JP2002313887A - ウェハの載置姿勢検出方法、ウェハのプリアライメント方法及びウェハのプリアライメント装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １回の測定作業により、ウェハの偏芯量（Ｘ
−Ｙ方向偏差）と、基準方向に対するノッチ又はオリフ
ラの中心位置のずれ量を同時に検出する方法を提供す
る。 【解決手段】 回転装置の上に載せたウェハを回転し、
その外周位置の測定データより、最小２乗法により測定
データを補正する。そしてこの値に基づき、回転装置の
中心とウェハ中心の位置のずれを算出する。そして、ノ
ッチ又はオリフラの測定値を回帰することにより、それ
らの中心位置を算出する。そして、これらの位置より、
ノッチ又はオリフラが基準方向を向くようにするための
回転装置の回転量を算出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハの検査装置
等において、ウェハをプリアライメントするために、そ
の載置位置の偏芯量と基準方向からの角度を求める方
法、及び、これらの値を使用して、ウェハをプリアライ
メントする方法、さらには、これらのプリアライメント
方法を実施することができるウェハのプリアライメント
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体露光装置や、ウェハ検査装置にウ
ェハを供給する場合、ウェハ中心の水平方向位置（以
下、Ｘ−Ｙ方向と定める）や、基準方向に対する回転角
度を正確に制御する必要がある。ウェハは、これらのＸ
−Ｙ方向位置や回転角度を所定の位置に合わされてから
半導体露光装置や、ウェハ検査装置に供給される。この
ように、半導体露光装置や、ウェハ検査装置に供給する
前に、ウェハのＸ−Ｙ方向位置や回転角度を所定の位置
に合わせることを、「プリアライメント」と称してい
る。そして、ウェハの回転方向を基準位置に合わせるた
めに、ウェハにはオリエンテーションフラット（本明細
書においては主として「オリフラ」と略称する）又はノ
ッチが、その外周に設けられている。

【０００３】プリアライメントは、通常以下に示すよう
な方法によって行われる。すなわち、オリフラを有する
ウェハを例にして説明すると、図６に示すように、ウェ
ハ１をチャック２に固定する。チャック２はθステージ
３に載置されており、θ軸駆動部１０によって、θステ
ージ３の回転中心の周りに回転されるようになってい
る。θステージ３はＸステージ４、Ｘステージ４はＹス
テージ５の上に載置されており、Ｘステージ４、Ｙステ
ージ５は、それぞれＸ軸駆動部１１、Ｙ軸駆動部１２に
よって、それぞれの方向に駆動される。これらの機構に
よりウェハ１は、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向に移動が可
能となっている。ラインセンサ７は、ＬＥＤ駆動部８に
よって駆動されるＬＥＤ６からの光を受け、ウェハ１の
境界の位置を１次元情報として検出する。

【０００４】まず、Ｘステージ４及びＹステージ５を基
準位置に位置させ、θステージ３を回転させる。そし
て、ラインセンサ７によりウェハ１のエッジ位置を測定
し、測定値とθステージの回転角度との関係を求めるこ
とにより、θステージ３の回転中心とウェハ１の中心の
偏差値を求める。その後、前記偏差値に対応する分だ
け、Ｘステージ４及びＹステージ５を移動させることに
より、ウェハ１の中心を基準位置に一致させる。

【０００５】そして、再びθステージ３を回転させ、ラ
インセンサ７によりウェハ１のエッジ位置を測定し、測
定値とθステージの回転角度との関係を求めることによ
り、オリフラの中心とθステージの回転基準位置との差
を求める。そして、その差に応じてθステージの回転量
を決定することにより、オリフラの中心点を、所定の回
転基準位置に合わせる。これにより、ウェハ１のプリア
ライメントが完了する。これらの１連の動作は、演算制
御部１３により制御される。

【０００６】以上のような、プリアライメントの方法で
は、ウェハ１の中心を基準位置に合わせると、θステー
ジの回転中心が基準位置からずれることになるので、そ
の後に、ラインセンサ７の測定値とθステージ３の回転
角度との関係を求めることにより、オリフラの中心とθ
ステージの回転基準位置との差を求める計算が複雑にな
る。

【０００７】よって、チャック２の中心を基準位置と
し、ウェハ１の中心を基準位置に合わせる作業を、ウェ
ハ１をチャック２に搭載する位置を変えることにより行
う方法も、一般的に用いられている。以下の説明におい
ては、このような方法を前提として説明を行う。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしがら、このよう
なプリアライメント方法では、ウェハ１を回転させなが
らウェハ１外周位置をラインセンサ７で測定し、ウェハ
１の中心を求める。そして、基準位置にあるチャック２
の回転中心位置とウェハ１の中心が一致するようにウェ
ハ１を持ち直した後、ノッチ又はオリフラ部分を再測定
する。従って、測定作業を２回行わなければならず、プ
リアライメントに時間がかかるという問題点があった。

【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、１回の測定作業により、ウェハの偏芯量（Ｘ−
Ｙ方向偏差）と、基準方向に対するノッチ又はオリフラ
の中心位置のずれ量を同時に検出する方法、及び、この
方法を利用したウェハのアライメント方法、ウェハのプ
リアライメント装置を提供することを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の第１の手段は、回転装置に載置されたウェハを回転さ
せ、ラインセンサでその外周の変動値を調べ、回転装置
の中心に対するウェハ偏芯量と、ウェハ中心における基
準方向に対するノッチ又はオリフラの角度を求めるウェ
ハの載置姿勢検出方法であって、ラインセンサの測定値
の変化率が所定値以上となる区間を検出し、それらの区
間を除いた位置でのラインセンサの測定値を使用して、
回転装置の中心に対するウェハの偏芯量を求め、前記ラ
インセンサの測定値の変化率が所定値以上となる区間、
又は当該区間の端部付近で、前記ラインセンサの測定値
を、前記偏芯による測定値の変化分を考慮して補正し
て、補正後のデータより、ウェハ中心における基準方向
に対するノッチ又はオリフラの中心点の角度を求めるこ
とを特徴とするウェハの載置姿勢検出方法（請求項１）
である。

【００１１】本手段においては、回転装置に載置された
ウェハを回転させ、ラインセンサでその外周の変動値を
調べ、ラインセンサの測定値の変化率が所定値以上とな
る区間を検出する。ラインセンサの測定値の変化率は、
例えばウェハの単位回転角度ごとの差分を取ることによ
り算出される。この変化率が大きい部分は、ノッチやオ
リフラが形成された部分と考えられ、ウェハを円板状の
形態を有するものとして前記偏芯量を求める計算を行う
際の誤差となるので、計算に用いる値から除外する。ウ
ェハの形状を円と仮定して、回転装置の回転角と、その
ときのラインセンサの測定値との関係を求めれば、後に
実施の形態の欄で例として説明するように、幾何学的な
関係から、回転装置の回転中心とウェハ中心との偏差
（Ｘ軸方向偏差、Ｙ軸方向偏差）を求めることができ
る。

【００１２】さらに、この偏芯量が分かれば、実際のラ
インセンサの測定値と回転装置の回転角より、ウェハの
中心が回転中心にある場合にラインセンサが出力するは
ずの値を計算することができる。本手段において、「前
記ラインセンサの測定値を、前記偏芯による測定値の変
化分を考慮して補正して、」というのは、このように、
実際のライン装置の測定値より、ウェハの中心が回転中
心にある場合にラインセンサが出力するはずの値を算出
することを意味する。

【００１３】補正された測定値は、ノッチやオリフラが
無い位置では、略一定の値を示すはずであるが、ノッチ
やオリフラの位置ではその形状に合わせて値が変化す
る。よって、補正された測定値より、ノッチやオリフラ
の形状を求め、そのノッチの頂点に当たる部分やオリフ
ラの中心にあたる部分を検出することができる。また、
これらの点が求まれば、ウェハ中心とこれらの点を結ぶ
線が、ウェハを円とした場合の円と交わる点を幾何学的
な関係により求めることができる。

【００１４】よって、本手段によれば、１回の測定で、
ウェハの偏芯量（Ｘ−Ｙ方向偏差）と、基準方向に対す
るノッチ又はオリフラの中心位置のずれ量を同時に検出
することができる。

【００１５】前記課題を解決するための第２の手段は、
前記第１の手段で求められた偏芯量に応じた量だけウェ
ハを回転装置に対して相対移動させた後、前記ウェハ中
心における基準方向に対するノッチ又はオリフラの中心
点の角度分だけ、ウェハを回転させることを特徴とする
ウェハのプリアライメント方法（請求項２）である。

【００１６】本手段においては、前記第１の手段で求め
られた偏芯量に応じた量だけウェハを回転装置に対して
相対移動する。これにより、回転装置の中心（基準位置
にある）とウェハの中心が一致する。その上で、第１の
手段により求められた、前記ウェハ中心における基準方
向に対するノッチ又はオリフラの中心点の角度分だけ、
回転装置を回転させる。これにより、ノッチ又はオリフ
ラの中心点が、基準方向に一致し、プリアライメントを
完了させることができる。よって、１回の測定を行うだ
けで、プリアライメントを完了することができる。

【００１７】前記課題を解決するための第３の手段は、
前記第１の手段により求められたウェハ中心における基
準方向に対するノッチ又はオリフラの中心点の角度分だ
け、ウェハを回転させ、その後、前記偏芯量に応じた量
だけ、ウェハを回転装置に対して相対移動させることを
特徴とするウェハのプリアライメント方法（請求項３）
である。

【００１８】本手段は、回転と偏芯量の調整の順序が前
記第２の手段と逆になっていることのみが前記第２の手
段と異なっている。よって、前記第２の手段と同様の効
果を生じる。そして、本手段によれば、プリアライメン
ト位置には回転テーブルのみを設けて置いて回転のみの
調整を行い、プリアライメント位置からウェハの処理装
置にウェハを搬送するときに、その搬送量を調整するこ
とにより、偏芯量を調整するようにすることができる。

【００１９】前記課題を解決するための第４の手段は、
ウェハを水平な平面状で互いに直角な２方向に移動させ
る手段と、ウェハを回転軸の周りに回転させる手段とを
有してなり、これらの手段を駆動して、前記第２の手段
又は第３の手段のウェハのプリアライメント方法を実施
する機能を有してなることを特徴とするウェハのプリア
ライメント装置（請求項４）である。

【００２０】本手段においては、ウェハを水平な平面状
で互いに直角な２方向に移動させる手段によりウェハを
移動させて、前記第２の手段に係る方法によって、ウェ
ハとウェハを回転軸の周りに回転させる手段との中心を
一致させる。その後、ウェハを回転軸の周りに回転させ
る手段を駆動して、前記第２の手段に係る方法によっ
て、ノッチ又はオリフラの中心点が基準方向を向くよう
にする。

【００２１】このようなプリアライメントを行う装置と
しては、図６に示すような、Ｘ−Ｙステージの上に回転
ステージが搭載されたものではなく、回転ステージの上
にＸ−Ｙステージが搭載されたものであることが好まし
い。

【００２２】または、前記第３の手段に係る方法によっ
て、ウェハを回転軸の周りに回転させる手段を駆動し
て、ノッチ又はオリフラの中心点が基準方向を向くよう
にする。その後、前記第３の手段に係る方法によって、
ウェハとウェハを回転軸の周りに回転させる手段との中
心を一致させる。

【００２３】よって、いずれにしても、１回の測定を行
うだけで、プリアライメントが完了する装置とすること
ができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の１例
について、図を用いてその原理を説明する。図１は、回
転テーブル、ウェハ、ラインセンサの関係を示す図であ
り、ウェハを円、ラインセンサを太い線で表している。
回転テーブルの中心点をＯ_ｒ、ウェハの中心点をＯ_ｗ、
ラインセンサの基準点をＯ_ｓで示し、回転テーブルの座
標系をＸ−Ｙ座標、ラインセンサの座標系をｘ−ｙ座標
で示している。そして、初期位置におけるＯ_ｒ−Ｏ_ｗが
Ｘ軸となす角をθ_０、ウェハの半径をＲ、回転テーブル
座標系とセンサ座標系のなす角をαとする。

【００２５】回転テーブル座標系を用いて表したＯ_ｓを
（Ｘ_ｓ，Ｙ_ｓ）、〇_ｗを（Ｘ_ｗ，Ｙ _ｗ）とすると、Ｏ_ｒ
は（０，０）であるから、回転テーブル座標系（Ｘ，
Ｙ）からセンサ座標系（ｘ，ｙ）への変換式は、

【００２６】

【数１】

【００２７】となる。従って、回転テーブルがθだけ回
転したとき、センサ座標系でＯ_ｗ、Ｏ _ｒは以下のように
表すことができる。

【００２８】

【数２】

【００２９】ただし、

【００３０】

【数３】

【００３１】である。

【００３２】図２は、センサ座標系（ｘ，ｙ）により、
図１に示した関係を示したもので、Ｏ_ｗは（ｘ_ｗ，
ｙ_ｗ）、Ｏ_ｒは（ｘ_ｒ，ｙ_ｒ）で示されている。ｒは、
Ｏ_ｗとＯ _ｒの距離であり、円はウェハであり、ラインセ
ンサはｙ軸方向のウェハ端面を測定するものとし、その
測定値をｙとする。このようにパラメータを定めると、

【００３３】

【数４】

【００３４】図からｙの値として大きい方をとり、

【００３５】

【数５】

【００３６】となる。この中で未知数はｘ_ｒ、ｙ_ｒ、α
は予め測定しておくことができるので、(6)式は、ノッ
チ部やオリフラ部を除いて常に成り立つ。しかし、ｒ、
Ｒ、θ _０に誤差があるので、これを考慮して最小二乗法
の繰り返し計算により未知のパラメータを求め、これに
より、回転中心とウェハの中心の偏芯を求めることにす
る。

【００３７】まず、計算に使用するデータとして、ノッ
チの部分やオリフラの部分の測定データを除く必要があ
る。これらの部分では、測定値ｙの変化が大きいので、
ｙの変化、たとえば単位回転角あたりのｙの差分を計算
し、それが所定値以上の部分のデータはノッチやオリフ
ラ部のものであるとして除外し、その他のデータを使用
する。

【００３８】計算に用いる初期値は、(6)式の近似式と
して y=r'・sin(θ+Δθ')+Δｙ を用い、回転角θ_１、θ_２、θ_３に対応する測定値
ｙ_１、ｙ_２、ｙ_３を得て、これらの値より

【００３９】

【数６】

【００４０】を得る。このｒ’をｒの初期値、Δθ’を
θ_０+αの初期値として使用する。

【００４１】以下、最小２乗法について説明する。誤差
があると考えられるパラメータはｒ、Ｒ、θ_０とし、そ
の誤差をｄｒ、ｄＲ、ｄθ_０とし、実際の測定値をＹと
し、(6)式から得られる値をｙとすると、

【００４２】

【数７】

【００４３】となる。この式に対して最小２乗法を用い
る。すなわち

【００４４】

【数８】

【００４５】で決まる誤差量が最小となるようにｒ、
Ｒ、θ_０を決定する。ここでＷは荷重係数で、誤差（Ｙ
−ｙ）が正規分布に従う場合には、Ｗ＝１／σ^２とな
る。ここでは、Ｗ＝１とする。

【００４６】Φが最小値となるとき、Φを各変数で偏微
分した値は０となる。すなわち、

【００４７】

【数９】

【００４８】これらの式を行列で書き直すと、

【００４９】

【数１０】

【００５０】となる。ここで、Ｒの初期値として公称値
を用いて、

【００５１】

【数１１】

【００５２】よって、(14)式の左辺の行列、及び右辺の
ベクトルの各要素の値は、(15)式〜(17)式を用いて求ま
る。よって、(14)式は、次のように書くことができる。

【００５３】

【数１２】

【００５４】これを解いて、

【００５５】

【数１３】

【００５６】となる。ただし、

【００５７】

【数１４】

【００５８】である。

【００５９】求まったｄｒ、ｄＲ、ｄθ_０の値に基づい
て、ｒ、Ｒ、θ_０を、 ｒ→ｒ＋ｄｒ …(23) Ｒ→Ｒ＋ｄＲ …(24) θ_０→θ_０＋ｄθ_０ …(25) に更新する。そして、誤差の２乗和であるΦの値が所定
値以下となったときには、そこで計算を打ち切り、(23)
〜(25)によって決まった値を最終的なｒ、Ｒ、θ _０とす
る。誤差の２乗和であるΦの値が所定値を超えていると
きは、(23)〜(25)によって決まった値を新たな初期値と
して、再び(10)式からの最小２乗計算をやり直し、Φの
値が所定値以下となるまで、これを繰り返す。

【００６０】このようにして最終的なｒとθ_０が求まる
と、回転テーブルの回転位置がθであるとき、Ｘ_ｒ＝ｘ
_ｒ−ｘ_ｗ、Ｙ_ｒ＝ｙ_ｒ−ｙ_ｗとすると、Ｘ_ｒ、Ｙ_ｒは、 Ｘｒ＝ｒ・cos（θ＋θ_０） …(26) Ｙｒ＝ｒ・sin（θ＋θ_０） …(27) として求まるので、この量に対応する値だけ、ウェハ位
置を回転テーブルに対して相対移動させることにより、
ウェハ中心と回転テーブル中心（基準位置）に一致させ
ることができる。

【００６１】また、回転テーブルの座標系におけるセン
サ基準点Ｏ_ｓの位置と、回転テーブル座標系とセンサ座
標系のなす角αは、予め測定して定めておくことができ
るので、これらの値と(26)、(27)式より、ラインセンサ
の測定値Ｙより、回転テーブルの中心とウェハの中心が
一致している場合に得られるはずの、ラインセンサの測
定値ｙ’を計算することができる。課題を解決するため
の手段、請求項でいう「ラインセンサの測定値を、前記
偏芯による測定値の変化分を考慮して補正した値」とい
うのは、この実施の形態ではｙ’に相当する。このｙ’
の値は、ウェハが円形であるために、ほぼ一定の値を示
すはずであるが、ノッチ又はオリフラの位置ではそれら
の形状に応じた変化を示す。

【００６２】図３に、ノッチとオリフラ部における補正
されたラインセンサの測定値ｙ’の例を太線で示す。
（ａ）はノッチ、(ｂ)はオリフラの場合である。ノッチ
の場合、ｙ’が大きく変化している部分に着目すると、
左エッジ、右エッジは、それぞれ直線で近似することが
でき、その上の点（ｘ_ｉ，θ_ｉ）は以下の式で示され
る。 ｙ'_ｉ＝β＋γθ_ｉ …(28) (28)式を最小２乗法で解くと、

【００６３】

【数１５】

【００６４】で計算できる。図３の右エッジでの係数を
β_ｒ、γ_ｒとし、左エッジでの係数をβ_ｌ、γ_ｌとする
と、両直線の交点のθ座標θ_ｎ（前記θ_０を基準とした
相対回転量）は、 θ_ｎ＝−（β_ｒ−β_ｌ）／（γ_ｒ−γ_ｌ） …(31) で求められる。このθ_ｎに対応する回転角度にある仮想
ウェハ円周上の点をＮとする。

【００６５】オリフラの場合は、図３(ｂ)に示す両エッ
ジ近傍の点が直線状にあるとみなして、ノッチ中心を求
めた方法でオリフラ中心に対応する回転角度θ_ｎを求め
るか、補正されたラインセンサの測定値ｙ’の軌跡が円
の一部であるとして最小２乗法を用い、それによりオリ
フラの中心に対応する回転角度θ_ｎを求めてもよい。こ
の場合も、このθ_ｎに対応する回転角度にある仮想ウェ
ハ円周上の点をＮとする。

【００６６】次に、前記のようにしてθｎが求められた
とき、これから、ノッチ又はオリフラの中心点を基準方
向（Ｙ軸方向とする）に合わせるのに、どの程度回転テ
ーブルを回転させればよいかを計算する。図４は、回転
テーブルがθ_０からθｎだけ回転した状態、すなわち、
ノッチ又はオリフラの中心点がラインセンサで検出され
ている状態を示す図である。円はウェハ、太い直線はラ
インセンサ、Ｎは前記ノッチまたはオリフラの中心点に
よって決まる仮想ウェハ円周上の点である。

【００６７】また、その他の記号は、図１と同じ記号で
示されたものを示している。また、Θ_ｎは、角ＮＯ_ｒＯ
_ｗを、φは、Ｙ軸に対する線分Ｏ_ｗＮのなす角を示し、
φが、回転テーブルとウェハの中心を合わせた後で、ノ
ッチ又はオリフラの中心を基準方向に合わせるために、
回転テーブルを回転させるべき角度に対応する。

【００６８】図４の状態のときのＮラインセンサの検出
値をｙ_ｎとすると、Ｎは、ラインセンサの中心点に対し
て、Ｘ軸方向にｙ_ｎsinα、Ｙ軸方向にｙ_ｎcosαだけず
れている。

【００６９】Ｏ_ｒＮの長さをＬとすると、図４に示す幾
何学的な関係より Ｌsin（Θ_ｎ+θ_ｎ+θ_０）＝Ｙ_ｓ+ｙ_ｎcosα …(32) Ｌcos（Θ_ｎ+θ_ｎ+θ_０）＝Ｘ_ｓ+ｙ_ｎsinα …(33) で表される。ｙ_ｎの値はウェハ外周であるが、実測値を
用いるとノッチの切り欠き部分が測定されてしまうの
で、θ_ｎの値より計算して求める。すなわち、図１にお
ける幾何学的な関係から ｘ_ｒ＝−Ｘ_ｓcosα＋Ｙ_ｓsinα ｙ_ｒ＝−Ｘ_ｓsinα−Ｙ_ｓcosα であるので、これらを(6)式に代入して、

【００７０】

【数１６】

【００７１】この関係を利用して、(32)、(33)式から、
ＬとΘ_ｎを求める。回転装置を回転させる前の状態であ
る図５において考えると、ＬとΘ_ｎの値は、図４と変わ
らないので、ウェハ中心Ｏｗから前記Ｎ点までのベクト
ルは、

【００７２】

【数１７】

【００７３】となる。求める角度はベクトル

【００７４】

【数１８】

【００７５】とウェハ中心座標のＹ軸との角度になる。
Ｙ軸方向の単位ベクトルを

【００７６】

【数１９】

【００７７】とおくと、内積から、

【００７８】

【数２０】

【００７９】したがって、

【００８０】

【数２１】

【００８１】となる。ただし、φは方向を持たない。し
たがって以下の条件で方向を決定する。 Ｌcos(Θ_ｎ+θ_０)−ｒcosθ_０≧０の場合、φは負 Ｌcos(Θ_ｎ+θ_０)−ｒcosθ_０＜０の場合、φは正 これらの式をまとめると、Ｌcos(Θ_ｎ+θ_０)−ｒcosθ
_０≧０の場合、

【００８２】

【数２２】

【００８３】Ｌcos(Θ_ｎ+θ_０)−ｒcosθ_０＜０の場
合、

【００８４】

【数２３】

【００８５】となる。

【００８６】よって、１回の測定により、ウェハの中心
を回転テーブルの中心（基準点）に合わせるためにウェ
ハをシフトする量は、(26)、(27)式により、シフト後に
ノッチ又はオリフラの中心を基準方向に合わせるために
必要な回転テーブルの回転量（初期位置からの回転量）
は、(39)式又は(40)式により求められる。

【００８７】したがって、実際のプリアライメントにお
いては、回転テーブル上に載置したウェハを回転させ、
そのエッジをラインセンサで検出して、(26)と(27)、(3
9)式又は(40)式にあたる数値を求め、(26)と(27)式にあ
たる数値だけ、ウェハ位置を回転テーブルに対してシフ
トさせ、その後、回転テーブルを初期位置から(39)式又
は(40)式にあたる数値だけ回転させることによりプリア
ライメントを完了させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】回転テーブル、ウェハ、ラインセンサの関係
を、回転テーブル座標系で示す図である。

【図２】回転テーブル、ウェハ、ラインセンサの関係
を、センサ座標系で示す図である。

【図３】ノッチ又はオリフラの中心位置を、回帰式によ
り求める方法を示す図である。

【図４】ノッチ又はオリフラの中心位置がラインセンサ
位置にあるときの、回転テーブル、ウェハ、ラインセン
サとノッチ位置の関係を、回転テーブル座標系で示す図
である。

【図５】回転の初期状態における、回転テーブル、ウェ
ハ、ラインセンサとノッチ位置の関係を、回転テーブル
座標系で示す図である。

【図６】ウェハのプリアライメント装置の概要を示す図
である。

【符号の説明】

Ｏ_ｒ…回転テーブルの中心点 〇_ｗ…ウェハの中心点 Ｏ_ｓ…ラインセンサの基準点 Ｒ…ウェハ半径 θ_０…初期位置における〇_ｗのＸ座標に対する角度 θ…回転テーブル回転角 θ_ｎ…ノッチ又はオリフラ中心検出時の回転テーブル回
転角 α…回転テーブル座標系とセンサ座標系の角度

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 HA53 HA59 JA03 JA15 JA28 JA29 JA34 JA35 JA36 JA51 KA06 KA13 KA14

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転装置に載置されたウェハを回転さ
   せ、ラインセンサでその外周の変動値を調べ、回転装置
   の中心に対するウェハ偏芯量と、ウェハ中心における基
   準方向に対するノッチ又はオリフラの角度を求めるウェ
   ハの載置姿勢検出方法であって、ラインセンサの測定値
   の変化率が所定値以上となる区間を検出し、それらの区
   間を除いた位置でのラインセンサの測定値を使用して、
   回転装置の中心に対するウェハの偏芯量を求め、前記ラ
   インセンサの測定値の変化率が所定値以上となる区間、
   又は当該区間の端部付近で、前記ラインセンサの測定値
   を、前記偏芯による測定値の変化分を考慮して補正し
   て、補正後のデータより、ウェハ中心における基準方向
   に対するノッチ又はオリフラの中心点の角度を求めるこ
   とを特徴とするウェハの載置姿勢検出方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のウェハの載置位置検出
   方法で求められた偏芯量に応じた量だけウェハを回転装
   置に対して相対移動させた後、前記ウェハ中心における
   基準方向に対するノッチ又はオリフラの中心点の角度分
   だけ、ウェハを回転させることを特徴とするウェハのプ
   リアライメント方法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のウェハの載置位置検出
   方法で求められたウェハ中心における基準方向に対する
   ノッチ又はオリフラの中心点の角度分だけ、ウェハを回
   転させ、その後、前記偏芯量に応じた量だけ、ウェハを
   回転装置に対して相対移動させることを特徴とするウェ
   ハのプリアライメント方法。
4. 【請求項４】 ウェハを水平な平面状で互いに直角な２
   方向に移動させる手段と、ウェハを回転軸の周りに回転
   させる手段とを有してなり、これらの手段を駆動して、
   請求項２又は請求項３に記載のウェハのプリアライメン
   ト方法を実施する機能を有してなることを特徴とするウ
   ェハのプリアライメント装置。