[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2002265261A - 積層セラミックコンデンサ - Google Patents

積層セラミックコンデンサ

Info

Publication number
JP2002265261A
JP2002265261A JP2001063837A JP2001063837A JP2002265261A JP 2002265261 A JP2002265261 A JP 2002265261A JP 2001063837 A JP2001063837 A JP 2001063837A JP 2001063837 A JP2001063837 A JP 2001063837A JP 2002265261 A JP2002265261 A JP 2002265261A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic capacitor
multilayer ceramic
secondary phase
ceramic
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001063837A
Other languages
English (en)
Inventor
Noriyuki Nishino
敬之 西野
Toshiki Nishiyama
俊樹 西山
Yasunobu Yoneda
康信 米田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2001063837A priority Critical patent/JP2002265261A/ja
Priority to TW090133472A priority patent/TW548665B/zh
Priority to CNB021028729A priority patent/CN1212629C/zh
Priority to US10/086,369 priority patent/US6487065B1/en
Priority to KR10-2002-0012128A priority patent/KR100417303B1/ko
Publication of JP2002265261A publication Critical patent/JP2002265261A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/018—Dielectrics
    • H01G4/06—Solid dielectrics
    • H01G4/08—Inorganic dielectrics
    • H01G4/12—Ceramic dielectrics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/018—Dielectrics
    • H01G4/06—Solid dielectrics
    • H01G4/08—Inorganic dielectrics
    • H01G4/12—Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1236—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on zirconium oxides or zirconates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/486—Fine ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62685—Treating the starting powders individually or as mixtures characterised by the order of addition of constituents or additives
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/018—Dielectrics
    • H01G4/06—Solid dielectrics
    • H01G4/08—Inorganic dielectrics
    • H01G4/12—Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
    • H01G4/1227—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3201—Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3203—Lithium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3213—Strontium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3232—Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3232—Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
    • C04B2235/3234—Titanates, not containing zirconia
    • C04B2235/3236—Alkaline earth titanates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3248—Zirconates or hafnates, e.g. zircon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3262—Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
    • C04B2235/3267—MnO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418—Silicon oxide, silicic acids or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/36—Glass starting materials for making ceramics, e.g. silica glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6562—Heating rate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】Ｔｉの含有割合が高められたとしても、高温負
荷試験における短絡不良や絶縁抵抗の劣化が生じ難い、
ＣａＴｉＯ3 ／ＣａＺｒＯ3 系セラミックスを用いた積
層セラミックコンデンサ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】ＣａＴｉＯ3 ／ＣａＺｒＯ3 を主成分と
し、副成分としてＭｎＯ２及びＳｉＯ２を含む組成を有
するセラミック焼結体を用いた積層セラミックコンデン
サであって、Ｃａ及びＳｉを主成分とする二次相中のＣ
ａ含有率が３０モル％以下とされている、積層セラミッ
クコンデンサ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックコ
ンデンサの製造方法に関し、より詳細には、ＣａＴｉＯ
3 ／ＣａＺｒＯ3 系セラミックスを用いた中性または還
元性雰囲気化で焼成され得るセラミックスを用いた積層
セラミックコンデンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、積層コンデンサなどの積層セラミ
ック電子部品では、コストダウンを図るために、内部電
極としてＮｉやＣｕなどの卑金属が用いられている。卑
金属は酸化されやすいため、卑金属を内部電極として用
いた積層コンデンサの製造に際しては、セラミックスの
焼成は中性または還元性雰囲気で行われる必要がある。
【０００３】そこで、例えば特開昭６３−１２６１１７
号公報には、中性または還元性雰囲気下で焼成され得る
温度補償用誘電体磁器組成物が開示されている。ここで
は、主成分を一般式（Ｃａ1-x Ｓｒx ）m （Ｚｒ1-y Ｔ
ｉy ）Ｏ3 で表したとき、ｘ，ｙ及びｍの値が、０≦ｘ
≦０．６、０≦ｙ≦０．６及び０．８５≦ｍ≦１．３０
とされている。また、上記主成分１００重量部に対し、
ＭｎＯ2を０．５〜８重量部と、ＴｉＯ2 やＳｉＯ2 な
どを含むガラス成分０．５〜８重量部とが配合されてい
る。
【０００４】特開昭６３−１２６１１７号公報では、上
記誘電体磁器組成物において、Ｔｉ／Ｚｒ比をコントロ
ールすることにより、積層セラミックコンデンサの温度
特性を多岐にわたり調整し得ることが開示されている。
なお、積層セラミックコンデンサの温度特性とは、静電
容量の温度による変化率を意味し、一般に温度係数と称
されており、０ｐｐｍ／℃で表されている。上記温度係
数は次の式で与えられる。
【０００５】温度係数＝（Ｃi −Ｃ0 ）×１０6 ／（Ｔ
i −Ｔ0 ）なお、Ｃi 及びＣ0 は、それぞれ、温度
Ｔi ，Ｔ0 における静電容量を示す。温度補償用セラミ
ックコンデンサの温度特性は、上記温度係数と、温度係
数許容差を組み合わせ、アルファベット２文字で表され
ている。特開昭６３−１２６１１７号公報に記載の誘電
体磁器組成物を用いた場合、積層セラミックコンデンサ
の温度特性を、ＣＧ特性からＳＬ特性までの範囲で調整
し得ることができる。
【０００６】なお、上記ＣＧ特性及びＳＬ特性の意味
は、下記の表１，表２から明らかなように、それぞれ、
温度係数が０ｐｐｍ／℃かつ温度係数許容差が±３０ｐ
ｐｍ／℃であること、並びに温度係数が＋３５０〜−１
０００の範囲であることを示す。
【０００７】
【表１】
【０００８】
【表２】
【０００９】また、特開昭６３−１２６１１７号公報に
は、Ｔｉの含有割合を上げれば、温度特性が改善される
ことが示されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＣａＴ
ｉＯ3 ／ＣａＺｒＯ3 系セラミックスを用いて積層セラ
ミックコンデンサを得た場合、Ｔｉの含有比率が高いセ
ラミックス領域では、高温負荷試験において短絡不良や
ＩＲ（絶縁抵抗）劣化が生じるという問題があった。
【００１１】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、Ｔｉの含有割合が高められたとしても、高温
負荷試験における短絡不良や絶縁抵抗の劣化が生じ難
い、信頼性に優れたＣａＴｉＯ3 ／ＣａＺｒＯ3 系セラ
ミックスを用いた積層セラミックコンデンサ及びその製
造方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の広い局面によれ
ば、ＣａＴｉＯ3 及びＣａＺｒＯ3 を主成分とする主結
晶相と、Ｃａ及びＳｉを主成分とする二次相とを有する
セラミック焼結体と、前記セラミック焼結体内に配置さ
れた内部電極とを備える積層セラミックコンデンサにお
いて、前記二次相中のＣａ含有率が３０モル％以下であ
ることを特徴とする、積層セラミックコンデンサが提供
される。
【００１３】本発明の他の特定の局面においては、上記
内部電極が、ＣｕやＮｉなどの卑金属からなり、それに
よって積層セラミックコンデンサのコストを低減するこ
とができる。
【００１４】本発明にかかる積層セラミックコンデンサ
の製造方法は、本発明になる積層セラミックコンデンサ
の製造方法であって、ＣａＴｉＯ3 及びＣａＺｒＯ3 を
主成分とし、副成分としてＭｎＯ2 及びＳｉＯ2 を含む
組成を有し、複数の内部電極が設けられている未焼成の
セラミック積層体を用意する工程と、前記未焼成のセラ
ミック積層体を、最高温度までを５℃／分以上の昇温速
度で焼成を行う焼成工程とを備えることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を説明する。
本発明にかける積層セラミックコンデンサでは、セラミ
ック焼結体が、ＣａＴｉＯ3 及びＣａＺｒＯ3 を主成分
とする主結晶相と、Ｃａ及びＳｉを主成分とする二次相
とを有する。このような主結晶相及び二次相を有するセ
ラミック焼結体は、特に限定されるわけではないが、例
えば、特開昭６３−１２６１１７号公報に記載のよう
に、一般式（Ｃａ1-x Ｓｒx ）m （Ｚｒ1-y Ｔｉy ）Ｏ
2 ［以下、一般式（１）とする。］で表される主成分１
００重量部に対し、ＭｎＯ2 を０．５〜８重量部とＴｉ
Ｏ2 及びＳｉＯ2 を有するガラス成分０．５〜８重量部
とを含む組成物を焼成することによって得られる。
【００１６】なお、上記一般式（１）において、ｘ、ｙ
及びｍは、それぞれ、０≦ｘ≦０．６、０≦ｙ≦０．６
及び０．８５≦ｍ≦１．３０とされる。ただし、ｘ，ｙ
がともに０となる場合を除く。
【００１７】また、上記ガラス成分としては、ＴｉＯ2
及びＳｉＯ2 を合計で３０〜７０モル％を含み、その
他、Ｌｉ2 Ｏ、ＲＯ（ただし、ＲはＢａ、Ｓｒ、Ｃａ及
びＭｇのうち少なくとも１種）並びにＡｌ2 Ｏ3 を含む
ものが用いられる。
【００１８】本発明は、上記セラミック焼結体におい
て、二次相中のＣａ含有率が３０モル％以下であること
を特徴とし、それによって、高温負荷試験における信頼
性が高められる。これを具体的な実験例に基づき説明す
る。
【００１９】長さ２．０ｍｍ×幅１．２ｍｍ×厚み１．
２ｍｍの寸法の積層セラミックコンデンサを以下のよう
にして作成した。まず、ＣａＺｒＯ3 及びＣａＴｉＯ3
の仮焼物、ＭｎＯ2 粉末及びＳｉＯ2 微粉末を、下記の
割合となるように配合し、有機バインダー及び溶剤を加
えてセラミックスラリーを得た。
【００２０】セラミックスラリーの配合は、ＣａＺｒＯ
3 及びＣａＴｉＯ3 の仮焼物１００重量％に対し、Ｓｉ
−Ｌｉ系焼結助剤１．０重量％、ＭｎＯ2 １．４重量
％、バインダー１０重量％、可塑剤１．４重量％であ
る。
【００２１】上記のようにして得られたセラミックスラ
リーから、焼き上げ後の厚みが５．０μｍに相当する厚
みのセラミックグリーンシートを成形した。上記セラミ
ックグリーンシート上に、Ｎｉペーストを印刷し、内部
電極パターンを形成した。このようにして内部電極パタ
ーンが印刷されたマザーのセラミックグリーンシートを
複数枚積層し、上下に無地のマザーのセラミックグリー
ンシートを積層する。得られたマザーの積層体を厚み方
向に加圧した後、個々の積層セラミックコンデンサ単位
に切断した。なお、内部電極間に挟まれているセラミッ
ク層の数は１０、すなわち内部電極の積層数は１１とし
た。
【００２２】上記のようにして得られた個々の積層セラ
ミックコンデンサ単位の積層体を下記の５種類の昇温速
度条件でそれぞれ焼成し、セラミック焼結体を得た。な
お、焼成最高温度は１３００℃とした。
【００２３】昇温速度…１．０℃／分 昇温速度…３．０℃／分 昇温速度…５．０℃／分 昇温速度…１０．０℃／分 昇温速度…２０．０℃／分 上記のようにして種々の昇温速度で焼成された各セラミ
ック焼結体をバレル研磨し、しかる後両端面にＣｕ導電
ペーストを塗布し、焼付け、外部電極を形成した。この
ようにして形成された外部電極表面に、Ｎｉメッキ膜及
びＳｎメッキ膜をそれぞれ形成し、図１に示す積層セラ
ミックコンデンサ１を得た。
【００２４】積層セラミックコンデンサ１は、セラミッ
ク焼結体２と、セラミック焼結体２内に配置された内部
電極３〜６とを有する。また、セラミック焼結体２の対
向しあう端面２ａ，２ｂには、外部電極７，８が形成さ
れている。
【００２５】上記のようにして得られた積層セラミック
コンデンサについて、高温負荷試験及び組成分析を
以下のようにして行った。 高温負荷試験…１５０℃の温度条件下において１００
Ｖの電圧を引加し、２００時間放置し、高温負荷後の短
絡不良及び絶縁抵抗劣化不良を調べた。
【００２６】組成分析…ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）
／ＥＤＸ（エネルギー分散型Ｘ線分光器）により二次相
の定性分析を行った。下記の表３に定性分析結果を示
す。
【００２７】
【表３】
【００２８】表３から明らかなように、昇温速度及び
で作成された積層セラミックコンデンサでは、高温負
荷試験において短絡不良及び絶縁抵抗の劣化が発生し
た。これに対して、昇温速度〜では、これらの不良
は生じなかった。従って、昇温速度を５℃／分以上とす
ることにより、高温負荷試験における不良が生じ難い、
信頼性に優れた積層セラミックコンデンサが得られるこ
とがわかる。
【００２９】また、二次相の組成分析結果から明らかな
ように、昇温速度〜で焼成された場合、二次相にお
けるＣａ含有量が３０モル％以下と低くなっていること
がわかる。すなわち、二次相中のＣａの割合が３０モル
％以下であれば、高温負荷試験における上記不良が発生
していないことがわかる。
【００３０】上記昇温速度で得られた積層セラミック
コンデンサの二次相の状態を図２に模式的拡大断面図で
示す。図２において、内部電極３〜５間のセラミック層
は、そのほとんどが主結晶層Ａで構成されているが、主
結晶層Ａ内に、二次相Ｂが析出している。この二次相Ｂ
のＣａ含有率が、本発明では３０モル％以下とされてい
る。
【００３１】従って、表３の結果から、昇温速度を５℃
／分以上とすれば、Ｃａの二次相における含有率を３０
モル％以下とし得ることがわかる。よって、本発明に従
って、二次相中のＣａ含有率を３０モル％以下とするこ
とにより、ＣａＴｉＯ3 及びＣａＺｒＯ3 を主成分とす
る主結晶相と、Ｃａ，Ｓｉを主成分とする二次相とを有
するセラミック焼結体を用いた積層セラミックコンデン
サにおいて、高温負荷時の短絡不良や絶縁抵抗の劣化を
確実に抑制し得ることがわかる。
【００３２】なお、上記実施例では、内部電極としてＮ
ｉを用いたが、Ｃｕなどの他の卑金属を用いてもよく、
同様に積層セラミックコンデンサのコストを低減するこ
とができる。もっとも、本発明においては、卑金属以外
の貴金属、例えば、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ等により内
部電極を形成してもよく、その場合においても、本発明
に従って、高温負荷試験における短絡不良や絶縁抵抗の
劣化を抑制することができる。
【００３３】もっとも、卑金属からなる内部電極の場合
には、中性または還元性雰囲気で焼成しなければなら
ず、従って、本発明にかかるセラミック焼結体を好適に
用いることができる。
【００３４】
【発明の効果】本発明にかかる積層セラミックコンデン
では、ＣａＴｉＯ3 及びＣａＺｒＯ3からなる主成分に
より構成される主結晶相と、Ｃａ及びＳｉを主成分とす
る二次相とが析出しているセラミック焼結体を用いてお
り、該二次相におけるＣａ含有率が３０モル％以下とさ
れているので、高温負荷試験における短絡不良や絶縁抵
抗の劣化を抑制することができる。これは、本願発明者
により実験的に見出されたものである。
【００３５】従って、本発明によれば、中性または還元
雰囲気で焼成し得るＣａＴｉＯ3 ／ＣａＺｒＯ3 系セラ
ミックスからなるセラミック焼結体を用いた積層セラミ
ックコンデンサにおいて、所望とする温度特性を実現す
るためにＴｉ含有率を高めた場合であっても、高温負荷
試験による不良が生じ難い、信頼性に優れた積層セラミ
ックコンデンサを提供することができる。よって、様々
な用途に応じた温度特性を有する積層セラミックコンデ
ンサを安定に提供することが可能となる。
【００３６】特に、内部電極として卑金属からなるもの
を用いた場合には、卑金属からなる内部電極が中性また
は還元性雰囲気下で焼成されるセラミックスを必要とす
るため、本発明を好適に用いることができる。
【００３７】本発明にかかる積層セラミックコンデンサ
の製造方法では、ＣａＴｉＯ3 ／ＣａＺｒＯ3 系セラミ
ックスからなる積層セラミックコンデンサを得るにあた
り、５℃／分以上の昇温速度で最高温度まで昇温するこ
とによって焼成が行われるので、二次相中のＣａ含有率
を３０モル％以下とすることができ、従って、本発明に
従って構成された高温負荷試験における信頼性に優れた
積層セラミックコンデンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例にかかる積層セラミックコンデ
ンサを説明するための模式的断面図。
【図２】図１に示した積層セラミックコンデンサにおけ
る主結晶相と二次相とを説明するための部分拡大断面
図。
【符号の説明】
１…積層セラミックコンデンサ ２…セラミック焼結体 ３〜６…内部電極 ７，８…外部電極 Ａ…主結晶相 Ｂ…二次相
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 米田 康信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 4G031 AA04 AA11 AA12 AA19 AA30 BA09 CA03 GA07 5E001 AB03 AC09 AE00 AE03 AE04 AH09 AJ01 AJ02

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＣａＴｉＯ3 及びＣａＺｒＯ3 を主成分
    とする主結晶相と、Ｃａ及びＳｉを主成分とする二次相
    とを有するセラミック焼結体と、 前記セラミック焼結体内に配置された内部電極とを備え
    る積層セラミックコンデンサにおいて、 前記二次相中のＣａ含有率が３０モル％以下であること
    を特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
  2. 【請求項２】 前記内部電極が卑金属からなる、請求項
    １に記載の積層セラミックコンデンサ。
  3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の積層セラミッ
    クコンデンサの製造方法であって、 ＣａＴｉＯ3 及びＣａＺｒＯ3 を主成分とし、副成分と
    してＭｎＯ2 及びＳｉＯ2 を含む組成を有し、複数の内
    部電極が設けられている未焼成のセラミック積層体を用
    意する工程と、 前記未焼成のセラミック積層体を、最高温度までを５℃
    ／分以上の昇温速度で焼成を行う焼成工程とを備えるこ
    とを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方
    法。
JP2001063837A 2001-03-07 2001-03-07 積層セラミックコンデンサ Pending JP2002265261A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001063837A JP2002265261A (ja) 2001-03-07 2001-03-07 積層セラミックコンデンサ
TW090133472A TW548665B (en) 2001-03-07 2001-12-31 Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method thereof
CNB021028729A CN1212629C (zh) 2001-03-07 2002-01-28 多层陶瓷电容及其生产方法
US10/086,369 US6487065B1 (en) 2001-03-07 2002-03-04 Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method thereof
KR10-2002-0012128A KR100417303B1 (ko) 2001-03-07 2002-03-07 적층세라믹커패시터와 그 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001063837A JP2002265261A (ja) 2001-03-07 2001-03-07 積層セラミックコンデンサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002265261A true JP2002265261A (ja) 2002-09-18

Family

ID=18922759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001063837A Pending JP2002265261A (ja) 2001-03-07 2001-03-07 積層セラミックコンデンサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6487065B1 (ja)
JP (1) JP2002265261A (ja)
KR (1) KR100417303B1 (ja)
CN (1) CN1212629C (ja)
TW (1) TW548665B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006082833A1 (ja) * 2005-02-04 2006-08-10 Murata Manufacturing Co., Ltd 積層セラミックコンデンサ、及び該積層セラミックコンデンサの製造方法
JP2021091587A (ja) * 2019-12-12 2021-06-17 Tdk株式会社 誘電体組成物および電子部品

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7173923B2 (en) * 2000-03-17 2007-02-06 Symbol Technologies, Inc. Security in multiple wireless local area networks
US7173922B2 (en) * 2000-03-17 2007-02-06 Symbol Technologies, Inc. Multiple wireless local area networks occupying overlapping physical spaces
JP4111006B2 (ja) * 2003-03-03 2008-07-02 株式会社村田製作所 誘電体セラミックおよびその製造方法ならびに積層セラミックコンデンサ
US7428137B2 (en) * 2004-12-03 2008-09-23 Dowgiallo Jr Edward J High performance capacitor with high dielectric constant material
US7172985B2 (en) * 2005-06-07 2007-02-06 Kemet Electronics Corporation Dielectric ceramic capacitor comprising non-reducible dielectric
JP5224074B2 (ja) * 2010-08-04 2013-07-03 株式会社村田製作所 誘電体セラミック、及び積層セラミックコンデンサ
KR101389042B1 (ko) * 2010-10-01 2014-04-23 다이요 유덴 가부시키가이샤 적층 세라믹 콘덴서
KR101504583B1 (ko) * 2011-09-29 2015-03-20 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조 방법
CN103288442B (zh) * 2012-02-29 2016-12-14 深圳光启创新技术有限公司 一种陶瓷复合材料及其制备的超材料
KR101922867B1 (ko) * 2012-10-12 2018-11-28 삼성전기 주식회사 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법
KR101565640B1 (ko) * 2013-04-08 2015-11-03 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터 및 그 제조방법
CN110218087B (zh) * 2019-07-05 2021-12-07 威海市科博乐汽车电子有限公司 负温度系数热敏电阻材料的制备方法
JP7351205B2 (ja) 2019-12-12 2023-09-27 Tdk株式会社 誘電体組成物および電子部品

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0831284B2 (ja) 1986-11-14 1996-03-27 株式会社村田製作所 非還元性温度補償用誘電体磁器組成物
US5258150A (en) * 1991-12-06 1993-11-02 Corning Incorporated Fabrication of low thermal expansion, high porosity cordierite body
JPH0845343A (ja) * 1994-07-28 1996-02-16 Kyocera Corp 誘電体磁器組成物
JP2000252156A (ja) * 1999-02-26 2000-09-14 Kyocera Corp 積層セラミックコンデンサ
JP2001006966A (ja) * 1999-06-17 2001-01-12 Murata Mfg Co Ltd セラミックコンデンサおよびその製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006082833A1 (ja) * 2005-02-04 2006-08-10 Murata Manufacturing Co., Ltd 積層セラミックコンデンサ、及び該積層セラミックコンデンサの製造方法
US7342767B2 (en) 2005-02-04 2008-03-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer ceramic capacitor and method for manufacturing the same
JP2021091587A (ja) * 2019-12-12 2021-06-17 Tdk株式会社 誘電体組成物および電子部品
US11367571B2 (en) 2019-12-12 2022-06-21 Tdk Corporation Dielectric composition and electronic component
JP7306251B2 (ja) 2019-12-12 2023-07-11 Tdk株式会社 誘電体組成物および電子部品

Also Published As

Publication number Publication date
CN1374667A (zh) 2002-10-16
KR20020071780A (ko) 2002-09-13
US6487065B1 (en) 2002-11-26
KR100417303B1 (ko) 2004-02-05
TW548665B (en) 2003-08-21
CN1212629C (zh) 2005-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100376085B1 (ko) 유전체 세라믹 조성물 및 모놀리식 세라믹 커패시터
JP3908715B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP3039397B2 (ja) 誘電体磁器組成物とそれを用いた積層セラミックコンデンサ
JP4111006B2 (ja) 誘電体セラミックおよびその製造方法ならびに積層セラミックコンデンサ
KR100443231B1 (ko) 유전체 세라믹 조성물 및 적층 세라믹 캐패시터
JP3346293B2 (ja) 非還元性誘電体磁器組成物およびそれを用いた積層セラミックコンデンサ
KR100375719B1 (ko) 유전체 세라믹 조성물 및 모놀리식 세라믹 커패시터
JP4382598B2 (ja) 耐還元性誘電体磁器組成物と超薄層積層セラミックコンデンサ
JP2002050536A (ja) 耐還元性誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ
KR20100008380A (ko) 유전체 세라믹 조성물 및 적층 세라믹 콘덴서
JPH1012479A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2002265261A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2017014093A (ja) 誘電体磁器組成物及びこれを含む積層セラミックキャパシタ
JP2004323315A (ja) 誘電体磁器組成物及びその製造方法並びにそれを用いた積層セラミックコンデンサ
US8492302B2 (en) Dielectric ceramic composition and ceramic electronic component
JP2005029423A (ja) 誘電体磁器組成物および電子部品
KR20150091758A (ko) 저온 소성용 유전체 조성물, 이를 포함하는 적층 세라믹 전자 부품 및 적층 세라믹 전자 부품의 제조 방법
JP4729847B2 (ja) 非還元性誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ
JP4752340B2 (ja) 誘電体セラミック組成物、および積層セラミックコンデンサ
JP4496639B2 (ja) 電子部品およびその製造方法
JP2008166470A (ja) 電子部品及びその製造方法
JP2001167970A (ja) 積層コンデンサ及びその製造方法
JPH11233364A (ja) 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
EP4401103A2 (en) Multilayer electronic component
JP4165434B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050518

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050712

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050912

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060627

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060727

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060824

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20060919

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20061020