WO2019021749A1

WO2019021749A1 - 検査治具

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Publication number: WO2019021749A1
Application number: PCT/JP2018/025083
Authority: WO
Inventors: 上田　隆
Original assignee: 株式会社ヨコオ
Priority date: 2017-07-24
Filing date: 2018-07-02
Publication date: 2019-01-31
Also published as: US11300589B2; US20200174039A1; JPWO2019021749A1; TWI770230B; JP7240317B2; TW201917389A

Abstract

フレキシブル基板の接点部を傾斜可能とすることで、検査対象物に対する接点部の傾きを吸収し、均一な接触状態を得る。　検査冶具１は、検査対象物に接触する接点部４１を有するフレキシブル基板４０と、この接点部４１を検査対象物に向けて付勢するブロック７０と、ブロック７０のフレキシブル基板４０に接する主面の反対側に配置される押さえ部材９０と、を備える。ブロック７０は、前記主面を有するブロック本体部７０１と、ブロック本体部７０１の前記主面の反対面の中心部に固定されたブッシュ７１０と、を有する。ブッシュ内周の第１位置決め穴に、押さえ部材に固定された第１ピン１０１が挿入され、ブロック中心部から外れた第２位置決め穴に、押さえ部材に固定された第２ピン１０２が挿入され、ブロック７０は第１ピン１０１を支点として傾斜自在である。

Description

検査治具

　本発明は、ウェハーに設けられた半導体集積回路等の検査対象物の電気的特性を検査するための検査治具に関する。

　一般に、半導体集積回路の電気的特性の検査に使用されるプローブカード等の検査治具は、メイン基板と、メイン基板に半田付け等により接合されたフレキシブル基板とを備える。フレキシブル基板には、検査対象物（例えばウェハー）の電極に接触する接点部が形成される。フレキシブル基板は、接点部の裏側から、スプリングにより付勢されたブロックを介し検査対象物側に押圧され、検査対象物との接触力がフレキシブル基板に与えられる。このような構成のプローブカードは、メンブレンタイプと呼ばれることもある。

　図１５は従来のこの種の検査治具の要部構成を示す。検査対象物、例えばウェハーＷの電極に接触する接点部４１が、フレキシブル基板４０に形成されている。フレキシブル基板４０は、接点部４１が露出するようにメイン基板１０の一方の面に固定される。さらに、フレキシブル基板４０の背後となる配置で、ユニット押さえ部材９０が、メイン基板１０に固定される。フレキシブル基板４０の背後（接点部４１の裏側）に位置するブロック７０Ａが、ユニット押さえ部材９０に立設固定された２本以上のピン１２０により、ピン１２０の軸方向に移動自在に支持されている。図示しないスプリングにより付勢されたブロック７０Ａを介して、フレキシブル基板４０は検査対象物側に押圧され、ウェハーＷとの接触力がフレキシブル基板４０に与えられる。ブロック７０Ａの下方（ウェハーＷに近づく方向）への移動量は、メイン基板１０に固定のリテーナ２０で規制される。

　この構造では、ブロック７０Ａの位置決めが２本以上のピン１２０により行われるため、位置決め精度は確保できる。しかし、ブロック７０Ａは、ピン１２０の軸方向以外に移動できない。このため、検査対象物に対する検査冶具の傾きが吸収されない。

　従来のＲＦ（高周波）系デバイス用の検査治具では、ウェハー上の１個もしくは２個のデバイス（ＩＣやＬＳＩ等）の検査が、行われてきた。近ごろは、多数個（３個以上）のデバイスを同時に検査することができる検査冶具が、要求され始めている。

　ウェハー上の多数個のデバイスに対し、フレキシブル基板４０の接点部（従来よりも広い面積となる）を同時に安定して接触させるためには、検査治具の各部材の精度や、ウェハー及び検査治具の取り付け精度を、高精度に維持する必要がある。実際にはそれらの精度の影響で、検査時にウェハーに対し検査治具が僅かに傾いている状況が生じていた。この状態でウェハーの電極にフレキシブル基板４０の接点部を接触させると、複数の検査箇所の間で接触圧の偏りが出てしまい、接触圧の弱い箇所が発生していた。そこで、接触圧の弱い箇所を補償するために全体の接触圧を強くする方法もとられたが、今度は接触圧が過大になる部分が発生し、ウェハー上の半田ボールを潰してしまう欠点があった。

特開２０１６－１２５８７６号公報

　従来の検査治具は、ウェハー上の多数個のデバイスに対し、フレキシブル基板４０の広い面積の接点部を同時に安定して接触させるための構造上の配慮がなかった。このため、従来の検査冶具には、接触圧の弱い箇所、あるいは接触圧が過大になる箇所が発生する問題があった。

　本発明はこうした状況を認識してなされたものである。本発明の目的は、フレキシブル基板の接点部を傾斜可能とすることで、検査対象物に対する接点部の傾きを吸収し、均一な接触状態を得ることが可能な検査治具を提供することにある。

　本発明のある態様は検査治具である。この検査治具は、検査対象物に接触可能な接点部を有するフレキシブル基板と、フレキシブル基板の接点部の反対側に配置されて、接点部を検査対象物に向けて付勢するブロックと、ブロックのフレキシブル基板に接する主面の反対側に配置される押さえ部材と、を備える。ブロックは、主面の反対面の略中心部に開口され、押さえ部材に固定された第１ピンが挿入される第１位置決め穴を有する。第１位置決め穴の内周側には、ブロックの非傾斜時に第１ピンに接触しない大径部と、大径部よりも小径の小径部と、が設けられる。ブロックは、第１ピンを支点として傾斜自在となる。

　ブロックは、フレキシブル基板に接する主面を有するブロック本体部と、ブロック本体部の主面の反対面の略中心部に固定されたブッシュと、を有してもよい。ブッシュに第１ピンが挿入される第1位置決め穴が形成されてもよい。

　ブロックの第２位置決め穴は、主面の反対面の中心部から外れた位置に設けられてもよい。第２位置決め穴に押さえ部材に固定された第２ピンが挿入されてもよい。

　前記第２位置決め穴は、前記第１ピンと前記第２ピンとを結ぶ第１方向の幅が前記第１方向に直交する第２方向の幅よりも長い長穴でもよい。

　フレキシブル基板はメイン基板に固定されてもよい。接点部は、メイン基板の接点用貫通穴から突出してもよい。押さえ部材はメイン基板に固定されてもよい。

　大径部は、前記小径部の前記押さえ部材側に位置してもよい。

　第１ピンの軸方向の延長線上に、フレキシブル基板の接点部が位置してもよい。

　なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。

　本発明に係る検査治具によれば、フレキシブル基板の背後のブロックが傾斜可能に支持されている。従って、フレキシブル基板の接点部も傾斜できる。このため、検査冶具は、検査対象物に対する接点部の傾きを吸収することができ、均一な接触状態を得ることができる。

本発明に係る検査治具の実施の形態を示す分解上方斜視図。図１の検査治具の分解下方斜視図。図１の検査治具の上方斜視図。図１の検査治具の下方斜視図。図１の検査治具の平面図。図１の検査治具の正面図。図１の検査治具の底面図。図５のＡ－Ａ断面図。図５のＢ－Ｂ断面図。実施の形態における押さえ部材の下方斜視図。図１０の押さえ部材の上方斜視図。実施の形態において、検査対象物であるウェハーに接触していないときのブロック及びその周辺の要部拡大断面図。実施の形態において、検査対象物であるウェハーに接触しているがブロックが傾斜していないときのブロック及びその周辺の要部拡大断面図。実施の形態において、検査対象物であるウェハーに接触して、ブロックが傾斜しているときのブロック及びその周辺の要部拡大断面図。従来の検査治具の要部構成を示す要部拡大断面図。

　以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。

　図１から図１４を用いて本発明の実施の形態である検査治具１を説明する。検査治具１はいわゆるプローブカードであり、メイン基板１０、リテーナ２０、コンタクトユニット３０、及びユニット押さえ部材９０を備える。メイン基板１０としては、例えば絶縁性のガラスエポキシ基板を用いる。リテーナ２０は、例えばステンレス鋼等の金属製である。ユニット押さえ部材９０は、例えば樹脂成形体からなる。

　コンタクトユニット３０は、検査治具１の交換用コンタクトユニットである。コンタクトユニット３０は、検査治具１のメイン基板１０に交換可能に固定される。コンタクトユニット３０は、フレキシブル基板４０と、ＳＭＡコネクタ等の４つの同軸コネクタ５０と、例えばガラスエポキシ基板からなるサブ基板６０と、例えば樹脂成形体からなるブロック７０と、を有する。ブロック７０及びその周辺の構造は後述する。

　フレキシブル基板４０は、ウェハー等の検査対象物とのコンタクト用に設けられる。フレキシブル基板４０は、サブ基板６０の一方の面（下面）側に位置する。図２、図７等に示すように、検査対象物に対面するフレキシブル基板４０の下面（サブ基板６０とは反対側の面）には、ウェハー等の検査対象物の電極に接触可能な接点部４１が、設けられている。接点部４１は、フレキシブル基板４０の十字部の中心部に位置する、信号用とＤＣ用の各バンプ電極の集合体である。信号用バンプ（図示せず）は、フレキシブル基板４０の信号用パターンを介して同軸コネクタ５０の信号用脚部５２と半田付け等により電気的に接続される。フレキシブル基板４０のグランドパターンは、同軸コネクタ５０のグランド用脚部５３と電気的に接続される。また、フレキシブル基板４０にはネジ止め用貫通穴４５Ａ，４５Ｂ、及び位置決め用貫通穴４９が設けられる。ネジ止め用貫通穴４５Ａは、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に固定するネジ（締結具）１０７Ａを通すために設けられる。ネジ止め用貫通穴４５Ｂは、ユニット押さえ部材９０をメイン基板１０に固定するネジ（締結具）１０７Ｂを通すために設けられる。位置決め用貫通穴４９は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に対して位置決めする位置決め用ピン１０９（リテーナ２０に立設されている）を通すために設けられる。

　４つの同軸コネクタ５０は、電気的に絶縁性の硬質基板としてのサブ基板６０に固定される。４つの同軸コネクタ５０は、フレキシブル基板４０の接点部４１を囲む位置に設けられる。不図示の検査装置（テスター）から延びる同軸ケーブルを、４つの同軸コネクタ５０に、着脱自在に接続可能である。サブ基板６０は、同軸コネクタ５０に対する同軸ケーブルの着脱の際にフレキシブル基板４０と同軸コネクタ５０との接合部（半田付け部）に大きな負荷が加わることを防止する目的で設けられる。サブ基板６０には、中央貫通穴６１、ネジ止め用貫通穴６７、及び位置決め用貫通穴６９が、設けられる。中央貫通穴６１は、ブロック７０を配置するためのスペースとなる。ネジ止め用貫通穴６７は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に固定するネジ（締結具）１０７Ａを通すために設けられる。位置決め用貫通穴６９は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に対して位置決めする位置決め用ピン１０９（リテーナ２０に立設されている）を通すために設けられる。

　メイン基板１０には、フレキシブル基板４０の接点部を下方に突出させるための接点用貫通穴１１、ネジ止め用貫通穴１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄ、及び位置決め用貫通穴１９が設けられる。ネジ止め用貫通穴１７Ａは、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に固定するネジ１０７Ａを通すために設けられる。ネジ止め用貫通穴１７Ｂは、ユニット押さえ部材９０をメイン基板１０に固定するネジ（締結具）１０７Ｂを通すために設けられる。ネジ止め用貫通穴１７Ｃ，１７Ｄは、それぞれメイン基板１０にリテーナ２０を固定するネジ（締結具）１０７Ｃ，１０７Ｄを通すために設けられる。位置決め用貫通穴１９は、コンタクトユニット３０をメイン基板１０に対して位置決めする位置決め用ピン１０９を通すために設けられる。

　リテーナ２０は、例えば金属板であり、メイン基板１０から下方へのコンタクトユニット３０の突出量を規制する役割を持つ。リテーナ２０には、接点用貫通穴２１及びネジ穴２７Ｂ，２７Ｃ，２７Ｄが設けられる。接点用貫通穴２１は、フレキシブル基板４０の接点部４１を下方に突出させるために設けられる。接点用貫通穴２１の内側に延びた部分はブロック用ベース部２２を成す。ブロック用ベース部２２は相互に直交するように２対設けられている。リテーナ２０は、メイン基板１０のネジ止め用貫通穴１７Ｃ，１７Ｄを貫通してネジ穴２７Ｃ，２７Ｄに螺合するネジ（締結具）１０７Ｃ，１０７Ｄによってメイン基板１０の下面に取り付けられる（固定される）。図２及び図７に示すように、メイン基板１０の下面には半田付けでナット２７Ａが固定されている。コンタクトユニット３０は、ネジ１０７Ａでメイン基板１０に固定される。ネジ１０７Ａは、メイン基板１０のネジ止め用貫通穴１７Ａを貫通して、ナット２７Ａに螺合する。ユニット押さえ部材９０は、ネジ１０７Ｂでメイン基板１０に固定される。ネジ１０７Ｂは、ユニット押さえ部材９０に形成されたネジ止め用貫通穴９７、フレキシブル基板４０の貫通穴４５Ｂを通過し、メイン基板１０のネジ止め用貫通穴１７Ｂを貫通して、リテーナ２０のネジ穴２７Ｂに螺合する。

　リテーナ２０には、位置決め用ピン１０９が立設固定される。位置決め用ピン１０９は、メイン基板１０の上面から上方に突出する。位置決め用ピン１０９は、メイン基板１０、コンタクトユニット３０及びユニット押さえ部材９０を相互に位置決めする役割を持つ。

　ユニット押さえ部材９０は、コンタクトユニット３０を上方から押さえる部材である。図１０、図１１にも示すように、ユニット押さえ部材９０には、位置決め用貫通穴９３、コネクタ用貫通穴９５、及びスプリング用凹部９６が設けられる。位置決め用貫通穴９３は、位置決め用ピン１０９を挿通するために設けられる。位置決め用ピン１０９は、ユニット押さえ部材９０をメイン基板１０及びコンタクトユニット３０に対して位置決めする。コネクタ用貫通穴９５は、同軸コネクタ５０を上方に突出させるために設けられる。スプリング用凹部９６は、ユニット押さえ部材９０の４箇所に形成される。４個のスプリング９１の一端が、スプリング用凹部９６のそれぞれに入り込む。スプリング用凹部９６は、４個のスプリング９１を支持する。付勢部材としてのスプリング９１は、ユニット押さえ部材９０がメイン基板１０にネジ１０７Ｂにより固定された状態で、ブロック７０を下方に付勢する（すなわちフレキシブル基板４０の接点部４１を下方に付勢する）。このため、フレキシブル基板４０の接点部４１に、ウェハー等の検査対象物との接触力が付与される。ユニット押さえ部材９０には、ブロック７０を位置決めするために第１ピン１０１及び第２ピン１０２が立設固定されている。

　コンタクトユニット３０がメイン基板１０に固定された状態において、ブロック７０は、スプリング９１によって下方に付勢され、フレキシブル基板４０を、接点部４１がメイン基板１０から下方に突出した状態に保持する。図８、図９等に示すように、ブロック７０は、下方に凸となる中央の角錐部７１の周囲に４つの脚部７２を有する。ブロック７０の各脚部７２には、平行度調整ネジ７３が取り付けられる。平行度調整ネジ７３の先端は、リテーナ２０のブロック用ベース部２２に接触（当接）し、ブロック７０のリテーナ２０に対する高さと傾きが調整可能となっている。

　ブロック７０が傾斜可能である点を、図８、図９、図１２から図１４を用いて詳述する。なお、図１２から図１４では、ブロック７０の姿勢を分かり易くするためにフレキシブル基板４０の図示は省略している。ブロック７０は、ブロック本体部７０１（角錐部７１と４つの脚部７２を有する）と、円筒状ブッシュ７１０と、を有している。ブロック本体部７０１は主面を有し、このブロック本体部７０１の主面は、フレキシブル基板４０の接点部４１の反対面に接する。非貫通穴であるブッシュ配置穴部７０２が、ブロック本体部７０１の主面の反対面の略中心部に形成されている。ブッシュ７１０は、ブッシュ配置穴部７０２に圧入、固定される。ブッシュ７１０及びブロック本体部７０１は樹脂部品である。なお、ブッシュ７１０は金属部品であっても良く、ブッシュ配置穴部７０２は貫通穴であっても良い。

　図１２から図１４のように、ブッシュ７１０の内周には、大径部７１１と、小径部７１２とが設けられる。大径部７１１と小径部７１２とが、第１位置決め穴を構成する。小径部７１２の内周に、第１ピン１０１が、挿入されている（嵌合されている）。このため、第１ピン１０１の軸方向の延長線上に、フレキシブル基板４０の接点部４１が位置することになる。大径部７１１は、ブロック７０の非傾斜時（図１２及び図１３の状態）に第１ピン１０１に接触しない。小径部７１２は、大径部７１１よりも内径が小さい。ブッシュ配置穴部７０２の底部には第１ピン１０１が当たらないように凹部７０３が形成されている。ブッシュ７１０全体の軸方向長さに比べて小径部７１２の軸方向長さは短い。このため、小径部７１２の内周と第１ピン１０１との間隙が微小であっても、ブロック７０は、第１ピン１０１を支点として傾斜可能である。ブロック本体部７０１の周辺部の第２位置決め穴７０５には、第２ピン１０２が挿入される（嵌合される）。第２ピン１０２は、ブロック本体部７０１の回転方向の位置決めを行っている。ここで、第２位置決め穴７０５は、第１ピン１０１と第２ピン１０２とを結ぶ直線方向に長い長穴である。つまり、第２位置決め穴７０５の第１ピン１０１と第２ピン１０２とを結ぶ第１方向における幅は、第２位置決め穴７０５の第１方向に直交する第２方向における幅よりも大きい。これにより、ブロック７０の回転方向の位置決め精度は低下させずにブロック７０の傾斜方向の姿勢変化は許容可能となる。

　次に、本実施の形態の主要部の動作を図８、図９、図１２から図１４を用いて説明する。接点部４１がメイン基板１０（ウェハー上のＩＣ，ＬＳＩ等の検査対象物の被検査面）と平行になっていない場合には、平行度調整ネジ７３でブロック７０をウェハー上のＩＣ，ＬＳＩ等の検査対象物の被検査面にできるだけ平行となるように調整する。図８、図９及び図１２はフレキシブル基板４０の接点部４１が検査対象物に接触していない検査前の状態を示す。

　この状態から図示しない機構によって検査治具１を移動（下降）させてフレキシブル基板４０の接点部４１の複数のバンプ電極を検査対象物の電極に所要の接触圧で接触させて電気的特性の検査を行う。図１３は検査対象物の被検査面と、ブロック７０の主面側のフレキシブル基板４０の接点部４１との平行度が高い場合であり、ブロック７０は傾斜しないでフレキシブル基板４０の接点部４１の裏側を押圧している。

　仮に検査対象物の被検査面とフレキシブル基板４０の接点部４１との平行度が低い場合であっても、図１４のように、ブロック７０が傾斜してフレキシブル基板４０の接点部４１を検査対象物の被検査面に平行にすることで、接点部４１の複数のバンプ電極を検査対象物の電極に均等な接触圧で接触させることができる。

　本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。

(1) 実施の形態によれば、ブロック７０の中心部はユニット押さえ部材９０に固定された第１ピン１０１に所要の間隙が存在するように嵌合し、ブロック７０は第１ピン１０１を支点として傾斜自在である。このため、実施の形態の検査冶具は、ウェハー等の検査対象物に対するフレキシブル基板４０の接点部４１の傾きを吸収することができ、接点部４１の多数のバンプ電極について均一な接触状態が得られる。このため、接点部４１を従来よりも広い面積とすることができ、ウェハー上の多数個のデバイスに対して同時検査が可能である。

(2)ブロック７０の周辺部の第２位置決め穴７０５に第２ピン１０２が挿入されていることで、傾斜方向のブロック可動の自由度は確保しつつ、回転方向への動きを制限することが出来る。その際、第２位置決め穴７０５が第１ピン１０１と第２ピン１０２とを結ぶ直線方向の幅が長い長穴とすることで、ブロック７０の回転方向の位置決め精度は低下させずにブロック７０の傾斜方向の姿勢変化量を十分大きくできる。

(3) ブロック７０は、ブロック本体部７０１とこれに圧入固定されたブッシュ７１０とで構成されている。ブロック７０と第１ピン１０１との接触がブッシュ７１０の内周で行われる。このため、ブロック７０が第１ピン１０１の軸方向に摺動しても、第１ピン１０１に対して接触する面積が一定となり、傾きを吸収できる量が常に一定となる。

(4) ブッシュ７１０の内周には、ブロック７０の非傾斜時に第１ピン１０１に接触しない大径部７１１と、大径部７１１よりも小径の小径部７１２が設けられている。小径部７１２の内周に第１ピン１０１が挿入されている。このため、軸方向長さの短い小径部７１２の内周と第１ピン１０１との間隙が微小であっても、第１ピン１０１を支点としてブロック７０は傾斜することができる。

　以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。

　上記実施の形態では、ブロックをブロック本体部とブッシュとの組み合わせ構造としたが、第１ピンが挿入される穴部分の形状を同様に形成可能であれば単一樹脂部品でブロックを構成してもよい。

　検査治具を構成する各部材の形状は検査対象物に対応させて適宜変更可能であることは明らかである。

１　検査治具、１０　メイン基板、１１　接点用貫通穴、２０　リテーナ、３０　コンタクトユニット、４０　フレキシブル基板、４１　接点部、５０　同軸コネクタ、６０　サブ基板、７０　ブロック、７１　角錐部、７２　脚部、７３　平行度調整ネジ、９０　ユニット押さえ部材、９１　スプリング（付勢手段）、１０１　第１ピン、１０２　第２ピン、７０１　ブロック本体部、７０２　ブッシュ配置穴部、７１０　円筒状ブッシュ、７１１　大径部、７１２　小径部

Claims

　検査対象物に接触可能な接点部を有するフレキシブル基板と、
　前記フレキシブル基板の接点部の反対側に配置され、前記フレキシブル基板に接する主面を有し、前記接点部を検査対象物に向けて付勢するブロックと、
　前記ブロックの前記主面の反対側に配置される押さえ部材と、
　前記押さえ部材に固定された第１ピンと、
　を備え、
　前記ブロックは、前記主面の反対面の略中心部に開口された第１位置決め穴を有し、
　前記第１ピンが、前記第１位置決め穴に挿入され、
　前記第１位置決め穴の内周側に、大径部と、前記大径部よりも小径の小径部と、が設けられ、
　前記大径部は、前記ブロックの非傾斜時に前記第1ピンに接触しないように形成され、
　前記ブロックは、前記第１ピンを支点として傾斜自在である、
　検査治具。
　前記ブロックは、
　　前記主面を有するブロック本体部と、
　　前記反対面の前記略中心部に固定されたブッシュと、
　を有し、
　前記第1位置決め穴は、前記ブッシュに形成されている、
　請求項１に記載の検査治具。
　前記ブロックは、前記反対面の中心部から外れた位置に開口された第２位置決め穴、を有し、
　第２ピンが、前記押さえ部材に固定され、
　前記第２ピンが、前記第２位置決め穴に挿入される、
　請求項１又は２に記載の検査治具。
　前記第２位置決め穴は、前記第１ピンと前記第２ピンとを結ぶ第１方向の幅が前記第１方向に直交する第２方向の幅よりも長い長穴である、
　請求項３に記載の検査治具。
　前記フレキシブル基板は、メイン基板に固定され、
　前記接点部は、前記メイン基板の接点用貫通穴から突出し、
　前記押さえ部材は、前記メイン基板に固定されている、
　請求項１から４のいずれか一項に記載の検査治具。
　前記大径部は、前記小径部の前記押さえ部材側に位置する、請求項１から５のいずれか一項に記載の検査冶具。
　前記第１ピンの軸方向の延長線上に、前記フレキシブル基板の前記接点部が位置する、請求項１から６のいずれか一項に記載の検査冶具。