JP2006165586A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板を収納する収納容器からの前記基板の取り出し及び収納を行なう搬送部と、
   前記基板の検査を行う検査部と、を備えた外観検査装置であって、
   前記搬送部は、前記検査部に対して独立に構成され、複数の装置レイアウトに対応して設置位置を変更可能であることを特徴とする外観検査装置。
2. 前記搬送部は、前記検査部の操作部側に対して背面又は側面のいずれかの面を選択し、隣接して設置されることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
3. 前記検査部は、前記搬送部との間で直接前記基板の受け渡しを行なう基板受け渡し位置を備え、前記基板受け渡し位置から検査位置に前記基板を移送する他の搬送部を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の外観検査装置。
4. 前記搬送部及び前記他の搬送部は、それぞれ前記基板を吸着保持するハンドを有し、前記基板の前記受け渡し位置において角度の異なる２方向の受け渡し方向からの前記搬送部の前記ハンド挿入に対して前記他の搬送部の前記ハンドが干渉しない配置とされたことを特徴とする請求項３に記載の外観検査装置。
5. 前記搬送部は、複数の連結アームを有する多関節型の搬送ロボットであり、前記搬送ロボットの前記連結アームの先端部に屈曲して設けられた第１のハンドを備え、
   前記他の搬送部は、先端部に前記第１のハンドが前記２方向から入り込むよう受け渡し空間を有する略Ｌ字形状に形成され、前記基板を吸着保持する第２のハンドと、を備え、
   前記第１のハンドが前記第２のハンドの長辺側の挿入方向から前記基板を受け渡しする際に、前記第２のハンドの長辺との干渉を避ける逃げ部を前記第１のハンドに形成されることを特徴とする請求項４に記載の外観検査装置。
6. 前記他の搬送部は、軸方向を中心に回転する回転軸を備えていることを特徴とする請求項３から５のいずれか１項に記載の外観検査装置。
7. 前記他の搬送部は、複数の搬送アームからなり、
   これら搬送アームは、前記第１の搬送部との前記基板受け渡し位置、前記検査位置との間を循環移送することを特徴とする請求項３から６のいずれか1項に記載の外観検査装置。
8. 前記搬送部又は前記他の搬送部は、前記基板を吸着保持する略Ｌ字形状に形成したハンドを有し、この略Ｌ字形状のハンドは、両端に設けた吸着孔を結ぶラインが前記基板の中心より外側に位置されたことを特徴とする請求項３から７のいずれか1項に記載の外観検査装置。