JP2002076683A - 電磁波吸収性放熱シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、電磁波吸収性放熱シートに係り、
電磁波吸収性と熱伝導性とをともに格段に高めることが
できるようにした電磁波吸収性放熱シートを提供するこ
とを目的とする。 【構成】 本発明は、粉末状ないし粒状の軟磁性材料を
結合剤で結合させた少なくとも１層の電磁波吸収層と、
粉末状ないし粒状の熱伝導性材料を結合剤で結合させた
少なくとも１層の放熱層とが積層された積層体からなる
電磁波吸収性放熱シートであり、高密度の軟磁性材料か
らなる電磁波吸層と高密の放熱層とをそれぞれ一定の厚
さ以上に設けて電磁波吸収性と熱伝導性とを格段に高め
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路などの電
子部品に配設され、この電子部品からの発熱を効率良く
外方に放散したり、電磁波を効果的に吸収して当該電子
部品の誤動作や誤作動を防止したり、電磁波ノイズの発
生を防ぐようにした電磁波吸収性放熱シートに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体素子を用いる電子装置に
おいては、通電により半導体素子が発熱し、この発熱に
より半導体素子の電気的特性が変化したり、半導体素子
を設けた基板に熱ストレスを与えたりするなどの問題が
あり、これらの問題を解決するため、例えば、特開平２
−１６６７５５号公報、特開平２−１９６４５３号公
報、特開平６−１５５１７号公報に示すように、基板上
に設けた半導体素子と放熱部材との間に熱伝導性を有す
る放熱シート（熱伝導性シート）を介在させることによ
り、半導体素子の発熱が放熱シートを介して放熱部材に
伝達され、放熱部材から大気中に放熱されるように構成
している。

【０００３】この放熱シートは、表面にそれぞれ微小な
凹凸を有する半導体素子と放熱部材との間に形成される
空間を埋めて半導体素子から放熱部材への熱伝導率を高
めるとともに、半導体素子と放熱部材とが熱膨張率の差
異により剥離することを防止することに役立っている。

【０００４】一方、半導体素子を用いる電子装置は、動
作に周期性があるため、装置内で使用される種々の周波
数の電磁波を発信し、この電磁波が他の電子装置にとっ
ては電磁波ノイズとなって悪影響を与えるという問題も
発生している。特に、近年においては、ＣＰＵ等の半導
体素子の高周波化に伴い、半導体素子の動作周波数が高
周波化しているため、周波数の異なる多種類の高周波電
磁波ノイズが発生し、他の電子機器に電磁波障害を与え
ることが問題とされている。

【０００５】この問題を解決するために、特開昭５０−
１５５９９９号公報、特開昭５７−１２９００３号公
報、特開平４−２３４１０３号公報、特開平７−２４９
８８８号公報等に記載されているように、粉末状の金属
磁性材料あるいは金属酸化物磁性材料と樹脂とからなる
電磁波吸収性シートが提案されている。

【０００６】半導体素子の放熱と電磁波の放散防止とを
図るためには、前記放熱シートと電磁波吸収性シートと
を併用すればよいが、資材管理の観点からは２種類のシ
ートを管理する必要があるので管理の手間と費用が嵩む
という問題があり、電子装置の製造技術という観点から
は、工程が複雑になり、製造時間も長くなって生産性が
低く、しかも歩留りが悪いなどの問題がある。

【０００７】そこで、最近では、放熱シートと電磁波吸
収性シートの併用に伴うこれらの問題を解決するため
に、放熱シートの機能と電磁波吸収性シートの機能とを
兼備する電磁波吸収性放熱シートを用いることが提案さ
れている。

【０００８】具体的には、例えば特開２０００−１１４
４４０号公報に記載されている放熱シートは、ゴムなど
の軟質基材中に球状磁性粉末と扁平状磁性粉末とを添加
し、球状磁性粉末によって基材の熱伝導率を高め、扁平
状磁性粉末によって電磁波減衰特性を高めている。

【０００９】また、特開平１１−３３５４７２号公報に
記載の電磁波吸収性熱伝導性シリコーンゲル成形シート
は、金属酸化物磁性体粒子と熱伝導性充填剤とを含むシ
リコーンゲル組成物から形成され、金属酸化物磁性体粒
子により電磁波を減衰させ、熱伝導性充填剤により熱伝
導率を高めるように構成している。

【００１０】更に、特開平１１−１１６８２０号公報に
記載されている熱伝導性エラストマー組成物では、エラ
ストマーにフェライトと熱伝導性充填剤とを配合し、フ
ェライトにより電磁波を減衰させ、熱伝導性充填剤によ
り熱伝導率を高めるように構成している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】これら従来の電磁波吸
収性放熱シートの共通点は、ゴム、合成樹脂などの基材
に磁性材料粉末と熱伝導性充填剤とが配合されている点
であり、基材に対する磁性材料粉末と熱伝導性充填剤と
の合計配合量に上限があるため、この上限の範囲内で、
磁性材料粉末の配合量と熱伝導性充填剤の配合量とが決
定される。

【００１２】具体的には、例えば特開平１１−３５５４
７２号公報に記載された電磁波吸収性熱伝導性シリコー
ンゲル成形シートでは、シリコーンゲル１００重量部に
対して金属酸化物磁性体粒子と熱伝導性充填剤の合計含
有量は４００重量部以上６００重量部以下が好ましく、
金属酸化物磁性体粒子と熱伝導性充填剤との重量配合比
は２：１〜１：２が好ましいとされている。

【００１３】ここで、放熱シート電磁波吸収性を高める
ために磁性材料粉末を合計配合量の上限内で多くする
と、熱伝導性充填剤の配合量を少なくしなければならな
いので熱伝導性が低下し、熱伝導性を高めるために熱伝
導性充填剤を合計配合量の限度内で多くすると、磁性材
料粉末の配合量を少なくしなければならないので電磁波
吸収性が低下するという問題がある。

【００１４】本発明は、この電磁波吸収性と熱伝導性と
がトレードオフの関係になるという従来の電磁波吸収性
放熱シートの課題を解決し、電磁波吸収性と熱伝導性と
を共に格段に高めることができるようにした電磁波吸収
性放熱シートを提供することを目的とするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明に係る電磁波吸収
性放熱シートは、前記目的を達成するため、粉末状ない
し粒状の軟磁性材料を結合剤で結合させた少なくとも１
層の電磁波吸収層と、粉末状ないし粒状の熱伝導性材料
を結合剤で結合させた少なくとも１層の放熱層とが積層
された積層体からなることを特徴とする、という技術的
手段を採用したものである。

【００１６】この電磁波吸収性放熱シートによれば、比
較的少量の結合剤を用いて粉末状ないし粒状の軟磁性材
料を結合させることによって当該軟磁性材料粉末の密度
が濃い電磁波吸収層を形成できる結果、高い電磁波吸収
性、特に、１００〜２０００ＭＨｚにおける複素比透磁
率の虚数部μ"が２以上の電磁波吸収性を得ることがで
きる。

【００１７】また、この電磁波吸収性放熱シートによれ
ば、比較的少量の結合剤を用いて熱伝導性材料を結合さ
せることにより熱伝導材料の密度の濃い放熱層を形成で
きるので、放熱性を一層高めることができる。

【００１８】以下、本発明の電磁波吸収性放熱シートを
更に詳細に説明する。まず、本発明の電磁波吸収性放熱
シートは、互いに積層される少なくとも１層の電磁波吸
収層と少なくとも１層の放熱層とを備えるが、この電磁
波吸収層は粉末状ないし粒状の軟磁性材料を結合剤で結
合させたものであり、放熱層は粉末状ないし粒状の熱伝
導性材料を結合剤で結合させたものである。

【００１９】ここで、粉末状ないし粒状の軟磁性材料と
は、粒径数μｍ程度の微粉末状の軟磁性材料から粒径数
ｍｍ程度の顆粒状の軟磁性材料を含む意味であり、軟磁
性材料とは、磁気的性質に関してなんらかの有用な特徴
を有する磁性材料のうち、磁気履歴損失及び渦電流によ
る損失が少なく、透磁率が大きく、他の条件が許す限り
磁気飽和値が大きいもの、或いは一定のものをいう。

【００２０】この軟磁性材料としては、金属酸化物磁性
材料と金属磁性材料とがあり、金属酸化物磁性材料とし
ては、マンガン−亜鉛フェライト、銅−亜鉛フェライ
ト、ニッケル−亜鉛フェライト、マグネシウム−マンガ
ンフェライト、銅−マグネシウム−マンガンフェライト
等がその例として挙げられる。

【００２１】また、金属磁性材料としては、スピネル型
の純鉄、珪素鋼、鉄−ニッケル合金、鉄−アルミニウム
合金、鉄−珪素−アルミニウム合金、鉄−コバルト合
金、鉄−ニッケル合金、鉄−ニッケル−コバルト合金、
鉄−ニッケル−銅合金、鉄−ニッケル−モリブデン合
金、鉄−ニッケル−マンガン−クロム−珪素合金、銅−
ニッケル合金等がその例として挙げられる。

【００２２】粉末状ないし粒状の軟磁性材料を結合させ
る結合剤としては、軟磁性材料を所定の結合強度で結合
できるものであれば特に限定されるものではないが、具
体的には、例えばシリコーンゲルなどのゲル、天然又は
合成のゴム、天然又は合成の樹脂等の高分子材料などが
挙げられる。

【００２３】ここで、合成ゴムの中には、クロロプレン
ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、シリコーンゴ
ム、エチレン―プロピレン共重合体、アクリロニトリル
―ブタジエン共重合体、スチレン―ブタジエン共重合
体、スチレン―ブタジエン―スチレン共重合体、スチレ
ン―イソプレン―スチレン共重合体、スチレン―エチレ
ン／ブチレン―スチレン共重合体、スチレン−エチレン
／プロピレン−スチレン共重合体などが含まれる。

【００２４】また、前記樹脂としては、天然又は合成の
樹脂であれば熱硬化性樹脂或いは熱可塑性樹脂のいずれ
のものでも良く、特に限定されるものではないが、具体
的には、例えばアクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビ
ニル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポ
リスチレン樹脂、メタクリル樹脂、ポリアミド樹脂（ナ
イロン）、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、
ポリエーテル樹脂、ポリウレタン樹脂、フッ素樹脂等が
挙げられる。

【００２５】軟磁性材料と結合剤との配合率は特に限定
されないが、結合剤１００重量部に対して、軟磁性材料
が１００〜１０００重量部の範囲で配合されているもの
が好ましく、結合剤１００重量部に対して、軟磁性材料
の配合割合が１００重量部未満と軟磁性材料の配合率が
小さいと、電磁波の減衰定数（複素比透磁率の虚数部）
μ"が２より小さくなり、電磁波吸収性が著しく低下す
るので好ましくなく、一方、軟磁性材料の配合割合が１
０００重量部を超えると、当該軟磁性材料の配合率が多
くなり過ぎて電磁波吸収層の強度が不足し、成形性が低
下するので好ましくない。従って、これらの観点から、
結合剤１００重量部に対して、軟磁性材料の配合割合が
５００〜９００重量部の範囲のものが一層好ましく、最
も好ましいのは結合剤１００重量部に対して、軟磁性材
料の配合割合が５５０〜８５０重量部の範囲のものであ
る。

【００２６】軟磁性材料と結合剤とはディスパー、ホモ
ミキサー、ニーダー、プラネタリーミキサー、３本ロー
ル、ボールミル、サンドミル等の混合機により均一に混
合された後、コーチィング成形、押出し成形、カレンダ
ー成形、プレス成形等の公知の成形技術によりフィルム
状ないし薄板状に形成される。

【００２７】なお、この電磁波吸収層には、電磁波吸収
特性に大きな悪影響を与えない程度であれば、難燃剤、
着色剤、シランカップリング剤などのカップリング剤、
架橋剤、架橋促進剤などを適宜、適量選択して配合して
も良いのである。

【００２８】次に、本発明に係る電磁波吸収性放熱シー
トにおいて、当該放熱シートを構成する放熱層に用いら
れる熱伝導性材料としては、粉末状ないし粒状の熱伝導
性材料が挙げられるのであり、その大きさとしては粒径
数μｍ程度の微粉末状の熱伝導性材料から粒径数ｍｍ程
度の顆粒状の熱伝導性材料が挙げられる。

【００２９】前記熱伝導性材料としては、導電性を有す
る材料であれば特に限定されるものではないが、酸化ア
ルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化モリブ
デン、酸化チタンなどの金属酸化物、酸化ケイ素などの
ケイ素酸化物、窒化アルミニウム、窒化硼素、窒化ケイ
素などの窒化物、炭化珪素などの炭化物、銅、アルミニ
ウムなどの金属、人工ダイヤモンドなどの炭素材料を用
いれば良いのである。

【００３０】本発明において、放熱層に用いられる結合
剤は、電磁波吸収層に用いられる結合剤の中から当該電
磁波吸収層の結合剤と異なる成分のものを用いても良い
が、積層面での層間剥離を防止するために、電磁波吸収
層の結合剤と同じ成分の結合剤を用いることが好まし
い。

【００３１】本発明において、放熱層を形成するにあた
り、熱伝導性材料と結合剤との配合割合は、特に限定さ
れるものではないが、結合剤１００重量部に対して、熱
伝導性材料の配合割合が３００〜１６００重量部の範囲
とすることが好ましく、結合剤１００重量部に対して、
熱伝導性材料の配合割合が３００重量部未満と熱伝導性
材料の配合率が少ないと、放熱特性を高める効果が乏し
く、所要の放熱効果が得られないおそれがあるので好ま
しくなく、一方、熱伝導性材料の配合割合が１６００重
量部を超えると、当該熱伝導性材料の配合率が多くなり
過ぎて放熱層の強度が不足し、成形性が低下するので好
ましくない。従って、これらの観点から、結合剤１００
重量部に対して熱伝導性材料の配合割合が７００〜１３
００重量部の範囲とするのが一層好ましく、特に、結合
剤１００重量部に対して熱伝導性材料の配合割合が８０
０〜１２００重量部の範囲とするのが最も望ましいので
ある。

【００３２】又、本発明に係る電磁波吸収性放熱シート
において、放熱層には粉末状ないし粒状の軟磁性材料が
添加されているものが、電子部品からの発熱を効率良く
外方に放散したり、電磁波を効果的に吸収して電磁波ノ
イズの発生を防ぐようにするのが望ましい。

【００３３】この場合、熱伝導性材料に対する軟磁性材
料の添加割合としては、熱伝導性材料１００重量部に対
して、軟磁性材料が２．５〜４０重量部の範囲、好まし
くは５〜３０重量部の範囲とするのが望ましく、軟磁性
材料の添加割合が２．５重量部未満では電磁波吸収性が
乏しく、その添加の意味がないので好ましくなく、一
方、軟磁性材料の添加割合が４０重量部を超えると、当
該軟磁性材料の添加率が多くなり過ぎて所要の放熱性が
得られなくなるおそれがあるので好ましくない。

【００３４】そして、熱伝導性材料と軟磁性材料との混
合体（Ａ）と結合剤（Ｂ）との配合割合は、特に限定さ
れるものではないが、前記（Ｂ）１００重量部に対し
て、前記（Ａ）の配合割合が３００〜１６００重量部の
範囲とすることが好ましく、前記（Ｂ）１００重量部に
対して、前記（Ａ）の配合割合が３００重量部未満と当
該（Ａ）の配合率が少ないと、放熱特性や電磁波吸収性
を高める効果が乏しく、所要の放熱効果や電磁波吸収効
果が得られないおそれがあるので好ましくなく、一方、
前記（Ａ）の配合割合が１６００重量部を超えると、当
該（Ａ）の配合率が多くなり過ぎて放熱層の強度が不足
し、成形性が低下するので好ましくない。従って、これ
らの観点から、前記（Ｂ）１００重量部に対して前記
（Ａ）の配合割合が７００〜１３００重量部の範囲とす
るのが一層好ましく、特に、前記（Ｂ）１００重量部に
対して前記（Ａ）の配合割合が８００〜１２００重量部
の範囲とするのが最も望ましいのである。

【００３５】放熱層を形成する方法としては電磁波吸収
層を形成する方法と同様の方法を採用すれば良いので、
これについての詳細な説明は省略する。

【００３６】なお、この放熱層にも、熱伝導性を著しく
低下させない限り、難燃剤、着色剤、シランカップリン
グ剤などのカップリング剤、架橋剤、架橋促進剤などを
適宜、適量選択して配合しても良いのである。

【００３７】次に、電磁波吸収層と放熱層とを積層する
方法としては、各層を別々に形成した後、プレスで加圧
したり、ホットプレスで加熱加圧したりする方法、予め
形成された電磁波吸収層又は放熱層の上にコーティング
成形法により他の層を形成する方法などがある他、共押
出し成形により電磁波吸収層と放熱層とを成形しながら
積層する方法等を採用すれば良いのである。

【００３８】なお、予め成形された各層を積み重ね、加
圧或いは加熱加圧する方法を採用する場合には、各層の
間に接着剤或いは粘着剤を介在させる場合が含まれる。

【００３９】ところで、本発明においては、電磁波吸収
層と放熱層とを積層するにあたり、電磁波吸収層の層数
と放熱層の層数とはそれぞれ１層以上であれば特に限定
されるものでは無く、１層の電磁波吸収層と１層の放熱
層とを積層した２層構造のものでも良いのである。

【００４０】もちろん、３層構造以上の多層構造を採用
してもよく、この多層構造においては、電磁波吸収層と
放熱層とを交互に積層するというように規則的に積層す
る層の順序を設定しても、不規則な順序で電磁波吸収層
と放熱層とを積層しても良いのである。

【００４１】ところで、本発明に係る電磁波吸収性放熱
シートの厚さは、特に限定されないが、０．１〜１０ｍ
ｍの範囲とすることが好ましい。厚さが０．１ｍｍ未満
と薄くなり過ぎると取扱性が悪くなるだけでなく、電磁
波吸収性が低下するおそれがあるので好ましくなく、一
方、１０ｍｍを超えると分厚くなり過ぎて当該シートの
切断加工、打ち抜き加工などの加工性が悪くなるので好
ましくない。

【００４２】又、この電磁波吸収性放熱シート全体の厚
さに対する電磁波吸収層の厚さはそのシート全体の厚さ
の５〜５０％の範囲の厚さに設定することが好ましく、
電磁波吸収層の厚さがシート全体の厚さの５％未満と薄
過ぎると、電磁波吸収性が低く、所要の電磁波吸収効果
が得られないので好ましくなく、一方、電磁波吸収層の
厚さがシート全体の厚さの５０％を超えると、放熱性を
低下させるおそれが生じるので好ましくない。

【００４３】

【作用】以上に説明したように、本発明に係る電磁波吸
収性放熱シートは、粉末状ないし粒状の軟磁性材料を結
合剤で結合させた少なくとも１層の電磁波吸収層と、粉
末状ないし粒状の熱伝導性材料を結合剤で結合させた少
なくとも１層の放熱層とが積層された積層体からなるの
で、比較的少量の結合剤を用いて軟磁性材料を結合させ
ることにより軟磁性材料粉末の密度が濃い電磁波吸収層
を形成できる作用が得られ、又、比較的少量の結合剤を
用いて熱伝導性材料を結合させることにより熱伝導材料
の密度の濃い放熱層を形成できる作用が得られる。

【００４４】

【発明の実施の態様】以下、本発明の実施例及び比較例
について具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例
に限定されるものではない。

【００４５】実施例１ 以下の方法で電磁波吸収層を製造した。結合剤としての
シリコーンゲル（東レダウコーニングシリコーン社製Ｃ
Ｙ５２−２７６）１００重量部と、軟磁性材料としての
粉末状のマンガン―亜鉛フェライト（戸田工業社製ＢＳ
Ｆ−５４７ 平均粒径３μｍ）７００重量部とをプラネ
タリーミキサーを用いて均一になるまで攪拌混合した
後、脱泡する。

【００４６】この脱泡された混合物を、厚さ０．１ｍｍ
のＰＥＴからなる離型フィルム上に、加熱、硬化後の厚
さが０．１ｍｍになるようにコーティングし、温度１２
０℃で５分間加熱、硬化して電磁波吸収層を製造した。

【００４７】次に、結合剤としてのシリコーンゲル（東
レダウコーニングシリコーン社製ＣＹ５２−２７６）１
００重量部と、熱伝導性材料としての粉末状の酸化アル
ミニウム（昭和電工社製ＡＳ−５０、平均粒径１０μ
ｍ）１０００重量部とをプラネタリーミキサーを用いて
均一になるまで攪拌混合した後、脱泡して放熱性ゲル組
成物を得た。

【００４８】この脱泡された放熱性ゲル組成物を、前記
電磁波吸収層上に、加熱、硬化後の厚さが０．９ｍｍに
なるようにコーティングし、温度１２０℃で５分間加熱
して、厚さ０．１ｍｍの電磁波吸収層と厚さ０．９ｍｍ
の放熱層との２層構造を有する厚さ１ｍｍの電磁波吸収
性放熱シートを得た。

【００４９】実施例２ 実施例１と同様にして、電磁波吸収層の加熱、硬化後の
厚さが０．３ｍｍ、放熱層の加熱、硬化後の厚さが０．
７ｍｍである２層構造の電磁波吸収性放熱シートを得
た。

【００５０】実施例３ 実施例１と同様にして、電磁波吸収層の加熱、硬化後の
厚さが０．５ｍｍ、放熱層の加熱、硬化後の厚さが０．
５ｍｍである２層構造の電磁波吸収性放熱シートを前２
例と同様にして得た。

【００５１】実施例４ 実施例１と同様にして、厚さ０．３ｍｍの電磁波吸収層
を形成した。

【００５２】次に結合剤としてのシリコーンゲル（東レ
ダウコーニングシリコーン社製ＣＹ５２−２７６）１０
０重量部と、熱伝導性材料として粉末状の酸化アルミニ
ウム（昭和電工社製ＡＳ−５０、平均粒径１０μｍ）８
００重量部及び軟磁性材料としての粉末状のマンガン―
亜鉛フェライト（戸田工業社製ＢＳＦ−５４７、平均粒
径３μｍ）３００重量部とをプラネタリーミキサーを用
いて均一になるまで攪拌混合した後、脱泡して放熱性ゲ
ル組成物を得た。

【００５３】この脱泡された放熱性ゲル組成物を、先に
形成した電磁波吸収層上に、加熱、硬化後の厚さが０．
７ｍｍになるようにコーティングし、１２０℃で５分間
加熱、硬化して、厚さ０．３ｍｍの電磁波吸収層と厚さ
０．７ｍｍの放熱層との２層構造を有する厚さ１ｍｍの
電磁波吸収性放熱シートを得た。

【００５４】比較例１ 実施例１と同様にして、厚さ０．０３ｍｍの電磁波吸収
層と厚さ０．９７ｍｍの放熱層とが積層された厚さ１ｍ
ｍの２層構造の電磁波吸収性放熱シートを得た。

【００５５】比較例２ 実施例１と同様にして、厚さ０．７ｍｍの電磁波吸収層
と厚さ０．３ｍｍの放熱層とが積層された厚さ１ｍｍの
２層構造の電磁波吸収性放熱シートを得た。

【００５６】比較例３ 結合剤としてのシリコーンゲル（東レダウコーニングシ
リコーン社製ＣＹ５２−２７６）１００重量部と、熱伝
導性材料としての粉末状の酸化アルミニウム（昭和電工
社製ＡＳ−５０、平均粒径１０μｍ）８００重量部と、
軟磁性材料としての粉末状のマンガン―亜鉛フェライト
（戸田工業社製ＢＳＦ−５４７、平均粒径３μｍ）３０
０重量部とをプラネタリーミキサーを用いて均一になる
まで攪拌混合した後、脱泡する。

【００５７】この脱泡された混合物を、厚さ０．１ｍｍ
のＰＥＴからなる離型フィルム上に、加熱、硬化後の厚
さが１ｍｍになるようにコーティングし、１２０℃で５
分間加熱、硬化して、厚さ１ｍｍの単一の電磁波吸収層
兼件放熱層からなる電磁波吸収性放熱シートを得た。

【００５８】以上の各実施例及び各比較例について、ホ
ロメトリックス社（Ｈｏｌｏｍｅｔｒｉｘ社製）、ＴＣ
Ａ−２００ＬＴ−Ａを用い、ＡＳＴＭ Ｅ １５３０の
保護熱流法で熱伝導率を測定した。又、ヒューレットパ
ッカード社製、ＨＰ８７２２Ｄ、ベクトルネットワーク
アナライザーを用い、１００ＭＨｚ〜２０００ＭＨｚの
範囲にわたって複素比透磁率の虚数部μ"を測定した。
これらの測定結果を表１に示す。

【００５９】

【表１】

【００６０】表１の複素比透磁率の虚数部μ"の結果か
ら、実施例１ないし実施例４は複素比透磁率の虚数部
μ"の値が２以上であり、十分に電磁波吸収性があると
認められる。

【００６１】実施例１ないし実施例３を対比すれば、電
磁波吸収層の層厚が分厚いほど電磁波吸収性が高められ
ること、実施例４と比較例３とを対比すると、軟磁性材
料が一定の密度以上の高密度で含まれる電磁波吸収層の
有無により複素比透磁率の虚数部μ"に格段の差が生じ
ることが認められる。

【００６２】これらの点を考慮すれば、電磁波吸収性に
ついても、電磁波吸収性を有する軟磁性材料が一定の密
度以上の高密度で分布する電磁波吸収層が一定の厚さに
わたって設けられることにより、各比較例、特に従来例
に匹敵する比較例３に比べて格段に優れた電磁波吸収性
が得られているものと判断される。

【００６３】つまり、前記各実施例では、軟磁性材料が
一定の密度以上に高密度に分布する電磁波吸収層が一定
の厚さ以上に設けられているので、従来よりも高い電磁
波吸収性を得ることができるのであると解釈される。

【００６４】次に、熱伝導性について、表１から、各実
施例は１．７Ｗ／ｍＫ以上の熱伝導率を有し、従来例と
同等の比較例３に対比して優れた熱伝導性があることが
認められる。

【００６５】又、表１に示す結果から、実施例１ないし
実施例３を対比すると、放熱層が薄い方が熱伝導率が低
いこと、放熱層の厚さが分厚い比較例１では実施例１と
同等の熱伝導率が得られていること、実施例４と比較例
３とを対比すると、放熱層の分厚い比較例３の方が熱伝
達率が低いこと、実施例２と実施例４とを対比すると、
熱伝導性材料の密度が濃い実施例２の方が熱伝導率が高
いことが認められる。

【００６６】これらの結果から判断すると、各実施例の
電磁波吸収性放熱シートでは、熱伝導性材料を結合剤で
結合した放熱層を設けることにより、熱伝導性材料が一
定の密度以上の高密度で分布する放熱層が一定の範囲に
わたって存在することになり、この高密度の熱伝導性材
料を含む放熱層により高い熱伝導性が得られることが認
められる。

【００６７】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明に係る電
磁波吸収性放熱シートにおいては、粉末状ないし粒状の
軟磁性材料を結合剤で結合させた少なくとも１層の電磁
波吸収層と、粉末状ないし粒状の熱伝導性材料を結合剤
で結合させた少なくとも１層の放熱層とが積層された積
層体からなるので、比較的少量の結合剤を用いて軟磁性
材料を結合させることにより軟磁性材料の密度が濃い電
磁波吸収層を形成できる作用が得られ、軟磁性材料の密
度が熱伝導性材料によって薄められる従来の電磁波吸収
性放熱シートに比べて電磁波吸収性を格段に高めること
ができる、という効果を奏するのである。

【００６８】又、本発明に係る電磁波吸収性放熱シート
によれば、比較的少量の結合剤を用いて熱伝導性材料を
結合させることにより熱伝導材料の密度の濃い放熱層を
形成できる作用が得られるので、熱伝導性材料の密度が
軟磁性材料により薄められている従来の電磁波吸収性放
熱シートに比べて熱伝導性を格段に高めることができ
る、という効果も得ることができる。

【００６９】もちろん、本発明に係る電磁波吸収性放熱
シートにおいては、電磁波吸収層と放熱層との積層体で
あるので、電磁波吸収性シートと放熱シートとを併用す
る場合に生じる諸問題、例えば電磁波吸収シートと放熱
シートとの２種類のシートを保管するという資材管理の
観点からの問題や、工程の複雑化、工程時間の長時間化
などの製造工程上の問題などが解消される、という効果
も得られるのである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 23/36 Ｈ０１Ｌ 23/36 Ｄ (72)発明者 田村 坦 福井県坂井郡丸岡町舟寄110号１番地１ 日東シンコー株式会社内 (72)発明者 田中 武男 福井県坂井郡丸岡町舟寄110号１番地１ 日東シンコー株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AA19 AB14 AB18 AB31 AK52 AS00A AS00B BA02 BA07 CA20A CA20B DE01A DE01B EH46 EJ08 EJ42 GB48 JD08 JD08A JD16B JG06A JJ01 JJ01B JK13B YY00A YY00B 5E040 CA13 5E321 BB21 BB31 BB44 GG05 GH03 5F036 AA01 BA23 BB21 BD21

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 粉末状ないし粒状の軟磁性材料を結合剤
   で結合させた少なくとも１層の電磁波吸収層と、粉末状
   ないし粒状の熱伝導性材料を結合剤で結合させた少なく
   とも１層の放熱層とが積層された積層体からなることを
   特徴とする電磁波吸収性放熱シート。
2. 【請求項２】 電磁波吸収層が、結合剤１００重量部に
   対して、軟磁性材料が１００〜１０００重量部の範囲で
   配合されてなるもので形成されている請求項１に記載の
   電磁波吸収性放熱シート。
3. 【請求項３】 放熱層が、結合剤１００重量部に対し
   て、熱伝導性材料が３００〜１６００重量部の範囲で配
   合されている請求項１又は２に記載の電磁波吸収性放熱
   シート。
4. 【請求項４】 放熱層には粉末状ないし粒状の軟磁性材
   料が添加されている請求項１ないし３のいずれか１項に
   記載の電磁波吸収性放熱シート。
5. 【請求項５】 請求項１ないし５のいずれか１項に記載
   の電磁波吸収性放熱シートにおいてそのシート厚さが
   ０．１〜１０ｍｍである電磁波吸収性放熱シート。
6. 【請求項６】 電磁波吸収層の厚さが全シート厚さの５
   〜５０％である請求項１ないし５のいずれか１項に記載
   の電磁波吸収性放熱シート。