CN108249746B - 移载基台及采用该移载基台切割基板的切割方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种移载基台及采用该移载基台切割基板的切割方法，该移载基台包括基台本体，所述基台本体的各气孔位置设置有气密保护部件、气管和第一连接部件；所述气管通过所述第一连接部件固定在所述基台本体的气孔位置；所述气密保护部件固定在所述基台本体的气孔壁与所述气管的外壁之间。由于气密保护部件、气管和第一连接部件的设置能够实现气浮状态时气体流动方向相同，使基板切割时从真空吸附状态切换为气浮状态时，基板与基台本体摩擦方向相同，有效的避免了基板因摩擦力方向不同造成的晃动而发生偏移。

Description

移载基台及采用该移载基台切割基板的切割方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种移载基台及采用该移载基台切割基板的切割方法。

背景技术

显示面板薄化是移动电子消费类产品的主流，而且有越来越薄的趋势，传统的薄化工艺是先将大基板切割为几张中等尺寸的面板后进行减薄。随着减薄工艺的发展，大基板减薄的成本较中等尺寸面板减薄的成本显著降低，尤其是触控一体化工艺的出现，大基板在触控膜层镀膜之前必须完成减薄工艺。

减薄后的大基板尺寸较大，需要将减薄后的大基板(即薄化基板)切割为多张中等尺寸的面板，目前将薄化基板切割为多张中等尺寸的面板的工艺主要有基台切割工艺和悬空切割工艺两种切割工艺，基台切割工艺如图1所示，将薄化基板11吸附在上游基台14和下游基台15上，通过刀头带动刀轮12同时划过薄化基板11上下两面进行切割，切割后通过下游基台15移动实现切割分离；其中，装载部件13用于实现薄化基板11在上下方向，以及在左右方向上的移动。

另外，现有技术中的悬空切割工艺过程中基台不吸附薄化基板，薄化基板处于悬空状态，薄化基板通过装载部件吸附并移动，薄化基板移动方向与刀轮的方向平行，装载部件移动薄化基板经过刀轮，边移动边切割。

本发明的发明人发现，现有技术采用悬空切割工艺切割薄化基板时，薄化基板容易向下弯曲变形，并不能很好的实现切割工艺，目前只能选用基台切割工艺切割薄化基板。

本发明的发明人发现，目前选用基台切割工艺切割薄化基板时，薄化基板切割后由真空吸附切换为气浮时，存在薄化基板由于晃动而发生偏移的情况，导致在下一次切割前对位无法实现的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种移载基台及采用该移载基台切割基板的切割方法，用以避免薄化基板切割后由真空吸附切换为气浮时，薄化基板发生偏移的问题。

为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种移载基台，用于切割基板，该移载基台包括基台本体，所述基台本体的各气孔位置设置有气密保护部件、气管和第一连接部件；

所述气管通过所述第一连接部件固定在所述基台本体的气孔位置；

所述气密保护部件固定在所述基台本体的气孔壁与所述气管的外壁之间。

优选地，所述第一连接部件，还用于调节各气管的出气方向与所述基台本体所在平面之间的夹角。

优选地，移载基台还包括第二连接部件、联动杆和联动驱动气缸；

所述联动杆与每一所述气管交叉设置，且在交叉位置处通过所述第二连接部件与所述气管固定连接；

所述联动驱动气缸，用于发送控制所述联动杆移动的调节信号；

所述第二连接部件，用于在所述调节信号的控制下，调节所述气管的出气方向与所述基台本体所在平面之间的夹角。

优选地，移载基台还包括气体三通阀和气路管道，所述气体三通阀设置在所述气路管道与所述气管的交叉位置。

优选地，每一所述第一连接部件设置在所述基台本体的对应位置处的每一气孔的中间位置；

所述基台本体的每一气孔的形状设置为中间窄，且上下两端宽的形状。

优选地，所述基台本体的所有气孔的尺寸均相等。

优选地，所述气密保护部件的材料包括柔性材料。

优选地，所述第一连接部件与所述第二连接部件的结构相同。

一种采用上述移载基台切割基板的切割方法，包括：

控制待切割基板吸附在所述基台本体上，对该待切割基板进行第一次切割；

控制所述气管的出气方向与所述基台本体所在平面之间的夹角呈预设角度，并控制第一次切割后的待切割基板与所述基台本体分离。

优选地，所述控制待切割基板吸附在所述基台本体上之前，还包括：

控制所述气管的延伸方向与所述基台本体所在平面垂直。

相比于现有技术，本发明的方案具有以下有益效果：

本发明实施例提供的移载基台包括设置在基台本体的各气孔位置处的气密保护部件、气管和第一连接部件，气管通过第一连接部件固定在基台本体的气孔位置；气密保护部件固定在基台本体的气孔壁与气管的外壁之间；当切割基板，尤其是切割薄化基板后，薄化基板从真空吸附状态切换为气浮状态时，本发明实施例气密保护部件、气管和第一连接部件的设置能够实现气浮状态时气体流动方向相同，使薄化基板从真空吸附状态切换为气浮状态时，薄化基板与基台本体摩擦方向相同，与现有技术相比，有效的避免了薄化基板因摩擦力方向不同造成的晃动，进而避免了薄化基板发生偏移的问题，使得薄化基板在下一次切割前能够精确对位。

另外，本发明实施例由于气浮状态时气体流动方向相同，在气浮状态时能够将基台本体上的微小玻璃粉尘吹离基台本体，对基台本体起到很好的自清洁作用，与现有技术相比，可以取消采用机械刷机构的清洁。

并且，本发明实施例第一连接部件除了能够固定气管外，还用于调节各气管的出气方向与基台本体所在平面之间的夹角；这样，气浮状态时气体流动方向可调节控制，不同厚度的薄化基板切割时从真空吸附状态切换为气浮状态时，薄化基板与基台本体摩擦方向相同且角度合适，与现有技术相比，有效的避免了薄化基板因摩擦力方向不同造成的晃动，进而避免了薄化基板发生偏移的问题，使得不同厚度的薄化基板在下一次切割前能够精确对位。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是现有技术基台切割工艺结构示意图；

图2是现有技术采用基台切割工艺切割后薄化基板处于气浮状态时的结构示意图；

图3是现有技术采用基台切割工艺切割后薄化基板发生偏移的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的一种移载基台结构示意图；

图5是本发明实施例提供的另一移载基台结构示意图；

图6是本发明实施例提供的又一移载基台结构示意图；

图7是本发明实施例提供的薄化基板吸附在移载基台上的结构示意图；

图8是本发明实施例提供的薄化基板气浮在移载基台上的结构示意图；

图9是本发明实施例提供的一种采用移载基台切割薄化基板的切割方法流程图。

下面说明本发明实施例各附图标记表示的含义：

11-薄化基板；12-刀轮；13-装载部件；14-上游基台；15-下游基台；21-基台；22-真空自动阀；23-通气自动阀；

41-基台本体；411-基台本体所在平面；42-气孔；43-气密保护部件；44-气管；45-第一连接部件；51-联动杆；52-第二连接部件；53-联动驱动气缸；71-气体三通阀；72-移载基台的气路管道。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本发明所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

本发明的发明人对现有技术基台切割工艺切割薄化基板进行研究，发现如下问题。

如图2所示，采用基台切割工艺切割薄化基板11完成后，真空自动阀22关闭，通气自动阀23打开，并通过装载部件13向上提拉薄化基板11，薄化基板11从真空吸附状态切换为气浮状态，通气自动阀23打开后，气体沿气路管道以及基台21的各气孔流动，具体流动方向如图中的箭头方向所示。

如图2所示，本发明的发明人发现，在从真空吸附状态切换为气浮状态的瞬间，由于气体流动没有固定的方向，即薄化基板11与基台21的摩擦力也没有固定的方向，在切割非薄化基板(对盒厚度一般大于0.8毫米(mm))时，摩擦力无显著影响，但在切割薄化基板(对盒厚度小于0.5mm)时，由于摩擦力没有固定的方向，无固定方向的摩擦力会导致薄化基板晃动，进而导致薄化基板发生偏移，如图3所示，图中虚线部分表示薄化基板的偏移，导致薄化基板在下一次切割前无法精确对位。

下面结合附图介绍本发明实施例的技术方案。

本发明的发明人，鉴于现有技术存在的不足，提供一种移载基台。

如图4所示，图4是本发明实施例提供的一种移载基台的结构示意图，本发明具体实施例提供的移载基台用于切割薄化基板11，该移载基台包括基台本体41，基台本体41的各气孔42位置设置有气密保护部件43、气管44和第一连接部件45；气管44通过第一连接部件45固定在基台本体41的气孔42位置；气密保护部件43固定在基台本体41的气孔壁与气管44的外壁之间。

由于本发明具体实施例提供的移载基台包括设置在基台本体41的各气孔42位置处的气密保护部件43、气管44和第一连接部件45，当切割薄化基板11后，薄化基板从真空吸附状态切换为气浮状态时，本发明具体实施例气密保护部件43、气管44和第一连接部件45的设置能够实现气浮状态时气体流动方向相同(如气体流动方向同步朝向待切割的薄化基板11的移动方向)，使薄化基板11从真空吸附状态切换为气浮状态时，薄化基板11与基台本体41摩擦方向相同，与现有技术相比，有效的避免了薄化基板因摩擦力方向不同造成的晃动，进而避免了薄化基板发生偏移的问题，使得薄化基板在下一次切割前能够精确对位。

另外，本发明具体实施例由于气浮状态时气体流动方向相同，在气浮状态时能够将基台本体41上的微小玻璃粉尘吹离基台本体41，对基台本体41起到很好的自清洁作用，与现有技术相比，可以取消采用机械刷机构的清洁。

较佳地，本发明具体实施例中的第一连接部件45选择可以转动的连接部件，该第一连接部件45除了能够固定气管44外，还用于调节各气管44的出气方向与基台本体41所在平面411(即图中的水平面)之间的夹角；这样，气浮状态时气体流动方向可调节控制，不同厚度的薄化基板11切割时从真空吸附状态切换为气浮状态时，薄化基板11与基台本体41摩擦方向相同且角度合适，与现有技术相比，有效的避免了薄化基板因摩擦力方向不同造成的晃动，进而避免了薄化基板发生偏移的问题，使得不同厚度的薄化基板在下一次切割前能够精确对位。

进一步地，如图5所示，本发明具体实施例提供的移载基台还包括第二连接部件52、联动杆51和联动驱动气缸53；联动杆51与每一气管44交叉设置，且在交叉位置处通过第二连接部件52与气管44固定连接；联动驱动气缸53，用于发送控制联动杆51移动的调节信号；第二连接部件52，用于在该调节信号的控制下，调节气管44的出气方向与基台本体41所在平面之间的夹角；这样，能够同时调节所有气管44的倾斜角度，使得所有气管44的出气方向均保持一致，进一步使得薄化基板11切割后从真空吸附状态切换为气浮状态时，薄化基板11与基台本体41摩擦方向相同且角度合适。

具体地，联动驱动气缸53受程序控制，第二连接部件52在联动驱动气缸53发送的调节信号的控制下，可精确调节气管44的倾斜角度，联动驱动气缸53的具体工作过程与现有技术类似，这里不再赘述。

较佳地，第一连接部件45与第二连接部件52的结构相同；这样，在实际生产过程中，能够降低连接部件的选用成本，且使用相同结构的连接部件，能够降低连接部件使用时的安装时间，极大的节约了人力和时间成本。

本发明具体实施例中第一连接部件45与第二连接部件52的设置，能够很好的调节气管44的出气方向与基台本体41所在平面之间的夹角，为了更好的调节气管44的出气方向(即气管44的倾斜方向)，本发明具体实施例进一步对基台本体41的各气孔42的形状进行了改进设计。

较佳地，如图6所示，本发明具体实施例中基台本体41的每一气孔42的形状设置为中间窄且上下两端宽的形状，即设置为如图6所示的“8”字形；每一第一连接部件45设置在基台本体41的对应位置处的每一气孔42的中间位置；这样，能够更好的调节气管44的出气方向。

较佳地，本发明具体实施例中基台本体41的所有气孔42的尺寸均相等，这样能够使得基台本体41呈对称设置，使得实际生产工艺过程中更容易实现，且能够很好的保证气密保护部件43受力的均匀性。

由于本发明具体实施例中气管44的出气方向可调节，即气管44的倾斜方向不是固定不变的，这时需要固定在基台本体41的气孔壁与气管44的外壁之间的气密保护部件43选择软材质材料。

较佳地，本发明具体实施例中的气密保护部件43的材料包括柔性材料，柔性材料的选择能够使得在气管44倾斜方向变化时，气密保护部件43很好的实现形变，进而很好的保证了气密性；具体实施时，气密保护部件43选择PEEK(PolyEtherEtherKetone，聚醚醚酮)等软材质材料。

较佳地，如图7和图8所示，本发明具体实施例中的移载基台还包括气体三通阀71，设置在移载基台的气路管道72与气管44的交叉位置；移载基台的气路管道72的具体设置方式与现有技术类似，这里不再赘述；气体三通阀71的设置能够很好的实现气体流动的通道，当然，实际生产过程中，还可以选择其它的部件实现气体流动的不同通道。

具体实施时，如图7和图8所示，装载部件13的作用是使用吸盘吸附待切割的薄化基板11，并移动到设定位置，在移动时需要将薄化基板11垂直向上吸附提起，使得薄化基板11与基台本体41之间存在一定距离，装载部件13的具体工作方式与现有技术相同，这里不再赘述。

具体实施时，如图7和图8所示，真空自动阀22受程序控制，在基台本体41吸真空时打开，在待切割的薄化基板11从真空吸附状态切换为气浮状态时关闭，真空自动阀22的具体工作方式与现有技术相同，这里不再赘述。通气自动阀23受程序控制，在基台本体41吸真空时关闭，在待切割的薄化基板11从真空吸附状态切换为气浮状态时打开，通气自动阀23的具体工作方式与现有技术相同，这里不再赘述。

基于同一发明构思，本发明具体实施例还提供了一种采用上述移载基台切割基板的切割方法，如图9所示，该切割方法包括：

S901、控制待切割基板吸附在基台本体上，对该待切割基板进行第一次切割；

S902、控制气管的出气方向与基台本体所在平面之间的夹角呈预设角度，并控制第一次切割后的待切割基板与基台本体分离。

针对上述步骤S901、控制待切割基板吸附在基台本体上，对该待切割基板进行第一次切割：

较佳地，控制待切割基板吸附在基台本体上之前，还包括：控制气管的延伸方向与基台本体所在平面垂直；这样，后续能够更方便的对气管的倾斜方向进行调节。

下面结合附图详细介绍本发明具体实施例提供的切割方法。

首先，通过装载部件13将待切割的薄化基板11移动到预先设定的位置处，该薄化基板11的尺寸较大，一般需要切割为多个中等尺寸的面板，图中箭头方向表示气体的流动方向。

接着，装载部件13下降，薄化基板11覆盖基台本体41的各气孔42，如图7所示，控制联动驱动气缸53动作，使气管44成垂直状态，即气管的延伸方向与基台本体所在平面垂直；接着，控制通气自动阀23关闭，控制真空自动阀22打开，使得薄化基板11吸附在基台本体上，并对该薄化基板11进行第一次切割，第一次切割的具体过程与现有技术类似，这里不再赘述。

第一次切割完成后需要对第一次切割后的待切割的薄化基板11进行移动，以便对第一次切割后的薄化基板11进行进一步的切割。

具体地，控制联动驱动气缸53发送控制联动杆51移动的调节信号，第二连接部件52在该调节信号的控制下，调节气管44的出气方向与基台本体41所在平面之间的夹角，使气管44的出气方向与基台本体所在平面之间的夹角呈预设角度，如图8所示，该预设角度的设置可以根据薄化基板11的厚度进行设定，薄化基板11的厚度越薄，其向下变形越大，因此，薄化基板11的厚度越薄需要控制气管44的倾斜角度越大。

如图8所示，气密保护部件43的形状为皱褶状，在调节气管44的倾斜方向时，气密保护部件43的一侧伸长，另一侧压缩，以保证气孔42的气密性。

如图8所示，接着，控制通气自动阀23打开，控制真空自动阀22关闭，装载部件13吸附第一次切割后的薄化基板11向上提起一定距离(一般为1mm左右)，使得第一次切割后的薄化基板11与基台本体分离，装载部件13吸附着第一次切割后的薄化基板11移动到预设的下一个位置处，以便对第一次切割后的薄化基板11进行下一次的切割。

综上所述，本发明具体实施例提供的移载基台至少具有如下有益效果：

第一、通过气密保护部件、气管和第一连接部件的设置，实现气浮状态时气体流动方向相同，避免从真空吸附状态切换为气浮状态时，由于摩擦力方向不同造成薄化基板发生偏移的问题。

第二、第一连接部件可调节气管的出气方向，以适用于各种厚度的薄化基板，使得从真空吸附状态切换为气浮状态时，避免了由于摩擦力方向不同造成各种厚度的薄化基板发生偏移的问题，使得各种厚度的薄化基板在下一次切割前能够精确对位。

第三、由于气浮状态时气体流动方向相同，在气浮状态时能够将基台本体上的微小玻璃粉尘吹离基台本体，对基台本体起到很好的自清洁作用，可以取消采用机械刷机构的清洁。

以上所述仅是本发明的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种移载基台，用于切割基板，其特征在于，包括基台本体，所述基台本体的各气孔位置设置有气密保护部件、气管和第一连接部件；

所述气管通过所述第一连接部件固定在所述基台本体的气孔位置，所述第一连接部件用于调节各气管的出气方向与基台本体所在平面之间的夹角；

所述气密保护部件固定在所述基台本体的气孔壁与所述气管的外壁之间，所述气密保护部件的材料为软材质材料。

2.根据权利要求1所述的移载基台，其特征在于，还包括第二连接部件、联动杆和联动驱动气缸；

所述联动杆与每一所述气管交叉设置，且在交叉位置处通过所述第二连接部件与所述气管固定连接；

所述联动驱动气缸，用于发送控制所述联动杆移动的调节信号；

所述第二连接部件，用于在所述调节信号的控制下，调节所述气管的出气方向与所述基台本体所在平面之间的夹角。

3.根据权利要求1所述的移载基台，其特征在于，还包括气体三通阀和气路管道，所述气体三通阀设置在所述气路管道与所述气管的交叉位置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的移载基台，其特征在于，每一所述第一连接部件设置在所述基台本体的对应位置处的每一气孔的中间位置；

所述基台本体的每一气孔的形状设置为中间窄，且上下两端宽的形状。

5.根据权利要求4所述的移载基台，其特征在于，所述基台本体的所有气孔的尺寸均相等。

6.根据权利要求1所述的移载基台，其特征在于，所述气密保护部件的材料包括柔性材料。

7.根据权利要求2所述的移载基台，其特征在于，所述第一连接部件与所述第二连接部件的结构相同。

8.一种采用权利要求1-7任一项所述的移载基台切割基板的切割方法，其特征在于，包括：

控制待切割基板吸附在所述基台本体上，对该待切割基板进行第一次切割；

控制所述气管的出气方向与所述基台本体所在平面之间的夹角呈预设角度，并控制第一次切割后的待切割基板与所述基台本体分离。

9.根据权利要求8所述的切割方法，其特征在于，所述控制待切割基板吸附在所述基台本体上之前，还包括：

控制所述气管的延伸方向与所述基台本体所在平面垂直。

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