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JP2008114366A - 真空吸着装置 - Google Patents

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JP2008114366A JP2007283904A JP2007283904A JP2008114366A JP 2008114366 A JP2008114366 A JP 2008114366A JP 2007283904 A JP2007283904 A JP 2007283904A JP 2007283904 A JP2007283904 A JP 2007283904A JP 2008114366 A JP2008114366 A JP 2008114366A
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Abstract

【課題】鉄板やガラス、半導体素材用ウェハーなどのような平板状の物体、及び平滑な面を有する各種物品を真空吸着できる真空吸着システムを提供する。
【解決手段】空気を吸入して圧縮するための吸入圧縮手段と、空気の吸入により真空吸着される対象物の有無に応じて、該対象物に対する真空状態を調節するための真空調節部材を能動的に制御し、該対象物が存在する場合には真空吸着動作を行う一方、該対象物が存在しない場合には真空吸着動作を中断するように構成された吸着手段と、前記吸入圧縮手段及び吸着手段を連結する連結管と、前記連結管の管路上に設けられ、前記吸入圧縮手段による該連結管内の空気の流れを断続可能な開閉弁と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、鉄板やガラス、半導体素材用ウェハーなどのような平板状の物体、及び平滑な面を有する各種物品を真空吸着可能な真空吸着装置に関する。
従来より、平板状の対象物や平滑な表面を有する六面体の対象物を真空吸着して持ち上げたり、吸着した状態で所望の場所へ移動させたりするための吸着装置は、多数開発されていて、実際に使用されている。これらの吸着装置のうち大部分の吸着装置は、吸着しようとする対象物の規格に合わせて製作されるブロックに多数の吸着手段(パッド、吸着孔など)が設けられたものである。
従来の吸着手段は、エアソレノイドなどのような手段により空気を吸入して圧縮し、圧縮された空気により対象物を真空吸着するように構成されている。また、各々の吸着手段は、個別にエアソレノイドを備えていて、それぞれのエアソレノイドによって吸着手段の真空状態が制御されるように構成されている。
上述のような構成の吸着手段を備えた吸着装置は、真空状態を制御するために多数のエアソレノイドを必要とするので、部品のコストが高くなるだけでなく製造工程数が多くなり、製造原価が上昇するという問題が生じる。
また、従来の吸着装置は、吸着しようする対象物の規格に合わせて製作されるので、対象物の規格の大きさが異なる場合や対象物の形態が異なる場合には、それらに合わせて吸着装置をさらに製作しなければならないという問題点があった。また、このように吸着装置を再製作しない場合には、装置に別のプログラムを入れて、動作する吸着手段の数量や形態を調節する必要がある。そのため、このような装置では、追加的な構成要素が必要となるため、装置のコスト上昇を招くだけでなく、吸着しようとする対象物が変更される度に吸着手段の動作形態をいちいちセッティングしなければならず、運用上、不便な構成であった。
このような従来の吸着装置の問題点は、すべて、エアソレノイドなどのような手段により、吸入(真空)と吸入の中断とが制御される吸着手段を有する吸着装置に起因したもので、吸入及び吸入の中断を自主的且つ能動的に制御できる真空吸着装置が要求されている。
以上より、本発明は、上述のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、エアソレノイドを用いることなく且つ別の操作も行うことなく、対象物の存在の有無によってバルブの作動(真空/吸着)状態を能動的に制御できるようにすることにより、対象物のサイズや形態に関係なく該対象物を吸着することのできる吸着装置の具現化を可能とし、且つ、装置の製造原価の低減を図りつつ、装置使用時の便益性を増進することができ、さらに電気的に動作する構成部品も最小化でき、もって装置のコスト低減を図ることのできる真空吸着装置を提供することにある。
前記目的を達成するために本発明に係る真空吸着装置は、空気を吸入して圧縮するための吸入圧縮手段と、前記空気の吸入により真空吸着される対象物の有無に応じて、該対象物に対する真空状態を調節する真空調節部材を動作させることにより、該対象物が存在する場合には真空吸着動作を行う一方、該対象物が存在しない場合には真空吸着動作を中断するように構成された吸着手段と、前記吸入圧縮手段と吸着手段とを連結する連結管と、前記連結管の管路上に設けられ、前記吸入圧縮手段による該連結管内の空気の流れを断続可能な開閉弁と、を備えていることを技術的特徴とする。
本発明に係る真空吸着装置は、エアソレノイドを用いることなく対象物の吸着を可能としたことで、部品の最小化とともに構成を簡素化することができ、これにより、装置の製作が容易になるだけでなく製作コストを最小化することができる。
また、本発明を利用して吸着装置を具現化した場合、別途、何ら操作することなく、対象物の規格や形態によって吸着手段の真空状態が能動的に制御されるため、別の操作(駆動)プログラムなどを必要としないだけでなく、一つの装置を利用して多様な規格の対象物を効率的に吸着でき、効率の良い装置の運用を実現できる。
また、本発明は、電気的に駆動するエアソレノイドや駆動プログラムなどを用いないので、装置の電気エネルギーの消耗を最小化することができ、経済的な利点も得られる。
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
《実施形態１》
図１は、本発明の実施形態１に係る真空吸着装置の基本的な概略構成を示す図である。この図１に示すように、本発明に係る真空吸着装置は、空気を吸入して圧縮するための吸入圧縮手段２０と、対象物の存在の有無によって後述する真空調節部材３７が能動的に制御されて（動作して）、対象物が存在する場合には真空吸着動作を行う一方、対象物がない場合（存在しない場合）には空気の吸入（真空吸着動作）を中断する吸着手段３０と、前記吸入圧縮手段２０と吸着手段３０とを連結するための連結管Ｐと、前記連結管Ｐの一側（管路上）に設けられて、該連結管Ｐ内の空気の流れを断続するための開閉弁Ｖと、を備えている。
図２は、本発明の実施形態１に係る真空吸着装置の好ましい実施形態を示した図である。この図２に示すように、本発明の実施形態１に係る真空吸着装置１０は、吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗを複数、備えていて、連結管Ｐに複数の分岐管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗが接続されているとともに、各々の分岐管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗには吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗが緊密に連結されている。これにより、各吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗが独立して真空吸着動作を実行可能な真空吸着装置が得られる。
上述のように構成された本発明の実施形態１に係る真空吸着装置１０は、対象物の存在の有無によって真空調節部材３７が能動的に動作して、真空吸着を実行するため、吸着手段３０に対象物が接している場合には、吸入圧縮手段２０による吸入動作により対象物が吸着手段３０に吸着される一方、吸着手段３０に対象物が接していない場合には、吸入圧縮手段２０による吸入動作により後述する真空調節部材３７が吸着手段３０の吸着動作を制御する。以下で、本発明の実施形態１に係る吸着手段の構成について詳細に説明する。
図３は、本発明の実施形態１に係る吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの構成を示した図である。この図３に示すように、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、連結管Ｐまたは分岐管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗに結合可能な結合管３４とハウジング３１とを備えていて、該ハウジング３１の内部には、結合管３４に設けられた吸入孔３５よりも直径（断面）の大きい開閉室３３が形成されていて、これにより、この吸入孔３５と開閉室３３との間には段差面３３ａが形成されている。また、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、前記開閉室３３の下方に該開閉室３３と連通する真空室３２が形成されていて、この真空室３２内に真空調節部材３７が収納されている。
図４は、本発明の実施形態１に係る真空調節部材３７の構成を示した図である。この図４に示すように、前記真空調節部材３７は、優れた弾性及び復元力を有する軟質の合成樹脂（弾性部材）により形成されていて、平面視で一点から放射状に延びる羽根状に形成された支持板３８に略円柱状の開閉部３９を一体形成してなる。
前記支持板３８の外径は、前記真空室３２の内径（内寸）よりも多少大きくなるように、すなわち、前記真空調節部材３７の支持板３８が真空室３２の内壁面に押し付けられるように形成されている。また、前記真空調節部材３７に設けられた開閉部３９の上部には、前記吸入孔３５と開閉室３３との間に形成された段差面３３ａに対して緊密に面接触可能な開閉面３９ａが形成されている。前記開閉部３９は、開閉室３３よりも小さく、且つ、吸入孔３５よりも大きい外径（断面）を有するように形成されていて、該開閉部３９の開閉面３９ａによって前記吸入孔３５を閉塞できるように構成されている。
また、前記真空調節部材３７に形成される各々の支持板３８の上面、すなわち、開閉室３３側の面が、該開閉室３３に対して下方に凸となるように、該支持板３８は湾曲形成されていて、支持板３８自体が有する弾性と湾曲面との相互作用により支持板３８の弾性を倍加させることにより、真空調節部材３７の復元力を一層大きくすることができる。
上述のように構成された真空調節部材３７において、真空室３２の底部が開放された状態で吸入圧縮手段２０が吸入動作を行うと、その吸引力によって真空調節部材３７の支持板３８に形成された開閉部３９が開閉室３３側に引かれ、該開閉部３９の開閉面３９ａが吸入孔３５を塞ぐ。すなわち、前記真空調節部材３７の支持板３８は、その外周部で真空室３２の内壁面に対して押し付けられた状態なので、開閉部３９だけが一定の距離を上方へ移動して吸入孔３５を塞ぐ。一方、吸入圧縮手段２０による吸入動作を中断すれば、真空調節部材３７が有する弾性及び復元力により開閉部３９が最初の位置に戻される(図５Ａ及び図５Ｂ参照)。
ここで、吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗを構成する開閉室３３及び真空調節部材３７は、吸入圧縮手段２０の吸入作用によって真空室３２の真空状態を制御できるものであれば多様な形態で製作可能である。以下、開閉室３３及び真空調節部材３７の他の実施形態について説明する。
《実施形態２》
図６Ａは、本発明の第２実施形態に係る吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの構成を示した図である。この図６Ａに示すように、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、連結管Ｐまたは分岐管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗに結合する結合管３４とハウジング３１とを備えている。このハウジング３１の内部には、結合管３４に設けられた吸入孔３５よりも直径（断面）の大きい開閉室３３が形成されていて、これにより、該吸入孔３５と開閉室３３との間には段差面３３ａが形成されている。また、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、開閉室３３の下方に該開閉室３３と連通する真空室３２が形成されていて、該開閉室３３内には真空調節部材３７が収納されている。
そして、この実施形態では、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、前記真空室３２に開口するようにピン孔３１ａ（孔部）が設けられているとともに、前記真空調節部材３７の支持板３８には、前記段差面３３ａと緊密に面接触可能な開閉面３９ａを備えた開閉部３９が形成されている。支持板３８の一端側には、該支持体３８を延長するように側方（水平方向）に向かって延出する平板状の補助翼３８ａが設けられていて、該補助翼３８ａ上には、前記ピン孔３１ａに挿入される制御ピン３７ａが設けられている。このように、上下動する前記真空調節部材３７の水平方向の位置を前記制御ピン３７ａによって位置決めすることで、該真空調節部材３７の上下動によって正確且つ的確に吸着作用を得ることができる。
前記支持板３８は、その長軸端が前記真空室３２の内壁面に近接するような長径を有する略楕円形状に形成されていて、該支持板３８の短軸端と真空室３２の内壁面との間に形成される空間(間隙)を介して空気が流れるようにする。また、前記開閉部３９は、開閉室３３よりも小さく、且つ、吸入孔３５よりも大きい外径（断面）になるように形成されていて、該開閉室３３内に収容可能で開閉部３９の開閉面３９ａにより吸入孔３５が閉塞されるようにする。
なお、図６Ａに示す実施形態では、前記補助翼３８ａ及び制御ピン３７ａを設けているが、図６Ｂに示すように、これらの補助翼３８ａ及び制御ピン３７ａを設けない構成であってもよい。
また、上記図６Ａ及び図６Ｂに示す符号３６は、それぞれ、通気可能に真空室３２の下側を覆うカバープレートである。
《実施形態３》
図７は、本発明の実施形態３に係る吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの構成を示した図である。この図７に示すように、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、連結管Ｐまたは分岐管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗに結合する結合管３４とハウジング３１とを備えている。このハウジング３１の内部には、結合管３４に設けられた吸入孔３５よりも直径（断面）の大きい開閉室３３が形成されていて、これにより、該吸入孔３５と開閉室３３との間には、段差面３３ａが形成されている。また、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、開閉室３３の下方に該開閉室３３と連通する真空室３２が形成されていて、該開閉室３３内には真空調節部材３７が収納されている。
そして、この実施形態では、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、前記開閉室３３の段差面３３ａが下方に向かうほど直径の大きくなる円錐状に形成されているとともに、前記吸入孔３５の上部には、多数の通気孔が形成され且つ中央部に支持ピン４０ａ（第１支持ピン）が設けられた補助プレート４０が配設されている。前記真空調節部材３７は、支持板３８上の開閉部３９に開閉面３９ａが形成されたものであり、この開閉面３９ａは、前記開閉室３３の段差面３３ａのように下方に向かって直径の大きくなる円錐台状に形成されている。前記真空調節部材３７の開閉部３９の上面には、支持ピン３９ｂ（第２支持ピン）が形成されていて、前記補助プレート４０に形成された支持ピン４０ａと前記真空調節部材３７に形成された支持ピン３９ｂとの間には、スプリングＳが配設されている。該スプリングＳの弾性により真空調節部材３７を開閉室３３の段差面３３ａから離隔させることができる。
この時、前記支持板３８の外形寸法としての直径（断面）は、真空室３２の横断面の直径（断面）よりも小さくなるように構成されている。これにより、支持板３８と真空室３２の内壁面との間に形成される空間(間隙)を介して空気を流すことができる。
なお、上記図７に示す符号３６は、通気可能に真空室３２の下側を覆うカバープレートである。
《実施形態４》
図８は、本発明の実施形態４に係る吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの構成を示した図である。この図８に示すように、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、連結管Ｐまたは分岐管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗに結合する結合管３４とハウジング３１とを備えている。このハウジング３１の内部には、結合管３４に設けられた吸入孔３５よりも直径（断面）の大きい開閉室３３が形成されていて、これにより、該吸入孔３５と開閉室３３との間には、段差面３３ａが形成されている。また、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、開閉室３３の下方に該開閉室３３と連通する真空室３２が形成されていて、該真空室３２には真空調節部材３７が収納されている。前記真空調節部材３７は、弾性及び復元力の優れた軟質の合成樹脂（弾性部材）によって放射状に延びる羽根状に形成された支持板３８に、略円柱状の開閉部３９が一体形成されてなる。この開閉部３９の上部には、吸入孔３５と開閉室３３との間に形成された前記段差面３３ａに対して緊密に面接触可能な開閉面３９ａが形成されている。
そして、この実施形態では、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、前記開閉室３３の上部に、多数の通気孔が形成された補助プレート４０が配設されていて、該補助プレート４０の上面には、磁石Ｍ２（第１磁石）が設けられているとともに、前記真空調節部材３７の開閉部３９の上面にも前記磁石Ｍ２に対応して磁石Ｍ１（第２磁石）が埋設されている。該真空調節部材３７の開閉部３９に埋設される磁石Ｍ１と補助プレート４０に設置される磁石Ｍ２とは、同一の極性が選択されていて、各磁石Ｍ１、Ｍ２の反撥力によって該真空調節部材３７が開閉室３３の段差面３３ａから離隔した状態が維持されるようになっている。
《実施形態５》
図９は、本発明の実施形態５に係る吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの形態を示した図である。この図９に示すように、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、分岐管Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗに結合する結合管３４とハウジング３１とを備えている。このハウジング３１の内部には、結合管３４に設けられた吸入孔３５よりも直径（断面）の大きい開閉室３３が形成されていて、該吸入孔３５と開閉室３３との間には、段差面３３ａが形成されている。また、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、開閉室３３の下方に該開閉室３３と連通する真空室３２が形成されていて、該真空室３２内に真空調節部材３７が収納されている。この真空室３２の下方は、カバープレート３６によって覆われている。前記真空調節部材３７は、弾性及び復元力の優れた軟質の合成樹脂（弾性部材）によって放射状に延びる羽根状に形成された支持板３８に略円柱状の開閉部３９が一体形成されてなり、該開閉部３９の上部には、吸入孔３５と開閉室３３との間に形成された前記段差面３３ａと緊密に面接触可能な開閉面３９ａが形成されている。
そして、この実施形態では、前記吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、前記真空調節部材３７の支持板３８の下面に磁石Ｍ３（第１磁石）が埋設されているとともに、前記真空室３２のカバープレート３６にも前記磁石Ｍ３と対応して磁石Ｍ４（第２磁石）が埋設されている。該真空調節部材３７の支持板３８に埋設される磁石Ｍ３とカバープレート３６に埋設される磁石Ｍ４とは、反対の極性が選択されていて、各磁石Ｍ３、Ｍ４の磁力により真空調節部材３７が開閉室３３の段差面３３ａから離隔した状態が維持されるようになっている。
以上のように構成された本発明の吸着装置では、吸入圧縮手段２０の吸入動作により吸着手段３０が対象物の存在の有無に応じた能動的な真空吸着が可能になるため、吸着手段３０を複数の吸着手段によって構成して吸着装置を実現する場合には、各々の吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗを支持ブロックＢに埋設固定して用いるのが好ましい(図１０参照)。以下、吸着手段３０を複数の吸着手段によって構成した場合の作用について説明する。
本発明の各実施形態に係る吸着装置では、吸入圧縮手段２０を動作させた状態で、吸着しようとする対象物の形態や規格によって選択される吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗを該対象物に密着させた後、開閉弁Ｖを開放すれば、該対象物に密着するように選択された任意の吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、真空室３２を真空状態にして前記対象物を吸着する。一方、前記対象物から外れた位置にある任意の吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、真空調節部材３７が吸入孔３５を閉じて、前記対象物を吸着している吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの真空状態をより確実に維持することができる。
すなわち、本発明の各実施形態に係る吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗに対象物が密着している状態では、吸入圧縮手段２０による空気の吸入が行われても該対象物が吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗのハウジング３１の底面に密着しているので、真空室３２の真空状態が維持されて前記対象物に対する吸着状態が維持される。この過程で、前記真空室３２の内部は空気の流れが存在しない真空状態なので、真空調節部材３７は、最初の位置(開閉室３３の段差面３３ａから離れている状態)で維持され、該真空室３２内の真空状態に影響を与えない。
また、本発明の各実施形態に係る吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗにおいて、ハウジング３１の底部が対象物から完全に離れていたり、該対象物が完全に密着していない場合には、該当する吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの真空調節部材３７が吸入孔３５を閉じることで、対象物を吸着している吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの真空(吸着)状態をより確実に維持することができる。この過程では、吸入圧縮手段２０の動作によって吸入孔３５を通じて吸入される外部空気の流れにより、真空調節部材３７が開閉室３３の方向に吸引されて、該真空調節部材３７の開閉部３９に設けられた開閉面３９ａが吸入孔３５と開閉室３３との間に形成された段差面３３ａと緊密に面接触し、該開閉面３９ａが吸入孔３５を閉じて空気の流れが中断される。
上述した過程を通じて、対象物を吸着している各々の吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、該対象物によって真空吸着状態を維持することができる一方、対象物を吸着していない吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗは、真空調節部材３７の動作によって真空状態を維持することができる。これにより、対象物を吸着している各々の吸着手段３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗの真空(吸着)状態をより確実に維持することができ、規格や形態の異なる対象物に対しても真空吸着を行えるようになる。
本発明の実施形態１に係る真空吸着装置の概略構成図である。 本発明の実施形態１に係る真空吸着装置の好ましい形態を示した概略構成図である。 吸着手段の概略構成を示す断面図である。 真空調節部材の概略構成を示す斜視図である。 真空調節部材の動作状態（通常時）を説明するための断面図である。 真空調節部材の動作状態（吸引時）を説明するための断面図である。 本発明の実施形態２に係る吸着手段の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る吸着手段の他の構成を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る吸着手段の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施形態４に係る吸着手段の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施形態５に係る吸着手段の概略構成を示す断面図である。 本発明の各実施形態に係る吸着手段を支持ブロックに設けた場合の概略構成を示す斜視図である。
符号の説明
１０：真空吸着装置
２０：吸入圧縮手段
３０、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、…３０ｗ：吸着手段
３１：ハウジング
３１ａ：ピン孔（孔部）
３２：真空室
３３：開閉室
３３ａ：段差面
３４：結合管
３５：吸入孔
３６：カバープレート
３７：真空調節部材
３７ａ：制御ピン
３８：支持板
３８ａ：補助翼
３９：開閉部
３９ａ：開閉面
３９ｂ：支持ピン（第２支持ピン）
４０：補助プレート
４０ａ：支持ピン（第１支持ピン）
Ｂ：支持ブロック
Ｐ：連結管
Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、…Ｐｗ：分岐管
Ｖ：開閉弁
Ｓ：スプリング
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４：磁石

Claims (8)

  1. 空気を吸入して圧縮するための吸入圧縮手段と、
    前記空気の吸入により真空吸着される対象物の有無に応じて、該対象物に対する真空状態を調節する真空調節部材を動作させることにより、該対象物が存在する場合には真空吸着動作を行う一方、該対象物が存在しない場合には真空吸着動作を中断するように構成された吸着手段と、
    前記吸入圧縮手段と吸着手段とを連結する連結管と、
    前記連結管の管路上に設けられ、前記吸入圧縮手段による該連結管内の空気の流れを断続可能な開閉弁と、
    を備えていることを特徴とする真空吸着装置。
  2. 前記吸着手段は、複数、設けられていて、
    前記連結管には、複数の分岐管が接続されており、
    前記各々の分岐管に前記吸着手段が緊密に連結されて、該吸着手段がそれぞれ独立して真空吸着動作を行えるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空吸着装置。
  3. 前記吸着手段は、連結管または該連結管に接続される分岐管のいずれか一方に結合される結合管と、ハウジングとを備えており、
    前記ハウジングの内部には、前記結合管の吸入孔よりも大きい断面を有する開閉室が形成されているとともに、該吸入孔と開閉室との間には段差面が形成されていて、
    前記開閉室の下方に該開閉室と連通するように形成された真空室内には、前記真空調節部材が収納されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空吸着装置。
  4. 前記真空調節部材は、弾性部材からなり、平面視で一点から放射状に延びるような形状を有する支持板と、該支持板上に設けられた開閉部と、を備えていて、
    前記支持板は、その外周部分が前記真空室の内壁面に押し付けられるように、該真空室の内寸よりも大きく形成されており、
    前記開閉部の上部には、前記段差面に対して緊密に面接触可能な開閉面が形成されていて、
    前記開閉部は、前記開閉室内に収容可能で且つ前記開閉面によって前記吸入孔を閉塞可能な断面を有していることを特徴とする請求項３に記載の真空吸着装置。
  5. 前記ハウジングには、前記真空室に開口するように孔部が形成されており、
    前記真空調節部材は、支持板を備えていて、この支持板には、前記段差面に対して緊密に面接触可能な開閉面を有する開閉部が設けられているとともに、該支持板の一側には、該支持板を延長するように補助翼が突出形成されており、該補助翼上には前記孔部内に挿入される制御ピンが形成されていて、
    前記支持板は、楕円状に形成されており、その長軸側の端部が前記真空室の内壁面に近接するような長径を有するとともに、短軸側の端部と前記真空室の内壁面との間に空間が形成されるように構成されていて、
    前記開閉部は、前記開閉室内に収容可能で且つ前記開閉面によって前記吸入孔を閉塞可能な断面を有していることを特徴とする請求項３に記載の真空吸着装置。
  6. 前記開閉室の段差面は、下方に向かうほど径の大きくなる円錐面であり、
    前記吸入孔の上部には、多数の通気孔が形成されているとともに中央部に第１支持ピンが設けられた補助プレートが配設されていて、
    前記真空調節部材は、支持板と該支持板上に設けられた開閉部とを備えていて、
    前記開閉部の上部には、前記開閉室の段差面に対応するように下方に向かうほど径の大きくなる円錐面状の開閉面が形成されており、
    前記開閉部の上面に突出形成された第２支持ピンと前記第１支持ピンとの間には、スプリングが介設されていて、
    前記支持板は、前記真空室の内壁面との間に空間が形成されるように、該真空室の横断面よりも外形寸法が小さいことを特徴とする請求項３に記載の真空吸着装置。
  7. 前記開閉室の上部には、多数の通気孔が形成されている補助プレートが配設されており、
    前記補助プレートには、第１磁石が設けられていて、
    前記真空調節部材は、支持板と該支持板上に設けられた開閉部とを備えていて、
    前記開閉部の上面にも、前記第１磁石と同じ極性を有する第２磁石が該第１磁石に対応するように埋設されていて、
    前記真空調節部材は、前記各磁石の反撥力によって前記開閉室の段差面から離隔する方向の力を受けるように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空吸着装置。
  8. 前記真空調節部材は、支持板と該支持板上に設けられた開閉部とを備えていて、
    前記支持板の下面には、第１磁石が設けられていて、
    前記真空室の支持板の下方を覆うカバープレートには、前記第１磁石と反対の極性を有する第２磁石が該第１磁石と対応するように設けられていて、
    前記真空調節部材は、前記各磁石の磁力により前記開閉室の段差面から離隔する方向の力を受けるように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空吸着装置。
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