WO2005041282A1

WO2005041282A1 - シート剥離装置及び剥離方法

Info

Publication number: WO2005041282A1
Application number: PCT/JP2004/015581
Authority: WO
Inventors: Masaki Tsujimoto; Takahisa Yoshioka
Original assignee: Lintec Corporation
Priority date: 2003-10-27
Filing date: 2004-10-21
Publication date: 2005-05-06
Also published as: US20090014124A1; EP1679739A4; EP1679739A1; CN1871692A; TWI376738B; US7686916B2; SG147455A1; CN1871692B; KR20060121917A; TW200518215A; JP2005129829A; KR101059430B1; JP4494753B2; EP1679739B1

Abstract

　複数の剥離手段を使い分けて保護シートの材質や、肉厚等の相違に応じて最適な条件で剥離を行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供する。　半導体ウエハＷの面に貼付されたシートＳを、これより幅狭の接着テープＴを用いて剥離するシート剥離装置１０であり、当該装置は、接着テープＴを前記シートの端部に接着した状態で鈍角方向に引っ張ってシートＳを剥離する剥がしヘッド部１５（第２の剥離手段）と、接着テープＴをシートＳを横断する方向に接着した状態で、相対的に緩やかな剥離角度方向に引っ張ってシートＳを剥離する第１及び第２のローラ２１，２２（第１の剥離手段）とを備えている。これら剥離手段は、シートＳの種別に応じて何れか一方を選択して利用される。

Description

明細書

シート剥離装置及び剥離方法

技術分野

[0001] 本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、シートの種別に応じて剥離の態様を変更することのできるシート剥離装置及び剥離方法に関する。背景技術

[0002] 半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」と称する）の裏面を研磨して薄くする工程が採用されている。同研磨工程においては、ウェハの表面（回路形成面）に保護シートを貼り付けて被覆した状態としておき、研磨終了後に保護シートをウエノ、から剥離することが行われてヽる。

[0003] 前記保護シートの剥離装置としては、例えば、特許文献 1に示されるように、接着テープを保護シートの端部に貼付し、当該接着テープを引っ張ることにより保護シートをウエノ、から剥離する装置や、特許文献 2に示されるように、保護シートを横断する方向に接着テープを貼付し、当該接着テープを引っ張ることにより保護シートをゥェハから剥離する装置が知られてヽる。

[0004] 特許文献 1 :特開平 11 16862号公報

特許文献 2 :特開 2003— 197583号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 特許文献 1に示された剥離装置は、接着テープをウェハの端部に熱融着して接着する構成を採用しているため、保護シート上に付着したウェハ研削屑が存在していても当該研削屑の影響を受けることなく接着テープと保護シートとの連結が可能となる。し力しながら、この剥離装置では、応力緩和性の高い保護シート、すなわち柔らかい材質の保護シートを用いたときに、当該保護シートが伸びて垂れ下がり、ウェハを貼付支持しているダイシングテープに密着してしまう場合が多ぐ保護シートの材質に制約を伴う、という不都合がある。また、熱融着を用いる構成であるため、この点からも保護シートの材質に制約を伴うものとなっている。しかも、特許文献 1の保護シート剥離角度は、当該保護シートを略 180度近くまで反転させる鈍角方向となっていることから、極薄ウェハの保持を良好に行うべく剛性を備えた保護テープ、例えば、肉厚の厚い保護テープを採用した場合には、剥離自体を困難ならしめる、という不都合がある。

[0006] ところで、特許文献 2は、保護テープ上を回転しながら当該保護シートを横断する方向に移動可能な剥離ローラを用いて保護シートを剥離する構造であるが、この構造においても保護シートが鈍角方向に剥離される構造となっている。従って、特許文献 2においても、剛性を備えた保護シートがウェハ上に貼付された場合の良好なる剥離は困難になる、という不都合を招来する。

[0007] [発明の目的]

本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離角度が相違する複数の剥離手段を用いて保護シートの材質や、肉厚等の相違に応じて最適な条件で剥離を行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにめる。

課題を解決するための手段

[0008] 前記目的を達成するため、本発明は、板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、

前記シートの外面に沿って相対移動可能な第 1のローラと、この第 1のローラの近傍に配置されるとともに、当該第 1のローラと共に相対移動可能な第 2のローラとを含み、

前記第 2のローラは前記第 1のローラの剥離動作時の移動方向とは反対側に位置するとともに、前記シートの面に対して第 1のローラよりも離れた位置に配置される、という構成を採っている。

[0009] また、本発明は、板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、

前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第 1の剥離手段と、

前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第 2の剥離手段とを備え、前記第 1及び第 2の剥離手段を選択的に利用可能に設ける、という構成を採っている。

[0010] 更に、本発明は、略円盤状の半導体ウェハの面をカバーするように貼付されたシートを、当該シートの直径よりも小さい幅となる接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、

前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第 2の剥離手段とを備え、

前記第 1及び第 2の剥離手段を選択的に利用可能に設ける、という構成を採ることができる。

[0011] 前記シート剥離装置において、前記第 1の剥離手段は前記板状部材の面に対して鋭角方向に向力つて前記シートを剥離する構成が採用されている。

[0012] また、前記第 2の剥離手段は前記第 1の剥離手段による剥離角度よりも大きい剥離角度で前記シートを剥離する構成が採用されている。

[0013] 更に、本発明に係るシート剥離方法は、板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法にぉ、て、

前記第 2のローラを、前記第 1のローラの剥離動作時の移動方向とは反対側に位置させるとともに、前記シートの面に対して第 1のローラよりも離れた位置に配置させた状態としておき、

前記第 1及び第 2のローラと前記シートとを、当該シートの外面に沿って同時に相対移動させることでシートを剥離する、 t 、う方法を採って、る。

[0014] また、本発明は、板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法において、前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第 1の剥離手段と、

前記第 1及び第 2の剥離手段を選択的に用いて前記シートを剥離する、という方法を採っている。

[0015] 前記方法において、前記第 1の剥離手段は前記板状部材の面に対して略直角若しくは鋭角方向に向かって前記シートを剥離する一方、前記第 2の剥離手段は前記第 1の剥離手段による剥離角度よりも大きい剥離角度で前記シートを剥離する、という方法を採ることが好ましい。

発明の効果

[0016] 本発明に係るシート剥離装置によれば、前記第 2のローラは、シートの面に対して第 1のローラよりも離れた位置に配置されているため、剥離されたシートが接着テープの幅方向両側力垂れ下がるようになっても、ウェハを貼付支持しているダイシングテープに接着してしまうようなおそれを解消でき、剥離動作を中断させることなく効率よくシートの剥離を行うことができる。

ここで、第 1のローラは、その直径が異なるものに変更することが可能であり、例えば、直径が大きなものを採用した場合には、相対的に小さな直径のローラを用いた場合に比べて外周面が滑らかな曲面となり、剛性の高い保護シートの場合に特に適合させることができる。

また、前記第 1の剥離手段と第 2の剥離手段によるシート剥離角度が異なるため、例えば、ウェハ等の板状部材に、鈍角な方向に折り返した状態で引っ張ることが困難となる厚みを備えた保護シートが貼付されている場合、すなわち、シートに腰があるため、鈍角に折り返すことができない場合には、略直角若しくは鋭角となる剥離角度に設定された第 1の剥離手段を用いることでスムースな剥離を行うことが可能となる。この一方、保護シートを鈍角な方向に引っ張って剥離することに支障がない厚み若しくは材質である場合には、前記第 2の剥離手段を用いて剥離を行うことができ、接着テープの使用量を抑制することが可能となる。なお、本明細書における剥離角度は、図 7及び図 13中 θ 1, Θ 2で示される角度について用いられる。

発明を実施するための最良の形態

[0017] 以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。

図 1には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示されている。この図において、シート剥離装置 10は、基台 11と、当該基台 11上に配置されるとともに、図 1中左右方向に移動可能に設けられ、上面側に板状部材としての略円盤状のウェハ Wを保持するウェハ保持機構 12と、ウェハ Wの表面に貼付されたシートすなわち保護シート Sを剥がすための接着テープ Tの繰出部 14と、接着テープ Tを保持した状態で前記保護シート Sを引っ張る剥がしヘッド部 15 (第 2の剥離手段)と、接着テープ Tを保護シート Sの端部に融着して接着するとともに、当該融着領域よりも僅かに上流側位置で接着テープ Tを切断する機能を備えたヒーターカッター部 16と、前記剥力 Sしヘッド部 15の図 1中左側領域に配置された板材若しくはフレーム等力もなる支持部材 19の前面側（図 1中手前側）に配置された第 1の剥離手段を構成する第 1及び第 2のローラ 21, 22とを備えて構成されている。ここで、前記接着テープ Tは前記ゥエノ、 Wの回路面側（図 1中上面側）に貼付された保護シート Sの直径よりも小さな幅寸法となる帯状のものが用いられて、る。

[0018] 前記保持機構 12はテーブル 23を含み、当該テーブル 23には、ダイシングテープ DTを介してリングフレーム Fの内側領域に貼着固定されたウェハ Wがリングフレーム Fと共に載置可能となっている。これを更に詳述すると、テーブル 23には、図示しない吸引孔が形成されており、所定の減圧ポンプを作動させて前記吸引孔より上方の空気を吸引することで前記ダイシングテープ DT及びリングフレーム Fが吸着保持できるように構成されている。

[0019] 前記繰出部 14は、図 2に示されるように、ロール状の接着テープ Tの保持ローラ 24 と、ガイドローラ 25, 27とを備えて構成されている。この繰出部 14の下端側には、テープ受け板 29が軸 30によってボールブッシュ 31に取り付けられている。テープ受け板 29は図中左右方向に移動可能であり、スプリング 33によって突出方向（左方向）に常時付勢されているとともに、前端部 (左端部）にカッター溝 35を備えて構成されている。接着テープ Tは、テープ受け板 29上でテープ押さえ板 34によって押さえ付けられるようになつている。このテープ押さえ板 34はシリンダ 37によって上下方向に移動可能に設けられており、また、前記繰出部 14全体がシリンダ 39 (図 1参照）によつて上下方向に移動可能に設けられて、る。

[0020] 前記剥がしヘッド部 15は、図示しないシリンダ等を介して上下方向に移動可能に設けられているとともに、左右方向に移動可能に設けられている。この剥がしヘッド部 15は、上顎 40Αと下顎 40Βと力なるチャック 40を備え、上顎 40Αを図示しないシリンダで上下動させることによってチャック 40を開閉するように構成されている。本実施形態において、剥がしヘッド部 15にはチャック 40内に接着テープ Τが存在するかどうかを検出するセンサ 41, 41が取り付けられている。なお、剥がしヘッド部 15は、保護シート Sを剥離するときに、当該保護シート Sの径方向一端部力も他端部に向力つて移動し、これにより、保護シート Sを鈍角方向に向力つて剥離できるように設けられている（図 7中 0 1参照)。

[0021] 前記ヒーターカッター部 16は図示しないシリンダを介して上下に移動可能に設けられているとともに、ヒーター 42を内蔵したヒーターブロック 43を備えて構成されている。ヒーターカッター部 16の下端には、局所的に熱を与える突出部 44が設けられている。また、ヒーターブロック 43はガイド棒 45によってフレーム 46に上下動自在に取り付けられ、フレーム 46に固定されたシリンダ 47によって上下動可能に設けられている。また、前記ヒーターブロック 43を左右両側から挟むように二枚の板状のテープ押さえガイド 49, 49がフレーム 46に取り付けられている。これらテープ押さえガイド 49, 49の下端は曲面に形成されて接着テープ Τを上面力押さえ付けるように構成されている。ここで、図 2中右方のテープ押さえガイド 49の側面にはカッター移動シリンダ 50が取り付けられ、この下端部にカッター刃 52が下方へ突出する状態で取り付けられている。カッター刃 52はカッター移動シリンダ 50の駆動によって上下に往復移動可能に設けられている。また、右方のテープ押さえガイド 49の側面下部には板状のテープ押圧部材 53が配置され、当該テープ押圧部材 53にはカッター刃 52が上下に通過するためのスロット 55が形成されている。

[0022] なお、本実施形態におけるシート剥離装置 10は、前記支持部材 19及びこれの前面側領域に配置された第 1の剥離手段等を除き、本出願人により既に出願された特開平 11— 16862号公報に記載された装置と実質的に同様の構成とされている。

[0023] 前記第 1の剥離手段を構成する第 1及び第 2のローラ 21, 22の配置領域を形成する支持部材 19は上下方向に移動可能に設けられており、第 1のローラ 21は、図示しないモータの出力軸に連結されて回転可能に設けられている。この第 1のローラ 21 は第 2のローラ 22と共に、図示しないシリンダ、保持部材等を介して左右方向に移動可能に設けられ、これらローラ 21, 22が保護シート Sの径方向一端側から他端側に移動することで当該保護シート Sをウェハ Wから剥離できるように構成されている。本実施形態では、第 1のローラ 21が第 2のローラ 22よりも若干小径に設けられているが、第 1のローラ 21は、直径の異なる種々のローラに交換することができる。ここで、第 1 のローラ 21は、ウェハ Wに近い位置に設定される一方、第 2のローラ 22は、第 1の口ーラ 21が剥離時に移動する方向、すなわち、図 1中右方向に対して反対側となる左側に位置し、且つ、第 1のローラ 21よりもウエノ、 Wから距離的に離れた上方位置に設定され、これにより、保護シート Sを剥離するときの当該保護シート Sの上面に対する剥離角度 Θ 2 (図 13参照）が略直角若しくは鋭角となるようになつている。これを更に詳述すると、本実施形態では、第 1のローラ 21の外周左端と第 2のローラ 22の外周右端とを結ぶ仮想直線、すなわち、第 1及び第 2のローラ 21, 22間における保護シート Sの卷取方向が、略鉛直線上に位置するか、或いは当該鉛直線に対して上位が下位よりも若干左側に傾斜する方向となるように設定されている。なお、第 1のローラ 21と第 2のローラ 22との離間距離は、必要に応じて可変設定することができ、これにより、第 1及び第 2のローラ 21, 22間の離間距離を大きく設定することも可能となる。

[0024] 前記支持部材 19の前面側において、前記剥がしヘッド部 15寄りにはテープ押さえローラ 60とプレスローラ 61が支持されている。テープ押さえローラ 60は、接着テープ Tをウェハ Wに貼り付けるときの貼付始端側を押さえ付けるものであり、プレスローラ 6 1は、テープ押さえローラ 60の直近位置からウェハ Wの径方向に回転しながら移動し、接着テープ Tをウェハ W面内に横断させて所定の接着圧力を付与するものである。このプレスローラ 61も前記第 1及び第 2のローラ 21, 22と同様に図示しないシリンダ、保持部材等を介して左右方向に移動可能に設けられて、る。 [0025] また、前記第 1及び第 2のローラ 21, 22の上方位置には、これらローラ 21, 22により剥離される保護シート Sを巻き取る卷取ローラ 64が支持されて、る。この卷取ローラ 64と第 2のローラ 22との間には、ガイドローラ 65, 66及びピンチローラ 67が配置されている。

[0026] 次に、前記剥がしヘッドを用いた剥離方法と、前記第 1及び第 2のローラを用いた剥離方法について説明する。

[0027] 剥がしヘッドを用いた剥離法 (第 2の剥離手段)

剥がしヘッドを用いた剥離動作は、前述した特開平 11-16862号公報に記載された装置の場合と実質的に同様であり、ここでは、説明を簡略にする。

[0028] 先ず、ダイシングテープ DTを介してリングフレーム Fの内側領域に配置され、且つ、上面側に保護シート Sが貼付されたウェハ Wがテーブル 23にセットされた状態で当該テーブル 23上に吸着保持され、図 1中点線で示されるように、テーブル 23が繰出部 14の下方に移動する

[0029] 繰出部 14から繰り出された接着テープ Tは、その先端側がテープ受け板 29とテープ押さえ 34とによって挟まれた状態で先端がカッター刃 52の略真下あたりにセットされる（図 2参照)。そして、図 3に示されるように、繰出部 14が下降してテーブル 23に接近するとともに、剥がしヘッド部 15がチャック 40を開いた状態で繰出部 14側に移動してテープ受け板 29を押圧して後退させる。これにより、接着テープ Tの先端部がチャック 40内に入り込み、当該チャック 40を閉塞させることで接着テープ Tの先端部を保持することができる。なお、この剥離方法においては、接着テープ Tは片面に感熱性接着剤層を有する接着テープ、例えば、ポリエチレンテレフタレート等力なる帯状のテープが用いられる。

[0030] 次いで、図 4に示されるように、剥がしヘッド部 15が繰出部 14力も離れる左側に所定量移動し、接着テープ Tを一定量引き出すこととなる。このようにして接着テープ T が引き出された状態で、図 5に示されるように、ヒーターカッター部 16が下降してテープ押さえガイド 49, 49で接着テープ Tを上方より二箇所を押さえ付け、ヒーターブロック 43を下降させて突出部 44にて接着テープ Tを保護シート Sに接着する。同時に、カッター刃 52が下降して接着テープ Tの切断を行い、この後、繰出部 14及びヒータ一カッター部 16が上昇する（図 6参照)。そして、図 7に示されるように、剥力しヘッド 1 5が右側に移動することにより、保護シート Sが鈍角な剥離角度 θ 1で剥離され、剥離された保護シート Sが図示しない廃棄ボックス内に落下される。

[0031] 第 1及び第 2のローラを用いた剥離法 (第 1の剥離手段）

この方法の実施に際し、接着テープ Tは片面に感圧性接着剤層が設けられたテープが採用される。そして、図 8に示されるように、保護シート S側に接着剤層が臨むように接着テープ Tを繰出部 14にセットし、これを所定長さ弓 Iき出して先端部を卷取ローラ 64に固定するようにテープ掛け回し作業を初期作業として行っておく。この際、前記剥がしヘッド部 15は、繰出部 14よりも右側の退避位置に移動させられる。なお、接着剤面が掛け回されるローラには、接着剤が着かないような表面処理が施されている

[0032] 次いで、ウェハ Wの右端側がテープ押さえローラ 60の略直下に位置するようにテ一ブル 23の移動調整が行われる。この状態で、図 9に示されるように、繰出部 14及び支持部材 19が下降して繰出部 14と第 1のローラ 21との間の接着テープ Tを保護シート Sに接近させた後、テープ押さえローラ 60を図示しないシリンダを介して下降させて保護シート Sに接着テープ Tの部分を挟み込むように押さえ付ける。

[0033] そして、図 10及び図 11に示されるように、プレスローラ 61が図示しないシリンダを介して下降するとともに、同図中左側に移動して保護シート Sの上面を横断するように接着テープ Tの貼り付けを行う。このようにして接着テープ Tの貼り付けが完了した後に、テープ押さえローラ 60及びプレスローラ 61が初期位置に復帰する（図 12参照 )。

[0034] 次いで、図 13に示されるように、第 1のローラ 21及び第 2のローラ 22が図示しないシリンダを介して右側に移動する。同時に、第 1のローラ 21及び卷取ローラ 64が図示しないモータによってテープ卷取方向にそれぞれ回転する。この際、第 1のローラ 21 及び第 2のローラ 22の前述した相対位置により、接着テープ Tは、保護シート Sの上面すなわちウェハ Wの上面に対して略直角をなすように真上に立ち上がる剥離角度 Θ 2を介して剥離されるようになる。つまり、第 1及び第 2のローラ 21, 22 (第 1の剥離手段）は、略直角若しくは鋭角な剥離角度 Θ 2で剥離されるのに対し、剥がしヘッド 1 5 (第 2の剥離手段）による剥離角度 θ 1は、これより大きい略 180度に近い鈍角な方向に向力つて剥離されることとなる。

[0035] 従って、このような実施形態によれば、保護シート Sの厚みや材質に応じて第 1及び第 2の剥離手段を選択的に利用することができる、という効果を得る。これを更に詳述すると、熱融着により接着テープ Tを保護シート Sに接着することに適し、且つ、保護シート Sの伸び等が生じることなく鈍角剥離が可能である場合には、前記剥がしヘッド 15を用いた剥離により、接着テープ Tの使用量を抑制してシート剥離を行うことが可能となる。一方、接着テープ Tが保護シート Sとの関係で融着に適合しないような場合、或いは、保護シート Sが厚い基材によって構成されて鈍角剥離に適しない場合には、第 1の剥離手段を利用して保護シート Sを剥離することができる。

また、前記剥離方法を選択するに際し、繰出部 14を共用できるため、既提案の装置に第 1の剥離手段を併設するだけで最適剥離を実現することができる。

[0036] 本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されている力本発明は、これに限定されるものではない。

すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲力逸脱することなぐ以上に述ベた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形をカ卩えることができるものである。

従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材料などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

[0037] 例えば、前記実施形態において、剥がしヘッド 15によって保護シート Sを剥離するに際し、感熱性接着テープ Tを融着により接着する構成としたが、感圧性接着剤層を備えた接着テープを用いることを妨げない。この場合、接着剤層に接する繰出部の構成部分に接着することがない表面処理を行っておくことで、テープ繰り出しを支障なく行うことができる。

また、第 1及び第 2のローラ 21, 22により保護シート Sを剥離する際に、これらローラ 21, 22がウェハ Wの径方向に沿って横断するように移動する構成とした力ローラ 2 1, 22を移動させずにテーブル 23を移動させて保護シート Sの剥離を行うようにしてもよい。この際、テープ押さえローラ 60は接着テープ Tを押さえ付ける状態を維持するように設定すればよい。

産業上の利用可能性

[0038] 本発明は、特に、半導体ウェハ製造工程に際して、回路面を保護しているテープを剥離する装置として利用することができる。

図面の簡単な説明

[0039] [図 1]本実施形態におけるシート剥離装置の概略正面図。

[図 2]第 2の剥離手段を構成する剥離ヘッドを含む要部概略正面図。

[図 3]剥離ヘッドが接着テープの先端部を保持する際の要部正面図。

圆 4]剥離ヘッドが接着テープを引き出す動作を示す要部正面図。

[図 5]接着テープを保護シートに融着してカットする状態を示す要部正面図。

[図 6]カットされた接着テープが保護シートに融着された状態を示す要部正面図。

[図 7]剥がしヘッドが保護シートを鈍角方向に剥離する状態を示す要部正面図。

[図 8]第 1の剥離手段を用いて保護シートを剥離する場合の要部正面図。

[図 9]接着テープをテープ押さえローラで保護シートに押圧した状態を示す要部正面図。

[図 10]プレスローラで接着テープを保護シートに貼り付ける初期段階を示す要部正面図。

[図 11]接着テープが保護シートを横断して接着された状態を示す要部正面図。

[図 12]第 1及び第 2のローラで保護シート剥離を行う初期状態を示す要部正面図。

[図 13]第 1及び第 2のローラが保護シートを鋭角方向に剥離する状態を示す要部正面図。

符号の説明

[0040] 10 シート剥離装置

15 剥がしヘッド部 (第 2の剥離手段）

21 第 1の剥離ローラ (第 1の剥離手段） 22 第 2の剥離ローラ (第 1の剥離手段）

T 接着テープ

W 半導体ウェハ (板状部材）

S 保護シート

Claims

請求の範囲

[1] 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、

前記第 2のローラは前記第 1のローラの剥離動作時の移動方向とは反対側に位置するとともに、前記シートの面に対して第 1のローラよりも離れた位置に配置されていることを特徴とするシート剥離装置。

[2] 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、

前記第 1及び第 2の剥離手段を選択的に利用可能に設けたことを特徴とするシート

[3] 略円盤状の半導体ウェハの面をカバーするように貼付されたシートを、当該シートの直径よりも小さい幅となる接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第 1の剥離手段と、

[4] 前記第 1の剥離手段は前記板状部材の面に対して略直角若しくは鋭角方向に向かつて前記シートを剥離することを特徴とする請求項 2又は 3記載のシート剥離装置。

[5] 前記第 2の剥離手段は前記第 1の剥離手段による剥離角度よりも大きい剥離角度で前記シートを剥離することを特徴とする請求項 2, 3又は 4記載のシート剥離装置。

[6] 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法にお!、て、

前記第 1及び第 2のローラと前記シートとを、当該シートの外面に沿って同時に相対移動させることでシートを剥離することを特徴とするシート剥離方法。

[7] 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法にお!、て、

前記第 1及び第 2の剥離手段を選択的に用いて前記シートを剥離することを特徴とするシート剥離方法。

[8] 前記第 1の剥離手段は前記板状部材の面に対して略直角若しくは鋭角方向に向かつて前記シートを剥離する一方、前記第 2の剥離手段は前記第 1の剥離手段による剥離角度よりも大きい剥離角度で前記シートを剥離することを特徴とする請求項 7記載のシート剥離方法。