JP2006124726A

JP2006124726A - Blackening device

Info

Publication number: JP2006124726A
Application number: JP2004310481A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Tanaka; 健田中; Noribumi Ideyoshi; 範文井手吉
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2004-10-26
Filing date: 2004-10-26
Publication date: 2006-05-18
Anticipated expiration: 2024-10-26
Also published as: JP4617826B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a blackening device capable of preventing generation of stains and irregularities of different blackening degrees of a mesh part attributable to splash of cleaning water sprayed from a first water cleaning nozzle of a first water cleaning unit of the blackening device and blackening solution remaining after drainage. <P>SOLUTION: A first water cleaning nozzle to clean a face side with a mesh part formed thereon with water is provided at the position immediately after a shield mesh rolled web is separated from an outer circumference of a first carrying roll. A discharge port of the first water cleaning nozzle is directed to a contact point at which the shield mesh rolled web is separated from the outer circumference of the first carrying roll below the perpendicular passing through the contact point. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、銅箔エッチング部品の黒化処理装置に関するものであり、特に、メッシュ状銅箔の黒化処理においてメッシュ状銅箔に黒化のシミ、ムラを発生させることのない黒化処理装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a blackening treatment apparatus for copper foil etched parts, and in particular, a blackening treatment apparatus that does not cause blackening stains or unevenness in a mesh copper foil in blackening treatment of a mesh copper foil. About.

気体放電による発光を利用したＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）は、気体放電に伴う電磁波を遮蔽するために、パネルの前面（観察者側）に電磁波シールドを施している。
ＰＤＰに施す電磁波シールドとしては、例えば、片面銅張プラスチックシートの銅箔をメッシュ状に形成した電磁波シールドメッシュが実用されている。この電磁波シールドメッシュは、ディスプレイの輝度の損失が比較的少なく、優れたシールド特性を有するものが得られている。 A PDP (plasma display panel) using light emission by gas discharge has an electromagnetic wave shield on the front surface (observer side) of the panel in order to shield electromagnetic waves accompanying gas discharge.
As an electromagnetic wave shield to be applied to a PDP, for example, an electromagnetic wave shield mesh in which a copper foil of a single-sided copper-clad plastic sheet is formed in a mesh shape is in practical use. This electromagnetic wave shielding mesh has a relatively small loss in luminance of the display and has an excellent shielding property.

図１は、電磁波シールドメッシュの一例の構成を示す断面図である。図１に示すように、電磁波シールドメッシュ（６）は、プラスチックシート（１）として、例えば、ＰＥＴ（ポリテレフタル酸エチレン）シートの片面上に接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされており、また、他面上に粘着剤（４）を介して保護フィルム（５）が貼り合わされている。
電磁波を吸収する材料として導電性の高い銅箔が用いられている。銅箔（３）はエッチングによりメッシュ状に形成されている。 FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an exemplary configuration of an electromagnetic wave shielding mesh. As shown in FIG. 1, the electromagnetic wave shielding mesh (6) is made of, for example, a copper sheet (3) on one side of a PET (ethylene polyterephthalate) sheet via an adhesive (2) as a plastic sheet (1). Moreover, the protective film (5) is bonded together through the adhesive (4) on the other surface.
A highly conductive copper foil is used as a material that absorbs electromagnetic waves. The copper foil (3) is formed in a mesh shape by etching.

この電磁波シールドメッシュ（６）を使用する際には、プラスチックシート（１）から粘着剤（４）及び保護フィルム（５）を剥離、除去し、接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされているプラスチックシート（１）をパネルの前面（観察者側）に取り付ける。
この取り付けの際には、反射防止フィルム、保護ガラス、Ｎｅ発光吸収フィルタなども同時に取り付けられるのが一般的である。 When using this electromagnetic wave shielding mesh (6), the adhesive (4) and the protective film (5) are peeled off and removed from the plastic sheet (1), and the copper foil (3) is passed through the adhesive (2). Is attached to the front surface (observer side) of the panel.
In general, an antireflection film, a protective glass, a Ne light absorption filter, and the like are attached at the same time.

以降、本願においては、接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされているプラスチックシート（１）をもってシールドメッシュ（１０）と称する（シールドメッシュ（１０）＝（１）＋（２）＋（３））。 Hereinafter, in the present application, the plastic sheet (1) on which the copper foil (3) is bonded via the adhesive (2) is referred to as a shield mesh (10) (shield mesh (10) = (1) + (2). ) + (3)).

尚、プラスチックシート（ＰＥＴシート）（１）の厚みは１００〜１２５μｍ、接着剤（２）の厚みは１５μｍ、銅箔（３）の厚みは１０μｍ、粘着剤（４）の厚みは５μｍ、保護フィルム（５）の厚みは２５μｍ程度である。 The plastic sheet (PET sheet) (1) has a thickness of 100 to 125 μm, the adhesive (2) has a thickness of 15 μm, the copper foil (3) has a thickness of 10 μm, the adhesive (4) has a thickness of 5 μm, and a protective film. The thickness of (5) is about 25 μm.

図２は、図１に示すシールドメッシュ（１０）の上方からの平面図であり、一部分を拡大して示したものである。また、図３は、図２におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。
図２、及び図３に示すように、エッチングによってメッシュ状に形成された銅箔（３）は、メッシュ部（３Ａ）と開口部（３Ｂ）で構成され、開口部（３Ｂ）では接着剤（２）が露出している。また、メッシュ部（３Ａ）には反射防止のために、その表面には黒化処理が施されている。 FIG. 2 is a plan view from above of the shield mesh (10) shown in FIG. 1, and shows a partially enlarged view. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line XX ′ in FIG.
As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the copper foil (3) formed into a mesh shape by etching is composed of a mesh portion (3A) and an opening portion (3B), and an adhesive ( 2) is exposed. Further, the surface of the mesh portion (3A) is blackened to prevent reflection.

この開口部（３Ｂ）を伴ったメッシュ部（３Ａ）によって電磁波はシールドされる。尚、メッシュ部（３Ａ）の幅（Ｗ１）は１０μｍ程度、開口部（３Ｂ）の幅（Ｗ２）は２００μｍ程度のものである。 Electromagnetic waves are shielded by the mesh part (3A) with the opening (3B). The width (W1) of the mesh part (3A) is about 10 μm, and the width (W2) of the opening (3B) is about 200 μm.

このシールドメッシュ（１０）を製造する際には、長尺帯状のシールドメッシュ原反を用い、シールドメッシュ原反の銅箔に、例えば、カゼインを用いてのレジストパターンの形成、塩化第二鉄を用いての銅箔のエッチング、水酸化ナトリウムを用いてのレジストパターンの剥離、酸化剤を用いての黒化等の処理を施してメッシュ部（３Ａ）と開口部（３Ｂ）で構成される、メッシュ状に形成された銅箔（３）を得る。長尺帯状のシールドメッシュ原反は、最終的に所定の大きさの枚葉状のシールドメッシュ（１０）に切断する。 When this shield mesh (10) is manufactured, a long strip-shaped shield mesh raw material is used, and the copper foil of the shield mesh raw material is formed with a resist pattern using, for example, casein, ferric chloride. Etching of the copper foil used, peeling of the resist pattern using sodium hydroxide, blackening using an oxidizing agent, and the like, and a mesh portion (3A) and an opening portion (3B) are configured. A copper foil (3) formed in a mesh shape is obtained. The long strip-shaped shield mesh original fabric is finally cut into a sheet-shaped shield mesh (10) having a predetermined size.

長尺帯状のシールドメッシュ原反の幅は、パネルの画面サイズに相応し、例えば、画面４２インチ用には６５０ｍｍ、５０インチ用には７２０ｍｍ程度である。尚、上記レジストパターンの形成から始まる各工程内では、シールドメッシュ原反は長尺帯状で装置内を搬送されながら処理が施される。また、各工程間の運搬は巻き取られたロール状で運搬される。 The width of the long strip-shaped shield mesh material corresponds to the screen size of the panel, and is, for example, about 650 mm for a 42-inch screen and about 720 mm for a 50-inch screen. In each process starting from the formation of the resist pattern, the shield mesh raw fabric is processed while being conveyed in the apparatus in a long band shape. Moreover, the conveyance between each process is conveyed by the wound roll shape.

図４は、レジストパターンの剥離後に行われる黒化工程において用いられる黒化処理装置の一例を示す断面図である。図４に示すように、黒化処理装置（２０）は、シールドメッシュ原反の巻出し部（Ｍ１）、黒化前水洗部（２１）、黒化液を有する黒化槽（２２）、第一水洗部（２３）、第二水洗部（２４）、第三水洗部（２５）、エアー乾燥部（２６）、加熱乾燥部（２７）、巻取り部（Ｍ２）、及び搬送ロール（Ｒ０〜Ｒ１３）で構成され、各部には各々水洗ノズル（３１〜３４）、エアーナイフ（３５）、加熱ヒーター（３６）が設けられている。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a blackening treatment apparatus used in a blackening process performed after the resist pattern is peeled off. As shown in FIG. 4, the blackening treatment apparatus (20) includes an unwinding part (M1) of the shield mesh original fabric, a pre-blackening water washing part (21), a blackening tank (22) having a blackening liquid, One water washing section (23), second water washing section (24), third water washing section (25), air drying section (26), heat drying section (27), winding section (M2), and transport roll (R0 R13), and each portion is provided with a water washing nozzle (31-34), an air knife (35), and a heater (36).

搬送ロールの中で、特に、黒化槽（２２）における第一搬送ロール（Ｒ１）、第二搬送ロール（Ｒ２）、第三搬送ロール（Ｒ３）は、ＳＵＳ製のロール芯にＥＰＤＭ（エチレンとプロピレン及び架橋用ジエンモノマーとの三元共重合体）、又は超高分子ポリエチレン製のロール芯にＥＰＤＭが被覆された搬送ロールを用いている。 Among the transport rolls, in particular, the first transport roll (R1), the second transport roll (R2), and the third transport roll (R3) in the blackening tank (22) are made of EPDM (ethylene and ethylene) on a SUS roll core. A ternary copolymer of propylene and a diene monomer for crosslinking), or a transport roll in which EPDM is coated on a roll core made of ultrahigh molecular weight polyethylene is used.

レジストパターンが剥離された状態のシールドメッシュ原反（３０）は、図４中、左方から右方へと帯状で搬送されながら、黒化液にて黒化処理が施される。
黒化槽（２２）に供給される黒化液の組成は、例えば、酸化剤３０重量％、苛性ソーダ６重量％程度の水溶液であり、温度は５０℃程度である。各水洗部で用いる水洗水は、例えば、第一水洗部（２３）〜第二水洗部（２４）では上水が用いられ、第三水洗部（２５）では純水が用いられる。
水洗水の吐出圧力は、０．1 ＭＰａ程度であり、温度は２０℃程度である。 The shield mesh original fabric (30) from which the resist pattern has been peeled is blackened with a blackening solution while being conveyed in a strip shape from the left to the right in FIG.
The composition of the blackening liquid supplied to the blackening tank (22) is, for example, an aqueous solution containing about 30% by weight of an oxidizing agent and about 6% by weight of caustic soda, and the temperature is about 50 ° C. As the flush water used in each flush unit, for example, clean water is used in the first flush unit (23) to the second flush unit (24), and pure water is used in the third flush unit (25).
The discharge pressure of washing water is about 0.1 MPa, and the temperature is about 20 ° C.

しかし、このような黒化処理装置を用いて黒化処理を行うと、メッシュ部（３Ａ）への黒化は均一にならず、メッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラが発生することがある。
図５は、図４に示す第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）の近傍を拡大した説明図である。また、図６は、第一水洗部（２３）の説明図である。
黒化槽（２２）において黒化されたシールドメッシュ原反（３０）は、図５に示すように、周辺雰囲気中の異物降下による異物付着を防止するため及び液切りのため、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側を下方にして搬送され第一搬送ロール（Ｒ４）を経て第一水洗部（２３）にて水洗される。 However, when the blackening process is performed using such a blackening processing apparatus, the blackening on the mesh part (3A) is not uniform and the mesh part (3A) is partially stained with a different degree of blackening. Unevenness may occur.
FIG. 5 is an explanatory diagram in which the vicinity of the first transport roll (R4) of the first water washing section (23) shown in FIG. 4 is enlarged. Moreover, FIG. 6 is explanatory drawing of a 1st water washing part (23).
As shown in FIG. 5, the shield mesh original fabric (30) blackened in the blackening tank (22) has a mesh portion (3A) for preventing foreign matter adhesion due to foreign matter falling in the surrounding atmosphere and for draining liquid. ) Is formed with the surface side formed downward, and is washed with water in the first water washing section (23) through the first conveyance roll (R4).

第一水洗部（２３）において、シールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成された面側は、図６に示すように、第一水洗部の第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間で、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側に向かって噴出する第一水洗ノズル（３２Ａ）からの水洗水によって水洗される。
同様に、第二搬送ロール（Ｒ５）と第三搬送ロール（Ｒ６）の間では、メッシュ部（３Ａ
）が形成された面側に向かって噴出する第二水洗ノズル（３２Ｂ）からの水洗水によって水洗される。
また、シールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成されていない面側は、第一搬送ロール（Ｒ４）と第三搬送ロール（Ｒ６）の間に設けられた第三水洗ノズル（３２Ｃ）からの水洗水によって水洗される。 In the 1st water washing part (23), as the surface side in which the mesh part (3A) of the shield mesh original fabric (30) was formed, as shown in FIG. 6, the 1st conveyance roll (R4) of the 1st water washing part and Between the second transport rolls (R5), the water is washed with flushing water from the first washing nozzle (32A) ejected toward the surface side on which the mesh portion (3A) is formed.
Similarly, between the second transport roll (R5) and the third transport roll (R6), the mesh portion (3A
) Is washed with flushing water from the second flushing nozzle (32B) which is ejected toward the surface side on which it is formed.
Moreover, the surface side in which the mesh part (3A) of the shield mesh original fabric (30) is not formed is a third water washing nozzle provided between the first transport roll (R4) and the third transport roll (R6) ( Washed with water from 32C).

この際、第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間では、図７に示すように、第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）がメッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて水滴（４０’）となって飛散する。
第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）によって直接に水洗される前に、メッシュ部（３Ａ）が形成された面に飛散した水滴（４０’）が付着すると、その部分では水洗が進行してしまい、これがメッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらす。 Under the present circumstances, between the 1st conveyance roll (R4) and the 2nd conveyance roll (R5), as shown in FIG. 7, the flush water (40) which ejected from the 1st flush nozzle (32A) is a mesh part (3A). Splashes as water droplets (40 ′) by splashing on the surface of the surface on which is formed.
If water droplets (40 ′) scattered on the surface on which the mesh portion (3A) is formed before being directly washed with the washing water (40) ejected from the first washing nozzle (32A), the portion is washed with water. This causes stains and unevenness in the mesh part (3A) with partially different degrees of blackening.

また、図６に示すように、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側に向かって水洗水（４０）を噴出する第一水洗ノズル（３２Ａ）は、第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間で第一搬送ロール（Ｒ４）から一定の距離（Ｌ１）を保って設けられている。
図４に示す黒化槽（２２）から搬出されたシールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成され面側に付着している黒化液は、黒化槽（２２）の第三搬送ロール（Ｒ３）、及び第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）によって液切りされているが、僅かながらメッシュ部（３Ａ）が形成され面側に残留している。 Moreover, as shown in FIG. 6, the 1st washing nozzle (32A) which ejects the washing water (40) toward the surface side in which the mesh part (3A) was formed has a 1st conveyance roll (R4) and a 2nd A certain distance (L1) is provided between the transport rolls (R5) from the first transport roll (R4).
The blackening liquid formed on the surface side of the shield mesh original fabric (30) unloaded from the blackening tank (22) shown in FIG. Although the liquid is drained by the three transport rolls (R3) and the first transport roll (R4) of the first water washing section (23), a slight mesh section (3A) is formed and remains on the surface side.

残留している黒化液は、第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）によって水洗されるまでは、メッシュ部（３Ａ）の黒化を進行させている。
この残留している黒化液による黒化は不均一なものであり、これがメッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらすこととなる。
特開平６−２４０５００号公報特開平６−２６００８６号公報 The remaining blackening liquid is being blackened in the mesh portion (3A) until it is washed with the washing water (40) ejected from the first washing nozzle (32A).
The blackening due to the remaining blackening liquid is non-uniform, and this causes spots and unevenness in the mesh portion (3A) with partially different blackening degrees.
JP-A-6-240500 JP-A-6-260086

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、長尺帯状のシールドメッシュ原反の銅箔に、レジストパターンの形成、銅箔のエッチング、レジストパターンの剥離を行ってメッシュ部を形成し、引き続き、形成したメッシュ部に黒化処理を行う黒化処理装置において、第一水洗部の第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生、及び第一水洗部の第一搬送ロールによる液切り後に残留している黒化液に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生を防止することのできる黒化処理装置を提供することを課題とするものである。 The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and the mesh portion is formed by performing resist pattern formation, copper foil etching, and resist pattern peeling on the copper foil of the long strip-shaped shield mesh. In the blackening treatment apparatus for forming and subsequently blackening the formed mesh part, stains having different degrees of blackening of the mesh part due to scattering of washing water ejected from the first washing nozzle of the first washing part, Blackening treatment that can prevent the occurrence of unevenness and the occurrence of stains and unevenness in the blackness of the mesh portion due to the blackening liquid remaining after draining by the first transport roll of the first water washing portion It is an object to provide an apparatus.

本発明は、プラスチックシート上に接着剤を介して銅箔が貼り合わされ、該銅箔はフォトエッチングによってメッシュ部と開口部とに形成された長尺帯状のシールドメッシュ原反の前記メッシュ部に黒化処理を行う黒化槽と、黒化槽より搬出されたシールドメッシュ原反に水洗洗浄を行う水洗部とを有する黒化処理装置において、シールドメッシュ原反を黒化槽より搬出する搬送ロールと、前記搬送ロールの外周に接触して搬送されるたシールドメッシュ原反が前記搬送ロールの外周から離れる直後の位置であってメッシュ側に設けた水洗ノズルとを備え、前記水洗ノズルより噴出した水洗水にて、前記搬送ロールの外周
から離れる直後のメッシュ部に水洗を行うことを特徴とする黒化処理装置である。 In the present invention, a copper foil is bonded to a plastic sheet via an adhesive, and the copper foil is blackened on the mesh portion of a long strip-shaped shield mesh formed by photoetching into a mesh portion and an opening. In a blackening treatment apparatus having a blackening tank for performing a blackening treatment, and a water washing section for performing water washing on the shield mesh raw material unloaded from the blackening tank, a transport roll for carrying out the shield mesh raw material from the blackening tank; And a washing nozzle provided on the mesh side at a position immediately after the shield mesh original fabric conveyed in contact with the outer circumference of the conveying roll is separated from the outer circumference of the conveying roll, and the water washing ejected from the washing nozzle It is a blackening apparatus characterized by performing water washing on the mesh portion immediately after leaving the outer periphery of the transport roll with water.

また、本発明は、上記発明による黒化処理装置において、前記水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、ノズルの吐出口を該接点に向けて設けたことを特徴とする黒化処理装置である。 Further, the present invention provides the blackening treatment apparatus according to the above invention, wherein the washing nozzle is under a perpendicular line passing through a contact point where the shield mesh original fabric is separated from the outer periphery of the transport roll, and the discharge port of the nozzle is directed to the contact point. A blackening processing apparatus characterized by being provided.

本発明は、黒化槽の次に位置する第一水洗部の、メッシュ部が形成された面側を水洗する第一水洗ノズルを、第一水洗部の第一搬送ロールの外周に接触して搬送されていたシールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置に設けた黒化処理装置であるので、第一水洗部の第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生、及び第一水洗部の第一搬送ロールによる液切り後に残留している黒化液に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生を防止することのできる黒化処理装置となる。 In the present invention, the first flushing nozzle for flushing the surface side of the first flushing unit located next to the blackening tank is formed in contact with the outer periphery of the first transport roll of the first flushing unit. Since the shield mesh material being transported is a blackening treatment device provided at a position immediately after leaving the outer periphery of the first transport roll, it is caused by splashing of flush water ejected from the first flush nozzle of the first flush unit. Occurrence of stains and unevenness in the degree of blackening of the mesh part, and stains and unevenness in the degree of blackening of the mesh part caused by the blackening liquid remaining after the liquid is drained by the first transport roll of the first washing unit Thus, the blackening processing apparatus can be prevented from occurring.

また、本発明は、上記黒化処理装置において、第一水洗ノズル及び第二水洗ノズルをシールドメッシュ原反から８０ｍｍ以上離れた位置に設けたので、飛散した水滴が水洗ノズルの外側に付着することを回避でき、正常な状態で水洗水は噴出される。
また、本発明は、上記黒化処理装置において、第一水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、その吐出口を該接点に向けて設けたので、水洗はより効果的なものとなる。 Further, according to the present invention, in the blackening treatment apparatus, since the first water washing nozzle and the second water washing nozzle are provided at a position 80 mm or more away from the shield mesh original fabric, scattered water droplets adhere to the outside of the water washing nozzle. The washing water is ejected in a normal state.
In the blackening treatment apparatus according to the present invention, the first water-washing nozzle is under a vertical line passing through a contact point where the shield mesh original fabric is separated from the outer periphery of the first transport roll, and the discharge port faces the contact point. Since it was provided, washing with water becomes more effective.

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図８は、本発明による黒化処理装置の第一水洗部（２３）の一例を示す断面図である。図８に示すように、本発明おける第一水洗部（２３）においては、第一水洗ノズル（５２Ａ）は、第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）の外周に接触して搬送されていたシールドメッシュ原反（３０）が第一搬送ロール（Ｒ４）の外周から離れる直後の位置（Ｌ２）に設けられている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing an example of the first water washing section (23) of the blackening treatment apparatus according to the present invention. As shown in FIG. 8, in the 1st water washing part (23) in this invention, a 1st water washing nozzle (52A) contacts the outer periphery of the 1st conveyance roll (R4) of a 1st water washing part (23). The shield mesh original fabric (30) being transported is provided at a position (L2) immediately after leaving the outer periphery of the first transport roll (R4).

従って、本発明においては、第一水洗ノズル（５２Ａ）から噴出した水洗水（４０）がメッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて水滴（４０’）となって飛散し、メッシュ部（３Ａ）が形成された面に付着しても、付着後即、第一水洗ノズル（５２Ａ）から噴出した水洗水（４０）による直接の水洗となるので、その付着した部分の水洗は殆ど進行しない。
これにより、メッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらすことは回避される。 Accordingly, in the present invention, the washing water (40) ejected from the first washing nozzle (52A) splashes on the surface of the surface on which the mesh portion (3A) is formed and splashes as water droplets (40 '), Even if it adheres to the surface on which the portion (3A) is formed, immediately after adhering, it becomes direct water washing with the washing water (40) ejected from the first water washing nozzle (52A). Does not progress.
Thereby, it is avoided that the mesh part (3A) is partially stained and uneven in the degree of blackening.

なお、本発明おける第一水洗ノズル（５２Ａ）、及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）の水洗水の吐出圧力は、０．1 ＭＰａ程度であり、温度は２０℃程度である。
また、図８に示すように、第二水洗ノズル（３２Ｂ）の第二搬送ロール（Ｒ５）、或いは第三搬送ロール（Ｒ６）からの距離は、特に規制するものではない。 In addition, the discharge pressure of the washing water of the first washing nozzle (52A) and the second washing nozzle (32B) in the present invention is about 0.1 MPa, and the temperature is about 20 ° C.
Further, as shown in FIG. 8, the distance from the second transport roll (R5) or the third transport roll (R6) of the second water washing nozzle (32B) is not particularly restricted.

また、本発明は、第一水洗ノズル（５２Ａ）を第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール間（Ｒ５）のシールドメッシュ原反（３０）から８０ｍｍ以上離れた位置（Ｌ３）に設け、第二水洗ノズル（３２Ｂ）を第二搬送ロール（Ｒ５）と第三搬送ロール（Ｒ６）間のシールドメッシュ原反（３０）から８０ｍｍ以上離れた位置（Ｌ３）に設けたことを特徴としている。 Moreover, this invention provides the 1st water-washing nozzle (52A) in the position (L3) away from the shield mesh original fabric (30) between the 1st conveyance roll (R4) and the 2nd conveyance roll (R5) more than 80 mm, The second water washing nozzle (32B) is provided at a position (L3) 80 mm or more away from the shield mesh original fabric (30) between the second transport roll (R5) and the third transport roll (R6).

第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）をこの位置に設けることによ
って、メッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて飛散した水滴（４０’）が、第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）の外側に付着することを回避できる。これにより、第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）からの水洗水は正常な状態で噴出されるものとなる。 By providing the first water-washing nozzle (52A) and the second water-washing nozzle (32B) at this position, the water droplets (40 ′) splashed and splashed on the surface of the surface on which the mesh portion (3A) is formed can be It can avoid adhering to the outer side of a nozzle (52A) and a 2nd water-washing nozzle (32B). Thereby, the flush water from the first flush nozzle (52A) and the second flush nozzle (32B) is ejected in a normal state.

また、本発明は、第一水洗ノズル（６２Ａ）が、シールドメッシュ原反（３０）が第一搬送ロール（Ｒ４）の外周から離れる接点（６０）を通る垂線下にあって、その吐出口（５０）を接点（６０）に向けて設けたことを特徴としている。
図９に示すように、本発明における第一水洗ノズル（６２Ａ）が、第一搬送ロール（Ｒ４）の直近で、その吐出口（５０）を上記接点（６０）に向けて水洗水を噴出することによって、残留した黒化液を水洗する即時性は高まり、第一水洗ノズル（６２Ａ）による水洗はより効果的なものとなる。 In the present invention, the first water-washing nozzle (62A) is under a perpendicular line passing through the contact (60) where the shield mesh original fabric (30) is separated from the outer periphery of the first transport roll (R4), and the discharge port ( 50) is directed toward the contact (60).
As shown in FIG. 9, the first flushing nozzle (62A) in the present invention ejects flushing water in the immediate vicinity of the first transport roll (R4) with its discharge port (50) directed toward the contact (60). As a result, the immediateness of rinsing the remaining blackening liquid increases, and the rinsing with the first rinsing nozzle (62A) becomes more effective.

電磁波シールドメッシュの一例の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of an example of an electromagnetic wave shield mesh. 図１に示すシールドメッシュの上方からの平面図であり、一部分を拡大して示したものであるIt is a top view from the upper part of the shield mesh shown in FIG. 1, and has expanded and showed a part. 図２におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line X-X ′ in FIG. 2. 黒化処理装置の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a blackening processing apparatus. 図４に示す第一水洗部の第一搬送ロールの近傍を拡大した説明図である。It is explanatory drawing which expanded the vicinity of the 1st conveyance roll of the 1st water washing part shown in FIG. 第一水洗部の説明図である。It is explanatory drawing of a 1st water washing part. 第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散の説明図である。It is explanatory drawing of scattering of the washing water spouted from the 1st washing nozzle. 本発明における第一水洗部の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the 1st water washing part in this invention. 図８に示す第一水洗部の第一搬送ロールの近傍を拡大した説明図である。It is explanatory drawing which expanded the vicinity of the 1st conveyance roll of the 1st water washing part shown in FIG.

Explanation of symbols

１・・・プラスチックシート
２・・・接着剤
３・・・銅箔
３Ａ・・・メッシュ部
３Ｂ・・・開口部
４・・・粘着剤
５・・・保護フィルム
６・・・電磁波シールドメッシュ
１０・・・シールドメッシュ
２０・・・黒化処理装置
２１・・・黒化前水洗部
２２・・・黒化槽
２３・・・第一水洗部
２４・・・第二水洗部
２５・・・第三水洗部
２６・・・エアー乾燥部
２７・・・加熱乾燥部
２８・・・黒化液
３０・・・シールドメッシュ原反
３１〜３４・・・水洗ノズル
３２・・・第一水洗部の水洗ノズル
３２Ａ・・・第一水洗部の第一水洗ノズル
３２Ｂ・・・第一水洗部の第二水洗ノズル
３２Ｃ・・・第一水洗部の第三水洗ノズル
３５・・・エアーナイフ
３６・・・加熱ヒーター
４０・・・水洗水
４０’・・・水滴
５０・・・本発明における第一水洗ノズルの吐出口
６０・・・シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点
５２Ａ、６２Ａ・・・本発明における第一水洗部の第一水洗ノズル
Ｌ１・・・第一搬送ロールから第一水洗ノズルまでの距離
Ｌ２・・・シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置。
Ｌ３・・・第一水洗ノズル及び第二水洗ノズルのシールドメッシュ原反からの距離
Ｍ１・・・巻出し部
Ｍ２・・・巻取り部
Ｒ０〜Ｒ１３・・・搬送ロール
Ｒ４・・・第一水洗部の第一搬送ロール
Ｒ５・・・第一水洗部の第二搬送ロール
Ｒ６・・・第一水洗部の第三搬送ロール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Plastic sheet 2 ... Adhesive 3 ... Copper foil 3A ... Mesh part 3B ... Opening part 4 ... Adhesive 5 ... Protective film 6 ... Electromagnetic shielding mesh 10 ... Shield mesh 20 ... Blackening treatment device 21 ... Pre-blackening water washing section 22 ... Blackening tank 23 ... First water washing section 24 ... Second water washing section 25 ... first Three water washing part 26 ... Air drying part 27 ... Heat drying part 28 ... Blackening liquid 30 ... Shield mesh original fabric 31-34 ... Water washing nozzle 32 ... Water washing of the 1st water washing part Nozzle 32A ... first washing nozzle 32B of the first washing section ... second washing nozzle 32C of the first washing section ... third washing nozzle 35 of the first washing section ... air knife 36 ... Heater
40 ... Washing water 40 '... Water droplet 50 ... Discharge port 60 of the first washing nozzle in the present invention ... Contacts 52A, 62A where the shield mesh original fabric is separated from the outer periphery of the first transport roll ... 1st water-washing nozzle L1 of the 1st water-washing part in this invention ... Distance L2 from a 1st conveyance roll to a 1st water-washing nozzle ... The position immediately after the shield mesh original fabric leaves | separates from the outer periphery of a 1st conveyance roll.
L3: distance from the shield mesh original fabric of the first washing nozzle and the second washing nozzle M1 ... unwinding part M2 ... winding part R0 to R13 ... transport roll R4 ... first washing Part first transporting roll R5 ... first water washing part second transporting roll R6 ... first water washing part third transporting roll

Claims

A copper foil is bonded on a plastic sheet via an adhesive, and the copper foil is blackened on the mesh portion of the long strip-shaped shield mesh formed on the mesh portion and the opening by photoetching. In a blackening treatment apparatus having a blackening tank and a washing unit for washing and cleaning the shield mesh raw material unloaded from the blackening tank, a conveyance roll for carrying out the shield mesh raw material from the blackening tank, and the conveyance roll The shield mesh original fabric that is conveyed while being in contact with the outer periphery of the sheet is provided with a washing nozzle provided on the mesh side at a position immediately after leaving the outer periphery of the conveying roll, and in the washing water ejected from the washing nozzle, A blackening treatment apparatus, wherein the mesh portion immediately after leaving the outer periphery of the transport roll is washed with water.

2. The blackening process according to claim 1, wherein the washing nozzle is under a perpendicular line passing through a contact point where the shield mesh raw material is separated from the outer periphery of the transport roll, and the discharge port of the nozzle is provided toward the contact point. apparatus.