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JP2003066149A - 放射線検出器、放射線検出システム、x線ct装置 - Google Patents

放射線検出器、放射線検出システム、x線ct装置

Info

Publication number
JP2003066149A
JP2003066149A JP2001245571A JP2001245571A JP2003066149A JP 2003066149 A JP2003066149 A JP 2003066149A JP 2001245571 A JP2001245571 A JP 2001245571A JP 2001245571 A JP2001245571 A JP 2001245571A JP 2003066149 A JP2003066149 A JP 2003066149A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
photodiode
data
photodiodes
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001245571A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshikazu Okumura
美和 奥村
Machiko Ono
真知子 小野
Toshihiro Rifu
俊裕 利府
Tomiya Sasaki
富也 佐々木
Michito Nakayama
道人 中山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2001245571A priority Critical patent/JP2003066149A/ja
Publication of JP2003066149A publication Critical patent/JP2003066149A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の目的は、列数を増やすことのできる放
射線検出器、放射線検出システム及びX線CT装置を提
供することにある。 【解決手段】本発明の放射線検出器は、表面側から入射
するX線を光に変換するシンチレータ9と、変換された
光を電気信号に変換するフォトダイオード3を備えたフ
ォトダイオードチップ2と、フォトダイオード3から信
号を読み出すトランジスタ5を備えたスイッチングチッ
プ4と、読み出された信号を増幅し、ディジタル化する
データ収集チップ8とを有し、フォトダイオードチップ
2と、スイッチングチップ4と、データ収集チップ8と
は、リジッド多層配線板30に共通に実装される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線検出器、放
射線検出システムまたはその放射線検出器を備えたX線
コンピュータトモグラフィ装置(以下、X線CT装置)
に関する。
【0002】
【従来の技術】X線CT装置は、X線管と放射線検出器
とを有する。X線管で発生されたX線は、被検体を透過
して、放射線検出器に入射する。検出器は、X線を電気
信号として検出する複数の検出素子を備えている。検出
素子は、X線を光に変換するシンチレータ等の蛍光体
と、その光を電荷(電気信号)に変換するフォトダイオ
ード等の光電変換素子とを有する。最近では、X線を電
荷に直接的に変換する半導体素子を、検出素子に採用す
ることも検討されている。
【0003】近年、マルチスライス型の放射線検出器が
登場している。マルチスライス型の放射線検出器は、ス
ライス方向に沿って並列された複数の検出素子列を備え
ている。検出素子列各々は、スライス方向に略直交する
チャンネル方向に一列に配列された複数の検出素子を有
する。
【0004】このマルチスライス型の放射線検出器は、
列数の増加を要求されている。しかし、従来の放射線検
出器では列数に制限があった。
【0005】放射線検出器の列数の増加を妨げる最大の
要因は、配線構造と接続構造とにある。なおここでは説
明の便宜上、フォトダイオードは、n×m(チャンネル
方向×スライス方向)のマトリクスで配列されているも
のとする。つまり、フォトダイオードは、チャンネル方
向に関してn個配列され、そのフォトダイオード列が、
スライス方向にm個並列されている。
【0006】複数のフォトダイオードと複数のスイッチ
ング素子との間は、複数の信号引出し線を介して接続さ
れる。スライス方向に並んでいるm個のフォトダイオー
ドのm本の信号引出し線は、チャンネル方向に関して隣
のフォトダイオードとの間のギャップに形成されてい
る。
【0007】従って、フォトダイオードの列数は、チャ
ンネル方向に関して隣り合うフォトダイオードのギャッ
プに形成可能な信号引き出し線の本数に依存して決まっ
てしまう。またギャップを拡大すれば、信号引き出し線
の本数を増加することは可能であるが、その場合、ギャ
ップの拡大に反比例してフォトダイオードの有感域の面
積が縮小されるので、感度が低下してしまう。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、列数
を増やすことのできる放射線検出器、放射線検出システ
ム及びX線CT装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の放射線検出器
は、表面側から入射するX線を光に変換するシンチレー
タと、変換された光を電気信号に変換する複数のフォト
ダイオードを備えた少なくとも1つのフォトダイオード
チップと、複数のフォトダイオードから複数の信号を読
み出す複数のスイッチング素子を備えた少なくとも1つ
のスイッチングチップと、読み出された複数の信号を増
幅し、ディジタル化する複数のデータ収集部を備えた少
なくとも1つのデータ収集チップとを有する。フォトダ
イオードチップと、スイッチングチップと、データ収集
チップとは、リジッド多層配線板に共通に実装される。
【0010】
【発明の実施の形態】以下では、本発明の実施形態につ
いて図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態は、
2次元アレイ型の放射線検出器、およびその放射線検出
器を装備したX線CT装置(X線コンピューテッドトモ
グラフィ装置)に関する。X線CT装置には、X線管と
放射線検出器とが1体として被検体の周囲を回転する回
転/回転(ROTATE/ROTATE)タイプと、リング状に多数
の検出素子がアレイされ、X線管のみが被検体の周囲を
回転する固定/回転(STATIONARY/ROTATE)タイプ等様
々なタイプがあり、いずれのタイプでも本発明を適用可
能である。ここでは、現在、主流を占めている回転/回
転タイプとして説明する。
【0011】また、1ボリュームの(=1つのボリュー
ムデータを構成する)ボクセルデータ(又は1枚の断層
像)(いずれも後述)を再構成するには、被検体の周囲
1周、約360°分の投影データが、またハーフスキャ
ン法でも210〜240°程度分の投影データが必要と
される。いずれの方式にも本発明を適用可能である。こ
こでは、一般的な前者の約360°分の投影データから
1ボリュームのボクセルデータ(又は1枚の断層像)を
再構成するものとして説明する。
【0012】また、入射X線を電荷に変換するメカニズ
ムは、シンチレータ等の蛍光体でX線を光に変換し更に
その光をフォトダイオード等の光電変換素子で電荷に変
換する間接変換形と、特定の半導体のX線により半導体
内の電子正孔対の生成及びその電極への移動すなわち光
導電現象を利用した直接変換形とが主流である。X線検
出素子としては、それらのいずれの方式を採用してもよ
いが、ここでは、前者の間接変換形として説明する。
【0013】また、以下でフォトダイオードの有感域の
幅は、X線管の回転中心軸上での換算値として定義す
る。つまり、「1mmの有感域幅を有するフォトダイオ
ード」とは、「X線管の回転中心軸上で1mmに相当す
る有感域幅を有するフォトダイオード」を意味し、X線
が放射状に拡散することを考慮すると、フォトダイオー
ドの実際の有感域の幅は、X線焦点と回転中心軸との距
離に対するX線焦点とフォトダイオードの有感域との実
際の距離の比率に従って、1mmより若干広くなる。
【0014】(第1実施形態)図1は、第1実施形態に
係る放射線検出器の斜視図に示している。放射線検出器
は、スライス方向に沿って略円弧状に配列される複数の
検出器モジュール1から構成される。図2(a)は、1
つの検出器モジュール1の構成を概略的に示している。
図2(b)は、1つの検出器モジュール1の断面部を示
している。
【0015】各検出器モジュール1は、入射放射線(こ
こではX線)を光に変換するシンチレータ9と、変換さ
れた光を電気信号に変換する少なくとも1つのフォトダ
イオードチップ2と、フォトダイオードチップ2から電
気信号を読出す少なくとも1つのスイッチングチップ4
と、読み出された電気信号を増幅し、ディジタル化する
少なくとも1つのDASチップ(データ収集システムチ
ップ)8とが、セラミック製のリジッドな1枚のプリン
ト配線板10に共通に実装されてなる。リジッドプリン
ト配線板10はスライス方向に長く、フォトダイオード
チップ2と、スイッチングチップ4と、DASチップ8
とは、リジッドプリント配線板10上でスライス方向に
沿って配置される。
【0016】フォトダイオードチップ2は、シリコン基
板の表面に複数のフォトダイオード3と、複数のAl配
線14とが形成されてなる。N個のフォトダイオード3
が、スライス方向に関して、一定のギャップを隔てて配
列される。チャンネル方向に関しては、M個のフォトダ
イオード3が、同じ一定のギャップを隔てて配列され
る。なお、スライス方向は、被検体の体軸方向に略平行
である。チャンネル方向は、被検体の体軸方向に略直交
する。
【0017】複数のAl配線14は、複数のフォトダイ
オード3にそれぞれ接続される。スライス方向に関して
フォトダイオードチップ2の右側の半分のエリアに配置
されている(N/2)×M個のフォトダイオード3は、
スライス方向と略平行にギャップに形成された(N/
2)×M本のAl配線14を介して右外側に引き出され
る。同じスライス列の(N/2)個のフォトダイオード
3に対応する(N/2)本のAl配線14は、隣のスラ
イス列との間のギャップに高密度に形成されている。
【0018】スライス方向に関してフォトダイオードチ
ップ2の左側の半分のエリアに配列されている(N/
2)×M個のフォトダイオード3は、スライス方向と略
平行にギャップに形成された(N/2)×M本のAl配
線14を介して左外側に引き出される。同じスライス列
の(N/2)個のフォトダイオード3に対応する(N/
2)本のAl配線14は、隣のスライス列との間のギャ
ップに高密度に形成されている。
【0019】左右に引き出されたAl配線14は、それ
ぞれトランジスタ5を介して、(N/2)本ずつ信号読
出し線7に共通接続される。
【0020】ギャップの幅と、配線14の太さ、配線1
4の間隔とにより、ギャップに形成できる配線14の本
数が決まる。それによりスライス方向のフォトダイオー
ド3の配列個数(スライス列数)が決まる。本実施形態
では、配線14を左右に分けて引き出したので、スライ
ス方向のフォトダイオード3の配列個数は、ギャップに
形成できる配線14の本数の2倍で与えられる。
【0021】スイッチングチップ4各々は、シリコン基
板上に、CMOS型の複数のトランジスタ5がスイッチ
ング素子として形成されてなる。複数のトランジスタ5
は、複数のフォトダイオード3にそれぞれ接続される。
同じ側の同じスライス列上に配置されたN/2個のフォ
トダイオード3は、N/2本の配線14、N/2個のト
ランジスタ5を介して、信号読出し線7に共通に接続さ
れる。信号読出し線7にはDASチップ8が接続され
る。
【0022】トランジスタ5のオンによりフォトダイオ
ード3に蓄積された電荷が電流信号として信号読み出し
線7に読み出される。トランジスタ5のオン/オフ(ゲ
ート電圧)は、読み出し制御回路6により制御される。
上述したようにスライス方向に並んでいるN/2本の配
線14が信号読出し線7に共通に接続されているので、
対応するN/2個のトランジスタ5を個々に順番にオン
することにより、N/2個のフォトダイオード3の信号
を個々に順番に読み出すことができる。また、各信号読
出し線7にDASチップ8が個々に接続されているの
で、N/2個のフォトダイオード3をシリアルに読み出
すために要する時間で、モジュール内の全てのフォトダ
イオード3の信号読み出しを完了することができる。
【0023】また、隣り合う複数個のフォトダイオード
3に対応する複数個のトランジスタ5を同時にオンする
と、当該複数個のフォトダイオード3からの信号はアナ
ログ的に加算され得る。この場合、当該複数個のフォト
ダイオード3は、1つのチャンネルを構成することとな
る。このような配線構造及び電子的な読出し制御によ
り、スライス厚を任意に変更することができる。
【0024】複数のフォトダイオード3に接続された複
数のAl配線14は、ワイヤボンディングテクニックに
より、複数の金属ワイヤ11を介して、リジッドプリン
ト配線板10の複数の接点に接続される。スイッチング
チップ4の表面に形成された複数のバンプ12は、プリ
ップチップテクニックにより、リジッドプリント配線板
10の表面に形成された対応する複数のバンプに半田で
接続される。同様に、DASチップ8の表面に形成され
た複数のバンプ13は、プリップチップテクニックによ
り、リジッドプリント配線板10の表面に形成された対
応する複数のバンプに半田で接続される。
【0025】上述したように、Al配線14を左右に引
き出したことで、スライス方向に関して形成可能なフォ
トダイオード3の個数を、Al配線14を一方向だけに
引き出す場合の2倍に増加させることができる。また、
Al配線14を左右に引き出したことで、リジッドプリ
ント配線板10とフォトダイオードチップ2との間のワ
イヤボンディングエリアを拡大することができるので、
フォトダイオード3の個数の増加に対応することができ
る。
【0026】また、共通の1枚のリジッドプリント配線
板10に、フォトダイオードチップ2を、スイッチング
チップ4、DASチップ8を実装したことにより、これ
ら3者間の接続が容易になり、フォトダイオード3の個
数の増加に対応することができる。
【0027】また、N/2本の配線14を信号読出し線
7に共通接続したことにより、スイッチングチップ4と
DASチップ8との間の信号読出し線の本数を減らすこ
とができる。また、N/2本の配線14を信号読出し線
7に共通接続した簡単な構成により、トランジスタ5の
電子的な制御で、スライス厚を簡単に変更することがで
きる。
【0028】(第2実施形態)上記第1実施形態では、
シリコン基板表面に形成した複数のAl配線により複数
のフォトダイオードを電気的に引き出している。そのた
めAl配線の本数、つまりスライス方向に配列するフォ
トダイオードの個数(列数)が、Al配線を形成するフ
ォトダイオードのギャップの幅の制約を受けている。
【0029】第2実施形態では、複数のフォトダイオー
ドを、シリコン基板を表面から背面にかけて貫通する貫
通配線により背面に電気的に引き出すことにより、上記
制約を緩和するものである。
【0030】図3には第2実施形態による放射線検出器
を構成する検出器モジュールの断面図を示し、図4に図
3の貫通配線構造を詳細に示す断面図である。セラミッ
ク製のリジッドなプリント配線板22上に、少なくとも
1つのフォトダイオードチップ20と、少なくとも1つ
のスイッチングチップ4と、少なくとも1つのDASチ
ップ8とが、共通に実装される。
【0031】スイッチングチップ4の表面に形成された
複数のバンプ12は、プリップチップテクニックによ
り、リジッドプリント配線板20の表面に形成された複
数のバンプに半田で接続される。同様に、DASチップ
8の表面に形成された複数のバンプ13は、プリップチ
ップテクニックにより、リジッドプリント配線板10の
表面に形成された複数のバンプに半田で接続される。
【0032】複数のフォトダイオード5は、シリコン基
板24の表面にマトリクス状に形成される。複数のフォ
トダイオード5は、シリコン基板24の表面に形成され
た複数のAl配線22にそれぞれ接続される。複数のA
l配線22は、シリコン基板24の表面から裏面にかけ
て貫通する複数の貫通配線23にそれぞれ接続される。
複数の貫通配線23の側面は例えば酸化シリコンにより
絶縁されている。複数の貫通配線23の後端には、シリ
コン基板24の裏面において、複数のバンプ21が形成
されている。このように複数のフォトダイオード5は、
複数の貫通配線23を介して、裏面に電気的に引き出さ
れている。
【0033】シリコン基板24の裏面に形成された複数
のバンプ21は、リジッドプリント配線板22の表面に
形成された対応する複数のバンプに半田で接続される。
【0034】このように複数のフォトダイオード5を、
複数の貫通配線23により、基板裏面に引き出すように
したので、スライス方向に配列するフォトダイオード5
の個数(列数)を上記制約から解放して、増加させるこ
とが可能となる。
【0035】(第3実施形態)放射線検出器は、X線C
T装置のガントリハウジング内に収容される。検出器モ
ジュールのスライス方向に関する幅は、ガントリハウジ
ングの内部空間の大きさにより制限を受ける。上述した
ように、リジッドなプリント配線板の表面に、フォトダ
イオードチップと、スイッチングチップと、DASチッ
プとを共通に実装する場合、フォトダイオードチップの
実装面積が、スイッチングチップと、DASチップとに
圧迫される。従って、スライス方向に配列するフォトダ
イオード5の個数(列数)は、フォトダイオードチップ
の実装面積によって制約を受ける。
【0036】第3実施形態は、この制約を軽減する。図
5には第3実施形態による放射線検出器を構成する検出
器モジュールの断面図を示している。リジッドな多層配
線板30の表面に、少なくとも1つのフォトダイオード
チップ20と、少なくとも1つのスイッチングチップ4
とが実装される。リジッドな多層配線板30の裏面に
は、少なくとも1つのDASチップ8が実装される。D
ASチップ8を裏面に配置したことで、検出器モジュー
ルのスライス方向に関する幅を拡大して、スライス方向
に配列するフォトダイオード5の個数(列数)を増加さ
せることができる。
【0037】フォトダイオードチップ20の複数のフォ
トダイオードは、シリコン基板を表面から裏面にかけて
貫通する複数の貫通配線を介して、多層配線板30の表
面に形成されたプリント配線の複数の端子に接続され、
さらに表面プリント配線を介してスイッチングチップ4
の複数のトランジスタに接続される。
【0038】スイッチングチップ4の表面に形成された
複数のバンプ12は、プリップチップテクニックによ
り、リジッド多層配線板30の表面に形成された対応す
る複数のバンプに半田35で接続される。
【0039】DASチップ8の表面に形成された複数の
バンプ13は、プリップチップテクニックにより、リジ
ッド多層配線板30の裏面に形成された対応する複数の
バンプに半田で接続される。
【0040】図6には、多層配線板30の断面構造を示
している。多層配線板30は、積層される複数枚の薄い
配線基板31〜34から構成される。複数の配線基板3
1〜34の相互間は、複数のビアホールにより接続され
る。
【0041】各配線基板31〜34の配線の引き回し、
および複数の配線基板31〜34間での配線の接続は、
スイッチングチップ4の複数のバンプ12と、それに対
応するDASチップ8のバンプ13とを接続するため
に、設計されている。
【0042】このように多層配線板30により、DAS
チップ8を裏面に配置することが可能となる。それによ
りDASチップ8により圧迫されていたフォトダイオー
ドチップの実装面積を拡大して、スライス方向に配列す
るフォトダイオード5の個数(列数)を増加させること
が可能となる。
【0043】(第4実施形態)図7は、第4実施形態に
よる検出器モジュールの断面図である。第3実施形態で
は、多層配線板の表面にフォトダイオードチップと、ス
イッチングチップとを実装し、多層配線板の裏面に、D
ASチップを実装することにより、フォトダイオードチ
ップの実装面積を拡大する。
【0044】それに対して、第4実施形態は、多層配線
板40の表面にフォトダイオードチップ20だけを実装
し、多層配線板40の裏面に、DASチップ8ととも
に、スイッチングチップ4をも実装することにより、フ
ォトダイオードチップ20の実装面積をさらに拡大す
る。
【0045】フォトダイオードチップ20の複数のフォ
トダイオードは、シリコン基板を表面から裏面にかけて
貫通する複数の貫通配線を介して、多層配線板40の表
面に形成された複数の端子に接続される。
【0046】スイッチングチップ4の表面に形成された
複数のバンプ12は、プリップチップテクニックによ
り、リジッド多層配線板40の裏面に形成された対応す
る複数のバンプに半田で接続される。
【0047】DASチップ8の表面に形成された複数の
バンプ13は、プリップチップテクニックにより、リジ
ッド多層配線板40の裏面に形成された対応する複数の
バンプに半田で接続される。
【0048】多層配線板40を構成する複数の配線基板
それぞれの配線の引き回し、および複数の配線基板間で
の配線の接続は、フォトダイオードチップ20の複数の
フォトダイオードを、それぞれ対応するスイッチングチ
ップ4の複数のトランジスタに接続するために、設計さ
れている。
【0049】このように、多層配線板40の表面にフォ
トダイオードチップ20だけを実装し、多層配線板40
の裏面に、スイッチングチップ4とDASチップ8とを
実装することにより、フォトダイオードチップ20の実
装面積をさらに拡大して、スライス方向に配列するフォ
トダイオード5の個数(列数)の増加を促進することが
可能となる。
【0050】(第5実施形態)図8には第5実施形態に
よる放射線検出器を構成する検出器モジュールの断面図
を示している。セラミック製のリジッドなプリント配線
板52上に、スイッチングチップ50と、DASチップ
8とが実装され、スイッチングチップ50の表面上にフ
ォトダイオードチップ20が実装されている。
【0051】スイッチングチップ50の表面には複数の
バンプが形成され、フォトダイオードチップ20の裏面
の複数のバンプに半田で接続される。スイッチングチッ
プ50の裏面にも複数のバンプ51が形成され、貫通配
線を介して表面の複数のトランジスタに接続される。ス
イッチングチップ50の裏面の複数のバンプ51は、リ
ジッドプリント配線板52の表面に形成された対応する
複数のバンプに半田で接続される。同様に、DASチッ
プ8の表面に形成された複数のバンプ13は、プリップ
チップテクニックにより、リジッドプリント配線板52
の表面に形成された複数のバンプに半田で接続される。
【0052】このようにスイッチングチップ50の表面
上にフォトダイオードチップ20を実装するようにして
も、第3実施形態と同様の効果を奏することができる。
【0053】(第6実施形態)図9には第6実施形態に
よる放射線検出器を構成する検出器モジュールの断面図
を示している。リジッドな多層配線板60の表面上に、
スイッチングチップ50が実装され、リジッドな多層配
線板60の裏面上にDASチップ8が実装され、スイッ
チングチップ50の表面上にフォトダイオードチップ2
0が実装されている。
【0054】スイッチングチップ50の表面には複数の
バンプが形成され、フォトダイオードチップ20の裏面
の複数のバンプに半田で接続される。スイッチングチッ
プ50の裏面にも複数のバンプ51が形成され、貫通配
線を介して表面の複数のトランジスタに接続される。ス
イッチングチップ50の裏面の複数のバンプ51は、多
層配線板60の表面に形成された対応する複数のバンプ
に半田で接続される。DASチップ8の表面に形成され
た複数のバンプ13は、プリップチップテクニックによ
り、多層配線板60の裏面に形成された複数のバンプに
半田で接続される。
【0055】多層配線板60を構成する複数の配線基板
それぞれの配線の引き回し、および複数の配線基板間で
の配線の接続は、スイッチングチップ4の複数のトラン
ジスタを、それぞれ対応するDASチップ8の複数のバ
ンプに接続するために、設計されている。
【0056】このようにスイッチングチップ50の表面
上にフォトダイオードチップ20を実装し、また多層配
線板60の裏面にDASチップ8を実装するようにして
も、第4実施形態と同様の効果を奏することができる。
【0057】以上のように第1〜第6の実施形態は、以
下に説明する様々な応用に発展され、また具体的で有意
な構成を実現することができる。
【0058】(第7実施形態)図10には、第7実施形
態に係るX線CT装置の構成を示している。回転リング
102は、架台駆動部107により1回転あたり1秒以
下という高速回転で駆動される。この回転リング102
には、有効視野領域FOV内に載置された被検体Pに対
してコーンビーム(四角錐)状、又はファンビーム状のX
線を発生するためのX線管101が取り付けられてい
る。X線管101には、X線の曝射に必要な電力が高電
圧発生装置109からスリップリング108を介して供
給される。これによりX線管101は、被検体の体軸方
向に直交するチャンネル方向Cと、それに直交するスラ
イス方向A(=回転軸に平行な方向)との2方向に広が
る、いわゆるコーンビームX線又はファンビームX線を
発生する。
【0059】また、回転リング102には、被検体Pを
透過したX線を検出するための放射線検出器103がX
線管101に対向する向きで取り付けられている。放射
線検出器103は、複数(例えば38個)の検出器モジ
ュールから構成されている。図11には1つの検出器モ
ジュールの展開図を示している。検出器モジュール10
30は、シンチレータと、フォトダイオード1031、
1032からなる複数の検出素子を有するフォトダイオ
ードチップとを有している。複数の検出素子1031、
1032は、チャンネル方向Cとスライス方向Sとの2
方向に関してマトリクス状に配列される。なお、本実施
形態におけるX線CT装置では、複数の検出器モジュー
ル1030は、平面的ではなく、X線管101の焦点を
中心とした円弧に沿って配列される。
【0060】検出器モジュール1030は、上述したよ
うに複数の検出素子1031、1032を有するフォト
ダイオードチップとともに、スイッチングチップ、DA
Sチップを有している。これらフォトダイオードチッ
プ、スイッチングチップ、DASチップは、単一のリジ
ッドなプリント配線板上に実装される。
【0061】一方の検出素子1031は、スライス方向
に関する幅が0.5mmで、チャンネル方向に関する幅
が1mmの有感域を備えている。他方の検出素子103
2は、スライス方向に関する幅が1mmで、チャンネル
方向に関する幅が1mmの有感域を備えている。
【0062】0.5mm幅の検出素子1031は、スラ
イス方向Cに例えば16個並べられる。なお、スライス
方向Cに並べられた16個の検出素子1031を、第1
の検出素子列群1033と称する。また、1mm幅の検
出素子1032は、スライス方向Sに関し、第1の検出
素子列1033の両側それぞれに、検出素子1031の
配列個数よりも少ない複数個、例えば12個ずつ並べら
れる。スライス方向Cに並べられた12個の検出素子1
032を、第2の検出素子列群1034と称する。
【0063】本実施形態では、スライス方向Cに並べら
れた検出素子1031の個数(例えば16個)は、その
両側それぞれに配置された検出素子1032の個数(例
えば12個)よりも多く、そのトータル個数(例えば2
4個)よりも少なく成るように設計されている。
【0064】このような放射線検出器103で検出され
たM×N(上記の例でいえば、M=24行×38個=9
12であり、N=40(=16列+2×12列)であ
る。)の全チャンネルに関する膨大なデータ(1ビェー
あたりのM×Nチャンネル分のデータを以下「2次元投
影データ」という。)は、チップ化されているデータ収
集回路(DAS)104に一旦集められ、そして、一括
して光通信を応用した非接触データ伝送装置105を介
して後述のデータ処理ユニットに伝送される。
【0065】なお、放射線検出器103による検出動作
は、1回転(約1秒)の間に、例えば1000回程度繰
り返され、それによりM×Nチャンネル分の膨大な2次
元投影データが1秒(1回転)あたり1000回発生
し、このような膨大でしかも高速に発生する2次元投影
データを時間遅れなく伝送するために、データ収集回路
104及び非接触データ伝送装置105は超高速処理化
が図られている。
【0066】データ処理ユニットは、ホストコントロー
ラ110を中心として、データ補正等の前処理を行う前
処理装置106、記憶装置111、補助記憶装置11
2、データ処理装置113、再構成装置114、入力装
置115及び表示装置116が、データ/制御バス30
0を介して相互接続されている。さらに、このバス30
0を介して、補助記憶装置201、データ処理装置20
2、再構成装置203、入力装置204及び表示装置2
05からなる外部の画像処理装置200が接続されてい
る。
【0067】以下では、上記構成例となるX線CT装置
についての作用効果について説明する。なお、以下で
は、上記放射線検出器103により検出された被検体透
過X線データに基づいて、複数のボクセルデータから構
成されるボリュームデータを再構成し、ここから任意断
面の断層像、任意方向からの投影像及び三次元表面表示
像等の各種像を再構成する場合(作用)について説明す
る。
【0068】図12に、本実施形態のX線CT装置にお
けるデータの処理及びその流れを示している。被検体を
透過したX線は、放射線検出器103においてアナログ
電気信号の2次元投影データに変換され、さらにデータ
収集回路104でディジタル電気信号の2次元投影デー
タに変換された後、非接触データ伝送装置105を介し
て、各種補正を行う前処理装置106に送られ、感度補
正等を受ける。
【0069】なお、以下でフォトダイオードの有感域の
幅は、X線管の回転中心軸上での換算値として定義す
る。つまり、「1mmの有感域幅を有するフォトダイオ
ード」とは、「X線管の回転中心軸上で1mmに相当す
る有感域幅を有するフォトダイオード」を意味し、X線
が放射状に拡散することを考慮すると、フォトダイオー
ドの実際の有感域の幅は、X線焦点と回転中心軸との距
離に対するX線焦点とフォトダイオードの有感域との実
際の距離の比率に従って、1mmより若干広くなる。
【0070】ここで、放射線検出器103におけるアナ
ログ電気信号への変換作用は、スライス方向A中央付近
で検出されたX線については、幅0.5mmの検出素子
1031aから構成された第1の検出素子列1033に
より行われ、残りの部分については、より幅の大きい幅
1mmの検出素子1032から構成された第2の検出素
子列1034により行われることになる。つまり、第1
の検出素子列1033によれば、残りの部分と比較し
て、より高い分解能を保持したまま、2次元投影データ
の収集及びアナログ電気信号への変換作用が達成される
ことになる。
【0071】また、本実施形態のX線CT装置における
X線管101は、上述したように、コーンビーム状、又
はファンビーム状のX線を発生させる。そして、このよ
うなX線管101においては、該X線管101近傍に適
当な構成となるコリメータを設置すること等により、該
コリメータの開口度を変化させることで、コーンビーム
状、又はファンビーム状のX線のビーム厚を変更するこ
と、つまり被検体に対する「スライス幅(=複数の均等
な「スライス厚」を束ねた大きさ)」を変更することが
可能である。
【0072】図13には、0.5mm厚のスライスを1
6枚撮影する場合に用いられる検出素子を斜線で示して
いる。図14には、1mm厚のスライスを16枚撮影す
る場合に用いられる検出素子を斜線で示している。ま
た、図15には、1mm厚のスライスを32枚撮影する
場合に用いられる検出素子を斜線で示している。
【0073】0.5mm厚のスライスを16枚撮影する
場合、0.5mm幅の検出素子1031の電気信号を個
別に読み出すことにより、0.5mm厚の16枚の断層
像を再構成可能なデータを収集することができる。
【0074】また、1mm厚のスライスを16枚撮影す
る場合、隣り合うペアの0.5mm幅の検出素子103
1の電気信号を同時に読み出すことにより、隣り合うペ
アの0.5mm幅の検出素子1031を単一素子の如く
取り扱って、また中心に近い両側それぞれで4個ずつ、
合計8個の1mm幅の検出素子1032の電気信号を個
別に読み出すことにより、1mm厚の16枚の断層像を
再構成可能なデータを収集することができる。
【0075】また、1mm厚のスライスを32枚撮影す
る場合、隣り合うペアの0.5mm幅の検出素子103
1の電気信号を同時に読み出すことにより、隣り合うペ
アの0.5mm幅の検出素子1031を単一素子の如く
取り扱って、また1mm幅の検出素子1032の電気信
号を個別に読み出すことにより、1mm厚の32枚の断
層像を再構成可能なデータを収集することができる。
【0076】もちろん、信号読出し方法を変えることに
より、スライス厚を2mm、3mm、等様々に変更させ
ることが可能である。また、そのスライス数も、1枚か
ら40枚まで任意に変更可能である。さらに、複数種類
のスライス厚のデータを同時に収集することも可能であ
る。さらに、0.5mm,1mm,2mm,3mm,4
mmのいずれか任意のスライス厚で8枚のスライスを収
集することも可能である。
【0077】このような信号の読出し制御は、第1実施
形態で説明したように、同じスライス列上の複数のフォ
トダイオードを複数のトランジスタを介して単一の共通
信号線に接続することにより、トランジスタのオン/オ
フ制御により実現され得る。
【0078】なお、上記では0.5mmスライス時にお
いて、第1の検出素子列1033をを使用する形態につ
いて述べたが、これに代え、0.5mmスライス時にお
いて、上記第1の検出素子列1033の「8列」のみを
使用するような形態としてもよい。その他、各スライス
時においても種々のケースを考えることができるが、い
ずれにしても、16列でない「8列」や、場合により
「4列」等を使用するモードとしてもよい。
【0079】さて、前処理装置106で感度補正やX線
強度補正等を受けた360゜分、つまり1000セット
の2次元投影データは、直接、あるいは記憶装置111
に一旦記憶される。その後、この2次元投影データは再
構成装置114に送られ、ここで、Feldkamp法
と呼ばれる再構成アルゴリズムにより、該データに基づ
く再構成が行われる。
【0080】Feldkamp再構成法は、スライス方
向Aに広い対象領域を複数のボクセルの集合体として扱
って、X線吸収係数の3次元的分布データ(以下「ボリ
ュームデータ(複数のボクセルデータが立体的(3次元
的)に集合したもの)」という。)を発生するために、フ
ァンビーム・コンボリューション・バックプロジェクシ
ョン法をもとに改良された近似的再構成法である。つま
り、Feldkamp再構成法は、データをファン投影
データとみなして畳み込み、そしてバックプロジェクシ
ョンは、回転中心軸に対して実際のコーン角に応じた斜
めのレイに沿って行うものである。なお、改良されてい
ないファンビーム・コンボリューション・バックプロジ
ェクション法は、バックプロジェクションで、レイを回
転中心軸に対して直交するものと仮定するので、アーチ
ファクトが強く現れる。
【0081】従って、Feldkamp再構成法を採用
することにより、スライス方向に広い検出器を有効に活
用することができる。
【0082】再構成されたボリュームデータは、直接、
あるいは記憶装置111に一旦記憶された後、データ処
理装置113に送られて、オペレータの指示に基づき、
既に広く用いられている、任意断面の断層像、任意方向
からの投影像、レンダリング処理による特定臓器の3次
元表面画像等のいわゆる疑似3次元画像データに変換さ
れて、表示装置116に表示される。
【0083】オペレータは、検査・診断の目的に応じ
て、上記任意断面の断層像、任意方向からの投影像及び
3次元表面画像等の中から任意の表示形態を選択し、設
定することが可能である。この場合つまり、一つのボリ
ュームデータから、異なる形態での画像を生成し、表示
することになる。また、表示の際には、1種類の画像だ
けでなく、複数種類の画像を同時に表示するモードも備
え、目的に応じて一つの画像を表示するモードとの切り
替えが可能であるようになっている。
【0084】ちなみに、上記にいう「任意断面の断層
像」とは、図16に示すように、従来のX線CT装置で
得られる体軸に直交した断面(アキシャル断面)AXだ
けではなく、サジタル断面SA、コロナル断面COとい
った、アキシャル断面AXに直交する断面、さらには、
これらの断面AX、SA及びCOに対して傾いたオブリ
ーク断面OBについての断層像のこと等をいう。これら
は、上記ボリュームデータから、指定された断面につい
て、やはり指定された厚さのボクセルデータを抽出し、
束ねて表示する。
【0085】また、「任意方向からの投影像」とは、ボ
リュームデータに対して、当該任意方向として設定され
た方向に並んだボクセルデータについて、例えば、最大
値をピックアップし、また該並んだボクセルデータの積
算値をとる等して、これを2次元画像として表示するも
のである。さらに、「3次元表面画像」とは、例えば、
設定されたしきい値による表面を抽出し、設定された光
源による陰影により、表面を3次元的に表示する方法で
ある。この場合、しきい値を変化させながら観察するこ
とで、内部の構造も把握できる。
【0086】このように本実施形態におけるX線CT装
置では、一つのボリュームデータを通じて各種の画像を
取得することができるが、上記放射線検出器103を採
用することによれば、以上説明したことに基づき、以下
に記す効果を享受することが可能となる。すなわち、上
記ボリュームデータを構成するボクセルデータのサイズ
は、システムのジオメトリ、及びデータ収集速度等によ
って変化するとともに、上記放射線検出器103を構成
する検出素子1031、1032のサイズにも大きく依
存する。この点、本実施形態における放射線検出器10
3によれば、幅の小さな検出素子1031を多列(上記
例では16列)備えていることにより、ボクセルデータ
一つにつき、例えば最小で、0.5mm×0.5mm×
0.5mm程度を達成しつつ比較的広範囲な撮影を実施
することが可能である。つまり、広範囲かつ高分解能が
維持される。
【0087】また一方で、本実施形態の放射線検出器1
03は、検出素子1031、1032の多列化構造を有
しているから、1回転で大きなボリュームデータを得る
ことができるので、「広範囲」で、かつ等方位性(is
otropic)のボクセルデータを収集することがで
きる。従って、任意断面の断層像の分解能を略等しくす
ることができ、臨床上有用な画像を取得することができ
る。すなわち、X軸、Y軸及びZ軸すべてに関し、等方
位性ボクセルでデータを収集することが可能となるた
め、アキシャル断面AX、サジタル断面SA及びコロナ
ル断面COそれぞれの断層像につき、同じ分解能で表現
された画像に基づく診断を行うことができる。臨床的に
は、頭部0.5mm、腹部1mmスライスを基本とし
て、いわゆるisotropicを実現できる。
【0088】なお、「広範囲」な撮影が可能であること
いうことは、「迅速」な撮影が可能であること、つまり
被検体に対するトータル的な被爆量を低減すること等が
可能であることを示唆するものであるが、そのこととは
別に、本実施形態における放射線検出器103によれ
ば、幅の小さい検出素子31aの配設数(ないし列数)
が、幅の大きい検出素子31のそれよりも小さくされて
いるから、例えば従来の技術で述べたような特表平8−
509896号が開示する2次元アレイ型検出器で検出
素子の小型化を図る場合のように、取り扱わなければな
らないデータ数が膨大になるということがなく、この点
からも、「迅速」な処理が可能である点を指摘すること
ができる。むろん、当該公報に関し問題指摘した「クロ
ストーク」の問題も、本実施形態においては大きな問題
とならないことが明白である。
【0089】なおまた、本実施形態における放射線検出
器103によれば、X線管101及び放射線検出器10
3を連続回転させる撮影につき、特有の効果を奏する。
【0090】まず、1回転のスキャンによれば、上記デ
ータ処理を行うことにより、既に述べたように、1回転
だけで得られた多方向からの2次元投影データから、ス
ライス方向Aに広い対象領域について、スライス方向A
に時間差のない、一つのボリュームデータを求めること
ができる。そして、アキシャル断面AX以外でも、ある
時刻(同一時刻)における断層像を観察することが可能
となる。この場合の表示画像の形態は、上述したよう
に、任意断面の断層像、任意方向の投影像及び三次元表
面画像等から選択・設定することが可能である。
【0091】そして、連続回転スキャンによれば、複数
回転で得られた多方向からの2次元投影データに対し
て、1回転の場合と同様の処理を繰り返して行う場合に
は、得られるボリュームデータが一つではなく複数とな
る。1回転毎に再構成する場合でも回転数と同じ数のセ
ットが得られるし、再構成に使用するデータの範囲(シ
ステムの回転角度の範囲)を少しずつズラしていくこと
により、時間的に少しずつ異なる、より多くのボリュー
ムデータが得られる。
【0092】なお、この連続回転スキャンの場合におけ
る表示画像の形態については、1回転の場合と同様、オ
ペレータの設定に応じて、任意断面の断層像、任意方向
からの投影像、3次元表面画像等の中から選択可能であ
る。
【0093】また、上記時間的に少しずつ異なるボリュ
ームデータから、設定された表示形態での時間的に少し
ずつ異なる画像を生成し、これを順番に表示することに
よれば、オペレータは、当該画像を、図17に示すよう
に、動画としてリアルタイムに観察することが可能とな
る。つまり、連続スキャンと並行して画像を動画として
表示することが可能となる。
【0094】なお以下では、この連続回転スキャンの場
合におけるデータ処理につき、少々説明を加えておく。
ただし、以下では、1つの3次元画像データを再構成す
るのに必要な投影データの角度範囲を、360°として
説明するが、既に述べたように、該角度範囲を、360
°ではない角度、例えば180°+ビュー角としてもよ
い。
【0095】まず、被検体の周囲をX線管101が、放
射線検出器103と共に高速に連続回転する。1回転あ
たりに要する時間は、t0(上記例では、1秒)であ
る。次々と収集される投影データはほぼ実時間で前処理
を受ける。そして、再構成装置114では、前処理され
た360°分の投影データに基づいて、ボリュームデー
タ“I”を再構成する。そして、再構成されたボリュー
ムデータIに基づいて、データ処理装置113で、任意
断面の断層像、任意方向からの投影像、3次元表面画像
等の画像データ“DI”が生成される。この画像データ
“DI”は、表示装置116に表示される。
【0096】上記したような動画表示をする場合には、
1回目のスキャンからn回目のスキャンまでのそれぞれ
のスキャンについて、該スキャンから画像表示までの一
連の処理を並行して行い(例えば、1回目のスキャンに
基づく再構成処理に並行して、2回目のスキャンを実施
等。)、これにより連続して得られる2次元投影データ
に基づき画像を次々と再構成し、それを次々と表示する
ことになる。
【0097】このため再構成装置114は、2次元投影
データの収集オペレーション(スキャン)と並行して、
所定角度範囲(ここでは360°)分の投影データを収
集するのに要する時間t0より短時間で、ボリュームデ
ータIを再構成するために必要な処理能力を備えてい
る。また、データ処理装置113は、ボリュームデータ
Iの再構成時間よりも短時間で、ボリュームデータIか
ら画像データDIを発生するために必要な処理能力を備
えている。さらに、表示装置116は、画像データDI
を、その画像データDIの起源の投影データの収集オペ
レーションの期間の起点Ts又は終点Teから、一定時
間後に表示開始するために必要なカウンタ及びメモリ等
を装備している。
【0098】ところで、いま述べた点に関しては、放射
線検出器103周りの信号処理能力も、当然に高いこと
が要求されることになる。この点、本実施形態における
放射線検出器103によれば、既に述べたように、「迅
速」な信号処理が可能であるから、上記したような動画
表示を円滑に実行することに大きく貢献する。しかも、
それは広範囲で高分解能を維持しつつ達成することが可
能なのである。
【0099】なお、上記実施形態においては、再構成、
断面変換などのデータ処理及び表示オペレーションは、
X線CT装置100内で行われるとしたが(そのような
形態が一般的である)、本発明においてはこれに代え、
これらデータ処理等を、図1に外部の画像処理装置20
0において実行するようにしてもよい。また、このよう
な外部の画像処理装置200を使用する場合、X線CT
装置100から、画像処理装置200に送られるデータ
は、再構成前でも、再構成後でも、データ処理後の表示
直前でも、いずれの状態でも上記した実施形態の効果を
妨げるものではない。
【0100】また、上記では、任意断面の断層像、任意
方向の投影像及び3次元表面画像等の表示が可能として
いたが、本発明はこれに加え、これらメインの各種画像
表示と一緒に、ROIのCT値や心電図など、時間的に
変化する情報を、グラフで表示し、グラフ上に表示中の
メイン画像の時刻も表示する構成としてもよい。
【0101】さらに本実施形態は種々変形して実施する
ことが可能である。例えば、上述した実施形態をX線管
101が被検体の周囲を螺旋状の軌跡を描くように架台
及び寝台の少なくとも一方をスキャン中に移動させるヘ
リカルスキャンに適用しても良い。この時、データ収集
に用いる検出素子列、ヘリカルピッチ、スキャン範囲、
スキャン時間、管電流の少なくともいずれかを含む撮影
条件を最適値に設定すれば、等方位性のボクセルデータ
から成るボリュームデータを得ることができる。尚、こ
のisotoropicを実現するにあたっては、検出
幅の狭い第1の検出素子列だけを使用してデータ収集を
行うことが、高分解能という観点から望ましい。例え
ば、撮影条件は、撮影領域頭部18cmφ、0.5mm
検出素子列×4列、ヘリカルピッチ3、スキャン範囲6
0mm、スキャン時間20秒、150mAs、再構成ピ
ッチ0.3mmのように設定する。
【0102】なお、検出素子の配列及び検出器の構造
は、第1〜第6実施形態のいずれか又は任意に組み合わ
せたものである。
【0103】(第8実施形態)図18は、第8実施形態
に係るX線CT装置の概略構成を示している。図18に
おいて、X線CT装置2010は、被検体の投影データ
の収集を行うガントリー2011と、収集された投影デ
ータに基づいて画像再構成処理や再構成画像表示などを
行うデータ処理システム部とから構成されている。
【0104】ガントリー2011は、X線管球201
4、スリット2016、被検体載置用の寝台2018、
被検体を挿入して診断を行うための診断用開口部、ガン
トリー駆動部2038、放射線検出システム2020を
有している。
【0105】X線管球2014は、X線を発生する真空
管であり、後述する高電圧発生装置2012で発生され
た高電圧により電子を加速させ、ターゲットに衝突させ
ることでX線を発生させる。
【0106】スリット2016は、ガントリー2012
内のX線管球2014と被検体の間に設けられ、X線管
球2014のX線焦点から曝射されたコーン状のX線ビ
ームを整形し、所要の立体角のX線ビームを形成する。
【0107】寝台2018は、寝台駆動部の駆動により
被検体の体軸方向に沿ってスライス可能になっている。
【0108】ガントリー駆動部2038は、診断用開口
内に挿入された被検体の体軸方向に平行な中心軸のまわ
りに、X線管球2014と放射線検出システム2020
とを一体で回転させる等の駆動制御を行う。
【0109】放射線検出システム2020は、放射線検
出器2025とデータ収集装置(以下、DAS)203
0とから成るシステムである。放射線検出器2025
は、配列された複数個の検出器モジュールから構成され
る。なお、本実施形態に係る放射線検出システム202
0は、従来の検出器チャンネル方向解像度が約0.5〜
1mmであることより、スライス軸方向に関してもチャ
ンネル方向と同等の解像度を有すれば十分とし、0.5
mmスライスを最小撮影スライス厚として説明する。ま
た、DAS2030は、複数のDASチップから構成さ
れ、放射線検出器2025から送られたX線透過データ
に対して増幅処理、A/D変換処理、所定のスライス厚
に束ねるための制御を行い、データ処理装置2032に
送り出す。なお、DASチップは、DAM−ASSYと
呼ばれることもある。
【0110】さらに、本実施形態に係る放射線検出シス
テム2020は、ノイズを大幅に低減させるために、後
述する特徴を有している。
【0111】データ処理システム部は、高電圧発生装置
2012、データ処理装置2032、記憶装置203
4、ホストコントローラ2036、入力装置2040、
再構成装置2042、表示装置2044、を有してい
る。
【0112】高電圧発生装置2012は、X線管球20
14に高電圧を供給する装置であり、高電圧変圧器、フ
ィラメント加熱変換器、整流器、高電圧切替器等から成
る。この高電圧発生装置2012によるX線管球201
4への高電圧供給は、例えば、接触式のスリップリング
機構により行われる。
【0113】ホストコントローラ2036は、CPUを
有するコンピュータ回路を搭載しており、高電圧発生装
置2012に接続されるとともに、バスを介してガント
リー2011内の図示しない寝台駆動部、ガントリー駆
動部2038、放射線検出システム2020にそれぞれ
接続されている。また、ホストコントローラ2036、
データ処理装置2032、記憶装置2034、再構成装
置2042、表示装置2044、及び入力装置2040
は、それぞれバスを介して相互接続され、当該バスを通
じて互いに高速に画像データや制御データ等の受け渡し
を行なうことができるように構成されている。
【0114】ホストコントローラ2036は、例えば以
下に述べるような制御を実行して、X線透過データ(投
影データ)の収集処理を行う。すなわち、ホストコント
ローラ2036は、オペレータから入力装置2040を
介して入力されたスライス厚等のスキャン条件を内部メ
モリに格納し、この格納されたスキャン条件(あるい
は、マニュアルモードにおいてオペレータから直接設定
されたスキャン条件)に基づいて高電圧発生装置201
2、寝台駆動部、ガントリー駆動部2038、及び寝台
2018の体軸方向への送り量、送り速度、ガントリー
2011(X線管球2014及び放射線検出システム2
020)の回転速度、回転ピッチ、及びX線の曝射タイ
ミング等を制御しながら、当該高電圧発生装置201
2、寝台駆動部、ガントリー駆動部2038を駆動させ
る。すると、被検体の所望の撮影領域に対して多方向か
らコーン状のX線ビームが照射され、被検体の撮影領域
を透過した透過X線を、放射線検出システム2020の
各検出素子を介してX線透過データとして検出すること
ができる。
【0115】同時に、ホストコントローラ2036は、
内部メモリに記憶されたスキャン条件(あるいは、マニ
ュアルモードのスキャン条件)に基づいて、放射線検出
システム2020のスイッチイング素子のオン/オフを
制御する。ホストコントローラ2036は、放射線検出
システム2020が有する各検出素子(フォトダイオー
ド)とDASとの接続状態を切り換え、各検出素子で検
出されたX線透過データを所定の単位で束ねる。そし
て、スキャン条件に対応した複数スライスのX線透過デ
ータとしてDASに送り出し、所定の処理を実行する。
【0116】データ処理装置2032は、例えばCPU
などを有するコンピュータ回路を搭載しており、放射線
検出システム2020の各DASチップにより収集され
た、例えば16スライス分の投影データを保持する。そ
して、データ処理装置2032は、上述したガントリー
2011の回転による多方向から得られた同一スライス
のすべての投影データを加算する処理や、その加算処理
により得られた多方向データに対して必要に応じて補間
処理、補正処理などを施すようになっている。
【0117】記憶装置2034は、データ処理装置20
32におけるデータ処理に必要なデータ等を記憶する。
【0118】再構成装置2042は、データ処理装置2
032によりデータ処理されて得られた投影データをフ
ェルドカンプ再構成法に従って再構成処理して、16ス
ライス分の再構成画像データを生成する。
【0119】表示装置2044は再構成装置2036に
より生成された再構成画像データを表示する。
【0120】入力装置2040は、キーボードや各種ス
イッチ、マウス等を備え、オペレータを介してスライス
厚やスライス数等の各種スキャン条件を入力可能な装置
である。
【0121】再構成装置2042は、生成した再構成画
像データを記憶可能な大容量の補助記憶装置を有してい
る。
【0122】次に、本実施形態に係る放射線検出システ
ム2020について詳しく説明する。
【0123】放射線検出システム2020の検出器モジ
ュール各々は、1つの検出器ブロックと1つのDASブ
ロックとから構成される。すなわち、一の検出器ブロッ
クと一のDASブロックとで検出器モジュールを構成
し、当該検出器モジュールをチャンネル方向に配列する
ことで、放射線検出器1020が構成されている。以
下、各構成要素の順に説明する。
【0124】(検出器モジュール及び放射線検出器)図
20(a)は、検出器ブロック2200の上面図を示し
ている。検出器ブロック2200は、シンチレータによ
ってX線から変換された光を複数のフォトダイオードに
よって電気信号に変換して出力するフォトダイオードチ
ップ2201、収集されたX線透過データを所定の単位
で束ねてDASチップに送り出すCMOS(Compl
ementary MOS)の群からなるスイッチング
チップ2202とが、リジッドな多層配線板2220上
に実装されてなる。多層配線板2220の裏面には、ス
イッチングチップ2202に電気的に接続されたコネク
タが取り付けられている。
【0125】図19は、フォトダイオードチップ220
1の展開図を示している。同図に示すようにフォトダイ
オードチップ2201は、複数のフォトダイオード20
01,2002を有している。一方のフォトダイオード
2002は、チャンネル方向に関して1mm、スライス
方向に関して1mmの略正方形の有感域を有している。
他方のフォトダイオード2001は、チャンネル方向に
関してはフォトダイオード2002のそれと同じ1m
m、スライス方向に関してはフォトダイオード2002
のそれの1/2の0.5mmの有感域を有している。
【0126】0.5mm幅のフォトダイオード2001
は、スライス方向に関して、16個配列される。チャン
ネル方向に関しては、48個配列される。1mm幅のフ
ォトダイオード2002は、スライス方向に関して、
0.5mm幅のフォトダイオード2001の両側それぞ
れに12個ずつ配列される。チャンネル方向に関して
は、同様に、48個配列される。
【0127】(DASブロック及びデータ収集装置)図
20(b)は、DASブロック2300の上面図を示し
ている。DASブロック2300は、リジッドなプリン
ト配線板2301を有する。プリント配線板2301の
表面には、検出器ブロック2200の裏面に形成された
コネクタと着脱可能なコネクタ2302が形成される。
また、プリント配線板2301には、複数のDASチッ
プ2303が実装される。
【0128】(検出器モジュール及び放射線検出器)次
に、検出器モジュール2022について、説明する。
【0129】図20(c)は、検出器モジュール202
2の上面図を示している。図20(c)に示すように、
検出器モジュール2022は、一の検出器ブロック22
00と一のDASブロック2300とから構成されてい
る。検出器ブロック2200とDASブロック2300
間の固定・電気的接続は、コネクタ2302によってな
される。DASブロック2300は、コネクタ2302
接続された検出器ブロック2200によって検出される
X線画像データの収集処理を行う。従って、検出器モジ
ュール2022一つで、独立したデータ検出・データ収
集を行うシステムとなっている。放射線検出システム2
020は、図20(c)に示す検出器モジュール202
2をチャンネル方向に沿って複数配列することにより構
成される。
【0130】連結した検出器ブロック2200とDAS
ブロック2300との一方が故障した場合、両者を分離
して、正常なブロックに差し替えることができる。
【0131】図21(a)には、検出器モジュール20
22の断面図を示している。検出器モジュール2022
は、検出器ブロック2200とDASブロック2300
との間を、リジッドなプリント配線板2210で中継す
る。中継基板2210の表面に検出器ブロック2200
がコネクタ2214を介して実装され、裏面のX線照射
領域外にDASブロック2300がコネクタ2302を
介して実装される。また、図21(b)に示すように、
DASブロック2300は、中継基板2210の表面の
X線照射領域外に実装されてもよい。
【0132】この様に、DASブロック2300をX線
通過領域外に配置することで、X線の電離効果によるD
AS誤動作を防ぐことができる。
【0133】図22は、DASブロック2300を中継
基板2210の両面に設けた検出器モジュール2022
の断面図を示している。なお、図22に示した検出器モ
ジュール2022は、ブロック間のアライメントや安定
性のために、複数の検出器ブロック200を配列するた
めのサポート2212、DASチップ2303からの熱
を放熱するための放熱フィン/ピン2320、当該放熱
フィン/ピン2320とDASチップ2303とを接続
するための熱伝導性ゴム2322、データ収集装置20
30を冷却するためのファン2324を有している。
【0134】図23(a)、図23(b)は検出器モジ
ュール2022の横断面図である。検出器モジュール2
022は、検出器ブロック200、DASブロック23
00、セラミック又はガラエポ樹脂正のリジッドな中継
基板2210を積層してなる。さらに、検出器ブロック
2200は、シンチレータ2201、フォトダイオード
チップ2204、スイッチングチップ2202を積層し
てなる。なお、DASブロック2300は、所定数のD
ASチップ2303を樹脂で封止したものである。ま
た、シンチレータ2201と、フォトダイオードチップ
2204とは、樹脂2206にて封止されている。
【0135】この検出器モジュール2022によれば、
DASブロック2300、中継基板2210、検出器ブ
ロック2200を積層した構成であるから、装置の小型
化を図ることが可能である。なお、当該例においては、
DASブロック2300はX線通過領域に存在する構成
となる。従って、各DASチップ2303のX線入射側
に鉛を設けると、なお好ましい。
【0136】また、検出器モジュール2022は、DA
Sブロック2300をX線照射領域外に配置しているの
で、X線の電離効果により誤動作を防止することが可能
である。
【0137】当然ながら、検出器ブロック2200とD
ASブロック2300との想定位置に限定はない。例え
ば、図24(a)に示すように、検出器ブロック220
0を中継基板2210の中央部に配置し、図24(b)
に示すようにDASブロック2300を中継基板221
0の辺縁に配置する構成であってもよい。
【0138】本実施形態では以下の効果が奏される。
【0139】第1に、リジッドな基板に、検出器ブロッ
ク2200とDASブロック2300とを共通に実装し
たので、スキャン時の回転によるフレキシブルPC板の
振動やコネクタの外れ、フレキシブルPC板のアンテナ
効果等を原因とするノイズの発生を防止することができ
る。また、フレキシブルPC板を使用しないから、ノイ
ズ低減のためのシールドを設置しやすい。その結果、従
来と比して大幅なノイズ低減を実現することができる。
【0140】第2に、コネクタ接続によって検出器ブロ
ックとDASブロックとが接続されているから、装置間
の接続に必要な空間が小さくて済み装置を小型化するこ
とができる。また、コネクタ接続によれば装置の接続、
取り外しが容易であるから、バンプ接続と比較して装置
の交換等を簡易に行うことが可能である。
【0141】第3に、検出器モジュールとDASブロッ
クとを1対1に対応させた構成であるから、例えば一部
のみの装置交換等を容易に行うことが可能である。従っ
て、データ収集装置全体の交換を必要とせず、ランニン
グコストを低くすることが可能である。
【0142】(第9実施形態)図25は、第9実施形態
に係るX線CT装置の構成を示している。X線CT装置
3010は、被検体の投影データの収集を行うガントリ
ー3012と、収集された投影データに基づいて画像再
構成処理や再構成画像表示などを行うシステム部301
4とから構成されている。
【0143】ガントリー3012は、X線管球302
0、スリット3022、被検体載置用の寝台3024、
被検体を挿入して診断を行うための診断用開口部、ガン
トリー駆動部3026、放射線検出器3028を有して
いる。
【0144】X線管球3020は、X線を発生する真空
管であり、後述する高電圧発生装置3030で発生され
た高電圧により電子を加速させ、ターゲットに衝突させ
ることでX線を発生させる。
【0145】スリット3022は、ガントリー3012
内のX線管球3020と被検体の間に設けられ、X線管
球3020のX線焦点から曝射されたコーン状のX線ビ
ームを整形し、所要の立体角のX線ビームを形成する。
【0146】寝台3024は、図示しない寝台駆動部の
駆動により被検体の体軸方向に沿ってスライス可能にな
っている。
【0147】ガントリー駆動部3026は、図示しない
診断用開口内に挿入された被検体の体軸方向に平行な中
心軸のまわりに、X線管球3020と放射線検出器30
28とを一体で回転させる等の駆動制御を行う。
【0148】放射線検出器3028は、検出器モジュー
ルを複数個チャンネル方向に配列してなる。
【0149】システム部3014は、高電圧発生装置3
030、ホストコントローラ3031、データ処理装置
3032、記憶装置3034、再構成装置3036、表
示装置3038、入力装置3040、補助記憶装置30
42を有している。
【0150】高電圧発生装置3030は、X線管球30
20に高電圧を供給する装置であり、高電圧変圧器、フ
ィラメント加熱変換器、整流器、高電圧切替器等から成
る。この高電圧発生装置3030によるX線管球302
0への高電圧印加は、例えば、接触式のスリップリング
機構により行われる。
【0151】ホストコントローラ3031は、CPUを
有するコンピュータ回路を搭載しており、高電圧発生装
置3030に接続されるとともに、バスBを介してガン
トリー3012内の図示しない寝台駆動部、ガントリー
駆動部3026、放射線検出器3028にそれぞれ接続
されている。また、ホストコントローラ3031、デー
タ処理装置3032、記憶装置3034、再構成装置3
036、表示装置3038、入力装置3040、及び補
助記憶装置3042は、それぞれバスBを介して相互接
続され、当該バスBを通じて互いに高速に画像データや
制御データ等の受け渡しを行なうことができるように構
成されている。
【0152】このホストコントローラ3031は、例え
ば以下に述べるような制御を実行して、X線透過データ
(投影データ)の収集処理を行う。すなわち、ホストコ
ントローラ3031は、オペレータ3000から入力装
置3040を介して入力されたスライス厚等のスキャン
条件を内部メモリに格納し、この格納されたスキャン条
件(あるいは、マニュアルモードにおいてオペレータ3
000から直接設定されたスキャン条件)に基づいて高
電圧発生装置3030、図示しない寝台駆動部、ガント
リー駆動部3026、及び寝台3024の体軸方向への
送り量、送り速度、ガントリー3012(X線管球30
20及び放射線検出器3028)の回転速度、回転ピッ
チ、及びX線の曝射タイミング等を制御しながら、当該
高電圧発生装置3030、図示しない寝台駆動部、ガン
トリー駆動部3026を駆動させる。すると、被検体P
の所望の撮影領域に対して多方向からコーン状のX線ビ
ームが照射され、被検体の撮影領域を透過した透過X線
を、放射線検出器3028の各検出素子を介してX線透
過データとして検出することができる。
【0153】同時に、ホストコントローラ3025は、
内部メモリに記憶されたスキャン条件(あるいは、マニ
ュアルモードのスキャン条件)に基づいて、放射線検出
器3028のスイッチ群の各スイッチ切り換え制御を行
う。ホストコントローラ3025は、放射線検出器30
28が有する各検出素子(フォトダイオード)とDAS
との接続状態を切り換え、各検出素子で検出されたX線
透過データを所定の単位で束ねる。そして、スキャン条
件に対応した複数スライスのX線透過データとしてデー
タ収集素子に送り出し、所定の処理を実行する。
【0154】データ処理装置3032は、例えばCPU
などを有するコンピュータ回路を搭載しており、放射線
検出器3028の各データ収集素子により収集された3
2スライス分の投影データを保持する。そして、データ
処理装置3032は、上述したガントリー3012の回
転による多方向から得られた同一スライスのすべての投
影データを加算する処理や、その加算処理により得られ
た多方向データに対して必要に応じて補間処理、補正処
理などを施すようになっている。
【0155】記憶装置3034は、データ処理装置30
32におけるデータ処理に必要なデータ等を記憶する。
【0156】再構成装置3036は、データ処理装置3
032によりデータ処理されて得られた投影データをフ
ェルドカンプ再構成法に従って再構成処理して、8スラ
イス分の再構成画像データを生成する。
【0157】表示装置3038は再構成装置3036に
より生成された再構成画像データを表示する。
【0158】入力装置40は、キーボードや各種スイッ
チ、マウス等を備え、オペレータを介してスライス厚や
スライス数等の各種スキャン条件を入力可能な装置であ
る。
【0159】補助記憶装置3042は、再構成装置30
36により生成された再構成画像データを記憶可能な大
容量の記憶領域を有する装置である。
【0160】図26(a)は、検出器モジュール328
0の断面図である。シンチレータ3281の裏面に、フ
ォトダイオードチップ3283が配置され、接着剤32
82により貼り付けられる。フォトダイオードチップ3
283の裏面に、スイッチングチップ3285がバンプ
接続される。スイッチングチップ3285は、リジッド
な多層配線板3287の表面に実装される。スイッチン
グチップ3285と、リジッドな多層配線板3287と
の間は、ハンダバンプにより電気的に接続される。フォ
トダイオードチップ3283、スイッチングチップ32
85、多層配線板3287の積層構造は、樹脂3284
により封止されている。
【0161】リジッドな多層配線板3287の裏面に
は、DASチップ3289が実装される。多層配線板3
287と、DASチップ3289との間は、プリップチ
ップにより電気的に接続される。
【0162】図27は、フォトダイオードチップ328
3の展開図である。フォトダイオードチップ3283
は、複数のフォトダイオード3001,3002を有し
ている。一方のフォトダイオード3002は、チャンネ
ル方向に関して1mm、スライス方向に関して1mmの
略正方形の有感域を有している。他方のフォトダイオー
ド3001は、チャンネル方向に関してはフォトダイオ
ード3002のそれと同じ1mm、スライス方向に関し
てはフォトダイオード3002のそれの1/2の0.5
mmの有感域を有している。
【0163】0.5mm幅のフォトダイオード3001
は、スライス方向に関して、32個配列される。チャン
ネル方向に関しては、48個配列される。1mm幅のフ
ォトダイオード3002は、スライス方向に関して、
0.5mm幅のフォトダイオード3001の両側それぞ
れに8個ずつ配列される。チャンネル方向に関しては、
同様に、48個配列される。
【0164】シンチレータ3281は、フォトダイオー
ド3001、3002の配列と同じパターンで配列され
た0.5mm幅のシンチレータ素子と1mm幅のシンチ
レータ素子とからなる。隣り合うシンチレータ素子の間
には、クロストーク防止のために鉛製セパレータがはめ
込まれている。
【0165】また、各シンチレータ素子は箱型(6面
体)であり、そのX線入射面、スライス厚方向端面には
図示しない光反射剤が層状に設けられている。そして、
各シンチレータ素子の蛍光出力面(X線入射面と対向す
る面)側には、フォトダイオードが、例えば接着剤32
82などの接合部材を介して蛍光を受光するように接合
されている。
【0166】図26(a)に戻る。フォトダイオードチ
ップ3283は、シンチレータ素子と同数のフォトダイ
オードから構成されている。各フォトダイオードと各シ
ンチレータ素子とは光学的に1体1に対応するように接
続されている。フォトダイオードは、アクティブエリア
(有感域)を有し、当該アクティブエリアで受光した光
を電気信号に変換する。
【0167】スイッチングチップ3285は、複数のC
MOS(Complementary MOS)型のト
ランジスタを有する。複数のトランジスタは、複数のフ
ォトダイオードに接続される。フォトダイオードで発生
した電気信号は、それぞれ対応するトランジスタを介し
てDASチップ3289に供給される。
【0168】多層配線板3287は、ビアホールを備え
た複数の薄膜プリント配線からなる。薄膜プリント配線
の少なくとも1枚は、X線シールド機能を備えている。
【0169】DASチップ3289は、スイッチングチ
ップ3285を経由して送られた電気信号に対して、増
幅処理、A/D変換処理を行う。
【0170】多層配線板3287を構成する複数の薄膜
プリント配線の少なくとも1枚に、X線シールド機能を
与える代わりに、図26(b)に示すように、DASチ
ップ3289を、X線照射領域の外側、つまり多層配線
板3287の辺縁に配置するようにしてもよい。さら
に、DASチップ3289の上方には、鉛製の遮蔽板3
271が配置されている。鉛板3271は、検出器モジ
ュール3280をシールドハウジング内に固定するため
のサポート3270に取り付けられている。
【0171】また、遮蔽板3271は、図26(c)に
示すように、多層配線板3287とDASチップ328
9との間に配置しても良い。この場合には、多層配線板
3287とDASチップ3289との間の電気的な接続
は、プアリップチップ接続ではなく、ワイヤボンディン
グにより行われる。
【0172】また、図26(d)に示すように、隣り合
うシンチレータ素子の間に鉛、モリブデンなどから成る
セパレータ3273をはめ込んでいる場合には、X線は
シンチレータ3281をほとんど透過しないので、DA
Sチップ3289は、X線照射領域の内側に配置しても
良いかもしれない。
【0173】この様な構成によれば、DASチップ32
89へのX線入射を防止することができ、耐X線性が良
くない部品への影響を防ぐことができる。特に、図26
(c),26(d)に示したように、多層配線板328
7とDASチップ3289とで鉛を挟む構造や、非X線
透過型のセパレータを採用する構成にすれば、DASチ
ップ3289の配置の制約がなくなるため容易に放射線
検出器を製造することができる。
【0174】なお、検出器モジュール3280の製造に
際しては,多層配線板3287にDASチップ328
9、スイッチングチップ3285を半田リフローにより
250℃で接続する。その後の工程で、スイッチングチ
ップ3285上にフォトダイオードチップ3283を比
較的低い温度の120乃至150℃で接続する。この手
順により、フォトダイオードチップ3283の表面がは
んだ雰囲気にさらされてしまい、汚れてしまう不具合を
回避できる。
【0175】上述した接続工程においては、スイッチン
グチップ3285及びDASチップ3289で発生する
動作熱を用いてもよい。この発熱量は、放射線検出器3
028全体で約100乃至200W程度になり、該接続
に必要な熱量を十分確保できるからである。従って、従
来のようにヒータを用いる必要がなく、接続の為に大が
かりな設備を必要としない。
【0176】次に、スライス厚を変更するためのスイッ
チングチップ3285のトランジスタのオン/オフ制御
について説明する。
【0177】図28に示すように、0.5mm厚のスラ
イスを32枚得るためには、中央に配列された32個の
0.5mm幅のフォトダイオード3001に接続された
32個のトランジスタをシリアルにオンする。これによ
り32個のフォトダイオード3001で検出した電気信
号は、個別にDASチップ3289に供給される。他の
フォトダイオード3002で発生した電荷は、グランド
にリークされる。
【0178】また、図29に示すように、1mm厚のス
ライスを32枚得るためには、隣り合うペアのフォトダ
イオード3001に対応する2個のトランジスタを同時
にオンすることにより、実現され得る。つまり、1mm
幅のフォトダイオード3002に接続された16個のト
ランジスタと、ペアのフォトダイオード3001に接続
された16組のトランジスタとをシリアルにオンする。
【0179】図30(a)に示すように、フォトダイオ
ードチップ3283のシリコン基板3285の表面に形
成されたフォトダイオード3294に、同じく表面に形
成されたAl配線3292を接続し、このAl配線32
92を、シリコン基板3285を貫通する貫通配線32
99を介して裏面に引き出し、その先端にバンプ323
0を形成する。貫通配線3299を使うことで、フォト
ダイオードチップ3283の裏面に配線を引き出すこと
が可能となる。
【0180】図30(b)に示すように、フォトダイオ
ード3284の直下に貫通配線3299を形成するよう
にしても良い。また、図30(c)に示すように、フォ
トダイオードチップ3283とスイッチングチップ32
85とを埋め込み配線により、マイクロバンプ接続する
ようにしてもよい。
【0181】なお、フォトダイオードチップ3283と
スイッチングチップ3285とを多層配線板により接続
しても良い。
【0182】次に、上記のように構成した検出器モジュ
ール3280の作用を説明する。
【0183】従来では、検出器とデータ収集装置とは別
体であるから、フォトダイオードからの出力信号をデー
タ収集装置3085までフレキシブルPC板によってア
ナログ信号を伝達していた。この構造は、長いフレキシ
ブルPC板を必要とする。従って、スキャン時の回転に
よる振動に弱く、コネクタがフレキシブルPC板にひっ
ぱられて外れたり、ノイズが大きくなる等の原因になっ
ている。検出素子の増設は、フレキシブルPC板の増設
を招くことになり、さらなるノイズ発生を招くことにな
る。
【0184】これに対し、検出器モジュール3280
は、シンチレータ3281、フォトダイオードチップ3
283、スイッチングチップ3285、DASチップ3
289とをリジッドな多層配線板3287に共通して実
装している。従って、コネクタ、長いフレキシブルPC
板による信号取り出しを必要としていない。
【0185】また、検出器モジュール3280から取り
出され、システム部3014に送り出される信号は、デ
ジタル信号となっている。従って、スキャン時の回転に
よる振動やフレキシブルPC板のアンテナ効果によるノ
イズ発生、コネクタの外れ等の不具合は発生しない。そ
の結果、ノイズ発生等を防止することができ、画像の質
を向上させることができる。
【0186】また、素子の多数配置に伴って、検出器か
らの信号取り出し配線は多くなる。従来の検出器に使用
されているコネクタ及びフレキシブルPC板による信号
とり出しでは、装置がかなり大型なものとなってしま
う。また、従来の検出器に使用されているスイッチチッ
プは、フォトダイオードと同一面内に設置されている。
従って、スイッチチップへ入力する信号の密度が高くな
ってしまい、フォトダイオードのアクティブエリアが狭
くなってしまう。その結果、被写体を通過したX線に対
する感度は低くなってしまい、得られる画像はノイジー
なものとなってしまう。このノイズ発生は、検出素子が
増えた場合、さらに顕著である。
【0187】これに対し、検出器モジュール3280
は、シンチレータ3281、フォトダイオードチップ3
283、スイッチングチップ3285、多層配線板32
87、DASチップ3289を積層して一体化した構成
となっているから、省スペース化を図ることができる。
また、フォトダイオードチップ3283のフォトダイオ
ードと、スイッチングチップ3285のトランジスタと
は、バンプ接続により電気的に接続されている。従っ
て、積層構造において省スペースな電気配線を実現して
いる。さらに、この積層とバンプ接続を有する構成は、
フォトダイオードと同一面内に設置されたトランジスタ
へ多数の信号配線を入力させる従来の検出器と比して、
信号密度を低くでき、フォトダイオードのアクティブエ
リアを広く確保できるものである。
【0188】以上の構成によれば、次のような効果を得
ることができる。
【0189】(1)装置を大型化せずに、単位時間によ
り高精細(高解像度)かつ広範囲に画像を撮影可能とす
ることができる。また、X線に対する感度を向上させる
ことができ、得られる画像の質を向上させることができ
る。
【0190】(2)従来の検出器のように、フレキシブ
ルPC板や、バックプレーン基板が不要になる。その結
果、検出器ユニットとしての外形を小さくすることがで
きる。さらに、DASシャーシも不要となり、CT装置
内部における省スペース化を実現できる。
【0191】(3)従来の検出器には存在したフロント
カバーの突き出しをなくすことができる。従って、ドー
ム開口が従来よりも広く感じられ、患者に対する威圧感
を低減させることができる。また、操作者や医師の患者
へのアクセス性を向上させることができる。
【0192】(3)架台と寝台との干渉が少なくなり、
チルト角度が深くとれるようになる。従って、患者が楽
な姿勢のまま撮影を行うことができる。
【0193】(4)本発明に係る検出器システムを従来
の装置に適用した場合、従来より広いスライス厚の断層
画像を得ることができる。
【0194】(5)検出器ユニットの奥に実装されたユ
ニットへのアクセス性を向上させることができる。
【0195】(6)検出器ユニットの重量を軽くするこ
とができる。その結果、撮影において当該検出器ユニッ
トを回転させた場合、従来と比較して当該回転による架
台のぶれ等の影響を少なくする事ができる。
【0196】(7)従来の検出器と比較して使用される
部品が少なくてすみ、コストを低下させることができ
る。
【0197】(変形例)本発明は、上述した実施形態に
限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱
しない範囲で種々変形して実施することが可能である。
さらに、上記実施形態には種々の段階が含まれており、
開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせに
より種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示
される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても
よい。
【0198】
【発明の効果】本発明によれば、放射線検出器、放射線
検出システム及びX線CT装置において、列数を増やす
ことができるを。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態による放射線検出器の斜
視図。
【図2】本発明の第1実施形態による放射線検出器の一
列分の構成図。
【図3】第2実施形態による放射線検出器の断面図。
【図4】図3のフォトダイオードチップとリジッドプリ
ント配線板との接続を示す断面図。
【図5】第3実施形態による放射線検出器の断面図。
【図6】図5の多層配線板の断面図。
【図7】第4実施形態による放射線検出器の断面図。
【図8】第5実施形態による放射線検出器の断面図。
【図9】第6実施形態による放射線検出器の断面図。
【図10】第7実施形態によるX線CT装置の構成図。
【図11】図10の1つの検出器モジュールの平面図。
【図12】図9に示すX線CT装置におけるデータ処理
の流れを示す図。
【図13】第7実施形態において、スライス厚0.5m
m×16スライスという条件にしたがって選択される複
数のフォトダイオードを示す図。
【図14】第7実施形態において、スライス厚1mm×
16スライスという条件にしたがって選択される複数の
フォトダイオードを示す図。
【図15】第7実施形態において、スライス厚1mm×
32スライスという条件にしたがって選択される複数の
フォトダイオードを示す図。
【図16】第7実施形態において、アキシャル断層像、
サジタル断層像、コロナル断層像の表示例を示す図。
【図17】第7実施形態において、動画の表示例を示す
図。
【図18】第8実施形態によるX線CT装置の構成図。
【図19】図18の放射線検出器を構成する複数の検出
器モジュールそれぞれの平面図。
【図20】(a)は、図19の1つの検出器モジュール
を構成する検出器ブロックの斜視図、(b)は、図19
の1つの検出器モジュールを構成するDASブロックの
斜視図、(c)は、図19の検出器モジュールの斜視
図。
【図21】(a)は、第8実施形態の検出器モジュール
の断面図、(b)は、第8実施形態の他の検出器モジュ
ールの断面図。
【図22】図21(a)のDASブロックの断面図。
【図23】(a)は、第8実施形態の検出器モジュール
の断面図、(b)は、第8実施形態の他の検出器モジュ
ールの断面図。
【図24】(a)は、第8実施形態の検出器モジュール
の表面図、(b)Bは、第8実施形態の検出器モジュー
ルの背面図。
【図25】第9実施形態のX線CT装置の構成図。
【図26】(a)は、第9実施形態のX線検出器モジュ
ールの断面図、(b)は、第9実施形態の他のX線検出
器モジュールの断面図、(c)は、第9実施形態のさら
に他のX線検出器モジュールの断面図、(d)Dは、第
9実施形態のさらに他のX線検出器モジュールの断面
図。
【図27】第9実施形態のX線検出器モジュールの平面
図。
【図28】第9実施形態において、スライス厚0.5m
m×32スライスという条件に対応する信号読出し制御
を示す図。
【図29】第9実施形態において、スライス厚1mm×
32スライスという条件に対応する信号読出し制御を示
す図。
【図30】(a)は、第9実施形態において、スイッチ
ングチップの概略断面図、(b)は、第9実施形態にお
いて、他のスイッチングチップの概略断面図、(c)
は、第9実施形態において、さらに他のスイッチングチ
ップの概略断面図。
【符号の説明】
1…検出器モジュール、 2…フォトダイオードチップ、 3…フォトダイオード3、 4…スイッチングチップ、 5…トランジスタ、 7…信号読出し線、 8…DASチップ、 9…シンチレータ9、 10…リジッドプリント配線板、 14…Al配線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/09 H01L 27/14 K (72)発明者 利府 俊裕 栃木県大田原市下石上字東山1385番の1 株式会社東芝那須工場内 (72)発明者 佐々木 富也 栃木県大田原市下石上字東山1385番の1 株式会社東芝那須工場内 (72)発明者 中山 道人 栃木県大田原市下石上字東山1385番の1 株式会社東芝那須工場内 Fターム(参考) 2G088 EE02 EE29 FF02 GG19 JJ05 JJ09 JJ33 4C093 AA22 EB12 EB13 EB18 FA32 FC03 4M118 AB01 BA04 CA02 CB11 HA21 HA25 HA30 5F088 AA01 BA03 BB07 EA03 EA08 EA09 EA11 EA16 EA20 GA04 HA15

Claims (35)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射されるX線を光に変換するシンチレ
    ータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数の第1フォ
    トダイオードと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数の第2フォ
    トダイオードと、 前記第1,第2のフォトダイオードに接続された複数の
    スイッチング素子とを具備し、 前記第1フォトダイオードは、スライス方向に関して、
    n個連続的に配列され、 前記第2フォトダイオードは、スライス方向に関して、
    前記第1フォトダイオードの配列の両側にそれぞれ、m
    個(m<n)ずつ連続的に配列され、 前記第2フォトダイオードは、前記第1フォトダイオー
    ドよりも、スライス方向に関する有感域幅が広いことを
    特徴とする放射線検出器。
  2. 【請求項2】 前記スライス方向に関する前記第2フォ
    トダイオードの個数(2・m)は、前記スライス方向に
    関する前記第1フォトダイオードの個数(n)よりも、
    多いことを特徴とする請求項1記載の放射線検出器。
  3. 【請求項3】 前記第2フォトダイオードのスライス方
    向に関する有感域幅は、前記第1フォトダイオードのス
    ライス方向に関する有感域幅の略2倍であることを特徴
    とする請求項2記載の放射線検出器。
  4. 【請求項4】 前記第2フォトダイオードのスライス方
    向に関する有感域幅は、略1mmであり、前記第1フォ
    トダイオードのスライス方向に関する有感域幅は略0.
    5mmであることを特徴とする請求項3記載の放射線検
    出器。
  5. 【請求項5】 前記第1フォトダイオードは前記スライ
    ス方向に関して16個配列され、前記第2フォトダイオ
    ードは前記スライス方向に関して、前記第1フォトダイ
    オードの配列の両側にそれぞれ12個ずつ連続的に配列
    されることを特徴とする請求項4記載の放射線検出器。
  6. 【請求項6】 前記第2フォトダイオードのチャンネル
    方向に関する有感域幅は、前記第1フォトダイオードの
    それと略同じであることを特徴とする請求項3記載の放
    射線検出器。
  7. 【請求項7】 前記第2フォトダイオードのチャンネル
    方向に関する有感域幅は、前記第2フォトダイオードの
    スライス方向に関する有感域幅と略同じであることを特
    徴とする請求項6記載の放射線検出器。
  8. 【請求項8】 表面側から入射するX線を光に変換する
    シンチレータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数のフォトダ
    イオードを備えた少なくとも1つのフォトダイオードチ
    ップと、 前記複数のフォトダイオードから複数の信号を読み出す
    複数のスイッチング素子を備えた少なくとも1つのスイ
    ッチングチップと、 前記読み出された複数の信号を増幅し、ディジタル化す
    る複数のデータ収集部を備えた少なくとも1つのデータ
    収集チップと、 前記フォトダイオードチップと、前記スイッチングチッ
    プと、前記データ収集チップとを、共通に実装するリジ
    ッドプリント配線板とを具備することを特徴とする放射
    線検出システム。
  9. 【請求項9】 前記フォトダイオードチップは、前記複
    数のフォトダイオードに接続された、表面から裏面に渡
    って半導体基板を貫通する複数の貫通配線を介して、前
    記リジッドプリント配線板にバンプ接続され、 前記スイッチングチップは、前記リジッドプリント配線
    板にフリップチップ接続され、 前記データ収集チップは、前記リジッドプリント配線板
    にフリップチップ接続されることを特徴とする請求項8
    記載の放射線検出システム。
  10. 【請求項10】 表面側から入射するX線を光に変換す
    るシンチレータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数のフォトダ
    イオードを備えた少なくとも1つのフォトダイオードチ
    ップと、 前記複数のフォトダイオードから複数の信号を読み出す
    複数のスイッチング素子を備えた少なくとも1つのスイ
    ッチングチップと、 前記読み出された複数の信号を増幅し、ディジタル化す
    る複数のデータ収集部を備えた少なくとも1つのデータ
    収集チップと、 前記フォトダイオードチップと、前記スイッチングチッ
    プと、前記データ収集チップとを共通に実装するリジッ
    ド多層配線板とを具備することを特徴とする放射線検出
    システム。
  11. 【請求項11】 前記フォトダイオードチップは、前記
    複数のフォトダイオードに接続された、表面から裏面に
    渡って半導体基板を貫通する複数の貫通配線を介して、
    前記多層配線板の表面にバンプ接続され、 前記スイッチングチップは、前記多層配線板の表面にフ
    リップチップ接続され、 前記データ収集チップは、前記多層配線板の裏面にフリ
    ップチップ接続されることを特徴とする請求項10記載
    の放射線検出システム。
  12. 【請求項12】 前記フォトダイオードチップは、前記
    複数のフォトダイオードに接続された、表面から裏面に
    渡って半導体基板を貫通する複数の貫通配線を介して、
    前記多層配線板の表面にバンプ接続され、 前記スイッチングチップは、前記多層配線板の裏面にフ
    リップチップ接続され、 前記データ収集チップは、前記多層配線板の裏面にフリ
    ップチップ接続されることを特徴とする請求項10記載
    の放射線検出システム。
  13. 【請求項13】 前記多層配線板の表面に前記スイッチ
    ングチップの背面が結合(bond)され、前記スイッチング
    チップの表面に前記フォトダイオードチップの背面が結
    合され、前記多層配線板の裏面に前記データ収集チップ
    が結合されることを特徴とする請求項10記載の放射線
    検出システム。
  14. 【請求項14】 前記複数のフォトダイオードは、表面
    から裏面に渡ってフォトダイオード基板を貫通する複数
    の第1貫通配線を介して、前記複数のスイッチング素子
    に接続され、 前記複数のスイッチング素子は、表面から裏面に渡って
    スイッチング素子基板を貫通する複数の第2貫通配線を
    介して、前記多層配線板の複数の表面配線に接続され、 前記データ収集チップは、前記多層配線板の複数の裏面
    配線にフリップチップ接続されることを特徴とする請求
    項13記載の放射線検出システム。
  15. 【請求項15】 前記データ収集チップは、前記多層配
    線板の辺縁に配置されることを特徴とする請求項13記
    載の放射線検出システム。
  16. 【請求項16】 前記データ収集チップの上方に配置さ
    れた複数のX線遮蔽板をさらに備えることを特徴とする
    請求項15記載の放射線検出システム。
  17. 【請求項17】 表面側から入射するX線を光に変換す
    るシンチレータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数のフォトダ
    イオードを備えた少なくとも1つのフォトダイオードチ
    ップと、 前記複数のフォトダイオードから複数の信号を読み出す
    複数のスイッチング素子を備えた少なくとも1つのスイ
    ッチングチップと、 前記読み出された複数の信号を増幅し、ディジタル化す
    る複数のデータ収集部を備えた少なくとも1つのデータ
    収集チップと、 前記フォトダイオードチップと、前記スイッチングチッ
    プとを実装する第1リジッドプリント配線板と、 前記データ収集チップを実装する第2リジッドプリント
    配線板と、 前記第1リジッドプリント配線板と前記第2リジッドプ
    リント配線板とを着脱自在に接続するコネクタとを具備
    することを特徴とする放射線検出システム。
  18. 【請求項18】 前記フォトダイオードチップは、前記
    複数のフォトダイオードに接続された、表面から裏面に
    渡って半導体基板を貫通する複数の貫通配線を介して、
    前記第1リジッドプリント配線板の表面配線にバンプ接
    続されることを特徴とする請求項17記載の放射線検出
    システム。
  19. 【請求項19】 被検体の周囲を回転しながらX線を曝
    射するX線源と、前記被検体を透過したX線を検出する
    検出素子が行・列方向に複数個配列されて成る放射線検
    出器と、前記放射線検出器の出力に基づいて被検体のC
    T像を再構成する再構成手段とを具備し、 前記放射線検出器は、入射されるX線を光に変換するシ
    ンチレータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数の第1フォ
    トダイオードと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数の第2フォ
    トダイオードと、 前記第1,第2のフォトダイオードに接続された複数の
    スイッチング素子とを有し、 前記第1フォトダイオードは、スライス方向に関して、
    n個連続的に配列され、 前記第2フォトダイオードは、スライス方向に関して、
    前記第1フォトダイオードの配列の両側にそれぞれ、m
    個(m<n)ずつ連続的に配列され、 前記第2フォトダイオードは、前記第1フォトダイオー
    ドよりも、スライス方向に関する有感域幅が広いことを
    特徴とするX線CT装置。
  20. 【請求項20】 被検体の周囲を回転しながらX線を曝
    射するX線源と、 前記被検体を透過したX線を検出する検出素子が行・列
    方向に複数個配列されて成る放射線検出システムと、 前記投影データに基づいて被検体のCT像を再構成する
    再構成手段とを具備し、 前記放射線検出システムは、表面側から入射するX線を
    光に変換するシンチレータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数のフォトダ
    イオードを備えた少なくとも1つのフォトダイオードチ
    ップと、 前記複数のフォトダイオードから複数の信号を読み出す
    複数のスイッチング素子を備えた少なくとも1つのスイ
    ッチングチップと、 前記読み出された複数の信号を増幅し、ディジタル化す
    る複数のデータ収集部を備えた少なくとも1つのデータ
    収集チップと、 前記フォトダイオードチップと、前記スイッチングチッ
    プと、前記データ収集チップとを、共通に実装するリジ
    ッドプリント配線板とを具備することことを特徴とする
    X線CT装置。
  21. 【請求項21】 被検体の周囲を回転しながらX線を曝
    射するX線源と、前記被検体を透過したX線を検出する
    検出素子が行・列方向に複数個配列されて成る放射線検
    出システムと、前記投影データに基づいて被検体のCT
    像を再構成する再構成手段とを具備し、 前記放射線検出システムは、表面側から入射するX線を
    光に変換するシンチレータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数のフォトダ
    イオードを備えた少なくとも1つのフォトダイオードチ
    ップと、 前記複数のフォトダイオードから複数の信号を読み出す
    複数のスイッチング素子を備えた少なくとも1つのスイ
    ッチングチップと、 前記読み出された複数の信号を増幅し、ディジタル化す
    る複数のデータ収集部を備えた少なくとも1つのデータ
    収集チップと、 前記フォトダイオードチップと、前記スイッチングチッ
    プと、前記データ収集チップとを共通に実装するリジッ
    ド多層配線板とを具備することを特徴とするX線CT装
    置。
  22. 【請求項22】 被検体の周囲を回転しながらX線を曝
    射するX線源と、 前記被検体を透過したX線を検出する検出素子が行・列
    方向に複数個配列されて成る放射線検出システムと、 前記投影データに基づいて被検体のCT像を再構成する
    再構成手段とを具備し、 前記放射線検出システムは、表面側から入射するX線を
    光に変換するシンチレータと、 前記変換された光を電気信号に変換する複数のフォトダ
    イオードを備えた少なくとも1つのフォトダイオードチ
    ップと、 前記複数のフォトダイオードから複数の信号を読み出す
    複数のスイッチング素子を備えた少なくとも1つのスイ
    ッチングチップと、 前記読み出された複数の信号を増幅し、ディジタル化す
    る複数のデータ収集部を備えた少なくとも1つのデータ
    収集チップと、 前記フォトダイオードチップと、前記スイッチングチッ
    プとを実装する第1リジッドプリント配線板と、 前記データ収集チップを実装する第2リジッドプリント
    配線板と、 前記第1リジッドプリント配線板と前記第2リジッドプ
    リント配線板とを着脱自在に接続するコネクタとを具備
    することを特徴とするX線CT装置。
  23. 【請求項23】 X線を検出する複数の検出素子から成
    る検出素子群と、 この検出素子群からの出力データを収集するデータ収集
    手段と、 前記検出素子群と前記データ手段の少なくとも一方を実
    装する基板と、 前記検出素子群、前記データ収集手段、前記基板を積層
    構造とする手段、とを備えた放射線検出システム。
  24. 【請求項24】 X線を光に変換するシンチレータブロ
    ックと、 前記光を電気信号に変換するホトダイオードアレイと、 このホトダイオードアレイから電気信号を出力するホト
    ダイオードを選択するスイッチと、このスイッチにより
    選択された前記ホトダイオードアレイから出力されたデ
    ータを収集するデータ収集チップと、 前記シンチレータブロック、前記ホトダイオードアレ
    イ、前記スイッチ、前記データ収集チップを一体化構成
    する手段、とを備えた放射線検出システム。
  25. 【請求項25】 被検体の周囲を回転しながらX線を曝
    射するX線源と、 前記被検体を透過したX線を検出する検出素子が行・列
    方向に複数個配列されて成る放射線検出器と、 前記放射線検出器の出力を用いて前記被検体に関する投
    影データを収集するデータ収集手段と、 前記複数の検出素子から前記データ収集手段へ出力され
    るデータを選択するスイッチ手段と、 前記投影データに基づいて被検体のCT像を再構成する
    再構成手段と、 前記放射線検出器に対して、前記データ収集手段と前記
    スイッチの少なくとも一方を積層構造とする手段とを備
    えたX線CT装置。
  26. 【請求項26】 X線を検出する複数の検出素子から成
    る検出素子群と、 この検出素子群を実装する第1の基板と、 前記検出素子群からの出力データを収集するデータ収集
    チップと、 このデータ収集チップを実装する第2の基板と、 前記第1の基板と前記第2の基板とを1対1で接続する
    接続手段とを備えたことを特徴とする放射線検出システ
    ム。
  27. 【請求項27】 前記接続手段は、第1の基板と第2の
    基板とを電気的に接続するコネクタであることを特徴と
    する請求項26記載の放射線検出システム。
  28. 【請求項28】 前記第1の基板は、前記検出素子群を
    X線入射面側に実装し、 前記第2の基板は、前記データ収集チップを前記X線入
    射面以外の面に実装し、 前記接続手段は、前記第1の基板において前記検出素子
    群を未実装の面と、前記第2の基板において前記データ
    収集チップを未実装の面とを前記コネクタにより接続す
    ることを特徴とする請求項27記載の放射線検出システ
    ム。
  29. 【請求項29】 前記第2の基板は、前記データ収集チ
    ップをX線透過領域に実装し、前記コネクタをX線透過
    領域外に設けることを特徴とする請求項26記載の放射
    線検出システム。
  30. 【請求項30】 被検体の周囲を回転しながらX線を曝
    射するX線源と、 前記被検体を透過したX線を検出する検出素子が行・列
    方向に複数個配列されて成るX線検出器と、 前記X線検出器の出力を用いて前記被検体に関する投影
    データを収集するデータ収集手段と、 前記投影データに基づいて被検体のCT像を再構成する
    再構成手段と、 前記X線検出器を実装する第1の基板と前記データ収集
    手段を実装する第2の基板とを1:1に接続する接続手
    段を備えたX線CT装置。
  31. 【請求項31】 スライス方向に配列された複数の第1
    検出素子列から構成される第1の検出素子アレイ群であ
    って、前記第1検出素子列各々はスライス方向に関して
    第1の幅を有する複数の第1検出素子アレイを有する第
    1の検出素子アレイ群と、 スライス方向に配列された複数の第2検出素子列から構
    成される第2の検出素子アレイ群であって、前記第2検
    出素子列各々はスライス方向に関して前記第1の幅より
    広い第2の幅を有する複数の第1検出素子アレイを有
    し、前記第2検出素子列は前記第1検出素子列の両側に
    配置され、前記第2検出素子列の各側の列数は、前記第
    1検出素子列よりも少ない第2の検出素子アレイ群とを
    具備する放射線検出器。
  32. 【請求項32】 前記第2検出素子列の両側の列数合計
    は、前記第1検出素子列の列数よりも多いことを特徴と
    する請求項31記載の放射線検出器。
  33. 【請求項33】 X線を発生するX線源と、 第1の幅を有する検出素子列をスライス方向に複数列設
    した第1の検出素子列群と、前記第1の幅より大きい幅
    を有する第2の検出素子列を、前記第1の検出素子列群
    の列設数より少ない列設数で、前記スライス方向に、か
    つ、前記第1の検出素子列群の両側それぞれに列設した
    第2の検出素子列群とから成る放射線検出器と、 記放射線検出器の出力を用いて被検体に関する透過デー
    タを収集するデータ収集手段と、 このデータ収集手段から得られた透過データに基づい
    て、画像データを再構成する再構成装置と、 前記再構成された画像データを表示する表示装置とを具
    備することを特徴とするX線CT装置。
  34. 【請求項34】 前記再構成装置は、等方位性のボクセ
    ルデータから成るボリュームデータを再構成することを
    特徴とする請求項33記載のX線CT装置。
  35. 【請求項35】 前記X線源が被検体の周囲を螺旋状の
    軌道を描くよう前記X線源又は前記被検体を移動させる
    移動手段を更に備え、 前記再構成装置は、撮影領域、前記データ収集に用いる
    検出素子列、ヘリカルピッチ、スキャン範囲、スキャン
    時間、管電流の少なくともいずれかを含む撮影条件に基
    づく前記等方位性のボクセルデータから成るボリューム
    データを再構成することを特徴とする請求項34記載の
    X線CT装置。
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