WO2018110178A1

WO2018110178A1 - 走行車システム

Info

Publication number: WO2018110178A1
Application number: PCT/JP2017/040742
Authority: WO
Inventors: 一見原崎
Original assignee: 村田機械株式会社
Priority date: 2016-12-14
Filing date: 2017-11-13
Publication date: 2018-06-21
Also published as: JP2020024476A; TW201826060A

Abstract

走行車システムは、複数の走行車とコントローラとを備える。第１走行車は、所定区間内において後方の目的地点に後進走行しようとするときに、後進走行許可要求をコントローラに送信する。この場合、コントローラは、第１走行車の現在位置から目的地点までの区間を含む干渉防止区間を設定し、所定区間内における後方の直近に位置する他の走行車が、干渉防止区間よりも後方に停止中又は停止予定である場合に、第１走行車に後進走行許可を送信し、干渉防止区間内に停止中又は停止予定である場合に、第１走行車に後進走行許可を送信しない。

Description

走行車システム

　本発明の一態様は、走行車システムに関する。

　特許文献１に記載の走行車システムは、軌道に沿って走行する複数の走行車と、複数の走行車のそれぞれと通信し、複数の走行車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備えている。この走行車システムでは、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現するために、軌道に複数のゾーンが設定され、複数のゾーンのそれぞれに一台の走行車のみが存在するように走行車の動作が制御される。

特開平７－４９７１４号公報

　上述したような走行車システムでは、走行車が後進走行しようとする距離が短い場合であっても、軌道に設定されたゾーンの全域について他の走行車の進入が禁止されるため、他の走行車の円滑な走行が阻害されるおそれがある。このような状況を避けるためにゾーンをより短く且つより多く設定しようとすると、ゾーンの設定に手間が掛かる。

　そこで、本発明の一態様は、走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現することができる走行車システムを提供することを目的とする。

　本発明の一態様の走行車システムは、軌道に沿って走行する複数の走行車と、複数の走行車のそれぞれと通信し、複数の走行車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、走行車は、軌道の所定区間内に位置する場合において、所定区間内における当該走行車の後方の目的地点に後進走行しようとするときに、後進走行許可要求をコントローラに送信し、コントローラは、後進走行許可要求を走行車から受信した場合に、当該走行車の現在位置から目的地点までの区間を含む干渉防止区間を設定し、所定区間内における当該走行車の後方の直近に位置する他の走行車が、干渉防止区間よりも後方に停止中又は停止予定である場合に、後進走行許可要求を送信した走行車に目的地点への後進走行許可を送信し、他の走行車が、干渉防止区間内に停止中又は停止予定である場合に、後進走行許可要求を送信した走行車に目的地点への後進走行許可を送信しない。

　この走行車システムでは、走行車が後進走行しようとする度に、走行車の現在位置から走行車の後方の目的地点までの区間を含む干渉防止区間が設定される。そして、当該走行車の後方の直近に位置する他の走行車が干渉防止区間よりも後方に停止中又は停止予定である場合に、走行車の後進走行が許可される。一方、当該走行車の後方の直近に位置する他の走行車が干渉防止区間内に停止中又は停止予定である場合に、走行車の後進走行を許可しない。このため、予めゾーンの設定を行うことなく、他の走行車の進入を禁止すべき区間のみを干渉防止区間に設定し、その干渉防止区間内において走行車の後進走行を実現することができる。よって、走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現することが可能となる。

　本発明の一態様の走行車システムでは、干渉防止区間は、後進走行許可要求を送信した走行車の現在位置から、当該走行車が目的地点に位置する状態における当該走行車の後端までの区間であってもよい。この場合、他の走行車の進入を禁止すべき最短の区間を干渉防止区間に設定することができるので、他の走行車の円滑な走行を実現することができる。

　本発明の一態様の走行車システムでは、軌道は、分岐又は合流する分岐合流部を複数有し、所定区間は、軌道上において互いに隣り合う分岐合流部の間の区間であってもよい。この場合、走行車の後進走行を実現するために停止させる他の走行車の数の増加を抑制することができる。

　本発明の一態様によれば、走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現することが可能となる。

図１は、本発明の一実施形態に係る走行車システムの一部の平面図である。図２は、図１の走行車システムにおける後進走行制御を説明するためのシーケンス図である。図３は、図１の走行車システムにおける後進走行制御を説明するための平面図である。図４は、図１の走行車システムにおける後進走行制御を説明するための平面図である。図５は、図１の走行車システムにおける後進走行制御を説明するための平面図である。

　以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［走行車システムの構成］

　図１に示されるように、走行車システム１は、軌道１０と、複数の走行車２０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、複数の処理装置を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。走行車２０は、ＯＨＴ（Overhead　Hoist　Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って走行する。軌道１０においては、走行車２０の前進方向が定められている。走行車２０は、通常時には、軌道１０に沿った一方向（前進方向）に走行する（前進走行）。また、走行車２０は、例えば本実施形態において説明する後進走行制御が実施される場合には、軌道１０に沿った一方向とは反対方向に走行する（後進走行）。走行車２０は、各処理装置に併設されたロードポートに対して、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）９０を被搬送物として搬送する。コントローラ５０は、各走行車２０と通信し、各走行車２０の動作を制御する。

　以下の説明では、軌道１０に沿って走行車２０が前進走行する場合の進行方向を基準として、「下流」及び「上流」、「前」及び「後」、並びに、「合流」及び「分岐」という用語を用いる。

　軌道１０は、複数の区間を有している。軌道１０は、一つの区間が複数の区間に分岐する分岐点（分岐合流部）、及び、複数の区間が一つの区間に合流する合流点（分岐合流部）を有している。本実施形態では、軌道１０は、区間１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅによって構成された部分を含んでいる。区間１０ａ及び区間１０ｂは、合流点１１ａにおいて区間１０ｃに合流している。区間１０ｃ及び区間１０ｅは、合流点１１ｂにおいて区間１０ｄに合流している。

　以下の説明において、「所定区間」とは、軌道１０上において、互いに隣り合う合流点の間の区間、互いに隣り合う分岐点の間の区間、又は、互いに隣り合う合流点と分岐点との間の区間である。例えば、図１の所定区間Ｓは、互いに隣り合う合流点１１ａ，１１ｂの間の区間１０ｃである。なお、図中に示される軌道１０の構成は一例であって、これに限定されない。

　区間１０ｃには、２つの処理装置１００、及び、各処理装置１００に併設されたロードポート１０１が配置されている。走行車２０によってロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が供給されると、当該ＦＯＵＰ９０に収容された半導体ウェハが処理装置１００に取り込まれる。そして、当該半導体ウェハは、処理装置１００において所定の処理を施された後に、再びＦＯＵＰ９０に収容される。これにより、ＦＯＵＰ９０は、走行車２０によって搬送可能な状態となる。

　より具体的に、２つの処理装置１００は、処理装置１００Ａ、及び、処理装置１００Ａよりも下流側に配置された処理装置１００Ｂである。処理装置１００Ａに併設されたロードポート１０１は、ロードポート１０１Ａである。処理装置１００Ｂに併設されたロードポート１０１は、ロードポート１０１Ｂである。

　走行車２０は、ＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に対して移載する移載機構を有している。移載機構は、例えば、ＦＯＵＰ９０を把持する把持部、及び、把持部を昇降させる昇降機構によって構成されている。これにより、ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載可能な位置に停止した走行車２０は、移載機構を動作させることで、ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、ロードポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、走行車２０が保持（積載）しているＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に供給（荷おろし）する場合と、ロードポート１０１に載置されているＦＯＵＰ９０を走行車２０が取得（荷つかみ）する場合と、を含む。

　コントローラ５０は、搬送コントローラ５０Ａと、走行車コントローラ５０Ｂと、を有している。搬送コントローラ５０Ａは、走行車コントローラ５０Ｂに対する上位コントローラである。搬送コントローラ５０Ａは、製造コントローラ（不図示）及び走行車コントローラ５０Ｂと通信する。製造コントローラは、処理装置１００と通信し、処理装置１００に併設されたロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求を搬送コントローラ５０Ａに送信する。搬送要求が存在することを搬送コントローラ５０Ａが把握すると、走行車コントローラ５０Ｂは、軌道１０において予め設定された管轄エリア内に位置するいずれかの走行車２０に対して、当該搬送要求に対応する搬送指令を割り付ける。図１の走行車コントローラ５０Ｂの管轄エリアには、区間１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅが含まれる。

　搬送コントローラ５０Ａ、走行車コントローラ５０Ｂ及び製造コントローラのそれぞれは、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。各コントローラにおいて、プロセッサが、メモリ等に読み込まれた所定のソフトウェア（プログラム）を実行し、メモリ及びストレージにおけるデータの読み出し及び書き込み、並びに通信デバイスによるコントローラ間での通信を制御することによって、各コントローラの機能が実現される。

　このように構成された走行車システム１において、合流点及び分岐点では以下のブロッキング制御が実施される。すなわち、ブロッキング制御では、合流点及び分岐点に、走行車２０の進入を禁止するブロッキングエリアが予め設定されている。走行車２０は、軌道１０に沿って走行してブロッキングエリアが設定された合流点又は分岐点まで所定距離の地点に到達すると、ブロッキングエリアの通過許可要求を走行車コントローラ５０Ｂに送信する。

　走行車コントローラ５０Ｂは、通過許可要求を走行車２０から受信した場合において、他の走行車２０に対して当該ブロッキングエリアの通過を許可していないときには、通過許可要求を送信した走行車２０に当該ブロッキングエリアの通過を許可すると判断し、当該走行車２０に当該ブロッキングエリアの通過許可を送信する。当該走行車２０は、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ５０Ｂから受信すると、当該ブロッキングエリアを通過する。

　一方、走行車コントローラ５０Ｂは、通過許可要求を走行車２０から受信した場合において、他の走行車２０に対して既に当該ブロッキングエリアの通過を許可しているときには、通過許可要求を送信した走行車２０に当該ブロッキングエリアの通過を許可しないと判断し、当該走行車２０に当該ブロッキングエリアの通過許可を送信しない。当該走行車２０は、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ５０Ｂから受信しない場合には、当該ブロッキングエリアの上流側に停止して、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ５０Ｂから受信するまで待機する。その後、走行車コントローラ５０Ｂは、当該ブロッキングエリアの通過を許可した他の走行車２０が当該ブロッキングエリアの通過を完了したとき、通過許可要求を送信した走行車２０に当該ブロッキングエリアの通過許可を送信する。当該走行車２０は、当該ブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ５０Ｂから受信すると、再び軌道１０に沿って走行を開始して、当該ブロッキングエリアを通過する。
［走行車システムにおける後進走行制御］

　走行車システム１では、以下に説明する後進走行制御が実施される。一例として、次のような状況において実施される後進走行制御について説明する。すなわち、図１に示されるように、軌道１０上の走行車２０として、第１走行車２０Ａ、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄが存在する。第１走行車２０Ａは、軌道１０の所定区間Ｓ（区間１０ｃ）内に位置している。具体的には、第１走行車２０Ａは、ＦＯＵＰ９０を保持している状態で、処理装置１００Ｂに併設されたロードポート１０１Ｂに対してＦＯＵＰ９０を移載可能な位置に停止している。この位置が、第１走行車２０Ａの現在位置Ｐである。第２走行車２０Ｂ及び第３走行車２０Ｃは、所定区間Ｓ内の合流点１１ａよりも下流側、且つ、処理装置１００Ａよりも上流側を前進走行している。第２走行車２０Ｂは、第３走行車２０Ｃの前方に位置する。第２走行車２０Ｂと第１走行車２０Ａとの間には、他の走行車２０は存在しない。換言すると、第２走行車２０Ｂは、所定区間Ｓ内における第１走行車２０Ａの後方の直近に位置している。第４走行車２０Ｄは、所定区間Ｓである区間１０ｃの上流側に接続している区間１０ａ上を前進走行している。このとき、第１走行車２０Ａが、処理装置１００Ｂに併設されたロードポート１０１ＢにＦＯＵＰ９０を供給し、空き台車となる。そして、処理装置１００Ａに併設されたロードポート１０１Ａに載置されたＦＯＵＰ９０が搬送可能な状態となると、走行車コントローラ５０Ｂが第１走行車２０Ａに対して当該ＦＯＵＰ９０の搬送指令を割り付ける。

　このような状況において、図１及び図２に示されるように、第１走行車２０Ａは、所定区間Ｓ内における第１走行車２０Ａの後方の目的地点Ｔ（ここでは、第１走行車２０Ａがロードポート１０１Ａに対してＦＯＵＰ９０を移載可能な位置）に後進走行するために、後進走行許可要求を走行車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１０）。

　続いて、図２及び図３に示されるように、走行車コントローラ５０Ｂは、後進走行許可要求を第１走行車２０Ａから受信すると、第１走行車２０Ａの現在位置Ｐから目的地点Ｔまでの区間を含む干渉防止区間Ｒを設定する（ステップＳ１１）。具体的には、干渉防止区間Ｒは、第１走行車２０Ａの現在位置Ｐから、当該第１走行車２０Ａが目的地点Ｔに位置する状態における当該第１走行車２０Ａの後端２１までの区間を含んでいる。

　続いて、走行車コントローラ５０Ｂは、管轄エリア内の全ての走行車２０（第１走行車２０Ａ、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄ）に対して、ブロードキャスト通信によって一斉に、干渉防止区間Ｒを通知し且つ干渉防止区間Ｒよりも後方に停止する停止要求を送信する（ステップＳ１２）。なお、図２では、第１走行車２０Ａに対するブロードキャスト通信に関する矢印は省略されている。

　続いて、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄは、停止要求を走行車コントローラ５０Ｂから受信すると、停止が必要であるか否かを判断する。具体的には、各走行車２０は、停止が必要であるか否かの判断において、所定区間Ｓ内に位置している場合には停止が必要であると判断（停止判断）し、所定区間Ｓ内に位置していない場合には停止が必要でないと判断（停止不要判断）する。各走行車２０は、停止が必要であると判断（停止判断）した場合には、状況に応じた適切なタイミングで停止の動作（減速）を開始する。

　本実施形態では、第２走行車２０Ｂは、所定区間Ｓ内に位置しているため、停止が必要であると判断（停止判断）して停止の動作を開始する（ステップＳ１３）。同様に、第３走行車２０Ｃは、所定区間Ｓ内に位置しているため、停止が必要であると判断（停止判断）して停止の動作を開始する（ステップＳ１４）。一方、第４走行車２０Ｄは、所定区間Ｓ内に位置していないため、停止が必要でないと判断（停止不要判断）して前進走行を継続する（ステップＳ１５）。

　なお、図中には示されていないが、仮に、更に他の走行車２０が、軌道１０を周回して来ない限り前進走行を継続しても所定区間Ｓに進入できない区間（例えば、区間１０ｃの下流側の区間１０ｄ、又は、区間１０ｃの下流側の合流点１１ｂで区間１０ｃと合流する区間１０ｅ）を前進走行している場合にも、当該走行車２０は、所定区間Ｓ内に位置していないため停止不要判断をする。

　続いて、走行車コントローラ５０Ｂは、管轄エリア内の全ての走行車２０（第１走行車２０Ａ、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄ）に対して、ポーリング通信によって順次、現在の走行状態等に関する報告（状態報告）を求める状態要求を送信する。なお、図２では、第１走行車２０Ａに対するポーリング通信に関する矢印は省略されている。

　走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信した各走行車２０は、走行車コントローラ５０Ｂに状態報告を送信する。各走行車２０の状態報告には、当該走行車２０が停止判断をした場合に、当該走行車２０が所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に停止可能であるか否かの情報が含まれる。具体的には、状態報告には、当該走行車２０が所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に停止することができる見込みであるときには、停止予定（停止可能）であるとの情報が含まれ、当該走行車２０が所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に既に停止しているときには、停止中（停止可能）であるとの情報が含まれる。一方、状態報告には、当該走行車２０が停止不要判断をした場合に、停止不要であるとの情報が含まれる。

　本実施形態では、第２走行車２０Ｂは、干渉防止区間Ｒから十分離間した地点に位置しており干渉防止区間Ｒよりも後方に停止可能である。このため、第２走行車２０Ｂは、走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信すると（ステップＳ１６）、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に停止予定であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１７）。同様に、第３走行車２０Ｃは、干渉防止区間Ｒから十分離間した地点に位置しており干渉防止区間Ｒよりも後方に停止可能である。このため、第３走行車２０Ｃは、走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信すると（ステップＳ１８）、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に停止予定であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１９）。一方、第４走行車２０Ｄは、所定区間Ｓ内に位置しておらず停止が必要でない。このため、第４走行車２０Ｄは、走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信すると（ステップＳ２０）、停止不要であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ２１）。

　続いて、走行車コントローラ５０Ｂは、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄのそれぞれから受信した状態報告に基づいて、第１走行車２０Ａに対して目的地点Ｔへの後進走行を許可するか否かを判断する。具体的には、走行車コントローラ５０Ｂは、状態要求を送信した走行車２０のうち第１走行車２０Ａを除く全ての走行車２０から状態報告を受信し、且つ、それらの状態報告の全てに停止可能（停止中、停止予定）であるとの情報又は停止不要であるとの情報のいずれかが含まれる場合に、第１走行車２０Ａに対して後進走行を許可すると判断する（ステップＳ２２）。この場合、走行車コントローラ５０Ｂは、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信する（ステップＳ２３）。

　ここで、走行車コントローラ５０Ｂは、ブロッキング制御において以下の制御を実施する。すなわち、走行車コントローラ５０Ｂは、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信した場合、第１走行車２０Ａが目的地点Ｔへの後進走行を完了するまでの間、他の走行車２０に対して、目的地点Ｔの上流側の直近の合流点又は分岐点である合流点１１ａに設定されているブロッキングエリアの通過を許可しない。これにより、合流点１１ａよりも上流側に位置する他の走行車２０（例えば、第４走行車２０Ｄ）は、合流点１１ａに設定されているブロッキングエリアの通過許可を走行車コントローラ５０Ｂから受信することができない。このため、干渉防止区間Ｒを含む所定区間Ｓ内に存在する走行車２０（第２走行車２０Ｂ及び第３走行車２０Ｃ）のみが、干渉防止区間Ｒよりも後方に停止中又は停止可能であることが確認されれば、第１走行車２０Ａに対して後進走行を許可しても第１走行車２０Ａと他の走行車２０とが干渉するのを抑制することが可能である。

　なお、ステップＳ２２において、走行車コントローラ５０Ｂは、状態要求を送信した走行車２０のうち第１走行車２０Ａを除く少なくとも一台の走行車２０から状態報告を受信しない場合、又は、受信した状態報告のうち少なくとも一つの状態報告に停止可能（停止中、停止予定）であるとの情報及び停止不要であるとの情報のいずれも含まれない場合に、第１走行車２０Ａに対して後進走行を許可しないと判断する。この場合、走行車コントローラ５０Ｂは、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信しない。

　また、ステップＳ２２において、走行車コントローラ５０Ｂは、所定区間Ｓ内の走行車２０のうち第１走行車２０Ａを除くいずれかの走行車２０が干渉防止区間Ｒ内に停止中又は停止予定である場合に、第１走行車２０Ａに対して目的地点Ｔへの後進走行を許可しないと判断し、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信しない。

　続いて、第１走行車２０Ａは、後進走行許可を走行車コントローラ５０Ｂから受信すると、図２及び図４に示されるように、目的地点Ｔに後進走行する（ステップＳ２４）。一方、第１走行車２０Ａは、後進走行許可を走行車コントローラ５０Ｂから受信しなかった場合には、目的地点Ｔに後進走行せず、例えば前進走行する。以上により、走行車システム１における後進走行制御が完了する。

　ところで、上述したように、走行車コントローラ５０Ｂは、ブロッキング制御において、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信した場合、第１走行車２０Ａが目的地点Ｔへの後進走行を完了するまでの間、他の走行車２０に対して、目的地点Ｔの上流側の直近の合流点又は分岐点である合流点１１ａに設定されているブロッキングエリアの通過を許可しない。しかし、走行車コントローラ５０Ｂが、他の走行車２０に合流点１１ａに設定されているブロッキングエリアの通過許可を送信した後に、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信した場合、第１走行車２０Ａが後進走行を許可された状態において、他の走行車２０が合流点１１ａを通過して所定区間Ｓ内に進入することとなる。このような状況においても走行車２０同士の干渉をより確実に防止するために、走行車システム１における後進走行制御では、ステップＳ２４に引き続き、以下の制御が実施されてもよい。

　まず、ステップＳ２４において第１走行車２０Ａが後進走行している間の第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄのそれぞれの動作を説明する。ステップＳ１３，Ｓ１４において停止判断をした第２走行車２０Ｂ及び第３走行車２０Ｃは、ステップＳ２４の間、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に停止すべく減速しながら走行している。一方、ステップＳ１５において停止不要判断をして、且つ、合流点１１ａに設定されているブロッキングエリアの通過許可を受信した第４走行車２０Ｄは、ステップＳ２４の間、減速せずに前進走行を継続している。その結果、第４走行車２０Ｄは、合流点１１ａを通過して所定区間Ｓ内に進入する。

　ステップＳ２４の間に上記動作が行われた後、走行車コントローラ５０Ｂは、ステップＳ１２と同様に、管轄エリア内の全ての走行車２０（第１走行車２０Ａ、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄ）に対して、ブロードキャスト通信によって一斉に、干渉防止区間Ｒを通知し且つ干渉防止区間Ｒよりも後方に停止する停止要求を送信する（ステップＳ２５）。ここで各走行車２０に対して通知される干渉防止区間Ｒは、ステップＳ１２において通知された干渉防止区間Ｒと同一の区間であり、例えば新たに走行車コントローラ５０Ｂの管轄エリア内に進入した走行車２０が存在する場合のために各走行車２０に再度通知される。なお、図２では、第１走行車２０Ａに対するブロードキャスト通信に関する矢印は省略されている。

　続いて、第４走行車２０Ｄは、停止要求を走行車コントローラ５０Ｂから受信すると、停止が必要であるか否かを再度判断する。第４走行車２０Ｄは、前進走行を継続した結果所定区間Ｓ内に進入しているため、停止が必要であると判断（停止判断）して停止の動作を開始する（ステップＳ２６）。

　続いて、図２及び図５に示されるように、第２走行車２０Ｂ及び第３走行車２０Ｃが、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に停止する（ステップＳ２７，Ｓ２８）。その後、第４走行車２０Ｄが、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に停止する（ステップＳ２９）。

　続いて、走行車コントローラ５０Ｂは、管轄エリア内の全ての走行車２０（第１走行車２０Ａ、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄ）に対して、ポーリング通信によって順次、状態報告を求める状態要求を送信する。なお、図２では、第１走行車２０Ａに対するポーリング通信に関する矢印は省略されている。

　本実施形態では、第２走行車２０Ｂは、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に既に停止している。このため、第２走行車２０Ｂは、走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信すると（ステップＳ３０）、停止中であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ３１）。走行車コントローラ５０Ｂは、この状態報告を第２走行車２０Ｂから受信することで、第２走行車２０Ｂの停止を確認する（ステップＳ３２）。同様に、第３走行車２０Ｃは、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に既に停止している。このため、第３走行車２０Ｃは、走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信すると（ステップＳ３３）、停止中であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ３４）。走行車コントローラ５０Ｂは、この状態報告を第３走行車２０Ｃから受信することで、第３走行車２０Ｃの停止を確認する（ステップＳ３５）。同様に、第４走行車２０Ｄは、所定区間Ｓ内において干渉防止区間Ｒよりも後方に既に停止している。このため、第４走行車２０Ｄは、走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信すると（ステップＳ３６）、停止中であるとの情報が含まれた状態報告を走行車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ３７）。走行車コントローラ５０Ｂは、この状態報告を第４走行車２０Ｄから受信することで、第４走行車２０Ｄの停止を確認する（ステップＳ３８）。

　その後、第１走行車２０Ａは、干渉防止区間Ｒの設定を解除する干渉防止区間解除要求を走行車コントローラ５０Ｂに送信する。走行車コントローラ５０Ｂは、干渉防止区間解除要求を第１走行車２０Ａから受信すると、干渉防止区間Ｒの設定を解除し、管轄エリア内の全ての走行車２０に対して、ブロードキャスト通信によって一斉に、干渉防止区間Ｒの設定が解除されたことを通知する。

　各走行車２０は、干渉防止区間Ｒの設定が解除されたことが走行車コントローラ５０Ｂから通知されると、各走行車２０の状況に応じた適切なタイミングで、各走行車２０の状況に応じた動作を行う。例えば、第１走行車２０Ａは、ロードポート１０１Ａに載置されているＦＯＵＰ９０の搬送を開始してもよく、第２走行車２０Ｂ、第３走行車２０Ｃ及び第４走行車２０Ｄは、停止要求に応じて停止している前進走行を再開してもよい。

　以上により、走行車システム１における後進走行制御で上記制御が実施された場合、走行車２０は、所定区間Ｓ内に位置していないため停止不要判断をして前進走行を継続したときであっても、所定区間Ｓ内に進入した後に停止判断をして停止することができる。このため、走行車２０同士の干渉をより確実に防止することが可能となる。
［作用及び効果］

　以上説明したように、走行車システム１では、第１走行車２０Ａが後進走行しようとする際に、第１走行車２０Ａの現在位置Ｐから第１走行車２０Ａの後方の目的地点Ｔ（すなわち、ロードポート１０１Ａに対してＦＯＵＰ９０を移載可能な位置）までの区間を含む干渉防止区間Ｒが設定される。そして、走行車コントローラ５０Ｂは、所定区間Ｓ内の走行車２０のうち第１走行車２０Ａを除く全ての走行車２０が干渉防止区間Ｒよりも後方に停止中又は停止予定である場合に、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信する。一方、走行車コントローラ５０Ｂは、所定区間Ｓ内の走行車２０のうち第１走行車２０Ａを除くいずれかの走行車２０が干渉防止区間Ｒ内に停止中又は停止予定である場合に、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信しない。このため、予めゾーンの設定を行うことなく、他の走行車２０の進入を禁止すべき区間のみを干渉防止区間Ｒに設定し、その干渉防止区間Ｒ内において第１走行車２０Ａの後進走行を実現することができる。よって、第１走行車２０Ａが後進走行しようとするタイミングにおける第１走行車２０Ａの現在位置Ｐに応じて、後続する他の走行車２０の進入を禁止する干渉防止区間Ｒを設定し、走行車２０同士の干渉を防止しつつ第１走行車２０Ａの後進走行を実現することが可能となる。

　走行車システム１では、干渉防止区間Ｒは、後進走行許可要求を送信した第１走行車２０Ａの現在位置Ｐから、第１走行車２０Ａが目的地点Ｔに位置する状態における第１走行車２０Ａの後端２１までの区間である。このため、他の走行車２０の進入を禁止すべき最短の区間を干渉防止区間Ｒに設定することができるので、他の走行車２０の円滑な走行を実現することができる。

　走行車システム１では、軌道１０は、合流点１１ａ，１１ｂを含む合流点及び分岐点を複数有し、所定区間Ｓは、軌道１０上において互いに隣り合う合流点１１ａ，１１ｂの間の区間である。このため、第１走行車２０Ａの後進走行を実現するために停止させる他の走行車２０の数の増加を抑制することができる。
［変形例］

　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。

　例えば、上記実施形態では、ステップＳ２２，Ｓ２３において、走行車コントローラ５０Ｂは、状態要求を送信した走行車２０のうち第１走行車２０Ａを除く全ての走行車２０から状態報告を受信し、且つ、それらの状態報告の全てに停止可能（停止中、停止予定）であるとの情報又は停止不要であるとの情報のいずれかが含まれる場合に、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信している。しかし、走行車コントローラ５０Ｂは、少なくとも第２走行車２０Ｂから受信した状態報告に、干渉防止区間Ｒよりも後方に停止可能（停止中、停止予定）であるとの情報が含まれる場合に、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信してもよい。換言すると、走行車コントローラ５０Ｂは、所定区間Ｓ内における第１走行車２０Ａの後方の直近に位置する第２走行車２０Ｂが、干渉防止区間Ｒよりも後方に停止可能（停止中、停止予定）である場合に、後進走行許可要求を送信した第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信してもよい。

　上記実施形態では、ステップＳ２２，Ｓ２３において、走行車コントローラ５０Ｂは、状態要求を送信した走行車２０のうち第１走行車２０Ａを除く少なくとも一台の走行車２０から状態報告を受信しない場合、又は、受信した状態報告のうち少なくとも一つの状態報告に停止可能（停止中、停止予定）であるとの情報及び停止不要であるとの情報のいずれも含まれない場合に、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信していない。しかし、走行車コントローラ５０Ｂは、第２走行車２０Ｂから受信した状態報告に、第２走行車２０Ｂが干渉防止区間Ｒよりも後方に停止可能（停止中、停止予定）でないとの情報が含まれる場合に、第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信しなくてもよい。換言すると、走行車コントローラ５０Ｂは、所定区間Ｓ内における第１走行車２０Ａの後方の直近に位置する第２走行車２０Ｂが、干渉防止区間Ｒよりも後方に停止可能（停止中、停止予定）でない場合に、後進走行許可要求を送信した第１走行車２０Ａに目的地点Ｔへの後進走行許可を送信しなくてもよい。

　上記実施形態では、所定区間Ｓ内の合流点１１ａよりも下流側、且つ、処理装置１００Ａよりも上流側を前進走行している第２走行車２０Ｂ及び第３走行車２０Ｃが存在する場合を例示した。しかし、第２走行車２０Ｂ及び第３走行車２０Ｃが存在しない場合であっても、走行車システム１における上記のブロッキング制御及び後進走行制御を実施可能である。

　上記実施形態では、所定区間は、軌道１０上において互いに隣り合う合流点又は分岐点の間の区間（すなわち、一つの区間の全部）でなくてもよく、例えば、一つの区間のうちの一部であってもよい。

　上記実施形態では、第１走行車２０Ａの現在位置Ｐは、所定区間Ｓにおける処理装置１００Ｂに併設されたロードポート１０１Ｂに対してＦＯＵＰ９０を移載可能な位置であるが、現在位置Ｐは、このような位置に限定されない。例えば、現在位置Ｐは、第１走行車２０Ａが軌道１０上において待機するためのパーキングポイントであってもよい。

　上記実施形態では、搬送コントローラ５０Ａが有する機能の一部又は全部を走行車コントローラ５０Ｂが有していてもよく、走行車コントローラ５０Ｂが有する機能の一部又は全部を搬送コントローラ５０Ａが有していてもよい。或いは、１つのコントローラが、搬送コントローラ５０Ａ及び走行車コントローラ５０Ｂの有する機能を有していてもよい。

　上記実施形態では、各走行車２０は、例えば光センサ等を用いて自車の前方に位置する他の走行車２０までの距離（車間距離）を計測する測距部と、この測距部により計測された車間距離が所定値以下となった場合に当該走行車２０を停止させる制動部と、を備えていてもよい。この場合、走行車２０同士の干渉をより確実に防止することができる。

　上記実施形態では、本発明の一態様の走行車システム１が搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の一態様の走行車システム１は、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。

　上記実施形態では、走行車２０としてＯＨＴを例示した。しかし、走行車２０はＯＨＴに限定されず、軌道１０に沿って走行することができる装置であればよい。

　走行車が後進走行しようとするタイミングにおける当該走行車の現在位置に応じて、後続する他の走行車の進入を禁止する適切な区間を設定し、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の後進走行を実現することができる走行車システムを提供することが可能となる。

　１…走行車システム、１０…軌道、１１ａ，１１ｂ…合流点（分岐合流部）、２０…走行車、２０Ａ…第１走行車、２０Ｂ…第２走行車、２０Ｃ…第３走行車、２０Ｄ…第４走行車、２１…後端、５０…コントローラ、５０Ａ…搬送コントローラ、５０Ｂ…走行車コントローラ、Ｐ…現在位置、Ｒ…干渉防止区間、Ｓ…所定区間、Ｔ…目的地点。

Claims

　軌道に沿って走行する複数の走行車と、
　複数の前記走行車のそれぞれと通信し、複数の前記走行車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、
　前記走行車は、前記軌道の所定区間内に位置する場合において、前記所定区間内における当該走行車の後方の目的地点に後進走行しようとするときに、後進走行許可要求を前記コントローラに送信し、
　前記コントローラは、
　前記後進走行許可要求を前記走行車から受信した場合に、当該走行車の現在位置から前記目的地点までの区間を含む干渉防止区間を設定し、
　前記所定区間内における当該走行車の後方の直近に位置する他の前記走行車が、前記干渉防止区間よりも後方に停止中又は停止予定である場合に、前記後進走行許可要求を送信した前記走行車に前記目的地点への後進走行許可を送信し、
　他の前記走行車が、前記干渉防止区間内に停止中又は停止予定である場合に、前記後進走行許可要求を送信した前記走行車に前記目的地点への後進走行許可を送信しない、走行車システム。
　前記干渉防止区間は、前記後進走行許可要求を送信した前記走行車の前記現在位置から、当該走行車が前記目的地点に位置する状態における当該走行車の後端までの区間である、請求項１に記載の走行車システム。
　前記軌道は、分岐又は合流する分岐合流部を複数有し、
　前記所定区間は、前記軌道上において互いに隣り合う前記分岐合流部の間の区間である、請求項１又は２に記載の走行車システム。