Die Erfindung belriffi eine Lichllcitfaser aus erschmolzenem, dotiertem Siliziumdioxid sowie aus einen
unterschiedlichen Brechungsindex aufweisenden Matcrialbereichen, wobei ein Innenbcrcich einen höheren,
ein äußerer Bereich des F-'ascrlcilquerschnitts, bezogen
auf die Fasermittelachse, einen niedrigeren Brechungsindex aufweist, sowie Verfahren zu ihrer Herstellung.
Das Anwendungsgebiet der Lichtleitfaser ist die
Glasfaseroptik, wobei Licht mit Hilfe der mehrfachen
Totalreflektion in der Lichtleitfaser von einer Lichtquelle zu einer zweiten vorbestimmten, regelmäßig schlecht
zugänglichen Stelle übertragen wird, welche beleuchtet bzw. zum Beispiel bei medizinischen Eingriffen ausgeleuchtet
werden soll.
Bekannte Lichtleitfasern aus optischem Glas können eine beachtliche Lichtabsorption aufweisen, da sie mehr
Verunreinigungen enthalten als die aus geschmolzenem Siliziumdioxid (Kieselgur, Kieselerde), und die Höhe
ihres Reinheitsgrades ist durch das Ausgangsrohmaterial und das Schmelzverfahren beschränkt. Ferner ist es
bekannt, Lichtleitfasern aus erschmolzenem Siliziumdioxid als ummantelte Facern herzustellen. Die ummantelte
Faser wird dadurch hergestellt, daß eine geschmolzene, mit Metalloxiden dolierte Siliziumdioxidschicht
auf der inneren Oberfläche eines erschmolzenen Siliziumüioxidröhrchens niedergeschlagen wird, wobei
der Brechungsindex der Schicht höher als der des geschmolzenen Siliziumdioxids ist. Dann wird das
Material in sauerstoffhaltiger Atmosphäre gesintert, erhitzt, geschmolzen und einem Spinnverfahren unterworfen,
um den Hohlraum des Siliziumdioxidröhrchens zu verringern. Danach wird die Faser bei sauerstoffhaltiger
Atmosphäre erhitzt, um die metallische Komponente vollständig zu oxidieren.
Dieses Verfahren ist jedoch insofern nachteilig, als die
Wärmebehandlung die Festigkeit der Faser ver-ingert und nicht unwesentliche Absorptionsverluste entstehen.
Es ist zwar bereits eine Lichtleitfaser zur monomoden jo
Leitung von Lichtsignalen bekannt mit einem Kern und einem den Kern umhüllenden, mit ihm verschmolzenen,
einen niedrigen Brechungsindex aufweisenden Mantel, wobei zur Verminderung der Lichtvcrluste über große
Entfernungen aus einem besonderen synthetischen Quarzglas besteht, welches in besonderer Gasatmosphäre
behandelt ist, derart, daß das Quarzglas eine vorbestimmte Menge von Metallionen, von OH-Ionen
sowie Streuzentren pro Volumeneinheilen nicht überschreitet. Ηίτ geht es aber ausschließlich darum, die
Lichtverluste im Kern oder im Mantel optimal zu verringern, damit die Lichtleitfaser über große Entfernungen
überhaupt brauchbar wird (DE-AS 22 02 787, nicht vorveröffentlicht).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lichtleitfarer anzugeben, die eine erhöhte Festigkeit
sowie einen höheren Reinheitsgrad autweist, bei der der Brechungsindex des äußeren Bereiches (Mantels), bei
verminderten Absorptions- und Streuverlusten, leicht veränderbar ist als auch gute Verspinneigenschaften w
aufweist.
Erfindungsgemäß wird h'erfür vorgeschlagen, daß der
innere Faserbereich mit höherem Brechungsindex aus erschmolzenem Siliziumdioxid und der Außenbereich
mit niedrigerem Brechungsindex aus mit B?O) oder F «
dotiertem, erschmolzenem Siliziumdioxid besteht.
Eine Ausführungsform des Verfahrens sieht vor, daß zunächst eine aus geschmolzenem, mit B?O| oder F
dotiertem Siliziumdioxid bestehende Schicht auf der Außenoberfläche einer aus reinem erschmolzenem i>o
Siliziumdioxid bestehenden Stange oder eines Rohres niedergeschlagen wird und daß dann die Stange oder
das Rohr zusammen mit dieser niedergeschlagenen Schicht in an sich bekannter Weise zu einer Faser
geschmolzen und versponnen wird. Hierbei kann so hr>
vorgegangen werden, daß zuerst die B?Oj oder F
enthaltende Schicht und dann eine Schicht aus geschmolzenem Sili/.iunidioxid auf einer Stange bzw.
einem Rohr aus reinem, erschmolzenem Siliziumdioxid niedergeschlagen wird. Hierbei v/erden Fehler oder
Fehlstellen vermieden, die sonst dadurch entstehen, daß der Schmelzpunkt in dem SiOvBjOrSystem unter
denjenigen des geschmolzenen Siiiziumdioxids sich erniedrigt bzw. der Brechungsindex in dem SiOj-B)Oj-Materialteil
sich dadurch verringert, daß ein Spannungsdruck nach Bildung der Faser auf ihm lastet.
Erfindungsgemäß kann das Herstellungsverfahren für die Lichtleitfaser bei Temperaturen erfolgen, die eine
Verdampfung von BjOj ermöglichen sowie eine
ausreichende Bewegung von Gasblasen, die bei niedrigen Temperaturen gebildet werden, mit dem
Vorteil, daß solche Blasen unter Vakuum oder durch Anwendung von Ultraschallwellen entfernt werden
können, um in zweckmäßiger Weise den B^Oj-Gehalt in
dem System SiOj-BiOj zu vergrößern.
Das Verfahren kann so abgewandelt werden, daß auf die Außenoberfläche der mit BiOj oder F dotierten,
erschmolzenen Siliziumdioxidschicht eine Schicht aus wasserresistentem Glas niedergeschlagen wird. Hierdurch
wird in vorteilhafter Weise das Eindringen von Wasser bzw. Feuchtigkeit verhindert, die sonst eine
/Zerstörung der Netzstruktur der optischen Lichtleitfaser
beschleunigen würde.
Ausführungsformen der Erfindung sind in der 2'eichnung dargestellt und werden im folgenden näher
erläutert. Es zeigt
Fig. la Querschnitte durch eine erschmolzene Siliziumdioxidstange und ein Rohr vor oem Spinnen.
Fig. Ib Querschnitte bevorzugter Ausführungsforrnen und darunter, in graphischer Darstellung, die
Verteilung des Brechungsindex, wobei A eine ummantelte Lichtleitfaser. Sl und Ö2 eine O-förmige und C
eine Lichtleitfaser mit parabolischer Verteilung des Brechungsindex ist,
Fi g. 2 eine schematische Darstellung des Verfahrens
zur Herstellung einer aus Siliziumdioxid erschmolzenen Stange oder eines Rohres zwecks Verspinnen zj einer
Lichtleitfaser, wie in Fig. Ib gezeigt.
F i g. 3 eine zugehörige Vorrichtung zum Zuführen von BBn und SiCU mit Hilfe eines Sauerstoffträgers zu
einem Sauerstoff-Wasserstoff-Brenner, welcher in Fi g. 2 dargestellt ist,
Fig.4 Querschnitte anderer Ausführungsformen der
Lichtleitfaser mit einer weiteren SiO2-Schicht oder einer wasserresistenten Glasschicht, niedergeschlagen
am Umfang der aus Siliziumdioxid erschmolzenen Stange oder des Rohres, die bzw. das in Fig. I
dargestellt ist.
Hochreines, erschmolzenes Siliziiimdioxid im Innenbereich
I ist durch eine Schicht 2 des äußeren Bereiches umfaßt, bestehend aus rnit BjOj dotiertem, erschmolzenem
Siliziumdioxid. Es ist ein mit Luft gefüllter Hohlraum 3 vorhanden, vgl. flt, oder gefüllt mit B2OJ
dotiertem, erschmolzenem Siliziumdioxid, vgl. Bi. Da
der Brechungsindex des Außenbereiches 2 niedriger liegt als der des Itmenbereiches 1, unterliegt das Licht im
Bereich 1 der Totalreflektion. Die graphische Darstellung, vgl. C. zeigt, daß der Brechungsindex in den Teilen
des Aufk'nbereiches 2 verringert wird, welche näher der Oberfläche liegen, da diese Oberflächenteile mehr B2OJ
enthalten.
Das ist ebenfalls anwendbar in einer Faser, welche F in der SiOp-Schicht enthält, wobei der einzige
Unterschied in der Dotierung bzw. dem Dotierungsmittel liegt.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung eines
Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zur Herstellung eines aus Siliziumdioxid erschmolzenen Rohres oder
einer Stange, welche zu Fasern von der in Fig. Ib gezeigten Gestalt versponnen werden sollen. Es ist
insoweit allgemein möglich, Hydride. Halogenide oder organische Verbindungen von Bor und Silizium zu SiCh.
welches B2OJ enthält, zu oxidieren, und das SiOrB2O)-Material
kann auf der Außenoberfläche der Stange oder des Rohres niedergeschlagen werden, welche bzw.
welches vorher durch mechanisches Polieren. Laserfeinbearbeitung,
Korundpolieren, Waschen in Fluorsäurc oder durch Feuer gereinigt wurde. Gemäß F i g. 2 wird
eine aus Siliziumdioxid erschmolzene Stange oder ein Rohr I als Innenbereich so angeordnet, daß sie bzw. es
wechselweise hin und her in der Längsrichtung dieses Bauteils bewegt werden und ferner um die Rohr- oder
Stangenachse rotieren kann. BBrj und SiCU. suspendiert
Wasserstoff-Brenner zugeführt, an dessen Ausgang sich folgende Reaktion abspielt:
SiCI4 + 2 H2 + O2 = SiO2 + 4 HCI
4 BBn + 6 H2 + 3O2 = 2B2O1 + 12HBr
Hierbei schlagen sich die Reaktionsprodukte B2O1
und SiO2 bei hoher Temperatur in Form eines Pulvers oder in glasartigem Zustand auf der Stange oder dem
Rohr nieder.
Fig. 3 zeigt eine im Sauerstoffstrom vorhandene Vorrichtung, um RBrj und SiCU dem Sauerstoff-Wasserstoff-Brenner
gemäß F i g. 2 zuzuführen. Hier wird Sauerstoff in einer Vorrichtung 11 gereinigt, dann einem
Strömungsmesser 12 zugeführt, dann der Sauerstoff unter Verwendung eines Dreiweghahnes 13 einer aus
BBrj oder SiCU bestehenden Flüssigkeit 16 zugeführt, in
welcher Bläschen (Perlen) aus Sauerstoff gebildet werden. Der Sauerstoff wird weiter über Hahn 14 zu
einem Verdampfer 15 in einem thermostatisch geregelten Bad 17 geleitet. BBrj- oder SiCU-Dampf wird somit
in das Sauerstoffgas eingeimpft, und die Gasmischung wird einem Brenner zugeführt.
Außer dem Sauerstoff als Trägergas kann, je nach Einzelfall, ein anderes Trägergas, z. B. Wasserstoff
u. dgl., verwendet werden.
Die Hcizquelle ist nicht zwingend auf die Verwendung
einer Sauerstoff-Wasserstoff-Flamme eingeschränkt,
sondern man kann, je nach Einzelfall, einen Elektroofen, einen Hochfrequenz-Plasmaofen oder
andere öfen verwenden.
Das Schmelzen und Spinnen einer Stange D oder eines Rohres £ das auf diese Weise gewonnen ist (wobei
der Innenhohlraum entweder frei bleibt oder mit einer S^-BjOj-Komponente nach Reinigen des Hohlraumes
gefüllt wird), vgl. Fig. la, ergibt Fasern A. Bi, B2 und C. vgl. F i g. Ib. Die Stange D wird zu Fasern A und C
versponnen, das Rohr E zu Fasern A und C, falls der Hohlraum beseitigt wird; ferner zur Faser B 1. wenn der
Hohlraum belassen wird, und zur Faser B 2, wenn der Hohlraum gefüllt wird.
Eine in Fig. la gezeigte Faser mit einem S1O2-B2O3
enthaltenden Teil 3 kann dadurch hergestellt werden, daß man auf einer gereinigten Oberfläche aus SiO2-B2Os
eine SiO2-Schicht niederschlägt und dann hier auf eine
weitere, aus S1O2-B2O3 bestehende Schicht niederschlägt.
Je nach Einzelfall ist es möglich, eine Faser
herzustellen, bei der der Brechungsindex eine parabolische Verteilung hat indem man den Teil 1, vgl. Fig. 1, in
der Stange oder im Rohr verringert oder wegläßt.
Das Niederschlagen einer SiO2-Glasschichl, welche F
enthält, geschieht folgendermaßen:
Es wird dafür Vorkehrung getroffen, daß der Stab oder das Rohr 1. welcher bzw. welches aus reinem
geschmolzenen Siliziumdioxid besteht und eine gereinigte Oberfläche aufweist, eine axiale, hin- und
hergehende als auch eine rotierende Bewegung ausführen kann, wobei die Reinigung wie anhand der
Fig. 2 erläutert stattfinden kann. Die Außenfläche der Stange oder des Rohres wird mit SiF4-Gas bespült; es
findet folgende Reaktion statt, um SiO2 zu bilden, wobei
!■'in SiO2 eingeschlossen wird:
SiF4 + 2 H2O + O2 = SiO2 + 4 HF
Im allgemeinen gewinnt man SiO2 durch Oxidation
von SiF4, hierbei wird eine relativ kleine Menge von F in
dem SiO2 aufgenommen. SiF4 kann synthetisiert werden.
7 Π Hiirrh ihrrmisrhrn Zprfall pul bekannter hochreiner
Verbindungen, z.B. BaSiFb. K2SiFs, H2SiF-S u.dgl..
oder durch eine Reaktion zwischen SiO2 und HSOjF und
zwischen SiCU und F: 2.
Fs können andere Verbindungen statt SiF4 in Form
von Halogeniden, Hydriden und organischen Verbindungen verwendet werden; sie werden mit F2O
enthaltendem O2 oxidiert. Abweichend hiervon kann während der Oxidationsstufc. wenn erwünscht, F2
zugeführt werden. Vorzugsweise soll die Oxidation durch einen Reaktionsablauf erreicht werden, bei dem
Wasserstoff oder H2O nicht anwesend sind, z.B. in einem Hochfrequenzplasma, weil es hierbei zu einer
Bildung von HF nicht kommt.
[line Stange F oder ein Rohr G. vgl. F'i g. 4a, werden
bei einer anderen Ausführungsform verwendet, bei der eine zusätzliche SiO2-Schicht oder eine wasserresistente
J5 Glasschicht weiterhin auf der äußeren Oberfläche der
Stange D oderdes Rohres L·'. vgl. Fig. la,niedergeschlagen
wird.
Die Schicht 4 kann in gleicher Weise wie die Schicht 2
niedergeschlagen werden, indem man SiCI4 zu SiO2
oxidiert oder dadurch, daß man eine Glasfrittc anwendet, welche einen etwa gleichen Ausdehnungskoeffizienten
hat.
Die Stange F bzw. das Rohr Gin F i g. 4a kann auch
durch ein unterschiedliches Verfahren hergestellt werden, wobei eine Stange D oder ein Rohr E. vgl.
Fig. la, in ein aus wasserresistentem Glas bestehendes
Rohr oder ein aus erschmolzenem Siliziumdioxid bestehendes Rohr 4 eingeführt wird. Dann wird Rohr 4.
welchts die Stange D oder das Rohr Eenthält, auf eine
hohe Temperatur erhitzt und an beiden Enden einer Zugbeanspruchung unterworfen, so daß die spaltartigen
Leerräume zwischen der Stange D bzw. dem Rohr E und dem Rohr 4 verschwinden. Die Stange F, eine
Stange gemäß Darstellung C oder ein Rohr G können ebenfalls in unterschiedlicher Weise hergestellt werden.
Zum Beispiel kann die Stange F dadurch hergestellt werden, daß dotiertes, geschmolzenes Siliziumdioxid,
welches B2Oj oder F enthält, auf der Innenoberfläche
eines aus wasserresistentem Glas bestehenden Rohres bzw. eines Rohres 4 aus erschmolzenem Siliziumdioxid
niedergeschlagen wird und dann eine aus reinem erschmolzenem Siliziumdioxid bestehende Stange mit
gereinigter Oberfläche oder eine reine, aus erschmolzenem Siliziumdioxid bestehende Stange, auf welcher eine
(A Schicht aus dotiertem, geschmolzenem, B2Oj oder F
enthaltendem Siliziumdioxid niedergeschlagen ist, in das mit der niedergeschlagenen Schicht versehene Rohr
eingesetzt wird. Dann wird das die Stange enthaltende
Rohr auf cine hohe Temperatur erhitzt und an beiden
l'nden einer Spannung unterworfen, so dal! die Spalten
/wischen Stange und dem Rohr verschwinden.
Das Rohr Ci kann dadurch hergestellt werden, dall
dotiertes, geschmolzenes. HjOi oder I' enthüllendes
Siliciumdioxid zuerst niedergeschlagen und dann reines g.-ichmol/encs Siliciumdioxid auf der Innenfläche eines
aus wasserresisteniem Glas bestehenden Rohres oder auf der Innenfläche eines erschmolzenen Siliziumdioxid
rohrcs 4 niedergeschlagen werden. Die Stange f>".
I' ι g. 4a. kann dadurch hergestellt werden, d.itt dotiertes,
geschmolzenes IiO ι oder I einhaltendes Siliciumdioxid
niedergeschlagen wird, dann reines geschmolzenes Siliziiimdioxid niedergeschlagen wird bzw dotiertes,
geschmolzenes. 11.,O1 oder I ent hallendes Siliciumdioxid
wechselweise auf der inneren Oberfläche eines aus wasserresisicntem (ilas bestehenden Rohres oder aus
^•rt^lii)w»l_/*_'ntj ;n s;i|i y iijnulut^ κ! Ιιι·^Ιί·[* I1M(It1M Rnhri'S 4
niedergeschlagen wird. Dann wird dieses Rohr (oder ein
Rohr, in welches geschmolzenes, IM)ι oder Γ einhaltendes
Siliziiimdioxid in Γοπιι einer Stange eingesetzt
worden ist) auf hohe Temperatur erhitzt und an beiden Fnden einer hohen Zugbelastung ausgesetzt, so dall der
Spaltraum zwischen dem Rohr und der Stange verschw indet.
Die Stange /und das Rohr (1 werden zu lasern A
und ( . ν gl. I ι g. 4b. \ersponnen, wenn der I lohlraiim des
Rohres (>' \erschwiindcn ist.
Das Rohr (i gemäß I i g. 4a wird ebenfalls zu einer
f'iser lh- w ic in I ι g 4b gezeigt, versponnen, wenn der
Hohlraum nicht gefüllt ist. während eine Stange (ί im
Sinne ilcr IΊ g. 4a zu einei laser li;. vgl. Γ i g. 4b.
versponnen w ι rc).
Bevorzugte Ausfiihrungsheispiele der l.rfindung sind
nachfolgend anhand von Ausführungsbcispielen erliiulcrt.
Wenn nicht anders angegeben, sind die l'rozentantcile
(lew ichtsprozente.
(5 c i s ρ ι e I
In der Vorrichtung gemäß f ι g. i wird Argon .ils
Trägergas mi' einer Flußgeschwindigkeit von 2 1 min
benutzt und HBrj und SiCI1 einem Brenner zugeführt,
wahrend die Temperatur des Verdampfers 5 30 ( betragt, (λ werden bO l/min Wasserstoffgas und 45 l/min
Sauerstoffgas dem in I i g. 2 gezeigten Brenner zugeführt Die äußere Oberfläche der reinen, erschmolzenen,
aus .Siliziiimdioxid bestehenden Stange von IO mm Durchmesser wurde der Brennerflamme zwei
Stunden ausgesetzt, um eine Stange von etwa 20 mm Durchmesser zu bilden. Die Stange wurde in einem
Vakuum bei 1 5(10 ( zwei Stunden lang erhitzt und dann
durch F.rhii/cn in einem Hochfrequenzofen versponnen.
Man erhält dann eine Faser mit einem Kerndurchmesser von 75 um und einer niedergeschlagenen Schicht mit
150 um Durchmesser. Bestrahlt man diese Faser mit
Laserlicht, so wird das Licht praktisch vollständig totalreflektiert, wobei auch die Streu- und die
Übertragungsverluste sich verringern.
Die Lichtleitfaser kann eine ummantelte O-förmige Faser sein. Da vollständig oxidiertes SiO: oder B>Oj auf
der reinen Oberfläche eines hochreinen, erschmolzenen,
mit B2Oj als auch F dotierten Siliziumdioxidkörpers
niedergeschlagen wird, ist die Zwischenfläche in vorteilhafter Weise weder verunreinigt noch gibt es
dor! Gasbläschen (treten nämlich eingeschlossene Gasbläsehen auf. müßten diese durch l-lrhit/en im
Vakuum oder durch Anwendung von Ultraschall beseitigt werden), so daß Slrcuverhislc in der Zwischen
schicht zwischen zwei erschmolzenen Siliziumdioxidlei len unterschiedlicher Brechiingsimlizes herabgesetzt
wet Jen.
lerner ist der Brechungsindex leichler auswählbar,
indem lediglich die Menge des zugesetzten IU)ι im
geschmolzenen Siliziiimdioxid verändert wird. Weiter ist vorteilhaft, daß die für das Verfahren ;ils Ausgangs
rohstol'c verwendeten Ilalogenide, 11 winde odei
organischen Verbindungen von B und Si ,ils auch das
Sauerstoffgas im hochreinen Zustand zur Anwendung kommen, so daß der Anteil an Verunreinigungen in dem
geschmolzenen. H.()ι enthaltendem Siliciumdioxid ν er
ringen wird. Dies verrinrerl die Ahsorplionsverliiste
und gestatte!, eine laser leichter herzustellen, bei ilei
<li.· V .ί iimImmj» iti-v. llrrrhiinesiiulcx parabelförmig
verläuft un.l die l.ichtüberlragungsv cringle außerordentlich
stark verringert werden.
Da der Finschluß von Fluor im wesentlichen die l.ichlabsorplion nicht beeinflußt, kann das Verfahren in
vorteilhafter Weise zur Gewinnung einer l'aser benutzt werden, bei der die IIbertriigungsVerluste so nieiirig wie
bei erschmolzener Siliziunulioxidfaser liegen Weiler isi
vorteilhaft, daß die Große des Brechungsindex leichter
auswählbar ist und bei der Faser die Gesaniiverluste
verringert werden.
Bei einer bevorzugten Ausfuhrungsfoim ist die
Lichtleitfaser mit einer weiteren Si().>-Schicht versehen,
die auf der Oberfläche der ersleren niedergeschlagen
isi:
In der IM>i · nlhalleiulen SiO.·-Schicht wird ihre
Schmelztemperatur verringert, wenn tier IM)|-Gchali
vergrößert wird, um dadurch den Wert des Brechungsindex
zu verringern; hierbei vergroßen sich die Viskosität dieses Teils, wodurch seme I orm im
geschmolzenen Zustand beim Verspinnen deformiert wird lim die Deformation zu vermeiden und ein
Verspinnen zu guten lasern zu gewährleisten. « ril
vorzugsweise eine zusätzliche SiO.-Schicht auf diesen Teil niedergeschlagen. Γιη weilerei Vorteil besteht
darin, daß der Brechungsindex der SiO.· Schicht wegen der auf sie ausgeübten Spannung nach dem Verspinnen
herabgesetzt wird, weil der Ausdehnungskoeffizient ties
Si()..-B.O!-Svstems hoher als der des geschmolzenen
Siliziumdioxids liegt.
In der F enthallenden SiO.-Schichl liegt die
wasserrcsistentc Glasschichl im stabilen Zustand bei
Raumtemperatur, bezogen auf die atmosphärischen Parameter, einschließlich Feuchtigkeit vor. I
>.is Findrin gen von Wasser in den das dotierte, geschmolzene
.Siliziumdioxid schützenden Teil 2 wird verhindert.
Ferner ist vorgesehen. Fluor gleichmäßig im SiO; /ü
dispergieren, um den Fluorgchall im Siliziiimdioxid /u
überwachen. Auch können Maßnahmen vorgesehen werden, um das Eindringen des Wasserstoffes während
der eigentlichen Herstellung, z. B. die nachteilige Einwirkung von Wasserstoff während des Schmelzens
zwecks Verspinnung zu verhindern, um die versponnene Faser vor Zerstörung zu schützen.
Die Lichtleitfasern werden als optische, auch kabeiförmige Verbindungsleiter, in Lichtleitern zwischen
Lichtquellen und den auszuleuchtenden Bereichen ii. del. eingesetzt.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen