JP2002176019A - ワーク処理槽 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高温の処理液にワークを浸漬して処理するた
めのワーク処理槽において、上記処理液からの熱が該処
理槽を通じて外部に放熱されるのを防止する。 【解決手段】 加熱された高温の処理液１２中にワーク
１１を浸漬させて処理するための処理槽１０を、上記処
理液１２をオーバーフロー状態に収容するための内槽１
３と、該内槽１３の上端部外周を取り囲むように設置さ
れ、オーバーフローする処理液１２を受けて回収するた
めの回収槽２０と、この回収槽２０の下端部に連設され
て内槽１３の側面及び底面を取り囲む外槽２１とにより
形成し、この外槽２１と内槽１３との間に断熱材２２を
介設する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハなど
のワークを高温の処理液に浸漬して処理するためのワー
ク処理槽に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体ウエハの製造工程において
は、該ウエハを加熱された高温の処理液中に浸漬して処
理する場合がある。このような処理には通常、図３に示
すような高温処理槽１が使用され、槽底に設けた複数の
ノズル２から高温の処理液３を槽内にオーバーフロー状
態となるように連続的に供給しながら、その処理液３中
にワーク４を浸漬して処理するように構成されている。
処理槽１をオーバーフローした処理液３は、該処理槽１
の上端部の回りに形成された回収槽５内に流入して回収
される。

【０００３】ところが、上記従来の処理槽１は、高温の
処理液３からの熱が該処理槽１を通じて周囲にそのまま
放熱されるようになっているため、放熱量が多く効率が
悪いだけでなく、処理液３の温度管理も煩雑になるとい
った問題や、処理槽１の周辺に設置されている計器類や
スイッチ類、配線などの各部材が熱にさらされ、劣化が
早まって耐久性が低下するといったような問題があっ
た。また、作業者が高温の処理槽に接触する危険性もあ
った。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、高温の処理液にワークを浸漬して処理するためのワ
ーク処理槽において、上記処理液からの熱が該処理槽を
通じて外部に放熱されるのを防止することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、加熱された高温の処理液中にワー
ークを浸漬させて処理するための処理槽であって、上記
処理液をオーバーフロー状態に収容するための平面視矩
形の内槽と、この内槽内に上記処理液を供給するための
ノズルと、上記内槽の上端部外周を取り囲むように設置
され、該内槽からオーバーフローする処理液を受けて回
収するための回収槽と、この回収槽の下端部に連設さ
れ、該回収槽の下方位置において上記内槽の側面及び底
面を取り囲む外槽とを有し、この外槽と内槽との間に、
該内槽から外槽への熱の伝達を遮断するための断熱材が
介設されてなるワーク処理槽が提供される。

【０００６】上記構成を有するワーク処理槽は、高温の
処理液が収容される内槽の回りに外槽を設け、これらの
内槽と外槽との間に断熱材を介在させたので、処理液か
らの高熱が内槽を通じて外部に放出されることがなく、
これにより、熱効率が高められて処理液の温度管理も簡
単になるだけでなく、処理槽の周辺に設置されている計
器類やスイッチ類、配線などの各部材が熱にさらされる
ことにより劣化が早まって耐久性が低下するといった問
題や、作業者が高温の処理槽に接触する危険性などの問
題も確実に解消することができる。しかも、上記外槽を
回収槽の下端部に連設することにより該回収槽の下方位
置において内槽の回りに被設したので、この外槽を回収
槽の設置領域内にコンパクトに設置することができ、外
槽が側方に張り出してスペースを占有することがない。

【０００７】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
外槽が、上記内槽の一つの側面を除く他の側面と底面と
を覆うように被設されていて、該内槽の外槽で覆われて
いない側面に上記ノズルに連通する給液管が接続される
と共に、この側面の位置で上記回収槽に、該回収槽内の
処理液を回収するための回収管が接続されている。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明に係るワー
ク処理槽の好ましい一実施形態を概略的に示している。
このワーク処理槽１０は、半導体ウエハなどの平面状を
したワーク１１に、加熱された高温の処理液１２による
エッチングや洗浄等の各種処理を施すためのもので、石
英ガラスなどの、化学薬液や純水あるいは市水などから
なる上記処理液に対する耐腐食性と耐熱性とを備えた素
材により形成されている。

【０００９】上記処理槽１０は、上記処理液１２をオー
バーフロー状態に収容するための内槽１３を有してい
る。この内槽１３は、上半部が矩形状で、下半部は、相
対する側面１３ｂ，１３ｃの下端部の間隔が槽底に向か
って次第に狭くなった形状を有し、その大きさは、複数
の円板形ワーク１１をマガジン１４に一定間隔で並立状
態に保持させて収容可能な大きさであり、この内槽１３
の底部には、上記処理液１２をオーバーフロー式に供給
するための複数のノズル１５が設けられている。これら
のノズル１５は、細長い筒体の側面にスリット状の噴射
口１５ａを備えたもので、上記内槽１３の底部の相対す
る位置に該内槽１３を横断するように配設され、各ノズ
ル１５の噴射口１５ａは、ワーク１１の中心かあるいは
それより上方に向けて処理液を噴出できるように斜め上
方に向けられている。

【００１０】上記マガジン１４は、相対する一対のフレ
ーム１７，１７間に複数のワーク支持棒１８を取り付け
たもので、各支持棒１８の上端には複数の凹溝１８ａが
一定間隔で設けられ、これらの凹溝１８ａ内にワーク１
１の外周部を嵌合させることにより、複数のワーク１１
を一定間隔で並立状態に支持するものである。この場
合、上記各支持棒１８は、各ノズル１５からワーク１１
の中心部に向けて噴射される処理液１２の噴射の障害と
ならないような位置に配設されている。

【００１１】上記マガジン１４は内槽１３内に固定的に
設置されていて、このマガジン１４上に上記ワーク１１
が、前工程から図示しない搬送機構により搬送されてセ
ットされるようになっている。そして、処理液１２に浸
漬されることにより所定の処理が施されたワーク１１
は、内槽１３から取り出されて次工程に送られる。

【００１２】上記内槽１３の上端部には、該内槽１３か
らオーバーフローする処理液１２を受けて回収するため
の矩形の回収槽２０が、該内槽１３の外周を取り囲むよ
うに設置されている。この回収槽２０は、内槽１３の４
つの側面のうち第１〜第３側面１３ａ〜１３ｃに対応す
る槽部分２０ａ〜２０ｃが、槽幅を狭く且つ深さを浅く
形成され、第４側面１３ｄに対応する槽部分２０ｄが、
この槽部分２０ｄを通じて処理液１２を外部に排出でき
るように、槽幅を広く且つ深さを深く形成されている。
そして、上記各槽部分２０ａ〜２０ｃに流れ込んだ処理
液１２を槽部分２０ｄに流入し易くするため、槽部分２
０ｂ，２０ｃの底面２０ｅは槽部分２０ｄ側に向けて次
第に低くなるように傾斜している。なお、この回収槽２
０の上端は、内槽１３をオーバーフローした処理液１２
が外部に漏出することのないように、該内槽１３の上端
より高く形成されている。

【００１３】上記回収槽２０の下端部には、内槽１３の
第１〜第３側面１３ａ〜１３ｃと底面１３ｅとを覆うよ
うに外槽２１が連設されている。この外槽２１は、回収
槽２０の各槽部分２０ａ〜２０ｃから真っ直ぐ下方に延
びる側壁部２１ａと、この側壁部２１ａの下端部に取り
付けられた底壁部２１ｂとからなるもので、回収槽２０
の平面領域内に納まって該回収槽２０より外側に突出す
ることがないように設置され、この外槽２１と内槽１３
との間に、高温の処理液１２からの熱が内槽１３から外
槽２１へと伝達するのを防止するための断熱材２２が充
填されている。この断熱材２２は、合成樹脂発泡体や合
成ゴム、繊維性物質など、熱電導度の小さいものであれ
ばどのような素材のものでも良い。

【００１４】そして、上記外槽２１で覆われていない内
槽１３の第４側面１３ｄに、上記ノズル１５に連通する
給液管２４が接続されると共に、この第４側面１３ｄの
位置で上記回収槽２０に、該回収槽２０内の処理液１２
を回収するための回収管２５が接続されている。これら
の給液管２４及び回収管２５は、図示しない昇温装置に
接続されていて、回収管２５から温度低下した状態で回
収された処理液が、この昇温装置においてヒーターによ
り所要の設定温度にまで昇温され、上記給液管２４によ
りノズル１５を通じて上記内槽１３内に循環的に供給さ
れるようになっている。而してこのように、上記給液管
２４や回収管２５などの配管類を、外槽２１と断熱材２
２とで覆われていない側面の位置で内槽１３及び回収槽
２０に、該回収槽２０の最も槽幅の広い槽部分２０ｄの
下部空間を利用して接続することにより、それらを簡単
にしかも一か所で集中的に接続することができる。

【００１５】上記構成を有するワーク１１処理槽１０に
おいて、前工程から送られてきた複数のワーク１１が上
記マガジン１４上に並立状態にセットされると、上記給
液管２４から各ノズル１５を通じて内槽１３内に高温の
処理液１２がオーバーフロー状態に供給され、この処理
液１２に浸漬されることにより処理される。内槽１３か
らオーバーフローする処理液１２は回収槽２０に流れ込
み、槽部分２０ｄから回収管２５を通じて回収される。

【００１６】一方、高温の処理液１２による熱は、内槽
１３の回りに外槽２１を設けてこれらの内槽１３と外槽
２１との間に断熱材２２を介在させたので、この断熱材
２２によって内槽１３から外槽２１に伝達されるのが防
止され、外槽２１を通じて外部に放出されることがな
い。これにより、熱効率が高められると共に、処理液１
２の温度管理も簡単になり、さらに、処理槽１０の周辺
に設置されている計器類やスイッチ類、配線などの各部
材が熱にさらされることにより劣化が早まって耐久性が
低下するといった問題や、作業者が高温の処理槽１０に
接触する危険性などの問題も確実に解消されることにな
る。しかも、上記外槽２１が、回収槽２０の下端部に連
設されることにより該回収槽２０の下方位置において内
槽１３の回りに被設されているので、この外槽２１が回
収槽２０の設置領域内にコンパクトに設置されことにな
り、外槽２１が側方に張り出してスペースを占有するこ
とがない。

【００１７】図示した実施例では、内槽１３の一つの側
面、すなわち第４側面１３ｄを外槽２１と断熱材２２と
で覆うことなく、この側面の位置で給液管２４や回収管
２５などの配管類を接続するようにしているが、この側
面にも他の側面と同様に外槽２１と断熱材２２とを被設
しても良い。

【００１８】

【発明の効果】このように本発明によれば、高温の処理
液にワークを浸漬して処理するためのワーク処理槽にお
いて、上記処理液からの熱が該処理槽を通じて外部に放
熱されるのを確実に防止することができ、これにより、
熱効率が高められて処理液の温度管理も簡単になるばか
りでなく、処理槽の周辺に設置されている計器類やスイ
ッチ類、配線などの各部材が熱にさらされることにより
劣化が早まって耐久性が低下するといった問題や、作業
者が高温の処理槽に接触する危険性などの問題も同時に
解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワーク処理槽の一実施例を概略的
に示す断面図である。

【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ線での断面図である。

【図３】従来のワーク処理槽の断面図である。

【符号の説明】

１０ 処理槽 １１ ワーク １２ 処理液 １３ 内槽 １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ 側面 １３ｅ 底面 １５ ノズル ２０ 回収槽 ２１ 外槽 ２２ 断熱材 ２４ 給液管 ２５ 回収管

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加熱された高温の処理液中にワークを浸漬
   させて処理するための処理槽であって、上記処理液をオ
   ーバーフロー状態に収容するための平面視矩形の内槽
   と、この内槽内に上記処理液を供給するためのノズル
   と、上記内槽の上端部外周を取り囲むように設置され、
   該内槽からオーバーフローする処理液を受けて回収する
   ための回収槽と、この回収槽の下端部に連設され、該回
   収槽の下方位置において上記内槽の側面及び底面を取り
   囲む外槽とを有し、この外槽と内槽との間に、該内槽か
   ら外槽への熱の伝達を遮断するための断熱材が介設され
   ていることを特徴とするワーク処理槽。
2. 【請求項２】上記外槽が、上記内槽の一つの側面を除く
   他の側面と底面とを覆うように被設されていて、この外
   槽で覆われていない内槽の側面に上記ノズルに連通する
   給液管が接続されると共に、この側面の位置で上記回収
   槽に、該回収槽内の処理液を回収するための回収管が接
   続されていることを特徴とする請求項１に記載のワーク
   処理槽。