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JP2006088074A - Ink jet coater and coating method - Google Patents

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JP2006088074A
JP2006088074A JP2004278554A JP2004278554A JP2006088074A JP 2006088074 A JP2006088074 A JP 2006088074A JP 2004278554 A JP2004278554 A JP 2004278554A JP 2004278554 A JP2004278554 A JP 2004278554A JP 2006088074 A JP2006088074 A JP 2006088074A
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JP
Japan
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shutter
nozzle discharge
nozzle
discharge port
ink
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Pending
Application number
JP2004278554A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Haruhiko Ishihara
治彦 石原
Koji Kurosawa
弘二 黒沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2004278554A priority Critical patent/JP2006088074A/en
Publication of JP2006088074A publication Critical patent/JP2006088074A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet coater capable of keeping an ink discharging state from a nozzle to be always good while avoiding a break down or an attrition failure of an opening end side of a nozzle by contact with a shutter. <P>SOLUTION: The ink jet coater has an ink jet head 42 having a nozzle outlet 50 which is an opening for spraying drops, the shutter 51 arranged movably forwards and backward as to cover the nozzle outlet near the nozzle outlet 50, and a supporting mechanism 49, 52, 53 for moving the shutter 51 while keeping a gap for the opening end side of the nozzle outlet 50 between a position covering the nozzle outlet 50 and a position evacuated from the said position. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクの液滴を吐出して塗布対象にインクを塗布するインクジェット塗布装置及び塗布方法に関する。   The present invention relates to an ink jet coating apparatus and a coating method for discharging ink droplets to apply ink to a coating target.

従来、パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を吐出するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置を用いて、透明基板上の各ドットにR(赤)、G(緑)、B(青)の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。   Conventionally, in a personal computer or the like, a liquid crystal display is used as the display device. In the manufacturing process of this liquid crystal display, R (red), G (green), and B (blue) are applied to each dot on a transparent substrate by using a so-called inkjet coating device designed to eject minute droplets from nozzles. ) In order to create a color filter in which dots of each color are sequentially arranged.

また近年、液晶ディスプレイに代わる表示装置として、有機EL(エレクトロルミネッセンス)ディスプレイが用いられるようになっている。この有機ELディスプレイの製造工程においては、発光高分子材料を有機溶媒に溶解させてなるR、G、Bの各色のインクをインクジェット塗布装置によりそれぞれ透明基板上に塗布することにより、R、G、Bの各色に対応したドットを順次配列させてなる発光領域を透明基板上に形成するようになされている。   In recent years, organic EL (electroluminescence) displays have been used as display devices that replace liquid crystal displays. In the manufacturing process of the organic EL display, R, G, and B inks obtained by dissolving a light-emitting polymer material in an organic solvent are applied onto a transparent substrate by an inkjet coating device, respectively. A light emitting region is formed on the transparent substrate by sequentially arranging dots corresponding to the respective colors of B.

ところでこれら表示装置の製造工程においては、インクを吐出するためのノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象である基板の塗布開始位置に対向する位置まで移動させた後、インクジェットヘッド及び基板の相対位置を移動させながら、所定の塗布位置でノズルからインクを順次吐出させるようになされている。従って塗布対象である基板を交換する間、塗布開始に際してインクジェットヘッドをインクの塗布開始位置まで移動させる間及び基板を交換する際の退避位置までインクジェットヘッドを移動させる間等においてはインクの吐出を休止することになり、塗布対象である基板の大型化に伴ってこの休止時間が長くなる。   By the way, in the manufacturing process of these display devices, after moving an inkjet head having a nozzle for ejecting ink to a position facing a coating start position of a substrate to be coated, the relative position of the inkjet head and the substrate is moved. Ink is sequentially ejected from the nozzles at a predetermined application position. Therefore, while changing the substrate to be coated, the ink ejection is paused while the inkjet head is moved to the ink application start position at the start of coating and while the inkjet head is moved to the retracted position when the substrate is replaced. As a result, the pause time becomes longer as the size of the substrate to be coated increases.

また例えばR、G、Bの各色ごと等、複数のインクジェットヘッドを有するインクジェット塗布装置においては、1つのインクジェットヘッドにより塗布を行っている間は、他のインクジェットヘッドからのインクの吐出を休止させる場合もあり、塗布面積が大きくなるとこの休止時間が長くなる。   In addition, in an inkjet coating apparatus having a plurality of inkjet heads, such as for each color of R, G, and B, when ink ejection from other inkjet heads is suspended while coating with one inkjet head In other words, this pause time becomes longer as the application area increases.

このようにインクの塗布を休止している時間が長くなると、インクジェットヘッドのノズルのインクが乾燥して、この乾燥したインクによりノズルが目詰まりを起こし、この結果、必要な量の液滴を吐出することが困難になり、またノズルが完全に詰まった場合にはインクの吐出が困難になる場合があった。   When the time during which the ink application is stopped becomes longer in this way, the ink in the nozzles of the inkjet head dries and the dried ink causes the nozzles to become clogged. As a result, the required amount of droplets is ejected. In some cases, it is difficult to discharge ink, and when the nozzles are completely clogged, it may be difficult to eject ink.

この課題を解決するための一つの方策として、乾燥時間の長いインクを用いる方法が考えられている。この方法によると、ノズルのインクの乾燥を遅らせることができ、吐出の休止時間が長くなっても吐出不良の発生を防止し得ると考えられる。   As one measure for solving this problem, a method using ink having a long drying time is considered. According to this method, it is considered that the drying of the ink of the nozzle can be delayed, and the occurrence of ejection failure can be prevented even when the ejection pause time is extended.

しかしながら乾燥時間を長くすると、基板上に塗布されたインクが乾燥する際の仕上がり精度が劣化する場合があり、また乾燥時間が長くなる分、塗布工程に要する時間が長くなって表示装置の製造工程全体として製造効率が低下することになり、解決策としては未だ不十分であった。   However, if the drying time is lengthened, the finishing accuracy when the ink applied on the substrate dries may be deteriorated. Also, the longer the drying time, the longer the time required for the coating process, and the manufacturing process of the display device. As a whole, the production efficiency was lowered, and the solution was still insufficient.

また例えば、印字終了後にキャップによりノズルをキャップするインクジェットプリンタが提案されている(特許文献1参照)。このインクジェットプリンタによれば、キャップによりノズル開口部を密閉することでノズル内のインクの乾燥を抑制し得ると考えられる。
特開平7−76092号公報(図4)
In addition, for example, an ink jet printer in which a nozzle is capped with a cap after printing has been proposed (see Patent Document 1). According to this ink jet printer, it is considered that drying of ink in the nozzle can be suppressed by sealing the nozzle opening with the cap.
JP-A-7-76092 (FIG. 4)

しかしながら特許文献1の方法によると、キャップがノズル吐出口の開口端面に接触する構成となっており、キャップの開閉時にノズル吐出口の開口端面を破損させる問題があり、またノズル吐出口の開口端面に施された表面処理層がキャップの開閉動作時におけるキャップとの接触により磨耗劣化する問題があった。またさらにキャップを閉じた際に、ノズル吐出口に残ったインクがキャップに付着し、この付着したインクが乾燥してキャップの開閉動作を阻害し、またキャップに付着したインクがノズル吐出口に付着してノズルが目詰まりを起こす問題があった。   However, according to the method of Patent Document 1, the cap is in contact with the opening end surface of the nozzle discharge port, and there is a problem that the opening end surface of the nozzle discharge port is damaged when the cap is opened and closed. There was a problem that the surface treatment layer applied to the surface deteriorated due to contact with the cap during the opening and closing operation of the cap. In addition, when the cap is further closed, the ink remaining in the nozzle discharge port adheres to the cap, and this adhering ink dries and obstructs the opening and closing operation of the cap, and the ink attached to the cap adheres to the nozzle discharge port. As a result, there was a problem that the nozzle was clogged.

本発明は、このような技術的課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、シャッタとの接触によるノズル吐出口の開口端面の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルからのインクの吐出状態を常に良好に保ち得るインクジェット塗布装置及び塗布方法を提供することである。   The present invention has been made to solve such a technical problem, and an object of the present invention is to prevent damage to the opening end face of the nozzle discharge port due to contact with the shutter or deterioration of wear, while avoiding damage from the nozzle. It is an object to provide an ink jet coating apparatus and a coating method capable of always maintaining a good ink discharge state.

本発明の実施の形態に係る第1の特徴は、インクジェット塗布装置において、液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口を有するインクジェットヘッドと、ノズル吐出口近傍において、ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタと、ノズル吐出口を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間においてシャッタをノズル吐出口の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構とを備えることである。   A first feature according to an embodiment of the present invention is that, in an ink jet coating apparatus, an ink jet head having a nozzle discharge port that is an opening for ejecting droplets, and the nozzle discharge port is covered in the vicinity of the nozzle discharge port. A shutter that is provided so as to be able to advance and retreat, and a support mechanism that moves the shutter with respect to the opening end face of the nozzle discharge port between a position that covers the nozzle discharge port and a position that is retracted from the covered position. is there.

本発明の実施の形態に係る第2の特徴は、第1の特徴に係るインクジェット塗布装置において、支持機構により支持されるシャッタのノズル吐出口を覆う位置とノズル吐出口の開口端面との距離は、ノズル吐出口の溶媒雰囲気を維持する最大限の大きさ以下に設定されていることである。   A second feature according to the embodiment of the present invention is that, in the inkjet coating apparatus according to the first feature, the distance between the position covering the nozzle discharge port of the shutter supported by the support mechanism and the opening end surface of the nozzle discharge port is The maximum size for maintaining the solvent atmosphere at the nozzle outlet is set to be equal to or smaller than the maximum size.

本発明の実施の形態に係る第3の特徴は、塗布方法において、液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口の近傍において、ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタを、ノズル吐出口を覆う位置から退避した位置に移動させ、ノズル吐出口から液滴を噴射させて塗布対象に前記液滴を塗布する塗布工程と、液滴の噴射を休止すると共に、ノズル吐出口の開口端面との間隙を保ってノズル吐出口を覆う位置にシャッタを移動させる塗布休止工程とを有することである。   A third feature according to the embodiment of the present invention is that, in the coating method, in the vicinity of the nozzle discharge port which is an opening for ejecting droplets, a shutter provided to be able to advance and retreat so as to cover the nozzle discharge port is provided. It moves from the position covering the discharge port to the retracted position, and sprays droplets from the nozzle discharge port to apply the droplets to the application target, and stops the droplet ejection and opens the nozzle discharge port. And a coating suspension step of moving the shutter to a position covering the nozzle discharge port while maintaining a gap with the end surface.

本発明によれば、シャッタとの接触によるノズルの開口端面の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルのインクの乾燥を抑制することを可能とする。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to suppress the drying of the ink of a nozzle, avoiding the failure | damage of the opening end surface of a nozzle by contact with a shutter, or wear deterioration.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1の実施の形態)
図1に示すように、本発明の第1の実施の形態に係るインクジェット塗布装置1は、架台2の上面に設けられたインク塗布ボックス3と、このインク塗布ボックス3にインクを補給するインク補給ボックス4とを備えており、また図2〜図4に示すように、インク塗布ボックス3には、液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口50を有するインクジェットヘッド42と、ノズル吐出口50近傍において、ノズル吐出口50を覆うよう進退可能に設けられるシャッタ51と、ノズル吐出口50を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間においてシャッタ51をノズル吐出口50の開口端面であるノズル面48に対して間隙を保って移動させる支持機構49、52、53とを備える。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the ink jet coating apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention includes an ink coating box 3 provided on the upper surface of the gantry 2 and ink replenishment for refilling the ink coating box 3. 2 and 4, the ink application box 3 includes an inkjet head 42 having a nozzle ejection port 50 that is an opening for ejecting droplets, and a nozzle ejection port. In the vicinity of 50, the shutter 51 is provided at the opening end surface of the nozzle discharge port 50 between a shutter 51 provided so as to be able to advance and retract so as to cover the nozzle discharge port 50, and a position where the nozzle discharge port 50 is covered and a position retracted from the covered position. Support mechanisms 49, 52, and 53 that move with a gap to a nozzle surface 48 are provided.

すなわち図1に示すように、インク塗布ボックス3においては、架台2の上面にY軸方向ガイド板20が固定されており、このY軸方向ガイド板20の上面には、Y軸方向に複数のガイド溝21が延設されている。このガイド溝21にはY軸方向移動テーブル22の下面に設けられたガイド用の突起部(図示せず)が係合され、これによりY軸方向移動テーブル22は、ガイド溝21にガイドされてY軸方向に移動自在に支持されている。このY軸方向移動テーブル22は、例えばモータを用いた駆動機構によりガイド溝21に沿ってY軸方向に移動される。   That is, as shown in FIG. 1, in the ink application box 3, a Y-axis direction guide plate 20 is fixed to the upper surface of the gantry 2, and a plurality of Y-axis direction guide plates 20 are arranged on the upper surface of the Y-axis direction guide plate 20. A guide groove 21 is extended. A guide projection (not shown) provided on the lower surface of the Y-axis direction moving table 22 is engaged with the guide groove 21, whereby the Y-axis direction moving table 22 is guided by the guide groove 21. It is supported so as to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis direction moving table 22 is moved in the Y-axis direction along the guide groove 21 by a driving mechanism using a motor, for example.

またY軸方向移動テーブル22の上面には、X軸方向に複数のガイド溝(図示せず)が延設されている。このガイド溝には、X軸方向移動テーブル23の下面に設けられたガイド用の突起部(図示せず)が係合され、これによりX軸方向移動テーブル23は、このガイド溝にガイドされてX軸方向に移動自在に支持されている。このX軸方向移動テーブル23は、例えばモータを用いた駆動機構によりガイド溝に沿ってX軸方向に移動される。   A plurality of guide grooves (not shown) extend in the X-axis direction on the upper surface of the Y-axis direction moving table 22. A guide projection (not shown) provided on the lower surface of the X-axis direction moving table 23 is engaged with the guide groove, whereby the X-axis direction moving table 23 is guided by the guide groove. It is supported so as to be movable in the X-axis direction. The X-axis direction moving table 23 is moved in the X-axis direction along the guide groove by, for example, a drive mechanism using a motor.

X軸方向移動テーブル23の上面には、基板保持テーブル26が固定されており、この基板保持テーブル26の上面には把持機構27により、インクの塗布対象である基板30を把持して固定し得るようになされている。なお基板30の固定方法は、把持機構27による把持に代えて、例えば吸着機構により吸着する方法を用いるようにしてもよい。   A substrate holding table 26 is fixed to the upper surface of the X-axis direction moving table 23, and the substrate 30 that is the object of ink application can be held and fixed to the upper surface of the substrate holding table 26 by a gripping mechanism 27. It is made like that. Note that the method for fixing the substrate 30 may be, for example, a method of sucking by the suction mechanism instead of the gripping by the gripping mechanism 27.

またインク塗布ボックス3において、架台2の上面には、Y軸方向スライド板20を挟む位置に1組のコラム33a、33bが立設されており、このコラム33a、33bの上部にはX方向ガイド板35が横架されている。   In the ink application box 3, a pair of columns 33 a and 33 b are erected on the top surface of the gantry 2 at a position sandwiching the Y-axis direction slide plate 20, and an X-direction guide is disposed above the columns 33 a and 33 b. A plate 35 is laid horizontally.

X方向ガイド板35の前面には、X方向にガイド溝36が延設されており、このガイド溝36には、複数のインクジェットヘッドユニット40を垂設するベース板41の突起部が係合されている。これによりベース板41は、このガイド溝36にガイドされてX軸方向に移動自在に支持されている。このベース板41は、例えばモータを用いた駆動機構によりガイド溝36に沿ってX軸方向に移動される。   A guide groove 36 extends in the X direction on the front surface of the X direction guide plate 35, and a protrusion of a base plate 41 that vertically mounts a plurality of inkjet head units 40 is engaged with the guide groove 36. ing. As a result, the base plate 41 is supported by the guide groove 36 so as to be movable in the X-axis direction. The base plate 41 is moved in the X-axis direction along the guide groove 36 by a driving mechanism using a motor, for example.

インク塗布ボックス3においては、インクジェット塗布装置1の動作を制御する制御部10により、これらY方向移動テーブル22のY軸方向への移動、X方向移動テーブル23のX軸方向への移動及びベース板41のX軸方向への移動をそれぞれ制御し、これにより基板保持テーブル26に保持された基板30とベース板41に垂設されたインクジェットヘッドユニット40との相対位置を種々に変化させることができる。   In the ink application box 3, the control unit 10 that controls the operation of the ink jet application apparatus 1 moves the Y-direction movement table 22 in the Y-axis direction, the X-direction movement table 23 in the X-axis direction, and the base plate. The movement of 41 in the X-axis direction is controlled, whereby the relative position between the substrate 30 held on the substrate holding table 26 and the inkjet head unit 40 suspended from the base plate 41 can be changed variously. .

またベース板41には、R(赤)、G(緑)、B(青)用の3つのインクジェットヘッドユニット40が垂設されており、このインクジェットヘッドユニット40において、その下端部に設けられたインクジェットヘッド42により下方にインクを吐出するようになされている。   In addition, three ink jet head units 40 for R (red), G (green), and B (blue) are suspended from the base plate 41, and the ink jet head unit 40 is provided at the lower end thereof. Ink is ejected downward by the ink jet head 42.

すなわち図2に示すように、インクジェットヘッドユニット40においては、ベース板41に支持され、移動部44aをZ軸方向(上下方向)に移動自在に支持するZ軸方向移動機構44と、このZ軸方向移動機構44の移動部44aに支持され、移動部45aをY軸方向に移動自在に支持するY軸方向移動機構45と、このY軸方向移動機構45の移動部45aに支持され、回転部46aをZ軸方向周りの回転方向であるθ方向に回転自在に支持するθ方向回転機構46と、このθ方向回転機構46の回転部46aに垂下されるインクジェットヘッド42とを有し、Z軸方向移動機構44によりインクジェットヘッド42の位置を基板30に対してZ軸方向に調整し得ると共に、Y軸方向移動機構45によりインクジェットヘッド42の位置を基板30に対してY軸方向に調整し得ると共に、θ方向回転機構46によりインクジェットヘッド42の向きを基板30に対してθ方向に回転し得るようになされている。   That is, as shown in FIG. 2, in the inkjet head unit 40, a Z-axis direction moving mechanism 44 that is supported by the base plate 41 and supports the moving unit 44 a movably in the Z-axis direction (vertical direction), and the Z-axis A Y-axis direction moving mechanism 45 supported by the moving unit 44a of the direction moving mechanism 44 and movably supporting the moving unit 45a in the Y-axis direction, and a rotating unit supported by the moving unit 45a of the Y-axis direction moving mechanism 45. A θ-direction rotation mechanism 46 that rotatably supports 46a in the θ-direction, which is a rotation direction around the Z-axis direction, and an inkjet head 42 that is suspended by the rotation portion 46a of the θ-direction rotation mechanism 46, and has a Z-axis The direction moving mechanism 44 can adjust the position of the inkjet head 42 in the Z-axis direction with respect to the substrate 30, and the Y-axis direction moving mechanism 45 can adjust the position of the inkjet head 42. Together may be adjusted in the Y-axis direction with respect to the substrate 30, the orientation of the ink jet head 42 are adapted to be rotated in the direction θ relative to the substrate 30 by θ rotating mechanism 46.

このようにインクジェットヘッドユニット40においては、基板保持テーブル26に保持された基板30に対するインクジェットヘッド42の位置を種々に調整し得るようになされている。   As described above, in the inkjet head unit 40, the position of the inkjet head 42 relative to the substrate 30 held on the substrate holding table 26 can be variously adjusted.

なおインク塗布ボックス3には、各色に対応した3つのインクジェットヘッドユニット40が設けられているが、これらのインクジェットヘッドユニット40はそれぞれ同一の構成を有する。   The ink application box 3 is provided with three inkjet head units 40 corresponding to the respective colors. These inkjet head units 40 have the same configuration.

図3に示すように、このインクジェットヘッドユニット40の下端部に設けられたインクジェットヘッド42において、その下方に向けられたノズル面48には複数のノズルがそれぞれノズル吐出口50を下方に向けるようにして直列に穿設されている。これによりノズル面48は、ノズルの開口端面を構成している。またそれぞれのノズル吐出口50は互いに一定の間隔を隔てて配置されている。なお図3は、後述するシャッタ51の開閉機構を省略して示している。   As shown in FIG. 3, in the inkjet head 42 provided at the lower end of the inkjet head unit 40, a plurality of nozzles have nozzle discharge ports 50 directed downward on the nozzle surface 48 directed downward. Are drilled in series. As a result, the nozzle surface 48 constitutes the open end surface of the nozzle. Further, the nozzle discharge ports 50 are arranged at a predetermined interval from each other. In FIG. 3, an opening / closing mechanism of the shutter 51 described later is omitted.

インクジェットヘッド42の内部には、各ノズルに連通してなるインクタンクが設けられており、このインクタンクの上面にはダイアフラムが設けられている。制御部10からの吐出制御信号によってこのダイアフラムを駆動させることにより、インクタンク内の圧力を変化させて該インクタンク内のインクをノズルより吐出させるようになされている。インクジェットヘッドユニット40では、このようにしてノズル吐出口から下方にインクを吐出させることにより、インクジェットヘッド42の下方において基板保持テーブル26に保持された基板30の上面にインクを塗布する。   An ink tank communicating with each nozzle is provided inside the inkjet head 42, and a diaphragm is provided on the upper surface of the ink tank. The diaphragm is driven by an ejection control signal from the control unit 10 to change the pressure in the ink tank and eject ink in the ink tank from the nozzle. In the inkjet head unit 40, the ink is applied to the upper surface of the substrate 30 held by the substrate holding table 26 below the inkjet head 42 by ejecting ink downward from the nozzle ejection port in this way.

制御部10は、Y方向移動テーブル22を移動させるためのモータ、X方向移動テーブル23を移動させるためのモータ、ベース板41を移動させるためのモータをそれぞれ塗布位置を表すデータに基づいて駆動制御することにより、Y方向移動テーブル22のY軸方向へ移動、X方向移動テーブル23のX軸方向への移動及びベース板41のX軸方向への移動を制御する。これにより制御部10は、基板保持テーブル26に保持された基板30とインクジェットヘッド42との相対位置を変化させながら、インクジェットヘッド42のノズル吐出口50からインクを吐出させることにより、基板30の所定位置に順次インクを塗布することができる。   The control unit 10 controls driving of a motor for moving the Y-direction movement table 22, a motor for moving the X-direction movement table 23, and a motor for moving the base plate 41 based on data representing the application position. Thus, the movement of the Y-direction moving table 22 in the Y-axis direction, the movement of the X-direction moving table 23 in the X-axis direction, and the movement of the base plate 41 in the X-axis direction are controlled. As a result, the control unit 10 discharges ink from the nozzle discharge ports 50 of the inkjet head 42 while changing the relative position between the substrate 30 held on the substrate holding table 26 and the inkjet head 42, whereby a predetermined amount of the substrate 30 is determined. Ink can be applied sequentially to the positions.

インクジェットヘッド42においては、そのノズル面48を覆う位置(以下、これを閉じた位置と呼ぶ)とこの位置から横方向に退避した位置(以下、これを開いた位置と呼ぶ)との間で移動自在にガラス板でなるシャッタ51が支持されている。   In the ink jet head 42, it moves between a position covering the nozzle surface 48 (hereinafter referred to as a closed position) and a position retracted laterally from this position (hereinafter referred to as an open position). A shutter 51 made of a glass plate is supported freely.

すなわち図4に示すように、インクジェットヘッド42のノズル面48の周囲には、該ノズル面48よりも下方に所定の高さだけ突出した樹脂材料でなる枠形状のフレームカバー49が固定されており、またノズル面48の両側端部には、ノズル吐出口50の開口端面をなすノズル面48に対して、略平行な方向にガイド部材52、53が延設されている。   That is, as shown in FIG. 4, a frame-shaped frame cover 49 made of a resin material protruding by a predetermined height below the nozzle surface 48 is fixed around the nozzle surface 48 of the inkjet head 42. In addition, guide members 52 and 53 are provided at both end portions of the nozzle surface 48 in a direction substantially parallel to the nozzle surface 48 that forms the opening end surface of the nozzle discharge port 50.

シャッタ51において、その一方の側縁部には、該シャッタ51の移動方向に延びる切り欠き部51aが形成され、この切り欠き部51aには、ガイド部材53が摺動自在に係合されている。この係合状態において、シャッタ51は、ガイド部材53及びフレームカバー49によって挟持される。またシャッタ51の他方の側縁部は、ガイド部材52及びフレームカバー49によって挟持されている。これらにより、ガイド部材52、53及びフレームカバー49によってシャッタ51の支持機構が構成され、シャッタ51は、ガイド部材52、53に沿って、閉じた位置と開いた位置との間で移動するようになされている。図5(A)及び図6(A)は、シャッタ51が閉じた位置にある状態を示し、また図5(B)及び図6(B)は、シャッタ51が開いた位置にある状態を示す。   In the shutter 51, a notch 51a extending in the moving direction of the shutter 51 is formed on one side edge portion of the shutter 51, and a guide member 53 is slidably engaged with the notch 51a. . In this engaged state, the shutter 51 is sandwiched between the guide member 53 and the frame cover 49. The other side edge of the shutter 51 is sandwiched between the guide member 52 and the frame cover 49. Thus, the guide members 52 and 53 and the frame cover 49 constitute a support mechanism for the shutter 51, and the shutter 51 moves along the guide members 52 and 53 between a closed position and an open position. Has been made. 5A and 6A show a state in which the shutter 51 is in a closed position, and FIGS. 5B and 6B show a state in which the shutter 51 is in an open position. .

インクジェットヘッド42の側面にはモータ55が固定されており、このモータ55の回転軸にはピニオンギア57が嵌合されている。一方、シャッタ51の上面部には、該シャッタ51の移動方向にラック58が延設されており、このラック58にモータ55側のピニオンギア57が歯合されている。これにより、インクジェット塗布装置1を制御する制御部10から出力される制御信号によりモータ55を回転駆動させることにより、このモータ55を駆動源としてシャッタ51をガイド部材52、53に沿って移動させることができる。   A motor 55 is fixed to the side surface of the inkjet head 42, and a pinion gear 57 is fitted on the rotation shaft of the motor 55. On the other hand, a rack 58 is extended on the upper surface of the shutter 51 in the moving direction of the shutter 51, and a pinion gear 57 on the motor 55 side is engaged with the rack 58. Thus, the motor 55 is driven to rotate by a control signal output from the control unit 10 that controls the ink jet coating apparatus 1, thereby moving the shutter 51 along the guide members 52 and 53 using the motor 55 as a drive source. Can do.

このようにノズル吐出口50の開口端面を構成するノズル面48に対して略平行な方向にシャッタ51を開閉動作させることにより、このシャッタ51の開閉時にノズルの内部のインクに加わる気圧の変動を抑制することができ、これによりインク内への気泡の混入を防止して、インクの吐出不良が発生することを防止することができる。   In this way, by opening and closing the shutter 51 in a direction substantially parallel to the nozzle surface 48 constituting the opening end surface of the nozzle discharge port 50, the fluctuation of the atmospheric pressure applied to the ink inside the nozzle when the shutter 51 is opened and closed. Accordingly, it is possible to prevent bubbles from being mixed into the ink, thereby preventing ink ejection failure.

ここでシャッタ51とノズル面48との間に介在するフレームカバー49の高さは、インクジェットヘッド42の各部品及びノズル面48の加工、組み立て精度に基づいて、シャッタ51の上面とノズル面48とが接触しない最低限の大きさ以上となるように構成されている。従って、シャッタ51が閉じた状態においては、シャッタ51の上面の周辺部がフレームカバー49に当接することにより、シャッタ51とノズル面48とが接触しないようになされている。またシャッタ51が閉じた位置と開いた位置との間で開閉動作する間においても、シャッタ51とノズル面48との間にフレームカバー49が介在することにより、シャッタ51とノズル面48とが接触しないようになされている。   Here, the height of the frame cover 49 interposed between the shutter 51 and the nozzle surface 48 is determined based on the components of the inkjet head 42 and the processing and assembly accuracy of the nozzle surface 48, and the upper surface of the shutter 51 and the nozzle surface 48. It is comprised so that it may become more than the minimum magnitude | size which does not contact. Therefore, when the shutter 51 is closed, the peripheral portion of the upper surface of the shutter 51 contacts the frame cover 49 so that the shutter 51 and the nozzle surface 48 do not come into contact with each other. Further, even when the shutter 51 is opened and closed between the closed position and the opened position, the shutter 51 and the nozzle surface 48 come into contact with each other because the frame cover 49 is interposed between the shutter 51 and the nozzle surface 48. It is made not to do.

このようにインクジェットヘッド42においては、シャッタ51とノズル面48との接触を回避するように構成されていることにより、ノズル面48が破損又は磨耗劣化することを防止することができる。   As described above, the ink jet head 42 is configured to avoid contact between the shutter 51 and the nozzle surface 48, thereby preventing the nozzle surface 48 from being damaged or worn out.

またシャッタ51が閉じた状態においては、フレームカバー49によってシャッタ51の上面とノズル面48との間にフレームカバー49の高さによって決まる微小な間隙が形成される。この間隙の大きさは、ノズル吐出口50の溶媒雰囲気を維持し得る最大限の大きさ以下となるように構成されている。   When the shutter 51 is closed, the frame cover 49 forms a minute gap determined by the height of the frame cover 49 between the upper surface of the shutter 51 and the nozzle surface 48. The size of the gap is configured to be not more than the maximum size that can maintain the solvent atmosphere of the nozzle discharge port 50.

このようにインクジェットヘッド42においては、シャッタ51が閉じた状態において、シャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙空間によりノズル面48が接する環境をノズル内のインクによる溶媒雰囲気に保つことにより、ノズル吐出口50のインクが容易に乾燥することを防止することができる。   As described above, in the ink jet head 42, the environment in which the nozzle surface 48 is in contact with the gap space formed between the shutter 51 and the nozzle surface 48 is maintained in the solvent atmosphere by the ink in the nozzle when the shutter 51 is closed. Accordingly, it is possible to prevent the ink at the nozzle discharge port 50 from being easily dried.

因みにこの実施の形態の場合、ノズル穴の直径をφ20μm〜φ80μm、ノズル面48における隣接するノズル間の間隙を1mm、ノズル穴の数を60個として、前述のシャッタ51とノズル面48との接触を回避する目的で設定される間隙の下限値を0.1mmとし、溶媒雰囲気を維持する目的で設定される間隙の上限値を数mmとする。   Incidentally, in the case of this embodiment, the diameter of the nozzle hole is φ20 μm to φ80 μm, the gap between adjacent nozzles on the nozzle surface 48 is 1 mm, and the number of nozzle holes is 60. Is set to 0.1 mm, and the upper limit of the gap set for the purpose of maintaining the solvent atmosphere is set to several mm.

シャッタ51がガイド部材52、53に沿って開いた位置まで移動した状態においては、ノズル面48の各ノズル吐出口50が下方に露出した状態となり、この状態でノズル吐出口50からインクを吐出させることにより、ノズルの下方に保持される基板30に対して、インクを塗布することができる。   When the shutter 51 is moved to the open position along the guide members 52 and 53, each nozzle discharge port 50 of the nozzle surface 48 is exposed downward, and ink is discharged from the nozzle discharge port 50 in this state. As a result, ink can be applied to the substrate 30 held below the nozzles.

ここでノズル吐出口50からインクを吐出させた場合、ノズル吐出口50の周辺のノズル面48にインクが残存する場合がある。この残存インクは、シャッタ51が閉じられた際にシャッタ51の上面に付着し、シャッタ51が開いた際に外気に直接触れることになる。このように外気直接触れた残存インクは、乾燥が進むことになる。そして再度シャッタ51が閉じられた際には、この残存インクがノズル吐出口50を覆うように付着してノズルが目詰まりを起こす可能性がある。そこでこのインクジェット塗布装置1においては、図7に示すように、インクジェットヘッド42の側面部に、シャッタ51の上面に付着した残存インク等の異物を除去するための除去機構としてクリーニング部60を設けている。このクリーニング部60においては、シャッタ51の移動経路の上部に吸収性のある紙又は布等のクリーニング部材61を配置し、シャッタ51が開いた際にシャッタ51の上面がこのクリーニング部材61に接触するようになされている。これによりシャッタ51が開く毎に該シャッタ51の上面がクリーニング部材61により拭き取られ、残存インク等の異物が除去される。   Here, when ink is ejected from the nozzle ejection port 50, the ink may remain on the nozzle surface 48 around the nozzle ejection port 50. The remaining ink adheres to the upper surface of the shutter 51 when the shutter 51 is closed, and directly touches the outside air when the shutter 51 is opened. In this way, the remaining ink that has been in direct contact with the outside air is dried. When the shutter 51 is closed again, there is a possibility that the remaining ink adheres so as to cover the nozzle discharge port 50 and the nozzle is clogged. Therefore, in the inkjet coating apparatus 1, as shown in FIG. 7, a cleaning unit 60 is provided on the side surface of the inkjet head 42 as a removing mechanism for removing foreign matters such as residual ink adhering to the upper surface of the shutter 51. Yes. In the cleaning unit 60, an absorbent paper or cloth cleaning member 61 is disposed on the upper part of the movement path of the shutter 51, and the upper surface of the shutter 51 comes into contact with the cleaning member 61 when the shutter 51 is opened. It is made like that. Thus, every time the shutter 51 is opened, the upper surface of the shutter 51 is wiped off by the cleaning member 61, and foreign matters such as residual ink are removed.

このようなクリーニング部60による異物の除去は、シャッタ51が開閉動作されるごとに実行されることになる。   Such removal of foreign matter by the cleaning unit 60 is performed every time the shutter 51 is opened and closed.

ここでインクジェット塗布装置1を制御する制御部10においては、インクジェットヘッド42からインクを吐出させるタイミングでシャッタ51を開き、この状態で基板30とインクジェットヘッド42との相対位置を変化させながらインクの吐出を繰り返す。そして基板30に対して例えば一列分のインクの塗布が終了すると、制御部は、シャッタ51を閉じると共に、基板30とインクジェットヘッド42との相対位置を次の列の先頭位置まで変化させて再びシャッタ51を開いてインクの吐出を開始する。このように基板30に対してインクを塗布する場合において、一連の塗布工程中においてもインクの吐出を比較的短時間だけ休止する塗布休止工程があり、このような塗布休止工程においてシャッタ51を閉じることでノズルが容易に乾燥することを防止すると共に、再度吐出を開始する際にシャッタ51を開くことでクリーニング部60によりシャッタ上面の残存インク等の異物を除去することができる。   Here, in the control unit 10 that controls the ink jet coating apparatus 1, the shutter 51 is opened at the timing when ink is ejected from the ink jet head 42, and ink is ejected while changing the relative position between the substrate 30 and the ink jet head 42 in this state. repeat. When, for example, the application of one row of ink to the substrate 30 is completed, the control unit closes the shutter 51 and changes the relative position between the substrate 30 and the ink jet head 42 to the top position of the next row and then the shutter again. 51 is opened and ink discharge is started. When ink is applied to the substrate 30 as described above, there is an application pause process in which the ejection of ink is paused for a relatively short time even during a series of application processes, and the shutter 51 is closed in such an application pause process. As a result, the nozzle can be prevented from being easily dried, and foreign matter such as residual ink on the upper surface of the shutter can be removed by the cleaning unit 60 by opening the shutter 51 when discharging is started again.

このようにインクジェットヘッド42においては、インクの吐出休止期間にシャッタ51を閉じることにより、ノズル吐出口50のインクの容易な乾燥を防止してノズルの目詰まりを防止し得るようになされていると共に、クリーニング部60によってシャッタ51の上面の残存インク等の異物を除去してノズルの目詰まりを防止し得るようになされている。   As described above, in the ink jet head 42, the shutter 51 is closed during the ink discharge suspension period, so that the ink at the nozzle discharge port 50 can be prevented from being easily dried to prevent clogging of the nozzle. The cleaning unit 60 can remove foreign matters such as residual ink on the upper surface of the shutter 51 to prevent nozzle clogging.

またこのインクジェット塗布装置1においては、図8〜図10に示すように、例えば基板30の交換時のようにインクの吐出を比較的長時間休止する場合において、シャッタ51が閉じられたインクジェットヘッド42を溶媒に接触させることにより、ノズル面48を外気から遮蔽してノズルのインクの乾燥を防止するようになされている。すなわち、インクジェット塗布装置1のインク塗布ボックス3においては、架台2の上部に溶媒槽70が設けられている。この溶媒槽70は、架台2の上部において前後方向に移動自在に支持された移動テーブル71に保持されており、移動テーブル71の移動によってインクジェットヘッド42の下方まで前進した位置とこの位置から後退した位置との間で移動し得るようになされている。この移動テーブル71は、制御部10により、モータを駆動源として移動制御される。またインクジェットヘッド42は、図1について上述したインクジェットヘッドユニット40をX軸方向に移動させる機構(X方向ガイド板35、ガイド溝36、ベース板41)によりX軸方向に移動制御されると共に、図2について上述したZ軸方向移動機構44によりZ軸方向に移動制御されるようになされている。これら溶媒槽70の移動機構及びインクジェットヘッドユニット40の移動機構により、インクジェットヘッド42と溶媒槽70とを相対的に移動させることができる。   Further, in the inkjet coating apparatus 1, as shown in FIGS. 8 to 10, for example, when the ejection of ink is stopped for a relatively long time, for example, when the substrate 30 is replaced, the inkjet head 42 in which the shutter 51 is closed. Is brought into contact with a solvent to shield the nozzle surface 48 from the outside air and prevent the ink of the nozzle from drying. That is, in the ink application box 3 of the inkjet coating apparatus 1, the solvent tank 70 is provided on the top of the gantry 2. The solvent tank 70 is held by a moving table 71 supported at the upper part of the gantry 2 so as to be movable in the front-rear direction. The solvent tank 70 is moved forward from the position below the inkjet head 42 by the movement of the moving table 71 and retracted from this position. It is designed to be able to move between positions. The movement table 71 is movement-controlled by the control unit 10 using a motor as a drive source. The inkjet head 42 is controlled to move in the X-axis direction by a mechanism (X-direction guide plate 35, guide groove 36, base plate 41) that moves the inkjet head unit 40 described above with reference to FIG. 1 in the X-axis direction. 2 is controlled to move in the Z-axis direction by the Z-axis direction moving mechanism 44 described above. The ink jet head 42 and the solvent tank 70 can be moved relatively by the moving mechanism of the solvent tank 70 and the moving mechanism of the ink jet head unit 40.

溶媒槽70をインクジェットヘッド42の下方から後退した位置まで移動させた状態においては、インクジェットヘッド42の下方に基板30が配置された状態となり、インクジェットヘッド42によって基板30に対してインクを吐出させることができる。また溶媒槽70をインクジェットヘッド42の下方に前進させた状態においては、インクジェットヘッドユニット40をX軸方向への移動機構により溶媒槽70の上部に移動させた後、Z軸方向移動機構44によりインクジェットヘッド42をZ軸方向に移動させることにより、インクジェットヘッド42を溶媒槽70の内部に移動させることができる。   In the state where the solvent tank 70 is moved from the lower side of the inkjet head 42 to the position retracted, the substrate 30 is disposed below the inkjet head 42, and ink is ejected onto the substrate 30 by the inkjet head 42. Can do. In a state where the solvent tank 70 is advanced below the ink-jet head 42, the ink-jet head unit 40 is moved to the upper part of the solvent tank 70 by the moving mechanism in the X-axis direction, and then the ink-jet is moved by the Z-axis moving mechanism 44. By moving the head 42 in the Z-axis direction, the inkjet head 42 can be moved into the solvent tank 70.

溶媒槽70には、インク溶媒が貯留されており、この溶媒槽70にシャッタ51を閉じた状態でインクジェットヘッド42の下端部を浸漬させることにより、ノズル面48を外気から遮蔽して溶媒雰囲気を保つことができる。   Ink solvent is stored in the solvent tank 70. By immersing the lower end portion of the inkjet head 42 with the shutter 51 closed in the solvent tank 70, the nozzle surface 48 is shielded from the outside air and the solvent atmosphere is kept. Can keep.

すなわち図8に示すように、インクの塗布時においては、制御部10の制御により溶媒槽70をインクジェットヘッド42の下方から後退した位置まで移動させる。制御部10は、この状態において、インクジェットヘッド42のシャッタ51を開いてインクジェットヘッド42からインクを吐出させる。そしてインクの塗布工程が終了すると、図9に示すように、シャッタ51を閉じた状態にすると共に溶媒槽70をインクジェットヘッド42の下方まで前進させ、さらに図10に示すように、インクジェットヘッド42を上下駆動機構により降下させることにより、インクジェットヘッド42の先端部を溶媒槽70に浸漬させる。この場合、シャッタ51は閉じた状態となっており、この状態においてノズル面48とシャッタ51との間に形成された間隙空間は外気から確実に遮蔽されることになる。   That is, as shown in FIG. 8, at the time of ink application, the solvent tank 70 is moved from the lower side of the inkjet head 42 to a position retracted by the control of the control unit 10. In this state, the control unit 10 opens the shutter 51 of the inkjet head 42 and causes the inkjet head 42 to eject ink. When the ink application process is completed, as shown in FIG. 9, the shutter 51 is closed and the solvent tank 70 is advanced below the ink jet head 42. Further, as shown in FIG. The tip of the inkjet head 42 is immersed in the solvent tank 70 by being lowered by the vertical drive mechanism. In this case, the shutter 51 is in a closed state, and in this state, the gap space formed between the nozzle surface 48 and the shutter 51 is reliably shielded from the outside air.

またインクの塗布工程を開始する場合、制御部10は、溶媒槽70に浸漬されたインクジェットヘッド42を上昇させることによりインクジェットヘッド42の先端部を溶媒槽70から引き上げ、この状態において溶媒槽70を後退させると共にシャッタ51を開き、インクを吐出させる。   When starting the ink application process, the control unit 10 raises the inkjet head 42 immersed in the solvent tank 70 to pull up the tip of the inkjet head 42 from the solvent tank 70. At the same time, the shutter 51 is opened and ink is ejected.

このように、基板30の交換時のようにインクの吐出が比較的長時間にわたって休止される場合には、インクジェットヘッド42の先端部を溶媒槽70に浸漬することにより、ノズル面48を溶媒雰囲気中に保つことができ、ノズル吐出口50に残存したインクが乾燥することを防止することができる。   As described above, when the ejection of the ink is stopped for a relatively long time as in the replacement of the substrate 30, the nozzle surface 48 is made to be in a solvent atmosphere by immersing the tip of the inkjet head 42 in the solvent tank 70. The ink remaining in the nozzle discharge port 50 can be prevented from drying.

次に、以上説明した構成のインクジェット塗布装置1の動作について説明する。例えば液晶又はEL等の表示装置に用いられる基板30の各ドットに対してインクを塗布する場合、インクジェット塗布装置1の動作を制御する制御部10は、塗布位置を表すデータに基づいて、Y方向移動テーブル22、X方向移動テーブル23及びインクジェットヘッドユニット40を移動させることにより、インクジェットヘッド42が基板保持テーブル26に保持された基板30のインク塗布位置に対して上方から対向するように位置決めする。   Next, the operation of the inkjet coating apparatus 1 having the above-described configuration will be described. For example, when applying ink to each dot of the substrate 30 used in a display device such as a liquid crystal or an EL, the control unit 10 that controls the operation of the inkjet coating apparatus 1 uses the Y direction based on data representing the coating position. By moving the moving table 22, the X-direction moving table 23, and the inkjet head unit 40, the inkjet head 42 is positioned so as to face the ink application position of the substrate 30 held on the substrate holding table 26 from above.

この状態において、制御部10は、図5(A)及び図6(A)に示したように、シャッタ51を開いてノズル吐出口50を露出させた後、インクジェットヘッド42と基板30との相対位置を移動させながらノズル吐出口50が基板30のドットに対向する位置に一致したタイミングでノズル吐出口50からインクを吐出させることにより、基板30の各ドットに順次インクを塗布する。   In this state, as shown in FIGS. 5A and 6A, the control unit 10 opens the shutter 51 to expose the nozzle discharge port 50, and then the relative relationship between the inkjet head 42 and the substrate 30 is reached. Ink is sequentially applied to each dot on the substrate 30 by ejecting ink from the nozzle ejection port 50 at a timing when the nozzle ejection port 50 coincides with a position facing the dot on the substrate 30 while moving the position.

そして例えば基板30の1列分のドットに対する吐出処理のように一連の吐出動作が終了すると、制御部10は、インクジェットヘッド42が基板30の次のドット列の塗布開始位置に対向するように位置決めする。このようにインクの塗布工程においては、一連のインクの吐出動作の間に吐出動作を比較的短時間の間だけ休止する休止期間があり、この間において制御部10は、図5(B)及び図6(B)に示したように、シャッタ51を閉じることによりノズル内のインクが容易に乾燥することを防止する。このシャッタ51の開閉動作時及びシャッタ51が閉じられた状態においては、シャッタ51とノズル面48との間にフレームカバー49が介在することにより、該シャッタ51とノズル面48との間に所定の間隙が保たれ、これによりノズル面48の破損又は磨耗劣化が回避される。   For example, when a series of ejection operations are completed as in the ejection process for one row of dots on the substrate 30, the control unit 10 positions the inkjet head 42 so as to face the application start position of the next dot row on the substrate 30. To do. As described above, in the ink application process, there is a pause period in which the ejection operation is paused for a relatively short time between a series of ink ejection operations. During this period, the control unit 10 performs the process illustrated in FIGS. As shown in FIG. 6B, the ink in the nozzles is prevented from easily drying by closing the shutter 51. When the shutter 51 is opened and closed and when the shutter 51 is closed, a frame cover 49 is interposed between the shutter 51 and the nozzle surface 48, so that a predetermined amount is provided between the shutter 51 and the nozzle surface 48. The gap is maintained, thereby avoiding breakage or wear deterioration of the nozzle face 48.

このようにシャッタ51とノズル面48との接触が回避されるようにシャッタ51が閉じられることにより、シャッタ51とノズル面48との間に間隙が形成されるが、この間隙の大きさは、溶媒雰囲気を保ち得る最大限の大きさ以下となるように構成されていることにより、この間隙空間内はノズル内のインクにより溶媒雰囲気に保たれ、ノズル面48及びこのノズル面48に設けられたノズル吐出口50は、直ちには外気に接しない状態となる。これによりノズル吐出口50のインクの乾燥が抑制される。   Thus, by closing the shutter 51 so that the contact between the shutter 51 and the nozzle surface 48 is avoided, a gap is formed between the shutter 51 and the nozzle surface 48. The size of this gap is By being configured to be less than the maximum size that can maintain the solvent atmosphere, the gap space is maintained in the solvent atmosphere by the ink in the nozzle, and is provided on the nozzle surface 48 and the nozzle surface 48. The nozzle outlet 50 is not immediately in contact with the outside air. Thereby, drying of the ink of the nozzle outlet 50 is suppressed.

またシャッタ51が閉じられた際にシャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙空間は、その周囲がフレームカバー49により半密閉状態で覆われることにより、一段と長時間に亘って溶媒雰囲気が維持されることになる。   Further, the gap space formed between the shutter 51 and the nozzle surface 48 when the shutter 51 is closed is covered with a frame cover 49 in a semi-sealed state, so that the solvent atmosphere is further extended for a long time. Will be maintained.

なおシャッタ51が閉じられた際には、シャッタ51とフレームカバー49との間は完全には密閉されないものの、この実施の形態の場合、シャッタ51がガラス板により構成されていると共にフレームカバー49が樹脂により構成されていることにより、その密着性が一段と高められるようになされており、その分一段とインクの乾燥が抑制される。   When the shutter 51 is closed, the space between the shutter 51 and the frame cover 49 is not completely sealed. In this embodiment, the shutter 51 is made of a glass plate and the frame cover 49 is By being made of resin, the adhesion is further improved, and the ink drying is further suppressed accordingly.

またインクの吐出後には、ノズル吐出口50にインクが残ることがあるが、このインクジェットヘッド42においては、シャッタ51がノズル面48に接しない構成となっていることにより、残存インクがシャッタ51に容易に付着することが防止される。これによりシャッタ51に付着した残存インク等の異物がノズル吐出口50を塞ぐように付着することによるノズル吐出口50の目詰まりが防止される。   Further, after ink is ejected, ink may remain in the nozzle ejection port 50, but in this inkjet head 42, since the shutter 51 is not in contact with the nozzle surface 48, the remaining ink remains in the shutter 51. Easy adhesion is prevented. As a result, clogging of the nozzle discharge port 50 due to foreign matters such as residual ink adhering to the shutter 51 adhering to the nozzle discharge port 50 is prevented.

因みにシャッタ51に残存インク等の異物が付着した場合には、シャッタ51が開いた際に図7に示したクリーニング部60によりこの異物が除去されることにより、シャッタ51に付着した残存インク等の異物がノズル吐出口50を塞ぐように付着することを一段と有効に防止することができる。   Incidentally, when foreign matter such as residual ink adheres to the shutter 51, when the shutter 51 is opened, the foreign matter is removed by the cleaning unit 60 shown in FIG. It is possible to more effectively prevent foreign matters from adhering so as to block the nozzle discharge port 50.

また例えば塗布対象である基板30の交換時のようにインクの吐出を比較的長時間休止する場合においては、図8〜図10に示したように、インクジェットヘッド42の先端部が溶媒槽70の溶媒に浸漬されることにより、インクジェットヘッド42のノズル吐出口50は溶媒雰囲気中に保たれることとなり、その乾燥が防止される。   For example, when the ejection of ink is suspended for a relatively long time, such as when the substrate 30 to be coated is replaced, the tip of the inkjet head 42 is located in the solvent tank 70 as shown in FIGS. By being immersed in the solvent, the nozzle discharge port 50 of the inkjet head 42 is maintained in a solvent atmosphere, and drying thereof is prevented.

またインクの吐出が行われない場合にシャッタ51によりノズル面48が覆われることにより、この間において例えばインクジェットヘッド42の移動に伴って発生する振動によりノズル吐出口50からインクが滴下した場合、又は電気ノイズによってノズルが誤動作してインクが誤吐出された場合等においても、閉じられたシャッタ51によってインクが不用意に基板30に落下することが防止され、これによりインクの塗布工程における基板30の不良の発生率が低減することになる。   Further, when the ink is not ejected, the nozzle surface 48 is covered with the shutter 51, so that, for example, when ink is dripped from the nozzle ejection port 50 due to vibration generated along with the movement of the inkjet head 42 during this period, Even when the nozzle malfunctions due to noise and ink is accidentally ejected, the closed shutter 51 prevents the ink from inadvertently dropping onto the substrate 30, thereby causing a defect in the substrate 30 in the ink application process. This will reduce the occurrence rate.

以上説明したインクジェット塗布装置1によれば、ノズル吐出口50の開口端面を構成するノズル面48を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間において移動自在にシャッタ51を支持すると共に、このシャッタ51がノズル面48に接触しないようにしたことにより、シャッタ51によるノズル面48の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズル吐出口50のインクの乾燥を抑制することができる。またシャッタ51を閉じることにより、不用意なインクの滴下を防止することができる。またシャッタ51が閉じられた際にシャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙の大きさを、溶媒雰囲気を保ち得る最大限の大きさ以下となるように構成したことにより、シャッタ51によるノズル面48の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルのインクの乾燥を十分に抑制することができる。   According to the ink jet coating apparatus 1 described above, the shutter 51 is supported movably between a position covering the nozzle surface 48 constituting the opening end surface of the nozzle discharge port 50 and a position retracted from the covering position. By preventing the shutter 51 from coming into contact with the nozzle surface 48, drying of the ink at the nozzle discharge port 50 can be suppressed while avoiding damage to the nozzle surface 48 or deterioration of wear due to the shutter 51. In addition, by closing the shutter 51, inadvertent dripping of ink can be prevented. In addition, when the shutter 51 is closed, the size of the gap formed between the shutter 51 and the nozzle surface 48 is set to be equal to or smaller than the maximum size that can maintain the solvent atmosphere. It is possible to sufficiently suppress the drying of the ink of the nozzles while avoiding damage to the nozzle surface 48 or deterioration due to wear.

また異物の除去手段としてクリーニング部60を設け、このクリーニング部60によりシャッタ51に付着した残存インク等の異物を除去するようにしたことにより、この異物がシャッタ51の開閉動作によりノズル吐出口50を覆うように付着して吐出不良が発生することを防止することができる。   In addition, a cleaning unit 60 is provided as a foreign matter removing means, and foreign matter such as residual ink attached to the shutter 51 is removed by the cleaning unit 60, so that the foreign matter can cause the nozzle discharge port 50 to open and close by the opening / closing operation of the shutter 51. It is possible to prevent a discharge failure from occurring due to the covering.

またインクの吐出を比較的長時間に亘って休止する場合、インクジェットヘッド42の先端部を溶媒槽70の溶媒に浸漬させてノズル吐出口50を溶媒雰囲気中に保つことにより、ノズル吐出口50のインクの乾燥を防止することができる。   Further, when the ink discharge is stopped for a relatively long time, the nozzle discharge port 50 is kept in the solvent atmosphere by immersing the tip of the inkjet head 42 in the solvent in the solvent tank 70. Ink drying can be prevented.

これらにより本実施の形態のインクジェット塗布装置1によれば、ノズルの目詰まりを防止してノズルからのインクの吐出状態を常に良好に保つことができる。   As a result, according to the ink jet coating apparatus 1 of the present embodiment, it is possible to prevent nozzle clogging and to keep the ink ejection state from the nozzles always good.

なお上述の第1の実施の形態においては、インク塗布の休止中にインクジェットヘッド42の先端部をシャッタ51を閉じた状態で溶媒槽70の溶媒に浸漬する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、シャッタ51が閉じられたインクジェットヘッド42の先端部に対して溶媒を噴射するようにしてもよい。この場合、溶媒の噴射機構として、インクジェットヘッド42の近傍に溶媒を噴射するためのノズルを設け、インクの塗布を休止する場合には、このノズルからシャッタ51が閉じられたインクジェットヘッド42の先端部に対して溶媒を噴射するようにすればよい。このようにしても、閉じられたシャッタ51とノズル面48との間に形成された間隙空間を外気から遮蔽することができる。   In the first embodiment described above, the case where the tip of the inkjet head 42 is immersed in the solvent in the solvent tank 70 with the shutter 51 closed while the ink application is suspended has been described. However, the present invention is not limited to this, and the solvent may be ejected to the tip of the inkjet head 42 with the shutter 51 closed. In this case, as a solvent ejection mechanism, a nozzle for ejecting the solvent is provided in the vicinity of the inkjet head 42, and when the ink application is stopped, the tip of the inkjet head 42 from which the shutter 51 is closed. The solvent may be sprayed on the surface. Even in this case, the gap space formed between the closed shutter 51 and the nozzle surface 48 can be shielded from the outside air.

また上述の第1の実施の形態においては、インク塗布の休止中にインクジェットヘッド42の先端部を溶媒槽70の溶媒に浸漬させる場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、シャッタ51を閉じる前若しくは閉じた後又は閉じながらノズル吐出口50を加圧パージしてノズル吐出口50からインクを染み出させるようにしてもよい。このようにすれば、シャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙空間を溶媒雰囲気に保つことができ、ノズル吐出口50の乾燥を防止することができ、ノズルの目詰まりによるインクの吐出不良の発生を防止することができる。   In the first embodiment described above, the case where the tip of the ink jet head 42 is immersed in the solvent in the solvent tank 70 while the ink application is stopped has been described. However, the present invention is not limited to this. The nozzle discharge port 50 may be pressurized and purged before the shutter 51 is closed, after the shutter 51 is closed, or while the shutter 51 is closed, so that ink is oozed out from the nozzle discharge port 50. In this way, the gap space formed between the shutter 51 and the nozzle surface 48 can be maintained in a solvent atmosphere, the drying of the nozzle discharge port 50 can be prevented, and ink caused by nozzle clogging can be prevented. Occurrence of ejection failure can be prevented.

また上述の第1の実施の形態においては、ノズル穴の直径、ノズル面48における隣接するノズル間の間隙、ノズル穴の数に応じて、前述のシャッタ51とノズル面48との接触を回避する目的で設定される間隙の下限値を0.1mmとし、溶媒雰囲気を維持する目的で設定される間隙の上限値を数mmとする場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、間隙の大きさは、ノズル穴の直径、ノズル穴の間隔及びノズル穴の個数に応じて種々の寸法に設定されるものである。   In the first embodiment described above, contact between the shutter 51 and the nozzle surface 48 is avoided according to the diameter of the nozzle hole, the gap between adjacent nozzles in the nozzle surface 48, and the number of nozzle holes. Although the case where the lower limit value of the gap set for the purpose is 0.1 mm and the upper limit value of the gap set for the purpose of maintaining the solvent atmosphere is described as several mm has been described, the present invention is not limited to this. The size of the gap is set to various dimensions according to the diameter of the nozzle holes, the interval between the nozzle holes, and the number of nozzle holes.

(第2の実施の形態)
図11は、本発明の第2の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットの先端部を示す部分的断面図である。この第2の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図4について上述した第1の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、インク塗布の休止中にインクジェットヘッド42の先端部を溶媒槽70の溶媒に浸漬させるための構成に代えて、シャッタ51が閉じられた際にシャッタ51とノズル面48との間隙空間に対して溶媒ガスを送気するための構成が設けられている点のみが異なる。従って図11においては、図4との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。またこの図11においては、図4について上述したガイド部材52、53、モータ55、ピニオンギア57、ラック58、クリーニング部60等のシャッタ51の開閉機構等を省略して示しているが、これらの構成も有するものとする。
(Second Embodiment)
FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing a tip portion of an ink jet head unit used in an ink jet coating apparatus according to the second embodiment of the present invention. Compared with the inkjet head unit in the first embodiment described above with reference to FIG. 4, the inkjet coating apparatus according to the second embodiment moves the tip of the inkjet head 42 of the solvent tank 70 during the rest of the ink coating. Instead of the structure for immersing in the solvent, only the structure for supplying the solvent gas to the gap space between the shutter 51 and the nozzle surface 48 when the shutter 51 is closed is different. . Therefore, in FIG. 11, the same reference numerals are given to corresponding parts to those in FIG. 4, and the duplicate description is omitted here. In FIG. 11, the guide members 52 and 53, the motor 55, the pinion gear 57, the rack 58, and the opening and closing mechanism of the shutter 51 such as the cleaning unit 60 described above with reference to FIG. 4 are omitted. It shall also have a configuration.

すなわち、図11に示すように、第2の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ51には溶媒ガスを送気するための送気ホース65が取り付けられている。この送気ホースの先端部は、シャッタ51の一部に貫通形成された送気口53に対してシャッタ51の下面側から接合されている。この送気ホース65に対して、溶媒ガスの供給装置66からインクの溶媒ガスを供給する。これにより送気ホース65及びシャッタ51の送気口53を介して溶媒ガスをシャッタ51の上面側に供給することができる。   That is, as shown in FIG. 11, an air supply hose 65 for supplying solvent gas is attached to the shutter 51 of the ink jet coating apparatus of the second embodiment. The distal end of the air supply hose is joined from the lower surface side of the shutter 51 to an air supply port 53 formed so as to penetrate a part of the shutter 51. Ink solvent gas is supplied from a solvent gas supply device 66 to the air supply hose 65. Thus, the solvent gas can be supplied to the upper surface side of the shutter 51 through the air supply hose 65 and the air supply port 53 of the shutter 51.

この場合、インクジェット塗布装置を制御する制御部にあっては、溶媒ガスの供給装置66及びシャッタ51の駆動機構をそれぞれ連携動作させることにより、シャッタ51が閉じられた際に溶媒ガスを送気することでシャッタ51とノズル面48との間の間隙空間に溶媒ガスを供給する。   In this case, in the control unit that controls the ink jet coating apparatus, the solvent gas supply device 66 and the drive mechanism of the shutter 51 are operated in a coordinated manner so that the solvent gas is supplied when the shutter 51 is closed. Thus, the solvent gas is supplied to the gap space between the shutter 51 and the nozzle surface 48.

これにより閉じられたシャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙空間を溶媒雰囲気に保つことができ、ノズル吐出口50のインクが乾燥することを防止して、ノズルの目詰まりによるインクの吐出不良の発生を防止することができる。   As a result, the gap space formed between the closed shutter 51 and the nozzle surface 48 can be maintained in a solvent atmosphere, and the ink at the nozzle discharge port 50 is prevented from drying, and ink caused by nozzle clogging. It is possible to prevent the occurrence of discharge failure.

(第3の実施の形態)
図12は、本発明の第3の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットを示す部分的断面図である。この第3の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図4について上述した第1の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、シャッタ51の上面に付着した残存インク等の異物を除去するクリーニング部60に代えて、シャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙空間を吸気するための構成が設けられている点のみが異なる。従って図12においては、図4との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。またこの図12においては、図4について上述したガイド部材52、53、モータ55、ピニオンギア57、ラック58等のシャッタ51の開閉機構等を省略して示しているが、これらの構成も有するものとする。
(Third embodiment)
FIG. 12 is a partial cross-sectional view showing an ink jet head unit used in an ink jet coating apparatus according to the third embodiment of the present invention. The ink jet coating apparatus according to the third embodiment has a cleaning unit that removes foreign matters such as residual ink adhering to the upper surface of the shutter 51, as compared with the ink jet head unit according to the first embodiment described above with reference to FIG. The only difference is that a configuration for sucking a gap space formed between the shutter 51 and the nozzle surface 48 is provided in place of 60. Therefore, in FIG. 12, the same reference numerals are given to corresponding parts to FIG. 4, and the duplicate description is omitted here. In FIG. 12, the guide members 52 and 53, the motor 55, the pinion gear 57, the opening and closing mechanism of the shutter 51 such as the rack 58 described above with reference to FIG. 4 are omitted, but these configurations are also included. And

すなわち、図12に示すように、第3の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ51にはシャッタ51の上面側を吸気するための吸気ホース67が取り付けられている。この吸引ホース67の先端部は、シャッタ51の一部に貫通形成された吸引口53に対してシャッタ51の下面側から接合されている。この吸引ホース67に対して、吸引装置68により負圧を与えることにより、シャッタ51の上面側を吸引することができる。   That is, as shown in FIG. 12, an intake hose 67 for sucking the upper surface side of the shutter 51 is attached to the shutter 51 of the ink jet coating apparatus of the third embodiment. The tip of the suction hose 67 is joined from the lower surface side of the shutter 51 to a suction port 53 that is formed through a part of the shutter 51. By applying a negative pressure to the suction hose 67 by the suction device 68, the upper surface side of the shutter 51 can be sucked.

この場合、インクジェット塗布装置を制御する制御部にあっては、この吸引装置68及びシャッタ51の駆動機構をそれぞれ連携動作させることにより、シャッタ51が閉じられている間に吸引することでシャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙空間を吸引することができる。   In this case, in the control unit that controls the ink jet coating apparatus, the suction device 68 and the driving mechanism of the shutter 51 are operated in cooperation with each other so that suction is performed while the shutter 51 is closed, thereby A gap space formed between the nozzle surface 48 and the nozzle surface 48 can be sucked.

このようにシャッタ51とノズル面48との間に形成される間隙空間を吸引することにより、シャッタ51の上面、ノズル面48及びノズル吐出口50内に付着した残存インク等の異物を吸引ホース67を介して外部に排出することができる。これによりノズルの目詰まりによるインクの吐出不良の発生を防止することができる。   By sucking the gap space formed between the shutter 51 and the nozzle surface 48 in this manner, foreign matter such as residual ink adhering to the upper surface of the shutter 51, the nozzle surface 48 and the nozzle discharge port 50 is sucked into the suction hose 67. It can be discharged to the outside. Thereby, it is possible to prevent the occurrence of ink ejection failure due to nozzle clogging.

なおこの第3の実施の形態においては、第1の実施の形態のインクジェット塗布装置のクリーニング部60に代えて、シャッタ51とノズル面48との間を吸引するための構成を設けるようにしたが、本発明はこれに限られるものではなく、クリーニング部60を併用するようにしてもよい。   In the third embodiment, a configuration for suctioning between the shutter 51 and the nozzle surface 48 is provided in place of the cleaning unit 60 of the ink jet coating apparatus of the first embodiment. The present invention is not limited to this, and the cleaning unit 60 may be used in combination.

(第4の実施の形態)
図13は、本発明の第4の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。この第4の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図4について上述した第1の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、ノズル面48の複数のノズル全体を覆う1枚のシャッタ51に代えて、複数のシャッタ片151a、151b及び151cに分割されてなるシャッタ151を設け、それぞれのシャッタ片151a、151b及び151cが個別に開閉動作するように構成した点のみが異なる。従って図13においては、図4との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。なお図13においては、各シャッタ片151a、151b、151dを開閉するための開閉機構及びクリーニング部60を省略して示している。シャッタ151を構成するシャッタ片151a、151b及び151cのうち、両側のシャッタ片151a、151cにおいては、図4について上述した開閉機構(ガイド部材52、53、モータ55、ピニオンギア57、ラック58)をそれぞれ設けて制御部により個別に開閉動作するようになされ、また中央のシャッタ片151bについては、モータ55、ラック58を設けるスペースを確保することが困難であることにより、例えばソレノイドを駆動源としてリンク機構を介して制御部の制御によりシャッタ片151bを開閉動作させる等、他の駆動機構を用いるようにする。
(Fourth embodiment)
FIG. 13 is a perspective view showing an ink jet head unit used in an ink jet coating apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. The inkjet coating apparatus according to the fourth embodiment is replaced with a single shutter 51 that covers the entire plurality of nozzles of the nozzle surface 48 as compared with the inkjet head unit according to the first embodiment described above with reference to FIG. The only difference is that a shutter 151 that is divided into a plurality of shutter pieces 151a, 151b, and 151c is provided, and the shutter pieces 151a, 151b, and 151c are individually opened and closed. Therefore, in FIG. 13, the same reference numerals are given to corresponding parts to FIG. 4, and the duplicate description is omitted here. In FIG. 13, the opening / closing mechanism and the cleaning unit 60 for opening / closing the shutter pieces 151a, 151b, 151d are omitted. Among the shutter pieces 151a, 151b, and 151c constituting the shutter 151, the shutter pieces 151a and 151c on both sides are provided with the opening / closing mechanism (guide members 52 and 53, motor 55, pinion gear 57, and rack 58) described above with reference to FIG. Each is provided and individually opened and closed by the control unit, and the central shutter piece 151b is linked with, for example, a solenoid as a driving source because it is difficult to secure a space for providing the motor 55 and the rack 58. Another driving mechanism is used, such as opening and closing the shutter piece 151b under the control of the control unit via the mechanism.

図13に示すように、第4の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ151は、複数のノズル吐出口50のうちの隣接する所定数のノズルごとに対応したシャッタ片151a、151b及び151cに分割され、それぞれ個別に開閉駆動される。   As shown in FIG. 13, the shutter 151 of the ink jet coating apparatus according to the fourth embodiment is divided into shutter pieces 151a, 151b, and 151c corresponding to a predetermined number of adjacent nozzles of the plurality of nozzle discharge ports 50. Each is individually driven to open and close.

この第4の実施の形態のインクジェット塗布装置を制御する制御部においては、インクの塗布対象である基板30における塗布パターンに応じて使用するシャッタ片を選択し、選択したシャッタ片を開いてインクを吐出させる。   In the control unit that controls the ink jet coating apparatus according to the fourth embodiment, the shutter piece to be used is selected according to the coating pattern on the substrate 30 to be coated with ink, and the selected shutter piece is opened to supply ink. Discharge.

このようにすれば、使用しないノズルについては常にシャッタ片によって覆われた状態とすることができ、これにより使用しないノズルが乾燥することを防止することができる。   If it does in this way, about the nozzle which is not used, it can always be set as the state covered with the shutter piece, and it can prevent that the nozzle which is not used dries.

なおこの第4の実施の形態においては、3つのシャッタ片151a、151b及び151cに分割されてなるシャッタ151を用いる場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、種々の分割数を適用することができる。この場合、分割数を多くするほど、塗布対象の様々な塗布パターンに対応することができるようになる。   In the fourth embodiment, the case where the shutter 151 divided into the three shutter pieces 151a, 151b and 151c is used has been described. However, the present invention is not limited to this, and various division numbers can be used. Can be applied. In this case, as the number of divisions increases, it becomes possible to cope with various application patterns to be applied.

(第5の実施の形態)
図14は、本発明の第5の実施の形態に係るインクジェット塗布装置に用いられるインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。この第5の実施の形態のインクジェット塗布装置は、図4について上述した第1の実施の形態におけるインクジェットヘッド部と比較して、ノズル面48の複数のノズル全体を覆うシャッタ51に加えて、複数のノズル吐出口50のうちの一部のノズルに対応した領域に吐出窓部251aを有するシャッタ251を併用するように構成した点のみが異なる。従って図14においては、図4との対応部分に同一符号を付し、ここではその重複した説明を省略する。なお図14においては、各シャッタ51、251を開閉するための開閉機構及びクリーニング部60(図4)を省略して示している。シャッタ51、251においては、図4について上述した開閉機構(ガイド部材52、53、モータ55、ピニオンギア57、ラック58)をそれぞれ設けて制御部により個別に開閉動作させる。
(Fifth embodiment)
FIG. 14 is a perspective view showing an ink jet head unit used in the ink jet coating apparatus according to the fifth embodiment of the present invention. The ink jet coating apparatus according to the fifth embodiment includes a plurality of in addition to the shutter 51 that covers all of the plurality of nozzles of the nozzle surface 48, as compared with the ink jet head unit according to the first embodiment described above with reference to FIG. The only difference is that the shutter 251 having the discharge window portion 251a is used in combination in a region corresponding to some of the nozzle discharge ports 50. Accordingly, in FIG. 14, the same reference numerals are given to corresponding parts to those in FIG. 4, and a duplicate description thereof is omitted here. In FIG. 14, the opening / closing mechanism for opening and closing the shutters 51 and 251 and the cleaning unit 60 (FIG. 4) are omitted. In the shutters 51 and 251, the opening / closing mechanisms (guide members 52 and 53, the motor 55, the pinion gear 57, and the rack 58) described above with reference to FIG. 4 are provided and individually opened and closed by the control unit.

すなわち図14に示すように、第5の実施の形態のインクジェット塗布装置のシャッタ251においては、該シャッタ251が閉じられた状態において例えば隣接する3つのノズル吐出口50a、50b及び50cに対向する位置に吐出窓部251aを形成し、このノズル吐出口50a、50b及び50cからインクを吐出させる場合には、このシャッタ251を閉じるようにする。これにより、使用するノズル吐出口50a、50b及び50c以外のノズル吐出口はシャッタ251によって覆われることになり、これらのノズルが乾燥することを防止することができる。また、すべてのノズル吐出口50からの吐出を休止する場合には、吐出窓部251aを有するシャッタ251を開くと共に、吐出窓部を有しないシャッタ51を閉じることにより、すべてのノズル吐出口50の乾燥を防止することができる。   That is, as shown in FIG. 14, in the shutter 251 of the ink jet coating apparatus according to the fifth embodiment, for example, positions facing the three adjacent nozzle discharge ports 50a, 50b and 50c in a state where the shutter 251 is closed. When the ejection window portion 251a is formed in the nozzle and ink is ejected from the nozzle ejection ports 50a, 50b and 50c, the shutter 251 is closed. Thereby, nozzle discharge ports other than the nozzle discharge ports 50a, 50b and 50c to be used are covered with the shutter 251, and it is possible to prevent these nozzles from drying. Further, when the discharge from all the nozzle discharge ports 50 is stopped, the shutter 251 having the discharge window portion 251a is opened and the shutter 51 having no discharge window portion is closed, so that all of the nozzle discharge ports 50 are closed. Drying can be prevented.

なおこの第5の実施の形態においては、3つのノズル吐出口50a、50b及び50cに対応する位置に吐出窓部251aが形成されたシャッタ251を用いる場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、1つ又は2つ以上の種々のノズルに対応した位置に吐出窓部を形成して用いることができる。この場合、吐出窓部251aは1つに限らず、複数形成するようにしてもよい。   In the fifth embodiment, the case where the shutter 251 in which the discharge window portion 251a is formed at the position corresponding to the three nozzle discharge ports 50a, 50b and 50c is used is described. However, the present invention is not limited to this. The discharge window portion may be formed at a position corresponding to one or two or more various nozzles. In this case, the number of discharge window portions 251a is not limited to one, and a plurality of discharge window portions 251a may be formed.

またこの第5の実施の形態においては、吐出窓部251aを有するシャッタ251と吐出窓部251aを有しないシャッタ51とを併用する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、吐出窓部251aを有するシャッタ251のみを用いるようにしてもよい。このようにすれば、常に使用するノズルと必要に応じて使用するノズルとが並存している場合に、常に使用するノズルに対応した位置に吐出窓部251aを形成し、必要に応じて使用するノズルを使用しない場合にこのシャッタ251を閉じておくことにより、これらのノズルの乾燥を抑制することができる。   In the fifth embodiment, the case where the shutter 251 having the discharge window portion 251a and the shutter 51 not having the discharge window portion 251a are used in combination is described, but the present invention is not limited to this. You may make it use only the shutter 251 which has the discharge window part 251a. In this way, when the nozzles that are always used and the nozzles that are used as necessary coexist, the discharge window portion 251a is formed at a position corresponding to the nozzle that is always used, and is used as necessary. By closing the shutter 251 when the nozzles are not used, drying of these nozzles can be suppressed.

(その他の実施の形態)
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではない。例えば、上述の第1〜第5の実施の形態においては、ノズル面48の周囲全体を覆う枠形状のフレームカバー49を設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、フレームカバー49として、枠形状の一部が切り欠かれた形状のものを用いるようにしてもよい。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, in the first to fifth embodiments described above, the case where the frame-shaped frame cover 49 that covers the entire periphery of the nozzle surface 48 is provided has been described. However, the present invention is not limited to this, and the frame The cover 49 may have a shape in which a part of the frame shape is cut out.

また上述の第1〜第5の実施の形態のインクジェット塗布装置1においては、シャッタ51、151、251とノズル面48との間にフレームカバー49を介在させることによってシャッタ51、151、251とノズル面48との接触を防止する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、フレームカバー49に代えて、例えばガイド部材52、53をシャッタ51、151、251の上面側及び下面側から挟持する構成とし、このガイド部材によりシャッタ51の高さを位置決めすることにより、シャッタ51、151、251とノズル面48との接触を防止するようにしてもよい。この場合、シャッタ51、151、251とノズル面48との間に形成される間隙空間の周囲はフレームカバー49に覆われない構成となるが、シャッタ51、151、251とノズル面48との間の間隙が溶媒雰囲気を維持し得る程度に抑えられていることにより、ノズル吐出口50の乾燥を実用上十分に防止することができる。   In the inkjet coating apparatus 1 according to the first to fifth embodiments described above, the shutters 51, 151, 251 and the nozzles are disposed by interposing the frame cover 49 between the shutters 51, 151, 251 and the nozzle surface 48. Although the case where the contact with the surface 48 is prevented has been described, the present invention is not limited to this, and instead of the frame cover 49, for example, the guide members 52, 53 are replaced with the upper surface side and the lower surface of the shutters 51, 151, 251. It is possible to prevent contact between the shutters 51, 151, and 251 and the nozzle surface 48 by positioning the shutter 51 with this guide member. In this case, the periphery of the gap space formed between the shutters 51, 151, 251 and the nozzle surface 48 is not covered by the frame cover 49, but between the shutters 51, 151, 251 and the nozzle surface 48. Since the gap is suppressed to such an extent that the solvent atmosphere can be maintained, drying of the nozzle discharge port 50 can be sufficiently prevented in practice.

また上述の第1〜第5の実施の形態のインクジェット塗布装置1においては、シャッタ51、151、251の開閉機構として、モータ55の回転力をピニオンギア57及びラック58を介してシャッタ51、151、251の駆動力とする場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばシャッタ51、151、251の移動範囲に回転可能に掛け渡されたベルトの一部をシャッタ51、151、251に固定し、回転させることによりシャッタ51、151、251を開閉させる等、駆動機構としては他の種々の駆動機構を適用することができる。   In the inkjet coating apparatus 1 according to the first to fifth embodiments described above, the shutter 51, 151 is rotated by the rotational force of the motor 55 via the pinion gear 57 and the rack 58 as the opening / closing mechanism of the shutters 51, 151, 251. However, the present invention is not limited to this. For example, a part of the belt that is rotatably spanned over the movement range of the shutters 51, 151, and 251 is used as the shutter 51, Various other driving mechanisms can be applied as the driving mechanism, such as opening and closing the shutters 51, 151, and 251 by fixing them to 151 and 251 and rotating them.

また上述の第1〜第5の実施の形態のインクジェット塗布装置1においては、モータ55をシャッタ51、151、251の駆動源とする場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばソレノイドを駆動源としてリンク機構を介してシャッタ51、151、251を開閉動作させる等、シャッタ51、151、251の駆動源としては他の種々のものを適用することができる。   Further, in the ink jet coating apparatus 1 of the first to fifth embodiments described above, the case where the motor 55 is used as the drive source of the shutters 51, 151, and 251 has been described. Various other types of drive sources for the shutters 51, 151, and 251 can be applied, such as opening and closing the shutters 51, 151, and 251 via a link mechanism using the drive source as a drive source.

また上述の第1〜第5の実施の形態においては、シャッタ51、151、251の駆動源であるモータ55、ガイド部材52、53等の開閉機構をインクジェットヘッド42に設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばインクジェットヘッドユニット40を構成する他の部材により支持するようにしてもよい。   In the first to fifth embodiments described above, the case where the inkjet head 42 is provided with opening / closing mechanisms such as the motor 55 and the guide members 52 and 53 that are the driving sources of the shutters 51, 151, and 251 has been described. The present invention is not limited to this, and for example, it may be supported by another member constituting the inkjet head unit 40.

また上述の第1〜第5の実施の形態においては、シャッタ51、151、251をガラス板で構成すると共にフレームカバー49を樹脂材料で構成する場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばシャッタ51、151、251及びフレームカバー49を樹脂材料で構成する等、種々の材質のものを用いることができる。   In the first to fifth embodiments described above, the shutters 51, 151, and 251 are made of glass plates and the frame cover 49 is made of a resin material. However, the present invention is limited to this. For example, the shutters 51, 151, 251 and the frame cover 49 may be made of various materials such as resin materials.

また上述の第1〜第5の実施の形態においては、シャッタ51、151、251の上面に付着した残存インク等の異物を除去する除去手段として、紙又は布によって異物を除去するクリーニング部60を設ける場合について述べたが、本発明はこれに限られるものではなく、例えばシャッタ51、151、251が開いた状態で、このシャッタ51、151、251の上面に空気又は溶剤を噴射することにより異物を吹き飛ばすようにしてもよい。   In the first to fifth embodiments described above, the cleaning unit 60 that removes foreign matter using paper or cloth is used as a removing unit that removes foreign matter such as residual ink adhering to the upper surfaces of the shutters 51, 151, and 251. However, the present invention is not limited to this. For example, when the shutters 51, 151, and 251 are open, foreign matter is ejected by jetting air or solvent onto the upper surfaces of the shutters 51, 151, and 251. You may make it blow off.

本発明の第1の実施の形態に係るインクジェット塗布装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet coating apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet head unit of the inkjet coating apparatus of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的側面図である。It is a partial side view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す上面図である。It is a top view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの溶媒槽への浸漬処理の説明に供する側面図である。It is a side view with which it uses for description of the immersion process to the solvent tank of the inkjet head of the inkjet coating device of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの溶媒槽への浸漬処理の説明に供する側面図である。It is a side view with which it uses for description of the immersion process to the solvent tank of the inkjet head of the inkjet coating device of FIG. 図1のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドの溶媒槽への浸漬処理の説明に供する側面図である。It is a side view with which it uses for description of the immersion process to the solvent tank of the inkjet head of the inkjet coating device of FIG. 本発明の第2の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す部分的断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施の形態に係るインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet head of the inkjet coating apparatus which concerns on the 5th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…インクジェット塗布装置、2…架台、3…インク塗布ボックス、4…インク補給ボックス、30…基板、40…インクジェットヘッドユニット、42…インクジェットヘッド、48…ノズル面、49…フレームカバー、50…ノズル、51,151,251…シャッタ、52,53…ガイド部材、55…モータ、57…ピニオンギア、58…ラック。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet coating device, 2 ... Stand, 3 ... Ink application box, 4 ... Ink supply box, 30 ... Substrate, 40 ... Inkjet head unit, 42 ... Inkjet head, 48 ... Nozzle surface, 49 ... Frame cover, 50 ... Nozzle , 51, 151, 251 ... shutter, 52, 53 ... guide member, 55 ... motor, 57 ... pinion gear, 58 ... rack.

Claims (11)

液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口を有するインクジェットヘッドと、
前記ノズル吐出口近傍において、前記ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタと、
前記ノズル吐出口を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間において前記シャッタを前記ノズル吐出口の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構と、
を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
An ink jet head having a nozzle outlet that is an opening for ejecting droplets;
In the vicinity of the nozzle discharge port, a shutter provided to be able to advance and retreat so as to cover the nozzle discharge port;
A support mechanism for moving the shutter with a gap from the opening end surface of the nozzle discharge port between a position covering the nozzle discharge port and a position retracted from the covering position;
An inkjet coating apparatus comprising:
前記支持機構は、前記シャッタを前記開口端面に沿って移動させる
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein the support mechanism moves the shutter along the opening end surface.
前記支持機構により支持される前記シャッタの前記ノズル吐出口を覆う位置と前記ノズル吐出口の開口端面との距離は、前記ノズル吐出口の溶媒雰囲気を維持する最大限の大きさ以下に設定されている
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
The distance between the position covering the nozzle discharge port of the shutter supported by the support mechanism and the opening end surface of the nozzle discharge port is set to be equal to or less than the maximum size for maintaining the solvent atmosphere of the nozzle discharge port. The inkjet coating apparatus according to claim 1.
前記液滴の溶媒が貯留される溶媒槽と、
前記インクジェットヘッドと前記溶媒槽とを相対的に移動させる移動機構と、
を備え、前記シャッタが前記ノズル吐出口を覆う位置にある状態の前記インクジェットヘッドを前記溶媒槽に貯留された溶媒に浸漬させる
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
A solvent tank in which the solvent of the droplets is stored;
A moving mechanism for relatively moving the inkjet head and the solvent tank;
The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein the inkjet head in a state where the shutter is in a position covering the nozzle discharge port is immersed in a solvent stored in the solvent tank.
前記シャッタが前記ノズル吐出口を覆った状態において、前記インクジェットヘッドに対して前記液滴の溶媒を噴射する噴射機構を備える
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
The inkjet coating apparatus according to claim 1, further comprising: an ejection mechanism that ejects a solvent of the droplets to the inkjet head in a state where the shutter covers the nozzle discharge port.
前記シャッタの前記ノズル吐出口を覆う位置と前記ノズル吐出口の開口端面との間に前記液滴の溶媒ガスを送気する送気機構を備える
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
The inkjet coating apparatus according to claim 1, further comprising an air supply mechanism that supplies solvent gas of the droplets between a position of the shutter covering the nozzle discharge port and an opening end surface of the nozzle discharge port. .
前記シャッタの前記ノズル吐出口を覆う位置と前記ノズル吐出口の開口端面との間の空隙を吸引する吸引機構を備える
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
The inkjet coating apparatus according to claim 1, further comprising a suction mechanism that sucks a gap between a position of the shutter covering the nozzle discharge port and an opening end surface of the nozzle discharge port.
前記インクジェットヘッドは、前記ノズル吐出口が複数配列され、
前記シャッタは、前記配列されてなる複数のノズル吐出口の位置に応じて複数に分割されている
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
In the inkjet head, a plurality of nozzle discharge ports are arranged,
The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein the shutter is divided into a plurality according to positions of the plurality of nozzle discharge ports arranged in the array.
前記インクジェットヘッドは、前記ノズル吐出口が複数配列され、
前記シャッタは、前記配列された複数のノズル吐出口のうち1つ又は2つ以上のノズル吐出口の位置に応じて形成された吐出窓部を備える
ことを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
In the inkjet head, a plurality of nozzle discharge ports are arranged,
2. The inkjet coating according to claim 1, wherein the shutter includes a discharge window portion formed according to a position of one or two or more nozzle discharge ports among the plurality of arranged nozzle discharge ports. apparatus.
前記インクジェットヘッドは、前記ノズル吐出口が複数配列され、
前記配列された複数のノズル吐出口のすべてを覆う第1の前記シャッタと、
前記複数のノズル吐出口のすべてを覆う外形形状を有すると共に前記複数のノズル吐出口のうちの1つ又は2つ以上の位置に対応して形成された吐出窓部を有する第2のシャッタと、
前記第2のシャッタを前記ノズル吐出口を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間において前記第2のシャッタを前記ノズル吐出口の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構と、
を備えることを特徴とする請求項1記載のインクジェット塗布装置。
In the inkjet head, a plurality of nozzle discharge ports are arranged,
The first shutter covering all of the plurality of arranged nozzle discharge ports;
A second shutter having an outer shape covering all of the plurality of nozzle discharge ports and having a discharge window portion formed corresponding to one or more positions of the plurality of nozzle discharge ports;
A support mechanism for moving the second shutter with respect to an opening end surface of the nozzle discharge port between a position where the second shutter covers the nozzle discharge port and a position where the second shutter is retracted from the cover position; ,
The inkjet coating apparatus according to claim 1, further comprising:
液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口の近傍において、前記ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタを、前記ノズル吐出口を覆う位置から退避した位置に移動させ、前記ノズル吐出口から前記液滴を噴射させて塗布対象に前記液滴を塗布する塗布工程と、
前記液滴の噴射を休止すると共に、前記ノズル吐出口の開口端面との間隙を保って前記ノズル吐出口を覆う位置に前記シャッタを移動させる塗布休止工程と、
を有することを特徴とする塗布方法。
In the vicinity of the nozzle discharge port, which is an opening for ejecting liquid droplets, a shutter provided so as to be able to advance and retract so as to cover the nozzle discharge port is moved to a position retracted from a position covering the nozzle discharge port, and the nozzle discharge A coating step of spraying the droplets from the outlet and applying the droplets to a coating target;
An application suspension step of stopping the ejection of the liquid droplets and moving the shutter to a position covering the nozzle discharge port while maintaining a gap with the opening end surface of the nozzle discharge port;
A coating method characterized by comprising:
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