DK171096B1 - Artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission samt fremgangsmåde til fremstilling heraf - Google Patents
Artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission samt fremgangsmåde til fremstilling heraf Download PDFInfo
- Publication number
- DK171096B1 DK171096B1 DK157189A DK157189A DK171096B1 DK 171096 B1 DK171096 B1 DK 171096B1 DK 157189 A DK157189 A DK 157189A DK 157189 A DK157189 A DK 157189A DK 171096 B1 DK171096 B1 DK 171096B1
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- film
- oxide
- titanium
- metal oxide
- transparent
- Prior art date
Links
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 title claims abstract description 16
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 54
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 54
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 41
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 40
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 32
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 28
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 28
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 claims description 24
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 20
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 17
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 80
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 67
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 16
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 16
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 12
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N zinc;dioxido(oxo)tin Chemical compound [Zn+2].[O-][Sn]([O-])=O BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 8
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical group [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 3
- -1 tin and indium Chemical class 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N Sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002064 alloy oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 2
- 229910000925 Cd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003107 Zn2SnO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910002065 alloy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEQNOZDXPONEMR-UHFFFAOYSA-N cadmium;oxotin Chemical compound [Cd].[Sn]=O BEQNOZDXPONEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000003251 chemically resistant material Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
- G02B1/116—Multilayers including electrically conducting layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/16—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements having an anti-static effect, e.g. electrically conducting coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/73—Anti-reflective coatings with specific characteristics
- C03C2217/734—Anti-reflective coatings with specific characteristics comprising an alternation of high and low refractive indexes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12597—Noncrystalline silica or noncrystalline plural-oxide component [e.g., glass, etc.]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Materials For Medical Uses (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Acyclic And Carbocyclic Compounds In Medicinal Compositions (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Description
DK 171096 Bl
Den foreliggende opfindelse angår en artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission.
I US-patentskrift nr. 4.094.763 beskrives fremstilling af transparente, elektrisk ledende artikler ved katodefor-5 støvning af metaller, såsom tin og indium, på modstandsdygtige underlag, såsom glas, ved en temperatur over 204°C i en atmosfære med lavt tryk indeholdende en kontrolleret mængde oxygen.
I US-patentskrift nr. 4.113.599 beskrives en katode-10 forstøvningsmetode til reaktiv afsætning af indiumoxid, hvorved strømningshastigheden af oxygen indstilles således, at der holdes en konstant afladningsstrøm, medens strømningshastigheden af argon indstilles således, at der holdes et konstant tryk i katodeforstøvningskammeret.
15 I US-patentskrift nr. 4.166.018 beskrives et katode forstøvningsapparatur, hvori et magnetisk felt dannes op til en plan katodeforstøvningsoverflade, idet feltet omfatter buede flux-linier over en lukket-sløjfe-erosionsregion på katodeforstøvningsoverfladen.
20 I US-patentskrift nr. 4.201.649 beskrives en frem gangsmåde til fremstilling af indiumoxid-tyndfilm med lav specifik modstand, hvorved der først afsættes et meget tyndt grunderingslag af indiumoxid ved lav temperatur, før underlaget opvarmes til afsætning af resten af det ledende lag 25 af indiumoxid ved katodeforstøvning ved typisk høje katodeforstøvningstemperaturer .
I US-patentskrift nr. 4.327.967 beskrives et varme-reflekterende panel, som udvendigt fremtræder med neutral farve, og som omfatter en glasrude, en interferensfilm med 30 et brydningsindeks større end 2 på glasoverfladen, en varme-reflekterende guldfilm over interferensfilmen og en neutralisationsfilm af chrom, jern, nikkel, titan eller legeringer deraf over guldfilmen.
I US-patentskrift nr. 4.349.425 beskrives d-c-reaktiv 35 katodeforstøvning af cadmium/tin-legeringer i argon/oxygen--blandinger til dannelse af cadmium-tin-oxidfilm med lav DK 171096 B1 2 specifik elektrisk modstand og høj optisk transparens.
I US-patentskrift nr. 4.462.883 beskrives et overtræk med lav emission fremstillet med katodeforstøvning af ' et lag af sølv, en lille mængde af et andet metal end sølv og 5 et antirefleksionslag af metaloxid på et transparent underlag, såsom glas. Antirefleksionslaget kan være tinoxid, titanoxid, zinkoxid, indiumoxid, bismuthoxid eller zirconium-oxid.
I US Reissue nr. 27.473 beskrives en flerlags trans-10 parent artikel omfattende et tyndt lag af guld eller kobber indlejret mellem to lag af transparent materiale, såsom forskellige metaller, titanoxid, blyoxid eller bismuthoxid.
For at forbedre energieffektiviteten af dobbeltrude--vinduesenheder er det ønskeligt at tilvejebringe et overtræk 15 på en af glasoverfladerne, der forøger isolationsevnen af enheden ved at nedsætte strålevarmeoverføringen. Overtrækket skal derfor have lav emission i det infrarøde bølgelængdeområde af strålingsspektret. Af praktiske grunde skal overtrækket have en høj transmission i det synlige bølgelængde-20 område. Af æstetiske grunde bør overtrækket have en lav lysrefleksion og fortrinsvis være i det væsentlige farveløst.
Overtræk med høj transmission og lav emission som beskrevet ovenfor omfatter generelt et tyndt metallag, til infrarød refleksion og lav emission, der er indlejret mellem 25 dielektriske lag af metaloxider til nedsættelse af den synlige refleksion. Disse flerlagsfilm fremstilles typisk ved katodeforstøvning, især ved magnetron-katodeforstøvning. Metallaget kan være guld eller kobber, men er i almindelighed sølv. Metaloxidlagene beskrevet i den kendte teknik omfatter 30 tinoxid, indiumoxid, titanoxid, bitmuthoxid, zinkoxid, zir-coniumoxid og blyoxid. I nogle tilfælde indeholder disse oxider små mængder af andre metaller, såsom mangan i bismuthoxid, indium i tinoxid og omvendt for at overvinde visse ulemper, såsom ringe holdbarhed eller marginal emission.
35 Imidlertid har alle disse metaloxider visse ulemper.
Selv om overtrækket kan bibeholdes på en indre over- DK 171096 B1 3 flade af en dobbeltrudet vinduesenhed, hvor det er beskyttet mod elementerne og miljøet, som vil forårsage nedbrydning af overtrækket, er et holdbart effektivt overtræk, som ef- i stand til at modstå håndtering, emballering, vaskning og 5 andre fabrikationsprocesser, som forekommer mellem fremstilling og installation, særlig ønskeligt. Disse egenskaber søges i metaloxidet. Imidlertid bør metaloxidet ud over hårdhed, som giver mekanisk holdbarhed, indifferens, som giver kemisk holdbarhed, og god vedhæftning til både glasset 10 og metallaget, også have følgende egenskaber.
Metaloxidet skal have et rimeligt højt brydnings-indeks, fortrinsvis større end 2,0, for at nedsætte refleksionen af metallaget og således forøge transmissionen af det overtrukne produkt. Metaloxidet skal også have minimal 15 absorption til maksimering af transmissionen af det overtrukne produkt. Af kommercielle grunde bør metaloxidet have en rimelig pris, have en relativ hurtig afsætningshastighed ved magnetron-katodeforstøvning og være ugiftigt.
De måske mest vigtige og mest vanskeligt opfyldte 20 krav til metaloxidfilmen vedrører dens vekselvirkning med metalfilmen. Metaloxidfilmen skal have lav porøsitet for at beskytte den underliggende metalfilm mod ydre angreb og lav diffusion af metallet, således at de separate lag bibeholdes i deres helhed. Endelig, og frem for alt, skal metaloxidet 25 danne en god kimdannelsesoverflade til afsætning af metallaget, således at en kontinuerlig metalfilm kan afsættes med minimal specifik modstand og maksimal transmission. Karakteristikaene for kontinuerlige og diskontinuerlige sølvfilm er beskrevet i US-patentskrift nr. 4.462.884.
30 Blandt de generelt anvendte metaloxidfilm har zinkoxid og bismuthoxid utilstrækkelig holdbarhed, idet de er opløselige i både sure og alkaliske midler, nedbrydes af fingeraftryk og ødelægges ved salt-, svovldioxid- og fugtighedstests. Indiumoxid, fortrinsvis doteret med tin, er mere holdbart.
35 Imidlertid afsættes indium langsomt ved katodeforstøvning og er relativt kostbart. Tinoxid, som kan være doteret med DK 171096 B1 4 indium eller antimon, er også mere holdbart, men giver ikke en egnet overflade til kimdannelse af sølvfilmen, hvilket medfører høj specifik modstand og lav transmission. Karak-teristikaene af en metaloxidfilm, der vil medføre passende 5 kimdannelse af en derefter afsat sølvfilm, er ikke blevet fastlagt. Imidlertid er forsøg-fej1-metoden blevet praktiseret i vidt omfang med de ovenfor beskrevne metaloxider.
I US-patentskrift nr. 4.610.771 beskrives en hidtil ukendt filmsammensætning af et oxid af en metallegering 10 samt en hidtil ukendt flerlagsfilm af metal- og metallege-ringsoxidlag til anvendelse som overtræk med høj transmission og lav emission.
EP patentansøgning nr. 226 993 vedrører holdbare katodeforstøvningsafsatte film af legeringsoxider på et 15 ikke-metallisk underlag, omfattende 1) en første transparent antireflektiv film omfattende et metaloxid, såsom zinkoxid og tinoxid, 2) en transparent film af et IR-reflekterende metal, såsom kobber, og 3) en anden transparent antireflektiv film omfattende et metaloxid, såsom zinkoxid og tinoxid.
20 Desuden er der anordnet grunderlag, f.eks. af metallisk kobber, mellem lagene 1) og 2) samt mellem 2) og 3).
EP patentansøgning nr. 104 870 beskriver i eksempel 3 et flerlags overtræk på glas, omfattende lag af 1) tinoxid, 2) zinkoxid katodeforstøvet derpå, 3) sølv som IR-reflek-25 terende metal, og efterfulgt af 4) et kobberlag, hvorpå der er afsat 5) et lag af zinkoxid og tinoxid.
Flere af metal- og metaloxidlagene beskrevet i de ovennævnte dokumenter findes i genstanden ifølge den foreliggende opfindelse. Der opnås imidlertid overraskende en 30 genstand med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission ved udvælgelse af bestemte lag i en bestemt rækkefølge, således som det vil blive beskrevet nærmere nedenfor.
Opfindelsen angår en artikel med visuelt neutral 35 refleksion, høj transmission og lav emission og af den art, hvor et transparent ikke-metallisk underlag er overtrukket DK 171096 B1 5 med en transparent infrarødtreflekterende metallisk film mellem antireflektive metaloxidfilm, hvilken artikel er ejendommelig ved, at den omfatter: a) et transparent ikke-metallisk underlag, 5 b) en første transparent antireflektiv metaloxidfilm, der har et brydningsindeks på ca. 2,0, afsat på overfladen af underlaget, c) en titanoxid- eller zirconiumoxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å, afsat på den antireflektive metal- 10 oxidfilm, d) en transparent infrarødt-reflekterende metallisk film afsat på titanoxid- eller zirconiumoxidlaget, e) en film af titan eller titanoxid afsat på den infra-rødt-reflekterende metalfilm, og 15 f) en anden transparent antireflektiv metaloxidfilm afsat på titan- eller titanoxidfilmen.
Opfindelsen angår endvidere en fremgangsmåde til afsætning af en visuelt neutral film med høj transmission og lav emission på et transparent ikke-metallisk underlag 20 (a) ved katodeforstøvning, hvilken fremgangsmåde er ejendom melig ved, at den omfatter følgende trin: b) katodeforstøvning af en transparent antireflektiv metaloxidfilm med et brydnings indeks på ca. 2,0 på en overflade af et transparent ikke-metallisk under- 25 lag (a), c) katodeforstøvning af en titanoxid- eller zirconium-oxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å over den antireflektive metaloxidfilm b), d) katodeforstøvning af en transparent, infrarødt-reflek- 3 0 terende metalfilm over titanoxid- eller zirconiumoxid- filmen c), e) katodeforstøvning af en titan- eller titanoxidfilm over den transparente infrarødt-reflekterende metalfilm d) , og 35 f) katodeforstøvning af en anden transparent antireflek- tiv metaloxidfilm over titan- eller titanoxidfilmen DK 171096 B1 6 e) .
Ifølge den foreliggende opfindelse forbedres holdbarheden af metallegeringsoxidfiltn, især flerlagsfilm omfattende metallegeringsoxider og metaller som sølv, ved tilvejebrin-5 gelse af et titanoxidlag eller zirconiumoxidlag, der forbedrer vedhæftningen mellem metal- og metaloxidlagene og også giver en overtrukket artikel, som visuelt er neutral.
Da titanoxidfilmen i artiklen ifølge den foreliggende opfindelse er tykkere end konventionelle grunderingslag, kan det 10 være fordelagtigt at afsætte et lidt tyndere, underliggende antireflektivt metaloxidlag.
Tegningen viser et chromaticitetsdiagram som illustrerer chromaticitetskoordinaterne af en film i artiklen ifølge den foreliggende opfindelse og en film ifølge kendt 15 teknik som beskrevet i den foreliggende beskrivelse.
I et trelags overtræk af induceret transmissions--type, hvori et lag af sølv, kobber eller guld er antire-fleksionsbehandlet med to transparente oxidovertræk, kan mere sølv inkorporeres uden ændring af farven eller reflek-20 sionen af overtrækket ved anvendelse af oxidovertræk med et højere brydningsindeks. Uheldigvis har de fleste oxider, som afsættes hurtigt ved katodeforstøvning, såsom oxider af tin, indium og zink, brydningsindekser på ca. 2,0. Transparente oxider med højere brydningsindeks, såsom titanoxid 25 eller zirconiumoxid, afsættes for langsomt ved katodeforstøvning til at være kommercielt praktiske.
Det har imidlertid vist sig, at relativt små mængder af f.eks. titanoxid kan være anvendelige til tilvejebringelse af den ønskede effekt af højt brydningsindeks, hvis det 30 inkorporeres i den optimale placering i filmsekvensen, nærmere bestemt mellem det første afsatte antireflektive metaloxidlag og det infrarødt reflektive metal, såsom sølv. Afsætning af titanoxid i andre positioner i overtrækningssekvensen er relativt ineffektivt. For at forhindre uønskede 35 farveændringer i flerlagsovertrækket er det sædvanligvis nødvendigt at fjerne optisk tykkelse fra det tilstødende DK 171096 B1 7 oxidlag, dvs. at gøre det underliggende antireflektive metaloxidlag lidt tyndere. Opfindelsen forklares nærmere med henvisning til tegningen.
Farven af et overtræk på chromaticitetsdiagrammet 5 bevæger sig fra punktet x = 0,283, y = 0,303 til punktet x = 0,295, y = 0,295, når sølvlågets tykkelse stiger fra 95 til 110 Å. En ændring af tykkelsen af oxidlagene flytter farven i retninger omtrent vinkelret på denne retning. Der kan således kun ved anvendelse af et tyndt sølvlag bibeholdes 10 de ideelle optiske egenskaber med hensyn til farve og refleksion af 95 Å-filmen. Imidlertid indebærer et tyndt sølvlag sædvanligvis ringere egenskaber af overtrækket, såsom elektrisk ledningsevne, nedsat solvarmerefleksion eller nedsat refleksion af infrarødt lys.
15 Ved inkorporering af 50 til 100 Å titanoxid ifølge den foreliggende opfindelse flyttes chromaticitetskoordina-terne af filmen indeholdende 110 Å sølv fra punktet x = 0,294, y = 0,295 tilbage til punktet x = 0,284, y = 0,301. Det første antireflektive metaloxidlag i dette tilfælde 20 nedsættes i tykkelse fra 380 til 320 Å for at kompensere for den optiske tykkelse af titanoxidet.
En foretrukken antireflektiv metaloxid-filmsammensætning omfattende et oxid af en metallegering afsættes fortrinsvis ved katodeforstøvning, især ved magnetron-katode-25 forstøvning. Katode-målene fremstilles fortrinsvis således, at de har det ønskede forhold mellem metalelementer. Målene katodeforstøves derefter i en reaktiv atmosfære, fortrinsvis indeholdende oxygen, til afsætning af en metallegeringsoxid-film på en overflade af et underlag.
30 Et foretrukket metallegeringsoxid ifølge den forelig gende opfindelse er et oxid af en legering omfattende zink og tin. En zink/tin-legeringsoxidfilm kan ifølge den foreliggende opfindelse afsættes ved katodeforstøvning, fortrinsvis magnetisk forbedret. Katodeforstøvning er også en fore-35 trukken metode til afsætning af film ifølge den foreliggende opfindelse med høj transmission og lav emission. Sådanne DK 171096 B1 8 film omfatter typisk flere lag, herunder et lag af et høj -reflekterende metal, såsom guld eller sølv, indlejret mellem antireflektive metaloxidlag, såsom indiumoxid eller tit'an-oxid, eller fortrinsvis et oxid af en legering af zink og 5 tin, som fortrinsvis omfatter zinkstannat.
Omend forskellige metaller kan katodeforstøves til dannelse af metallegeringsoxidfilm for at fremstille en foretrukket flerlagsfilm med høj transmission og lav emission ifølge den foreliggende opfindelse, foretrækkes legeringer 10 af tin og zink. En særlig foretrukket legering omfatter zink og tin, fortrinsvis i forholdet 10-90% zink og 90-10% tin. En foretrukket zink/tin-legering har 30-60% zink og har fortrinsvis et zink/tin-forhold fra 40:60 til 60:40. Et særlig foretrukket område er et vægtforhold på 46:54 til 15 50:50 mellem tin og zink. En katode af zink/tin-legering, som katodeforstøves reaktivt i en oxiderende atmosfære, medfører afsætning af et metaloxidlag omfattende zink, tin og oxygen, fortrinsvis omfattende zinkstannat, Zn2SnC>4.
Ved en konventionel magnetron-katodeforstøvningsproces 20 anbringes et underlag i et overtrækningskammer, således at det vender mod en katode, der har en mål-overflade af materialet, som skal katodeforstøves. Foretrukne underlag ifølge den foreliggende opfindelse omfatter glas, keramiske materialer og plastmaterialer, som ikke påvirkes skadeligt af 25 arbejdsbetingelserne ved overtrækningsprocessen.
Katoden kan have enhver konventionel udformning, fortrinsvis en aflang rektangulær udformning, er forbundet med en kilde til elektrisk potentiale og anvendes fortrinsvis i kombination med et magnetisk felt for at forbedre katode-30 forstøvningsprocessen. Mindst én katodemåloverflade omfatter fortrinsvis en metallegering, såsom zink/tin, som katodefor-støves i reaktiv atmosfære til dannelse af en metallegerings-oxidfilm. Alternativt kan separate mål af zink og tin katode-forstøves i det væsentlige samtidig. Anoden er fortrinsvis 35 en symmetrisk udformet og placeret anordning som beskrevet i US-patentskrift nr. 4.478.702.
DK 171096 B1 9
Ifølge en foretrukken udførelsesform for opfindelsen afsættes en flerlagsfilm ved katodeforstøvning til dannelse af et overtræk med høj transmission og lav emission. Foruiden metallegeringsmålet omfatter mindst én anden katodemålover-5 flade et metal, der skal katodeforstøves til dannelse af et reflektivt metallag. Mindst én yderligere katodemåloverflade omfatter titan til katodeforstøvning i en oxiderende atmosfære til afsætning af et titanoxidlag. Et holdbart flerlagsovertræk, der har en reflektiv metalfilm i kombination med 10 en antireflektiv metallegeringsoxidfilm, fremstilles på følgende måde, ved anvendelse af et titanoxidlag til at forbedre vedhæftningen mellem metal- og metaloxidfilmene, medens der fremstilles en neutralt udseende, overtrukket artikel.
15 Et rent glasunderlag anbringes i et overtrækningskam mer, som evakueres, fortrinsvis til mindre end 10"4 mm Hg, mere foretrukket mindre end 2 x 10“^ mm Hg. En udvalgt atmosfære af indifferente og reaktive gasser, fortrinsvis argon og oxygen, tilvejebringes i kammeret med et tryk mellem ca.
20 5 x 10“ 4 og 10 - 2 mm Hg. En katode, der har en måloverflade af zink/tin-metallegering bringes i funktion over overfladen af underlaget, der skal overtrækkes. Målmetallet katodeforstøves, idet det reagerer med atmosfæren i kammeret, til afsætning af et zink/tin-legeringsoxid-overtrækslag på glas-25 overfladen.
Efter afsætning af det første lag af zink/tin-lege -ringsoxid forstøves en katode med en måloverflade af titanmetal til afsætning af et lag af titanoxid over zink/tin--legeringsoxidlaget. Titanoxid- eller zirconiumoxidlaget 30 har en tykkelse på 50-100 Å, hvilket er væsentligt tykkere end konventionelle grunderingslag. En katode med en måloverflade af sølv forstøves derefter til afsætning af et reflektivt lag af metallisk sølv over titanoxidlaget, hvilke!forbedrer vedhæftningen af sølvfilmen til den underliggende 35 metaloxidfilm, medens der fremstilles et visuelt neutralt flerlagsovertræk med lav emission. En tykkere sølvfilm kan DK 171096 B1 10 afsættes ifølge den foreliggende opfindelse uden ændring af de spektrale egenskaber af flerlagsfilmen. Et yderligere grunderingslag afsættes derefter ved forstøvning af titan, over det reflektive sølvlag til forbedring af vedhæftningen 5 mellem sølvfilmen og den overliggende metaloxidfilm, der derefter afsættes. Til slut afsættes et andet lag af zink/-tin-legeringsoxid over det andet grunderingslag under i det væsentlige de samme betingelser som anvendt til afsætning af det første zink/tin-legeringsoxidlag.
10 I særlig foretrukne udførelsesformer for den forelig gende opfindelse afsættes et beskyttelsesovertræk over den sidste metaloxidfilm. Beskyttelsesovertrækket afsættes fortrinsvis ved forstøvning over metaloxidfilmen af et metal, f.eks. som beskrevet i US-patentskrift nr. 4.594.137. Egnede 15 metaller til beskyttelsesovertrækket omfatter legeringer af jern eller nikkel, såsom rustfrit stål eller inconel. Titan er et særligt foretrukket beskyttelsesovertræk på grund af dets høje transmission. I en alternativ udførelsesform kan beskyttelseslaget være et særlig kemisk resistent materiale, 20 såsom titanoxid som beskrevet i US-patentskrif t nr.
4.716.086.
Den foreliggende opfindelse forklares nærmere i den følgende beskrivelse af et specifikt eksempel. I eksemplet betegnes zink/t in-legeringsoxidf ilmen som zinkstannat, selvom 25 filmsammensætningen ikke behøver netop at være Zn2Sn04.
EKSEMPEL
En flerlagsfilm afsættes på et natron-kalk-glasunder-lag til fremstilling af et overtrukket produkt med høj trans-30 mission og lav emission. En stationær katode, der måler 12,7 x 43,2 cm, omfatter en forstøvningsoverflade af zink/-tin-legering bestående af 52,4 vægtprocent zink og 47,6% tin. Et natron-kalk-glasunderlag anbringes i overtræknings-kammeret, som evakueres til et tryk på 4 x 10-3 mm Hg i en 35 atmosfære af argon og oxygen i forholdet 50:50. Katoden forstøves i et magnetisk felt ved en effekt på 1,7 kW, medens DK 171096 B1 11 glasset føres forbi forstøvningsoverfladen med en hastighed på 2,8 m/minut. En film af zinkstannat afsættes på glasoverfladen. Tre passager giver en filmtykkelse på ca. 320 Å, hvilket medfører en nedsættelse af transmissionen fra 90% 5 for glasunderlaget til 82% for det zinkstannat-overtrukne glasunderlag. En stationær katode med et titanmål forstøves derefter til dannelse af et titanoxidlag med en tykkelse på ca. 50 Å over zinkstannatet, hvilket nedsætter transmissionen til ca. 78%. Dernæst afsættes et lag af sølv over titanoxid-10 laget ved forstøvning af et sølvkatodemål i en atmosfære af argongas ved et tryk på 4 x 10-3 mm Hg til afsætning af sølv i en filmtykkelse på ca. 110 Å, hvilket nedsætter transmissionen af det overtrukne underlag til ca. 66%. Et tyndt neutralt titan-grunderingslag forstøves over sølvlaget til 15 forbedring af vedhæftningen og beskyttelse af sølvlaget, før det sluttelige antireflektive lag af zinkstannat afsættes. Titan-grunderingslaget har en tykkelse på ca. 10 Å og nedsætter i metallisk tilstand transmissionen til ca. 60%. Imidlertid oxideres titan-grunderingslaget, og transmissionen 20 stiger, når det efterfølgende metaloxidlag afsættes. Til slut forstøves zink/tin-legeringskatodemålet i en oxiderende atmosfære til dannelse af en zinkstannatfilm. Fire passager med en hastighed på 2,8 m/minut giver en filmtykkelse på ca. 380 Å, hvilket forøger transmissionen af det overtrukne 25 produkt til 85%. Det færdige overtrukne produkt har en overflademodstand på 8 ohm pr. kvadrat og en neutral refleksion fra begge sider, med en lysrefleksion på 5% fra den overtrukne og 6% fra den ikke-overtrukne side. Til sammenligning udviser kendte film, hvori der anvendes kobber-grunderings-30 lag, en svagt rødligblå refleksion fra både den overtrukne og den ikke-overtrukne glasoverflade.
Det ovenfor anførte eksempel tjener til at illustrere den foreliggende opfindelse. Ved katodeforstøvning af en zink/tin-legering kan overtrækket afhængigt af forholdet 35 mellem zink og tin indeholde vidt varierende mængder af zinkoxid og tinoxid ud over zinkstannat. Vedhæftningen mellem DK 171096 B1 12 et bredt udvalg af metal- og metaloxidfilm kan forbedres ved hjælp af titanoxidlag til tilvejebringelse af visuelt neutrale overtræk ifølge den foreliggende opfindelse. Da fremgangsmåden ikke kræver særlig høje temperaturer, kan andre 5 underlag end glas, såsom forskellige plastmaterialer, overtrækkes. En scannende katode kan anvendes sammen med et stationært underlag. Procesparametre, såsom tryk og koncentration af gasser, kan varieres indenfor et bredt område. Grunderingslagene kan omfatte zirconium, der danner oxider, 10 som giver neutral refleksion af flerlagsovertrækkene med lav emission ifølge den foreliggende opfindelse.
Claims (10)
1. Artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission og af den art, hvor et transparent ikke-metallisk underlag er overtrukket med en transparent 5 infrarødtreflekterende metallisk film mellem antireflektive metaloxidfilm, kendetegnet ved, at den omfatter: a) et transparent ikke-metallisk underlag, b) en første transparent antireflektiv metaloxidfilm, der har et brydningsindeks på ca. 2,0, afsat på over- 10 fladen af underlaget, c) en titanoxid- eller zirconiumoxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å, afsat på den antireflektive metaloxidfilm, d) en transparent infrarødt-reflekterende metallisk 15 film afsat på titanoxid- eller zirconiumoxidlaget, e) en film af titan eller titanoxid afsat på den infrarødt -reflekterende metalfilm, og f) en anden transparent antireflektiv metaloxidfilm afsat på titan- eller titanoxidfilmen.
2. Artikel ifølge krav 1, kendetegnet ved, at underlaget er glas.
3. Artikel ifølge krav 1 eller 2, kendetegnet ved, at den infrarødt-reflekterende metalfilm d) er sølv.
4. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-3, ken detegnet ved, at det antireflektive metaloxid omfatter et oxidreaktionsprodukt af zink og tin.
5. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-4, ken detegnet ved, at filmen c) omfatter titanoxid.
6. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-5, ken detegnet ved, at filmen e) omfatter titan.
7. Artikel ifølge ethvert af kravene 1-6, ken detegnet ved, at den endvidere omfatter et titarioxid-overtræk på den anden antireflektive metaloxidfilm f).
8. Fremgangsmåde til afsætning af en visuelt neutral film med høj transmission og lav emission på et transparent DK 171096 B1 14 ikke-metallisk underlag (a) ved katodeforstøvning, kendetegnet ved, at den omfatter følgende trin: b) katodeforstøvning af en transparent antireflektiv metaloxidfilm med et brydningsindeks på ca. 2,0 på 5 en overflade af et transparent ikke-metallisk under lag (a) , c) katodeforstøvning af en titanoxid- eller zirconium-oxidfilm med en tykkelse på 50 til 100 Å over den antireflektive metaloxidfilm b), 10 d) katodeforstøvning af en transparent, infrarødt-reflek terende metalfilm over titanoxid- eller zirconiumoxid-filmen c), e) katodeforstøvning af en titan- eller titanoxidfilm over den transparente infrarødt-reflekterende metal- 15 film d), og f) katodeforstøvning af en anden transparent antireflek-tiv metaloxidfilm over titan- eller titanoxidfilmen e) .
9. Fremgangsmåde ifølge krav 8, kendete g-20 net ved, at det antireflektive metaloxid omfatter et oxidreaktionsprodukt af zink og tin.
10. Fremgangsmåde ifølge krav 8 eller 9, kendetegnet ved, at den endvidere omfatter katodeforstøvning af et titanoxid-overtræk på den anden antireflektive metal- 25 oxidfilm f).
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/176,563 US4834857A (en) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | Neutral sputtered films of metal alloy oxides |
| US17656388 | 1988-04-01 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DK157189D0 DK157189D0 (da) | 1989-03-31 |
| DK157189A DK157189A (da) | 1989-10-02 |
| DK171096B1 true DK171096B1 (da) | 1996-06-03 |
Family
ID=22644865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DK157189A DK171096B1 (da) | 1988-04-01 | 1989-03-31 | Artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission samt fremgangsmåde til fremstilling heraf |
Country Status (17)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4834857A (da) |
| EP (1) | EP0339274B1 (da) |
| JP (1) | JP2505276B2 (da) |
| KR (1) | KR920005470B1 (da) |
| CN (1) | CN1016188B (da) |
| AT (1) | ATE101588T1 (da) |
| AU (1) | AU592942B2 (da) |
| CA (1) | CA1335887C (da) |
| DE (1) | DE68913068T2 (da) |
| DK (1) | DK171096B1 (da) |
| ES (1) | ES2051316T3 (da) |
| FI (1) | FI891527A (da) |
| HK (1) | HK1006834A1 (da) |
| MY (1) | MY103862A (da) |
| NO (1) | NO302901B1 (da) |
| NZ (1) | NZ228159A (da) |
| ZA (1) | ZA891665B (da) |
Families Citing this family (89)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3853970D1 (de) * | 1987-07-22 | 1995-07-20 | Philips Patentverwaltung | Optisches Interferenzfilter. |
| US5308706A (en) * | 1988-07-27 | 1994-05-03 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat reflecting sandwich plate |
| US5112693A (en) * | 1988-10-03 | 1992-05-12 | Ppg Industries, Inc. | Low reflectance, highly saturated colored coating for monolithic glazing |
| US5153062A (en) * | 1989-02-13 | 1992-10-06 | Hoechst Aktiengesellschaft | Process and device for producing laminated safety glass and laminated safety glass produced thereby |
| DE69008242T2 (de) * | 1989-06-06 | 1994-11-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Wärmeabsorbierendes Glas. |
| DE4024308C2 (de) * | 1989-07-31 | 1993-12-02 | Central Glass Co Ltd | Wärmeisolierglas mit dielektrischem Vielschichtenüberzug |
| GB2267509B (en) * | 1990-02-16 | 1994-07-20 | Asahi Optical Co Ltd | Surface reflector |
| US5216551A (en) * | 1990-02-16 | 1993-06-01 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Surface reflector |
| IT1240796B (it) * | 1990-03-12 | 1993-12-17 | Siv Soc Italiana Vetro | Vetro per autoveicoli, atto ad essere usato come schermo solare e come combinatore di immagini. |
| US5229205A (en) * | 1990-12-20 | 1993-07-20 | Ford Motor Company | Laminated glazing unit having improved interfacial adhesion |
| US5069968A (en) * | 1990-12-20 | 1991-12-03 | Ford Motor Company | Laminated glazing unit having improved interfacial adhesion |
| FR2683919B1 (fr) * | 1991-11-18 | 1994-02-25 | Etienne Danko | Structure composite destinee a reflechir ou transmettre la chaleur, ensemble mettant en óoeuvre une telle structure et procede de fabrication d'un tel ensemble. |
| DE4407502A1 (de) * | 1994-03-07 | 1995-09-14 | Leybold Ag | Mehrlagige Beschichtung |
| DE4407774C1 (de) * | 1994-03-09 | 1995-04-20 | Leybold Materials Gmbh | Target für die Kathodenzerstäubung zur Herstellung transparenter, leitfähiger Schichten und Verfahren zu seiner Herstellung |
| CA2161283A1 (en) * | 1994-12-27 | 1996-06-28 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Annealed low emissivity coating |
| GB2311791A (en) * | 1996-04-02 | 1997-10-08 | Glaverbel | Gold-tinted glazing panels |
| US5821001A (en) | 1996-04-25 | 1998-10-13 | Ppg Industries, Inc. | Coated articles |
| US20020155299A1 (en) | 1997-03-14 | 2002-10-24 | Harris Caroline S. | Photo-induced hydrophilic article and method of making same |
| US7096692B2 (en) * | 1997-03-14 | 2006-08-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Visible-light-responsive photoactive coating, coated article, and method of making same |
| US20030039843A1 (en) * | 1997-03-14 | 2003-02-27 | Christopher Johnson | Photoactive coating, coated article, and method of making same |
| US6132881A (en) * | 1997-09-16 | 2000-10-17 | Guardian Industries Corp. | High light transmission, low-E sputter coated layer systems and insulated glass units made therefrom |
| US6007901A (en) * | 1997-12-04 | 1999-12-28 | Cpfilms, Inc. | Heat reflecting fenestration products with color corrective and corrosion protective layers |
| ES2228151T3 (es) | 1998-12-18 | 2005-04-01 | Glaverbel | Panel de acristalamiento. |
| US6610410B2 (en) | 1998-12-18 | 2003-08-26 | Asahi Glass Company, Limited | Glazing panel |
| US6964731B1 (en) * | 1998-12-21 | 2005-11-15 | Cardinal Cg Company | Soil-resistant coating for glass surfaces |
| US6582799B1 (en) | 1999-06-02 | 2003-06-24 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Laminated transparency |
| US6365284B1 (en) | 1999-06-04 | 2002-04-02 | Crown Operations International, Ltd. | Flexible solar-control laminates |
| ATE527219T1 (de) * | 1999-06-16 | 2011-10-15 | Ppg Ind Ohio Inc | Schutzbeschichtung für artikel mit zerstäubungsbeschichtung |
| US6849328B1 (en) | 1999-07-02 | 2005-02-01 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Light-transmitting and/or coated article with removable protective coating and methods of making the same |
| US6590711B1 (en) | 2000-04-03 | 2003-07-08 | 3M Innovative Properties Co. | Light directing construction having corrosion resistant feature |
| US6264336B1 (en) | 1999-10-22 | 2001-07-24 | 3M Innovative Properties Company | Display apparatus with corrosion-resistant light directing film |
| US20020136905A1 (en) * | 1999-11-24 | 2002-09-26 | Medwick Paul A. | Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles |
| US20070036989A1 (en) * | 1999-11-24 | 2007-02-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles |
| WO2001038248A1 (en) | 1999-11-24 | 2001-05-31 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low shading coefficient and low emissivity coatings and coated articles |
| US7361404B2 (en) | 2000-05-10 | 2008-04-22 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated article with removable protective coating and related methods |
| US7323249B2 (en) * | 2000-08-31 | 2008-01-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby |
| US6677063B2 (en) | 2000-08-31 | 2004-01-13 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby |
| US20020172775A1 (en) * | 2000-10-24 | 2002-11-21 | Harry Buhay | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| US7311961B2 (en) * | 2000-10-24 | 2007-12-25 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| US6869644B2 (en) * | 2000-10-24 | 2005-03-22 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| DE10063180A1 (de) * | 2000-12-18 | 2002-06-27 | Bayer Ag | Vorrichtung zur Erzeugung von Lichtsignalen |
| US20020120916A1 (en) * | 2001-01-16 | 2002-08-29 | Snider Albert Monroe | Head-up display system utilizing fluorescent material |
| WO2002081390A1 (en) * | 2001-03-20 | 2002-10-17 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method and apparatus for forming patterned and/or textured glass and glass articles formed thereby |
| US20030049464A1 (en) * | 2001-09-04 | 2003-03-13 | Afg Industries, Inc. | Double silver low-emissivity and solar control coatings |
| US7232615B2 (en) * | 2001-10-22 | 2007-06-19 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coating stack comprising a layer of barrier coating |
| US6730389B2 (en) | 2001-10-25 | 2004-05-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated substrate having a frequency selective surface |
| AU2003239167B2 (en) * | 2002-04-25 | 2007-01-18 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated articles having a protective coating and cathode targets for making the coated articles |
| WO2003095383A2 (en) * | 2002-04-25 | 2003-11-20 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles having an oxygen barrier coating and coated articles made thereby |
| US7063893B2 (en) | 2002-04-29 | 2006-06-20 | Cardinal Cg Company | Low-emissivity coating having low solar reflectance |
| US7122252B2 (en) * | 2002-05-16 | 2006-10-17 | Cardinal Cg Company | High shading performance coatings |
| US7588829B2 (en) * | 2002-05-31 | 2009-09-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Article having an aesthetic coating |
| WO2004011382A2 (en) * | 2002-07-31 | 2004-02-05 | Cardinal Cg Compagny | Temperable high shading performance coatings |
| US20040112411A1 (en) * | 2002-09-10 | 2004-06-17 | Boykin Cheri M. | Method and apparatus for cleaning a photoactive and/or hydrophilic surface |
| WO2004028987A1 (en) * | 2002-09-27 | 2004-04-08 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Apparatus and method for producing float glass having reduced defect density |
| US6811884B2 (en) * | 2002-12-24 | 2004-11-02 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Water repellant surface treatment and treated articles |
| US20040202890A1 (en) * | 2003-04-08 | 2004-10-14 | Kutilek Luke A. | Methods of making crystalline titania coatings |
| US20050208319A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-09-22 | Finley James J | Methods for forming an electrodeposited coating over a coated substrate and articles made thereby |
| US20050238923A1 (en) * | 2004-04-27 | 2005-10-27 | Thiel James P | Hybrid coating stack |
| CA2573428C (en) | 2004-07-12 | 2008-04-01 | Cardinal Cg Company | Low-maintenance coatings |
| WO2006080968A2 (en) * | 2004-11-15 | 2006-08-03 | Cardinal Cg Company | Methods and equipment for depositing coatings having sequenced structures |
| US8092660B2 (en) | 2004-12-03 | 2012-01-10 | Cardinal Cg Company | Methods and equipment for depositing hydrophilic coatings, and deposition technologies for thin films |
| US7923114B2 (en) | 2004-12-03 | 2011-04-12 | Cardinal Cg Company | Hydrophilic coatings, methods for depositing hydrophilic coatings, and improved deposition technology for thin films |
| US7223940B2 (en) * | 2005-02-22 | 2007-05-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Heatable windshield |
| US7335421B2 (en) * | 2005-07-20 | 2008-02-26 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Heatable windshield |
| JP5000131B2 (ja) * | 2005-12-26 | 2012-08-15 | 出光興産株式会社 | 透明電極膜及び電子機器 |
| JP2009534563A (ja) * | 2006-04-19 | 2009-09-24 | 日本板硝子株式会社 | 同等の単独の表面反射率を有する対向機能コーティング |
| US20080011599A1 (en) | 2006-07-12 | 2008-01-17 | Brabender Dennis M | Sputtering apparatus including novel target mounting and/or control |
| US20080280147A1 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-13 | Thiel James P | Vehicle transparency |
| US8686319B2 (en) * | 2007-05-09 | 2014-04-01 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Vehicle transparency heated with alternating current |
| EP2069252B1 (en) | 2007-09-14 | 2016-11-23 | Cardinal CG Company | Low-maintenance coating technology |
| US8658289B2 (en) * | 2007-11-16 | 2014-02-25 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Electromagnetic radiation shielding device |
| US8085460B2 (en) * | 2008-08-28 | 2011-12-27 | Ppg Industries Ohio, Inc | Electrochromic device |
| US8049949B2 (en) * | 2008-08-29 | 2011-11-01 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Multi-layer electrode for high contrast electrochromic devices |
| US7907322B2 (en) * | 2008-10-23 | 2011-03-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Electrochromic device |
| EP2440403B1 (en) | 2009-06-12 | 2020-03-11 | PPG Industries Ohio, Inc. | Aircraft transparency with solar control properties |
| BR112012000757A2 (pt) | 2009-07-21 | 2016-02-16 | Ppg Ind Ohio Inc | sistema de barra coletora reforçada para transparências de aeronave |
| US8252618B2 (en) * | 2009-12-15 | 2012-08-28 | Primestar Solar, Inc. | Methods of manufacturing cadmium telluride thin film photovoltaic devices |
| US8143515B2 (en) * | 2009-12-15 | 2012-03-27 | Primestar Solar, Inc. | Cadmium telluride thin film photovoltaic devices and methods of manufacturing the same |
| JP5586017B2 (ja) * | 2010-08-20 | 2014-09-10 | 東海光学株式会社 | 光学製品及び眼鏡プラスチックレンズ |
| ES2621478T3 (es) * | 2012-01-10 | 2017-07-04 | Saint-Gobain Glass France | Luna transparente con recubrimiento conductor de electricidad |
| US20140113120A1 (en) | 2012-10-19 | 2014-04-24 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Anti-color banding topcoat for coated articles |
| JP2014167163A (ja) * | 2013-01-31 | 2014-09-11 | Nitto Denko Corp | 赤外線反射フィルムの製造方法 |
| JP6282142B2 (ja) * | 2014-03-03 | 2018-02-21 | 日東電工株式会社 | 赤外線反射基板およびその製造方法 |
| EP3541762B1 (en) | 2016-11-17 | 2022-03-02 | Cardinal CG Company | Static-dissipative coating technology |
| CN107164729B (zh) * | 2017-04-01 | 2020-03-31 | 河南城建学院 | 一种TiO2构成的多层减反射自清洁薄膜及其制备方法 |
| CN107151808B (zh) * | 2017-06-05 | 2019-04-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种多色低辐射玻璃的制备方法 |
| WO2020198471A1 (en) | 2019-03-28 | 2020-10-01 | Vitro Flat Glass Llc | Heatable windshields |
| CN110040981B (zh) * | 2019-05-31 | 2021-06-22 | 海南大学 | 一种隔热膜及其制备方法 |
| CN112951930B (zh) * | 2021-01-29 | 2022-11-04 | 山东省科学院能源研究所 | 二氧化钛/银/二氧化钛透明导电膜及其制备方法与应用 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US27473A (en) * | 1860-03-13 | Window-screen | ||
| US4094763A (en) * | 1970-07-31 | 1978-06-13 | Ppg Industries, Inc. | Sputter coating of glass with an oxide of a metal having an atomic number between 48 and 51 and mixtures thereof |
| US4166018A (en) * | 1974-01-31 | 1979-08-28 | Airco, Inc. | Sputtering process and apparatus |
| US4337990A (en) * | 1974-08-16 | 1982-07-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Transparent heat-mirror |
| US4048372A (en) * | 1976-02-27 | 1977-09-13 | American Cyanamid Company | Coating of cadmium stannate films onto plastic substrates |
| US4349425A (en) * | 1977-09-09 | 1982-09-14 | Hitachi, Ltd. | Transparent conductive films and methods of producing same |
| US4113599A (en) * | 1977-09-26 | 1978-09-12 | Ppg Industries, Inc. | Sputtering technique for the deposition of indium oxide |
| US4201649A (en) * | 1978-11-29 | 1980-05-06 | Ppg Industries, Inc. | Low resistance indium oxide coatings |
| US4322276A (en) * | 1979-06-20 | 1982-03-30 | Deposition Technology, Inc. | Method for producing an inhomogeneous film for selective reflection/transmission of solar radiation |
| DE2924833C3 (de) * | 1979-06-20 | 1982-05-19 | Bfg Glassgroup, Paris | Wärmereflexionsscheibe mit farbneutraler Außenansicht und deren Verwendung als Außenscheibe einer Mehrscheibenanordnung |
| DE3160998D1 (en) * | 1980-03-10 | 1983-11-03 | Teijin Ltd | Selectively light-transmitting laminated structure |
| JPS5931147A (ja) * | 1982-08-17 | 1984-02-20 | 株式会社豊田中央研究所 | 可視光透過性熱線しやへい膜およびその製造方法 |
| NO157212C (no) * | 1982-09-21 | 1988-02-10 | Pilkington Brothers Plc | Fremgangsmaate for fremstilling av belegg med lav emisjonsevne. |
| DE3307661A1 (de) * | 1983-03-04 | 1984-09-06 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung |
| DE3316548C2 (de) * | 1983-03-25 | 1985-01-17 | Flachglas AG, 8510 Fürth | Verfahren zur Beschichtung eines transparenten Substrates |
| US4610771A (en) * | 1984-10-29 | 1986-09-09 | Ppg Industries, Inc. | Sputtered films of metal alloy oxides and method of preparation thereof |
| US4716086A (en) * | 1984-12-19 | 1987-12-29 | Ppg Industries, Inc. | Protective overcoat for low emissivity coated article |
| US4828346A (en) * | 1985-10-08 | 1989-05-09 | The Boc Group, Inc. | Transparent article having high visible transmittance |
| DE3543178A1 (de) * | 1985-12-06 | 1987-06-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben |
| CA1331867C (en) * | 1986-12-29 | 1994-09-06 | James Joseph Finley | Low emissivity film for high temperature processing |
| CA1333270C (en) * | 1987-03-26 | 1994-11-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Sputtered titanium oxynitride films |
| US4790922A (en) * | 1987-07-13 | 1988-12-13 | Viracon, Inc. | Temperable low emissivity and reflective windows |
| JP2517984B2 (ja) * | 1987-09-24 | 1996-07-24 | ソニー株式会社 | セラミックパッケ―ジの製法 |
-
1988
- 1988-04-01 US US07/176,563 patent/US4834857A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-02-28 NZ NZ228159A patent/NZ228159A/xx unknown
- 1989-03-03 ZA ZA891665A patent/ZA891665B/xx unknown
- 1989-03-20 NO NO891207A patent/NO302901B1/no unknown
- 1989-03-22 CA CA000594451A patent/CA1335887C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-03-27 JP JP1074806A patent/JP2505276B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-03-28 EP EP89105416A patent/EP0339274B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-28 AT AT89105416T patent/ATE101588T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-03-28 ES ES89105416T patent/ES2051316T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-28 DE DE68913068T patent/DE68913068T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-03-30 FI FI891527A patent/FI891527A/fi unknown
- 1989-03-30 CN CN89101827A patent/CN1016188B/zh not_active Expired
- 1989-03-31 DK DK157189A patent/DK171096B1/da not_active IP Right Cessation
- 1989-03-31 MY MYPI89000411A patent/MY103862A/en unknown
- 1989-03-31 KR KR1019890004199A patent/KR920005470B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-03-31 AU AU32321/89A patent/AU592942B2/en not_active Ceased
-
1998
- 1998-06-03 HK HK98104780A patent/HK1006834A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU3232189A (en) | 1989-10-05 |
| DE68913068T2 (de) | 1994-07-07 |
| FI891527A (fi) | 1989-10-02 |
| AU592942B2 (en) | 1990-01-25 |
| DK157189A (da) | 1989-10-02 |
| EP0339274B1 (en) | 1994-02-16 |
| NO302901B1 (no) | 1998-05-04 |
| ES2051316T3 (es) | 1994-06-16 |
| CA1335887C (en) | 1995-06-13 |
| JPH029731A (ja) | 1990-01-12 |
| MY103862A (en) | 1993-09-30 |
| US4834857A (en) | 1989-05-30 |
| KR920005470B1 (ko) | 1992-07-04 |
| NO891207D0 (no) | 1989-03-20 |
| ZA891665B (en) | 1990-11-28 |
| NZ228159A (en) | 1991-01-29 |
| EP0339274A1 (en) | 1989-11-02 |
| NO891207L (no) | 1989-10-02 |
| CN1037550A (zh) | 1989-11-29 |
| KR890015968A (ko) | 1989-11-27 |
| JP2505276B2 (ja) | 1996-06-05 |
| ATE101588T1 (de) | 1994-03-15 |
| DE68913068D1 (de) | 1994-03-24 |
| DK157189D0 (da) | 1989-03-31 |
| HK1006834A1 (en) | 1999-03-19 |
| CN1016188B (zh) | 1992-04-08 |
| FI891527A0 (fi) | 1989-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DK171096B1 (da) | Artikel med visuelt neutral refleksion, høj transmission og lav emission samt fremgangsmåde til fremstilling heraf | |
| DK169758B1 (da) | Artikel med høj transmission og lav emissivitet samt fremgangsmåde til dens fremstilling | |
| US4902580A (en) | Neutral reflecting coated articles with sputtered multilayer films of metal oxides | |
| US4806220A (en) | Method of making low emissivity film for high temperature processing | |
| US4610771A (en) | Sputtered films of metal alloy oxides and method of preparation thereof | |
| US4948677A (en) | High transmittance, low emissivity article and method of preparation | |
| KR900003979B1 (ko) | 높은 투과도 및 낮은 복사도의 제품 및 그 제조방법. | |
| US4786563A (en) | Protective coating for low emissivity coated articles | |
| US5059295A (en) | Method of making low emissivity window | |
| US4898790A (en) | Low emissivity film for high temperature processing | |
| EP0336257B1 (en) | Low emissivity film for automotive head load reduction | |
| JP2000192227A (ja) | 多層低輻射率被覆生成物の製法 | |
| US4806221A (en) | Sputtered films of bismuth/tin oxide | |
| US5178966A (en) | Composite with sputtered films of bismuth/tin oxide |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PBP | Patent lapsed | ||
| B1 | Patent granted (law 1993) | ||
| PBP | Patent lapsed |