JP2005210319A

JP2005210319A - ステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置

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Publication number: JP2005210319A
Application number: JP2004013563A
Authority: JP
Inventors: Shuzo Seo; 修三瀬尾
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Filing date: 2004-01-21
Publication date: 2005-08-04
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Abstract

【課題】簡単な構造で、ステージ板を互いに直交する２方向に直線移動させられるステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供する。
【解決手段】固定支持基板；この固定支持基板上に、特定のＹ方向に移動可能に支持されたＹ方向移動部材；及びこのＹ方向移動部材上にＹ方向と直交するＸ方向に移動可能に支持されたＸ方向移動部材；を備えたステージ装置において、上記Ｙ方向移動部材は、Ｙ方向に伸びるＹ方向棒状部と、このＹ方向棒状部に接続されＸ方向に伸びるＸ方向棒状部とを備え、上記固定支持基板は、このＹ方向移動部材のＹ方向棒状部を上記Ｙ方向に摺動自在に案内するＹ方向案内手段と、上記Ｘ方向棒状部の自由端部をＹ方向に移動自在に支持するＹ方向支持手段とを備え、上記Ｘ方向移動部材は、上記Ｙ方向移動部材に、上記Ｘ方向に摺動自在に支持されていることを特徴とするＸＹステージ装置。
【選択図】図２

Description

本発明は、ステージ板を直交する２方向に直線移動させるステージ装置、及び、このステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置に関する。

ステージ板を一平面内において直交する２方向に直線移動可能としたステージ装置の従来技術としては、例えば特許文献１に記載された、カメラの手振れ補正装置として利用されたものがある。

このステージ装置（手振れ補正装置）は、以下のような構造となっている。
固定支持基板の一方の面に突設されたＹ方向案内部材には、該Ｙ方向案内部材を一方向（これをＹ方向と呼ぶ）に直線的に貫通するＹ方向孔が穿設してあり、このＹ方向孔に、棒材をＬ字形に曲折したＹ方向移動部材の一方の片を相対移動自在に嵌合して、Ｙ方向移動部材をＹ方向に直進案内している。補正レンズが固定されたステージ板（Ｘ方向移動部材）に設けた突片には、この突片をＹ方向と直交するＸ方向に直線的に貫通するＸ方向孔が設けてあり、このＸ方向孔に、Ｙ方向移動部材の他方の片を相対移動自在に嵌合することにより、該他方の片によってステージ板をＸ方向に直進案内している。さらに、ステージ板の表裏両面の３点を位置決め部材によって支持して、ステージ板を常時、Ｘ方向及びＹ方向と平行なＸＹ仮想平面上に位置させている。

アクチュエータによって、このステージ板にＸ方向の直線的な移動力を与えると、ステージ板がＸＹ仮想平面上をＹ方向移動部材の他方の片に沿ってＸ方向に直線移動し、ステージ板にＹ方向の直線的な移動力を与えると、Ｙ方向移動部材の一方の片がＹ方向長孔に沿ってＸＹ仮想平面上をＹ方向に直線移動し、ステージ板も一緒にＹ方向に直線移動する。
そして、カメラ内に設けた振動検出センサが検出した振動情報に基づいてアクチュエータを駆動させることにより、補正レンズがＸ方向とＹ方向に移動し、手振れが補正される。
特開平８−３０４８６８号公報

しかしながら、この特許文献１のステージ装置は、固定支持基板、Ｙ方向移動部材、及びステージ板（Ｘ方向移動部材）の他に、ステージ板の表裏両面の３点を支持する位置決め部材を必要とするため、構造が複雑であるという問題があった。

本発明の目的は、簡単な構造で、ステージ板を互いに直交する２方向に直線移動させられるステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供することにある。

本発明のステージ装置は、固定支持基板；この固定支持基板上に、特定のＹ方向に移動可能に支持されたＹ方向移動部材；及びこのＹ方向移動部材上にＹ方向と直交するＸ方向に移動可能に支持されたＸ方向移動部材；を備えたステージ装置において、上記Ｙ方向移動部材は、Ｙ方向に伸びるＹ方向棒状部と、このＹ方向棒状部に接続されＸ方向に伸びるＸ方向棒状部とを備え、上記固定支持基板は、このＹ方向移動部材のＹ方向棒状部を上記Ｙ方向に摺動自在に案内するＹ方向案内手段と、上記Ｘ方向棒状部の自由端部をＹ方向に移動自在に支持するＹ方向支持手段とを備え、上記Ｘ方向移動部材は、上記Ｙ方向移動部材に、上記Ｘ方向に摺動自在に支持されていることを特徴としている。

上記Ｙ方向案内手段は、上記Ｙ方向棒状部を上記Ｙ方向に摺動自在に案内するＹ方向案内孔とし、上記Ｙ方向支持手段は、上記Ｘ方向棒状部の自由端部をＹ方向に移動自在に支持し、該Ｘ方向棒状部の上記Ｙ方向棒状部回りの回転を規制するＹ方向長孔とするのが実際的である。

上記Ｙ方向移動部材を、上記Ｘ方向棒状部を一対備えるものとし、上記固定支持基板を、一対の上記Ｘ方向棒状部をそれぞれ支持する一対の上記Ｙ方向長孔を備えるものとし、上記Ｘ方向移動部材を、一対の上記Ｘ方向棒状部にＸ方向に摺動自在に支持されるものとして実施することが可能である。

さらに、上記Ｘ方向移動部材が、一方の上記Ｘ方向棒状部に直進案内された状態で嵌合するＸ方向案内孔と、他方の上記Ｘ方向棒状部に、Ｘ方向に相対移動可能かつ一方のＸ方向棒状部回りに回転不能として嵌合する回転規制孔とを備えているのが実際的である。

さらに、上記回転規制孔の上記Ｙ方向長を、上記他方のＸ方向棒状部の断面の上記Ｙ方向長より長くするのが好ましい

また、上記Ｙ方向移動部材を、上記Ｘ方向棒状部を一つのみ備えるものとし、上記Ｘ方向移動部材を、上記Ｘ方向棒状部に直進案内された状態で嵌合するＸ方向案内孔と、上記Ｙ方向棒状部に、Ｙ方向に相対移動可能かつ上記Ｘ方向棒状部回りに回転不能として嵌合する回転規制孔とを備えるものとして実際してもよい。

この場合は、上記回転規制孔の上記Ｘ方向長を、上記Ｙ方向棒状部の断面の上記Ｘ方向長より長くするのが好ましい。

上記固定支持基板の上記Ｙ方向案内孔は、上記Ｙ方向棒状部をその延長方向と直交する方向から挿脱可能な開口部を有し、上記Ｙ方向長孔は、上記Ｙ方向棒状部を該開口部から上記Ｙ方向案内孔に挿入するとき上記Ｘ方向棒状部の自由端部を嵌合させるのが好ましい。

上記Ｘ方向移動部材を載せた上記Ｙ方向移動部材をＹ方向に駆動するＹアクチュエータと、上記Ｙ方向移動部材上で上記Ｘ方向移動部材をＸ方向に駆動するＸアクチュエータと、を備えるようにしてもよい。

このようなアクチュエータを備える場合は、ステージ装置をカメラの手振れ補正装置として利用できる。
カメラの手振れ補正装置は、例えば、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記Ｘ方向移動部材の前面に固定された、カメラ光学系の結像面に撮像面を有する撮像素子と、上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘアクチュエータまたは上記Ｙアクチュエータを、手振れを補正するように駆動させる制御手段と、を備える構成とすることが可能である。

また、カメラの手振れ補正装置を、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記Ｘ方向移動部材に固定された、結像面の前方にありカメラ光学系の光軸に対して垂直に配置された、手振れを補正するための補正レンズと、上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘアクチュエータまたは上記Ｙアクチュエータを、手振れを補正するように駆動させる制御手段と、を備える構成とすることも可能である。

本発明によると、固定支持基板、Ｙ方向移動部材、Ｘ方向移動部材、及び、これらに設けられた部材のみによって、Ｘ方向移動部材を互いに直交するＹ方向とＸ方向に直線移動させられるので、従来のステージ装置及び手振れ補正装置に比べて構造が簡単である。

以下、添付図面に基づいて、本発明の第１の実施形態について説明する。
図１に示すように、デジタルカメラ（カメラ）１内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなるカメラ光学系が配設されており、レンズＬ３の後方にはＣＣＤ（撮像素子）３が配設されている。ＣＣＤ３は、カメラ光学系の光軸Ｏに対して直交する撮像面（結像面）３ａを有し、デジタルカメラ１に内蔵された手振れ補正装置５に固定されている。

手振れ補正装置５は、図２〜図１０に示すように、以下のような構造となっている。
図２、図６、及び図９に示すように、後方から視たときに方形をなし、その中央部に方形の採光孔１０ａが穿設された固定支持基板１０は、図示を省略した固定手段によりデジタルカメラ１のボディ内に、光軸Ｏに対して直交し、かつ、光軸Ｏが採光孔１０ａの中心に位置するように固定されている。固定支持基板１０の後面の左側部には、合成樹脂等の弾性材料からなる同形状の２個のＹ方向案内部１１が、図２の矢線Ｙで示したＹ方向（上下方向）に並べて突設されており、両Ｙ方向案内部１１を、Ｙ方向案内溝（Ｙ方向案内手段）（Ｙ方向案内孔）１２がＹ方向に直線的に貫通している。図７に示すように、Ｙ方向案内溝１２は、断面視円形の案内部１２ａと、案内部１２ａと外部とを連通する開口部１２ｂとからなる。上下のＹ方向案内部１１に設けられた案内部１２ａは互いに同心をなしており、開口部１２ｂの外側の開口幅（Ｌ１）は案内部１２ａとの連通部の開口幅（Ｌ２）より大きい。
固定支持基板１０の後面の右側部には、同形状の２個の自由端支持部１３がＹ方向に並べて突設されている。両自由端支持部１３には、自由端支持部１３を、図２の矢印Ｘで示すＸ方向（左右方向）に貫通し、かつ、Ｙ方向に長いＹ方向長孔（Ｙ方向支持手段）１４がそれぞれ穿設されている。

図２、図６、及び図９に示すように、後方から視たときに逆コ字形をなすＹ方向移動部材２０は、断面形状が円形をなす金属棒を曲折して成形したものである。このＹ方向移動部材２０は、Ｙ方向に延在するＹ方向棒状部２１と、Ｙ方向棒状部２１の上下両端から図２、図６、及び図９の右側に向かって延出するＸ方向棒状部２２、２３とを具備している。Ｘ方向棒状部２２、２３の断面径は、Ｙ方向長孔１４の前後方向寸法と略同一である。

後方から視たときに略方形をなすステージ板（Ｘ方向移動部材）３０の前面には、ＣＣＤ３が固定されている。ステージ板３０の上端部には、左右一対のＸ方向案内部３１が突設されており、下端部には支持部３２が突設されている。両Ｘ方向案内部３１には、Ｘ方向案内部３１をＸ方向に貫通する、断面形状がＸ方向棒状部２２と略同一のＸ方向案内孔３１ａが設けられている。一方、支持部３２には、支持部３２をＸ方向に貫通する支持用溝（回転規制孔）３２ａが設けられている。この支持用溝３２ａは、図８に示すように、その下端が開口しており、そのＹ方向長はＸ方向棒状部２３の断面径より長く、その前後方向幅はＸ方向棒状部２３と略同一である。

そして、図２、図６、及び図９の左側からＹ方向移動部材２０をステージ板３０に接近させ、Ｘ方向棒状部２２を両Ｘ方向案内部３１のＸ方向案内孔３１ａに貫通させるとともに、Ｘ方向棒状部２３を支持用溝３２ａに貫通させると、ステージ板３０がＹ方向移動部材２０に、Ｘ方向に相対移動自在として取り付けられる。

さらに、図６に示すように、このようにステージ板３０と一体となったＹ方向移動部材２０を、図６の左側から右側に直線的に移動させ、その両Ｘ方向棒状部２２、２３の自由端を、両自由端支持部１３のＹ方向長孔１４に嵌合させ、かつ、Ｙ方向棒状部２１を開口部１２ｂに嵌合させる。Ｙ方向棒状部２１が開口部１２ｂに嵌合すると、Ｙ方向棒状部２１の断面径は、開口部１２ｂの外側の開口幅（Ｌ１）より狭いが、内側の開口幅（Ｌ２）より広いので、開口部１２ｂは拡開する方向に弾性変形する。Ｙ方向棒状部２１をさらに図６の右側に移動させると、Ｙ方向棒状部２１が案内部１２ａに抜け止めされた状態で嵌合し、開口部１２ｂは元の形状に弾性復帰して、手振れ補正装置５が完成し、ＣＣＤ３が採光孔１０ａの直後に位置する。

このように、Ｙ方向移動部材２０を図２、図６、及び図９の左側から右側に直線的に移動させるだけで、Ｙ方向移動部材２０をＹ方向長孔１４と案内部１２ａへ簡単に取り付けることができる。また、Ｙ方向移動部材２０を、開口部１２ｂを弾性変形させるだけの力で、図２、図６、及び図９の右側から左側に直線移動させることにより、Ｙ方向移動部材２０をＹ方向案内溝１２とＹ方向長孔１４から簡単に取り外すことができる。

上述したように、Ｘ方向棒状部２２、２３の断面径とＹ方向長孔１４の前後方向寸法が同じなので、Ｙ方向移動部材２０のＹ方向棒状部２１回りの回転は規制されており、この結果、Ｙ方向移動部材２０の中心軸は常に、Ｘ方向及びＹ方向と平行なＸＹ仮想平面Ｐ（図４参照）上に位置する。さらに、図４に示すように、Ｙ方向案内部１１、自由端支持部１３、ステージ板３０の各部材もＸＹ仮想平面Ｐ上に位置している。

図２に示すように、デジタルカメラ１内には、ステージ板３０をＸ方向に直線的に往復移動させるＸアクチュエータＡＸと、Ｙ方向移動部材２０をＹ方向に直線的に往復移動させるＹアクチュエータＡＹと、デジタルカメラ１の振動を検出する振動検出センサＳと、該振動検出センサＳが検出した振動情報に基づいて、ＸアクチュエータＡＸまたはＹアクチュエータＡＹに駆動信号を送り、ＸアクチュエータＡＸまたはＹアクチュエータＡＹを、デジタルカメラ１の手振れを補正するように駆動させる制御回路（制御手段）Ｃが設けられている。ＸアクチュエータＡＸ、ＹアクチュエータＡＹとしては、例えば電動モータを用いることが可能である。また、圧電素子を用いることも可能であり、この場合は、ステージ板３０を、圧電素子による付勢方向と反対方向に付勢する圧縮バネが必要となる。
以上説明した手振れ補正装置５の構成部材の内、振動検出センサＳと制御回路Ｃを除いた構成部材によりステージ装置が構成されている。

次に、手振れ補正装置５の動作について説明する。
デジタルカメラ１によって撮影を行うと、各レンズＬ１〜Ｌ３を透過した光が、採光孔１０ａを通ってＣＣＤ３の撮像面３ａに結像する。この際、デジタルカメラ１の手振れ補正スイッチ（不図示）をＯＮにして撮影を行なうと、デジタルカメラ１に手振れ（像振れ）が生じなければ、振動センサＳが振動を感知しないので、手振れ補正装置５は図２から図５に示す非作動状態を維持する。一方、デジタルカメラ１に手振れが生じると、振動センサＳがデジタルカメラ１の振動を検知し、この振動情報が制御回路Ｃに送られる。すると、制御回路ＣからＸアクチュエータＡＸとＹアクチュエータＡＹに駆動信号が送られる。
例えば、制御回路ＣがＸアクチュエータＡＸに駆動信号を送った場合には、ＸアクチュエータＡＸからステージ板３０にＸ方向の直線的な力が付与されるので、ステージ板３０が、ＣＣＤ３の撮像面３ａ全体が採光孔１０ａと前後方向の重合関係を維持する範囲で、Ｙ方向移動部材２０のＸ方向棒状部２２、２３に沿って、Ｘ方向に直線的に往復移動する。
一方、制御回路ＣがＹアクチュエータＡＹに駆動信号を送った場合には、ＹアクチュエータＡＹからＹ方向移動部材２０にＹ方向の直線的な力が付与されるので、Ｙ方向移動部材２０（ステージ板３０）が、ＣＣＤ３の撮像面３ａ全体が採光孔１０ａと前後方向の重合関係を維持する範囲で、両Ｙ方向案内部１１の案内部１２ａに沿って、Ｙ方向に直線的に往復移動する。

このように、ステージ板３０のＸ方向とＹ方向への往復移動により、ステージ板３０に固定されたＣＣＤ３のＸＹ方向位置が変化し、手振れ補正が行われる。

以上説明した本実施形態によれば、ステージ装置が、固定支持基板１０、Ｙ方向移動部材２０、ステージ板３０とは別体である、ステージ板３０の表裏に当接する位置決め部材を要しない、極めて簡単な構造となっているので、従来の手振れ補正装置（ステージ装置）に比べて、製造コストが低く、かつ組み立てが容易である。

さらに、Ｘ方向棒状部２３を、そのＹ方向長がＸ方向棒状部２３の断面径より長い支持用溝３２ａに嵌合させ、Ｘ方向棒状部２３を支持用溝３２ａ内でＹ方向に移動可能としているので、Ｘ方向棒状部２３や支持用溝３２ａに多少の製造誤差があっても、Ｘ方向棒状部２３に対してステージ板３０をＸ方向に円滑に移動させられる。
また、Ｘ方向棒状部２３がステージ板３０から力を受けて、上方または下方に多少弾性変形しても、Ｘ方向棒状部２３と支持用溝３２ａの嵌合関係が維持されていれば、ステージ板３０の移動に支障は出ない。

なお、Ｙ方向移動部材２０の剛性が高く殆ど弾性変形しないのであれば、Ｙ方向案内部１１や自由端支持部１３を一つとしてもよく、このようにしてもステージ板３０はＸ方向及びＹ方向に円滑に直線移動する。

次に、本発明の第２の実施形態について図１１及び図１２を参照しながら説明する。なお、第１の実施形態と同じ部材には同じ符号を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
図１１は、本実施形態の手振れ補正装置５’を、ＸアクチュエータＡＸ、ＹアクチュエータＡＹ、制御回路Ｃ、及び振動検出センサＳを省略して示す背面図である。
本実施形態の固定支持基板１０の後面の上部には、１個の自由端支持部１６が突設されている。自由端支持部１６には、自由端支持部１６を、Ｘ方向に貫通し、かつ、Ｙ方向に長いＹ方向長孔（Ｙ方向支持手段）１７が穿設されている。
固定支持基板１０の後面の左側部には、１個のＹ方向案内部１１が突設されている。
Ｙ方向移動部材２０は、断面形状が円形をなす金属棒をＬ字形に加工したものであり、Ｙ方向に延在するＹ方向棒状部２５と、Ｙ方向棒状部２５の上端から図１１の右側に向かって延出するＸ方向棒状部２６とを具備している。Ｘ方向棒状部２６の断面径は、Ｙ方向長孔１７の前後方向寸法と略同一である。

ステージ板３０の上面には、１個のＸ方向案内部３４が突設されており、このＸ方向案内部３４には、Ｘ方向案内部３４をＸ方向に貫通する、断面形状がＸ方向棒状部２６と略同一のＸ方向案内孔３４ａが穿設されている。
ステージ板３０の左側面には、１個の支持部３５が突設されており、この支持部３５には、支持部３５をＹ方向に貫通する支持用溝（回転規制孔）３５ａが設けられている。この支持用溝３５ａは、図１２に示すように、その左端部が開口しており、そのＸ方向長はＹ方向棒状部２５の断面径より長く、その前後方向幅はＸ方向棒状部２５と略同一である。

Ｙ方向移動部材２０は、図１１の左側からステージ板３０に接近させ、そのＸ方向棒状部２６をＸ方向案内部３４のＸ方向案内孔３４ａに貫通させるとともに、そのＹ方向棒状部２５を支持用溝３５ａに嵌合することにより、ステージ板３０にＸ方向に相対移動自在として取り付けられる。

さらに、このようにステージ板３０と一体となったＹ方向移動部材２０を、図１１の左側から右側に直線的に移動させ、そのＸ方向棒状部２６の自由端を、自由端支持部１６のＹ方向長孔１７に嵌合させ、かつ、Ｙ方向棒状部２５を、Ｙ方向案内部１１の開口部１２ｂを通して案内部１２ａに嵌合すると、手振れ補正装置５’が完成し、ＣＣＤ３が採光孔１０ａの直後に位置する。
このように本実施形態でも、Ｙ方向移動部材２０を図１１の左側から右側に直線的に移動させるだけで、Ｙ方向移動部材２０をＹ方向長孔１７と案内部１２ａへ簡単に取り付けることができる。

Ｘ方向棒状部２６の断面径とＹ方向長孔１７の前後方向寸法が同じなので、Ｙ方向移動部材２０はＹ方向棒状部２５回りに回転規制されている。このため、Ｙ方向移動部材２０の中心軸は常に、Ｘ方向及びＹ方向と平行なＸＹ仮想平面Ｐ（図４と同様の平面）上に位置し、Ｙ方向案内部１１、自由端支持部１６、ステージ板３０の各部材もＸＹ仮想平面Ｐ上に位置している。

そして、ステージ板３０にＸアクチュエータＡＸからＸ方向の力が与えられると、ステージ板３０が、ＣＣＤ３の撮像面３ａ全体が採光孔１０ａと前後方向の重合関係を維持し、かつ、支持用溝３５ａとＹ方向棒状部２５が係合関係を維持する範囲で、ステージ板３０がＸ方向棒状部２６に沿ってＸ方向に直線的に往復移動する。
一方、ステージ板３０にＹアクチュエータＡＹからＹ方向の直線的な力が付与されると、Ｙ方向にステージ板３０と一体となっているＹ方向移動部材２０が、ＣＣＤ３の撮像面３ａ全体が採光孔１０ａと前後方向の重合関係を維持する範囲で、Ｙ方向移動部材２０がＹ方向案内部１１の案内部１２ａとＹ方向長孔１７に沿って、Ｙ方向に直線的に往復移動する。

このような本実施形態も、ステージ装置が、固定支持基板１０、Ｙ方向移動部材２０、ステージ板３０とは別体である、ステージ板３０の表裏に当接する位置決め部材を要しない、極めて簡単な構造となっているので、従来の手振れ補正装置（ステージ装置）に比べて、製造コストが低く、かつ組み立てが容易である。
さらに、Ｙ方向棒状部２５を、そのＸ方向長がＹ方向棒状部２５の断面径より長い支持用溝３５ａに嵌合させ、Ｙ方向棒状部２５を支持用溝３５ａ内でＸ方向に移動可能としているので、Ｙ方向棒状部２５や支持用溝３５ａに多少の製造誤差があっても、Ｙ方向棒状部２５に対してステージ板３０をＹ方向に円滑に移動させられる。
また、Ｙ方向棒状部２５がステージ板３０から力を受けて、左右方向に多少弾性変形しても、Ｙ方向棒状部２５と支持用溝３５ａの嵌合関係が維持されていれば、ステージ板３０の移動に支障は出ない。

上記両実施形態では、ステージ板３０にＣＣＤ３を固定して、ＣＣＤ３をＸ方向及びＹ方向に移動させることにより手振れ補正を行っているが、例えば、ＣＣＤ３をステージ板３０の後方に移動不能として配設し、ステージ板３０に円形の取付孔（図示略）を穿設して、この取付孔に補正レンズ（図示略）を嵌合固定し、補正レンズを、レンズＬ１とレンズＬ２の間、またはレンズＬ２とレンズＬ３の間に配置させてもよい。このような構造として補正レンズをＸ方向とＹ方向に直進移動させても、手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズを用いた手振れ補正装置は、ＣＣＤ３を省略することにより、銀塩カメラにも適用可能となる。

なお、Ｙ方向移動部材２０を構成するＹ方向棒状部２１、２５及びＸ方向棒状部２２、２３、２６は、それぞれ完全な直線状部材でなくてもよく、Ｙ方向棒状部２１、２５は、案内部１２ａ、支持用溝３５ａに嵌合する部分のみが直線状であればよく、Ｘ方向棒状部２２、２３、２６は、Ｙ方向長孔１４、Ｘ方向案内孔３１ａ、支持用溝３２ａ、Ｘ方向案内孔３４ａに嵌合するのみが直線状であればよい。
例えば図１３は第１の実施形態のＹ方向移動部材２０の変形例を示しており、Ｙ方向棒状部２１を、Ｙ方向移動部材２０のＹ方向への移動時に案内部１２ａに嵌合する部分のみをＹ方向を向く直線状とし、案内部１２ａに嵌合しない上下両端部を正面視円弧状としてある。この場合は、案内部１２ａに嵌合する直線状部分が特許請求の範囲の「Ｙ方向棒状部」に該当する。同様に、Ｘ方向棒状部２２、２３も、ステージ板３０のＸ方向への移動時にＸ方向案内孔３１ａと支持用溝３２ａに嵌合する部分のみをＸ方向を向く直線状とし、これらの嵌合しない左端部（Ｙ方向棒状部２１との接続部）を正面視円弧状としてある。この場合は、これらの直線状部分がそれぞれ、特許請求の範囲の「Ｘ方向棒状部」に該当する。

以上は、本発明のステージ装置を手振れ補正装置５に利用した実施形態であるが、本発明のステージ装置の用途は手振れ補正装置５に限定されず、一平面内を互いに直交する２方向に移動可能な様々な装置に利用可能である。

さらに、第１及び第２の実施形態では、Ｙ方向案内手段としてＹ方向案内溝１２を設け、Ｙ方向支持手段としてＹ方向長孔１４、１７を設けたが、これら（及びＹ方向案内部１１、自由端支持部１３、自由端支持部１６）に代えて、Ｙ方向棒状部２１、２５を固定支持基板１０との間で弾性把持してＹ方向にのみ摺動自在として案内する、固定支持基板１０の後面に片持ち状態で固着された板バネ（不図示）と、Ｘ方向棒状部２２、２３、２６を固定支持基板１０との間で弾性把持してＹ方向にのみ移動自在として支持する（Ｘ方向棒状部２２、２３、２６がＹ方向棒状部２１、２５を中心に回転しないようにする）、固定支持基板１０の後面に片持ち状態で固着された板バネ（不図示）とを用いることが可能である。
なお、このようにＹ方向案内手段及びＹ方向支持手段として板バネを用いる場合、これらの板バネには、Ｙ方向棒状部２１、２５やＸ方向棒状部２２、２３、２６から力を受けても変形を起こさない程度の剛性が要求される。

本発明の第１の実施形態である手振れ補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。手振れ補正装置の非作動状態の背面図である。図２のIII矢線方向から見た手振れ補正装置のステージ板を省略した側面図である。図２のIV矢線方向から見た手振れ補正装置の底面図である。図２のＶ矢線方向から見た手振れ補正装置のステージ板を省略した側面図である。手振れ補正装置の組み立て状態を、ＣＣＤを省略して示す背面図である。Ｙ方向移動部材をＹ方向長孔の案内部に嵌合する状態を示す、図６のVII−VII線に沿う断面図である。図２のVIII−VIII線に沿う拡大断面図である。手振れ補正装置の作動状態をＣＣＤを省略して示す背面図である。図９のＸ矢線方向から見た手振れ補正装置のステージ板を省略した側面図である。本発明の第２の実施形態のステージ装置の背面図である。図１１のXII−XII線に沿う拡大断面図である。Ｙ方向移動部材の変形例を示す背面図である。

符号の説明

１デジタルカメラ（カメラ）
３ＣＣＤ（撮像素子）
３ａ撮像面
５５’ 手振れ補正装置
１０固定支持基板
１１Ｙ方向案内部
１２Ｙ方向案内溝（Ｙ方向案内手段）（Ｙ方向案内孔）
１２ａ案内部
１２ｂ開口部
１３自由端支持部
１４Ｙ方向長孔（Ｙ方向支持手段）
１６自由端支持部
１７Ｙ方向長孔（Ｙ方向支持手段）
２０Ｙ方向移動部材
２１Ｙ方向棒状部
２２２３Ｘ方向棒状部
２５Ｙ方向棒状部
２６Ｘ方向棒状部
３０ステージ板（Ｘ方向移動部材）
３１Ｘ方向案内部
３１ａＸ方向案内孔
３２支持部
３２ａ支持用溝（回転規制孔）
３４Ｘ方向案内部
３４ａＸ方向案内孔
３５支持部
３５ａ支持用溝（回転規制孔）
Ｏ光軸
ＡＸＸアクチュエータ
ＡＹＹアクチュエータ
Ｃ制御手段（制御回路）
ＰＸＹ仮想平面
Ｓ振動検出センサ
ＸＸ方向
ＹＹ方向

Claims

固定支持基板；
この固定支持基板上に、特定のＹ方向に移動可能に支持されたＹ方向移動部材；及び
このＹ方向移動部材上にＹ方向と直交するＸ方向に移動可能に支持されたＸ方向移動部材；
を備えたステージ装置において、
上記Ｙ方向移動部材は、Ｙ方向に伸びるＹ方向棒状部と、このＹ方向棒状部に接続されＸ方向に伸びるＸ方向棒状部とを備え、
上記固定支持基板は、このＹ方向移動部材のＹ方向棒状部を上記Ｙ方向に摺動自在に案内するＹ方向案内手段と、上記Ｘ方向棒状部の自由端部をＹ方向に移動自在に支持するＹ方向支持手段とを備え、
上記Ｘ方向移動部材は、上記Ｙ方向移動部材に、上記Ｘ方向に摺動自在に支持されていることを特徴とするステージ装置。
請求項１記載のステージ装置において、
上記Ｙ方向案内手段が、上記Ｙ方向棒状部を上記Ｙ方向に摺動自在に案内するＹ方向案内孔であり、
上記Ｙ方向支持手段が、上記Ｘ方向棒状部の自由端部をＹ方向に移動自在に支持し、該Ｘ方向棒状部の上記Ｙ方向棒状部回りの回転を規制するＹ方向長孔であるステージ装置。
請求項１または２記載のステージ装置において、
上記Ｙ方向移動部材は、上記Ｘ方向棒状部を一対備えており、
上記固定支持基板は、一対の上記Ｘ方向棒状部をそれぞれ支持する一対の上記Ｙ方向長孔を備え、
上記Ｘ方向移動部材は、一対の上記Ｘ方向棒状部にＸ方向に摺動自在に支持されているステージ装置。
請求項３記載のステージ装置において、
上記Ｘ方向移動部材が、一方の上記Ｘ方向棒状部に直進案内された状態で嵌合するＸ方向案内孔と、他方の上記Ｘ方向棒状部に、Ｘ方向に相対移動可能かつ一方のＸ方向棒状部回りに回転不能として嵌合する回転規制孔とを備えているステージ装置。
請求項４記載のステージ装置において、
上記回転規制孔の上記Ｙ方向長を、上記他方のＸ方向棒状部の断面の上記Ｙ方向長より長くしたステージ装置。
請求項１または２記載のステージ装置において、
上記Ｙ方向移動部材は、上記Ｘ方向棒状部を一つのみ備えており、
上記Ｘ方向移動部材が、上記Ｘ方向棒状部に直進案内された状態で嵌合するＸ方向案内孔と、上記Ｙ方向棒状部に、Ｙ方向に相対移動可能かつ上記Ｘ方向棒状部回りに回転不能として嵌合する回転規制孔とを備えているステージ装置。
請求項６記載のステージ装置において、
上記回転規制孔の上記Ｘ方向長を、上記Ｙ方向棒状部の断面の上記Ｘ方向長より長くしたステージ装置。
請求項２から７のいずれか１項記載のステージ装置において、
上記固定支持基板の上記Ｙ方向案内孔は、上記Ｙ方向棒状部をその延長方向と直交する方向から挿脱可能な開口部を有し、上記Ｙ方向長孔は、上記Ｙ方向棒状部を該開口部から上記Ｙ方向案内孔に挿入するとき上記Ｘ方向棒状部の自由端部を嵌合させるステージ装置。
請求項１から８のいずれか１項記載のステージ装置において、
上記Ｘ方向移動部材を載せた上記Ｙ方向移動部材をＹ方向に駆動するＹアクチュエータと、上記Ｙ方向移動部材上で上記Ｘ方向移動部材をＸ方向に駆動するＸアクチュエータと、を備えるステージ装置。
請求項９記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
上記Ｘ方向移動部材の前面に固定された、カメラ光学系の結像面に撮像面を有する撮像素子と、
上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、
該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘアクチュエータまたは上記Ｙアクチュエータを、手振れを補正するように駆動させる制御手段と、
を備えるカメラの手振れ補正装置。
請求項９記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
上記Ｘ方向移動部材に固定された、結像面の前方にありカメラ光学系の光軸に対して垂直に配置された、手振れを補正するための補正レンズと、
上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、
該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘアクチュエータまたは上記Ｙアクチュエータを、手振れを補正するように駆動させる制御手段と、
を備えるカメラの手振れ補正装置。