CN1699126A - 用于传送面板的装置 - Google Patents

Abstract

一种面板传送装置，包括：框架；提供在该框架上以传送面板的第一面板传送单元；倒换单元，用于从该第一面板传送单元接收该面板以倒换面板传送方向；具有滚筒的第二面板传送单元，该滚筒用于从该倒换单元接收该面板，并将该面板传送到面板处理单元。

Description

用于传送面板的装置

技术领域

本发明涉及用于传送面板的装置，更具体地，涉及在有效地传送面板的同时可以防止面板受到污染的装置。

背景技术

通常，诸如平板显示器、半导体晶片、液晶显示器和光掩模玻璃等面板在经过诸如沉积、蚀刻、剥离、清洁和漂洗等一系列处理线时进行处理。

为了在这些处理线之间传送面板，面板传送装置实质上是必不可少的。

板传送装置可以设计成多种结构，但是，通常使用水平传送面板的结构。也就是说，为了处理面板，面板传送装置水平传送面板，以将面板移交到布置在处理线入口的装载机，或者从装载机中接过已处理的面板，并将该已处理的面板移交到其它的处理线。

但是，随着面板尺寸的增大和由于附着在面板表面上的杂质保留在容器中，面板在容器中水平地传送，面板可能被污染或者有污点。

为了解决上述问题，已经提出了一种传送处于倾斜状态的面板的传送方法。申请号为.95-315675，95-344610和96-38472的日本专利申请披露了该方法。在这些专利中，处理装置布置成直进式排列，并且以倾斜状态传送面板。

但是，由于处理装置都布置成直进式排列，用于装置的安装面积便会增加。

另外，为了传送处于倾斜状态的面板，安装用于传送面板的滚筒组件由面板状态转换单元从水平状态转换到倾斜状态，因此用于驱动滚筒的驱动单元的结构变得复杂。特别是这种结构并不适于传送和处理大尺寸的面板。

发明内容

因此，本发明致力于解决上述问题。

本发明的目的是提供一种面板传送装置，通过在多层结构中安装面板供给线和面板处理线，该面板传送装置可以有效地传送和处理面板。

本发明的另一目的是提供一种具有转换单元的面板传送装置，该转换单元将面板从水平位置转换到倾斜位置，该面板传送装置具有简单的结构。

为了实现上述目的，本发明提供了一种面板传送装置，包括：框架；提供在该框架上以传送面板的第一面板传送单元；倒换单元，用于从该第一面板传送单元接收该面板，以倒换面板传送方向；具有滚筒的第二面板传送单元，该滚筒用于从该倒换单元接收该面板，并将该面板传送到面板处理单元。

附图说明

包括在本申请中和构成本申请的一部分的附图提供了对本发明的进一步理解，这些附图示出了本发明的实施例，并且与说明书一起用于解释本发明的原理。在附图中：

图1为根据本发明一优选实施例的面板传送装置的示意图；

图2为图1中示出的支撑部分、倾斜调整单元和升降单元的放大图；

图3为图1中示出的倾斜调整单元的放大透视图；

图4为当倾斜调整单元和升降单元上升时面板接收状态的侧视图；

图5为示出了倾斜调整单元和升降单元上升时的面板移交状态的侧视图；

图6为示出了面板被装载到面板装载底部的状态；

图7为根据本发明另一实施例的面板传送装置的透视图。

具体实施方式

现在详细参照本发明的优选实施例，附图中示出了它们的示例。尽可能地在所有附图中使用相同的参考标号来表示相同或类似的部分。

如图1和图2所示，本发明的面板传送装置包括：框架1；提供在该框架1上以传送面板G的第一面板传送单元3；倒换单元(inversion unit)6，用于从该第一面板传送单元3接收面板G，以倒换面板传送方向；具有滚筒R的第二面板传送单元，该滚筒用于从倒换单元6接收面板G，并且将该面板G传送到用于剥离、漂净和洗涤面板G的面板处理单元10。

第一面板传送单元3包括安装在框架1上的直线运动组件8和具有可滑动地安置在直线运动组件8上的滑块的传送器4。该传送器4具有托盘2，面板G可以布置在该托盘2上。托盘2被提供在两侧端，并且带有升高的部分P，以便当面板G布置在托盘2上时在面板G和托盘2之间提供间隙。

从传送器4接收面板G的倒换单元6包括一对用于接收面板G的对向支撑部分(hand portion)H。该支撑部分H位于与直线运动组件8相同的方向上，以前进到在传送面板G和托盘2之间界定的空间中。

当面板G由机器人装载时，直线运动组件8工作，以开始传送面板G。

支撑部分H包括多个杆构件L，面板G被支撑在这些杆构件L上。

倒换单元6具有提升和降低支撑部分H的结构，以垂直地传送在水平方向进给的面板G。

支撑部分H互相移开，以改变其中的间隙。

也就是说，支撑部分H的下端安装在导向轨21上，以便可以在水平方向上移动。导向轨21可移动地安装在沿着多个固定在框架1中的挡板12上的导向构件14的垂直方向上。具有以彼此相对方向形成的对应螺纹的第一丝杠15被螺旋连接到支撑部分H的下端19。

第一电机组件23的旋转力使得第一丝杠15旋转。通过多种结构将旋转力从第一电机组件23传递到第一丝杠15。

在此处的实施例中，为了提高和降低倒换单元6，导向构件14安装在挡板12上，并且第二丝杠11被螺旋连接到沿着导向构件14可移动地安装的导向轨21的后表面。第二丝杠11连接到第二电机组件13，以可以传递旋转力。

通过上述结构，第一和第二电机组件23和13使得支撑部分H在垂直和水平方向上移动，从而互相接近或者离开。

同时，在倒换单元6下面，提供用于转换面板G状态的面板状态转换单元5。

如图3和图4所示，该面板状态转换单元5包括多个位于框架1下面的垂直导向构件S；第一固定板f1，导向构件S固定地穿过第一固定板f1；第二固定板f2，导向构件S固定地穿过第二固定板f2，并且该第二固定板f2与第一固定板f1相间隔；位于第二固定板f2上面的可移动板m，可移动板m可以垂直地移动。

包括位于驱动部分壳体51的第三电机组件52中的升降单元将可移动板m向上和向下移动。

第三电机组件52设计为通过齿轮或者皮带向丝杠62传递旋转力。丝杠62被螺旋连接到可移动板m，延伸穿过第一和第二固定板f1和f2。

在可移动板m上提供倾斜装置17。该倾斜装置17包括铰合连接到可移动板m的底部36；多个互相隔开并固定在底部36上的第一支撑构件18；多个垂直固定在第一支撑构件18上的支撑销38。

底部36通过托架/铰链销组件22铰合连接到可移动板m。气缸组件24安装在远离铰合连接部分的位置处，以向上和向下移动底部36。

气缸组件24的活塞端被球窝接头安装到底部36。因此，当气缸组件24向上和向下移动时，铰链销组件22使底部36倾斜。

支撑销38包括第一销38a和38b和第二销39a和39b，第一销38a和38b位于第一支撑构件18的外端部分，第二销39a和39b位于第一支撑构件18的内端部分，如图6所示，其中第一销38a和38b的长度大于第二销39a和39b的长度。

固定支架20安装在第一支撑构件18上，第二支撑构件26安装在固定支架20上。固定销28安装在第二支撑构件26的两对端。

固定销28可以设计为沿着第二支撑构件26的纵向方向互相接近和离开。为了移动固定销28，可以利用诸如活塞移动结构等多种结构，此处省略了对该结构的详细说明。

当倾斜装置17位于上升位置时，用于将面板传送到面板处理单元的第二面板传送单元的面板传送滚筒R安装在第一和第二支撑构件18和26之间。

第二面板传送单元的滚筒R是倾斜的，或者改变到倾斜位置。

在图1中，虽然倾斜装置17只是安装在面板处理单元10的入口侧，倾斜装置17也可以被安装在面板处理单元10的出口侧。

如图6所示，通过形成不同高度L1和L2的支撑销38a，38b和39a，39b，可以提高面板装载的稳定性。

也就是说，位于出口部分的第一支撑销38a和38b的高度L1大于位于入口部分的第二支撑销39a和39b的高度L2。虽然装载到支撑销38的面板G看起来是水平布置的，由于出口支撑销38a和38b的支撑点P1和P4要高于入口支撑销39a和39b的支撑点P2和P3，所以其实它是弯曲的。

因此，由于面板G布置在具有不同高度的支撑销上，所以可以更加稳固地传送面板G。

在这个实施例中，支撑销之间的高度差非常小。

图7示出了本发明的另一优选实施例。

在这个实施例中，面板传送单元布置在处理线之间，以在处理线之间接收和移交处于倾斜状态的面板。

也就是说，如图7所示，在提供有台阶的处理线71和79之间布置图2所示的面板状态转换单元5，因此允许将从处理线71传送来的面板G以倾斜状态传送到处理线79。

下面参照附图说明根据本发明优选实施例的面板传送装置的操作。

如图1至图6所示，当期望传送面板G时，利用诸如机器人等工具将面板G装载到第一面板传送单元3的传送器4上。那么在图1中，操作直线运动组件8，使传送器4向左移动。

在这一点处，支撑部分H位于传送器4的托盘2和面板G之间，并且控制单元(没有示出)终止传送器4的移动。

接着，通过操作第二电机组件13，支撑部分H稍微上升，以从传送器4移开面板G。结果，传送器4被直线运动组件8返回到其开始位置，并且同时，操作第二电机组件13以降低支撑部分H。

也就是说，当操作第二电机组件13来降低支撑部分H时，螺旋连接到第二丝杠11的导向轨21降低。结果，连接到轨21的支撑部分H向下移动。

正如上面描述的，当面板G的传送方向被倒换单元6倒换为垂直方向时，面板G移交到安装在支撑部分H下面的面板状态转换单元5。

也就是说，当位于支撑部分H上的面板G下降时，如图4所示，面板G将位于面板状态转换单元5的支撑销38上。

在这一点，面板状态转换单元5保持它的水平状态。当处于水平位置的面板G移交到面板状态转换单元5时，倾斜装置17开始工作。

也就是说，当气缸组件24启动时，底部36的一侧将下降。结果，如图5所示，底部36被托架/铰链销组件22向右下倾斜。在这一点，安装在第二支撑组件26一端的固定销28防止面板G移动到侧部。

在此状态中，通过由第三电机组件52转动的丝杠62，螺旋连接到丝杠62的可移动板m被降低。结果，安装在可移动板m上的倾斜装置17随着一起降低。

接着，面板G被移交到位于第二支撑构件26和底部36之间的第二面板传送单元的滚筒R。

在这一点，面板G的位置被倾斜装置17改变。更准确地，面板G的倾斜角被倾斜装置17控制为与滚筒R的倾斜角相同，从而提供与水平传送面板相同的效果。

驱动第三电机组件52，直到支撑销38的上端变得低于滚筒R的高度。

结果，通过惯用方法，倾斜的滚筒R将面板G传送到面板处理单元10，从而经过一系列的处理线，在此期间，附着在面板G的杂质向下流过倾斜的面板G。

在此之后，以与上述驱动方向相反的方向来驱动倒换单元、面板状态单元和倾斜装置6，5和17，以重复上述操作过程。

根据本发明，由于面板传送装置设计为传送处于倾斜状态的面板，所以可以获得可靠的处理效果。

由于可以通过单个装置来垂直地移动和倾斜面板，可以节省装置安装空间。

由于利用倾斜装置使得面板的倾斜角度与面板传送单元的滚筒倾斜角度相同，因此移交到滚筒的面板处于倾斜状态，并且通过滚筒的旋转将面板传送到面板处理单元，所以可以稳定地传送面板，而不会被推动或者振动。

本领域技术人员应该意识到，可以对本发明进行各种修改和改变。因此，只要这些修改和改变在附属的权利要求及其等同范围之内，本发明就应当包括这些修改和改变。

Claims (16)

1、一种面板传送装置，包括：

框架；

提供在该框架上以传送面板的第一面板传送单元；

倒换单元，其从该第一面板传送单元接收该面板，以倒换面板传送方向；

提供在该倒换单元下面、用于转换面板状态的面板状态转换单元；和

具有滚筒的第二面板传送单元，该滚筒用于从该倒换单元接收该面板，并将该面板传送到面板处理单元。

2、根据权利要求1的面板传送装置，其中该第一面板传送单元包括安装在该框架上的直线运动组件和其上布置有该面板的传送器，该传送器由该组件移动。

3、根据权利要求1的面板传送装置，其中该倒换单元包括：

一对从该传送器接收面板的支撑部分；

其上安装有所述支撑部分的导向轨，用于使所述支撑部分水平可动；

螺旋连接到该支撑部分、并由第一电机组件驱动的第一丝杠；和

螺旋连接到该导向轨、并由第二电机组件驱动的第二丝杠。

4、根据权利要求1的面板传送装置，其中面板状态转换单元包括多个高度互不相同的支撑销，多个支撑所述销的第一支撑构件；和其上固定有所述第一支撑构件的底部。

5、根据权利要求4的面板传送装置，其中该面板状态转换单元进一步包括用于调整该面板倾斜度的倾斜装置。

6、根据权利要求4的面板传送装置，其中该面板状态转换单元进一步包括用于移交处于倾斜状态的面板的升降单元。

7、一种面板传送装置，包括：

框架；

提供在框架上的倾斜装置，其利用铰链方式将装载的面板倾斜到预先设定的角度；和

通过提升和降低该倾斜装置使该面板被支持或接收的升降单元。

8、一种面板传送装置，包括：

框架；

可滑动地布置在提供在该框架上的轨上以传送面板的传送器；

提供在该框架上的倾斜装置，其利用铰链方式将装载的面板倾斜预先设定的角度；

通过提升和降低该倾斜装置使该面板被支持或接收的升降单元；和

从该倾斜装置接收该面板并将该面板移交到面板处理单元的传送单元。

9、根据权利要求7和8中任一项的面板传送装置，其中该升降单元包括：

固定在该框架上、并与底部隔开的第一固定板；

安装在该第一固定板的可移动板，其在垂直方向上可动；和

安装在该可移动板上的倾斜装置。

10、根据权利要求9的面板传送装置，其中该倾斜装置包括：

安装在该底部和可移动板之间的气缸组件；

安装在该底部、该可移动板和该气缸组件之间的托架铰链组件。

11、根据权利要求7和8中任一项的面板传送装置，其中该倾斜装置包括：

多个安装在底部上的第一支撑构件；

多个安装在所述支撑构件上的支撑销；和

安装在所述第一支撑构件上以控制布置在所述支撑销上的面板移动的固定销。

12、根据权利要求10的面板传送装置，其中该可移动板提供有防止该可移动板向下移动超过预先设定水平的制动器。

13、根据权利要求11的面板传送装置，其中该支撑销包括安装在第一支撑构件端部的第一销和安装在内部的第二销，所述第一销的高度大于所述第二销的高度。

14、根据权利要求11的面板传送装置，其中该固定销被设计为在沿着该第一支撑构件的适当位置处是可调节的。

15、根据权利要求8的面板传送装置，进一步包括用于倒换面板传送方向的倒换单元。

16、根据权利要求8的面板传送装置，进一步包括安装在该面板处理单元的出口侧的面板状态转换单元。

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