JP2001196618A - 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、光反射性、光拡散性、意匠性、その他等の諸特
性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性
を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑
え、極めて耐久性に富み、その保護能力性に優れ、か
つ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ
−ルを安定的に提供することである。 【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物
の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の面に、
ポリオレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを
使用し、そられを共押し出しし、そのポリオレフィン系
樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し
出し樹脂層を設けることを特徴とする太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関するものであり、更に詳しくは、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、光反射性、
光拡散性、意匠性、その他等の諸特性に優れ、極めて耐
久性に富み、保護能力性に優れた太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。と
ころで、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護
シ−ト層としては、現在、強度に優れたプラスチック基
材等が、最も一般的に使用され、その他、金属板等も使
用されている。而して、一般に、太陽電池モジュ−ルを
構成する裏面保護シ−ト層としては、例えば、強度に優
れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧
性、耐降雹性、耐薬品性、光反射性、光拡散性、意匠性
等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止
する防湿性に優れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面
の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて
耐久性に富み、その保護能力性が高いこと、その他等の
条件を充足することが必要とされいる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層と
して、現在、最も一般的に使用されている強度に優れた
プラスチック基材等を使用する場合には、可塑性、軽量
性、加工性、施工性、低コスト化等に富むものではある
が、強度、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品
性、光反射性、光拡散性、耐衝撃性、その他等の諸堅牢
性に劣り、特に、防湿性、防汚性、意匠性等に欠けると
いう問題点がある。また、太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−ト層として、金属板等を使用する場合に
は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐薬品性、耐突き刺し性、耐衝撃性、その他等の諸
堅牢性に優れ、また、防湿性等にも優れ、更に、表面硬
度が硬く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する
防汚性に優れ、その保護能力性が極めて高い等の利点を
有するが、可塑性、軽量性、光反射性、光拡散性、意匠
性等に欠け、更に、その加工性、施工性等に劣り、か
つ、低コスト化等に欠けるという問題点がある。そこで
本発明は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、光反射性、光拡散性、意匠性、その他等の諸特
性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性
を著しく向上させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑
え、極めて耐久性に富み、その保護能力性に優れ、か
つ、より低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成す
る裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ
−ルを安定的に提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層について、上記の
ような問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、基材
フィルムの一方の面に、酸化珪素、あるいは、酸化アル
ミニウム等のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸気バ
リア性、酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着膜を
設け、更に、上記で設けた無機酸化物の蒸着膜の面に、
ポリオレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを
使用し、それらを共押し出しし、そのポリオレフィン系
樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し
出し樹脂層を、そのポリオレフィン系樹脂層面を対向さ
せて積層して太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製
造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
を使用し、例えば、ガラス板等からなる通常の太陽電池
モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、光起電力素子
としての太陽電池素子、充填剤層、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そのポリオレフィ
ン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共
押し出し樹脂層の面を対向させて順次に積層し、次い
で、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラミネ
−ション法等を利用して一体化成形して太陽電池モジュ
−ルを製造したところ、強度に優れ、更に、耐候性、耐
熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸
素等の侵入を防止する防湿性に優れ、また、光反射性、
光拡散性、意匠性等についても著しく向上させ、その長
期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、
保護能力性に優れ、かつ、より低コストで安全な太陽電
池モジュ−ルを安定的に製造し得ることを見出して本発
明を完成したものである。

【０００５】すなわち、本発明は、基材フィルムの一方
の面に、無機酸化物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化
物の蒸着膜の面に、ポリオレフィン系樹脂と環状ポリオ
レフィン系樹脂とを使用し、そられを共押し出しし、そ
のポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂
層とからなる共押し出し樹脂層を設けることを特徴とす
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使
用した太陽電池モジュ−ルに関するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいず
れの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、
フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も
意味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的
に説明すると、図１、図２、図３、図４、図５および図
６は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トの層構成についてその二三例を例示する概略的断面
図であり、図７および図８は、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを構成する無機酸化物の蒸
着膜の層構成についてその他の例を例示する概略的断面
図であり、図９は、図１に示す本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して製造した太陽電
池モジュ−ルの層構成についてその一例を例示する概略
的断面図である。

【０００７】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トＡは、図１に示すように、基材フィル
ム１の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜２を設け、更
に、上記で設けた無機酸化物の蒸着膜２の面に、ポリオ
レフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを使用
し、それらを共押し出しし、そのポリオレフィン系樹脂
層３と環状ポリオレフィン系樹脂層４とからなる共押し
出し樹脂層５を、そのポリオレフィン系樹脂層３の面を
対向させて積層した構成からなることを基本構造とする
ものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トについて具体例を例示すると、図２に示すよ
うに、基材フィルム１の一方の面に、無機酸化物の蒸着
膜２を設け、更に、上記で設けた無機酸化物の蒸着膜２
の面に、ラミネ−ト用接着剤層６を介して、ポリオレフ
ィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを使用し、そ
れらを共押し出しし、そのポリオレフィン系樹脂層３と
環状ポリオレフィン系樹脂層４とからなる共押し出し樹
脂層５を、そのポリオレフィン系樹脂層３の面を対向さ
せてドライラミネ−ト法を用いて積層した構成からなる
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トＡ₁ を例示するこ
とができる。更に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トについて別の具体例を例示すると、図
３に示すように、基材フィルム１の一方の面に、無機酸
化物の蒸着膜２を設け、更に、上記で設けた無機酸化物
の蒸着膜２の面に、プライマ−剤層７とラミネ−ト用接
着剤層６を介して、ポリオレフィン系樹脂と環状ポリオ
レフィン系樹脂とを使用し、それらを共押し出しし、そ
のポリオレフィン系樹脂層３と環状ポリオレフィン系樹
脂層４とからなる共押し出し樹脂層５を、そのポリオレ
フィン系樹脂層３の面を対向させてドライラミネ−ト法
を用いて積層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トＡ₂ を例示することができる。

【０００８】また、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トについて別の具体例を例示すると、図
４に示すように、基材フィルム１の一方の面に、無機酸
化物の蒸着膜２を設け、更に、上記で設けた無機酸化物
の蒸着膜２の面に、アンカ−コ−ト剤剤層８を介して、
ポリオレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを
使用し、それらを溶融し共押し出ししながら、そのポリ
オレフィン系樹脂層３と環状ポリオレフィン系樹脂層４
とからなる共押し出し樹脂層５を、そのポリオレフィン
系樹脂層３の面を対向させて溶融押し出しラミネ−ト法
を用いて積層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トＡ₃ を例示することができる。更にまた、
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トに
ついて別の具体例を例示すると、図５に示すように、基
材フィルム１の一方の面に、無機酸化物の蒸着膜２を設
け、更に、上記で設けた無機酸化物の蒸着膜２の面に、
プライマ−剤層７とアンカ−コ−ト剤層８を介して、ポ
リオレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを使
用し、それらを溶融共押し出ししながら、そのポリオレ
フィン系樹脂層３と環状ポリオレフィン系樹脂層４とか
らなる共押し出し樹脂層５を、そのポリオレフィン系樹
脂層３の面を対向させて溶融押し出しラミネ−ト法を用
いて積層した構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏面保
護シ−トＡ₄ を例示することができる。次にまた、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トについ
て別の具体例を例示すると、図６に示すように、上記の
図１に示す太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トＡにお
いて、該太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トＡを構成
するポリオレフィン系樹脂層３と環状ポリオレフィン系
樹脂層４とからなる共押し出し樹脂層５の他方の面に、
更に、無機酸化物の蒸着膜２を設けた構成からなる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トＡ₅ を例示することが
できる。上記の図６において、図中の符号１、２は、前
述と同じ意味である。なお、本発明においては、図示し
ないが、上記の図２〜図５に示す太陽電池モジュ−ル用
裏面保護シ−トにおいても、上記の図６に示す例と同様
に、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを構成するポ
リオレフィン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層と
からなる共押し出し樹脂層の他方の面に、更に、無機酸
化物の蒸着膜を設けて、種々の構成からなる太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トを製造することができるもの
である。

【０００９】上記の例示は、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用裏面保護シ−トについてその二三例を例示す
るものであり、本発明は、これによって限定されるもの
ではないことは勿論である。例えば、上記の図１〜６に
示す太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トにおいて、無
機酸化物の蒸着膜としては、図７、図８等に示すよう
に、後述する物理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
の２層以上、あるいは、化学気相成長法による無機酸化
物の蒸着膜の２層以上のように、無機酸化物の蒸着膜
２、２の２層以上を重層した多層膜２ａ（図７）、ある
いは、後述する理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
２ｂと、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜２ｃ
との異種の無機酸化物の蒸着膜２ｂ、２ｃの２層以上を
重層した複合膜２ｄ（図８）等で構成することができる
ものである。また、本発明においては、例えば、図示し
ないが、上記のドライラミネ−ト法による積層と、溶融
押し出しラミネ−ト法による積層とを組み合わせて、太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造することもで
きるものである。

【００１０】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを使用して製
造する太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
と、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用裏面保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図９
に示すように、まず、通常の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト１１、充填剤層１２、光起電力素子としての
太陽電池素子１３、充填剤層１４、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１５（Ａ）を、そのポ
リオレフィン系樹脂層３と環状ポリオレフィン系樹脂層
４とからなる共押し出し樹脂層５の面を対向させて順次
に積層し、次いで、これらを真空吸引して加熱圧着する
ラミネ−ション法等の通常の成形法を利用して一体化成
形して、上記の各層を一体化成形体とした太陽電池モジ
ュ−ルＴを製造することができるものである。上記の例
示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについてそ
の一例を例示するものであり、本発明はこれにより限定
されるものではない。例えば、図示しないが、上記の図
２〜図６等に示す太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
を使用し、上記と同様にして、種々の形態からなる太陽
電池モジュ−ルを製造することができ、また、上記の太
陽電池モジュ−ルにおいては、太陽光の吸収性、補強、
その他等の目的のもとに、更に、他の層を任意に加えて
積層することができるものである。

【００１１】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等につい
て更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する基材フィルムとしては、基本的には、無機酸
化物の蒸着膜等を形成する際の蒸着条件、その他等に耐
え、かつ、それらの無機酸化物の蒸着膜等との密接着性
に優れ、それらの膜の特性を損なうことなく良好に保持
し得ることができ、また、強度に優れ、かつ、耐候性、
耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防
止する防湿性に優れ、また、表面硬度が高く、かつ、表
面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極め
て耐久性に富み、その保護能力性が高いこと等の特性を
有する各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができる。具体的には、上記の各種の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、ポリエチレン系樹脂、
ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチ
レン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ塩化ビニル系樹脂、
フッ素系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリカ−
ボネ−ト系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−トまたはポ
リエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、各種
のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、
ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ−ルフタレ−ト系樹
脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェ
ニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−テルスルホン系樹
脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−
ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−
トを使用することができる。本発明においては、上記の
樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、フッ素系樹脂、
環状ポリオレフィン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、
ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアミド系樹脂、また
は、ポリエステル系樹脂のフィルムないしシ−トを使用
することが好ましいものである。

【００１２】更に、本発明においては、上記のような各
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、特に、例
えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テト
ラフルオロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−
テルとの共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂
（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチ
レンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフ
ルオロプロピレンコポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオ
ロエチレンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−
（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂
（ＰＣＴＦＥ）、エチレンとクロロトリフルオロエチレ
ンとのコポリマ−（ＥＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系
樹脂（ＰＶＤＦ）、または、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶ
Ｆ）等のフッ素系樹脂の１種ないしそれ以上からなるフ
ッ素系樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好
ましいものである。なお、本発明においては、上記のフ
ッ素系樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、特に、ポ
リフッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）、または、テトラフル
オロエチレンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ
−（ＥＴＦＥ）からなるフッ素系樹脂のフィルムないし
シ−トが、強度等の観点から特に好ましいものである。

【００１３】また、本発明においては、上記のような各
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、特に、例
えば、シクロペンタジエンおよびその誘導体、ジシクロ
ペンタジエンおよびその誘導体、シクロヘキサジエンお
よびその誘導体、ノルボルナジエンおよびその誘導体、
その他等の環状ジエンを重合させてなるポリマ−、ある
いは、該環状ジエンとエチレン、プロピレン、４−メチ
ル−１−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレ
ン、その他等のオレフィン系モノマ−の１種ないしそれ
以上とを共重合させてなるコポリマ−等からなる環状ポ
リオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−トを使用する
ことが好ましいものである。なお、本発明においては、
上記の環状ポリオレフィン系樹脂のフィルムないしシ−
トの中でも、特に、シクロペンタジエンおよびその誘導
体、ジシクロペンタジエンおよびその誘導体、または、
ノルボルナジエンおよびその誘導体等の環状ジエンのポ
リマ−ないしコポリマ−からなる環状ポリオレフィン系
樹脂のフィルムないしシ−トが、強度等の観点から好ま
しいものである。而して、本発明において、上記のよう
なフッ素系樹脂あるいは環状ポリオレフィン系樹脂から
なるフィルムないしシ−トを使用することにより、該フ
ッ素系樹脂あるは環状ポリオレフィン系樹脂が有する機
械的特性、化学的特性、物理的特性等の優れた特性、具
体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐防湿
性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸特性を利用して
太陽電池を構成する裏面保護シ−トとするものであり、
これにより、耐久性、保護機能性等を有し、また、その
フレキシブル性や機械的特性、化学的特性等から軽く、
かつ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利
点を有するものである。

【００１４】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、１２〜３００μｍ
位、より好ましくは、２０〜２００μｍ位が望ましい。

【００１５】なお、上記において、上記の各種の樹脂の
１種ないしそれ以上を使用し、その製膜化に際して、例
えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、機械的性
質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、
抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、改質する目的
で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加するこ
とができ、その添加量としては、極く微量から数十％ま
で、その目的に応じて、任意に添加することができる。
また、上記において、一般的な添加剤としては、例え
ば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定
剤、充填剤、強化繊維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、
耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を使用する
ことができ、更には、改質用樹脂等も使用することがて
きる。本発明においては、上記の添加剤の中でも、特
に、紫外線吸収剤、あるいは、酸化防止剤等を練れ込み
加工してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用
することが好ましいものである。

【００１６】上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の
有害な紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−
へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起され
るのを防止するものであり、例えば、ベンゾフェノン
系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリル
ニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒
子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）ある
いは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の
無機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ以上を使用す
ることができる。また、上記の酸化防止剤としては、高
分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止するものであり、
例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、そ
の他等の酸化防止剤を使用することができる。更に、上
記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤としては、例え
ば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖に、上記のベン
ゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−
ル系等の酸化防止剤を化学結合させてなるポリマ−型の
紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使用することがで
きる。上記の紫外線吸収剤および／または酸化防止剤の
含有量としては、その粒子形状、密度等によって異なる
が、約０．１〜１０重量％位が好ましい。

【００１７】また、本発明において、各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トの表面は、無機酸化物の蒸着膜等との
密接着性等を向上させるために、必要に応じて、予め、
所望の表面処理層を設けることができる。本発明におい
て、上記の表面処理層としては、例えば、コロナ放電処
理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた
低温プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用い
て処理する酸化処理、その他等の前処理を任意に施し、
例えば、コロナ処理層、オゾン処理層、プラズマ処理
層、酸化処理層、その他等を形成して設けることができ
る。上記の表面前処理は、別工程で実施してもよく、ま
た、例えば、低温プラズマ処理やグロ−放電処理等によ
る表面前処理の場合は、上記の無機酸化物の蒸着膜等を
形成する前処理としてインライン処理により前処理で行
うことができ、このような場合は、その製造コストを低
減することができるという利点がある。

【００１８】上記の表面前処理は、各種の樹脂のフィル
ムないしシ−トと無機酸化物の蒸着膜等との密接着性を
改善するための方法として実施するものであるが、上記
の密接着性を改善する方法として、その他、例えば、各
種の樹脂のフィルムないしシ−トの表面に、予め、プラ
イマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、アンカ−コ−
ト剤層、接着剤層、あるいは、蒸着アンカ−コ−ト剤層
等を任意に形成して、表面処理層とすることもできる。
上記の前処理のコ−ト剤層としては、例えば、ポリエス
テル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、
エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メタ）アクリル
系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンアルイハ
ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂あるいはその
共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等
をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用することが
できる。

【００１９】なお、上記の樹脂組成物には、密接着性を
向上させるために、エポキシ系のシランカップリング
剤、あるいは、基材フィルムのブロッキング等を防止す
るために、ブロッキング防止剤、その他等の添加剤を任
意に添加することができる。その添加量は、０．１重量
％〜１０重量％位が好ましいものである。また、本発明
において、上記の樹脂組成物中には、耐光性等を向上さ
せるために、例えば、紫外線吸収剤および／または酸化
防止剤を添加することができる。上記の紫外線吸収剤と
しては、前述に例示した紫外線吸収剤の１種ないしそれ
以上を使用することができ、また、酸化防止剤として
は、前述に例示した酸化防止剤等を同様に使用すること
ができる。更に、上記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止
剤としては、例えば、ポリマ−を構成する主鎖または側
鎖に、上記のベンゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるい
は上記のフェノ−ル系等の酸化防止剤を化学結合させて
なるポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も
使用することができる。上記の紫外線吸収剤および／ま
たは酸化防止剤の含有量としては、その粒子形状、密度
等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位が好まし
い。また、上記において、コ−ト剤層の形成法として
は、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン
型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ
−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法を用
いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期としては、
フッ素系樹脂シ−トの製膜後、あるいは、２軸延伸処理
後の後工程として、あるいは、製膜、あるいは、２軸延
伸処理のインライン処理等で実施することができる。

【００２０】更にまた、本発明においては、上記の基材
フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を製膜化す
る際の蒸着条件等に対し該基材フィルムを保護し、例え
ば、その黄変、劣化ないし収縮、あるいは、フィルム表
層ないし内層等における凝集破壊等を抑制し、更に、基
材フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜が良好に
製膜化され、かつ、該基材フィルムと無機酸化物の蒸着
膜との密接着性等を向上させるために、予め、基材フィ
ルムの一方の面に、表面前処理層として、例えば、後述
するプラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化
学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）、あ
るいは、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオ
ンプレ−ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃ
ａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ
法）を用いて、無機酸化物の蒸着薄膜を形成することに
より、耐蒸着保護膜を設けることができる。なお、本発
明において、上記の酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の
膜厚としては、薄膜であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガ
ス等に対するバリア性を有しない非バリア性膜で十分で
あり、具体的には、膜厚１５０Å未満であることが望ま
しく、具体的には、その膜厚としては、１０〜１００Å
位、好ましくは、２０〜８０Å位、更に、より好ましく
は、３０〜６０Å位が望ましい。而して、上記におい
て、１５０Å以上、具体的には、１００Å、更に、８０
Å、更には、６０Åより厚くなると、良好な耐蒸着保護
膜を形成することが困難になるので好ましくなく、ま
た、１０Å、更に、２０Å、更には、３０Å未満である
と、耐蒸着保護層としての機能を喪失し、その効果を奏
することが困難になることから好ましくないものであ
る。

【００２１】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜について説明する
と、かかる無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理
気相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、その
両者を併用して、無機酸化物の蒸着膜の１層からなる単
層膜あるいは２層以上からなる多層膜または複合膜を形
成して製造することができるものである。上記の物理気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に詳しく
説明すると、かかる物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着膜としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレ−ティング法、イオンクラスタ−ビ−ム
法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用いて無機酸
化物の蒸着膜を形成することができる。本発明におい
て、具体的には、金属の酸化物を原料とし、これを加熱
して基材フィルムの上に蒸着する真空蒸着法、または、
原料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導
入して酸化させて基材フィルムの上に蒸着する酸化反応
蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助
成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成すること
ができる。上記において、蒸着材料の加熱方式として
は、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレ
クトロンビ−ム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことができ
る。

【００２２】本発明において、物理気相成長法による無
機酸化物の蒸着膜を形成する方法について、その具体例
を挙げると、図１０は、巻き取り式真空蒸着装置の一例
を示す概略的構成図である。図７に示すように、巻き取
り式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２の中で、巻
き出しロ−ル２３から繰り出す基材フィルム１は、ガイ
ドロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ−ティングド
ラム２６に案内される。而して、上記の冷却したコ−テ
ィングドラム２６上に案内された基材フィルム１の上
に、るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属
アルミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発さ
せ、更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガ
ス等を噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０
を介して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の
蒸着膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸
化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成した基材
フィルム１を、ガイドロ−ル２５′、２４′を介して送
り出し、巻き取りロ−ル３１に巻き取ることによって、
本発明にかかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着
膜を形成することができる。なお、本発明においては、
上記のような巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、
第１層の無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様に
して、該無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物
の蒸着膜を形成するか、あるいは、上記のような巻き取
り式真空蒸着装置を用いて、これを２連に連接し、連続
的に、無機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層
以上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができる。

【００２３】上記において、無機酸化物の蒸着膜として
は、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使用
可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着膜を使用することができる。而して、好まし
いものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着膜を挙げることができる。
而して、上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の
酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜４０
００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内
で任意に選択して形成することが望ましい。また、本発
明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する
金属、または金属の酸化物としては、１種または２種以
上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物
の蒸着膜を構成することもできる。

【００２４】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に説明す
ると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気
相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、
ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができる。本発明においては、具体的には、基材フィ
ルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アルゴンガ
ス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更に、酸素
供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プラズマ発
生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用い
て酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することがで
きる。上記において、低温プラズマ発生装置としては、
例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ
波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而し
て、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得
るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用
することが望ましい。

【００２５】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその一
例を例示して説明すると、図１１は、上記のプラズマ化
学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法につい
てその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略
的構成図である。上記の図１１に示すように、本発明に
おいては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャン
バ−４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から基材フ
ィルム１を繰り出し、更に、該基材フィルム１を、補助
ロ−ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５
周面上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供
給装置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から
酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混
合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通し
て真空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導
入し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬
送された基材フィルム１の上に、グロ−放電プラズマ５
０によってプラズマを発生させ、プラズマ雰囲気中で蒸
着用混合ガス組成物中の蒸着モノマ−ガス等を反応させ
て、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化
する。本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム
４５は、チャンバ−外に配置されている電源５１から所
定の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム４
５の近傍には、マグネット５２を配置してプラズマの発
生が促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の無機
酸化物の蒸着膜を形成した基材フィルム１は、補助ロ−
ル５３を介して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発
明にかかるプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の
蒸着膜を製造することができるものである。なお、図
中、５５は、真空ポンプを表す。上記の例示は、その一
例を例示するものであり、これによって本発明は限定さ
れるものではないことは言うまでもないことである。な
お、本発明においては、上記のような低温プラズマ化学
気相成長装置を用いて、まず、第１層の無機酸化物の蒸
着膜を形成し、次いで、同様にして、該無機酸化物の蒸
着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜を形成するか、
あるいは、上記のような低温プラズマ化学気相成長装置
を用いて、これを２連に連接し、連続的に、無機酸化物
の蒸着膜を形成することにより、２層以上の多層膜から
なる無機酸化物の蒸着膜を形成することができる。

【００２６】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
スとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチルジ
シロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメ
チルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジ
シラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシ
ラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシ
ラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、
フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラ
ン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を
使用することができる。本発明において、上記のような
有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラメチ
ルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを
原料として使用することが、その取り扱い性、形成され
た蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料である。ま
た、上記において、不活性ガスとしては、例えば、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等を使用することができる。

【００２７】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸素
ガス等とが化学反応し、その反応生成物が基材フィルム
の上に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成す
ることができ、通常、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、
０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とする連
続状の蒸着膜である。而して、上記の酸化珪素の蒸着膜
としては、透明性、バリア性等の点から、一般式ＳｉＯ
_X （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表す。）で表
される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜であることが
好ましいものである。上記において、Ｘの値は、モノマ
−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギ−等に
より変化するが、一般的に、Ｘの値が小さくなればガス
透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯び、透明性
が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着膜は、珪素
（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を必須構成元素として有し、更
に、炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のいずれが一方、または、
その両者の元素を微量構成元素として含有する酸化珪素
の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、５０Å〜４００
０Å位、好ましくは、１００Å〜１０００Åの範囲であ
り、更に、上記の必須構成元素と微量構成元素の構成比
率が、膜厚方向において連続的に変化しているものであ
る。更に、上記の酸化珪素の蒸着膜は、炭素からなる化
合物を含有する場合には、その膜厚の深さ方向において
炭素の含有量が減少していることを特徴とするものであ
る。

【００２８】而して、本発明において、上記の酸化珪素
の蒸着膜について、例えば、Ｘ線光電子分光装置（Ｘｒ
ａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓ
ｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（Ｓｅｃ
ｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃ
ｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、深さ方向
にイオンエッチングする等して分析する方法を利用し
て、酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うことより、上記
のような物性を確認することができる。また、本発明に
おいて、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚としては、膜厚
５０Å〜４０００Å位であることが望ましく、具体的に
は、その膜厚としては、１００〜１０００Å位が望まし
く、而して、上記において、１０００Å、更には、４０
００Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易
くなるので好ましくなく、また、１００Å、更には、５
０Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難
になることから好ましくないものである。上記のおい
て、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光Ｘ線分
析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を用いて、ファン
ダメンタルパラメ−タ−法で測定することができる。ま
た、上記において、上記の酸化珪素の蒸着膜の膜厚を変
更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくするこ
と、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多くする方
法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うことが
できる。

【００２９】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジ
ュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜として、例え
ば、物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して
異種の無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜を
形成して使用することもできるものである。而して、上
記の異種の無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合
膜としては、まず、基材フィルムの上に、化学気相成長
法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの
発生を防止し得る無機酸化物の蒸着膜を設け、次いで、
該無機酸化物の蒸着膜の上に、物理気相成長法による無
機酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合膜か
らなる無機酸化物の蒸着膜を構成することが望ましいも
のである。勿論、本発明においては、上記とは逆くに、
基材フィルムの上に、先に、物理気相成長法により、無
機酸化物の蒸着膜を設け、次に、化学気相成長法によ
り、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を
防止し得る無機酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上から
なる複合膜からなる無機酸化物の蒸着膜を構成すること
もできるものである。また、前述の本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トにおいて、該太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを構成するポリオレフィン
系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押
し出し樹脂層の他方の面に、更に、無機酸化物の蒸着膜
を設ける方法としては、前述の物理気相成長法、また
は、化学気相成長法等を用いて同様にして、同様に無機
酸化物の蒸着膜を形成することができるものである。

【００３０】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成するポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレ
フィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層について説
明すると、かかるポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオ
レフィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層を構成す
るポリオレフィン系樹脂としては、後述する環状ポリオ
レフィン系樹脂と共押し出しし得ることができるものを
使用することができ、例えば、高密度ポリエチレン、中
密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、線状（直鎖
状）低密度ポリエチレン、メタロセン系触媒（シングル
サイト系触媒）を使用して重合したエチレン−α・オレ
フィン共重合体等のポリエチレン系樹脂、プロピレンの
単独重合体、あるいは、プロピレンとα−オレフィン、
その他等の他のモノマ−との共重合体等のポリプロピレ
ン系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−
アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合
体、エチレン−メタクリレ−ト共重合体、アイオノマ−
樹脂、ポリメチルペンテン系樹脂、ポリブテン系樹脂、
ポリエチレン系樹脂またはポリプロピレン系樹脂をアク
リル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマ−ル酸、マレ
イン酸、その他等の不飽和カルボン酸で変成した酸変成
ポリエチレン系樹脂またはポリプロピレン系樹脂、その
た等を使用することができる。なお、本発明において
は、上記のポリオレフィン系樹脂の中でも、特に、線状
低（直鎖状）密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、あるい
は、メタロセン系触媒（シングルサイト系触媒）を使用
して重合したエチレン−α・オレフィン共重合体等のポ
リエチレン系樹脂を使用することが好ましいものであ
る。

【００３１】次に、本発明において、ポリオレフィン系
樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し
出し樹脂層を構成する環状ポリオレフィン系樹脂として
は、上記のポリオレフィン系樹脂と共押し出しし得るこ
とができるものを使用することができ、例えば、前述の
シクロペンタジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタ
ジエンおよびその誘導体、シクロヘキサジエンおよびそ
の誘導体、ノルボルナジエンおよびその誘導体、その他
等の環状ジエンを重合させてなるポリマ−、あるいは、
該環状ジエンとエチレン、プロピレン、４−メチル−１
−ペンテン、スチレン、ブタジエン、イソプレン、その
他等のオレフィン系モノマ−の１種ないしそれ以上とを
共重合させてなるコポリマ−等からなる環状ポリオレフ
ィン系樹脂、その他等を使用することができる。なお、
本発明においては、上記の環状ポリオレフィン系樹脂の
中でも、特に、シクロペンタジエンおよびその誘導体、
ジシクロペンタジエンおよびその誘導体、または、ノル
ボルナジエンおよびその誘導体等の環状ジエンのポリマ
−ないしコポリマ−からなる環状ポリオレフィン系樹脂
を使用することが好ましいものである。

【００３２】次に、本発明において、上記のようなポリ
オレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを使用
し、それらを共押し出しして、そのポリオレフィン系樹
脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し出
し樹脂層を形成する方法ついて説明すると、まず、上記
のポリオレフィン系樹脂の１種ないし２種以上を主成分
とし、これに、必要ならば、光反射剤あるいは光拡散剤
としての白色化剤および紫外線吸収剤の１種ないし２種
以上を添加し、更に、必要ならば、可塑剤、光安定剤、
酸化防止剤、帯電防止剤、架橋剤、硬化剤、充填剤、滑
剤、強化剤、補強剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ
剤、顔料・染料等の着色剤、その他等の添加剤の１種な
いし２種以上を任意に添加し、更に、要すれば、溶剤、
希釈剤等を添加し、十分に混練してポリオレフィン系樹
脂組成物を調製する。上記と同様にして、更に、上記の
環状ポリオレフィン系樹脂の１種ないし２種以上を主成
分とし、これに、必要ならば、光反射剤あるいは光拡散
剤としての白色化剤および紫外線吸収剤の１種ないし２
種以上を添加し、更に、必要ならば、可塑剤、光安定
剤、酸化防止剤、帯電防止剤、架橋剤、硬化剤、充填
剤、滑剤、強化剤、補強剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、
防カビ剤、顔料・染料等の着色剤、その他等の添加剤の
１種ないし２種以上を任意に添加し、更に、要すれば、
溶剤、希釈剤等を添加し、十分に混練して環状ポリオレ
フィン系樹脂組成物を調製する。

【００３３】而して、本発明においては、上記で調製し
たポリオレフィン系樹脂組成物と環状ポリオレフィン系
樹脂組成物とを使用し、これらを、例えば、共押出機、
Ｔダイ共押出機、共押し出しインフレ−ション成形機、
その他等を使用し、共押し出し法、共押し出しインフレ
−ション法、その他等のフィルム成形法により共押し出
しし、そのポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレフィ
ン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂のフィルムないし
シ−トを製造し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方
式、あるいは、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ない
し２軸方向に延伸して、ポリオレフィン系樹脂層と環状
ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂のフ
ィルムないしシ−トを製造する。次に、本発明において
は、前述の基材フィルムの一方の面に設けた無機酸化物
の蒸着膜の面に、例えば、ラミネ−ト用接着剤層、ある
いは、プライマ−剤層とラミネ−ト用接着剤層等を介し
て、ドライラミネ−ト法等を用いて、上記で製造したポ
リオレフィン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層と
からなる共押し出し樹脂のフィルムないしシ−トをドラ
イラミネ−ト積層することにより、本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造することができ
るものである。

【００３４】あるいは、本発明においては、上記で調製
したポリオレフィン系樹脂組成物と環状ポリオレフィン
系樹脂組成物とを使用し、これらを、例えば、共押出
機、Ｔダイ共押出機、その他等を使用し、共押し出し
法、その他等の成形法により溶融共押し出しし、前述の
基材フィルムの一方の面に設けた無機酸化物の蒸着膜の
面に、例えば、アンカ−コ−ト剤等による接着助剤等の
アンカ−コ−ト剤層、あるいは、プライマ−剤層とアン
カ−コ−ト剤層等を介して、溶融押し出しラミネ−ト法
を用いて、ポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレフィ
ン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層を溶融押し出し
てラミネ−トすることにより、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造することができるも
のである。上記において、ポリオレフィン系樹脂層と環
状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂の
フィルムないしシ−ト、あるいは、ポリオレフィン系樹
脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し出
し樹脂層の膜厚としては、１０μｍ〜５００μｍ位、好
ましくは、２５μｍ〜３００μｍ位が望ましいものであ
る。また、本発明において、基材フィルムの一方の面に
設けた無機酸化物の蒸着膜の面に、ポリオレフィン系樹
脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し出
し樹脂層を積層する際には、共押し出し樹脂層を構成す
るポリオレフィン系樹脂層、または、環状ポリオレフィ
ン系樹脂層のいずれの面を対向させて積層させてもよい
ものである。

【００３５】上記において、添加剤としての白色化剤と
しては、太陽電池モジュ−ルにおいて透過した太陽光を
光反射あるいは光拡散させて再利用するために光反射
性、光拡散性等を付与することを目的とし添加するもの
であり、例えば、塩基性炭酸鉛、塩基性硫酸鉛、塩基性
けい酸鉛、亜鉛華、硫化亜鉛、リトポン、三酸化アンチ
モン、アナタス形酸化チタン、ルチル形酸化チタン、そ
の他等の白色顔料の１種ないし２種以上を使用すること
ができる。その使用量としては、ポリプロピレン系樹脂
組成物において、０．１重量％〜３０重量％位、好まし
くは、０．５重量％〜１０重量％位添加して使用するこ
とが望ましいものである。

【００３６】また、上記において、紫外線吸収剤として
は、前述の太陽光中の有害な紫外線を吸収して、分子内
で無害な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開
始の活性種が励起されるのを防止するものであり、例え
ば、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチ
レ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−
ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜
０．０６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜
０．０４μｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種ない
しそれ以上を使用することができる。その使用量として
は、ポリプロピレン系樹脂組成物において、０．１重量
％〜１０重量％位、好ましくは、０．３重量％〜１０重
量％位添加して使用することが望ましいものである。

【００３７】次にまた、上記のドライラミネ−ト法にお
いて、ラミネ−ト用接着剤層を構成する接着剤として
は、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸のエ
チル、ブチル、２−エチルヘキシルエステル等のホモポ
リマ−、あるいは、これらとメタクリル酸メチル、アク
リロニトリル、スチレン等との共重合体等からなるポリ
アクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレ−ト系接
着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、アク
リル酸、メタクリル酸等のモノマ−との共重合体等から
なるエチレン共重合体系接着剤、セルロ−ス系接着剤、
ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリイミ
ド系接着剤、尿素樹脂またはメラミン樹脂等からなるア
ミノ樹脂系接着剤、フェノ−ル樹脂系接着剤、エポキシ
系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型（メタ）アク
リル系接着剤、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、スチ
レン−ブタジエンゴム等からなるゴム系接着剤、シリコ
−ン系接着剤、アルカリ金属シリケ−ト、低融点ガラス
等からなる無機系接着剤、その他等の接着剤を使用する
ことがてきる。上記の接着剤の組成系は、水性型、溶液
型、エマルジョン型、分散型等のいずれの組成物形態で
もよく、また、その性状は、フィルム・シ−ト状、粉末
状、固形状等のいずれの形態でもよく、更に、接着機構
については、化学反応型、溶剤揮発型、熱溶融型、熱圧
型等のいずれの形態でもよいものである。而して、上記
の接着剤は、例えば、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ル
コ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法、あるい
は、印刷法等によって施すことができ、そのコ−ティン
グ量としては、０．１〜１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が
望ましい。

【００３８】なお、上記の接着剤中には、紫外線劣化等
を防止するために、前述の紫外線吸収剤および／または
酸化防止剤を添加することができる。上記の紫外線吸収
剤としては、前述の太陽光中の有害な紫外線を吸収し
て、分子内で無害な熱エネルギ−へと変換し、高分子中
の光劣化開始の活性種が励起されるのを防止するもので
あり、例えば、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル
系、サルチレ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩
系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒子
径、０．０１〜０．０６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜
鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の無機系等の紫外線吸
収剤の１種ないしそれ以上を使用することができる。ま
た、上記の酸化防止剤としては、前述の高分子の光劣化
あるいは熱劣化等を防止するものであり、例えば、フェ
ノ−ル系、アミン系、硫黄系、燐酸系、その他等の酸化
防止剤を使用することができる。更に、上記の紫外線吸
収剤あるいは酸化防止剤としては、例えば、ポリマ−を
構成する主鎖または側鎖に、上記のベンゾフェノン系等
の紫外線吸収剤あるいは上記のフェノ−ル系等の酸化防
止剤を化学結合させてなるポリマ−型の紫外線吸収剤あ
るいは酸化防止剤等も使用することができる。上記の紫
外線吸収剤および／または酸化防止剤の含有量として
は、その粒子形状、密度等によって異なるが、約０．１
〜１０重量％位が好ましい。

【００３９】また、上記の溶融押し出しラミネ−ト法に
おいて、より強固な接着強度を得るために、例えば、ア
ンカ−コ−ト剤等の接着助剤等を使用し、そのアンカ−
コ−ト剤層を介して、積層することができる。上記のア
ンカ−コ−ト剤としては、例えば、アルキルチタネ−ト
等の有機チタン系、イソシアネ−ト系、ポリエチレンイ
ミン系、ポリプタジエン系、その他等の水性ないし油性
の各種のアンカ−コ−ト剤を使用することができる。上
記のアンカ−コ−ト剤は、例えば、ロ−ルコ−ト、グラ
ビアロ−ルコ−ト、キスコ−ト、その他等のコ−ティン
グ法を用いてコ−ティングすることができ、そのコ−テ
ィング量としては、０．１〜５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位
が望ましい。

【００４０】なお、本発明においては、基材フィルムの
一方の面に設けた無機酸化物の蒸着膜との密接着性を改
善するために、更に、例えば、予め、プライマ−コ−ト
剤層等を任意に形成して、表面処理層とすることもでき
る。上記のプライマ−コ−ト剤としては、例えば、ポリ
エステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹
脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メタ）アク
リル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンある
いはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂あるいは
その共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹脂、その
他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用するこ
とができる。なお、本発明においては、例えば、ロ−ル
コ−ト、グラビアロ−ルコ−ト、キスコ−ト、その他等
のコ−ティング法を用いてコ−ティングしてプライマ−
コ−ト剤層を形成することができ、而して、そのコ−テ
ィング量としては、０．１〜５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位
が望ましい。

【００４１】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて説明すると、かかる表面保護シ−トとして
は、太陽光の透過性、絶縁性等を有し、更に、耐候性、
耐熱性、耐光性、耐水性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、その他等の諸特性を有し、物理的
あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、極めて耐久性
に富み、更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保
護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優
れていることが必要である。上記の表面保護シ−トとし
ては、具体的には、例えば、公知のガラス板等は勿論の
こと、更に、例えば、フッ素系樹脂、ポリアミド系樹脂
（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレ
ン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン
系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹
脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セル
ロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トとしては、例えば、２軸延伸した樹脂のフ
ィルムないしシ−トも使用することができる。また、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トにおいて、その膜厚と
しては、１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜
１５０μｍ位が望ましい。

【００４２】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更
に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性
を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、
更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とう
いことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れてい
ることが必要である。具体的には、上記の充填剤層とし
ては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、ま
たは、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン
等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−
ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）
アクリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上
の混合物を使用することができる。なお、本発明におい
ては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透
明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。而して、本発明においては、太陽光の入射側の充
填剤としては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考
慮すると、フッ素系樹脂、シリコ−ン系樹脂、エチレン
−酢酸ビニル系樹脂が望ましい素材である。なお、上記
の充填剤層の厚さとしては、２００〜１０００μｍ位、
好ましくは、３５０〜６００μｍ位が望ましい。

【００４３】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結
晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素
子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなる
アモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素（Ｇ
ａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）等のIII −V 族化合
物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）
や銅インジウムセレナイド（ＣｕＩｎＳｅ₂ ）等のII−
VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用するこ
とができる。更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素
子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。而し
て、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の
上に、ｐｎ接合構造等の結晶シリコン、ｐ−ｉ−ｎ接合
構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電
力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものであ
る。

【００４４】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜
１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ
位が望ましい。

【００４５】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。

【００４６】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
トを使用し、例えば、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池
素子、充填剤層、および、上記の本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そのポリオレフィン
系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押
し出し樹脂層の面を対向させて、順次に積層し、更に、
必要ならば、各層間に、その他の素材を任意に積層し、
次いで、これらを、真空吸引等により一体化して加熱圧
着するラミネ−ション法等の通常の一体化成形法を利用
し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着成形して、
太陽電池モジュ−ルを製造することができる。上記にお
いて、必要ならば、各層間の接着性等を高めるために、
（メタ）アクリル系樹脂、オレフィン系樹脂、ビニル系
樹脂、その他等の樹脂をビヒクルの主成分とする加熱溶
融型接着剤、溶剤型接着剤、光硬化型接着剤、その他等
を使用することができる。

【００４７】また、上記の積層において、各積層対向面
には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例
えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは
窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処
理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の
前処理を任意に施すことができる。更に、上記の積層に
おいては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこ
ともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。また、上記において、コ−ト剤層
の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるい
は、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−
ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他
等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。

【００４８】更にまた、本発明においては、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用
し、その太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トのポリオ
レフィン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とから
なる共押し出し樹脂層の面に、上記の充填剤層を積層し
て、予め、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと充填
剤層とが積層した積層体を製造し、しかる後、上記の積
層体を構成する充填剤層の面に、光起電力素子としての
太陽電池素子、充填剤層、太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−トを順次に積層して、更に、必要ならば、その他
の素材を任意に積層し、次いで、それらを真空吸引等に
より一体化して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常
の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として加熱
圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造することがで
きる。

【００４９】

【実施例】以下に本発明について実施例を挙げて更に具
体的に本発明を説明する。 実施例１ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、これをプ
ラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、該
エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体フィルムの
コロナ処理面に、下記の条件で厚さ８００Åの酸化珪素
の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、グロ−放電プラ
ズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸
素ガス（Ｏ₂ ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１から
なる混合ガスを使用し、混合ガス圧６×１０^-5Ｔｏｏ
ｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガ
スによるプラズマ処理を行って、蒸着膜面の表面張力を
３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させてたプラズマ
処理面を形成した。 （２）．次に、上記で形成した膜厚８００Åの酸化珪素
の蒸着膜のプラズマ処理面に、ポリウレタン系樹脂の初
期縮合物に、エポキシ系のシランカップリング剤（８．
０重量％）とブロッキング防止剤（１．０重量％）を添
加し、十分に混練してなるプライマ−樹脂組成物を使用
し、これをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚０．５
ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングしてプ
ライマ−層を形成した。更に、上記で形成したプライマ
−層の面に、紫外線吸収剤として、ベンゾフェノン系紫
外線吸収剤（２．０重量％）を含有する２液硬化型のウ
レタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、これを、上記と
同様に、グラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚５．０ｇ
／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティングしてラミ
ネ−ト用接着剤層を形成した。 （３）．他方、メタロセン触媒を使用して重合したエチ
レン−α・オレフィン共重合体に、白色化剤としての酸
化チタン（５重量％）と紫外線吸収剤としての超微粒子
酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量
％）とを添加し、その他、所要の添加剤を添加し、十分
に混練してポリエチレン系樹脂組成物を調製し、また、
ポリジシクロペンタジエン樹脂に、上記と同様に、白色
化剤としての酸化チタン（５重量％）と紫外線吸収剤と
しての超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０
６μｍ、３重量％）とを添加し、その他、所要の添加剤
を添加し、十分に混練して環状ポリエチレン系樹脂組成
物を調製した。次に、上記で調製したポリエチレン系樹
脂組成物と環状ポリエチレン系樹脂組成物とを使用し、
これらをＴダイ共押出機を使用して溶融共押し出して、
厚さ２０μｍのポリエチレン系樹脂層と厚さ３０μｍの
環状ポリエチレン系樹脂層とからなる厚さ５０μｍの共
押し出しフィルムを製造し、次いで、そのポリエチレン
系樹脂層の面に、常法に従って、コロナ放電処理を施し
てコロナ処理面を形成した。次に、上記の（２）で形成
したラミネ−ト用接着剤層面に、同じく、上記の（３）
で形成した共押し出しフィルムを、そのポリエチレン系
樹脂層のコロナ処理面を対向させ、その両者をドライラ
ミネ−ト積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、そのポリエチレン系樹脂層の面を対向さ
せ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５０】実施例２〜７ 上記の実施例１において、厚さ２５μｍのエチレン−テ
トラフルオロエチレン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を
使用する代わりに、下記に示す基材フィルムを使用し、
その他は、上記の実施例１と全く同様に行って、上記の
実施例１と同様に、同様な本発明にかかる裏面保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。 実施例２．厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−
ト（ＰＶＦ） 実施例３．厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン
樹脂シ−ト 実施例４．厚さ５０μｍのポリカ−ボネ−ト樹脂シ−ト 実施例５．厚さ５０μｍのポリアクリル系樹脂シ−ト 実施例６．厚さ２０μｍのナイロン６フィルム 実施例７．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルム

【００５１】実施例８ 厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチレン共重
合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、これを巻き取り式
真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これ
をコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件
で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しな
がら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応
真空蒸着法により、上記のエチレン−テトラフルオロエ
チレン共重合体フィルムのコロナ処理面に、膜厚８００
Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出
力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ₂ ）：アルゴンガス（Ａ
ｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧
６×１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素
／アルゴン混合ガスによるプラズマ処理を行ってプラズ
マ処理面を形成した。 （２）．次に、上記で形成した膜厚８００Åの酸化アル
ミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、ポリウレタン系
樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシランカップリング
剤（８．０重量％）とブロッキング防止剤（１．０重量
％）を添加し、十分に混練してなるプライマ−樹脂組成
物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法により、膜
厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティン
グしてプライマ−層を形成した。更に、上記で形成した
プライマ−層の面に、紫外線吸収剤として、ベンゾフェ
ノン系紫外線吸収剤（２．０重量％）を含有する２液硬
化型のウレタン系ラミネ−ト用接着剤を使用し、これ
を、上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト法により、膜
厚５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−ティン
グしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。 （３）．他方、線状（直鎖状）低密度ポリエチレン樹脂
に、白色化剤としての酸化チタン（５重量％）と紫外線
吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１
〜０．０６μｍ、３重量％）とを添加し、その他、所要
の添加剤を添加し、十分に混練してポリエチレン系樹脂
組成物を調製し、また、ポリジシクロペンタジエン樹脂
に、上記と同様に、白色化剤としての酸化チタン（５重
量％）と紫外線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒
子径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量％）とを添加
し、その他、所要の添加剤を添加し、十分に混練して環
状ポリエチレン系樹脂組成物を調製した。次に、上記で
調製したポリエチレン系樹脂組成物と環状ポリエチレン
系樹脂組成物とを使用し、これらをＴダイ共押出機を使
用して溶融共押し出して、厚さ１５μｍのポリエチレン
系樹脂層と厚さ２５μｍの環状ポリエチレン系樹脂層と
からなる厚さ４０μｍの共押し出しフィルムを製造し、
次いで、そのポリエチレン系樹脂層の面に、常法に従っ
て、コロナ放電処理を施してコロナ処理面を形成した。
次に、上記の（２）で形成したラミネ−ト用接着剤層面
に、同じく、上記の（３）で形成した共押し出しフィル
ムを、そのポリエチレン系樹脂層のコロナ処理面を対向
させ、その両者をドライラミネ−ト積層して、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを製造し
た。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、そのポリエチレン系樹脂層の面を対向さ
せ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５２】実施例９〜１４ 上記の実施例８において、厚さ２５μｍのエチレン−テ
トラフルオロエチレン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を
使用する代わりに、下記に示す基材フィルムを使用し、
その他は、上記の実施例８と全く同様に行って、上記の
実施例８と同様に、同様な本発明にかかる裏面保護シ−
ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することができ
た。 実施例９．厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル系樹脂シ−
ト（ＰＶＦ） 実施例１０．厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−ト 実施例１１．厚さ５０μｍのポリカ−ボネ−ト樹脂シ−
ト 実施例１２．厚さ５０μｍのポリアクリル系樹脂シ−ト 実施例１３．厚さ２５μｍの２軸延伸ナイロン６フィル
ム 実施例１４．厚さ２５μｍの２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルム

【００５３】実施例１５ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、これをプ
ラズマ化学蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、該エチ
レン−テトラフルオロエチレン共重合体フィルムのコロ
ナ処理面に、下記の条件で膜厚５０Åの酸化珪素の蒸着
薄膜を形成して、耐蒸着保護膜を設けた。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝５：５：５（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：７．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：３．８×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１５ｋＷ シ−トの搬送速度：１００ｍ／分 次に、上記で形成した耐蒸着保護膜の上に、上記の実施
例１と同様にして、膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を
形成し、更に、該酸化珪素の蒸着膜面に、プラズマ処理
面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例１と全く同様に行って、上
記の実施例１と同様に、同様な本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造することができた。

【００５４】実施例１６ （１）．厚さ１５μｍの２軸延伸ナイロン６フィルムを
使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−
ルに装着し、次いで、コ−ティングドラムの上に繰り出
して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸
素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加
熱方式による反応真空蒸着法により、上記の２軸延伸ナ
イロンフィルムのコロナ処理面に、膜厚５０Åの酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜を形成して、耐蒸着保護膜を設け
た。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：２０ＫＷ フィルム搬送速度：５００ｍ／分 更に、上記で形成した耐蒸着保護膜の上に、上記の実施
例８と同様にして、膜厚８００Åの酸化アルミニウムの
蒸着膜を形成し、更に、該酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、プラスマ処理面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例８と全く同様に行って、上
記の実施例８と同様に、同様な本発明にかかる裏面保護
シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造することが
できた。

【００５５】実施例１７ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、そのコロ
ナ処理面に、１×１０^-4Ｔｏｒｒの真空下、高周波誘電
加熱方式で純度９９．９％の一酸化珪素（ＳｉＯ）を加
熱蒸発させ、５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。
次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、出力、１０ｋ
Ｗ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行っ
て、蒸着膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎ
ｅに向上させてたコロナ処理面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例１と全く同様に行って、上
記の実施例１と同様に、同様な本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造することができた。

【００５６】実施例１８ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、上記の実
施例１と同様にして、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着膜
を形成し、更に、該酸化珪素の蒸着膜面に、プラズマ処
理面を形成した。次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着
膜のプラズマ処理面の上に、上記の実施例８と同様にし
て、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成
し、更に、該酸化アルミニウムの蒸着膜面に、プラスマ
処理面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例８と全く同様に行って、上
記の実施例８と同様に、同様な本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ
−ルを製造することができた。

【００５７】実施例１９ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、これをプ
ラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、該
エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体フィルムの
コロナ処理面に、下記の条件で厚さ８００Åの酸化珪素
の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、グロ−放電プラ
ズマ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸
素ガス（Ｏ₂ ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１から
なる混合ガスを使用し、混合ガス圧６×１０^-5Ｔｏｒ
ｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガ
スによるプラズマ処理を行って、蒸着膜面の表面張力を
３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させたプラズマ処
理面を形成した。 （２）．次に、上記で形成した膜厚８００Åの酸化珪素
の蒸着膜のプラズマ処理面に、２液硬化型のポリウレタ
ン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシランカップリ
ング剤（８．０重量％）とブロッキング防止剤（１．０
重量％）を添加し、十分に混練してなるプライマ−樹脂
組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法によ
り、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ−
ティングしてプライマ−層を形成した。更に、上記で形
成したプライマ−層の面に、２液硬化型のウレタン系ア
ンカ−コ−ト剤を使用し、これを、上記と同様に、グラ
ビアロ−ルコ−ト法により、膜厚０．１ｇ／ｍ² （乾燥
状態）になるようにコ−ティングしてアンカ−コ−ト剤
層を形成した。 （３）．他方、メタロセン触媒を使用して重合したエチ
レン−α・オレフィン共重合体に、白色化剤としての酸
化チタン（５重量％）と紫外線吸収剤としての超微粒子
酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量
％）とを添加し、その他、所要の添加剤を添加し、十分
に混練してポリエチレン系樹脂組成物を調製し、また、
ポリジシクロペンタジエン樹脂に、上記と同様に、白色
化剤としての酸化チタン（５重量％）と紫外線吸収剤と
しての超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０
６μｍ、３重量％）とを添加し、その他、所要の添加剤
を添加し、十分に混練して環状ポリエチレン系樹脂組成
物を調製した。次に、上記で調製したポリエチレン系樹
脂組成物と環状ポリエチレン系樹脂組成物とを使用し、
これらを、上記の（１）で形成した膜厚８００Åの酸化
珪素の蒸着膜のプラズマ処理面に、Ｔダイ共押出機を使
用して溶融共押し出して、厚さ２０μｍのポリエチレン
系樹脂層と厚さ３０μｍの環状ポリエチレン系樹脂層と
からなる厚さ５０μｍの共押し出し樹脂層を溶融押し出
しラミネ−ト積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、そのポリエチレン系樹脂層の面を対向さ
せ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５８】実施例２０ 厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチレン共重
合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、これを巻き取り式
真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これ
をコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件
で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しな
がら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応
真空蒸着法により、上記のエチレン−テトラフルオロエ
チレン共重合体フィルムのコロナ処理面に、膜厚８００
Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した直後に、その酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用し、プラズマ出
力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ₂ ）：アルゴンガス（Ａ
ｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用し、混合ガス圧
６×１０^-5Ｔｏｒｒ、処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素
／アルゴン混合ガスによるプラズマ処理を行ってプラズ
マ処理面を形成した。 （２）．次に、上記で形成した膜厚８００Åの酸化アル
ミニウムの蒸着膜のプラズマ処理面に、２液硬化型のポ
リウレタン系樹脂の初期縮合物に、エポキシ系のシラン
カップリング剤（８．０重量％）とブロッキング防止剤
（１．０重量％）を添加し、十分に混練してなるプライ
マ−樹脂組成物を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト
法により、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるよう
にコ−ティングしてプライマ−層を形成した。更に、上
記で形成したプライマ−層の面に、２液硬化型のウレタ
ン系アンカ−コ−ト剤を使用し、これを、上記と同様
に、グラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚０．１ｇ／ｍ
² （乾燥状態）になるようにコ−ティングしてアンカ−
コ−ト剤層を形成した。 （３）．他方、線状（直鎖状）低密度ポリエチレン樹脂
に、白色化剤としての酸化チタン（５重量％）と紫外線
吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１
〜０．０６μｍ、３重量％）とを添加し、その他、所要
の添加剤を添加し、十分に混練してポリエチレン系樹脂
組成物を調製し、また、ポリジシクロペンタジエン樹脂
に、上記と同様に、白色化剤としての酸化チタン（５重
量％）と紫外線吸収剤としての超微粒子酸化チタン（粒
子径、０．０１〜０．０６μｍ、３重量％）とを添加
し、その他、所要の添加剤を添加し、十分に混練して環
状ポリエチレン系樹脂組成物を調製した。次に、上記で
調製したポリエチレン系樹脂組成物と環状ポリエチレン
系樹脂組成物とを使用し、これらを、上記の（１）で形
成した膜厚膜厚８００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜の
プラズマ処理面に、Ｔダイ共押出機を使用して溶融共押
し出して、厚さ１５μｍのポリエチレン系樹脂層と厚さ
２５μｍの環状ポリエチレン系樹脂層とからなる厚さ４
０μｍの共押し出し樹脂層を溶融押し出しラミネ−ト積
層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トを使用し、厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモ
ルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置し
た厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重
合体シ−ト、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面
保護シ−トを、そのポリエチレン系樹脂層の面を対向さ
せ、更に、上記の太陽電池素子面を上に向けて、アクリ
ル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５９】実施例２１ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、これをプ
ラズマ化学蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、該エチ
レン−テトラフルオロエチレン共重合体フィルムのコロ
ナ処理面に、下記の条件で膜厚５０Åの酸化珪素の蒸着
薄膜を形成して、耐蒸着保護膜を設けた。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝５：５：５（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：７．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：３．８×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１５ｋＷ シ−トの搬送速度：１００ｍ／分 次に、上記で形成した耐蒸着保護膜の上に、上記の実施
例１９と同様にして、膜厚８００Åの酸化珪素の蒸着膜
を形成し、更に、該酸化珪素の蒸着膜面に、プラズマ処
理面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例１９と全く同様に行って、
上記の実施例１９と同様に、同様な本発明にかかる裏面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。

【００６０】実施例２２ （１）．厚さ１５μｍの２軸延伸ナイロン６フィルムを
使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ−
ルに装着し、次いで、コ−ティングドラムの上に繰り出
して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸
素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加
熱方式による反応真空蒸着法により、上記の２軸延伸ナ
イロンフィルムのコロナ処理面に、膜厚５０Åの酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜を形成して、耐蒸着保護膜を設け
た。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：２０ＫＷ フィルム搬送速度：５００ｍ／分 更に、上記で形成した耐蒸着保護膜の上に、上記の実施
例２０と同様にして、膜厚８００Åの酸化アルミニウム
の蒸着膜を形成し、更に、該酸化アルミニウムの蒸着膜
面に、プラズマ処理面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例２０と全く同様に行って、
上記の実施例２０と同様に、同様な本発明にかかる裏面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。

【００６１】実施例２３ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、そのコロ
ナ処理面に、１×１０^-4Ｔｏｒｒの真空下、高周波誘電
加熱方式で純度９９．９％の一酸化珪素（ＳｉＯ）を加
熱蒸発させ、５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。
次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成し
た直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、出力、１０ｋ
Ｗ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロナ放電処理を行っ
て、蒸着膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎ
ｅに向上させてたコロナ処理面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例１９と全く同様に行って、
上記の実施例１９と同様に、同様な本発明にかかる裏面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。

【００６２】実施例２４ （１）．厚さ２５μｍのエチレン−テトラフルオロエチ
レン共重合体フィルム（ＥＴＦＥ）を使用し、上記の実
施例１９と同様にして、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着
膜を形成し、更に、該酸化珪素の蒸着膜面に、プラズマ
処理面を形成した。次に、上記で形成した酸化珪素の蒸
着膜のプラズマ処理面の上に、上記の実施例２０と同様
にして、膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形
成し、更に、該酸化アルミニウムの蒸着膜面に、プラス
マ処理面を形成した。 （２）．以下、上記の実施例２０と全く同様に行って、
上記の実施例２０と同様に、同様な本発明にかかる裏面
保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができた。

【００６３】比較例１ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ５０μｍの白色の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アク
リル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。

【００６４】比較例２ 厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからな
る太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚
さ５０μｍの白色のポリフッ化ビニル樹脂シ−トを対向
させて、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、アク
リル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。

【００６５】実験例 上記の実施例１〜２４で製造した本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１〜２にかかる
裏面保護シ−トについて、反射率を測定し、また、上記
の実施例１〜２４で製造した太陽電池モジュ−ルと比較
例１〜２で製造した太陽電池モジュ−ルについて太陽電
池モジュ−ル評価試験を行った。 （１）．反射率の測定 これは、基材フィルムを基準とし、実施例１〜２４で製
造した本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トと比較例１〜２にかかる裏面保護シ−トについて、
分光光度計により、波長５５０ｎｍの光線に対する反射
率（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜２４で製造した本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと比較例１〜
２にかかる裏面保護シ−トについて、温度４０℃、湿度
９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製
の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡ
Ｎ）〕にて測定し、更に、酸素透過度は、上記と同様の
対象物について、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件
で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種
名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定した。 （４）．積層強度の測定 これは、裏面保護シ−トを１５ｍｍ巾に裁断し、引っ張
り試験機〔エ−・アンド・デ−（Ａ＆Ｄ）株式会社製
機種名 テンシロン）を用いて、裏面保護シ−トを構成
する積層体の剥離強度を測定した。上記の測定結果につ
いて下記の表１に示す。

【００６６】 上記の表１において、光線反射率の単位は、〔％〕であ
り、水蒸気バリア性の単位は、〔ｇ／ｍ² ／ｄａｙ・４
０℃・１００％ＲＨ〕であり、酸素バリア性の単位は、
〔ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ・２３℃・９０％ＲＨ〕であり、
出力低下率の単位は、〔％〕であり、積層強度の単位
は、〔ｋｇ／１５ｍｍ巾〕である。

【００６７】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜２４にかかる太陽電池モジュ−ル用裏
面保護シ−トは、反射率が高く、また、水蒸気バリア
性、酸素バリア性、および、積層強度に優れていた。更
に、上記の実施例１〜２４にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを用いた太陽電池モジュ−ルは、出力
低下率も低いものであった。これに対し、比較例１〜２
にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トは、反射率
は、高いものの、水蒸気バリア性、酸素バリア性が低
く、そのために、それを用いて製造した太陽電池モジュ
−ルは、出力低下率が高い等の問題点がある。

【００６８】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
基材フィルムの一方の面に、酸化珪素、あるいは、酸化
アルミニウム等のガラス質からなる透明な、かつ、水蒸
気バリア性、酸素バリア性等に優れた無機酸化物の蒸着
膜を設け、更に、上記で設けた無機酸化物の蒸着膜の面
に、ポリオレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂
とを使用し、それらを共押し出しし、そのポリオレフィ
ン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共
押し出し樹脂層を、そのポリオレフィン系樹脂層面を対
向させて積層して太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト
を製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トを使用し、例えば、ガラス板等からなる通常の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、充填剤層、光起電力
素子としての太陽電池素子、充填剤層、および、上記の
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、そのポリオレ
フィン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからな
る共押し出し樹脂層の面を対向させて順次に積層し、次
いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラミ
ネ−ション法等を利用して一体化成形して太陽電池モジ
ュ−ルを製造して、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱
性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、
防汚性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、酸素等
の侵入を防止する防湿性に優れ、また、光反射性、光拡
散性、意匠性等についても著しく向上させ、その長期的
な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富み、保護
能力性に優れ、かつ、より低コストで安全な太陽電池モ
ジュ−ルを安定的に製造し得ることができるというもの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図４】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図５】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図６】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図７】無機酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。

【図８】無機酸化物の蒸着膜について、他の例の層構成
を示す概略を示す概略的断面図である。

【図９】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図で
ある。

【図１０】巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的
構成図である。

【図１１】プラズマ化学蒸着装置の一例を示す概略的構
成図である。

【符号の説明】 Ａ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト Ａ₁ 〜Ａ₅ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １ 基材フィルム ２ 無機酸化物の蒸着膜 ２ａ 多層膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｃ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｄ 複合膜 ３ ポリエチレン系樹脂層 ４ 環状ポリオレフィン系樹脂層 ５ 共押し出し樹脂層 ６ ラミネ−ト用接着剤層 ７ プライマ−剤層 ８ アンカ−コ−ト剤層 Ｔ 太陽電池モジュ−ル １１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １２ 充填剤層 １３ 太陽電池素子 １４ 充填剤層 １５（Ａ） 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大川 晃次郎 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 續木 淳朗 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 高澤 和幸 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AA17B AA17D AA17E AA20 AA21H AH02H AK03C AK04C AK17A AK18 AK25A AK41A AK45A AK46A AK51G AK63C AK80A AK80C AL01 AS00H AT00A BA05 BA07 BA10A BA10E CA07 CB02 CB10 EC182 EH20 EH201 EH23 EH231 EH232 EH66 EH662 EJ65 GB90 HB40 JB01 JB07 JJ03 JK01 JK12 JL06 JL09 JN06 YY00B YY00D YY00E 5F051 BA18 CB14 CB30 JA02 JA05

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物
   の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の面に、
   ポリオレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを
   使用し、それらを共押し出しし、そのポリオレフィン系
   樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し
   出し樹脂層を設けることを特徴とする太陽電池モジュ−
   ル用裏面保護シ−ト。
2. 【請求項２】 ポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレ
   フィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層の他方の面
   に、更に、無機酸化物の蒸着膜を設けることを特徴とす
   る上記の請求項１に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面
   保護シ−ト。
3. 【請求項３】 基材フィルムが、フッ素系樹脂フィル
   ム、環状ポリオレフィン系樹脂フィルム、ポリカ−ボネ
   −ト系樹脂フィルム、ポリ（メタ）アクリル系樹脂フィ
   ルム、ポリアミド系樹脂フィルム、または、ポリエステ
   ル系樹脂フィルムからなることを特徴とする上記の請求
   項１〜２に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
   ト。
4. 【請求項４】 無機酸化物の蒸着膜が、無機酸化物の蒸
   着膜の１層若しくは２層以上の多層膜、または、異種の
   無機酸化物の蒸着膜の２層以上の複合膜からなることを
   特徴とする上記の請求項１〜３に記載する太陽電池モジ
   ュ−ル用裏面保護シ−ト。
5. 【請求項５】 無機酸化物の蒸着膜が、膜厚５０Å以上
   〜４０００Å以下からなることを特徴とする上記の請求
   項１〜４に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
   ト。
6. 【請求項６】 ポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレ
   フィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層が、ポリエ
   チレン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを使用し、
   それらを共押し出しし、そのポリエチレン系樹脂層と環
   状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層
   からなることを特徴とする上記の請求項１〜５に記載す
   る太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
7. 【請求項７】 ポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレ
   フィン系樹脂層とかなる共押し出し樹脂層が、線状低密
   度ポリエチレン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを
   使用し、それらを共押し出しし、その線状低密度ポリエ
   チレン系樹脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからな
   る共押し出し樹脂層からなることを特徴とする上記の請
   求項１〜６に記載する太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
   −ト。
8. 【請求項８】 ポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレ
   フィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層が、ラミネ
   −ト用接着剤層、または、プライマ−剤層とラミネ−ト
   用接着剤層を介して、ドライラミネ−ト法により積層さ
   れることを特徴とする上記の請求項１〜７に記載する太
   陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
9. 【請求項９】 ポリオレフィン系樹脂層と環状ポリオレ
   フィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層が、アンカ
   −コ−ト剤層、または、プライマ−剤層とアンカ−コ−
   ト剤層を介して、溶融押し出しラミネ−ト法により積層
   されることを特徴とする上記の請求項１〜７に記載する
   太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト。
10. 【請求項１０】 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
    ト、充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充
    填剤層、および、基材フィルムの片面に、無機酸化物の
    蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の面に、ポ
    リオレフィン系樹脂と環状ポリオレフィン系樹脂とを使
    用し、それらを共押し出しし、そのポリオレフィン系樹
    脂層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる共押し出
    し樹脂層を設けた構成からなる太陽電池モジュ−ル用裏
    面保護シ−トを、そのポリオレフィン系樹脂層と環状ポ
    リオレフィン系樹脂層とからなる共押し出し樹脂層の面
    を対向させて順次に積層し、これらを真空吸引して加熱
    圧着ラミネ−ション法等により一体化成形体としたこと
    を特徴とする太陽電池モジュ−ル。