13 and the plurality of leads 16 of the lead frame are electrically connected by the plurality of bonding wires 17, respectively. In the resin sealing step <103>, the semiconductor chips 12 and 13, the inner portions of each of the plurality of leads 16, the plurality of bonding wires 17, and the like are resin-sealed to form the resin sealing body 18. In the characteristic inspection step <104>, operation tests of the semiconductor memory devices 10a and 10b are performed to select grades and defects. In the appearance inspection step <105>, defective inspection is performed by inspecting appearance of the resin sealing body 18 such as burrs and scratches, and inspecting lead bending and flatness of the leads 16 protruding from the resin sealing body 18.

次に、図17に示すように、マルチ配線基板30の各製品形成領域32の各々の製品搭載領域33に2段重ねで半導体記憶装置10a及び10bを実装すると共に、各製品形成領域32の中央部分に複数のコンデンサ5を実装する(図16の実装工程〈201〉)。半導体記憶装置10a及び10b、並びにコンデンサ5の実装は、例えば製品搭載領域33の電極パッド25及びチップ選択用電極パッド(25a1,25b1,25a2,25b2)、並びに受動部品用電極パッドにスクリーン印刷法で半田ペース材を供給し、その後、電極パッド25及びチップ選択用電極パッド(25a1,25b1,25a2,25b2)上に半導体記憶装置10a及び10bの各々のリード16が位置するように、製品搭載領域33上に2段重ねで半導体記憶装置10a及び10bを配置すると共に、受動部品用電極パッド上にコンデンサ5を配置し、その後、半田材を溶融することによって行われる。   Next, as shown in FIG. 17, the semiconductor memory devices 10 a and 10 b are mounted on each product mounting area 33 of each product forming area 32 of the multi-wiring substrate 30 in a two-tiered manner, and the center of each product forming area 32 is mounted. A plurality of capacitors 5 are mounted on the portion (mounting step <201> in FIG. 16). The semiconductor memory devices 10a and 10b and the capacitor 5 are mounted by, for example, screen printing on the electrode pads 25 and the chip selection electrode pads (25a1, 25b1, 25a2, and 25b2) in the product mounting region 33 and the passive component electrode pads. Solder pace material is supplied, and then the product mounting area 33 so that the leads 16 of the semiconductor memory devices 10a and 10b are positioned on the electrode pads 25 and the chip selection electrode pads (25a1, 25b1, 25a2, 25b2). The semiconductor memory devices 10a and 10b are disposed in a two-layered manner on top of each other, and the capacitor 5 is disposed on the passive component electrode pads, and then the solder material is melted.

次に、図18及び図19に示すように、成形金型40の上型41と下型42との間にマルチ配線基板30を位置決めして型締めする(図16の樹脂封止工程〈202〉)。   Next, as shown in FIGS. 18 and 19, the multi-wiring board 30 is positioned and clamped between the upper mold 41 and the lower mold 42 of the molding die 40 (resin sealing step <202 in FIG. 16). >).

次に、図18及び図19に示すようにマルチ配線基板30を型締めした状態で、ポットからカル部46、ランナ45及び樹脂注入ゲート44を通して封止用キャビティ43の内部に流動性の樹脂(熱硬化性樹脂)を加圧注入し、その後、樹脂を硬化させて図21及び図22に示すように樹脂封止体47を形成する(図16の樹脂封止工程〈202〉)。   Next, as shown in FIGS. 18 and 19, with the multi-wiring substrate 30 clamped, a fluid resin (from the pot through the cull portion 46, the runner 45 and the resin injection gate 44 to the inside of the sealing cavity 43 ( Thermosetting resin) is injected under pressure, and then the resin is cured to form a resin sealing body 47 as shown in FIGS. 21 and 22 (resin sealing step <202> in FIG. 16).

次に、樹脂封止体47の硬化を安定させるキュア工程を施した後、成形金型40を型開きして、成形金型40からマルチ配線基板30を取り出す。   Next, after performing a curing step for stabilizing the curing of the resin sealing body 47, the molding die 40 is opened and the multi-wiring substrate 30 is taken out from the molding die 40.

次に、マルチ配線基板30の各製品形成領域32に対応して樹脂封止体47の上面に、例えば品名、社名、品種、製造ロット番号等の識別マークを、インクジェットマーキング法、ダイレクト印刷法、レーザマーキング法等を用いて形成する(図16のマーキング工程〈203〉)。   Next, on the upper surface of the resin sealing body 47 corresponding to each product formation region 32 of the multi-wiring board 30, for example, an identification mark such as a product name, a company name, a product type, a production lot number, etc., an inkjet marking method, a direct printing method, It forms using a laser marking method etc. (marking process <203> of FIG. 16).

次に、図23に示すように、樹脂封止体47及びマルチ配線基板30を各製品形成領域32に対応して複数の小片(個片)に分割する(図16の個片化工程〈204〉)。この分割は、例えば、図23に示すように、マルチ配線基板30の各製品形成領域32を区画するダイシングラインに沿ってマルチ配線基板30及び樹脂封止体47をダイシングブレードでダイシングすることによって行われる。この工程により、図1に示すような外観構造のメモリモジュール1がほぼ完成する。   Next, as shown in FIG. 23, the resin sealing body 47 and the multi-wiring board 30 are divided into a plurality of small pieces (individual pieces) corresponding to the respective product formation regions 32 (individualization step <204 in FIG. 16). >). For example, as shown in FIG. 23, this division is performed by dicing the multi-wiring board 30 and the resin sealing body 47 with a dicing blade along dicing lines that divide the product forming regions 32 of the multi-wiring board 30. Is called. By this step, the memory module 1 having an external structure as shown in FIG. 1 is almost completed.

次に、メモリモジュール1の動作テストを行い、グレードの選別や不良の選別を行う(図16の特性検査工程〈205〉)。   Next, an operation test of the memory module 1 is performed to select a grade and a defect (characteristic inspection step <205> in FIG. 16).

次に、樹脂封止体3のバリやキズ等の外観検査を行って不良の選別を行う(図16の外観検査工程〈206〉)。この後、メモリモジュール1の樹脂封止体3の上面に識別ラベル4を貼り付ける(図16の識別ラベル貼り付け工程〈207〉)ことにより、図1に示すメモリモジュール1が完成する。   Next, an appearance inspection such as burrs and scratches on the resin sealing body 3 is performed to select defects (an appearance inspection step <206> in FIG. 16). Thereafter, the identification label 4 is affixed to the upper surface of the resin sealing body 3 of the memory module 1 (identification label affixing step <207> in FIG. 16), whereby the memory module 1 shown in FIG. 1 is completed.

メモリモジュール1は、遊技機の1つである例えばパチンコ台に組み込まれて使用される。メモリモジュール1は、パチンコ台の機能変更に伴う電子情報の書き換えを容易にするため、図24に示すように、ソケット51を介して実装基板50に着脱可能な状態で実装される。   The memory module 1 is used by being incorporated in, for example, a pachinko machine that is one of the gaming machines. The memory module 1 is mounted in a detachable state on the mounting substrate 50 via a socket 51 as shown in FIG. 24 in order to facilitate rewriting of electronic information accompanying a change in the function of the pachinko machine.

ソケット51は、メモリモジュール1を収納する収納部が設けられたベース部材52と、ベース部材52の収納部に装着されたメモリモジュール1を覆う蓋部材53とを有する構成になっている。ベース部材52の収納部には、メモリモジュール1の複数の外部接続用端子(電極パッド26,26s)に対応して図25に示すコンタクトピン54が複数配置されている。コンタクトピン54は、ベース部材52内を上下に真っ直ぐ貫通するピン本体54aと、このピン本体54aに連なり、かつ側方に略Uの字状に突出して屈曲した撓み代部分54bと、この撓み代部分54bの中間部から上方に突出する接続部分54cとを有する構造になっている。コンタクトピン54は、例えばリン青銅等のバネ鋼によって形成されている。   The socket 51 includes a base member 52 provided with a storage portion for storing the memory module 1, and a lid member 53 that covers the memory module 1 attached to the storage portion of the base member 52. In the housing portion of the base member 52, a plurality of contact pins 54 shown in FIG. 25 are arranged corresponding to the plurality of external connection terminals (electrode pads 26, 26s) of the memory module 1. The contact pin 54 includes a pin main body 54a that passes straight through the inside of the base member 52, a bending allowance portion 54b that is connected to the pin main body 54a and that protrudes to the side in a substantially U shape, and is bent. The connection portion 54c protrudes upward from the intermediate portion of the portion 54b. The contact pin 54 is made of spring steel such as phosphor bronze.

ソケット51は、ベース部材52の収納部に装着されたメモリモジュール1を蓋部材53で下方に向かって押圧することにより、メモリモジュール1の裏面に配置された複数の外部接続用端子(26,26s)に複数のコンタクトピン54の接続部54cが接触し、電気的な導通がなされる構造になっている。コンタクトピン54の接続部54cは、図25に示すように、メモリモジュール1の外周囲から内側に向かってメモリモジュール1の裏面の外部接続用端子(26,26s)を擦りながら外部接続用端子(26,26s)に接続される。このようにコンタクトピン54の接続部54cが外側から内側に向かって移動する構造を内ワイピング構造と呼んでいる。   The socket 51 presses the memory module 1 mounted in the storage portion of the base member 52 downward with the lid member 53, whereby a plurality of external connection terminals (26, 26 s) arranged on the back surface of the memory module 1. ) And the contact portions 54c of the plurality of contact pins 54 are in contact with each other, and electrical conduction is achieved. As shown in FIG. 25, the connection portion 54c of the contact pin 54 is connected to the external connection terminals (26, 26s) while rubbing the external connection terminals (26, 26s) on the back surface of the memory module 1 from the outer periphery to the inner side. 26, 26s). A structure in which the connection portion 54c of the contact pin 54 moves from the outside toward the inside is called an inner wiping structure.

ところで、パチンコ台では、画像や音声の電子情報を記憶するため、例えば512Mbitの半導体記憶装置が8個使用されている。この8個の半導体記憶装置は、パチンコ台の機能変更に伴う電子情報の書き換えを容易にするため、ソケットを介して実装基板に着脱可能な状態で実装されている。   By the way, in the pachinko machine, for example, eight 512 Mbit semiconductor memory devices are used to store electronic information such as images and sounds. These eight semiconductor memory devices are mounted in a detachable state on a mounting board via a socket in order to facilitate rewriting of electronic information accompanying a change in function of the pachinko machine.

しかしながら、ソケットによる半導体記憶装置の実装においては、8個の半導体記憶装置に対して、夫々対応するソケットが8個並んでいるため、本来対応するソケットに半導体記憶装置を装着しなければならないところを誤って別の半導体記憶装置を装着してしまうといった誤装着が起き易い。   However, in the mounting of the semiconductor memory device by the socket, since eight corresponding sockets are arranged for each of the eight semiconductor memory devices, the semiconductor memory device must be originally mounted in the corresponding socket. Incorrect mounting is likely to occur when another semiconductor memory device is mounted by mistake.

これに対して、本実施例のメモリモジュール1は、図2に示すように、配線基板2の主面2xに8個の半導体記憶装置10を実装してモジュール化しているため、ソケット51にメモリモジュール1を装着することによって8個の半導体記憶装置10がソケットに装着されることになる。従って、1つのソケットに1つの半導体記憶装置を装着する場合と比較して、半導体記憶装置10のソケットへの誤装着を軽減することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 2, the memory module 1 of the present embodiment is modularized by mounting eight semiconductor memory devices 10 on the main surface 2x of the wiring board 2, so that the memory is stored in the socket 51. By mounting the module 1, eight semiconductor memory devices 10 are mounted in the socket. Therefore, it is possible to reduce erroneous mounting of the semiconductor memory device 10 in the socket as compared with the case where one semiconductor memory device is mounted in one socket.

また、8個の半導体記憶装置10を夫々対応する8個のソケットに1個ずつ装着する必要がないため、半導体記憶装置10のソケットへの装着回数を軽減することができる。
また、実装基板上において、8個分のソケットを揃える必要がないため、実装基板50の小型化を図ることができる。
In addition, since it is not necessary to mount each of the eight semiconductor storage devices 10 in the corresponding eight sockets, the number of mounting of the semiconductor storage device 10 in the socket can be reduced.
Further, since it is not necessary to arrange eight sockets on the mounting substrate, the mounting substrate 50 can be reduced in size.

パチンコ台においては、1つのソケットに1つの半導体記憶装置を装着する場合、不正を抑制するため、保安電子通信技術協会(保通協)から、半導体記憶装置の内容が識別できるように、全ての半導体記憶装置に識別ラベルを貼り付けることが義務付けられている。このため、半導体記憶装置毎に識別ラベルを1つ1つ手作業で貼り付ける必要があり、面倒で手間が掛かかる。   In the pachinko machine, when one semiconductor memory device is mounted in one socket, in order to prevent fraud, all of the contents of the semiconductor memory device can be identified from the Secure Electronic Communication Technology Association (Hotsukyo Association). It is mandatory to attach an identification label to the semiconductor memory device. For this reason, it is necessary to affix the identification label for each semiconductor memory device one by one, which is cumbersome and time-consuming.

これに対して、本実施例のメモリモジュール1は、図2に示すように、配線基板2の主面2xに8個の半導体記憶装置10を実装し、更に8個の半導体記憶装置10を樹脂封止体3によって樹脂封止しているため、メモリモジュール1の樹脂封止体3に識別ラベル4を貼り付けることによって8個の半導体記憶装置10に貼り付ける識別ラベルを省略することができる。従って、8個の半導体記憶装置10の全てに識別ラベルを貼り付ける場合と比較して、識別ラベルの貼り付けに起因する労力を軽減することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 2, in the memory module 1 of the present embodiment, eight semiconductor memory devices 10 are mounted on the main surface 2x of the wiring board 2, and further eight semiconductor memory devices 10 are made of resin. Since the resin sealing is performed by the sealing body 3, the identification labels to be attached to the eight semiconductor memory devices 10 can be omitted by attaching the identification labels 4 to the resin sealing body 3 of the memory module 1. Therefore, as compared with the case where the identification labels are attached to all the eight semiconductor memory devices 10, the labor caused by the application of the identification labels can be reduced.

TSOP型半導体記憶装置は、半導体チップの電極パッドと電気的に接続されたリードを樹脂封止体の側面から突出させて所定の形状に折り曲げ成形したパッケージ構造になっているため、ソケットに対する着脱によってリードが変形し易く、ソケットとの接触不良が起こり易い。   The TSOP type semiconductor memory device has a package structure in which a lead electrically connected to an electrode pad of a semiconductor chip protrudes from a side surface of a resin sealing body and is bent into a predetermined shape. The lead is easily deformed, and poor contact with the socket is likely to occur.

これに対して、本実施例のメモリモジュール1は、図3に示すように、配線基板2の裏面に外部接続用端子として複数の電極パッド26を配置したLGA型パッケージ構造になっているため、TSOP型半導体装置のようにソケットに対する着脱によってリードが変形するといった不具合の発生がない。したがって、ソケット51との接続信頼性が高いメモリモジュール1を提供できる。   On the other hand, the memory module 1 of this embodiment has an LGA type package structure in which a plurality of electrode pads 26 are arranged as external connection terminals on the back surface of the wiring board 2 as shown in FIG. There is no problem that the lead is deformed by attaching / detaching to / from the socket unlike the TSOP type semiconductor device. Therefore, the memory module 1 having high connection reliability with the socket 51 can be provided.

本実施例のメモリモジュール1は、図2に示すように、配線基板2の主面2xに実装された8個の半導体記憶装置10を樹脂封止体3によって樹脂封止している。このように8個の半導体記憶装置10を樹脂封止体3によって樹脂封止することにより、8個の半導体記憶装置を金属ケース等のカバー部材で単純に覆う場合と比較して、樹脂封止体3は容易に除去できないため、不正に対する信頼性が高いメモリモジュール1を提供できる。   In the memory module 1 of this embodiment, as shown in FIG. 2, eight semiconductor memory devices 10 mounted on the main surface 2x of the wiring board 2 are sealed with a resin sealing body 3. In this way, by sealing the eight semiconductor memory devices 10 with the resin sealing body 3, compared to the case where the eight semiconductor memory devices are simply covered with a cover member such as a metal case, the resin sealing is performed. Since the body 3 cannot be easily removed, the memory module 1 with high reliability against fraud can be provided.

TSOP型半導体記憶装置においても、樹脂封止体の上面に方向を示すインデックスが設けられているが、TSOP型半導体装置は、リード配列の方向に沿う中心線に対して左右対称となっているため、逆向きにしてもソケットへの装着が可能であり、誤って向きを反対にしてソケットへ装着してしまうといった誤装着が懸念される。   Even in the TSOP type semiconductor memory device, an index indicating the direction is provided on the upper surface of the resin sealing body, but the TSOP type semiconductor device is symmetrical with respect to the center line along the direction of the lead arrangement. Even if it is reversed, it can be mounted in the socket, and there is a concern that it may be erroneously mounted in the socket in the opposite direction.

これに対し、本実施例のメモリモジュール1の樹脂封止体3は、図4に示すように、2段重ねで実装された2つの半導体記憶装置10の実装高さ(配線基板2の主面から上段の半導体記憶装置10bの樹脂封止体上面までの高さ)h1よりも厚さ(配線基板2の主面2xから上面までの厚さ)t1が厚い第1の部分3aと、この第1の部分3aに連なり、かつ第1の部分3aよりも厚さ(配線基板2の主面2xから上面までの厚さ)t2が厚い第2の部分3bとを有する構成になっており、その上面に配線基板2の一辺に沿って延在する段差が設けられた外観構造になっている。この段差に対応してソケット51の蓋部材53に段差を設けて置くことにより、向きを間違えた場合にメモリモジュール1のソケット51への装着が出来なくなる。従って、メモリモジュール1のソケットへの方向性に対する誤装着を抑制することができる。   On the other hand, the resin sealing body 3 of the memory module 1 of the present embodiment has a mounting height (the main surface of the wiring board 2) of the two semiconductor memory devices 10 mounted in two layers as shown in FIG. The first portion 3a having a thickness t1 (thickness from the main surface 2x to the upper surface of the wiring board 2) t1 greater than h1 (height from the top surface of the resin sealing body of the upper semiconductor memory device 10b to h1); And a second portion 3b that is continuous with the first portion 3a and has a thickness t2 (thickness from the main surface 2x to the upper surface of the wiring board 2) t2 that is thicker than the first portion 3a. It has an external structure in which a step extending along one side of the wiring board 2 is provided on the upper surface. By providing a step on the lid member 53 of the socket 51 corresponding to this step, the memory module 1 cannot be mounted in the socket 51 when the orientation is wrong. Therefore, it is possible to suppress erroneous mounting with respect to the directionality of the memory module 1 to the socket.

本実施例のメモリモジュール1は、配線基板2の主面2xに平面的に配置された4つの半導体記憶装置10aと、この4つの半導体記憶装置10aに対応して各々の半導体記憶装置10a上に配置された4つの半導体記憶装置10bとを1つの樹脂封止体3によって樹脂封止しているため、2段重ねで実装された2つの半導体記憶装置10の実装高さh1よりも樹脂封止体3の厚さを薄くして樹脂封止体3の上面に段差を形成することが困難である。従って、本実施例のように、2段重ねで実装された2つの半導体記憶装置10の実装高さh1よりも厚さt1が厚い第1の部分3aと、この第1の部分3aに連なり、かつ第1の部分3aよりも厚さ(配線基板2の主面2xから上面までの厚さ)t2が厚い第2の部分3bとを有する構成にし、上面に配線基板2の一辺に沿って延在する段差が設けられた樹脂封止体3とすることが望ましい。   The memory module 1 according to the present embodiment includes four semiconductor memory devices 10a arranged in a plane on the main surface 2x of the wiring board 2, and each of the semiconductor memory devices 10a corresponding to the four semiconductor memory devices 10a. Since the four semiconductor memory devices 10b arranged are resin-sealed by one resin sealing body 3, the resin sealing is performed more than the mounting height h1 of the two semiconductor memory devices 10 mounted in two layers. It is difficult to reduce the thickness of the body 3 and form a step on the upper surface of the resin sealing body 3. Therefore, as in the present embodiment, the first portion 3a having a thickness t1 larger than the mounting height h1 of the two semiconductor memory devices 10 mounted in two layers is connected to the first portion 3a. The second portion 3b is thicker than the first portion 3a (thickness from the main surface 2x to the upper surface of the wiring substrate 2) t2 and extends along one side of the wiring substrate 2 on the upper surface. It is desirable to make the resin sealing body 3 provided with existing steps.

本実施例のように樹脂封止体3の厚さを部分的に厚くして樹脂封止体3の上面に段差を設ける場合は、樹脂の量が増加するため、配線基板2と樹脂封止体3との線膨張係数差に起因する応力の影響で配線基板2に反りが発生し易くなる。従って、本実施例のように、樹脂封止体3の第2の部分3bは第1の部分3aよりも平面積を小さくすることが望ましい。   When the resin sealing body 3 is partially thickened and a step is provided on the upper surface of the resin sealing body 3 as in the present embodiment, the amount of resin increases, so the wiring board 2 and the resin sealing The wiring board 2 is likely to warp due to the influence of stress resulting from the difference in linear expansion coefficient with the body 3. Therefore, as in this embodiment, it is desirable that the second portion 3b of the resin sealing body 3 has a smaller planar area than the first portion 3a.

本実施例のメモリモジュール1において、図2に示すように、下段及び上段のそれぞれ4つの半導体記憶装置(10a,10b)は、配線基板2の外周囲に沿って隣り合う2つの半導体記憶装置(10a,10b)において、各々の樹脂封止体18の向きが90度異なる状態、換言すれば各々のリード16の先端が向かい合わない状態で配線基板2の主面2xの中央部分を囲むようにして配置されている。   In the memory module 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 2, each of the lower and upper four semiconductor memory devices (10 a and 10 b) has two adjacent semiconductor memory devices along the outer periphery of the wiring board 2 ( 10a and 10b), the resin sealing bodies 18 are disposed so as to surround the central portion of the main surface 2x of the wiring board 2 in a state where the directions of the resin sealing bodies 18 are different by 90 degrees, in other words, in a state where the tips of the leads 16 do not face each other. ing.

このような構成にすることにより、隣り合う半導体装置の各々のリードの先端が向かい合うように向きを揃えて配置した場合と比較して、配線基板2と樹脂封止体3との線膨張係数に起因する応力を分散することができるため、配線基板2の反りを抑制することができる。この結果、メモリモジュール1の裏面に配置された複数の外部接続用端子の平坦度を確保でき、メモリモジュール1の外部接続用端子とソケット51のリードピンとの接触不良を抑制できるため、ソケット51との接続信頼性が高いメモリモジュール1を提供できる。   By adopting such a configuration, the linear expansion coefficient between the wiring substrate 2 and the resin sealing body 3 can be increased as compared with the case where the tips of the leads of adjacent semiconductor devices are arranged to face each other. Since the resulting stress can be dispersed, warping of the wiring board 2 can be suppressed. As a result, the flatness of the plurality of external connection terminals arranged on the back surface of the memory module 1 can be ensured, and poor contact between the external connection terminals of the memory module 1 and the lead pins of the socket 51 can be suppressed. The memory module 1 with high connection reliability can be provided.

ソケット51において、コンタクトピン54の接続部54cは、図25に示すように、メモリモジュール1をソケットに装着する時、メモリモジュール1の外周囲から内側に向かってメモリモジュール1の裏面の外部接続用端子(26,26s)を擦りながら外部接続用端子(26,26s)に接続される。この内ワイピング構造の場合、配線基板2の裏面の角部2sを挟んで隣り合う2つの電極パッドと対応する2つのコンタクトピンの夫々の接続部が近接するため、両者が短絡するといった不具合が懸念される。   In the socket 51, as shown in FIG. 25, the connection portion 54c of the contact pin 54 is used for external connection on the back surface of the memory module 1 from the outer periphery to the inner side when the memory module 1 is mounted in the socket. The terminal (26, 26s) is connected to the external connection terminal (26, 26s) while rubbing the terminal (26, 26s). In the case of this inner wiping structure, since the connection portions of the two contact pins corresponding to the two electrode pads adjacent to each other across the corner 2s on the back surface of the wiring board 2 are close to each other, there is a concern that they may be short-circuited. Is done.

そこで、配線基板2の角部2sを挟んで隣り合う2つの電極パッドを、基準電位に電位固定される電極パッドとすることにより、この2つの電極パッドに対応する2つのコンタクトピンの接続部が接触しても、電気的な不具合は発生しない。本実施例では、図3に示すように、配線基板2の裏面において、角部2sの2辺に沿う夫々の辺の長さが電極パッド26の幅(短辺)よりも広い平面形状の電極パッド26sを4つの角部2sに夫々配置している。このような構成にすることにより、この電極パッド26sに接続される2つのコンタクトピンの各々の接続部が近接して接触しても、電気的な不具合は発生しないため、メモリモジュール1のソケットに対する接続信頼性を高めることができる。   Therefore, by connecting the two electrode pads adjacent to each other with the corner 2s of the wiring board 2 as the electrode pads that are fixed to the reference potential, the connection portions of the two contact pins corresponding to the two electrode pads can be obtained. There is no electrical failure even when touching. In this embodiment, as shown in FIG. 3, the electrode having a planar shape in which the length of each side along the two sides of the corner 2 s is wider than the width (short side) of the electrode pad 26 on the back surface of the wiring board 2. Pads 26s are arranged at the four corners 2s, respectively. By adopting such a configuration, even if the connection portions of the two contact pins connected to the electrode pad 26s are in close contact with each other, no electrical failure occurs. Connection reliability can be improved.

一括モールディング方式では、封止用キャビティの厚さ(高さ)に対する平面積の比が非常に大きくなるため、熱硬化性樹脂の硬化が始まって流動性が低下するまでの限られた時間の中で、迅速にかつ均一に熱硬化性樹脂を充填する必要がある。迅速にかつ均一に熱硬化性樹脂を充填するたには、樹脂注入ゲートからその反対側に向かって封止用キャビティの中を流れる熱硬化性樹脂の平面方向の流速差をなるべく小さくする必要がある。熱硬化性樹脂は、封止用キャビティの厚さが厚い所では速く、キャビティの厚さが薄い所では遅く流れる。   In the batch molding method, the ratio of the flat area to the thickness (height) of the sealing cavity becomes very large, so that the thermosetting resin begins to harden and the flowability is reduced. Therefore, it is necessary to quickly and uniformly fill the thermosetting resin. In order to quickly and uniformly fill the thermosetting resin, it is necessary to reduce the difference in flow rate in the planar direction of the thermosetting resin flowing in the sealing cavity from the resin injection gate toward the opposite side as much as possible. is there. The thermosetting resin flows fast where the sealing cavity is thick and slow when the cavity is thin.

本実施例において、封止用キャビティ43は、図19に示すように、2段重ねで実装された2つの半導体記憶装置10の実装高さh1(図4参照)よりも高さ(マルチ配線基板30の主面からの深さ)43ahが高い第1の部分43aと、この第1の部分43aに連なり、かつ第1の部分43aよりも高さ(マルチ配線基板30の主面からの深さ)43bhが高い第2の部分43bとを有し、第2の部分43bは、図20に示すように、ランナ45から樹脂注入ゲート44を通して封止用キャビティ43に注入される樹脂の注入方向48a、並びに樹脂注入ゲート44側からその反対側に向かって封止用キャビティ43の中を流れる樹脂の流れ方向48bに対して交差する方向に沿って延在しているため、第2の部分43bを樹脂の注入方向48a並びに樹脂の流れ方向48bに沿う方向に延在させた場合と比べて、樹脂注入ゲート44からその反対側に向かって封止用キャビティ43の中を流れる熱硬化性樹脂の平面方向の流速差を小さくすることができる。従って、本実施例のように封止用キャビティ43を構成することにより、迅速にかつ均一に熱硬化性樹脂を充填することができるため、ボイドの発生を抑制でき、メモリモジュール1の製造歩留まり向上を図ることができる。   In the present embodiment, as shown in FIG. 19, the sealing cavity 43 is higher than the mounting height h1 (see FIG. 4) of the two semiconductor memory devices 10 mounted in a two-layer stack (multi-wiring board). The first portion 43a having a high 43ah (depth from the main surface 30) and the first portion 43a are connected to the first portion 43a and are higher than the first portion 43a (the depth from the main surface of the multi-wiring board 30). ) 43bh is a second portion 43b having a high height, and the second portion 43b is, as shown in FIG. 20, the injection direction 48a of the resin injected into the sealing cavity 43 from the runner 45 through the resin injection gate 44. As well as extending in the direction intersecting the flow direction 48b of the resin flowing in the sealing cavity 43 from the resin injection gate 44 side toward the opposite side, the second portion 43b is Resin injection direction Compared with the case of extending in the direction along the flow direction 48b of the resin 8a and the resin, the flow rate difference in the plane direction of the thermosetting resin flowing in the sealing cavity 43 from the resin injection gate 44 toward the opposite side. Can be reduced. Therefore, by forming the sealing cavity 43 as in the present embodiment, the thermosetting resin can be filled quickly and uniformly, so that generation of voids can be suppressed and the manufacturing yield of the memory module 1 can be improved. Can be achieved.

図10に示すように、チップ選択用電極パッド25a1及び25b1、並びにチップ選択用電極パッド25a2及び25b2は、電極パッド25の配列方向に対して平面的に直行する方向に沿って互いに離間して直列に配置され、電気的に分離されている。チップ選択用電極パッド25a1及び25a2は、チップ選択用電極パッド25b1及び25b2よりも内側に配置されている。   As shown in FIG. 10, the chip selection electrode pads 25a1 and 25b1 and the chip selection electrode pads 25a2 and 25b2 are spaced apart from each other along a direction perpendicular to the arrangement direction of the electrode pads 25 in series. And are electrically separated. The chip selection electrode pads 25a1 and 25a2 are disposed inside the chip selection electrode pads 25b1 and 25b2.

図11に示すように、チップ選択用電極パッド25a1には、配線21aが連なり、チップ選択用電極パッド25b1には、配線21bが連なっている。配線21aは、チップ選択用電極パッド25a1から電極パッド群の内側に引き出され、配線21bは、チップ選択用電極パッド25b1から電極パッド群の外側に引き出されている。   As shown in FIG. 11, the wiring 21a is connected to the chip selection electrode pad 25a1, and the wiring 21b is connected to the chip selection electrode pad 25b1. The wiring 21a is drawn from the chip selection electrode pad 25a1 to the inside of the electrode pad group, and the wiring 21b is drawn from the chip selection electrode pad 25b1 to the outside of the electrode pad group.

例えば、隣り合う製品搭載領域33を各々の電極パッド群が向かい合うように配置した場合、隣り合う製品搭載領域33の間に配線21bを引き回すための領域が必要であるが、本実施例の4つの製品搭載領域33は、配線基板2の外周囲に沿って隣り合う2つの製品搭載領域33において、各々の第1及び第2のパッド群の方向が90度異なる状態で配線基板2の主面2xの中央部分を囲むようにして配置されているため、隣り合う製品搭載領域33の間に配線21bを引き回すための領域が不要である。従って、本実施例においては、メモリモジュール1の小型化を図ることができる。   For example, when the adjacent product mounting areas 33 are arranged so that the electrode pad groups face each other, an area for routing the wiring 21b between the adjacent product mounting areas 33 is necessary. The product mounting area 33 is the main surface 2x of the wiring board 2 in the two product mounting areas 33 adjacent along the outer periphery of the wiring board 2 with the directions of the first and second pad groups being 90 degrees different from each other. Therefore, a region for routing the wiring 21b between the adjacent product mounting regions 33 is not necessary. Therefore, in this embodiment, the memory module 1 can be downsized.

図26は、本発明の一実施例の変形例であるメモリモジュールの模式的底面図である。
本変形例は、図26に示すように、配線基板2の角部2sを挟んで隣り合う2つの電極パッド26mを、基準電位に電位固定される電極パッドとした例である。このような構成にすることにより、この2つの電極パッドに対応する2つのコンタクトピンの接続部が接触しても、電気的な不具合は発生しない。
FIG. 26 is a schematic bottom view of a memory module which is a modification of the embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 26, this modification is an example in which two electrode pads 26m adjacent to each other with the corner 2s of the wiring board 2 interposed therebetween are electrode pads whose potential is fixed to a reference potential. By adopting such a configuration, even if the connection portions of the two contact pins corresponding to the two electrode pads are in contact with each other, no electrical failure occurs.

ところで、モジュールにおいては、配線基板の主面に直に複数の半導体チップを実装し、この複数の半導体チップを樹脂封止体によって樹脂封止したものが知られている。このモジュールにおいては、樹脂封止する前に半導体チップに不良が見つかった場合、不良の半導体チップのみ交換することが困難である。これに対し、本実施例のメモリモジュール1では、半導体チップをパッケージングした半導体記憶装置を配線基板に実装しているため、樹脂封止する前に半導体記憶装置に不良が見つかった場合に、不良の半導体記憶装置のみを容易に交換することができるため、メモリモジュール1の製造歩留まり向上を図ることができる。   By the way, a module is known in which a plurality of semiconductor chips are mounted directly on the main surface of a wiring board, and the plurality of semiconductor chips are resin-sealed with a resin sealing body. In this module, when a defect is found in a semiconductor chip before resin sealing, it is difficult to replace only the defective semiconductor chip. On the other hand, in the memory module 1 of this embodiment, since the semiconductor memory device in which the semiconductor chip is packaged is mounted on the wiring board, if a defect is found in the semiconductor memory device before resin sealing, Since only the semiconductor memory device can be easily replaced, the manufacturing yield of the memory module 1 can be improved.

なお、前述の実施例では、複数の半導体記憶装置10を覆うカバー部材として樹脂封止体3を用いた例について説明したが、不正に対する信頼性を考慮しなければ、単純なカバー部材で複数の半導体記憶装置10を覆うようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the example in which the resin sealing body 3 is used as the cover member that covers the plurality of semiconductor storage devices 10 has been described. However, if the reliability against fraud is not taken into consideration, a plurality of simple cover members may be used. The semiconductor memory device 10 may be covered.

以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。   As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the above embodiments. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Of course.

例えば、本実施例では、半導体記憶装置10がTSOP型パッケージ構造である場合について説明したが、複数のリード(第1の外部接続用端子)16が実装面(樹脂封止体18の下面)側に突出(露出)するQFN型パッケージ構造、BGA型パッケージ構造、又はLGA型パッケージ構造であっても良い。これにより、図27に示すように、複数のリード(第1の外部接続用端子)16が樹脂封止体18の側面から突出していないので、TSOP型パッケージ構造により製造した半導体記憶装置10を配線基板2の主面上に実装した場合に比べ、更なる半導体記憶装置55の小型化が可能である。しかしながら、上記したようにQFN型パッケージ構造、BGA型パッケージ構造、およびLGA型パッケージ構造は、複数のリード(第1の外部接続用端子)16が実装面側に露出しているため、本実施例のように半導体記憶装置の上に、更に半導体記憶装置10を積層することが困難である。これにより、TSOP型パッケージ構造により半導体記憶装置10を製造する場合よりも、メモリモジュール1の得られる総容量は低くなる。   For example, in the present embodiment, the case where the semiconductor memory device 10 has a TSOP type package structure has been described, but a plurality of leads (first external connection terminals) 16 are on the mounting surface (the lower surface of the resin sealing body 18) side. It may be a QFN type package structure, a BGA type package structure, or an LGA type package structure that protrudes (exposes). Thereby, as shown in FIG. 27, since the plurality of leads (first external connection terminals) 16 do not protrude from the side surface of the resin sealing body 18, the semiconductor memory device 10 manufactured with the TSOP type package structure is wired. Compared with the case where the semiconductor memory device 55 is mounted on the main surface of the substrate 2, the semiconductor memory device 55 can be further reduced in size. However, as described above, in the QFN type package structure, the BGA type package structure, and the LGA type package structure, the plurality of leads (first external connection terminals) 16 are exposed on the mounting surface side. As described above, it is difficult to further stack the semiconductor memory device 10 on the semiconductor memory device. As a result, the total capacity of the memory module 1 obtained is lower than when the semiconductor memory device 10 is manufactured with the TSOP type package structure.

また、例えば、本実施例では、半導体チップ12及び13の各々の主面には、記憶回路としてEEPROMが形成されていることについて説明したが、NOR型、AND型、NAND型でもよい。但し、AND型、NAND型については、NOR型とは異なり、その特性に微小の欠損部分が生じる。そのため欠損した部分を補うために、メモリの処理動作をサポートするためのASIC(制御用IC)が必要となる。それ故に、AND型、又はNAND型の記憶回路が形成されている半導体チップを使用する場合は、その主面にASICを有する半導体チップもメモリモジュール1内に混載される。これにより、EEPROM、又はNOR型の記憶回路を有する半導体チップで構成されたメモリモジュール1よりも高速処理が可能なメモリモジュールを構成することが可能である。   Further, for example, in the present embodiment, it has been described that the EEPROM is formed as the memory circuit on each of the main surfaces of the semiconductor chips 12 and 13, but a NOR type, an AND type, and a NAND type may be used. However, unlike the NOR type, the AND type and the NAND type have a minute defect portion in their characteristics. Therefore, an ASIC (control IC) for supporting the processing operation of the memory is necessary to compensate for the missing portion. Therefore, when using a semiconductor chip on which an AND-type or NAND-type storage circuit is formed, a semiconductor chip having an ASIC on its main surface is also mounted in the memory module 1. As a result, it is possible to configure a memory module capable of performing higher-speed processing than the memory module 1 configured of an EEPROM or a semiconductor chip having a NOR type storage circuit.

本発明の一実施例であるメモリモジュールの外観構造を示す図((a)は模式的平面図,(b)は模式的側面図)である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure ((a) is a typical top view, (b) is a typical side view) which shows the external appearance structure of the memory module which is one Example of this invention. 図1のメモリモジュールの内部構造を示す図((a)は樹脂封止体を省略した模式的平面図,(b)は(a)のa’−a’線に沿う模式的断面図)である。1A and 1B are diagrams illustrating an internal structure of the memory module in FIG. 1 (a is a schematic plan view in which a resin sealing body is omitted, and FIG. 1b is a schematic cross-sectional view taken along line a′-a ′ in FIG. 1a). is there. 図1のメモリモジュールの模式的底面図である。FIG. 2 is a schematic bottom view of the memory module of FIG. 1. 図2(b)を拡大した模式的断面図である。FIG. 3 is an enlarged schematic cross-sectional view of FIG. 図4の一部を拡大した模式的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view in which a part of FIG. 4 is enlarged. 図5を簡略化して示す展開図である。FIG. 6 is a development view showing FIG. 5 in a simplified manner. 図6の半導体記憶装置の外観構造を示す図((a)は下段の半導体記憶装置の)模式的平面図,(b)は上段の半導体記憶装置の模式的平面図)である。7A is a schematic plan view showing the external structure of the semiconductor memory device of FIG. 6, and FIG. 7B is a schematic plan view of the upper semiconductor memory device. FIG. 図6とは異なる第1の断面を簡略化して示す展開図である。FIG. 7 is a development view schematically showing a first cross section different from FIG. 6. 図6とは異なる第2の断面を簡略化して示す展開図である。FIG. 7 is a development view schematically showing a second cross section different from FIG. 6. 図5の配線基板の主面に配置された電極パッドの配置パターンを示す模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing an arrangement pattern of electrode pads arranged on the main surface of the wiring board of FIG. 5. 図5の配線基板において、第1層目の配線パターンを示す模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing a first layer wiring pattern in the wiring board of FIG. 5. 図5の配線基板において、第2層目の配線パターンを示す模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing a second-layer wiring pattern in the wiring board of FIG. 5. 図5の配線基板において、第3層目の配線パターンを示す模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing a third layer wiring pattern in the wiring board of FIG. 5. 図5の配線基板において、第4層目の配線パターンを示す模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing a fourth layer wiring pattern in the wiring board of FIG. 5. 本発明の一実施例であるメモリモジュールの製造に使用されるマルチ配線基板の概略構成を示す模式的平面図である。It is a typical top view showing a schematic structure of a multi wiring board used for manufacture of a memory module which is one example of the present invention. 本発明の一実施例であるメモリモジュールの製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the memory module which is one Example of this invention. 本発明の一実施例であるメモリモジュールの製造において、マルチ配線基板に半導体記憶装置を実装した状態を示す模式的平面図である。1 is a schematic plan view showing a state in which a semiconductor memory device is mounted on a multi-wiring board in the manufacture of a memory module that is one embodiment of the present invention. 本発明の一実施例であるメモリモジュールの製造において、成型金型にマルチ配線基板を型締めした状態を示す模式的透視平面図である。FIG. 5 is a schematic perspective plan view showing a state in which a multi-wiring board is clamped to a molding die in manufacturing a memory module according to an embodiment of the present invention. 図18のb’−b’線に沿う模式的断面図である。It is typical sectional drawing which follows the b'-b 'line | wire of FIG. 図18の封止用キャビティの詳細を示す模式的透視平面図である。FIG. 19 is a schematic perspective plan view showing details of the sealing cavity of FIG. 18. 本発明の一実施例であるメモリモジュールの製造において、成型金型の封止用キャビティに樹脂を注入して樹脂封止体を形成した状態を示す模式的透視平面図である。FIG. 4 is a schematic perspective plan view showing a state in which a resin sealing body is formed by injecting resin into a sealing cavity of a molding die in manufacturing a memory module according to an embodiment of the present invention. 図21のc’−c’線に沿う模式的断面図である。It is typical sectional drawing which follows the c'-c 'line | wire of FIG. 本発明の一実施例であるメモリモジュールの製造において、マルチ配線基板及び樹脂封止体を小片化した状態を示す模式的平面図である。FIG. 5 is a schematic plan view showing a state in which a multi-wiring board and a resin sealing body are fragmented in the manufacture of a memory module according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施例であるメモリモジュールをソケットに装着した状態を示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the state which mounted | wore the socket with the memory module which is one Example of this invention. 図24のソケットのコンタクトピンの接触動作を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the contact operation | movement of the contact pin of the socket of FIG. 本発明の一実施例の変形例であるメモリモジュールの模式的底面図である。It is a typical bottom view of the memory module which is a modification of one Example of this invention. 本発明の一実施例の変形例であるメモリモジュールの模式的底面図である。It is a typical bottom view of the memory module which is a modification of one Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…メモリモジュール(電子装置)、2…配線基板、3…樹脂封止体、4…識別ラベル、5…コンデンサ(受動部品)、10…半導体装置、11…半導体チップ、14…電極パッド、15…ダイパッド、16…リード、17…ボンディングワイヤ、18…樹脂封止体、21…第1層目の配線パターン、22…第2層目の配線パターン、23…第3層目の配線パターン、24…第4層目の配線パターン、25,25a1,25a2,25b1,25b2…電極パッド、26,26m,26s…電極パッド、27a,27b…保護膜、30…マルチ配線基板、31…モールド領域(樹脂封止領域)、32…製品形成領域、33…製品搭載領域、40…成型金型、41…上型、41a…狭持面、42…下型、42a…狭持面、43…封止用キャビティ(樹脂封止体形成部)、44…樹脂注入ゲート、45…ランナ、46…カル部、47…樹脂封止体、50…実装基板、51…ソケット、52…ベース部材、53…蓋部材、54…コンタクトピン、55…半導体記憶装置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Memory module (electronic device), 2 ... Wiring board, 3 ... Resin sealing body, 4 ... Identification label, 5 ... Capacitor (passive component), 10 ... Semiconductor device, 11 ... Semiconductor chip, 14 ... Electrode pad, 15 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Die pad, 16 ... Lead, 17 ... Bonding wire, 18 ... Resin sealing body, 21 ... First layer wiring pattern, 22 ... Second layer wiring pattern, 23 ... Third layer wiring pattern, 24 ... 4th layer wiring pattern, 25, 25a1, 25a2, 25b1, 25b2 ... Electrode pad, 26, 26m, 26s ... Electrode pad, 27a, 27b ... Protective film, 30 ... Multi-wiring board, 31 ... Mold area (resin Sealing area), 32 ... Product formation area, 33 ... Product mounting area, 40 ... Mold, 41 ... Upper mold, 41a ... Nipping surface, 42 ... Lower mold, 42a ... Nipping surface, 43 ... For sealing Cavite (Resin sealing body forming part), 44 ... resin injection gate, 45 ... runner, 46 ... cull part, 47 ... resin sealing body, 50 ... mounting substrate, 51 ... socket, 52 ... base member, 53 ... lid member, 54: Contact pin, 55: Semiconductor memory device.

Claims (35)

半導体チップが樹脂封止体によって封止され、前記樹脂封止体から前記半導体チップと電気的に接続された複数の第1の外部接続用端子が露出する複数の半導体装置と、
互いに反対側に位置する主面及び裏面を有し、前記主面に前記複数の半導体装置が実装された配線基板と、
前記配線基板の主面に前記複数の半導体装置を覆うようにして設けられたカバー部材とを有することを特徴とする電子装置。
A plurality of semiconductor devices in which a semiconductor chip is sealed by a resin sealing body, and a plurality of first external connection terminals electrically connected to the semiconductor chip are exposed from the resin sealing body;
A wiring board having a main surface and a back surface located on opposite sides, wherein the plurality of semiconductor devices are mounted on the main surface;
An electronic device comprising: a cover member provided on a main surface of the wiring board so as to cover the plurality of semiconductor devices.
請求項1に記載の電子装置において、
前記複数の第1の外部接続用端子は、前記樹脂封止体の側面から突出していることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 1,
The plurality of first external connection terminals protrude from a side surface of the resin sealing body.
請求項1に記載の電子装置において、
前記カバー部材に識別ラベルが貼り付けられていることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 1,
An electronic device, wherein an identification label is affixed to the cover member.
請求項1に記載の電子装置において、
前記配線基板の裏面に、第2の外部接続用端子として複数の電極パッドが配置されていることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 1,
An electronic device, wherein a plurality of electrode pads are arranged as second external connection terminals on the back surface of the wiring board.
請求項1に記載の電子装置において、
前記カバー部材は、前記複数の半導体装置を封止する樹脂封止体であることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 1,
The electronic device, wherein the cover member is a resin sealing body that seals the plurality of semiconductor devices.
請求項1に記載の電子装置において、
前記複数の半導体装置は、前記配線基板の主面に平面的に配置された複数の第1の半導体装置と、前記複数の第1の半導体装置に対応して前記複数の第1の半導体装置上に配置された複数の第2の半導体装置とを含むことを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 1,
The plurality of semiconductor devices include a plurality of first semiconductor devices arranged in a plane on a main surface of the wiring board, and the plurality of first semiconductor devices corresponding to the plurality of first semiconductor devices. And a plurality of second semiconductor devices disposed in the electronic device.
請求項1に記載の電子装置において、
前記半導体チップは、NOR型、AND型、NAND型、ASIC、又は電子情報の電気的な書き換えが可能なEEPROMの何れかであることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 1,
The electronic device is characterized in that the semiconductor chip is one of a NOR type, an AND type, a NAND type, an ASIC, or an EEPROM capable of electrically rewriting electronic information.
半導体チップが第1の樹脂封止体によって封止され、前記樹脂封止体から前記半導体チップと電気的に接続された複数の第1の外部接続用端子が露出する複数の半導体装置と、
互いに反対側に位置する主面及び裏面と、前記裏面に配置された複数の第2の外部接続用端子とを有し、前記主面に前記複数の半導体装置が実装された配線基板と、
前記配線基板の主面に形成され、前記複数の半導体装置を封止する第2の樹脂封止体とを有することを特徴とする電子装置。
A plurality of semiconductor devices in which a semiconductor chip is sealed by a first resin sealing body, and a plurality of first external connection terminals electrically connected to the semiconductor chip are exposed from the resin sealing body;
A wiring board having a main surface and a back surface located on opposite sides, and a plurality of second external connection terminals disposed on the back surface, wherein the plurality of semiconductor devices are mounted on the main surface;
An electronic device comprising: a second resin sealing body that is formed on a main surface of the wiring board and seals the plurality of semiconductor devices.
請求項8に記載の電子装置において、
前記複数の第1の外部接続用端子は、前記樹脂封止体の側面から突出していることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 8.
The plurality of first external connection terminals protrude from a side surface of the resin sealing body.
請求項8に記載の電子装置において、
前記第2の樹脂封止体に識別ラベルが貼り付けられていることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 8.
An electronic device, wherein an identification label is attached to the second resin sealing body.
請求項8に記載の電子装置において、
前記第2の外部接続用端子は、導電膜からなる電極パッドであることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 8.
The electronic device according to claim 2, wherein the second external connection terminal is an electrode pad made of a conductive film.
請求項8に記載の電子装置において、
前記複数の半導体装置は、前記配線基板の主面に平面的に配置された複数の第1の半導体装置と、前記複数の第1の半導体装置に対応して前記複数の第1の半導体装置上に配置された複数の第2の半導体装置とを含むことを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 8.
The plurality of semiconductor devices include a plurality of first semiconductor devices arranged in a plane on a main surface of the wiring board, and the plurality of first semiconductor devices corresponding to the plurality of first semiconductor devices. And a plurality of second semiconductor devices disposed in the electronic device.
請求項8に記載の電子装置において、
前記半導体チップは、NOR型、AND型、NAND型、ASIC、又は電子情報の電気的な書き換えが可能なEEPROMの何れかであることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 8.
The electronic device is characterized in that the semiconductor chip is one of a NOR type, an AND type, a NAND type, an ASIC, or an EEPROM capable of electrically rewriting electronic information.
半導体チップが第1の樹脂封止体によって封止され、前記樹脂封止体から前記半導体チップと電気的に接続された複数の第1の外部接続用端子が露出する複数の半導体装置と、
互いに反対側に位置する主面及び裏面と、前記裏面に配置された複数の第2の外部接続用端子とを有し、前記主面に前記複数の半導体装置が実装された配線基板と、
前記配線基板の主面に形成され、前記複数の半導体装置を封止する第2の樹脂封止体とを有し、
前記第2の樹脂封止体は、前記半導体装置の実装後の高さよりも厚い第1の部分と、前記第1の部分に連なり、前記第1の部分よりも厚さが厚い第2の部分とを有することを特徴とする電子装置。
A plurality of semiconductor devices in which a semiconductor chip is sealed by a first resin sealing body, and a plurality of first external connection terminals electrically connected to the semiconductor chip are exposed from the resin sealing body;
A wiring board having a main surface and a back surface located on opposite sides, and a plurality of second external connection terminals disposed on the back surface, wherein the plurality of semiconductor devices are mounted on the main surface;
A second resin sealing body that is formed on a main surface of the wiring board and seals the plurality of semiconductor devices;
The second resin sealing body includes a first portion that is thicker than a height after mounting the semiconductor device, and a second portion that is continuous with the first portion and is thicker than the first portion. An electronic device comprising:
請求項14に記載の電子装置において、
前記複数の第1の外部接続用端子は、前記樹脂封止体の側面から突出していることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 14.
The plurality of first external connection terminals protrude from a side surface of the resin sealing body.
請求項14に記載の電子装置において、
前記第2の部分は、前記第1の部分よりも面積が小さいことを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 14.
The electronic device according to claim 1, wherein the second portion has a smaller area than the first portion.
請求項14に記載の電子装置において、
前記第2の樹脂封止体は、平面が方形状で形成され、
前記第2の部分は、前記第2の樹脂封止体の一辺に沿って形成されていることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 14.
The second resin encapsulant is formed with a rectangular plane.
The electronic device, wherein the second portion is formed along one side of the second resin sealing body.
請求項14に記載の電子装置において、
前記第2の外部接続用端子は、導電膜からなる電極パッドであることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 14.
The electronic device according to claim 2, wherein the second external connection terminal is an electrode pad made of a conductive film.
請求項14に記載の電子装置において、
前記複数の半導体装置は、前記配線基板の主面に平面的に配置された複数の第1の半導体装置と、前記複数の第1の半導体装置に対応して前記複数の第1の半導体装置上に配置された複数の第2の半導体装置とを含むことを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 14.
The plurality of semiconductor devices include a plurality of first semiconductor devices arranged in a plane on a main surface of the wiring board, and the plurality of first semiconductor devices corresponding to the plurality of first semiconductor devices. And a plurality of second semiconductor devices disposed in the electronic device.
請求項14に記載の電子装置において、
前記半導体チップは、NOR型、AND型、NAND型、ASIC、又は電子情報の電気的な書き換えが可能なEEPROMの何れかであることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 14.
The electronic device is characterized in that the semiconductor chip is one of a NOR type, an AND type, a NAND type, an ASIC, or an EEPROM capable of electrically rewriting electronic information.
半導体チップが第1の樹脂封止体によって封止され、前記樹脂封止体から前記半導体チップと電気的に接続された複数の第1の外部接続用端子が露出する複数の半導体装置と、
互いに反対側に位置する主面及び裏面と、前記裏面に配置された複数の第2の外部接続用端子とを有し、前記主面に前記複数の半導体装置が実装された配線基板と、
前記配線基板の主面に形成され、前記複数の半導体装置を封止する第2の樹脂封止体とを有し、
前記複数の第1の樹脂封止体は、その平面形状が長方形から成り、
前記第1の樹脂封止体の短辺は、隣り合う前記第1の樹脂封止体の長辺と向かい合う状態で配置されていることを特徴とする電子装置。
A plurality of semiconductor devices in which a semiconductor chip is sealed by a first resin sealing body, and a plurality of first external connection terminals electrically connected to the semiconductor chip are exposed from the resin sealing body;
A wiring board having a main surface and a back surface located on opposite sides, and a plurality of second external connection terminals disposed on the back surface, wherein the plurality of semiconductor devices are mounted on the main surface;
A second resin sealing body that is formed on a main surface of the wiring board and seals the plurality of semiconductor devices;
The plurality of first resin sealing bodies has a planar shape of a rectangle,
The short side of said 1st resin sealing body is arrange | positioned in the state which faces the long side of said adjacent 1st resin sealing body, The electronic device characterized by the above-mentioned.
請求項21に記載の電子装置において、
前記複数の第1の外部接続用端子は、前記樹脂封止体の側面から突出していることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 21, wherein
The plurality of first external connection terminals protrude from a side surface of the resin sealing body.
請求項21に記載の電子装置において、
前記配線基板の主面に実装された受動部品を有し、
前記複数の半導体装置は、前記受動部品と前記配線基板の周辺との間に配置されていることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 21, wherein
Having passive components mounted on the main surface of the wiring board;
The plurality of semiconductor devices are disposed between the passive component and the periphery of the wiring board.
請求項21に記載の電子装置において、
前記受動部品は、前記配線基板の主面の中央部に配置されていることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 21, wherein
The electronic device according to claim 1, wherein the passive component is disposed at a central portion of a main surface of the wiring board.
請求項21に記載の電子装置において、
前記第2の外部接続用端子は、導電膜からなる電極パッドであることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 21, wherein
The electronic device according to claim 2, wherein the second external connection terminal is an electrode pad made of a conductive film.
請求項21に記載の電子装置において、
前記複数の半導体装置は、前記配線基板の主面に平面的に配置された複数の第1の半導体装置と、前記複数の第1の半導体装置に対応して前記複数の第1の半導体装置上に配置された複数の第2の半導体装置とを含むことを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 21, wherein
The plurality of semiconductor devices include a plurality of first semiconductor devices arranged in a plane on a main surface of the wiring board, and the plurality of first semiconductor devices corresponding to the plurality of first semiconductor devices. And a plurality of second semiconductor devices disposed in the electronic device.
請求項21に記載の電子装置において、
前記半導体チップは、NOR型、AND型、NAND型、ASIC、又は電子情報の書き換えが可能なEEPROMの何れかであることを特徴とする電子装置。
The electronic device according to claim 21, wherein
The electronic device is characterized in that the semiconductor chip is one of a NOR type, an AND type, a NAND type, an ASIC, or an EEPROM capable of rewriting electronic information.
互いに反対側に位置する主面及び裏面を有し、平面が方形状で形成された配線基板と、
前記配線基板の裏面に、前記配線基板の各辺に沿って配置された複数の電極パッドと、
前記配線基板の主面に実装された複数の半導体装置と、
前記配線基板の主面に形成され、前記複数の半導体装置を封止する樹脂封止体とを有し、
前記複数の電極パッドのうち、前記配線基板の角部を挟んで隣り合う2つの電極パッドは、基準電位に電位固定される電極パッドであることを特徴とする電子装置。
A wiring board having a main surface and a back surface located on opposite sides of each other, and a flat surface formed in a rectangular shape;
A plurality of electrode pads arranged along each side of the wiring board on the back surface of the wiring board;
A plurality of semiconductor devices mounted on the main surface of the wiring board;
A resin sealing body that is formed on a main surface of the wiring board and seals the plurality of semiconductor devices;
Two of the plurality of electrode pads, which are adjacent to each other across a corner of the wiring board, are electrode pads whose potential is fixed to a reference potential.
互いに反対側に位置する主面及び裏面を有し、平面が方形状で形成された配線基板と、
前記配線基板の主面に実装された複数の半導体装置と、
前記配線基板の主面に形成され、前記複数の半導体装置を封止する樹脂封止体と、
前記配線基板の裏面に、前記配線基板の各辺に沿って配置された複数の第1の電極パッドと、
前記配線基板の裏面の角部に配置され、かつ前記第1の電極パッドよりも広い幅で形成された第2の電極パッドとを有し、
前記第2の電極パッドは、基準電位に電位固定される電極パッドであることを特徴とする電子装置。
A wiring board having a main surface and a back surface located on opposite sides of each other, and a flat surface formed in a rectangular shape;
A plurality of semiconductor devices mounted on the main surface of the wiring board;
A resin sealing body that is formed on a main surface of the wiring board and seals the plurality of semiconductor devices;
A plurality of first electrode pads disposed on the back surface of the wiring board along each side of the wiring board;
A second electrode pad disposed at a corner of the back surface of the wiring board and having a width wider than the first electrode pad;
2. The electronic device according to claim 1, wherein the second electrode pad is an electrode pad whose potential is fixed to a reference potential.
(a)半導体チップが第1の樹脂封止体によって封止され、前記第1の樹脂封止体から前記半導体チップと電気的に接続された複数の第1外部接続用端子が露出する複数の半導体装置を準備する工程と、
(b)配線基板の主面に前記複数の半導体装置を実装する工程と、
(c)前記配線基板の主面に実装された前記複数の半導体装置を樹脂封止する第2の樹脂封止体を形成する工程とを有することを特徴とする電子装置の製造方法。
(A) A semiconductor chip is sealed with a first resin sealing body, and a plurality of first external connection terminals electrically connected to the semiconductor chip are exposed from the first resin sealing body. A step of preparing a semiconductor device;
(B) mounting the plurality of semiconductor devices on the main surface of the wiring board;
(C) forming a second resin sealing body for resin-sealing the plurality of semiconductor devices mounted on the main surface of the wiring board.
請求項30に記載の電子装置の製造方法において、
前記複数の第1の外部接続用端子は、前記樹脂封止体の側面から突出していることを特徴とする電子装置の製造方法。
The method of manufacturing an electronic device according to claim 30,
The plurality of first external connection terminals protrude from a side surface of the resin sealing body.
請求項30に記載の電子装置の製造方法において、
前記(c)工程の後、前記第2の樹脂封止体に識別ラベルを貼り付ける工程を有することを特徴とする電子装置の製造方法。
The method of manufacturing an electronic device according to claim 30,
After the step (c), the method for manufacturing an electronic device includes a step of attaching an identification label to the second resin sealing body.
(a)半導体チップが第1の樹脂封止体によって封止され、前記第1の樹脂封止体から前記半導体チップと電気的に接続された複数の第1の外部接続用端子が露出する複数の半導体装置を準備する工程と、
(b)配線基板の主面に前記複数の半導体装置を実装する工程と、
(c)上型と下型との間に前記配線基板を配置した時、前記配線基板に実装された前記複数の半導体装置を覆うようにして前記配線基板の主面上に位置する樹脂封止体形成部と、前記樹脂封止体形成部に連なる樹脂流通路とを有する成形金型を準備する工程と、
(d)前記成形金型の上型と下型との間に前記配線基板を配置し、前記樹脂流通路を通して前記樹脂封止体形成部に樹脂を注入することによって前記配線基板に実装された前記複数の半導体装置を樹脂封止する第2の樹脂封止体を形成する工程とを有し、
前記樹脂封止体形成部は、前記配線基板に実装された前記半導体装置の実装高さよりも前記配線基板の主面からの高さが高い第1の部分と、前記第1の部分に連なり、前記第1の部分よりも前記配線基板の主面からの高さが高い第2の部分とを有し、
前記第2の部分は、前記樹脂流通路から前記樹脂封止体形成部に注入される前記樹脂の注入方向に対して交差する方向に沿って延在していることを特徴とする電子装置の製造方法。
(A) A plurality of semiconductor chips are sealed with a first resin sealing body, and a plurality of first external connection terminals electrically connected to the semiconductor chips are exposed from the first resin sealing body. Preparing a semiconductor device of
(B) mounting the plurality of semiconductor devices on the main surface of the wiring board;
(C) Resin sealing located on the main surface of the wiring board so as to cover the plurality of semiconductor devices mounted on the wiring board when the wiring board is disposed between the upper mold and the lower mold A step of preparing a molding die having a body forming portion and a resin flow passage continuing to the resin sealing body forming portion;
(D) The wiring board is mounted on the wiring board by placing the wiring board between the upper mold and the lower mold of the molding die and injecting resin into the resin sealing body forming portion through the resin flow path. Forming a second resin sealing body for resin-sealing the plurality of semiconductor devices,
The resin sealing body forming portion is connected to the first portion having a height from the main surface of the wiring substrate higher than the mounting height of the semiconductor device mounted on the wiring substrate, and the first portion. A second portion having a height from the main surface of the wiring board higher than that of the first portion;
In the electronic device, the second portion extends along a direction intersecting an injection direction of the resin injected from the resin flow passage into the resin sealing body forming portion. Production method.
請求項33に記載の電子装置の製造方法において、
前記複数の第1の外部接続用端子は、前記樹脂封止体の側面から突出していることを特徴とする電子装置の製造方法。
The method of manufacturing an electronic device according to claim 33,
The plurality of first external connection terminals protrude from a side surface of the resin sealing body.
請求項33に記載の電子装置の製造方法において、
前記第2の部分は、前記第1の部分よりも面積が小さいことを特徴とする電子装置の製造方法。
The method of manufacturing an electronic device according to claim 33,
The method of manufacturing an electronic device, wherein the second portion has an area smaller than that of the first portion.
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