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WO2015102403A1 - Flexible electronic device having multi-functional barrier layer - Google Patents

Flexible electronic device having multi-functional barrier layer Download PDF

Info

Publication number
WO2015102403A1
WO2015102403A1 PCT/KR2014/013090 KR2014013090W WO2015102403A1 WO 2015102403 A1 WO2015102403 A1 WO 2015102403A1 KR 2014013090 W KR2014013090 W KR 2014013090W WO 2015102403 A1 WO2015102403 A1 WO 2015102403A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
hybrid
region
graphene
graphene layer
layer
Prior art date
Application number
PCT/KR2014/013090
Other languages
French (fr)
Korean (ko)
Inventor
남보애
채기성
심동훈
조성희
이신우
강지연
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Publication of WO2015102403A1 publication Critical patent/WO2015102403A1/en

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/621Providing a shape to conductive layers, e.g. patterning or selective deposition
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
    • H01B5/14Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
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    • H10K59/80523Multilayers, e.g. opaque multilayers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
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    • H10K2102/311Flexible OLED
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    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • the present invention relates to an electronic device having a multi-functional barrier layer, and more particularly to an electronic device comprising a barrier layer that also functions as an electrode of the electronic devices.
  • ITO indium tin oxide
  • transparent conductive oxides such as ITO
  • transparent electrodes should be formed to a predetermined thickness or more to ensure the low resistance value required by electronic devices. In such a case, although it is possible to provide sufficient transparency as the transparent electrode, when the bending occurs due to the brittleness of the transparent conductive oxide and the thickness of the formed electrode, the transparent electrode is more easily broken.
  • the electrical resistance value which is greatly increased as it is bent, is also one of the factors that makes it difficult to apply a transparent electrode formed of a transparent conductive oxide to a flexible electronic device.
  • the ever-increasing price of indium, the additional processing steps and time to form additional transparent electrodes increases the total manufacturing cost of electronic devices employing existing transparent electrodes.
  • the organic light emitting layer of the organic light emitting diode (OLED) used in the flexible display is susceptible to moisture and oxygen enough to lose its light emitting function upon contact with oxygen or moisture particles. Encapsulation is required.
  • protective films are commonly used to prevent the penetration of oxygen / moisture particles using encapsulations made of glass or metal, most of these encapsulations do not provide sufficient ductility, so the protective film awakens when the flexible electronic devices are bent or stretched.
  • Various defects can occur, such as cracking, cracking, or the creation of pin-holes.
  • Encapsulations formed from organic substrates and plastic substrates provide sufficient ductility required by flexible electronic devices, but have relatively low moisture permeability compared to encapsulations formed from glass / metal, so that all sides of a portion that require protection are protected. It should be surrounded by multiple layers or by a few layers with a high thickness. In other words, increasing the thickness of the encapsulation film or the number of additional layers to obtain sufficient gas / moisture particle moisture permeation prevention rate may eventually lead to an increase in thickness and transparency of the electronic device itself.
  • one component has a multi-function barrier layer that can implement not only moisture barrier protection performance but also electrode performance as needed, it can meet the functions required for the implementation of future transparent and flexible electronic devices, It has been recognized that elimination and size reduction can solve the limit of miniaturization of electronic devices.
  • an ideal multi-functional barrier layer In order for such an ideal multi-functional barrier layer to be practically commercialized, even relatively favorable production costs and processing times must be considered over other conventional methods or materials.
  • it in order to be applied to a transparent flexible display device, it is required to provide high mechanical strength, optical transparency, electrical properties, heat conduction properties, and moisture permeation prevention properties, as well as chemical stability with other components of the device.
  • the present specification provides a novel composition consisting of reduced graphene platelets, metal nanoparticles and a polymer.
  • the present disclosure further provides novel methods of making such novel compositions and novel devices utilizing the unique properties of the compositions.
  • an electronic device comprising a hybrid-graphene layer comprising a first region and a second region having a sheet resistance different from the sheet resistance of the first region, the first region comprising a plurality of non-oxidized metal nanoparticles. And a plurality of graphene platelets interconnected through the second region, and the second region includes a plurality of graphene platelets interconnected through the plurality of oxidized metal nanoparticles.
  • the electronic device includes a hybrid-graphene layer comprising a substrate or polymer matrix and a filler consisting of a plurality of reduced graphene platelets and a plurality of metal nanoparticles.
  • the filler is dispersed in a polymer matrix or formed on a substrate, wherein at least some of the at least a plurality of metal nanoparticles are in contact with the surface of at least some of the reduced graphene platelets of the plurality of reduced graphene platelets. .
  • the organic light emitting display device includes a substrate, an organic light emitting element formed on the substrate, and a hybrid-graphene layer electrically connected to the organic light emitting element and suppressing penetration of gas / moisture of the organic light emitting element.
  • Hybrid-graphene layer comprising a carbon-based first filler having a two-dimensional planar shape and a metal-based second filler having a three-dimensional shape, wherein the second filler of the first region of the hybrid-graphene layer is not oxidized The second filler in the second region of the hybrid graphene layer is oxidized.
  • An electronic device manufacturing method includes a step of forming a interconnected hybrid-graphene layer on a target surface by dispersing a carbon-based filler having a two-dimensional planar shape and a metal-based filler having a three-dimensional particle shape in a polymer matrix. Protecting a first region of the fin layer, forming a resist that exposes a second region of the hybrid-graphene layer, and oxidizing a three-dimensional particle shaped filler located in the second region of the hybrid-graphene layer And removing the protective film.
  • a hybrid graphene layer for an electronic device has a first region and a second region, wherein the first region is a repaired graphene platelet and a plurality of repaired graphene platelets composed of at least two layers of reduced graphene oxide sheets dispersed in the polymer.
  • An electronic device manufacturing method comprises a polymer, a plurality of reduced graphene oxide platelets composed of one or more reduced graphene sheets and a plurality of metal nanoparticles, a hybrid-graphene layer having a first region and a second region Forming metal oxide particles and selectively oxidizing the metal nano particles included in the second region of the plurality of metal nano particles of the hybrid-graphene layer.
  • the second region has a sheet resistance value higher than that of the first region.
  • 1A is a plan view illustrating a hybrid-graphene layer including regions formed to have selectively different sheet resistance values according to an embodiment of the present invention.
  • 1b (a) and 1b (b) are formed of unoxidized metal nanoparticles and graphene platelets to have a relatively low sheet resistance (conductive area) and oxidized metal nanoparticles and graphene platelets
  • An enlarged cross-sectional view for describing a hybrid-graphene layer including a region (non-conductive region) formed of a ridge and having a relatively high sheet resistance value.
  • FIG. 2 is a flow chart illustrating an exemplary method of forming a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a flow chart illustrating an exemplary method of forming a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention.
  • 4A is a plan view illustrating an exemplary touch screen panel using a hybrid-graphene layer in accordance with one embodiment of the present invention.
  • 4B is a cross-sectional view along IVb-IVb ′ of FIG. 4A.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an exemplary thin film transistor using a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an exemplary organic light emitting display device using a hybrid-graphene layer according to an embodiment of the present invention.
  • first, second, etc. are used to describe various components, it is only used to distinguish a particular component among a plurality of components corresponding to the first and second components. Therefore, of course, the first component mentioned below may be a second component within the technical spirit of the present invention.
  • each of the features of the various embodiments of the present invention may be combined or combined with each other in part or in whole, various technically interlocking and driving as can be understood by those skilled in the art, each of the embodiments may be implemented independently of each other It may be possible to carry out together in an association.
  • the hybrid-graphene layer 100 was formed of a hybrid-graphene composition 10 composed of reduced graphene oxide (rGO) platelets and metal nanoparticles dispersed in a polymer matrix. As shown in FIG. 1A, the hybrid-graphene layer 100 may include at least one first region 110 as a conductive region and at least one second region 120 as a non-conductive region. In the present specification, the conductive region and the non-conductive region are expressed by relative sheet resistance values between the two regions.
  • the non-conductive region has a relatively high sheet resistance value compared to the conductive region, and thus refers to a region having a relatively low electrical conductivity compared to the conductive region.
  • the hybrid-graphene layer 100 has a sheet resistance value different from that of other portions of the hybrid-graphene layer 100 by the metal nanoparticles in the hybrid-graphene composition 10 located at the specific region of the hybrid-graphene layer 100. It depends on the oxidation state.
  • Graphene is an allotrope of carbon with a thickness of one atom consisting of carbon atoms linked together in a hexagonal lattice.
  • Graphene honeycomb lattice consists of two equal sub-lattices of carbon atoms linked together by ⁇ bonds. These links, known as covalent bonds, are extremely strong and the carbon atoms are only 0.142 nm apart.
  • Graphite can be thought of as a structure in which several graphene sheets are bonded by van der Waals bonding in a stacked form at intervals of 0.335 nm between planes.
  • Graphene has various advantages over conventional metals due to its unique two-dimensional crystal structure and structural characteristics such as a strong sp 2 carbon bond network.
  • Graphene has a charge mobility close to 100 times that of silicon, a current density close to 100 times that of copper, high thermal conductivity, and low heat generation. It also has chemical resistance and high mechanical strength. It is flexible and flexible and can be easily patterned. These features, combined with flexible polymer structures, provide excellent combinations of mechanical, electrical, and optical properties suitable for transparent and flexible electronic devices.
  • Stable and evenly dispersed reduced graphene oxide platelets 12 and metal nanoparticles 16 in the polymer matrix 16 have significantly improved electrical properties than graphene or graphene composites obtained by conventional more complex methods, It can be used to make a multi-functional hybrid-graphene layer 100 having mechanical and gas / moisture barrier properties.
  • the hybrid-graphene composition 10 of the present specification may be prepared in a liquid form, so that various solution processable methods such as spin coating, slot coating, spray coating, screen printing, dip coating method, etc. It is possible to apply to the desired surface using a) to form the hybrid-graphene layer 100.
  • graphene exhibits an excellent ability to passivate certain surfaces, so graphene can be made into an ideal gas / moisture barrier layer.
  • the properties of graphene as described above make graphene a very useful material for a variety of applications in transparent and flexible devices.
  • Hybrid-graphene composition 10 can provide excellent optical properties, gas / moisture barrier properties as well as electrical conductivity for transparent and flexible devices.
  • graphene collectively refers to graphene oxide, reduced graphene oxide as well as pristine graphene.
  • the graphene is theoretically composed of one layer, the graphene used in the embodiments herein is not only a graphene sheet composed of one layer but also a plurality of layers (for example, 2 to 20 layers). It may be configured as.
  • the graphene oxide platelet or the reduced graphene oxide platelet of the embodiments herein using the expression "platelet” is used to stack not only a single layer structure but also a plurality of layers. Emphasis was placed on including the structure in question.
  • the reduced graphene oxide platelet 12 is shown as having a single layer structure, herein among the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10, Some may have a structure of a single layer reduced graphene oxide sheet, and some may have a stack structure in which the reduced graphene oxide sheets overlap. Furthermore, when the reduced graphene oxide platelet 12 is formed of a stack of multiple sheets, some reduced graphene oxide platelets 12 are not fully reduced between the reduced graphene oxide sheets contained therein. It may also include some graphene oxide sheet. In other words, the graphene sheets included in the reduced graphene oxide platelet 12 are not necessarily all reduced graphene oxide sheets. However, at least the sheets located on the outside of the reduced graphene oxide platelet 12 are preferably graphene oxide sheets. When the reduced graphene oxide platelet 12 is formed of a stack of multiple sheets, the thickness of the reduced graphene oxide platelet 12 is greater than the thickness of the single layer reduced graphene oxide sheet (ie, 0.34 nm). It may
  • At least 25%, more preferably at least 50% of the reduced graphene oxide platelets included in each of the hybrid-graphene compositions and hybrid-graphene layers described herein are at least two layers of reduced graphene It is preferably a reduced graphene oxide platelet composed of an oxide sheet.
  • FIG. 1B (a) and 1B (b) are enlarged cross-sectional views illustrating a hybrid-graphene layer having at least one conductive region and at least one non-conductive region according to an embodiment of the present invention.
  • reduced graphene oxide platelets 12 and non-oxidized metal nanoparticles 14 are formed of a polymer matrix 16. Is dispersed in On the other hand, in the second region 120 of the hybrid-graphene layer 100, the reduced graphene oxide platelets 12 and the oxidized metal nanoparticles 18, as shown in FIG. It is dispersed and formed at 16.
  • Graphene oxide is hydrophilic in the various oxygen functional groups on the surface thereof as compared to the reduced graphene oxide from which most of the oxygen functional groups are removed, because the moisture particles can move better through the path in the polymer matrix (16)
  • Most or all of the graphene platelets included in the hybrid-graphene composition 10 and the hybrid-graphene layer 100 of the embodiments of the preferred embodiment are reduced graphene oxide platelets 12.
  • the hybrid-graphene composition 10 and the hybrid-graphene layer 100 of the embodiments herein may include a few unreduced graphene oxide platelets due to process variations.
  • gas / moisture molecules can migrate along the relatively permeable polymer channels around the infiltrated reduced graphene oxide platelets 12 and penetrate through the hybrid-graphene layer 100. . Therefore, in improving the gas / moisture barrier property of the hybrid-graphene layer 100 formed of the hybrid-graphene composition 10, it is most important to establish a path as long as possible so that gas / moisture particles are difficult to penetrate. Is the point.
  • the factors that greatly influence the gas / moisture intrusion prevention properties of the hybrid-graphene composition 10 are the aspect ratio defined as the ratio of the longest dimension to the shortest dimension of the reduced graphene oxide platelet 12.
  • the very large aspect ratio and the two-dimensional planar shape of the reduced graphene oxide platelets 12 combine with the polymer matrix 16 to establish a long tortuous path therein. It is a very suitable material.
  • the reduced graphene oxide platelets 12 of the hybrid-graphene composition 10 not only provide good gas / moisture barrier properties, but also combine with the polymer matrix 16 to provide the required tension in flexible devices. It also provides a strong tolerance to withstand mechanical stresses such as stress and compression stress.
  • the interface strength between the nano-filler and the surrounding polymer matrix plays an important role in the transfer of stress from the polymer matrix to the nano-filler via shear-activated mechanisms. .
  • the higher the shear force of the interface the greater the load it can withstand before interfacing failures occur.
  • the bond / adhesion between the polymer matrix and the nano-pillars is weak, the strength of the interfacing between them may decrease and eventually result in defects. Therefore, the strong bonding / adhesion between the polymer matrix and the nano-filler is important for improving the mechanical properties of the hybrid-graphene layer 100 formed of the hybrid-graphene composition 10.
  • the reduced graphene oxide platelets 12 are very suitable nano-fillers as nano-fillers for improving the tensile modulus and strength of the hybrid-graphene composition 10.
  • the reduced graphene oxide platelet 12 has a larger interfacing contact area within the polymer matrix 16 compared to other carbon based nano-fillers such as carbon nanotubes (CNTs).
  • CNTs carbon nanotubes
  • polymer chains with large molecules cannot penetrate through the inner holes of the carbon nanotubes to the inside of the tube and only the outer surface of the carbon nanotubes contacts the polymer matrix 16, but the reduced graphene oxide platelet 12 Larger interfacing contact area with the polymer because both sides of the reduced graphene oxide platelet 12 can interface with the polymer because they have a stack of single or sheets of reduced graphene oxide in planar form. Will have
  • the reduced graphene oxide platelets 12 are polymer chains, in contrast to other types of nano-fillers that have smooth surfaces that do not aid in mechanical interlocking. It has a rough and corrugated surface topology that can make the bond stronger.
  • the reduced graphene oxide platelets 12 support mechanical loads in both longitudinal and transverse directions because they have a two-dimensional planar shape, the reduced graphene oxide platelets 12 are also present in flexible devices. May serve as a gas / moisture barrier.
  • the improved elastic modulus of the hybrid-graphene composition 10 also leads to improved buckling stability at compression loads. Buckling is a very difficult structural instability in the structural design of flexible devices.
  • the improved buckling stability of the hybrid-graphene composition 10 described herein is characterized by the two-dimensional planar shape of the reduced graphene oxide platelets 12 and the reduced graphene oxide platelets used in each example. 12) Most of these relate to all of the structural features that consist of a plurality of sheets. As such, in the reduced graphene oxide platelet 12 composed of a plurality of sheets, only the outer sheets of the plurality of sheets included therein are combined with the polymer matrix such that the hybrid-graphene layer 100 is formed. Contributes to the load transfer of the received tensile stress. On the other hand, the load of compressive stress is equally distributed not only to the outer sheets but also between the outer sheets, contributing to the load transfer.
  • Each sheet in the reduced graphene oxide platelet 12 may be buckled and bent when subjected to compressive stress due to their atomic scale thickness. At this time, the buckling or bending of the sheet in the reduced graphene oxide platelet 12 increases the friction between adjacent sheets so that better load transfer between the sheets in the reduced graphene oxide platelet 12 is achieved. do.
  • the hybrid-graphene composition 10 made using reduced graphene oxide platelets 12 composed of one or more sheets provides both tensile and compressive load transfer properties, which are important considerations in implementing flexible electronic devices. Improve.
  • Embodiments of the hybrid-graphene composition 10 described herein utilize a reduced graphene oxide platelets 12 and a polymer matrix 16 to make long and complicated torrent paths difficult to penetrate gas / moisture molecules.
  • the metal nanoparticles 14 may be further dispersed in the polymer matrix 16 to further improve the gas / moisture barrier properties of the hybrid-graphene composition 10.
  • the metal nanoparticles 14 may function as a crosslinking agent that pulls the reduced graphene oxide platelets 12 and connects them to each other. When the reduced graphene oxide platelets 12 are connected by the metal nanoparticles 14, the path through which gas / moisture particles must pass is longer, so that the gas / moisture barrier performance is improved.
  • the crosslinking properties of the metal nanoparticles 14 are reduced graphene oxide sheets and reduced graphene oxide platelets when forming the hybrid-graphene layer 100 using the hybrid-graphene composition 10. May cause re-agglomeration of the fields 12. Re-agglomeration of such reduced graphene oxide sheets and reduced graphene oxide platelets 12 results in uneven dispersion of the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10. Phenomenon may occur, which may lead to the generation of a low density region of the reduced graphene oxide platelet 12 in the hybrid-graphene layer 100. In areas where the density of the reduced graphene oxide platelet 12 is relatively lower than other areas, gas / moisture penetration may be easier.
  • the hybrid-graphene composition 10 facilitates uniform distribution of the reduced graphene oxide platelets 12 and the metal nanoparticles 14 therein and temporarily between the graphene oxide platelets 12. Re-agglomeration of and inhibits the aggregation of the graphene oxide platelet 12 and the metal nanoparticles (14) and a surfactant may be added. While the hybrid-graphene composition 10 is in a liquid state, the added surfactant inhibits the aggregation of the nano-fillers in the hybrid-graphene composition 10, while the hybrid-graphene composition 10 is a hybrid-graphene layer.
  • the reduced graphene oxide platelets 12 When the surfactant is evaporated and dried after being applied to the surface to be formed (100), the reduced graphene oxide platelets 12, which are more strongly connected by the metal nanoparticles 14, remain uniform on the surface.
  • the reduced graphene oxide platelet 12 may be negatively charged to further enhance the bond between the reduced graphene oxide platelet 12 and the metal nanoparticles 14.
  • the metal nanoparticles 14 may be positively charged.
  • the hybrid-graphene composition 10 described above is a hybrid formed of the hybrid-graphene composition 10 in addition to the optical properties, gas / moisture barrier properties, and mechanical strength properties required for use as encapsulation of transparent and flexible devices.
  • Optional portions of the graphene layer 100 also provide a special function that may have a different sheet resistance than other portions of the hybrid-graphene layer 100.
  • two regions, i.e., all portions of the hybrid-graphene layer 100 formed of the same hybrid-graphene composition 10 maintain substantially the same gas / moisture barrier properties but exhibit a difference of more than a predetermined sheet resistance value from each other, that is,
  • the patterning device may be patterned into at least one conductive region and at least one non-conductive region.
  • the hybrid-graphene composition 10 includes metal nanoparticles 14 that can be oxidized. More specifically, the two-dimensional planar sheet geometry and wide surface area of the reduced graphene oxide platelets 12 are connected to the conductive network by the connection between the reduced graphene oxide platelets 12 within the polymer matrix 16. It can be very effective for the formation of. However, the sheet resistance of a layer made of a composition consisting of simple reduced graphene oxide and polymer is required to drive electronic devices such as LCD and OLED displays that require intensive charge injection and / or large area coverage. It may be very high compared to.
  • the aforementioned electrical defects may be repaired by the plurality of metal nanoparticles 14 included in the hybrid-graphene composition 10.
  • the conductive metal nanoparticle 14 is disposed between the reduced graphene oxide platelets 12 and the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10. Acts as a bridge for interconnection between them.
  • the metal nanoparticle 14 also creates a longer and more tightly coupled conductive network with the reduced graphene oxide platelets 12, creating more paths of electricity in the hybrid-graphene layer 100
  • the overall sheet resistance of the hybrid graphene layer 100 is improved.
  • the simple graphene platelets-polymer composition has a much lower electrical conductivity (ie, higher than the hybrid-graphene layer 100 formed from the hybrid-graphene composition 10 of the embodiments described herein. Sheet resistance).
  • the hybrid-graphene layer since the low sheet resistance in the hybrid-graphene layer 100 is mainly improved by the metal nanoparticles 14 interconnected with the reduced graphene oxide platelets 12, the hybrid-graphene layer ( When the conductive metal nanoparticles 14 interconnecting the reduced graphene oxide platelets 12 after formation of 100 are converted to insulating particles, the insulating particles are separated between the reduced graphene oxide platelets 12. Not only does it help the connection, but in some cases, rather than act as a spacer to disconnect the connection, the sheet resistance in the portion containing the insulating particles is significantly increased.
  • the hybrid graphene layer 100 has a first region 110 and a second region 120.
  • the second region 120 of the hybrid graphene layer 100 has a lower electrical conductivity than the first region 110 of the hybrid graphene layer 100.
  • Changing the metal nanoparticle 14 from a conductive state to an insulated state can be implemented by oxidizing the metal nanoparticle 14 in the hybrid-graphene composition 10.
  • the first region 110 of the hybrid-graphene layer 100 includes reduced graphene oxide platelets 12 and metal nanoparticles 14 dispersed in the polymer matrix 16, and hybrid-graphene layer 100
  • the second region 120) includes reduced graphene oxide platelets 12 and oxidized metal nanoparticles 18 dispersed in the polymer matrix 16.
  • the first region 110 of the hybrid-graphene layer 100 has a predetermined sheet resistance value low enough to be used as an electrode, and the difference in the sheet resistance value between the first region 110 and the second region 120 is also predetermined. It is preferable that a sufficient amount of the metal nanoparticles 14 are uniformly dispersed in the hybrid-graphene composition 10 so as to be larger than the value of.
  • the gas / moisture tolerant pathway formed by the reduced graphene oxide platelets 12 and the metal nanoparticles 14 and the polymer matrix 16 is present in the hybrid-graphene layer 100.
  • oxidizing the metal nanoparticles 14 at a specific site to alter the sheet resistance of a portion of the hybrid-graphene layer 100 depends on the gas / moisture barrier properties of the hybrid-graphene layer 100. Does not affect Accordingly, the metal nanoparticle 14 must be a metal capable of oxidizing the reduced graphene oxide platelet 12 and the polymer matrix 16 of the hybrid-graphene layer 10 without damage.
  • platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), and combinations thereof may be used.
  • the metal nanoparticles 14 embedded in the hybrid-graphene layer 100 may be oxidized in various ways.
  • the metal nanoparticles 14 located in the region-treated region may be oxidized by treating the hybrid-graphene layer 100 with an acid.
  • the acid for oxidizing the metal nanoparticle 14 should not create defects in the reduced graphene oxide platelet 12, and therefore, hybrid-graph.
  • the metal nanoparticle 14 included in the fin composition 10 is preferably a metal that is easily oxidizable with a weak acid having a pKa acidity of about 4-11.
  • Acids that can be used to oxidize the metal nanoparticles 14 include acetic acid, formic acid, carboxylic acid, phenol, carbonic acid, nitroalkane, Ethyl acetoacetate, diethyl malonate, 2,4-pentanedione, may be included, but is not limited thereto.
  • the acid with pKa described above will not cause defects of the reduced graphene oxide platelet 12 in the hybrid-graphene layer 100, but reduced graphene in the second region 120 of the hybrid-graphene layer 100. It will oxidize the metal nanoparticles 14 interconnecting the fin oxide platelets 12 and transform the metal nanoparticles 14 into oxidized metal nanoparticles 18, which are electrically insulated particles.
  • an acid for oxidizing the metal nanoparticles 14 should be selected in consideration of the polymer matrix 16. Some acids may react with the polymer matrix 16 and may interfere with the bond between the reduced graphene oxide platelet 12 and the polymer chain. In addition, since any acid may cause yellowing of the polymer matrix 16, an acid that does not occur in consideration of the polymer matrix 16 used when an optically clear multi-functional hybrid-graphene layer 100 is required. Preference is given to using.
  • the selective oxidation method using an aqueous solution containing an acid is completely up to the metal nanoparticles 14 embedded deep in the hybrid-graphene layer 100 due to the excellent gas / moisture barrier property of the hybrid-graphene layer 100. It can be difficult to oxidize.
  • a laser treatment method may be used. have. The penetration level and oxidation level of the laser through the desired area of the hybrid-graphene layer 100 can adjust various parameters related to the laser processing such as duty cycle, power, wavelength, exposure time, density, etc.
  • the oxidation process will be performed after the hybrid-graphene layer 100 is coated or applied onto the surface.
  • the hybrid-graphene composition 10 is applied to a surface such as a metal substrate, a polymeric layer, or a film to form a hybrid-graphene layer 100, followed by a selective oxidation process. This can be done.
  • a selective oxidation process may be performed after the hybrid-graphene layer 100 is formed on a sensitive portion of devices such as an organic light emitting layer of an organic light emitting device or an active layer of a thin film transistor.
  • the strength of the acid in the oxidation method with acid is the material of the metal nanoparticle 14, hybrid-graphene, so as not to damage the weak parts of such a device.
  • the amount of metal nanoparticles 14 in the composition 10 is the number of sheets that the reduced graphene oxide platelets 12 contain on average, the hybrid-graph applied to form the hybrid-graphene layer 100.
  • the thickness of the fin composition 10 it should be determined in consideration of various factors.
  • the metal nanoparticles 14 of the hybrid graphene layer 100 may be oxidized by using a combination of an acid oxidation method and a laser oxidation method.
  • an acid oxidation method and a laser oxidation method.
  • the precise oxidation of the metal nanoparticles 14 can be achieved in a faster time than when using one oxidation method.
  • a laser oxidation method is first used to further perform a second oxidation process using a weak acid after curing the polymer matrix 16 of the hybrid-graphene layer 100 and oxidation of the metal nanoparticles 14. It can prevent damage to weak areas.
  • FIGS 2 and 3 are flowcharts illustrating an exemplary method of forming hybrid-graphene layer 100.
  • a dispersed liquid phase of graphene oxide platelets formed mostly of a plurality of layers of graphene oxide sheets is included (S210, S310).
  • the most common technique used for liquid phase dispersion of graphene oxide is to oxidize graphite to form graphite oxide, which is then stripped off to produce platelets of graphene oxide.
  • each of the graphene sheets of graphite oxide has a hydroxyl functional group, an epoxide functional group, a carbonyl functional group, and a carboxyl ( It is heavily functionalized by oxygen-functional groups, including carboxylic) functional groups, and the graphene sheet-to-sheet spacing extends from the original 0.34 nm to about 0.72 nm or more.
  • functional groups make the graphene sheets hydrophilic, so that intercalation of water molecules between the graphene sheets easily occurs. Therefore, it is much easier to peel graphene from graphite oxide than to directly peel graphene from graphite.
  • the graphite oxide is subjected to sonication and centrifugation (eg, about 30 minutes at 4000 rpm). Can be exfoliated in distilled water and the remaining expanded graphite oxide can also be removed from the dispersion.
  • platelet herein may be composed of a single graphene sheet, but the thickness of the graphene oxide platelets is single-layered, remembering that multiple (2-10 layers) sheets represent an overlapping structure. It may be larger than reduced graphene (ie 0.72 nm), or may be formed of multiple layers and consequently 1 to 8 nm.
  • the solvent for carrying out the oxidation of the graphite for producing the graphite oxide is not particularly limited.
  • Preferred media is water, but co-solvents or additives may be used to enhance the wetting of hydrophobic graphite flakes.
  • Solvents and / or activators may be used alone or in combination.
  • Preferred active agents are methanol, ethanol, butanol, propanol, glycols, water soluble ethers and esters, non-ionic ethylene oxide , Surfactants such as propylene oxide and their copolymers, alkyl surfactants such as Tergitol based or Triton based surfactants, or ethylene oxide and propylene oxide Or surfactants with butylene oxide units.
  • Co-solvents and surfactants can be used at levels from 0.0001% to 10% by weight in solution.
  • the amount of cosolvents and surfactants is 0.001, 0.005, 0.01, 0.05, 0.1, 0.5, 1, 1.5, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5, 5, 5.5, 6, 6.5, 7, based on the solution phase All values including 7.5, 8, 8.5, 9 and 9.5 weight percent are included and subvalues there between.
  • Intercalants include, but are not limited to, inorganic acids or salts thereof, alone or in mixtures, preferably HNO 3 , H 2 SO 4 , HCl, HCl, KCl.
  • Polar functional groups on graphene oxide sheets are preferably hydroxyl, epoxy and carboxylic acid groups or derivatives thereof. Such polar functional groups can be functionalized using molecules that are reactive toward polar functional groups. One or more types of functional groups may be included. For example, alkyl amines and dialkyl amines may be used to add hydrophobicity to the surface by reaction to epoxides, so Fin oxide sheet surfaces can be used to crosslink covalently. Acid chlorides can react with hydroxyls to add alkyl groups. The reaction of amines or hydroxyls with carboxylic acids can be used to attach functional groups to add alkyl groups to make the graphene oxide sheet surface more hydrophobic. Graphene oxide sheet surfaces can be made more hydrophobic by adding ethylene oxide, primary and secondary amines, and acid functionalities, for example using the compounds described above.
  • altering the functional groups of the graphene oxide platelets may later grafting functional groups that may further increase the mutual bonding force between the surface of the reduced graphene oxide platelets 12 and the polymer matrix 16. May be).
  • the material used for this grafting may be a polymer having a molecular weight similar to the low molecular weight of the polymer when matrixed or having a reactive function of the polymer when matrixed. They are polyethylene or polypropylene copolymers of vinyl acetate or maleic anhydride to induce compatibility between functional graphene oxide platelets and olefin polymers. Or a mixture thereof.
  • the maximum size of the graphene oxide platelets is determined by the size of the source used to produce them, i.e., the graphite itself, but the average size of the graphene oxide platelets in the graphene oxide solution is during the formation of the graphene oxide solution.
  • the dispersion of the sonicated graphite comprises expanded graphite crystals that can be removed through centrifugation.
  • centrifugation at 500 rpm can remove graphite crystals that did not exfoliate while leaving dispersed graphene oxide platelets.
  • the centrifugation rate may be reduced or increased depending on the size of the graphene oxide platelets to be obtained.
  • Centrifugation using 500 rpm to remove only the expanded graphite crystals includes the first supernatant containing small platelets, sediment from which other sized platelets are re-dispersed, and centrifuged. It may be a second supernatant containing precipitates and graphite crystals.
  • higher centrifugation rates can be selected for re-dispersed precipitates. This removes the crystals and the largest size platelets, leaving only the medium size platelets to be dispersed.
  • Graphene oxide sheets of graphene oxide platelets have electrical and gas / moisture barrier properties that are much worse than the various properties of raw graphene.
  • the electrical properties are one of the biggest differences between graphene oxide and raw graphene.
  • the conductivity of graphene depends on the far conjugated network of the graphene lattice. However, the chemical process in the production of graphene oxide breaks the conjugated structure and confines ⁇ -electrons resulting in much lower carrier mobility and carrier concentration. Even though there are conjugated regions in graphene oxide, the far (> ⁇ m) conductivity is blocked such that carrier movement does not occur as inherently graphene by the absence of a path between sp 2 carbon clusters. For this reason, graphene oxide sheets are typically insulating materials having a sheet resistance of about 10 12 ⁇ / square or more.
  • the method 200 for forming the hybrid-graphene layer 100 may include obtaining a solution in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed through reduction of the graphene oxide platelets (S220). It includes. Reduction of graphene oxide platelets can be performed in a variety of ways. In one embodiment, graphene oxide platelets are chemically reduced in solution with reducing agents such as hydrazine hydrate, dimethylhydrazine, hydroquinone, and NaBH 4 , resulting in conjugated structures and other molecules. Partial lattice defects are partially recovered and oxygen functionalities are removed to convert the graphene oxide sheets into native graphene-like reduced graphene platelets. Recovery of the sp 2 carbon bond network helps to partially restore electrical conductivity and other properties.
  • reducing agents such as hydrazine hydrate, dimethylhydrazine, hydroquinone, and NaBH 4
  • the hybrid-graphene composition comprises a polymer matrix, reduced graphene oxide platelets as filler and metal nanoparticles.
  • the method 200 of forming the hybrid-graphene layer 100 comprises mixing polymer and metal nanoparticles with reduced graphene oxide platelets (rGO colloidal solution) to obtain a hybrid-graphene composition. (S230).
  • the polymer matrix of the hybrid-graphene composition herein may comprise thermoplastic polymers, elastic polymers, and mixtures thereof.
  • Suitable thermoplastic polymers include polyimide, polyvinylpyrrolidone (PVP), polyurethane, methacrylates such as polymethyl methacrylate, epoxy resins
  • Polypropylenes include, but are not limited to, polyolefins, polystyrene, and poly ( ⁇ -caprolactone).
  • elastomeric polymers are acrylonitrile butadiene copolymers, elastomers with a triple block copolymer architecture, poly (styrene-b-butadiene copolymers, BR and Styrene-Butadiene Copolymer (SBR) Vulcanizer, Natural and Synthetic Rubber, Butadiene and Acrylonitrile Copolymer (NBR), Polybutadiene, Polyesteramide, Chloroprene ) Rubbers (CR) and mixtures thereof, including but not limited to, amorphous or crystalline plastics such as PMMA or PE may also be used as polymers, in addition, graphene reduced using monomer precursors of these polymers. It is also possible to synthesize the hybrid-graphene composition 10 by causing a polymerization reaction in the presence of oxide platelets. And / or their precursors may be used alone or in combination.
  • the large aspect ratios of the reduced graphene oxide platelets and the very high surface area interfacing with the polymer matrix enable the production of hybrid-graphene compositions with improved gas / moisture barrier properties as well as mechanical properties.
  • the aspect ratio of the reduced graphene oxide platelets can be from about 10 to about 10000, but preferably greater than about 100, which increases the tensile modulus at load levels as low as 3%.
  • the interfacial properties of the reduced graphene oxide platelets as described above can be controlled by surfactants that enhance the dispersion and interfacial strength in the polymer matrix and these surfactants may be the gas / gas of the hybrid-graphene layer 100. Change the moisture barrier properties.
  • Surfactants include, but are not limited to, anionic surfactants, cationic surfactants, nonionic surfactants, and mixtures thereof.
  • the graphene oxide platelets reduced in the hybrid-graphene composition 10 ( The metal nanoparticles 14 interconnecting 12 should be oxidizable metal nanoparticles 14.
  • the metal nanoparticles 14 of the hybrid-graphene layer 100 are oxidizable by weak acids that do not create defects in the reduced graphene oxide platelets 12 of the hybrid-graphene layer 100.
  • Metal material For example, the metal nanoparticles 14 in the hybrid-graphene layer 100 may be oxidized with a weak acid having a pKa of about 4-11.
  • Acids usable herein are acetic acid, formic acid, carboxylic acid, phenol, carbonic acid, nitroalkane, ethyl acetoacetate , Diethyl malonate, 2,4-pentanedione (2,4-pentanedione) may include, but is not limited thereto.
  • the acids with pKa described above will not cause defects in the reduced graphene oxide platelets 12 of the hybrid-graphene layer 100, but the metal nano interconnects the reduced graphene oxide platelets 12. It is sufficient to oxidize the particles 14 and transform the metal nanoparticles 14 in an optional region of the hybrid-graphene layer 100 into electrically insulating particles.
  • metal nanoparticles 14 usable in the hybrid-graphene composition platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), and combinations thereof may be used. .
  • the metal nanoparticles 14 of the hybrid-graphene composition 10 are not limited to these materials, and the metal nanoparticles 14 may be a conductive and oxidizable metal material.
  • the method 200 of forming the hybrid-graphene layer 100 includes applying a hybrid-graphene composition onto a target surface (S240) to form a hybrid-graphene layer.
  • the hybrid-graphene composition may be applied by a variety of solution based methods including those such as spin coating, spray coating, slot coating, screen printing, dip coating methods and the like.
  • the surface coated with the hybrid-graphene composition 10 may be functionalized to assist in the adhesion of the hybrid-graphene composition 10 on the surface.
  • the hybrid-graphene layer 100 is reduced to the reduced graphene oxide platelets 12, below the density of solids only for the reduced graphene oxide platelets 12. It may be formed at a density of solids or above the density of solids for the reduced graphene oxide platelets 12.
  • the method 200 of forming the hybrid-graphene layer 100 also includes oxidizing the metal nanoparticles 14 in an optional region of the hybrid-graphene layer 100 (S250).
  • the region of the hybrid-graphene layer 100 composed of reduced graphene oxide platelets 12 interconnected through oxidized metal nanoparticles 18 is reduced interconnected through unoxidized metal nanoparticles 14. It has a sheet resistance much larger than that of the graphene oxide platelets 12. Oxidation of the metal nanoparticles 14 can be accomplished in a variety of ways.
  • an oxidation process is performed on the selected region of the hybrid-graphene layer 100 to oxidize the metal nanoparticles 14 in the selected region of the hybrid-graphene layer 100.
  • the resists protective films
  • the resists prevent the metal nanoparticles 14 from being oxidized by acid in the protected area, while the metal nanoparticles 14 in the remaining area of the hybrid-graphene layer 100 are oxidized.
  • the acid treatment process time is based on the type of the metal nanoparticles 14 and the polymer included in the hybrid-graphene layer 100, the density of the solids of the acid and the reduced graphene oxide platelets 12 used in the treatment process.
  • the resist member may be removed when the oxidation of the metal nanoparticles 14 in the region not protected by the resist member is completed.
  • acid may penetrate between the polymer matrix 16 and oxidize all of the metal nanoparticles 14 located at the lower end of the hybrid graphene layer 100, and thus, the hybrid graphene layer 100 may be restricted.
  • the hybrid graphene layer 100 may be restricted.
  • laser oxidation may be performed on selected areas of the hybrid-graphene layer 100 to oxidize the metal nanoparticles 14 in selected areas of the hybrid-graphene layer 100.
  • Each optional region of the hybrid-graphene layer 100 may be individually lasered to oxidize the metal nanoparticles 14 within the region.
  • a pattern of the hybrid-graphene layer 100 coated on the target surface may be exposed to the laser at one time by using a metal mask.
  • the penetration level of the laser for oxidizing the metal nanoparticles 14 in the hybrid-graphene 100 layer through the hybrid-graphene layer 100 is determined by various parameters related to laser processing such as duty cycle, power, wavelength, exposure time, and the like. Can be controlled by adjusting them.
  • the hybrid-graphene layer 100 of the present invention is characterized in that the selective regions of the layers differ in electrical properties from other regions. It is possible to pattern to have. By selectively having different sheet resistance values in the regions in the hybrid-graphene layer 100, it is possible to directly form the electrode patterns directly in the hybrid-graphene layer 100 without forming a separate electrode layer on the gas / moisture barrier layer. It is possible. As such, the hybrid-graphene layer 100 may be used as a true multi-functional layer, that is, a true multi-functional layer that simultaneously serves as a transparent and flexible electrode pattern and serves as a gas / moisture barrier layer.
  • graphene oxide platelets While chemically reducing graphene oxide platelets can partially restore the electrical and gas / moisture barrier properties, chemical reduction methods mostly cause defects in graphene oxide platelets. In addition, graphene oxide platelets reduced by chemical reduction method reduce dispersibility in common organic solvents, causing re-stacking and re-aggregation of the reduced graphene oxide platelets. do.
  • Polar groups of reduced graphene oxide sheets in reduced graphene oxide platelets 12 provide compatibility to the polymer.
  • the reduced graphene oxide platelets 12 due to the bi-planar polar groups are highly compatible with the surrounding polymer matrix 16 and thus with a relatively small amount of reduced graphene oxide platelets 12.
  • reduced graphene oxide platelets 12 with reduced compatibility with the polymer matrix 16 exhibit re-agglomeration and re-lamination phenomena, resulting in higher amounts of reduced graphene to form gas / moisture suppression pathways.
  • fin oxide platelets 12 Not only are fin oxide platelets 12 needed, but also the light transmittance is poor due to re-agglomeration and re-lamination phenomena.
  • Reducing the amount of reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10 to ensure sufficient light transmittance makes it difficult to create a gas / moisture suppression path of sufficient length, thus making the hybrid-graphene layer 100
  • the gas / moisture barrier property of C) deteriorates inevitably.
  • Graphene oxide platelets (12) are also reduced by several filtration, drying and re-dispersion processes during the reduction of graphene oxide platelets using chemical reduction. Their re-agglomeration and re-lamination are one of the great reasons.
  • Surfactant may be added to the hybrid-graphene composition 10 to assist in the dispersion of the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10 water, but once aggregated
  • the reduced graphene oxide graphene platelets 12 are difficult to separate again by using a surfactant.
  • reagglomeration / relamination of the reduced graphene oxide platelets 12 is more likely to permeate the gas / moisture than seeping through the gas / moisture penetration inhibition path generated by the reduced graphene oxide platelets 12.
  • the gas / moisture barrier properties of the hybrid-graphene layer 100 can be reduced by increasing the likelihood of seeping through the polymer matrix 16 directly without a penetration inhibition pathway.
  • graphene oxide platelets are reduced via an aerosol pyrolysis method.
  • 3 shows an exemplary method 300 for preparing hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method according to one embodiment of the invention.
  • the method for preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method is a graphene oxide platelet composed of graphene oxide sheets composed of single or several layers (2 to 10 layers).
  • the precursor solution may be a colloidal solution of graphene oxide platelets prepared in a similar manner as the colloidal solution in which the graphene oxide platelets described with reference to FIG. 2 are dispersed.
  • the precursor solution may be made by mixing a colloidal solution in which the above-described graphene oxide platelets are dispersed and a solution in which the metal nanoparticles are dispersed.
  • ultrasonic grinding may be performed in combination to stir the precursor solution and obtain a homogeneous dispersion.
  • the method of preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method includes transforming the precursor solution into the form of airgel droplets (S320).
  • S320 airgel droplets
  • an ultrasonic nebulizer may be used to deform and spray the precursor solution into a form of aerosol droplets having a diameter of several tens of microns.
  • the method for preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method includes passing the airgel droplets through a furnace to evaporate water molecules and reduce graphene oxide platelets (S330). do.
  • a furnace a tubular furnace may be used.
  • the sprayed airgel droplets can be transferred to the furnace using gas.
  • one or other various reducing gases such as argon gas and nitrogen (N 2 ) gas may be mixed and used. You can also use an additional fan for faster movement.
  • the temperature of the furnace may range from 300 ° C to 2000 ° C.
  • the temperature of the furnace may be a temperature capable of simply reducing the graphene oxide platelets in the aerosol droplets, but the temperature of the furnace may be determined in consideration of various factors in order to facilitate the reduction of the graphene oxide platelets.
  • the temperature of a furnace may vary within the furnace structure of the furnace, the volume and rate of aerosol droplets passing through the furnace in a particular section, and the aerosol droplets determined by these. It can be determined according to the residence time of.
  • the furnace may be heated to a temperature between 300 ° C. and 600 ° C. to sufficiently reduce graphene oxide platelets with a residence time of 0.1 seconds to 10 minutes.
  • composition and composition ratio of the aerosolized precursor solution are also important factors in determining the temperature of the furnace and the appropriate residence time of the aerosol droplets. More specifically, when the aerosolized precursor solution contains metal nanoparticles together, the reducing atmosphere in the furnace reduces graphene oxide platelets but does not oxidize the metal nanoparticles. However, depending on the temperature of the furnace and the residence time of the aerosol droplets, metal nanoparticles can adhere to the surface of the reduced graphene platelets. Metal nanoparticles adhering to the surface of the reduced graphene platelets are more tightly bonded to the surrounding polymer matrix with the reduced graphene platelets in the hybrid-graphene layer and furthermore an electrical network between the reduced graphene platelets.
  • the temperature of the furnace and the residence time of the aerosol droplets are excessive, metal nanoparticles may be formed in a form surrounding the reduced graphene platelets. In this case, the phenomenon of losing the characteristics of the reduced graphene platelets may result. Since the temperature and residence time at which the above-described phenomena occur may vary depending on the type of the metal nanoparticles, in some embodiments in which the metal nanoparticles are included in the aerosol droplets, the temperature and the aerosol of the heating furnace depend on the type of the metal nanoparticles included. The residence time of the droplets can be adjusted. For example, in the case of including one of the metal nanoparticles described above, the temperature of the heating furnace is preferably 900 ° C. or lower.
  • a reducing gas having hydrogen (H 2 ) or other active or volatile characteristics in the furnace may be 50%, respectively.
  • the ratio of H 2 and N 2 in the reducing atmosphere in the entire furnace may be 50:50, respectively.
  • there may be various limitations in using a high ratio of reducing gas having a high volatility such as H 2 Even when a volatile reducing gas such as H 2 is used, the ratio of H 2 in the reducing atmosphere in the heating furnace can be used only 50% or less, more preferably 25% or less.
  • the proportion of nitrogen, argon or such an inert reducing gas in the reducing atmosphere in the furnace may be 50% or more, and more preferably 75% or more.
  • the step of injecting additional reducing gas (S325) is shown as a separate process, but the inert gas in the step (S330) of reducing the graphene oxide platelets by passing the airgel droplets through a furnace (furnace). It can also be injected into the furnace with the.
  • the graphene in another embodiment of preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method, unlike the method described in FIG. 3, the graphene may be formed using only an inert gas and heat without using additional reducing gas. The platelets may be reduced to prepare the hybrid-graphene composition 10.
  • van der Waals binding force is reduced by collecting the reduced graphene oxide platelet using a common filtration membrane such as a Teflon filtration membrane and dispersing it into a solution for the solution process.
  • the process may cause reaggregation / relamination of the reduced graphene oxide platelets, resulting in a phenomenon that the reduced graphene oxide platelets are not uniformly dispersed in the hybrid-graphene composition.
  • the dispersion of the reduced graphene oxide platelets in the hybrid-graphene composition is not uniform, this results in a reduction of the gas / moisture barrier and electrical properties of the hybrid-graphene layer.
  • embodiments of the method for preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method described herein reduce the graphene oxide reduced steam through the heating furnace in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed. And passing directly through an aqueous solution (eg, an organic solvent) mixed with a surfactant that is easy to inhibit re-agglomeration between the platelets and collecting it directly in the solution (S340).
  • an aqueous solution eg, an organic solvent
  • a surfactant that is easy to inhibit re-agglomeration between the platelets and collecting it directly in the solution (S340).
  • a reduced graphene oxide platelet solution can be obtained that can be applied directly to the desired surface through various process processes without causing the processes to be caused, and the frequency of reaggregation / relamination is much lower.
  • the aqueous solution may be DI mixed with 1% to 5% surfactant with the ability to inhibit aggregation of reduced graphene oxide platelets, and the temperature of the aqueous solution may be between 20 ° C and 100 ° C. have.
  • Hybrid-graphene composition (10) manufacturing method using the aerosol pyrolysis method is a method for producing a hybrid-graphene composition by mixing a reduced graphene oxide platelet solution, a metal nanoparticle, and a polymer obtained by the method described above ( S350).
  • the step S350 of mixing the metal nanoparticles and the polymer in an aqueous solution containing the reduced graphene oxide platelets to generate the hybrid-graphene composition 10 (S350) is described above. It was described as a separate step from the step (S340) of directly collecting the vapor in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed into an aqueous solution containing a surfactant.
  • the step of producing a hybrid-graphene composition by mixing the reduced graphene oxide platelet solution, the metal nanoparticles, and the polymer (S350) may be made in various ways.
  • the metal nanoparticles are dispersed in the precursor solution, passed through the furnaces in the form of aerosol droplets, and then dispersed in steam together with the reduced graphene oxide platelets using the solution. It is also possible to obtain a reduced graphene oxide platelet solution that already contains metal nanoparticles by collecting. In addition, even if a precursor solution in which the metal nanoparticles are not dispersed is used, the vapor in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed may be collected using a solution in which the metal nanoparticles are dispersed.
  • the vapor in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed may be collected using a solution containing metal nanoparticles and a liquid polymer.
  • the polymer may include a polymer that serves as a stabilizer capable of suppressing the aggregation of the reduced graphene oxide platelets and the metal nanoparticles with each other.
  • the metal nanoparticles are dispersed and a solution in which the polymer is dissolved, and then mix the reduced graphene oxide platelet solution with the hybrid graphene composition.
  • the polymer added to the hybrid-graphene composition may be separately prepared in solution and then mixed with the reduced graphene oxide platelet solution to produce the hybrid-graphene composition.
  • the type and ratio of the surfactant included in the aqueous solution used for trapping the vapor may be Reduced by addition of metal nanoparticles in consideration of various factors such as the weight ratio of the metal nanoparticles, the ratio of the reduced graphene platelet as well as the type of polymer to be added to the hybrid-graphene composition and the temperature of the aqueous solution. It may also be adjusted to inhibit re-agglomeration of graphene oxide platelets.
  • 4A is a plan view illustrating an exemplary touch screen panel using a hybrid-graphene layer in accordance with one embodiment of the present invention.
  • 4B is a cross-sectional view along IVb-IVb ′ of FIG. 4A.
  • 4A and 4B illustrate a touch screen panel 400 as an electronic device of the present invention.
  • the hybrid-graphene layer 410, the first touch detector 420, the second touch detector 430, and the insulating layer 440 are formed of a substrate ( On the 450).
  • the insulating layer 450 is not illustrated, and hatching of the hybrid graphene layer 410 is illustrated.
  • Hybrid-graphene layer 410 is formed on the substrate 450.
  • Hybrid-graphene layer 410 has a first region 412 and a second region 414.
  • the second region 414 of the hybrid graphene layer 410 has a higher sheet resistance value than the first region 412 of the hybrid graphene layer 410.
  • the hybrid-graphene layer 410 may implement the touch screen panel 400 by using the difference between the sheet resistance values of the first region 412 and the second region 414.
  • the difference in the sheet resistance values between the first region 412 and the second region 414 is sufficiently different so that the first region 412 and the second region 414 can be distinguished by the device, respectively.
  • the hybrid-graphene composition constituting the first region 412 and the second region 414 of the hybrid-graphene layer 410 may include the first region (1) of the hybrid-graphene layer 100 described with reference to FIGS. 1A and 1B. 110 and the second region 120 are the same as the hybrid-graphene composition 10, respectively.
  • An insulating layer 440 is formed on the hybrid graphene layer 410.
  • the insulating layer 440 has an opening that opens a portion of each first region 412 of the hybrid-graphene layer 410.
  • the insulating layer 440 is configured to insulate the first region 412 of the hybrid-graphene layer 410 from the first touch sensing unit 420.
  • the insulating layer 440 is formed of an insulating material and may be formed of a flexible transparent insulating material. Can be.
  • the first touch sensing unit 420 is formed on the insulating layer 440.
  • the first touch sensing unit 420 is formed of a conductive material.
  • the first touch sensing unit 420 may be formed of a transparent conductive material such as ITO, or may be formed of a metal material having a mesh structure.
  • the first touch sensing unit 420 has a plurality of sensing electrodes, and the plurality of sensing electrodes of the first touch sensing unit 420 are formed to be connected to each other in a first direction.
  • the plurality of sensing electrodes of the first touch sensing unit 420 are formed to be connected to each other in a vertical direction on a plane, and the first touch sensing unit 420 also extends in the vertical direction. .
  • the second touch sensing unit 430 is formed on the hybrid graphene layer 410 and the insulating layer 440.
  • the second touch sensing unit 430 may be formed of a conductive material, and may be formed of the same material as the first touch sensing unit 420.
  • the second touch sensing unit 430 has a plurality of sensing electrodes, and the plurality of sensing electrodes of the second touch sensing unit 430 are formed to be separated from each other in a second direction. Although the plurality of sensing electrodes of the second touch sensing unit 430 are formed to be separated from each other, as illustrated in FIG. 4B, sensing electrodes of the second touch sensing unit 430 adjacent to each other may be openings of the insulating layer 440.
  • the touch screen panel 400 detects a touch input from a user by using the first touch detector 420 and the second touch detector 430.
  • one of the first touch sensing unit 420 and the second touch sensing unit 430 may be a first direction sensing electrode pattern, and the other may be a second direction sensing electrode pattern.
  • the first direction sensing electrode pattern is a sensing electrode pattern for sensing a first direction (eg, Y-axis direction) coordinates of the user's touch input
  • the second direction sensing electrode pattern is a second for the user's touch input.
  • the touch screen panel 400 detects the first direction coordinates and the second direction sensing electrode pattern detected by the first direction sensing electrode pattern.
  • the touched position of the user may be sensed by combining the second direction coordinates.
  • the first touch detector 420 and the second touch detector 430 are described as including a sensing electrode, the first touch detector 420 and the second touch detector 430 are described.
  • One may be a sensing electrode pattern for sensing a change in capacitance, and the other may be a driving electrode pattern for supplying a sensing signal for detecting a touch position.
  • the touch screen panel 400 may detect the touch position of the user based on the sensing signal supplied by the driving electrode pattern and the amount of change in capacitance sensed in the sensing electrode pattern.
  • first touch detector 420 and the second touch detector 430 are separated from each other and formed of a conductive material, the first touch detector 420 and the second touch detector are illustrated. 430 may also be formed using a hybrid-graphene layer.
  • the regions corresponding to the first touch detector 420 and the second touch detector 430 as shown in FIGS. 4A and 4B are conductive regions, and the first touch detector 420 and the first touch detector 420 are formed.
  • the space between the two touch sensing units 430 may be a non-conductive region in which a hybrid-graphene layer, which is a non-conductive region, may be formed on the insulating layer 460 having an opening.
  • the hybrid graphene layer 410 is used as a sensing electrode for sensing a user's touch input.
  • a process such as vacuum deposition for forming a conventional conductive material may not be performed, thereby processing costs. This has the effect of being reduced.
  • the hybrid graphene layer 410 used as the sensing electrode in the touch screen panel 400 may function as an excellent gas / moisture barrier layer as described above.
  • the touch screen panel 400 performs not only a user's touch input sensing function but also a barrier function, so that a separate barrier film is not required to prevent the penetration of gas or moisture, thereby simplifying the manufacturing process and the final product. There is an effect of reducing the thickness of.
  • the flexible electronic device may be implemented by replacing the ITO material of the touch screen panel 400 with the hybrid graphene layer 400.
  • 5 is a cross-sectional view illustrating an exemplary thin film transistor using a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention.
  • 5 shows a thin film transistor 500 as an electronic device of the present invention.
  • the thin film transistor 500 includes a gate electrode 530, an active layer 520, and a hybrid graphene layer 510.
  • the thin film transistor 500 is a thin film transistor having an inverted staggered structure.
  • the gate electrode 530 is formed on the substrate 590.
  • the gate electrode 530 is formed of a conductive material, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and neodymium (Nd). And copper (Cu), or an alloy thereof.
  • a gate insulating layer 591 is formed on the gate electrode 530 to insulate the gate electrode 530 from the active layer 520.
  • the gate insulating layer 591 may be formed of a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof.
  • the active layer 530 is formed on the gate insulating layer 591 so as to overlap the gate electrode 520.
  • the active layer 530 is a layer in which a channel is formed when the thin film transistor 500 is driven and may be formed of an oxide semiconductor.
  • the hybrid graphene layer 510 is formed on the gate insulating layer 591 in which the active layer 530 is formed.
  • Hybrid-graphene layer 510 has a first region 540, 550 and a second region 560.
  • the second region 560 of the hybrid graphene layer 510 has a higher sheet resistance value than the first regions 540 and 550 of the hybrid graphene layer 510.
  • the first regions 540 and 550 of the hybrid-graphene layer 510 are used as electrodes, and the second regions 560 and 560 are used as insulating portions. The difference in electrical characteristics between them is large enough.
  • the hybrid-graphene composition constituting the first region 540, 550 and the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 is the first of the hybrid-graphene layer 100 described in FIGS. 1A and 1B. It is the same as the hybrid-graphene composition 10 constituting the region 110 and the second region 120, respectively.
  • the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 In order for the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 to have a higher sheet resistance value than the first regions 540 and 550, the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 as described above. Acid treatment methods can be used for the present invention.
  • the acid treatment of the second region 560 of the hybrid graphene layer 510 may be performed after the hybrid graphene layer 510 is coated on the active layer 520 and the gate insulating layer 591. After the acid treatment is first performed, the hybrid graphene layer 510 may be coated.
  • the metal nanoparticles, which are surfaced and embedded in the second region 560 may be oxidized with respect to the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 using a laser treatment method.
  • Each of the first regions 540 and 550 of the hybrid graphene layer 510 is in contact with the active layer 520, and the second region 560 of the hybrid graphene layer 500 is the first region 540 and the first region. Insulate region 560.
  • One of the first regions 540 and 560 of the hybrid-graphene layer 510 serves as a source electrode of the thin film transistor 500, and the other serves as a drain electrode of the thin film transistor 500.
  • a crystallization process through high temperature heat treatment of 200 ° C. or more is required to improve oxide characteristics.
  • the source layer and the drain electrode, which are generally formed of metal, and the active layer formed of the oxide semiconductor may be oxidized, thereby causing difficulty in high temperature heat treatment.
  • the hybrid-graphene layer 510 is used instead of the metal electrode as the source electrode and the drain electrode. Electrode oxidation may be prevented, and thus stable electrical characteristics of the thin film transistor 500 may be secured, and stable ohmic contact between the active layer 520 and the source electrode and the drain electrode may also be secured.
  • a deposition method such as sputtering a metal material used as the source electrode and the drain electrode is used.
  • the active layer may be damaged. Therefore, in order to prevent damage to the active layer, a method of forming a source electrode and a drain electrode after forming an etch stopper on the active layer is generally used.
  • a hybrid-graphene layer 510 coated using a solution process is used instead of using a metal electrode as a source electrode and a drain electrode formed through deposition. Therefore, it is not necessary to form an etch stopper, thereby reducing manufacturing cost and manufacturing process time.
  • a passivation layer formed on the thin film transistor is generally used to protect each of the electrodes and the active layer of the thin film transistor from gas and moisture from the outside.
  • the hybrid-graphene layer 510 used as the source electrode and the drain electrode has the excellent gas / moisture barrier characteristics as described above, the hybrid-graphene layer 510 may perform a function such as a passivation layer. Therefore, since a separate passivation layer does not need to be formed, it is possible to reduce additional costs required for forming the passivation layer.
  • the source electrode and the drain electrode are illustrated as being formed of the hybrid graphene layer 510, but the gate electrode may also be formed of the hybrid graphene layer.
  • the thin film transistor 500 is shown as an inverted staggered thin film transistor in FIG. 5, the hybrid-graphene layer 510 may be used in forming a coplanar thin film transistor.
  • the active layer 520 may be formed of a material such as amorphous silicon, polycrystalline silicon, and the like instead of an oxide semiconductor.
  • the device using the hybrid-graphene layer according to the embodiment of the present invention replaces the conventional semiconductor process of fabricating an electric device by doping silicon impurities at a high temperature through a diffusion process.
  • a graphene electric device can be embedded in a hybrid-graphene layer without a high temperature process, it can be applied to various fields such as a transparent and flexible display field.
  • the manufacturing method of such a transparent polymer structure is also applicable to the field of polymer MEMS.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an exemplary organic light emitting display device using a hybrid-graphene layer according to an embodiment of the present invention.
  • 6 illustrates an organic light emitting display 600 as an electronic device of the present invention.
  • the organic light emitting diode display 600 includes an organic light emitting diode 650 including an anode 651, an organic emission layer 652, and a cathode 653, an auxiliary electrode 640, and a partition 660. Include.
  • the organic light emitting diode 650, the auxiliary electrode 640, and the partition wall 660 formed on the planarization layer 611 are illustrated for convenience of description, and the thin film transistor required for driving the organic light emitting diode display 600 is illustrated. The illustration is omitted.
  • the organic light emitting diode display 600 is a top emission organic light emitting diode display.
  • the anode 651 formed on the planarization layer 611 is formed on the reflective layer 655 and the reflective layer 655, which are conductive layers having excellent reflectance, and has a work function for supplying holes to the organic light emitting layer 652.
  • Transparent conductive layer 654 made of a highly conductive material.
  • An organic emission layer 652 is formed on the anode 651.
  • the cathode 653 formed on the organic light emitting layer 652 is formed on the metal layer 656 and the metal layer 656 made of a conductive material having a low work function to supply electrons to the organic light emitting layer 652.
  • Hybrid-graphene layer 610 The hybrid-graphene composition constituting the hybrid-graphene layer 610 includes the hybrid-graphene composition 10 constituting the first region 110 of the hybrid-graphene layer 100 described in FIGS. 1A and 1B, That is, hybrid-graphene composition 10 comprising unoxidized metal nanoparticles 14.
  • hybrid-graphene composition 10 comprising unoxidized metal nanoparticles 14.
  • two organic light emitting diodes 650 are shown in FIG. 6, for convenience of description, reference numerals are given only to the organic light emitting diodes 650 positioned on the right side of FIG. 6.
  • the auxiliary electrode 640 is formed between the two organic light emitting diodes 650 on the planarization layer 611.
  • the auxiliary electrode 640 is an electrode for compensating for a voltage drop that may occur in the top emission type organic light emitting diode display and is formed of the same material as the anode 651.
  • the auxiliary electrode 640 is formed of the transparent conductive layer 641 and the reflective layer 642.
  • the bank 620 is formed on the planarization layer 611. As illustrated in FIG. 6, the bank 620 is formed to cover one side of the auxiliary electrode 640 and one side of the anode 651 of the organic light emitting element 650.
  • the partition wall 660 is formed on the auxiliary electrode 640.
  • the partition wall 660 is formed in an inverse taper shape, and the organic light emitting layer 651 of the organic light emitting element 650 shown on the right side and the organic light emitting layer of the organic light emitting element shown on the left side of the partition wall 660 ( 652).
  • a method of depositing an organic light emitting material on the entire surface of the planarization layer 611 is used to form the organic light emitting layer 652. Since the organic light emitting material has poor step coverage, the organic light emitting device 650 may be formed.
  • the organic light emitting layer 652 is disconnected by the inverse tapered partition wall 660, and the organic light emitting layer 662 is formed on the partition wall 660.
  • the metal layer 656 of the cathode 653 may also be formed by the inverse tapered partition wall 660. Disconnected.
  • the cathode 653 includes a hybrid graphene layer 610, and the hybrid graphene layer 610 is formed by a solution process.
  • Step coverage of the hybrid-graphene layer 610 may be determined according to the viscosity of the hybrid-graphene composition forming the hybrid-graphene layer 610. Therefore, in order to achieve the desired coverage of the hybrid-graphene layer 610, the viscosity may be controlled by adjusting the composition ratio of the polymer, metal nanoparticles, and reduced graphene platelets added at the time of preparing the hybrid-graphene composition. It is also possible to further add a binder to obtain viscosity. Thus, as shown in FIG.
  • the hybrid-graphene layer 610 is not disconnected by the partition wall 660, but the auxiliary electrode 640 exposed between the partition wall 660 and the bank 620 under the partition wall 660. ) And provide an electrical connection between the metal layer 656 of the cathode 650 and the auxiliary electrode 640.
  • a separate encapsulation unit such as a thin film encapsulation (TFE) may be used in the organic light emitting display device 600, but additional equipment is required to additionally form such an encapsulation unit, resulting in additional equipment cost and increased manufacturing time. Since there is a problem in using a separate encapsulation. In addition, currently used encapsulation such as TFE, glass encapsulation, metal encapsulation does not have enough flexibility required for the flexible device.
  • TFE thin film encapsulation
  • the hybrid-graphene layer 610 included in the cathode 653 has the excellent gas / moisture barrier characteristics as described above, the hybrid-graphene layer ( 610 may perform the same function as the encapsulation. Therefore, there is no advantage in terms of manufacturing process, since the separate sealing portion does not have to be formed.
  • the cathode 653 has been described as including a metal layer 656 and a hybrid-graphene layer 600. However, the cathode 653 includes only the metal layer 656 that provides electrons to the organic emission layer 652. Hybrid-graphene layer 600 may be defined as not being included in cathode 653.
  • the hybrid-graphene layer functions as a barrier layer of the electronic device, and the first region of the hybrid-graphene layer functions as an electrode of the electronic device.
  • the difference in sheet resistance between the first region and the second region is characterized in that at least 100 ⁇ / square or more.
  • the first region of the hybrid-graphene layer has a sheet resistance value of 1 k ⁇ / square or more
  • the second region of the hybrid-graphene layer has a sheet resistance value of 10 k ⁇ / square or more It is done.
  • the plurality of metal nanoparticles interconnecting the plurality of reduced graphene platelets does not create a defect in the plurality of reduced graphene platelets of the hybrid-graphene layer. It is characterized in that the oxidizable metal material.
  • the electronic device is a touch screen panel, characterized in that the first region of the hybrid-graphene layer is composed of a touch sensing electrode of the touch screen panel.
  • the electronic device is a touch screen panel, characterized in that the first region of the hybrid-graphene layer provides electrical connection between the touch sensing electrodes of the touch screen panel.
  • the electronic device is a thin film transistor, and wherein the first region of the hybrid-graphene layer functions as at least one of a source electrode, a drain electrode and a gate electrode of the thin film transistor.
  • the electronic device is an organic light emitting display device including an organic light emitting device, wherein the first region of the hybrid-graphene layer is in direct contact with at least one of the anode and the cathode of the organic light emitting device.
  • the electronic device is an organic light emitting display device including an organic light emitting element
  • the first region of the hybrid-graphene layer is characterized in that it functions as at least one of an anode and a cathode of the organic light emitting element.
  • the plurality of metal nanoparticles is characterized in that one of platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au) and combinations thereof.
  • the hybrid-graphene layer is characterized in that formed in a thickness of about 10nm to 100 ⁇ m.
  • the step of oxidizing the three-dimensional particle shaped filler located in the second region of the hybrid-graphene layer is to expose the second region to an acid having a pKa in the range of about 4-11. By oxidizing the three-dimensional particle shape filler located in the second region.
  • the step of oxidizing the three-dimensional particle shape filler located in the second region of the hybrid-graphene layer, the three-dimensional particle shape located in the second region by irradiating the laser to the second region is characterized by oxidizing the filler.

Landscapes

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Abstract

The present specification relates to an organic light-emitting display device and, more specifically, to an organic light-emitting display device which is transparent and flexible and which comprises: an electrode; and a multi-functional layer having a function of a gas/moisture barrier layer, and a method for manufacturing the organic light-emitting display device. The organic light-emitting display device comprises a substrate; an organic light-emitting element formed on the substrate; a hybrid-graphene layer, electrically connected with the organic light-emitting element, for suppressing penetration of gas/moisture of the organic light-emitting element. The hybrid-graphene layer comprises: a carbon-based first filler having a two-dimensional plane shape; and a metal-based second filler having a three-dimensional shape, wherein the second filler of a first region of the hybrid-graphene layer is not oxidized, and the second filler of a second region of the hybrid-graphene layer is oxidized.

Description

멀티-기능 배리어층을 갖는 플렉서블 전자 디바이스Flexible electronic device with a multi-function barrier layer
본 발명은 멀티-기능(multi-functional) 배리어층을 갖는 전자 디바이스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자 디바이스들의 전극으로도 기능하는 배리어층을 포함하는 전자 디바이스에 관한 것이다.The present invention relates to an electronic device having a multi-functional barrier layer, and more particularly to an electronic device comprising a barrier layer that also functions as an electrode of the electronic devices.
현재, 가장 인기있는 연구 주제 중 하나는 투명 및 플렉서블 전자 디바이스들의 제조이다. 그러나, 투명 및 플렉서블 전자 디바이스들을 구현하기 위해서는 아직 많은 과제들이 존재한다. 첫 번째로, 현재 투명 전극으로 가장 널리 사용되는 물질인 인듐 주석 옥사이드(ITO)로는 플렉서블 전자 디바이스의 반복적인 벤딩(bending)으로 인한 기계적인 스트레스를 견딜 수 있는 투명 전극을 구현하는 것에 있어 많은 제약이 있다. 일반적으로 ITO와 같은 투명 도전성 옥사이드들은 전자 디바이스가 요구하는 낮은 저항값을 보장하기 위해 소정의 두께 이상으로 형성되어야 한다. 이와 같은 경우, 비록 투명 전극으로서 충분한 투명도를 제공할 수는 있지만 투명 도전성 옥사이드의 취성(brittle)과 형성된 전극의 두께에 의해 휘어짐이 발생할 시에는 투명 전극이 더 깨지기 쉬워지는 단점이 있다. 구부려짐에 따라 상대적으로 크게 증가되는 전기적 저항값 또한 투명 도전성 옥사이드로 형성된 투명 전극을 플렉서블 전자 디바이스에 적용하기 힘들게 하는 요소 중 하나이다. 이 외에도, 계속해서 인상되는 인듐의 가격, 추가되는 투명 전극을 형성하기까지의 추가 공정단계 및 시간으로 인해 기존 투명 전극들을 채용하는 전자 디바이스들의 총 제조 비용이 증가하게 된다. 따라서, 투명 및 플렉서블 전자 디바이스들이 요구하는 광학, 전기적 그리고 기계적 요구치를 만족하는 투명전극을 만들 수 있는 새로운 물질이 필요하다.Currently, one of the most popular research topics is the manufacture of transparent and flexible electronic devices. However, there are still many challenges for implementing transparent and flexible electronic devices. First, indium tin oxide (ITO), the most widely used material for current transparent electrodes, has many limitations in implementing transparent electrodes that can withstand mechanical stress caused by repeated bending of flexible electronic devices. have. In general, transparent conductive oxides, such as ITO, should be formed to a predetermined thickness or more to ensure the low resistance value required by electronic devices. In such a case, although it is possible to provide sufficient transparency as the transparent electrode, when the bending occurs due to the brittleness of the transparent conductive oxide and the thickness of the formed electrode, the transparent electrode is more easily broken. The electrical resistance value, which is greatly increased as it is bent, is also one of the factors that makes it difficult to apply a transparent electrode formed of a transparent conductive oxide to a flexible electronic device. In addition, the ever-increasing price of indium, the additional processing steps and time to form additional transparent electrodes increases the total manufacturing cost of electronic devices employing existing transparent electrodes. Thus, there is a need for new materials that can produce transparent electrodes that meet the optical, electrical, and mechanical requirements of transparent and flexible electronic devices.
두 번째로, 플렉서블 전자 디바이스들에서 디바이스 내부로의 기체(예를 들어, 산소) 및 수분의 침투를 방지하기에 많은 어려움이 있다. 한 예로, 플렉서블 디스플레이에 사용되는 유기 발광 다이오드(OLED)의 유기 발광층은 산소 또는 수분 입자들과 접촉하는 순간 바로 발광기능을 상실할 정도로 수분 및 산소에 취약하기 때문에 유기 발광층을 보호하기 위한 봉지부(Encapsulation)를 필요로 한다. 보편적으로 유리 또는 금속으로 형성된 봉지부를 사용하여 산소/수분 입자의 침투를 막는 보호막을 사용하여 왔지만, 이와 같은 봉지부는 대부분 충분한 연성을 제공하지 않기 때문에, 플렉서블 전자 디바이스들이 구부려지거나 스트레칭되는 경우 보호막이 깨어지거나, 갈라지거나(crack), 핀홀(pin-hole)의 생성과 같은 여러 가지 결함들이 생길 수 있다. 반면에, 유기물 기판 및 플라스틱 기판으로 형성된 봉지부는 플렉서블 전자 디바이스이 요구하는 충분한 연성을 제공하지만 유리/금속으로 형성된 봉지부에 비해 상대적으로 현저히 낮은 투습방지 성능을 가지고 있기 때문에 보호가 필요한 부분의 모든 면을 둘러서 다수의 층으로 형성하거나 혹은 높은 두께를 가지는 소수의 층으로 형성해야 한다. 다시 말해서 충분한 기체/수분 입자 투습 방지율을 얻기 위한 봉지막의 두께 증가 또는 더 추가되는 층의 개수는 결국 전자 디바이스 자체의 두께 증가 및 투명도 감소로 이어질 수 있다.Second, there are many difficulties in preventing penetration of gas (eg, oxygen) and moisture into the device in flexible electronic devices. For example, the organic light emitting layer of the organic light emitting diode (OLED) used in the flexible display is susceptible to moisture and oxygen enough to lose its light emitting function upon contact with oxygen or moisture particles. Encapsulation is required. Although protective films are commonly used to prevent the penetration of oxygen / moisture particles using encapsulations made of glass or metal, most of these encapsulations do not provide sufficient ductility, so the protective film awakens when the flexible electronic devices are bent or stretched. Various defects can occur, such as cracking, cracking, or the creation of pin-holes. Encapsulations formed from organic substrates and plastic substrates, on the other hand, provide sufficient ductility required by flexible electronic devices, but have relatively low moisture permeability compared to encapsulations formed from glass / metal, so that all sides of a portion that require protection are protected. It should be surrounded by multiple layers or by a few layers with a high thickness. In other words, increasing the thickness of the encapsulation film or the number of additional layers to obtain sufficient gas / moisture particle moisture permeation prevention rate may eventually lead to an increase in thickness and transparency of the electronic device itself.
[관련기술문헌][Related Technical Documents]
1. 그래핀막의 제조방법, 이를 이용한 터치소자의 제조방법 (특허출원번호 제 10- 2011-0120656 호)1. Manufacturing method of graphene film, manufacturing method of touch device using the same (Patent Application No. 10-2011-0120656)
더 얇고 가벼운 전자 디바이스를 구현하기 위한 많은 연구가 진행되고 있지만 기존의 구성물을 사용해서 지속적인 전자 디바이스의 소형화를 이루는 것에는 머지않아 근본적인 한계에 도달할 것이다. 본 발명의 발명자들은 투명 및 플렉서블 전자 디바이스에서 필요로 하는 어떤 특정 성능을 개선하기 위해 기존의 구성요소들의 크기 또는 개수를 단순히 증가시키는 것은 곧 다른 특정 성능의 저하로 이어질 뿐만 아니라, 전자 디바이스 소형화를 더욱 힘들게 한다는 것을 인지하였다. Although much research is being done to realize thinner and lighter electronic devices, the fundamental limitations of the continuous miniaturization of electronic devices using existing components will soon be reached. The inventors of the present invention simply increase the size or number of existing components to improve certain specific performances required by transparent and flexible electronic devices, which not only leads to other specific performance degradation, but also further reduces electronic device miniaturization. I realized it was hard.
또한, 하나의 구성물이 투습 방지 배리어 성능 뿐만 아니라 필요에 따라서는 전극 성능도 구현 가능한 멀티-기능 배리어층이 있다면, 미래의 투명 및 플렉서블 전자 디바이스들의 구현에 필요로 하는 기능들을 충족하며 불필요한 구성요소의 제거 및 사이즈 감소로 인하여 전자 디바이스들의 소형화 한계까지도 해결할 수 있다는 것을 인지하였다. 이와 같은 이상적인 멀티-기능 배리어층이 실질적으로 상용화되려면 기존의 다른 방법이나 물질보다 상대적으로 유리한 생산 가격 및 공정 시간까지도 고려되어야 한다. 특히, 투명 플렉서블 디스플레이 디바이스에 적용되려면 높은 기계적 강도, 광학적 투명도, 전기적 특성, 열전도 특성 및 투습 방지 특성뿐만 아니라 해당 디바이스의 다른 구성물질과의 화학적 안정성까지도 제공하여야 한다.In addition, if one component has a multi-function barrier layer that can implement not only moisture barrier protection performance but also electrode performance as needed, it can meet the functions required for the implementation of future transparent and flexible electronic devices, It has been recognized that elimination and size reduction can solve the limit of miniaturization of electronic devices. In order for such an ideal multi-functional barrier layer to be practically commercialized, even relatively favorable production costs and processing times must be considered over other conventional methods or materials. In particular, in order to be applied to a transparent flexible display device, it is required to provide high mechanical strength, optical transparency, electrical properties, heat conduction properties, and moisture permeation prevention properties, as well as chemical stability with other components of the device.
따라서, 상술한 투명 및 플렉서블 전자 디바이스들을 구현함에 있어서 존재하는 문제점들을 극복할 수 있는 새로운 물질과 그 물질을 생성하는 방법을 개발하는 것에 대한 당업계의 요구가 존재한다. 더 상세하게는, 특정 성능 저하와 불필요한 두께 증가 없이 투명 플렉서블 전자 디바이스들이 필요로 하는 기체/수분 배리어층뿐만 아니라 필요에 따라서 투명 플렉서블 전극으로서의 기능까지도 제공 가능한 새로운 물질과 그 물질을 생성하는 방법 및 적용하는 방법을 개발하는 것에 대한 당업계의 요구가 존재한다.Accordingly, there is a need in the art for developing new materials and methods for producing the materials that can overcome the problems present in implementing the above-mentioned transparent and flexible electronic devices. More specifically, new materials capable of providing not only the gas / moisture barrier layer required by the transparent flexible electronic devices but also functioning as the transparent flexible electrode as needed without specific performance degradation and unnecessary thickness increase, and methods and applications for producing the material. There is a need in the art for developing methods.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
따라서, 본 명세서에서는 환원된 그래핀 플레이트렛들(reduced graphene platelets), 금속 나노 파티클들 및 폴리머로 구성된 신규한 조성물을 제공한다. 본 명세서에서는 이러한 신규 조성물의 제조방법 및 그 조성물을 독특한 특성을 이용하는 신규한 디바이스들을 더 제공한다.Accordingly, the present specification provides a novel composition consisting of reduced graphene platelets, metal nanoparticles and a polymer. The present disclosure further provides novel methods of making such novel compositions and novel devices utilizing the unique properties of the compositions.
본 발명의 일 실시에에 따른 전자 디바이스가 제공된다. 전자 디바이스는 제1 영역 및 제1 영역의 면저항과 상이한 면저항을 갖는 제2 영역을 포함하는 하이브리드-그래핀(hybrid-graphene)층을 포함하고, 제1 영역은, 복수의 산화되지 않은 금속 나노 파티클들을 통해 상호 연결된 복수의 그래핀 플레이트렛(platelet)들을 포함하고, 제2 영역은, 복수의 산화된 금속 나노 파티클들을 통해 상호 연결된 복수의 그래핀 플레이트렛들을 포함한다.According to one embodiment of the present invention, an electronic device is provided. The electronic device comprises a hybrid-graphene layer comprising a first region and a second region having a sheet resistance different from the sheet resistance of the first region, the first region comprising a plurality of non-oxidized metal nanoparticles. And a plurality of graphene platelets interconnected through the second region, and the second region includes a plurality of graphene platelets interconnected through the plurality of oxidized metal nanoparticles.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 디바이스가 제공된다. 전자 디바이스는 기판 또는 폴리머 매트릭스 및 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들과 복수의 금속 나노 파티클로 구성된 필러를 포함하는 하이브리드-그래핀층을 포함한다. 필러는 폴리머 매트릭스 내에 분산되어 있거나 또는 기판 상에 형성되어 있고, 최소 복수의 금속 나노 파티클중 일부는 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛 중 최소 일부 환원된 그래핀 플레이트렛의 표면에 접하는 것을 특징으로 한다.An electronic device according to an embodiment of the present invention is provided. The electronic device includes a hybrid-graphene layer comprising a substrate or polymer matrix and a filler consisting of a plurality of reduced graphene platelets and a plurality of metal nanoparticles. The filler is dispersed in a polymer matrix or formed on a substrate, wherein at least some of the at least a plurality of metal nanoparticles are in contact with the surface of at least some of the reduced graphene platelets of the plurality of reduced graphene platelets. .
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 디스플레이 디바이스가 제공된다. 유기 발광 디스플레이 디바이스는 기판, 기판 상에 형성된 유기 발광 소자 및 유기 발광 소자와 전기적으로 연결되고 유기 발광 소자의 기체/수분의 침투를 억제하는 하이브리드-그래핀층을 포함한다. 하이브리드-그래핀층 2차원적 평면 형상을 가진 탄소 기반의 제1 필러와 3차원적 형상을 가지는 금속 기반의 제2필러를 포함하고, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역의 제2 필러는 산화되지 않고 하이브리드-그래핀층의 제2 영역의 제2 필러는 산화된 것을 특징으로 한다.An organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention is provided. The organic light emitting display device includes a substrate, an organic light emitting element formed on the substrate, and a hybrid-graphene layer electrically connected to the organic light emitting element and suppressing penetration of gas / moisture of the organic light emitting element. Hybrid-graphene layer comprising a carbon-based first filler having a two-dimensional planar shape and a metal-based second filler having a three-dimensional shape, wherein the second filler of the first region of the hybrid-graphene layer is not oxidized The second filler in the second region of the hybrid graphene layer is oxidized.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 디바이스 제조 방법이 제공된다. 전자 디바이스 제조 방법은 2차원적 평면 형상을 가지는 탄소 기반의 필러 및 3차원적 파티클 형상의 금속 기반 필러가 폴리머 매트릭스 안에 분산되어 상호 연결된 하이브리드-그래핀층을 타겟 표면 상에 형성하는 단계, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역을 보호하고, 하이브리드-그래핀층의 제2 영역을 노출시키는 보호막(resist)을 형성하는 단계, 하이브리드-그래핀층의 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계 및 보호막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.An electronic device manufacturing method according to an embodiment of the present invention is provided. An electronic device manufacturing method includes a step of forming a interconnected hybrid-graphene layer on a target surface by dispersing a carbon-based filler having a two-dimensional planar shape and a metal-based filler having a three-dimensional particle shape in a polymer matrix. Protecting a first region of the fin layer, forming a resist that exposes a second region of the hybrid-graphene layer, and oxidizing a three-dimensional particle shaped filler located in the second region of the hybrid-graphene layer And removing the protective film.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치를 위한 하이브리드-그래핀층이 제공된다. 하이브리드-그래핀층은 제 1영역 및 제2 영역을 갖고, 제1 영역은 폴리머, 폴리머에 분산되고 최소 2층 이상의 환원된 그래핀 옥사이드 시트들로 구성되는 복구의 환원된 그래핀 플레이트렛들 및 복수의 그래핀 플레이트렛들간의 전기적 연결을 개선시키는 복수의 금속 나노 파티클들을 포함하고, 제2 영역은 폴리머, 폴리머에 분산되고 최소 2층 이상의 환원된 그래핀 옥사이드 시트들로 구성되는 복수의 그래핀 옥사이드 플레이트렛들 및 복수의 그래핀 플레이트렛들간의 전기적 연결을 방해하는 복수의 산화된 금속 나노 파티클들을 포함한다.A hybrid graphene layer for an electronic device according to an embodiment of the present invention is provided. The hybrid-graphene layer has a first region and a second region, wherein the first region is a repaired graphene platelet and a plurality of repaired graphene platelets composed of at least two layers of reduced graphene oxide sheets dispersed in the polymer. A plurality of metal nanoparticles that improve the electrical connection between the graphene platelets of the second region, the second region being a polymer, a plurality of graphene oxide composed of at least two layers of reduced graphene oxide sheets dispersed in the polymer And a plurality of oxidized metal nanoparticles that interfere with the electrical connection between the platelets and the plurality of graphene platelets.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자 디바이스 제조 방법이 제공된다. 전자 디바이스 제공 방법은 폴리머, 하나 이상의 환원된 그래핀 시트들로 구성되는 복수의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 및 복수의 금속 나노 파티클을 포함하고, 제1 영역 및 제2 영역을 갖는 하이브리드-그래핀층을 형성하는 단계 및 하이브리드-그래핀층의 복수의 금속 나노 파티클 중 제2 영역에 포함된 금속 나노 파티클을 선택적으로 산화시키는 단계를 포함한다. 제2 영역은 제1 영역의 면저항 보다 높은 면저항값을 갖는 것을 특징으로 한다.An electronic device manufacturing method according to an embodiment of the present invention is provided. An electronic device providing method comprises a polymer, a plurality of reduced graphene oxide platelets composed of one or more reduced graphene sheets and a plurality of metal nanoparticles, a hybrid-graphene layer having a first region and a second region Forming metal oxide particles and selectively oxidizing the metal nano particles included in the second region of the plurality of metal nano particles of the hybrid-graphene layer. The second region has a sheet resistance value higher than that of the first region.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선택적으로 상이한 면저항 값을 갖도록 형성된 영역들을 포함하는 하이브리드-그래핀(hybrid-graphene)층을 설명하기 위한 평면도이다. 1A is a plan view illustrating a hybrid-graphene layer including regions formed to have selectively different sheet resistance values according to an embodiment of the present invention.
도 1b(a) 및 도 1b(b)는 산화되지 않은 금속 나노 파티클과 그래핀 플레이트렛들로 형성되어 상대적으로 낮은 면저항 값을 가지는 영역(도전 영역) 및 산화된 금속 나노 파티클과 그래핀 플레이틀렛들로 형성되어 상대적으로 높은 면저항 값을 가지는 영역(비도전 영역)을 포함하는 하이브리드-그래핀층을 설명하기 위한 확대 단면도이다. 1b (a) and 1b (b) are formed of unoxidized metal nanoparticles and graphene platelets to have a relatively low sheet resistance (conductive area) and oxidized metal nanoparticles and graphene platelets An enlarged cross-sectional view for describing a hybrid-graphene layer including a region (non-conductive region) formed of a ridge and having a relatively high sheet resistance value.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 형성하는 예시적인 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 2 is a flow chart illustrating an exemplary method of forming a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 형성하는 예시적인 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 3 is a flow chart illustrating an exemplary method of forming a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 이용하는 예시적인 터치 스크린 패널을 도시하는 평면도이다. 4A is a plan view illustrating an exemplary touch screen panel using a hybrid-graphene layer in accordance with one embodiment of the present invention.
도 4b는 도 4a의 IVb-IVb'를 따른 단면도이다. 4B is a cross-sectional view along IVb-IVb ′ of FIG. 4A.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 이용하는 예시적인 박막 트랜지스터를 도시하는 단면도이다. 5 is a cross-sectional view illustrating an exemplary thin film transistor using a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 이용하는 예시적인 유기 발광 표시 장치를 도시하는 단면도이다. 6 is a cross-sectional view illustrating an exemplary organic light emitting display device using a hybrid-graphene layer according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims.
소자 또는 층이 다른 소자 또는 층 "위 (on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. When an element or layer is referred to as “on” another element or layer, it encompasses both the case where another layer or other element is interposed over or in the middle of another element.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이는 단지 제1 및 제2 구성요소와 상응하는 복수의 구성요소들 중 특정 구성요소를 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various components, it is only used to distinguish a particular component among a plurality of components corresponding to the first and second components. Therefore, of course, the first component mentioned below may be a second component within the technical spirit of the present invention.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Like reference numerals refer to like elements throughout.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.The size and thickness of each component shown in the drawings are shown for convenience of description, and the present invention is not necessarily limited to the size and thickness of the illustrated configuration.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.Each of the features of the various embodiments of the present invention may be combined or combined with each other in part or in whole, various technically interlocking and driving as can be understood by those skilled in the art, each of the embodiments may be implemented independently of each other It may be possible to carry out together in an association.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 적어도 하나의 도전 영역 및 적어도 하나의 비도전 영역을 갖는 하이브리드-그래핀층을 설명하기 위한 평면도이다. 하이브리드-그래핀층(100)은 폴리머 매트릭스에 분산된 환원된 그래핀 옥사이드(Reduced Graphene Oxide; rGO) 플레이트렛 및 금속 나노 파티클들로 이루어진 하이브리드-그래핀 조성물(10)으로 형성되었다. 도 1a에서 도시된 것과 같이 하이브리드-그래핀층(100)은 도전 영역인 하나 이상의 제1 영역(110)과 비도전 영역인 하나 이상의 제2 영역(120)으로 구성될 수도 있다. 본 명세서에서 도전 영역 및 비도전 영역은 상기 두 영역간에 상대적인 면저항 값에 의해 표현되었다. 다시 말해서 비도전 영역은 도전 영역에 비해 상대적으로 높은 면저항 값을 가지며, 이에 따라 도전 영역에 비해 상대적으로 낮은 전기적 전도성를 가지는 영역을 지칭한다. 상술한 것과 같이 하이브리드-그래핀층(100)이 특정 부분이 그 외의 부분과 상이한 면저항 값을 갖게 되는 것은 하이브리드-그래핀층(100) 특정 부위에 위치한 하이브리드-그래핀 조성물(10) 내의 금속 나노 파티클들의 산화 상태에 따라서 결정된다. 1A is a plan view illustrating a hybrid-graphene layer having at least one conductive region and at least one non-conductive region according to an embodiment of the present invention. The hybrid-graphene layer 100 was formed of a hybrid-graphene composition 10 composed of reduced graphene oxide (rGO) platelets and metal nanoparticles dispersed in a polymer matrix. As shown in FIG. 1A, the hybrid-graphene layer 100 may include at least one first region 110 as a conductive region and at least one second region 120 as a non-conductive region. In the present specification, the conductive region and the non-conductive region are expressed by relative sheet resistance values between the two regions. In other words, the non-conductive region has a relatively high sheet resistance value compared to the conductive region, and thus refers to a region having a relatively low electrical conductivity compared to the conductive region. As described above, the hybrid-graphene layer 100 has a sheet resistance value different from that of other portions of the hybrid-graphene layer 100 by the metal nanoparticles in the hybrid-graphene composition 10 located at the specific region of the hybrid-graphene layer 100. It depends on the oxidation state.
그래핀은 육방 격자에서 서로 연결된 탄소 원자들로 이루어진 원자 하나의 두께를 갖는 탄소의 동소체이다. 그래핀 벌집 격자는 σ 결합으로 서로 연결된 탄소 원자들의 2개의 동등한 서브-격자들로 구성된다. 공유 결합으로 알려진 이러한 연결들은 극히 강하고, 탄소 원자들은 오직 0.142㎚ 만큼 이격된다. 흑연은 여러 개의 그래핀 시트들이 0.335㎚의 평면 사이 간격으로 적층 형태로 반데르발스 결합(van der Waals bonding)에 의해 결합된 구조로 생각할 수 있다. 그래핀은 독특한 2차원 결정 구조 및 강력한 sp2 탄소 결합 네트워크와 같은 구조적인 특징으로 인해서 기존 금속과 비교하여 다양한 다음과 같은 다양한 장점이 존재한다. 그래핀은 실리콘에 비해서 100배에 가까운 전하 이동도를 가지며, 구리의 100배에 가까운 전류밀도를 가지며, 열 전도도가 높고, 발열량이 낮다. 또한, 내화학성 있으며, 기계적 강도가 높다. 그리고 유연성 및 신축성이 있으며, 간단하게 패터닝이 가능하다. 이러한 특징이 있어서, 유연한 폴리머 구조물과 혼합되어 투명 및 플렉서블 전자 디바이스들에 적합한 기계적 특성, 전기적 특성, 및 광학 특성의 우수한 조합을 제공한다.Graphene is an allotrope of carbon with a thickness of one atom consisting of carbon atoms linked together in a hexagonal lattice. Graphene honeycomb lattice consists of two equal sub-lattices of carbon atoms linked together by σ bonds. These links, known as covalent bonds, are extremely strong and the carbon atoms are only 0.142 nm apart. Graphite can be thought of as a structure in which several graphene sheets are bonded by van der Waals bonding in a stacked form at intervals of 0.335 nm between planes. Graphene has various advantages over conventional metals due to its unique two-dimensional crystal structure and structural characteristics such as a strong sp 2 carbon bond network. Graphene has a charge mobility close to 100 times that of silicon, a current density close to 100 times that of copper, high thermal conductivity, and low heat generation. It also has chemical resistance and high mechanical strength. It is flexible and flexible and can be easily patterned. These features, combined with flexible polymer structures, provide excellent combinations of mechanical, electrical, and optical properties suitable for transparent and flexible electronic devices.
폴리머 매트릭스(16)에서 안정적이고 고르게 분산된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 및 금속 나노 파티클(16)은 기존의 보다 복잡한 방법에 의해 얻어진 그래핀 혹은 그래핀 복합체 보다 확연히 개선된 전기적 특성, 기계적 특성 및 기체/수분 배리어 특성을 가진 멀티-기능 하이브리드-그래핀층(100)을 제조하는데 사용될 수 있다. 또한 본 명세서의 하이브리드-그래핀 조성물(10)은 액상 형태로 준비될 수 있어서 스핀 코팅, 슬롯(slot) 코팅, 스프레이 코팅, 스크린 프린팅, 딥(dip) 코팅 방법 등 다양한 용액 공정 방식(solution processable methods)을 사용해서 원하는 표면에 도포하여 하이브리드-그래핀층(100)을 형성하는 것이 가능하다. Stable and evenly dispersed reduced graphene oxide platelets 12 and metal nanoparticles 16 in the polymer matrix 16 have significantly improved electrical properties than graphene or graphene composites obtained by conventional more complex methods, It can be used to make a multi-functional hybrid-graphene layer 100 having mechanical and gas / moisture barrier properties. In addition, the hybrid-graphene composition 10 of the present specification may be prepared in a liquid form, so that various solution processable methods such as spin coating, slot coating, spray coating, screen printing, dip coating method, etc. It is possible to apply to the desired surface using a) to form the hybrid-graphene layer 100.
또한, 그래핀은 특정 표면을 패시베이션하는 것에 대한 뛰어난 능력을 나타내므로, 그래핀은 이상적인 기체/수분 배리어층으로 제조될 수 있다. 상술한 바와 같은 그래핀의 특성들은 그래핀을 투명 및 플렉서블 디바이스들에서의 다양한 어플리케이션들에 대해 매우 유용한 물질로 만든다. 하이브리드-그래핀 조성물(10)은 우수한 광학 특성, 기체/수분 배리어 특성뿐만 아니라 투명 및 플렉서블 디바이스들을 위한 전기적 도전성을 제공할 수 있다.In addition, graphene exhibits an excellent ability to passivate certain surfaces, so graphene can be made into an ideal gas / moisture barrier layer. The properties of graphene as described above make graphene a very useful material for a variety of applications in transparent and flexible devices. Hybrid-graphene composition 10 can provide excellent optical properties, gas / moisture barrier properties as well as electrical conductivity for transparent and flexible devices.
본 명세서에서, 용어 "그래핀"은 그래핀 옥사이드(Graphene Oxide), 환원된 그래핀 옥사이드(Reduced Graphene Oxide)뿐만 아니라 원시 그래핀(pristine graphene)을 통합적으로 지칭하였다. 비록 이론적으로 그래핀은 하나의 층으로 이루어져있으나, 본 명세서에서 실시예에 사용되는 그래핀은 하나의 층으로 구성된 그래핀 시트(sheet)뿐만 아니라 복수의 층(예를 들면, 2 내지 20층)으로 구성될 수도 있다. 이와 같은 이유로 본 명세서에서는 "플레이트렛(platelet)"라는 표현을 사용하여 본 명세서에서 실시예의 그래핀 옥사이드 플레이트렛 또는 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛이 단일층 구조뿐만 아니라 다수의 층이 적층(stack)되어있는 구조까지도 포함하는 것을 강조하였다. 따라서, 도 1에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 각각이 단일층 구조인 것처럼 도시되어 있지만, 본 명세서에서 하이브리드-그래핀 조성물(10) 내의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12) 중 일부는 단일층 구조의 환원된 그래핀 옥사이드 시트의 구조를 가질수도 있고, 일부는 환원된 그래핀 옥사이드 시트들이 겹쳐진 스택(stack)구조를 가질 수도 있다. 나아가, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)이 다중 시트들의 스택으로 형성되는 경우, 일부 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)은 그에 포함된 환원된 그래핀 옥사이드 시트들 사이에 완전히 환원되지 않은 그래핀 옥사이드 시트를 일부 포함할 수도 있다. 다시 말하자면, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)에 포함된 그래핀 시트들이 반드시 모두 환원된 그래핀 옥사이드 시트인 것은 아니다. 다만, 최소한 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 외곽에 위치한 시트들은 환원된 그래핀 옥사이드 시트들인 것이 바람직하다. 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)이 다중 시트들의 스택으로 형성되는 경우, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 두께는 단일층 환원된 그래핀 옥사이드 시트의 두께(즉, 0.34㎚)보다 클 수도 있다.As used herein, the term “graphene” collectively refers to graphene oxide, reduced graphene oxide as well as pristine graphene. Although the graphene is theoretically composed of one layer, the graphene used in the embodiments herein is not only a graphene sheet composed of one layer but also a plurality of layers (for example, 2 to 20 layers). It may be configured as. For this reason, the graphene oxide platelet or the reduced graphene oxide platelet of the embodiments herein using the expression "platelet" is used to stack not only a single layer structure but also a plurality of layers. Emphasis was placed on including the structure in question. Thus, although each of the reduced graphene oxide platelets 12 in FIG. 1 is shown as having a single layer structure, herein among the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10, Some may have a structure of a single layer reduced graphene oxide sheet, and some may have a stack structure in which the reduced graphene oxide sheets overlap. Furthermore, when the reduced graphene oxide platelet 12 is formed of a stack of multiple sheets, some reduced graphene oxide platelets 12 are not fully reduced between the reduced graphene oxide sheets contained therein. It may also include some graphene oxide sheet. In other words, the graphene sheets included in the reduced graphene oxide platelet 12 are not necessarily all reduced graphene oxide sheets. However, at least the sheets located on the outside of the reduced graphene oxide platelet 12 are preferably graphene oxide sheets. When the reduced graphene oxide platelet 12 is formed of a stack of multiple sheets, the thickness of the reduced graphene oxide platelet 12 is greater than the thickness of the single layer reduced graphene oxide sheet (ie, 0.34 nm). It may be large.
본 명세서에서 설명하는 하이브리드-그래핀 조성물과 하이브리드-그래핀층의 각각에 포함되는 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 최소한 25%이상, 더 바람직 하게는 최소한 50%이상이 최소 2층 이상의 환원된 그래핀 옥사이드 시트로 구성된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛인 것이 바람직하다.At least 25%, more preferably at least 50% of the reduced graphene oxide platelets included in each of the hybrid-graphene compositions and hybrid-graphene layers described herein are at least two layers of reduced graphene It is preferably a reduced graphene oxide platelet composed of an oxide sheet.
도 1b(a) 및 도 1b(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 적어도 하나의 도전 영역 및 적어도 하나의 비도전 영역을 갖는 하이브리드-그래핀층을 설명하기 위한 확대 단면도이다. 도 1b(a)를 참조하면 하이브리드-그래핀층(100)의 제1 영역(110)에서는 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)과 산화되지 않은 금속 나노 파티클들(14)이 폴리머 매트릭스(16)에 분산되어 형성되어있다. 반면 하이브리드-그래핀층(100)의 제2 영역(120)에서는 도 1b(b)에 도시된 것과 같이 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)과 산화된 금속 나노 파티클들(18)이 폴리머 매트릭스(16)에 분산되어 형성되어있다. 1B (a) and 1B (b) are enlarged cross-sectional views illustrating a hybrid-graphene layer having at least one conductive region and at least one non-conductive region according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1B (a), in the first region 110 of the hybrid-graphene layer 100, reduced graphene oxide platelets 12 and non-oxidized metal nanoparticles 14 are formed of a polymer matrix 16. Is dispersed in On the other hand, in the second region 120 of the hybrid-graphene layer 100, the reduced graphene oxide platelets 12 and the oxidized metal nanoparticles 18, as shown in FIG. It is dispersed and formed at 16.
대부분의 기체 및 수분 입자는 환원된 그래핀 옥사이드 시트를 통해 침투할 수 없다고 알려져 있다. 그렇기 때문에, 폴리머 매트릭스(16) 내의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들이 연결되어 만들어진 네트워크 또한 기체 및 수분 침투를 막을 수 있는 우수한 배리어로서 사용될 수 있다. 기체 및 수분 입자가 하이브리드-그래핀 조성물(10)로 형성된 하이브리드-그래핀 층(100)을 통해 침투하기 위해서는, 먼저 입자들은 하이브리드-그래핀층(100)의 상면의 결함부분(defect site)를 통해 진입하여야 한다. 진입 후에는, 폴리머 매트릭스(16) 내부의 퍼져있는 그래핀 플레이트렛(12)들의 표면을 따라 폴리머 매트릭스(16) 사이의 경로(tortuous path)를 통해서 진입하여야 한다. 그래핀 옥사이드는 그 표면에 다양한 산소 작용기가 친수성을 띄어 대부분의 산소 작용기가 제거된 환원된 그래핀 옥사이드에 비해 상대적으로 수분 입자가 폴리머 매트릭스(16)내의 경로를 통해 더 잘 이동할 수 있기 때문에 본 명세서의 실시예들의 하이브리드-그래핀 조성물(10) 및 하이브리드-그래핀층(100)에 포함된 대부분 혹은 모든 그래핀 플레이트렛은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)인 것이 바람직하다. 하지만 본 명세서의 실시예들의 하이브리드-그래핀 조성물(10) 및 하이브리드-그래핀층(100)은 공정상 편차로 인하여 소수의 환원되지 않은 그래핀 옥사이드 플레이트렛을 포함할 수도 있다. It is known that most gas and moisture particles cannot penetrate through reduced graphene oxide sheets. As such, a network made by connecting reduced graphene oxide platelets 12 in the polymer matrix 16 can also be used as an excellent barrier to prevent gas and moisture ingress. In order for gas and moisture particles to penetrate through the hybrid-graphene layer 100 formed of the hybrid-graphene composition 10, the particles first pass through a defect site on the upper surface of the hybrid-graphene layer 100. You must enter. After entry, it must enter through a tortuous path between the polymer matrix 16 along the surface of the graphene platelets 12 spread inside the polymer matrix 16. Graphene oxide is hydrophilic in the various oxygen functional groups on the surface thereof as compared to the reduced graphene oxide from which most of the oxygen functional groups are removed, because the moisture particles can move better through the path in the polymer matrix (16) Most or all of the graphene platelets included in the hybrid-graphene composition 10 and the hybrid-graphene layer 100 of the embodiments of the preferred embodiment are reduced graphene oxide platelets 12. However, the hybrid-graphene composition 10 and the hybrid-graphene layer 100 of the embodiments herein may include a few unreduced graphene oxide platelets due to process variations.
상술한 바와 같이, 기체/수분 분자들은 침투가 불가능한 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12) 주위의 상대적으로 침투하기 쉬운 폴리머 채널들을 따라 이동하여 하이브리드-그래핀층(100)을 통해 침투할 수 있다. 그렇기 때문에 하이브리드-그래핀 조성물(10)로 형성된 하이브리드-그래핀층(100)의 기체/수분 배리어 특성을 향상시키는 것에 있어서 기체/수분 입자가 침투하기 어렵도록 최대한 길이가 긴 경로를 구축하는 것이 가장 중요한 포인트이다. 이 점을 볼 때 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 기체/수분 침투 방지 특성에 큰 영향을 주는 요소들은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 최장 치수 대 최단 치수의 비율로서 정의되는 종횡비(aspect ratio, 약 1.5:5000), 조성물 내 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)의 분산율 및 플레이트렛(12)들의 정렬 형태, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)과 폴리머 매트릭스(16)간의 인터페이스 결합 및 폴리머 매트릭스(16)의 결정도(crystallinity)들을 포함한다. 폴리머 매트릭스(16)의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)의 적층 방향 및 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들간의 자기-응집(self-aggregation) 또한 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 기체/수분 침투 방지 특성에 영향을 미치는 중요한 요소들로서 고려되어야 한다. As noted above, gas / moisture molecules can migrate along the relatively permeable polymer channels around the infiltrated reduced graphene oxide platelets 12 and penetrate through the hybrid-graphene layer 100. . Therefore, in improving the gas / moisture barrier property of the hybrid-graphene layer 100 formed of the hybrid-graphene composition 10, it is most important to establish a path as long as possible so that gas / moisture particles are difficult to penetrate. Is the point. In this regard, the factors that greatly influence the gas / moisture intrusion prevention properties of the hybrid-graphene composition 10 are the aspect ratio defined as the ratio of the longest dimension to the shortest dimension of the reduced graphene oxide platelet 12. aspect ratio, about 1.5: 5000), the dispersion rate of the reduced graphene oxide platelets 12 in the composition and the alignment form of the platelets 12, the reduced graphene oxide platelets 12 and the polymer matrix 16 Interfacial bonds and crystallinities of the polymer matrix 16. The stacking direction of the reduced graphene oxide platelets 12 of the polymer matrix 16 and the self-aggregation between the reduced graphene oxide platelets 12 and also the hybrid-graphene composition 10. Should be considered as an important factor influencing the gas / moisture intrusion prevention properties of
위의 모든 요소들을 고려할 때 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)의 매우 큰 종횡비 및 2차원적 평면적인 형태는 폴리머 매트릭스(16)와 결합하여 그 안에서 긴 경로(tortuous path)를 구축하기에 매우 적합한 물질이다. Considering all the above factors, the very large aspect ratio and the two-dimensional planar shape of the reduced graphene oxide platelets 12 combine with the polymer matrix 16 to establish a long tortuous path therein. It is a very suitable material.
하이브리드-그래핀 조성물(10)의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들은 우수한 기체/수분 배리어 특성을 제공할 뿐만 아니라, 폴리머 매트릭스(16)와 결합하여 플렉서블 디바이스들에서 요구되는 인장(tensile) 스트레스 및 압축(compression) 스트레스와 같은 기계적인 스트레스들을 견딜 수 있는 강한 내성도 제공한다. The reduced graphene oxide platelets 12 of the hybrid-graphene composition 10 not only provide good gas / moisture barrier properties, but also combine with the polymer matrix 16 to provide the required tension in flexible devices. It also provides a strong tolerance to withstand mechanical stresses such as stress and compression stress.
보통 나노-조성물에서, 나노-필러(filler) 및 주위의 폴리머 매트릭스 사이의 인터페이스 강도는 전단-활성화된(shear-activated) 메커니즘들을 통한 폴리머 매트릭스로부터 나노-필러로의 스트레스의 전달하는데 중요한 역할을 한다. 인터페이스의 전단력이 높을수록, 인터페이싱 결함이 발생하기 전까지 더 큰 부하를 견딜 수 있다. 폴리머 매트릭스와 나노-필러들 사이의 결합력/부착력이 약한 경우, 그들 간에 인터페이싱의 강도가 감소하고 결국 결함이 생길 수 있다. 그러므로, 폴리머 매트릭스와 나노-필러 사이의 강한 결합력/부착력은 하이브리드-그래핀 조성물(10)로 형성된 하이브리드-그래핀층(100)의 기계적인 특성을 개선하기 위해 중요하다.In normal nano-compositions, the interface strength between the nano-filler and the surrounding polymer matrix plays an important role in the transfer of stress from the polymer matrix to the nano-filler via shear-activated mechanisms. . The higher the shear force of the interface, the greater the load it can withstand before interfacing failures occur. If the bond / adhesion between the polymer matrix and the nano-pillars is weak, the strength of the interfacing between them may decrease and eventually result in defects. Therefore, the strong bonding / adhesion between the polymer matrix and the nano-filler is important for improving the mechanical properties of the hybrid-graphene layer 100 formed of the hybrid-graphene composition 10.
환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들은 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 인장 탄성율 및 강도를 개선하기 위한 나노-필러로서 매우 적합한 나노-필러이다. 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)은 탄소 나노 튜브(CNT)와 같은 다른 탄소 기반 나노-필러들에 비해 폴리머 매트릭스(16)내에서 더 큰 인터페이싱 접촉 영역을 갖는다. 또한 큰 분자를 가진 폴리머 체인들은 탄소 나노 튜브의 내부 구멍들을 통해 튜브의 안쪽까지 침투할 수 없고 탄소 나노 튜브들의 외부면만이 폴리머 매트릭스(16)와 접촉하지만, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들은 평면 형태의 환원된 그래핀 옥사이드의 단일 또는 시트들이 적층되어있는 형태를 가지고 있기 때문에 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 양면 모두 폴리머와 인터페이싱할 수 있기 때문에 폴리머와의 더 큰 인터페이싱 접촉 영역을 가지게 된다.The reduced graphene oxide platelets 12 are very suitable nano-fillers as nano-fillers for improving the tensile modulus and strength of the hybrid-graphene composition 10. The reduced graphene oxide platelet 12 has a larger interfacing contact area within the polymer matrix 16 compared to other carbon based nano-fillers such as carbon nanotubes (CNTs). Also, polymer chains with large molecules cannot penetrate through the inner holes of the carbon nanotubes to the inside of the tube and only the outer surface of the carbon nanotubes contacts the polymer matrix 16, but the reduced graphene oxide platelet 12 Larger interfacing contact area with the polymer because both sides of the reduced graphene oxide platelet 12 can interface with the polymer because they have a stack of single or sheets of reduced graphene oxide in planar form. Will have
그뿐만 아니라 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들은 폴리머 체인과의 결합(mechanical interlocking)에 도움이 되지 않는 평활한(smooth)한 표면들을 가지고 있는 다른 종류의 나노-필러들과는 대조적으로, 폴리머 체인들과의 결합을 더욱 강하게 할 수 있는 거칠고 주름진 표면 토폴로지(topology)를 가지고 있다. 게다가, 2차원 평면 형상을 가지고 있기 때문에 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)은 세로 및 가로 양방향 모두에 대한 기계적인 부하를 지지하므로, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들은 플렉서블 디바이스에서도 기존의 기체/수분 배리어 역할을 수행할 수 있다.In addition, the reduced graphene oxide platelets 12 are polymer chains, in contrast to other types of nano-fillers that have smooth surfaces that do not aid in mechanical interlocking. It has a rough and corrugated surface topology that can make the bond stronger. In addition, since the reduced graphene oxide platelets 12 support mechanical loads in both longitudinal and transverse directions because they have a two-dimensional planar shape, the reduced graphene oxide platelets 12 are also present in flexible devices. May serve as a gas / moisture barrier.
또한, 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 향상된 탄성 계수(elastic modulus)는 압축 부하에서의 개선된 버클링(buckling) 안정성으로도 이어진다. 버클링은 플렉서블 디바이스들의 구조적 설계에 있어서 매우 까다로운 구조적 불안정성이다. 본 명세서에서 기재된 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 개선된 버클링 안정성은 각 실시예에서 사용된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들의 2차원적 평면 형태와 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들 대부분이 복수의 시트로 구성되어 있다는 구조적 특징 모두와 관련이 있다. 이와 같이, 복수의 시트들로 구성되어 있는 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)은, 그것이 포함하는 여러 개의 시트들 중 오직 외측의 시트들만이 폴리머 매트릭스와 결합하여 하이브리드-그래핀층(100)이 받는 인장 스트레스의 부하 전달에 기여한다. 반면, 압축 스트레스의 부하는 외측의 시트들뿐 아니라 외측의 시트들 사이에 있는 시트들까지도 동등하게 분산되어 부하 전달에 기여한다.In addition, the improved elastic modulus of the hybrid-graphene composition 10 also leads to improved buckling stability at compression loads. Buckling is a very difficult structural instability in the structural design of flexible devices. The improved buckling stability of the hybrid-graphene composition 10 described herein is characterized by the two-dimensional planar shape of the reduced graphene oxide platelets 12 and the reduced graphene oxide platelets used in each example. 12) Most of these relate to all of the structural features that consist of a plurality of sheets. As such, in the reduced graphene oxide platelet 12 composed of a plurality of sheets, only the outer sheets of the plurality of sheets included therein are combined with the polymer matrix such that the hybrid-graphene layer 100 is formed. Contributes to the load transfer of the received tensile stress. On the other hand, the load of compressive stress is equally distributed not only to the outer sheets but also between the outer sheets, contributing to the load transfer.
환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 내의 각각의 시트는 그들의 원자 스케일 두께에 기인하여 압축 스트레스를 받을 시에 버클링 및 벤딩이 될 수 있다. 이때 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 내의 시트의 버클링 또는 벤딩은 그와 인접한 시트들간의 마찰을 증가시켜 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 내에서 시트 간의 더 좋은 부하 전달이 이루어지게 한다. 이와 같이, 하나 이상의 시트로 구성된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들을 사용하여 만들어진 하이브리드-그래핀 조성물(10)은 플렉서블 전자 디바이스를 구현하는데 있어서 중요한 고려 사항인 인장 및 압축 부하 전달성 모두를 향상시킨다. Each sheet in the reduced graphene oxide platelet 12 may be buckled and bent when subjected to compressive stress due to their atomic scale thickness. At this time, the buckling or bending of the sheet in the reduced graphene oxide platelet 12 increases the friction between adjacent sheets so that better load transfer between the sheets in the reduced graphene oxide platelet 12 is achieved. do. As such, the hybrid-graphene composition 10 made using reduced graphene oxide platelets 12 composed of one or more sheets provides both tensile and compressive load transfer properties, which are important considerations in implementing flexible electronic devices. Improve.
본 명세서에 기재된 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 실시예들은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)과 폴리머 매트릭스(16)를 사용하여 기체/수분 분자들의 침투가 어려운 길고 복잡한 경로(tortuous path)를 생성하는 것 뿐만 아니라 금속 나노 파티클(14)을 폴리머 매트릭스(16)에 더 분산시켜 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 기체/수분 배리어 특성을 더 향상시킬 수도 있다. 금속 나노 파티클(14)은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)을 끌어당겨 서로 연결하는 가교제의 기능할 수행할 수 있다. 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들이 금속 나노 파티클(14)들에 의해 연결하면 기체/수분 입자가 통과해야하는 경로가 더 길어지게 되어 그만큼 더 기체/수분 배리어 성능이 좋아진다. 하지만 금속 나노 파티클(14)의 이러한 가교제로서의 특성은 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 사용해서 하이브리드-그래핀층(100)을 형성할 때 환원된 그래핀 옥사이드 시트들 및 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)의 재-응집을 야기할 수도 있다. 그러한 환원된 그래핀 옥사이드 시트들 및 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)의 재-응집은 하이브리드-그래핀 조성물(10)안에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들이 균일하지 않게 분산되는 현상을 발생시키고, 이는 곧 하이브리드-그래핀층(100)에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 밀도가 낮은 영역의 생성으로 이어질 수 있다. 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 밀도가 다른 영역보다 상대적으로 낮은 영역에서는 기체/수분의 침투가 더 쉬워지게 될 수 있다.Embodiments of the hybrid-graphene composition 10 described herein utilize a reduced graphene oxide platelets 12 and a polymer matrix 16 to make long and complicated torrent paths difficult to penetrate gas / moisture molecules. In addition to generating), the metal nanoparticles 14 may be further dispersed in the polymer matrix 16 to further improve the gas / moisture barrier properties of the hybrid-graphene composition 10. The metal nanoparticles 14 may function as a crosslinking agent that pulls the reduced graphene oxide platelets 12 and connects them to each other. When the reduced graphene oxide platelets 12 are connected by the metal nanoparticles 14, the path through which gas / moisture particles must pass is longer, so that the gas / moisture barrier performance is improved. However, the crosslinking properties of the metal nanoparticles 14 are reduced graphene oxide sheets and reduced graphene oxide platelets when forming the hybrid-graphene layer 100 using the hybrid-graphene composition 10. May cause re-agglomeration of the fields 12. Re-agglomeration of such reduced graphene oxide sheets and reduced graphene oxide platelets 12 results in uneven dispersion of the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10. Phenomenon may occur, which may lead to the generation of a low density region of the reduced graphene oxide platelet 12 in the hybrid-graphene layer 100. In areas where the density of the reduced graphene oxide platelet 12 is relatively lower than other areas, gas / moisture penetration may be easier.
이러한 이유로, 하이브리드-그래핀 조성물(10)에는 그 안에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 및 금속 나노 파티클(14)들의 균일한 분배가 용이하게 하고 일시적으로 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들간의 재응집과 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)와 금속 나노 파티클(14)들의 응집도 억제하고 계면 활성제가 첨가될 수 있다. 하이브리드-그래핀 조성물(10)이 액상 상태로 있는 동안은 첨가된 계면 활성제가 하이브리드-그래핀 조성물(10)중의 나노-필러들의 응집을 억제하지만 하이브리드-그래핀 조성물(10)이 하이브리드-그래핀층(100)을 형성하고자 하는 표면에 도포된 후 계면 활성제가 증발되어 건조되면, 금속 나노 파티클(14)들에 의해 더욱 강하게 연결된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들이 표면에 균일하게 남는다. 일부 실시예에서, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)과 금속 나노 파티클(14) 사이의 결합을 더욱 향상시키기 위해 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)은 음으로(negatively) 대전될 수도 있고, 금속 나노 파티클(14)은 양으로(positively) 대전될 수도 있다.For this reason, the hybrid-graphene composition 10 facilitates uniform distribution of the reduced graphene oxide platelets 12 and the metal nanoparticles 14 therein and temporarily between the graphene oxide platelets 12. Re-agglomeration of and inhibits the aggregation of the graphene oxide platelet 12 and the metal nanoparticles (14) and a surfactant may be added. While the hybrid-graphene composition 10 is in a liquid state, the added surfactant inhibits the aggregation of the nano-fillers in the hybrid-graphene composition 10, while the hybrid-graphene composition 10 is a hybrid-graphene layer. When the surfactant is evaporated and dried after being applied to the surface to be formed (100), the reduced graphene oxide platelets 12, which are more strongly connected by the metal nanoparticles 14, remain uniform on the surface. In some embodiments, the reduced graphene oxide platelet 12 may be negatively charged to further enhance the bond between the reduced graphene oxide platelet 12 and the metal nanoparticles 14. The metal nanoparticles 14 may be positively charged.
위에서 서술한 하이브리드-그래핀 조성물(10)은 투명 및 플렉서블 디바이스들의 봉지부로서 활용 시에 필요한 광학 특성, 기체/수분 배리어 특성 및 기계적 강도 특성에 더하여, 하이브리드-그래핀 조성물(10)로 형성된 하이브리드-그래핀층(100)의 선택적 일부분이 하이브리드-그래핀층(100)의 다른 부분과 상이한 면저항을 가질 수 있는 특별한 기능까지도 제공한다. 다시 말하면, 동일한 하이브리드-그래핀 조성물(10)로 형성된 하이브리드-그래핀층(100)의 모든 부분이 실질적으로 동일한 기체/수분 배리어 특성을 유지하지만 서로 소정의 면저항값 이상의 차이를 보이는 2개의 영역, 즉, 적어도 하나의 도전 영역 및 적어도 하나의 비도전 영역으로 패터닝될 수 있다. 본 명세서에서의 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 이러한 특징은, 기체/수분 분자들의 침투를 억제하기 위한 봉지층의 역할뿐만 아니라 투명 및 플렉서블 전자 디바이스의 전극으로서의 역할도 제공할 수 있는, 진정한 멀티-기능층을 구현 가능하게 한다.The hybrid-graphene composition 10 described above is a hybrid formed of the hybrid-graphene composition 10 in addition to the optical properties, gas / moisture barrier properties, and mechanical strength properties required for use as encapsulation of transparent and flexible devices. Optional portions of the graphene layer 100 also provide a special function that may have a different sheet resistance than other portions of the hybrid-graphene layer 100. In other words, two regions, i.e., all portions of the hybrid-graphene layer 100 formed of the same hybrid-graphene composition 10, maintain substantially the same gas / moisture barrier properties but exhibit a difference of more than a predetermined sheet resistance value from each other, that is, For example, the patterning device may be patterned into at least one conductive region and at least one non-conductive region. This feature of the hybrid-graphene composition 10 herein is a true multi, which can serve not only as an encapsulation layer to inhibit penetration of gas / moisture molecules but also as an electrode of transparent and flexible electronic devices. Make the functional layer possible
이러한 특별한 기능은 하이브리드-그래핀 조성물(10)이 산화가 가능한 금속 나노 파티클(14)들을 포함하기 때문에 구현이 가능하다. 보다 상세하게 설명하자면, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)의 2차원 평면 시트 지오메트리 및 넓은 표면 영역은 폴리머 매트릭스(16) 내에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 간의 연결로 도전성 네트워크의 형성을 하는데 매우 효과적일 수 있다. 그러나, 단순한 환원된 그래핀 옥사이드와 폴리머로 구성된 조성물로 만들어진 층(layer)의 면저항은 집중적인 전하 주입 및/또는 대면적 커버리지를 요구하는 LCD 및 OLED 디스플레이들과 같은 전자 디바이스의 구동에 요구되는 면저항에 비해 매우 높을 수도 있다. 물론 산소 작용기의 제거 및 공액(conjugated) 구조의 회복에 의해 환원된 그래핀 옥사이드 시트가 환원되지 않은 그래핀 옥사이드 시트에 비해 상당히 더 좋은 전기적 도전 특성을 가지고 있지만, 기계적으로 박리된 그래핀 또는 화학 기상 증착(chemical vapor deposition; CVD)과 같은 방식으로 얻어진 그래핀의 비교하면 상대적으로 전기적 특성을 저하시킬 수 있는 격자 결함들을 더 많이 포함하고 있다. 또한 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 내의 각각의 환원된 그래핀 옥사이드 시트가 충분히 낮은 면저항을 나타내더라도, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 네트워크로 이루어진 하이브리드-그래핀층(100) 표면에서의 면저항은 단일 환원된 그래핀 옥사이드 시트의 면저항 보다 더 높을 수 있기 때문에, 전기적으로 요구가 많은 어플리케이션들에서는 전극으로서는 충분한 역할을 수행하지 못할 수 있다. 이는, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들 간에 연결이 되지 않은 부분들 및 연결이 되어있더라고 각각의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 연결되는 부분에서의 접촉 저항(contact resistance)에 의해 영향을 받기 때문이다.This particular function is feasible because the hybrid-graphene composition 10 includes metal nanoparticles 14 that can be oxidized. More specifically, the two-dimensional planar sheet geometry and wide surface area of the reduced graphene oxide platelets 12 are connected to the conductive network by the connection between the reduced graphene oxide platelets 12 within the polymer matrix 16. It can be very effective for the formation of. However, the sheet resistance of a layer made of a composition consisting of simple reduced graphene oxide and polymer is required to drive electronic devices such as LCD and OLED displays that require intensive charge injection and / or large area coverage. It may be very high compared to. Of course, reduced graphene oxide sheets by removal of oxygen functional groups and restoration of conjugated structures have significantly better electrical conductivity than non-reduced graphene oxide sheets, but mechanically exfoliated graphene or chemical vapor phase Compared with graphene obtained in the same way as chemical vapor deposition (CVD), it contains more lattice defects that can degrade the electrical properties relatively. Also, even though each reduced graphene oxide sheet in the reduced graphene oxide platelet 12 exhibits sufficiently low sheet resistance, the surface of the hybrid-graphene layer 100 made up of a network of reduced graphene oxide platelets 12 Since the sheet resistance at can be higher than the sheet resistance of a single reduced graphene oxide sheet, it may not play a sufficient role as an electrode in electrically demanding applications. This is because unconnected portions and connections between the reduced graphene oxide platelets are affected by contact resistance at the portions where the reduced graphene oxide platelets are connected. .
그러나, 상술한 전기적인 결함들은 하이브리드-그래핀 조성물(10)에 포함된 복수의 금속 나노 파티클(14)들에 의해 복구될 수 있다. 도 1b에 도시된 바와 같이, 도전성 금속 나노 파티클(14)은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 사이에 배치되고, 하이브리드-그래핀 조성물(10) 내의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 사이의 상호 연결을 위한 브릿지로서 작용한다. 또한 금속 나노 파티클(14)은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)와 함께 더 길고 보다 치밀하게 연결된 도전성 네트워크를 생성하여, 하이브리드-그래핀 층(100) 내의 전기가 흐르는 경로를 더 많이 생성하여, 하이브리드-그래핀층 (100)의 전반적인 면저항을 개선한다.However, the aforementioned electrical defects may be repaired by the plurality of metal nanoparticles 14 included in the hybrid-graphene composition 10. As shown in FIG. 1B, the conductive metal nanoparticle 14 is disposed between the reduced graphene oxide platelets 12 and the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10. Acts as a bridge for interconnection between them. The metal nanoparticle 14 also creates a longer and more tightly coupled conductive network with the reduced graphene oxide platelets 12, creating more paths of electricity in the hybrid-graphene layer 100 In addition, the overall sheet resistance of the hybrid graphene layer 100 is improved.
상술한 바와 같이, 단순한 그래핀 플레이트렛들-폴리머 조성물은, 본 명세서에서 서술한 실시예들의 하이브리드-그래핀 조성물(10)로 형성된 하이브리드-그래핀층(100) 보다 훨씬 낮은 전기적 도전성 (즉, 높은 면저항)을 제공한다. 상술한 바와 같이, 하이브리드-그래핀층(100)에서의 낮은 면저항은 주로 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)과 상호 연결되는 금속 나노 파티클(14)에 의하여 개선되는 것이기 때문에, 하이브리드-그래핀층(100)의 형성 이후에 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)을 상호 연결하는 도전성 금속 나노 파티클(14)을 절연 파티클로 변화시킬 경우, 절연 파티클들이 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 사이의 연결에 도움을 주지 않을 뿐만 아니라 경우에 따라서는 연결을 오히려 연결을 끊는 스페이서로 작용하여 절연 파티클들이 포함된 부분에서의 면저항이 현저하게 증가하게 된다. As described above, the simple graphene platelets-polymer composition has a much lower electrical conductivity (ie, higher than the hybrid-graphene layer 100 formed from the hybrid-graphene composition 10 of the embodiments described herein. Sheet resistance). As described above, since the low sheet resistance in the hybrid-graphene layer 100 is mainly improved by the metal nanoparticles 14 interconnected with the reduced graphene oxide platelets 12, the hybrid-graphene layer ( When the conductive metal nanoparticles 14 interconnecting the reduced graphene oxide platelets 12 after formation of 100 are converted to insulating particles, the insulating particles are separated between the reduced graphene oxide platelets 12. Not only does it help the connection, but in some cases, rather than act as a spacer to disconnect the connection, the sheet resistance in the portion containing the insulating particles is significantly increased.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 하이브리드-그래핀층(100)은 제1 영역(110) 및 제2 영역(120)을 갖는다. 하이브리드-그래핀층(100)의 제2 영역(120)은 하이브리드-그래핀층(100)의 제1 영역(110)보다 낮은 전기적 도전성을 갖는다. 금속 나노 파티클(14)을 도전 상태에서 절연 상태로 변경시키는 것은 하이브리드-그래핀 조성물(10)에서의 금속 나노 파티클(14)을 산화시킴으로써 구현할 수 있다. 하이브리드-그래핀층(100)의 제1 영역(110)은 폴리머 매트릭스(16)에 분산된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 및 금속 나노 파티클(14)을 포함하고, 하이브리드-그래핀층(100)의 제2 영역(120)은 폴리머 매트릭스(16)에 분산된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 및 산화된 금속 나노 파티클(18)을 포함한다. 여기서 하이브리드-그래핀층(100)의 제1 영역(110)은 전극으로서 사용될 수 있도록 충분히 낮은 소정의 면저항값을 가지고, 제1 영역(110)과 제2 영역(120)간의 면저항값의 차이도 소정의 값보다 크게 할 수 있도록 하이브리드-그래핀 조성물(10)에는 충분한 양의 금속 나노 파티클(14)가 균일하게 분산되도록 형성하는 것이 바람직하다. 1A and 1B, the hybrid graphene layer 100 has a first region 110 and a second region 120. The second region 120 of the hybrid graphene layer 100 has a lower electrical conductivity than the first region 110 of the hybrid graphene layer 100. Changing the metal nanoparticle 14 from a conductive state to an insulated state can be implemented by oxidizing the metal nanoparticle 14 in the hybrid-graphene composition 10. The first region 110 of the hybrid-graphene layer 100 includes reduced graphene oxide platelets 12 and metal nanoparticles 14 dispersed in the polymer matrix 16, and hybrid-graphene layer 100 The second region 120) includes reduced graphene oxide platelets 12 and oxidized metal nanoparticles 18 dispersed in the polymer matrix 16. Here, the first region 110 of the hybrid-graphene layer 100 has a predetermined sheet resistance value low enough to be used as an electrode, and the difference in the sheet resistance value between the first region 110 and the second region 120 is also predetermined. It is preferable that a sufficient amount of the metal nanoparticles 14 are uniformly dispersed in the hybrid-graphene composition 10 so as to be larger than the value of.
환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들과, 금속 나노 파티클(14)들 및 폴리머 매트릭스(16)에 의해 형성되는 기체/수분의 투습 억제 경로(tortuous pathway)가 하이브리드-그래핀층(100) 내에서 온전하게 유지되기만 한다면, 하이브리드-그래핀층(100)의 일부분의 면저항을 변경시키기 위해 특정 부위의 금속 나노 파티클들(14)을 산화시키는 것은 하이브리드-그래핀층(100)의 기체/수분 배리어 특성에 영향을 미치지 않는다. 따라서, 금속 나노 파티클(14)은 하이브리드-그래핀층(10)의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12) 및 폴리머 매트릭스(16)를 손상 없이 산화될 수 있는 금속이어야 한다. 이러한 금속 나노 파티클로는 백금(Pt), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 및 이들의 조합을 이용할 수 있다.The gas / moisture tolerant pathway formed by the reduced graphene oxide platelets 12 and the metal nanoparticles 14 and the polymer matrix 16 is present in the hybrid-graphene layer 100. As long as it remains intact, oxidizing the metal nanoparticles 14 at a specific site to alter the sheet resistance of a portion of the hybrid-graphene layer 100 depends on the gas / moisture barrier properties of the hybrid-graphene layer 100. Does not affect Accordingly, the metal nanoparticle 14 must be a metal capable of oxidizing the reduced graphene oxide platelet 12 and the polymer matrix 16 of the hybrid-graphene layer 10 without damage. As the metal nanoparticles, platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), and combinations thereof may be used.
하이브리드-그래핀층(100)에 매립된 금속 나노 파티클(14)은 다양한 방식으로 산화될 수 있다. 예를 들어, 하이브리드-그래핀층(100)을 산(acid)으로 처리하여 영역 처리된 영역에 위치한 금속 나노 파티클(14)들이 산화될 수 있다. 산을 사용하여 금속 나노 파트클(14)을 산화시키는 경우에, 금속 나노 파티클(14)을 산화시키기 위한 산은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)에 결함을 생성하지 않아야 하기 때문에, 하이브리드-그래핀 조성물(10)에 포함되는 금속 나노 파티클(14)은 약 4 내지 11의 pKa 산도를 가지는 약산으로 쉽게 산화 가능한 금속인 것이 바람직하다. 금속 나노 파티클(14)을 산화시키기 위해 사용가능한 산은 아세트산(acetic acid), 포름산(formic acid), 카르복실산(carboxylic acid), 페놀(phenol), 탄산(carbonic acid), 니트로알칸(nitroalkane), 아세토아세트산에틸(ethyl acetoacetate), 말론산다이에틸(diethyl malonate), 2,4-펜타네이디온(2,4-pentanedione)을 포함할 수도 있으나, 이에 제한되지는 않는다. 상술한 pKa를 갖는 산은 하이브리드-그래핀층(100)에서의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)의 결함을 야기하지 않을 것이나, 하이브리드-그래핀층(100)의 제2 영역(120) 내의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)을 상호 연결하는 금속 나노 파티클(14)을 산화시킬 것이고, 금속 나노 파티클(14)을 전기적으로 절연된 파티클인 산화된 금속 나노 파티클(18)로 변화시킬 것이다. 또한, 금속 나노 파티클들(14)을 산화시키기 위한 산은 폴리머 매트릭스(16)를 고려하여 선택되어야 한다. 일부 산은 폴리머 매트릭스(16)와 반응할 수도 있고, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)과 폴리머 체인 사이의 결합을 방해할 수도 있다. 또한, 어떠한 산은 폴리머 매트릭스(16)의 황변 현상을 일으킬 수도 있기 때문에, 광학적으로 선명한 멀티-기능 하이브리드-그래핀층(100)이 필요한 경우 사용되는 폴리머 매트릭스(16)를 고려하여 황변 현상이 생기지 않는 산을 사용하는 것이 바람직하다.The metal nanoparticles 14 embedded in the hybrid-graphene layer 100 may be oxidized in various ways. For example, the metal nanoparticles 14 located in the region-treated region may be oxidized by treating the hybrid-graphene layer 100 with an acid. In the case where the acid is used to oxidize the metal nanoparticle 14, the acid for oxidizing the metal nanoparticle 14 should not create defects in the reduced graphene oxide platelet 12, and therefore, hybrid-graph. The metal nanoparticle 14 included in the fin composition 10 is preferably a metal that is easily oxidizable with a weak acid having a pKa acidity of about 4-11. Acids that can be used to oxidize the metal nanoparticles 14 include acetic acid, formic acid, carboxylic acid, phenol, carbonic acid, nitroalkane, Ethyl acetoacetate, diethyl malonate, 2,4-pentanedione, may be included, but is not limited thereto. The acid with pKa described above will not cause defects of the reduced graphene oxide platelet 12 in the hybrid-graphene layer 100, but reduced graphene in the second region 120 of the hybrid-graphene layer 100. It will oxidize the metal nanoparticles 14 interconnecting the fin oxide platelets 12 and transform the metal nanoparticles 14 into oxidized metal nanoparticles 18, which are electrically insulated particles. In addition, an acid for oxidizing the metal nanoparticles 14 should be selected in consideration of the polymer matrix 16. Some acids may react with the polymer matrix 16 and may interfere with the bond between the reduced graphene oxide platelet 12 and the polymer chain. In addition, since any acid may cause yellowing of the polymer matrix 16, an acid that does not occur in consideration of the polymer matrix 16 used when an optically clear multi-functional hybrid-graphene layer 100 is required. Preference is given to using.
상술한 바와 같이 산을 포함한 수용액을 사용한 선택적 산화 방법은 하이브리드-그래핀층(100)의 우수한 기체/수분 배리어 특성에 의해, 하이브리드-그래핀층(100)에 깊숙히 매립된 금속 나노 파티클(14)까지 완전히 산화시키는 것이 어려울 수 있다. 하이브리드-그래핀층(100)의 표면에만 전극을 형성하는 것이 아니라 하이브리드-그래핀층(100)의 내부 깊은 곳의 금속 나노 파티클(14) 까지도 산화시켜 전극을 형성하고자 할 때에는, 레이저 처리 방법을 사용할 수 있다. 하이브리드-그래핀층(100)의 원하는 영역을 통한 레이저의 침투 레벨 및 산화 레벨은 듀티 사이클(duty cycle), 출력, 파장, 노출 시간, 밀도 등과 같은 레이저처리에 관련된 다양한 파라미터(parameter)들을 조정할 수 있으며 이로 인해 하이브리드-그래핀층(100)의 원하는 깊이에 위치한 금속 나노 파티클(14)들 까지도 산화가 가능하다. 하이브리드-그래핀 조성물(10)에 사용된 폴리머에 따라 레이저를 이용하여 금속 나노 파티클(14)을 산화할 때 폴리머 매트릭스(16)의 경화 까지도 동시에 가능하다. As described above, the selective oxidation method using an aqueous solution containing an acid is completely up to the metal nanoparticles 14 embedded deep in the hybrid-graphene layer 100 due to the excellent gas / moisture barrier property of the hybrid-graphene layer 100. It can be difficult to oxidize. When not only forming the electrode on the surface of the hybrid-graphene layer 100 but also forming the electrode by oxidizing the metal nanoparticles 14 deep inside the hybrid-graphene layer 100, a laser treatment method may be used. have. The penetration level and oxidation level of the laser through the desired area of the hybrid-graphene layer 100 can adjust various parameters related to the laser processing such as duty cycle, power, wavelength, exposure time, density, etc. This enables oxidation even up to the metal nanoparticles 14 located at the desired depth of the hybrid-graphene layer 100. Depending on the polymer used in the hybrid-graphene composition 10, curing of the polymer matrix 16 is also possible at the same time when the metal nanoparticles 14 are oxidized using a laser.
하이브리드-그래핀층(100)이 표면 상에 코팅되거나 도포된 후에 산화 공정이 수행될 것임에 유의하여야 한다. 일 실시예에서는 하이브리드-그래핀 조성물(10)이 금속 부재(metal substrate), 폴리머층(polymeric layer) 또는 필름(film)과 같은 표면에 도포되어 하이브리드-그래핀층(100)이 형성된 후에 선택적 산화 공정이 이루어질 수 있다. 하지만 다른 실시예에서는 하이브리드-그래핀층(100)이 유기 발광 소자의 유기 발광층 또는 박막 트랜지스터의 액티브층과 같은 디바이스들의 민감한 부분상에 형성된 후 선택적 산화공정이 이루어 질 수 있다. 따라서, 산을 이용한 산화 방법에서의 산의 강도, 레이저를 이용한 산화 방법에서의 레이저의 강도는, 그와 같은 디바이스의 약한 부분들을 손상 시키지 않도록, 금속 나노 파티클(14)의 물질, 하이브리드-그래핀 조성물(10)에서의 금속 나노 파티클(14)의 양, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들이 평균적으로 포함하는 시트들의 개수, 하이브리드-그래핀층(100)을 형성하기 위해 도포된 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 두께 외에도 다양한 요소들을 고려하여 결정되어야 한다.Note that the oxidation process will be performed after the hybrid-graphene layer 100 is coated or applied onto the surface. In one embodiment, the hybrid-graphene composition 10 is applied to a surface such as a metal substrate, a polymeric layer, or a film to form a hybrid-graphene layer 100, followed by a selective oxidation process. This can be done. However, in another embodiment, a selective oxidation process may be performed after the hybrid-graphene layer 100 is formed on a sensitive portion of devices such as an organic light emitting layer of an organic light emitting device or an active layer of a thin film transistor. Thus, the strength of the acid in the oxidation method with acid, the strength of the laser in the oxidation method with laser, is the material of the metal nanoparticle 14, hybrid-graphene, so as not to damage the weak parts of such a device. The amount of metal nanoparticles 14 in the composition 10, the number of sheets that the reduced graphene oxide platelets 12 contain on average, the hybrid-graph applied to form the hybrid-graphene layer 100. In addition to the thickness of the fin composition 10, it should be determined in consideration of various factors.
또한 일 실시예에서는 산을 이용한 산화방법과 레이저를 이용한 산화방법을 복합적으로 사용하여 하이브리드-그래핀층(100)의 금속 나노 파티클(14)들을 산화시킬 수 있다. 이처럼 복합적인 방법으로 금속 나노 파티클(14)들을 산화시키는 경우에는 한가지 산화 방법을 사용할 때보다 더 빠른 시간 내에 원하는 만큼의 정확한 산화를 이루어 낼 수 있다. 또 다른 실시예에서는 레이저를 이용한 산화 방법을 먼저 사용하여 하이브리드-그래핀층(100)의 폴리머 매트릭스(16)의 경화 및 금속 나노 파티클(14)들의 산화 후에 약산을 이용한 두번째 산화과정을 더 수행하여 디바이스의 약한 부분에 손상이 가지 않도록 할 수 있다.In addition, in one embodiment, the metal nanoparticles 14 of the hybrid graphene layer 100 may be oxidized by using a combination of an acid oxidation method and a laser oxidation method. When the metal nanoparticles 14 are oxidized in such a complex manner, the precise oxidation of the metal nanoparticles 14 can be achieved in a faster time than when using one oxidation method. In another embodiment, a laser oxidation method is first used to further perform a second oxidation process using a weak acid after curing the polymer matrix 16 of the hybrid-graphene layer 100 and oxidation of the metal nanoparticles 14. It can prevent damage to weak areas.
Graphene Oxide 용액의 생성Generation of Graphene Oxide Solution
도 2 및 도 3은 하이브리드-그래핀층(100)을 형성하는 예시적인 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 예시적인 방법들 둘 모두에서, 대부분 복수의 층들의 그래핀 옥사이드 시트들로 형성된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 분산된 액상이 만들어내는 단계가 포함된다 (S210, S310). 그래핀 옥사이드의 액상 분산에 사용되는 가장 흔한 기술은 흑연을 산화시켜 흑연 옥사이드를 형성하고, 그 후, 흑연 옥사이드를 박리하여 그래핀 옥사이드의 플레이트렛들 생성하는 것이다.2 and 3 are flowcharts illustrating an exemplary method of forming hybrid-graphene layer 100. In both of the exemplary methods, a dispersed liquid phase of graphene oxide platelets formed mostly of a plurality of layers of graphene oxide sheets is included (S210, S310). The most common technique used for liquid phase dispersion of graphene oxide is to oxidize graphite to form graphite oxide, which is then stripped off to produce platelets of graphene oxide.
이와 같이 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 흑연 옥사이드로부터 생성되는 경우, 흑연 옥사이드의 각각의 그래핀 시트들은, 히드록실(hydroxyl) 작용기, 에폭시드(epoxide) 작용기, 카보닐(carbonyl) 작용기, 및 카르복실(carboxylic) 작용기를 포함하는 산소-작용기들에 의해 심하게 작용기화 (functionalized)되고, 그래핀 시트간 간격이 원래의 0.34㎚으로부터 약 0.72㎚ 이상으로 확장된다. 또한, 작용기들이 그래핀 시트들을 친수성으로 만들어 그래핀 시트들 사이의 물 분자들의 인터칼레이션(intercalation)이 쉽게 일어나게 된다. 그러므로, 흑연으로부터 그래핀을 직접 박리하는 것보다, 흑연 옥사이드로부터 그래핀을 박리하는 것이 훨씬 쉽다. 따라서, 단일 또는 다수의 층의 그래핀 옥사이드 시트들로 구성된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 분산용액을 생산하기 위해, 흑연 옥사이드는 초음파 처리(sonication) 및 원심 분리(예를 들어, 4000rpm으로 약 30분간)에 의해 증류수 내에서 박리될 수 있으며 남아있는 팽창 흑연 옥사이드 또한 분산용액으로부터 제거될 수 있다.As such graphene oxide platelets are produced from graphite oxide, each of the graphene sheets of graphite oxide has a hydroxyl functional group, an epoxide functional group, a carbonyl functional group, and a carboxyl ( It is heavily functionalized by oxygen-functional groups, including carboxylic) functional groups, and the graphene sheet-to-sheet spacing extends from the original 0.34 nm to about 0.72 nm or more. In addition, functional groups make the graphene sheets hydrophilic, so that intercalation of water molecules between the graphene sheets easily occurs. Therefore, it is much easier to peel graphene from graphite oxide than to directly peel graphene from graphite. Thus, in order to produce a dispersion of graphene oxide platelets consisting of single or multiple layers of graphene oxide sheets, the graphite oxide is subjected to sonication and centrifugation (eg, about 30 minutes at 4000 rpm). Can be exfoliated in distilled water and the remaining expanded graphite oxide can also be removed from the dispersion.
본 명세서에서 "플레이트렛"은 하나의 그래핀 시트로 구성 될 수도 있지만 다수의(2 내지 10층) 시트들이 겹쳐진 구조로 이루어져 있는 것을 표현한다는 것을 기억할 때 그래핀 옥사이드 플레이트렛의 두께는 단일-층 환원된 그래핀(즉, 0.72㎚)보다 클 수도 있고, 다수의 층들로 형성되어 결과적으로 1 내지 8㎚일 수도 있다.The term “platelet” herein may be composed of a single graphene sheet, but the thickness of the graphene oxide platelets is single-layered, remembering that multiple (2-10 layers) sheets represent an overlapping structure. It may be larger than reduced graphene (ie 0.72 nm), or may be formed of multiple layers and consequently 1 to 8 nm.
흑연 옥사이드를 생산하기 위한 흑연의 산화를 수행하기 위한 용매는 특별히 제한되지 않는다. 바람직한 매질은 물이지만, 조용매들 또는 첨가제들이 소수성 흑연 플레이크들(flakes)의 젖음(wetting)을 향상시키는데 사용될 수 있다. 용매들 및/또는 활성제들은 단독으로 또는 조합되어 사용될 수도 있다. 바람직한 활성제들은 메탄올(methanol), 에탄올(ethanol), 부탄올(butanol), 프로판올(propanol), 글리콜(glycols), 수용성 에테르류(esters) 및 에스테르류(ethers), 비-이온 에틸렌 옥사이드(ethylene oxide), 프로필렌 옥사이드(propylene oxide) 및 그들의 공중합체들과 같은 계면 활성제, Tergitol 계열 계면 활성제 또는 Triton 계열 계면 활성제들과 같은 알킬(alkyl) 계면 활성제들, 또는 에틸렌 옥사이드(ethylene oxide) 및 프로필렌 옥사이드(propylene oxide) 또는 부틸렌(butylene) 옥사이드 유닛들을 갖는 계면 활성제들을 포함한다. 조용매들 및 계면 활성제들은 용액상 0.0001 중량% 로부터 10중량%의 레벨에서 사용될 수 있다. 조용매들 및 계면 활성제들의 양은 용액상에 기초한 0.001, 0.005, 0.01, 0.05, 0.1, 0.5, 1, 1.5, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5, 5, 5.5, 6, 6.5, 7, 7.5, 8, 8.5, 9 및 9.5 중량%를 포함하는 모든 값들을 포함하고, 그들 사이의 서브 값들도 포함한다. 인터카런트(intercalant)는 무기산들 또는 그들의 염들을 단독으로 또는 혼합물로 포함하고, 바람직하게는 HNO3, H2SO4, HCl, HCl, KCl포함하나, 이에 제한되지는 않는다.The solvent for carrying out the oxidation of the graphite for producing the graphite oxide is not particularly limited. Preferred media is water, but co-solvents or additives may be used to enhance the wetting of hydrophobic graphite flakes. Solvents and / or activators may be used alone or in combination. Preferred active agents are methanol, ethanol, butanol, propanol, glycols, water soluble ethers and esters, non-ionic ethylene oxide , Surfactants such as propylene oxide and their copolymers, alkyl surfactants such as Tergitol based or Triton based surfactants, or ethylene oxide and propylene oxide Or surfactants with butylene oxide units. Co-solvents and surfactants can be used at levels from 0.0001% to 10% by weight in solution. The amount of cosolvents and surfactants is 0.001, 0.005, 0.01, 0.05, 0.1, 0.5, 1, 1.5, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5, 5, 5.5, 6, 6.5, 7, based on the solution phase All values including 7.5, 8, 8.5, 9 and 9.5 weight percent are included and subvalues there between. Intercalants include, but are not limited to, inorganic acids or salts thereof, alone or in mixtures, preferably HNO 3 , H 2 SO 4 , HCl, HCl, KCl.
그래핀 옥사이드 시트들 상의 극성 작용기들은 바람직하게는 히드록실(hydroxyl)기, 에폭시(epoxy)기 및 카르복실산기(carboxylic acid group) 또는 그들의 유도체이다. 이러한 극성 작용기들은 극성 작용기들에 대해 반응성인 분자들을 사용하여 작용기화될 수 있다. 작용기들의 하나의 타입 이상이 포함될 수도 있다 예를 들어, 알킬 아민(alkyl amines) 및 다이알킬 아민(dialkyl amines)은 에폭사이드(epoxide)에 대한 반응에 의해 표면에 소수성을 추가하는데 사용될 수 있고, 그래핀 옥사이드 시트 표면들을 공유 결합으로 가교 결합하는데 사용될 수 있다. 산 염화물은 알킬(alkyl)기를 첨가하기 위해 히드록실(hydroxyl)과 반응할 수 있다. 카르복실(carboxylic) 산과의 아민(amines) 또는 히드록실(hydroxyl)의 반응은 알킬(alkyl)기를 첨가하여 그래핀 옥사이드 시트 표면을 보다 소수성으로 만들기 위해 작용기들을 부착하는데 사용될 수 있다. 그래핀 옥사이드 시트 표면들은 에틸렌(ethylene) 옥사이드, 주 및 보조 아민(amines) 및, 예를 들어, 상술한 화합물을 사용한 산 작용기를 첨가함에 의해 보다 더 소수성이 될 수 있다.Polar functional groups on graphene oxide sheets are preferably hydroxyl, epoxy and carboxylic acid groups or derivatives thereof. Such polar functional groups can be functionalized using molecules that are reactive toward polar functional groups. One or more types of functional groups may be included. For example, alkyl amines and dialkyl amines may be used to add hydrophobicity to the surface by reaction to epoxides, so Fin oxide sheet surfaces can be used to crosslink covalently. Acid chlorides can react with hydroxyls to add alkyl groups. The reaction of amines or hydroxyls with carboxylic acids can be used to attach functional groups to add alkyl groups to make the graphene oxide sheet surface more hydrophobic. Graphene oxide sheet surfaces can be made more hydrophobic by adding ethylene oxide, primary and secondary amines, and acid functionalities, for example using the compounds described above.
일 실시예에서 그래핀 옥사이드 플레이트렛의 작용기를 변경시키는 것은 추후 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들의 표면과 폴리머 매트릭스(16) 사이의 상호 결합력을 더욱 증가시킬 수 있는 작용기를 그래프팅(grafting)하는 것일 수도 있다. 이러한 그래프팅에 사용되는 물질은 매트릭스화 되어있을 때의 폴리머의 저(low) 분자량과 유사한 분자량 또는 매트릭스화 되어있을 때의 폴리머가 지닌 반응성 기능을 가진 폴리머들이 사용된 수 있다. 이들은 작용기를 가진 그래핀 옥사이드 플레이트렛과 올레핀(olefin) 폴리머들 사이의 호환성을 유도하기 위해 아세트산비닐(vinyl acetate) 또는 말레산무수물(maleic anhydride)의 폴리에틸렌(polyethylene) 또는 폴리프로필렌(polypropylene) 공중합체들, 또는 그들의 혼합물을 포함할 수도 있다.In one embodiment altering the functional groups of the graphene oxide platelets may later grafting functional groups that may further increase the mutual bonding force between the surface of the reduced graphene oxide platelets 12 and the polymer matrix 16. May be). The material used for this grafting may be a polymer having a molecular weight similar to the low molecular weight of the polymer when matrixed or having a reactive function of the polymer when matrixed. They are polyethylene or polypropylene copolymers of vinyl acetate or maleic anhydride to induce compatibility between functional graphene oxide platelets and olefin polymers. Or a mixture thereof.
상술한 바와 같이, 더 긴 기체/수분 침투 억제 경로는 증가된 횡방향 더 큰 크기를 갖는 그래핀에 의해 생성될 수 있다. 그래핀 옥사이드 플레이트렛의 최대 크기는 이를 생성하는데 사용되는 소스(source), 즉 흑연 자체의 크기에 의해 결정되지만 그래핀 옥사이드 용액의 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 평균적인 크기는 그래핀 옥사이드 용액의 형성 동안의 산화, 초음파 처리 시간, 원심 분리 속도의 조정에 의해 나노 단위로 제어될 수 있다. 예를 들어, 원심 분리 속도(rpm)가 높아질수록, 상층부에서 층 분리된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 크기는 작아진다. 상술한 바와 같이, 초음파 처리된 흑연의 분산액은, 원심 분리 단계를 통해 제거될 수 있는 팽창 흑연결정을 포함한다. 일 예시로서, 500 rpm의 원심 분리를 통해, 분산된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 남기는 반면 박리되지 않은 흑연 결정을 제거할 수 있다. 그러나, 원심 분리 속도는 얻고자 하는 그래핀 옥사이드 플레이트렛의 크기에 따라 감소 또는 증가될 수 있다. 오직 팽창 흑연 결정들을 제거하기 위해 500 rpm을 사용한 원심 분리로는 작은 플레이트렛들이 포함된 첫 번째 상청액(supernatant), 그 외의 다른 크기의 플레이트렛이 재-분산되는 침전물(sediment), 그리고 원심 분리된 침전물 및 흑연 결정들이 포함된 두 번째 상청액일 수 있다. 그러나, 재-분산된 침전물을 위해 더 높은 원심 분리 속도가 선택될 수 있다. 이는 결정들 및 가장 큰 사이즈의 플레이트렛들을 제거하고, 중간 크기의 플레이트렛들만 분산되어 남도록 한다. 이렇게 더 높은 원심 분리 속도를 사용할 경우에는, 작은 플레이트렛들을 포함하는 상청액, 원심 분리된 중간 크기의 플레이트렛들을 포함하는 침전물, 그리고 큰 플레이트렛들 및 흑연결정들이 포함된 두번째 침전물을 얻을 수 있다. 이러한 방식을 통해 원하는 0.5 μm 내지 10 μm 사이의 횡방향의 길이 (lateral length)를 가지는 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산된 용액을 얻을 수 있다.As mentioned above, longer gas / moisture penetration inhibition pathways can be produced by graphene with increased transverse larger size. The maximum size of the graphene oxide platelets is determined by the size of the source used to produce them, i.e., the graphite itself, but the average size of the graphene oxide platelets in the graphene oxide solution is during the formation of the graphene oxide solution. Can be controlled in nano units by adjustment of oxidation, sonication time, and centrifugation rate. For example, the higher the centrifugation rate (rpm), the smaller the size of the graphene oxide platelets layered at the top. As described above, the dispersion of the sonicated graphite comprises expanded graphite crystals that can be removed through centrifugation. As an example, centrifugation at 500 rpm can remove graphite crystals that did not exfoliate while leaving dispersed graphene oxide platelets. However, the centrifugation rate may be reduced or increased depending on the size of the graphene oxide platelets to be obtained. Centrifugation using 500 rpm to remove only the expanded graphite crystals includes the first supernatant containing small platelets, sediment from which other sized platelets are re-dispersed, and centrifuged. It may be a second supernatant containing precipitates and graphite crystals. However, higher centrifugation rates can be selected for re-dispersed precipitates. This removes the crystals and the largest size platelets, leaving only the medium size platelets to be dispersed. With this higher centrifugation rate, a supernatant containing small platelets, a precipitate containing medium sized platelets centrifuged, and a second precipitate containing large platelets and graphite crystals can be obtained. In this way it is possible to obtain a solution in which graphene oxide platelets having a lateral length of between 0.5 μm and 10 μm are dispersed.
GO의 화학적 환원Chemical reduction of GO
그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 그래핀 옥사이드 시트는 원시 그래핀의 다양한 특성보다 훨씬 좋지 않은 전기적인 그리고 기체/수분 배리어 특성을 가지고 있다. 전기적인 특성은 그래핀 옥사이드와 원시 그래핀 사이의 가장 큰 차이점 중 하나이다. 그래핀의 도전성은 그래핀 격자의 원거리 공액 네트워크에 의존한다. 그러나, 그래핀 옥사이드를 생성하는 과정에서의 화학 공정은 공액 구조를 부수고, π-전자들을 국한시켜 훨씬 낮은 캐리어 이동도 및 캐리어 농도를 가져온다. 그래핀 옥사이드에 공액 영역들이 있더라도, 원거리(>㎛) 도전성은, sp2 탄소 클러스터들 사이의 경로의 부재에 의해 본래 그래핀 처럼 캐리어 이동이 일어나지 않게 차단된다. 이러한 이유로, 그래핀 옥사이드 시트들은 통상적으로 약 1012Ω/square 이상의 면저항을 가진 절연물질이다.Graphene oxide sheets of graphene oxide platelets have electrical and gas / moisture barrier properties that are much worse than the various properties of raw graphene. The electrical properties are one of the biggest differences between graphene oxide and raw graphene. The conductivity of graphene depends on the far conjugated network of the graphene lattice. However, the chemical process in the production of graphene oxide breaks the conjugated structure and confines π-electrons resulting in much lower carrier mobility and carrier concentration. Even though there are conjugated regions in graphene oxide, the far (> µm) conductivity is blocked such that carrier movement does not occur as inherently graphene by the absence of a path between sp 2 carbon clusters. For this reason, graphene oxide sheets are typically insulating materials having a sheet resistance of about 10 12 Ω / square or more.
도 2 에 나와있는 것과 같이, 하이브리드-그래핀층(100)을 형성하는 방법 (200)은 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 환원을 통해 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산된 용액을 얻어내는 단계(S220)를 포함한다. 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 환원은 다양한 방식으로 수행될 수 있다. 일 실시예에서, 그래핀 옥사이드 플레이트렛들은 하이드라진 하이드레이트(hydrazine hydrate), 디메틸히드라진(dimethylhydrazine), 하이드로퀴논(hydroquinone) 및 NaBH4와 같은 환원제를 사용한 용액에서 화학적으로 환원하게 되면, 공액 구조 및 다른 분자 단위 격자 결함들이 일부 회복되고 산소 작용기들이 제거되어, 그래핀 옥사이드 시트들을 본연의 그래핀과 같은(graphene-like) 환원된 그래핀 플레이트렛들로 변환된다. sp2 탄소 결합 네트워크의 회복은 전기적 도전성 및 다른 특성들을 부분적으로 복원하는데 도움을 준다. As shown in FIG. 2, the method 200 for forming the hybrid-graphene layer 100 may include obtaining a solution in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed through reduction of the graphene oxide platelets (S220). It includes. Reduction of graphene oxide platelets can be performed in a variety of ways. In one embodiment, graphene oxide platelets are chemically reduced in solution with reducing agents such as hydrazine hydrate, dimethylhydrazine, hydroquinone, and NaBH 4 , resulting in conjugated structures and other molecules. Partial lattice defects are partially recovered and oxygen functionalities are removed to convert the graphene oxide sheets into native graphene-like reduced graphene platelets. Recovery of the sp 2 carbon bond network helps to partially restore electrical conductivity and other properties.
하이브리드-그래핀 조성물의 형성Formation of Hybrid-Graphene Compositions
상술한 바와 같이 하이브리드-그래핀 조성물은 폴리머 매트릭스, 필러로서의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들 및 금속 나노 파티클들을 포함한다. 따라서, 하이브리드-그래핀층(100)을 형성하는 방법 (200)은, 하이브리드-그래핀 조성물을 획득하기 위해 폴리머 및 금속 나노 파티클들이 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(rGO 콜로이드 용액)과 혼합하는 단계(S230)를 포함한다.As mentioned above, the hybrid-graphene composition comprises a polymer matrix, reduced graphene oxide platelets as filler and metal nanoparticles. Thus, the method 200 of forming the hybrid-graphene layer 100 comprises mixing polymer and metal nanoparticles with reduced graphene oxide platelets (rGO colloidal solution) to obtain a hybrid-graphene composition. (S230).
본 명세서에서의 하이브리드-그래핀 조성물의 폴리머 매트릭스는 열가소성 폴리머들, 탄성 폴리머들, 및 그들의 혼합물을 포함할 수도 있다. 적합한 열가소성 폴리머들은 폴리이미드(polyimide), 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone; PVP), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethyl methacrylate)와 같은 메타크릴레이트(methacrylate), 에폭시 수지(epoxies), 폴리프로필렌(polypropylene)h가 같은 폴리올레핀(polyolefins), 폴리스티렌(polystyrene), 및 폴리(ε-카프로락톤(ε-caprolactone))을 포함하나, 이에 제한되지는 않는다. 또한, 적합한 탄성 폴리머들은 아크릴로나이트릴뷰타다이엔(acrylonitrile butadiene) 공중합체, 삼중 블록 공중합체 아키텍쳐를 갖는 탄성중합체들, 폴리(스틸렌-b-부타디엔(styrene-b-butadiene) 공중합체들, BR 및 스틸렌-부타디엔 공중합체(SBR) 가황물, 천연 및 합성 고무, 부타디엔(butadiene) 및 아크릴로나이트릴(acrylonitrile) 공중합체(NBR), 폴리부타디엔(polybutadiene), 폴리에스테르아미드(polyesteramide), 클로로프렌(chloroprene) 고무 (CR) 및 이들의 혼합물을 포함하나, 이에 제한되지 않는다. 또한 PMMA 혹은 PE 같은 비결정성 내지 결정성 플라스틱도 폴리머로 사용될 수 있다. 게다가, 이러한 폴리머들의 모노머 전구체들를 사용하여 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 섞여있는 상태에서 중합 반응을 일으켜 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 합성할 수도 있다. 폴리머들 및/또는 그들의 전구체들은 단독으로 또는 복합적으로 사용될 수 있다.The polymer matrix of the hybrid-graphene composition herein may comprise thermoplastic polymers, elastic polymers, and mixtures thereof. Suitable thermoplastic polymers include polyimide, polyvinylpyrrolidone (PVP), polyurethane, methacrylates such as polymethyl methacrylate, epoxy resins Polypropylenes include, but are not limited to, polyolefins, polystyrene, and poly (ε-caprolactone). Also suitable elastomeric polymers are acrylonitrile butadiene copolymers, elastomers with a triple block copolymer architecture, poly (styrene-b-butadiene copolymers, BR and Styrene-Butadiene Copolymer (SBR) Vulcanizer, Natural and Synthetic Rubber, Butadiene and Acrylonitrile Copolymer (NBR), Polybutadiene, Polyesteramide, Chloroprene ) Rubbers (CR) and mixtures thereof, including but not limited to, amorphous or crystalline plastics such as PMMA or PE may also be used as polymers, in addition, graphene reduced using monomer precursors of these polymers. It is also possible to synthesize the hybrid-graphene composition 10 by causing a polymerization reaction in the presence of oxide platelets. And / or their precursors may be used alone or in combination.
환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 큰 종횡비 및 폴리머 매트릭스와 인터페이싱하는 매우 높은 표면 영역은 향상된 기체/수분 배리어 특성뿐만 아니라 기계적 특성을 갖는 하이브리드-그래핀 조성물의 생산을 가능하게 한다. 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 종횡비는 약 10 내지 약 10000까지 가능하지만, 약 100보다 큰 것이 바람직하고, 이는 3%만큼 낮은 부하 레벨에서의 인장 탄성율을 증가시킨다. 상술한 바와 같이 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 인터페이싱 특성은 폴리머 매트릭스 내에서의 분산 및 인터페이싱 강도를 향상시키는 계면 활성제들에 의해 제어될 수 있으며 이러한 계면 활성제들은 하이브리드-그래핀층(100)의 기체/수분 배리어 특성을 변경시킨다. 계면 활성제는 음이온 계면 활성제, 양이온 계면 활성제, 비이온 계면 활성제 및 이들의 혼합물을 포함하나, 이에 제한되지 않는다.The large aspect ratios of the reduced graphene oxide platelets and the very high surface area interfacing with the polymer matrix enable the production of hybrid-graphene compositions with improved gas / moisture barrier properties as well as mechanical properties. The aspect ratio of the reduced graphene oxide platelets can be from about 10 to about 10000, but preferably greater than about 100, which increases the tensile modulus at load levels as low as 3%. The interfacial properties of the reduced graphene oxide platelets as described above can be controlled by surfactants that enhance the dispersion and interfacial strength in the polymer matrix and these surfactants may be the gas / gas of the hybrid-graphene layer 100. Change the moisture barrier properties. Surfactants include, but are not limited to, anionic surfactants, cationic surfactants, nonionic surfactants, and mixtures thereof.
하이브리드-그래핀층(100)의 선택적인 영역에서의 금속 나노 파티클(14)들을 산화를 통해 해당 영역의 전기적 특성을 변화시켜야 하므로, 하이브리드-그래핀 조성물(10)에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들을 상호 연결하는 금속 나노 파티클(14)들은 산화 가능한 금속 나노 파티클(14)들 이어야 한다. 상술한 바와 같이, 하이브리드-그래핀층(100)의 금속 나노 파티클(14)은 하이브리드-그래핀층(100)의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들에 결함을 생성하지 않는 약산에 의해 산화 가능한 금속 물질이다. 예를 들어, 하이브리드-그래핀층(100)에서의 금속 나노 파티클(14)은 약 4 내지 11의 pKa 갖는 약산으로 산화될 수 있다. 본 명세서에서 사용 가능한 산은 아세트산(acetic acid), 포름산(formic acid), 카르복실산(carboxylic acid), 페놀(phenol), 탄산(carbonic acid), 니트로알칸(nitroalkane), 아세토아세트산에틸(ethyl acetoacetate), 말론산다이에틸(diethyl malonate), 2,4-펜타네이디온(2,4-pentanedione)을 포함할 수도 있으나, 이에 제한되지는 않는다. 상술한 pKa를 갖는 산들은 하이브리드-그래핀층(100)의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들에 결함을 발생시키지 않을 것이나, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들을 상호 연결하는 금속 나노 파티클(14)들을 산화시키기에는 충분하고, 하이브리드-그래핀층(100)의 선택적인 영역 내의 금속 나노 파티클(14)을 전기적으로 절연 파티클로 변화시킨다.Since the metal nanoparticles 14 in the selective region of the hybrid-graphene layer 100 must be changed by oxidation to change the electrical properties of the corresponding region, the graphene oxide platelets reduced in the hybrid-graphene composition 10 ( The metal nanoparticles 14 interconnecting 12 should be oxidizable metal nanoparticles 14. As described above, the metal nanoparticles 14 of the hybrid-graphene layer 100 are oxidizable by weak acids that do not create defects in the reduced graphene oxide platelets 12 of the hybrid-graphene layer 100. Metal material. For example, the metal nanoparticles 14 in the hybrid-graphene layer 100 may be oxidized with a weak acid having a pKa of about 4-11. Acids usable herein are acetic acid, formic acid, carboxylic acid, phenol, carbonic acid, nitroalkane, ethyl acetoacetate , Diethyl malonate, 2,4-pentanedione (2,4-pentanedione) may include, but is not limited thereto. The acids with pKa described above will not cause defects in the reduced graphene oxide platelets 12 of the hybrid-graphene layer 100, but the metal nano interconnects the reduced graphene oxide platelets 12. It is sufficient to oxidize the particles 14 and transform the metal nanoparticles 14 in an optional region of the hybrid-graphene layer 100 into electrically insulating particles.
하이브리드-그래핀 조성물(10)에서 사용가능한 금속 나노 파티클(14)로는 백금(Pt), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 및 이들의 조합을 사용할 수 있다. 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 금속 나노 파티클(14)들은 이러한 물질들로 제한되지 않으며, 금속 나노 파티클(14)들은 도전성이고 산화 가능한 금속 물질이면 충분하다.As the metal nanoparticles 14 usable in the hybrid-graphene composition 10, platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), and combinations thereof may be used. . The metal nanoparticles 14 of the hybrid-graphene composition 10 are not limited to these materials, and the metal nanoparticles 14 may be a conductive and oxidizable metal material.
하이브리드-그래핀층(100)을 형성하는 방법(200)은 하이브리드-그래핀층을 형성하기 위해 하이브리드-그래핀 조성물을 타겟 표면 상에 도포하는 단계(S240)를 포함한다. 또한, 하이브리드-그래핀 조성물은 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 슬롯 코팅, 스크린 프린팅, 딥(dip) 코팅 방법 등과 같은 것들을 포함하는 다양한 용액 기반의 방법들에 의해 도포될 수 있다. 일부 실시예에서, 하이브리드-그래핀 조성물(10)로 코팅되는 표면은 표면 상의 하이브리드-그래핀 조성물(10)의 접착을 돕도록 기능화(functionalized)될 수도 있다. 또한, 타겟 표면을 코팅하는 때에, 하이브리드-그래핀층(100)은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들에 대한 고형분만의 밀도 아래에서, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들에 대한 고형분만의 밀도에서, 또는 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들에 대한고형분만의 밀도 위에서 형성될 수도 있다.The method 200 of forming the hybrid-graphene layer 100 includes applying a hybrid-graphene composition onto a target surface (S240) to form a hybrid-graphene layer. In addition, the hybrid-graphene composition may be applied by a variety of solution based methods including those such as spin coating, spray coating, slot coating, screen printing, dip coating methods and the like. In some embodiments, the surface coated with the hybrid-graphene composition 10 may be functionalized to assist in the adhesion of the hybrid-graphene composition 10 on the surface. In addition, when coating the target surface, the hybrid-graphene layer 100 is reduced to the reduced graphene oxide platelets 12, below the density of solids only for the reduced graphene oxide platelets 12. It may be formed at a density of solids or above the density of solids for the reduced graphene oxide platelets 12.
또한 하이브리드-그래핀층(100)을 형성하는 방법(200)은 하이브리드-그래핀층(100)의 선택적인 영역의 금속 나노 파티클(14)들을 산화하는 단계(S250)를 포함한다. 산화된 금속 나노 파티클(18)들을 통해 상호 연결된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들로 구성된 하이브리드-그래핀층(100)의 영역은 산화되지 않은 금속 나노 파티클(14)들을 통해 상호 연결된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들로 구성된 영역보다 훨씬 큰 면저항값을 가지게 된다. 금속 나노 파티클(14)들의 산화는 다양한 방식으로 달성될 수 있다.The method 200 of forming the hybrid-graphene layer 100 also includes oxidizing the metal nanoparticles 14 in an optional region of the hybrid-graphene layer 100 (S250). The region of the hybrid-graphene layer 100 composed of reduced graphene oxide platelets 12 interconnected through oxidized metal nanoparticles 18 is reduced interconnected through unoxidized metal nanoparticles 14. It has a sheet resistance much larger than that of the graphene oxide platelets 12. Oxidation of the metal nanoparticles 14 can be accomplished in a variety of ways.
일 실시예에서, 하이브리드-그래핀층(100)의 선택된 영역에서의 금속 나노 파티클(14)들을 산화하도록 하이브리드-그래핀층(100)의 선택된 영역 상에서 산화 처리가 수행된다. 레지스트(보호막)들은 낮은 면저항이 요구되는 영역, 즉, 전극으로 기능하기 위한 도전성 영역에 형성된다. 레지스트들은 보호된 영역에서 금속 나노 파티클(14)들이 산에 의해 산화되는 것을 방지하는 반면, 하이브리드-그래핀층(100)의 나머지 영역에서의 금속 나노 파티클(14)들은 산화된다. 산 처리 공정 시간은 하이브리드-그래핀층(100)에 포함된 금속 나노 파티클(14)들 및 폴리머의 타입, 처리 공정에서 사용되는 산, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들의 고형분만의 밀도뿐만 아니라 하이브리드-그래핀층(100)에 형성될 전극패턴의 형상, 밀도 및 크기 등 다양한 요소들에 의존하여 변화할 수 있다. 레지스트 부재는 레지스트 부재에 의해 보호되지 않은 영역의 금속 나노 파티클(14)의 산화가 완료되면 제거될 수 있다. 하지만 상술했듯이 산이 폴리머 매트릭스(16) 사이를 투과하여 하이브리드-그래핀층(100)의 하단부에 위치한 금속 나노 파티클(14)까지 모두 산화시키는 것에는 제약이 따를 수 있고, 하이브리드-그래핀층(100)의 상부만 산화될 시에는 하부로 통전이 되어 완전한 전극의 단순히 면저항값의 차를 이용하는 전극 이외에는 사용이 어려울 수 있다. In one embodiment, an oxidation process is performed on the selected region of the hybrid-graphene layer 100 to oxidize the metal nanoparticles 14 in the selected region of the hybrid-graphene layer 100. The resists (protective films) are formed in regions where low sheet resistance is required, that is, conductive regions for functioning as electrodes. The resists prevent the metal nanoparticles 14 from being oxidized by acid in the protected area, while the metal nanoparticles 14 in the remaining area of the hybrid-graphene layer 100 are oxidized. The acid treatment process time is based on the type of the metal nanoparticles 14 and the polymer included in the hybrid-graphene layer 100, the density of the solids of the acid and the reduced graphene oxide platelets 12 used in the treatment process. However, it may vary depending on various factors such as the shape, density and size of the electrode pattern to be formed on the hybrid-graphene layer 100. The resist member may be removed when the oxidation of the metal nanoparticles 14 in the region not protected by the resist member is completed. However, as described above, acid may penetrate between the polymer matrix 16 and oxidize all of the metal nanoparticles 14 located at the lower end of the hybrid graphene layer 100, and thus, the hybrid graphene layer 100 may be restricted. When only the upper part is oxidized, it may be difficult to use except for an electrode that is energized to the lower part and simply uses a difference in sheet resistance of the complete electrode.
일 실시예에서, 하이브리드-그래핀층(100)의 선택된 영역에서의 금속 나노 파티클(14)들을 산화하도록 하이브리드-그래핀층(100)의 선택된 영역 상에서 레이저 산화 처리가 수행될 수 있다. 하이브리드-그래핀층(100)중 각각의 선택적인 영역은 개별적으로 레이저로 처리되어 그 영 역내부의 금속 나노 파티클(14)들이 산화 될 수 있다. 보다 복잡한 패터닝을 위해 메탈 마스크(Fine Metal Mask)를 사용하여 타겟 표면에 코팅된 하이브리드-그래핀층(100)의 여러 부위를 한번에 레이저에 노출시켜 동시에 패턴을 할 수도 있다. 하이브리드-그래핀층(100)을 통해 하이브리드-그래핀(100)층 내의 금속 나노 파티클(14)들을 산화하기 위한 레이저의 침투 레벨은 듀티 사이클, 출력, 파장, 노출 시간 등과 같은 레이저 처리에 관련된 다양한 파라미터들을 조정하여 제어될 수 있다.In one embodiment, laser oxidation may be performed on selected areas of the hybrid-graphene layer 100 to oxidize the metal nanoparticles 14 in selected areas of the hybrid-graphene layer 100. Each optional region of the hybrid-graphene layer 100 may be individually lasered to oxidize the metal nanoparticles 14 within the region. For more complex patterning, a pattern of the hybrid-graphene layer 100 coated on the target surface may be exposed to the laser at one time by using a metal mask. The penetration level of the laser for oxidizing the metal nanoparticles 14 in the hybrid-graphene 100 layer through the hybrid-graphene layer 100 is determined by various parameters related to laser processing such as duty cycle, power, wavelength, exposure time, and the like. Can be controlled by adjusting them.
도전성 또는 비-도전성 중 하나로 전면이 통일된 전기적 특성을 가지는 종래의 그래핀 조성물로 만들어진 층들과는 달리 본 발명의 하이브리드-그래핀층(100)은 그 층 중 선택적인 영역들이 그 외의 영역과 상이한 전기적 특성을 가지도록 패터닝하는 것이 가능하다. 하이브리드-그래핀층(100) 내의 영역들에 선택적으로 상이한 면저항값을 가지게 함으로써, 기체/수분 배리어층 상에 별도의 전극층을 형성하지 않고 바로 하이브리드-그래핀층(100)에 직접 전극 패턴들을 형성하는 것이 가능하다. 이와 같이, 하이브리드-그래핀층(100)은 진정한 멀티-기능층, 즉, 투명하고 플렉서블한 전극 패턴의 역할과 기체/수분 배리어층으로의 역할을 동시에 제공하는 진정한 멀티-기능층으로 사용될 수 있다.In contrast to layers made of conventional graphene compositions having uniform electrical properties on the front, either conductive or non-conductive, the hybrid-graphene layer 100 of the present invention is characterized in that the selective regions of the layers differ in electrical properties from other regions. It is possible to pattern to have. By selectively having different sheet resistance values in the regions in the hybrid-graphene layer 100, it is possible to directly form the electrode patterns directly in the hybrid-graphene layer 100 without forming a separate electrode layer on the gas / moisture barrier layer. It is possible. As such, the hybrid-graphene layer 100 may be used as a true multi-functional layer, that is, a true multi-functional layer that simultaneously serves as a transparent and flexible electrode pattern and serves as a gas / moisture barrier layer.
화학적 환원 방법Chemical reduction method
화학적으로 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 환원하여 전기적 특성 및 기체/수분 배리어 특성은 일부 복원할 수 있지만, 화학적 환원 방법은 대부분 그래핀 옥사이드 플레이트렛들에 결함을 발생시킨다. 또한, 화학적 환원법으로 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들은 일반적인 유기 용매에 분산도(dispersibility)를 감소시켜 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 재적층(re-stacking) 및 재응집(re-aggregation)을 유발한다. While chemically reducing graphene oxide platelets can partially restore the electrical and gas / moisture barrier properties, chemical reduction methods mostly cause defects in graphene oxide platelets. In addition, graphene oxide platelets reduced by chemical reduction method reduce dispersibility in common organic solvents, causing re-stacking and re-aggregation of the reduced graphene oxide platelets. do.
이러한 현상들은 폴리머 매트릭스(16)와 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들 사이의 인터페이스와 관련된다. 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들에서의 환원된 그래핀 옥사이드 시트들의 극성 기(polar group)들은 폴리머에 호환성을 제공한다. 특히 이중-평면 극성 기들로 인해 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)은 주변의 폴리머 매트릭스(16)과 높은 호환성을 가지게 되어 상대적으로 적은 양의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)로도 고르게 분산이 된 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 구현하게 한다. 이로 인해 결국 기존 보다 더 길어진 긴 기체/수분 억제 경로의 형성을 가능하게 하여 기체/수분 배리어 특성이 더 개선된 하이브리드-그래핀층(100)을 구현할 수 있다. These phenomena are related to the interface between the polymer matrix 16 and the reduced graphene oxide platelets 12. Polar groups of reduced graphene oxide sheets in reduced graphene oxide platelets 12 provide compatibility to the polymer. In particular, the reduced graphene oxide platelets 12 due to the bi-planar polar groups are highly compatible with the surrounding polymer matrix 16 and thus with a relatively small amount of reduced graphene oxide platelets 12. To evenly disperse the hybrid-graphene composition 10. As a result, it is possible to form a longer gas / moisture suppression path than the conventional one, thereby realizing a hybrid-graphene layer 100 having improved gas / moisture barrier properties.
반면에 폴리머 매트릭스(16)와 감소된 호환성을 가진 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)에서는 재응집과 재적층 현상이 나타나게 되어 기체/수분 억제 경로의 형성을 하기 위해서는 더 많은 양의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)이 필요할 뿐만 아니라 재응집과 재적층 현상 때문에 광 투과율도 나빠진다. 충분한 광 투과율을 확보하기 위해서 하이브리드-그래핀 조성물(10)에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들(12)의 양을 감소시키면 충분한 길이의 기체/수분 억제 경로를 만들기 힘들어져서 하이브리드-그래핀층(100)의 기체/수분 배리어 특성이 나빠질 수밖에 없다.On the other hand, reduced graphene oxide platelets 12 with reduced compatibility with the polymer matrix 16 exhibit re-agglomeration and re-lamination phenomena, resulting in higher amounts of reduced graphene to form gas / moisture suppression pathways. Not only are fin oxide platelets 12 needed, but also the light transmittance is poor due to re-agglomeration and re-lamination phenomena. Reducing the amount of reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10 to ensure sufficient light transmittance makes it difficult to create a gas / moisture suppression path of sufficient length, thus making the hybrid-graphene layer 100 The gas / moisture barrier property of C) deteriorates inevitably.
화학적 환원법을 사용해서 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 환원시키는 중 여러 번 반복되는 여과(filtration), 건조(drying process)및 재-분산(re-dispersion) 과정들도 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들의 재-응집 및 재-적층을 큰 이유 중에 하나이다. 하이브리드-그래핀 조성물(10)에 계면 활성제(surfactant)를 첨가하여 하이브리드-그래핀 조성(10)물 안에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들의 분산에 도움을 줄 수는 있지만, 한번 응집된 환원된 그래핀 옥사이드 그래핀 플레이트렛들(12)은 계면 활성제를 사용한다고 해서 다시 분리 되기 힘들다. 다시 강조하지만, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들의 재응집/재적층은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛(12)들에 의해 생성된 기체/수분 침투억제 경로를 통하여 스며드는 것보다 기체/수분 침투억제 경로 없이 바로 폴리머 매트릭스(16) 통해 스며들 가능성을 증가시키기 때문에 하이브리드-그래핀층(100)의 기체/수분 배리어 특성을 감소시킬 수 있다. Graphene oxide platelets (12) are also reduced by several filtration, drying and re-dispersion processes during the reduction of graphene oxide platelets using chemical reduction. Their re-agglomeration and re-lamination are one of the great reasons. Surfactant may be added to the hybrid-graphene composition 10 to assist in the dispersion of the reduced graphene oxide platelets 12 in the hybrid-graphene composition 10 water, but once aggregated The reduced graphene oxide graphene platelets 12 are difficult to separate again by using a surfactant. Again, reagglomeration / relamination of the reduced graphene oxide platelets 12 is more likely to permeate the gas / moisture than seeping through the gas / moisture penetration inhibition path generated by the reduced graphene oxide platelets 12. The gas / moisture barrier properties of the hybrid-graphene layer 100 can be reduced by increasing the likelihood of seeping through the polymer matrix 16 directly without a penetration inhibition pathway.
에어로졸(aerosol) 방법Aerosol method
따라서, 일 실시예에서, 에어로졸 열분해 방법 통해서 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 환원한다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어로졸 열분해 방법을 사용하여 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 제조하는 예시적인 방법(300)을 도시한다. 도 3에서 나타낸 것과 같이 에어로졸 열분해 방법을 사용하여 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 제조하는 방법은 단일 또는 수개의 층(2 내지 10층)으로 이루어진 그래핀 옥사이드 시트들로 이루어진 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산된 전구체 용액을 제조하는 단계(S310)를 포함한다. 일 실시예에서 전구체 용액은 본 명세서에서의 도 2를 참조하여 설명된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산된 콜로이드 용액과 유사한 방식으로 준비된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들 콜로이드 용액일 수 있다. 또 다른 실시예에서, 전구체 용액은 상술한 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산된 콜로이드 용액과 금속 나노 파티클들이 분산된 용액을 혼합하여 만들어 질 수 있다. 또한, 상기 전구체 용액을 교반하고 균질한 분산물을 얻기 위해 초음파 분쇄를 병행 할 수 있다.Thus, in one embodiment, graphene oxide platelets are reduced via an aerosol pyrolysis method. 3 shows an exemplary method 300 for preparing hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method according to one embodiment of the invention. As shown in FIG. 3, the method for preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method is a graphene oxide platelet composed of graphene oxide sheets composed of single or several layers (2 to 10 layers). Preparing a dispersed precursor solution (S310). In one embodiment, the precursor solution may be a colloidal solution of graphene oxide platelets prepared in a similar manner as the colloidal solution in which the graphene oxide platelets described with reference to FIG. 2 are dispersed. In another embodiment, the precursor solution may be made by mixing a colloidal solution in which the above-described graphene oxide platelets are dispersed and a solution in which the metal nanoparticles are dispersed. In addition, ultrasonic grinding may be performed in combination to stir the precursor solution and obtain a homogeneous dispersion.
에어로졸 열분해 방법을 사용하여 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 제조하는 방법은 전구체 용액을 에어로젤 액적(dropplets) 형태로 변형하는 단계(S320)을 포함한다. 에어로젤 액적(dropplets) 형태로 변형하는 단계로서, 예를 들어, 초음파 분무기(ultrasonic nebulizer)를 사용하여 전구체 용액을 수 내지 수십 마이크론의 지름을 갖는 에어로졸 액적 형태로 변형시켜 분무시킬 수 있다.The method of preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method includes transforming the precursor solution into the form of airgel droplets (S320). As a step of deforming in the form of aerogel droplets, for example, an ultrasonic nebulizer may be used to deform and spray the precursor solution into a form of aerosol droplets having a diameter of several tens of microns.
에어로졸 열분해 방법을 사용하여 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 제조하는 방법은 상기 에어로젤 액적을 가열로(furnace)로 통과시켜 물 분자들을 증발시키고 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 환원시키는 단계(S330)를 포함한다. 가열로의 한 예로, 관상형 가열로 (tubular furnace)가 사용될 수 있다. 분무된 에어로젤 액적은 가스를 사용하여 가열로로 이동 될 수 있다. 이 때 사용되는 가스로는 아르곤(argon) 가스, 질소(N2) 가스 등 하나 혹은 그 외의 여러 가지 환원 가스를혼합하여 이용할 수 있다. 더 빠른 이동을 위해서 팬(fan)을 추가로 사용할 수도 있다.The method for preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method includes passing the airgel droplets through a furnace to evaporate water molecules and reduce graphene oxide platelets (S330). do. As an example of a furnace, a tubular furnace may be used. The sprayed airgel droplets can be transferred to the furnace using gas. At this time, as the gas used, one or other various reducing gases such as argon gas and nitrogen (N 2 ) gas may be mixed and used. You can also use an additional fan for faster movement.
가열로의 온도는 300℃ 내지 2000℃의 범위일 수 있다. 가열로의 온도는 단순히 에어로졸 액적 내의 그래핀 옥사이드 플레이트렛을 환원 가능한 온도 일 수 있으나, 그래핀 옥사이드 플레이트렛의 환원을 용이하기 위해서 여러 가지 요소들을 고려하여 가열로의 온도가 정해질 수 있다. 예를 들어, 가열로의 온도는 가열로의 구조, 특정 구간에서 가열로를 통과하는 에어로졸 액적의 양(Volume)과 속도(Flow Rate), 그리고 이런 것들에 따라서 결정되는 에어로졸 액적의 가열로 내에서의 체류 시간(Residence Time)에 따라서 결정 될 수 있다. 한 예로, 300℃ 내지 600℃ 사이의 온도로 가열로를 가열하여 0.1초 내지 10분의 체류 시간으로 충분히 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 환원시킬 수 있다. The temperature of the furnace may range from 300 ° C to 2000 ° C. The temperature of the furnace may be a temperature capable of simply reducing the graphene oxide platelets in the aerosol droplets, but the temperature of the furnace may be determined in consideration of various factors in order to facilitate the reduction of the graphene oxide platelets. For example, the temperature of a furnace may vary within the furnace structure of the furnace, the volume and rate of aerosol droplets passing through the furnace in a particular section, and the aerosol droplets determined by these. It can be determined according to the residence time of. As an example, the furnace may be heated to a temperature between 300 ° C. and 600 ° C. to sufficiently reduce graphene oxide platelets with a residence time of 0.1 seconds to 10 minutes.
이 뿐만 아니라, 에어로졸화된 전구체 용액의 구성 및 구성비 또한 가열로의 온도와 에어로졸 액적의 적정 체류시간을 결정하는 중요한 요소가 된다. 더 자세히 설명하자면, 에어로졸화된 전구체 용액에 금속 나노 파티클들이 같이 포함되어 있는 경우, 가열로 안의 환원 분위기는 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 환원시키지만 금속 나노 파티클들을 산화시키지는 못한다. 그러나 가열로의 온도 및 에어로졸 액적의 체류시간에 따라 금속 나노 파티클들이 환원된 그래핀 플레이트렛들의 표면에 붙게 할 수는 있다. 환원된 그래핀 플레이트렛들의 표면에 붙은 금속 나노 파티클들은 하이브리드-그래핀층 내에서 환원된 그래핀 플레이트렛들 이 주변의 폴리머 매트릭스와 더 단단히 결합되고, 더 나아가서 환원된 그래핀 플레이트렛들간에 전기적 네트워크를 형성하기에 더 용이하게 작용할 수 있다. 하지만 가열로의 온도 및 에어로졸 액적의 체류 시간이 과할 경우, 금속 나노 파티클들이 환원된 그래핀 플레이트렛을 둘러싼 형태로 만들어질 수 있다. 이런 경우에는 오히려 환원된 그래핀 플레이트렛의 특성을 잃어버리게 되는 현상이 초래할 수 있다. 금속 나노 파티클의 종류에 따라 상술한 현상들이 생기는 온도와 체류 시간이 다를 수 있기 때문에, 금속 나노 파티클이 에어로졸 액적에 포함된 실시예들에서는 포함된 금속 나노 파티클들의 종류에 따라서 가열로의 온도 및 에어로졸 액적의 체류시간이 조정 될 수 있다. 예를 들어, 상기 서술된 금속 나노 파티클 중 하나를 포함하는 경우에 가열로의 온도는 900℃ 또는 그 이하인 것이 바람직하다.In addition, the composition and composition ratio of the aerosolized precursor solution are also important factors in determining the temperature of the furnace and the appropriate residence time of the aerosol droplets. More specifically, when the aerosolized precursor solution contains metal nanoparticles together, the reducing atmosphere in the furnace reduces graphene oxide platelets but does not oxidize the metal nanoparticles. However, depending on the temperature of the furnace and the residence time of the aerosol droplets, metal nanoparticles can adhere to the surface of the reduced graphene platelets. Metal nanoparticles adhering to the surface of the reduced graphene platelets are more tightly bonded to the surrounding polymer matrix with the reduced graphene platelets in the hybrid-graphene layer and furthermore an electrical network between the reduced graphene platelets. It can act more easily to form. However, when the temperature of the furnace and the residence time of the aerosol droplets are excessive, metal nanoparticles may be formed in a form surrounding the reduced graphene platelets. In this case, the phenomenon of losing the characteristics of the reduced graphene platelets may result. Since the temperature and residence time at which the above-described phenomena occur may vary depending on the type of the metal nanoparticles, in some embodiments in which the metal nanoparticles are included in the aerosol droplets, the temperature and the aerosol of the heating furnace depend on the type of the metal nanoparticles included. The residence time of the droplets can be adjusted. For example, in the case of including one of the metal nanoparticles described above, the temperature of the heating furnace is preferably 900 ° C. or lower.
더 효율적인 환원 분위기를 만들기 위해 가열로 안에 수소(H2) 혹은 그 외의 활성 혹은 휘발성 특징을 가진 환원 가스를 더 추가하는 단계(S325)을 더 포함할 수도 있다. 이 경우, 가열로 내의 환원 분위기에서의 환원 가스와 비활성가스의 비율은 각각 50%일 수 있다. 예를 들어, 전체 가열로 내의 환원 분위기 중 H2 와 N2의 비율은 각각 50:50일 수 있다. 하지만, H2와 같은 휘발성 특성이 큰 환원 가스를 높은 비율로 사용하는 것에는 여러 가지 제약이 있을 수 있다. H2와 같은 휘발성 환원 가스를 사용하더라도 가열로 내의 환원 분위기에서 H2의 비율을 50% 이하로, 보다 바람직하게는 25% 이하로만 사용할 수 있다. 이에 같이, 가열로 내의 환원 분위기중 질소나 아르곤 혹은 이와 같은 비활성 환원 가스가 차지하는 비율은 50% 이상일 수 있고, 보다 바람직하게는 75% 이상일 수 있다. 도 3에서, 추가적인 환원 가스를 주입하는 단계(S325)가 별도의 공정 과정으로 나타나 있지만, 에어로젤 액적을 가열로(furnace)로 통과시켜 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 환원시키는 단계(S330)에서 비활성기 가스와 함께 가열로 안으로 주입될 수도 있다. 또한 에어로졸 열분해 방법을 사용하여 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 제조하는 다른 실시예에서는, 도 3에서 설명된 방법과는 다르게 추가적인 환원 가스를 사용하지 않고 비활성기 가스와 열(heat)만으로도 그래핀 플레이트렛들을 환원시켜 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 제조할 수도 있다. It may further comprise the step (S325) of further adding a reducing gas having hydrogen (H 2 ) or other active or volatile characteristics in the furnace to create a more efficient reducing atmosphere. In this case, the ratio of the reducing gas and the inert gas in the reducing atmosphere in the furnace may be 50%, respectively. For example, the ratio of H 2 and N 2 in the reducing atmosphere in the entire furnace may be 50:50, respectively. However, there may be various limitations in using a high ratio of reducing gas having a high volatility such as H 2 . Even when a volatile reducing gas such as H 2 is used, the ratio of H 2 in the reducing atmosphere in the heating furnace can be used only 50% or less, more preferably 25% or less. As such, the proportion of nitrogen, argon or such an inert reducing gas in the reducing atmosphere in the furnace may be 50% or more, and more preferably 75% or more. In FIG. 3, the step of injecting additional reducing gas (S325) is shown as a separate process, but the inert gas in the step (S330) of reducing the graphene oxide platelets by passing the airgel droplets through a furnace (furnace). It can also be injected into the furnace with the. In addition, in another embodiment of preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method, unlike the method described in FIG. 3, the graphene may be formed using only an inert gas and heat without using additional reducing gas. The platelets may be reduced to prepare the hybrid-graphene composition 10.
상술한 방식으로 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 환원시킴으로써 액상에서 화학적으로 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들보다 월등히 적은 결함을 갖는 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 얻을 수 있다. 특히, 가열로 내의 환원 분위기는 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 산소 작용기들과 반응하여, 잔여 작용기들이 실질적으로 모두 제거된 양질의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 얻을 수 있도록 한다.By reducing the graphene oxide platelets in the manner described above, it is possible to obtain reduced graphene oxide platelets having significantly fewer defects than the chemically reduced graphene oxide platelets in the liquid phase. In particular, the reducing atmosphere in the furnace reacts with the oxygen functionalities of the graphene oxide platelets to obtain high quality reduced graphene oxide platelets with substantially all remaining functional groups removed.
하지만 상술한 에어로졸 열분해 환원 방법을 사용하더라도, 반데르발스 결합력은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛을 테플론 여과막과 같은 보편적인 여과막을 사용해서 포집하고 용액 공정을 위해 다시 용액으로 분산하는 과정을 거치게 되면 그 과정에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 재응집/재적층을 일으킬 수 있고, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 하이브리드-그래핀 조성물 내에서 균일하게 분산되지 않는 현상을 초래한다. 상술한 바와 같이, 하이브리드-그래핀 조성물에서 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 분산이 균일하지 못한 경우, 결과적으로 하이브리드-그래핀층의 기체/수분 배리어 특성 및 전기적 특성의 감소로 이어진다. However, even when using the above-mentioned aerosol pyrolysis reduction method, van der Waals binding force is reduced by collecting the reduced graphene oxide platelet using a common filtration membrane such as a Teflon filtration membrane and dispersing it into a solution for the solution process. The process may cause reaggregation / relamination of the reduced graphene oxide platelets, resulting in a phenomenon that the reduced graphene oxide platelets are not uniformly dispersed in the hybrid-graphene composition. As described above, if the dispersion of the reduced graphene oxide platelets in the hybrid-graphene composition is not uniform, this results in a reduction of the gas / moisture barrier and electrical properties of the hybrid-graphene layer.
따라서, 본 명세서에 기재된 에어로졸 열분해 방법을 사용하는 하이브리드-그래핀 조성물(10) 제조방법의 실시예들은, 가열로를 통과하여 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산되어 있는 증기를 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들간의 재-응집을 억제하기 용이한 계면 활성제가 섞여있는 수용성 용액(예를 들어, 유기 용매)에 곧바로 통과시켜서 용액 안에 바로 포집하는 단계(S340)를 포함한다. 기체 중의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛을 곧바로 계면 활성제가 포함된 수용성 용액을 사용해서 포집할 경우 여과, 건조 공정 및 재-분산과 같은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 재-응집 및 재-적층을 야기하는 과정들을 거치지 않고도 바로 원하는 표면에 각종 용액 공정을 통해 도포 시킬 수 있고 재응집/재적층의 빈도 또한 훨씬 낮은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 용액을 얻을 수 있다. 한 예로, 수용성 용액은 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 응집의 억제하는 성능을 가진 계면 활성제가 1% 내지 5%와 혼합된 DI일 수도 있고, 수용성 용액의 온도는 20℃ 내지 100℃ 사이일 수 있다. Accordingly, embodiments of the method for preparing the hybrid-graphene composition 10 using the aerosol pyrolysis method described herein, reduce the graphene oxide reduced steam through the heating furnace in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed. And passing directly through an aqueous solution (eg, an organic solvent) mixed with a surfactant that is easy to inhibit re-agglomeration between the platelets and collecting it directly in the solution (S340). When the reduced graphene oxide platelets in the gas are collected immediately using an aqueous solution containing a surfactant, re-agglomeration and re-lamination of the reduced graphene oxide platelets such as filtration, drying process and re-dispersion are performed. A reduced graphene oxide platelet solution can be obtained that can be applied directly to the desired surface through various process processes without causing the processes to be caused, and the frequency of reaggregation / relamination is much lower. In one example, the aqueous solution may be DI mixed with 1% to 5% surfactant with the ability to inhibit aggregation of reduced graphene oxide platelets, and the temperature of the aqueous solution may be between 20 ° C and 100 ° C. have.
에어로졸 열분해 방법을 사용하는 하이브리드-그래핀 조성물(10) 제조방법은 상술한 방법으로 얻어진 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 용액과 금속 나노 파티클, 그리고 폴리머를 혼합하여 하이브리드-그래핀 조성물을 생성하는 단계(S350)를 포함한다. 본 발명의 예시적인 실시예에서, 금속 나노 파티크들과 폴리머를 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들을 함유하는 수용성 용액에 혼합하여 하이브리드-그래핀 조성물(10)을 생성하는 단계(S350)를 위에서 설명한 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산되어 있는 증기를 계면 활성제가 섞여 있는 수용성 용액으로 바로 포집하는 단계(S340)와 별개의 단계로서 설명하였다. 하지만, 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 용액과 금속 나노 파티클, 그리고 폴리머를 혼합하여 하이브리드-그래핀 조성물을 생성하는 단계(S350)는 여러 가지 방법으로 이루어 질 수 있다.Hybrid-graphene composition (10) manufacturing method using the aerosol pyrolysis method is a method for producing a hybrid-graphene composition by mixing a reduced graphene oxide platelet solution, a metal nanoparticle, and a polymer obtained by the method described above ( S350). In an exemplary embodiment of the present invention, the step S350 of mixing the metal nanoparticles and the polymer in an aqueous solution containing the reduced graphene oxide platelets to generate the hybrid-graphene composition 10 (S350) is described above. It was described as a separate step from the step (S340) of directly collecting the vapor in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed into an aqueous solution containing a surfactant. However, the step of producing a hybrid-graphene composition by mixing the reduced graphene oxide platelet solution, the metal nanoparticles, and the polymer (S350) may be made in various ways.
예를 들어, 상술한 바와 같이 실시예들 중에는 금속 나노 파티클들이 전구체 용액에 분산되어, 에어로졸 액적 형태로 가열로들 통과한 후 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들과 함께 증기 중에 분산되어 용액을 이용하여 포집하는 과정을 통해 이미 금속 나노 파티클들이 포함된 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 용액을 얻는 것도 가능하다. 또한 금속 나노 파티클들이 분산되어 있지 않은 전구체 용액을 사용하더라도 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산되어있는 증기를 금속 나노 파티클들이 분산되어 있는 용액을 이용하여 포집할 수도 있다. 금속 나노 파티클들이 포함된 전구체 용액을 사용하거나 금속 나노 파티클들이 이미 분산되어있는 용액을 이용하여 가열로로부터의 증기를 포집하는 경우에는 포집된 용액에 폴리머를 더 추가하여서 하이브리드-그래핀 조성물을 생성할 수 있다. 물론 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들이 분산되어있는 증기를 금속 나노 파티클들과 액상의 폴리머가 포함 함께 포함된 용액을 이용하여 포집 할 수도 있다. 이때 폴리머는 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들과 금속 나노 파티클들이 서로 응집하는 현상을 억제시킬 수 있는 안정제(Stabilizer)의 역할을 하는 폴리머를 포함할 수도 있다.For example, as described above, among the embodiments, the metal nanoparticles are dispersed in the precursor solution, passed through the furnaces in the form of aerosol droplets, and then dispersed in steam together with the reduced graphene oxide platelets using the solution. It is also possible to obtain a reduced graphene oxide platelet solution that already contains metal nanoparticles by collecting. In addition, even if a precursor solution in which the metal nanoparticles are not dispersed is used, the vapor in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed may be collected using a solution in which the metal nanoparticles are dispersed. When using a precursor solution containing metal nanoparticles or a solution in which metal nanoparticles have already been dispersed to capture steam from the furnace, additional polymers can be added to the collected solution to create a hybrid-graphene composition. Can be. Of course, the vapor in which the reduced graphene oxide platelets are dispersed may be collected using a solution containing metal nanoparticles and a liquid polymer. In this case, the polymer may include a polymer that serves as a stabilizer capable of suppressing the aggregation of the reduced graphene oxide platelets and the metal nanoparticles with each other.
상술한 방법들 이외에도 하이브리드-그래핀 조성물을 생성하는 단계에서 금속 나노 파티클들이 분산되어 있는 용액과 폴리머가 녹아 있는 용액을 따로 준비한 후 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 용액과 혼합하는 방법을 사용하는 것도 가능하다. 하이브리드-그래핀 조성물에 첨가되는 폴리머는 용액 상태로 따로 준비한 후 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 용액과 혼합하여 하이브리드-그래핀 조성물을 생성할 수 있다.In addition to the above-described methods, it is also possible to prepare a solution in which the metal nanoparticles are dispersed and a solution in which the polymer is dissolved, and then mix the reduced graphene oxide platelet solution with the hybrid graphene composition. Do. The polymer added to the hybrid-graphene composition may be separately prepared in solution and then mixed with the reduced graphene oxide platelet solution to produce the hybrid-graphene composition.
하이브리드-그래핀 조성물 생성과정에서 금속 나노 파티클들 또한 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 재-응집을 야기할 수도 있으므로, 증기의 포집에 사용되는 수용성 용액에 포함되는 계면 활성제의 종류 및 비율은 수용성 용액 안에서 금속 나노 파티클의 중량비, 환원된 그래핀 플레이트렛과의 비율뿐만 아니라 하이브리드-그래핀 조성물에 추가될 폴리머의 종류와 수용성 용액의 온도 등 여러 가지 요소들을 고려하여 금속 나노 파티클들의 첨가에 의한 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛들의 재-응집을 억제하도록 조정될 수도 있다. Since the metal nanoparticles may also cause re-agglomeration of the reduced graphene oxide platelets in the hybrid-graphene composition generation, the type and ratio of the surfactant included in the aqueous solution used for trapping the vapor may be Reduced by addition of metal nanoparticles in consideration of various factors such as the weight ratio of the metal nanoparticles, the ratio of the reduced graphene platelet as well as the type of polymer to be added to the hybrid-graphene composition and the temperature of the aqueous solution. It may also be adjusted to inhibit re-agglomeration of graphene oxide platelets.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 이용하는 예시적인 터치 스크린 패널을 도시하는 평면도이다. 도 4b는 도 4a의 IVb-IVb'를 따른 단면도이다. 도 4a 및 도 4b에서는 본 발명의 전자 디바이스로서 터치 스크린 패널(400)을 도시하였다. 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 터치 스크린 패널(400)에서 하이브리드-그래핀층(410), 제1 터치 감지부(420), 제2 터치 감지부(430) 및 절연층(440)이 기판(450)상에 형성되어있다. 도 4a에서는 설명의 편의를 위해 절연층(450)을 도시하지 않았으며, 하이브리드-그래핀층(410)에 대한 해칭을 도시하였다.4A is a plan view illustrating an exemplary touch screen panel using a hybrid-graphene layer in accordance with one embodiment of the present invention. 4B is a cross-sectional view along IVb-IVb ′ of FIG. 4A. 4A and 4B illustrate a touch screen panel 400 as an electronic device of the present invention. 4A and 4B, in the touch screen panel 400, the hybrid-graphene layer 410, the first touch detector 420, the second touch detector 430, and the insulating layer 440 are formed of a substrate ( On the 450). In FIG. 4A, for convenience of description, the insulating layer 450 is not illustrated, and hatching of the hybrid graphene layer 410 is illustrated.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 기판(450) 상에 하이브리드-그래핀층(410)이 형성된다. 하이브리드-그래핀층(410)은 제1 영역(412) 및 제2 영역(414)을 갖는다. 하이브리드-그래핀층(410)의 제2 영역(414)은 하이브리드-그래핀층(410)의 제1 영역(412)보다 높은 면저항값을 갖는다. 제1 영역(412)과 제2 영역(414)의 면저항값의 차이를 이용하여 하이브리드-그래핀층(410)은 터치 스크린 패널(400)을 구현할 수 있다. 제1 영역(412)과 제2 영역(414) 사이의 면저항 값의 차이는 제 1 영역(412)과 제2 영역(414)이 디바이스에 의해서 각각 구별이 될 수 있을 만큼 충분한 차이를 가진다. 하이브리드-그래핀층(410)의 제1 영역(412) 및 제2 영역(414)을 구성하는 하이브리드-그래핀 조성물은 도 1a 및 도 1b에서 설명된 하이브리드-그래핀층(100)의 제1 영역(110) 및 제2 영역(120)을 각각 구성하는 하이브리드-그래핀 조성물(10)과 동일하다.4A and 4B, a hybrid graphene layer 410 is formed on the substrate 450. Hybrid-graphene layer 410 has a first region 412 and a second region 414. The second region 414 of the hybrid graphene layer 410 has a higher sheet resistance value than the first region 412 of the hybrid graphene layer 410. The hybrid-graphene layer 410 may implement the touch screen panel 400 by using the difference between the sheet resistance values of the first region 412 and the second region 414. The difference in the sheet resistance values between the first region 412 and the second region 414 is sufficiently different so that the first region 412 and the second region 414 can be distinguished by the device, respectively. The hybrid-graphene composition constituting the first region 412 and the second region 414 of the hybrid-graphene layer 410 may include the first region (1) of the hybrid-graphene layer 100 described with reference to FIGS. 1A and 1B. 110 and the second region 120 are the same as the hybrid-graphene composition 10, respectively.
하이브리드-그래핀층(410) 상에는 절연층(440)이 형성된다. 절연층(440)은 하이브리드-그래핀층(410)의 각각의 제1 영역(412)의 일부 영역을 오픈시키는 개구부를 갖는다. 절연층(440)은 하이브리드-그래핀층(410)의 제1 영역(412)과 제1 터치 감지부(420)를 절연시키기 위한 구성으로서, 절연 물질로 형성되고, 연성의 투명 절연 물질로 형성될 수 있다.An insulating layer 440 is formed on the hybrid graphene layer 410. The insulating layer 440 has an opening that opens a portion of each first region 412 of the hybrid-graphene layer 410. The insulating layer 440 is configured to insulate the first region 412 of the hybrid-graphene layer 410 from the first touch sensing unit 420. The insulating layer 440 is formed of an insulating material and may be formed of a flexible transparent insulating material. Can be.
절연층(440) 상에 제1 터치 감지부(420)가 형성된다. 제1 터치 감지부(420)는 도전성 물질로 형성된다. 예를 들어, 제1 터치 감지부(420)는 ITO와 같은 투명 도전성 물질로 형성될 수도 있고, 메쉬(mesh) 구조의 금속 물질로 형성될 수도 있다. 제1 터치 감지부(420)는 복수의 감지 전극을 갖고, 제1 터치 감지부(420)의 복수의 감지 전극은 제1 방향으로 서로 연결되도록 형성된다. 예를 들어, 도 4a에 도시된 바와 같이 제1 터치 감지부(420)의 복수의 감지 전극은 평면 상에서 세로 방향으로 서로 연결되도록 형성되어, 제1 터치 감지부(420)도 세로 방향으로 연장된다. The first touch sensing unit 420 is formed on the insulating layer 440. The first touch sensing unit 420 is formed of a conductive material. For example, the first touch sensing unit 420 may be formed of a transparent conductive material such as ITO, or may be formed of a metal material having a mesh structure. The first touch sensing unit 420 has a plurality of sensing electrodes, and the plurality of sensing electrodes of the first touch sensing unit 420 are formed to be connected to each other in a first direction. For example, as illustrated in FIG. 4A, the plurality of sensing electrodes of the first touch sensing unit 420 are formed to be connected to each other in a vertical direction on a plane, and the first touch sensing unit 420 also extends in the vertical direction. .
하이브리드-그래핀층(410) 및 절연층(440) 상에 제2 터치 감지부(430)가 형성된다. 제2 터치 감지부(430)는 도전성 물질로 형성되고, 제1 터치 감지부(420)와 동일한 물질로 형성될 수 있다. 제2 터치 감지부(430)는 복수의 감지 전극을 갖고, 제2 터치 감지부(430)의 복수의 감지 전극은 제2 방향으로 서로 분리되도록 형성된다. 제2 터치 감지부(430)의 복수의 감지 전극은 서로 분리되도록 형성되나, 도 4b에 도시된 바와 같이, 서로 인접하는 제2 터치 감지부(430)의 감지 전극은 절연층(440)의 개구부를 통해 하이브리드-그래핀층(410)의 동일한 제1 영역(412)과 접하고, 하이브리드-그래핀층(410)의 제1 영역(412)을 통해 전기적으로 연결된다. 따라서, 동일한 행에 위치한 제2 터치 감지부(430)의 감지 전극은 모두 전기적으로 연결된다.The second touch sensing unit 430 is formed on the hybrid graphene layer 410 and the insulating layer 440. The second touch sensing unit 430 may be formed of a conductive material, and may be formed of the same material as the first touch sensing unit 420. The second touch sensing unit 430 has a plurality of sensing electrodes, and the plurality of sensing electrodes of the second touch sensing unit 430 are formed to be separated from each other in a second direction. Although the plurality of sensing electrodes of the second touch sensing unit 430 are formed to be separated from each other, as illustrated in FIG. 4B, sensing electrodes of the second touch sensing unit 430 adjacent to each other may be openings of the insulating layer 440. Contact the same first region 412 of the hybrid-graphene layer 410, and are electrically connected through the first region 412 of the hybrid-graphene layer 410. Therefore, all of the sensing electrodes of the second touch sensing unit 430 located in the same row are electrically connected.
터치 스크린 패널(400)은 제1 터치 감지부(420) 및 제2 터치 감지부(430)를 사용하여 사용자로부터의 터치 입력을 감지한다. 예를 들어, 제1 터치 감지부(420) 및 제2 터치 감지부(430) 중 하나는 제1 방향 감지 전극 패턴이고, 다른 하나는 제2 방향 감지 전극 패턴일 수 있다. 제1 방향 감지 전극 패턴은 사용자의 터치 입력에 대한 제1 방향(예를 들어, Y축 방향) 좌표를 감지하기 위한 감지 전극 패턴이고, 제2 방향 감지 전극 패턴은 사용자의 터치 입력에 대한 제2 방향(예를 들어, X축 방향) 좌표를 감지하기 위한 감지 전극 패턴이다. 따라서, 터치 스크린 패널(400)의 소정의 위치에 사용자의 터치가 발생하는 경우, 터치 스크린 패널(400)은 제1 방향 감지 전극 패턴에서 감지된 제1 방향 좌표 및 제2 방향 감지 전극 패턴에서 감지된 제2 방향 좌표를 조합하여 사용자의 터치 위치를 감지할 수 있다.The touch screen panel 400 detects a touch input from a user by using the first touch detector 420 and the second touch detector 430. For example, one of the first touch sensing unit 420 and the second touch sensing unit 430 may be a first direction sensing electrode pattern, and the other may be a second direction sensing electrode pattern. The first direction sensing electrode pattern is a sensing electrode pattern for sensing a first direction (eg, Y-axis direction) coordinates of the user's touch input, and the second direction sensing electrode pattern is a second for the user's touch input. A sensing electrode pattern for sensing a direction (eg, X-axis direction) coordinate. Therefore, when a user's touch occurs at a predetermined position of the touch screen panel 400, the touch screen panel 400 detects the first direction coordinates and the second direction sensing electrode pattern detected by the first direction sensing electrode pattern. The touched position of the user may be sensed by combining the second direction coordinates.
한편, 본 명세서에서는 제1 터치 감지부(420) 및 제2 터치 감지부(430)가 모두 감지 전극을 포함하는 것으로 설명되었으나, 제1 터치 감지부(420) 및 제2 터치 감지부(430) 중 하나는 정전 용량의 변화를 감지하기 위한 감지 전극 패턴이고, 다른 하나는 터치 위치를 검출하기 위한 감지 신호를 공급하는 구동 전극 패턴일 수 있다. 이 경우, 사용자의 터치가 실제로 발생한 위치 부근의 구동 전극 패턴에 터치 위치를 검출하기 위한 감지 신호가 인가된 경우, 사용자의 터치가 실제로 발생한 위치 부근의 감지 전극 패턴에서 발생하는 정전 용량의 변화량이 가장 크게 측정될 수 있다. 따라서, 터치 스크린 패널(400)은 구동 전극 패턴에 의해 공급된 감지 신호 및 감지 전극 패턴에서 감지된 정전 용량의 변화량에 기초하여 사용자의 터치 위치를 감지할 수 있다.Meanwhile, in the present specification, although both the first touch detector 420 and the second touch detector 430 are described as including a sensing electrode, the first touch detector 420 and the second touch detector 430 are described. One may be a sensing electrode pattern for sensing a change in capacitance, and the other may be a driving electrode pattern for supplying a sensing signal for detecting a touch position. In this case, when the detection signal for detecting the touch position is applied to the driving electrode pattern near the position where the user's touch actually occurred, the amount of change in capacitance generated in the sensing electrode pattern near the position where the user's touch actually occurred is the most. It can be measured largely. Therefore, the touch screen panel 400 may detect the touch position of the user based on the sensing signal supplied by the driving electrode pattern and the amount of change in capacitance sensed in the sensing electrode pattern.
도 4a 및 도 4b에서는 제1 터치 감지부(420)와 제2 터치 감지부(430)가 각각 분리되어 도전성 물질로 형성되는 것으로 도시하였으나, 제1 터치 감지부(420)와 제2 터치 감지부(430)도 하이브리드-그래핀층을 사용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 4a및 도 4b에 도시된 바와 같은 제1 터치 감지부(420)와 제2 터치 감지부(430)에 대응하는 영역은 도전 영역이고, 제1 터치 감지부(420)와 제2 터치 감지부(430) 사이의 공간이 비도전 영역은 비도전 영역인 하이브리드-그래핀층이, 개구부를 갖는 절연층(460) 상에 형성될 수 있다. In FIGS. 4A and 4B, although the first touch detector 420 and the second touch detector 430 are separated from each other and formed of a conductive material, the first touch detector 420 and the second touch detector are illustrated. 430 may also be formed using a hybrid-graphene layer. For example, the regions corresponding to the first touch detector 420 and the second touch detector 430 as shown in FIGS. 4A and 4B are conductive regions, and the first touch detector 420 and the first touch detector 420 are formed. The space between the two touch sensing units 430 may be a non-conductive region in which a hybrid-graphene layer, which is a non-conductive region, may be formed on the insulating layer 460 having an opening.
본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널(400)에서는 사용자의 터치 입력을 감지하기 위한 감지 전극으로 하이브리드-그래핀층(410)을 사용한다. 상술한 바와 같이 하이브리드-그래핀층(410)을 기판(450)에 형성하기 위해 용액 공정을 사용하므로, 기존의 도전성 물질을 형성하기 위한 진공 증착 등과 같은 공정을 수행하지 않을 수 있고, 이에 의해 공정 비용이 감소되는 효과가 있다. 또한, 터치 스크린 패널(400)에서 감지 전극으로 사용되는 하이브리드-그래핀층(410)은 상술한 바와 같이 우수한 기체/수분 배리어층으로 기능할 수 있다. 따라서, 터치 스크린 패널(400)이 사용자 터치 입력 감지 기능뿐만 아니라 배리어 기능 또한 수행하게 되어, 기체나 수분의 침투를 막기 위한 별도의 배리어 필름의 사용이 불필요하고, 이에 따라 제조 공정이 단순화되고 최종 제품의 두께가 감소하는 효과가 있다. 또한, 터치 스크린 패널(400)의 ITO 물질을 하이브리드-그래핀층(400)으로 대체하여 플렉서블 전자 디바이스 구현이 가능하다.In the touch screen panel 400 according to an exemplary embodiment, the hybrid graphene layer 410 is used as a sensing electrode for sensing a user's touch input. As described above, since the solution process is used to form the hybrid-graphene layer 410 on the substrate 450, a process such as vacuum deposition for forming a conventional conductive material may not be performed, thereby processing costs. This has the effect of being reduced. In addition, the hybrid graphene layer 410 used as the sensing electrode in the touch screen panel 400 may function as an excellent gas / moisture barrier layer as described above. Accordingly, the touch screen panel 400 performs not only a user's touch input sensing function but also a barrier function, so that a separate barrier film is not required to prevent the penetration of gas or moisture, thereby simplifying the manufacturing process and the final product. There is an effect of reducing the thickness of. In addition, the flexible electronic device may be implemented by replacing the ITO material of the touch screen panel 400 with the hybrid graphene layer 400.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 이용하는 예시적인 박막 트랜지스터를 도시하는 단면도이다. 도 5에서는 본 발명의 전자 디바이스로서 박막 트랜지스터(500)를 도시하였다. 도 5를 참조하면, 박막 트랜지스터(500)는 게이트 전극(530), 액티브층(520) 및 하이브리드-그래핀층(510)을 포함한다. 도 5에서는 박막 트랜지스터(500)가 인버티드 스태거드(inverted staggered) 구조의 박막 트랜지스터인 것으로 도시하였다.5 is a cross-sectional view illustrating an exemplary thin film transistor using a hybrid-graphene layer in accordance with an embodiment of the present invention. 5 shows a thin film transistor 500 as an electronic device of the present invention. Referring to FIG. 5, the thin film transistor 500 includes a gate electrode 530, an active layer 520, and a hybrid graphene layer 510. In FIG. 5, the thin film transistor 500 is a thin film transistor having an inverted staggered structure.
기판(590) 상에 게이트 전극(530)이 형성된다. 게이트 전극(530)은 도전성 물질로 형성되며, 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 하나, 또는, 이들의 합금으로 형성될 수 있다. 게이트 전극(530) 상에 게이트 전극(530)과 엑티브층(520)을 절연시키기 위한 게이트 절연층(591)이 형성된다. 게이트 절연층(591)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 복층으로 이루어질 수 있다. 게이트 절연층(591) 상에 게이트 전극(520)과 중첩하도록 액티브층(530)이 형성된다. 액티브층(530)은 박막 트랜지스터(500) 구동 시 채널이 형성되는 층으로서, 옥사이드 반도체로 형성될 수 있다. The gate electrode 530 is formed on the substrate 590. The gate electrode 530 is formed of a conductive material, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and neodymium (Nd). And copper (Cu), or an alloy thereof. A gate insulating layer 591 is formed on the gate electrode 530 to insulate the gate electrode 530 from the active layer 520. The gate insulating layer 591 may be formed of a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof. The active layer 530 is formed on the gate insulating layer 591 so as to overlap the gate electrode 520. The active layer 530 is a layer in which a channel is formed when the thin film transistor 500 is driven and may be formed of an oxide semiconductor.
액티브층(530)이 형성된 게이트 절연층(591) 상에 하이브리드-그래핀층(510)이 형성된다. 하이브리드-그래핀층(510)은 제1 영역(540, 550) 및 제2 영역(560)을 갖는다. 하이브리드-그래핀층(510)의 제2 영역(560)은 하이브리드-그래핀층(510)의 제1 영역(540, 550)보다 높은 면저항값을 갖는다. 하이브리드-그래핀층(510)의 제1 영역(540, 550)은 전극으로서 사용되고, 제2 영역(560)은 절연 부분으로 사용될 수 있도록, 제1 영역(540, 550)과 제2 영역(560) 사이의 전기적 특성의 차이는 충분히 크다. 하이브리드-그래핀층(510)의 제1 영역(540, 550) 및 제2 영역(560)을 구성하는 하이브리드-그래핀 조성물은 도 1a 및 도 1b에서 설명된 하이브리드-그래핀층(100)의 제1 영역(110) 및 제2 영역(120)을 각각 구성하는 하이브리드-그래핀 조성물(10)과 동일하다.The hybrid graphene layer 510 is formed on the gate insulating layer 591 in which the active layer 530 is formed. Hybrid-graphene layer 510 has a first region 540, 550 and a second region 560. The second region 560 of the hybrid graphene layer 510 has a higher sheet resistance value than the first regions 540 and 550 of the hybrid graphene layer 510. The first regions 540 and 550 of the hybrid-graphene layer 510 are used as electrodes, and the second regions 560 and 560 are used as insulating portions. The difference in electrical characteristics between them is large enough. The hybrid-graphene composition constituting the first region 540, 550 and the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 is the first of the hybrid-graphene layer 100 described in FIGS. 1A and 1B. It is the same as the hybrid-graphene composition 10 constituting the region 110 and the second region 120, respectively.
하이브리드-그래핀층(510)의 제2 영역(560)이 제1 영역(540, 550) 보다 높은 면저항값을 갖게 하기 위해, 상술한 바와 같이 하이브리드-그래핀층(510)의 제2 영역(560)에 대해 산 처리 방법이 사용될 수 있다. 이 경우, 하이브리드-그래핀층(510)의 제2 영역(560)에 대한 산 처리는 하이브리드-그래핀층(510)이 액티브층(520) 및 게이트 절연층(591) 상에 코팅된 후 이루어질 수도 있고, 산 처리가 먼저 수행된 후 하이브리드-그래핀층(510)이 코팅될 수도 있다. 또한 상술한 바와 같이 하이브리드-그래핀층(510)의 제2 영역(560)에 대해 레이저 처리 방법을 사용하여 제2 영역(560)에 표면 및 매립되어 있는 금속 나노 파티클들을 산화시킬 수 있다.In order for the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 to have a higher sheet resistance value than the first regions 540 and 550, the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 as described above. Acid treatment methods can be used for the present invention. In this case, the acid treatment of the second region 560 of the hybrid graphene layer 510 may be performed after the hybrid graphene layer 510 is coated on the active layer 520 and the gate insulating layer 591. After the acid treatment is first performed, the hybrid graphene layer 510 may be coated. In addition, as described above, the metal nanoparticles, which are surfaced and embedded in the second region 560, may be oxidized with respect to the second region 560 of the hybrid-graphene layer 510 using a laser treatment method.
하이브리드-그래핀층(510)의 제1 영역(540, 550) 각각은 액티브층(520)과 접하고, 하이브리드-그래핀층(500)의 제2 영역(560)은 제1 영역(540)과 제1 영역(560)을 절연시킨다. 하이브리드-그래핀층(510)의 제1 영역(540, 560) 중 하나는 박막 트랜지스터(500)의 소스 전극으로 기능하고, 다른 하나는 박막 트랜지스터(500)의 드레인 전극으로 기능한다. Each of the first regions 540 and 550 of the hybrid graphene layer 510 is in contact with the active layer 520, and the second region 560 of the hybrid graphene layer 500 is the first region 540 and the first region. Insulate region 560. One of the first regions 540 and 560 of the hybrid-graphene layer 510 serves as a source electrode of the thin film transistor 500, and the other serves as a drain electrode of the thin film transistor 500.
옥사이드 반도체로 형성된 액티브층을 포함하는 박막 트랜지스터의 경우, 옥사이드의 특성 향상을 위하여 200℃ 이상의 고온 열처리를 통한 결정화 공정이 필요하다. 다만, 고온 열처리가 수행되는 과정에서 일반적으로 금속으로 형성되는 소스 전극 및 드레인 전극과 옥사이드 반도체로 형성된 액티브층의 산화가 발생될 수 있어, 고온 열처리에 어려움이 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터(500)에서는 소스 전극 및 드레인 전극으로 금속 전극을 사용하는 대신 하이브리드-그래핀층(510)을 사용하므로, 옥사이드의 특성 향상을 위한 고온 열처리 시에 발생할 수 있는 전극 산화 현상을 방지할 수 있어, 박막 트랜지스터(500)의 안정적인 전기적 특성이 확보되고, 액티브층(520)과 소스 전극 및 드레인 전극 사이의 안정적인 오믹 컨택(Ohmic contact) 또한 확보될 수 있다.In the case of a thin film transistor including an active layer formed of an oxide semiconductor, a crystallization process through high temperature heat treatment of 200 ° C. or more is required to improve oxide characteristics. However, in the process of performing the high temperature heat treatment, the source layer and the drain electrode, which are generally formed of metal, and the active layer formed of the oxide semiconductor may be oxidized, thereby causing difficulty in high temperature heat treatment. However, in the thin film transistor 500 according to the exemplary embodiment of the present invention, the hybrid-graphene layer 510 is used instead of the metal electrode as the source electrode and the drain electrode. Electrode oxidation may be prevented, and thus stable electrical characteristics of the thin film transistor 500 may be secured, and stable ohmic contact between the active layer 520 and the source electrode and the drain electrode may also be secured.
또한, 옥사이드 반도체로 형성된 액티브층을 포함하는 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 경우, 소스 전극 및 드레인 전극으로 사용되는 금속 물질을 스퍼터링(sputtering)과 같은 증착 방식이 사용되는데, 스퍼터링에 의해 액티브층이 손상될 수 있다. 따라서, 액티브층의 손상을 방지하기 위해, 액티브층 상에 에치 스타퍼(etch stopper)를 형성한 후 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 방식이 일반적으로 사용되고 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터(500)에서는 증착을 통해 형성되는 소스 전극 및 드레인 전극으로 금속 전극을 사용하는 대신, 용액 공정을 사용하여 코팅되는 하이브리드-그래핀층(510)을 사용하므로, 에치 스타퍼를 형성하지 않아도 되고, 이에 따라 제조 비용 및 제조 공정 시간을 감소시킬 수 있다.In addition, when forming a source electrode and a drain electrode of a thin film transistor including an active layer formed of an oxide semiconductor, a deposition method such as sputtering a metal material used as the source electrode and the drain electrode is used. The active layer may be damaged. Therefore, in order to prevent damage to the active layer, a method of forming a source electrode and a drain electrode after forming an etch stopper on the active layer is generally used. However, in the thin film transistor 500 according to an embodiment of the present invention, instead of using a metal electrode as a source electrode and a drain electrode formed through deposition, a hybrid-graphene layer 510 coated using a solution process is used. Therefore, it is not necessary to form an etch stopper, thereby reducing manufacturing cost and manufacturing process time.
또한, 박막 트랜지스터의 각각의 전극들 및 액티브층을 외부로부터의 기체 및 수분으로부터 보호하기 위해 박막 트랜지스터 상에 형성되는 패시베이션층이 일반적으로 사용된다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터(500)에서는 소스 전극 및 드레인 전극으로 사용되는 하이브리드-그래핀층(510)이 상술한 바와 같은 우수한 기체/수분 배리어 특성을 가지므로, 하이브리드-그래핀층(510)이 패시베이션층과 같은 기능을 수행할 수 있다. 따라서, 별도의 패시베이션층이 형성되지 않아도 되므로, 패시베이션층 형성에 필요한 추가적인 비용을 감소시킬 수 있다.In addition, a passivation layer formed on the thin film transistor is generally used to protect each of the electrodes and the active layer of the thin film transistor from gas and moisture from the outside. However, in the thin film transistor 500 according to the exemplary embodiment of the present invention, since the hybrid-graphene layer 510 used as the source electrode and the drain electrode has the excellent gas / moisture barrier characteristics as described above, the hybrid-graphene layer 510 may perform a function such as a passivation layer. Therefore, since a separate passivation layer does not need to be formed, it is possible to reduce additional costs required for forming the passivation layer.
도 5에서는 소스 전극 및 드레인 전극만이 하이브리드-그래핀층(510)으로 형성된 것으로 도시하였으나, 게이트 전극 또한 하이브리드-그래핀층으로 형성될 수 있다. 또한, 도 5에서는 박막 트랜지스터(500)가 인버티드 스태거드 구조의 박막 트랜지스터인 것으로 도시하였으나, 코플래너 구조의 박막 트랜지스터에도 전극 형성 시 하이브리드-그래핀층(510)이 사용될 수 있다. 또한, 옥사이드 반도체가 아닌 비정질 실리콘, 다결정 실리콘 등과 같은 물질로도 액티브층(520)이 형성될 수 있다.In FIG. 5, only the source electrode and the drain electrode are illustrated as being formed of the hybrid graphene layer 510, but the gate electrode may also be formed of the hybrid graphene layer. In addition, although the thin film transistor 500 is shown as an inverted staggered thin film transistor in FIG. 5, the hybrid-graphene layer 510 may be used in forming a coplanar thin film transistor. In addition, the active layer 520 may be formed of a material such as amorphous silicon, polycrystalline silicon, and the like instead of an oxide semiconductor.
이와 같은 본 발명의 일 실시예에 의한 하이브리드-그래핀층을 이용한 소자는, 실리콘 불순물을 고온에서 확산 공정을 통해 도핑하여 전기 소자로 제작하는 종래의 반도체 공정을 대체한다. 그리고 고온 공정 없이 그래핀로 이루어진 전기 소자를 하이브리드-그래핀층안에 내장시킬 수 있으므로, 투명하고 휘어지기 쉬운 디스플레이 분야 등 다양한 분야에 응용될 수 있다. 이러한 투명 폴리머 구조물의 제조방법은 폴리머 MEMS 분야에 또한 적용이 가능하다.The device using the hybrid-graphene layer according to the embodiment of the present invention replaces the conventional semiconductor process of fabricating an electric device by doping silicon impurities at a high temperature through a diffusion process. In addition, since a graphene electric device can be embedded in a hybrid-graphene layer without a high temperature process, it can be applied to various fields such as a transparent and flexible display field. The manufacturing method of such a transparent polymer structure is also applicable to the field of polymer MEMS.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드-그래핀층을 이용하는 예시적인 유기 발광 표시 장치를 도시하는 단면도이다. 도 6에서는 본 발명의 전자 디바이스로서 유기 발광 표시 장치(600)를 도시하였다. 도 6을 참조하면, 유기 발광 표시 장치(600)는 애노드(651), 유기 발광층(652) 및 캐소드(653)를 포함하는 유기 발광 소자(650), 보조 전극(640) 및 격벽(660)을 포함한다. 도 6에서는 설명의 편의를 위해 평탄화층(611) 상에 형성된 유기 발광 소자(650), 보조 전극(640) 및 격벽(660)만을 도시하였으며, 유기 발광 표시 장치(600) 구동에 필요한 박막 트랜지스터 등에 대한 도시는 생략하였다. 본 명세서에서 유기 발광 표시 장치(600)는 탑 에미션(top emission) 방식의 유기 발광 표시 장치이다.6 is a cross-sectional view illustrating an exemplary organic light emitting display device using a hybrid-graphene layer according to an embodiment of the present invention. 6 illustrates an organic light emitting display 600 as an electronic device of the present invention. Referring to FIG. 6, the organic light emitting diode display 600 includes an organic light emitting diode 650 including an anode 651, an organic emission layer 652, and a cathode 653, an auxiliary electrode 640, and a partition 660. Include. In FIG. 6, only the organic light emitting diode 650, the auxiliary electrode 640, and the partition wall 660 formed on the planarization layer 611 are illustrated for convenience of description, and the thin film transistor required for driving the organic light emitting diode display 600 is illustrated. The illustration is omitted. In the present specification, the organic light emitting diode display 600 is a top emission organic light emitting diode display.
평탄화층(611) 상에 애노드(651), 유기 발광층(652) 및 캐소드(653)를 포함하는 유기 발광 소자(650)가 형성된다. 평탄화층(611) 상에 형성되는 애노드(651)는 반사율이 우수한 도전층인 반사층(655) 및 반사층(655) 상에 형성되고 유기 발광층(652)에 정공(hole)을 공급하기 위해 일함수가 높은 도전성 물질로 이루어진 투명 도전층(654)을 포함한다. 애노드(651) 상에 유기 발광층(652)이 형성된다. 유기 발광층(652) 상에 형성되는 캐소드(653)는 유기 발광층(652)에 전자(electron)을 공급하기 위해 일함수가 낮은 도전성 물질로 이루어진 메탈층(656) 및 메탈층(656) 상에 형성되는 하이브리드-그래핀층(610)을 포함한다. 하이브리드-그래핀층(610)을 구성하는 하이브리드-그래핀 조성물은 도 1a 및 도 1b에서 설명된 하이브리드-그래핀층(100)의 제1 영역(110)을 구성하는 하이브리드-그래핀 조성물(10), 즉, 산화되지 않은 금속 나노 파티클(14)을 포함하는 하이브리드-그래핀 조성물(10)이다. 도 6에서는 2개의 유기 발광 소자(650)가 도시되었으나, 설명의 편의상 도 6에서 우측에 위치한 유기 발광 소자(650)에만 도면 부호를 표시하였다.An organic light emitting element 650 including an anode 651, an organic emission layer 652, and a cathode 653 is formed on the planarization layer 611. The anode 651 formed on the planarization layer 611 is formed on the reflective layer 655 and the reflective layer 655, which are conductive layers having excellent reflectance, and has a work function for supplying holes to the organic light emitting layer 652. Transparent conductive layer 654 made of a highly conductive material. An organic emission layer 652 is formed on the anode 651. The cathode 653 formed on the organic light emitting layer 652 is formed on the metal layer 656 and the metal layer 656 made of a conductive material having a low work function to supply electrons to the organic light emitting layer 652. Hybrid-graphene layer 610. The hybrid-graphene composition constituting the hybrid-graphene layer 610 includes the hybrid-graphene composition 10 constituting the first region 110 of the hybrid-graphene layer 100 described in FIGS. 1A and 1B, That is, hybrid-graphene composition 10 comprising unoxidized metal nanoparticles 14. Although two organic light emitting diodes 650 are shown in FIG. 6, for convenience of description, reference numerals are given only to the organic light emitting diodes 650 positioned on the right side of FIG. 6.
평탄화층(611) 상에서 2개의 유기 발광 소자(650) 사이에 보조 전극(640)이 형성된다. 보조 전극(640)은 탑 에미션 방식의 유기 발광 표시 장치에서 발생할 수 있는 전압 강하 현상을 보완하기 위한 전극으로서, 애노드(651)와 동일한 물질로 형성된다. 구체적으로, 보조 전극(640)은 투명 도전층(641) 및 반사층(642)으로 형성된다.The auxiliary electrode 640 is formed between the two organic light emitting diodes 650 on the planarization layer 611. The auxiliary electrode 640 is an electrode for compensating for a voltage drop that may occur in the top emission type organic light emitting diode display and is formed of the same material as the anode 651. In detail, the auxiliary electrode 640 is formed of the transparent conductive layer 641 and the reflective layer 642.
평탄화층(611) 상에는 뱅크(620)가 형성된다. 뱅크(620)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 보조 전극(640)의 일 측과 유기 발광 소자(650)의 애노드(651)의 일 측을 커버하도록 형성된다.The bank 620 is formed on the planarization layer 611. As illustrated in FIG. 6, the bank 620 is formed to cover one side of the auxiliary electrode 640 and one side of the anode 651 of the organic light emitting element 650.
보조 전극(640) 상에 격벽(660)이 형성된다. 격벽(660)은 역 테이퍼(taper) 형상으로 형성되어, 격벽(660)을 기준으로 우측에 도시된 유기 발광 소자(650)의 유기 발광층(651)과 좌측에 도시된 유기 발광 소자의 유기 발광층(652)을 단절시킨다. 구체적으로, 유기 발광층(652)을 형성하기 위해 유기 발광 물질을 평탄화층(611) 전면 상에서 증착시키는 방식이 사용되는데, 유기 발광 물질은 스텝 커버리지(step coverage)가 좋지 않으므로 유기 발광 소자(650)의 유기 발광층(652)은 역 테이퍼 형상의 격벽(660)에 의해 단절되고, 격벽(660) 상에 유기 발광층(662)이 형성된다. 또한, 캐소드(653)의 메탈층(656)으로 사용되는 물질인 금속 물질들의 경우 일반적으로 스텝 커버리지가 좋지 않으므로, 캐소드(653)의 메탈층(656) 또한 역 테이퍼 형상의 격벽(660)에 의해 단절된다.The partition wall 660 is formed on the auxiliary electrode 640. The partition wall 660 is formed in an inverse taper shape, and the organic light emitting layer 651 of the organic light emitting element 650 shown on the right side and the organic light emitting layer of the organic light emitting element shown on the left side of the partition wall 660 ( 652). In detail, a method of depositing an organic light emitting material on the entire surface of the planarization layer 611 is used to form the organic light emitting layer 652. Since the organic light emitting material has poor step coverage, the organic light emitting device 650 may be formed. The organic light emitting layer 652 is disconnected by the inverse tapered partition wall 660, and the organic light emitting layer 662 is formed on the partition wall 660. In addition, in the case of metal materials, which are materials used as the metal layer 656 of the cathode 653, since the step coverage is generally poor, the metal layer 656 of the cathode 653 may also be formed by the inverse tapered partition wall 660. Disconnected.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(600)에서 캐소드(653)는 하이브리드-그래핀층(610)을 포함하고, 하이브리드-그래핀층(610)은 용액 공정으로 형성된다. 하이브리드-그래핀층(610)을 형성하는 하이브리드-그래핀 조성물의 점성에 따라 하이브리드-그래핀층(610)의 스탭 커버리지가 결정될 수 있다. 따라서 원하는 하이브리드-그래핀층(610)의 스탭 커버리지를 구현하기 위해서 하이브리드-그래핀 조성물을 제조 시에 추가되는 폴리머, 금속 나노 파티클 그리고 환원된 그래핀 플레이트렛의 구성비를 조절하여 점도를 조절할 수 있다. 또한 바인더를 추가로 더 첨가하여 점성을 얻을 수도 있다. 따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 하이브리드-그래핀층(610)은 격벽(660)에 의해 단절되지 않고 격벽(660) 아래에서 격벽(660)과 뱅크(620) 사이에서 노출된 보조 전극(640)과 접할 수 있고, 캐소드(650)의 메탈층(656)과 보조 전극(640) 사이의 전기적 연결을 제공할 수 있다. In the organic light emitting diode display 600 according to the exemplary embodiment, the cathode 653 includes a hybrid graphene layer 610, and the hybrid graphene layer 610 is formed by a solution process. Step coverage of the hybrid-graphene layer 610 may be determined according to the viscosity of the hybrid-graphene composition forming the hybrid-graphene layer 610. Therefore, in order to achieve the desired coverage of the hybrid-graphene layer 610, the viscosity may be controlled by adjusting the composition ratio of the polymer, metal nanoparticles, and reduced graphene platelets added at the time of preparing the hybrid-graphene composition. It is also possible to further add a binder to obtain viscosity. Thus, as shown in FIG. 6, the hybrid-graphene layer 610 is not disconnected by the partition wall 660, but the auxiliary electrode 640 exposed between the partition wall 660 and the bank 620 under the partition wall 660. ) And provide an electrical connection between the metal layer 656 of the cathode 650 and the auxiliary electrode 640.
또한, 유기 발광층(652)을 구성하는 물질들은 수분 및 산소에 매우 취약하므로, 유기 발광층(652)에 대한 외부로부터의 수분 및 산소 침투를 최소화하기 위한 구성이 필요하다. 이에, 박막 봉지(TFE)와 같은 별도의 봉지부가 유기 발광 표시 장치(600)에 사용될 수 있으나, 이와 같은 봉지부를 추가적으로 형성하기 위해서는 별도의 장비들이 필요하여 추가적인 장비 비용이 발생하며, 제조 시간 또한 증가하게 되므로 별도의 봉지부를 사용하는 방식에는 문제점이 있다. 또한, 현재 사용되고 있는 TFE, 유리 봉지, 메탈 봉지 등의 봉지부들은 플렉서블 디바이스에서 요구되는 플렉서빌리티(flexibility)를 충분히 갖추지 못한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(600)에서는 캐소드(653)에 포함되는 하이브리드-그래핀층(610)이 상술한 바와 같은 우수한 기체/수분 배리어 특성을 가지므로, 하이브리드-그래핀층(610)이 봉지부와 같은 기능을 수행할 수 있다. 따라서, 별도의 봉지부가 형성되지 않아도 되므로, 제조 공정 측면에서 유리함이 있다.In addition, since the materials constituting the organic light emitting layer 652 are very vulnerable to moisture and oxygen, a configuration for minimizing moisture and oxygen penetration from the outside to the organic light emitting layer 652 is required. Thus, a separate encapsulation unit such as a thin film encapsulation (TFE) may be used in the organic light emitting display device 600, but additional equipment is required to additionally form such an encapsulation unit, resulting in additional equipment cost and increased manufacturing time. Since there is a problem in using a separate encapsulation. In addition, currently used encapsulation such as TFE, glass encapsulation, metal encapsulation does not have enough flexibility required for the flexible device. In the organic light emitting diode display 600 according to the exemplary embodiment, since the hybrid-graphene layer 610 included in the cathode 653 has the excellent gas / moisture barrier characteristics as described above, the hybrid-graphene layer ( 610 may perform the same function as the encapsulation. Therefore, there is no advantage in terms of manufacturing process, since the separate sealing portion does not have to be formed.
도 6에서는 캐소드(653)가 메탈층(656) 및 하이브리드-그래핀층(600)을 포함하는 것으로 설명되었으나, 캐소드(653)는 유기 발광층(652)에 전자를 제공하는 메탈층(656)만으로 구성되고, 하이브리드-그래핀층(600)은 캐소드(653)에 포함되지 않는 것으로 정의될 수도 있다.In FIG. 6, the cathode 653 has been described as including a metal layer 656 and a hybrid-graphene layer 600. However, the cathode 653 includes only the metal layer 656 that provides electrons to the organic emission layer 652. Hybrid-graphene layer 600 may be defined as not being included in cathode 653.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 디바이스의 다양한 특징들에 대해 설명한다.Hereinafter, various features of an electronic device according to an embodiment of the present invention will be described.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 하이브리드-그래핀층은 전자 디바이스의 배리어층으로 기능하고, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역은 전자 디바이스의 전극으로 기능하는 것을 특징으로 한다. According to another feature of the invention, the hybrid-graphene layer functions as a barrier layer of the electronic device, and the first region of the hybrid-graphene layer functions as an electrode of the electronic device.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제1 영역과 제2 영역 사이의 면저항 차이는 최소 100Ω/square 이상인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the difference in sheet resistance between the first region and the second region is characterized in that at least 100 Ω / square or more.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역은 1kΩ/square 또는 그이상의 면저항값을 갖고, 하이브리드-그래핀층의 제2 영역은 10kΩ/square 또는 그이상의 면저항값을 갖는 것을 특징으로 한다. According to another feature of the invention, the first region of the hybrid-graphene layer has a sheet resistance value of 1 kΩ / square or more, and the second region of the hybrid-graphene layer has a sheet resistance value of 10 kΩ / square or more It is done.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들을 상호 연결시키는 복수의 금속 나노 파티클들은 하이브리드-그래핀층의 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들에 결함을 생성하지 않는 방법에 의해 산화 가능한 금속 물질인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the plurality of metal nanoparticles interconnecting the plurality of reduced graphene platelets does not create a defect in the plurality of reduced graphene platelets of the hybrid-graphene layer. It is characterized in that the oxidizable metal material.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 전자 디바이스는 터치 스크린 패널이고, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역은 터치 스크린 패널의 터치 감지 전극으로 구성된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the electronic device is a touch screen panel, characterized in that the first region of the hybrid-graphene layer is composed of a touch sensing electrode of the touch screen panel.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 전자 디바이스는 터치 스크린 패널이고, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역은 터치 스크린 패널의 터치 감지 전극들 사이의 전기적 연결을 제공하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the electronic device is a touch screen panel, characterized in that the first region of the hybrid-graphene layer provides electrical connection between the touch sensing electrodes of the touch screen panel.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 전자 디바이스는 박막 트랜지스터이고, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역은 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 중 적어도 하나로서 기능하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the electronic device is a thin film transistor, and wherein the first region of the hybrid-graphene layer functions as at least one of a source electrode, a drain electrode and a gate electrode of the thin film transistor.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 전자 디바이스는 유기 발광 소자를 포함하는 유기 발광 표시 장치이고, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역은 유기 발광 소자의 애노드 및 캐소드 중 적어도 하나와 직접 접하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the electronic device is an organic light emitting display device including an organic light emitting device, wherein the first region of the hybrid-graphene layer is in direct contact with at least one of the anode and the cathode of the organic light emitting device. .
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 전자 디바이스는 유기 발광 소자를 포함하는 유기 발광 표시 장치이고, 하이브리드-그래핀층의 제1 영역은 유기 발광 소자의 애노드 및 캐소드 중 적어도 하나로 기능하는 것을 특징으로 한다. According to another feature of the invention, the electronic device is an organic light emitting display device including an organic light emitting element, the first region of the hybrid-graphene layer is characterized in that it functions as at least one of an anode and a cathode of the organic light emitting element.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 디바이스의 다양한 특징들에 대해 설명한다.Hereinafter, various features of an electronic device according to an embodiment of the present invention will be described.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 복수의 금속 나노 파티클은 백금(Pt), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 및 이들의 조합 중 하나인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the plurality of metal nanoparticles is characterized in that one of platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au) and combinations thereof.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 디스플레이 디바이스의 다양한 특징들에 대해 설명한다.Hereinafter, various features of the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment will be described.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 하이브리드-그래핀층은 약 10nm 내지 100㎛의 두께로 형성된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the hybrid-graphene layer is characterized in that formed in a thickness of about 10nm to 100㎛.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 디바이스 제조 방법의 다양한 특징들에 대해 설명한다.Hereinafter, various features of an electronic device manufacturing method according to an embodiment of the present invention will be described.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 하이브리드-그래핀층의 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계는, 제2 영역을 약 4 내지 11의 범위의 pKa를 갖는 산에 노출시킴에 의해 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the step of oxidizing the three-dimensional particle shaped filler located in the second region of the hybrid-graphene layer is to expose the second region to an acid having a pKa in the range of about 4-11. By oxidizing the three-dimensional particle shape filler located in the second region.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 하이브리드-그래핀층의 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계는, 제2 영역에 레이져를 조사하여 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the step of oxidizing the three-dimensional particle shape filler located in the second region of the hybrid-graphene layer, the three-dimensional particle shape located in the second region by irradiating the laser to the second region. It is characterized by oxidizing the filler.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 하이브리드-그래핀층의 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계는, 제2 영역에 레이져를 조사하여 제2 영역에 매립된 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 제 1 산화 공정 및 하이브리드-그래핀층의 제2 영역을 약 4 내지 11의 범위의 pKa를 갖는 산에 노출시킴에 의해 제2 영역의 하이브리드-그래핀층 상부에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 제2 산화 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another feature of the invention, the step of oxidizing the three-dimensional particle-shaped filler located in the second region of the hybrid-graphene layer, the three-dimensional particles embedded in the second region by irradiating the laser to the second region Three-dimensionally located on top of the hybrid-graphene layer of the second region by first oxidation process to oxidize the filler and exposing the second region of the hybrid-graphene layer to an acid having a pKa in the range of about 4-11. And a second oxidation step of oxidizing the particle-shaped filler.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

Claims (20)

  1. 제1 영역 및 상기 제1 영역의 면저항과 상이한 면저항을 갖는 제2 영역을 포함하는 하이브리드-그래핀(hybrid-graphene)층을 포함하는 전자 디바이스로서,An electronic device comprising a hybrid-graphene layer comprising a first region and a second region having a sheet resistance different from the sheet resistance of the first region.
    상기 제1 영역은, 복수의 산화되지 않은 금속 나노 파티클들을 통해 상호 연결된 복수의 그래핀 플레이트렛(platelet)들을 포함하고, 상기 제2 영역은, 복수의 산화된 금속 나노 파티클들을 통해 상호 연결된 복수의 그래핀 플레이트렛들을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.The first region includes a plurality of graphene platelets interconnected through a plurality of non-oxidized metal nanoparticles, and the second region includes a plurality of interconnected via a plurality of oxidized metal nanoparticles. An electronic device, characterized in that it comprises graphene platelets.
  2. 제1항에 있어서, The method of claim 1,
    상기 하이브리드-그래핀층은 상기 전자 디바이스의 배리어층으로 기능하고,The hybrid-graphene layer functions as a barrier layer of the electronic device,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제1 영역은 상기 전자 디바이스의 전극으로 기능하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스. The first region of the hybrid-graphene layer serves as an electrode of the electronic device.
  3. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이의 면저항 차이는 최소 100Ω/square 이상인 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.And the sheet resistance difference between the first region and the second region is at least 100 m 3 / square or more.
  4. 제1항에 있어서, The method of claim 1,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제1 영역은 1kΩ/square 또는 그이상의 면저항값을 갖고,The first region of the hybrid-graphene layer has a sheet resistance value of 1 kΩ / square or greater,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제2 영역은 10kΩ/square 또는 그이상의 면저항값을 갖는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스. And the second region of the hybrid-graphene layer has a sheet resistance value of 10 kΩ / square or greater.
  5. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들을 상호 연결시키는 상기 복수의 금속 나노 파티클들은 상기 하이브리드-그래핀층의 상기 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들에 결함을 생성하지 않는 방법에 의해 산화 가능한 금속 물질인 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.The plurality of metal nanoparticles interconnecting the plurality of reduced graphene platelets are metal materials oxidizable by a method that does not create defects in the plurality of reduced graphene platelets of the hybrid-graphene layer. An electronic device, characterized in that.
  6. 제1항에 있어서, The method of claim 1,
    상기 전자 디바이스는 터치 스크린 패널이고,The electronic device is a touch screen panel,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제1 영역은 상기 터치 스크린 패널의 터치 감지 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.And said first region of said hybrid-graphene layer is comprised of a touch sensing electrode of said touch screen panel.
  7. 제1항에 있어서, The method of claim 1,
    상기 전자 디바이스는 터치 스크린 패널이고,The electronic device is a touch screen panel,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제1 영역은 상기 터치 스크린 패널의 터치 감지 전극들 사이의 전기적 연결을 제공하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.And wherein said first region of said hybrid-graphene layer provides electrical connection between touch sensing electrodes of said touch screen panel.
  8. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 전자 디바이스는 박막 트랜지스터이고,The electronic device is a thin film transistor,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제1 영역은 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 중 적어도 하나로서 기능하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.And the first region of the hybrid-graphene layer functions as at least one of a source electrode, a drain electrode and a gate electrode of the thin film transistor.
  9. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 전자 디바이스는 유기 발광 소자를 포함하는 유기 발광 표시 장치이고,The electronic device is an organic light emitting display device including an organic light emitting element,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제1 영역은 상기 유기 발광 소자의 애노드 및 캐소드 중 적어도 하나와 직접 접하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.The first region of the hybrid-graphene layer is in direct contact with at least one of an anode and a cathode of the organic light emitting element.
  10. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 전자 디바이스는 유기 발광 소자를 포함하는 유기 발광 표시 장치이고,The electronic device is an organic light emitting display device including an organic light emitting element,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제1 영역은 상기 유기 발광 소자의 애노드 및 캐소드 중 적어도 하나로 기능하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.And the first region of the hybrid-graphene layer functions as at least one of an anode and a cathode of the organic light emitting element.
  11. 기판 또는 폴리머 매트릭스; 및Substrate or polymer matrix; And
    복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들과 복수의 금속 나노 파티클로 구성된 필러를 포함하는 하이브리드-그래핀층을 포함하는 전자 디바이스로서,An electronic device comprising a hybrid-graphene layer comprising a filler consisting of a plurality of reduced graphene platelets and a plurality of metal nanoparticles,
    상기 필러는 상기 폴리머 매트릭스 내에 분산되어 있거나 또는 상기 기판 상에 형성되어 있고, 최소 상기 복수의 금속 나노 파티클중 일부는 상기 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛 중 최소 일부 환원된 그래핀 플레이트렛의 표면에 접하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.The filler is dispersed in the polymer matrix or formed on the substrate, wherein at least some of the plurality of metal nanoparticles are on the surface of at least some of the reduced graphene platelets of the plurality of reduced graphene platelets. In contact with, an electronic device.
  12. 제11항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 복수의 금속 나노 파티클은 백금(Pt), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 및 이들의 조합 중 하나인 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스.Wherein the plurality of metal nanoparticles is one of platinum (Pt), nickel (Ni), copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), and combinations thereof.
  13. 기판; Board;
    상기 기판 상에 형성된 유기 발광 소자; 및 An organic light emitting element formed on the substrate; And
    상기 유기 발광 소자와 전기적으로 연결되고 상기 유기 발광 소자의 기체/수분의 침투를 억제하는 하이브리드-그래핀층을 포함하는 전자 디바이스에서, In an electronic device comprising a hybrid-graphene layer electrically connected to the organic light emitting device and suppressing the penetration of gas / moisture of the organic light emitting device,
    상기 하이브리드-그래핀층 2차원적 평면 형상을 가진 탄소 기반의 제1 필러와3차원적 형상을 가지는 금속 기반의 제2 필러를 포함하고, 상기 하이브리드-그래핀층의 제1 영역의 제2 필러는 산화되지 않고 상기 하이브리드-그래핀층의 제2영역의 제2 필러는 산화된 것을 특징으로 하는, 유기 발광 디스플레이 디바이스.The hybrid-graphene layer includes a carbon-based first filler having a two-dimensional planar shape and a metal-based second filler having a three-dimensional shape, wherein the second filler of the first region of the hybrid-graphene layer is oxidized. And the second filler of the second region of the hybrid-graphene layer is oxidized.
  14. 제13항에 있어서,The method of claim 13,
    상기 하이브리드-그래핀층은 약 10nm 내지 100um의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는, 유기 발광 디스플레이 디바이스.And the hybrid-graphene layer is formed to a thickness of about 10 nm to 100 um.
  15. 2차원적 평면 형상을 가지는 탄소 기반의 필러 및 3차원적 파티클 형상의 금속 기반 필러가 폴리머 매트릭스 안에 분산되어 상호 연결된 하이브리드-그래핀층을 타겟 표면 상에 형성하는 단계;Dispersing a carbon-based filler having a two-dimensional planar shape and a three-dimensional particle-shaped metal-based filler in a polymer matrix to form an interconnected hybrid-graphene layer on the target surface;
    상기 하이브리드-그래핀층의 제1 영역을 보호하고, 상기 하이브리드-그래핀층의 제2 영역을 노출시키는 보호막(resist)을 형성하는 단계;Protecting the first region of the hybrid graphene layer and forming a resist that exposes the second region of the hybrid graphene layer;
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계; 및Oxidizing a three-dimensional particle shaped filler located in said second region of said hybrid-graphene layer; And
    상기 보호막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스 제조 방법.Removing the protective film.
  16. 제15항에 있어서,The method of claim 15,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계는, 상기 제2 영역을 약 4 내지 11의 범위의 pKa를 갖는 산에 노출시킴에 의해 상기 제2 영역에 위치한 3차원적파티클 형상의 필러를 산화시키는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스 제조 방법.Oxidizing a three-dimensional particle shaped filler located in said second region of said hybrid-graphene layer, said second region by exposing said second region to an acid having a pKa in the range of about 4-11. A method of manufacturing an electronic device, comprising oxidizing a three-dimensional particle shaped filler located at.
  17. 제15항에 있어서,The method of claim 15,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계는, 상기 제2 영역에 레이져를 조사하여 상기 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스 제조 방법.Oxidizing the three-dimensional particle-shaped filler located in the second region of the hybrid-graphene layer, irradiating a laser to the second region to oxidize the three-dimensional particle-shaped filler located in the second region. An electronic device manufacturing method, characterized in that.
  18. 제15항에 있어서,The method of claim 15,
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제2 영역에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 단계는, 상기 제2 영역에 레이져를 조사하여 상기 제2 영역에 매립된 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 제 1 산화 공정; 및Oxidizing the three-dimensional particle-shaped filler located in the second region of the hybrid-graphene layer, irradiating a laser to the second region to oxidize the three-dimensional particle-shaped filler embedded in the second region. To a first oxidation process; And
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 제2 영역을 약 4 내지 11의 범위의 pKa를 갖는 산에 노출시킴에 의해 상기 제2 영역의 상기 하이브리드-그래핀층 상부에 위치한 3차원적 파티클 형상의 필러를 산화시키는 제2 산화 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스 제조 방법. Exposing the second region of the hybrid-graphene layer to an acid having a pKa in the range of about 4 to 11 to oxidize a three-dimensional particle shaped filler located above the hybrid-graphene layer of the second region. And a second oxidation process.
  19. 전자 장치를 위한 하이브리드-그래핀층으로서,As a hybrid-graphene layer for an electronic device,
    상기 하이브리드-그래핀층은 제1 영역 및 제2 영역을 갖고,The hybrid graphene layer has a first region and a second region,
    상기 제1 영역은 폴리머, 상기 폴리머에 분산되고 최소 2층 이상의 환원된 그래핀 옥사이드 시트들로 구성되는 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들 및 상기 복수의 환원된 그래핀 플레이트렛들간의 전기적 연결을 개선시키는 복수의 금속 나노 파티클들을 포함하고,The first region is an electrical connection between the polymer, a plurality of reduced graphene platelets composed of at least two layers of reduced graphene oxide sheets dispersed in the polymer and the plurality of reduced graphene platelets. A plurality of metal nanoparticles to improve,
    상기 제2 영역은 폴리머, 상기 폴리머에 분산되고 최소 2층 이상의 환원된 그래핀 옥사이드 시트들로 구성되는 복수의 그래핀 옥사이드 플레이트렛들 및 상기 복수의 그래핀 플레이트렛들간의 전기적 연결을 방해하는 복수의 산화된 금속 나노 파티클들을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전자 장치를 위한 하이브리드-그래핀층.The second region is a plurality of graphene oxide platelets composed of a polymer, at least two layers of reduced graphene oxide sheets dispersed in the polymer, and a plurality of blocks preventing electrical connection between the plurality of graphene platelets. A hybrid-graphene layer for an electronic device, characterized in that it comprises oxidized metal nanoparticles of.
  20. 폴리머, 하나 이상의 환원된 그래핀 시트들로 구성되는 복수의 환원된 그래핀 옥사이드 플레이트렛 및 복수의 금속 나노 파티클을 포함하고, 제1 영역 및 제2 영역을 갖는 하이브리드-그래핀층을 형성하는 단계; 및Forming a hybrid-graphene layer comprising a polymer, a plurality of reduced graphene oxide platelets composed of one or more reduced graphene sheets and a plurality of metal nanoparticles, the first graph having a first region and a second region; And
    상기 하이브리드-그래핀층의 상기 복수의 금속 나노 파티클 중 상기 제2 영역에 포함된 금속 나노 파티클을 선택적으로 산화시키는 단계를 포함하는 전자 디바이스 제조 방법으로서,A method of manufacturing an electronic device comprising selectively oxidizing a metal nanoparticle included in the second region of the plurality of metal nanoparticles of the hybrid-graphene layer.
    상기 제2 영역은 상기 제1 영역의 면저항 보다 높은 면저항값을 갖는 것을 특징으로 하는, 전자 디바이스 제조 방법.And the second region has a sheet resistance value higher than the sheet resistance of the first region.
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