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WO2004040388A1 - 作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法 - Google Patents

作業者管理システム，作業者管理装置及び作業者管理方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2004040388A1
WO2004040388A1 PCT/JP2003/013841 JP0313841W WO2004040388A1 WO 2004040388 A1 WO2004040388 A1 WO 2004040388A1 JP 0313841 W JP0313841 W JP 0313841W WO 2004040388 A1 WO2004040388 A1 WO 2004040388A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
work
worker
information
specifying
area
Prior art date
Application number
PCT/JP2003/013841
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Kenya Iwasaki
Hiroshi Nishikawa
Original Assignee
Tokyo Electron Limited
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Limited filed Critical Tokyo Electron Limited
Priority to JP2004548067A priority Critical patent/JPWO2004040388A1/ja
Priority to AU2003280595A priority patent/AU2003280595A1/en
Publication of WO2004040388A1 publication Critical patent/WO2004040388A1/ja
Priority to US11/117,676 priority patent/US7769617B2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/80—Management or planning

Definitions

  • the present invention relates to a worker management system, a worker management device, and a worker management method.
  • Field background technology
  • a workplace such as a semiconductor manufacturing plant
  • various tasks occur in various areas, including the equipment room of a clean room in which semiconductor manufacturing equipment is installed.
  • a clean room input work for the production of semiconductor devices occurs outside the equipment room
  • trouble-shooting work for semiconductor manufacturing equipment occurs in the equipment room
  • parts management work in storage for example, occurs outside the clean room.
  • the skills (skills) required to perform the work are different, and therefore, workers with various skills (skills) are often required.
  • the issue is how to place workers in the right places at the right places to improve the work efficiency of each worker. To do this, it is ideal to select the most appropriate worker for the task at the required timing and issue an instruction, but in practice it is difficult. For example, if another new task occurs while the worker is performing the task, the worker cannot be instructed to perform the new task. In this case, if the worker's current work cannot be grasped, it cannot be determined whether the current work should be interrupted and a new work performed. It may also be necessary to search for a substitute worker and perform a new task.
  • the present invention has been made in view of the characteristics of a field in which work can be specified to some extent by a work area such as a semiconductor manufacturing factory. Therefore, the present invention has been made in view of such a problem, and its purpose is to facilitate identification of work currently performed by an operator, distribution of new work, redistribution of work, and the like.
  • a worker management device and a worker management method capable of instructing workers to the right person in the right place and improving the work efficiency of each worker. It is in. DISCLOSURE OF THE INVENTION
  • Work identification information storage means for storing work identification information in association with the content of work to be performed; worker detection means provided in each of the work areas; and the worker based on an output from the worker detection means.
  • Current work specifying means for specifying the work currently performed by the worker, and allowing the worker to continue the current work based on the current work specified by the current work specifying means, or
  • a worker management system characterized by comprising a judgment means for judging whether or not to perform a task, and an instruction means for giving an instruction to execute the work to the worker according to the judgment result of the judgment means. Is provided.
  • an area (place) where a worker is located is detected, and the work currently performed by the worker is easily detected from the work associated with the area. Can be. Therefore, for example, when a new work occurs, it is easy to distribute the new work, redistribute the work, etc., to make the workers work in the right place at the right place, and to improve the work efficiency of each worker . In addition, since the work of inputting the contents of the work every time the worker performs the work can be omitted, the work efficiency of the worker can be reduced. According to another aspect of the present invention, there is provided a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, a work area divided into a plurality of work areas and each work area.
  • Work identification information storage means for storing task identification information in association with the content of work to be performed; worker detection means provided in each of the work areas; A worker position specifying means for specifying whether the worker is in the work area, and the worker's current area from the worker's work area specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means.
  • Current work specifying means for specifying the work being performed; and worker skill information storage means for storing worker skill information in which each of the workers is associated with a work that can be performed by each of the workers.
  • Work priority information storage means for storing work priority information; new work detection means for detecting that a new work has occurred; and when the new work detection means detects a new work, the worker skill information
  • a worker extraction unit for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the storage unit; and a current work identification of the worker extracted by the worker extraction unit.
  • Worker identification means for performing a worker identification process for identifying a worker having a higher job number as the worker of the new work; and performing the work of the new work for the worker identified by the worker identification means.
  • Worker management system characterized by comprising an instruction unit issues an instruction is provided to Migihitsuji.
  • the detected current work and the new work are compared in priority, and if the new work has a higher priority, the new work is performed by the worker. Give instructions.
  • Work can be processed as quickly as possible.
  • workers can be directed to the right person in the right place, and work distribution can be optimized.
  • the worker skill information storage means stores a worker classification for each worker and stores work skill information in which each work is associated with a worker class having a skill capable of performing each work.
  • a priority assigning means for acquiring the worker classification of the new work based on the skill information and assigning a priority to the worker so that the worker having the same acquired worker classification has a higher priority.
  • the worker identification means is provided by the worker extracted by the worker extracting means, which has the highest priority given to the worker assigned by the priority assigning means. The worker identification processing may be performed in order.
  • workers who are selected as those who can perform new work should be given a higher priority for the worker classification (eg, engine, operator, regular worker, etc.) that is most suitable for the new work.
  • Priority is assigned to the current work and the new work from the workers with the highest priority.
  • the operator who performs the new work can be determined while comparing the priorities. As a result, the most appropriate worker for the new work can be found more quickly, and the worker can be instructed to the right person at the right place.
  • a work area divided into a plurality of work areas in accordance with work contents, each work area of the work area, and work performed in each work area.
  • Work identification information storage means for storing work identification information with associated contents; worker detection means provided in each of the work areas; and which work area the worker determines based on an output from the worker detection means.
  • the work redistribution means converts the work having a higher priority to a new work, and stores worker skill information in which each worker is associated with work that can be performed by the worker.
  • worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means
  • worker extraction means The current work of the worker is specified by the current work specifying means, and the priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means,
  • a worker specifying means for performing a worker specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work as a worker of the new work. According to this, when redistributing all work including new work, workers are determined in order of work priority, so that the more important work, the faster the work can be determined. .
  • a workplace divided into a plurality of work areas according to work contents, each work area of the workplace, and work performed in each work area.
  • Work identification information storage means for storing work identification information with associated contents; worker detection means provided in each of the work areas; and the work area to which the worker is based on the output from the worker detection means.
  • Work identification information storage means Based on the worker position specifying means and the work specifying information in the work specifying information storage means, from the work area of the worker specified by the worker position specifying means, Current work specifying means for specifying the work being performed, and work information storage for specifying the current work of all workers by the current work specifying means at predetermined time intervals and storing the current work for each worker
  • a work report creating means for creating a work report including the work performed by a desired worker at predetermined time intervals based on the work information in the work information storage means.
  • a work report such as a daily work report and a monthly work report can be easily created. Furthermore, since the work of the worker is automatically detected and the work information used as the basis of the worker report is created, it is not necessary to input from a portable information terminal or the like every time the worker performs the work. , Work efficiency is improved. Also, since there is no need to leave it to the worker's self-report, an accurate work report can always be created.
  • the work report creation means also stores a work unit price when each work is performed for each work. A work report including the work unit price of the work and the total amount of the work unit may be prepared.
  • the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in that case, the worker may be a worker dispatched from a company different from a company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the work place.
  • the worker may be a worker dispatched from a company different from a company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the work place.
  • the work unit price and total amount of each work are also printed on a work report, and the total amount is used to determine the work content. It will also be possible to charge a corresponding fee.
  • a worker management device for managing a worker who performs work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
  • Work identification information storage means for storing work identification information in which each work area in the work area is associated with the content of work performed in each work area; and output from worker detection means provided in each work area.
  • a worker position specifying means for specifying which worker area the worker is in based on the work identification information, and a worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means.
  • Current work specifying means for specifying the work currently performed by the worker from the work area, and causing the worker to continue the current work based on the current work specified by the current work specifying means.
  • a determination means for determining whether or not to perform a new work, and an instruction means for instructing the worker to execute a work in accordance with a result of the determination by the determination means.
  • a worker management device for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, A work identification information storage unit that stores work identification information that associates each of the work areas with the contents of the work performed in each of the work areas; and A worker position specifying means for specifying which work area the worker is in; and a work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information in the work specifying information storage means.
  • a worker task identification means for identifying a worker's current work, and a worker skill information for storing worker skill information in which each worker is associated with the work that each worker can perform;
  • Information storage means work priority information storage means for storing work priority information, new work detection means for detecting that a new work has occurred, and when the new work detection means detects a new work, the work Worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means, and the current work of the worker extracted by the worker extraction means as the current work.
  • the work priority is specified by the work specifying means, and the priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means.
  • the priority of the detected current work is compared with the priority of the new work, and if the new work has a higher priority, the new work is performed by the worker.
  • the worker skill information storage means stores a worker classification for each worker, and stores work skill information in which each work is associated with a worker class having a skill capable of performing each work.
  • a priority assigning means for acquiring the worker classification of the new work based on the skill information and assigning a priority to the worker so that the worker having the same acquired worker classification has a higher priority.
  • the worker identification means is provided by the worker extracted by the worker extracting means, which has the highest priority given to the worker assigned by the priority assigning means. The worker identification processing may be performed in order. According to this, the worker who is most appropriate for the new work can be found out more quickly. To the right person in the right place.
  • a worker management device for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
  • Work identification information storage means for storing work identification information in which each work area of the work area is associated with the content of work performed in each work area; and an output from a worker detection means provided in each work area.
  • a worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, and a work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information of the work specifying information storage means.
  • Current work identification means to identify the work that the worker is currently performing, work priority information storage means to store work priority information, and new work to detect the occurrence of a new work Output means, and when the new work detecting means detects a new work, the current work specifying means specifies the current work of all workers, and, for all the work including the new work in the current work, the work priority information.
  • a task re-distribution means for assigning priorities of work based on the work priority information in the storage means and re-assigning all works to all workers from a work having a higher priority.
  • an instruction means for instructing the worker.
  • a worker management apparatus of the present invention when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all the work including the new work are redistributed. Therefore, more appropriate workers can be assigned to all works including new works. As a result, workers can be directed to the right person in the right place, and work distribution and work efficiency can be improved. Can be planned.
  • the work redistribution means converts the work having a higher priority to a new work, and stores worker skill information in which each worker is associated with work that can be performed by the worker.
  • worker extraction means for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the worker skill information storage means
  • worker extraction means The current work of the worker is specified by the current work specifying means, and the priority of the current work and the priority of the new work are obtained and compared based on the work priority information in the work priority information storage means,
  • a worker specifying means for performing a worker specifying process for specifying a worker having a higher priority of the new work as a worker of the new work as a worker of the new work. According to this, the more important the higher priority work, the more optimal worker can be selected, so that the worker can be instructed to the right person in the right place, and work distribution is optimized and work efficiency is improved. be able to.
  • a worker management device for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents,
  • Work identification information storage means for storing work identification information in which each work area of the work area is associated with the content of work performed in each work area; and an output from a worker detection means provided in each work area.
  • a worker position specifying means for specifying which work area the worker is in, and a work area of the worker specified by the worker position specifying means based on the work specifying information of the work specifying information storage means.
  • the work report creation means also stores the work unit price for each work when each work is performed, and the work report creation means includes the work unit cost of the work and the total amount of the work unit costs.
  • a work report may be prepared.
  • the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in this case, the worker may be a worker dispatched from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the work place. Good. According to this, for example, when charging a fee for work performed by a dispatch worker to a dispatch company, the work unit price and total amount of each work are also printed on the work report, and the total amount is used in accordance with the work content.
  • a worker management method for managing a worker who works in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents, A worker position specifying step of specifying which work area the worker is based on the output from the worker detection means provided in each of the work areas; Based on the work identification information in the work identification information storage unit that stores the work identification information associated with the work to be performed, the worker's current work location of the worker identified in the worker location identification process is used. A current work identification process for identifying the work to be performed, and allowing the worker to continue the current work based on the current work identified in the current work identification process, or to perform a new work.
  • a worker management method comprising: a judgment step of judging whether or not to give; and an instruction step of giving an instruction to execute the work to the worker according to the judgment result in the judgment step.
  • an area (place) where a worker is located is detected, and the work currently performed by the worker is easily detected from the work associated with the area. Can be. Therefore, for example, when new work occurs, it is easy to distribute the new work, redistribute the work, etc., and to have the workers work in the right place at the right place, thereby improving the work efficiency of each worker. it can.
  • a worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents. Based on the output from the worker detection means provided in each of the work areas, A worker position specifying step of specifying whether the user is at the rear, and work specifying information of a work specifying information storage unit that stores the work specifying information in which each of the work areas is associated with the contents of the work performed in each of the work areas.
  • a current work identification process for identifying the worker's current work from the work area of the worker identified in the worker location identification process, a new work detection process for detecting that a new work has occurred,
  • the worker skill information of the worker skill information storage means for storing worker skill information in which each worker is associated with a work that can be performed by each worker.
  • the priority of the detected current work is compared with the priority of the new work, and if the new work has a higher priority, the new work is performed on the worker. To give instructions. In this way, even when a new work occurs, it is possible to determine whether or not to allow the worker to perform a new work in accordance with the priority of the current work. The more work is done, the sooner it can be processed.
  • the worker skill information storage means stores a worker classification for each worker, and can perform each work and each work for each worker extracted in the worker extraction step.
  • a worker class obtained by a worker skill information storage unit that stores work skill information associated with a worker class having skills is acquired, and the new work is performed based on the work skill information in the work skill information storage unit.
  • a priority assigning step of assigning priorities to the workers so that the workers with the same acquired worker classification have the same priority. Performs the worker identification process in order from the worker extracted in the worker extraction step, the worker having the highest priority given to the worker in the priority assignment step. You may do so.
  • a worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents.
  • a worker position specifying step of specifying which work area the worker is in based on the output from the worker detecting means provided in each of the work areas; and a work area of the work place and each of the work areas.
  • the work area of the worker specified in the worker position specifying step is based on the work specifying information in the work specifying information storage unit that stores the work specifying information in which the work performed in the area is associated.
  • the current work identification process identifies the current work of all workers, and the work priority information of the work priority information storage means for storing the work priority information for all the work including the new work.
  • the worker management method of the present invention when a new work occurs, the current work of all workers is detected, and the current work and all the work including the new work are redistributed. Therefore, more appropriate workers can be assigned to all works including new works. As a result, workers can be instructed to the right person in the right place, and work distribution can be made more efficient and work can be made more efficient.
  • the work with the highest priority is selected as a new work, and the worker skill storing the worker skill information relating each worker and the work that can be performed by the worker is stored.
  • a worker extraction step for extracting a worker who can perform the new work based on the worker skill information in the information storage means, and a current work of the worker extracted in the worker extraction step is referred to as the current work.
  • the priority of the current work and the priority of the new work are acquired and compared based on the work priority information in the work priority information storage means.
  • a worker management method for managing workers who perform work in a work area divided into a plurality of work areas according to work contents.
  • the worker's current work area specified in the worker location identification step is used to identify the current work of the worker.
  • a worker management method is provided. According to the worker management method of the present invention, a work report such as a work daily report and a work monthly report can be easily created. In addition, it automatically detects the worker's work and creates work information based on the worker report. This eliminates the need to input from a portable information terminal or the like each time the worker performs work, thus improving work efficiency.
  • the work report preparation step described above also stores the work unit price of each work when each work is performed, and the work report preparation step includes the work unit cost of the work and the total amount of the work unit costs.
  • a work report may be prepared.
  • the work place may be a semiconductor manufacturing factory, and in this case, the worker may be a worker dispatched from a company different from a company that owns the semiconductor manufacturing factory that is the work place.
  • the work unit price and total amount of each work are also printed on a work report, and the total amount is used to determine the work content. It will also be possible to charge a corresponding fee.
  • the worker management system, the worker device, and the worker detecting means in the worker method are provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker. Each worker is set to transmit an electromagnetic wave having a different frequency, and the worker position specifying means finds the worker detecting means which has received the electromagnetic wave of the worker's frequency to be a work area detection target.
  • a work area provided with worker detection means may be specified as a work area where the worker is located.
  • the worker management system, the worker device, and the worker detecting means in the worker method are provided with a receiver for receiving electromagnetic waves from a transmitter of each worker.
  • An electromagnetic wave carrying identification information for identifying a worker is set for each worker, and the worker position specifying means acquires the worker identification information from the worker detecting means, and detects a work area. It is also possible to find out the worker detecting means which has received the identification information of the worker to be used, and to specify the work area provided with the worker detecting means as the work area where the worker is located. According to this, it is also possible to easily detect where a specific worker is located in the work area, and to easily detect the work currently performed by the worker from the work area information.
  • work information acquisition means for acquiring work information of the worker from the work management system, the worker device, and the work device provided in the work area in the worker method.
  • work information for the device.
  • a certain degree of work content for example, work classification such as trouble handling processing and normal operation work
  • more detailed work contents for example, trouble handling processing
  • FIG. 1 is a block diagram showing an entire configuration of a worker management system according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a view for explaining the operation of the green room in the device room according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the worker management device according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a block diagram showing an example of various databases shown in FIG. 3.
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of a work identification information database according to the embodiment.
  • FIG. 6 is a diagram showing an example of the work priority information database according to the embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram showing an example of the work skill information database according to the embodiment.
  • FIG. 1 is a block diagram showing an entire configuration of a worker management system according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a view for explaining the operation of the green room in the device room according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the worker management device according to the embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of the worker skill information database according to the embodiment.
  • FIG. 9 is a diagram showing an example of an error code information database according to the embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of a detection result information database according to the embodiment.
  • FIG. 11 is a flowchart showing a new work distribution processing main routine according to the embodiment.
  • FIG. 12 is a flowchart showing a worker priority assigning process subroutine according to the embodiment.
  • FIG. 13 is a flowchart showing an operator determination processing subroutine according to the embodiment.
  • FIG. 14 is a flowchart showing a worker's work detection processing subroutine according to the embodiment.
  • FIG. 15 is a flowchart showing a new work distribution processing main routine according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 15 is a flowchart showing a new work distribution processing main routine according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 16 is a flowchart showing a subroutine for redistribution of all operations according to the embodiment.
  • FIG. 17 shows a work database creation process according to the third embodiment of the present invention. It is a flowchart which shows a process.
  • FIG. 18 is a flowchart showing a work daily report creation process according to the embodiment.
  • FIG. 19 is a diagram showing an example of a work daily report created in the embodiment.
  • FIG. 20 is a block diagram showing a modification of the worker management system.
  • Figure 1 is a diagram showing the overall configuration of a worker management system in a semiconductor manufacturing plant as an example of a workplace.
  • 100 is a semiconductor manufacturing plant. It is a thing.
  • Reference numeral 200 denotes a worker management device.
  • the semiconductor manufacturing plant 100 mainly consists of, for example, a clean room area 110 in the factory and an area other than the tallen room. 120 (hereinafter referred to as “the area outside the clean room”).
  • the clean room area 110 is divided into, for example, a plurality of equipment room areas 112 and areas 114 other than the equipment room (hereinafter referred to as “outside equipment room area”).
  • equipment room area 112 semiconductor manufacturing equipment 140 such as process equipment and measuring equipment is provided.
  • Process equipment includes, for example, etching equipment, CVD (Chemical vapor deposition) equipment, coater developer, cleaning equipment, CMP (Chemical Mechanical Polishing) equipment, PVD (Physical Vapor Deposition: Physical vapor deposition) equipment, exposure equipment, ion implanter, etc.
  • Examples of measuring devices include a film thickness device, ODP (Optical Digital Profiler), and FTIR.
  • the manufacturing apparatus 140 may be provided.
  • the above equipment room area 112 has an indoor control unit 116 that controls each semiconductor manufacturing equipment 140 in the equipment room area 112 from inside the room when performing work such as maintenance and periodic inspections.
  • the semiconductor control unit 140 in the equipment room is controlled by the indoor control unit 116.
  • An outdoor control unit 118 that controls the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the outside of the apparatus room may be provided. Further, the control unit of the semiconductor manufacturing apparatus 140 may be provided in each semiconductor manufacturing apparatus 140 itself, and the control unit may control the semiconductor manufacturing apparatus 140.
  • the indoor control unit 116, the outdoor control unit 118, and other control units are configured by, for example, an operation panel.
  • Each of these control units 1 16 and 1 18 and the semiconductor manufacturing equipment 140 is an operator. It is electrically connected to the input / output unit 208 of the management device 200 via a communication line, etc., so that device information (work information for the device) such as access information and device status information can be transmitted and received. ing.
  • device information work information for the device
  • the control unit inputs and accesses the operator's ID and password according to the work.
  • the equipment outdoor area 114 here indicates the area where the outdoor controller 118 is installed.
  • the equipment outdoor area 114 is not necessarily limited to the installation area of the outdoor control unit 118, and may include a passage formed between the equipment room areas 112.
  • the area 120 outside the clean room indicates the area inside the factory other than the clean room.
  • worker detection sensors 130 are provided as worker detection means for detecting workers.
  • the worker detection sensor 130 is electrically connected to the input / output unit 208 of the worker management device 200 via a communication cable, etc., and can transmit and receive sensor information from the worker detection sensor 130. It is like that.
  • the worker detection sensor 130 is composed of, for example, a sensor that receives electromagnetic waves (or radio waves) from a transmitter carried by each worker.
  • the worker detection sensor 130 is mounted, for example, on the ceiling or wall of each area.
  • FIG. 2 shows an example in which, for example, a receiver 134 is installed as an operator detection sensor 130 in the equipment room 112 of the tarin room 110.
  • the receiver 1 34 is mounted on the ceiling of the equipment room 132, which is a section of the equipment room area 112.
  • the worker 136 works on the semiconductor manufacturing equipment 140 while always carrying the transmitter 138.
  • the receiver 1334 provided on the ceiling turns the transmitter 1 carried by the worker. 3 Receive electromagnetic waves from 8. This makes it possible to detect that the worker 1 36 is in the equipment room area 1 12.
  • the transmitter 1338 may transmit electromagnetic waves of different frequencies (radio frequencies) for each worker.
  • the frequency information that associates each worker with the frequency of each worker is stored in a frequency information database as an example of a frequency information storage unit. This frequency information database may be included in the various databases 210 shown in FIG.
  • the worker in the work area where the worker detection sensor 130 is installed can be specified by the frequency of the electromagnetic wave received from the worker detection sensor 130.
  • the worker management device 200 is a worker detection sensor 13 that receives an electromagnetic wave of the worker's frequency which is a target of the work area detection from the sensor information from each worker detection sensor 130. 0 is found, and the work area provided with the worker detection sensor 130 is specified as the work area where the worker is located.
  • the transmitter 1338 encodes ID data as identification information for identifying each worker, converts the data into an electromagnetic wave by modulation or the like, and transmits it.
  • the receiver 1334 receives from the transmitter 1338
  • the data of the ID obtained by demodulating the electromagnetic wave obtained by the demodulation or the like may be transmitted to the worker management device 200 as sensor information.
  • This ID is stored in the worker skill information database 250 shown in FIG.
  • the worker management device 2000 receives the worker ID (identification information) of the worker whose work area is to be detected from the sensor information from each worker detection sensor 130. Then, the work area where the worker detection sensor 130 is provided is specified as the work area where the worker is located.
  • the transmitter 138 may be constituted by a mobile phone, a portable information terminal described later, or the like.
  • both the receiver 1 34 and the transmitter 1 38 may be a transceiver.
  • the worker's ID identification information
  • the storage means not shown
  • the barcode JD is read and transmitted.
  • the information may be stored in the storage means of the machine 13.
  • a bar code such as an infrared reading means is attached to a transmitter 1 38 composed of a mobile phone or a portable information terminal.
  • a code reading means may be provided, and the barcode-read ID may be read by the par code reading means and stored in the storage means of the transmitter 138.
  • the worker management device 200 inputs, for example, data from the worker detection sensor 130, and detects an area where each worker is present based on the data from the worker detection sensor 130.
  • the worker management device 200 is a control unit 200 having a memory such as a CPU (central processing unit), a ROM (read only memory), and a RAM (random access memory).
  • a display section 204 such as a display for displaying various information
  • an input section 206 for inputting various data
  • an input / output section 208 for inputting data from the worker detection sensor 130
  • a storage device such as a hard disk device for storing programs and the like (not shown) is provided.
  • the memory of the control unit 202 stores programs and data to be accessed by the CPU. For example, a program stored in a recording medium such as the hard disk device is read and stored as needed. You. As shown in Fig. 4, the above-mentioned various databases 210 include a work identification information database 220, a work priority information database 230, a work skill information (work skill information) database 240, and worker skills. (Worker skill information) Information database 250, trouble information (abnormal information) database 260, etc. (Work identification information database)
  • the work identification information database 220 stores work identification information that associates the carrier information 222 with the equipment information (work information for the equipment) 222 and the work content 222. I have.
  • This work identification information is used, for example, when identifying the work being performed by the worker. Specifically, based on the area information of the worker detected by the worker detection sensor 130 and the work identification information such as access information of the semiconductor manufacturing equipment 140, the work that the worker is currently performing (currently Work).
  • Area information 222 is information on each area of the factory shown in Fig.1.
  • the equipment room area 112 in the clean room area 110, the equipment outside area 114, the central monitoring room area 122 in the clean room outside area 120, the utility room area 124, The storage area 1 26, the office area 1 28, and the rest room area 1 29 are designated as the respective areas.
  • the device information 224 includes, for example, access information to control units such as the indoor control unit 116 and the outdoor control unit 118 of the semiconductor manufacturing device 140, and an alarm of the semiconductor manufacturing device 140 that occurs when an abnormality occurs.
  • Information on abnormalities such as lamps and lamp lighting, alarms on semiconductor manufacturing equipment 140 that occur when maintenance is required, and information on maintenance such as lamp lighting.
  • the access information to the control unit is, for example, information as to whether or not access for performing each operation such as maintenance of the semiconductor manufacturing apparatus 140 has been made.
  • Work content 2 26 is the type of work performed in each area.
  • work in the equipment room area 112 of the clean room area 110 includes trouble-shooting work (trouble-shooting maintenance) and periodic work.
  • the trouble handling work in the work contents of the equipment room area 112 is a work for solving the trouble when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing equipment 140 in the equipment room area 112.
  • more detailed troubleshooting work can be determined based on the type of trouble in the work identification information (for example, electrical, mechanical, process, etc.).
  • a notification (alarm) is given to the semiconductor manufacturing apparatus 140
  • the worker normally accesses the semiconductor manufacturing apparatus 140 from the indoor control unit 116 to switch to the maintenance mode and perform a check operation.
  • To perform tasks such as performing tasks such as You may judge the trouble handling work.
  • the periodic work in the work contents of the above-mentioned equipment room area 112 is, for example, a work of exchanging parts and cleaning the semiconductor manufacturing equipment 140. In wet cleaning, an operator opens the processing chamber of the semiconductor manufacturing equipment 140 in the equipment room area 112 and performs cleaning using a chemical solution.
  • the wet tang is taken as an example of the clear jung, but it is not necessarily limited to this.
  • the semiconductor manufacturing equipment is required to perform maintenance work by notifying (alarms) and turning on lamps, and switching from the indoor control unit to maintenance mode to perform maintenance work. May access 0.
  • the work identification information such as these access information / maintenance notification information, it is clear that the worker is performing regular work. I can judge.
  • work in the outside room 114 of the clean room area 110 includes normal operation work, periodic work, and other work.
  • normal operation work for example, input of process conditions and the like are performed from the outdoor control unit 118 to issue a semiconductor device production instruction, and a carrier (FOUP) containing semiconductor wafers is set or moved.
  • the work of setting and moving the carrier (FOUP) is performed in the equipment room area 112, after which the outdoor control unit 118 issues a semiconductor device production instruction and so on. Including work in the outdoor area 1 1 4 I have. However, if these operations are performed in the equipment room area 112, they may be performed in the equipment room area 112.
  • the normal operation work normally accesses the semiconductor manufacturing equipment 140 from the outdoor control unit 118 or the like, and therefore, when it is determined that the worker is in the equipment room area 112, the access operation is performed.
  • Periodic work in the equipment outside area 114 includes, for example, dry cleaning and seasoning for the semiconductor manufacturing equipment 140. Dry cleaning involves cleaning the processing room of the semiconductor manufacturing device 140 by accessing the semiconductor manufacturing device 140 from the normal outdoor control unit 118 and inputting necessary information.
  • dry cleaning is used as an example of the cleaning because the work is performed in the exterior room 114, but this is not necessarily the case.
  • Other equipment outside work in the equipment outside area 114 includes monitoring of semiconductor manufacturing equipment 140 and cleaning of the surroundings.
  • work in the outside room 114 of the equipment When it is determined that there is a worker in the outside room 114 of the equipment, it can be determined that other work is being performed if there is no work identification information such as access information or maintenance notification information.
  • the contents of the operations such as monitoring and cleaning may be input from the worker's portable information terminal.
  • the work may be determined using the input work content information as work identification information.
  • work in the area 120 outside the clean room includes work in the central monitoring room area 122, the work room area 124, the storage area 126, and the office area 128. All of these tasks are included in other tasks in the task category described below in Figure 6.
  • the break room area 12 9 it is possible to take a break or use a toilet.
  • the work in the central audit room area 122, utility room area 124, storage area 126, and office area 128 may be, for example, production preparation work (or process management work).
  • the central audit office area 122 monitors the entire production of semiconductor equipment and changes the work of the production schedule (production process plan), and the storage area 126 stores parts. They perform management tasks and other tasks, and order and order other parts in the office area 128.
  • periodic work such as trouble handling such as breakdown of the air purifier in the clean room and periodic maintenance such as regular maintenance of the air purifier will be performed. In this way, the work being performed can be determined based on the worker's location. In the above example, the work in the area inside the factory was explained.
  • the work outside the factory such as receiving the chemicals used for cleaning, etc., into a chemical tank, was performed. Do the work. Therefore, if it is detected that the worker is outside the factory area, it can be determined that work outside the factory is being performed. Whether the worker is outside the factory is determined, for example, if the worker's whereabouts cannot be detected by the worker detection sensor 130 installed in the factory. It may be determined that you are in an area outside the factory. Thus, in the present embodiment, the area information is used as the work identification information. The current work of the worker is specified by the device information 2 2 4. This is based on the area information of where the worker is located.
  • the work currently performed by the worker can be roughly determined, and the more detailed work in the rough work is device information such as access information. This is because it can be determined from 224.
  • the present invention is not necessarily limited to this, and the current work may be specified using only the area information 222 as the work specifying information. For example, by dividing the area inside and outside the factory into smaller pieces, the current work can be specified in some detail using only the journal information 222. In addition, the current work may be specified using only the device information 222 such as access information as the work specifying information.
  • the work priority information database 230 stores work classes that are broadly divided and work priority information that is the priority (priority) information of the work belonging to the work class. For example, as shown in FIG. 6, priority 2 3 2 and work classification 2 3 4 are assigned from priority 1 which is the highest priority to priority 5 which is the lowest.
  • the highest-priority work classification of priority 1 is emergency work. These emergency operations include fire extinguishing operations in the event of a fire and gas leak handling operations that respond to gas leaks based on notification from gas detectors. The identification of these operations is determined, for example, from disaster sensors such as fire alarms installed in each equipment room area 112.
  • the work classification of priority 2 is trouble-shooting work corresponding to the trouble of the semiconductor manufacturing equipment 140 provided in the equipment room area 112.
  • the trouble-shooting work 3 includes the trouble-shooting work in the equipment room area 112 of the clean room area 110 shown in Fig. 5.
  • This trouble-shooting work includes, as described above, maintenance for troubles such as electrical troubles, mechanical troubles, and process troubles. Trouble-shooting work also includes electrical and mechanical problems such as air purifiers in the utility room areas 124. These tasks hinder the production and quality of semiconductor devices and result in lower yields. For this reason, trouble-shooting work has the highest priority among normal, non-emergency work.
  • the work classification of priority 3 is usually operation work. This normal operation includes the normal operation in the outside room 114 of the clean room area 110 shown in Fig. 5.
  • This normal operation involves, for example, inputting process conditions and the like in order to issue the above-mentioned semiconductor device production instructions, and setting and moving a carrier (FOUP) containing semiconductor wafers.
  • Work As a general rule, normal operations take precedence unless there is any trouble. Usually, the operation operation is an operation for manufacturing semiconductor devices.
  • the work classification of priority 4 is scheduled work.
  • This regular work includes both regular work in the equipment room area 112 of the clean room area 110 shown in Fig. 5 and regular work in the equipment room area 114.
  • periodic work includes maintenance such as wet tiling, dry cleaning, and part replacement.
  • regular maintenance such as air purifiers Maintenance is also included. In principle, these operations are not performed until the production of semiconductor devices is stopped.
  • the priority is lower than that of the normal operation operation.
  • the present invention is not necessarily limited to this.
  • the priority for example, in the production process of a semiconductor device, the whole or before and after production schedules may be determined and the work may be performed at the most suitable place.
  • the timing at which the periodic work is to be performed should be determined by a worker with process management skills (skills) by judging the overall or previous and subsequent production schedules, and the above priorities should be changed appropriately according to the timing. It may be.
  • the work classification of priority 5 is other work.
  • the other operations mentioned here include, in addition to the other equipment outdoor work in the equipment outdoor area 114 of the clean room area 110 shown in Fig.
  • the work priorities are divided into five. However, the work priorities are not necessarily limited to five, and may be six or more priorities, or four or less priorities. Good. Also, the method of dividing the work is not limited to this.
  • the work skill information database 240 stores the skill information (work skill information) necessary for the work itself, and the worker skill information data described later that stores the skill information (worker skill information) possessed by the worker. Different from base 250.
  • the work skill information database 240 stores the work skill information that specifically associates the work 242 with the worker class 244, which is roughly divided as shown in FIG.
  • the above-mentioned work 242 is further divided into a work class 246 and work contents 248 included in the work class 246.
  • the work class 2 46 here corresponds to the work class 2 3 4 shown in FIG.
  • the most appropriate worker class 244 for performing the work is associated with each work class 246 or each work content 248 belonging to the work class.
  • the trouble-shooting work is best performed by an engineer.
  • the electrical system engineer works for electrical troubles
  • the mechanical engineer works for mechanical troubles
  • the process engineer works for process troubles. This is because if the workers are engineers, each worker has a specialized field, and it is considered optimal to have engineers who are specialized in the work. In other words, this does not mean that a specialized engineer must always perform the task. Even if a non-specialized engineer can deal with the trouble, the worker may do the work.
  • the normal operation work includes the operation of the control unit 116 and the like in order to cause the semiconductor manufacturing equipment 140 to produce semiconductor devices.
  • the worker skill information database 250 stores the worker skill information (worker skill information) 'of the worker as shown in FIG.
  • This worker skill information includes, for example, the worker's reference number 251, name 252, ID 253, nosword 254, affiliation 255, worker classification 256, work 2557, etc.
  • the item is stored. In addition to these items, for example, shifts (time) of workers, operation schedules of semiconductor manufacturing equipment, etc. Any may be stored.
  • the unit price for performing the work for each work class may be stored. The unit price of this work can be used, for example, when sending a worker from one company to another factory and setting a fee according to the work.
  • Reference number 25 1 is the serial number of the worker, and name 25 2 and ID 25 3 identify the worker.
  • the affiliation 255 stores the name of the factory, office, company, etc. to which the worker belongs. For example, if the worker is a worker of a factory equipped with the worker management system according to the present invention, the factory name is stored in the affiliation 255. Further, when a worker belonging to another factory is dispatched to a factory equipped with the worker management system according to the present invention, the belonging 255 stores the name of another factory to which the worker belongs. As described further below, if there is a company that sells semiconductor manufacturing equipment 140 (sales company) and a company that purchases semiconductor manufacturing equipment 140 (purchasing company), employees of the sales company If a worker is dispatched to the factory of a sales company as an operator, the affiliation 255 stores the name of the sales company.
  • the worker class 256 the worker class shown in Fig. 7 is stored. If the worker has the skills of an operator, the operator is the operator. If the worker has the skills to perform the periodic work, the operator is the regular worker. If the worker is an engineer, it is preferable to describe his / her specialty like a mechanical engineer.
  • work 2 57 above the work for which the worker has skills is stored. You. The above operation 257 corresponds to operation 242 shown in FIG. Specifically, work 257 is divided into work classification and work content. Whether or not a worker can perform the work is represented by, for example, ⁇ , ⁇ , and X.
  • ⁇ is a task that the worker can perform
  • ⁇ is a task that is difficult but not impossible for the worker
  • X is a task that the worker cannot.
  • the work 242 may store not only the work of the worker himself / herself but also the work that can be actually performed. For example, if the worker classification of the worker is a mechanical engineer, the task is to deal with mechanical troubles belonging to his / her specialty. However, in general, an engineer can perform normal operation work. Make it worse. In some cases, even if the worker is an electrical engineer, he or she can perform mechanical system troubleshooting work that is not his / her specialty. In such a case, not only the electrical system trouble-shooting operation but also the mechanical system trouble-shooting operation may be changed to (1).
  • the trouble information (abnormal information) database 260 is an error code information database 262 that stores trouble information based on the error codes of the semiconductor manufacturing equipment 140, and a check information that stores trouble information based on the inspection results of the semiconductor devices. ⁇ It has a result information database. As shown in Fig. 9, the error code information database 262 stores the error code when the semiconductor manufacturing device 140 has a problem (abnormality), the content of the error code, and the skills (skills) that can respond to the error.
  • Error code information associated with the worker classification having For example, the error code “AABB 0 1” is a high-frequency reflected wave in a processing chamber of a plasma etching apparatus that performs etching using plasma generated in the processing chamber by applying high-frequency power as a semiconductor manufacturing apparatus 140. Is an error when exceeds the upper limit.
  • the high-frequency generator and matching device (matcher) provided in the plasma etching equipment are the target sites for errors. Therefore, the type of operator who has the skills (skills) that can perform the work to troubleshoot this error is the electrical engineer.
  • the error code “CCDD 0 1 J” is an error caused by a decrease in the flow rate of the cooling water of the pump.
  • the inspection result information database 264 is a semiconductor device manufactured by a semiconductor manufacturing device 140 such as a plasma etching device as shown in Fig. 10 Inspection result information that is associated with the inspection result when there is an inspection abnormality in a semiconductor and the classification of workers who have the skills (skills) that can respond to the abnormality based on the inspection result, for example, a wafer manufactured by the semiconductor manufacturing equipment 140 Various inspections are performed by inspection equipment, etc. Troubles caused by these inspection results are mainly caused by process engineer. Using the trouble information database 260 as described above, it is possible to determine the optimal worker classification to perform the trouble-shooting work according to the type of trouble.
  • the processing in the present embodiment can be typically performed by a program recorded on a recording medium such as a hard disk device.
  • a new work when a new work occurs, it is determined based on the worker's current work whether the worker should continue the current work or perform a new work. (Instruction means), and instructs the worker to execute the work in accordance with the result of the judgment by the above-mentioned judgment means (instruction means).
  • step S110 it is determined in step S110 whether a new work has occurred.
  • the new work is identified by judging the semiconductor manufacturing equipment 140 from error information as well as notification (alarm) information.
  • the worker management apparatus 200 receives an alarm from the semiconductor manufacturing apparatus 140 and error information including an error code.
  • the error code information database 2 6 2 of the trouble information database 2 6 the work for the new industry what trouble based on the error code of the error information (electrical problem corresponding work, mechanical troubles Response work).
  • the inspection result information database 260 of the trouble information database 260 is received.
  • the new work is a process-related work, and to obtain the details of the trouble.
  • the lot of the semiconductor manufacturing equipment 140 is completed, there is a notice of the lot end.
  • the new work is a regular work such as a preparation work for the next lot, such as the movement of a FOUP, and a normal operation work. If a notification such as cleaning is sent from the semiconductor manufacturing equipment 140, it can be specified that the new work is a regular work.
  • step S120 workers who can perform the new work are extracted (an example of worker extracting means). For example, the most appropriate worker class for performing the new work is searched from the work skill information database 240, and the worker having that worker class is extracted based on the worker skill information database 250. I do. In addition, even if the worker does not belong to the optimal worker classification to perform the new work, the worker who has “ ⁇ ” and “ ⁇ ” in the column of “Work 257” in the worker skill information database 250. Can do new work. Therefore, these workers are also to be extracted. Note that, in the column of work 255 in the worker skill information database 250, for example, electrical engineers must always be marked with ⁇ for electrical trouble-shooting work. ⁇ is attached.
  • step S130 the priorities are assigned to the workers (priority assigning means). Prioritize the most suitable workers based on their work and worker skills. For example, the priority of the worker who is marked with “ ⁇ ” in the work column of the worker skill information database 250 is raised. This is to ensure that the work can be given priority to specialized workers. The details of the process for assigning priorities to workers will be described later.
  • step S140 the worker who performs the work is determined.
  • the decision of the worker is made based on the priority of the current work and the new work, for example, in order from the worker with the highest priority. The details of the process for determining the worker will be described later.
  • step S150 an instruction to execute the new work is issued to the worker determined in step S140 (instruction means). At this time, for example, the portable information terminal of the worker may be instructed to execute a new work.
  • step S160 it is determined whether there is any current work of the worker. Since the work is currently detected in the worker determination process in step S140 (step S320 shown in Fig. 13), the result is used. 4 to judge.
  • step S160 the current work is set as a new work and the process returns to step S120 and the work is replaced. Decide what to do. If it is determined in step S160 that the worker has no work, the process is terminated.
  • the worker priority ordering process worker priority ordering means
  • step S210 regarding the work to be a new work, the ⁇ ⁇ in the column of the work 257 in the worker skill information database 250 is used as the first key, and Sort in order of preference.
  • step S220 the sorting is performed so that the priority of the worker of the work category that matches the worker category is set to be the highest using the worker category of the new work as the second key.
  • the worker with the ⁇ in the work column of the worker skill information database 250 and with the same worker classification as the new work has the highest priority. For example, if the worker classification of a worker who has the work skill of the new work is an electrical engineer, even if the extracted workers include a mechanical engineer, the priority of the electrical engineer is higher than that of the extracted engineer.
  • step S140 when deciding the worker in step S140, it is possible to determine whether or not the new work can be assigned to the new work in order from the most appropriate worker. With this, new work The most appropriate workers can be found faster.
  • step S320 the work currently performed by the worker (current work) is detected (an example of the current work specifying means).
  • the current work of the worker is detected based on, for example, which area the worker is in.
  • the process of detecting the worker's work is performed, for example, as a subroutine shown in Fig. 14 (an example of the current work specifying means).
  • step S410 information on the area where the worker exists is detected. This allows some work (work classification) to be detected. Specifically, in each of the above-mentioned areas such as the equipment room area 112 in the tarry room area 110, which area the worker is in is detected based on sensor information from the worker detection sensor 130. For example, the installation area of the worker detection sensor 130 where the frequency of the worker is detected is set as the area where the worker is located.
  • the worker's frequency is detected by the worker detection sensor 130 installed in the equipment room area 112 in the clean room area 110, the worker is in the equipment room area 112. It is determined that the worker is in the equipment room area 114 if it is detected by the worker detection sensor 130 installed in the equipment room area 114.
  • access to the semiconductor manufacturing equipment 140 is performed in step S420. Detect device information such as information. As a result, more detailed work can be detected.
  • the device information accessed from the semiconductor manufacturing device 140 and the control units 116, 118 is received by the worker management device 200. From this access information, the worker is identified by the ID and password, and what kind of work the worker is performing is determined.
  • step S430 the current work of the worker is specified based on the work identification information in the work identification information database 220 shown in FIG. 5 based on the area information and the device information. For example, if it is determined that the worker is in the equipment room area 112 in the clean room area 110 as the area information, and it is also determined that the broadcast information and the trouble-corresponding access have been determined as the equipment information, It is determined that trouble handling work is being performed. Next, in step S330 shown in FIG. 13, it is determined whether the worker has a current work.
  • step S320 it is determined that there is a current work. If no work is specified, it is determined that there is no work. If it is determined in step S330 that there is no work, the worker is determined as a worker who performs a new work in step S400 (worker identification means). On the other hand, if it is determined in step S330 that there is work, the work priority information database 230 is stored in step S340. The priority of the current task is acquired based on the task priority information, and the priority of the new task is acquired in step S350. Next, in step S360, it is determined whether the current work priority (U1) is higher than the current work priority (U2) or the same.
  • step S320 determines whether or not to allow the worker to perform the new task according to the priority of the current task. The quicker the work 5 This makes it possible to optimize work distribution.
  • the worker classification of the worker who has the necessary skills for the work from the work for which no worker was found is determined. It is also possible to search and store the above work, worker classification, date and time, etc. in a log file or the like. For example, if the work for which no worker was found is a machine-related trouble-handling work, the mechanical system engineer can search for the worker classification of workers who have the necessary skills for the work. Work, mechanical engineer, etc. are stored. This indicates that there may be a shortage of mechanical engineers at the factory. Thus, the log file described above increases the number of workers in the factory. It can be used as a material for determining whether reduction is necessary.
  • the number of workers is insufficient, and it can be inferred which type of worker is insufficient.
  • unnecessary workers can be reduced by reducing the number of workers to the extent that error processing does not occur.
  • the required number of workers of the required worker classification can be assigned to the factory, so that the efficiency of work per worker can be improved and the efficiency of the number of workers can be improved.
  • Can also be planned. According to such processing for example, a work to deal with mechanical trouble occurs as a new work, and it was found that Mr. A, an electrical engineer, and B, a mechanical engineer, were extracted as workers who could perform the new work. If Mr. and Mr.
  • the priority of the worker at this time is Pererator C, electrical engineer A, and mechanical engineer B are processed in this order.
  • the operator for the new work is determined to be Mr. C.
  • the work priority information database 230 shown in FIG. Since the new operation, the normal operation operation, has a higher priority, the operator of the new operation is also determined to be Mr. C in this case.
  • Mr. C's current work is a normal operation work in another area, according to the work priority information database 230 shown in Fig. 6, the current work and the new work have no priority. , And have Mr. C continue his work. If Mr. A, an electrical engineer, does not have a current job, Mr. A is determined as the worker for the new job.
  • FIG. 1 to FIG. 10 the configuration from FIG. 1 to FIG. 10 is the same, and a detailed description thereof will be omitted.
  • the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • FIGS. Another specific example of the new work distribution process performed by the worker management device 200 in the second embodiment will be described with reference to FIGS. Note that the processing in this embodiment is typically performed by a hard disk drive. It can be implemented by a program recorded in a recording medium such as. The difference between the new work distribution processing in the second embodiment and the case shown in Fig.
  • step S510 it is first determined in step S510 whether a new operation has occurred. In the same manner as in step S310 above, for example, judgment is made from error information and notification information when a trouble occurs in the semiconductor manufacturing apparatus 140.
  • step S520 the current work of all workers is detected. The process of detecting the worker's current work is performed for all workers, for example, by repeating the subroutine shown in Fig. 14 for each worker.
  • step S530 redistribution is performed for all the work including the new work and the current work (work redistribution means).
  • work redistribution means For example, an instruction may be given to execute the work corresponding to the portable information terminal possessed by each worker.
  • step S550 it is determined whether or not unallocated work remains.
  • step S550 If it is determined in step S550 that undistributed work remains, a notice is sent in step S560 to workers who can respond, as there is undistributed work and they will be dealt with. To end the processing. If it is determined in step S550 that there is no undistributed work, the process ends.
  • work redistribution process work redistribution means in step S530 will be described with reference to a subroutine shown in FIG.
  • step S610 all tasks including the new task and the current task are sorted in descending order of priority based on the task priority information in the task priority information database 230. The priority of the work at this time is W.
  • a worker who can work as an undistributed work is notified of this in steps S550 and S560 shown in FIG.
  • the current work of all workers is detected, and priorities are assigned to all the work including the new work based on the work priority information database 230. I do.
  • the worker who performs the work is determined from the work with the highest priority. For example, assuming that the priority of all operations is the mechanical system trapping operation and the normal operation operation, the operator is first determined from the mechanical system troubleshooting operation.
  • the priorities of these workers are as follows: mechanical engineer B, electrical engineer A, and operator C, and are processed in this order.
  • Mr. B has no current work
  • Mr. B is determined to be the worker for the mechanical trouble-shooting work.
  • workers are determined for normal operation work.
  • the priorities of the workers at this time are Mr. C of the operator, Mr. A of the electrical engineer, and Mr. B of the mechanical engineer, and are processed in this order.
  • the worker for the new work is determined to be Mr. C.
  • FIG. 1 to FIG. 10 the configuration from FIG. 1 to FIG. 10 is the same, and therefore detailed description is omitted.
  • the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the processing in the present embodiment can be typically performed by a program recorded on a recording medium such as a hard disk device.
  • Work information storage performed by the worker management device 200 in the third embodiment A process of creating a work database as an example of the means will be described with reference to FIG.
  • the work database is a database from which a daily work report for each worker, which will be described later, is created.
  • the work database stores the work performed for each worker at predetermined time intervals. Therefore, this work database creation process is executed at predetermined time intervals according to the time stated in the work daily report. For example, if a daily work report is created every hour, the above-mentioned work database creation process is executed every hour, and if a daily work report is created every 30 minutes, the above work database creation process must be performed three times. Run every 0 minutes.
  • the work database creation process first, in step S710, the work currently performed by all workers (current work) is detected. The process of detecting the current work of each worker is performed for all workers, for example, by repeating the subroutine shown in Fig. 14 for each worker. In step S720, the current work detected for each worker is stored.
  • the daily work report creation process automatically creates a daily work report for each worker.
  • an operator is specified. Create daily work report Identify workers to do.
  • step S820 daily work report data of the worker is created based on the work database created by the processing shown in FIG.
  • the daily work report data is created by extracting the work of the worker on the corresponding day.
  • a work daily report is printed in step S830.
  • a work day report is printed and output by a printer connected to the worker management device 200, and the process is terminated.
  • Fig. 19 shows an example of the work daily report created in this way.
  • This daily work report is an example of the case where the current work of the worker is detected by performing the work database creation processing shown in Fig. 17 every hour as a predetermined time.
  • This daily work report can also be used, for example, when dispatching workers from a different company to a certain factory and setting a fee for the work. If the work unit price is stored in the worker skill information database 250, it is also possible to search and print the work unit price for each work, and to charge a fee according to the work content from the total amount. Become. By extracting monthly data from the work database, a work monthly report can be created and printed. As described above, according to the present embodiment, a work report such as a work daily report and a work monthly report can be easily created. You. Moreover, since the work database is automatically created based on the worker's report by detecting the worker's work, it is not necessary to input from a portable information terminal or the like every time the worker performs the work.
  • the receivers 134 provided as the worker detection sensors 130 in the respective areas 110 and 120 are, for example, a worker management device.
  • connection is made to 200 with a communication cable or the like
  • the invention is not necessarily limited to this, and the connection may be made with a network instead of the communication cable or the like.
  • the receiver 1334 shown in FIG. 2 may be a transceiver having a transmission / reception function
  • the transmitter 1338 may be a portable information terminal having a transmission / reception function.
  • various sensors such as an odor sensor may be provided in the portable information terminal, and the abnormality may be determined based on the detection values of these sensors.
  • a network connection function having a network connection function such as a router function in the equipment room area 112 Transceiver with function 3 20 is installed.
  • the transceiver 320 with a network connection function connects to the worker management device 200 via the network 300.
  • the worker management device 200 connects to the network 300 via a network connection device 340 having a network connection function, for example, a router function.
  • the transmitter 138 shown in FIG. 2 carried by the worker may be constituted by a portable information terminal 360 having a transmitting / receiving function. Examples of such a portable information terminal 360 include a PDA (Personal Digital Assistant), a notebook computer, and a computer capable of pen input (for example, a tablet PC).
  • the portable information terminal 360 has various sensors such as odor sensors, high-frequency sensors, and low-frequency sensors that detect sound and odor for abnormality detection, as well as a control unit 364 and a modem unit 366.
  • the modem 366 modulates data transmitted via the communication interface 368 to, for example, a radio signal, and demodulates data received via the communication interface 368.
  • the network 300 may be a public network such as the Internet, or a closed network such as a WAN (Wide Area Network), a LAN (Local Area Network), or an IP—VPN (Internet Protocol—Virtual Private Network). You may.
  • the connection medium is an optical fiber cape notch by FD DI (Fiber Distributed Data Interface) or the like, a coaxial cape notch by Ethernet, or a twisted pair.
  • a satellite network may be used regardless of wired or wireless, such as wireless using cable or IEEE 802.11b.
  • the transceiver 320 with the network connection function described above is configured to have a wireless router function, for example, and the communication interface 368 of the portable information terminal 360 is configured by a wireless LAN card or the like. Data may be transmitted and received between the transceiver with connection function 320 and the portable information terminal 360 by wireless LAN.
  • the various sensors 362 of the portable information terminal 360 may detect, for example, frequencies and periods of sound that cannot be detected by humans.
  • the odor sensor may be, for example, a sensor that detects an odor component adsorbed on the sensor surface.
  • the odor sensor may be constituted by a gas detection sensor, for example, to detect gases harmful to the human body such as halogen gas such as CO and C1.
  • the degree of friction and viscosity of oil may be detected from the oil vapor of an exhaust pump that exhausts a processing chamber of a semiconductor manufacturing apparatus.
  • various sensors 362 include oscilloscopes, spectrum analyzers, first Fourierton threshold holders (FFT), vibration analyzers, vibrating quartz crystal sensors, semiconductor sensors, and optical sensors.
  • the portable information terminal 360 may be provided with a switch (not shown) for the various sensors 362 so that the operator can select and use a desired sensor with the switch.
  • the data (external environment information) input by the operator from the input means provided in the portable information terminal 360 may be used as the sensor data.
  • various data such as data measured by a worker using a measuring instrument and data displayed on an operation panel may be input as sensor data.
  • the input means may be a known input means such as a key input or a touch panel input.
  • the control unit of the portable information terminal 360 determines the abnormality of the semiconductor manufacturing apparatus or the like based on, for example, the detection values from the various sensors 362. For example, if a sound or smell is detected, it may be determined that an abnormality has occurred.
  • a threshold value for determining whether or not an abnormality is present is stored in a storage unit (not shown), and a sound or the like exceeding the threshold value is stored. If an odor is detected, it is determined that an abnormality has occurred.
  • an error can be determined before an error as shown in Fig. 9 occurs.
  • the portable information terminal 360 transmits data from the corresponding sensor among the various sensors 362 via the network 300 to the worker management device 2. 0 Send to 0.
  • the operator management device 200 uses, for example, the new work of step S110 shown in FIG. 11 and step S510 shown in FIG. Is determined to have occurred.
  • an error prior information database (not shown) that stores signs before the occurrence of an error as shown in FIG. 9 as prior information is provided in various databases 210, and is stored in the error prior information database.
  • the error prior information database contains, for example, leak rate increase (sign 1), base pressure rise (sign 2), abnormal noise (sign 3), and vibration increase (atmospheric side error prior information) as vacuum side error prior information. Sign 4) is memorized.
  • An increase in the leak rate is a sign that the air flows into the processing chamber due to, for example, deterioration of the O-ring provided in the processing chamber of the semiconductor manufacturing equipment.
  • An increase in base pressure (sign 2) is a sign that the vacuum pump is insufficiently evacuated due to, for example, fatigue of a vacuum pump for evacuating the processing chamber or accumulation of foreign matter.
  • the abnormal noise (sign 3) is, for example, a sign that the bearing is deteriorated in addition to the vacuum pump, resulting in poor balance of the semiconductor manufacturing equipment.
  • Vibration increase is a sign that, for example, bearing deterioration has occurred in addition to foreign matter accumulation, vacuum pump deterioration, and the like, resulting in imbalance in semiconductor manufacturing equipment.
  • the signs 1 and 2 can be determined, for example, based on external environment information input to the portable information terminal 360 by a worker.
  • the signs 3 and 4 can be determined based on sensor data detected from the various sensors 362. If such a sign is stored in the prior error information database, for example, the information input to the portable information terminal 360 by the worker If there are no signs 3 and 4 based on the environmental information, it is highly possible that the vacuum pump is normal and there is a possibility that a chamber leak (leak occurred in the processing chamber). Therefore, it is determined that a new task of performing maintenance based on the occurrence of a champer leak has occurred. Therefore, the worker who is specified to perform the new work according to Figs. 11 and 15 is instructed to perform the new work.
  • the worker management device 200 transmits an instruction to the portable information terminal 360 of the worker via the network 300.
  • the sensor data detected or input by the portable information terminal 360 shown in FIG. 20 may be transmitted to the worker management device 200 each time.
  • the information may be transmitted to the worker management device 200 together with the identification information of the worker.
  • the operator management device 200 may determine whether there is an abnormality and determine whether a new operation has occurred.
  • the transmission / reception functions of the transceiver with network connection function 320 and the portable information terminal 360 are not limited to wireless transmission / reception functions, and various transmission / reception functions such as infrared transmission / reception functions can be applied. You.
  • a GPS Global Positioning System
  • a GPS Global Positioning System
  • the present invention may be applied as a worker management system that manages the workers of a company that owns a semiconductor manufacturing plant, or that employs workers from a company different from the company that owns the semiconductor manufacturing plant. It may be applied as a worker management system that manages the dispatched workers including the workers.
  • employees of a company that manufactures or sells semiconductor manufacturing equipment are dispatched to a customer who is a company that purchases or uses semiconductor manufacturing equipment to perform maintenance of semiconductor manufacturing equipment and operations such as semiconductor manufacturing.
  • it may be applied as a worker management system that manages the worker.
  • the work efficiency per worker involved in dispatching can be maximized, and the classification and number of workers can be determined according to the characteristics of the dispatched factory.
  • it is possible to minimize the number of workers dispatched to a customer company that purchases or uses semiconductor manufacturing equipment.
  • the present invention is applicable to a worker management system, a worker management device, and a worker management method.

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Abstract

作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた工場１００と，各作業エリア１１２等とそこで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報データベース２２０と，各作業エリアに設けられた作業者検出センサ１３０とを設け，作業者検出手段からの出力に基づいて作業者がどの作業エリアにいるかを特定し，作業特定情報データベースの作業特定情報に基づいて，特定された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する。こうして特定された現在作業に基づいてその作業者に対し，現在作業を続行させるか，又は新たな作業を行わせるかを判断し，判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す。これにより，作業者が現在行っている作業の特定，新作業の配分，作業の再配分などを容易とし，各作業者を適材適所に配置させて各作業者の作業効率を高めることができる。

Description

作業者管理システム， 作業者管理装置及び作業者管理方法
技術分野 明
本発明は， 作業者管理システム， 作業者管理装置及び作業者管理 方法に関する。 田 背景技術
例えば半導体製造工場などの作業場では， 半導体製造装置等が設 置されたクリーンルームの装置室を含め， 様々なェリァで様々な作 業が発生する。 例えばクリーンルームでは装置室外では半導体装置 の生産のための入力作業， 装置室内では半導体製造装置のトラブル 対応作業， またクリーンルーム外でも例えば保管庫の部品管理作業 などが発生する。 これら作業によっては， その作業を行うのに必要 なスキル （技能） も異なるため， 様々なスキル （技能） を有する作 業者が必要となる場合も多い。
ところが， このような様々なスキルを有する作業者を管理するの は容易ではなく， 作業の分配効率が悪いと作業者一人あたりの作業 効率も低下する。 従って， いかに作業者を適材適所に配置して各作 業者の作業効率を高めるかが課題となる。 そのためには， 必要なタ イミングで， その作業に最も適した作業者を選択して指示を出すの が理想的であるが， 実際には困難がある。 例えば， 作業者が作業を行っている間に別の新たな作業が発生し た場合には， その作業者に新たな作業を行う指示を出すことはでき ない。この場合，作業者の現在行っている作業を把握できなければ， その現在の作業を中断させて新たな作業を行ってよいかの判断もで きない。 また， 代りの作業者を探して新たな作業を行わせればよい とも考えられる。 ところが， 新たな作業によってはそれを行うのに 必要なスキル （技能） を有する作業者の手が空いているとは限らな レ、。 従って， 先ず作業者が現在行っている作業を特定する必要があ る。 しかしながら， 半導体製造工場などでは上述したように作業の種 類が多く， 各作業者が行っている作業を特定することは極めて困難 である。 作業の特定を行うために， 例えば特開平 8— 1 0 7 0 9 6 に示すようにパスヮードによって作業の種類ごとにオペレーション パネルの画面に入力できる者を予め決めておくようにすれば， 作業 者がどのような作業を行っているかをパスヮードによってある程度 特定できる。 オペレータはオペレータ用画面の入力だけを行うこと ができ， エンジニアはパスヮードによりエンジニア用画面の入力も 可能となる。 ところが， このような技術では， オペレータ， エンジニアといつ た作業者の種類 （作業者分類） がわかるだけで， 特定の作業者がど のような作業を行っているかを検出することはできない。 この点， 予め作業者ごとに I Dを決めておき， 作業者 I Dを入力してからォ ペレーションパネルの画面を操作するようにしておけば， その I D を有する作業者がどのような作業を行っているかを検出することが できるとも考えられる。 ところが， このような作業者 I Dによる入 力では， 画面入力などの操作を行わない作業については作業の特定 ができないという問題がある。 一方， 作業者が作業を行う度に作業内容をオペレーションパネル の画面などに入力させて記録をとつておくようにすれば各作業者の 作業を特定することもできる。 ところが， すべての作業者が作業を 行う度に作業内容を入力するのは煩わしく， 却って作業効率が落ち るおそれもある。 特に火災やトラブルなどの緊急時においては作業 者はできる限り早く トラブル対応作業などに取りかかる必要がある ため，作業者管理のために作業内容を入力させるのは適切ではない。 ところで， 半導体製造工場などでは， クリーンルーム内外， 装置 室内外などの作業エリアが多数あり， その作業エリアによって作業 がある程度特定できると考えられる。 従って， 本出願人は， 作業者 が居るエリアを特定できればその作業者の作業が特定できるとの考 えに至った。 本発明は， このような半導体製造工場など作業エリア によってある程度作業が特定できるような分野の特質に鑑みてなさ れたものである。 そこで， 本発明は， このような問題に鑑みてなされたもので， そ の目的とするところは， 作業者が現在行っている作業の特定， 新作 業の配分， 作業の再配分などを容易とし， 作業者を適材適所に指示 することができ， 各作業者の作業効率を高めることができる作業者 管理システム， 作業者管理装置及び作業者管理方法を提供すること にある。 発明の開示 上記課題を解決するために， 本発明の第 1の観点によれば， 作業 内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と， 前記作業場 の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけ た作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業ェ リアに設けられた作業者検出手段と， 前記作業者検出手段からの出 力に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業 者位置特定手段と， 前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基 づいて， 前 E作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリア からその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段 と， 前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作 業者に対して現在作業を続行させるか， 又は新たな作業を行わせる かを判断する判断手段と， 前記判断手段での判断結果に応じてその 作業者に対して作業実行の指示を出す指示手段とを備えたことを特 徴とする作業者管理システムが提供される。 このような本発明の作業者管理システムによれば， 作業者のいる エリア （場所） を検出し， そのエリアと関連づけられた作業からそ の作業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。 こ のため例えば新作業が発生した場合に， その新作業の配分， 作業の 再配分などを容易とし，作業者を適材適所で作業させることができ， 各作業者の作業効率を高めることができる。 また， 作業者が作業を 行うごとに作業内容を入力する手間も省けるため， 作業者の作業効 率が向上する 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と， 前記各作業ェ リアとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた作業特定 情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設け られた作業者検出手段と， 前記作業者検出手段からの出力に基づい て前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特定 手段と， 前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前 記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作 業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と， 前記各 作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者 スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と， 作業の優先情 報を記憶する作業優先情報記憶手段と， 新たな作業が発生したこと を検出する新作業検出手段と， 前記新作業検出手段が新作業を検出 すると， 前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づ いて， 前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出 手段と， 前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記 現在作業特定手段により特定し， 前記作業優先情報記憶手段の作業 優先情報に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先 順位を取得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の優先順位 の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定 処理を行う作業者特定手段と， 前記作業者特定手段によって特定さ れた作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を出す指示 手段とを備えたことを特徴とする作業者管理システムが提供される。 このような本発明の作業者管理システムによれば， 検出した現在 作業と新作業との優先度を比較して， 新作業の方が優先度が高けれ ばその作業者に新作業を行うように指示を出す。 このように， 新作 業が発生した場合にも， 現在作業との優先度に応じてその作業者に 新作業をさせるか否かを判断することができるので， 優先度の高い 作業， すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。 こ れにより， 作業者を適材適所に指示することができ， 作業配分の最 適化を図ることができる。 また， 上記作業者スキル情報記憶手段は， 各作業者ごとに作業者 分類を記憶し， 各作業とその各作業を行うことができるスキルを有 する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル 情報記憶手段と， 前記作業者抽出手段により抽出された各作業者に ついて前記作業者スキル情報記憶手段によつて得られた作業者分類 を取得するとともに， 前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情 報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し， それぞれ取得した 作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者 に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け， 前記作業者特定手 段は， 作業者抽出手段で抽出された作業者のうち， 前記優先順位付 与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に 作業者特定処理を行うようにしてもよい。 これによれば， 新作業を行うことができる者として抽出された作 業者に， さらにその新作業に最も適する作業者分類 （例えばェンジ ユア， オペレータ， 定期作業者など） の優先度を高くするように優 先順位をつけて， 優先順位の高い作業者から現在作業と新作業との 優先度も比較しつつ，新作業を行う作業者を決定することができる。 これにより， 新作業に最も適切な作業者をより早く見つけだすこと ができ， 作業者に対して適材適所に指示することができる。
上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と， 前記作業場の 各作業エリアとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた 作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリ ァに設けられた作業者検出手段と， 前記作業者検出手段からの出力 に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者 位置特定手段と， 前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づ いて， 前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアか らその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と， 作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と， 新たな作業が 発生したことを検出する新作業検出手段と， 前記新作業検出手段が 新作業を検出すると， 前記現在作業特定手段により全作業者の現在 作業を特定し，これらの現在作業に新作業を含めた全作業について， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を 付与し， 優先度の高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直 す作業再分配手段と， 前記作業再分配手段により割当てられた作業 を全作業者に対して指示する指示手段とを備えたことを特徴とする 作業者管理システムが提供される。 このような本発明の作業者管理システムによれば， 新作業が発生 した場合に， 全作業者の現在作業を検出し， その現在作業と新作業 を含めた全作業を再配分し直すため， 新作業を含めた全作業につい てより適切な作業者を割当てることができる。 これにより， 作業者 を適材適所に指示することができ， 作業配分の効率化， 作業の効率 ィ匕を図ることができる。 また， 上記作業再分配手段は， 作業の優先順位の高い作業から新 作業とし， 前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関 連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と， 前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて， 前 記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と， 前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業 特定手段により特定し， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報 に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取 得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高 い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行 う作業者特定手段とを設けてもよい。 これによれば， 新作業を含めた全作業の再配分を行う場合に， 作 業の優先度の高い順に作業者を決定していくので， 重要な作業ほど 早く作業者を決定することができる。 また， 新作業を含めた全作業 の再配分を行う場合においても， 検出した現在作業と新作業との優 先度を比較して， 新作業の方が優先度が高ければその作業者に新作 業を行うように指示を出すことができる。 これにより， 優先度の高 い重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので， 作業者を適材適所に指示することができ， 作業配分の最適化， 作業 の効率化を図ることができる。 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場と， 前記作業場の 各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた 作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリ ァに設けられた作業者検出手段と， 前記作業者検出手段からの出力 に基づいて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者 位置特定手段と， 前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づ いて， 前記作業者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアか らその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と， 所定時間ごとに， 前記現在作業特定手段により全作業者の現在作業 を特定し，全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段と， 前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定時 間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書作 成手段とを設けたことを特徴とする作業者管理システムが提供され る。 このような本発明の作業者管理システムによれば， 作業日報， 作 業月報などの作業報告書を容易に作成することができる。 しかも自 動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を 作成するので， 作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから 入力する手間を省くことができ， 作業効率が向上する。 また作業者 の自己報告に委ねる必要がないので， 常に正確な作業報告を作成す ることができる。 また， 前記作業報告書作成手段は， 各作業についてその各作業を 行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は， 作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を 作成するようにしてもよい。 また， 前記作業場は， 半導体製造工場 としてもよく， その場合， 前記作業者は， 前記作業場である半導体 製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であ ることとしてもよい。 これによれば， 例えば派遣作業者が行った作 業の料金を派遣先の企業に請求する場合に， 作業報告書に各作業の 作業単価， 合計額も印刷し， その合計額から作業内容に応じた料金 を請求することも可能となる。 上記課題を解決するために， 本発明の第 2の観点によれば， 作業 内容に応じて複数の作業ェリアに分けられた作業場で作業を行う作 業者を管理する作業者管理装置であって， 前記作業場の各作業エリ ァとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情 報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けら れた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェ リアにいるかを特定する作業者位置特定手段と， 前記作業特定情報 記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業者位置特定手段で特 定された作業者の作業エリァからその作業者の現在行っている作業 を特定する現在作業特定手段と， 前記現在作業特定手段で特定され た現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を続行させるか, 又は新たな作業を行わせるかを判断する判断手段と， 前記判断手段 での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指示を出す指 示手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。 このような本発明の作業者管理装置によれば， 作業者のいるエリ ァ （場所） を検出し， そのエリアと関連づけられた作業からその作 業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。 このた め例えば新作業が発生した場合に， その新作業の配分， 作業の再配 分などを容易とし， 作業者を適材適所で作業させることができ， 各 作業者の作業効率を高めることができる。 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業ェリアに分けられた作業場で作業を行う作業 者を管理する作業者管理装置であって， 前記各作業エリアとその各 作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報を記憶す る作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けられた作業者 検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェリアにいる かを特定する作業者位置特定手段と， 前記作業特定情報記憶手段の 作業特定情報に基づいて， 前記作業者位置特定手段で特定された作 業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する 現在作業特定手段と， 前記各作業者とその各作業者が行うことがで きる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情 報記憶手段と，作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と， 新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と， 前記新作 業検出手段が新作業を検出すると， 前記作業者スキル情報記憶手段 の作業者スキル情報に基づいて， 前記新作業を行うことができる作 業者を抽出する作業者抽出手段と， 前記作業者抽出手段で抽出され た作業者の現在作業を前記現在作業特定手段により特定し， 前記作 業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて， 前記現在作業の優 先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し， 前記現在作業よ りも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者 として特定する作業者特定処理を行う作業者特定手段と， 前記作業 者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作業の作業を 行うように指示を出す指示手段とを備えたことを特徴とする作業者 管理装置が提供される。 このような本発明の作業者管理装置によれば， 検出した現在作業 と新作業との優先度を比較して， 新作業の方が優先度が高ければそ の作業者に新作業を行うように指示を出す。 このように， 新作業が 発生した場合にも， 現在作業との優先度に応じてその作業者に新作 業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業， すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。 これによ り， 作業者を適材適所に指示することができ， 作業配分の最適化を 図ることができる。 また， 前記作業者スキル情報記憶手段は， 各作業者ごとに作業者 分類を記憶し， 各作業とその各作業を行うことができるスキルを有 する作業者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル 情報記憶手段と， 前記作業者抽出手段により抽出された各作業者に ついて前記作業者スキル情報記憶手段によつて得られた作業者分類 を取得するとともに， 前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情 報に基づいて前記新作業の作業者分類を取得し， それぞれ取得した 作業者分類が同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者 に優先順位をつける優先順位付与手段とを設け， 前記作業者特定手 段は， 作業者抽出手段で抽出された作業者のうち， 前記優先順位付 与手段によって付与された作業者の優先順位の高い作業者から順に 作業者特定処理を行うようにしてもよい。 これによれば， 新作業に 最も適切な作業者をより早く見つけだすことができ， 作業者に対し て適材適所に指示することができる。 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業 者を管理する作業者管理装置であって， 前記作業場の各作業エリア とその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報 を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けられ た作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリ ァにいるかを特定する作業者位置特定手段と， 前記作業特定情報記 憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業者位置特定手段で特定 された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を 特定する現在作業特定手段と， 作業の優先情報を記憶する作業優先 情報記憶手段と， 新たな作業が発生したことを検出する新作業検出 手段と， 前記新作業検出手段が新作業を検出すると， 前記現在作業 特定手段により全作業者の現在作業を特定し， これらの現在作業に 新作業を含めた全作業について， 前記作業優先情報記憶手段の作業 優先情報により作業の優先順位を付与し， 優先度の高い作業から全 作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と， 前記作業再 分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して指示する指示 手段とを備えたことを特徴とする作業者管理装置が提供される。 このような本発明の作業者管理装置によれば， 新作業が発生した 場合に， 全作業者の現在作業を検出し， その現在作業と新作業を含 めた全作業を再配分し直すため， 新作業を含めた全作業についてよ り適切な作業者を割当てることができる。 これにより， 作業者を適 材適所に指示することができ， 作業配分の効率化， 作業の効率化を 図ることができる。 また， 上記作業再分配手段は， 作業の優先順位の高い作業から新 作業とし， 前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関 連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と， 前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて， 前 記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と， 前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業 特定手段により特定し， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情報 に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を取 得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が高 い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を行 う作業者特定手段とを設けてもよい。 これによれば， 優先度の高い 重要な作業ほどより最適な作業者を選択することができるので， 作 業者を適材適所に指示することができ， 作業配分の最適化， 作業の 効率化を図ることができる。 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業 者を管理する作業者管理装置であって， 前記作業場の各作業エリア とその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報 を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けられ た作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業エリ ァにいるかを特定する作業者位置特定手段と， 前記作業特定情報記 憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業者位置特定手段で特定 された作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を 特定する現在作業特定手段と， 所定時間ごとに， 前記現在作業特定 手段により全作業者の現在作業を特定し， 全作業者ごとに現在作業 を記憶する作業情報記憶手段と， 前記作業情報記憶手段の作業情報 に基づいて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作 業報告書を作成する作業報告書作成手段とを設けたことを特徴とす る作業者管理装置が提供される。 このような本発明の作業者管理装置によれば， 作業日報， 作業月 報などの作業報告書を容易に作成することができる。 しかも自動的 に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成 するので， 作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力 する手間を省くことができ， 作業効率が向上する。 また作業者の自 己報告に委ねる必要がないので， 常に正確な作業報告を作成するこ とができる。 また， 上記作業報告書作成手段は， 各作業についてその各作業を 行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成手段は， 作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を 作成するようにしてもよい。 また， 上記作業場は， 半導体製造工場 としてもよく， この場合に， 前記作業者は， 前記作業場である半導 体製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者で あることとしてもよい。 これによれば， 例えば派遣作業者が行った 作業の料金を派遣先の企業に請求する場合に， 作業報告書に各作業 の作業単価， 合計額も印刷し， その合計額から作業内容に応じた料 金を請求することも可能となる。 上記課題を解決するために， 本発明の第 3の観点によれば， 作業 内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作 業者を管理する作業者管理方法であって， 前記各作業エリアに設け られた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業 エリアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， 前記作業場の各 作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作 業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報 に基づいて， 前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業ェ リァからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定 工程と， 前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてそ の作業者に対して現在作業を続行させるか， 又は新たな作業を行わ せるかを判断する判断工程と， 前記判断工程での判断結果に応じて その作業者に対して作業実行の指示を出す指示工程とを有すること を特徴とする作業者管理方法が提供される。 このような本発明の作業者管理方法によれば， 作業者のいるエリ ァ （場所） を検出し， そのエリアと関連づけられた作業からその作 業者が現在行っている作業を容易に検出することができる。 このた め例えば新作業が発生した場合に， その新作業の配分， 作業の再配 分などを容易とし， 作業者を適材適所で作業させることができ， 各 作業者の作業効率を高めることができる。 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業 者を管理する作業者管理方法であって， 前記各作業エリアに設けら れた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェ リアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， 前記各作業エリア とその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業特定情報 を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記 作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリアからその作業 者の現在行っている作業を特定する現在作業特定工程と， 新たな作 業が発生したことを検出する新作業検出工程と， 前記新作業検出ェ 程が新作業を検出すると， 前記各作業者とその各作業者が行うこと ができる作業を関連づけた作業者スキル情報を記憶する前記作業者 スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて， 前記新作業を 行うことができる作業者を抽出する作業者抽出工程と， 前記作業者 抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程に より特定し， 作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段にお ける作業優先情報に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作 業の優先順位を取得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の 優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作 業者特定処理を行う作業者特定工程と， 前記作業者特定工程によつ て特定された作業者に対して前記新作業の作業を行うように指示を 出す指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供さ れる。 ' このような本発明の作業者管理方法によれば， 検出した現在作業 と新作業との優先度を比較して， 新作業の方が優先度が高ければそ の作業者に新作業を行うように指示を出す。 このように， 新作業が 発生した場合にも， 現在作業.との優先度に応じてその作業者に新作 業をさせるか否かを判断することができるので，優先度の高い作業， すなわち重要な作業ほど早急に処理させることができる。 これによ り， 作業者を適材適所に指示することができ， 作業配分の最適化を 図ることができる。 また， 上記作業者スキル情報記憶手段は， 各作業者ごとに作業者 分類を記憶し， 前記作業者抽出工程により抽出された各作業者につ いて， 各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業 者分類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業者スキル情報記 憶手段によって得られた作業者分類を取得するとともに， 前記作業 スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて前記新作業の作業 者分類を取得し， それぞれ取得した作業者分類が同一となる作業者 の優先順位が高くなるように作業者に優先順位をつける優先順位付 与工程とを有し， 前記作業者特定工程は， 前記作業者抽出工程で抽 出された作業者のうち， 前記優先順位付与工程によって付与された 作業者の優先順位の高い作業者から順に作業者特定処理を行うよう にしてもよい。 これによれば， 新作業に最も適切な作業者をより早 く見つけだすことができ， 作業者に対して適材適所に指示すること ができる。 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業 者を管理する作業者管理方法であって， 前記各作業エリアに設けら れた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェ リアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， 前記作業場の各作 業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連づけた作業 特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に 基づいて， 前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリ ァからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定ェ 程と， 新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と， 前 記新作業検出工程が新作業を検出すると， 前記現在作業特定工程に より全作業者の現在作業を特定し， これらの現在作業に新作業を含 めた全作業について， 作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶 手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し， 優先度の高い 作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程と， 前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して指 示する指示工程とを有することを特徴とする作業者管理方法が提供 される。 このような本発明の作業者管理方法によれば， 新作業が発生した 場合に， 全作業者の現在作業を検出し， その現在作業と新作業を含 めた全作業を再配分し直すため， 新作業を含めた全作業についてよ り適切な作業者を割当てることができる。 これにより， 作業者を適 材適所に指示することができ， 作業配分の効率化， 作業の効率化を 図ることができる。 また， 上記作業再分配工程は， 作業の優先順位の高い作業から新 作業とし， 前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関 連づけた作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段に おける作業者スキル情報に基づいて， 前記新作業を行うことができ る作業者を抽出する作業者抽出工程と， 前記作業者抽出工程で抽出 された作業者の現在作業を前記現在作業特定工程により特定し， 前 記作業優先情報記憶手段の作業優先情報に基づいて， 前記現在作業 の優先順位と前記新作業の優先順位を取得して比較し， 前記現在作 業よりも前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作 業者として特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程とを有す るようにしてもよい。 これによれば， 優先度の高い重要な作業ほど より最適な作業者を選択することができるので， 作業者を適材適所 に指示することができ， 作業配分の最適化， 作業の効率化を図るこ とができる。 上記課題を解決するために， 本発明の別の観点によれば， 作業内 容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場で作業を行う作業 者を管理する作業者管理方法であって， 前記各作業エリアに設けら れた作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業ェ リアにいるかを特定する作業者位置特定工程と， 前記作業場の各作 業エリアとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連づけた作業 特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段における作業特定情報に 基づいて， 前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業エリ ァからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特定ェ 程と， 所定時間ごとに， 前記現在作業特定工程により全作業者の現 在作業を特定し， 全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶 工程と， 前記作業情報記憶工程によつて記憶された作業情報に基づ いて所望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告 書を作成する作業報告書作成工程とを有することを特徴とする作業 者管理方法が提供される。 このような本発明の作業者管理方法によれば， 作業日報， 作業月 報などの作業報告書を容易に作成することができる。 しかも自動的 に作業者の作業を検出して作業者報告書の元になる作業情報を作成 するので， 作業者が作業を行うごとに携帯型情報端末などから入力 する手間を省くことができ， 作業効率が向上する。 また作業者の自 己報告に委ねる必要がないので， 常に正確な作業報告を作成するこ とができる。 また， 上記作業報告書作成工程は， 各作業についてその各作業を 行う場合の作業単価についても記憶し，前記作業報告書作成工程は， 作業の作業単価及びその作業単価の合計額をも含めた作業報告書を 作成するようにしてもよい。 また， 前記作業場は， 半導体製造工場 としてもよく， この場合， 前記作業者は， 前記作業場である半導体 製造工場を所有する企業とは異なる企業から派遣された作業者であ ることとしてもよい。 これによれば， 例えば派遣作業者が行った作 業の料金を派遣先の企業に請求する場合に， 作業報告書に各作業の 作業単価， 合計額も印刷し， その合計額から作業内容に応じた料金 を請求することも可能となる。 なお， 上記作業者管理システム， 作業者装置， 作業者方法におけ る作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信す る受信機を設け， 前記送信機は， 各作業者ごとに異なる周波数の電 磁波を送信するように設定し， 前記作業者位置特定手段は， 作業ェ リァ検出の対象となる作業者の周波数の電磁波を受信した前記作業 者検出手段を見つけ出し， この作業者検出手段が設けられた作業ェ リアをその作業者のいる作業エリァとして特定するようにしてもよ レ、。 これにより， 特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを容易 に検出することができ， その作業エリア情報から作業者が現在行つ ている作業を容易に検出することができる。 また， 上記作業者管理システム， 作業者装置， 作業者方法におけ る作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電磁波を受信す る受信機を設け， 前記送信機は， 各作業者ごとに作業者を識別する 識別情報を載せた電磁波を送信するように設定し， 前記作業者位置 特定手段は， 前記作業者検出手段から作業者の識別情報を取得し， 作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を受信した前記作業 者検出手段を見つけ出し， この作業者検出手段が設けられた作業ェ リアをその作業者のいる作業ェリアとして特定するようにしてもよ レ、。 これによつても， 特定の作業者がどこの作業エリアにいるかを 容易に検出することができ， その作業エリア情報から作業者が現在 行っている作業を容易に検出することができる。
また， 上記作業者管理システム， 作業者装置， 作業者方法におけ る作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情報を取得す る作業情報取得手段を設け， 前記現在作業特定手段は， 前記作業者 がいる作業エリアとして特定された作業エリア情報に加えて， 前記 作業情報取得手段からその作業者が作業を行っている作業装置から の作業情報 （装置に対する作業情報であり， 本明細書では 「装置情 報」 ともいう） を取得し， これらエリア情報及び作業情報に基づい てその作業者の現在作業を特定するようにしてもよい。 これによれ ば， 作業者がいる作業エリア情報からある程度の作業内容 （例えば トラブル対応処理， 通常オペレーション作業などの作業分類） が検 出でき， 作業情報からさらに細かな作業内容 （例えばトラブル対応 処理の中でも， 電気系トラブル対応処理，機械系トラブル対応処理） を検出できる。 図面の簡単な説明 図 1は本発明の第 1実施形態にかかる作業者管理システムの全体 構成を示すブロック図である。 図 2は同実施形態におけるグリーンルームの装置室内での作用を 説明する図である。 図 3は同実施形態にかかる作業者管理装置の構成を示すプロック 図である。 図 4は図 3に示す各種データベースの例を示すプロック図である 図 5は同実施形態にかかる作業特定情報データベースの 1例を示 す図である。 図 6は同実施形態にかかる作業優先度情報データベースの 1例を 示す図である。 図 7は同実施形態にかかる作業スキル情報データベースの 1例を 示す図である。 図 8は同実施形態にかかる作業者スキル情報データベースの 1例 を示す図である。 図 9は同実施形態にかかるエラーコード情報データベースの 1例 を示す図である。 図 1 0は同実施形態にかかる検查結果情報データベースの 1例を 示す図である。 図 1 1は同実施形態にかかる新作業配分処理メィンルーチンを示 す流れ図である。 図 1 2は同実施形態にかかる作業者優先順位付与処理サブルーチ ンを示す流れ図である。 図 1 3は同実施形態にかかる作業者決定処理サブルーチンを示す 流れ図である。 図 1 4は同実施形態にかかる作業者の作業検出処理サブルーチン を示す流れ図である。 図 1 5は本発明の第 2実施形態にかかる新作業配分処理メインル 一チンを示す流れ図である。 図 1 6は同実施形態にかかる全作業の再配分処理サブルーチンを 示す流れ図である。 図 1 7は本発明の第 3実施形態にかかる作業データベース作成処 理を示す流れ図である。 ， 図 1 8は同実施形態にかかる作業日報作成処理を示す流れ図であ る。 図 1 9は同実施形態で作成される作業日報の 1例を示す図。 図 2 0は作業者管理システムの変形例を示すプロック図である。 発明を実施するための最良の形態 以下に添付図面を参照しながら， 本発明の好適な実施の形態につ いて詳細に説明する。 なお， 本明細書及ぴ図面において， 実質的に 同一の機能構成を有する構成要素については， 同一の符号を付する ことにより重複説明を省略する。 (第 1実施形態）
先ず， 本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理シス テムの第 1実施形態を図面を参照しながら説明する。 図 1は， 作業 場の 1例としての半導体製造工場における作業者管理システムの全 体構成を示す図で， 1 0 0は半導体製造工場であり， 工場 1 0 0内 の間取りの 1例を示したものである。 2 0 0は作業者管理装置であ る。 半導体製造工場 1 0 0は， 図 1に示すように， 例えば主としてェ 場内のクリーンルームェリア 1 1 0とタリーンルーム以外のェリァ 1 2 0 (以下， 「クリーンルーム外エリア」と称する）に分けられる。 さらに， クリーンルームエリア 1 1 0は， 例えば複数の装置室ェ リア 1 1 2と装置室以外のエリア 1 1 4 (以下， 「装置室外エリア」 と称する）に分けられる。装置室エリア 1 1 2には，プロセス装置， 計測装置等の半導体製造装置 1 4 0が配設されている。 プロセス装 置としては， 例えばエッチング装置， C V D ( Chemical vapor deposition :化学気相成長法）装置， コータデベロッパ， 洗浄装置， C M P (Chemical Mechanical Polishing：化学的機械的研磨)装置， P V D (Physical Vapor Deposition：物理気相成長法） 装置， 露光 装置， イオンインプランタなどがある。 計測装置としては， 例えば 膜厚装置， O D P (Optical Digital Profiler) , F T I Rなどがあ る。 なお， 装置室ェリア 1 1 2には各装置室ェリア 1 1 2ごとに異 なる種類の半導体製造装置 1 4 0を配設してもよく， 同じ装置室ェ リア 1 1 2に複数種類の半導体製造装置 1 4 0を配設してもよい。 上記装置室エリァ 1 1 2には， メンテナンスゃ定期点検などの作 業を行う場合に装置室エリア 1 1 2内の各半導体製造装置 1 4 0を 室内から制御等する室内制御部 1 1 6を設け， この室内制御部 1 1 6によりその装置室内の半導体製造装置 1 4 0を制御する。 装置室 の外側から半導体製造装置 1 4 0の制御等を行う室外制御部 1 1 8 を設けてもよい。 また半導体製造装置 1 4 0の制御部は各半導体製 造装置 1 4 0自体に設けて， その制御部からその半導体製造装置 1 4 0を制御等するようにしてもよい。 上記室内制御部 1 1 6 , 室外 制御部 1 1 8， その他の制御部は， 例えば操作パネルで構成する。 これら各制御部 1 1 6， 1 1 8及び半導体製造装置 1 4 0は作業者 管理装置 2 0 0の入出力部 2 0 8と通信回線等により電気的に接続 しており， アクセス情報， 装置の状態情報などの装置情報 （装置に 対する作業情報） の送受信ができるようになつている。 上記各制御 部により半導体製造装置などを制御する場合には， その作業に応じ て制御部から作業者の I D , パスワードを入力してアクセスする。 これによりどの作業者が制御しているのかを特定できるようにする。 装置室外ェリア 1 1 4は， ここでは上記室外制御部 1 1 8を設置 するエリアを示す。 なお， 装置室外エリア 1 1 4は必ずしも室外制 御部 1 1 8の設置エリアに限られず， 装置室エリア 1 1 2間に形成 される通路などを含めてもよい。 クリーンルーム外ェリア 1 2 0は， クリーンルーム以外の工場内 エリアを示す。 例えば中央監查室エリア 1 2 2， 用力室エリア 1 2 4， 保管庫エリア 1 2 6， オフィスエリア 1 2 8 , 休憩室エリア 1 2 9 (トイレなどを含んでいてもよい） などがある。 上記クリーンルームェリア 1 1 0内における装置室ェリア 1 1 2 , 装置室外ェリア 1 1 4， クリーンルーム外ェリア 1 2 0における中 央監査室ェリア 1 2 2 ,用カ室ェリア 1 2 4，保管庫ェリア 1 2 6 , オフィスエリア 1 2 8， 休憩室エリア 1 2 9の各エリアには， 作業 者を検出する作業者検出手段としての作業者検出センサ 1 3 0が設 けられている。 作業者検出センサ 1 3 0は作業者管理装置 2 0 0の 入出力部 2 0 8と通信ケーブル等により電気的に接続しており， 作 業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報の送受信ができるようにな つている。 上記作業者検出センサ 1 3 0は， 例えば各作業者が携帯する送信 機の電磁波 （又は電波） を受信するセンサで構成する。 作業者検出 センサ 1 3 0は， 例えば各エリアの天井や壁などに取付ける。 図 2に作業者検出センサ 1 3 0として例えば受信機 1 3 4をタリ ーンルームェリア 1 1 0の装置室ェリア 1 1 2に設置した例を示す。 受信機 1 3 4は装置室エリァ 1 1 2の区画となる装置室 1 3 2の天 井に取り付ける。 一方， 作業者 1 3 6は送信機 1 3 8を常に携帯し ながら半導体製造装置 1 4 0などの作業を行う。 作業者 1 3 6が半 導体製造装置 1 4 0の例えばメンテナンス作業を行うべく， 装置室 1 3 2に入ると， 天井に設けられた受信機 1 3 4が作業者が携帯す る送信機 1 3 8からの電磁波を受信する。 これにより， 作業者 1 3 6が装置室エリア 1 1 2にいることを検出することができる。 この場合， 上記送信機 1 3 8は， 作業者ごとに異なる周波数 （無 線周波数） の電磁波を送信させるようにしてもよい。 そして各作業 者と各作業者の周波数とを関連づけた周波数情報は周波数情報記憶 '手段の 1例としての周波数情報データベースに記憶しておく。 この 周波数情報データベースは， 図 3に示す各種データベース 2 1 0に 含まれるようにしてもよい。 この周波数情報データベースの周波数 情報に基づいて， 作業者検出センサ 1 3 0から受信した電磁波の周 波数によってその作業者検出センサ 1 3 0を設置する作業エリアに いる作業者を特定することができる。 作業者管理装置 2 0 0は， 各 作業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報から作業エリア検出の対 象となる作業者の周波数の電磁波を受信した作業者検出センサ 1 3 0を見つけ出し， この作業者検出センサ 1 3 0が設けられた作業ェ リアをその作業者のいる作業エリアとして特定する。 また， 上記送信機 1 3 8は， 各作業者を識別する識別情報として の I Dのデータを符号化し変調等により電磁波に変換して送信し， 受信機 1 3 4は送信機 1 3 8から受信した電磁波を復調等して複合 化した I Dのデータをセンサ情報として作業者管理装置 2 0 0に送 出するようにしてもよい。 この I Dは図 8に示す作業者スキル情報 データベース 2 5 0に記憶されている。 この作業者スキル情報デー タベース 2 5 0の I D (識別情報） に基づいて， 作業者検出センサ 1 3 0から受信した I D (識別情報） によってその作業者検出セン サ 1 3 0を設置する作業エリアにいる作業者を特定することができ る。 これにより， 作業者管理装置 2 0 0は， 各作業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報から作業エリア検出の対象となる作業者の I D (識別情報） を受信した作業者検出センサ 1 3 0を見つけ出し， この作業者検出センサ 1 3 0が設けられた作業エリアをその作業者 のいる作業エリアとして特定する。なお，送信機 1 3 8は携帯電話， 後述する携帯型情報端末などで構成してもよい。 また， 受信機 1 3 4， 送信機 1 3 8はともに送受信機としてもよい。 この場合の具体 例は後述する。 また， 作業者の I D (識別情報） は， その作業者の持つ送信機 1 3 8の記憶手段 （図示しない） に予め記憶されていてもよく， また バーコ一ド化された J Dを読取って送信機 1 3 8の記憶手段に記憶 されるようにしてもよい。 具体的には例えば携帯電話や携帯型情報 端末などで構成された送信機 1 3 8に赤外線読取手段などのバーコ 一ド読取手段を設け， このパーコード読取手段によりバーコ一ド化 された I Dを読取って送信機 1 3 8の記憶手段に記憶されるように してもよい。 (作業者管理装置）
作業者管理装置 2 0 0は， 例えば上記作業者検出センサ 1 3 0か らのデータを入力し， この作業者検出センサ 1 3 0からのデータに 基づいて各作業者がいるエリアを検出する。 作業者管理装置 2 0 0 は， 図 3に示すように， C P U (中央処理装置）， R O M (リード . オンリ ' メモリ）， R A M (ランダム · アクセス · メモリ） などのメ モリを有する制御部 2 0 2 , 各種情報を表示するディスプレイなど の表示部 2 0 4， 各種データを入力するための入力部 2 0 6， 上記 作業者検出センサ 1 3 0からのデータを入力する入出力部 2 0 8 , 各種データベース 2 1 0の他， 図示はしないがプログラムなどを記 憶するハードディスク装置などの記憶手段などを備える。 上記制御 部 2 0 2のメモリは， C P Uによってアクセスするためのプログラ ムゃデータが格納されるもので例えば必要に応じて上記ハードディ スク装置などの記録媒体に記憶したプログラムが読み出されて格納 される。 上記各種データベース 2 1 0としては， 図 4に示すように作業特 定情報データベース 2 2 0， 作業優先度情報データベース 2 3 0， 作業スキル情報 （作業技能情報） データベース 2 4 0， 作業者スキ ル （作業者技能情報） 情報データベース 2 5 0， トラブル情報 （異 常情報） データベース 2 6 0などがある。 (作業特定情報データベース）
作業特定情報データベース 2 2 0は， 図 5に示すようにェリァ情 報 2 2 2と装置情報 （装置に対する作業情報） 2 2 4と作業内容 2 2 6とを関連づけた作業特定情報を記憶している。 この作業特定情 報は，例えば作業者が行っている作業を特定するときに用いられる。 具体的には作業者検出センサ 1 3 0により検出した作業者のいるェ リア情報と半導体製造装置 1 4 0のアクセス情報などの作業特定情 報とによりその作業者が現在行っている作業 （現在作業） を特定す る。 エリア情報 2 2 2は， 図 1.に示す工場の各エリアの情報である。 本実施の形態では， クリーンルームェリア 1 1 0内における装置室 エリア 1 1 2， 装置室外エリア 1 1 4， クリーンルーム外エリア 1 2 0における中央監查室エリア 1 2 2， 用力室エリア 1 2 4， 保管 庫エリア 1 2 6， オフィスエリア 1 2 8， 休憩室エリア 1 2 9を各 エリアとしている。 装置情報 2 2 4は， 例えば上記半導体製造装置 1 4 0の室内制御 部 1 1 6， 室外制御部 1 1 8などの制御部へのアクセス情報， 異常 時に発生する半導体製造装置 1 4 0のアラーム， ランプ点灯などの 異常報知情報， メンテナンスが必要なときに発生する半導体製造装 置 1 4 0のアラーム， ランプ点灯などのメンテナンス報知情報など である。 制御部へのアクセス情報としては例えば半導体製造装置 1 4 0のメンテナンスなどの各作業を行うためのアクセスがあつたか 否かの情報である。 作業内容 2 2 6は， 各エリアで行われる作業の 種類である。 ここで， 各エリアごとに判断される作業内容 2 2 6の 1例を図 5 を参照しながら説明する。 先ずクリーンルームェリア 1 1 0の装置 室エリア 1 1 2における作業としては， トラブル対応作業 （トラブ ル対応メンテナンス）， 定期作業が挙げられる。 上記装置室エリア 1 1 2の作業内容におけるトラブル対応作業は, 装置室ェリア 1 1 2内の半導体製造装置 1 4 0にトラブルが発生し たときにそのトラブルを解消するための作業である。 このトラブル 対応作業には装置の電気系統に異常があった場合の電気系トラブル 対応作業， 装置の機械系統に異常があった場合の機械系トラブル対 応作業， エッチング処理などのプロセス過程に異常があった場合の プロセス系トラブルなどがある。 半導体製造装置 1 4 0のトラブル は， その装置の報知手段によるアラームなどによる報知， ランプ手 段によるランプの点灯などにより トラブル発生の有無やトラブルの 種類がわかるようになっている。 従って， 作業者が装置室エリア 1 1 2にいることが判断されたと きに， さらに作業特定情報によってトラブルが発生していれば， そ の作業者がトラブル対処作業を行っていることを判断できる。 この とき， 作業特定情報のトラブルの種類 （例えば電気系， 機械系， プ ロセス系など）によってより詳細なトラブル対処作業が判断できる。 なお， 半導体製造装置 1 4 0の報知 （アラーム） があった場合には 通常は作業者が室内制御部 1 1 6などから当該半導体製造装置 1 4 0にアクセスしてメンテナンスモードに切換え， チェック動作を行 うなどの作業を行うので， そのときの作業者のアクセス情報からト ラブル対処作業を判断してもよい。 上記装置室エリア 1 1 2の作業内容における定期作業は， 例えば 半導体製造装置 1 4 0に対して部品交換ゃゥエツ トクリーユングを 行う作業である。 ウエットクリーニングは， 作業者が装置室エリア 1 1 2で半導体製造装置 1 4 0の処理室を開けて薬液を用いて洗浄 するものである。 ここでは装置室ェリア 1 1 2での作業であるため クリ一ユングとしてウエットタリ一ユングを例としたが， 必ずしも これに限定されるものではない。 なお， 部品交換やウエットタリー ニングを行う場合にも報知 （アラーム） やランプの点灯などによる メンテナンス報知や室内制御部 1 1 6などからメンテナンスモード に切換えて作業を行うために当該半導体製造装置 1 4 0にアクセス する場合がある。 このため， 作業者が装置室エリア 1 1 2にいると 判断されたときに， これらのアクセス情報ゃメンテナンス報知情報 などの作業特定情報によれば， その作業者が定期作業を行っている ことを判断できる。 次いで， クリーンルームエリァ 1 1 0の装置室外ェリア 1 1 4で の作業としては， 通常オペレーション作業， 定期作業， その他の作 業が挙げられる。 通常オペレーション作業は， 例えば室外制御部 1 1 8から半導体装置の生産指示を行うためにプロセス条件などの入 力などを行ったり， 半導体ウェハが収納されたキャリア （F O U P ) をセットしたり， 移動したりする作業である。 なお， キャリア （F O U P ) をセットしたり， 移動したりする作業は， 装置室エリア 1 1 2内で行われるが， その後に室外制御部 1 1 8から半導体装置の 生産指示などを行うので， 装置室外エリア 1 1 4での作業に含めて いる。 但し， これらの作業を装置室エリア 1 1 2で行う場合には装 置室エリア 1 1 2の作業としてもよい。 このように， 通常オペレーション作業は， 通常は室外制御部 1 1 8などから半導体製造装置 1 4 0にアクセスするので， 作業者が装 置室エリァ 1 1 2にいると判断されたときに， アクセス情報によれ ば， その作業者が通常オペレーション作業を行っていることを判断 できる。 装置室外エリア 1 1 4における定期作業は， 例えば半導体 製造装置 1 4 0に対するドライクリ一ユングやシーズニングなどが ある。 ドライクリーニングは， 通常室外制御部 1 1 8などから半導 体製造装置 1 4 0にアクセスし， 必要情報を入力することにより半 導体製造装置 1 4 0の処理室などを洗浄するものである。 ここでは 装置室外ェリア 1 1 4での作業であるためクリ一ユングとしてドラ イクリ一エングを例としたが， 必ずしもこれに限定されるものでは ない。 装置室外エリア 1 1 4におけるその他の装置室外作業 （図 6にお ける後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる） は， 半導体製造 装置 1 4 0の監視や周囲の清掃などがある。 これらは装置室外エリ ァ 1 1 4に作業者がいると判断されたときに， アクセス情報， メン テナンス報知情報などの作業特定情報がなかった場合にその他の作 業を行っていると判断できる。 これらの作業をより詳細に判断する には， 例えば作業者の携帯型情報端末から監視， 清掃など作業内容 を入力するようにしてもよい。 この入力された作業内容の情報を作 業特定情報として作業を判断してもよい。 続いて， クリーンルーム外エリア 1 2 0の作業としては， 中央監 查室ェリア 1 2 2， 用カ室ェリア 1 2 4 , 保管庫ェリア 1 2 6， ォ フィスエリア 1 2 8での作業がある。 これらの作業はすべて図 6に おける後述の作業分類のうちの他の作業に含まれる。 また休憩室ェ リア 1 2 9では休憩やトイレの使用が考えられる。 上記中央監査室 エリア 1 2 2 , 用力室エリア 1 2 4， 保管庫エリア 1 2 6， オフィ スエリア 1 2 8での作業としては， 例えば生産準備作業 （工程管理 作業としてもよい） がある。 生産準備作業としては， 中央監査室ェ リア 1 2 2では例えば半導体装置の生産全体の監視や生産スケジュ —ル （生産工程計画） の作業の変更などを行い， 保管庫エリア 1 2 6では部品の管理作業などを行い， オフィスエリア 1 2 8では部品 の発注その他の雑務を行う。 用力室エリァ 1 2 4ではクリーンルー ム内の空気清浄機等の故障等のトラブル対応作業や空気清浄機等の 定期メンテナンス等の定期的作業などを行う。 このように作業者が どのェリァにいるかによつて行っている作業を判断できる。 なお， 上述した例では， 工場内にあるエリアについての作業を説 明したが， 工場外においてもクリーユングなどで使用する薬品を収 容しておく薬品タンクへの受け入れ作業などの工場外ェリァでの作 業を行う。 従って， 作業者が工場外エリアにいることが検出された 場合は工場外作業を行っていると判断できる。 作業者が工場外ェリ ァにいるか否かは例えば工場内に配設した作業者検出センサ 1 3 0 により作業者の居場所が検出できなかった場合に， その作業者が出 勤していれば工場外エリアにいると判断してもよい。 このように， 本実施の形態では， 作業特定情報としてエリア情報 2 2 2ど装置情報 2 2 4により作業者の現在作業を特定している。 これは作業者がどこのエリァにいるかのエリァ情報 2 2 2によって その作業者が行っている現在作業が大まかに判断でき， 大まかな作 業の中のさらに詳細な作業はアクセス情報などの装置情報 2 2 4か ら判断できるからである。 但し， 必ずしもこれに限られず， 作業特 定情報としてエリア情報 2 2 2のみにより現在作業を特定してもよ い。 例えば工場内外のエリアをさらに細かく分けることにより， ェ リァ情報 2 2 2のみによってもある程度詳細に現在作業を特定する こともできる。 また， 作業特定情報としてアクセス情報などの装置 情報 2 2 4のみにより現在作業を特定してもよい。
(作業優先度情報データベース）
作業優先度情報データベース 2 3 0は， 大きく分けた作業分類と その作業分類に属する作業の優先度 （優先順位） 情報である作業優 先度情報を記憶している。 例えば図 6に示すように最も高い優先度 である優先度 1から最も低い優先度 5まで優先度 2 3 2と作業分類 2 3 4からなる。 最も優先度の高い優先度 1の作業分類は， 非常時作業である。 こ の非常時作業としては， 火災が発生した際の消火作業， ガス検知器 からの報知に基づいてガス漏れに対応するガス漏れ対応作業などが 挙げられる。 これらの作業の特定は， 例えば各装置室エリア 1 1 2 に設けられた火災報知器などの災害用のセンサなどから判断する。 優先度 2の作業分類は， 装置室エリア 1 1 2に設けられた半導体 製造装置 1 4 0のトラブルへ対応するトラブル対応作業である。 こ 3 のトラブル対応作業には， 図 5に示すクリーンルームエリァ 1 1 0 の装置室エリァ 1 1 2におけるトラブル対応作業が含まれる。 この トラブル対応作業は， 上述したように例えば電気系トラブル， 機械 系トラブル， プロセス系トラブルなどのトラブルに対応するメンテ ナンスなどがある。 またトラブル対応作業には， 用力室エリア 1 2 4における空気清浄機などの電気系トラブル， 機械系トラブルも含 まれる。 これらの作業は半導体装置の生産， 品質を阻害し， 歩留り の低下などに起因するものである。このためトラブルの対応作業は， 非常時ではない通常時の作業のうちでは最も優先される。 優先度 3の作業分類は， 通常オペレーショ ン作業である。 この通 常オペレーショ ン作業は， 図 5に示すクリーンルームェリァ 1 1 0 の装置室外ェリア 1 1 4における通常オペレーション作業が含まれ る。 この通常オペレーション作業は， 例えば上述の半導体装置の生 産指示を行うためにプロセス条件などの入力などを行ったり， 半導 体ウェハが収納されたキャリア （F O U P ) をセットしたり， 移動 したりする作業である。 通常時において原則として何らかのトラブ ルがない限り通常オペレーショ ン作業が優先される。 通常オペレー シヨン作業は半導体装置の生産のための作業だからである。 優先度 4の作業分類は， 定期作業である。 この定期作業は， 図 5 に示すクリーンルームェリア 1 1 0の装置室ェリア 1 1 2における 定期作業と， 装置室外エリア 1 1 4における定期作業の両方が含ま れる。 この定期作業としては， 上述したように例えばウエットタリ 一ユング， ドライクリーニング， 部品交換などのメンテナンスが挙 げられる。 さらに用力室エリア 1 2 4の空気清浄機などの定期的な メンテナンスも含まれる。 これらは原則として半導体装置の生産を 中止してまで行うものではないので， 本実施の形態では通常オペレ ーシヨン作業よりも優先度を低く している。 但し， 必ずしもこれに 限られることはなく， 優先度に拘らず例えば半導体装置の生産過程 において全体又は前後の生産スケジュールを判断して最も適当と思 われるところで作業を行うようにしてもよい。 この場合， どのタイ ミングで定期作業を入れるかは工程管理の技能 （スキル） を有する 作業者が全体又は前後の生産スケジュールを判断して決定し， 上記 優先度をタイミングに応じて適宜変更するようにしてもよい。 優先度 5の作業分類は， その他の作業である。 ここでいうその他 の作業には， 図 5に示すクリーンルームェリア 1 1 0の装置室外ェ リア 1 1 4におけるその他の装置室外作業の他， クリーンルーム外 エリア 1 2 0の中央監查室ェリア 1 2 2の作業， 保管庫ェリア 1 2 6の作業， オフィスエリア 1 2 8の作業， 休憩室エリア 1 2 9の作 業， 及ぴ工場外エリアの作業が含まれる。 従って， ここでいうその 他の作業としては， 例えば部品発注作業， 半導体装置の生産スケジ ユーリング作業の調整， 半導体製造装置 1 4 0の監視， 清掃などが 含まれる。 なお， 本実施の形態では作業の優先度を 5つに分けたが， 必ずし もこれに限られることはなく， 6つ以上の優先度にしてもよく， 4 つ以下の優先度にしてもよい。 また作業の分け方もこれに限られる ことはない。
(作業スキル情報データベース） 作業スキル情報データベース 2 4 0は， 作業自体に必要なスキル 情報 （作業技能情報） を記憶するものであり， 作業者の持つスキル 情報 （作業者技能情報） を記憶する後述の作業者スキル情報データ ベース 2 5 0と異なる。 作業スキル情報データベース 2 4 0は， 具 体的には図 7に示すように作業 2 4 2と大きく分けた作業者分類 2 4 4とを関連づける作業スキル情報を記憶している。 上記作業 2 4 2は， さらに作業分類 2 4 6とその作業分類 2 4 6 に含まれる作業内容 2 4 8とに分けられる。 ここでの作業分類 2 4 6は図 6に示す作業分類 2 3 4に対応している。 この作業分類 2 4 6ごと又はその作業分類に属する作業内容 2 4 8ごとにその作業を 行うのに最適な作業者分類 2 4 4を関連づけている。 先ず， 火災に対する消火作業などの非常時対応作業は， 作業者分 類 2 4 4に関係なく， 全員で行うのが最適である。 トラブル対応作 業は， エンジニアが行うのが最適である。 さらにトラブル対応作業 のうちの電気系トラブル対応作業は電気系エンジニア， 機械系トラ ブル対応作業は機械系ェンジ.亍ァ， プロセス系トラブル対応作業は プロセス系エンジニアがそれぞれ行うのが最適である。 これは， 作 業者がエンジニアの場合にはそれぞれの作業者が専門分野を有して いるため， 専門に応じたエンジニアが作業にあたることが最適と考 えられるからである。 つまり， 必ず専門のエンジニアが行わなけれ ばならないという意味ではなく， 専門以外のエンジニアであっても そのトラブルに対応できるエンジニアがいればその作業者が作業を 行ってもよレヽ。 通常オペレーション作業は， 半導体製造装置 1 4 0に半導体装置 の生産をさせるために上記制御部 1 1 6等を操作する作業などであ る。 このため， オペレータである作業者が行うのが最適である。 な お， 通常オペレーション作業は必ずオペレータが行わなければなら ないという意味ではない。 例えばエンジニアは通常， オペレータと してのスキルも有するので， エンジニアが通常オペレーションを行 つてもよい。 定期作業は， 例えばクリーニング， 部品交換などのメンテナンス 作業である。 従って， 定期作業者が行うのが最適である。 なお， こ の定期作業についても上記と同様に必ず定期作業者が行わなければ ならないという意味ではない。 例えばエンジニア， オペレータは通 常， 定期作業者としてのスキルも有するので， エンジニアが通常ォ ペレーションを行ってもよレ、。 その他の作業は， 例えば半導体装置の生産スケジユーリングなど の作業である。 従って， その他の作業は， その作業に対応できるス キルを有する， その他の作業者が行うのが最適である。 (作業者スキル情報データベース）
作業者スキル情報データベース 2 5 0は， 図 8に示すように作業 者の持つ作業者スキル情報 （作業者技能情報）' を記憶する。 この作 業者スキル情報は， 例えば作業者の整理番号 2 5 1， 氏名 2 5 2， I D 2 5 3 , ノ スワード 2 5 4 , 所属 2 5 5 , 作業者分類 2 5 6 ， 作業 2 5 7などの項目で記憶される。 なお， これらの項目の他に例 えば作業者のシフト （時間）， 半導体製造装置の運転スケジュールな どを記憶してもよい。 また， 作業分類ごとにその作業を行う際の単 価を記憶しておいてもよい。 この作業の単価は例えばある工場に別 の会社から作業者を派遣させる場合に作業によって料金を定める場 合に利用できる。 整理番号 2 5 1は作業者の通し番号であり， 氏名 2 5 2と I D 2 5 3は作業者を特定するものである。 上記所属 2 5 5にはその作業者が所属する工場名， 事業所名， 会 社名等を記憶する。 例えば作業者が本発明にかかる作業者管理シス テムを備える工場の作業者である場合には， 所属 2 5 5にその工場 名を記憶する。 また， 本発明にかかる作業者管理システムを備える 工場に別の工場に所属する作業者が派遣されている場合には， 所属 2 5 5にはその所属する別の工場名を記憶する。 さらに後述するよ うに半導体製造装置 1 4 0を販売する会社 （販売会社） とその半導 体製造装置 1 4 0を購入する顧客である会社 （購入会社） がある場 合， 販売会社の従業員が作業者として販売会社の工場に派遣されて いる場合には， 所属 2 5 5にはその販売会社名を記憶する。 作業者分類 2 5 6には， その作業者の図 7に示す作業者分類を記 憶する。 その作業者がオペレータのスキルを有する場合にはォペレ ータとし， その作業者が定期作業を行うスキルを有する場合には定 期作業者とする。 また作業者がエンジニアであれば機械系ェンジ二 ァのようにその専門まで記載することが好ましい。 上記作業 2 5 7には， その作業者がスキルを有する作業を記憶す る。 上記作業 2 5 7は， 図 7に示す作業 2 4 2に対応している。 具 体的には作業 2 5 7は作業分類と作業内容に分けられる。 作業者が その作業を行うことができるか否かは， 例えば〇， △, Xで表す。
〇はその作業者が行うことができる作業であり， △はその作業者が 行うのは難しいができないことはない作業であり， Xはその作業者 が行うことができない作業である。 なお， 作業 2 4 2には， 作業者自らの専門の作業のみならず， 実 際に行うことができる作業を記憶してもよい。 例えばその作業者の 作業者分類が機械系エンジニアであれば， 自らの専門に属する機械 系トラブル対応作業が〇となるが， 一般にエンジニアであれば通常 オペレーション作業を行うこともできるので， 通常オペレーション 作業も〇にする。また，その作業者が電気系エンジニアであっても， 自らの専門ではない機械系トラブル対応作業を行うことができる場 合がある。このような場合には電機系トラブル対応作業のみならず， 機械系トラブル対応作業を〇にしてもよい。
(トラブル情報データベース）
トラブル情報 （異常情報） データベース 2 6 0は， 半導体製造装 置 1 4 0のエラーコードによるトラブル情報を記憶するエラーコー ド情報データベース 2 6 2と， 半導体装置の検査結果によるトラブ ル情報を記憶する検查結果情報データベース 2 6 4とを有する。 エラーコード情報データベース 2 6 2は， 図 9に示すように半導 体製造装置 1 4 0にトラブル（異常）があったときのエラーコード， そのエラーコードの内容， そのエラーに対応できるスキル (技能) を有する作業者分類を関連づけたエラーコード情報を記憶する。 例 えばエラーコード 「A A B B 0 1」 は， 半導体製造装置 1 4 0とし て例えば高周波電力を印加して処理室内に発生させたプラズマによ りエッチング処理を行うプラズマエッチング装置における処理室内 の高周波反射波が上限値を越えた場合のエラーである。 この場合に はプラズマエッチング装置に設けられた高周波ジェネレータや整合 器 （マッチヤー） などがエラー対象部位となる。 従ってこのエラー のトラブル対応作業を行うことができるスキル (技能) を有する作 業者分類は電気系エンジニアである。これに対してエラーコード「C C D D 0 1 J は， ポンプの冷却水の流量低下によるエラーである。 この場合にはポンプュニットなどがエラー対象部位となる。 従って このエラーのトラブル対応作業を行うことができるスキル (技能） を有する作業者分類は機械系エンジニアである。 検査結果情報データベース 2 6 4は， 図 1 0に示すようにプラズ マエッチング装置などの半導体製造装置 1 4 0によって製造された 半導体装置に検査異常があつたとき検査結果， その検査結果による 異常に対応できるスキル （技能） を有する作業者分類を関連づけた 検査結果情報を記憶する。 例えば半導体製造装置 1 4 0によって製 造されたウェハなどは， 検查装置により様々な検査が行われる。 こ れらの検査結果によるトラブルは， 主としてプロセス系エンジニア がトラブル対応作業を行う。 このようなトラブル情報データベース 2 6 0を利用すれば， トラブルの種類に応じてそのトラブル対応作 業を行う最適な作業者分類を決定できる。
(作業者管理装置が行う処理） 次に， 作業者管理装置 2 0 0が行う新作業分配処理についての具 体例を図 1 1〜図 1 4を参照しながら説明する。 なお， 本実施の形 態における処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に 記録されたプログラムによって実施することができる。 本実施形態における新作業分配処理は， 新たな作業が発生した場 合に， 作業者の現在作業に基づいてその作業者に対して現在作業を 続行させるか又は新たな作業を行わせるかを判断し（判断手段）， 前 記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行の指 示を出す （指示手段） ものである。 新作業の作業内容及び作業者の スキル，現在行っている作業と新作業との優先度などを考慮しつつ， 最適な作業者を選択して指示を与える処理である。 新作業分配処理は， 具体的には図 1 1に示すように先ずステップ S 1 1 0にて新たな作業が発生したか否かを判断する。 例えば半導 体製造装置 1 4 0にエラー情報の他， 報知 （アラーム） 情報などか ら判断し， 新作業を特定する。 例えば半導体製造装置 1 4 0にトラブルが発生した場合は， 作業 者管理装置 2 0 0は半導体製造装置 1 4 0からアラームを受信する とともにエラーコードを含むエラー情報を受信する。 トラブル情報 データベース 2 6 0のうちのエラーコード情報データベース 2 6 2 を利用すれば， 上記エラー情報のエラーコードに基づいてその新作 業がどのようなトラブルに対する作業 （電気系トラブル対応作業， 機械系トラブル対応作業) かを特定することができる。 また半導体製造装置 1 4 0のうちの検査装置からの検査結果を受 信して， その検査結果に異常があった場合には， トラブル情報デー タベース 2 6 0のうちの検査結果情報データベース 2 6 4を利用す れば，新作業がプロセス系トラブル対応作業であることを特定でき， さらにそのトラブルの詳細も取得できる。 また半導体製造装置 1 4 0のロットが終了した場合は， ロット終 了の通知がある。 これにより新作業は F O U Pの移動等， 次ロット に対する準備作業などの定期作業， 通常オペレーション作業などで あることが特定できる。 半導体製造装置 1 4 0からクリーニングな どの通知があった場合は， 新作業が定期作業であることが特定でき る。 次いでステップ S 1 2 0にてその新作業を行うことができる作業 者を抽出する （作業者抽出手段の例）。例えば作業スキル情報データ ベース 2 4 0によりその新作業を行うのに最適な作業者分類を検索 し， その作業者分類を有する作業者を作業者スキル情報データべ一 ス 2 5 0に基づいて抽出する。 また， その新作業を行うのに最適な 作業者分類に属する作業者でなくても， 作業者スキル情報データべ ース 2 5 0の作業 2 5 7の欄に〇と△がついている作業者は新作業 を行うことができる。 従ってこれらの作業者も抽出の対象とする。 なお， 作業者スキル情報データベース 2 5 0の作業 2 5 7の欄で は， 例えば電気系エンジニアは電気系トラブル対応作業には必ず〇 がついているように， 作業者分類の専門の作業には必ず〇がついて いる。 また専門以外の作業でも〇がついている作業者がいる場合が あり， 専門以外の作業でもできないことはない場合には△がついて いる。 従って， 作業者分類によらず， 作業者スキル情報データべ一 ス 2 5 0の作業 2 5 7の欄のみに基づいて〇と△がついている作業 者だけを抽出するようにしてもよい。 続いて， ステップ S 1 3 0にて作業者に優先順位を付与する （優 先順位付与手段）。作業スキル及び作業者スキルに基づいて最も適し た作業者から優先順位をつける。 例えば作業者スキル情報データベ ース 2 5 0の作業の欄に〇がついている作業者の優先順位を高くす る。 その作業が専門の作業者を優先的に作業に当らせることができ るようにするためである。 なお， 作業者に優先順位をつける処理の 詳細は後述する。 次にステップ S 1 4 0にて作業を行う作業者を決定する。 作業者 の決定は， 例えば優先順位の高い作業者から順に， その作業者が現 在行っている作業と新たな作業との優先度に基づいて行う。 なお， この作業者を決定する処理の詳細は後述する。 次いでステップ S 1 5 0にてステップ S 1 4 0で決定された作業 者に新作業を実行させる指示を出す（指示手段）。 このとき例えばそ の作業者が持つ携帯型情報端末に新作業を実行するように指示を出 すようにしてもよレ、。 続いてステップ S 1 6 0にてその作業者の現在作業があるかを判 断する。 ステップ S 1 4 0の作業者決定処理において現在作業を検 出しているので（図 1 3に示すステップ S 3 2 0 ) , その結果を利用 4 して判断する。 このようにしたのは， 新作業を指示する作業者に現 在作業があった場合には， その現在作業について代りの作業者を選 択して指示を出す必要があるためである。 ステップ S 1 6 0にてそ の作業者に現在作業があると判断した場合には， ステップ S 1 7 0 にて現在作業を新作業としてステップ S 1 2 0の処理に戻り， その 作業を代りに行うものを決定する。 またステップ S 1 6 0にてその 作業者に現在作業がないと判断した場合には，この処理を終了する。 ここで， 上記ステップ S 1 3 0における作業者の優先順位付与処 理 （作業者優先順位付与手段） の 1例を図 1 2に示すサブルーチン を参照しながら説明する。 ステップ S 2 1 0にて新作業とされる作 業について作業者スキル情報データベース 2 5 0の作業 2 5 7の欄 に〇がついていることを第 1のキーとして， そのような作業者の優 先順位を高くするようにソートする。 続いてステップ S 2 2 0にて 新作業の作業者分類を第 2のキーとしてこの作業者分類に一致する 作業分類の作業者についての優先順位を最も高くするようにソート する。 こうして， 作業者スキル情報データベース 2 5 0の作業の欄に〇 がついており， かつ新作業の作業者分類が一致する作業者が最も優 先順位が高くなる。 例えばその新作業の作業スキルを有する作業者 の作業者分類が電気系エンジニアの場合には， 抽出された作業者の 中に機械系エンジニアが含まれていても， 電気系エンジニアの優先 順位の方が高くなる。 これにより， ステップ S 1 4 0にて作業者を 決定する際に， 新作業に最も適切な作業者から順番に新作業を担当 させてよいか否かを判断することができる。 これにより， 新作業に 最も適切な作業者をより早く見つけだすことができる。 次に， ステップ S 1 5 0にて作業者を決定する処理の 1例を図 1 3に示すサブルーチンを参照しながら説明する。 先ずステップ S 3 1 0にて図 1 3に示すステップ S 1 4 0で得られた作業者の優先順 位 k = l とし， 優先順位の高い順に作業者決定処理を行う。 次いで ステップ S 3 2 0にて作業者の現在行っている作業 （現在作業） を 検出する （現在作業特定手段の例）。作業者の現在作業の検出は例え ばその作業者がどのエリアにいるかなどに基づいて行う。 この作業者の作業を検出する処理については例えば図 1 4に示す サブルーチンのように行う （現在作業特定手段の例）。先ずステップ S 4 1 0にてその作業者が存在するエリア情報を検出する。 これに よりある程度の作業 （作業分類） が検出できる。 具体的にはタリー ンルームェリア 1 1 0内における装置室ェリア 1 1 2などの上記各 エリアのうち， 作業者がどのェリアにいるかを作業者検出センサ 1 3 0からのセンサ情報に基づいて検出する。 例えばその作業者の周 波数が検出された作業者検出センサ 1 3 0の設置エリアを作業者の いるエリアとする。 その作業者の周波数が， クリーンルームエリア 1 1 0内における装置室エリア 1 1 2に設置された作業者検出セン サ 1 3 0で検出されれば， その作業者は装置室ェリア 1 1 2にいる と判断され， 装置室外エリア 1 1 4に設置された作業者検出センサ 1 3 0で検出されればその作業者は装置室外エリア 1 1 4にいると 判断される。 次に， ステップ S 4 2 0にて半導体製造装置 1 4 0へのアクセス 情報などの装置情報を検出する。 これにより， さらに詳しい作業を 検出できる。 半導体製造装置 1 4 0や制御部 1 1 6， 1 1 8などか らアクセスした装置情報は， 作業者管理装置 2 0 0により受信され る。 このアクセス情報から I Dとパスワードによりその作業者を特 定し， その作業者がどのような作業を行っているかを判断する。 ま た半導体製造装置 1 4 0の報知 （アラーム） 情報などの装置情報も 作業者管理装置 2 0 0により受信される。 この報知情報からも作業 を検出できる。 続いてステップ S 4 3 0にて上記エリア情報及ぴ上記装置情報に より， 図 5に示す作業特定情報データベース 2 2 0の作業特定情報 に基づいて， その作業者の現在作業を特定する。 例えばエリア情報 としてクリーンルームェリア 1 1 0における装置室ェリア 1 1 2に その作業者がいると判断され， さらに装置情報として報知情報， ト ラブル対応ァクセスがあったと判断された場合には， 現在作業の作 業内容としてトラブル対応作業を行っていると判断する。 次に， 図 1 3に示すステップ S 3 3 0にてその作業者の現在作業 があるかを判断する。 ステップ S 3 2 0により作業が特定された場 合には現在作業ありと判断し， 作業が特定されない場合は現在作業 なしと判断する。 ステップ S 3 3 0にて現在作業がないと判断した 場合には， ステップ S 4 0 0にてその作業者を新作業を行う作業者 として決定する （作業者特定手段）。 これに対してステップ S 3 3 0にて現在作業ありと判断された場 合は， ステップ S 3 4 0にて作業優先度情報データベース 2 3 0の 作業優先度情報に基づいて現在作業の優先度を取得し， ステップ S 3 5 0にて新作業の優先度を取得する。 次いでステップ S 3 6 0に て現在作業の優先度 （U 1 ) の方が現在優先度 （U 2 ) よりも高い か否か又は優先度が同じか否かを判断する。 ステップ S 3 5 0にて 現在作業の優先度の方が現在優先度よりも高いと判断した場合又は 優先度が同じと判断した場合は， ステップ S 3 7 0にて優先順位 k をインクリメント ( k = k + 1 ) する。 続いて， ステップ S 3 8 0 にて優先順位が付与されたすベての作業者について処理を行ったか 否かを判断する。 例えば抽出され優先順位が付与された作業者数を Nとしておき， 優先順位 k = N + 1になったか否かで判断する。 ス テツプ S 3 8 0にて未だ優先順位の付与されたすベての作業者につ いて処理していないと判断した場合， 例えば優先順位 k == N + 1に なっていないと判断した場合は， ステップ S 3 2 0の処理に戻って 次の優先順位の作業者について処理を行う。 上記ステップ S 3 5 0にてその作業者における現在作業の優先度 の方が現在優先度よりも低いと判断した場合には， ステップ S 4 0 0にてその作業者を新作業を行う作業者として決定する。 こう して 決定された作業者には図 1 1に示すステップ S 1 5 0により新作業 を行うよう指示が与えられる。 このように検出した現在作業と新作業との優先度を比較して， 新 作業の方が優先度が高ければその作業者に新作業を行うように指示 を出す。 このように， 新作業が発生した場合にも， 現在作業との優 先度に応じてその作業者に新作業をさせるか否かを判断することが できるので， 優先度の高い作業， すなわち重要な作業ほど早急に処 5 理させることができる。 これにより， 作業配分の最適化を図ること ができる。 また， 上記ステップ S 3 8 0にて優先順位の付与されたすベての 作業者について処理したと判断した場合， 例えば優先順位 k = N + 1になったと判断した場合は， ステップ S 3 9 0にてエラー処理を 行う。 エラー処理としては例えば該当する作業者が見つからない旨 の表示を表示部 2 0 4に行う。 この場合には例えばその作業を行う ことが可能な作業者にその旨を通知するようにしてもよい。 上記の ような処理によれば， 優先度の高い処理ほど作業者が見つかる場合 が多いから， 作業者が見つからない処理は優先度の低い処理になる 可能性が高い。 従って， 例えば時間をずらして上記の処理を再度行 う よ うにしてもよレ、。 なお， ステップ S 3 9 0のエラー処理では， 作業スキル情報デー タベース 2 4 0の作業スキル情報に基づいて作業者が見つからなか つた作業からその作業に必要なスキルを有する作業者の作業者分類 を検索し， 上記作業， 作業者分類， 日時などをログファイルなどに より記憶するようにしてもよい。 例えば作業者が見つからなかった 作業が機械系トラブル対応作業の場合， その作業に必要なスキルを 有する作業者の作業者分類としては機械系エンジニアが検索できる ので， 口グファイルには機械系トラブル対応作業, 機械系ェンジ二 ァなどを記憶する。 これにより， その工場では機械系エンジニアが 不足している可能性があることがわかる。 このように， 上記ログファイルは， その工場における作業者の増 減が必要か否かの判断材料にすることができる。 例えば， エラー処 理が頻繁に起る場合には作業者が不足しており， どの作業者分類の 作業者が不足しているかも推測できる。 また， エラー処理が起らな い程度に作業者を削減することにより余分な作業者を削減すること もできる。 これにより， その工場に真に必要な作業者分類の作業者 を必要な数だけ配属させることができるので， 作業者一人あたりの 作業の効率化を図ることができるだけでなく， 作業者数の効率化を 図ることもできる。 このような処理によれば， 例えば新作業として機械系トラブル対 応作業が発生し， その新作業を行うことができる作業者として抽出 されたのが電気系エンジニアの A氏， 機械系エンジニアの B氏， ォ ペレータの C氏であったとすると， これらの作業者の優先順位は， 機械系エンジニアの B氏， 電気系エンジニアの A氏， オペレータの C氏の順となり， この順に処理される。 この場合， B氏の現在作業 がなければ， 新作業の作業者は B氏に決定される。 また B氏に現在作業があつた場合であつても， その現在作業が例 えば通常オペレーション作業であった場合には， 図 6に示す作業優 先度情報データベース 2 3 0によれば Bさんの現在作業である通常 オペレーション作業よりも新作業である機械系トラブル対応作業の 方が優先度が高いので， この場合も新作業の作業者は B氏に決定さ れる。 この場合， B氏の現在作業である通常オペレーション作業は， 新 作業として処理が繰返される。 このときの作業者の優先順位は， ォ ペレータの C氏， 電気系エンジニアの A氏， 機械系エンジニアの B 氏の順となり， この順に処理される。 このとき， オペレータの C氏 に現在作業がなければ， 新作業の作業者は C氏に決定される。 また C氏に現在作業があっても， その現在作業が定期作業であつ た場合には， 図 6に示す作業優先度情報データベース 2 3 0によれ ば C氏の現在作業である定期作業よりも新作業である通常オペレー ション作業の方が優先度が高いので， この場合も新作業の作業者は その C氏に決定される。 ところが， C氏の現在作業が別のェリァでの通常オペレーション 作業の場合には， 図 6に示す作業優先度情報データベース 2 3 0に よれば現在作業と新作業とは優先度に優劣がないため， C氏には現 在作業を続行してもらい。 電気系エンジニアの A氏の現在作業がな ければ， 新作業の作業者は A氏に決定される。
(第 2実施形態）
次に， 本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理シス テムの第 2実施形態を図面を参照して説明する。 なお， 第 2実施形 態においては， 図 1〜図 1 0までの構成は同様であるためその詳細 な説明は省略する。 また第 1実施形態と同様の部分については同様 の符号を付してその詳細な説明を省略する。 第 2実施形態における作業者管理装置 2 0 0が行う新作業分配処 理についての他の具体例を図 1 5，図 1 6を参照しながら説明する。 なお， 本実施の形態における処理は典型的にはハードディスク装置 などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することがで さる。 第 2実施形態における新作業配分処理において， 第 1実施形態に おける図 1 1に示す場合と異なるのは， 新作業が発生するとこの新 作業とすべての作業者の現在作業とを含めた全作業について， 各作 業の優先度， 作業スキル， 作業者スキルなどを考慮しつつ， 最適な 作業者が作業を行うことができるように作業の再配分を行う点であ る。 具体的には， 図 1 5に示すように先ずステップ S 5 1 0にて新た な作業が発生したか否かを判断する。 上記ステップ S 3 1 0と同様 に例えば半導体製造装置 1 4 0にトラブルが発生した場合のエラー 情報， 報知情報などから判断する。 次いでステップ S 5 2 0にてす ベての作業者の現在作業を検出する。 この作業者の現在作業の検出 処理は， 例えば図 1 4に示すサブルーチンを作業者ごとに繰り返し て全作業者について行う。 次にステップ S 5 3 0にて新作業及び現在作業を含めた全作業に ついての再分配を行う （作業再配分手段）。 このように， 新作業が発 生した場合に， 全作業者の現在作業を検出し， その現在作業と新作 業を含めた全作業を再配分し直すため， 新作業を含めた全作業につ いてより適切な作業者を割当てることができる。 これにより， 作業 配分の効率化， 作業の効率化を図ることができる。 なお， 作業の再 分配の処理の詳細は後述する。 続いてステップ S 5 4 0にて各作業者に対してその作業者に分配 された作業を行うように指示を出す。 例えば各作業者が持つ携帯型 情報端末にそれぞれ該当する作業を実行するように指示を出すよう にしてもよい。 次いでステップ S 5 5 0にて未分配の作業が残っているかを判断 する。 ステップ S 5 5 0にて未分配の作業が残っていると判断した 場合はステップ S 5 6 0にて対応可能な作業者に対して未分配の作 業があるので対応するようにとの通知をして処理を終了する。 ステ ップ S 5 5 0にて未分配の作業が残っていないと判断した場合はそ のまま処理を終了する。 ここで， ステップ S 5 3 0における作業再分配処理 （作業再配分 手段）の 1例を図 1 6に示すサブルーチンを参照しながら説明する。 先ずステップ S 6 1 0にて新作業と現在作業を含めたすべての作業 について， 作業優先度情報データベース 2 3 0の作業優先度情報に 基づいて優先度の高い順にソートする。 このときの作業の優先順位 を Wとする。 続いてステップ S 6 2 0にて優先順位 W = 1とし優先 順位の最も高い作業から以降の処理により最適な作業者を決定して レ、 < 0 次いでステップ S 6 3 0にてその作業を行うことができる作業者 を抽出する。 続いてステップ S 6 4 0にて作業者に優先順位をつけ る。 この優先順位付与の処理は， 例えば図 1 2に示すサブルーチン により行う。 続いて， ステップ S 6 5 0にて作業者を決定する。 こ の作業者決定の処理は， 例えば図 1 3に示すサブルーチンにより行 う 次に， ステップ S 6 6 0にて作業の優先順位 Wをィンクリメント し （W = W + 1 ) , ステップ S 6 7 0にて該当するすべての作業につ いて処理したかを判断する。 こうして， 原則としてすべての作業に ついて作業者が決定される。 伹し， 作業によっては適切な作業者が 見つからない場合もある。 この場合は， 図 1 5に示すステップ S 5 5 0， 5 6 0により未分配の作業として作業が可能な作業者にその 旨を通知する。 このような処理によれば， 例えば新作業が発生すると， 全作業者 の現在作業を検出し， 新作業を含めたすべての作業について作業優 先度情報データベース 2 3 0に基づいて優先順位を付与する。 優先 順位の高い作業からその作業を行う作業者を決定していく。 例えば すべての作業の優先順位が機械系トラプル対応作業， 通常オペレー ション作業であったとすると， 先ず機械系トラブル対応作業から作 業者を決定される。 最初の作業である機械系トラブル対応作業については， その作業 を行うことができる作業者として抽出されたのが電気系エンジニア の A氏， 機械系エンジニアの B氏， オペレータの C氏であったとす ると， これらの作業者の優先順位は， 機械系エンジニアの B氏， 電 気系エンジニアの A氏， オペレータの C氏の順となり， この順に処 理される。 この場合， B氏の現在作業がなければ， 機械系トラブル 対応作業の作業者は B氏に決定される。 5 次に， 通常オペレーション作業について作業者が決定される。 こ のときの作業者の優先順位は， オペレータの C氏， 電気系ェンジ二 ァの A氏， 機械系エンジニアの B氏の順となり， この順に処理され る。 このとき， オペレータの C氏に現在作業がなければ， 新作業の 作業者は C氏に決定される。 このように， 新作業が発生した場合に， 新作業を含めた全作業の 再配分を行い， その際， 作業の優先度の高い順に作業者を決定して いくので， 重要な作業ほど早く作業者を決定することができる。 ま た， 新作業を含めた全作業の再配分を行う場合においても， 検出し た現在作業と新作業との優先度を比較して， 新作業の方が優先度が 高ければその作業者に新作業を行うように指示を出すことができる。 これにより， 優先度の高い重要な作業ほどより最適な作業者を選択 することができるので， 作業配分の最適化を作業の効率化を図るこ とができる。
(第 3実施形態）
次に， 本発明を半導体製造工場に適用した場合の作業者管理シス テムの第 3実施形態を図面を参照して説明する。 第 3実施形態にお いては， 図 1〜図 1 0までの構成は同様であるためその詳細な説明 は省略する。 また第 1実施形態と同様の部分については同様の符号 を付してその詳細な説明を省略する。 なお， 本実施の形態における 処理は典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録された プログラムによって実施することができる。 第 3実施形態における作業者管理装置 2 0 0が行う作業情報記憶 手段の 1例としての作業データベースの作成処理について図 1 6を 参照しながら説明する。 作業データベースは， 後述する各作業者の 作業日報を作成するための元になるデータベースである。 従って， 作業データベースには作業者ごとに所定時間ごとに行った作業を記 憶しておく。 従って， この作業データベースの作成処理は， 作業日 報に記載する時間に応じて所定時間ごとに実行する。 例えば 1時間 ごとの作業日報を作成する場合には， 上記作業データベースの作成 処理を 1時間ごとに実行し， 3 0分ごとの作業日報を作成する場合 には， 上記作業データベースの作成処理を 3 0分ごとに実行する。 作業データベースの作成処理は， 先ずステップ S 7 1 0にてすべ ての作業者が現在行っている作業 （現在作業） を検出する。 各作業 者の現在作業の検出処理は， 例えば図 1 4に示すサブルーチンを作 業者ごとに繰り返して全作業者について行う。 ステップ S 7 2 0に て各作業者ごとに検出した現在作業を記憶する。 こう して， 所定時 間ごとに作業者の現在作業を検出して記憶していけば， 各作業者ご とに作業データベースが作成される。 この作業データベースは， 例 えば図 3に示す各種データベース 2 1 0に含まれるようにしてもよ い。 次に， 作業者管理装置 2 0 0が行う作業報告書作成手段の 1例と しての作業日報作成処理について図 1 8を参照しながら説明する。 作業日報作成処理は， 作業者ごとに作業日報を自動的に作成するも のである。 先ずステップ S 8 1 0にて作業者の特定を行う。 作業日報を作成 する作業者を特定する。 ここでは操作画面に作業者を入力するよう にして特定の作業者の作業日報を作成できるようにしてもよく， ま た各作業者を自動的に次々と特定していき， すべての作業者につい て作業日報を作成できるようにしてもよい。 次いでステップ S 8 2 0にて図 1 7に示す処理により作成された 作業データベースに基づいてその作業者の作業日報データを作成す る。 作業日報データはその作業者の該当日における作業を抽出して 作成する。 ' 次にステップ S 8 3 0にて作業日報を印刷する。 例えば作業者管 理装置 2 0 0に接続したプリンタにより， 作業日報を印刷して出力 してこの処理を終了する。 こうして作成された作業日報の 1例を図 1 9に示す。 この作業日報は， 所定時時間として 1時間ごとに図 1 7に示す作業データベース作成処理を行って作業者の現在作業を検 出した場合の例である。 なお， この作業日報は， 例えばある工場に別の会社から作業者を 派遣させる場合に作業によって料金を定める場合にも利用できる。 作業者スキル情報データベース 2 5 0に作業単価を記憶している場 合には， 各作業の作業単価も検索して印刷し， その合計額から作業 内容に応じた料金を請求することも可能となる。 また， 作業データベースから月ごとのデータを取出せば， 作業月 報も作成して印刷可能である。このように，本実施の形態によれば， 作業日報， 作業月報などの作業報告書を容易に作成することができ る。 しかも自動的に作業者の作業を検出して作業者報告書の元にな る作業データベースを作成するので， 作業者が作業を行うごとに携 帯型情報端末などから入力する手間を省くことができ， 作業効率が 向上する。 また作業者の自己報告に委ねる必要がないので， 常に正 確な作業報告を作成することができる。 このような本発明によれば， 作業者が現在行っている作業を容易 に特定することができるため， 例えば新たな作業が発生した場合で も現在の作業と新作業との優先度を考慮しつつ， 最も適切な作業者 を選択して作業を行わせることができる。 このように， 各作業者を 適材適所に配置させることができ， 各作業者の作業効率を高めるこ とができる。 なお， 上述した実施形態においては， 図 1に示すように作業者検 出センサ 1 3 0として各エリア 1 1 0， 1 2 0に配設する例えば受 信機 1 3 4は， 作業者管理装置 2 0 0に通信ケーブル等によって接 続する場合について説明したが， 必ずしもこれに限定されるもので はなく， 通信ケーブル等の代りにネッ トワークにより接続するよう にしてもよい。 また， 図 2に示す受信機 1 3 4は， 送受信機能を有 する送受信機であってもよく， 送信機 1 3 8は送受信機能を有する 携帯型情報端末であってもよい。 この場合， 携帯型情報端末に臭気 センサなど各種センサを設け， これらセンサの検出値に基づいて異 常判断を行うようにしてもよい。 具体的には， 図 2 0に示すように， 例えば装置室エリア 1 1 2に ネットワーク接続機能例えばルータ機能を備えるネットワーク接続 機能付送受信機 3 20を配設する。 ネットワーク接続機能付送受信 機 3 2 0はネットワーク 300を介して作業者管理装置 2 00に接 続する。 作業者管理装置 200はネッ トワーク接続機能例えばルー タ機能を備えるネットワーク接続装置 340を介してネットワーク 300に接続する。 作業者が携帯する図 2に示すような送信機 1 3 8は， 送受信機能 を有する携帯型情報端末 3 6 0により構成してもよい。 なお， この ような携帯型情報端末 3 6 0 と しては例えば P D A (Personal Digital Assistant), ノート型コンピュータ， ペン入力可能なコン ピュータ （例えばタブレット P C) などが挙げられる。 携帯型情報端末 3 6 0は， 異常検知のために音や臭いなどを検知 する臭気センサ， 高周波センサ， 低周波センサなどの各種センサ 3 6 2の他， 制御部 3 64, 変復調部 3 6 6， 通信インタフェース 3 6 8などを備える。 変復調部 3 6 6は， 通信インタフェース 3 6 8 を介して送信するデータを例えば無線信号に変調したり， 通信ィン タフエース 3 6 8を介して受信したデータを復調したりするもので ある。 ネットワーク 3 0 0は， インターネットなどの公衆回線網であつ てもよく， また WAN (Wide Area Network) , LAN (Local Area Network ) , I P— V P N ( InternetProtocol― Virtual Private Network) などの閉鎖回線網であってもよい。 また接続媒体は， FD D I (Fiber Distributed Data Interface) などによる光ファイバ ケープノレ， E t h e r n e tによる同軸ケープノレ又はツイストペア ケーブル， もしくは I EEE 8 0 2. 1 1 bなどによる無線など， 有線無線を問わず， 衛星ネットワークなどであってもよい。 上記ネットワーク接続機能付送受信機 3 20は， 例えば無線ルー タ機能を有するように構成し， 携帯型情報端末 3 6 0の通信インタ フェース 3 6 8は無線 LANカードなどで構成することにより， ネ ットワーク接続機能付送受信機 3 20と携帯型情報端末 3 6 0との 間は無線 LANによりデータを送受信可能としてもよい。 携帯型情報端末 3 6 0の各種センサ 3 6 2は， 音については例え ば人間が感知できないような周波数， 周期などを検出するものであ つてもよい。 また各種センサ 3 6 2として臭気センサを設ける場合 には， 例えばセンサ表面に臭い成分が吸着することにより検出する ものであってもよい。臭気センサは例えばガス探知センサで構成し， CO, C 1等のハロゲンガスなど人体に有害なガスを検出するよう にしてもよい。 また， 例えば半導体製造装置の処理室を排気する排 気ポンプの油の蒸気から油の摩擦度， 粘度を検出するようにしても よい。 具体的には各種センサ 3 6 2としては， オシロスコープ， スぺク トラムアナライザー， ファース トフーリエトンスレッシュホルドー シヨン （F FT), 振動解析器， 振動水晶子センサ， 半導体センサ， 光センサなどが挙げられる。 携帯型情報端末 3 6 0は各種センサ 3 6 2の切換スィッチ （図示しない） を備え， 作業者は切換スィッチ により所望のセンサを選択して使用することができるようにしても よい。 なお， 携帯型情報端末 3 6 0に設けられた入力手段から作業者が 入力したデータ （外部環境情報） をセンサデータとしてもよい。 外 部環境情報としては例えば作業者が計測器を用いて計測したデータ やオペレーションパネルにより表示されるデータなど様々なデータ をセンサデータとして入力してもよい。 入力手段は, キー入力, タ ツチパネル入力など公知の入力手段であってもよい。 携帯型情報端末 3 6 0の制御部は 3 6 4は， 例えば各種センサ 3 6 2からの検出値に基づいて半導体製造装置などの異常判断を行う。 例えば音や臭いが検出されると異常が発生していると判断してもよ く， また異常か否かの閾値を記憶部 （図示しない） などに記憶して おき， その閾値を越える音や臭いが検出されると， 異常が発生して いると判断する。 これにより， 例えば図 9に示すようなエラーが発 生する前に異常を判断することができる。 そして， 異常が発生していると判断した場合には， 携帯型情報端 末 3 6 0は各種センサ 3 6 2のうち該当するセンサからのデータを ネットワーク 3 0 0を介して作業者管理装置 2 0 0へ送信する。 作 業者管理装置 2 0 0では， 携帯型情報端末 3 6 0から受信したセン サデータに基づいて， 例えば図 1 1に示すステップ S 1 1 0， 図 1 5に示すステップ S 5 1 0の新作業が発生したかを判断する。 具体的には図 9に示すようなエラーが発生する前の兆候を事前情 報として記憶する例えばエラー事前情報データベース（図示しない） を各種データベース 2 1 0に設け， エラー事前情報データベースに 記憶した兆候に基づいて総合的に作業を特定し， 新作業が発生した ものと判断する。 この場合， 作業者管理装置 2 0 0は， 異常と判断 された半導体製造装置 1 4 0にアクセスして， 報知手段によるァラ ームなどによる報知， ランプ手段によるランプの点灯などを行わせ るようにしてもよい。 エラー事前情報データベースに記憶される具体例は以下の通りで ある。 エラー事前情報データベースには， 例えば真空側エラー事前 情報として， リークレート増大（兆候 1 ) ,ベースプレツシャ上昇（兆 候 2 ) , 大気側エラー事前情報として異音 （兆候 3 )， 振動増大 （兆 候 4 ) が記憶されている。. リークレート増大 （兆候 1 ) は例えば半 導体製造装置の処理室に設けられた Oリングの劣化により大気が処 理室内に流入する場合の兆候である。 ベースプレツシャ上昇 （兆候 2 ) は例えば処理室内を真空引きする真空ポンプの疲労や異物の堆 積で真空引き能力が不足する場合の兆候である。 異音 （兆候 3 ) は 例えば真空ポンプの劣化に加えてベアリングの劣化が発生して半導 体製造装置のパランス不良を生じている場合の兆候である。 振動増 大 （兆候 4 ) は例えば異物の堆積， 真空ポンプの劣化などに加えて ベアリングの劣化が発生して半導体製造装置のバランス不良を生じ ている場合の兆候である。 兆候 1， 2は， 例えば作業者によって携 帯型情報端末 3 6 0に入力された外部環境情報に基づいて判断する ことができる。 兆候 3， 4は各種センサ 3 6 2から検出されたセン サデータに基づいて判断することができる。 このような兆候がエラー事前情報データベースに記憶されている 合， 例えば作業者によって携帯型情報端末 3 6 0に入力された外 部環境情報に基づき， 兆候 1のみであると判断され， 兆候 3， 4が ない場合には， 真空ポンプは正常の可能性が高く， チャンバリーク (処理室内にリークが発生） している可能性が高いので， チャンパ リークの発生に基づくメンテナンスを行うという新作業が発生した ものと判断する。 従って， 図 1 1 , 図 1 5によりその新作業を行う ように特定された作業者に新作業を行うように指示を出す。 具体的 には例えば作業者管理装置 2 0 0は， ネットワーク 3 0 0を介して その作業者の携帯型情報端末 3 6 0に指示を送信する。 なお， 図 2 0に示す携帯型情報端末 3 6 0で検出されたり， 入力 されたりしたセンサデータは， その都度作業者管理装置 2 0 0に送 信されるようにしてもよく， また図 1 4に示すステップ S 4 1 0の エリア情報を検出する際に， 作業者の識別情報とともに作業者管理 装置 2 0 0に送信されるようにしてもよい。 そして， 作業者管理装 置 2 0 0で異常か否かの判断を行い， 新作業の発生を判断するよう にしてもよい。 また， 上記ネッ トワーク接続機能付送受信機 3 2 0 , 携帯型情報 端末 3 6 0の送受信機能は， 無線による送受信機能に限られず， 赤 外線による送受信機能など様々な送受信機能を適用することができ る。 さらに， 携帯型情報端末 3 6 0に， G P S (Global Positioning System) を設け， G P Sに基づいて作業者の位置を検出するように してもよい。 以上， 添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態につ いて説明したが， 本発明は係る例に限定されないことは言うまでも ない。 当業者であれば， 特許請求の範囲に記載された範疇内におい て， 各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり， それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解さ れる。 例えば， 本発明は， 半導体製造工場を所有する企業の作業者を管 理する作業者管理システムとして適用してもよく， また半導体製造 工場にこれを所有する企業とは異なる企業からの作業者を派遣した 場合にその作業者を含めて管理する作業者管理システムとして適用 してもよい。 特に， 半導体製造装置を購入又は使用する企業である 客先に， その半導体製造装置を製造又は販売する企業の従業員を作 業者として派遣して半導体製造装置のメンテナンスや半導体製造な どの作業を行わせる場合に， その作業者を管理する作業者管理シス テムとして適用してもよい。 これにより， 派遣にかかる作業者一人 当りの作業効率を最大限に高めることができ， その派遣した工場の 特質に応じた作業者分類， 作業者数を決定することができる。 これにより，半導体製造装置の製造又は販売元の企業にとっては， 半導体製造装置を購入又は使用する客先の企業に対して派遣する作 業者を必要最小限にとどめることができる。 一方， 半導体製造装置 を購入又は使用する客先の企業にとっては， 半導体製造装置の製造 又は販売元の企業から派遣された作業者にかかる人件費を必要最小 限に抑えることができる。 産業上の利用の可能性 本発明は， 作業者管理システム， 作業者管理装置及び作業者管理 方法に適用可能である。

Claims

請求の範囲
( 1 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場と， 前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業 エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業 者に対して現在作業を続行させるか， 又は新たな作業を行わせるか を判断する判断手段と，
前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行 の指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
( 2 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電磁 波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信する ように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 作業エリア検出の対象となる作業者 の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， こ の作業者検出手段が設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業 エリアとして特定することを特徴とする請求項 1に記載の作業者管 理システム。
( 3 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電磁 波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せ た電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 前記作業者検出手段から作業者の識 別情報を取得し， 作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を 受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， この作業者検出手段が 設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定す ることを特徴とする請求項 1に記載の作業者管理システム。
( 4 ) 前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業情 報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は， 前記作業者がいる作業エリアとして特 定された作業ェリァ情報に加えて， 前記作業情報取得手段からその 作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し， これ らェリァ情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定 することを特徴とする請求項 1に記載の作業者管理システム。
( 5 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場と， 前記各作業エリアとその各作業エリァで行われる作業内容を関連づ けた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業 エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と， 前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行つている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけ た作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と， 作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と， 前記新作業検出手段が新作業を検出すると， 前記作業者スキル情 報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて， 前記新作業を行うこと ができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作 業特定手段により特定し， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情 報に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を 取得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が 高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を 行う作業者特定手段と，
前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作 業の作業を行うように指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
( 6 ) 前記作業者スキル情報記憶手段は， 各作業者ごとに作業者 分類を記憶し，
各作業とその各作業を行うことができるスキルを有する作業者分 類を関連づけた作業スキル情報を記憶する作業スキル情報記憶手段 と， 前記作業者抽出手段により抽出された各作業者について前記作 業者スキル情報記憶手段によって得られた作業者分類を取得すると ともに， 前記作業スキル情報記憶手段の作業スキル情報に基づいて 前記新作業の作業者分類を取得し， それぞれ取得した作業者分類が 同一となる作業者の優先順位が高くなるように作業者に優先順位を つける優先順位付与手段とを設け，
前記作業者特定手段は， 作業者抽出手段で抽出された作業者のう ち， 前記優先順位付与手段によって付与された作業者の優先順位の 高い作業者から順に作業者特定処理を行うことを特徴とする請求項 5に記載の作業者管理システム。
( 7 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電磁 波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信する ように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 作業エリア検出の対象となる作業者 の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， こ の作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業 エリアとして特定することを特徴とする請求項 5に記載の作業者管 理システム。
( 8 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電磁 波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せ た電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 前記作業者検出手段から作業者の識 別情報を取得し， 作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を 受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， この作業者検出手段が 設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業ェリアとして特定す ることを特徴とする請求項 5に記載の作業者管理システム。
( 9 ) 前記作業ェリアに設けられた作業装置から作業者の作業情 報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は， 前記作業者がいる作業エリアとして特 定された作業エリア情報に加えて， 前記作業情報取得手段からその 作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し， これ らエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定 することを特徴とする請求項 5に記載の作業者管理システム。
( 1 0 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリァに分けられた作業場 と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業 エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と， 前記新作業検出手段が新作業を検出すると， 前記現在作業特定手 段により全作業者の現在作業を特定し， これらの現在作業に新作業 を含めた全作業について， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情 3 報により作業の優先順位を付与し， 優先度の高い作業から全作業者 に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，
前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して 指示する指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理システム。
( 1 1 ) 前記作業再分配手段は， 作業の優先順位の高い作業から 新作業とし，
前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた 作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて， 前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と， 前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作 業特定手段により特定し， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情 報に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を 取得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が 高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を 行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項 1 0に記載 の作業者管理システム。
( 1 2 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電 磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信する ように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 作業エリア検出の対象となる作業者 の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， こ の作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業 エリアとして特定することを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者 管理システム。 ( 1 3 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電 磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せ た電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 前記作業者検出手段から作業者の識 別情報を取得し， 作業エリア検出の対象となる作業者の識別情報を 受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， この作業者検出手段が 設けられた作業エリアをその作業者のいる作業エリアとして特定す ることを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者管理システム。 ( 1 4 ) 前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業 情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は， 前記作業者がいる作業エリアとして特 定された作業エリア情報に加えて， 前記作業情報取得手段からその 作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し， これ らェリァ情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定 することを特徴とする請求項 1 0に記載の作業者管理システム。
( 1 5 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段と，
前記作業者検出手段からの出力に基づいて前記作業者がどの作業 エリアにいるかを特定する作業者位置特定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
所定時間ごとに， 前記現在作業特定手段により全作業者の現在作 業を特定し， 全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段 と，
前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定 時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書 作成手段と，
を設けたことを特徴とする作業者管理システム。 ( 1 6 ) 前記作業報告書作成手段は， 各作業についてその各作業 を行う場合の作業単価についても記憶し，
前記作業報告書作成手段は， 作業の作業単価及びその作業単価の 合計額をも含めた作業報告書を作成することを特徴とする請求項 1 5に記載の作業者管理システム。
( 1 7 ) 前記作業場は， 半導体製造工場であることを特徴とする 請求項 1 0に記載の作業者管理システム。
( 1 8 ) 前記作業者は， 前記作業場である半導体製造工場を所有 する企業とは異なる企業から派遣された作業者であることを特徴と する請求項 1 7に記載の作業者管理システム。 ( 1 9 ) 作業内容に応じて複数の作業ェリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業ェリァに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特 定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記現在作業特定手段で特定された現在作業に基づいてその作業 者に対して現在作業を続行させるか， 又は新たな作業を行わせるか を判断する判断手段と，
前記判断手段での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行 の指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。
( 2 0 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内容を関連 づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特 定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
前記各作業者とその各作業者が行うことができる作業を関連づけ た作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と， 作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と， 前記新作業検出手段が新作業を検出すると， 前記作業者スキル情 報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて， 前記新作業を行うこと ができる作業者を抽出する作業者抽出手段と，
前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作 業特定手段により特定し， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情 報に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を 取得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が 高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を 行う作業者特定手段と，
前記作業者特定手段によって特定された作業者に対して前記新作 業の作業を行うように指示を出す指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。 ( 2 1 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業ェリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特 定手段と， 8 前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
作業の優先情報を記憶する作業優先情報記憶手段と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出手段と， 前記新作業検出手段が新作業を検出すると， 前記現在作業特定手 段により全作業者の現在作業を特定し， これらの現在作業に新作業 を含めた全作業について， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情 報により作業の優先順位を付与し， 優先度の高い作業から全作業者 に対して全作業を割当て直す作業再分配手段と，
前記作業再分配手段により割当てられた作業を全作業者に対して 指示する指示手段と，
を備えたことを特徴とする作業者管理装置。 ( 2 2 ) 前記作業再分配手段は， 作業の優先順位の高い作業から 新作業とし，
前記各作業者とその作業者が行うことができる作業を関連づけた 作業者スキル情報を記憶する作業者スキル情報記憶手段と，
前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づいて， 前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出手段と， 前記作業者抽出手段で抽出された作業者の現在作業を前記現在作 業特定手段により特定し， 前記作業優先情報記憶手段の作業優先情 報に基づいて， 前記現在作業の優先順位と前記新作業の優先順位を 取得して比較し， 前記現在作業よりも前記新作業の優先順位の方が 高い作業者を前記新作業の作業者として特定する作業者特定処理を 行う作業者特定手段とを設けたことを特徴とする請求項 2 1に記載 の作業者管理装置。
( 2 3 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電 磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに異なる周波数の電磁波を送信する ように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 作業エリア検出の対象となる作業者 の周波数の電磁波を受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， こ の作業者検出手段が設けられた作業エリアをその作業者のいる作業 エリアとして特定することを特徴とする請求項 2 1に記載の作業者 管理装置。
( 2 4 ) 前記作業者検出手段は， 各作業者が持つ送信機からの電 磁波を受信する受信機を設け，
前記送信機は， 各作業者ごとに作業者を識別する識別情報を載せ た電磁波を送信するように設定し，
前記作業者位置特定手段は， 前記作業者検出手段から作業者の識 別情報を取得し， 作業ェリァ検出の対象となる作業者の識別情報を 受信した前記作業者検出手段を見つけ出し， この作業者検出手段が 設けられた作業ェリアをその作業者のいる作業ェリアとして特定す ることを特徴とする請求項 2 1に記載の作業者管理装置。
( 2 5 ) 前記作業エリアに設けられた作業装置から作業者の作業 情報を取得する作業情報取得手段を設け，
前記現在作業特定手段は， 前記作業者がいる作業エリアとして特 定された作業ェリァ情報に加えて， 前記作業情報取得手段からその 作業者が作業を行っている作業装置からの作業情報を取得し， これ らエリア情報及び作業情報に基づいてその作業者の現在作業を特定 することを特徴とする請求項 2 1に記載の作業者管理装置。 ( 2 6 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理装置であって，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段と， 前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特 定手段と，
前記作業特定情報記憶手段の作業特定情報に基づいて， 前記作業 者位置特定手段で特定された作業者の作業エリアからその作業者の 現在行っている作業を特定する現在作業特定手段と，
所定時間ごとに， 前記現在作業特定手段により全作業者の現在作 業を特定し， 全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶手段 と，
前記作業情報記憶手段の作業情報に基づいて所望の作業者が所定 時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作成する作業報告書 作成手段と，
を設けたことを特徴とする作業者管理装置。
( 2 7 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業ェリァに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特 定工程と，
前記作業場の各作業ェリァとその各作業ェリァで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段にお ける作業特定情報に基づいて， 前記作業者位置特定工程で特定され た作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定 する現在作業特定工程と，
前記現在作業特定工程で特定された現在作業に基づいてその作業 者に対して現在作業を続行させるか， 又は新たな作業を行わせるか を判断する判断工程と，
前記判断工程での判断結果に応じてその作業者に対して作業実行 の指示を出す指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。 ( 2 8 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業ェリアにいるかを特定する作業者位置特 定工程と，
前記各作業ェリァとその各作業ェリァで行われる作業内容を関連 づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段の作業特定情 報に基づいて， 前記作業者位置特定工程で特定された作業者の作業 エリアからその作業者の現在行っている作業を特定する現在作業特 定工程と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と， 前記新作業検出工程が新作業を検出すると， 前記各作業者とその 各作業者が行うことができる作業を関連づけた作業者スキル情報を 記憶する前記作業者スキル情報記憶手段の作業者スキル情報に基づ いて， 前記新作業を行うことができる作業者を抽出する作業者抽出 工程と，
前記作業者抽出工程で抽出された作業者の現在作業を前記現在作 業特定工程により特定し， 作業の優先情報を記憶する作業優先情報 記憶手段における作業優先情報に基づいて， 前記現在作業の優先順 位と前記新作業の優先順位を取得して比較し， 前記現在作業よりも 前記新作業の優先順位の方が高い作業者を前記新作業の作業者とし て特定する作業者特定処理を行う作業者特定工程と，
前記作業者特定工程によって特定された作業者に対して前記新作 業の作業を行うように指示を出す指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
( 2 9 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業ェリァに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特 定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段にお ける作業特定情報に基づいて， 前記作業者位置特定工程で特定され た作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定 する現在作業特定工程と，
新たな作業が発生したことを検出する新作業検出工程と， 前記新作業検出工程が新作業を検出すると， 前記現在作業特定ェ 程により全作業者の現在作業を特定し， これらの現在作業に新作業 を含めた全作業について， 作業の優先情報を記憶する作業優先情報 記憶手段の作業優先情報により作業の優先順位を付与し， 優先度の 高い作業から全作業者に対して全作業を割当て直す作業再分配工程 と，
前記作業再分配工程により割当てられた作業を全作業者に対して 指示する指示工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
( 3 0 ) 作業内容に応じて複数の作業エリアに分けられた作業場 で作業を行う作業者を管理する作業者管理方法であって，
前記各作業エリアに設けられた作業者検出手段からの出力に基づ いて前記作業者がどの作業エリアにいるかを特定する作業者位置特 定工程と，
前記作業場の各作業エリアとその各作業エリアで行われる作業内 容を関連づけた作業特定情報を記憶する作業特定情報記憶手段にお ける作業特定情報に基づいて， 前記作業者位置特定工程で特定され た作業者の作業エリアからその作業者の現在行っている作業を特定 する現在作業特定工程と，
所定時間ごとに， 前記現在作業特定工程により全作業者の現在作 業を特定し， 全作業者ごとに現在作業を記憶する作業情報記憶工程 と，
前記作業情報記憶工程によって記憶された作業情報に基づいて所 望の作業者が所定時間ごとに行った作業内容を含む作業報告書を作 成する作業報告書作成工程と，
を有することを特徴とする作業者管理方法。
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