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WO2006106714A1 - 圧力分布検出装置 - Google Patents

圧力分布検出装置 Download PDF

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Publication number
WO2006106714A1
WO2006106714A1 PCT/JP2006/306432 JP2006306432W WO2006106714A1 WO 2006106714 A1 WO2006106714 A1 WO 2006106714A1 JP 2006306432 W JP2006306432 W JP 2006306432W WO 2006106714 A1 WO2006106714 A1 WO 2006106714A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
loop electrode
pressure distribution
electrode line
detection device
distribution detection
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/306432
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Yasuji Ogawa
Original Assignee
Xiroku, Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to US11/887,556 priority Critical patent/US7703342B2/en
Application filed by Xiroku, Inc. filed Critical Xiroku, Inc.
Priority to KR1020077024963A priority patent/KR101276493B1/ko
Priority to JP2007512779A priority patent/JP4820817B2/ja
Priority to EP06730380A priority patent/EP1873507B1/en
Priority to CN2006800192895A priority patent/CN101189498B/zh
Publication of WO2006106714A1 publication Critical patent/WO2006106714A1/ja

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/04Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring tension in flexible members, e.g. ropes, cables, wires, threads, belts or bands
    • G01L5/10Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring tension in flexible members, e.g. ropes, cables, wires, threads, belts or bands using electrical means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/205Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using distributed sensing elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes

Definitions

  • the present invention relates to a pressure distribution detection device, and more particularly to a pressure distribution detection device that detects an applied pressure distribution using a signal due to electromagnetic coupling in a detection device in which a distance between loop electrode lines is fixed.
  • a pressure-sensitive sensor using electromagnetic coupling is disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 62-31865.
  • Japanese Patent Application No. 2003-398299 by the applicant of the present application discloses a pressure detection device using electromagnetic coupling. Sensors using these electromagnetic couplings detect changes in signals due to changes in the distance between coils.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-100331
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 62-226030
  • Patent Document 3 Japanese Utility Model Publication No. 62-31865
  • pressure sensing devices using pressure-sensitive rubbers using electrostatic coupling have relatively high impedance, so it is difficult to increase the size of sensors that are vulnerable to noise. If it is about the size of a car seat performance evaluation, the impact will be small, but for example pressure on the entire floor of the store When investigating visitor movements with a distribution detector installed or used for crime prevention, it is difficult to measure the pressure distribution because it is greatly affected by noise.
  • the hardness of the electrode itself becomes an obstacle when detecting a minute pressure, and accurate pressure detection is difficult. Furthermore, since the pressure to be measured is applied directly to the electrode itself, the electrode or wiring may break as it is used.
  • the present invention intends to provide a pressure distribution detection device that does not cause disconnection of an electrode even if it is used for a long time with little influence of noise even if the detection region is widened. Is.
  • a pressure distribution detection device includes a first loop electrode line group arranged in parallel within a first surface, and a first loop electrode on the first surface.
  • a plurality of second loop electrode line groups arranged in parallel in a direction perpendicular to the first loop electrode line group in the second surface that is parallel to the surface and fixed at a distance from the first surface
  • a controller that drives one of the loop electrode lines and detects a signal due to electromagnetic coupling from the other.
  • the conductive material may be provided on each intersection of each first loop electrode line and each second loop electrode line.
  • the conductive material may be any one of a square shape, a round shape, and a ring shape.
  • the conductive substance may be provided in a strip shape along each loop electrode line of the detection-side loop electrode line group of the first loop electrode line group and the second loop electrode line group.
  • an oscillator and a constant current drive amplifier whose output impedance is approximately ⁇ may be used on the drive side for the control unit.
  • one or more constant current drive amplifiers are provided, and one or more of the drive side loop electrode line groups of the first loop electrode line group and the second loop electrode line group are provided. It may be connected to the loop electrode wire.
  • the control unit may be a current amplifier having an input impedance of approximately 0 on the detection side.
  • one or more current amplifiers are provided, and one or more of the loop electrode line groups on the detection side of the first loop electrode line group and the second loop electrode line group are provided. It may be connected to the loop electrode wire.
  • the elastic body may be a silicon sponge sheet!
  • each electrode line other than the loop electrode line to which the control unit is connected may be opened.
  • the control unit may drive two or more loop electrode lines with different waveforms.
  • control unit may have a plurality of filter circuits for separating the detected waveforms.
  • first surface and the second surface can be configured as curved surfaces.
  • the elastic body and the conductive material may be transmissive, and a display device may be provided between the second loop electrode line group and the elastic body.
  • the pressure distribution detection device of the present invention is advantageous in that the detection region can be widened because it is not easily affected by noise.
  • the electrode itself is fixed and does not move, so it is highly durable.
  • the movable conductive material does not require wiring, the structure is simple and easy to manufacture. Furthermore, it is possible to realize pressure distribution detection devices having various shapes as well as flat surfaces.
  • FIG. 1 is a schematic top view for explaining the pressure distribution detecting device of the first embodiment of the present invention, and a block diagram of a drive circuit and a detection circuit.
  • Fig. 2 shows the one-dot chain of the pressure distribution detector in Fig. 1. It is a typical sectional side view between line A-A.
  • the sensor unit has a plurality of first loop electrode lines 1 and a plurality of second loop electrode lines 2 arranged at predetermined intervals on the upper and lower sides, and an elastic body 3 is provided thereon.
  • first loop electrode lines 1 are arranged in parallel in one plane
  • the second loop electrode line 2 is a plane different from the first loop electrode line 1 and is the first loop electrode.
  • a plurality of lines are arranged in parallel in a plane parallel to the plane where the line is arranged.
  • the first loop electrode line 1 and the second loop electrode line 2 are fixed at a predetermined interval.
  • the first loop electrode line 1 and the second loop electrode line 2 are arranged in a direction orthogonal to each other and are configured to overlap in a matrix.
  • One end of each loop electrode line is grounded.
  • the elastic body 3 for example, a silicon sponge sheet or the like can be used.
  • the elastic body 3 is not limited to this, and various elastic members having insulating properties can be used.
  • a conductive substance 4 is provided on the elastic body 3. As can be seen from FIG. 1, the conductive material 4 is provided at each intersection of the first loop electrode line 1 and the second loop electrode line 2.
  • the conductive substance 4 can be variously used as long as it has conductivity, such as aluminum foil or copper foil.
  • the conductive substance 4 may be formed on the elastic body 3 by printing a metal foil with a hot stamping method or conductive ink.
  • the resolution of pressure distribution detection depends on the installation density of the loop electrode wires, and therefore, when it is desired to increase the resolution, the installation density of the loop electrode wires is increased, and a conductive substance is placed at least at the intersection of the electrode wires. It only has to be provided. This can be easily realized by microfabrication using a technique such as etching.
  • the sensor unit is connected to the control unit.
  • the control unit also has a drive circuit, a detection circuit, and an MPU.
  • a drive circuit is connected to the first loop electrode line 1, and a detection circuit is connected to the second loop electrode line 2.
  • the drive circuit includes, for example, an oscillator 12 and a constant current drive amplifier 5, and the loop electrode line 1 is driven by sequentially connecting the first loop electrode line 1 to the drive circuit by the switch unit 6.
  • the detection circuit includes, for example, a current amplifier 7, a synchronous detection unit 8, and an AD conversion unit 9, and is sequentially connected to the second loop electrode line 2 by the switch unit 10.
  • the first loop electrode line 1 is described as the drive side
  • the second loop electrode line 2 is described as the detection side.
  • the present invention is not limited to this, and conversely, the first loop electrode line 1 The detection side, second Of course, the loop electrode line 2 may be used as the drive side.
  • the MPU 11 for controlling this is connected to the switch units 6 and 10.
  • the MPU 11 also performs processing such as pressure measurement in response to the signal detected by the detection circuit.
  • each loop electrode line is connected to the drive circuit or the detection circuit via the switch section 6 or 10, and the other end is grounded.
  • the loop electrode wire that is not connected to the drive circuit or the detection circuit is opened, and the other loop electrode wires are not affected.
  • the switch unit 6 or 10 may be configured by a multiplexer or the like. Connect to each loop electrode line in this way! /
  • the constant current drive amplifier 5 of the drive circuit has a high impedance of approximately ⁇ as its output impedance.
  • the current amplifier 7 of the detection circuit has an input impedance of approximately 0, and one of the current amplifier inputs is grounded, and the output from the second loop electrode line 2 is directly input to the other, and a feedback resistor is provided here. Are connected.
  • the current amplified by the current amplifier 7 is input to the synchronous detector 8.
  • the synchronous detector 8 is also connected to the output from the oscillator 12.
  • the synchronous detector 8 synchronizes the output from the oscillator 12 with the signal due to electromagnetic coupling, and the AD converter 9 converts the signal into a digital signal that is input to the MP U11 and performs processing necessary for pressure distribution detection. Is called.
  • the distance between the loop electrode lines facing each other does not change, but the magnitude of the coupling between the loop electrode lines is changed by the movement of the conductive material provided in the vicinity of the intersection.
  • a process for detecting the pressure applied to the pressure distribution detection unit is performed.
  • the procedure for measuring pressure is as follows. explain. First, the constant current drive amplifier 5 is connected to one of the first loop electrode lines 1 by the switch unit 6. On the other hand, the second loop electrode line 2 is connected to the current amplifier 7 by the switch unit 10 in order. When all the second loop electrode lines 2 are connected to the current amplifier 7 in order, the constant current drive amplifier 5 connected by the switch section 6 is connected to the loop electrode line adjacent to the connected first loop electrode line 1. Switch. Then, the second loop electrode line 2 is connected again in order. By repeating these steps, all the loop electrode lines are connected to the drive circuit or the detection circuit in order.
  • the shape of the conductive material 4 shown in FIG. 2 is a square, but the present invention is not limited to this, and various shapes such as a circle and a ring shape can be used as long as they generate eddy currents. Applicable.
  • a magnetic shield material is provided on the surface of the first loop electrode wire 1 opposite to the second loop electrode wire 2 for the purpose of removing ambient influences, noise, and increasing the detection voltage.
  • the magnetic shield material may be provided on the surface of the conductive material 4 opposite to the elastic body 3 side.
  • a silicon steel plate, a permalloy plate or the like can be used as the magnetic shield material.
  • the pressure distribution detection device of the present invention uses a conductive substance made of a thin film or the like for the movable part, and therefore is not affected by the weight of the pressure distribution detection apparatus. It can be detected. Furthermore, since the loop electrode line itself is fixed, the stress on the electrode line is reduced, and the failure rate due to disconnection or short-circuiting can be reduced. In addition, the eddy current generated in the conductive material generates a magnetic field in the direction perpendicular to the excitation direction, and the change in the distance of the conductive material can be captured as a large change in the induced current in the detection side loop electrode wire. Therefore, the pressure can be detected with high accuracy against noise.
  • the loop electrode wire may be a straight wiring instead of a spiral shape, it is easy to manufacture and can be produced at a very low cost. Furthermore, since the impedance of the loop electrode line on the detection side is low, it is possible to create a very large detection surface that is resistant to noise.
  • the pressure distribution detection device of the present invention has a very high sensitivity. That is, the electromagnetic coupling between the first loop electrode wire 1 on the driving side and the conductive material 4 is Ml, and the electromagnetic coupling between the conductive material 4 and the second loop electrode wire 2 on the detection side is M2. Then, the electromagnetic coupling between the first loop electrode line 1 and the second loop electrode line 2 is MI X M2. Since Ml and M2 change according to the change in the distance between each loop electrode line and the conductive material, the change in the induced current that can be detected by the second loop electrode line 2 on the detection side is the square of the change in distance. Appears as As described above, the pressure distribution detection apparatus of the present invention can detect the change in the movement of the conductive substance with very high sensitivity.
  • the pressure distribution detection device of the first embodiment it takes time to measure all the distributions in the detection plane in the method of switching the loop electrode lines each having a large number of pressure detection points one by one. .
  • a pressure distribution detection apparatus will be described with reference to FIG.
  • the same reference numerals as those in FIG. 2 denote the same parts, and the basic configuration is the same as that of the first embodiment shown in FIG.
  • the shape of the conductive material 4 is a square, but in this example, a ring shape is shown.
  • the present invention is not limited to this, and may be square or circular. However, since the eddy current is higher when the resistance value is lower, the square is preferable in that sense.
  • one first loop electrode line 1 selected by the switch unit 6 is driven using a constant current drive amplifier 5 having an output impedance of approximately ⁇ . Then, the second Since the current flowing through the loop electrode line 2 is no longer subject to interference, the current amplifier 7 having an impedance of approximately 0 is connected to the plurality of second loop electrode lines 2 so that they do not interfere with each other! Therefore, since a plurality of current amplifiers 7 can be connected to the second loop electrode line 2 on the detection side at the same time, a plurality of current amplifiers can be detected simultaneously. When the current amplifier 7 is connected to each of the second loop electrode lines 2, the highest speed is possible. However, the present invention is not limited to this, and the current amplifier 7 is smaller in number than the second loop electrode lines 2. For example, a plurality of current amplifiers 7 may be detected at the same time using half the number of second loop electrode wires 2 as shown in the illustrated example.
  • first loop electrode line 1 on the driving side It is also possible to drive the first loop electrode line 1 on the driving side with a different waveform.
  • a constant current drive amplifier 5 for driving the first loop electrode line 1 and having an output impedance of approximately ⁇ a current amplifier 7 having an input impedance of approximately 0 is connected to the second loop electrode line 2 on the detection side.
  • the interference with each of the first loop electrode lines 1 where the second loop electrode lines 2 intersect can be ignored. Accordingly, a plurality of constant current drive amplifiers 5 can be simultaneously connected to the first loop electrode line 1 on the drive side, so that a plurality of simultaneous drive is possible.
  • the constant current drive amplifier 5 is the force that enables the fastest speed when it is connected to each first loop electrode line 1
  • the present invention is not limited to this, and is less than the first loop electrode line 1! /,
  • a plurality of constant current drive amplifiers 5 may be driven at the same time by using half the number of the first loop electrode lines as shown in the illustrated example.
  • FIG. 3 an example is shown in which a plurality of drive sides are simultaneously driven and a plurality of detection sides are simultaneously detected.
  • the present invention is not limited to this, and a plurality of drive sides are simultaneously driven simultaneously. It may be an example in which multiple detections are made simultaneously on the detection side. In either case, high speed operation is possible.
  • the plurality of loop electrode lines that are simultaneously driven are driven by oscillators 12 having different waveforms so that it can be detected on which loop electrode line the pressure is applied. Like that. On the detection side, only the corresponding waveform is separated by a separable filter 15 and detected.
  • the different waveforms may be different by changing the respective driving frequencies, or may be any waveform as long as each driving loop electrode line can be identified, such as modulation and spread spectrum. .
  • Each of the oscillators and filters described above may be realized by an analog circuit! Of course, it can also be realized with a digital circuit using a DSP with a barta and DZA converter.
  • the pressure distribution detection device of the present invention can detect a plurality of pressures at a very high speed because a plurality of simultaneous driving and a plurality of simultaneous detections are possible. Therefore, for example, a change in the load distribution of the foot when jumping and landing can be detected at high speed.
  • FIG. 2 the same reference numerals as those in FIG. 2 represent the same items.
  • the conductive material 4 is provided on each intersection of the first loop electrode line 1 and the second loop electrode line 2 has been described.
  • a conductive material 4 is provided in a strip shape along the loop electrode wire 2.
  • the induced current is in the direction of canceling the magnetic field, that is, a force that is a current in the direction opposite to the current in the first loop electrode line 1 on the drive side, so that it becomes an eddy current, while the second loop electrode on the detection side On line 2, current is generated in a direction that cancels the eddy current. Therefore, similarly to the above-described embodiment, in this embodiment, it is possible to detect a movement change caused by pressurization of the conductive material 4 by an electric current.
  • FIG. 5 shows a case where the pressure distribution detection device formed with the conductive material on the strip described in the third embodiment is formed on a flexible substrate made of, for example, polyimide, and is bent. It is sectional drawing between dashed-dotted lines A-A. Even if it is curved in this way, the effect of displacement on the intersection of the conductive material 4 can be ignored.
  • the pressure distribution detection device of the present invention is applied to a film of a cable or the like, it is possible to detect that the cable has been stepped on and excessive pressure has been applied. It is possible to easily detect where the cut has occurred even if it has been cut.
  • the pressure distribution detection device of the present invention is applied to a touch panel with a display function.
  • the elastic body 3 and the conductive substance 4 are made of a material having permeability.
  • the display device 20 is provided between the loop electrode wire layer and the elastic body.
  • the display device 20 may be a thin LCD, such as an LCD for tablet PCs, which is thin and does not interfere with electromagnetic induction.
  • the pressure distribution detection device of the present invention no wiring is required for the conductive material 4 which is a movable part, and therefore the elastic body 3 and the conductive material 4 can be easily formed on the display surface of the display device 20. As a result, a touch panel with a display function capable of detecting the pressure distribution can be realized. If a flexible display using organic EL or the like is applied as a display device, it is of course possible to bend it as shown in FIG.
  • FIG. 1 is a schematic top view for explaining a pressure distribution detection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic side cross-sectional view of the pressure distribution detection device of FIG.
  • FIG. 3 is a schematic top view for explaining a pressure distribution detection apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic top view for explaining a pressure distribution detection apparatus according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional side view of the pressure distribution detection device of FIG. 4 when bent.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining a pressure distribution detection apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

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Abstract

 検出領域を広くしてもノイズの影響が少なく、長期間使用しても電極の断線等が起こらないような圧力分布検出装置を提供する。  加わる圧力分布を検出する圧力分布検出装置は、第1ループ電極線群1とその上の第2ループ電極線群2とその上の弾性体3とその上の導電性物質4とからなる。第1ループ電極線1は、第1面内に複数平行に配置される。第2ループ電極線2は、第1面に平行で第1面との距離は固定される第2面内に複数平行に配置される。また、第2ループ電極線2は、第1ループ電極線1とは直交する方向に配置される。そして、導電性物質4は、各第1ループ電極線1と各第2ループ電極線2との交点上に、弾性体3を介して移動可能に設けられる。第1ループ電極線1を駆動回路で駆動し、第2ループ電極線2から電磁結合による信号を検出回路で検出する。

Description

明 細 書
圧力分布検出装置
技術分野
[0001] 本発明は、圧力分布検出装置に関し、特に、ループ電極線間の距離は固定した検 出装置における電磁結合による信号を用いて、加わる圧力分布を検出する圧力分布 検出装置に関する。
背景技術
[0002] 薄いシート状のもので圧力分布を検出するための装置は種々開発され、これらは 例えば感圧ゴムを用いるものゃ静電結合を用いるもの、電磁結合を用いるもの等、様 々な方式が存在する。例えば感圧ゴムを用いた圧力分布検出装置としては、特開昭 57— 100331号公報が挙げられる。これは、例えば自動車のシートの性能評価試験 を行う場合に、シート状に感圧ゴムシートからなる圧力検出装置を敷いて圧力分布を 測定するものである。また、同様の用途に使用されるもので静電結合を用いるものと しては、例えば特開昭 62— 226030号公報が挙げられる。これもシート状のセンサを 用いて圧力分布を測定するものである。
[0003] さらに、電磁結合を用いる感圧センサとしては、実公昭 62— 31865号公報に開示 のものがある。また、本願出願人による特願 2003— 398299も、電磁結合を用いる 圧力検出装置を開示するものである。これらの電磁結合を用いるセンサは、コイル間 の距離の変化による信号の変化を検出するものである。
[0004] 特許文献 1 :特開昭 57— 100331号公報
特許文献 2:特開昭 62— 226030号公報
特許文献 3:実公昭 62— 31865号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] し力しながら、感圧ゴムゃ静電結合を用いた圧力検出装置は、比較的インピーダン スが高いのでノイズに弱ぐセンサを大型化することが難し力つた。自動車のシート性 能評価用程度の大きさであれば影響は少な 、が、例えば店舗のフロア全面に圧力 分布検出装置を敷き詰めて来店者の動きを調査したり、防犯用に用いたりする場合 、ノイズの影響を大きく受けてしまうため圧力分布を測定することは困難であった。
[0006] また、電磁結合を用いた圧力検出装置では、電極自身の固さが微小な圧力を検出 する際の障害となり、正確な圧力検出が難し力つた。さらに、測定する圧力が電極自 身にそのまま加わるため、使用するにしたがって電極や配線の断線が起こることもあ つた o
[0007] 本発明は、斯かる実情に鑑み、検出領域を広くしてもノイズの影響が少なぐ長期 間使用しても電極の断線等が起こらないような圧力分布検出装置を提供しょうとする ものである。
課題を解決するための手段
[0008] 上述した本発明の目的を達成するために、本発明による圧力分布検出装置は、第 1面内に複数平行に配置される第 1ループ電極線群と、第 1面上で第 1面に平行で 第 1面との距離が固定される第 2面内に第 1ループ電極線群と直交する方向に複数 平行に配置される第 2ループ電極線群と、第 2面上に設けられる弾性体と、各第 1ル ープ電極線と各第 2ループ電極線の少なくとも交点上に、弾性体を介して移動可能 に設けられる導電性物質と、第 1ループ電極線群及び第 2ループ電極線群の一方を 駆動し、他方から電磁結合による信号を検出する制御部と、を具備するものである。
[0009] ここで、導電性物質は、各第 1ループ電極線と各第 2ループ電極線のそれぞれの交 点上に、それぞれ設けられれば良い。
[0010] また、導電性物質が四角形状、丸形状又はリング形状の何れかであれば良い。
[0011] さらに、導電性物質は、第 1ループ電極線群と第 2ループ電極線群のうちの検出側 のループ電極線群の各ループ電極線に沿ってそれぞれ短冊状に設けられても良い
[0012] また、制御部には、駆動側に発振器と出力インピーダンスが略∞である定電流駆動 アンプを用いれば良い。
[0013] またさらに、定電流駆動アンプが 1つ又は 2つ以上提供され、第 1ループ電極線群 と第 2ループ電極線群のうちの駆動側のループ電極線群の 1つ又は 2つ以上のルー プ電極線に接続されるようにしても良 、。 [0014] また、制御部には、検出側に入力インピーダンスが略 0である電流アンプを用いれ ば良い。
[0015] さらにまた、電流アンプが 1つ又は 2つ以上提供され、第 1ループ電極線群と第 2ル ープ電極線群のうちの検出側のループ電極線群の 1つ又は 2つ以上のループ電極 線に接続されるようにしても良 、。
[0016] ここで、弾性体は、シリコンスポンジシートを用いれば良!、。
[0017] さらに、第 1面下及び Z又は導電性物質上に磁気シールド材を設けることも可能で ある。
[0018] また、制御部が接続されるループ電極線以外の各電極線は開放されれば良い。
[0019] さらに、制御部を 1つ又は 2つ以上のループ電極線に順次接続するためのスィッチ 手段を有すれば良い。
[0020] また、制御部は、 2つ以上のループ電極線を異なる波形で駆動するようにしても良 い。
[0021] ここで、制御部は、検出された各波形を分離するための複数のフィルタ回路を有す るようにすれば良い。
[0022] さらに、第 1面及び第 2面を、湾曲面に構成することも可能である。
[0023] また、弾性体及び導電性物質が透過性を有し、さらに、第 2ループ電極線群と弾性 体との間に、表示装置を有する構成にしても良い。
発明の効果
[0024] 本発明の圧力分布検出装置には、ノイズの影響を受けにくいため検出領域を広く することが可能であるという利点がある。また、電極自体は固定され可動しないため 耐久性も高い。また、可動する導電性物質に配線は不要なため構造がシンプルで製 造も容易である。さらに、平面だけでなく種々の形状の圧力分布検出装置を実現可 能である。
発明を実施するための最良の形態
[0025] 以下、本発明を実施するための最良の形態を図示例と共に説明する。図 1は、本発 明の第 1実施例の圧力分布検出装置を説明するための模式的な上面図と駆動回路 及び検出回路のブロック図である。また、図 2は、図 1の圧力分布検出装置の一点鎖 線 A— A間の模式的な側断面図である。図 2から分力るように、センサ部は、上下に 第 1ループ電極線 1と第 2ループ電極線 2を所定の間隔を開けてそれぞれ複数配置 し、その上に弾性体 3が設けられる。より具体的には、第 1ループ電極線 1は、 1つの 面内に平行に複数配置され、第 2ループ電極線 2は、第 1ループ電極線 1とは異なる 面であって第 1ループ電極線が配置される面と平行な面内に平行に複数配置される 。この第 1ループ電極線 1と第 2ループ電極線 2との間は所定の間隔を開けられ固定 されている。なお、図 1から分かるとおり、第 1ループ電極線 1と第 2ループ電極線 2と は直交する方向に配置され、マトリックス状に重なるように構成される。また、各ルー プ電極線の一端は接地されている。なお、弾性体 3は、例えばシリコンスポンジシート 等が利用可能であるが、これに限定されず、絶縁性を有する弾性部材であれば種々 のものが利用可能である。そして、弾性体 3の上に、導電性物質 4が設けられている。 図 1から分かるとおり、導電性物質 4は、第 1ループ電極線 1と第 2ループ電極線 2の それぞれの交点上にそれぞれ設けられている。なお、導電性物質 4は、アルミ箔ゃ銅 箔等、導電性を有するものであれば種々利用可能である。また、この導電性物質 4は 、金属箔をホットスタンビング法や導電性インクで印刷すること等により弾性体 3上に 形成すれば良い。
[0026] なお、圧力分布検出の分解能はループ電極線の設置密度に依存するため、分解 能を高くしたい場合にはループ電極線の設置密度を高め、少なくとも電極線の交点 上に導電性物質を設ければ良い。これは、エッチング等の技術による微細加工により 容易に実現可能である。
[0027] そして、このセンサ部は、制御部に接続される。制御部は、駆動回路や検出回路、 MPU等力もなる。第 1ループ電極線 1には駆動回路が接続され、第 2ループ電極線 2には検出回路が接続されている。駆動回路は、例えば発振器 12と定電流駆動アン プ 5とからなり、スィッチ部 6により第 1ループ電極線 1を駆動回路に順次接続してル ープ電極線 1を駆動させる。検出回路は、例えば電流アンプ 7と同期検波部 8と AD 変換部 9とからなり、スィッチ部 10により第 2ループ電極線 2に順次接続される。なお 、本明細書中では、第 1ループ電極線 1を駆動側、第 2ループ電極線 2を検出側とし て説明するが、本発明はこれに限定されず、逆に第 1ループ電極線 1を検出側、第 2 ループ電極線 2を駆動側としても勿論構わな 、。
[0028] また、スィッチ部 6, 10には、これを制御するための MPU 11が接続される。 MPU1 1はまた、検出回路により検出された信号を受けて圧力測定等の処理を行う。
[0029] 各ループ電極線の一端はスィッチ部 6又は 10を介して駆動回路又は検出回路に 接続され、他端は接地される。駆動回路又は検出回路に接続されていないループ電 極線は開放された状態となり、他のループ電極線へ影響を及ぼさな ヽようにして 、る 。なお、スィッチ部 6又は 10は、マルチプレクサ等により構成されれば良い。このよう にして各ループ電極線に順次接続するようにして!/、る。
[0030] また、駆動回路の定電流駆動アンプ 5は、その出力インピーダンスを略∞の高イン ピーダンスにすることが望ましい。さらに、検出回路の電流アンプ 7は、入力インピー ダンスが略 0であり、電流アンプの入力の一方は接地し、他方に第 2ループ電極線 2 からの出力を直接入力すると共に、ここに帰還抵抗を接続する構成とする。電流アン プ 7で増幅された電流は、同期検波部 8に入力される。同期検波部 8には、発振器 1 2からの出力も接続される。そして、同期検波部 8において、発振器 12からの出力と 電磁結合による信号の同期を取って、 AD変換部 9でデジタル信号に変換され、 MP U11に入力されて圧力分布検出に必要な処理が行われる。
[0031] 通常、直交するループ電極線間は、結合の度合いが非常に弱いため、第 1ループ 電極線 1を駆動させても第 2ループ電極線 2にはほとんど電流は流れない。しかしな がら、本願発明の圧力分布検出装置においては、導電性物質 4を直交する部分に 設けたため、導電性物質 4に渦電流が流れ、励磁する方向に垂直の方向にも磁界が 発生するので交差するループ電極線間に結合が生じ、第 2ループ電極線 2に電流が 流れるようになる。この結合の度合いは、導電性物質 4と第 2ループ電極線 2との間の 距離により変化するため、圧力分布検出部に加重を与えると、導電性物質 4の移動 距離に応じた変化量を電流値で検出することが可能となる。このように、対向する各 ループ電極線間の距離は変わらないがループ電極線間の結合の大きさ力 その交 点の近傍に設けられた導電性物質の移動により変化するので、その変化量によって 圧力分布検出部に力かる圧力を検出する処理を行うものである。
[0032] このように構成された圧力分布検出装置において、圧力を測定する手順を以下に 説明する。まず、第 1ループ電極線 1の 1つにスィッチ部 6により定電流駆動アンプ 5 を接続する。一方、第 2ループ電極線 2は、それぞれ順番にスィッチ部 10により電流 アンプ 7と接続される。すべての第 2ループ電極線 2を順番に電流アンプ 7に接続し 終わったら、スィッチ部 6により接続する定電流駆動アンプ 5を、接続されていた第 1 ループ電極線 1の隣のループ電極線に切り替える。そして、再度第 2ループ電極線 2 が順番に接続される。これらを繰り返すことで、すべてのループ電極線を順番に駆動 回路又は検出回路に接続する。
[0033] 第 1ループ電極線 1に交流電流が加えられると、導電性物質 4に渦電流が流れ、励 磁する方向に垂直の方向にも磁界が発生し、第 2ループ電極線 2にはそれを打ち消 す方向に電流が流れる。この誘導電流は、第 2ループ電極線 2と導電性物質 4との間 の距離によって変化する。圧力分布検出面に圧力が力かると、弾性体 3が導電性物 質 4と第 2ループ電極線 2との間にあるため、導電性物質 4は第 2ループ電極線 2側 に押し下げられる。これにより電磁結合の大きさが変化するため、第 2ループ電極線 2 からの電流が変化する。この変化をマトリックス状に配置されたループ電極線力 検 出することで、どの部分のループ電極線の電磁結合による信号が変化したのかを測 定することが可能となる。
[0034] なお、図 2に示す導電性物質 4の形状は正方形であるが、本発明はこれに限定され ず、渦電流を発生させるものであれば、円形やリング形状等、種々の形状が適用可 能である。
[0035] また、周囲の影響やノイズの除去、検出電圧を高めたりする目的等で、第 1ループ 電極線 1の第 2ループ電極線 2側とは反対の面側に、磁気シールド材を設けても良!ヽ 。また、磁気シールド材は、導電性物質 4の弾性体 3側とは反対の面側に設けるよう にしても良い。なお、磁気シールド材は、珪素鋼板やパーマロイ板等を利用可能であ る。
[0036] 上記のような構成により、本発明の圧力分布検出装置は、可動部に薄膜等からなる 導電性物質を利用するため、その重量の影響等を受けないので微小な圧力を高い 精度で検出できる。さらに、ループ電極線自体は固定されているため、電極線に対 するストレスが軽減され、断線やショート等による故障率を低くすることが可能となる。 また、導電性物質に生じる渦電流によって、励磁の方向に垂直な方向に磁界が発生 し、導電性物質の距離の変化が検出側ループ電極線で大きな誘導電流の変化とし て捉えることが可能となるため、ノイズに強ぐ高精度に圧力を検出可能となる。さらに 、可動部においては配線が不要となり、またループ電極線も渦巻状等ではなく直線 的な配線で良いため、製造するのが容易であり非常に安価に作成可能となる。さらに また、検出側のループ電極線のインピーダンスが低いためにノイズに強ぐ非常に大 きな検出面を作成することも可能となる。
[0037] さらに、本発明の圧力分布検出装置は、感度が非常に高い。すなわち、駆動側の 第 1ループ電極線 1と導電性物質 4との間の電磁結合を Mlとし、導電性物質 4と検 出側の第 2ループ電極線 2との間の電磁結合を M2とすると、第 1ループ電極線 1と第 2ループ電極線 2との間の電磁結合は MI X M2となる。 Mlと M2は、各ループ電極 線と導電性物質との間の距離の変化にしたがって変化するので、検出側の第 2ルー プ電極線 2で検出できる誘導電流の変化は距離の変化の 2乗となって現れる。このよ うに、本発明の圧力分布検出装置は、導電性物質の移動の変化を非常に高い感度 で検出することが可能となる。
[0038] 第 1実施例の圧力分布検出装置においては、圧力検出点数が多ぐループ電極線 を一本一本切り替える方法では、検出面内のすべての分布を測定するには時間が 力かってしまう。し力も、測定回路は測定時間が長いほど精度が上がるため、より多く の時間が必要になる。
[0039] そこで、この測定時に力かる時間を減らし高速ィ匕を狙った装置を以下に説明する。
本発明の第 2実施例の圧力分布検出装置を、図 3を用いて説明する。図中、図 2と同 一の符号を付した部分は同一物を表わしており、基本的な構成は図 2に示す第 1実 施例と同様である。なお、図 2の例では導電性物質 4の形状は正方形としたが、本実 施例ではリング形状のものを示した。し力しながら、上述のとおり本発明はこれに限定 されず、正方形でも円形でも構わない。但し、抵抗値が低いほうが渦電流が高くなる ため、その意味では正方形のほうが好ましい。
[0040] 本実施例では、出力インピーダンスが略∞の定電流駆動アンプ 5を用いて、スイツ チ部 6で選択した 1つの第 1ループ電極線 1を駆動する。そうすると、検出側の第 2ル ープ電極線 2に流れる電流の干渉を受けなくなるため、複数の第 2ループ電極線 2に インピーダンスが略 0の電流アンプ 7を接続して!/ヽても互いに干渉しな!、。したがって 、検出側の第 2ループ電極線 2には、電流アンプ 7を複数同時に接続することができ るため、複数同時に検出が可能となる。電流アンプ 7は、各第 2ループ電極線 2にそ れぞれ接続した場合が最も高速ィ匕が可能であるが、本発明はこれに限定されず、第 2ループ電極線 2よりも少ない数、例えば図示例のように電流アンプ 7を第 2ループ電 極線 2の半分の数用いて、複数同時に検出するようにしても良 、。
[0041] また、駆動側の第 1ループ電極線 1を異なる波形で駆動することも可能である。第 1 ループ電極線 1を駆動する定電流駆動アンプ 5に出力インピーダンスが略∞のもの を用いることで、検出側の第 2ループ電極線 2に入力インピーダンスが略 0の電流ァ ンプ 7を接続しても、その第 2ループ電極線 2が交差する第 1ループ電極線 1のそれ ぞれへの干渉は無視することができる。したがって、駆動側の第 1ループ電極線 1に は定電流駆動アンプ 5を複数同時に接続することができるため、複数同時に駆動が 可能となる。定電流駆動アンプ 5は、各第 1ループ電極線 1にそれぞれ接続した場合 が最も高速ィ匕が可能である力 本発明はこれに限定されず、第 1ループ電極線 1より も少な!/、数、例えば図示例のように定電流駆動アンプ 5を第 1ループ電極線の半分 の数用いて、複数同時に駆動するようにしても良い。
[0042] 図 3に示した実施例では、駆動側も複数同時に駆動し、検出側も複数同時に検出 するような例を示したが、本発明はこれに限定されず、駆動側のみ複数同時に駆動 する例であっても良いし、検出側のみ複数同時に検出する例であっても良い。いず れの場合であっても、高速ィ匕が可能である。
[0043] 複数のループ電極線を駆動する場合には、どのループ電極線上に圧力が加わつ たかを検出できるように、複数同時に駆動するループ電極線を、それぞれ異なる波 形の発振器 12で駆動するようにする。検出側では、各々の対応する波形のみを分離 可能なフィルタ 15で分離して検出するようにする。ここで、異なる波形とは、それぞれ の駆動周波数を変えて異ならせても良いし、変調やスペクトラム拡散等、各駆動ルー プ電極線が識別できるようなものであれば如何なるものであっても良い。
[0044] 上述の発振器やフィルタは、それぞれアナログ回路で実現しても良!ヽし、 AZDコン バータと DZAコンバータを有する DSP等を用いて、デジタル回路で実現することも 勿論可能である。
[0045] このように、本発明の圧力分布検出装置では、複数同時駆動や複数同時検出がで きるため、非常に高速に圧力分布を検出可能となる。したがって、例えば飛び跳ねて 着地する際の足の荷重分布の変化等も高速に検出可能となる。
[0046] 次に、図 4を用いて本発明の圧力分布検出装置の第 3実施例を説明する。図中、 図 2と同一の符号を付した部分は同一物を表わしている。これまでの実施例では、導 電性物質 4を第 1ループ電極線 1と第 2ループ電極線 2の各交点上にそれぞれ設け た例を説明したが、本実施例は、検出側の第 2ループ電極線 2上に沿って導電性物 質 4を短冊状に設けたものである。導電性物質 4を検出側の第 2ループ電極線 2上に 沿って設けることで、短冊の幅のところで、交差する駆動側の第 1ループ電極線 1か らの誘導電流が発生する。誘導電流は、磁界を打ち消す方向、すなわち駆動側の第 1ループ電極線 1の電流と逆方向の電流となる力 短冊状になっているのでそれが渦 電流となり、一方検出側の第 2ループ電極線 2にはその渦電流を打ち消すような方向 に電流が生じる。したがって、上述の実施例と同様に、本実施例においても導電性 物質 4の加圧による移動変化を電流で検出することが可能となる。
[0047] このように導電性物質を構成すると、交点上に正確に位置合わせをして設ける必要 がなくなるため、製造が容易になる。また、導電性物質の横方向の位置ずれを気に する必要がなくなるため、圧力分布検出面自体を湾曲させても良くなる。図 5は、第 3 実施例において説明した短冊上の導電性物質を形成した圧力分布検出装置を、例 えばポリイミド等カもなるフレキシブル基板上に形成して湾曲させて構成した場合の、 図 4の一点鎖線 A— A間の断面図である。このように湾曲させても、導電性物質 4の 交点上での位置ずれの影響が無視できる。したがって、例えばケーブル等の皮膜に 本発明の圧力分布検出装置を適用すれば、ケーブルが踏まれて無理な圧力が加わ つたこと等を検出可能であるため、ケーブルの切断事故等を事前に防止することがで き、また切断してしまった場合でもどこが切断してしまったのかを容易に検出すること が可能となる。
[0048] さらに、図 6を用いて本発明の第 4実施例を説明する。図中、図 2と同一の符号を付 した部分は同一物を表わしている。第 4実施例は、本発明の圧力分布検出装置を、 表示機能付きタツチパネルに応用したものである。本実施例では、弾性体 3及び導 電性物質 4を、透過性を有する材料で作成する。そして、ループ電極線の層と弾性 体との間に、表示装置 20を設けたものである。なお、表示装置 20には、タブレット PC 用 LCD等、薄型であり且つ電磁誘導を妨害しないように考慮された LCD等が利用 可能である。本発明の圧力分布検出装置は、可動部分である導電性物質 4に配線 が不要なため、表示装置 20の表示面上に容易に弾性体 3と導電性物質 4を形成可 能である。これにより、圧力分布を検出できる表示機能付きタツチパネルが実現可能 である。また、表示装置として有機 EL等を用いたフレキシブルディスプレイを適用す れば、図 5のように湾曲させることも勿論可能である。
[0049] なお、本発明の圧力分布検出装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではな ぐ本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更をカ卩ぇ得ることは勿論であ る。
図面の簡単な説明
[0050] [図 1]図 1は、本発明の第 1実施例の圧力分布検出装置を説明するための模式的な 上面図である。
[図 2]図 2は、図 1の圧力分布検出装置の模式的な側断面図である。
[図 3]図 3は、本発明の第 2実施例の圧力分布検出装置を説明するための模式的な 上面図である。
[図 4]図 4は、本発明の第 3実施例の圧力分布検出装置を説明するための模式的な 上面図である。
[図 5]図 5は、図 4の圧力分布検出装置を湾曲させた場合の模式的な側断面図であ る。
[図 6]図 6は、本発明の第 4実施例の圧力分布検出装置を説明するための模式的な 断面図である。
符号の説明
[0051] 1 第 1ループ電極線
2 第 2ループ電極線 弾性体 導電性物質 定電流駆動アンプ スィッチ部 電流アンプ 同期検波部
AD変換部 スィッチ部 発振器 フイノレタ 表示装置

Claims

請求の範囲
[1] 加わる圧力分布を検出する圧力分布検出装置であって、該装置は、
第 1面内に複数平行に配置される第 1ループ電極線群と、
前記第 1面上で第 1面に平行で第 1面との距離が固定される第 2面内に第 1ループ 電極線群と直交する方向に複数平行に配置される第 2ループ電極線群と、
前記第 2面上に設けられる弾性体と、
各第 1ループ電極線と各第 2ループ電極線の少なくとも交点上に、前記弾性体を介 して移動可能に設けられる導電性物質と、
前記第 1ループ電極線群及び第 2ループ電極線群の一方を駆動し、他方から電磁 結合による信号を検出する制御部と、
を具備することを特徴とする圧力分布検出装置。
[2] 請求項 1に記載の圧力分布検出装置において、前記導電性物質は、前記各第 1ル ープ電極線と各第 2ループ電極線のそれぞれの交点上に、それぞれ設けられること を特徴とする圧力分布検出装置。
[3] 請求項 1又は請求項 2に記載の圧力分布検出装置において、前記導電性物質が 四角形状、丸形状又はリング形状の何れかであることを特徴とする圧力分布検出装 置。
[4] 請求項 1に記載の圧力分布検出装置において、前記導電性物質は、前記第 1ルー プ電極線群と第 2ループ電極線群のうちの検出側のループ電極線群の各ループ電 極線に沿ってそれぞれ短冊状に設けられることを特徴とする圧力分布検出装置。
[5] 請求項 1乃至請求項 4の何れかに記載の圧力分布検出装置において、前記制御 部は、駆動側に発振器と出力インピーダンスが略∞である定電流駆動アンプとを有 することを特徴とする圧力分布検出装置。
[6] 請求項 5に記載の圧力分布検出装置において、前記定電流駆動アンプが 1つ又は 2つ以上提供され、前記第 1ループ電極線群と第 2ループ電極線群のうちの駆動側 のループ電極線群の 1つ又は 2つ以上のループ電極線に接続されることを特徴とす る圧力分布検出装置。
[7] 請求項 1乃至請求項 6の何れかに記載の圧力分布検出装置において、前記制御 部は、検出側に入力インピーダンスが略 0である電流アンプを有することを特徴とす る圧力分布検出装置。
[8] 請求項 7に記載の圧力分布検出装置において、前記電流アンプが 1つ又は 2っ以 上提供され、前記第 1ループ電極線群と第 2ループ電極線群のうちの検出側のルー プ電極線群の 1つ又は 2つ以上のループ電極線に接続されることを特徴とする圧力 分布検出装置。
[9] 請求項 1乃至請求項 8の何れかに記載の圧力分布検出装置において、前記弾性 体は、シリコンスポンジシートからなることを特徴とする圧力分布検出装置。
[10] 請求項 1乃至請求項 9の何れかに記載の圧力分布検出装置であって、さらに、前 記第 1面下に設けられる磁気シールド材を具備することを特徴とする圧力分布検出 装置。
[11] 請求項 1乃至請求項 10の何れかに記載の圧力分布検出装置であって、さらに、前 記導電性物質上に設けられる軟性磁気シールド材を具備することを特徴とする圧力 分布検出装置。
[12] 請求項 1乃至請求項 11の何れかに記載の圧力分布検出装置において、前記制御 部が接続されるループ電極線以外の各電極線は開放されることを特徴とする圧力分 布検出装置。
[13] 請求項 1乃至請求項 12の何れかに記載の圧力分布検出装置であって、さらに、前 記制御部を 1つ又は 2つ以上のループ電極線に順次接続するためのスィッチ手段を 有することを特徴とする圧力分布検出装置。
[14] 請求項 1乃至請求項 13の何れかに記載の圧力分布検出装置において、前記制御 部は、 2つ以上のループ電極線を異なる波形で駆動することを特徴とする圧力分布 検出装置。
[15] 請求項 14に記載の圧力分布検出装置において、前記制御部は、検出された各波 形を分離するための複数のフィルタ回路を有することを特徴とする圧力分布検出装 置。
[16] 請求項 1乃至請求項 15の何れかに記載の圧力分布検出装置において、前記第 1 面及び第 2面が、湾曲面であることを特徴とする圧力分布検出装置。 請求項 1乃至請求項 16の何れかに記載の圧力分布検出装置において、前記弾性 体及び導電性物質が透過性を有し、さらに、前記第 2ループ電極線群と弾性体との 間に、表示装置を有することを特徴とする圧力分布検出装置。
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