WO2017104543A1

WO2017104543A1 - 液体供給システム及びその駆動方法

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Publication number: WO2017104543A1
Application number: PCT/JP2016/086608
Authority: WO
Inventors: 海軍張; 慶海趙; 江龍于; 朝将板良敷; 大輝安楽
Original assignee: 山東新華医療器械股▲分▼有限公司; サラヤ株式会社
Priority date: 2015-12-14
Filing date: 2016-12-08
Publication date: 2017-06-22
Also published as: JPWO2017104543A1; PL3391957T3; RU2018123375A; US10444050B2; CN108778480B; CN108778480A; RU2729478C2; JP6867301B2; EP3391957B1; EP3391957A4; US20180364085A1; EP3391957A1; RU2018123375A3

Abstract

液体（例えば、刺激性の薬液）を安全に供給するシステムを提供する。液体供給システムは、ａ）第１の減圧手段を駆動して処理室を減圧して処理室に負圧を形成する手段、ｂ）処理室の負圧を計量室に導入する手段、ｃ）計量室に導入された負圧を保持する手段、ｄ）計量室の負圧を利用して容器から液体を計量室に吸引する手段、ｅ）処理室の真空を利用して計量室の液体を処理室に吸引する手段を有する。

Description

液体供給システム及びその駆動方法

本発明は、液体を供給するシステム及びその駆動方法に関する。本発明は、特に、容器に収容されている液体（例えば、薬液）を安全かつ確実に供給するシステム及びその駆動方法に関する。

過酢酸などの液体を用いた滅菌装置が特許文献１（ＷＯ２０１１／０３８４８７）に開示されている。この種の装置に使用される液体は、刺激作用が強く、皮膚に触れると炎症を起こす可能性がある。したがって、液体供給装置を設計するうえで、薬剤が皮膚に触れないようにすることが好ましい。また、液体は正確に計量することが望まれる。

ＷＯ２０１１／０３８４８７

本発明は、供給する液体の量を正確に計量できる新規な液体供給システム及びその駆動方法を提供することを目的とする。

　本発明に係る液体供給システムの好ましい形態は、
所定容積の空間（１２２）を有する処理室（１２１）と、
前記処理室（１２１）の空間（１２２）を減圧する第１の減圧手段（１２３）と、
液体を収容する容器（２０）と、
前記液体を計量する計量室（１５１）と、
前記計量室（１５１）を介して前記容器（２０）と前記処理室（１２１）を接続する第１の通路（１１１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記容器（２０）と前記計量室（１５１）の間に設けられた第１の弁（１３１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記計量室（１５１）と前記処理室（１２１）の間に設けられた第２の弁（１３２）と、
前記減圧手段（１２１）と前記第１の弁（１３１）と前記第２の弁（１３２）を制御する制御部（９０）とを有し、
前記制御部（９０）は、
ａ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の減圧手段を駆動して前記処理室を減圧して前記処理室に負圧を形成する第１の処理を実行する第１の手段、
ｂ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の負圧を前記計量室に導入する第２の処理を実行する第２の手段、
ｃ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を閉じ、前記計量室に導入された負圧を保持する第３の処理を実行する第３の手段、
ｄ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の弁を開き、前記計量室の負圧を利用して前記容器から前記液体を前記計量室に吸引する第４の処理を実行する第４の手段、
ｅ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の真空を利用して前記計量室の前記液体を前記処理室に吸引する第５の処理を実行する第５の手段、
を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの他の形態は、
前記第１の通路（１１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（１３１）との間に設けられた分岐部（１４１）と、
一端が前記分岐部（１４１）に接続された第２の通路（１１２）と、
前記第２の通路（１１２）の他端に接続された第２の減圧手段（１５３）と、
前記第２の通路（１１２）上に、前記一端から前記他端に向かって順番に設けられた一時貯蔵室（１５４）と第３の弁（１３３）を有し、
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記一時貯蔵室までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の手段を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの他の形態は、
前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（１３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の手段を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの他の形態は、
前記第１の通路（２１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（２３１）との間に設けられた分岐部（２４１）と、
一端が前記分岐部（２４１）に接続された第２の通路（２１２）と、
前記第２の通路（２１２）の他端に接続された第２の減圧手段（２５３）と、
前記第２の通路（２１２）上に設けられた第３の弁（２３３）を有し、
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記第３弁までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の手段を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの他の形態は、前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（２３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の手段を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの他の形態は、前記第２の処理から前記第５の処理を２回以上繰り返す手段を有する。
　本発明に係る液体供給システムの駆動方法に係る好ましい形態は、
所定容積の空間（１２２）を有する処理室（１２１）と、
前記処理室（１２１）の空間（１２２）を減圧する第１の減圧手段（１２３）と、
液体を収容する容器（２０）と、
前記液体を計量する計量室（１５１）と、
前記計量室（１５１）を介して前記容器（２０）と前記処理室（１２１）を接続する第１の通路（１１１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記容器（２０）と前記計量室（１５１）の間に設けられた第１の弁（１３１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記計量室（１５１）と前記処理室（１２１）の間に設けられた第２の弁（１３２）と、
前記第１の減圧手段（１２３）と前記第１の弁（１３１）と前記第２の弁（１３１）を制御する制御部（９０）とを有する液体供給システムの駆動方法であって、
ａ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の減圧手段を駆動して前記処理室を減圧して前記処理室に負圧を形成する第１の処理を実行する第１の工程、
ｂ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の負圧を前記計量室に導入する第２の処理を実行する第２の工程、
ｃ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を閉じ、前記計量室に導入された負圧を保持する第３の処理を実行する第３の工程、
ｄ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の弁を開き、前記計量室の負圧を利用して前記容器から前記液体を前記計量室に吸引する第４の処理を実行する第４の工程、
ｅ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の真空を利用して前記計量室の前記液体を前記処理室に吸引する第５の処理を実行する第５の工程、
を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの駆動方法の他の形態において、
前記液体供給システムは、
前記第１の通路（１１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（１３１）との間に設けられた分岐部（１４１）と、
一端が前記分岐部（１４１）に接続された第２の通路（１１２）と、
前記第２の通路（１１２）の他端に接続された第２の減圧手段（１５３）と、
前記第２の通路（１１２）上に、前記一端から前記他端に向かって順番に設けられた一時貯蔵室（１５４）と第３の弁（１３３）を備えており
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記一時貯蔵室までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の工程を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの駆動方法の他の形態は、
前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（１３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の工程を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの駆動方法の他の形態において、
前記液体供給システムは、
前記第１の通路（２１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（２３１）との間に設けられた分岐部（２４１）と、
一端が前記分岐部（２４１）に接続された第２の通路（２１２）と、
前記第２の通路（２１２）の他端に接続された第２の減圧手段（２５３）と、
前記第２の通路（２１２）上に第３の弁（２３３）を備えており、
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記第３弁までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の工程を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの駆動方法の他の形態において、
前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（２３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の工程を有することを特徴とする。
　本発明に係る液体供給システムの駆動方法の他の形態において、
前記第２の処理から前記第５の処理を２回以上繰り返すことを特徴とする。

　このように構成された液体供給システム及びその駆動方法によれば、滅菌剤などの液体を正確に計量することができる。

本発明に係る液体供給システム及びそれに組み込まれた供給ユニットの部分斜視図。本発明に係る液体供給システム及びそれに組み込まれた供給ユニットの部分斜視図。本発明に係る液体供給システム及びそれに組み込まれた供給ユニットの部分斜視図。本発明に係る液体供給システム及びそれに組み込まれた供給ユニットの部分斜視図。図１～図４に示す供給ユニットの容器と容器受け部の斜視図。図１～図４に示す供給ユニットの容器と容器受け部の分解斜視図。図１～図４に示す供給ユニットの第１移動機構の斜視図。図１～図４に示す供給ユニットの第２移動機構の斜視図。本発明に係る液体供給システムに組み込まれる実施形態１の計量ユニットの構成を示すブロック図。図９に示す計量ユニットの動作を示すフロー図。本発明に係る液体供給システムに組み込まれる実施形態２の計量ユニットの構成を示すブロック図。図１１に示す計量ユニットの動作を示すフロー図。本発明に係る液体供給システムに組み込まれる実施形態３の計量ユニットの構成を示すブロック図。図１３に示す計量ユニットの動作を示すフロー図。本発明に係る液体供給システムに組み込まれる実施形態４の計量ユニットの構成を示すブロック図。図１５に示す計量ユニットの動作を示すフロー図。

　以下、本発明に係る液体供給システムをガス滅菌装置に適用した実施例を説明する。公知のとおり、ガス滅菌装置は過酢酸等の滅菌剤を用いて医療器具等を滅菌するものであるが、本発明の液体供給システムの適用は該ガス滅菌装置に限定されるものでない。

１．全体構成
以下に説明する実施形態の液体供給システム（全体を符号１で示す。）は、概略、図１～図３に示す供給ユニット（全体を符号２で示す。）と図９，１１、１３または１５に示す計量ユニット（１０，２０１，３０１，または４０１）を有する。

２．供給ユニット
供給ユニット２の構成を説明する。

２．１：ハウジング
供給ユニット２は、後述する種々の構成部品を収容する筐体（ハウジング）１０を有する。簡略化するために、図面にはハウジング１０の一部のみ、例えば操作時にオペレータが対向する前壁１１の一部だけが記載されている。

図１を参照すると、ハウジング前壁１１には、ハウジング１０内の所定場所に後述する液体容器（以下、単に「容器」という。）２０を装入するための開口１２が形成されている。開口１２は、それに適合した形状と大きさの扉１３によって閉じられるように構成することが好ましい。扉の形式は、限定的ではなく、任意の形式（例えば、片開き式、両開き式又は、スライド式）であってもよい。

実施形態の扉１３は、片開き扉で、開口１２の形状に対応する形状（例えば、略四角形）を有し、前方から見て左端がハウジング１０の対応箇所に回転可能にヒンジ（図示せず）されている。扉１３を閉位置（図示せず）に保持するラッチ機構を設けることが好ましい。ラッチ機構は、例えば、扉１３の内面に取り付けた磁性金属片１４と、ハウジング１０に取り付けた磁石１５を有し、扉１３を閉じた状態で磁石１５が金属片１４を保持するようにしてもよい。

２．２：容器
図５，６に示すように、容器２０は、薬液（例えば、滅菌用の過酢酸）を収容する本体２１を有する。実施形態では、本体２１は、上下方向に伸びる中心軸２２を中心とする円筒体で、上部に口部を備えている。実施形態では、本体２１は口部の周囲に外ねじ（図示せず）が一体的に形成されており、この外ねじに蓋２３が装着される。蓋天井壁２４の中央領域２５は他の部分よりも薄くして、後述するように、より小さな力で中空穿孔針（後述する）が該中央領域２５を突き破るように設計することが好ましい。

本発明において、容器２０の本体２１は、プラスチック、ガラス、又は金属で形成される。蓋２３は、プラスチック又は金属で形成される。

容器２０は、本体と蓋の２つの部材で構成する必要はなく、単一の部材で構成してもよい。具体的には、本体を１つの材料で一体的に成形し、本体の一部に形成された封止可能な口部を通じて液体が封入される容器であってもよい。

２．３：容器受け部
図５，６に示すように、開口１２の背後には、ハウジング１０の底部の一部を形成する基台１６が配置されている。基台１６の上には、略Ｌ形の容器受け部３０が、開口１２に対向して固定されている。図６に示すように、容器受け部３０は、容器本体２１の底部２７を支持する下部支持部３１と容器本体２１の肩部２６を支持する上部支持部３２を有する。図示するように、下部支持部３１は、本体底部２７の形状に対応した大きさと形の円形の隆起部からなるテーブル３３と、本体下部の形状に対応した略半円筒形の窪みを有する下部半円筒壁３４を有する。上部支持部３２は、本体肩部２６の形状に対応した略半円筒形の窪みを有する上部半円筒壁３５を有する。実施形態では、下部支持部３１と上部支持部３２を連結する垂直部３６には、容器本体２１の円筒形の窪みを有する円筒壁３７が形成されている。実施形態ではまた、下部支持部３１に、テーブル３３の開口側に突起３８が形成されている。

このような実施形態の構造によれば、開口１２から装入された容器２０は、本体底部２７を突起３８の内側（テーブル側）に係合させた斜めの状態から、容器２０を起こしながら本体肩部２６を上部半円筒壁３５に押し込むとともに、本体底部２７を下部半円筒壁３４に押し込んで固定される。図５に示すように、この状態で、容器２０は、本体底部２７がテーブル３３、下部半円筒壁３４、及び突起３８によって規制され、また、本体肩部２６が上部半円筒壁３５によって規制され、テーブル３３の中心を通る垂直軸３９に容器２０の中心軸２２を一致させた直立状態で、前後・左右・上下のすべての方向への移動（水平移動、垂直移動）が制限される。

２．４：容器収容室
図２～図４に示すように、実施形態では、開口１２の内側に、容器受け部３０とそこに装着された容器２０とを囲む部屋、すなわち、容器収容室４０が形成されている。容器収容室４０は、左右の側壁４１と、背後の後壁４２と、天井壁４３によって構成されており、開口１２を介して外部に開放可能となっている。天井壁４３には、垂直軸３９を中心とする円形の窓４４が形成されており、この窓４４を通じて後述する中空穿孔針が容器２０にアクセスできるようにしてある。

左右の側壁４１のハウジング前壁１１に隣接する箇所は上方に伸ばされて延長側壁４５が形成されている。また、ハウジング前壁１１から離れた、左右の延長側壁４５の後方垂直縁の間には左右方向に伸びる延長後壁４６が形成され、この延長後壁４６の下端に天井壁４３の前端が一致しており、延長側壁４５と延長後壁４６とハウジング前壁１１の間に隙間４７が形成されている。

図１に示すように、延長後壁４６の一部（下部）は開口１２に露出している。また、延長後壁４６の開口露出面に対向する扉１３の内面上部に、後述する扉ロック機構６０の一部（被係合部６５）が設けてある。

２．５：針、第１移動機構、ロック機構
　図２～図４に示すように、ハウジング前壁１１の背後には、固定ブラケット（第１固定部）５１が配置されている。固定ブラケット５１は、適当な部材を介して間接的に、またはそのような部材を介することなく直接、ハウジング１０に固定される。固定ブラケット５１は、駆動部（第１駆動部）５２を支持している。駆動部５２は電気モータを有する。モータの回転軸は、垂直方向に向けられたボールねじ５３が連結されており、モータの正逆回転にしたがってボールねじ５３が回転するようにしてある。ボールねじ５３はナット５４を介して可動ブラケット（第１可動部）５５に連結されており、ボールねじ５３の回転により可動ブラケット５５が上下に移動するようにしてある。

　可動ブラケット５５は、ボールねじ５３の回転と共に可動ブラケット５５が回転（供回り）することなく、上下方向に移動するように、適当な回転防止手段を設けることが好ましい。例えば、ボールねじ５３と平行に伸びる垂直ガイド５６（図７参照）をハウジング１０又は基台１６に固定するとともに、可動ブラケット５５またはこれに連結されたロックプレート６１（後述する）を垂直ガイド５６に沿って上下方向にのみ移動するように規制する。

　可動ブラケット５５はまた、容器収容室４０の垂直軸３９上に、可動ブラケット５５を上下方向に貫通する孔５７（図７参照）が形成されている。また、可動ブラケット５５の下面には、孔５７に隣接して中空穿孔針５８が固定されており、中空穿孔針５８の内腔の中心軸と孔５７の中心軸が垂直軸３９（図６参照）上に整列している。

　中空穿孔針５８は、その名称のとおり、中空の円筒体の下部を斜めに切り落とすることによって尖塔部５９が形成されている。中空穿孔針５８の材料は限定的ではないが、液体が強酸性又は強アルカリ性の場合、液体との接触によって腐食しない材料で形成されるか、または、そのような材料で表面が被覆される。代表的な耐腐食性材料としては、ポリテトラフルオロエチレンが挙げられる。

　図７に示すように、可動ブラケット５５は、扉１３をロックする機構の一部として機能するロックプレート６１を有する。実施形態では、ロックプレート６１は、細長い板をブラケット状に折り曲げて形成されており、可動ブラケット５５から垂直上方に伸びる第１部分６２と、第１部分６２の上端から前壁１１に向かって水平前方に伸びる第２部分６３と、第２部分６３の末端から垂直下方に向けて伸びる第３部分６４を有する。第３部分（以下、「係合部」という。）６４は、前壁１１と延長後壁４６との間に形成された隙間４７にその上方から進入している。係合部６４に対応して、扉内面の延長後壁４６に対向する領域には、係合部６４と係合可能な被係合部６５が設けてあり、これら係合部６４と被係合部６５によってロック機構６０が形成されている。実施形態では、係合部６４は垂直方向に伸びる細長い板で、被係合部６５はこの板が進入可能な枠によって形成されている。

　このように、固定ブラケット５１、駆動部５２、ボールねじ５３、ナット５４、可動ブラケット５５は、中空穿孔針５８を、該中空穿孔針５８が容器２０の上方に十分退避している上昇位置（第１針位置）と、該中空穿孔針５８が容器２０の蓋２３を破ってそこを貫通している下降位置（第２針位置）との間で移動させる、第１移動機構５０を構成している。

　第１移動機構５０とロック機構６０はまた、中空穿孔針５８が第１針位置にあるとき、係合部６４が被係合部６５と係合することなく扉１３は開放可能（アンロック）で、中空穿孔針５８が第１針位置から多少下降した位置（ただし、中空穿孔針５８は容器２０の蓋２３から十分な距離を隔てている。以下、この位置を「第３針位置」という。）で係合部６４が被係合部６５に係合し、中空穿孔針５８が第３針位置から更に下降して第２針位置に移動する間、係合部６４が被係合部６５に常時係合して扉１３は開放不能（ロック）を維持するように、設計されている。

　中空穿孔針５８が第１針位置、第２針位置、または第３針位置のいずれにあるかを判断するために、中空穿孔針５８を支持する可動ブラケット５５の位置を検出する検出器８１，８２，８３を設けることが好ましい。

２．６：第２移動機構
　図２～図４に示すように、基台１６の上には、固定ブラケット７１が固定されている。固定ブラケット７１は、駆動部（第２駆動部）７２を支持している。駆動部７２は電気モータを有する。モータの回転軸は、垂直方向に向けられたボールねじ７３が連結されており、モータの正逆回転にしたがってボールねじ７３が回転するようにしてある。ボールねじ７３はナット７４を介して可動ブラケット（第２可動部）７５に連結されている。

可動ブラケット７５は、貫通孔７６を備えている。また、基台１６は、ボールねじ７３と平行に伸びるガイドロッド７７を支持しており、このガイドロッド７７が可動ブラケット７５の貫通孔７６を貫通している。したがって、ボールねじ７３が回転すると、可動ブラケット７５はガイドロッド７７に案内されながら上下に移動する。

　可動ブラケット７５は垂直軸３９の延長上に貫通孔７８を有する。貫通孔７８には剛性材料からなる中空の吸引チューブ（管）７９が垂直軸３９に沿って上下方向に移動可能に挿通されている。可動ブラケット７５に対して吸引チューブ７９を位置決めするために、可動ブラケット７５にはホルダ８０が固定されている。ホルダ８０は、例えばゴムなどの弾性材料で形成され、吸引チューブ７９の外径よりも小径の小さな垂直孔が形成されており、その垂直孔に吸引チューブ７９がはめ込まれている。したがって、吸引チューブ７９は可動ブラケット７５に対して上下に動かすことができるとともに、吸引チューブ７９の下端を所望の高さに設定した状態で吸引チューブ７９に固定できる。

実施形態では、可動ブラケット７５から下方に向けて伸びる吸引チューブ７９の長さは、中空穿孔針５８が第１針位置（上昇位置）にあるとき、少なくとも一部の吸引チューブ７９が中空穿孔針５８の内腔に位置して中空穿孔針５８を垂直軸３９上に保持し、中空穿孔針５８が第２針位置（下降位置）にあるとき、吸引チューブ７９が容器２０の内部に入り、その下端が容器２０の内側底面に軽く接するか又はほぼ接しないように、調整される。

　このように、固定ブラケット７１、駆動部７２、ボールねじ７３、ナット７４、可動ブラケット７５は、吸引チューブ７９を、該吸引チューブ７９が容器２０の上方に十分退避している上昇位置（第１管位置）と、該吸引チューブ７９が容器２０の蓋２３を貫通してその下端が容器底面近傍に位置する下降位置（第２管位置）との間で移動させる、第２移動機構７０を構成している。

　吸引チューブ７９が第１管位置または第２管位置のいずれにあるかを判断するために、可動ブラケット７５の位置を検出する検出器８４，８５を設けることが好ましい。

２．７：動作
　供給ユニット２の動作を説明する。

２．７．１：容器の装着
　容器収容室４０に容器２０が装着されていない状態で、中空穿孔針５８は第１針位置をとり、吸引チューブ７９は第１管位置をとり、これら中空穿孔針５８と吸引チューブ７９は共に容器収容室４０の上方に退避している。したがって、ロック機構６０の係合部６４は被係合部６５から離間し、扉１３は開放可能な状態（アンロック状態）にある。

　容器２０を容器収容室４０に装着する場合、扉１３を開け、開口１２を介して容器２０を容器収容室４０に入れる。このとき、容器２０は、斜めに保ったままその本体底部２７から容器収容室４０に装入し、本体底部２７を容器受け部３０の突起３８の内側に位置させる。次に、斜め状態から容器２０の姿勢を直立状態に変えながら、容器底部２７を下部半円筒壁３４に押し込むとともに、本体肩部２６を上部半円筒壁３５に押し込む。これにより、容器２０は容器受け部３０に安定して保持される。その後、扉１３を閉める。

２．７．２：開蓋処理
　容器収容室４０に固定された容器２０から液体を供給する場合、例えば、ハウジング１０に設けた開蓋処理開始スイッチ（図示せず）をオペレータが押すと、システム１の制御部に組み込まれたコンピュータ９０がそこに格納されているプログラムが起動し、以下に説明する開蓋処理を実行する。

　開蓋処理に入ると、コンピュータ９０は、駆動部５２を駆動し、中空穿孔針５８を第１針位置から第２針位置に向けて下降する。下降中、中空穿孔針５８が第３針位置に達すると、ロック機構６０の係合部６４が被係合部６５に係合し、扉１３を開閉不能な状態（ロック状態）にする。

中空穿孔針５８は、第３針位置を通過した後、容器収容室４０の天井壁４３の窓４４を通り、蓋２３の中央領域２５を破ってそこを貫通する。コンピュータ９０は、中空穿孔針５８が蓋２３を貫通した状態で駆動部５２を停止し、その状態（第２の針位置）を維持する。コンピュータ９０はまた、中空穿孔針５８の下降に併せて駆動部７２を駆動し、中空穿孔針５８が下降する間、常に吸引チューブ７９の少なくとも一部が中空穿孔針５８の内腔に位置している状態を維持することが好ましい。ただし、中空穿孔針５８が蓋２３を貫通するまで、吸引チューブ７９の下端は蓋２３に接触しないように、吸引チューブ７９と蓋２３の距離が保たれる。

　開蓋後、中空穿孔針５８は蓋２３を貫通した位置（第２針位置）を維持してもよい。代わりに、開蓋後、コンピュータ９０は中空穿孔針５８を蓋２３から上昇させて離間させてもよい。その後、液体の吸引に際し、コンピュータ９０は駆動部７２を駆動し、吸引チューブ７９の下端を液体中に差し込む。吸引チューブ７９は、液体の吸引又は非吸引時を問わず常時液体に浸かっていてもよいし、非吸引時は液面よりも上に維持するようにしてもよい。

２．７．３:容器交換
　容器交換時、ハウジング１０に設けたスイッチ（図示せず）をオペレータが押す。これにより、システム１のコンピュータ９０が駆動部５２，７２を駆動し、中空穿孔針５８を第１針位置に戻し、吸引チューブ７９を第１管位置に戻す。これにより、ロック機構６０が解除される。以後、オペレータは、扉１３を開けて、容器２０を容器収容室４０から取り出すことができる。容器２０を取り出す手順は、装着時の手順とは逆である。容器の交換は、容器２０の液体残量が所定量以下になったと検知されたとき、また、容器２０又は液体の有効期限が切れたことが検知されたときにも、行われるようにしてもよい。なお、容器交換スイッチが押された場合、また、液体残量が所定量以下になったことが検知された場合、容器２０に残留している液体が廃液貯蔵室（例えば、図９に符号１５３で示す。）に吸引されて回収される（この処理を「容器交換準備処理」という。）。

３．計量ユニット
計量ユニットの実施形態を説明する。

３．１：実施形態１
　実施形態１の計量ユニット１０１を説明する。

３．１．１：構成
　図９に示すように、計量ユニット１０１は、液体を輸送する第１輸送路１１１、第２輸送路１１２、第３輸送路１１３、及び第４輸送路１１４を有する。第１輸送路１１１は、一端が上述した吸引チューブ７９の上端に接続されており、他端が処理室（第１の部屋）１２１に接続されている。処理室１２１は、例えばガス滅菌装置の滅菌室で、真空ポンプ（第１の減圧手段）１２３が接続されており、処理室１２１内の空間１２２を真空に減圧することができるようにしてある。図示しないが、処理室１２１には、滅菌処理を適正に管理するうえで必要な種々の器具（例えば、圧力検出器、温度検出器）が設けてある。

　第１輸送路１１１には、吸引チューブ７９から処理室１２１に向かって順番に、第１弁１３１、計量室（第２の部屋）１５１、第２弁１３２、及び気化室１５２が設けてある。計量室１５１の容積（第２の容積）は処理室１２１の容積（第１の容積）よりも小さく、例えば、処理室１２１の容積は１００～１５０リットルの場合、計量室１５１の容積は２～７ミリリットルに設定される。また、第１輸送路１１１は、第１弁と吸引チューブ７９との間に第１分岐部１４１を有し、第２弁１３２と気化室１５２との間に第２分岐部１４２を有する。第２輸送路１１２は、一端が第１分岐部１４１に接続され、他端が廃液貯蔵室１５３に接続されており、第１分岐部１４１から廃液貯蔵室１５３に向かって順番に、一時貯蔵室１５４と第３弁１３３が設けてある。第３輸送路１１３は、一端が第２分岐部１４２に接続され、他端が廃液貯蔵室１５３に接続されており、第２分岐部１４２から廃液貯蔵室１５３に向かって順番に、第４弁１３４と第３分岐部１４３が設けてある。第４輸送路１１４は、第５弁１３５を有し、一端が第３分岐部１４３に接続され、他端が大気に開放されている。

　上述した第１弁１３１～第５弁１３５はいずれも電磁弁が好適に利用される。真空ポンプ１２３と第１～第５弁１３５はコンピュータ９０に接続されており、コンピュータ９０の出力に基づいて動作するように構成されている。

３．１．２：動作
　図１０を参照して、計量ユニット１０１の動作を説明する。

（ステップ１）
　コンピュータ９０は、吸引チューブ７９が容器２０内に挿入されてその先端が容器底面又はその近傍に達したことを検出すると、第１、２，３，５弁１３１，１３２，１３３，１３５を閉じ、第４弁１３４を開ける。コンピュータ９０はまた、真空ポンプ１２３を駆動する。これにより、処理室１２１と気化室１５２と廃液貯蔵室１５３が所定の真空圧に設定される。廃液貯蔵室１５３の真空圧は、上述した容器交換準備処理に利用される。後述する他の実施形態でも同様である。
　上述の場合に限らず、弁１３４は、例えば、真空ポンプ１２３が駆動され、処理室１２１の圧力が例えば８０，０００Ｐａに到達したときにも、開けられることがある。以下に説明する他の実施形態でも同様である。

吸引チューブ７９の先端が容器底面又はその近傍に達したことは、検出器８１，８２，８３からの信号をもとに検出することができる。または、駆動部７２の駆動時間をもとに、吸引チューブ７９の位置を検出することができる。

（ステップ２）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第４弁１３４を閉じ、第３弁１３３を開く。これにより、容器２０内の液体が吸引チューブ７９を介して吸引され、一時貯蔵室１５４に供給される。このように、本実施形態では、第３弁１３３、第４弁１３４、第５の弁１３５、及び廃液貯蔵室１５３が、一時貯蔵室１５４を減圧して真空にする減圧手段（第２の減圧手段）として機能する。

（ステップ３）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第３弁１３３を閉じる。第３弁１３３を開いてから閉じるまでの時間は、所定量の液体が一時貯蔵室１５４に充填されるように設定される。これにより、吸引チューブ７９から一時貯蔵室１５４までの第１輸送路部分が液体で満たされる

（ステップ４）
　コンピュータ９０は、第２弁１３２を開いて計量室１５１を気化室１５２及び処理室１２１に連通し、計量室１５１の空気を吸引する。

（ステップ５）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第２弁１３２を閉じる。これにより、計量室１５１が所定の真空圧に設定される。

（ステップ６）
　コンピュータ９０は、第１弁１３１を開く。これにより、容器２０の液体が計量室１５１に吸引される。上述のように、吸引チューブ７９とそれに続く一時貯蔵室１５４までの第１輸送路部分は液体で満たされているので、計量室１５１に空気が入ることはなく、確実に所定量の液体が計量室１５１に充填される。

（ステップ７）
　コンピュータ９０は、所定時間後第１弁１３１を閉じる。この時間は、計量室１５１が液体で完全に又はほぼ完全に充満されるために必要な時間に設定される。

（ステップ８）
　コンピュータ９０は、第２弁１３２を開放する。この結果、計量室１５１の液体は、処理室１２１と気化室１５２の真空に引かれ、気化室１５２で気化してガスになり、そのガスが処理室１２１に供給される。以上の工程により、所定量（計量室の容量に相当する。）の液体がガス化されて処理室１２１に供給され、そこで滅菌処理に利用される。

　処理室１２１に供給される液体の量は、ステップ８の後、上述のステップ５～ステップ７を繰り返すことによって調整できる。繰り返す回数は、計量室１５１の容積に応じて変わる。

（ステップ９）
　以上の処理を通じて所定量の液体が供給されると、コンピュータ９０は駆動部を駆動して吸引チューブ７９を液体から引き上げ、吸引チューブ７９を液体と非接触状態に保つ。

（ステップ１０）
　コンピュータ９０は、第３弁１３３を開き、真空に保たれている廃液貯蔵室１５３に、一時貯蔵室１５４及びこれに連通する第２輸送路１１２や吸引チューブ７９に残留する液体を廃液貯蔵室１５３に回収する。

（ステップ１１）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第３弁１３３を閉じて残留液の回収を終了する。

（ステップ１２）
　コンピュータ９０は、第２弁１３２を閉じる。

（ステップ１３）
　コンピュータ９０は、第１弁１３１を開き、第１弁１３１の下流側に残留する液体を気化室１５２に吸引する。

（ステップ１４）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第１弁１３１を閉じる。

（ステップ１５）
　コンピュータ９０は、第２弁１３２を開く。これにより、計量室１５１の液体が処理室１２１に供給される。

（ステップ１６）
　コンピュータ９０は、所定時間後、第２弁１３２を閉じる。この時間は、気化室１５２等に残留する液体やガスが完全に処理室１２１内に吸引されるために必要な時間に設定される。

　このように、実施形態１の計量ユニット１０１によれば、所定量の液体が正確に計量され、気化されて処理室１２１（例えば、ガス滅菌室）に供給される。

３．２：実施形態２
　実施形態２の計量ユニット２０１を説明する。

３．２．１：構成
　図１１に示すように、実施形態２の計量ユニット２０１は、一時貯蔵室を備えていない点で、実施形態１の計量ユニットと異なる。

３．２．２：動作
　図１２を参照して計量ユニット２０１の動作を説明する。

（ステップ１）
　コンピュータ９０は、吸引チューブ７９が容器２０内に挿入されてその先端が容器底面又はその近傍に達したことを検出すると、第１、２，３，５弁２３１，２３２，２３３，２３５を閉じ、第４弁２３４を開ける。コンピュータ９０はまた、真空ポンプ２２３を駆動し、処理室２２１と気化室２５２と廃液貯蔵室２５３を所定の真空圧に設定する。

（ステップ２）
　コンピュータ９０は、第４弁２３４を閉じ、第３弁２３３を開く。これにより、容器２０内の液体が吸引され、吸引チューブ７９と、該吸引チューブ７９から第３弁２３３までの第２輸送路部分が、液体で満たされる。このように、本実施形態では、第３弁２３３、第４弁２３４、第５の弁２３５、及び廃液貯蔵室２５３が、第２輸送路部分を減圧して真空にする減圧手段（第３の減圧手段）として機能する。

（ステップ３）
　コンピュータ９０は、第２弁２３２を開いて計量室２５１を気化室２５２及び処理室２２１に連通し、計量室２５１の空気を吸引する。

（ステップ４）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第２弁２３２を閉じ、計量室２５１を所定の真空圧に設定する。

（ステップ５）
　コンピュータ９０は、第１弁２３１を開く。これにより、容器２０の液体が計量室２５１に吸引される。このとき、吸引チューブ７９と、該吸引チューブ７９から第３弁２３３までの第２輸送路部分は液体が満たされて空気は存在しないので、計量室２５１には所定量の液体が吸引される。

（ステップ６）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第１弁２３１を閉じる。この時間は、計量室２５１が液体で完全に又はほぼ完全に充満されるために必要な時間に設定される。

（ステップ７）
　コンピュータ９０は、第２弁２３２を開放する。この結果、計量室２５１の液体は、処理室２２１と気化室２５２の真空に引かれ、気化室２５２で気化し、その気化したガスが処理室２２１に供給される。

（ステップ８）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第２弁２３２を閉じる。この時間は、計量室２５１の液体が完全に又はほぼ完全に処理室２２１に供給されるために必要な時間に設定される。以上の工程により、所定量（計量室の容量に相当する。）の液体がガス化されて処理室２２１に供給され、そこで滅菌処理に利用される。

（ステップ９）
　以上の処理によって容器２０から処理室２２１に供給される液体の量は限られており、処理室２２１が必要とする液体の総量が一回の供給量よりも少ない場合、ステップ８の後、上述のステップ３～ステップ６を繰り返す。

（ステップ１０）
　コンピュータ９０は、直前のステップ６で計量室２５１に充填された液体を処理室２２１に供給するために、第２弁２３２を開け、計量室２５１の液体を送り出す。

（ステップ１１）
　コンピュータ９０は、駆動部７２を駆動して吸引チューブ７９を液体から引き上げ、吸引チューブ７９を液体と非接触状態に保つ。

（ステップ１２）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第２弁２３２を閉じる。

（ステップ１３）
　コンピュータ９０は、第１弁２３１を開き、引き上げられた吸引チューブ７９に残留する液体を計量室２５１に吸引する。

（ステップ１４）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第１弁２３１を閉じる。

（ステップ１５）
　コンピュータ９０は、第２弁２３２を開け、計量室２５１の液体を気化室２５２から処理室２２１に供給する。

（ステップ１６）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第２弁２３２を閉じる。

　このように、実施形態２の計量ユニット２０１によれば、ステップ１１～１６で、第１弁２３１から吸引チューブ７９の末端までの内腔に存在する液体が計量室に回収されて処理室に供給される。

３．３：実施形態３
　実施形態３の計量ユニット３０１を説明する。

３．３．１：構成
　図１３に示すように、実施形態３の計量ユニット３０１は、液体を輸送する第１輸送路３１１、第２輸送路３１２、及び第３輸送路３１３を有する。第１輸送路３１１は、一端が上述した吸引チューブ７９の上端に接続されており、他端が処理室３２１に接続されている。処理室３２１は、例えばガス滅菌装置の滅菌室で、真空ポンプ３２３が接続されており、処理室３２１内の空間３２２を真空にすることができるようにしてある。図示しないが、処理室３２１には、滅菌処理を適正に管理するうえで必要な種々の器具（例えば、圧力検出器、温度検出器）が設けてある。

　第１輸送路３１１には、吸引チューブ７９から処理室３２１に向かって順番に、第１弁３３１、計量室３５１、第２弁３３２、及び気化室３５２が設けてある。また、第１輸送路３１１は、第１弁と吸引チューブ７９との間に第１分岐部３４１を有する。第２輸送路３１２は、一端が第１分岐部３４１に接続され、他端が第２分岐部３４２に接続されており、第１分岐部３４１から第２分岐部３４２の間に一時貯蔵室３５４が設けてある。第３輸送路３１３は、一端が大気に開放され、他端が廃液貯蔵室３５３に接続されており、一端と他端との間に、第１ポンプ３６１、第３弁３３３、第２分岐部３４２、第４弁３３４、及び第２ポンプ３６２が配置されている。廃液貯蔵室３５３の室内は、排気管３７１を介して大気に開放されている。

　上述した第１弁３３１～第４弁３３４はいずれも電磁弁が好適に利用される。真空ポンプ３２３と第１弁３３１～第４弁３３４はコンピュータ９０に接続されており、コンピュータ９０の出力に基づいて動作するように構成されている。

３．３．２：動作
　図１４を参照して計量ユニット３０１の動作を説明する。

（ステップ１）
　コンピュータ９０は、吸引チューブ７９が容器２０内に挿入されてその先端が容器底面又はその近傍に達したことを検出すると、第１、２，３弁３３１，３３２，３３３を閉じ、第４弁３３４を開ける。コンピュータ９０はまた、第２ポンプ３６２を駆動する。これにより、容器２０内の液体が吸引チューブ７９を介して吸引され、一時貯蔵室３５４に供給される。

（ステップ２）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第４弁３３４を閉じ、第２ポンプ３６２を停止する。ここでの所定時間は、所定量の液体が一時貯蔵室３５４に充填されるように設定される。これにより、吸引チューブ７９から一時貯蔵室３５４までの第２輸送路部分が液体で満たされる

（ステップ３）
　コンピュータ９０は、第２弁３３２を開いて計量室３５１を気化室３５２及び処理室３２１に連通し、計量室３５１の空気を吸引する。

（ステップ４）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第２弁３３２を閉じる。これにより、計量室３５１が所定の真空圧に設定される。

（ステップ５）
　コンピュータ９０は、第１弁３３１を開く。これにより、容器２０の液体が計量室３５１に吸引される。上述のように、吸引チューブ７９とそれに続く一時貯蔵室３５４までの第１輸送路部分は液体で満たされているので、計量室３５１に空気が入ることはなく、確実に所定量の液体が計量室３５１に充填される。

（ステップ６）
　コンピュータ９０は、所定時間後第１弁３３１を閉じる。この時間は、計量室３５１が液体で完全に又はほぼ完全に充満されるために必要な時間に設定される。

（ステップ７）
　コンピュータ９０は、第２弁３３２を開放する。この結果、計量室３５１の液体は、処理室３２１と気化室３５２の真空に引かれ、気化室３５２で気化してガスになり、そのガスが処理室３２１に供給される。以上の工程により、所定量（計量室の容量に相当する。）の液体がガス化されて処理室３２１に供給され、そこで滅菌処理に利用される。

　処理室３２１に供給される液体の量は、ステップ７の後、上述のステップ４～ステップ７を繰り返すことによって調整できる。

（ステップ８）
　以上の処理を通じて所定量の液体が供給されると、コンピュータ９０は駆動部を駆動して吸引チューブ７９を液体から引き上げ、吸引チューブ７９を液体と非接触状態に保つ。

（ステップ９）
　コンピュータ９０は、第３弁３３３を開き、第１ポンプ３６１を駆動して大気を吸引し、第２輸送路３１２と、吸引チューブ７９と、第１輸送路３１１における第１分岐部３４１から第１弁３３１の間、に残留する液体を容器２０に戻す。

（ステップ１０）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第３弁３３３を閉じ、第１ポンプ３６１を停止する。

（ステップ１１）
　コンピュータ９０は、第２弁３３２を閉じる。

（ステップ１２）
　コンピュータ９０は、第１弁３３１を開き、第１の弁の上流側に残留する液体、例えば、第１分岐部３４１から第１弁３３１の間に残留する液体を計量室３５１に吸引する。

（ステップ１３）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第１弁３３１を閉じる。

（ステップ１４）
　コンピュータ９０は、第２弁３３２を開く。これにより、計量室３５１の液体が処理室３２１に供給される。

（ステップ１５）
　コンピュータ９０は、所定時間後、第２弁３３２を閉じる。この時間は、気化室３５２等に残留する液体やガスが完全に処理室３２１内に吸引されるために必要な時間に設定される。

　このように、実施形態３の計量ユニット３０１によれば、一時貯留室３５４と第２輸送路３１２に残留する液体がすべて容器に戻される。

３．４：実施形態４
　実施形態４の計量ユニット４０１を説明する。

３．４．１：構成
　図１５に示すように、実施形態４の計量ユニット４０１は、液体を輸送する第１輸送路４１１、及び第２輸送路４１２を有する。第１輸送路４１１は、一端が上述した吸引チューブ７９の上端に接続されており、他端が処理室４２１に接続されている。処理室４２１は、例えばガス滅菌装置の滅菌室で、真空ポンプ４２３が接続されており、処理室４２１内の空間４２２を真空にすることができるようにしてある。図示しないが、処理室４２１には、滅菌処理を適正に管理するうえで必要な種々の器具（例えば、圧力検出器、温度検出器）が設けてある。

　第１輸送路４１１には、吸引チューブ７９から処理室４２１に向かって順番に、第１弁４３１、計量室４５１、第２弁４３２、及び気化室４５２が設けてある。また、第１輸送路４１１は、第１弁と吸引チューブ７９との間に分岐部４４１を有する。第２輸送路４１２は、一端が分岐部４４１に接続され、他端が廃液貯蔵室４５３に接続されており、分岐部４４１から廃液貯蔵室４５３の間に一時貯蔵室４５４、第３弁３３３、ポンプ４６１が配置されている。廃液貯蔵室４５３の室内は、排気管４７１を介して大気に開放されている。

　上述した第１弁４３１～第３弁３３３はいずれも電磁弁が好適に利用される。真空ポンプ４２３と第１～第３弁３３３はコンピュータ９０に接続されており、コンピュータ９０の出力に基づいて動作するように構成されている。

３．３．２：動作
　図１６を参照して計量ユニット４０１の動作を説明する。

（ステップ１）
　コンピュータ９０は、吸引チューブ７９が容器２０内に挿入されてその先端が容器底面又はその近傍に達したことを検出すると、第１、２弁４３１，４３２を閉じ、第３弁３３３を開ける。コンピュータ９０はまた、ポンプ４６１を駆動する。これにより、容器２０内の液体が吸引チューブ７９を介して吸引され、一時貯蔵室４５４に供給される。

（ステップ２）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第３弁３３３を閉じ、ポンプ４６１を停止する。ここでの所定時間は、所定量の液体が一時貯蔵室４５４に充填されるように設定される。これにより、吸引チューブ７９から一時貯蔵室４５４までの第２輸送路部分が液体で満たされる。

（ステップ３）
　コンピュータ９０は、第２弁４３２を開いて計量室４５１を気化室４５２及び処理室４２１に連通し、計量室４５１の空気を吸引する。

（ステップ４）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第２弁４３２を閉じる。これにより、計量室４５１が所定の真空圧に設定される。

（ステップ５）
　コンピュータ９０は、第１弁４３１を開く。これにより、容器２０の液体が計量室４５１に吸引される。上述のように、吸引チューブ７９とそれに続く一時貯蔵室４５４までの第１輸送路部分は液体で満たされているので、計量室４５１に空気が入ることはなく、確実に所定量の液体が計量室４５１に充填される。

（ステップ６）
　コンピュータ９０は、所定時間後第１弁４３１を閉じる。この時間は、計量室４５１が液体で完全に又はほぼ完全に充満されるために必要な時間に設定される。

（ステップ７）
　コンピュータ９０は、第２弁４３２を開放する。この結果、計量室４５１の液体は、処理室４２１と気化室４５２の真空に引かれ、気化室４５２で気化してガスになり、そのガスが処理室４２１に供給される。以上の工程により、所定量（計量室の容量に相当する。）の液体がガス化されて処理室４２１に供給され、そこで滅菌処理に利用される。

　処理室４２１に供給される液体の量は、ステップ７の後、上述のステップ４～ステップ７を繰り返すことによって調整できる。

（ステップ９）
　コンピュータ９０は、第３弁３３３を開き、ポンプ４６１を駆動して大気を吸引し、第２輸送路４１２と吸引チューブ７９に残留する液体を容器２０に戻す。

（ステップ１０）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第３弁３３３を閉じ、ポンプ４６１を停止する。

（ステップ１１）
　コンピュータ９０は、第２弁４３２を閉じる。

（ステップ１２）
　コンピュータ９０は、第１弁４３１を開き、第１弁４３１の上流側に残留する液体、例えば、分岐部４４１から第１弁４３１の間に残留する液体を計量室４５１に吸引する。

（ステップ１３）
　コンピュータ９０は、所定時間経過後、第１弁４３１を閉じる。

（ステップ１４）
　コンピュータ９０は、第２弁４３２を開く。これにより、計量室４５１の液体が処理室４２１に供給される。

（ステップ１５）
　コンピュータ９０は、所定時間後、第２弁４３２を閉じる。この時間は、気化室４５２等に残留する液体やガスが完全に処理室４２１内に吸引されるために必要な時間に設定される。

　このように、実施形態４の計量ユニット４０１によれば、一時貯留室４５４と第２輸送路４１２に残留する液体がすべて容器に戻される。

１：液体供給システム
２：供給ユニット
１０：ハウジング
１１：前壁
１２：開口
１３：扉
１４：金属片
１５：磁石
１６：基台
２０：液体容器
２１：本体
２２：中心軸
２３：蓋
２４：天井壁
２５：中央領域
２６：肩部
２７：底部
３０：容器受け部
３１：下部支持部
３２：上部支持部
３３：テーブル
３４：下部半円筒壁
３５：上部半円筒壁
３６：垂直部
３７：円筒壁
３８：突起
３９：垂直軸
４０：容器収容室
４１：側壁
４２：後壁
４３：天井壁
４４：窓
４５：延長側壁
４６：延長後壁
４７：隙間
５０：第１の移動機構
５１：固定ブラケット（第１固定部）
５２：駆動部（第１駆動部）
５３：ボールねじ
５４：ナット
５５：可動ブラケット（第１可動部）
５６：垂直ガイド（回転防止手段）
５７：孔
５８：中空穿孔針
５９：尖塔部
６０：ロック機構
６１：ロックプレート
６２：第１部分
６３：第２部分
６４：第３部分（係合部）
６５：被係合部
７０：第２移動機構
７１：固定ブラケット（第２固定部）
７２：駆動部（第２駆動部）
７３：ボールねじ
７４：ナット
７５：可動ブラケット（第２可動部）
７６：貫通孔
７７：ガイドロッド
７８：貫通孔
７９：吸引チューブ
８０：ホルダ
８１，８２，８３：検出器
８４，８５：検出器
９０：コンピュータ（制御部）
１０１：計量ユニット（実施形態１）
１１１：第１輸送路
１１２：第２輸送路
１１３：第３輸送路
１１４：第４輸送路
１２１：処理室
１２２：空間
１２３：真空ポンプ（第１の減圧手段）
１３１：第１弁
１３２：第２弁
１３３：第３弁
１３４：第４弁
１３５：第５弁
１４１：第１分岐部
１４２：第２分岐部
１４３：第３分岐部
１５１：計量室
１５２：気化室
１５３：廃液貯蔵室
１５４：一時貯蔵室
２０１：計量ユニット（実施形態２）
２１１：第１輸送路
２１２：第２輸送路
２１３：第３輸送路
２１４：第４輸送路
２２１：処理室
２２２：空間
２２３：真空ポンプ（第１の減圧手段）
２３１：第１弁
２３２：第２弁
２３３：第３弁
２３４：第４弁
２３５：第５弁
２４１：第１分岐部
２４２：第２分岐部
２５１：計量室
２５２：気化室
２５３：廃液貯蔵室
３０１：計量ユニット（実施形態３）
３１１：第１輸送路
３１２：第２輸送路
３１３：第３輸送路
３２１：処理室
３２２：空間
３２３：真空ポンプ（第１の減圧手段）
３３１：第１弁
３３２：第２弁
３３３：第３弁
３３４：第４弁
３４１：第１分岐部
３４２：第２分岐部
３５１：計量室
３５２：気化室
３５３：廃液貯蔵室
３５４：一時貯蔵室
３６１：ポンプ
３６２：ポンプ
３７１：排気管
４０１：計量ユニット（実施形態４）
４１１：第１輸送路
４１２：第２輸送路
４２１：処理室
４２２：空間
４２３：真空ポンプ（第１の減圧手段）
４３１：第１弁
４３２：第２弁
４３３：第３弁
４４１：分岐部
４５１：計量室
４５２：気化室
４５３：廃液貯蔵室
４５４：一時貯蔵室
４６１：ポンプ
４７１：排気管

Claims

所定容積の空間（１２２）を有する処理室（１２１）と、
前記処理室（１２１）の空間（１２２）を減圧する第１の減圧手段（１２３）と、
液体を収容する容器（２０）と、
前記液体を計量する計量室（１５１）と、
前記計量室（１５１）を介して前記容器（２０）と前記処理室（１２１）を接続する第１の通路（１１１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記容器（２０）と前記計量室（１５１）の間に設けられた第１の弁（１３１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記計量室（１５１）と前記処理室（１２１）の間に設けられた第２の弁（１３２）と、
前記減圧手段（１２１）と前記第１の弁（１３１）と前記第２の弁（１３２）を制御する制御部（９０）とを有し、
前記制御部（９０）は、
ａ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の減圧手段を駆動して前記処理室を減圧して前記処理室に負圧を形成する第１の処理を実行する第１の手段、
ｂ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の負圧を前記計量室に導入する第２の処理を実行する第２の手段、
ｃ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を閉じ、前記計量室に導入された負圧を保持する第３の処理を実行する第３の手段、
ｄ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の弁を開き、前記計量室の負圧を利用して前記容器から前記液体を前記計量室に吸引する第４の処理を実行する第４の手段、
ｅ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の真空を利用して前記計量室の前記液体を前記処理室に吸引する第５の処理を実行する第５の手段、
を有することを特徴とする、液体供給システム。
前記第１の通路（１１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（１３１）との間に設けられた分岐部（１４１）と、
一端が前記分岐部（１４１）に接続された第２の通路（１１２）と、
前記第２の通路（１１２）の他端に接続された第２の減圧手段（１５３）と、
前記第２の通路（１１２）上に、前記一端から前記他端に向かって順番に設けられた一時貯蔵室（１５４）と第３の弁（１３３）を有し、
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記一時貯蔵室までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の手段を有することを特徴とする、請求項１の液体供給システム。
前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（１３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の手段を有することを特徴とする請求項２の液体供給システム。
前記第１の通路（２１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（２３１）との間に設けられた分岐部（２４１）と、
一端が前記分岐部（２４１）に接続された第２の通路（２１２）と、
前記第２の通路（２１２）の他端に接続された第２の減圧手段（２５３）と、
前記第２の通路（２１２）上に設けられた第３の弁（２３３）を有し、
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記第３弁までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の手段を有することを特徴とする、請求項１の液体供給システム
前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（２３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の手段を有することを特徴とする請求項４の液体供給システム。
前記第２の処理から前記第５の処理を２回以上繰り返す手段を有する、請求項１～５のいずれかの液体供給システム。
所定容積の空間（１２２）を有する処理室（１２１）と、
前記処理室（１２１）の空間（１２２）を減圧する第１の減圧手段（１２３）と、
液体を収容する容器（２０）と、
前記液体を計量する計量室（１５１）と、
前記計量室（１５１）を介して前記容器（２０）と前記処理室（１２１）を接続する第１の通路（１１１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記容器（２０）と前記計量室（１５１）の間に設けられた第１の弁（１３１）と、
前記第１の通路（１１１）上で前記計量室（１５１）と前記処理室（１２１）の間に設けられた第２の弁（１３２）と、
前記第１の減圧手段（１２３）と前記第１の弁（１３１）と前記第２の弁（１３１）を制御する制御部（９０）とを有する液体供給システムの駆動方法であって、
ａ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の減圧手段を駆動して前記処理室を減圧して前記処理室に負圧を形成する第１の処理を実行する第１の工程、
ｂ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の負圧を前記計量室に導入する第２の処理を実行する第２の工程、
ｃ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を閉じ、前記計量室に導入された負圧を保持する第３の処理を実行する第３の工程、
ｄ）前記第２の弁を閉じた状態で、前記第１の弁を開き、前記計量室の負圧を利用して前記容器から前記液体を前記計量室に吸引する第４の処理を実行する第４の工程、
ｅ）前記第１の弁を閉じた状態で前記第２の弁を開き、前記処理室の真空を利用して前記計量室の前記液体を前記処理室に吸引する第５の処理を実行する第５の工程、
を有することを特徴とする、液体供給システムの駆動方法。
前記液体供給システムは、
前記第１の通路（１１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（１３１）との間に設けられた分岐部（１４１）と、
一端が前記分岐部（１４１）に接続された第２の通路（１１２）と、
前記第２の通路（１１２）の他端に接続された第２の減圧手段（１５３）と、
前記第２の通路（１１２）上に、前記一端から前記他端に向かって順番に設けられた一時貯蔵室（１５４）と第３の弁（１３３）を備えており
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記一時貯蔵室までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の工程を有することを特徴とする、請求項７の液体供給システムの駆動方法。
前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（１３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の工程を有することを特徴とする請求項８の液体供給システムの駆動方法。
前記液体供給システムは、
前記第１の通路（２１１）上にあって前記容器（２０）と前記第１の弁（２３１）との間に設けられた分岐部（２４１）と、
一端が前記分岐部（２４１）に接続された第２の通路（２１２）と、
前記第２の通路（２１２）の他端に接続された第２の減圧手段（２５３）と、
前記第２の通路（２１２）上に第３の弁（２３３）を備えており、
ｆ）前記第１の処理が実行される前に、前記第３の弁を開いた状態で前記第２の減圧手段を駆動して、前記容器から前記第３弁までの前記第２の通路部分に前記液体を吸引する第６の処理を実行する第６の工程を有することを特徴とする、請求項７の液体供給システムの駆動方法。
前記第５の処理の後、前記容器（２０）から前記第３の弁（２３３）までの前記第２の通路部分に残留する前記液体を前記容器（２０）に戻す第７の処理を実行する第７の工程を有することを特徴とする請求項１０の液体供給システムの駆動方法。
前記第２の処理から前記第５の処理を２回以上繰り返すことを特徴とする、請求項７～１１のいずれかの液体供給システムの駆動方法。