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ATE520015T1 - Messkopf für nanoeinschnittvorrichtung und verfahren zur messung damit - Google Patents

Messkopf für nanoeinschnittvorrichtung und verfahren zur messung damit

Info

Publication number
ATE520015T1
ATE520015T1 AT05811177T AT05811177T ATE520015T1 AT E520015 T1 ATE520015 T1 AT E520015T1 AT 05811177 T AT05811177 T AT 05811177T AT 05811177 T AT05811177 T AT 05811177T AT E520015 T1 ATE520015 T1 AT E520015T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
measuring
nanoincut
therewith
measuring head
head
Prior art date
Application number
AT05811177T
Other languages
English (en)
Inventor
Jacques Woirgard
Bertrand Bellaton
Richard Consiglio
Original Assignee
Csm Instr Sa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Csm Instr Sa filed Critical Csm Instr Sa
Application granted granted Critical
Publication of ATE520015T1 publication Critical patent/ATE520015T1/de

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N3/40—Investigating hardness or rebound hardness
    • G01N3/42—Investigating hardness or rebound hardness by performing impressions under a steady load by indentors, e.g. sphere, pyramid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
    • G01Q60/36—DC mode
    • G01Q60/366—Nanoindenters, i.e. wherein the indenting force is measured
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N2203/003—Generation of the force
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    • G01N2203/0051—Piezoelectric means
    • G—PHYSICS
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    • G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
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AT05811177T 2004-12-23 2005-11-16 Messkopf für nanoeinschnittvorrichtung und verfahren zur messung damit ATE520015T1 (de)

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