| Die Erfindung bezieht sich auf eine fialbleiteranordnung mit
minde- |
| stens einer elektrisunen Anschiußstelle, an welcher- ein vom
Halb- |
| leiterelement ausgehender, vorzugsweise elektrischer biegsame
r |
| Anschlußleiter in-das innere Metallrohr einer elektrisch isolieren- |
| den Du r@cr) füi:r#ung eingeführt oder du rc i:. dieses li.e
tall rotir hindurch- |
| geführt ist und darr. in dE:m Ketallrohr mit seiner äußeren
IJIantel- |
| fläche un dessen Innenwand durch eine an diesem :ketallrohr
r-":i |
| außer. durcfigefiihr-te Vcrquetschung, und zwar ini letzteren
falle vor- |
| zugsweise Iraadicht fest@;e:;E@annt i:;t. |
.Liei einer in dieser Weise aufgebauten Halbleiteranordnung hat
sich beim Festspannen des Anachäußleiters, insbesondere wenn dieser z.B. in 1)rantforin
unter Anwendung des gleichen Verquetschungsm.ißes auf de,', Länge dieser Otrecxe,
insbesondere wenn dieseer zurr gleichzeitigen dichten Absch-Luß des das Halbleiterelement
einzuschließenden Raumes festgespannt worden i st, ergeben, daß beim betriebsmäßigen
i;insatz der Halbleiteranordnung an dem Anschlussleiter an seiner Austrittsstelle
aus der Verquetschungsstelle sehr leicht in unerwünschter ',Heise Brucherscheinungen
auftreten können. Biese sind vermutlich darauf zurückzuführen, daß durch den Vorgang
der Verquetschung doch auch eine solche Beanspruchung des Anachlußleiters unmittelbar
an seiner Austrittsstelle aus der Verquetschungsstrecke, also des dieser benachbart
liegenden Anschlußtei.les, stattgefunden hat, daß das Gefüge derart nachteilig im
Sinne
| einer Versprödung verändert worden ist, die dann naturgemäß
bei auf |
| den freiliegenden Anschlußlei terte ilen ausgeübten Erschütterungen |
| bzw. an diesem hervorgerufenen i:ciiwingun#;en einen unerwünschten |
| Bruch des AnachluLileiters zur Entstehung gelangen läßt. |
| Der vorliegenden #-:rfindung liegt die r;rKenntnis zugrunde,
daß sich |
| solche lÜange Lersche inungen bei ilalhleiterano rdnungen mit
Anschlu(s- |
| stellen der angeführten Art vermeiden lassen, bzw. daß solchen
Er- |
| scheinungen vorget)eugt werden scann, indem erfindungsgemäß
der. |
| Betrag der Verquetschung über die Längenausdehnung der Verquet- |
| schungsstellE; an verschiedenen Längenanteilen b--w.
Strecken der- |
| selben derart verschieden groß gewählt ist, daß auf die Stelle
bzw. |
| Strecke größter Verauet;ichung , mindestens in hichtunr;
auf das einge,- |
| scnlossene Hulbl:eitereleuient eine oder mehrere :trecken mit
einer |
| derart geringeren Verquetschung nach Form und Tiefe folgen,
welche |
| lediglich noch eine gegenseitige mechanische Verbindung von
An- |
| schlußleiter Und Einspannrohr für eine Zugentlastung des frei- |
| getragenen Ans.#hluileiters sicriert. |
| Pür die Verwirkiicllunü dieses Merkmales bei einer Malblei
ter- |
| anordnung kennen im Rahmen der .Erfindung versohiedene Lösungs- |
| wege beschritten werden. |
| So kann für'Anschlußleiter auf anteiligen Strecken, welche |
| der btelle bzw. Strecke der größten Verquetschung folgen, das. |
| Maß der Verquetschung stufenweise abnehmend gewählt werden. |
| Ein ähnlicher Lösungsweg ergibt sich, wenn von dem Längenanteil |
| der Verquetschungsstelle mit der größten Verquetschung aus |
| die-Verquetschung in Richtung auf das Ende der Verquetschungs- |
| stelle zu :teti@; abn-r:r:lt. |
| Nach e n("e. d rtt e:@ @..,sungsweg kann die Verque tschungsstelle
derart |
| U;e::ta.itet werden, da;ii der Anscrllußleiter an seiner Außenmantel- |
| fläche und d3:.- Rohr an seiner Innenmantelfläche zur |
| v:)r#zu#fwreise unmittelbar gasdichten Anlage |
| xorrmen, wiinrend un cie:r naci,foigenden Strecke des Anschlußleiters |
| nur noch uE=i a:: 'feile fier e -'ne bi ldung gegenseitiger
Eingriffsstellen |
| :nittels e.:rer t;inkerbunC mechanisch durch ein Schlag- oder |
| 1 .e.W erl:zes - . rv.ro. ;,-*- -,rrer;3en. |
| Aufi):nu c:@ner° ilu.:clei teranordnung an einer An- |
schlußstelle kann derjenige Anschlußleiteranteil, welcher dem erfindungsgemäß
eingespannten nachfolgt, an der Übergangsstelle von der Einspannung zum freigetragenen
Leiterteil kaum eine merkliche mechanische Beanspruchung erfahren, so daß also nachteilige
Gefügeänderungen an jenem freigetragenen Anschlußleiterteil nicht zur Entstehung
gelangen können, sondern dieser Anschlußleiterteil behält vielmehr seine einwandfreie
und leichte Biegsamkeit und somit können auch betriebsmäßig auf die Halbleiteranordnung
gelangende nachteilige Schwingungserscheinungen nicht mehr solche angeführten Brucherscheinungen
an einer solchen Stelle des Anschlußleiters hervorrufen. Zur näheren Erläuterung
der Erfindung anhand eines entsprechenden Ausführungsbeispieles wird nunmehr auf
die Figuren der Zeichnung Bezug genommen. In Figur 1 ist ein Halbleiterbauelement,
z. B. eine Siliziumdiode, dargestellt mit einem Grundplattenteil 1, der z. B. aus
Stahl besteht. An der inneren Fläche dieses Grundplattenteiles ist das Halbleiterelement
2. durch Rötung, gegebenenfalls innerhalb einer an der Platte 2 vorgesehenen Aussparung,befestigt.
Das Halbleiterelement 2 ist gasdicht gekapselt, indem ein zweiter becherförmiger
Gehäuseteil 3 vorgesehen ist. Dieser becherförmige Teil besteht aus einem metallischen
zylinderförmigen Mantelteil 4, welcher anteilig am Boden der becherform an der Bildung
einer elektrischen isolierenden Durchführung beteiligt ist, z.B. einer Druckglasdurchführung,
deren Isoliermaterialkörper.mit 5 und deren
metallischer Innenleiter
durch das Rohr 6 gebildet wird, welches sich über die äußere Fläche des IsolierKörpers
5 hinaus freiausladend erstreckt. Der becherförmige Gehäuseteil ist an seinem freien
Hand mit dem Grundplattenteil an einem Absatz la@z.8. elektrisch mittels Widerstandsverschweißung
gasdicht durch Aingbuckelschweißung verschweißt. In dieses Metallrohr 6 ist bei
der hIcntage des Halbleiterbauelementes ein von einer Anschlußstelle am Halbleiterelement
2 ausgehender elektrischer, drahtförmiger Anschlußleiter 7 mit einer solchen Länge
eingeführt worden, ,daß er sich bis in den Längenbereich 8 erstreckte, an welchen
dann eine derartige. äußere Einwirkung mittels eines Preß- öder Druckwerkzeuges
auf die äußere Mantelfläche des Metallrohrs 6 stattgefunden hat, welche eine gegenseitige
dichte Anlage zwischen einer verformten Außenmantelfläche von 7 und einer verformten
Innenmantelfläche von 6 entstehen läßt. Bei dieser Verquetschung wird noch ein rohrförmiger
äußerer Restlängenanteil 6a unverformt gelassen, der für das Einführen und Befestigen
z.B. durch Festlöten oder Anschweißen eines äußeren elektrischen Anschlußleiters
9 benutzt werden kann. Das angeführte Preßwerkzeug kann auch durch Körper gebildet
werden, welche gleichzeitig L-:lektroden einer elektrischen Widerstandschweiß-Vorricntung
sind, so daß also mit der Verquetschung gleichzeitig eine solche Erwärmung und gegenseitige
AnpreEkiung der einander umschließenden Teile stattfindet, däß zwischen ihren zur
gegenseitigen Anlage kommenden Mantelflüchen eine gegenseitige Verscnweißung
stattfindet
oder eine Hartverlötung, wenn z.b. 7 aus äilber besteht und somit unmittelbar das
Hartlot für seine Verbindung mit dem lietallrohr 6 liefert. Der Längenbereich 8
besteht aper nun erfindungsgemäß aus zwei :;trecken 8a und 8b, die, wie die vergrößerte
Teildarstellung nach Figur 2 noch deutlicher erkennen läßt, auf Grund-je eines unterschiedlichen
Verquetsenungsmaßes zur i@ntstehung gelangt sind. An der Strecke 8a sind der Anschlußleiter
7 und das idetallrohr 6 viel stärker miteinander verquetscht worden als an der Strecke
8b, an welcher nur noch eine solche gegenseitige mechanische Verbindung erzeugt
worden ist, welche eine ZugentlastÜng für den Anschlußleiter 7 in Richtung auf das
Halbleiterelement 2 gewährleistet, während an der helle 8a eine gasdichte gegenseitige
Verbindung
| zwischen 7 und LG) erzeugt sein soll, welche somit einen
gasdichten |
| Abschluß des das Halbleiterelement einschließenden Raumes des |
| Halbleiterbauelementes gegenüber der umgebenden Atmosphäre
sichern |
| soll. |