CN1611429A - 平板显示器传送系统和方法 - Google Patents

Abstract

一种板传送系统，包括用于接收多个板的板盒和用于传送板盒的传送车。传送车包括安装在主体上用于将板盒装载到板处理单元上和/或从板处理单元卸载板盒的装载/卸载单元，安装在主体上用于将板供给到板处理区域和/或从板处理区域收集板的板传送单元，以及主体中支持板盒的提升单元。

Description

平板显示器传送系统和方法

技术领域

本发明涉及平板显示器传送系统和方法，具体涉及能够节约工作空间并能提高处理和设备效率的平板显示器传送系统和方法。

背景技术

对于例如平板显示器、半导体晶片、液晶显示器和光掩膜玻璃的平板通常都需要进行一系列的处理，例如沉积、蚀刻、去膜、清洁和冲洗处理。这些处理是在一个清洁室中进行的，并且每一种处理具有一个处理区域。

图16示出了现有的平板传送系统。

用于进行上述处理的处理装置100布置在清洁室R中，以提高处理效率。

传送单元110设置在处理装置100上并对应板供给区域120，这样可以将板有效地提供到装置100的板处理区域中。例如，传送单元由用于板的垂直和水平移动的缓冲器单元或传送器单元组成。

在和清洁室R中的板供给区域120间隔一定距离的板保存区域130中的板盒140中接收板。通过板传送系统将板盒140中接收的板传送到板供给区域120。

板传送系统包括在板保存区域130和板供给区域120中移动的传送车V，例如自动防护车。板盒140装载到传送车V上，并被传送到对应于一个板处理装置100的板供给区域120。

如本领域所公知的，传送车V使用电源作为驱动源，并沿着轨道移动。

在每个板保存区域130和板供给区域120上安装了一个形成为桌子形状的供给/保存台，板盒140设置在供给/保存台上。在板供给区域120中安装了例如机器人臂的板装载单元150，用来从台上设置的板盒140中逐个提取板。

参考图17，下面将简要说明使用该板传送系统将板传送到对应板处理装置的传送处理。

传送处理包括如下步骤：装载设置在板保存区域中的板盒并接收多个板(201)，将板盒传送到板处理区域(202)，卸载板处理区域中的板盒(203)，将板盒中接收的板供给到板处理装置(204)。

但是，在上述板传送方法中，传送处理由多个步骤组成，从而使处理复杂并浪费了时间。

另外，由于在清洁室中需要设置用来传送要在板处理装置中处理的板的附加传送系统，从而使处理进一步复杂化，降低了处理效率。

此外，台、传送单元和装载/卸载单元的安装必然地增加了清洁室的空间，从而增加了清洁室的制造成本。

为了处理大尺寸的板，必须根据大尺寸板增大保存区域、供给区域和传送区域。这也必然增加了清洁室空间，降低了清洁室的空间效率。

另外，由于将传送车设计为仅仅在预定部分之间移动，例如在保存区域、供给区域和传送区域之间移动，这样很难期望传送车能执行附加功能。

发明内容

有鉴于此，本发明致力于解决上述问题。

本发明的一个目的是提供一种能减少传送步骤的数量并节约板占用的空间的板传送系统和方法。

为了达到上述目的，本发明提供的板传送系统包括用于接收多个板的板盒；用于传送板盒的传送车，其中传送车包括安装在主体上用来在板处理单元上装载板盒和/或从板处理单元卸载板盒的装载/卸载单元；安装在主体上用于将板供给到板处理区域和/或从板处理区域接收板的板传送单元；以及主体中支持板盒的提升单元。

在本发明的另一方面，提供的板传送方法包括如下步骤：装载在板保存区域中接收板的板盒；将板盒传送到板处理区域；将板盒中接收的板从传送车供给到板处理装置。

在本发明的另一方面，所提供的板传送方法包括如下步骤：将处理后的板收集到装载在传送车上的板盒中；将其中收集了处理后的板的板盒传送到板保存区域；将装载在传送车上的板盒卸载到板保存区域。

附图说明

本发明包括附图以提供对本发明的进一步理解，附图包括在本申请中并组成本申请的一部分，附图展示了本发明的实施例，并和说明书一起用来解释本发明的原理。在这些附图中：

图1是根据本发明一个实施例的板传送系统的透视图；

图2是图1所示的板传送系统的内部结构的透视图；

图3是根据本发明一个实施例的安装在清洁室中的板传送系统的俯视图；

图4是图1所示的板盒的透视图；

图5是图4的内部结构的剖视图；

图6是展示了图3的传送车安装在板保存区域的状态的透视图；

图7是展示了通过提升单元改变图2装载板的位置的结构的透视图；

图8是图7的剖视图；

图9是展示了图3的传送车位移到能供给板供给区域中的板的位置的状态的剖视图；

图10是展示了随着提升单元改变盒的位置由板传送单元提供板的状态的剖视图；

图11是图10的透视图；

图12是图10中所示提升单元和板传送单元将板提供到盒上形成的顶接收槽的状态的剖视图；

图13是根据本发明一个实施例的板供给处理的流程图；

图14是根据本发明一个实施例的处理后的板的收集处理的流程图；

图15是图14的处理后的板的收集处理的剖视图；

图16是现有板传送系统的俯视图；和

图17是现有板传送处理的流程图。

具体实施方式

下面将详细参考本发明的较佳实施例说明本发明，附图示出了较佳实施例的示例。只要可能，在所有图中将使用相同的附图标记表示相同或相似的部件。

参考图1至图3，本发明的板传送系统包括用于接收多个板P的板盒2，以及用于将板盒传送到板处理区域的传送车4。

如图3所示，传送路径形成为“”形。也就是说，对应于板处理装置D的板供给区域A1以“”形和用于保存板P的板保存区域A2相间隔。传送车4沿着形路径移动。

在板处理装置D上设置了滚筒传送单元F，这样可以将板P装载到传送车4中，然后将板P提供到处理装置D中。

板盒2用作接收和传送板P的托盘。也就是说，如图4和图5所示，板盒2为盒子形状，其上具有多个用于接收板P的接收槽6。即板P装载在板盒2中。

接收槽6具有导向槽G1，这样例如传送车4的板供给单元16可以抽取板。导向槽G1的尺寸使得板传送单元16能够通过对应于板接收槽6的导向槽G1抽取板P。

板盒2由不容易被外力或冲击破坏的合成树脂形成，这样不会产生有划痕和静电。板盒2可以通过模塑处理形成。

传送车4将接收板P的板盒2从清洁室R的保存区域A2传送到对应于板处理装置D的板供给区域A1。下面将更详细地说明传送车4。

传送车4包括一个可移动的主体10、用于将板盒2装载到主体10上以及从主体10上卸载板盒2的装载/卸载单元12、用于将板盒2中接收的板P供给到板处理装置D的板传送单元14、以及用于改变板盒2的位置以允许板传送单元14逐个抽取板的提升单元16。在此实施例中，如图2所示，在提升单元16中安装了用于可拆卸地支持板盒2的装载板18。

主体10提供了安装装载板18、板传送单元14和提升单元16的空间。也就是说，如图2所示，主体10为盒子形状。

主体10被设计为在清洁室R的预定部分之间移动。在此实施例中，如图1和图2所示，在清洁室R的底部对应于主体10的移动路径安装了导向杆B。主体10上具有用于检测导向杆B的位置的传感器S1。传感器S1可以是红外传感器，也可以是光学传感器。主体10根据传感器S1的检测操作移动。

如图1所示，为了允许主体10沿着清洁室R的预定路径移动，如图1所示安装了轮子W。轮子由例如电机来驱动。

除了轮子，也可以用其他驱动结构来移动主体10。

主体可以由金属或例如经过模塑处理形成的合成树脂形成。

装载板18支持板盒2，这样板盒2可以从主体10的预定位置拆卸。在此实施例中，如图2所示，装载板18具有对应于板盒2的底部的支持槽20，并对应于主体10的顶部开口22定位。

在装载板18的环形外缘上，具有方形的凸起8a和槽8b，这样如图7所示，可以允许提升单元16在主体10的开口中引导垂直运动。

装载板18进一步具有和板盒2的导向槽G1的形状相同的导向槽G2，以允许板传送单元14穿过其中(见图2)。

在装载板18的支持槽20的表面安装了传感器S2，用于检测板盒2的安装。传感器S2可以是光学传感器，也可以是限位开关。

如图6所示，装载/卸载单元12用来容易地将主体10上的板盒2装载到板保存区域A2中。在此实施例中，如图1所示，装载/卸载单元12由两个臂形成，主体10位于两个臂之间。在臂之间的连接元件上安装了用来吸附板盒2的吸附元件12a。

由于可以根据公知技术形成装载和卸载单元12，这里省略了其详细说明。

传送单元14用来将沿垂直方向装载的板从板盒2供给到板处理装置D。在此实施例中，如图2所示，传送单元14包括两套，每一套具有一个同步皮带24和一个滑轮26。

如图2所示，提供了用来可旋转地支持滑轮26的支持元件28，例如轴承座。在支持元件上安装了例如电机的动力源M1，以通过链轮组件或者齿轮到齿轮的啮合向滑轮26传送扭矩。

如图8所示，板传送单元14对应于板抽取侧水平突出，这样可以容易地将板P提供到板处理装置D的传送部分F。

由滑轮26拉伸的带24的提升部分的长度使得它可以有效地支持和移动板P。

带24经过了表面处理或者覆盖有涂层，并具有凹部和凸部，以减小和板P的接触面积，并防止板P被划伤。

尽管传送单元14由带24和滑轮26组成，但是本发明并不局限于此。

例如，可以提供用来传送板P的滚筒。

同时，装载板18被设计为通过提升单元16在主体10中垂直移动。在此实施例中，两个旋转轴30的每个都具有螺丝，并连接到装载板18。旋转轴30由例如电机的驱动源M2驱动，它的旋转运动被转换成线性运动，以移动装载板18。

也就是说，如图2所示，旋转轴30连接到固定在主体10的底部的驱动源M2，以引导装载板18的垂直移动。

在装载板18上安装了导块32，旋转轴30和在导块32上形成的螺旋槽螺纹连接。导块32到旋转轴30的螺纹连接使装载板18的移动更加精确，并降低了磨损，增加了使用寿命。螺纹可以是球形螺纹、三角形螺纹或者方形螺纹。

当板传送单元14将板盒2中接收的板P提供到板处理装置D的传送部分F时，提升单元16移动装载板18，以从最下的板按顺序逐个供给板。

也就是说，如图9所示，在板盒2装载在装载板18上的状态，当旋转轴30在一个方向旋转时，如图10和图11所示，装载板18在主体10中向下移动，以将板盒的最下层接收槽6中接收的板P移动到板传送单元14的带24的表面。

在这一点上，提升装置移动装载板18，使得板盒2的最下层槽6中接收的板P仅仅接触接收槽6中带24的表面，并从接收槽6的底部移开。

随着带24由驱动源M1驱动的滑轮26旋转，位于带24的表面上的板P被供给到板处理装置D的传送部分F。

当板P被供给到传送部分F，提升单元16按上述同样操作，从而以从最下层到最上层的顺序连续地供给板(见图12)。

在主体10中可以安装例如光学传感器或者限位开关的传感器来检测装载板18的位置，从而控制装载板18，允许提升单元16将装载板移动到对应于板盒2的各个接收槽6的一个位置上。由于根据传感器的检测的控制方法是本领域公知技术，这里省略了其详细说明。

在上述说明中，尽管提升单元16具有和装载板18螺纹连接的旋转轴30，以垂直移动装载板18，本发明并不局限于此。

例如，可以在主体10中安装一个汽缸，这样装载板18可以通过汽缸的活塞杆的线性运动来垂直移动。也就是说，提升单元可以由多种结构形成。

下面将参考附图详细说明使用上述板传送系统的板传送方法。

图13是示出了根据本发明一个实施例的板传送方法的流程图。

本发明的板传送方法包括如下步骤：装载在板保存区域中接收板的板盒(S1)，将板盒传送到板处理区域(S2)，将板盒中接收的板从传送车供给到板处理装置(S3)。

在步骤S1，如图6所示，将位于板保存区域A2中的板盒2装载到传送车4的装载板18上。也就是说，主体10的装载/卸载单元12吸附板保存区域A2中的板盒2，并如图1所示将板盒2装载到装载板18上。

在这一点上，如图9所示，在对应于主体10的板抽取侧设置板盒2的接收槽6。以各个接收槽6接收板的状态装载板盒2。

在步骤S2，如图1所示，在清洁室R的底部安装了用于引导传送车4的移动的导向杆B，安装在主体10中的传感器S1检测导向杆B，这样传送车4可以通过轮子沿着预定路径移动，以将板盒2传送到板供给区域A1。

当其上装载了板盒的传送车4位于对应板处理装置D的板供给区域A1上时，将板P供给到板处理装置D的传送部分F。

在步骤S3，操作装载板18、板传送单元14和提升单元16，以从传送车4供给板。

也就是说，如图10所示，操作提升单元14，如图10所示向下移动装载板18，这样如图9所示，在传送车4上装载的板盒2的最下层接收槽6中接收的板P可以通过接触板传送单元14的带24而移动。

在上述状态，如图10所示，随着板传送单元14的操作，板P被水平供给到板处理装置D的传送部分F，并移动到主体的板抽取侧。装载在传送单元F的板P被供给到板处理装置D，并通过一系列工序进行处理。

当将在板盒2的最下层接收槽6中接收的板P供给到传送部分F时，随着在提升单元16的作用下对应于接收槽6向下移动，装载板从最下侧逐个抽取板盒2中接收的板。结果，如图12所示，从最下层槽到最上层槽的所有板P被有效地供给到传送部分F。

因此，当使用了上述发明的传送车4后，可以将板P从板供给区域A1传送和供给到板处理装置D。

尽管通过传送车4实现了将板盒2中接收的板P供给到板处理装置D，但是本发明并不局限于此。

例如，可以使用本发明的板传送系统来收集处理后的板P1，并将收集的板传送到板保存区域。

图14示出了收集处理后的板的方法的流程图。

收集处理后的板的方法包括如下步骤：将处理后的板收集到传送车上设置的板盒(S4)，将收集了处理后的板的板盒传送到板保存区域(S5)，将装载在传送车上的板盒卸载到板保存区域(S6)。

在步骤S4，当在板处理装置D中处理的板P1位于板处置装置D的卸载传送部分F1上时，形成了预定的收集部分，这样传送车4位于收集区域，并以板供给处理的相反方向进行板收集处理。也就是说，板传送单元14接收设置在板处理装置的卸载侧上的处理后的板P1，其操作方向如图15所示。板传送单元14将板P1移动到板盒2的接收区域，以将板P1接收到板盒2的接收槽6。

在这一点上，板盒2以和板供给处理相反的过程接收板。也就是说，提升单元16逐步将板盒2向上移动，这样能以从最上层向最下层的顺序在接收槽6中接收板P1。

当收集了处理后的板P1时，在步骤S5中，传送车4沿着板收集路径移动，以将板传送到板保存区域。当装载在传送车4上的板盒2移动到板保存区域时，在步骤S6操作装载/卸载单元12，以将板盒2卸载到板保存区域中，从而完成了板收集处理。

尽管将本发明的板传送系统设计为将处理后的板传送到板保存区域，本发明并不局限于此，也可以设计为将处理后的板P1传送到另一个处理单元。

根据本发明，由于将板传送系统设计为传送板到处理装置并收集处理后的板，因此板传送效率得到了显著提高。

另外，由于使用了传送车来将板对应供给和收集到板处理区域和板保存区域，不再需要现有技术中使用的多种设备，例如缓冲器单元、台、机器人臂等等，从而节约了清洁室的工作空间和制造成本。

此外，由于将板传送单元和提升单元的结构设计得很简单，因此节约了它们的制造成本。

另外，由于在传送车上直接实现了板供给/收集处理，因此极大地提高了工作效率和处理效率。

本领域技术人员可以知道本发明有多种修改和变化。因此，只要它们落在附属权利要求及其等价替换的范围之内，可以认为本发明涵盖了本发明的这些修改和变化。

Claims (11)

1.一种板传送系统，包括：

用于接收多个板的板盒，和

用于传送板盒的传送车，

其中传送车包括；

安装在主体上的装载/卸载单元，用于将板盒装载到板处理单元和/或从板处理单元卸载板盒；

安装在主体上的板传送单元，用于将板供给到板处理区域和/或从板处理区域收集板；和

主体中支持板盒的提升单元。

2.根据权利要求1所述的板传送系统，其中板传送单元由用来水平移动板的一对带/滑轮单元或一对滚筒形成。

3.根据权利要求1所述的板传送系统，其中提升单元设计为以在板盒中堆积板的方向移动板盒。

4.根据权利要求3所述的板传送系统，其中提升单元设计为以按照从最下板到最上板的顺序逐个抽取板盒中接收的板的方式移动板盒。

5.根据权利要求3所述的板传送系统，其中提升单元设计为以按照从最上侧到最下侧的顺序逐个将板接收到板盒的板接收区域中的方式移动板盒。

6.根据权利要求1所述的板传送系统，其中板盒具有其中按照相互之间间隔一定距离的方式堆积板的板接收区域。

7.根据权利要求6所述的板传送系统，其中板接收区域具有多个用于水平接收板的槽。

8.一种板传送方法，包括如下步骤：

装载在板保存区域中接收板的板盒；

将板盒传送到板处理区域；和

将板盒接收的板从传送车供给到板处理装置。

9.根据权利要求8的板传送方法，其中在供给板的步骤中，按照从最下板到最上板的顺序逐个供给板盒中堆积的板。

10.一种板传送方法，包括如下步骤：

将处理后的板收集到装载在传送车上的板盒中；

将其中收集了处理后的板的板盒传送到板保存区域；和

将传送车上装载的板盒卸载到板保存区域。

11.根据权利要求10的板传送方法，其中在收集处理后的板的步骤中，按照从最上侧到最下侧的顺序将处理后的板逐个接收到板接收区域中。

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