JP2006088074A - インクジェット塗布装置及び塗布方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 シャッタとの接触によるノズルの開口端面の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルからのインクの吐出状態を常に良好に保ち得るインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】 液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口５０を有するインクジェットヘッド４２と、ノズル吐出口５０近傍において、前記ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタ５１と、ノズル吐出口５０を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間においてシャッタ５１をノズル吐出口５０の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構４９、５２、５３とを備える。
【選択図】 図４

Description

本発明は、インクの液滴を吐出して塗布対象にインクを塗布するインクジェット塗布装置及び塗布方法に関する。

従来、パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を吐出するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置を用いて、透明基板上の各ドットにR（赤）、G（緑）、B（青）の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。

また近年、液晶ディスプレイに代わる表示装置として、有機EL（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイが用いられるようになっている。この有機ELディスプレイの製造工程においては、発光高分子材料を有機溶媒に溶解させてなるR、G、Bの各色のインクをインクジェット塗布装置によりそれぞれ透明基板上に塗布することにより、R、G、Bの各色に対応したドットを順次配列させてなる発光領域を透明基板上に形成するようになされている。

ところでこれら表示装置の製造工程においては、インクを吐出するためのノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象である基板の塗布開始位置に対向する位置まで移動させた後、インクジェットヘッド及び基板の相対位置を移動させながら、所定の塗布位置でノズルからインクを順次吐出させるようになされている。従って塗布対象である基板を交換する間、塗布開始に際してインクジェットヘッドをインクの塗布開始位置まで移動させる間及び基板を交換する際の退避位置までインクジェットヘッドを移動させる間等においてはインクの吐出を休止することになり、塗布対象である基板の大型化に伴ってこの休止時間が長くなる。

また例えばＲ、Ｇ、Ｂの各色ごと等、複数のインクジェットヘッドを有するインクジェット塗布装置においては、１つのインクジェットヘッドにより塗布を行っている間は、他のインクジェットヘッドからのインクの吐出を休止させる場合もあり、塗布面積が大きくなるとこの休止時間が長くなる。

このようにインクの塗布を休止している時間が長くなると、インクジェットヘッドのノズルのインクが乾燥して、この乾燥したインクによりノズルが目詰まりを起こし、この結果、必要な量の液滴を吐出することが困難になり、またノズルが完全に詰まった場合にはインクの吐出が困難になる場合があった。

この課題を解決するための一つの方策として、乾燥時間の長いインクを用いる方法が考えられている。この方法によると、ノズルのインクの乾燥を遅らせることができ、吐出の休止時間が長くなっても吐出不良の発生を防止し得ると考えられる。

しかしながら乾燥時間を長くすると、基板上に塗布されたインクが乾燥する際の仕上がり精度が劣化する場合があり、また乾燥時間が長くなる分、塗布工程に要する時間が長くなって表示装置の製造工程全体として製造効率が低下することになり、解決策としては未だ不十分であった。

また例えば、印字終了後にキャップによりノズルをキャップするインクジェットプリンタが提案されている（特許文献１参照）。このインクジェットプリンタによれば、キャップによりノズル開口部を密閉することでノズル内のインクの乾燥を抑制し得ると考えられる。
特開平７−７６０９２号公報（図４）

しかしながら特許文献１の方法によると、キャップがノズル吐出口の開口端面に接触する構成となっており、キャップの開閉時にノズル吐出口の開口端面を破損させる問題があり、またノズル吐出口の開口端面に施された表面処理層がキャップの開閉動作時におけるキャップとの接触により磨耗劣化する問題があった。またさらにキャップを閉じた際に、ノズル吐出口に残ったインクがキャップに付着し、この付着したインクが乾燥してキャップの開閉動作を阻害し、またキャップに付着したインクがノズル吐出口に付着してノズルが目詰まりを起こす問題があった。

本発明は、このような技術的課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、シャッタとの接触によるノズル吐出口の開口端面の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルからのインクの吐出状態を常に良好に保ち得るインクジェット塗布装置及び塗布方法を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、インクジェット塗布装置において、液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口を有するインクジェットヘッドと、ノズル吐出口近傍において、ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタと、ノズル吐出口を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間においてシャッタをノズル吐出口の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、第１の特徴に係るインクジェット塗布装置において、支持機構により支持されるシャッタのノズル吐出口を覆う位置とノズル吐出口の開口端面との距離は、ノズル吐出口の溶媒雰囲気を維持する最大限の大きさ以下に設定されていることである。

本発明の実施の形態に係る第３の特徴は、塗布方法において、液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口の近傍において、ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタを、ノズル吐出口を覆う位置から退避した位置に移動させ、ノズル吐出口から液滴を噴射させて塗布対象に前記液滴を塗布する塗布工程と、液滴の噴射を休止すると共に、ノズル吐出口の開口端面との間隙を保ってノズル吐出口を覆う位置にシャッタを移動させる塗布休止工程とを有することである。

本発明によれば、シャッタとの接触によるノズルの開口端面の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルのインクの乾燥を抑制することを可能とする。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。

（第１の実施の形態）
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット塗布装置１は、架台２の上面に設けられたインク塗布ボックス３と、このインク塗布ボックス３にインクを補給するインク補給ボックス４とを備えており、また図２〜図４に示すように、インク塗布ボックス３には、液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口５０を有するインクジェットヘッド４２と、ノズル吐出口５０近傍において、ノズル吐出口５０を覆うよう進退可能に設けられるシャッタ５１と、ノズル吐出口５０を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間においてシャッタ５１をノズル吐出口５０の開口端面であるノズル面４８に対して間隙を保って移動させる支持機構４９、５２、５３とを備える。

すなわち図１に示すように、インク塗布ボックス３においては、架台２の上面にＹ軸方向ガイド板２０が固定されており、このＹ軸方向ガイド板２０の上面には、Ｙ軸方向に複数のガイド溝２１が延設されている。このガイド溝２１にはＹ軸方向移動テーブル２２の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＹ軸方向移動テーブル２２は、ガイド溝２１にガイドされてＹ軸方向に移動自在に支持されている。このＹ軸方向移動テーブル２２は、例えばモータを用いた駆動機構によりガイド溝２１に沿ってＹ軸方向に移動される。

またＹ軸方向移動テーブル２２の上面には、Ｘ軸方向に複数のガイド溝（図示せず）が延設されている。このガイド溝には、Ｘ軸方向移動テーブル２３の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＸ軸方向移動テーブル２３は、このガイド溝にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このＸ軸方向移動テーブル２３は、例えばモータを用いた駆動機構によりガイド溝に沿ってＸ軸方向に移動される。

Ｘ軸方向移動テーブル２３の上面には、基板保持テーブル２６が固定されており、この基板保持テーブル２６の上面には把持機構２７により、インクの塗布対象である基板３０を把持して固定し得るようになされている。なお基板３０の固定方法は、把持機構２７による把持に代えて、例えば吸着機構により吸着する方法を用いるようにしてもよい。

またインク塗布ボックス３において、架台２の上面には、Ｙ軸方向スライド板２０を挟む位置に１組のコラム３３ａ、３３ｂが立設されており、このコラム３３ａ、３３ｂの上部にはＸ方向ガイド板３５が横架されている。

Ｘ方向ガイド板３５の前面には、Ｘ方向にガイド溝３６が延設されており、このガイド溝３６には、複数のインクジェットヘッドユニット４０を垂設するベース板４１の突起部が係合されている。これによりベース板４１は、このガイド溝３６にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このベース板４１は、例えばモータを用いた駆動機構によりガイド溝３６に沿ってＸ軸方向に移動される。

インク塗布ボックス３においては、インクジェット塗布装置１の動作を制御する制御部１０により、これらＹ方向移動テーブル２２のＹ軸方向への移動、Ｘ方向移動テーブル２３のＸ軸方向への移動及びベース板４１のＸ軸方向への移動をそれぞれ制御し、これにより基板保持テーブル２６に保持された基板３０とベース板４１に垂設されたインクジェットヘッドユニット４０との相対位置を種々に変化させることができる。

またベース板４１には、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）用の３つのインクジェットヘッドユニット４０が垂設されており、このインクジェットヘッドユニット４０において、その下端部に設けられたインクジェットヘッド４２により下方にインクを吐出するようになされている。

すなわち図２に示すように、インクジェットヘッドユニット４０においては、ベース板４１に支持され、移動部４４ａをＺ軸方向（上下方向）に移動自在に支持するＺ軸方向移動機構４４と、このＺ軸方向移動機構４４の移動部４４ａに支持され、移動部４５ａをＹ軸方向に移動自在に支持するＹ軸方向移動機構４５と、このＹ軸方向移動機構４５の移動部４５ａに支持され、回転部４６ａをＺ軸方向周りの回転方向であるθ方向に回転自在に支持するθ方向回転機構４６と、このθ方向回転機構４６の回転部４６ａに垂下されるインクジェットヘッド４２とを有し、Ｚ軸方向移動機構４４によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＺ軸方向に調整し得ると共に、Ｙ軸方向移動機構４５によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＹ軸方向に調整し得ると共に、θ方向回転機構４６によりインクジェットヘッド４２の向きを基板３０に対してθ方向に回転し得るようになされている。

このようにインクジェットヘッドユニット４０においては、基板保持テーブル２６に保持された基板３０に対するインクジェットヘッド４２の位置を種々に調整し得るようになされている。

なおインク塗布ボックス３には、各色に対応した３つのインクジェットヘッドユニット４０が設けられているが、これらのインクジェットヘッドユニット４０はそれぞれ同一の構成を有する。

図３に示すように、このインクジェットヘッドユニット４０の下端部に設けられたインクジェットヘッド４２において、その下方に向けられたノズル面４８には複数のノズルがそれぞれノズル吐出口５０を下方に向けるようにして直列に穿設されている。これによりノズル面４８は、ノズルの開口端面を構成している。またそれぞれのノズル吐出口５０は互いに一定の間隔を隔てて配置されている。なお図３は、後述するシャッタ５１の開閉機構を省略して示している。

インクジェットヘッド４２の内部には、各ノズルに連通してなるインクタンクが設けられており、このインクタンクの上面にはダイアフラムが設けられている。制御部１０からの吐出制御信号によってこのダイアフラムを駆動させることにより、インクタンク内の圧力を変化させて該インクタンク内のインクをノズルより吐出させるようになされている。インクジェットヘッドユニット４０では、このようにしてノズル吐出口から下方にインクを吐出させることにより、インクジェットヘッド４２の下方において基板保持テーブル２６に保持された基板３０の上面にインクを塗布する。

制御部１０は、Ｙ方向移動テーブル２２を移動させるためのモータ、Ｘ方向移動テーブル２３を移動させるためのモータ、ベース板４１を移動させるためのモータをそれぞれ塗布位置を表すデータに基づいて駆動制御することにより、Ｙ方向移動テーブル２２のＹ軸方向へ移動、Ｘ方向移動テーブル２３のＸ軸方向への移動及びベース板４１のＸ軸方向への移動を制御する。これにより制御部１０は、基板保持テーブル２６に保持された基板３０とインクジェットヘッド４２との相対位置を変化させながら、インクジェットヘッド４２のノズル吐出口５０からインクを吐出させることにより、基板３０の所定位置に順次インクを塗布することができる。

インクジェットヘッド４２においては、そのノズル面４８を覆う位置（以下、これを閉じた位置と呼ぶ）とこの位置から横方向に退避した位置（以下、これを開いた位置と呼ぶ）との間で移動自在にガラス板でなるシャッタ５１が支持されている。

すなわち図４に示すように、インクジェットヘッド４２のノズル面４８の周囲には、該ノズル面４８よりも下方に所定の高さだけ突出した樹脂材料でなる枠形状のフレームカバー４９が固定されており、またノズル面４８の両側端部には、ノズル吐出口５０の開口端面をなすノズル面４８に対して、略平行な方向にガイド部材５２、５３が延設されている。

シャッタ５１において、その一方の側縁部には、該シャッタ５１の移動方向に延びる切り欠き部５１ａが形成され、この切り欠き部５１ａには、ガイド部材５３が摺動自在に係合されている。この係合状態において、シャッタ５１は、ガイド部材５３及びフレームカバー４９によって挟持される。またシャッタ５１の他方の側縁部は、ガイド部材５２及びフレームカバー４９によって挟持されている。これらにより、ガイド部材５２、５３及びフレームカバー４９によってシャッタ５１の支持機構が構成され、シャッタ５１は、ガイド部材５２、５３に沿って、閉じた位置と開いた位置との間で移動するようになされている。図５（Ａ）及び図６（Ａ）は、シャッタ５１が閉じた位置にある状態を示し、また図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）は、シャッタ５１が開いた位置にある状態を示す。

インクジェットヘッド４２の側面にはモータ５５が固定されており、このモータ５５の回転軸にはピニオンギア５７が嵌合されている。一方、シャッタ５１の上面部には、該シャッタ５１の移動方向にラック５８が延設されており、このラック５８にモータ５５側のピニオンギア５７が歯合されている。これにより、インクジェット塗布装置１を制御する制御部１０から出力される制御信号によりモータ５５を回転駆動させることにより、このモータ５５を駆動源としてシャッタ５１をガイド部材５２、５３に沿って移動させることができる。

このようにノズル吐出口５０の開口端面を構成するノズル面４８に対して略平行な方向にシャッタ５１を開閉動作させることにより、このシャッタ５１の開閉時にノズルの内部のインクに加わる気圧の変動を抑制することができ、これによりインク内への気泡の混入を防止して、インクの吐出不良が発生することを防止することができる。

ここでシャッタ５１とノズル面４８との間に介在するフレームカバー４９の高さは、インクジェットヘッド４２の各部品及びノズル面４８の加工、組み立て精度に基づいて、シャッタ５１の上面とノズル面４８とが接触しない最低限の大きさ以上となるように構成されている。従って、シャッタ５１が閉じた状態においては、シャッタ５１の上面の周辺部がフレームカバー４９に当接することにより、シャッタ５１とノズル面４８とが接触しないようになされている。またシャッタ５１が閉じた位置と開いた位置との間で開閉動作する間においても、シャッタ５１とノズル面４８との間にフレームカバー４９が介在することにより、シャッタ５１とノズル面４８とが接触しないようになされている。

このようにインクジェットヘッド４２においては、シャッタ５１とノズル面４８との接触を回避するように構成されていることにより、ノズル面４８が破損又は磨耗劣化することを防止することができる。

またシャッタ５１が閉じた状態においては、フレームカバー４９によってシャッタ５１の上面とノズル面４８との間にフレームカバー４９の高さによって決まる微小な間隙が形成される。この間隙の大きさは、ノズル吐出口５０の溶媒雰囲気を維持し得る最大限の大きさ以下となるように構成されている。

このようにインクジェットヘッド４２においては、シャッタ５１が閉じた状態において、シャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間によりノズル面４８が接する環境をノズル内のインクによる溶媒雰囲気に保つことにより、ノズル吐出口５０のインクが容易に乾燥することを防止することができる。

因みにこの実施の形態の場合、ノズル穴の直径をφ２０μｍ〜φ８０μｍ、ノズル面４８における隣接するノズル間の間隙を１ｍｍ、ノズル穴の数を６０個として、前述のシャッタ５１とノズル面４８との接触を回避する目的で設定される間隙の下限値を０．１ｍｍとし、溶媒雰囲気を維持する目的で設定される間隙の上限値を数ｍｍとする。

シャッタ５１がガイド部材５２、５３に沿って開いた位置まで移動した状態においては、ノズル面４８の各ノズル吐出口５０が下方に露出した状態となり、この状態でノズル吐出口５０からインクを吐出させることにより、ノズルの下方に保持される基板３０に対して、インクを塗布することができる。

ここでノズル吐出口５０からインクを吐出させた場合、ノズル吐出口５０の周辺のノズル面４８にインクが残存する場合がある。この残存インクは、シャッタ５１が閉じられた際にシャッタ５１の上面に付着し、シャッタ５１が開いた際に外気に直接触れることになる。このように外気直接触れた残存インクは、乾燥が進むことになる。そして再度シャッタ５１が閉じられた際には、この残存インクがノズル吐出口５０を覆うように付着してノズルが目詰まりを起こす可能性がある。そこでこのインクジェット塗布装置１においては、図７に示すように、インクジェットヘッド４２の側面部に、シャッタ５１の上面に付着した残存インク等の異物を除去するための除去機構としてクリーニング部６０を設けている。このクリーニング部６０においては、シャッタ５１の移動経路の上部に吸収性のある紙又は布等のクリーニング部材６１を配置し、シャッタ５１が開いた際にシャッタ５１の上面がこのクリーニング部材６１に接触するようになされている。これによりシャッタ５１が開く毎に該シャッタ５１の上面がクリーニング部材６１により拭き取られ、残存インク等の異物が除去される。

このようなクリーニング部６０による異物の除去は、シャッタ５１が開閉動作されるごとに実行されることになる。

ここでインクジェット塗布装置１を制御する制御部１０においては、インクジェットヘッド４２からインクを吐出させるタイミングでシャッタ５１を開き、この状態で基板３０とインクジェットヘッド４２との相対位置を変化させながらインクの吐出を繰り返す。そして基板３０に対して例えば一列分のインクの塗布が終了すると、制御部は、シャッタ５１を閉じると共に、基板３０とインクジェットヘッド４２との相対位置を次の列の先頭位置まで変化させて再びシャッタ５１を開いてインクの吐出を開始する。このように基板３０に対してインクを塗布する場合において、一連の塗布工程中においてもインクの吐出を比較的短時間だけ休止する塗布休止工程があり、このような塗布休止工程においてシャッタ５１を閉じることでノズルが容易に乾燥することを防止すると共に、再度吐出を開始する際にシャッタ５１を開くことでクリーニング部６０によりシャッタ上面の残存インク等の異物を除去することができる。

このようにインクジェットヘッド４２においては、インクの吐出休止期間にシャッタ５１を閉じることにより、ノズル吐出口５０のインクの容易な乾燥を防止してノズルの目詰まりを防止し得るようになされていると共に、クリーニング部６０によってシャッタ５１の上面の残存インク等の異物を除去してノズルの目詰まりを防止し得るようになされている。

またこのインクジェット塗布装置１においては、図８〜図１０に示すように、例えば基板３０の交換時のようにインクの吐出を比較的長時間休止する場合において、シャッタ５１が閉じられたインクジェットヘッド４２を溶媒に接触させることにより、ノズル面４８を外気から遮蔽してノズルのインクの乾燥を防止するようになされている。すなわち、インクジェット塗布装置１のインク塗布ボックス３においては、架台２の上部に溶媒槽７０が設けられている。この溶媒槽７０は、架台２の上部において前後方向に移動自在に支持された移動テーブル７１に保持されており、移動テーブル７１の移動によってインクジェットヘッド４２の下方まで前進した位置とこの位置から後退した位置との間で移動し得るようになされている。この移動テーブル７１は、制御部１０により、モータを駆動源として移動制御される。またインクジェットヘッド４２は、図１について上述したインクジェットヘッドユニット４０をＸ軸方向に移動させる機構（Ｘ方向ガイド板３５、ガイド溝３６、ベース板４１）によりＸ軸方向に移動制御されると共に、図２について上述したＺ軸方向移動機構４４によりＺ軸方向に移動制御されるようになされている。これら溶媒槽７０の移動機構及びインクジェットヘッドユニット４０の移動機構により、インクジェットヘッド４２と溶媒槽７０とを相対的に移動させることができる。

溶媒槽７０をインクジェットヘッド４２の下方から後退した位置まで移動させた状態においては、インクジェットヘッド４２の下方に基板３０が配置された状態となり、インクジェットヘッド４２によって基板３０に対してインクを吐出させることができる。また溶媒槽７０をインクジェットヘッド４２の下方に前進させた状態においては、インクジェットヘッドユニット４０をＸ軸方向への移動機構により溶媒槽７０の上部に移動させた後、Ｚ軸方向移動機構４４によりインクジェットヘッド４２をＺ軸方向に移動させることにより、インクジェットヘッド４２を溶媒槽７０の内部に移動させることができる。

溶媒槽７０には、インク溶媒が貯留されており、この溶媒槽７０にシャッタ５１を閉じた状態でインクジェットヘッド４２の下端部を浸漬させることにより、ノズル面４８を外気から遮蔽して溶媒雰囲気を保つことができる。

すなわち図８に示すように、インクの塗布時においては、制御部１０の制御により溶媒槽７０をインクジェットヘッド４２の下方から後退した位置まで移動させる。制御部１０は、この状態において、インクジェットヘッド４２のシャッタ５１を開いてインクジェットヘッド４２からインクを吐出させる。そしてインクの塗布工程が終了すると、図９に示すように、シャッタ５１を閉じた状態にすると共に溶媒槽７０をインクジェットヘッド４２の下方まで前進させ、さらに図１０に示すように、インクジェットヘッド４２を上下駆動機構により降下させることにより、インクジェットヘッド４２の先端部を溶媒槽７０に浸漬させる。この場合、シャッタ５１は閉じた状態となっており、この状態においてノズル面４８とシャッタ５１との間に形成された間隙空間は外気から確実に遮蔽されることになる。

またインクの塗布工程を開始する場合、制御部１０は、溶媒槽７０に浸漬されたインクジェットヘッド４２を上昇させることによりインクジェットヘッド４２の先端部を溶媒槽７０から引き上げ、この状態において溶媒槽７０を後退させると共にシャッタ５１を開き、インクを吐出させる。

このように、基板３０の交換時のようにインクの吐出が比較的長時間にわたって休止される場合には、インクジェットヘッド４２の先端部を溶媒槽７０に浸漬することにより、ノズル面４８を溶媒雰囲気中に保つことができ、ノズル吐出口５０に残存したインクが乾燥することを防止することができる。

次に、以上説明した構成のインクジェット塗布装置１の動作について説明する。例えば液晶又はＥＬ等の表示装置に用いられる基板３０の各ドットに対してインクを塗布する場合、インクジェット塗布装置１の動作を制御する制御部１０は、塗布位置を表すデータに基づいて、Ｙ方向移動テーブル２２、Ｘ方向移動テーブル２３及びインクジェットヘッドユニット４０を移動させることにより、インクジェットヘッド４２が基板保持テーブル２６に保持された基板３０のインク塗布位置に対して上方から対向するように位置決めする。

この状態において、制御部１０は、図５（Ａ）及び図６（Ａ）に示したように、シャッタ５１を開いてノズル吐出口５０を露出させた後、インクジェットヘッド４２と基板３０との相対位置を移動させながらノズル吐出口５０が基板３０のドットに対向する位置に一致したタイミングでノズル吐出口５０からインクを吐出させることにより、基板３０の各ドットに順次インクを塗布する。

そして例えば基板３０の１列分のドットに対する吐出処理のように一連の吐出動作が終了すると、制御部１０は、インクジェットヘッド４２が基板３０の次のドット列の塗布開始位置に対向するように位置決めする。このようにインクの塗布工程においては、一連のインクの吐出動作の間に吐出動作を比較的短時間の間だけ休止する休止期間があり、この間において制御部１０は、図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）に示したように、シャッタ５１を閉じることによりノズル内のインクが容易に乾燥することを防止する。このシャッタ５１の開閉動作時及びシャッタ５１が閉じられた状態においては、シャッタ５１とノズル面４８との間にフレームカバー４９が介在することにより、該シャッタ５１とノズル面４８との間に所定の間隙が保たれ、これによりノズル面４８の破損又は磨耗劣化が回避される。

このようにシャッタ５１とノズル面４８との接触が回避されるようにシャッタ５１が閉じられることにより、シャッタ５１とノズル面４８との間に間隙が形成されるが、この間隙の大きさは、溶媒雰囲気を保ち得る最大限の大きさ以下となるように構成されていることにより、この間隙空間内はノズル内のインクにより溶媒雰囲気に保たれ、ノズル面４８及びこのノズル面４８に設けられたノズル吐出口５０は、直ちには外気に接しない状態となる。これによりノズル吐出口５０のインクの乾燥が抑制される。

またシャッタ５１が閉じられた際にシャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間は、その周囲がフレームカバー４９により半密閉状態で覆われることにより、一段と長時間に亘って溶媒雰囲気が維持されることになる。

なおシャッタ５１が閉じられた際には、シャッタ５１とフレームカバー４９との間は完全には密閉されないものの、この実施の形態の場合、シャッタ５１がガラス板により構成されていると共にフレームカバー４９が樹脂により構成されていることにより、その密着性が一段と高められるようになされており、その分一段とインクの乾燥が抑制される。

またインクの吐出後には、ノズル吐出口５０にインクが残ることがあるが、このインクジェットヘッド４２においては、シャッタ５１がノズル面４８に接しない構成となっていることにより、残存インクがシャッタ５１に容易に付着することが防止される。これによりシャッタ５１に付着した残存インク等の異物がノズル吐出口５０を塞ぐように付着することによるノズル吐出口５０の目詰まりが防止される。

因みにシャッタ５１に残存インク等の異物が付着した場合には、シャッタ５１が開いた際に図７に示したクリーニング部６０によりこの異物が除去されることにより、シャッタ５１に付着した残存インク等の異物がノズル吐出口５０を塞ぐように付着することを一段と有効に防止することができる。

また例えば塗布対象である基板３０の交換時のようにインクの吐出を比較的長時間休止する場合においては、図８〜図１０に示したように、インクジェットヘッド４２の先端部が溶媒槽７０の溶媒に浸漬されることにより、インクジェットヘッド４２のノズル吐出口５０は溶媒雰囲気中に保たれることとなり、その乾燥が防止される。

またインクの吐出が行われない場合にシャッタ５１によりノズル面４８が覆われることにより、この間において例えばインクジェットヘッド４２の移動に伴って発生する振動によりノズル吐出口５０からインクが滴下した場合、又は電気ノイズによってノズルが誤動作してインクが誤吐出された場合等においても、閉じられたシャッタ５１によってインクが不用意に基板３０に落下することが防止され、これによりインクの塗布工程における基板３０の不良の発生率が低減することになる。

以上説明したインクジェット塗布装置１によれば、ノズル吐出口５０の開口端面を構成するノズル面４８を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間において移動自在にシャッタ５１を支持すると共に、このシャッタ５１がノズル面４８に接触しないようにしたことにより、シャッタ５１によるノズル面４８の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズル吐出口５０のインクの乾燥を抑制することができる。またシャッタ５１を閉じることにより、不用意なインクの滴下を防止することができる。またシャッタ５１が閉じられた際にシャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙の大きさを、溶媒雰囲気を保ち得る最大限の大きさ以下となるように構成したことにより、シャッタ５１によるノズル面４８の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルのインクの乾燥を十分に抑制することができる。

また異物の除去手段としてクリーニング部６０を設け、このクリーニング部６０によりシャッタ５１に付着した残存インク等の異物を除去するようにしたことにより、この異物がシャッタ５１の開閉動作によりノズル吐出口５０を覆うように付着して吐出不良が発生することを防止することができる。

またインクの吐出を比較的長時間に亘って休止する場合、インクジェットヘッド４２の先端部を溶媒槽７０の溶媒に浸漬させてノズル吐出口５０を溶媒雰囲気中に保つことにより、ノズル吐出口５０のインクの乾燥を防止することができる。

これらにより本実施の形態のインクジェット塗布装置１によれば、ノズルの目詰まりを防止してノズルからのインクの吐出状態を常に良好に保つことができる。

なお上述の第１の実施の形態においては、インク塗布の休止中にインクジェットヘッド４２の先端部をシャッタ５１を閉じた状態で溶媒槽７０の溶媒に浸漬する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、シャッタ５１が閉じられたインクジェットヘッド４２の先端部に対して溶媒を噴射するようにしてもよい。この場合、溶媒の噴射機構として、インクジェットヘッド４２の近傍に溶媒を噴射するためのノズルを設け、インクの塗布を休止する場合には、このノズルからシャッタ５１が閉じられたインクジェットヘッド４２の先端部に対して溶媒を噴射するようにすればよい。このようにしても、閉じられたシャッタ５１とノズル面４８との間に形成された間隙空間を外気から遮蔽することができる。

また上述の第１の実施の形態においては、インク塗布の休止中にインクジェットヘッド４２の先端部を溶媒槽７０の溶媒に浸漬させる場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、シャッタ５１を閉じる前若しくは閉じた後又は閉じながらノズル吐出口５０を加圧パージしてノズル吐出口５０からインクを染み出させるようにしてもよい。このようにすれば、シャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間を溶媒雰囲気に保つことができ、ノズル吐出口５０の乾燥を防止することができ、ノズルの目詰まりによるインクの吐出不良の発生を防止することができる。

また上述の第１の実施の形態においては、ノズル穴の直径、ノズル面４８における隣接するノズル間の間隙、ノズル穴の数に応じて、前述のシャッタ５１とノズル面４８との接触を回避する目的で設定される間隙の下限値を０．１ｍｍとし、溶媒雰囲気を維持する目的で設定される間隙の上限値を数ｍｍとする場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、間隙の大きさは、ノズル穴の直径、ノズル穴の間隔及びノズル穴の個数に応じて種々の寸法に設定されるものである。

（第２の実施の形態）
図１１は、本発明の第２の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットの先端部を示す部分的断面図である。この第２の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図４について上述した第１の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、インク塗布の休止中にインクジェットヘッド４２の先端部を溶媒槽７０の溶媒に浸漬させるための構成に代えて、シャッタ５１が閉じられた際にシャッタ５１とノズル面４８との間隙空間に対して溶媒ガスを送気するための構成が設けられている点のみが異なる。従って図１１においては、図４との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。またこの図１１においては、図４について上述したガイド部材５２、５３、モータ５５、ピニオンギア５７、ラック５８、クリーニング部６０等のシャッタ５１の開閉機構等を省略して示しているが、これらの構成も有するものとする。

すなわち、図１１に示すように、第２の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ５１には溶媒ガスを送気するための送気ホース６５が取り付けられている。この送気ホースの先端部は、シャッタ５１の一部に貫通形成された送気口５３に対してシャッタ５１の下面側から接合されている。この送気ホース６５に対して、溶媒ガスの供給装置６６からインクの溶媒ガスを供給する。これにより送気ホース６５及びシャッタ５１の送気口５３を介して溶媒ガスをシャッタ５１の上面側に供給することができる。

この場合、インクジェット塗布装置を制御する制御部にあっては、溶媒ガスの供給装置６６及びシャッタ５１の駆動機構をそれぞれ連携動作させることにより、シャッタ５１が閉じられた際に溶媒ガスを送気することでシャッタ５１とノズル面４８との間の間隙空間に溶媒ガスを供給する。

これにより閉じられたシャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間を溶媒雰囲気に保つことができ、ノズル吐出口５０のインクが乾燥することを防止して、ノズルの目詰まりによるインクの吐出不良の発生を防止することができる。

（第３の実施の形態）
図１２は、本発明の第３の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットを示す部分的断面図である。この第３の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図４について上述した第１の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、シャッタ５１の上面に付着した残存インク等の異物を除去するクリーニング部６０に代えて、シャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間を吸気するための構成が設けられている点のみが異なる。従って図１２においては、図４との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。またこの図１２においては、図４について上述したガイド部材５２、５３、モータ５５、ピニオンギア５７、ラック５８等のシャッタ５１の開閉機構等を省略して示しているが、これらの構成も有するものとする。

すなわち、図１２に示すように、第３の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ５１にはシャッタ５１の上面側を吸気するための吸気ホース６７が取り付けられている。この吸引ホース６７の先端部は、シャッタ５１の一部に貫通形成された吸引口５３に対してシャッタ５１の下面側から接合されている。この吸引ホース６７に対して、吸引装置６８により負圧を与えることにより、シャッタ５１の上面側を吸引することができる。

この場合、インクジェット塗布装置を制御する制御部にあっては、この吸引装置６８及びシャッタ５１の駆動機構をそれぞれ連携動作させることにより、シャッタ５１が閉じられている間に吸引することでシャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間を吸引することができる。

このようにシャッタ５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間を吸引することにより、シャッタ５１の上面、ノズル面４８及びノズル吐出口５０内に付着した残存インク等の異物を吸引ホース６７を介して外部に排出することができる。これによりノズルの目詰まりによるインクの吐出不良の発生を防止することができる。

なおこの第３の実施の形態においては、第１の実施の形態のインクジェット塗布装置のクリーニング部６０に代えて、シャッタ５１とノズル面４８との間を吸引するための構成を設けるようにしたが、本発明はこれに限られるものではなく、クリーニング部６０を併用するようにしてもよい。

（第４の実施の形態）
図１３は、本発明の第４の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。この第４の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図４について上述した第１の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、ノズル面４８の複数のノズル全体を覆う１枚のシャッタ５１に代えて、複数のシャッタ片１５１ａ、１５１ｂ及び１５１ｃに分割されてなるシャッタ１５１を設け、それぞれのシャッタ片１５１ａ、１５１ｂ及び１５１ｃが個別に開閉動作するように構成した点のみが異なる。従って図１３においては、図４との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。なお図１３においては、各シャッタ片１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｄを開閉するための開閉機構及びクリーニング部６０を省略して示している。シャッタ１５１を構成するシャッタ片１５１ａ、１５１ｂ及び１５１ｃのうち、両側のシャッタ片１５１ａ、１５１ｃにおいては、図４について上述した開閉機構（ガイド部材５２、５３、モータ５５、ピニオンギア５７、ラック５８）をそれぞれ設けて制御部により個別に開閉動作するようになされ、また中央のシャッタ片１５１ｂについては、モータ５５、ラック５８を設けるスペースを確保することが困難であることにより、例えばソレノイドを駆動源としてリンク機構を介して制御部の制御によりシャッタ片１５１ｂを開閉動作させる等、他の駆動機構を用いるようにする。

図１３に示すように、第４の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ１５１は、複数のノズル吐出口５０のうちの隣接する所定数のノズルごとに対応したシャッタ片１５１ａ、１５１ｂ及び１５１ｃに分割され、それぞれ個別に開閉駆動される。

この第４の実施の形態のインクジェット塗布装置を制御する制御部においては、インクの塗布対象である基板３０における塗布パターンに応じて使用するシャッタ片を選択し、選択したシャッタ片を開いてインクを吐出させる。

このようにすれば、使用しないノズルについては常にシャッタ片によって覆われた状態とすることができ、これにより使用しないノズルが乾燥することを防止することができる。

なおこの第４の実施の形態においては、３つのシャッタ片１５１ａ、１５１ｂ及び１５１ｃに分割されてなるシャッタ１５１を用いる場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、種々の分割数を適用することができる。この場合、分割数を多くするほど、塗布対象の様々な塗布パターンに対応することができるようになる。

（第５の実施の形態）
図１４は、本発明の第５の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。この第５の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図４について上述した第１の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、ノズル面４８の複数のノズル全体を覆うシャッタ５１に加えて、複数のノズル吐出口５０のうちの一部のノズルに対応した領域に吐出窓部２５１ａを有するシャッタ２５１を併用するように構成した点のみが異なる。従って図１４においては、図４との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。なお図１４においては、各シャッタ５１、２５１を開閉するための開閉機構及びクリーニング部６０（図４）を省略して示している。シャッタ５１、２５１においては、図４について上述した開閉機構（ガイド部材５２、５３、モータ５５、ピニオンギア５７、ラック５８）をそれぞれ設けて制御部により個別に開閉動作させる。

すなわち図１４に示すように、第５の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ２５１においては、該シャッタ２５１が閉じられた状態において例えば隣接する３つのノズル吐出口５０ａ、５０ｂ及び５０ｃに対向する位置に吐出窓部２５１ａを形成し、このノズル吐出口５０ａ、５０ｂ及び５０ｃからインクを吐出させる場合には、このシャッタ２５１を閉じるようにする。これにより、使用するノズル吐出口５０ａ、５０ｂ及び５０ｃ以外のノズル吐出口はシャッタ２５１によって覆われることになり、これらのノズルが乾燥することを防止することができる。また、すべてのノズル吐出口５０からの吐出を休止する場合には、吐出窓部２５１ａを有するシャッタ２５１を開くと共に、吐出窓部を有しないシャッタ５１を閉じることにより、すべてのノズル吐出口５０の乾燥を防止することができる。

なおこの第５の実施の形態においては、３つのノズル吐出口５０ａ、５０ｂ及び５０ｃに対応する位置に吐出窓部２５１ａが形成されたシャッタ２５１を用いる場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、１つ又は２つ以上の種々のノズルに対応した位置に吐出窓部を形成して用いることができる。この場合、吐出窓部２５１ａは１つに限らず、複数形成するようにしてもよい。

またこの第５の実施の形態においては、吐出窓部２５１ａを有するシャッタ２５１と吐出窓部２５１ａを有しないシャッタ５１とを併用する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、吐出窓部２５１ａを有するシャッタ２５１のみを用いるようにしてもよい。このようにすれば、常に使用するノズルと必要に応じて使用するノズルとが並存している場合に、常に使用するノズルに対応した位置に吐出窓部２５１ａを形成し、必要に応じて使用するノズルを使用しない場合にこのシャッタ２５１を閉じておくことにより、これらのノズルの乾燥を抑制することができる。

（その他の実施の形態）
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではない。例えば、上述の第１〜第５の実施の形態においては、ノズル面４８の周囲全体を覆う枠形状のフレームカバー４９を設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、フレームカバー４９として、枠形状の一部が切り欠かれた形状のものを用いるようにしてもよい。

また上述の第１〜第５の実施の形態のインクジェット塗布装置１においては、シャッタ５１、１５１、２５１とノズル面４８との間にフレームカバー４９を介在させることによってシャッタ５１、１５１、２５１とノズル面４８との接触を防止する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、フレームカバー４９に代えて、例えばガイド部材５２、５３をシャッタ５１、１５１、２５１の上面側及び下面側から挟持する構成とし、このガイド部材によりシャッタ５１の高さを位置決めすることにより、シャッタ５１、１５１、２５１とノズル面４８との接触を防止するようにしてもよい。この場合、シャッタ５１、１５１、２５１とノズル面４８との間に形成される間隙空間の周囲はフレームカバー４９に覆われない構成となるが、シャッタ５１、１５１、２５１とノズル面４８との間の間隙が溶媒雰囲気を維持し得る程度に抑えられていることにより、ノズル吐出口５０の乾燥を実用上十分に防止することができる。

また上述の第１〜第５の実施の形態のインクジェット塗布装置１においては、シャッタ５１、１５１、２５１の開閉機構として、モータ５５の回転力をピニオンギア５７及びラック５８を介してシャッタ５１、１５１、２５１の駆動力とする場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばシャッタ５１、１５１、２５１の移動範囲に回転可能に掛け渡されたベルトの一部をシャッタ５１、１５１、２５１に固定し、回転させることによりシャッタ５１、１５１、２５１を開閉させる等、駆動機構としては他の種々の駆動機構を適用することができる。

また上述の第１〜第５の実施の形態のインクジェット塗布装置１においては、モータ５５をシャッタ５１、１５１、２５１の駆動源とする場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばソレノイドを駆動源としてリンク機構を介してシャッタ５１、１５１、２５１を開閉動作させる等、シャッタ５１、１５１、２５１の駆動源としては他の種々のものを適用することができる。

また上述の第１〜第５の実施の形態においては、シャッタ５１、１５１、２５１の駆動源であるモータ５５、ガイド部材５２、５３等の開閉機構をインクジェットヘッド４２に設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばインクジェットヘッドユニット４０を構成する他の部材により支持するようにしてもよい。

また上述の第１〜第５の実施の形態においては、シャッタ５１、１５１、２５１をガラス板で構成すると共にフレームカバー４９を樹脂材料で構成する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばシャッタ５１、１５１、２５１及びフレームカバー４９を樹脂材料で構成する等、種々の材質のものを用いることができる。

また上述の第１〜第５の実施の形態においては、シャッタ５１、１５１、２５１の上面に付着した残存インク等の異物を除去する除去手段として、紙又は布によって異物を除去するクリーニング部６０を設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばシャッタ５１、１５１、２５１が開いた状態で、このシャッタ５１、１５１、２５１の上面に空気又は溶剤を噴射することにより異物を吹き飛ばすようにしてもよい。

本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット塗布装置を示す斜視図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的側面図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す上面図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの溶媒槽への浸漬処理の説明に供する側面図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの溶媒槽への浸漬処理の説明に供する側面図である。 図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの溶媒槽への浸漬処理の説明に供する側面図である。 本発明の第２の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。 本発明の第３の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。 本発明の第４の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。 本発明の第５の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。

符号の説明

１…インクジェット塗布装置、２…架台、３…インク塗布ボックス、４…インク補給ボックス、３０…基板、４０…インクジェットヘッドユニット、４２…インクジェットヘッド、４８…ノズル面、４９…フレームカバー、５０…ノズル、５１，１５１，２５１…シャッタ、５２，５３…ガイド部材、５５…モータ、５７…ピニオンギア、５８…ラック。

Claims (11)

1. 液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口を有するインクジェットヘッドと、
   前記ノズル吐出口近傍において、前記ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタと、
   前記ノズル吐出口を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間において前記シャッタを前記ノズル吐出口の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構と、
   を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
2. 前記支持機構は、前記シャッタを前記開口端面に沿って移動させる
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
3. 前記支持機構により支持される前記シャッタの前記ノズル吐出口を覆う位置と前記ノズル吐出口の開口端面との距離は、前記ノズル吐出口の溶媒雰囲気を維持する最大限の大きさ以下に設定されている
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
4. 前記液滴の溶媒が貯留される溶媒槽と、
   前記インクジェットヘッドと前記溶媒槽とを相対的に移動させる移動機構と、
   を備え、前記シャッタが前記ノズル吐出口を覆う位置にある状態の前記インクジェットヘッドを前記溶媒槽に貯留された溶媒に浸漬させる
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
5. 前記シャッタが前記ノズル吐出口を覆った状態において、前記インクジェットヘッドに対して前記液滴の溶媒を噴射する噴射機構を備える
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
6. 前記シャッタの前記ノズル吐出口を覆う位置と前記ノズル吐出口の開口端面との間に前記液滴の溶媒ガスを送気する送気機構を備える
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
7. 前記シャッタの前記ノズル吐出口を覆う位置と前記ノズル吐出口の開口端面との間の空隙を吸引する吸引機構を備える
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
8. 前記インクジェットヘッドは、前記ノズル吐出口が複数配列され、
   前記シャッタは、前記配列されてなる複数のノズル吐出口の位置に応じて複数に分割されている
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
9. 前記インクジェットヘッドは、前記ノズル吐出口が複数配列され、
   前記シャッタは、前記配列された複数のノズル吐出口のうち１つ又は２つ以上のノズル吐出口の位置に応じて形成された吐出窓部を備える
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
10. 前記インクジェットヘッドは、前記ノズル吐出口が複数配列され、
    前記配列された複数のノズル吐出口のすべてを覆う第１の前記シャッタと、
    前記複数のノズル吐出口のすべてを覆う外形形状を有すると共に前記複数のノズル吐出口のうちの１つ又は２つ以上の位置に対応して形成された吐出窓部を有する第２のシャッタと、
    前記第２のシャッタを前記ノズル吐出口を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間において前記第２のシャッタを前記ノズル吐出口の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構と、
    を備えることを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
11. 液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口の近傍において、前記ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタを、前記ノズル吐出口を覆う位置から退避した位置に移動させ、前記ノズル吐出口から前記液滴を噴射させて塗布対象に前記液滴を塗布する塗布工程と、
    前記液滴の噴射を休止すると共に、前記ノズル吐出口の開口端面との間隙を保って前記ノズル吐出口を覆う位置に前記シャッタを移動させる塗布休止工程と、
    を有することを特徴とする塗布方法。

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