DE4042163A1 - Verfahren zur herstellung einer halbleitervorrichtung - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstel
lung von Halbleitervorrichtungen, beispielsweise elektrosta
tische Induktionstransistoren mit isoliertem Gate, vertikale
MOS-Halbleitervorrichtungen unter Verwendung einer Akkumula
tionsschicht, und dergleichen.
Es ist möglich, sich eine Konstruktion zu überlegen, mit
welcher elektrostatische Induktionstransistoren mit isolier
tem Gate erhalten werden können durch Ersetzen konventionel
ler Flächengates (junction gates) durch isolierte Gates, wie
dies in Fig. 7(A) dargestellt ist, die einen n⁻-Drainbereich
1 umfassen, n⁺-Sourcebereiche 2, Gateelektroden 3, Gate
isolierfilme 4 und Zwischenschichtisolierfilme 5. Der Drain
bereich 1 ist ohmisch leitend mit einer Drainelektrode 11
verbunden. Der Drainbereich 1 und die Sourcebereiche 2 sind
von den Gateelektroden 3 jeweils durch die Gateisolierfilme
4 isoliert. Eine Sourceelektrode 22 ist ohmisch mit Source
bereichen 2 verbunden und außerdem auf den Zwischenschicht
isolierfilmen 5 ausgebildet. Hier wird der Drain zwischen den
beiden benachbarten isolierten Gates 4 als "Kanal" in dem Auf
bau der Vorrichtung bezeichnet, und eine Entfernung zwischen
den beiden isolierten Gates 4, die mit H bezeichnet ist, wird
als "Kanalbereichsdicke" bezeichnet. Bei dem voranstehenden
Aufbau wird der Strom durch eine Verarmungsschicht abgeschnit
ten, die in der Nähe des isolierten Gates 4 ausgebildet ist.
Allerdings besteht in dem Falle des isolierten Gates, im
Unterschied von dem Flächengate, eine Grenze für die Brei
te der Verarmungsschicht, die durch Ausbildung der Akkumu
lationsschicht des Minoritätenträgers in der Nähe des iso
lierten Gates 4 ausgebildt wird. Daher gibt es eine Grenze
in bezug auf die Beziehung zwischen der Verunreinigungsatom
konzentration ND innerhalb des Kanalbereiches und der Dicke
H des Kanalbereiches, wie dies durch die folgende Formel aus
gedrückt ist:
wobei q die Elektronenladung bezeichnet, ε die dielektrische
Konstante des Halbleiters des Drainbereiches, Φf den abso
luten Wert des Fermi-Potentials des Halbleiters, ausgedrückt
als
wobei k die Boltzmann-Konstante bezeichnet; T die absolute
Temperatur, und Ni die spezifische Trägerkonzentration des
Drainbereich-Halbleiters bezeichnet.
Aus der voranstehenden Formel geht hervor, daß die Kanal
bereichsdicke H kleiner ist als die entwickelbare Verarmungs
breite eines der isolierten Gates. Wenn H größer wird als die
rechte Seite in der voranstehenden Formel, ist es unmöglich,
den Strom abzuschalten, selbst wenn eine hohe Spannung an das
Gate angelegt wird.
Beispielsweise beträgt im Falle eines Silizium-Halbleiters
die erforderliche Kanalbereichsdicke 4,8 µm oder weniger,
wenn die Verunreinigungsatomkonzentration des Drainbereiches
1×1014 cm-3 ist, und 1,7 µm oder weniger, wenn die Ver
unreinigungsatomkonzentration 1×10¹⁵ cm-3 beträgt. Wenn
in gewissem Maße eine höhere Verunreinigungsatomkonzentration
erforderlich ist, wie im Falle von Vorrichtungen mit niedri
ger Spannungsfestigkeit, so ist es daher praktisch unmöglich,
einen wie voranstehend beschriebenen Mikroaufbau auszubilden.
Andererseits wird ein MOS-Halbleiter nach dem Stand der Tech
nik unter Verwendung einer Akkumulationsschicht beschrieben in
der japanischen veröffentlichten ungeprüften (Kokai) Patent
anmeldung Nr. 55-1 08 768 mit dem Titel "Elektrostatischer In
duktionsthyristor", wie dargestellt in Fig. 7(B). In der Figur
weist die Halbleitervorrichtung einen n⁻-Drainbereich 1 auf,
einen p⁺-Bereich 20, und n⁺-Sourcebereiche 2. Die Drain
elektrode 11 ist ohmisch mit dem p⁺-Bereich 20 verbunden.
Eine Gateelektrode 3 ist von dem Drainbereich 1 und von dem
Sourcebereich 2 durch einen Gateisolierfilm 4 isoliert. Die
Dicke des Films 4, welcher der Drainelektrode 11 gegenüber
liegt, ist groß, um die Spannungswiderstandseigenschaften
zu vergrößern. Eine Sourceelektrode 22 ist ohmisch mit dem
Sourcebereich 2 verbunden. Zwar sind in Fig. 7(B) 21/2 Ein
heitsaufbauten dargestellt, von denen jeder aus einem isolier
ten Gate 4 und einem Sourcebereich 2 besteht, jedoch sind in
der Praxis mehrere Einheitsaufbauten parallel innerhalb eines
einzigen Chips angeordnet.
Der sandwichartig angeordnete Abschnitt zwischen den beiden
isolierten Gates 4 innerhalb des Drainbereiches 1 wird als
"Kanal" des Aufbaus der Vorrichtung bezeichnet; die Entfer
nung zwischen den beiden isolierten Gates 4, die durch H ge
kennzeichnet ist, wird als "Kanalbereichsdicke" bezeichnet;
und das Symbol L nennt man "Kanallänge". Da das voranstehen
de Dokument ein Thyristor-Patent betrifft, ist darüber hin
aus der p⁺-Bereich 20 in dem in Fig. 1(B) dargestellten Auf
bau vorgesehen, um ein bipolares Element zur Verfügung zu
stellen.
Andererseits wird bei einer Halbleitervorrichtung, die durch
das Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung
erhalten wird, wie dies nachstehend beschrieben ist, kein
p⁺-Bereich 20 beschrieben, infolge eines unipolaren Elemen
tes. Jedoch ist der Aufbau der Sourcebereiche und der Gate
elektroden derselbe, und daher führt das Vorliegen oder die
Abwesenheit des p⁺-Bereiches 20 zu keinem Einfluß auf die
Funktion und den Aufbau der Vorrichtung.
Nachstehend wird der Betrieb des voranstehend genannten MOS-
Halbleiterelementes unter Verwendung der voranstehend ange
gebenen Akkumulationsschicht beschrieben.
Die Sourceelektrode 22 ist geerdet, und an die Drainelektrode
11 ist eine positive Spannung angelegt. Unter diesen Bedin
gungen, wenn die Gateelektrode 3 geerdet ist oder ein negati
ves Potential an die Gateelektrode 3 angelegt ist, um eine
Verarmungsschicht in dem Kanalbereich auszubilden, können Lei
tungselektronen nicht aus dem Sourcebereich 2 herausfließen,
so daß der Strom abgeschnitten wird. Wenn weiterhin ein nega
tives Potential von der Gateelektrode entfernt wird, um die
Verarmungsschicht in dem Kanalbereich zu entfernen, oder wenn
ein positives Potential an die Gateelektrode angelegt wird, um
eine Elektronenakkumulationsschicht in der Nähe des isolierten
Gates auszubilden, so ist der Sourcebereich zum Drainbereich
hin leitend und gestattet den Fluß eines Hauptstroms. Sobald
die Akkumulationsschicht in der Nähe des isolierten Gates aus
gebildet ist, wird infolge der Tatsache, daß die Leitfähigkeit
der Akkumulationsschicht hoch ist, der Widerstand des Kanal
bereichs verringert und kann daher vernachlässigt werden, ver
glichen mit dem Driftwiderstand des Drainbereichs.
Weiterhin wird bei dem voranstehend beschriebenen Aufbau, wenn
Leitungselektronen von dem Sourcebereich 2 abgegeben werden,
infolge der Tatsache, daß positive Löcher des Minoritätenträ
gers von dem p⁺-Bereich 20 auf der Drainseite injiziert wer
den, der Widerstand des n⁻-Drainbereiches 1 weiter verrin
gert auf der Grundlage eines Leitfähigkeitsmodulationseffekts.
Allerdings gibt es bei dem voranstehend angegebenen Aufbau
eine Beschränkung für den Kanalaufbau wie folgt: Zwar wird
der Hauptstrom durch die Verarmungsschicht abgeschnitten, die
in der Nähe des isolierten Gates entwickelt wird, wie dies
voranstehend beschrieben wurde, jedoch existiert in dem Fall
des isolierten Gates, welches sich von dem Flächengate unter
scheidet, da eine Inversionsschicht des Minoritätenträgers
in der Nähe des Gateisolierfilms ausgebildet wird, eine Be
grenzung bezüglich der Breite der entwickelbaren Verarmungs
schicht. Dies bedeutet, daß die Verunreinigungsatomkonzentra
tion ND des Kanalbereiches und die Dicke H des Kanalberei
ches ebenfalls entsprechend der voranstehend beschriebenen
Formel begrenzt sind.
Zur Behebung der voranstehend beschriebenen "Begrenzung der
Kanalbereichsdicke" wurde in der japanischen veröffentlich
ten geprüften (Kokoku) Patentanmeldung Nr. 62-44 698 oder der
(Kokai) Patentanmeldung Nr. 55-85 069 ein "Transistor mit iso
liertem Gate" vorgeschlagen, in welchem zusätzliche Steuer
gates mit festem Potential in der Nähe der treibenden, U-
förmigen isolierten Gates vorgesehen sind, um jeweils die
verschiedenen Vorrichtungseigenschaften auf der Grundlage
des Potentials der Steuergates zu steuern. Die Festpotential
steuergates sind von der Art der pn-Junction-Gates, Schottky-
Gates, oder in der Art isolierter Gates anderer Arten.
Fig. 8(A) zeigt einen Vorrichtungsaufbau nach dem Stand der
Technik, bei welchem die an der Sourceelektrode 22 befestig
ten Steuergates 6 in Form von Junction-Gates (Flächengates)
ausgebildet sind. Diese Vorrichtung weist einen n -Drain
bereich 1 auf, n⁺-Sourcebereiche 2, Gateelektroden 3, Gate
isolierfilme 4, Zwischenschichtisolierfilme 5, und p-artige
Steuergates 6. Eine Drainelektrode 11 ist ohmisch mit dem
Drainbereich 1 verbunden. Der Drainbereich 1 und die Source
bereiche 2 sind durch die Gateisolierfilme 4 isoliert. Die
Sourceelektrode 22 ist elektrisch mit den p-artigen Steuer
gates 6 und den Sourcebereichen 2 verbunden. Bei diesem Vor
richtungsaufbau ist es möglich, wenn die Verunreinigungsatom
konzentration des p-artigen Steuergates 6 hoch ist, da die
eingebaute Verarmungsschicht hauptsächlich in dem n⁻-Drain
bereich 1 ausgebildet wird, den Kanalbereich (den Drain
bereich, der sandwichartig zwischen zwei unterschiedlichen
Gatearten angeordnet ist) elektrisch abzuschalten, abhängig
von der Verarmungsschicht, die in der Gateelektrode ausgebil
det wird, jenseits der durch die voranstehend angegebene For
mel definierten Begrenzung. Die Stromleitung zwischen dem
Drainbereich und dem Sourcebereich kann erhalten werden auf
der Grundlage der Akkumulationsschicht, die in der Nähe des
isolierten Gates ausgebildet wird, auf dieselbe Weise wie bei
Vorrichtungen nach dem Stand der Technik. Darüber hinaus zeigt
Fig. 2(B) ein weiteres Verfahren, bei welchem jedes Steuergate
mit einem Steuergateanschluß 66 verbunden ist, um an diesen
ein negatives festes Potential anzulegen.
Die in den Fig. 8(A) und 8(B) gezeigten, voranstehend be
schriebenen Steuergates 6 können allgemein ausgebildet werden
durch selektives Injizieren und Diffundieren von Verunreini
gungsionen des p-Typs zwischen die isolierten Gates 4 hinein,
und zwar durch einen Photoprozeß, wie dies in Fig. 8(C) ge
zeigt ist. In Fig. 8(C) bezeichnet die Bezugsziffer 100 einen
Widerstandslack, und 600 bezeichnet einen Bereich, in welchen
Verunreinigungsatome des p-Typs als Ionen injiziert werden.
Darüber hinaus zeigt Fig. 8(D) ein weiteres Verfahren, bei
welchem eine Nut in einem bestimmten Bereich zwischen den
beiden isolierten Gates 4 durch einen Photoprozeß ausgebil
det wird, um Verunreinigungsatome des p-Typs in das Innere
der Nut hinein zu diffundieren. Weiterhin ist es ebenfalls
möglich, ein Metall in der Nut zu vergraben, um so einen
Schottky-Übergang (Schottky-Junction) zu dem n⁻ -Substrat 1
herzustellen.
Bei dem voranstehend genannten Verfahren nach dem Stand der
Technik existierende zwei nachstehend angegebene ernsthafte
Probleme: Das erste Problem betrifft die Dispersion des Vor
richtungsschwellenwertes (der Einschaltspannung). Dies bedeu
tet, daß dann, wenn eine Photomaske zur Ausbildung der Steuer
gates fehlangepaßt ist, der Schwellenwert des Kanalwertes
unterschiedlich wird zwischen den beiden Seiten des Steuer
gates 6, und daher sind die Eigenschaften der Vorrichtung
nicht gleichmäßig.
Das zweite Problem betrifft die Mustermikrostruktur oder die
Feinstruktur zur Erhöhung der Stromkapazität der Vorrichtung.
Unter Berücksichtigung des ersten Problems ist es erforder
lich, die Kanalbereichsgröße auf einen großen Wert zu setzen,
etwa auf das 5- bis 10-fache der Maskenanpassungspräzision
der Photovorrichtung. Dies ist unverzichtbar, wenn die Steuer
gates durch einen Photoprozeß ausgebildet werden. Wenn bei
spielsweise eine solche Photovorrichtung verwendet wird, daß
die minimale ausbildbare Mustergröße 3 µm beträgt und die An
passungspräzision 0,5 µm beträgt, so ist die minimale Einheit
des Aufbaus der Vorrichtung etwa 6 bis 8 µm, und dies stellt
die Mustergrößenbegrenzung dar.
Wie voranstehend beschrieben wurde, existiert bei dem ersten
Aufbau nach dem Stand der Technik, wie er in den Fig. 1(A)
und 1(B) dargestellt ist, eine Begrenzung bezüglich der Kanal
dicke, innerhalb derer der Kanalbereich abgeschnitten werden
kann, so daß es schwierig gewesen ist, einen Aufbau nach die
sem ersten Stand der Technik bei Vorrichtungen mit niedriger
Spannungsfestigkeit einzusetzen, die eine hohe Verunreini
gungsatomkonzentration in dem Kanalbereich aufweisen.
Zwar ist es bei dem zweiten Aufbau nach dem Stand der Technik,
wie dieser in den Fig. 8(A), 8(B) und 8(D) gezeigt ist mög
lich, das sich bei dem Aufbau nach dem ersten Stand der Tech
nik ergebende Problem zu vermeiden, jedoch existiert hier im
mer noch eine Begrenzung bezüglich der Präzision des Photo
prozesses, und zwar dann, wenn es erforderlich ist, daß die
Mikrostruktur des Musters es gestattet, daß der Schwellenwert
gleichmäßig ist, oder wenn die gesamte Stromkapazität erhöht
werden muß.
Unter Berücksichtigung der voranstehenden Probleme stellt es
daher einen Hauptvorteil der vorliegenden Erfindung dar, daß
diese ein Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtun
gen zur Verfügung stellt, welches die Kanalbereichsdicke
zwischen den beiden benachbarten isolierten Gates bei höherer
Herstellungspräzision verringern kann, um eine Mikrostruktur
der Vorrichtung zu realisieren, so daß Vorrichtungen mit
niedriger Durchbruchsspannung hergestellt werden können, ohne
Begrenzungen zwischen der Kanalbereichsdicke und der Kanal
bereichs-Verunreinigungatomkonzentration, und darüber hinaus
kann die gesamte Stromkapazität der Vorrichtung vergrößert
werden, ohne eine Ungleichmäßigkeit bei den Eigenschaften der
Vorrichtung.
Zur Erzielung der voranstehend beschriebenen Vorteile und bei
einer Anwendung auf einen elektrostatischen Induktionstransis
tor mit isoliertem Gate umfaßt das Verfahren zur Herstellung
einer Halbleitervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
folgende Schritte: (a) Ausbildung zumindest eines U-förmigen
isolierten Gates (4) auf der Oberfläche eines Halbleitersub
strats (1) eines ersten Leitfähigkeitstyps; (b) Freilegen ei
nes Teils der Seitenwand des U-förmigen isolierten Gates (4)
durch Ätzen des Substrats; (c) Abdecken des freigelegten Teils
mit einem Maskierungsmaterial; (d) Ausbildung der Seitenwand
(200) des Maskierungsmaterials nur neben der Seite des frei
gelegten U-förmigen isolierten Gates (4); und (e) Ausbildung
zumindest einer Nut durch Ätzen des Substrats beinahe verti
kal unter Verwendung der Maskierungsmaterialseitenwand (200)
als Maske.
Bei diesem Transistor ist das in der vertikalen Nut abgela
gerte Metall über einen Schottky-Übergang mit dem Halbleiter
substrat des ersten Leitfähigkeitstyps verbunden. Weiterhin
ist es ebenfalls vorzuziehen, einen Halbleiterbereich (6) ei
nes zweiten Leitfähigkeitstyps auszubilden, oder ein zweites
isoliertes Gate (404) als ein Steuergate auf der Oberfläche
der ausgebildeten vertikalen Nut. Das Maskenmaterial ist ein
Isolierfilm, ein polykristalliner Halbleiterfilm oder ein
amorpher Film, der Verunreinigungsatome eines ersten Leit
fähigkeitstyps mit hoher Konzentration enthält. Weiterhin
wird der Sourcebereich unter dem Seitenwandmaskenmaterial
ausgebildet durch Anlassen der Vorrichtung, um in dem Masken
material enthaltene Verunreinigungsatome in das Halbleiter
substrat eindiffundieren zu lassen.
Bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung wird nach
der Ausbildung der Treiber-Isoliergates das Halbleitersub
strat geätzt, um teilweise die Seitenoberflächen des isolier
ten Gates freizulegen, und sogenannte Maskenmaterialseiten
wände werden auf der Seite des freigelegten U-förmigen iso
lierten Gates durch einen Isolierfilm, einen polykristalli
nen oder einen amorphen Halbleiterfilm ausgebildet; und es
werden verschiedene Steuergates ausgebildet durch Ätzen des
Halbleitersubstrats in vertikaler Richtung unter Verwendung
der Maskenmaterialseitenwände als Masken. Daher ist es mög
lich, eine gleichmäßige Vorrichtungsmikrostruktur auszubil
den, die praktisch keine Dispersion in einer extrem kurzen
Entfernung zwischen dem isolierten Gate und dem Steuergate
aufweist. Die Kanaldicke wird gesteuert entsprechend der Dicke
jedes Films der Maskenmaterialseitenwand. Die praktisch aus
gebildete Filmdicke liegt innerhalb eines Bereiches von 500
Nanometer bis 1 Mikrometer, und daher liegt die ausgebildete
Kanalbreite innerhalb desselben Bereichs. Das vorliegende Ver
fahren kann bei einem solchen Fall angewendet werden, in wel
chem die obere Grenze der voranstehend genannten Kanalbreite
H groß ist, da selbst dann, wenn die Verunreinigungsatomkon
zentration in dem Drainbereich niedrig ist, die enge Kanal
breite ebenfalls vorzuziehen ist.
Wenn die vorliegende Erfindung bei einer vertikalen MOS-Halb
leitervorrichtung angewendet wird, so umfaßt das Verfahren zur
Herstellung einer Halbleitervorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung folgende Schritte:
- a) Ausbildung eines Sourcebereiches (2) eines ersten Leitfähigkeitstyps und hoher Verunrei nigungskonzentration auf der Oberfläche eines Halbleitersub srats (1) eines ersten Leitfähigkeitstyps;
- b) Ausbildung von Maskierungsfilmen (100, 101, 102) auf dem Sourcebereich;
- c) Entfernen eines Teils der Filme für eine Gateelektrode (3);
- d) geringfügiges Entfernen eines Teils des Sourcebereiches (2) durch anisotropes Ätzen zur Ausbildung eines seitlich ge ätzten Abschnitts unter den Maskenfilmen;
- e) tiefes Entfernen des Substrats (1) durch isotropes Ätzen unter Verwendung der Maskierungsfilme als Maske zur Ausbildung einer Nut für eine Gateelektrode;
- f) Ausbildung eines Gateoxidfilms (4) auf der Oberfläche der Gatenut;
- g) Ablagern eines leitfähigen Materials (3) in der Nut als Gateelektrode;
- h) Ausbildung eines Zwischenschichtisolierfilms (5) auf der Oberfläche des Gatematerials, um ein T-förmiges isoliertes Gate zu erhalten;
- i) Entfernen der verbleibenden Maskenfilme auf der Oberfläche des Sourcebereiches (2);
- j) tiefes Entfernen des Substrats durch isotropes Ätzen unter Verwendung des T-förmigen isolier ten Gates (3) als Maske zur Ausbildung einer beinahe vertikalen Nut; und
- k) Ablagerung von Metall in der Nut als Source elektrode (22).
Bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung kann die
Kanaldicke H bis auf 0,2 bis 2 µm herunter mit geringer Dis
persion gesteuert werden, entsprechend dem Grad der isotropen
Seitenätzung des Substrats. Daher ist es möglich, den Kanal
in einem Substrat mit hoher Verunreinigungsatomkonzentration
auszubilden, wodurch eine Mikrostruktureinheit erhalten wird.
Weiter ist es möglich, wenn die Substrat-Verunreinigungsatom
konzentration niedrig ist, da der dünne Kanal nicht nachtei
lig ist, die Kanaldichte per Einheitsfläche basierend auf ei
nem Mikromuster zu vergrößern, und hierdurch die Stromkapazi
tät zu vergrößern.
Die Erfindung wird nachstehend im einzelnen unter Bezugnahme
auf die beigefügten Figuren näher erläutert, woraus sich wei
tere Vorteile und Merkmale ergeben.
Es zeigt:
Fig. 1(A) bis 1(E) Querschnittsansichten mit einer Darstel
lung des Herstellungsverfahrens für einen elek
trostatischen Induktionstransistor mit isolier
tem Gate, zur Erleichterung der Erläuterung einer
ersten Zielrichtung des Verfahrens zur Herstellung
von Halbleitervorrichtungen gemäß der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 2 eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei
ner ersten Abänderung des elektrostatischen Induk
tionstransistors mit isoliertem Gate, der in den
Fig. 1(A) bis 1(E) gezeigt ist;
Fig. 3 eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei
ner zweiten Abänderung des elektrostatischen Induk
tionstransistors mit isoliertem Gate, der in den
Fig. 1(A) bis 1(E) gezeigt ist;
Fig. 4(A) bis 4(H) Querschnittsansichten mit einer Darstel
lung des Herstellungsverfahrens für eine vertikale
MOS-Halbleitervorrichtung zur Erleichterung der
Erläuterung einer zweiten Zielrichtung des Verfah
rens zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen
gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 5 eine teilweise Querschnittsansicht mit einer Dar
stellung nur des wesentlichen Abschnitts der ver
tikalen MOS-Halbleitervorrichtung, die in Fig. 4(H)
gezeigt ist; und
Fig. 6(A) und 6(B) Energiebanddiagramme des "Kanal"-Bereichs
der vertikalen MOS-Halbleitervorrichtung entlang
der Linie A-A′ in Fig. 5, welche nur zur Erleich
terung der Erläuterung die Leitungsbandlinie zei
gen;
Fig. 6(A) den AUS-Zustand und Fig. 6(B) den EIN-Zustand der
Vorrichtung,
Fig. 7(A) eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei
ner ersten Halbleitervorrichtung nach dem Stand
der Technik;
Fig. 7(B) eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei
ner zweiten Halbleitervorrichtung nach dem Stand
der Technik;
Fig. 8(A) eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei
ner dritten Halbleitervorrichtung nach dem Stand
der Technik;
Fig. 8(B) eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei
ner ersten Abänderung der dritten Halbleitervor
richtung nach dem Stand der Technik;
Fig. 8(C) eine Querschnittsansicht zum besseren Verständnis
des Verfahrens zur Ausbildung von Steuergates bei
der dritten Halbleitervorrichtung nach dem Stand
der Technik;
Fig. 8(D) eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei
ner zweiten Abänderung der dritten Halbleitervor
richtung nach dem Stand der Technik.
Es erfolgt nunmehr die Beschreibung des erfindungsgemäßen Ver
fahrens unter Bezug auf die beigefügten Figuren. Das wesent
liche Merkmal des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung
ist die Ausbildung von Steuergatenuten oder Steuergateelek
trodennuten unter Verwendung von Maskenmaterialseitenwänden
(200) als Masken, auf selbstausrichtende Weise, um eine Vor
richtungsmikrostruktur auszubilden.
Fig. 1(A) bis 1(E) zeigen Querschnittsansichten mit einer
Darstellung des Verfahrens zur Herstellung eines elektrosta
tischen Induktionstransistors mit isoliertem Gate nach dem
Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung.
In den Fig. 1(A) bis 1(E) weist die Vorrichtung ein Halblei
tersubstrat 1 mit einem n⁻-Drain auf, isolierte Gates 4,
Gateelektroden 3, n⁺-Sourcebereiche 2, Zwischenschichtfilme
5, eine Drainelektrode 11, und eine Sourceelektrode 22, die
sowohl mit den Sourcebereichen 2 und den Steuergates 6 ver
bunden ist.
Wie dies in Fig. 1(A) gezeigt ist, werden zunächst U-förmige
isolierte Gates 4 und Gateelektroden 3 auf der Oberfläche ei
nes Halbleitersubstrats 1 mit einem n⁻ -Drain ausgebildet.
Dann wird, wie in Fig. 1(B) dargestellt, die Halbleiterober
fläche geätzt in einer Dicke von 5000 bis 6000 Å, um einen
Teil jeder Seitenwand jedes U-förmigen isolierten Gates 4
freizulegen. Daraufhin wird ein Maskenmaterial, beispielswei
se ein Isolierfilm (Isolator), ein polykristalliner Halblei
terfilm (beispielsweise PSG), oder ein amorpher Halbleiter
film, mit einer Dicke von etwa 5000 Å auf den freigelegten
Oberflächen in Form einer Decke ausgebildet. Das Maskenmate
rial ist ein Halbleiter, der Verunreinigungsatome des n-Leit
fähigkeitstyps in hoher Konzentration enthält. Darüber hin
aus ist es vorzuziehen, Verunreinigungsatome des n-Typs durch
Ionenimplantation in die Oberfläche des Substrats 1 einzubrin
gen, bevor das Maskenmaterial (der Film) gebildet wird. Dieser
Film wird durch ein reaktives Ionenätzungsverfahren geätzt,
so daß der Film nur an jeder Seitenoberfläche jedes der frei
gelegten U-förmigen isolierten Gates 4 verbleibt, wie in Fig.
1(C) gezeigt, und zwar als Seitenwände 200.
In dieser Stufe wird die Vorrichtung hitzebehandelt (angelas
sen) zur Ausbildung von n⁺-Sourcebereichen 2 durch Eindif
fundieren der Verunreinigungsatome hoher Konzentration des
Maskenmaterialfilms in das n⁻-Halbleitersubstrat 1. Selbst
verständlich ist es möglich, die n⁺-Sourcebereiche 2 durch
ein anderes Verfahren herzustellen durch Ersetzen des Films
durch ein anders Maskenmaterial, und die Sourcebereiche 2
durch ein anderes Verfahren auszubilden.
Das Substrat 1 wird weiterhin vertikal von seiner Oberflä
che aus geätzt unter Verwendung der Seitenwände 200 als Mas
ken, wie dies in Fig. 1(D) gezeigt ist. Das einfachste Ver
fahren zur Ausbildung des Steuergates 6 ist das Ablagern ei
nes Metalls, das über einen Schottky-Übergang mit dem Drain
bereich 1 innerhalb jeder Nut verbunden wird, wie in Fig. 1(E)
dargestellt. In diesem Fall beträgt die Kanalbreite 5000 Å,
und es ist möglich, die Verunreinigungsatomkonzentration ND
des Kanalbereichs bis auf etwa 1×1016 cm-3 zu vergrößern.
Wenn das minimale Muster bei diesem Aufbau erreicht wird unter
Verwendung derselben Photovorrichtung, die eine ausbildbare
Größe eines Minimalmusters von 3 µm aufweist und eine Anpaß
präzision von 0,5 µm, so ist es möglich, da das Steuergate
gebildet werden kann durch ein selbstausrichtendes Verfahren,
unabhängig von der Anordnung der isolierten Gates 4, die iso
lierten Gates 4 durch das Minimalmuster auszubilden, so daß
die minimale Einheit des Vorrichtungsaufbaus verringert wer
den kann bis auf 3 µm herunter.
Fig. 2 zeigt eine weitere Modifikation des elektrostatischen
Induktionstransistors mit isoliertem Gate, der auf dieselbe
Weise hergestellt ist. Bei dieser Vorrichtung werden, bevor
das Material in den in dem Substrat 1 ausgebildeten Nuten ab
gelagert wird, Halbleiterbereiche 6(p) des p-Typs ausgebil
det als Steuergates 6 auf der Oberfläche der Nuten durch ein
Dampfwachstumsdiffusionsverfahren, und dann werden hierin
die Steuergateelektroden 22 (also die Sourceelektroden) ab
gelagert.
Fig. 3 zeigt eine weitere Abänderung des Induktionstransis
tors mit isolierter Gateelektrode, der nach demselben Verfah
ren hergestellt ist. Bei dieser Vorrichtung ist jedes zweite
isolierte Gate 404 in jeder Nut ausgebildet. Bei dieser Vor
richtung läßt sich die Sourceleitung einfach erreichen durch
Verwendung von n⁺-polykristallinem Silizium als Maskenmate
rial 200.
Wie voranstehend beschrieben wurde, ist es bei dem erfindungs
gemäßen Verfahren möglich, einen gleichförmigen Vorrichtungs
aufbau auszubilden, der beinahe keine Dispersion in einer ex
trem kurzen Entfernung zwischen dem isolierten Gate 4 und dem
Steuergate 6 aufweist, wodurch eine geeignete Mikrostruktur
der Halbleitervorrichtung erreicht wird, und zwar deswegen,
da die Oberfläche des Halbleitersubstrats 1 geätzt wird, um
teilweise die Seitenoberflächen der Gates 4 freizulegen,
nachdem die isolierten Treibergates 4 ausgebildet wurden, da
sogenannte Maskenmaterialseitenwände 200 gebildet werden auf
den freiliegenden Seitenoberflächen der Gates 4 durch einen
Isolierfilm, oder einen polykristallinen oder amorphen Halb
leiterfilm, und da verschiedene Steuergates 6 und 404 gebil
det werden durch Ätzen des Halbleitersubstrats in der verti
kalen Richtung unter Verwendung der Seitenwand 200 als Mas
ke.
Fig. 4(A) bis 4(H) zeigen Ouerschnittsansichten mit einer
Darstellung des Verfahrens zur Herstellung einer vertikalen
MOS-Halbleitervorrichtung unter Verwendung von Akkumulations
schichten nach dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung.
Vor der Erläuterung des Herstellungsverfahrens gemäß der vor
liegenden Erfindung wird nachstehend der Aufbau und der prin
zipielle Betrieb einer Halbleitervorrichtung beschrieben, wel
che Akkumulationsschichten verwendet.
Fig. 5 ist eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung des
wesentlichen Abschnitts einer Vorrichtung, die ein n⁻-Sili
ziumsubstrat aufweist.
In Fig. 5 weist die Vorrichtung einen n⁻-Drainbereich 1 auf,
eine Drainelektrode 11, einen n⁺-Sourcebereich 2, ein Metall
22, das über einen Schottky-Übergang mit dem Drainbereich 1
als eine Sourceelektrode verbunden ist, die ebenfalls mit dem
Sourcebereich 2 verbunden ist, eine Gateelektrode 3, die aus
Metall oder Polysilizium gebildet ist, das in einen Halblei
ter des p⁺-Typs eindotiert ist, einen Gateoxidfilm 4, und
einen Zwischenschichtisolierfilm 5.
Weiterhin wird der Bereich "Kanal" dieser Halbleitervorrich
tung genannt, der in sandwichartiger Anordnung zwischen dem
isolierten Gate 4 in dem Drainbereich 1 und dem Schottky-
Übergangsabschnitt angeordnet ist. Weiterhin ist die Entfer
nung H, die als "Kanaldicke" bezeichnet wird, zwischen der
isolierten Gateelektrode 3 und dem Schottky-Übergangsabschnitt
kürzer als die Verarmungsschichtdicke, wenn der Schottky-Über
gang mit Null vorgespannt ist.
Weiterhin weist die Vorrichtung Triodeneigenschaften auf, wenn
die Kanaltiefe L kleiner oder gleich der Kanaldicke H ist, und
wenn L etwa dreimal größer ist als H, weist die Vorrichtung
Pentodeneigenschaften auf.
Diese Vorrichtung wird verwendet durch Erden der Sourceelek
trode 22 und durch Anlegen einer positiven Spannung an die
Drainelektrode 11. Wenn die Gateelektrode 3 geerdet ist,
fließt kein Strom zwischen den Drain- und Sourcebereichen,
da der Kanalbereich sich ändert in den Verarmungszustand in
folge einer Differenz in der Austrittsarbeit zwischen dem
Material der Gateelektrode 3 und dem Kanalbereich und infolge
des Effektes des Schottky-Überganges der Sourceelektrode 22.
Weiterhin fließt ein Strom zwischen dem Source- und Drain
bereich, wenn ein positives Potential an die Gateelektrode 3
angelegt wird, da eine Akkumulationsschicht in der Nähe des
Gateisolierfilms 4 ausgebildet wird.
Fig. 6(A) und 6(B) zeigen Bandstrukturen, die entlang der
Linie A-A′ in Fig. 5 aufgenommen sind, und wobei nur die un
tere Endlinie des Leitungsbandes gezeigt ist. In den Figuren
bezeichnet ΦB eine Barrierenhöhe des Schottky-Übergangs
zwischen dem Drainbereich 1 und der Sourceelektrode 22, die in
Fig. 5 dargestellt sind. Weiterhin zeigt Fig. 6(A) den Fall,
der erhalten wird, wenn sich die Gatespannung auf 0 Volt be
findet, und Fig. 6(B) zeigt den Fall, der erhalten wird, wenn
ein positives Potential an das Gate angelegt wird, so daß eine
Akkumulationsschicht in der Nähe des isolierten Gates ausge
bildet wird. Wenn die Gatespannung 0 Volt beträgt, so fließen,
wie in Fig. 6(A) gezeigt ist, da sich der Zustand des Kanal
bereiches in einen Verarmungszustand ändert infolge der
Schottky-Barriere und eines Unterschieds der Halbleiteraus
trittsarbeit zwischen dem Gateelektrodenmaterial und dem
Kanalbereich hierdurch keine Elektronen. Weiterhin fließt,
wenn ein positives Potential an das Gate angelegt wird, Strom
zwischen dem Sourcebereich 2 und dem Drainbereich 1, da eine
Akkumulationsschicht in der Nähe des Gateisolierfilms ausge
bildet wird.
Das Verfahren zur Herstellung der in Fig. 7 gezeigten Halb
leitervorrichtung wird unter Bezug auf die Fig. 6(A) bis 6(H)
beschrieben.
Wie in Fig. 4(A) dargestellt, wird ein Sourcebereich 2 mit
einer hohen n⁺-Verunreinigungskonzentration auf der Ober
fläche des n⁻-Halbleitersubstrats des Drainbereiches 1 mit
einem Epitaxialwachstumsverfahren oder einem Verunreinigungs
atomdiffusionsverfahren ausgebildet. Auf der Oberfläche die
ses Substrats werden in dieser Reihenfolge ein dünner Oxid
film 100, ein Siliziumnitridfilm 101 für LOCOS, und ein Oxid
film 102 für einen Ätzschutz hergestellt, und diese dreilagi
gen Filme werden entfernt durch anisotropes Ätzen nur an sol
chen Stellen, an welchen Gateelektroden ausgebildet werden.
Daraufhin wird, wie in Fig. 4(B) dargestellt, der n⁺-Source
bereich 2 ein wenig durch anisotropes Ätzen entfernt, um sei
tengeätzte Abschnitte unter den Maskenfilmen auszubilden. Der
Grad dieser Seitenätzung bestimmt die Dicke H des Kanals bei
dem späteren Verfahren. Der Grad dieser Seitenätzung ist
steuerbar bis herunter auf 0,2 bis 2 µm ohne Dispersion.
Dann wird, wie in Fig. 4(C) dargestellt, ein Teil des n⁻-
Drainbereiches 1 tief entfernt durch isotrope Ätzung unter
Verwendung der Maskenfilme als Maske zur Ausbildung von Nuten
für Gateelektroden. Daraufhin wird die innere Oberfläche der
durch Ätzung ausgebildeten Nut um 20 nm durch Oxidation ent
fernt. Zu diesem Zeitpunkt kann der freigelegte Abschnitt des
Oxidfilms 100 entfernt werden. Daraufhin wird ein Silizium
nitridfilm 101 unter der Maske entfernt durch Naßätzung in
eine Form, wie sie in Fig. 4(D) gezeigt ist. Daraufhin wird,
wie in Fig. 4(E) dargestellt, ein Gateoxidfilm 4 (isoliertes
Gate) ausgebildet auf der Oberfläche der Gatenuten; ein p⁺-do
tiertes Polysilizium-Leitungsmaterial 3 wird in jeder Nut
abgelagert, um eine ebene Oberfläche zu erzielen. Dann, wie
in Fig. 4(F) gezeigt, wird die Oberfläche des freigelegten
Polysiliziums oxidiert durch ein LOCOS-Oxidationsverfahren zur
Ausbildung eines Zwischenschichtisolierfilms 5 auf der Ober
fläche des Gatematerials, so daß T-förmige isolierte Gates
erhalten werden. Daraufhin werden durch anisotropes Ätzen, wie
in Fig. 4(G) dargestellt, die verbleibenden Maskenfilme (Sili
ziumnitridfilm 101 und der dünne Oxidfilm 100) auf dem Source
bereich 2 entfernt. Weiterhin wird das Substrat 1 tiefentfernt
durch isotropes Ätzen unter Verwendung der T-förmigen isolier
ten Gates 3 als Maske zur Ausbildung beinahe vertikaler Nuten.
Bei diesem Ätzverfahren wird der dünne Bereich unter dem T-
förmigen isolierten Gate 200 jeder Kanalbereich, da das T-
förmige isolierte Gate 200 (Seitenwand) bereits auf der Sei
tenoberfläche jeder Gateelektrode 3 ausgebildet worden ist,
wenn der n⁺-Bereich 2 durch anisotropes Ätzen entfernt wird,
um jeden seitlichen geätzten Abschnitt unter dem Oxidfilm
100 auszubilden, wie unter Bezug auf Fig. 4(B) erläutert ist,
wenn das Substrat 1 geätzt wird, um die Steuergateelektrode
22 (dieselbe wie die Sourceelektrode) auszubilden.
Schließlich wird, wie in Fig. 4(H) gezeigt, ein Metall, wel
ches über einen Schottky-Übergang mit dem n⁻-Drainbereich-
Substrat 1 verbunden ist, in den Nuten abgelagert, die durch
Ätzen gebildet wurden. Dieses ohmisch mit dem n⁺-Source
bereich 2 verbundene Metall wird eine Sourceelektrode 22. Die
in Fig. 5 gezeigte Halbleitervorrichtung kann entsprechend
dem voranstehend beschriebenen Verfahren von (A) bis (H) her
gestellt werden.
Wie voranstehend beschrieben wurde, werden gemäß der vorlie
genden Erfindung die vertikalen Steuergates ausgebildet wie
folgt: Ein Teil eines Halbleitersubstrats 1 wird durch Ätzen
entfernt unter Verwendung des Maskenmaterials zur Ausbildung
seitengeätzter Abschnitte (Fig. 4(B)); ein T-förmiges isolier
tes Gate wird durch anisotropes Ätzen mit derselben Maske ge
bildet (Fig. 4(C)); ein Halbleiterbereich wird auf der Seiten
oberfläche des isolierten Gates und unter dem T-förmigen iso
lierten Gate 200 (Seitenwand) übriggelassen durch Ätzen des
Substrates mit diesem isolierten Gate als Maske (Fig. 4(G));
ein über einen Schottky-Übergang mit dem Substrat verbundenes
Metall wird in der Nut abgelagert, die durch Ätzen des Sub
strats ausgebildet wurde, zur Ausbildung eines Kanalbereichs
in dem Halbleiterbereich auf der Seitenwand des isolierten
Gates (Fig. 4(H)).
Die Kanaldicke H wird bestimmt durch den Grad des seiten
geätzten Abschnitts infolge der isotropen Ätzung, wenn das
isolierte Gate ausgebildet wird. Der Ätzungsbetrag ist etwa
0,2 bis 2 µm ohne Dispersion.
Bei dem Verfahren nach dem Stand der Technik wird ein Photo
prozeß eingesetzt zur Ausbildung der Sourceelektrode 22. Da
her wächst unvermeidlich die Größe der Aufbaueinheit der Vor
richtung (in Fig. 5 ist eine Halbaufbaueinheit gezeigt) auf
bis zu 7 µm oder mehr an unter Berücksichtigung der Überlap
pung mit dem Gatemuster, unter der Annahme, daß die minimal
ausbildbare Mustergröße der Photovorrichtung 3 µm beträgt.
Bei dem Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfin
dung ist es jedoch möglich, die Vorrichtungsstruktureinheit
bis auf etwa 3 µm herab zu verringern, da die Sourceelektro
de oder die Steuergateelektrode 22 durch ein selbstausrich
tendes Verfahren ausgebildet werden kann. Der voranstehend
beschriebene Vorrichtungsaufbau kann bei Vorrichtungen mit
niedriger Spannungsfestigkeit mit einem Substrat hoher Ver
unreinigungsatomkonzentration angewendet werden.
Wie voranstehend beschrieben ist es bei der vorliegenden Er
findung möglich, die Kanaldicke in der Größe einer Abmessung
der Herstellungspräzision zu verringern, da die Schottky
verbundenen Elektroden, die bislang durch einen Photoprozeß
hergestellt wurden, nunmehr unter Verwendung der T-förmigen
isolierten Gates mit einem selbstausrichtenden Verfahren aus
gebildet werden. Daher gibt es zahlreiche Vorteile in der
Hinsicht, daß die Vorrichtungsstruktureinheit verringert wer
den kann, die Stromkapazität der Vorrichtung vergrößert wer
den kann, und das Verfahren ist anwendbar bei Elementen mit
niedriger Spannungsfestigkeit mit einem Substrat mit hoher
Verunreinigungsatomkonzentration.
Claims (9)
1. Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung,
gekennzeichnet durch folgende Schritte:
- a) Ausbildung zumindest eines U-förmigen isolierten Gates (4) auf der Oberfläche eines Halbleitersubstrats (1) eines ersten Leitfähigkeitstyps;
- b) Freilegen eines Teils der Seitenwand des U-förmigen isolierten Gates (4) durch Ätzen des Substrats;
- c) Abdecken des freigelegten Teils mit einem Maskierungs material;
- d) Ausbildung der Seitenwand (200) des Maskenmaterials nur in der Nähe der Seite des freigelegten U-förmigen isolierten Gates (4); und
- e) Ausbildung zumindest einer Nut durch Ätzen des Sub strats annähernd vertikal unter Verwendung der Masken materialseitenwand (200) als Maske.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
weiterhin der Schritt vorgesehen ist der Ausbildung eines
Halbleiterbereiches (6P) eines zweiten Leitfähigkeitstyps
auf der Oberfläche der Nut und der Ablagerung von Metall
(22) in der Nut.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
weiterhin der Schritt der Ablage von Metall (22) vorge
sehen ist, welches einen Schottky-Übergang mit dem Sub
strat ausbildet.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
weiterhin der Schritt der Ausbildung eines weiteren iso
lierten Gates (404) in der Nut vorgesehen ist.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Maskenmaterial (200) ein Isolator ist, der Verunreinigungs
atome eines ersten Leitfähigkeitstyps bei hoher Konzentra
tion enthält, und daß weiterhin der Schritt der Ausbildung
eines Sourcebereiches (2) durch Anlassen vorgesehen ist,
um Verunreinigungen von dem Maskenmaterial in den Substrat
bereich neben dem Maskenmaterial einzudiffundieren.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Maskenmaterial (200) ein polykristalliner Halbleiter ist,
der Verunreinigungsatome eines ersten Leitfähigkeitstyps
bei hoher Konzentration aufweist, und daß weiterhin der
Schritt der Ausbildung eines Sourcebereiches (2) durch An
lassen vorgesehen ist, um Verunreinigungen von dem Masken
material in den Substratbereich neben dem Maskenmaterial
einzudiffundieren.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
Maskenmaterial (200) ein amorpher Halbleiter ist, der Ver
unreinigungsatome eines ersten Leitfähigkeitstyps bei hoher
Konzentration enthält, und daß weiterhin der Schritt der
Ausbildung eines Sourcebereiches durch Anlassen vorgesehen
ist, um Verunreinigungen von dem Maskenmaterial in den Sub
stratbereich neben dem Maskenmaterial einzudiffundieren.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wei
terhin der Schritt der Ionenimplantation der Verunreinigung
des ersten Leitfähigkeitstyps in die Oberfläche des Sub
strats vor dem Schritt der Ausbildung des Maskenmaterials
vorgesehen ist.
9. Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, die
einen Sourcebereich (2) eines ersten Leitfähigkeitstyps
auf der Oberfläche eines Halbleitersubstrats (1) eines
ersten Leitfähigkeitstyps aufweist, und die einen Bereich
aufweist, der zwischen einem isolierten Gate (4) und dem
Metall (22) angeordnet ist, der einen Schottky-Übergang
mit dem Substrat ausbildet und dasselbe elektrische Poten
tial zu dem Sourcebereich (2) aufweist, gekennzeichnet
durch folgende Schritte:
- a) Ausbildung eines Sourcebereiches (2) eines ersten Leitfähigkeitstyps und hoher Verunreinigungskonzen tration auf der Oberfläche eines Halbleitersubstrats (1) eines ersten Leitfähigkeitstyps;
- b) Ausbildung von Maskierungsfilmen (100, 101, 102) auf dem Sourcebereich;
- c) Ausbildung eines Teils der Filme für die Gateelek trode (3);
- d) geringfügiges Entfernen eines Teils eines Source bereiches (2) durch anisotropes Ätzen zur Ausbildung seitengeätzter Abschnitte unter den Maskierungsfil men;
- e) tiefes Entfernen des Substrats (1) durch isotropes Ätzen unter Verwendung der Maskierungsfilme als Maske zur Ausbildung einer Nut für die Gateelektrode;
- f) Ausbildung eines Gateoxidfilms (4) auf der Oberfläche der Gatenut;
- g) Ablagerung eines leitfähigen Materials (3) in der Nut als Gateelektrode;
- h) Ausbildung eines Zwischenschichtisolierfilms (5) auf der Oberfläche des Gatematerials zur Erzielung eines T-förmigen isolierten Gates;
- i) Entfernung der verbleibenden Maskierungsfilme auf der Oberfläche des Sourcebereiches (2);
- j) tiefes Entfernen des Substrats durch isotropes Ätzen unter Verwendung des T-förmigen isolierten Gates (3) als Maske zur Ausbildung einer beinahe vertikalen Nut; und
- k) Ablagerung von Metall in die Nut als Sourceelektrode (22).
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