DE1250135B - - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. Cl.:

GOIb

Deutsche Kl.: 42 b-12/05

Nummer: 1250135

Aktenzeichen: R 37584IX b/42 b

Anmeldetag: 1. April 1964

Auslegetag: 14. September 1967

Die Erfindung bezieht sich auf ein Oberflächenprüfgerät zum Messen oder Anzeigen der Rauhigkeiten oder Wellungen einer Oberfläche mittels eines einen Fühlstift und einen Gleitstift aufweisenden, durch eine Antriebsvorrichtung über die Prüffläche hinwegbewegten Tastkopfes und mit einer die Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes und des Gleitstiftes in elektrische Signale umwandelnden Einrichtung, wobei die beiden Ausgangssignale miteinander verglichen werden und das Differenzsignal einem Anzeigeinstrument züge- ίο führt wird.

Bei einer bekannten Ausführung eines Oberflächenprüfgerätes der vorgenannten Art hat der Gleitstift ein abgerundetes, über die Prüffläche hinweggeführtes Ende, während der Fühlstift eine scharfe Spitze besitzt. Der. Unterschied in der geringen Schärfe der Spitze des Gleitstiftes relativ zur schärferen Zuspitzung des Fühlstiftes bestimmt die Grenzfrequenz des Gerätes im Bereich niedrigerer Frequenzen, bei der die Häufigkeit von Rauhigkeiten oder Wellungen der Prüffläche gerade noch durch den Fühlstift gemessen und angezeigt werden kann. Bei dieser Ausführung kann der Gleitstift fortlaufend einen Bezugspunkt für die Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes liefern, und zwar entweder einen körperlichen Bezugspunkt, wenn der Gleitstift und der Fühlstift mechanisch einer zweiteiligen Einrichtung zur Umwandlung der Arbeitsbewegungen des Gleitstiftes bzw. des Fühlstiftes in elektrische Signale zugeordnet sind, oder einen elektrischen Bezugspunkt, wenn die Ausgangssignale zweier elektromechanischer Wandler miteinander verglichen werden. Bei dem bekannten Gerät sind Fühlstift und Gleitstift in Richtung der Abfühlbewegung durch einen Abstand voneinander getrennt, der bei der Auswertung der Arbeitsbewegungen nicht berücksichtigt wird; vielmehr ist für die Auswertung unterstellt, daß die zu prüfende Oberfläche eine Struktur besitzt, die~~sich von einem abgefühlten Punkt zum nächsten_mcht..stark ändert und daß der Abstand zwischen Fühlstift und Gleitstift so klein ist, daß die tatsächlichen Arbeitsbewegungen des Gleitstiftes praktisch "ebenso groß sind, wie wenn sie auf den Fühlstift übertragen öder dessen Afbeitsbewegungen überlagert würden, d. h. wie wenn Gleitstift und Fühlstift tatsächlich am "gleichen" Punkt der Prüf fläche angreifen wjirdenr Diese Voraussetzung einer brauchbaren Arbeitsweise des bekannten Gerätes ist jedoch bei vielen Prüfflächen nicht gegeben, so daß Meßfehler^ zufolge des Abstands von Fühlstift und Gleifsfüt auf- " treten;" insbesondere dann, wenn eine "relatiVhohe Grenzfrequenz gegefreTristrSIeT die "Verwendung" eines relativ scharf zugespitzten Gleitstiftes erforderlich Oberflächenprüfgerät zum Messen oder
Anzeigen der Rauhigkeiten oder Wellungen
einer Oberfläche

Anmelder:

Rank Precision Industries Limited,
trading as THE RANK ORGANISATION,
RANK TAYLOR HOBSON DIVISION,
Leicester (Großbritannien)

Vertreter:

Dr. W. Schalk, Dipl.-Ing. P. Wirth,

Dipl.-Ing. G. Dannenberg

und Dr. V. Schmied-Kowarzik, Patentanwälte,

Frankfurt/M., Große Eschenheimer Str. 39

Als Erfinder benannt:

Richard Edmund Reason,

Great Bowden, Market Harborough,

Leicestershire (Großbritannien)

Beanspruchte Priorität:
Großbritannien vom 1. April 1963 (12 802),
vom 5. März 1964 (9355)

macht. Bei dem bekannten Gerät ist zur Abhilfe des vorgenannten Übelstandes zwar vorgesehen, daß der Gleitstift hohl ausgebildet wird und der Fühlstift durch den Gleitstift hindurch bis zur Prüffläche vorragt. Im praktischen Gebrauch liefert jedoch diese Anordnung nicht die angestrebte erhöhte Meßgenauigkeit, weil der Hauptkörper des Fülilstiftes nicht mit genügend kleinem Querschnitt ausgebildet werden kann und er, um seine Arbeitsbewegungen auszuführen, einen Zwischenraum zur inneren Oberfläche des Gleitstiftes frei lassen muß, so daß dieser entsprechend groß ausgebildet werden muß.

Da aber die angestrebte vollständige physikalische, örtliche Obenagefm^a^ie^ilrge^MMifsbewegäng des Fühlstiftes mit der gleichzeitigen Arbeitsbewegung des~Gleitstifte's*ä'n ein und demselben Punkt der Prüffläche nicht möglich ist, ist bei einem anderen bekannten Oberflächenprüfgerät der eingangs genannten Art vorgesehen, daß Fühlstift und Gleitstift beim Überschreiten der Prüffläche ihre Arbeitsbewegungen unabhängig voneinander ausführen und dabei jeder Stift

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für sich eine gesonderte Einrichtung zur Umwandlung seiner Arbeitsbewegungen in elektrische Signale betätigt. Die dabei erzeugten Ausgangssignale dieser Einrichtungen werden unter Zwischenschaltung eines Zeitrelais miteinander verglichen, wobei dessen Verzögerungszeit dem Abstand zwischen Fühlstift und Gleitstift entspricht. Auf diese Weise wurden die Ausgangssignale synchron zu den Rauhigkeiten und Wellungen der Prüffläche miteinander kombiniert und

gäbe, eine hohe Meßgenauigkeit für ein Gerät der eingangs genannten Art zu gewährleisten.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe., zugrunde, ein Gerät der eingangs genannten Art zur Messung der __ Rauhigkeiten oder Wellungen einer Oberfläche relativ zu einer~TOn~dn^nT"GTeitstift abgeleiteten Bezugslinie zu schaffen'rbei"defntl'ef körperliche Abstand zwischen Fun"istiff"ün"d" Gleitstift keine Auswirkungen auf die

Genauigkeit der Messungen hat und das auch zum z. B. als Differenzsignal einem Anzeigegerät zugeführt. io Prüfen der Innenflächen von Hohlräumen und Boh-Bei dieser bekannten Ausführung ergeben sich jedoch rungen geringer Größe brauchbar ist. wesentliche Nachteile für den Aufbau des Prüfgerätes, Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge-

da durch die voneinander unabhängige Lagerung der löst, daß der Fühlstift und der Gleitstift nebeneinander beiden Stifte die Bauform des Abnehmerkopfes notwen- an einem gemeinsamen Haltearm befestigt sind, der digerweise so umfangreich wird, daß das Gerät zum 15 mittels eines Gelenklagers am Tastkopf sitzt und durch Prüfen von Innenflächen, insbesondere von engen Schwenkbewegungen den elektromechanischen Wandler beaufschlagt, und daß durch eine automatische

Bohrungen, nicht mehr brauchbar ist. Heutzutage werden jedoch durchweg Oberflächenprüfgeräte, die auch zum Prüfen der Innenfläche von kleinen Bohrungen brauchbar sind, benötigt.

Ein weiterer Nachteil des bekannten Gerätes besteht darin, daß die angestrebte erhöhte Meßgenauigkeit, die insbesondere beim Arbeiten mit einer relativ hohen Grenzfrequenz erreicht werden soll, in Wirklichkeit

JJmsphaltvorrichtung die Neigung des Haltearms /•nacheinander derart veränderbar ist, daß einmal nur

20 der Fühlstift und sodann nur der Gleitstift über die Prüffläche gleitet und daß die elektrische Signalvergleichseinrichtung zur Erfassung des Differenzsignals der beiden Ausgangssignale von Fühlstift und Gleitstift eine Vorrichtung zur Speicherung der bei der nicht erreicht wird, weil durch die Verwendung zweier 25 ersten Abtastung der Prüffläche z. B. durch den Fühlgesonderter Einrichtungen zum Umwandeln der stift erzeugten Ausgangssignale und deren zeit- und

Arbeitsbewegungen von Fühlstift und Gleitstift in elektrische Signale unbestimmte Meßfehler neu eingeführt werden. Gerade beim Arbeiten mit hoher Grenzfrequenz wird nämlich das Signal, das Oberflächenrauhigkeiten hoher Frequenz darstellt, durch die Differenz zwischen zwei starken Ausgangssignalen wiedergegeben, von denen das eine von den Arbeitsbewegungen des Gleitstiftes und das andere von den

phasengleiche Überlagerung mit den bei der zweiten Abtastung der Prüffläche z. B. durch den Gleitstift erzeugten Ausgangssignalen enthält.

Durch die erfindungsgemäße Maßnahme wurde ein Oberflächenprüfgerät geschaffen, das sowohl zum Prüfen größerer Oberflächen als auch zum Prüfen der Innenflächen kleiner Hohlräume und Bohrungen brauchbar ist und dabei eine sehr hohe Genauigkeit

Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes bestimmt wird. 35 der Messungen liefert, auch dann, wenn eine verhält-

Da nun diese Differenz sehr klein sein kann, müßten die die beiden Ausgangssignale erzeugenden und miteinander vergleichenden Einrichtungen eine hohe Stabilität des Systemnullpunktes besitzen. In der

nismäßig hohe Grundfrequenz gegeben ist, die die Verwendung eines Gleitstiftes erfordert, dessen Radius an der Spitze nicht stark von dem Radius der Spitze des Fühlstiftes unterschieden ist. Da nur ein einziger

Praxis leiden aber alle Ausführungsformen solcher 40 Haltearm gemeinsam für den Fühlstift und den Gleit-Umwandlungseinriehtungen an verschiedenen Arten stift vorgesehen ist und diese/hiit einem geringen Quervon Nullpunktsverschiebungen, die z. B. durch Temperaturänderung hervorgerufen werden können und

bei beiden Einrichtungen voneinander verschieden sein

gefertigt sind. Die Verwendung zweier Übertragungseinrichtungen läßt daher häufig unbestimmte Meßfehler infolge mangelnder Nullpunktsstabilität auftreten.

Ferner wird bei dem bekannten Gerät das Verhältnis der Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes zu denjenigen des Gleitstiftes durch die unterschiedliche Genauigkeit oder Ungenauigkeit der Führung störend beeinflußt,

schnitt ausgebildet werden und von großer Länge sein kann, ist der Haltearm mit den Stiften auch in sehr kleine Bohrungen oder in andere enge Hohlräume einkönnen, und zwar auch dann, wenn die beiden Ein- 45 führbar. Da außerdem auch nur ein einziger elektrorichtungen theoretisch miteinander übereinstimmend mechanischer Wandler für die Umwandlung der

- Arbeitsbewegungen beider Stifte in elektrische Signale verwendet wird, werden Schwierigkeiten durch Instabilität des Nullpunktes bei der Erzeugung und beim Ver-50 gleich der beiden Ausgangssignale vermieden. Es kann sich zwar der Nullpunkt des Wandlers verschieben, jedoch wirkt sich eine solche Verschiebung im gleichen Maße sowohl auf das vom Fühlstift erzeugte Ausgangssignal als auch auf das vom Gleitstift erzeugte relativ zu der der Fühlstift und der Gleitstift bei der 55 Ausgangssignal, aus, so daß diese Auswirkungen sich Abfühlbewegung verschoben werden. Zwar werden beim Vergleich der beiden Signale gegenseitig auf-Fühlstift und Gleitstift von solchen Ungenauigkeiten heben.

der Führung in gleichem Ausmaß und im gleichen Insgesamt kann nach den Merkmalen der Erfindung

Zeitpunkt der Abfühlbewegung beeinflußt, doch v.er- der Tastkopf im Bereich des Fühlstiftes und des Gleitschwindet der Einfluß der Führungsungenauigkeit im 60 stiftes eine gedrängte Bauform erhalten. Es ist auch endgültigen Meßergebnis nicht, weil eine Zeitverzöge- kein wesentlicher Nachteil, daß bei einem vollständigen rung für die Synchronisierung der beiden Signalaus- Meßvorgang die Prüffläche zweimal von dem Tastgaben vorgesehen ist und Fühlstift und Gleitstift in kopf überschritten werden muß, denn die Aufgabe, jedem Zeitpunkt der Abfühlbewegung örtlich ver- das erste Ausgangssignal mit an sich bekannten Mitschiedene Lagen auf der Prüffläche haben." Aus all 65 teln zu speichern, bis die Prüffläche zum zweitenmal diesen Gründen schafft das bekannte Gerät, bei dem überschritten wurde, ist ebenso leicht zu lösen wie die ein hohler, den Fühlstift umgebender Gleitstift ver- bekannte Speicherung eines der beiden Ausgangswendet wird, nur eine ungenügende Lösung der Auf- signale während einer Zeitspanne, die bei dem vorge-

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nannten bekannten Gerät dem Abstand zum Fühlstift und Gleitstift entspricht. In beiden Fällen kann ohne Schwierigkeit durch bekannte Mittel eine gleichbleibende Geschwindigkeit des Abfühlvorganges gewährleistet werden.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes ist das Gelenklager des Haltearms durch den Tastkopf relativ zu diesem zwischen zwei Anschlagstellungen in im wesentlichen senkrecht zur Prüffläche verlaufender Richtung verschiebbar geführt. Bei dieser Verschiebung wird die Neigung des Haltearms so verändert, daß in der einen Anschlagstellung nur der Fühlstift und in der anderen nur der Gleitstift an der Prüffläche angreift.

Eine solche Neigungsveränderung kann bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung auch statt direkt am Gelenklager des Haltearms auch an dem ihn tragenden Tastkopf durchgeführt werden, der dann zu diesem Zweck relativ zum Gehäuserahmen längs einer bogenförmigen Bahn zwischen zwei Anschlagstellungen bewegbar ist.

Die Bewegung der Gelenklagerung zur Veränderung der Neigung des Haltearms relativ zur Prüffläche erfolgt also durch eine Schwenkbewegung oder eine einer solchen Schwenkbewegung entsprechende Bewegung um eine Achse, die im wesentlichen parallel zu der Prüffläche verläuft und von einer Normalen zur Prüffläche geschnitten wird, die praktisch durch den Punkt der Prüffläche hindurchgeht, an dem sowohl der Fühlstift als auch der Gleitstift in seiner Arbeitsstellung angreifen. Es greifen also die beiden Taststifte an dem gleichen Punkt der Prüffläche jeweils in einander entsprechenden Augenblicken ihrer aufeinanderfolgenden Abtast- oder Abfühlbewegungen an, so daß es nicht notwendig ist, in der die Ausgangssignale vergleichenden Einrichtung eine Kompensation dafür durchzuführen, daß die beiden Taststifte entlang der Längenausdehnung ihres Haltearms voneinander getrennt angeordnet sind. Außerdem erfolgen die einzelnen Bewegungen der beiden Stifte in den einander entsprechenden Augenblicken ihrer aufeinanderfolgenden Abtastbewegungen stets relativ zu identischen Teilen der praktisch geradlinigen Bahn, auf der der Tastkopf verschoben wird, so daß bei Verwendung dieser Bahn als Bezugslinie für die Messung geringe Abweichungen in der Geradlinigkeit aufgehoben werden und die Genauigkeit dieser Messung nicht nachteilig beeinflussen.

Sollte es fallweise nicht möglich sein, daß allein durch Veränderung der Neigung des Haltearms die beiden Taststifte am gleichen Punkt der Prüffläche in ihrer jeweiligen Arbeitsstellung angreifen, so sind zusätzlich Maßnahmen zum Kompensieren der Lage des effektiven Nullpunktes des elektromechanischen Wandlers vorgesehen. Dadurch wird das Niveau der Ausgangsmeßsignäle durch das Umschalten der Abtastung vom Fühlstift auf den Gleitstift, oder umgekehrt, nicht verändert. Hierzu wird der elektromechanische Wandler sekundärseitig als Differentialdetektor ausgebildet, in dessen Brückenschaltung eine Ausgleichsimpedanz eingeschaltet ist, die durch die Umschaltvorrichtung ein- oder ausschaltbar ist und einer Veränderung der effektiven Nullage des elektromechanischen Wandlers entgegenwirkt.

Bei der Ausführung der Erfindung kommt es, wie bei den vorgenannten Ausführungsformen, bei der Verstellung der Gelenklagerung zur Veränderung der Neigung des Haltearms der beiden Taststifte darauf an, daß diese relativ zur Prüffläche verändert wird. Demgemäß kann diese Veränderung — etwa in kinematischer Umkehrung der Verstellbewegung bei diesen Ausführungsformen — auch durch entsprechendes Verstellen der Neigung des Werkstücks statt des Haltearms bewirkt werden, und zwar mittels eines zwischen zwei Arbeitseinstellungen seiner Neigung relativ und quer, z. B. senkrecht zur Richtung der Prüffläche beweglichen Werkstückhalters.

to Das erfindungsgemäße Gerät weist vorzugsweise eine Schaltvorrichtung auf, durch die die Umschaltung der Abtastung vom einen auf den anderen Stift automatisch erfolgt, wenn die erste der beiden aufeinanderfolgenden Abtastperioden beendet ist.

Die Signalvergleichseinrichtung weist zweckmäßigerweise eine Aufzeichnungsvorrichtung auf, die synchron mit dem Abtastvorschub angetrieben wird und der die Ausgangssignale des elektromechanischen Wandlers zugeführt werden. Die Speichervorrichtung der Signal-Vergleichseinrichtung besitzt vorzugsweise einen magnetischen Aufzeichnungskopf und einen Wiedergabekopf, die in einem dem Abstand des Fühlstiftes vom Gleitstift entsprechenden gegenseitigen Abstand an der Speichervorrichtung angeordnet sind, wenn es notwendig ist, die getrennte Anordnung von Fühlstift und Gleitstift bei der Messung zu berücksichtigen.

Eine von der Antriebsvorrichtung angetriebene verschiebbare Antriebsstange kann mittels eines Gelenklagers mit dem Gehäuserahmen verbunden sein, wobei dieser einen zusätzlichen Gleitstift trägt, der eine gemeinsame Bezugslinie für die Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes und des Gleitstiftes bildet.

Die Erfindung ist in der Zeichnung an Hand von Ausführungsbeispielen veranschaulicht. Es zeigt

F i g. 1 eine Seitenansicht des erfindungsgemäßen Oberflächenprüfgerätes,

F i g. 2 einen senkrechten Schnitt in größerem Maßstab durch den Tastkopf,

F i g. 3 schematisch das Umschalten des Tastkopfes vom Fühlstift auf den Gleitstift,

F i g. 4 eine Innenansicht des Gerätegehäuses,
F i g. 5 die elektrische Schaltung für die Meßanzeige, F i g. 6 eine abgewandelte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes,

F i g. 7 und 8 eine weitere abgewandelte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes und dessen elektrische Schaltung für die Meßanzeige.

Bei dem in Fig. 1 und 2 dargestellten erfindungsgemäßen Oberflächenprüfgerät ist ein den Tastkopf tragendes Gehäuse B an einer Stütze A¹ mit Hilfe einer senkrechten, mit Gewinde versehenen und mittels eines Handrades A³ drehbaren Wellet² verschiebbar angeordnet. Das Gehäuse B ist abnehmbar an einem Anschlußstück A^B gelagert, das an einer Tragplatte A* sitzt, die an einer mit Innengewinde versehenen Muffe A⁶ befestigt ist. Diese arbeitet mit der Welle A² zusammen, wobei die Platte A¹ derart gegen die Stütze A¹ anliegt, daß sie sich in bezug auf die Welle A² nicht drehen kann. Der Ansatz A⁶ ist mittels einer Klemmschraube A¹ befestigt und hält dadurch die Tragplatte Aⁱ und das Gehäuse B in der jeweils eingestellten senkrechten Lage. Die Stütze A¹ steht auf einem Tisch A, der auch die Auflagefläche für das Werkstück bildet, wobei ein verstellbarer Werkstückträger A^s mit einem Verriegelungsglied A⁹ vorgesehen ist, durch das der Träger A^s in einer wahlweisen Stellung auf dem Tisch vor dem Gehäuse B festgelegt werden kann.

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In Lagern B¹ des Gerätegehäuses B ist eine waage- so daß der effektive Nullpunkt des elektromechanirecht liegende Stange C axial verschiebbar gelagert sehen Wandlers G, G¹ durch das Umschalten nicht (vgl. F i g. 2 und 4). Die Stange C trägt an ihrem beeinflußt wird.

vorderen Ende außerhalb des Gehäuses mittels eines Die Vorrichtung zum Umschalten von einer Arbeits-

Gelenkbandes C¹ einen Rahmen D mit einem Tast- 5 stellung zur anderen weist einen Hebel H auf, der am kopf E. Das Gelenkband C¹ ist so vorgespannt, daß es Rahmen D angelenkt ist und mit dem Tastkopf E den Rahmen D mit einem auf der Stange C befind- mittels eines Federbandes H¹ gekuppelt ist. Der liehen lösbaren Anschlag C² im Eingriff hält. Unter Hebel H steht unter der Vorspannung einer Feder H², dem Tastkopf E ragt ein Haltearm F praktisch waage- die normalerweise den Tastkopf E in der unteren recht nach vorn, der in seinem mittleren Teil bei F³ io Arbeitsstellung hält, in der der Gleitstift F² an der gelenkig mit dem Tastkopf verbunden ist. An seinem Prüffläche Z¹ angreift. Ein auf einem Bolzen H⁶ angevorderen Ende weist der Haltearm F sowohl den Fühl- brachter Druckknopf H³ am Rahmen D bewegt beim stift F¹ als auch den abgerundeten Gleitstift F² auf, Herunterdrücken den Hebel H gegen die Wirkung der der unmittelbar hinter dem Fühlstift angeordnet ist. Feder H² und hebt dabei den Tastkopf E in die obere Die Spitzen des Fühlstiftes F¹ und des Gleitstiftes F² 15 Stellung an, in der der Fühlstift F¹ die Prüffläche Z¹ liegen in bezug auf den Haltearm F in der gleichen berührt. Eine Hebelsperre H\ die durch eine Feder H⁶ Höhenlinie. Das hintere Ende des Haltearms F ist mit belastet ist, dient dazu, den Druckknopf H³ solange dem Anker G eines elektromechanischen Wandlers wie nötig in seiner heruntergedrückten Stellung zu verbunden, dessen Stator G¹ am hinteren Ende des halten. Der Bolzen H⁶ des Druckknopfes ist vorzugs-Tastkopfes E liegt. Das Gelenklager F³ zwischen dem 20 weise von einem Stoßdämpfer H⁷ umgeben, der die Tastkopf E und dem Haltearm F besteht vorzugsweise Stöße beim Umschalten abfängt, aus einem Federband, das eine solche Vorspannung Eine axiale Verschiebung der Stange C mit dem

besitzt, daß es den Fühlstift und den Gleitstift auf die Rahmen D und dem Tastkopf E wird mittels eines Prüffläche Z¹ des Werkstücks Z herunterdrückt. Statt Elektromotors / herbeigeführt, der in dem Gehäuse B dessen kann jedoch für diesen Zweck auch eine beson- 25 untergebracht ist. Wenn eine solche axiale Verschiebedere Feder vorgesehen werden. bewegung auf die Stange C ausgeübt wird, bewegt sich

Der Tastkopf E ist an seinem Halterahmen D mit- der Tastkopf E auf einer praktisch geraden Bahn tels zwei im Abstand voneinander angebrachten Ge- weiter, wobei entweder der Fühlstift F¹ oder der Gleitlenkbändern Eⁱ aufgehängt, die in einem kleinen Win- stift F² über die Prüf fläche Z¹ geführt wird, je nachdem, kel zueinander verlaufen. Mit Hilfe dieser Verbin- 30 welche Stellung der Tastkopf E gerade einnimmt, düngen E¹ läßt sich der Tastkopf E zwischen zwei Beim Messen der Prüffläche Z¹ werden der Fühl-Arbeitsstellungen gegenüber dem Gehäuserahmen D stift F¹ und nach Umschaltung der Gleitstift F² nachverstellen, und zwar um eine Schwenkachse E², die einander über die Prüffläche Z¹ während aufeinanderdirekt über demjenigen Punkt der Prüffläche Z¹ liegt, folgender Abtastbewegungen bewegt, wobei die vom an dem der Fühlstift F¹ in der einen Arbeitsstellung 35 elektromechanischen Wandler G, G¹ bei den beiden des Tastkopfes und der Gleitstift F² in der anderen Abtastbewegungen erzeugten Ausgangssignale mitein-Arbeitsstellung des Tastkopfes E angreift (F i g. 3), die ander verglichen werden.

in strichpunktierten Linien dargestellt ist, wobei der Bei der oben beschriebenen Anordnung erfolgen die

Vorschubweg zwischen den beiden Arbeitsstellungen einzelnen Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes F¹ und des Tastkopfes E stark vergrößert wiedergegeben ist. 40 des Gleitstiftes F² an den entsprechenden Stellen der Die Arbeitsstellungen des Tastkopfes E werden durch Prüffläche Z¹ während der aufeinanderfolgenden AbAnschläge bestimmt, die durch die Enden eines tastbewegungen relativ zu identischen Abschnitten der Schlitzes E³ im Tastkopf gebildet werden, in den ein Bezugslinie, d. h. längs der praktisch geraden Bahn, Stift D¹ des Rahmens D eingreift. Um sicherzustellen, auf der der Tastkopf E bewegt wird, so daß, da die gedaß der Fühlstift F¹ und der Gleitstift F² in der einen 45 wünschte Messung durch einen Vergleich zwischen den bzw. in der anderen Arbeitsstellung des Tastkopfes E während zwei aufeinanderfolgenden Abtastbewegungenau an dem gleichen Punkt der Prüffläche Z¹ an- gen erzeugten Ausgangsspannungen bzw. Impulsen greift, muß die Schwenkachse E², um die sich der Tast- vorgenommen wird, kleine Abweichungen in der kopf dreht, örtlich genau festgelegt werden. Zu diesem Geradlinigkeit der Bezugslinie keine Rolle spielen und Zweck läßt sich durch eine Feineinstellungsvorrichtung 50 die Genauigkeit der Messung nicht beeinflussen der Neigungswinkel der einen Gelenkverbindung E¹ können. Außerdem wird ein direkter Vergleich zwizur anderen Gelenkverbindung E¹ geringfügig ver- sehen den Ausgangsspannungen bzw. Impulsen durch ändern, wobei am Rahmen D ein zylindrischer Hai- den Umstand erleichtert, daß, wie bereits zuvor erter D² für das Ende der einen der Gelenkverbindun- wähnt, der eigentliche Nullpunkt des Wandlers G, G¹ gen E¹ drehbar befestigt ist und eine Feststellschraube 55 beim Umschalten vom Fühlstift F¹ auf den Gleit- JD³ zur Verriegelung in der gewählten Einstellung vor- stift F² nicht verändert wird.

gesehen ist. Die aufeinanderfolgenden Abtastbewegungen der

Der Tastkopf E wird beim Umschalten von einer Stange C, die den Tastkopf E trägt, werden zweck-Arbeitsstellung in die andere auf einer kurzen ge- mit Hilfe einer Kurvensteuerung K herbeigeführt bogenen Bahn vorbestimmter Länge, die schräg zur 60 (F i g. 4), die bei Ausführung einer Umdrehung über Prüffläche Z¹ nach oben verläuft, gegenüber seinem eine federbelastete Rolle K¹ und einen Übertragungs-Rahmen D verschoben. In der oberen Stellung ist der arm K² eine vollständige Vor- und Rückbewegung der Haltearm F so zur Waagerechten geneigt, daß der Stange C bewirkt. Die Kurvenscheibe K wird von einer Fühlstift F¹ die Prüffläche Z¹ berührt, während der Steuerscheibe J¹ über ein Zahnrad J² in einem Über-Haltearm in der unteren Stellung so geneigt ist, daß 65 Setzungsverhältnis von 1:2 angetrieben, wobei die der Gleitstift F² die Prüffläche Z¹ berührt. In beiden Steuerscheibe K von einem Elektromotor / in Gang Arbeitsstellungen sind jedoch die relativen Lagen des gesetzt wird. Die Steuerscheibe Z¹ ist mit einer Aus-Tastkopfes E und des Haltearms F zueinander gleich, lösekerbe J³ versehen, in die ein federbelasteter An-

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laßhebel j⁴ eingreift, der außerdem mit einem Schal- nach werden die beiden Integratoren M² und M³ ter J⁵ zum Anlassen und Anhalten des Motors J ver- mit Hilfe eines Druckknopfschalters M⁵ wieder entbunden ist. Außerdem weist die Steuerscheibe J¹ zwei laden.

Kurvenbahnen J⁶ auf, die sich über ungefähr 90° Die Ausgangssignale können zusätzlich' einem erstrecken und sich diametral gegenüberliegen. Mit 5 schreibenden Aufzeichnungsgerät M⁶ zugeführt werdiesen Kurvenbahnen J⁶ wirkt ein Teil J⁷ zusammen, den, das zweckmäßigerweise eine Trommel aufweist, das einen Schalter J⁸ im Ausgangsstromkreis des die bei jeder der Abtastbewegungen einmal umläuft, Wandlers G, G¹ betätigt (F i g. 5). Ein weiterer in so daß die Tastbewegungen des Fühlstiftes und des diesem Stromkreis liegender Zeitsteuerschalter L wird Gleitstiftes auf einem einzigen Meßblatt überlagert von einem Nocken L¹ betätigt, der von der Vor- io aufgezeichnet werden können.
Schubstange C verschoben wird (F i g. 4). Vor dem Das Aufzeichnungsgerät M⁶ kann auch eine Trom-Gebrauch wird die Vorrichtung zunächst genau ein- mel aufweisen, die nur bei der zweiten Abtastbewegung gestellt, wobei an Stelle der Prüffläche des Werkstücks umläuft und dabei die Differenzen zwischen der Planglas verwendet wird, so daß vom Fühlstift F¹ Arbeitsbewegung des Fühlstiftes und der des Gleit- und vom Gleitstift F² bei ihren aufeinanderfolgenden 15 Stiftes direkt aufzeichnet. Die Betätigung des Meß-Abtastbewegungen gleiche Ausgangssignalspannungen Schreibers M⁶ erfolgt in diesem Fall zweckmäßig erzeugt werden, so daß die Anzeige an einem am über ein magnetisches Aufzeichnungsgerät J⁹, das Ende der Schaltung liegenden Anzeigeinstrument einen kombinierten Aufnahme- und Wiedergabegleich Null ist. kopf J¹⁰ oder eine Filmbeschriftungsvorrichtung Bei der Messung wird zunächst der Druckknopf H³ 20 od. dgl. besitzt und im Gehäuse B untergebracht ist. am Rahmen D heruntergedrückt und dadurch der Die Aufzeichnungsvorrichtung J⁹ wird mit Hilfe Fühlstift F¹ in seine Arbeitsstellung gebracht. Dann einer aus Zahnstange und Ritzel bestehenden Kuppwird die relative Höhenlage des Gerätes zur Prüf- lung J¹¹ synchron mit der Stange C der Abtastfläche Z¹ eingestellt, indem das Gehäuse B an der bewegung angetrieben. Mit Hilfe eines Druckknopf-Stütze A¹ vertikal verschoben wird. Dann wird der 25 schalters M⁷ werden die Ausgangssignale des Ver-Anlaßhebel /⁴ heruntergedrückt, so daß er aus der stärkers M¹ einem Umschalter M⁸ und während der Auslösekerbe J³ der Steuerscheibe J¹ ausrastet und Abtastbewegung des Fühlstiftes der Aufzeichnungsgleichzeitig der den Motor / in Betrieb setzende vorrichtung J⁹ und während der Abtastbewegung Schalter J⁵ betätigt wird. Bei der nunmehr ein- des Gleitstiftes einem DifFerentialverstärker M⁹ zusetzenden Abtastbewegung kommt das Teil J⁷ mit 30 geführt. Bei der Abtastbewegung des Gleitstiftes einer der Kurvenbahnen J⁶ der Steuerscheibe J¹ in ermöglicht die Betätigung eines Schalters M¹⁰, daß Berührung und betätigt dabei den Schalter J⁸, so auch die Ausgangssignale der ersten Abtastbewegung daß die Ausgangssignale des dem elektromecha- dem Differentialverstärker M⁹ zugeführt werden, so nischen Wandler nachgeschalteten Verstärkers M¹ daß der vom Differentialverstärker M⁹ gespeiste einem Integrator M² zugeführt werden können. Gleich- 35 Meßschreiber M⁶ bei der zweiten Abtastbewegung zeitig wird der Zeitsteuerschalter L betätigt und die Differenzen zwischen den Arbeitsbewegungen schließt den Stromkreis zum Integrator M² (F i g. 5). des Fühlstiftes und der des Gleitstiftes aufzeichnet. Wenn das Teil J⁷ das Ende der ersten Kurvenbahn J⁶ Die Schalter M⁸ und M¹⁰ werden zweckmäßigerweise erreicht hat, wird der Stromkreis des Integrators M² über (nicht gezeigte) kurvenbetätigte Einrichtungen am Zeitsteuerschalter L wieder unterbrochen und 4° geöffnet, die ebenfalls von der Antriebsvorrichtung der Vorbereitungsschalter J⁸ geöffnet. Unmittelbar für die Abtastbewegungen angetrieben werden, wobei vor Beendigung der Abtastbewegung berührt ein fest eine solche Zeiteinstellung vorgesehen ist, daß die am Gehäuse B angebrachter Anschlagstab B² die beiden Ausgangssignale dem Differentialverstärker M⁹ Hebelsperre H* des Halterahmens D und schaltet bei der zweiten Abtastbewegung genau phasengleich dabei den Druckknopf H³ um. Auf diese Weise 45 zugeführt werden, d. h., der Pegel des vom Verwird nunmehr der Gleitstift F² unter der Wirkung stärker M⁹ in jedem beliebigen Zeitpunkt empfandes Stoßdämpfers H⁷ sanft in seine Arbeitsstellung genen Signals stellt die Differenz zwischen der Ausgebracht. Die Steuerscheibe J¹ hat sich um 180° gangsleistung des Fühlstiftes und derjenigen des gedreht und die Kurvenscheibe K, welche die Stange C Gleitstiftes an genau einander entsprechenden Punkten über die Rolle K¹ und den Übertragungsarm K² an- 50 der Prüffläche dar.

treibt, um 360°. Nun folgt automatisch eine zweite Gewünschtenfalls kann, wie in F i g. 2 gestrichelt

Abtastbewegung, bei der sich der Gleitstift F² in gezeigt ist, ein zusätzlicher Gleitstift N vorgesehen

seiner Arbeitsstellung befindet. Während dieser zweiten sein, der sehr stark abgerundet ist und mit der Prüf-

Abtastbewegung werden über den Schalter J⁸ und fläche Z¹ unmittelbar vor dem messenden Fühlstift F¹

den Zeitschalter L die Ausgangssignale des Verstär- 55 in Berührung kommt, wobei er eine Bezugslinie für

kers M¹ einem zweiten Integrator M³ zugeführt. die Bewegungen des Fühlstiftes F¹ und des Gleit-

Durch die Verwendung des Zeitsteuerschalters L für Stiftes F² liefert. Der Bezugsgleitstift N kann an

die beiden Abtastbewegungen ist sichergestellt, daß einem Halter N¹ angebracht werden, der abnehmbar

die Integration während jeder der Abtastbewegungen am Gehäuserahmen D festgeklemmt ist, wobei sich

in genau der gleichen Zeitspanne durchgeführt wird. 60 der HalterJV¹ senkrecht zwischen zwei Stellungen

Nach dieser Zeitspanne und gegen Ende der zweiten einstellen läßt, die von einer aus Stift und Schlitz

Abtastbewegung wird der Schalter J^a wieder geöffnet, bestehenden Kupplung N² festgelegt sind und durch

und der Anlaßhebel J⁴ greift wieder in die Auslöse- die der Bezugsgleitstift entsprechend den jeweiligen

kerbe J³ der Steuerscheibe J¹ ein, wodurch der Erfordernissen in seine Arbeitsstellung gebracht wird

Schalter J^B betätigt wird und der Motor / anhält. 65 oder auch nicht.

Die Differenz zwischen den von den beiden Integra- F i g. 6 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform toren M² und M³ gemessenen Ausgangssignalen der erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei der Tastwird einem Anzeigeinstrument Λ/⁴ zugeführt. Da- kopf E gegenüber dem Gehäuserahmen D zwischen

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zwei Arbeitsstellungen durch eine kombinierte Gleit- ein Flüssigkeitstropfen Q⁵ zwischen dieser Endfläche und Neigungsbewegung verstellbar ist. Diese beiden und der Oberfläche des Gelenklagers durch Ober-Bewegungen entsprechen hinsichtlich der Arbeits- flächenspannung in seiner Lage gehalten wird. Beim Stellungen einer Bewegung auf einer gebogenen Bahn Umschalten von dem einen Taststift auf den anderen um eine Achse, die direkt über dem gerade arbei- 5 wird der Flüssigkeitstropfen Q⁵ durch die Verschietenden Taststift liegt. Der Tastkopf E weist an seinem bung des Gelenklagers Q¹ gegenüber der Stange P¹ vorderen Ende zwei hintereinanderliegende, nach Scherkräften ausgesetzt, die infolge der Viskosität oben ragende Paßstifte E¹ und an seinem hinteren der Flüssigkeit dieser Verschiebung entgegenwirken. Ende einen einzigen, nach oben stehenden Paßstift E^s Die axiale Bewegung der Stange P¹ bei der Abauf, wobei der Tastkopf von einer Feder Z>⁶ nach io tastung der Prüf fläche Z¹ wird mit Hilfe eines Elektrooben gedrückt wird, so daß die Stifte Eⁱ und E⁶ motors 5¹ bewirkt, der im Gehäuse P angeordnet ist. mit an der Unterseite des Rahmens D befindlichen Setzt man voraus, daß die Bewegung der Stange P¹ Führungsflächen Z)⁴ und D^s in Berührung kommen. genau geradlinig erfolgt, so daß der Stator P⁴ des Die vordere Führungsfläche D⁴ weist zwei waage- elektromechanischen Wandlers bei der Abtastbewerechte Endabschnitte auf, die durch einen etwas 15 gung auf einer konstanten Höhe in bezug auf die abgeschrägten Zwischenabschnitt sowohl in Abtast- Prüffläche Z¹ bleibt, so bildet diese Stange P¹ eine richtung der Prüffläche als auch senkrecht zu dieser konstante Bezugslinie für die Messungen,
voneinander getrennt sind. Die hintere Führungs- Da der effektive elektrische Nullpunkt des elektrofläche D⁵ besteht aus zwei ähnlichen waagerechten mechanischen Wandlers P³, P⁴ für die beiden Ab-Endabschnitten, die durch einen stärker abgeschrägten 20 tastbewegungen des Fühlstiftes bzw. Gleitstiftes der Zwischenabschnitt getrennt sind. Die Endabschnitte gleiche sein muß, ohne Rücksicht auf den Unterder beiden Führungsflächen Dⁱ bzw. D⁸ bestimmen schied zwischen den mittleren Neigungen des Haltejeweils zusammen mit der aus Stift und Schlitz arms, so wird zweckmäßig der elektromechanische bestehenden Kupplung E^e, welche das Ausmaß der Wandler als Differentialdetektor ausgebildet, wobei Gleitverschiebung des Tastkopfs E gegenüber dem 25 der Stator P⁴ aus zwei koaxialen Spulen besteht Rahmen D begrenzt, die beiden Arbeitsstellungen und die Verschiebung des Ankers P³ die Kopplung des Tastkopfes E. mit der einen Spule vergrößert und die Kopplung In F i g. 7 ist eine weitere abgewandelte Ausfüh- mit der anderen Spule verringert. Die beiden Statorrungsform des erfindungsgemäßen Oberflächenprüf- spulen P⁴ des Differentialdetektors sind in einer gerätes gezeigt, bei der axial verschiebbar in Lagern P² 30 elektrischen Brückenschaltung T angeordnet (F i g. 8), eines Gehäuses P eine praktisch waagerecht liegende in der die Impedanzen der beiden Brückenzweige Stange P¹ gelagert ist, an deren vorderem Ende beim Umschalten eines Schalters T¹ unterschiedliche außerhalb des Gehäuses ein Tastkopf Q angebracht Größen haben, die der einen bzw. der anderen ist. Das Gehäuse P ist zweckmäßig wiederum senk- Neigungsstellung des Haltearms P entsprechen. Die recht verstellbar an einer Stütze angebracht. An 35 Brückenschaltung T wird vorzugsweise durch einen seinem vorderen Ende weist der Tastkopf Q ein Hochfrequenzoszillator T² gespeist.
Gelenklager Q¹ auf, das sich mit Hilfe von zwei Die aufeinanderfolgenden Abtastbewegungen der biegsamen Federbändern ß² senkrecht zum Tastkopf Stange P¹ werden mittels des Elektromotors 5" über verschieben läßt. Die senkrechte Verschiebung des eine Kurvenscheibe S¹ herbeigeführt, die bei Aus-Gelenklagers Q^τ wird mittels einer aus einem Stift 4° führung einer Umdrehung mittels eines Kurbeides Tastkopfes Q und einem Schlitz im Gelenk- arms S² zwei vollständige Hin- und Rückbewegungen lager Q¹ bestehenden Anschlagvorrichtung Q^s be- der Stange P¹ bewirkt. Die Kurvenscheibe S¹ ist so grenzt. Das untere Ende des Gelenklagers Q ¹ ist als geformt, daß sie die Rückbewegungen sehr viel Schneidengelenk für ein Schwenklager im mittleren schneller als die Vorschubbewegungen beim Abtasten Teil des Haltearms P ausgebildet, der waagerecht 45 herbeiführt. Zum Anlassen und Anhalten wird die vom Gehäuse P vorsteht und an seinem vorderen Kurvenscheibe zweckmäßig über eine (nicht gezeigte) Ende wieder einen nach unten gerichteten Fühlstift P¹ Reibungskupplung angetrieben und gegen Drehung und einen Gleitstift P² trägt. Am hinteren Ende mittels eines Sperrhebels gesichert,
trägt der Haltearm P wieder einen Anker P³ eines Im Gehäuse P ist die axial verschiebbare Stange P¹ elektromechanischen Wandlers, dessen Stator P⁴ sich 50 mit einem magnetischen Aufzeichnungsgerät V geam hinteren Ende des Tastkopfes Q befindet. Der kuppelt, das einen Aufzeichnungskopf V¹ und einen Haltearm P wird mit Hilfe eines Federbandes P⁵ Wiedergabekopf V² aufweist, die in der Bewegungsmit der Schneide des Gelenklagers Q¹ in Berührung richtung des Aufzeichnungsgerätes in einem Abstand gehalten und dabei mittels einer Feder oder durch voneinander angeordnet sind, der dem Abstand sein Gewicht so vorbelastet, daß der Fühlstift P¹ 55 zwischen dem Fühlstift P¹ und dem Gleitstift P³ bzw. Gleitstift P² zur Prüffläche Z¹ hingedrückt in der Abtastrichtung entspricht,
werden. Bei der Messung wird der Gleitstift P² zuerst Die. Verschiebung des Gelenklagers Q¹ in bezug über die Prüf fläche Z¹ geführt und dabei die Ausauf den Tastkopf Q wird zweckmäßig mit Hilfe eines gangsspannung von der Brückenschaltung T über Solenoids Qⁱ herbeigeführt, wobei das Gelenklager 60 einen Verstärker T³ dem Aufzeichnungskopf V¹ zumittels der vorgespannten Federbänder Q² in die geführt. Dann wird der Tastkopf in seine Ausgangsuntere Arbeitsstellung gedrückt und bei Erregen des stellung zurückgeführt, das Solenoid Qⁱ erregt und Solenoids Q⁴ durch Schließen eines Schalters in die das Gelenklager Q¹ umgesteuert, so daß nunmehr obere Arbeitsstellung angehoben wird. Um Stöße der Fühlstift P¹ an der Prüf fläche angreift, worauf beim Umschalten zu vermeiden, werden die Bewe- 65 der Schalter T¹ an der Brücke T betätigt wird. Beim gungen des Gelenklagers Q¹ zweckmäßig gedämpft. Bewegen des Fühlstiftes P¹ über die Prüffläche Z¹ Zu diesem Zweck wird die Endfläche der Stange P¹ werden die Ausgangssignale des Wandlers P³, P⁴ an dem Gelenklager,Q¹ konvex abgerundet, so daß von der Brückenschaltung T über den Verstärker T³

und nach Gleichrichten und Glätten in einer Vorrichtung Γ⁴ einem Differentialverstärker T⁵ zugeführt. Im Differentialverstärker T⁵ werden diese Signale zu den Ausgangssignalen der ersten Abtastbewegung (Gleitstift i?²), die vom Wiedergabekopf V² der Auf-Zeichnungsvorrichtung herkommen, zeit- und phasengleich addiert, wobei zu Beginn der zweiten Abtastbewegung ein Schalter T⁶ betätigt wird und die vom Wiedergabekopf kommenden Signale in einer Vorrichtung T⁷ gleichgerichtet und geglättet werden. Das vom Differentialverstärker T⁵ kommende Signal wird einer graphischen Aufzeichnungsvorrichtung T^s bzw. Meßinstrumenten T⁹ zugeführt, welche Spitzenwerte, Durchschnittswerte oder andere Parameter der Oberflächenbeschaffenheit anzeigen können.

Die Kurvenscheibe S¹, die die Abtastbewegung steuert, ist zweckmäßig mit Kurvenbahnen S³ für eine Schaltvorrichtung S⁴ versehen, die für eine richtige Folge der notwendigen Schaltvorgänge sorgt, einschließlich der Betätigung des Schalters, der das Solenoid Qⁱ für das Gelenklager Q¹ schaltet. Die Kurvenscheibe S¹ kann außerdem die Schalter für die Zulassung der Ausgangssignale des Differentialverstärkers zu den Integrationsstromkreisen während einer bestimmten Zeitspanne steuern, wie dies an Hand der F i g. 4 und 5 bereits beschrieben wurde.

Claims (8)

Patentansprüche:

1. Oberflächenprüfgerät zum Messen oder Anzeigen der Rauhigkeiten oder Wellungen einer Oberfläche mittels eines einen Fühlstift und einen Gleitstift aufweisenden, durch eine Antriebsvorrichtung über die Prüffläche hinwegbewegten Tastkopfes und mit einer die Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes und des Gleitstiftes in elektrische Signale umwandelnden Einrichtung, wobei die beiden Ausgangssignale miteinander verglichen werden und das Differenzsignal einem Anzeigeinstrument zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Fjihlj>tif.t-.(F¹, R¹) und der Gleitstift (F², R²) nebeneinander an einem "gemeinsamen Haltearm (F, R) befestigt^ sind, der mittels eines Gelenklägers (F³, Q¹) am Tastkopf (F-, Q) sitzt und durch Schwenkbewe-, gungen den elektromechanischen Wandler (G, G¹, R³, i?⁴) beaufschlagt, und daß durch eine automatische Umschaltvorrichtung (H bis H⁷, ß⁴)~3ie Neigung: des~Haltearms (F; R) relativ zur PrüfflächeVntTcheinander derart veränderbar ist, daß einmal nur der Fühlstift (F¹, R¹) und sodann nur der Gleitstrft (F²,R²) über die Prüffläche (Z¹). gleitet und daß die elektrische Signalvergleichs-einrichtung zur Erfassung des Differenzsignals der beiden _Ausgangssignale von Fühlstift und Gleitstift eine Vorrichtung (J⁹, V) zur Speicherung der bei der ersten Abtastung der Prüflfäche z. B. durch den Fühlstift (F¹, R¹) erzeugten Ausgangssignale und deren zeit- jind phasengleiche Überlagerung mit den bei der zweiten Abtastung der PrüTflache- z. B. durch den Gleitstift (F², R²) erzeugten Ausgangssignalen enthält.

2:~ Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gelenklager (Q¹) des Haltearms (R) durch den Tastkopf (Q) relativ zu diesem zwischen zwei Anschlagstellungen (Q³) in im wesentlichen senkrecht zur Prüffläche verlaufender Richtung verschiebbar geführt ist.

3. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf (E) relativ zum Gehäuserahmen (D) längs einer bogenförmigen Bahn zwischen zwei Anschlagstellungen (E³, E⁶) bewegbar ist.

4. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der elektromechanische Wandler (R³, R⁴) sekundärseitig einen Differentialdetektor aufweist, in dessen Brückenschaltung (T) eine Ausgleichsimpedanz eingeschaltet ist, die durch die Umschaltvorrichtung (ö⁴j S⁴) ein- oder ausschaltbar ist und einer Veränderung der effektiven Nullage des elektromechanischen Wandlers (R³, i?⁴) entgegenwirkt.

5. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, -daß der Gehäuserahmen (D) mittels eines Gelenklagers (C¹) an einer verschiebbaren Antriebsstange (C) der Antriebsvorrichtung sitzt und einen zusätzlichen Gleitstift (N) trägt, der eine gemeinsame Bezugslinie für die Arbeitsbewegungen des Fühlstiftes (F¹) und des Gleitstiftes (F²) bildet.

6. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Speichervorrichtung (V) einen magnetischen Aufzeichnungskopf (K¹) und einen Wiedergabekopf (V²) aufweist, die in einem dem Abstand des Fühlstiftes (R¹) vom Gleitstift (R²) entsprechenden gegenseitigen Abstand an der Speichervorrichtung (F) angeordnet sind.

7. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Umschaltvorrichtung (JT bis H⁷, Q⁴) durch eine Schaltvorrichtung (B², S⁴) nach Beendigung der ersten Abtastperiode automatisch betätigbar ist.

8. Oberflächenprüfgerät nach Anspruch 1 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiebbare Antriebsstange (C) der Antriebsvorrichtung einen Nocken (L¹) aufweist, der beim Vorschub der Stange (C) einen im Ausgangskreis des elektromechanischen Wandlers (G, G¹) liegenden Zeitsteuerschalter (L) für ein vorgegebenes Zeitintervall betätigt.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 1 068 025;
USA.-Patentschrift Nr. 2 460 726.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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