TWI778072B - 用於在超高解析度面板中偵測缺陷之方法 - Google Patents

Abstract

一種用於檢驗電路之系統，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該系統包含：一電壓驅動器，運行以對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，該等導體彼此在空間上鄰近；一感測器，運行以感測由該系統相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性，該感測器缺乏足以在該等導體其中之單獨者之位置之間進行區分之空間解析度；以及一缺陷指示器，因應於該感測器之至少一個輸出而判斷該等導體中是否存在一缺陷。

Description

用於在超高解析度面板中偵測缺陷之方法 [相關申請案之引用]

2017年6月22日申請之第62/523,275號美國臨時申請案(名稱為在超高解析度面板中偵測缺陷之方法)及於2017年11月23日申請之第62/590,277號美國臨時申請案(名稱為用於在超高解析度面板中偵測缺陷之方法)皆引用之，且兩者之揭露內容在此以引用方式併入，並依法主張優先權。

本發明係關於自動化電路檢驗系統及方法。

人們已知各種類型之平板顯示器檢驗系統。一個早期的此種系統闡述於美國專利第5,764,209號中，該美國專利之揭露內容以引用方式併入本文中。

本發明力圖提供一種改良之用於電路檢驗之系統及方法。

因此，根據本發明之一較佳實施例，一種用於檢驗電路之系統，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該系統包含：一電壓驅動器，運行以對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，該等導體彼此在空間上鄰近；一感測器，運行以感測由該系統相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性，該感測器缺乏足以在該等導體其中之單獨者之位置之間進行區分之空間解析度；以及一缺陷指示器(defect indicator)，因應於該感測器之至少一個輸出而判斷該等導體中是否存在一缺陷。

較佳地，該電壓驅動器所施加之該等不同電壓被選擇成使得於該測試 區處電場之總體疊加(overall superimposition)在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零。另外，該電壓驅動器所施加之該等不同電壓被選擇成使得於該測試區處該等電場之該總體疊加在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零。

根據本發明之一較佳實施例，該缺陷指示器運行以基於由該感測器偵測的於該測試區處該等電場之該總體疊加而判斷一缺陷之位置。另外，該缺陷指示器基於該測試區處該等電場之該總體疊加之一值而判斷一缺陷之位置。

較佳地，該測試區位於該等導體上方。

根據本發明之一較佳實施例，該感測器係為一電場感測器。較佳地，該感測器係為一電光感測器(electro-optical sensor)。作為另一選擇，該感測器係為一光學感測器。

根據本發明之一較佳實施例，該缺陷指示器提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示。

根據本發明之另一較佳實施例，亦提供一種用於檢驗電路之系統，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該系統包含：一感測器，運行以感測由該系統相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性；一電壓驅動器，運行以對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，該等導體彼此在空間上鄰近，該電壓驅動器將該等不同電壓選擇成使得於該測試區處電場之總體疊加在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零；以及一缺陷指示器，因應於該感測器之一輸出而判斷該等導體中是否存在一缺陷。

根據本發明之一較佳實施例，該感測器缺乏足以在該等導體之位置之間進行區分之空間解析度。另外或作為另一選擇，該電壓驅動器所施加之該等不同電壓被選擇成使得於該測試區處該等電場之該總體疊加在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零。

較佳地，該缺陷指示器運行以基於由該感測器偵測的於該測試區處該 等電場之該總體疊加而判斷一缺陷位置。另外，該缺陷指示器基於該測試區處該等電場之該總體疊加之一值而判斷該缺陷位置。

根據本發明之一較佳實施例，該測試區位於該等導體上方。

較佳地，該感測器係為一電場感測器。

根據本發明之一較佳實施例，該感測器係為一電光感測器。作為另一選擇，該感測器係為一光學感測器。

根據本發明之一較佳實施例，該缺陷指示器提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示。

較佳地，該感測器包含一電光調變器。另外，該缺陷指示器包含：一照相機，對該電光調變器進行成像且提供一照相機輸出；一影像增強電路系統(image enhancement circuitry)，接收該照相機輸出且提供一影像增強輸出(image enhanced output)；以及一顯示器，用於顯示該影像增強輸出。

根據本發明之一較佳實施例，該多個導體包含多個相互間隔開的大致平行之導體，且該電壓驅動器同時對該等大致平行之導體其中之交替者施加不同電壓。另外，於該測試區中相鄰之該等大致平行之導體其中之每一者間之位置處之疊加電場在相鄰之該等大致平行之導體中不存在一缺陷之情況下大約為零。另外或作為另一選擇，該感測器係在該測試區中相鄰之該等大致平行之導體其中之每一者之間而非在一給定導體之位置處感測總體疊加電場。

根據本發明之一較佳實施例，該感測器與該電路分隔開一垂直距離，該垂直距離係為該等相互間隔開之平行導體其中之相鄰者分隔開之距離之一倍數。較佳地，該倍數大於2。

根據本發明之再一較佳實施例，更提供一種用於檢驗電路之方法，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該方法包含：對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，該等導體彼此在空間上鄰近；感測由該方法相對於該等 電路所界定之一測試區之至少一個特性，該感測步驟利用一感測器，該感測器缺乏足以在該等導體其中之單獨者之位置之間進行區分之空間解析度；以及因應於該感測步驟而判斷該等導體中是否存在一缺陷。

較佳地，該用於檢驗電路之方法亦包含：將該等不同電壓選擇成使得於該測試區處電場之一總體疊加在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零且在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零。

根據本發明之一較佳實施例，該感測步驟包含利用一電場感測器、一電光感測器及一光學感測器至少其中之一來進行感測。

根據本發明之一較佳實施例，該用於檢驗電路之方法亦包含：若在該等導體中偵測到一缺陷，則判斷該缺陷之一位置。另外，該用於檢驗電路之方法亦包含：若偵測到一缺陷，則提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示；以及若未偵測到缺陷，則提供關於未偵測到缺陷之一可由人類視覺感測之指示。

根據本發明之又一較佳實施例，仍更提供一種用於檢驗電路之方法，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該方法包含：對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，該等導體彼此在空間上鄰近；將該等不同電壓選擇成使得於測試區處電場之一總體疊加在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零且在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零；感測由該方法相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性；以及因應於該感測步驟而判斷該等導體中是否存在一缺陷。

根據本發明之一較佳實施例，該感測步驟包含利用一電場感測器、一電光感測器及一光學感測器至少其中之一來進行感測。

較佳地，該用於檢驗電路之方法亦包含：若在該等導體中偵測到一缺陷，則判斷該缺陷之一位置。另外，該用於檢驗電路之方法亦包含：若偵測到 一缺陷，則提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示；以及若未偵測到缺陷，則提供關於未偵測到缺陷之一可由人類視覺感測之指示。

100‧‧‧自動化平板顯示器檢驗底盤

102‧‧‧平板顯示器背板電子電路系統

106‧‧‧陣列

110‧‧‧電導體

112‧‧‧畫素

120‧‧‧電場感測器

130‧‧‧龍門架

140‧‧‧在感測器中各種位置處感測之電場

150‧‧‧在感測器之邊緣處感測之電場

160‧‧‧由二個相鄰導體產生之電場之非零疊加

170‧‧‧由三個相鄰導體產生之電場之非零疊加

200‧‧‧電壓驅動器

210‧‧‧缺陷指示器

220‧‧‧照相機

230‧‧‧訊號處理電路系統

240‧‧‧顯示器

結合圖式閱讀以下詳細說明，將會更全面地理解及瞭解本發明，圖式中：第1A圖係為根據本發明一較佳實施例而構造及運行之一用於檢驗電路之系統在處於一未偵測到缺陷運行定向(no defect detected operative orientation)時之簡化概念圖；第1B圖係為根據本發明一較佳實施例而構造及運行之一用於檢驗電路之系統在處於一偵測到第一類型缺陷運行定向(first type defect detected operative orientation)時之簡化概念圖；第1C圖係為根據本發明一較佳實施例而構造及運行之一用於檢驗電路之系統在處於一偵測到第二類型缺陷運行定向(second type defect detected operative orientation)時之簡化概念圖；以及第2圖係為第1A圖至第1C圖所示系統之簡化功能示意圖。

現在參照第1A圖至第1C圖，其中之每一者係為根據本發明一較佳實施例而構造及運行之一用於檢驗電路之系統在處於一不同缺陷偵測運行定向時之簡化概念圖。

如在第1A圖至第1C圖中所見，該系統可包含一傳統之自動化電路檢驗底盤(automated electrical circuit inspection chassis)，較佳為一自動化平板顯示器檢驗底盤100，例如可自以色雅弗尼之奧博科技有限公司(Orbotech Ltd.of Yavne,Israel)購得之一型號AC6068 ARRAY CHECKER。較佳地，該系統用於檢驗平板顯示器，然而其可用於檢驗任何其他適合類型之電路。

如在第1A圖至第1C圖中所見，通常，將包含用於一或多個平板顯示器之複數個背板電子電路系統102之一玻璃片材(其亦可被稱為一基板或一板)支撐於底盤100上。通常，一基板上之各背板電子電路系統102係為相同的，但一單個基板亦可含有具有不同形狀及設計之背板電子電路系統102。通常在檢驗之後，將基板(其尺寸通常介於2米(m)×2米至3米×3米之範圍內)分割成大量背板電子電路系統102，其中當顯示器旨在用於電視機中時通常分割成幾個，且當顯示器旨在用於電話或其他小型顯示器尺寸應用中時通常分割成多達幾千個。通常，欲檢驗之各該背板電子電路系統102包含由大致均勻間隔開、大致平行之電導體110形成之至少一個陣列106。該至少一個陣列106可係為一維或二維的。通常，該至少一個陣列106中之各該電導體110與平板顯示器背板電子電路系統102之至少一個單獨畫素112相關聯。

如在第1A圖至第1C圖其中之每一者之左下放大圖中所見，平板顯示器背板電子電路系統102包含由單獨畫素112形成之一二維陣列。各該畫素112可被視為一單獨導體，其由一電路進行電性控制。每一此種電路包含複數個導電元件、絕緣元件及半導電元件。各該畫素可由電訊號驅動，俾使一畫素陣列對應於一由平行導體形成之一維或二維陣列。

當前，最新技術水準之高解析度平板顯示器具有5微米至20微米之一導體寬度及10微米至30微米之一導體-導體間距(conductor to conductor spacing)。將來，導體寬度及導體間之間隔預期甚至會更小。

根據本發明之一較佳實施例，在檢驗各該相同之平板顯示器背板電子電路系統102期間，將均勻間隔開之導體110其中之相鄰者維持於極性分別相反之電壓下。儘管均勻間隔開之導體110通常係以一大致平行之構型間隔開，然而應瞭解，均勻間隔開之導體110可呈任何適合之幾何構型。

根據本發明之一較佳實施例，將一電場感測器120(較佳為包含一電 光調變器之一電光感測器，但作為另一選擇為任何其他適合之感測器，例如一光學感測器)安裝於一龍門架(gantry)130上，龍門架130可相對於底盤100以掃描關係在一平板顯示器背板電子電路系統102上方移動，以臨時位於多個均勻間隔開之導體110上方並感測由相鄰之導體110產生之電場之疊加。

本發明之一實施例之一特定特徵為，對比於先前技術，正常地，在被檢驗之導體110中不存在缺陷之情況下，感測器120感測到一零電場或非常接近零之電場，此表示由被維持於極性相反之相同電壓下之相鄰導體110產生之電場之疊加。在存在一缺陷之情況下，感測器120感測到一非零電場。

本發明之一實施例之又一特定特徵為，鑒於感測器120感測由導體產生之電場之疊加，感測器120可位於距導體110一垂直間隔處，該垂直間隔由一垂直距離界定，該垂直距離大於感測由單獨導體110產生之電場所需之距離。通常，感測器120與背板電子電路系統102之導體110分隔開之一垂直距離係為導體110其中之相鄰者分隔開之距離之一倍數。較佳地，該倍數大於2。

因此，對於5微米至20微米之一導體寬度及10微米至30微米之一導體間隔，該垂直距離可係為30微米至50微米。因此，感測器120無需具有足以在該等導體其中之單獨者之位置之間進行區分之空間解析度。

現在具體轉至第1A圖，看出，在不存在一缺陷(例如導體110其中之一中的一短路或一斷路(break))之情況下，在感測器120中各種位置處感測之電場(由黑點140例示)係為零，而在感測器120之邊緣處通常不同，此處之結果由箭頭150指示或係由散粒雜訊(shot noise)產生，散粒雜訊係為隨機的且通常自相抵消(self-cancelling)。

現在轉至第1B圖，看出，在存在一缺陷(例如導體110其中之一中的斷路)之情況下，二個相鄰導體處於極性相同之相同電壓下，且因此，在感測器120處感測的由該二個相鄰導體產生之電場之疊加係為非零，如由箭頭160 所見。

現在轉至第1C圖，看出，在存在一缺陷(例如二個相鄰導體110間之短路)之情況下，三個相鄰導體處於極性相同之相同電壓下，且因此，在感測器120處感測的由該三個相鄰導體產生之電場之疊加係為非零，如由箭頭170所見。應瞭解，如在第1C圖中所見的由一短路產生之電場構型通常不同於如在第1B圖中所見的由一斷路產生之電場構型，且因此，該二種類型之缺陷可彼此區分開。

現在參照第2圖，其係為第1A圖至第1C圖所示系統之簡化功能示意圖。如在第2圖中所見，一電壓驅動器200對當前被檢驗之平板顯示器背板電子電路系統102中之電路之單獨導體110施加電壓。此較佳係藉由使用短路棒(shorting bar)來達成，短路棒之實例闡述於美國專利第5,081,687號中，該美國專利之揭露內容以引用方式併入本文中。作為另一選擇，可使用一二維陣列探測系統(two-dimensional array probing system)。一適合探測系統之一實例闡述於美國專利公開案第2017/0146567號中，該美國專利公開案之揭露內容以引用方式併入本文中。

如上所述，根據本發明之一較佳實施例，將相鄰導體110維持於極性相反之相同電壓下，俾在不存在一缺陷之情況下，位於導體上方之電場係為零或足夠接近零，以使得能夠有效地進行缺陷偵測。作為另一選擇，可採用不同之電壓型樣(voltage pattern)，例如，一三元驅動型樣(ternary driving pattern)，其中對三個不同導體施加三個不同電壓，俾在不存在一缺陷之情況下，位於導體上方之電場係為零或足夠接近零，以使得能夠有效地進行缺陷偵測。

較佳提供一缺陷指示器210，以在任何給定時間因應於感測器120之輸出而判斷位於感測器120下方之該等導體110中是否存在一缺陷。較佳地，缺陷指示器210包含：一照相機220，例如可自菲尼克斯東麥克道爾路5005號之 安森美半導體公司(郵編：AZ 85008)(ON Semiconductor,5005 East McDowell Road,Phoenix,AZ 85008)購得之一25百萬畫素改良型OnSemi VITA25K型號，照相機220觀察感測器120並以光學方式感測其中之可由機器視覺感測之變化，該等變化指示非零電場；訊號處理電路系統230；以及一顯示器240。

照相機220之一輸出較佳被供應至訊號處理電路系統230，訊號處理電路系統230較佳過濾照相機220之輸出以去除例如散粒雜訊及其他無用偽影等雜訊。訊號處理電路系統230較佳使照相機220之輸出與電壓驅動器200之操作協調，以能夠使檢驗輸出及任何缺陷指示與平板顯示器背板電子電路系統102之一可識別電路相關聯。較佳地，在顯示器240上向一操作員顯示表示缺陷位置及類型之一缺陷指示，該缺陷指示被覆疊於被檢驗之電路之一影像上。

熟習此項技術者應瞭解，本發明並非僅限於上文中已具體顯示及闡述之內容。本發明之範圍包含上文所述各種特徵之組合及子組合以及該等特徵之潤飾，所有此等皆不屬於先前技術。

120‧‧‧電場感測器

200‧‧‧電壓驅動器

210‧‧‧缺陷指示器

220‧‧‧照相機

230‧‧‧訊號處理電路系統

240‧‧‧顯示器

Claims (34)

1. 一種用於檢驗電路之系統，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該系統包含：一，運行以對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，其中該複數個導體彼此電壓驅動器在空間上鄰近，其中該複數個導體彼此在空間上分開而且是大致平行的，以及其中該電壓驅動器同時施加不同的電壓至該等大致平行的導體之多個交替的導體；一感測器，運行以感測由該系統相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性，該感測器缺乏足以在該等導體其中之單獨者之多個位置之間進行區分之空間解析度，其中該感測器經配置以量測由該複數個導體所產生的多個電場的一總體疊加(overall superimposition)，以及其中該感測器包含一電光調變器；以及一缺陷指示器(defect indicator)，因應於該感測器之至少一個輸出而判斷該等導體中是否存在一缺陷。
2. 如請求項1所述之用於檢驗電路之系統，其中該電壓驅動器所施加之該等不同電壓被選擇成使得於該測試區處該等電場之總體疊加(overall superimposition)在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零。
3. 如請求項2所述之用於檢驗電路之系統，其中該電壓驅動器所施加之該等不同電壓被選擇成使得於該測試區處該等電場之該總體疊加在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零。
4. 如請求項1所述之用於檢驗電路之系統，其中該缺陷指示器運行以基於由該感測器偵測的於該測試區處該等電場之該總體疊加而判斷一缺陷之位置。
5. 如請求項4所述之用於檢驗電路之系統，其中該缺陷指示器基於該測試區處該等電場之該總體疊加之一值而判斷一缺陷之位置。
6. 如請求項1所述之用於檢驗電路之系統，其中該測試區位於該等導體上方。
7. 如請求項1所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器係為一電場感測器。
8. 如請求項1所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器係為一電光感測器(electro-optical sensor)。
9. 如請求項1所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器係為一光學感測器。
10. 如請求項1所述之用於檢驗電路之系統，其中該缺陷指示器提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示。
11. 一種用於檢驗電路之系統，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該系統包含：一感測器，運行以感測由該系統相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性，其中該感測器經配置以量測由該複數個導體所產生的多個電場的一總體疊加(overall superimposition)，以及其中該感測器包含一電光調變器；一電壓驅動器，運行以對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，其中該複數個導體彼此在空間上鄰近，該電壓驅動器將該等不同電壓選擇成使得於該測試區處該等電場之總體疊加在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零，其中該複數個導體彼此在空間上分開而且是大致平行的，以及其中該電壓驅動器同時施加不同的電壓至該等大致平行的導體之多個交替的導體；以及 一缺陷指示器，因應於該感測器之一輸出而判斷該等導體中是否存在一缺陷。
12. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器缺乏足以在該等導體之位置之間進行區分之空間解析度。
13. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該電壓驅動器所施加之該等不同電壓被選擇成使得於該測試區處該等電場之該總體疊加在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零。
14. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該缺陷指示器運行以基於由該感測器偵測的於該測試區處該等電場之該總體疊加而判斷一缺陷位置。
15. 如請求項14所述之用於檢驗電路之系統，其中該缺陷指示器基於該測試區處該等電場之該總體疊加之一值而判斷該缺陷位置。
16. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該測試區位於該等導體上方。
17. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器係為一電場感測器。
18. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器係為一電光感測器。
19. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器係為一光學感測器。
20. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該缺陷指示器提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示。
21. 如請求項11所述之用於檢驗電路之系統，其中該缺陷指示器包含： 一照相機，對該電光調變器進行成像且提供一照相機輸出；一影像增強電路系統(image enhancement circuitry)，接收該照相機輸出且提供一影像增強輸出(image enhanced output)；以及一顯示器，用於顯示該影像增強輸出。
22. 如請求項21所述之用於檢驗電路之系統，其中於該測試區中相鄰之該等大致平行之導體其中之每一者間之位置處之疊加電場在相鄰之該等大致平行之導體中不存在一缺陷之情況下大約為零。
23. 如請求項21所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器係在該測試區中相鄰之該等大致平行之導體其中之每一者之間而非在一給定導體之位置處感測總體疊加電場。
24. 如請求項21所述之用於檢驗電路之系統，其中該感測器與該電路分隔開一垂直距離，該垂直距離係為該等相互間隔開之平行導體其中之相鄰者分隔開之距離之一倍數。
25. 如請求項24所述之用於檢驗電路之系統，其中該倍數大於2。
26. 一種用於檢驗電路之方法，該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該方法包含：對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，其中該複數個導體彼此在空間上鄰近，其中該複數個導體彼此在空間上分開而且是大致平行的，以及其中該等不同的電壓被同時施加至該等大致平行的導體之多個交替的導體；感測由該方法相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性，該感測步驟利用具有一電光調變器的一感測器，該感測器缺乏足以在該等導體其中之單獨者之位置之間進行區分之空間解析度，其中該感測經配置以量測由該複數個導體所產生的多個電場的一總體疊加；以及 因應於該感測步驟而判斷該等導體中是否存在一缺陷。
27. 如請求項26所述之用於檢驗電路之方法，亦包含將該等不同電壓選擇成使得於該測試區處該等電場之一總體疊加在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零且在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零。
28. 如請求項26所述之用於檢驗電路之方法，其中該感測步驟包含利用一電場感測器、一電光感測器及一光學感測器至少其中之一來進行感測。
29. 如請求項26所述之用於檢驗電路之方法，亦包含：若在該等導體中偵測到一缺陷，則判斷該缺陷之一位置。
30. 如請求項29所述之用於檢驗電路之方法，亦包含：若偵測到一缺陷，則提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示；以及若未偵測到缺陷，則提供關於未偵測到缺陷之一可由人類視覺感測之指示。
31. 一種用於檢驗電路之方法，其中該等電路包含彼此相互間隔開之多個導體，該方法包含：對該多個導體中之複數個導體施加不同電壓，其中該等導體彼此在空間上鄰近；將該等不同電壓選擇成使得於該測試區處該等電場之一總體疊加在該等導體中不存在缺陷之情況下係為零且在該等導體中存在缺陷之情況下係為非零，其中該複數個導體彼此在空間上分開而且是大致平行的，以及其中該電壓驅動器同時施加不同的電壓至該等大致平行的導體之多個交替的導體，其中該感測經配置以量測由該複數個導體所產生的多個電場的一總體疊加，以及其中該感測利用一電光調變器；感測由該方法相對於該等電路所界定之一測試區之至少一個特性；以及 因應於該感測步驟而判斷該等導體中是否存在一缺陷。
32. 如請求項31所述之用於檢驗電路之方法，其中該感測步驟包含利用一電場感測器、一電光感測器及一光學感測器至少其中之一來進行感測。
33. 如請求項31所述之用於檢驗電路之方法，亦包含：若在該等導體中偵測到一缺陷，則判斷該缺陷之一位置。
34. 如請求項33所述之用於檢驗電路之方法，亦包含：若偵測到一缺陷，則提供關於一缺陷及其位置之一可由人類視覺感測之指示；以及若未偵測到缺陷，則提供關於未偵測到缺陷之一可由人類視覺感測之指示。

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