WO2013111266A1

WO2013111266A1 - アクチュエータ

Info

Publication number: WO2013111266A1
Application number: PCT/JP2012/051385
Authority: WO
Inventors: 健二郎藤本; 山村　雄一
Original assignee: パイオニア株式会社; パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
Priority date: 2012-01-24
Filing date: 2012-01-24
Publication date: 2013-08-01

Abstract

　アクチュエータ（１）は、可動部（１２０）と、可動部を支持する支持部（１１０）と、長手方向に沿った回転軸を中心として可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って可動部と支持部とを接続するトーションバー（２３０）とを備えており、トーションバーのうち回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度は、トーションバーのうち回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さい。

Description

アクチュエータ

　本発明は、例えばミラー等が設けられた可動部を駆動するＭＥＭＳスキャナ等のアクチュエータの技術分野に関する。

　例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体プロセス技術によって製造されるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、レーザ光のスキャニングに用いられるＭＥＭＳスキャナが知られている。このようなＭＥＭＳスキャナは、可動板と、可動板を取り囲む枠状の支持枠と、可動板を支持枠に対して揺動可能に軸支するトーションバーとを備えている。

　このようなＭＥＭＳスキャナを開示する先行技術として、特許文献１から特許文献３が一例としてあげられる。

特表２００１－５２５９７２号公報特表２００２－５２４２７１号公報特開２００４－１７７５４３号公報

　このようなＭＥＭＳスキャナの活用法として、例えば、映像を投影するためのヘッドアップディスプレイ等の映像表示装置に用いられることが想定されている。ここで、ＭＥＭＳスキャナをヘッドアップディスプレイ等の映像表示装置に用いる場合には、高解像度の映像を投影するために、可動板の遥動の周波数（例えば、可動板の質量及び当該可動板を軸支するトーションバーのバネ定数によって定まる共振周波数）を大きくすることが好ましい。

　可動板の遥動の周波数を大きくするための一つの対策として、トーションバーを太くする又は短くすることでトーションバーを硬くする（言い換えれば、トーションバーのバネ定数を大きくする）対策が考えられる。しかしながら、トーションバーを単純に太くするだけでは、トーションバーを太くした分だけ、可動板の遥動に伴ってトーションバーに加わる応力が増加してしまうという技術的な問題点が生じてしまう。同様に、トーションバーを単純に短くするだけでは、トーションバーを短くした分だけ、可動板の遥動に伴ってトーションバーに加わる応力が増加してしまうという技術的な問題点が生ずる。その結果、このような応力の増加がトーションバーの破壊を引き起こしかねないという技術的な問題点が生ずる。

　本発明は、例えば前述した従来の問題点に鑑みなされたものであり、例えばトーションバーの破壊を防止又は抑止しながら、可動部が遥動する周波数を大きくすることが可能なアクチュエータを提供することを課題とする。

　アクチュエータは、上記課題を解決するために、可動部と、当該可動部を支持する支持部と、長手方向に沿った回転軸を中心として前記可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーとを備えており、前記トーションバーのうち前記回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度は、前記トーションバーのうち前記回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さい。

　本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。

第１実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。第１実施例のアクチュエータが備える複数の一対のトーションバーの形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。回転軸上に位置するただ一つのトーションバーを用いて可動部を回転させる比較例のアクチュエータの構成の一例を示す拡大平面図である。第２実施例のアクチュエータが備える複数の一対のトーションバーの形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。第３実施例のアクチュエータが備える複数の一対のトーションバーの形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。第４実施例のアクチュエータが備える複数の一対のトーションバーの形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。第５実施例のアクチュエータの構成の一例を示す平面図である。

　以下、アクチュエータの実施形態について順に説明する。

　本実施形態のアクチュエータは、可動部と、当該可動部を支持する支持部と、長手方向に沿った回転軸を中心として前記可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーとを備えており、前記トーションバーのうち前記回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度は、前記トーションバーのうち前記回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さい。

　本実施形態のアクチュエータによれば、トーションバーによって懸架された可動部が遥動する。可動部は、例えば、トーションバーが伸長する方向（つまり、トーションバーの長手方向）に沿った軸を回転軸として回転するように遥動してもよい。

　このような可動部の回転を実現するために、トーションバーは、当該トーションバーの長手方向に沿って可動部と支持部とを接続する。このとき、トーションバーは、可動部と支持部とを直接的に接続していてもよい。或いは、トーションバーは、可動部と支持部とを間接的に（言い換えれば、間に任意の部材を介在させた上で）接続してもよい。

　本実施形態では、トーションバーの一部を構成するバー部分の密度は、可動部の回転軸と当該バー部分との間の距離に応じて調整されている。より具体的には、トーションバーのうち回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度は、トーションバーのうち回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくなっている。尚、トーションバーが回転軸上に位置する場合には、回転軸から相対的に遠い第１バー部分は、トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に外側に位置するバー部分に相当する。同様に、回転軸に相対的に近い第２バー部分は、トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に中心側に位置するバー部分に相当する。従って、トーションバーが回転軸上に位置する場合には、トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に外側に位置する第１バー部分の密度は、トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に中心側に位置する第２バー部分の密度よりも小さくなっているとも表現できる。

　ここで、回転軸上に位置するただ一つのトーションバーに支持されている可動部が遥動した場合に当該トーションバーに加わる応力について説明する。尚、ここで言う「ただ一つのトーションバー」とは、文字通りただ１本のトーションバーを意味する他に、可動部を挟み込むように又は可動部を支持するように位置する一対の（言い換えれば、１セットの）トーションバーをも意味する広い趣旨である。このような可動部が遥動した場合には、当該ただ一つのトーションバーの両側の縁部分（より具体的には、トーションバーの短手方向に沿った両側の縁部分）に加わる応力が、中心部分（より具体的には、トーションバーの短手方向に沿った中心部分）に加わる応力よりも大きくなる。つまり、当該ただ一つのトーションバーのうち回転軸から相対的に遠い縁部分に加わる応力が、当該ただ一つのトーションバーのうち回転軸に相対的に近い中心部分に加わる応力よりも大きくなる。つまり、可動部が遥動することに伴って当該ただ一つのトーションバーに加わる応力は、回転軸から遠くなるほど加わりやすくなる。

　このような応力の加わり方を考慮すれば、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度が回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さいトーションバーを備える本実施形態のアクチュエータによれば、回転軸から相対的に遠い第１バー部分（つまり、密度が相対的に小さい第１バー部分）に応力が加わりやすくなる。しかるに、密度の相対的な小ささに起因して第１バー部分が相対的に柔らかくなるため、回転軸から相対的に遠い第１バー部分に加わる応力は緩和される。このため、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の破壊が好適に防止又は抑止される。一方で、回転軸に相対的に近い第２バー部分（つまり、密度が相対的に大きい第２バー部分）には、それほど大きな応力が加わることはない。このため、回転軸に相対的に近い第２バー部分の破壊もまた好適に防止又は抑止される。従って、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度が回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さいトーションバーを備える本実施形態のアクチュエータによれば、トーションバーの破壊が好適に防止又は抑止される。

　他方で、トーションバーのバネ定数を相対的に大きくするためにトーションバーの幅を太くしたり或いはトーションバーの長さを短くしたりしても、上述したようにトーションバーの破壊が好適に防止又は抑止される。このため、トーションバーのバネ定数に応じて定まる可動部の遥動の周波数を相対的に大きくすることができる。

　つまり、本実施形態のアクチュエータによれば、複数のトーションバーの破壊を防止又は抑止しながら、可動部が遥動する周波数を大きくすることができる。

　尚、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくするためには、後述するように、第１バー部分及び第２バー部分に形成される孔の有無によって実現されてもよい。具体的には、第１バー部分に一又は複数の孔を形成する一方で、第２バー部分に一又は複数の孔を形成しないことで、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくしてもよい。或いは、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくするためには、後述するように、第１バー部分及び第２バー部分に形成される孔の数の調整によって実現されてもよい。具体的には、第１バー部分に相対的に多くの孔を形成する一方で、第２バー部分に相対的に少ない孔を形成する又は孔を形成しないことで、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくしてもよい。或いは、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくするためには、後述するように、第１バー部分及び第２バー部分に形成される孔の大きさの調整によって実現されてもよい。具体的には、第１バー部分に相対的に大きい孔を形成する一方で、第２バー部分に相対的に小さい孔を形成する又は孔を形成しないことで、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくしてもよい。或いは、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくするためには、後述するように、第１バー部分及び第２バー部分の材料を変えることで実現されてもよい。具体的には、相対的に密度が小さい材料から第１バー部分が構成される一方で、相対的に密度が大きい材料から第２バー部分が構成されることで、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくしてもよい。

　尚、可動部がただ一つのトーションバーに支持されている場合であっても、トーションバーの厚み（具体的には、トーションバーの長手方向及び短手方向の夫々に直交する方向に沿った厚み）を調整することで、トーションバーの破壊を防止又は抑止しながら可動部が遥動する周波数を大きくすることができるとも考えられる。この場合、トーションバーの破壊を防止又は抑止しながら可動部が遥動する周波数を大きくするためには、トーションバーの厚みを厚くすることが好ましい。しかしながら、後述するように、可動部、支持部及びトーションバーは、共通の（言い換えれば、１つの）半導体基板から半導体製造プロセスを用いて製造されることがある。このため、トーションバーの厚みを厚くするためには、可動部及び支持部の厚みをも厚くしなければならなくなる。更には、後に詳述するように、バネ定数を大きくしたくない他のトーションバーの厚みをも厚くしなければならなくなる。しかるに、本実施形態によれば、可動部や支持部の仕様を変えることなく、トーションバーの破壊を防止又は抑止しながら可動部が遥動する周波数を大きくすることができる。このため、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度が回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さいトーションバーを備える本実施形態のアクチュエータは、トーションバーの厚みが調整されているアクチュエータと比較して、実践上大変有利である。

　本実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記トーションバーは、前記回転軸上に位置するように配置されており、前記トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に外側に位置するバー部分である前記第１バー部分の密度は、前記トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に中心側に位置するバー部分である前記第２バー部分の密度よりも小さい。

　この態様によれば、トーションバーが可動部の回転軸上に位置する場合において、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　本実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記第１バー部分は、前記第２バー部分よりも柔らかい。

　この態様によれば、上述したように、相対的に柔らかくなる第１バー部分（つまり、密度の相対的な小ささに起因して相対的に柔らかくなる第１バー部分であって、回転軸から相対的に遠い第１バー部分）に応力が加わりやすくなる。しかるに、密度の相対的な小ささに起因して第１バー部分が相対的に柔らかくなるため、第１バー部分に加わる応力は緩和される。このため、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の破壊が好適に防止又は抑止される。一方で、相対的に硬くなり得る第２バー部分（つまり、密度の相対的な大きさに起因して相対的に硬くなり得る第２バー部分であって、回転軸に相対的に近い第２バー部分）には、それほど大きな応力が加わることはない。このため、回転軸に相対的に近い第２バー部分の破壊もまた好適に防止又は抑止される。従って、トーションバーの破壊が好適に防止又は抑止される。

　本実施形態のアクチュエータの他の態様では、前記第１バー部分には、一又は複数の孔が形成されている。

　この態様によれば、第１バー部分の密度は、一又は複数の孔が形成された分だけ小さくなる。言い換えれば、孔が形成されることに起因して、第１バー部分を相対的に柔らかくすることができる。従って、比較的容易に、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくすることができる。その結果、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　尚、この態様では、第２バー部分には、一又は複数の孔が形成されていなくともよい。或いは、第２バー部分には、第１バー部分に形成された孔の数よりも少ない数の孔が形成されてもよい。或いは、第２バー部分には、第１バー部分に形成された孔のサイズ（例えば、径）よりも小さいサイズの孔が形成されてもよい。いずれにせよ、第１バー部分に形成される孔に起因した第１バー部分の密度の減少量が、第２バー部分に形成される孔に起因した第２バー部分の密度の減少量を上回るように、第２バー部分には適切な孔が形成されてもよいし、形成されなくともよい。

　このとき、孔が形成されている場合の「第１（第２）バー部分の密度」は、孔が形成されている場合の第１（第２）バー部分の質量を孔が形成されていない場合の第１（第２）バー部分の体積で除することで算出される密度を示す趣旨である。従って、孔が形成された分だけ第１（第２）バー部分の質量が減るため、孔の形成によって第１（第２）バー部分の密度が調整される。

　尚、本実施形態の「孔」とは、トーションバーを貫通する孔（いわゆる、開口）であってもよいし、トーションバーを貫通しない孔（いわゆる、凹部）であってもよいし、トーションバーの内部に形成された（言い換えれば、外部に現れない）孔（いわゆる、空隙）であってもよい。

　上述の如く第１バー部分に一又は複数の孔が形成されるアクチュエータの態様では、前記複数の孔のサイズは、前記回転軸に近づけば近づくほど小さくなるように構成してもよい。

　このように構成すれば、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくすることができる。特に、第１バー部分のみに着目しても、孔のサイズの調整に起因して回転軸から遠くなるほど密度が小さくなることができるため、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　上述の如く第１バー部分に一又は複数の孔が形成されるアクチュエータの態様では、前記複数の孔の数は、前記回転軸に近づけば近づくほど少なくなるように構成してもよい。

　このように構成すれば、回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度を回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さくすることができる。特に、第１バー部分のみに着目しても、孔の数の調整に起因して回転軸から遠くなるほど密度が小さくなることができるため、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　上述の如く第１バー部分に一又は複数の孔が形成されるアクチュエータの態様では、前記一又は複数の孔の形状は、平行四辺形であるように構成してもよい。

　このように構成すれば、平行四辺形の形状となる孔が形成された第１バー部分は、いわば蛇腹に類似したバネの如く作用し得る。このため、第１バー部分を相対的に柔らかくすることができるため、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　上述の如く孔の形状が平行四辺形となるアクチュエータの態様では、前記一又は複数の孔の角部分は面取り処理が施されているように構成してもよい。

　このように構成すれば、孔の角部分から生じ得る亀裂に起因した第１バー部分の破壊を好適に防止又は抑止することができる。

　上述の如く第１バー部分に一又は複数の孔が形成されるアクチュエータの態様では、前記トーションバーの外縁の形状は、前記長手方向に沿って、前記可動部との接続点から前記長手方向に沿って幅が徐々に細くなり且つ前記支持部との接続点から前記長手方向に沿って幅が徐々に細くなるくびれ形状であり、前記一又は複数の孔が形成されている第１バー部分と前記第２バー部分との境界の形状は、前記トーションバーの外縁の形状に合わせた形状であるように構成してもよい。

　このように構成すれば、上述した各種効果を享受しつつ、可動部を、トーションバーが伸長する方向に沿った軸を回転軸として好適に回転させることができる。

　上述の如く第１バー部分に一又は複数の孔が形成されるアクチュエータの態様では、前記トーションバーの外縁の形状は、前記トーションバーの外縁から短手方向に沿って突き出る複数の突出部分と、当該複数の突出部分の夫々の間において前記トーションバーの外縁から前記短手方向に沿って当該トーションバーの内部に切れ込む切込部分とが、前記長手方向に沿って交互に形成される波型の形状であり、前記複数の突出部分に前記複数の孔が夫々形成されるように構成してもよい。

　このように構成すれば、上述した各種効果を享受しつつ、可動部を、トーションバーが伸長する方向に沿った軸を回転軸として好適に回転させることができる。特に、トーションバーの外縁の形状（つまり、実質的には、第１バー部分の外縁の形状）が波型の形状となるため、第１バー部分を相対的に柔らかくすることができる。このため、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から明らかにされる。

　以上説明したように、本実施形態のアクチュエータによれば、可動部と、支持部と、トーションバーとを備え、トーションバーのうち回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度は、トーションバーのうち回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さい。従って、トーションバーの破壊を防止又は抑止しながら、可動部が遥動する周波数を大きくすることができる。

　以下、実施例について図を参照しつつ説明する。

　（１）第１実施例
　以下、図１を参照して、第１実施例のアクチュエータ１について説明する。図１は、第１実施例のアクチュエータ１の構成の一例を示す平面図である。

　図１に示すように、第１実施例のアクチュエータ１は、例えばレーザ光のスキャニングに用いられるプレーナ型電磁駆動アクチュエータ（即ち、ＭＥＭＳスキャナ）である。アクチュエータ１は、外側支持体１１０と、一対のトーションバー１３０と、内側支持体２１０と、一対のトーションバー２３０と、可動部１２０と、一対の永久磁石１６０と、一対の電源端子１７０とを備えている。

　外側支持体１１０、一対のトーションバー１３０、内側支持体２１０、一対のトーションバー２３０及び可動部１２０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、外側支持体１１０、一対のトーションバー１３０、内側支持体２１０、一対のトーションバー２３０及び可動部１２０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、外側支持体１１０、一対のトーションバー１３０、内側支持体２１０、一対のトーションバー２３０及び可動部１２０が一体的に形成されてもよい。

　外側支持体１１０は、内側支持体２１０を取り囲むような枠形状を有しており、内側支持体２１０の両側に位置する（言い換えれば、内側支持体２１０の両側から当該内側支持体２１０を挟み込む）一対のトーションバー１３０によって内側支持体２１０と接続されている。尚、図１は、外側支持体１１０の形状が枠形状となる例を示しているが、外側支持体１１０の形状が枠形状に限定されないことは言うまでもない。例えば、外側支持体１１０の形状は、その一部が開口している枠形状となってもよい。

　内側支持体２１０は、可動部１２０を取り囲むような枠形状を有しており、一対のトーションバー１３０が伸長する方向（つまり、一対のトーションバー１３０の長手方向であり、図１中Ｘ軸の方向）に沿った回転軸を中心に揺動可能なように一対のトーションバー１３０によって外側支持体１１０に軸支されている。内側支持体２１０は、更に、可動部１２０の両側に位置する（言い換えれば、可動部１２０の両側から当該可動部１２０を挟み込む）一対のトーションバー２３０によって可動部１２０と接続されている。内側支持体２１０の表面には、駆動コイル１４０が形成されている。但し、駆動コイル１４０は、内側支持体２１０の内部に形成されてもよい。尚、図１は、内側支持体２１０の形状が枠形状となる例を示しているが、内側支持体２１０の形状が枠形状に限定されないことは言うまでもない。例えば、内側支持体２１０の形状は、その一部が開口している枠形状となってもよい。

　可動部１２０は、一対のトーションバー２３０が伸長する方向（つまり、一対のトーションバー２３０の長手方向であって、図１中Ｙ軸の方向）に沿った回転軸を中心に揺動可能なように一対のトーションバー２３０によって内側支持体２１０に軸支されている。可動部１２０の表面には、レーザ光を反射する不図示のミラーが形成される。

　一対のトーションバー１３０は、内側支持体２１０が外側支持体１１０に対して揺動可能なように、内側支持体２１０と外側支持体１１０とを接続する。一対のトーションバー１３０の弾性によって、内側支持体２１０は、一対のトーションバー１３０が伸長する方向に沿った軸を回転軸として回転するように遥動する。つまり、内側支持体２１０は、図１におけるＸ軸を回転軸として、当該回転軸の周りで回転するように遥動する。このとき、可動部１２０は、一対のトーションバー２３０を介して内側支持体２１０に接続されている。従って、内側支持体２１０の遥動に伴って、可動部１２０は、実質的には、図１におけるＸ軸を回転軸として、当該回転軸の周りで回転するように遥動する。

　一対のトーションバー２３０の夫々は、可動部１２０が内側支持体２１０に対して揺動可能なように、可動部１２０と内側支持体２１０とを接続する。一対のトーションバー２３０の弾性によって、可動部１２０は、一対のトーションバー２３０が伸長する方向に沿った軸を回転軸として回転するように遥動する。つまり、可動部１２０は、図１におけるＹ軸を回転軸として、当該回転軸の周りで回転するように遥動する。

　駆動コイル１４０は、例えば、内側支持体２１０上に伸長するコイルである。駆動コイル１４０は、例えば相対的に導電率の高い材料（例えば、金や銅等）を用いて形成されてもよい。また、駆動コイル１４０は、めっきプロセスやスパッタリング法等の半導体製造プロセスを用いて形成されてもよい。或いは、駆動コイル１４０は、外側支持体１１０、一対のトーションバー１３０、内側支持体２１０、複数の一対のトーションバー２３０及び可動部１２０を形成するためのシリコン基板に対してインプラント法を用いて埋め込まれてもよい。尚、図１上では、図面の見やすさを重視して、駆動コイル１４０の外形を簡略化して記載してあるが、実際には、駆動コイル１４０は、内側支持体２１０の表面上に形成された一又は複数の巻き線によって構成されている。

　駆動コイル１４０には、外側支持体１１０上に形成されている一対の電源端子１７０及び当該一対の電源端子１７０と駆動コイル１４０とを電気的に接続するための配線１５０であって且つ一対のトーションバー１３０上に形成された配線１５０を介して、電源から制御電流が供給される。制御電流は、内側支持体２１０及び可動部１２０を遥動させるための制御電流であって、典型的には、内側支持体２１０が遥動する周波数と同期した周波数の信号成分及び可動部１２０が遥動する周波数と同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。尚、電源は、アクチュエータ１自身が備えている電源であってもよいし、アクチュエータ１の外部に用意される電源であってもよい。

　一対の永久磁石１６０は、外側支持体１１０の外部に取り付けられている。但し、一対の永久磁石１６０は、駆動コイル１４０に対して所定の静磁界を印加することができる限りは、どのような箇所に取り付けられてもよい。一対の永久磁石１６０は、駆動コイル１４０に対して所定の静磁界を印加することができるように、その磁極の向きが適切に設定されていることが好ましい。尚、一対の永久磁石１６０には、静磁界の強度を高めるために、ヨークが付加されていてもよい。

　このような第１実施例のアクチュエータ１が動作する（具体的には、可動部１２０が遥動する）場合には、まず、電源から、電源端子１７０及び配線１５０を介して、駆動コイル１４０に対して制御電流が供給される。このとき駆動コイル１４０に対して供給される制御電流は、内側支持体２１０を遥動させるための信号（具体的には、内側支持体２１０の遥動の周期に同期した信号）と可動部１２０を遥動させるための信号（具体的には、可動部１２０の遥動の周期に同期した信号）とが重畳された電流であることが好ましい。一方で、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０によって静磁界が印加されている。従って、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に供給される制御電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイル１４０が形成されている内側支持体２１０は、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に供給される制御電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。つまり、内側支持体２１０は、図１におけるＸ軸を回転軸として回転するように遥動する。このとき、可動部１２０は、複数の一対のトーションバー２３０を介して内側支持体２１０に接続されている。従って、内側支持体２１０の遥動に伴って、可動部１２０は、実質的には、図１におけるＸ軸を回転軸として、当該回転軸の周りで回転するように遥動する。

　加えて、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に供給される制御電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力は、慣性力として可動部１２０に伝達される。その結果、可動部１２０は、図１におけるＹ軸を回転軸として回転するように遥動する。

　このように、第１実施例のアクチュエータ１によれば、可動部１２０の２軸駆動が行われる。

　尚、第１実施例では、ローレンツ力そのものを用いて内側支持体２１０を遥動させ且つローレンツ力を慣性力として用いて可動部１２０を遥動させることで、可動部１２０の２軸駆動が行われている。しかしながら、可動部１２０を遥動させるローレンツ力を発生させるための駆動コイルを、可動部１２０上に形成してもよい。この場合には、一対のトーションバー２３０には（更には、内側支持体２１０や一対のトーションバー１３０や外側支持体１１０）には、外側支持体１１０上の電源端子１７０から可動部１２０上の駆動コイルにつながる配線が形成されることが好ましい。

　第１実施例では特に、一対のトーションバー２３０の夫々の一部のバー部分に、複数の孔２３１が形成される。以下、図２を参照して、一対のトーションバー２３０の夫々の一部のバー部分に形成される孔２３１について説明する。図２は、第１実施例のアクチュエータ１が備える一対のトーションバー２３０の形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。尚、図２は、一対のトーションバー２３０のうち可動部１２０の一方側（例えば、図１の上側）に配置されるトーションバー２３０に着目して説明を進める。しかしながら、一対のトーションバー２３０のうち可動部１２０の他方側（例えば、図１の下側）に配置されるトーションバー２３０についても同様である。

　図２に示すように、トーションバー２３０のうち可動部１２０の回転軸（以下、特に注記しない場合は、単に“回転軸”と称する場合は、“可動部１２０の回転軸（つまり、Ｙ軸に沿った回転軸）”を意味するものとする）からの距離が相対的に遠いバー部分２３２には、複数の孔２３１が形成されている。このとき、バー部分２３２の外縁に沿って複数の孔２３１が配列するように、複数の孔２３１が形成されていてもよい。尚、図２は、トーションバー２３１が回転軸上に位置するアクチュエータ１を示している。この場合、バー部分２３２と回転軸との間の距離は、バー部分２３２がトーションバー２３０の短手方向に沿って相対的に中心側に位置するか又は外側（言い換えれば、縁側）に位置するかに依存することになる。従って、トーションバー２３１が回転軸上に位置する場合には、トーションバー２３０のうち当該トーションバー２３０の短手方向に沿って相対的に外側（言い換えれば、縁側）に位置するバー部分２３２に、複数の孔２３１が形成されているとも言える。

　複数の孔２３１の夫々は、トーションバー２３０を貫通する孔２３１（いわゆる、開口）であってもよいし、トーションバー２３０を貫通しない孔２３１（いわゆる、凹部）であってもよいし、トーションバー２３０の内部に形成された（言い換えれば、外部に現れない）孔２３１（いわゆる、空隙）であってもよい。

　複数の孔２３１の夫々のサイズ（例えば、径）は、孔２３１が回転軸に近づけば近づくほど小さくなってもよい。但し、複数の孔２３１の夫々のサイズは、全て同一であってもよいし、ランダムに変えられていてもよい。加えて、複数の孔２３１の数は、孔２３１が回転軸に近づけば近づくほど少なくなってもよい。但し、複数の孔２３１の数は、孔２３１が回転軸に近づけば近づくほど少なくなっていなくともよい。

　複数の孔２３１の夫々の形状は、図２に示す楕円形であってもよい。このとき、楕円の長辺（言い換えれば、長軸）が伸長する方向とトーションバー２３０の長手方向が一致するように、複数の孔２３１が形成されてもよい。或いは、楕円の短辺（言い換えれば、短軸）が伸長する方向とトーションバー２３０の長手方向が一致するように、複数の孔２３１が形成されてもよい。或いは、複数の孔２３１の夫々の形状は、円形であってもよいし、矩形であってもよいし、後述する平行四辺形であってもよいし、その他の任意の形状であってもよい。

　他方で、トーションバー２３０のうち可動部１２０の回転軸からの距離が相対的に近いバー部分２３３には、孔２３１が形成されていない。言い換えれば、トーションバー２３１が回転軸上に位置する場合には、トーションバー２３０のうち当該トーションバー２３０の短手方向に沿って相対的に中心側（言い換えれば、中央側）に位置するバー部分２３３には、孔２３１が形成されていない。但し、後述するように、回転軸からの距離が相対的に近いバー部分２３３にも、一又は複数の孔２３１が形成されていてもよい。

　第１実施例では、バー部分２３２に複数の孔２３１が形成される一方でバー部分２３３に孔２３１が形成されていないがゆえに、バー部分２３２の密度（具体的には、孔２３１が形成されている場合のバー部分２３２の質量を孔２３１が形成されていない場合のバー部分２３２の体積で除することで得られる密度）は、バー部分２３３の密度よりも小さくなる。その結果、密度の違いに起因して（或いは、孔２３１の有無に起因して）、バー部分２３２の硬さは、バー部分２３３の硬さよりも柔らかくなる。尚、ここでいう「硬さ」とは、可動部１２０の遥動に伴うトーションバー２３０の変形力に対する硬さを示す趣旨である。

　ここで、複数の孔２３１が形成されたバー部分２３２を含むトーションバー２３０を用いることで得られる第１実施例のアクチュエータ１の技術的効果を説明するために、図３を参照しながら、回転軸上に位置するただ一つのトーションバー１２３０を用いて可動部１２０を回転させる比較例のアクチュエータについて説明する。図３は、回転軸上に位置するただ一つのトーションバー１２３０を用いて可動部１２０を回転させる比較例のアクチュエータの構成の一例を示す拡大平面図である。

　図３に示すように、比較例のアクチュエータでは、可動部１２０が遥動した場合には、トーションバー１２３０の両側の縁部分（より具体的には、トーションバー２３０の短手方向に沿った両側の縁部分であり、図３における左右の縁部分に相当する）に加わる応力が、中心部分（より具体的には、トーションバーの短手方向に沿った中心部分）に加わる応力よりも大きくなる。つまり、回転軸から相対的に遠いトーションバー１２３０の縁部分に加わる応力が、回転軸に相対的に近いトーションバー１２３０の中心部分に加わる応力よりも大きくなる。つまり、可動部１２０が遥動することに伴ってトーションバー１２３０に加わる応力は、回転軸から相対的に遠くなるほど加わりやすくなる。

　このような応力の加わり方を考慮すれば、複数の孔２３１が形成されたバー部分２３２を含むトーションバー２３０を備える第１実施例のアクチュエータ１によれば、トーションバー２３０のうちの複数の孔２３１が形成されたバー部分２３２（つまり、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２であって、相対的に縁側に位置するバー部分２３２）に応力が加わりやすくなる。しかるに、複数の孔２３１が形成されるがゆえにバー部分２３２が相対的に柔らかくなるため、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２に加わる応力は緩和される。言い換えれば、複数の孔２３１が形成されるがゆえにバー部分２３２の密度が相対的な小さくなるため、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２が相対的に柔らかくなり、結果として、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２に加わる応力は緩和される。このため、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２の破壊が好適に防止又は抑止される。

　一方で、トーションバー２３０のうち孔２３１が形成されていないバー部分２３３（つまり、回転軸に相対的に近いバー部分２３３であって、相対的に中心側に位置するバー部分２３２）には、それほど大きな応力が加わることはない。このため、回転軸に相対的に近いバー部分２３３の破壊もまた好適に防止又は抑止される。言い換えれば、孔２３１が形成されないがゆえにバー部分２３３の密度が相対的に大きくなるため、回転軸に相対的に近いバー２３３が相対的に硬くなる。しかるに、回転軸に相対的に近いバー部分２３３にはそれほど大きな応力が加わることがないため、回転軸に相対的に近いバー部分２３３の破壊もまた好適に防止又は抑止される。

　このように、第１実施例のアクチュエータ１によれば、トーションバー２３０のうちの回転軸から相対的に遠いバー部分２３２に選択的に複数の孔２３１が形成されるため、トーションバー２３０の破壊が好適に防止又は抑止される。

　加えて、第１実施例のアクチュエータ１によれば、トーションバー２３０の破壊を防止しつつ、トーションバー２３０の幅を相対的に太くする又はトーションバー２３０の長さを相対的に短くすることができる（つまり、バネ定数を相対的に大きくすることができる）。尚、図３に示す比較例のアクチュエータでは、トーションバー１２３０の幅を太くすることで当該トーションバー１２３０のバネ定数を大きくすることができるものの、トーションバー２３０の幅が太くなった分だけトーションバー２３０が破壊されやすくなってしまう。しかるに、第１実施例のアクチュエータ１によれば、トーションバー２３０の破壊とトーションバー２３０のバネ定数の増大化との間のトレードオフの関係を考慮した上で、トーションバー２３０の破壊を防止しつつ、トーションバー２３０の幅を相対的に太くする又はトーションバー２３０の長さを相対的に短くすることができる（つまり、バネ定数を相対的に大きくすることができる）。このため、トーションバー２３０のバネ定数に応じて定まる可動部１２０の遥動の周波数を相対的に大きくすることができる。特に、第１実施例のアクチュエータ１がヘッドアップディスプレイ等の映像表示装置に適用される場合には、一対のトーションバー１３０の弾性に起因した遥動（つまり、Ｘ軸を回転軸とする遥動）によって垂直走査を実現すると共に一対のトーションバー２３０の弾性に起因した遥動（つまり、Ｙ軸を回転軸とする遥動）によって水平走査を実現することが考えられる。この場合、映像の解像度を増加させるためには、一対のトーションバー２３０の弾性に起因した遥動（つまり、Ｙ軸を回転軸とする遥動）の周波数をあげることが好ましい。従って、第１実施例のアクチュエータ１によれば、一対のトーションバー２３０全体としてのバネ定数を相対的に大きくすることができるため、一対のトーションバー２３０の弾性に起因した遥動（つまり、Ｙ軸を回転軸とする遥動）の周波数をあげることができる。その結果、一対のトーションバー２３０の弾性に起因して可動部１２０が遥動する周波数を大きくすることができる。

　このように、第１実施例のアクチュエータ１によれば、トーションバー２３０の破壊を防止又は抑止しながら、可動部１２０が遥動する周波数を大きくすることができる。

　尚、図２は、一対のトーションバー２３０が、複数の孔２３１が形成されているバー部分２３２を含む例を示している。しかしながら、一対のトーションバー１３０が、複数の孔２３１が形成されているバー部分２３２を含んでいてもよい。一対のトーションバー１３０が複数の孔２３１が形成されているバー部分２３２を含んでいる場合には、一対のトーションバー２３０は、複数の孔２３１が形成されているバー部分２３２を含んでいなくともよい。

　また、図２は、バー部分２３２に孔２３１を形成する一方でバー部分２３３に孔２３１を形成しないことで、バー部分２３２の密度をバー部分２３３の密度よりも小さくする（言い換えれば、バー部分２３２の硬さをバー部分２３３の硬さよりも柔らかくする）例を示している。しかしながら、バー部分２３３に孔２３１が形成されていてもよい。この場合には、バー部分２３２に形成される孔の数をバー部分２３３に形成される孔の数よりも少なくすることで、バー部分２３２の密度をバー部分２３３の密度よりも小さくする（言い換えれば、バー部分２３２の硬さをバー部分２３３の硬さよりも柔らかくする）ように構成してもよい。或いは、バー部分２３２に形成される孔のサイズをバー部分２３３に形成される孔のサイズよりも小さくすることで、バー部分２３２の密度をバー部分２３３の密度よりも小さくする（言い換えれば、バー部分２３２の硬さをバー部分２３３の硬さよりも柔らかくする）ように構成してもよい。或いは、相対的に密度が小さい材料を用いてバー部分２３２を構成する一方で相対的に密度が大きい材料を用いてバー部分２３３を構成することで、バー部分２３２の密度をバー部分２３３の密度よりも小さくする（言い換えれば、バー部分２３２の硬さをバー部分２３３の硬さよりも柔らかくする）ように構成してもよい。

　（２）第２実施例
　続いて、図４を参照して、第２実施例のアクチュエータ２について説明する。図４は、第２実施例のアクチュエータ２が備える一対のトーションバー２３０の形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

　図４に示すように、第２実施例のアクチュエータ２は、第１実施例のアクチュエータ１と比較して、一対のトーションバー２３０の外縁の形状が異なっているという点で異なっている。第２実施例のアクチュエータ２のその他の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１のその他の構成要素と同一であってもよい。

　具体的には、図４に示すように、第２実施例では、トーションバー２３０の外縁の形状は、内側支持体２１０との接続部分の幅及び可動部１２０との接続部分の幅が最も大きくなり且つトーションバー２３０の長手方向における中央付近の幅が最も小さくなる形状（いわゆる、中央付近がくびれているくびれ形状）となっている。このようなトーションバー２３０の外縁の形状に合わせて、複数の孔２３１が形成されるパターンの形状もまた、くびれ形状となっている。つまり、このようなトーションバー２３０の外縁の形状に合わせて、複数の孔２３１が形成されるバー部分２３２と複数の孔２３３が形成されないバー部分２３３との間の境界線の形状もまた、くびれ形状となっている。

　このような第２実施例のアクチュエータ２であっても、第１実施例のアクチュエータ１が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。特に、第２実施例のアクチュエータ２によれば、トーションバー２３０の外縁の形状がくびれ形状となっているため、可動部１２０は、トーションバー２３０の長手方向に沿った軸を回転軸として好適に遥動することができる。

　（３）第３実施例
　続いて、図５を参照して、第３実施例のアクチュエータ３について説明する。図５は、第３実施例のアクチュエータ３が備える一対のトーションバー２３０の形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１から第２実施例のアクチュエータ２が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

　図５に示すように、第３実施例のアクチュエータ３は、第１実施例のアクチュエータ１と比較して、一対のトーションバー２３０の外縁の形状が異なっているという点で異なっている。第３実施例のアクチュエータ３のその他の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１のその他の構成要素と同一であってもよい。

　具体的には、図５に示すように、第３実施例では、トーションバー２３０の外縁の形状は、(i)当該トーションバー２３０の外縁から外側に向かって突き出る突出部分２３４と、(ii)当該トーションバー２３０の外縁から中心側に向かって切れ込む（言い換えれば、食い込む）切込部分２３５とが、トーションバー２３０の長手方向に沿って交互に配列する波型の形状となっている。このとき、突出部分２３４には、孔２３１が形成されることが好ましい。加えて、第３実施例においても、第２実施例と同様に、トーションバー２３０の外縁の形状（或いは、孔２３１が形成されるパターンの形状や、バー部分２３２とバー部分２３３との間の境界線の形状）は、くびれ形状となっている。

　このような第３実施例のアクチュエータ３であっても、第１実施例のアクチュエータ１が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。特に、第３実施例のアクチュエータ３によれば、トーションバー２３０の外縁の形状が波型の形状となり且つ突出部分２３４に孔２３１が形成されているため、複数の孔２３１が形成されているバー部分２３２は、いわゆる蛇腹のバネのように作用し得る。その結果、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２をより一層柔らかくすることができる。その結果、上述した各種効果をより一層好適に享受することができる。

　（４）第４実施例
　続いて、図６を参照して、第４実施例のアクチュエータ４について説明する。図６は、第４実施例のアクチュエータ４が備える一対のトーションバー２３０の形状の詳細の一例を示す拡大平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１から第３実施例のアクチュエータ３が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

　図６に示すように、第４実施例のアクチュエータ４は、第１実施例のアクチュエータ１と比較して、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２に形成される孔２３１の形状及び一対のトーションバー２３０の外縁の形状が異なっているという点で異なっている。第４実施例のアクチュエータ４のその他の構成要素については、第１実施例のアクチュエータ１のその他の構成要素と同一であってもよい。

　具体的には、図６に示すように、第４実施例では、孔２３１の形状は平行四辺形（但し、ひし形を含む）形状となっている。このとき、平行四辺形の長い方の対角線が伸長する方向とトーションバー２３０の長手方向が一致するように、複数の孔２３１が形成されてもよい。或いは、平行四辺形の短い方の対角線が伸長する方向とトーションバー２３０の長手方向が一致するように、複数の孔２３１が形成されてもよい。尚、複数の孔２３１の夫々の角部分（つまり、四隅の部分）は、面取り処理が施されていることが好ましい。

　加えて、平行四辺形の形状を有する複数の孔２３１は、マトリクス状に配置されることが好ましい。更に、トーションバー２３０の外縁の形状は、マトリクス状に配置された複数の孔２３１に合わせた形状を有している。

　このような第４実施例のアクチュエータ４であっても、第１実施例のアクチュエータ１が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。特に、第４実施例のアクチュエータ４によれば、平行四辺形の形状の孔２３１がマトリクス状に形成されているため、複数の孔２３１が形成されているバー部分２３２は、いわゆる蛇腹のバネのように作用し得る。その結果、回転軸から相対的に遠いバー部分２３２をより一層柔らかくすることができる。その結果、上述した各種効果をより一層好適に享受することができる。

　（５）第５実施例
　続いて、図７を参照して、第５実施例のアクチュエータ５について説明する。図７は、第５実施例のアクチュエータ５の構成の一例を示す平面図である。尚、第１実施例のアクチュエータ１から第４実施例のアクチュエータ４が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明については省略する。

　図７に示すように、第５実施例のアクチュエータ５は、可動部１２０の２軸駆動を行う第１実施例のアクチュエータ１と比較して、可動部１２０の１軸駆動を行うという点で異なっている。具体的には、第５実施例のアクチュエータ５は、外側支持体１１０と、一対のトーションバー２３０と、可動部１２０と、一対の永久磁石１６０と、一対の電源端子１７０とを備えている。つまり、第５実施例のアクチュエータ５は、一対のトーションバー１３０と、内側支持体２１０とを備えていないという点で、第１実施例のアクチュエータ１とは異なる。

　外側支持体１１０、一対のトーションバー２３０及び可動部１２０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板から一体的に形成されている。即ち、外側支持体１１０、一対のトーションバー２３０及び可動部１２０は、例えばシリコン基板等の非磁性基板の一部が除去されることにより間隙が形成されることで形成されている。このときの形成プロセスとして、ＭＥＭＳプロセスが用いられることが好ましい。尚、シリコン基板に代えて、任意の弾性材料から、外側支持体１１０、一対のトーションバー２３０及び可動部１２０が一体的に形成されてもよい。

　外側支持体１１０は、可動部１２０を取り囲むような枠形状を有しており、可動部１２０の両側に位置する（言い換えれば、可動部１２０の両側から当該可動部１２０を挟み込む）一対のトーションバー２３０によって可動部１２０と接続されている。

　可動部１２０は、一対のトーションバー２３０が伸長する方向（つまり、一対のトーションバー２３０の長手方向であって、図７中Ｘ軸の方向）に沿った回転軸を中心に揺動可能なように一対のトーションバー２３０によって外側支持体１１０に軸支されている。可動部１２０の表面には、レーザ光を反射する不図示のミラーが形成される。可動部１２０の表面には、駆動コイル１４０が形成されている。但し、駆動コイル１４０は、可動部１２０の内部に形成されてもよい。

　一対のトーションバー２３０の夫々は、可動部１２０が外側支持体１１０に対して揺動可能なように、可動部１２０と外側支持体１１０とを接続する。一対のトーションバー２３０の弾性によって、可動部１２０は、一対のトーションバー２３０が伸長する方向に沿った軸を回転軸として回転するように遥動する。つまり、可動部１２０は、図７におけるＸ軸を回転軸として、当該回転軸の周りで回転するように遥動する。

　駆動コイル１４０には、外側支持体１１０上に形成されている一対の電源端子１７０及び当該一対の電源端子１７０と駆動コイル１４０とを電気的に接続するための配線１５０であって且つ一対のトーションバー２３０上に形成された配線１５０を介して、電源から制御電流が供給される。制御電流は、可動部１２０を遥動させるための制御電流であって、典型的には、可動部１２０が遥動する周波数と同期した周波数の信号成分を含む交流電流である。尚、電源は、アクチュエータ１自身が備えている電源であってもよいし、アクチュエータ１の外部に用意される電源であってもよい。

　このような第５実施例のアクチュエータ５が動作する（具体的には、可動部１２０が遥動する）場合には、まず、電源から、電源端子１７０及び配線１５０を介して、駆動コイル１４０に対して制御電流が供給される。このとき駆動コイル１４０に対して供給される制御電流は、可動部１２０を遥動させるための信号（具体的には、可動部１２０の遥動の周期に同期した信号）を含む電流であることが好ましい。一方で、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０によって静磁界が印加されている。従って、駆動コイル１４０には、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に供給される制御電流との電磁相互作用に起因した力（つまり、ローレンツ力）が生ずる。その結果、駆動コイル１４０が形成されている可動部１２０は、一対の永久磁石１６０から印加される静磁界と駆動コイル１４０に供給される制御電流との電磁相互作用に起因したローレンツ力によって遥動する。つまり、可動部１２０は、図７におけるＸ軸を回転軸として回転するように遥動する。

　このように、第５実施例のアクチュエータ５によれば、可動部１２０の１軸駆動が行われる。そして、可動部１２０の１軸駆動を行うアクチュエータ５であっても、一対のトーションバー２３０を備えているため、第１実施例のアクチュエータ１が享受することができる各種効果を好適に享受することができる。

　尚、第１実施例から第５実施例で説明した各構成の一部を適宜組み合わせてもよい。この場合であっても、第１実施例から第５実施例で説明した各構成の一部を適宜組み合わせることで得られるアクチュエータは、上述した各種効果を好適に享受することができる。

　本発明は、前述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うアクチュエータもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

　１１０　外側支持部
　２１０　内側支持部
　１２０　可動部
　１３０　トーションバー
　２３０　トーションバー
　２３１　孔
　１４０　駆動コイル
　１５０　配線
　１６０　永久磁石

Claims

　可動部と、
　当該可動部を支持する支持部と、
　長手方向に沿った回転軸を中心として前記可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って前記可動部と前記支持部とを接続するトーションバーと
　を備えており、
　前記トーションバーのうち前記回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度は、前記トーションバーのうち前記回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さいことを特徴とするアクチュエータ。
　前記トーションバーは、前記回転軸上に位置するように配置されており、
　前記トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に外側に位置するバー部分である前記第１バー部分の密度は、前記トーションバーのうち短手方向に沿って相対的に中心側に位置するバー部分である前記第２バー部分の密度よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記第１バー部分は、前記第２バー部分よりも柔らかいことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記第１バー部分には、一又は複数の孔が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記複数の孔のサイズは、前記回転軸に近づけば近づくほど小さくなることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
　前記複数の孔の数は、前記回転軸に近づけば近づくほど少なくなることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
　前記一又は複数の孔の形状は、平行四辺形であることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
　前記一又は複数の孔の角部分は面取り処理が施されていることを特徴とする請求項７に記載のアクチュエータ。
　前記トーションバーの外縁の形状は、前記長手方向に沿って、前記可動部との接続点から前記長手方向に沿って幅が徐々に細くなり且つ前記支持部との接続点から前記長手方向に沿って幅が徐々に細くなるくびれ形状であり、
　前記一又は複数の孔が形成されている第１バー部分と前記第２バー部分との境界の形状は、前記トーションバーの外縁の形状に合わせた形状であることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。
　前記トーションバーの外縁の形状は、前記トーションバーの外縁から短手方向に沿って突き出る複数の突出部分と、当該複数の突出部分の夫々の間において前記トーションバーの外縁から前記短手方向に沿って当該トーションバーの内部に切れ込む切込部分とが、前記長手方向に沿って交互に形成される波型の形状であり、
　前記複数の突出部分に前記複数の孔が夫々形成されることを特徴とする請求項４に記載のアクチュエータ。