JP2000120824A - パラレルリンク機構 - Google Patents
パラレルリンク機構Info
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- JP2000120824A JP2000120824A JP10294786A JP29478698A JP2000120824A JP 2000120824 A JP2000120824 A JP 2000120824A JP 10294786 A JP10294786 A JP 10294786A JP 29478698 A JP29478698 A JP 29478698A JP 2000120824 A JP2000120824 A JP 2000120824A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パラレルリンク機構のアクチュエータにかか
る負担を少なくすることで制御性を向上させたパラレル
リンク機構を提供する。 【解決手段】 パラレルリンク機構10の可動部1の底
面中央部には、中空円筒の永久磁石7が固着されてい
る。一方、基部5の上面中央部には、中空円筒の永久磁
石9が永久磁石7と同極同士が対向するように固着され
ている。永久磁石7の周長は、永久磁石9の周長より短
く構成されている。
る負担を少なくすることで制御性を向上させたパラレル
リンク機構を提供する。 【解決手段】 パラレルリンク機構10の可動部1の底
面中央部には、中空円筒の永久磁石7が固着されてい
る。一方、基部5の上面中央部には、中空円筒の永久磁
石9が永久磁石7と同極同士が対向するように固着され
ている。永久磁石7の周長は、永久磁石9の周長より短
く構成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はパラレルリンク機構
に係わり、特にパラレルリンク機構のアクチュエータに
かかる負担を少なくすることで制御性を向上させたパラ
レルリンク機構に関する。
に係わり、特にパラレルリンク機構のアクチュエータに
かかる負担を少なくすることで制御性を向上させたパラ
レルリンク機構に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高剛性・高速性・高精度等の面か
らパラレルリンク機構が注目されており、工作機械や組
立てロボット等に使用されるケースが増えつつある。こ
のパラレルリンク機構の具体例を図5に示す。
らパラレルリンク機構が注目されており、工作機械や組
立てロボット等に使用されるケースが増えつつある。こ
のパラレルリンク機構の具体例を図5に示す。
【0003】パラレルリンク機構10は、可動部1が6
本の直動型アクチュエータ3で駆動される形式のもの
で、一般的にはスチュワートプラットフォームと呼ばれ
ている。直動型アクチュエータ3の上端部は、図示しな
い対偶を介して可動部(トラベリングプレート)1が固
定されている。一方、直動型アクチュエータ3の下端部
は、図示しない対偶を介して基部(ベースプレート)5
に固定されている。
本の直動型アクチュエータ3で駆動される形式のもの
で、一般的にはスチュワートプラットフォームと呼ばれ
ている。直動型アクチュエータ3の上端部は、図示しな
い対偶を介して可動部(トラベリングプレート)1が固
定されている。一方、直動型アクチュエータ3の下端部
は、図示しない対偶を介して基部(ベースプレート)5
に固定されている。
【0004】このパラレルメカニズムの駆動には、空圧
・油圧アクチュエータや、モータ及びボールネジ、ジャ
ッキ、圧電素子等が用いられている。特に圧電素子は、
精度、分解能が非常に高いため、各種分野への応用が期
待されている。
・油圧アクチュエータや、モータ及びボールネジ、ジャ
ッキ、圧電素子等が用いられている。特に圧電素子は、
精度、分解能が非常に高いため、各種分野への応用が期
待されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のパラ
レルリンク機構10では、通常、直動型アクチュエータ
3による操作が容易に行えるよう、可動部1は、基部5
に対して一定の距離に位置している。
レルリンク機構10では、通常、直動型アクチュエータ
3による操作が容易に行えるよう、可動部1は、基部5
に対して一定の距離に位置している。
【0006】可動部1には、普通、器具等が取り付けら
れるため、可動部1が前述のように一定の距離を確保す
るためには、直動型アクチュエータ3には、随時一定の
力(以下、バイアス力という)が必要とされる。圧電素
子等の非線形特性の強いアクチュエータを用いる場合、
このバイアス力のために、線形可動範囲が限定される。
れるため、可動部1が前述のように一定の距離を確保す
るためには、直動型アクチュエータ3には、随時一定の
力(以下、バイアス力という)が必要とされる。圧電素
子等の非線形特性の強いアクチュエータを用いる場合、
このバイアス力のために、線形可動範囲が限定される。
【0007】また、直動型アクチュエータ3の傾斜が大
きくなると、直動型アクチュエータ3の曲げの力が増大
し、折れやすくなる。更に、傾斜が大きいと直動型アク
チュエータ3が可動部1に作用する力の水平方向成分が
垂直成分に対し大きくなり、直動型アクチュエータ3を
伸ばしにくくなる。
きくなると、直動型アクチュエータ3の曲げの力が増大
し、折れやすくなる。更に、傾斜が大きいと直動型アク
チュエータ3が可動部1に作用する力の水平方向成分が
垂直成分に対し大きくなり、直動型アクチュエータ3を
伸ばしにくくなる。
【0008】更に、直動型アクチュエータ3としてジャ
ッキなどを用いた場合、可動部1に加わる負荷の急激な
増減があった場合に、直動型アクチュエータ3の急激な
伸び縮みによる装置の接触、破損が生ずるおそれがあっ
た。
ッキなどを用いた場合、可動部1に加わる負荷の急激な
増減があった場合に、直動型アクチュエータ3の急激な
伸び縮みによる装置の接触、破損が生ずるおそれがあっ
た。
【0009】本発明はこのような従来の課題に鑑みてな
されたもので、パラレルリンク機構のアクチュエータに
かかる負担を少なくすることで制御性を向上させたパラ
レルリンク機構を提供することを目的とする。
されたもので、パラレルリンク機構のアクチュエータに
かかる負担を少なくすることで制御性を向上させたパラ
レルリンク機構を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、空間
の所定位置に固定した基部に対し2〜6自由度のいずれ
かの自由度で可動部を駆動するパラレルリンク機構であ
って、前記可動部にかかる負荷の一部を磁力により負担
する負荷負担手段を備えて構成した。
の所定位置に固定した基部に対し2〜6自由度のいずれ
かの自由度で可動部を駆動するパラレルリンク機構であ
って、前記可動部にかかる負荷の一部を磁力により負担
する負荷負担手段を備えて構成した。
【0011】可動部には、負荷が加えられる。この負荷
により、各自由度を構成する例えば直動型のアクチュエ
ータには、負荷の一部が加えられる。直動型のアクチュ
エータの制御特性が非線形領域を含む場合、負荷の変動
に伴う制御点の移動により制御点が非線形領域に入るお
それがある。
により、各自由度を構成する例えば直動型のアクチュエ
ータには、負荷の一部が加えられる。直動型のアクチュ
エータの制御特性が非線形領域を含む場合、負荷の変動
に伴う制御点の移動により制御点が非線形領域に入るお
それがある。
【0012】このため、負荷の変動に伴う制御点の移動
量を少なくするため、可動部にかかる負荷の一部を負荷
負担手段で負担させる。負荷負担手段は、磁力により非
接触に負荷の一部を負担する。このときの負荷負担は、
主にバイアス力に相当する分である。アクチュエータ
は、負荷負担手段で負担された残りの負荷分を負担すれ
ばすむため、制御点を線形領域に納めることが出来る。
量を少なくするため、可動部にかかる負荷の一部を負荷
負担手段で負担させる。負荷負担手段は、磁力により非
接触に負荷の一部を負担する。このときの負荷負担は、
主にバイアス力に相当する分である。アクチュエータ
は、負荷負担手段で負担された残りの負荷分を負担すれ
ばすむため、制御点を線形領域に納めることが出来る。
【0013】このことにより、パラレルリンク機構の制
御性を向上させることが出来る。また、負荷負担手段は
非接触に負荷を負担するため、負荷負担手段が可動部等
にねじれ等の影響を与えることもない。
御性を向上させることが出来る。また、負荷負担手段は
非接触に負荷を負担するため、負荷負担手段が可動部等
にねじれ等の影響を与えることもない。
【0014】また、本発明は、前記負荷負担手段は、前
記基部に配設した永久磁石又は電磁石と、該永久磁石又
は電磁石と磁極面を対峙させて前記可動部に配設した永
久磁石又は電磁石とからなるものであることを特徴とす
る。
記基部に配設した永久磁石又は電磁石と、該永久磁石又
は電磁石と磁極面を対峙させて前記可動部に配設した永
久磁石又は電磁石とからなるものであることを特徴とす
る。
【0015】永久磁石又は電磁石の有する磁力により、
アクチュエータに加わる負荷の一部を負担させる。永久
磁石又は電磁石は、基部と可動部とに磁極面を対峙させ
てそれぞれ配設する。対峙させる磁極面は、パラレルリ
ンク機構の使用目的や使用方法等によって同一磁極とす
るか反対磁極とするか決定する。即ち、可動部にかかる
負荷を軽減する方向に対峙させる磁極の極性を定める。
アクチュエータに加わる負荷の一部を負担させる。永久
磁石又は電磁石は、基部と可動部とに磁極面を対峙させ
てそれぞれ配設する。対峙させる磁極面は、パラレルリ
ンク機構の使用目的や使用方法等によって同一磁極とす
るか反対磁極とするか決定する。即ち、可動部にかかる
負荷を軽減する方向に対峙させる磁極の極性を定める。
【0016】永久磁石又は電磁石の設置方法は、基部と
可動部の表面や裏面に固定してもよいし、また埋め込む
ようにしてもよい。また、永久磁石又は電磁石は、1対
を基部と可動部のそれぞれの中央に位置するように配設
してもよいし、また複数本を基部と可動部の間に均等に
配設してもよい。このことにより、安価にパラレルリン
ク機構の制御性を向上させることが出来る。また、永久
磁石の場合には保守も容易である。
可動部の表面や裏面に固定してもよいし、また埋め込む
ようにしてもよい。また、永久磁石又は電磁石は、1対
を基部と可動部のそれぞれの中央に位置するように配設
してもよいし、また複数本を基部と可動部の間に均等に
配設してもよい。このことにより、安価にパラレルリン
ク機構の制御性を向上させることが出来る。また、永久
磁石の場合には保守も容易である。
【0017】電磁石を用いた場合、その電磁力は常に一
定でもよいが、可動部にかかる負荷量に応じた電磁力の
調整を行うようにしてもよい。このとき、負荷負担手段
での負担量が調整可能となる。従って、負荷量の変動に
無関係に、常に最適なアクチュエータの線形領域を確保
出来る。なお、電磁石は、基部側にのみ配設すれば、配
線は整然と整理して行うことが出来る。
定でもよいが、可動部にかかる負荷量に応じた電磁力の
調整を行うようにしてもよい。このとき、負荷負担手段
での負担量が調整可能となる。従って、負荷量の変動に
無関係に、常に最適なアクチュエータの線形領域を確保
出来る。なお、電磁石は、基部側にのみ配設すれば、配
線は整然と整理して行うことが出来る。
【0018】また、この場合には、一方が永久磁石であ
る分安価である。但し、アクチュエータの内部及び可動
部の内部に配線を通す等の工夫をすれば、電磁石を可動
部側に配設した場合でも整然と配線することが出来る。
更に、仮に、永久磁石や電磁石に経年変化を生じた場合
でも、電磁石に供給する電流量を微調整すれば簡単に対
処出来る。また、電磁石には、常時励磁電流を流す必要
は無く、省電力のため負荷のかかったときだけ流すよう
にしてもよい。
る分安価である。但し、アクチュエータの内部及び可動
部の内部に配線を通す等の工夫をすれば、電磁石を可動
部側に配設した場合でも整然と配線することが出来る。
更に、仮に、永久磁石や電磁石に経年変化を生じた場合
でも、電磁石に供給する電流量を微調整すれば簡単に対
処出来る。また、電磁石には、常時励磁電流を流す必要
は無く、省電力のため負荷のかかったときだけ流すよう
にしてもよい。
【0019】更に、本発明は、前記可動部に配設された
前記永久磁石又は前記電磁石の前記基部に対向する磁極
の周長は、前記基部に配設された前記永久磁石又は前記
電磁石の前記可動部に対向する磁極の周長より小さくし
たことを特徴とする。
前記永久磁石又は前記電磁石の前記基部に対向する磁極
の周長は、前記基部に配設された前記永久磁石又は前記
電磁石の前記可動部に対向する磁極の周長より小さくし
たことを特徴とする。
【0020】可動部側に配設した永久磁石又は電磁石の
磁極の周長を、基部側に配設した永久磁石又は電磁石の
磁極の周長より小さくする。従って、可動部側に配設し
た永久磁石等は、基部側に配設した永久磁石等から放射
される磁力線により周囲から包まれるような形になる。
このように周長を変えることで、可動部側に配設した永
久磁石等の安定度が向上する。
磁極の周長を、基部側に配設した永久磁石又は電磁石の
磁極の周長より小さくする。従って、可動部側に配設し
た永久磁石等は、基部側に配設した永久磁石等から放射
される磁力線により周囲から包まれるような形になる。
このように周長を変えることで、可動部側に配設した永
久磁石等の安定度が向上する。
【0021】更に、本発明は、前記基部及び/又は前記
可動部に配設された前記永久磁石及び/又は前記電磁石
の全体又は少なくとも対峙した磁極部分は円筒状に構成
する。
可動部に配設された前記永久磁石及び/又は前記電磁石
の全体又は少なくとも対峙した磁極部分は円筒状に構成
する。
【0022】永久磁石及び/又は電磁石の全体は円筒状
に構成する。また、少なくとも対峙した磁極部分のみを
円筒状に構成してもよい。このように磁極部分を円筒状
とすることで、円筒から放射される磁力線は、対峙する
永久磁石等を円筒の中心の延長線方向にすり鉢状に包囲
する。従って、永久磁石等は円筒の中心の延長線方向に
安定するようになる。
に構成する。また、少なくとも対峙した磁極部分のみを
円筒状に構成してもよい。このように磁極部分を円筒状
とすることで、円筒から放射される磁力線は、対峙する
永久磁石等を円筒の中心の延長線方向にすり鉢状に包囲
する。従って、永久磁石等は円筒の中心の延長線方向に
安定するようになる。
【0023】更に、本発明は、前記可動部は磁性材で構
成され、前記負荷負担手段は、前記可動部を吸引若しく
は反発させるため該可動部の上方で前記基部より所定高
さ位置に固定された少なくとも一つの電磁石を備えて構
成した。
成され、前記負荷負担手段は、前記可動部を吸引若しく
は反発させるため該可動部の上方で前記基部より所定高
さ位置に固定された少なくとも一つの電磁石を備えて構
成した。
【0024】可動部は磁性材で構成する。この可動部の
上方で、基部より所定高さ位置に固定された少なくとも
一つの電磁石を備える。即ち、電磁石で可動部を上方向
に吸引若しくは下方向に反発させることで、可動部にか
かる負荷を負担する。このとき、磁性材の種類を変える
ことで、吸引若しくは反発を選択可能である。パラレル
リンク機構の使用目的や使用方法等によって吸引若しく
は反発の選択を決定する。
上方で、基部より所定高さ位置に固定された少なくとも
一つの電磁石を備える。即ち、電磁石で可動部を上方向
に吸引若しくは下方向に反発させることで、可動部にか
かる負荷を負担する。このとき、磁性材の種類を変える
ことで、吸引若しくは反発を選択可能である。パラレル
リンク機構の使用目的や使用方法等によって吸引若しく
は反発の選択を決定する。
【0025】更に、本発明は、前記電磁石は、前記可動
部をバランスよく吸引若しくは反発させるため、前記可
動部の縁部に対向して均等に配設する。可動部の縁部に
対し均等に吸引若しくは反発を行うことで、可動部をバ
ランスよく保持することが出来る。
部をバランスよく吸引若しくは反発させるため、前記可
動部の縁部に対向して均等に配設する。可動部の縁部に
対し均等に吸引若しくは反発を行うことで、可動部をバ
ランスよく保持することが出来る。
【0026】更に、本発明は、前記負荷負担手段は、更
に前記可動部を吸引若しくは反発させるため前記基部に
少なくとも一つの電磁石を配設する。基部側にも、可動
部を吸引若しくは反発させるため電磁石を配設する。
に前記可動部を吸引若しくは反発させるため前記基部に
少なくとも一つの電磁石を配設する。基部側にも、可動
部を吸引若しくは反発させるため電磁石を配設する。
【0027】従って、より一層バランス良く、可動部に
かかる負荷の負担を負荷量に応じて調整可能となる。ま
た、各アクチュエータはほぼ均等に負荷負担されること
になるため、負荷量の変動に無関係に線形領域を確保出
来る。従って、パラレルリンク機構の制御性を向上させ
ることが出来る。
かかる負荷の負担を負荷量に応じて調整可能となる。ま
た、各アクチュエータはほぼ均等に負荷負担されること
になるため、負荷量の変動に無関係に線形領域を確保出
来る。従って、パラレルリンク機構の制御性を向上させ
ることが出来る。
【0028】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図1に、本発明の第1実施形態の構
成図を示す。図1において、パラレルリンク機構10の
構成は、従来と同様である。6本の直動型アクチュエー
タ3は、例えば圧電素子で構成される。但し、本発明
は、直動型アクチュエータ3の本数は2本以上であれ
ば、適用可能である。
基づいて説明する。図1に、本発明の第1実施形態の構
成図を示す。図1において、パラレルリンク機構10の
構成は、従来と同様である。6本の直動型アクチュエー
タ3は、例えば圧電素子で構成される。但し、本発明
は、直動型アクチュエータ3の本数は2本以上であれ
ば、適用可能である。
【0029】また、直動型アクチュエータや、この直動
型アクチュエータと可動部若しくは基部等を連結する対
偶(対偶は、図1中には省略している)の配設方法は、
図1に限定せず2〜6自由度のいずれかの自由度であれ
ば自由である。
型アクチュエータと可動部若しくは基部等を連結する対
偶(対偶は、図1中には省略している)の配設方法は、
図1に限定せず2〜6自由度のいずれかの自由度であれ
ば自由である。
【0030】パラレルリンク機構10の可動部1の底面
中央部には、中空円筒の永久磁石7が固着されている。
一方、基部5の上面中央部には、中空円筒の永久磁石9
が永久磁石7と同極同士が対向するように固着されてい
る。永久磁石7の周長は、永久磁石9の周長より短く構
成されている。
中央部には、中空円筒の永久磁石7が固着されている。
一方、基部5の上面中央部には、中空円筒の永久磁石9
が永久磁石7と同極同士が対向するように固着されてい
る。永久磁石7の周長は、永久磁石9の周長より短く構
成されている。
【0031】次に、本発明の第1実施形態の動作を説明
する。図1において、永久磁石7と永久磁石9とは、同
極同士が対向しているため反発し合う。永久磁石9の作
る磁界は、永久磁石9の上端部の円筒状の磁極よりすり
鉢状に放射される。永久磁石7の周長は、永久磁石9の
周長より短く構成されているため、この磁界に包囲され
るように永久磁石7が磁気浮上する。即ち、永久磁石7
の浮上は安定し、可動部1の傾斜で反発する方向が変わ
らない。
する。図1において、永久磁石7と永久磁石9とは、同
極同士が対向しているため反発し合う。永久磁石9の作
る磁界は、永久磁石9の上端部の円筒状の磁極よりすり
鉢状に放射される。永久磁石7の周長は、永久磁石9の
周長より短く構成されているため、この磁界に包囲され
るように永久磁石7が磁気浮上する。即ち、永久磁石7
の浮上は安定し、可動部1の傾斜で反発する方向が変わ
らない。
【0032】可動部1の上面に負荷が載置等された場合
を考える。このとき、直動型アクチュエータ3を構成す
る圧電素子が非線形特性を有するため、制御点が非線形
領域に入る場合がある。これに対し、負荷の一部をこの
永久磁石7と永久磁石9の反発力により支持する。そし
て、直動型アクチュエータ3への負荷負担(バイアス力
に相当する分)を減らす。このことにより、制御点を線
形領域に入れることが出来、制御性能を向上させること
が出来る。
を考える。このとき、直動型アクチュエータ3を構成す
る圧電素子が非線形特性を有するため、制御点が非線形
領域に入る場合がある。これに対し、負荷の一部をこの
永久磁石7と永久磁石9の反発力により支持する。そし
て、直動型アクチュエータ3への負荷負担(バイアス力
に相当する分)を減らす。このことにより、制御点を線
形領域に入れることが出来、制御性能を向上させること
が出来る。
【0033】また、可動部1と基部5の間隔が狭まる
と、永久磁石7と永久磁石9はより大きな力で可動部1
を支持するようになる。これにより、直動型アクチュエ
ータ3の傾斜が大きい場合の、リンク折れを防止し、よ
り少ない力で直動型アクチュエータ3の伸縮が行えるよ
うになる。
と、永久磁石7と永久磁石9はより大きな力で可動部1
を支持するようになる。これにより、直動型アクチュエ
ータ3の傾斜が大きい場合の、リンク折れを防止し、よ
り少ない力で直動型アクチュエータ3の伸縮が行えるよ
うになる。
【0034】なお、永久磁石7と永久磁石9とは、反発
することとして説明したが、可動部1が基部5の下方に
あり、負荷が下方にかかる場合や、パラレルリンク機構
10が90度回転され、かつ可動部1と基部5の間隔が
広がるように負荷がかけられるような場合には、永久磁
石7と永久磁石9とは吸引するように磁極を構成する。
することとして説明したが、可動部1が基部5の下方に
あり、負荷が下方にかかる場合や、パラレルリンク機構
10が90度回転され、かつ可動部1と基部5の間隔が
広がるように負荷がかけられるような場合には、永久磁
石7と永久磁石9とは吸引するように磁極を構成する。
【0035】また、永久磁石7と永久磁石9の対は、複
数対を可動部1と基部5間に均等に配設してもよい。
数対を可動部1と基部5間に均等に配設してもよい。
【0036】更に、永久磁石7は、可動部1の底面中央
部に固着し、永久磁石9は基部5の上面中央部に固着す
るとしたが、永久磁石7及び永久磁石9共に可動部1及
び基部5に埋め込むことも可能である。
部に固着し、永久磁石9は基部5の上面中央部に固着す
るとしたが、永久磁石7及び永久磁石9共に可動部1及
び基部5に埋め込むことも可能である。
【0037】また、可動部1及び/又は基部5全体を円
盤状の永久磁石とすることも可能である。
盤状の永久磁石とすることも可能である。
【0038】次に、本発明の第2実施形態の構成図を図
2に示す。尚、図1と同一要素のものについては同一符
号を付して説明は省略する。図2において、可動部1の
底面中央部には、永久磁石17が固着されている。一
方、基部5の上面中央部には、電磁石19が永久磁石1
7と対峙するように固着されている。永久磁石17の周
長は、電磁石19の周長より短く構成されている。
2に示す。尚、図1と同一要素のものについては同一符
号を付して説明は省略する。図2において、可動部1の
底面中央部には、永久磁石17が固着されている。一
方、基部5の上面中央部には、電磁石19が永久磁石1
7と対峙するように固着されている。永久磁石17の周
長は、電磁石19の周長より短く構成されている。
【0039】次に、本発明の第2実施形態の動作を説明
する。図2において、永久磁石17は電磁石19により
吸引若しくは反発される。この吸引若しくは反発は、可
動部1にかけられた負荷に対し抗する方向に磁力が働く
ように調整される。永久磁石17の周長は、電磁石19
の周長より短く構成されているため、永久磁石17の浮
上は安定し易い。
する。図2において、永久磁石17は電磁石19により
吸引若しくは反発される。この吸引若しくは反発は、可
動部1にかけられた負荷に対し抗する方向に磁力が働く
ように調整される。永久磁石17の周長は、電磁石19
の周長より短く構成されているため、永久磁石17の浮
上は安定し易い。
【0040】なお、電磁石19の上端磁極部を円筒状に
構成するか、電磁石19の鉄心全体を中空円筒で構成す
れば、永久磁石17が磁界で包囲されるようになるた
め、一層永久磁石17の浮上は安定する。また、仮に、
永久磁石17や電磁石19に経年変化を生じた場合で
も、電磁石19に供給する電流量を微調整すれば簡単に
対処出来る。
構成するか、電磁石19の鉄心全体を中空円筒で構成す
れば、永久磁石17が磁界で包囲されるようになるた
め、一層永久磁石17の浮上は安定する。また、仮に、
永久磁石17や電磁石19に経年変化を生じた場合で
も、電磁石19に供給する電流量を微調整すれば簡単に
対処出来る。
【0041】なお、可動部1に負荷がかけられない静止
状態のときには、電磁石19には電流は流さない。ま
た、負荷の大きさに応じて電磁石19に流す電流を変化
させて、常に直動型アクチュエータ3の最適な線形領域
を確保する等の制御を行うようにしてもよい。
状態のときには、電磁石19には電流は流さない。ま
た、負荷の大きさに応じて電磁石19に流す電流を変化
させて、常に直動型アクチュエータ3の最適な線形領域
を確保する等の制御を行うようにしてもよい。
【0042】なお、永久磁石17に代えて、電磁石を配
設することも可能である。この場合、電線は可動部1及
び直動型アクチュエータ3内に埋め込むことにより、外
部に電線を出さないことも可能である。また、永久磁石
17と電磁石19の対は、複数対を可動部1と基部5間
に均等に配設してもよい。
設することも可能である。この場合、電線は可動部1及
び直動型アクチュエータ3内に埋め込むことにより、外
部に電線を出さないことも可能である。また、永久磁石
17と電磁石19の対は、複数対を可動部1と基部5間
に均等に配設してもよい。
【0043】次に、本発明の第3実施形態の構成図を図
3に示す。尚、図1及び図2と同一要素のものについて
は同一符号を付して説明は省略する。図3において、可
動部1は磁性材(例えば、常磁性体)で構成する。可動
部1の縁部上方には、電磁石29A、29B、29C、
29Dが図4に示すように、4方向にバランスよく配列
されている。電磁石29A、29B、29C、29D
は、巻線が基部5より垂設された支柱21A、21B、
21C、21Dに巻回されて構成されている。
3に示す。尚、図1及び図2と同一要素のものについて
は同一符号を付して説明は省略する。図3において、可
動部1は磁性材(例えば、常磁性体)で構成する。可動
部1の縁部上方には、電磁石29A、29B、29C、
29Dが図4に示すように、4方向にバランスよく配列
されている。電磁石29A、29B、29C、29D
は、巻線が基部5より垂設された支柱21A、21B、
21C、21Dに巻回されて構成されている。
【0044】次に、本発明の第3実施形態の動作を説明
する。図3において、可動部1に負荷がかからない静止
状態では、電磁石29A、29B、29C、29D、電
磁石19はいずれも励磁されない。このため、電力の消
費はない。
する。図3において、可動部1に負荷がかからない静止
状態では、電磁石29A、29B、29C、29D、電
磁石19はいずれも励磁されない。このため、電力の消
費はない。
【0045】可動部1に負荷が下方向にかけられた場合
には、可動部1は常磁性体であるため、電磁石29A、
29B、29C、29Dは、可動部1のバランスを保ち
つつ吸引して負荷の一部を負担する。一方、電磁石19
には、電磁石19の上部磁極が可動部1の底面に誘導さ
れた磁極と同極となるように励磁電流が流される。従っ
て、可動部1は、電磁石19の反発力により負荷の一部
が負担される。
には、可動部1は常磁性体であるため、電磁石29A、
29B、29C、29Dは、可動部1のバランスを保ち
つつ吸引して負荷の一部を負担する。一方、電磁石19
には、電磁石19の上部磁極が可動部1の底面に誘導さ
れた磁極と同極となるように励磁電流が流される。従っ
て、可動部1は、電磁石19の反発力により負荷の一部
が負担される。
【0046】また、可動部1に負荷が上方向にかけられ
た場合には、電磁石19は、可動部1を吸引する。そし
て、電磁石29A、29B、29C、29Dの下部磁極
には、可動部1の上面に誘導された磁極と同極となるよ
うに励磁電流が流される。
た場合には、電磁石19は、可動部1を吸引する。そし
て、電磁石29A、29B、29C、29Dの下部磁極
には、可動部1の上面に誘導された磁極と同極となるよ
うに励磁電流が流される。
【0047】従って、可動部1は、電磁石29A、29
B、29C、29Dの反発力によりバランスをとられな
がら、負荷の一部が負担される。なお、電磁石29A、
29B、29C、29Dには、可動部1のバランスをと
るため、異なる大きさの励磁電流を流すことも可能であ
る。
B、29C、29Dの反発力によりバランスをとられな
がら、負荷の一部が負担される。なお、電磁石29A、
29B、29C、29Dには、可動部1のバランスをと
るため、異なる大きさの励磁電流を流すことも可能であ
る。
【0048】また、電磁石29A、29B、29C、2
9Dは、可動部1の縁部上方に均等に配設されれば、個
数は限定しない。更に、電磁石19は、複数個を基部5
に均等に配設してもよい。
9Dは、可動部1の縁部上方に均等に配設されれば、個
数は限定しない。更に、電磁石19は、複数個を基部5
に均等に配設してもよい。
【0049】次に、可動部1の磁性材が反磁性体である
場合には、上述の各電磁石による可動部1の吸引と反発
が逆になる。このため、負荷の負担の方向も逆になる。
パラレルリンク機構の使用目的や使用方法等によって吸
引若しくは反発の選択及び磁性材の選択を行えばよい。
場合には、上述の各電磁石による可動部1の吸引と反発
が逆になる。このため、負荷の負担の方向も逆になる。
パラレルリンク機構の使用目的や使用方法等によって吸
引若しくは反発の選択及び磁性材の選択を行えばよい。
【0050】また、電磁石29A、29B、29C、2
9D、電磁石19の励磁は、負荷量を検出するための重
量センサや可動部1の位置を検出するための位置センサ
等で自動的に開始や停止を行ってもよいし、予め負荷量
の想定されている場合には、所定の励磁電流を手動で流
すようにしてもよい。
9D、電磁石19の励磁は、負荷量を検出するための重
量センサや可動部1の位置を検出するための位置センサ
等で自動的に開始や停止を行ってもよいし、予め負荷量
の想定されている場合には、所定の励磁電流を手動で流
すようにしてもよい。
【0051】なお、電磁石の内の一部は永久磁石とする
ことも可能である。また、電磁石29A、29B、29
C、29Dは、巻線を支柱21A、21B、21C、2
1Dに巻回して構成したが、独立の鉄心に巻線を巻回し
たものを用いても良い。
ことも可能である。また、電磁石29A、29B、29
C、29Dは、巻線を支柱21A、21B、21C、2
1Dに巻回して構成したが、独立の鉄心に巻線を巻回し
たものを用いても良い。
【0052】以上により、可動部1のバランスをとりな
がら負荷の一部を負担可能である。従って、各直動型ア
クチュエータ3に加わる負荷負担もほぼ一定化され、制
御点を線形領域内に安定的に入れやすくなる。
がら負荷の一部を負担可能である。従って、各直動型ア
クチュエータ3に加わる負荷負担もほぼ一定化され、制
御点を線形領域内に安定的に入れやすくなる。
【0053】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、負
荷負担手段を備えたので、負荷によりアクチュエータに
かかるバイアス力分を相殺又は低減出来る。従って、パ
ラレルリンク機構の制御性を向上させることが出来る。
荷負担手段を備えたので、負荷によりアクチュエータに
かかるバイアス力分を相殺又は低減出来る。従って、パ
ラレルリンク機構の制御性を向上させることが出来る。
【0054】また、負荷負担手段は、永久磁石及び/又
は電磁石で構成したので、負荷による負担や傾斜する可
動部を非接触に支持出来る。また、安価でメンテナンス
が容易に行える。
は電磁石で構成したので、負荷による負担や傾斜する可
動部を非接触に支持出来る。また、安価でメンテナンス
が容易に行える。
【0055】更に、対向する磁極部分を円筒状に加工
し、また周長も変えたので、可動部の位置を安定させ易
い。
し、また周長も変えたので、可動部の位置を安定させ易
い。
【0056】
【図1】 本発明の第1実施形態の構成図
【図2】 本発明の第2実施形態の構成図
【図3】 本発明の第3実施形態の構成図
【図4】 本発明の第3実施形態の可動部上方の電磁石
の配設例
の配設例
【図5】 従来のパラレルリンク機構の一構成例
1 可動部 3 直動型アクチュエータ 5 基部 7、9、17、19 永久磁石 21A、21B、21C、21D 支柱 29A、29B、29C、29D 電磁石
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H02N 15/00 H02N 15/00 (72)発明者 島田 明 千葉県習志野市屋敷4丁目3番1号 セイ コー精機株式会社内 Fターム(参考) 5H303 AA01 AA10 BB03 BB09 CC08 DD01 DD04 DD08 DD11 DD14 QQ01 QQ09 5H680 BB13 BC08 BC09 DD23 DD76
Claims (7)
- 【請求項1】 空間の所定位置に固定した基部に対し2
〜6自由度のいずれかの自由度で可動部を駆動するパラ
レルリンク機構であって、前記可動部にかかる負荷の一
部を磁力により負担する負荷負担手段を備えたことを特
徴とするパラレルリンク機構。 - 【請求項2】 前記負荷負担手段は、前記基部に配設し
た永久磁石又は電磁石と、該永久磁石又は電磁石と磁極
面を対峙させて前記可動部に配設した永久磁石又は電磁
石とからなるものであることを特徴とする請求項1記載
のパラレルリンク機構。 - 【請求項3】 前記可動部に配設された前記永久磁石又
は前記電磁石の前記基部に対向する磁極の周長は、前記
基部に配設された前記永久磁石又は前記電磁石の前記可
動部に対向する磁極の周長より小さくしたことを特徴と
する請求項2記載のパラレルリンク機構。 - 【請求項4】 前記基部及び/又は前記可動部に配設さ
れた前記永久磁石及び/又は前記電磁石の全体又は少な
くとも対峙した磁極部分は円筒状に構成されたことを特
徴とする請求項2又は請求項3記載のパラレルリンク機
構。 - 【請求項5】 前記可動部は磁性材で構成され、前記負
荷負担手段は、前記可動部を吸引若しくは反発させるた
め該可動部の上方で前記基部より所定高さ位置に固定さ
れた少なくとも一つの電磁石を備えて構成したことを特
徴とする請求項1記載のパラレルリンク機構。 - 【請求項6】 前記電磁石は、前記可動部をバランスよ
く吸引若しくは反発させるため、前記可動部の縁部に対
向して均等に配設されたことを特徴とする請求項5記載
のパラレルリンク機構。 - 【請求項7】 前記負荷負担手段は、更に前記可動部を
吸引若しくは反発させるため前記基部に少なくとも一つ
の電磁石を配設したことを特徴とする請求項5又は請求
項6記載のパラレルリンク機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10294786A JP2000120824A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | パラレルリンク機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10294786A JP2000120824A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | パラレルリンク機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000120824A true JP2000120824A (ja) | 2000-04-28 |
Family
ID=17812269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10294786A Pending JP2000120824A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | パラレルリンク機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000120824A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005246541A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Taiheiyo Cement Corp | パラレルリンク装置の制御方法 |
FR2880575A1 (fr) * | 2005-01-13 | 2006-07-14 | Isis Intelligent Surgical Inst | Robot parallele incluant des moyens de compensation de charge |
WO2010143505A1 (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送モジュール |
WO2011114723A1 (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | パナソニック株式会社 | パラレルリンクロボット、および、パラレルリンクロボットの教示方法 |
WO2012035758A1 (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-22 | 株式会社山武 | 多自由度位置決め装置および多自由度位置決め方法 |
WO2012049996A1 (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-19 | Ntn株式会社 | リンク作動装置 |
CN102699790A (zh) * | 2012-06-08 | 2012-10-03 | 常州大学 | 一种自适应打磨机器人机构 |
JP2016533534A (ja) * | 2013-09-26 | 2016-10-27 | セキリブレ プロプライエタリー リミテッド | モーションプラットフォーム |
CN107116384A (zh) * | 2017-06-07 | 2017-09-01 | 王燕飞 | 一种工件轴的欠槽的加工装置 |
-
1998
- 1998-10-16 JP JP10294786A patent/JP2000120824A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005246541A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Taiheiyo Cement Corp | パラレルリンク装置の制御方法 |
FR2880575A1 (fr) * | 2005-01-13 | 2006-07-14 | Isis Intelligent Surgical Inst | Robot parallele incluant des moyens de compensation de charge |
WO2010143505A1 (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送モジュール |
CN102427917A (zh) * | 2010-03-17 | 2012-04-25 | 松下电器产业株式会社 | 并联连杆机器人及并联连杆机器人的教示方法 |
WO2011114723A1 (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | パナソニック株式会社 | パラレルリンクロボット、および、パラレルリンクロボットの教示方法 |
JP5054842B2 (ja) * | 2010-03-17 | 2012-10-24 | パナソニック株式会社 | パラレルリンクロボット、および、パラレルリンクロボットの教示方法 |
WO2012035758A1 (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-22 | 株式会社山武 | 多自由度位置決め装置および多自由度位置決め方法 |
WO2012049996A1 (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-19 | Ntn株式会社 | リンク作動装置 |
JP2012082937A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Ntn Corp | リンク作動装置 |
US9249869B2 (en) | 2010-10-14 | 2016-02-02 | Ntn Corporation | Link actuating device |
CN102699790A (zh) * | 2012-06-08 | 2012-10-03 | 常州大学 | 一种自适应打磨机器人机构 |
JP2016533534A (ja) * | 2013-09-26 | 2016-10-27 | セキリブレ プロプライエタリー リミテッド | モーションプラットフォーム |
CN107116384A (zh) * | 2017-06-07 | 2017-09-01 | 王燕飞 | 一种工件轴的欠槽的加工装置 |
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