JP2006344916A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 入射光量に応じて電荷を発生する光電変換部と、
   電荷を一時的に保持するフローティングディフュージョン部と、
   前記光電変換部から前記フローティングディフュージョン部に電荷を転送する電荷転送トランジスタと、
   前記フローティングディフュージョン部に一時的に保持された電荷を外部に読み出す読み出し回路と、
   を有する画素を有する固体撮像装置であって、
   前記電荷転送トランジスタのゲート電極の、前記光電変換部側の側壁上を覆って配置された遮光部材を有し、
   前記遮光部材は、前記ゲート電極の前記フローティングディフュージョン部側の側壁上に配置されていないことを特徴とする固体撮像装置。
2. 前記遮光部材は、前記電荷転送トランジスタのゲート電極側面から前記光電変換部の上に延在していることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
3. 前記遮光部材は、複数の金属層を有することを特徴とする請求項１または２に記載の固体撮像装置。
4. 前記複数の金属層のうち、前記ゲート電極側に配された金属層は、バリアメタルにより構成されていることを特徴とする請求項３に記載の固体撮像装置。
5. 前記遮光部材と前記ゲート電極は、電気的に接続されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
6. 前記遮光部材と前記ゲート電極との間に絶縁膜を有することを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
7. 前記絶縁膜に、前記遮光部材と前記ゲート電極とを電気的に接続するコンタクトホールを設けたことを特徴とする請求項６に記載の固体撮像装置。
8. 前記コンタクトホールを前記電荷転送トランジスタのアクティブ領域外の上に開口したことを特徴とする請求項７に記載の固体撮像装置。
9. 前記フローティングディフュージョン部から直接電極を引き出した構成を有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
10. それぞれ配線を含む複数の配線層を有し、該複数の配線層の内、前記光電変換部に最も近接した配線層の配線が前記フローティングディフュージョン部の上部に配されていることを特徴とする請求項９に記載の固体撮像装置。
11. 前記電荷転送トランジスタのゲート電極の下部であって、前記光電変換部と前記フローティングディフュージョン部との間に、前記電荷に対してポテンシャル障壁となる領域が配されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の固体撮像装置。