JP3451183B2 - 表示パネルの欠陥検査装置 - Google Patents
表示パネルの欠陥検査装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル等の表
示パネルの欠陥を検出する表示パネルの欠陥検査装置に
関する。
示パネルの欠陥を検出する表示パネルの欠陥検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶パネル等の表示パネルの欠陥
部を検出する手法としては、以下の方法がある。
部を検出する手法としては、以下の方法がある。
【０００３】第１の方法は、表示画面をＣＣＤカメラで
撮像した画像を、予め設定した大小２種のしきい値を用
いて３値化し、小のしきい値以下を黒点欠陥、小のしき
い値以上で大のしきい値以下を正常、大のしきい値以上
を輝点欠陥として検出する方法である。
撮像した画像を、予め設定した大小２種のしきい値を用
いて３値化し、小のしきい値以下を黒点欠陥、小のしき
い値以上で大のしきい値以下を正常、大のしきい値以上
を輝点欠陥として検出する方法である。
【０００４】第２の方法は、表示画面をＣＣＤカメラで
撮像した画像の検査対象画素の明るさとその隣接する前
後の画素の明るさとを比較して、前後の画素の輝度値よ
り大きい場合を輝点欠陥、小さい場合を黒点欠陥とする
方法である。具体的には、検査対象画素の輝度値の２倍
から、隣接する前後の画素の輝度値の和を減算した値
が、予め設定したしきい値以上の場合を輝点欠陥、隣接
する前後の画素の輝度値の和から、検査対象画素の輝度
値の２倍を減算した値が、予め設定したしきい値以上の
場合を黒点欠陥とする方法である。
撮像した画像の検査対象画素の明るさとその隣接する前
後の画素の明るさとを比較して、前後の画素の輝度値よ
り大きい場合を輝点欠陥、小さい場合を黒点欠陥とする
方法である。具体的には、検査対象画素の輝度値の２倍
から、隣接する前後の画素の輝度値の和を減算した値
が、予め設定したしきい値以上の場合を輝点欠陥、隣接
する前後の画素の輝度値の和から、検査対象画素の輝度
値の２倍を減算した値が、予め設定したしきい値以上の
場合を黒点欠陥とする方法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記第
１の方法では、実際の撮像画面全体の明るさは均一では
なく、輝度の傾きおよびばらつきを有しているため、こ
れらを誤検出することなく、微量な輝度差の欠陥を検出
するのは困難である。
１の方法では、実際の撮像画面全体の明るさは均一では
なく、輝度の傾きおよびばらつきを有しているため、こ
れらを誤検出することなく、微量な輝度差の欠陥を検出
するのは困難である。
【０００６】また、上記第２の方法では、実際の撮像画
像には干渉縞が存在し、欠陥がない箇所でも隣接する画
素の輝度は均一ではないため、これを誤検出することな
く、微量な輝度差の欠陥を検出するのは困難である。さ
らに、輝点を検出する差分では黒点欠陥の前後に、黒点
を検出する差分では輝点欠陥の前後に、あたかも欠陥で
あるかのような虚像値が検出され、これらを誤検出する
ことなく、微量な輝度差の欠陥を検出するのは困難であ
る。
像には干渉縞が存在し、欠陥がない箇所でも隣接する画
素の輝度は均一ではないため、これを誤検出することな
く、微量な輝度差の欠陥を検出するのは困難である。さ
らに、輝点を検出する差分では黒点欠陥の前後に、黒点
を検出する差分では輝点欠陥の前後に、あたかも欠陥で
あるかのような虚像値が検出され、これらを誤検出する
ことなく、微量な輝度差の欠陥を検出するのは困難であ
る。
【０００７】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、撮像画面全体の明るさが均一
ではなく、輝度の傾きおよびばらつきを有し、かつ干渉
縞が存在する画像状態であっても、微量な輝度差の輝点
欠陥と黒点欠陥とを正確に検出する表示パネルの欠陥検
査装置を提供することを目的としている。
みなされたものであって、撮像画面全体の明るさが均一
ではなく、輝度の傾きおよびばらつきを有し、かつ干渉
縞が存在する画像状態であっても、微量な輝度差の輝点
欠陥と黒点欠陥とを正確に検出する表示パネルの欠陥検
査装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の表示パネルの欠陥検査
装置は、表示パネルを点灯させる点灯手段と、前記表示
パネルの画面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段にて
前記表示パネルの画面を撮像した際に生じた干渉縞の間
隔データを入力するためのデータ入力手段と、撮像され
た前記表示パネルの画面の検査対象画素の明るさと、前
記データ入力手段から入力された干渉縞の間隔データだ
け前記検査対象画素から離れた位置の画素の明るさとの
差分情報を求める差分処理手段と、前記差分処理手段の
求めた差分情報に基づき、前記表示パネルの明るさを所
定の値と比較して欠陥部を検出する欠陥検出手段と、を
具備する表示パネルの欠陥検査装置であって、前記差分
処理手段は、前記検査対象画素の明るさの２倍から、前
記干渉縞の間隔データだけ前記検査対象画素から前後に
離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算処理して、輝
点の差分情報画像を求める輝点差分処理手段と、前記干
渉縞の間隔データだけ前記検査対象画素から前後に離れ
た位置の画素の明るさをそれぞれ加算したものから、前
記検査対象画素の明るさの２倍を減算処理して、黒点の
差分情報画像を求める黒点差分処理手段と、前記輝点の
差分情報画像と黒点の差分情報画像とを加算処理して、
差分加算情報画像を求める差分加算処理手段と、を具備
することを特徴としている。
ために、本発明の請求項１記載の表示パネルの欠陥検査
装置は、表示パネルを点灯させる点灯手段と、前記表示
パネルの画面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段にて
前記表示パネルの画面を撮像した際に生じた干渉縞の間
隔データを入力するためのデータ入力手段と、撮像され
た前記表示パネルの画面の検査対象画素の明るさと、前
記データ入力手段から入力された干渉縞の間隔データだ
け前記検査対象画素から離れた位置の画素の明るさとの
差分情報を求める差分処理手段と、前記差分処理手段の
求めた差分情報に基づき、前記表示パネルの明るさを所
定の値と比較して欠陥部を検出する欠陥検出手段と、を
具備する表示パネルの欠陥検査装置であって、前記差分
処理手段は、前記検査対象画素の明るさの２倍から、前
記干渉縞の間隔データだけ前記検査対象画素から前後に
離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算処理して、輝
点の差分情報画像を求める輝点差分処理手段と、前記干
渉縞の間隔データだけ前記検査対象画素から前後に離れ
た位置の画素の明るさをそれぞれ加算したものから、前
記検査対象画素の明るさの２倍を減算処理して、黒点の
差分情報画像を求める黒点差分処理手段と、前記輝点の
差分情報画像と黒点の差分情報画像とを加算処理して、
差分加算情報画像を求める差分加算処理手段と、を具備
することを特徴としている。
【０００９】請求項２記載の表示パネルの欠陥検査装置
は、請求項１記載の表示パネルの欠陥検査装置におい
て、前記差分処理手段が、前記差分加算情報画像におけ
る検査対象位置の明るさの２倍から、前記干渉縞の間隔
データだけ前記検査対象位置から前後に離れた位置の前
記差分加算情報画像の明るさをそれぞれ減算処理して、
前記差分情報を求めることを特徴としている。
は、請求項１記載の表示パネルの欠陥検査装置におい
て、前記差分処理手段が、前記差分加算情報画像におけ
る検査対象位置の明るさの２倍から、前記干渉縞の間隔
データだけ前記検査対象位置から前後に離れた位置の前
記差分加算情報画像の明るさをそれぞれ減算処理して、
前記差分情報を求めることを特徴としている。
【００１０】本発明の表示パネルの欠陥検査装置によれ
ば、撮像画像の検査対象画素の明るさの２倍から干渉縞
の間隔データだけ検査対象画素から前後に離れた位置の
画素の明るさをそれぞれ減算処理して輝点の差分情報画
像を求め、干渉縞の間隔データだけ検査対象画素から前
後に離れた位置の画素の明るさをそれぞれ加算したもの
から検査対象画素の明るさの２倍を減算処理して黒点の
差分情報画像を求め、輝点の差分情報画像と黒点の差分
情報画像とを加算処理して差分加算情報画像を求め、差
分加算情報画像から差分情報を求めることにより、干渉
縞および表示パネルの輝度むらによる欠陥検査への悪影
響を排除することができ、表示パネルの欠陥画素を正確
に検出することができる。
ば、撮像画像の検査対象画素の明るさの２倍から干渉縞
の間隔データだけ検査対象画素から前後に離れた位置の
画素の明るさをそれぞれ減算処理して輝点の差分情報画
像を求め、干渉縞の間隔データだけ検査対象画素から前
後に離れた位置の画素の明るさをそれぞれ加算したもの
から検査対象画素の明るさの２倍を減算処理して黒点の
差分情報画像を求め、輝点の差分情報画像と黒点の差分
情報画像とを加算処理して差分加算情報画像を求め、差
分加算情報画像から差分情報を求めることにより、干渉
縞および表示パネルの輝度むらによる欠陥検査への悪影
響を排除することができ、表示パネルの欠陥画素を正確
に検出することができる。
【００１１】さらに、差分加算情報画像における検査対
象位置の明るさの２倍から干渉縞の間隔データだけ検査
対象位置から前後に離れた位置の差分加算情報画像の明
るさをそれぞれ減算処理して差分情報を求めることによ
り、欠陥の前後に生じるあたかも欠陥であるかの様な虚
像を排除することができ、表示パネルの欠陥画素をさら
に正確に検出することができる。
象位置の明るさの２倍から干渉縞の間隔データだけ検査
対象位置から前後に離れた位置の差分加算情報画像の明
るさをそれぞれ減算処理して差分情報を求めることによ
り、欠陥の前後に生じるあたかも欠陥であるかの様な虚
像を排除することができ、表示パネルの欠陥画素をさら
に正確に検出することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１乃至図４を用いて、本発明の
実施の形態について説明する。図１は本発明の表示パネ
ルの欠陥検査装置の機能ブロック図である。
実施の形態について説明する。図１は本発明の表示パネ
ルの欠陥検査装置の機能ブロック図である。
【００１３】液晶パネル点灯制御部２は、液晶パネル１
０を点灯し、バックライト１とで点灯手段を構成する。
０を点灯し、バックライト１とで点灯手段を構成する。
【００１４】ＣＣＤアレイカメラ３は、液晶パネル１０
の表示画面を撮像し、その表示画面を画像メモリ４に記
録する。ＣＣＤアレイカメラ３と画像メモリ４とで撮像
手段を構成する。
の表示画面を撮像し、その表示画面を画像メモリ４に記
録する。ＣＣＤアレイカメラ３と画像メモリ４とで撮像
手段を構成する。
【００１５】差分処理部５は、画像メモリ４に記録され
た画像に対して、欠陥検出制御部６の制御に応じた差分
処理を行う。欠陥検出制御部６は、液晶パネル点灯制御
部２と差分処理部５とを制御し、液晶パネル１０の画面
の欠陥を検出する。差分処理部５と欠陥検出制御部６と
は、マイクロコンピュータ等によって構成される。
た画像に対して、欠陥検出制御部６の制御に応じた差分
処理を行う。欠陥検出制御部６は、液晶パネル点灯制御
部２と差分処理部５とを制御し、液晶パネル１０の画面
の欠陥を検出する。差分処理部５と欠陥検出制御部６と
は、マイクロコンピュータ等によって構成される。
【００１６】モニタ７は、ＣＣＤアレイカメラ３にて撮
像された液晶パネル１０の表示画面の映像を表示し、デ
ータ入力部８は、画面に生じた干渉縞の間隔データを入
力する。データ入力部８は、キーボード等によって構成
される。
像された液晶パネル１０の表示画面の映像を表示し、デ
ータ入力部８は、画面に生じた干渉縞の間隔データを入
力する。データ入力部８は、キーボード等によって構成
される。
【００１７】次に、液晶パネル１０の欠陥検査の手順を
説明する。
説明する。
【００１８】まず、液晶パネル点灯制御部２は、液晶パ
ネル１０を検査用の画面に点灯し、バックライト１にて
照明する。この液晶パネル１０の画面は、ＣＣＤアレイ
カメラ３にて撮像され、画像メモリ４に記録される。
ネル１０を検査用の画面に点灯し、バックライト１にて
照明する。この液晶パネル１０の画面は、ＣＣＤアレイ
カメラ３にて撮像され、画像メモリ４に記録される。
【００１９】この画像メモリ４に記録された画像は、差
分処理部５および欠陥検出制御部６を経由して、モニタ
７に映し出される。図２は、この映し出された液晶パネ
ル１０の表示画面を示し、干渉縞が生じている。この干
渉縞の間隔をモニタ７上のカーソルを用いて測定し、測
定された干渉縞の間隔Ｐをデータ入力部８から入力す
る。
分処理部５および欠陥検出制御部６を経由して、モニタ
７に映し出される。図２は、この映し出された液晶パネ
ル１０の表示画面を示し、干渉縞が生じている。この干
渉縞の間隔をモニタ７上のカーソルを用いて測定し、測
定された干渉縞の間隔Ｐをデータ入力部８から入力す
る。
【００２０】欠陥検出制御部６は、この干渉縞の間隔デ
ータＰを差分処理部５に与える。差分処理部５は、画像
メモリ４に格納されている画像の各画素の明るさｆ
（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞の間隔データＰを用いて、次
式によって新たな画像ｆ１（ｘ，ｙ）を求める。
ータＰを差分処理部５に与える。差分処理部５は、画像
メモリ４に格納されている画像の各画素の明るさｆ
（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞の間隔データＰを用いて、次
式によって新たな画像ｆ１（ｘ，ｙ）を求める。
【００２１】ｆ１（ｘ，ｙ）＝２×ｆ（ｘ，ｙ）−ｆ
（ｘ−Ｐ，ｙ）−ｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ） ただし、ｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）およびｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）は、
検査対象画素の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞を横
切る方向に±Ｐだけ距離の離れた位置の画素の明るさを
表す。
（ｘ−Ｐ，ｙ）−ｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ） ただし、ｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）およびｆ（ｘ＋Ｐ，ｙ）は、
検査対象画素の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞を横
切る方向に±Ｐだけ距離の離れた位置の画素の明るさを
表す。
【００２２】図３（ａ）は、画像メモリ４から読み出し
た画像ｆ（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａの輝度グラフを示
す。この干渉縞が発生している画像ｆ（ｘ，ｙ）では、
干渉縞の間隔Ｐだけ検査対象画素から離れた位置の画素
はほぼ同じ明るさを示し、これは干渉縞の間隔Ｐの周期
で繰り返される。このように、画像に干渉縞が存在する
ため、欠陥部の識別が困難である。
た画像ｆ（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａの輝度グラフを示
す。この干渉縞が発生している画像ｆ（ｘ，ｙ）では、
干渉縞の間隔Ｐだけ検査対象画素から離れた位置の画素
はほぼ同じ明るさを示し、これは干渉縞の間隔Ｐの周期
で繰り返される。このように、画像に干渉縞が存在する
ため、欠陥部の識別が困難である。
【００２３】また、画像ｆ（ｘ，ｙ）の横断面Ａの輝度
グラフを見ると、バックライト１にて照明された液晶パ
ネル１０の画面には、輝度むらによる輝度の傾きがある
ことがわかる。この輝度むらによる影響を排除するた
め、上記式に示されるように、検査対象画素の明るさの
２倍から、干渉縞の間隔Ｐだけ検査対象画素から前後に
離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算処理して差分
を求める。これによって、照明むら等による画面の輝度
むらが及ぼす悪影響を排除することができる。
グラフを見ると、バックライト１にて照明された液晶パ
ネル１０の画面には、輝度むらによる輝度の傾きがある
ことがわかる。この輝度むらによる影響を排除するた
め、上記式に示されるように、検査対象画素の明るさの
２倍から、干渉縞の間隔Ｐだけ検査対象画素から前後に
離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算処理して差分
を求める。これによって、照明むら等による画面の輝度
むらが及ぼす悪影響を排除することができる。
【００２４】図３（ｂ）は、新たに求めた画像ｆ１
（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａ１の輝度グラフを示し、画
像から干渉縞のみが除去され、輝点欠陥が強調されてい
る。しかしながら、黒点欠陥の前後の干渉縞の間隔Ｐだ
け離れた位置に、あたかも輝点欠陥が強調された様な黒
点の虚像が生じている。
（ｘ，ｙ）と、その横断面Ａ１の輝度グラフを示し、画
像から干渉縞のみが除去され、輝点欠陥が強調されてい
る。しかしながら、黒点欠陥の前後の干渉縞の間隔Ｐだ
け離れた位置に、あたかも輝点欠陥が強調された様な黒
点の虚像が生じている。
【００２５】次に、差分処理部５は、画像メモリ４に格
納されている画像の各画素の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対
し、干渉縞の間隔Ｐを用いて、次式によって新たな画像
ｆ２（ｘ，ｙ）を求める。
納されている画像の各画素の明るさｆ（ｘ，ｙ）に対
し、干渉縞の間隔Ｐを用いて、次式によって新たな画像
ｆ２（ｘ，ｙ）を求める。
【００２６】ｆ２（ｘ，ｙ）＝ｆ（ｘ−Ｐ，ｙ）＋ｆ
（ｘ＋Ｐ，ｙ）−２×ｆ（ｘ，ｙ） 図３（ｃ）は、新たに求めた画像ｆ２（ｘ，ｙ）と、そ
の横断面Ａ２の輝度グラフを示し、画像から干渉縞のみ
が除去され、黒点欠陥が強調されている。しかしなが
ら、輝点欠陥の前後の干渉縞の間隔Ｐだけ離れた位置
に、あたかも黒点欠陥が強調された様な輝点の虚像が生
じている。
（ｘ＋Ｐ，ｙ）−２×ｆ（ｘ，ｙ） 図３（ｃ）は、新たに求めた画像ｆ２（ｘ，ｙ）と、そ
の横断面Ａ２の輝度グラフを示し、画像から干渉縞のみ
が除去され、黒点欠陥が強調されている。しかしなが
ら、輝点欠陥の前後の干渉縞の間隔Ｐだけ離れた位置
に、あたかも黒点欠陥が強調された様な輝点の虚像が生
じている。
【００２７】次に、差分処理部５は、次式によって、新
たに求めた画像ｆ１（ｘ，ｙ）と画像ｆ２（ｘ，ｙ）と
を加算したさらに新たな画像ｆ３（ｘ，ｙ）を求める。
たに求めた画像ｆ１（ｘ，ｙ）と画像ｆ２（ｘ，ｙ）と
を加算したさらに新たな画像ｆ３（ｘ，ｙ）を求める。
【００２８】ｆ３（ｘ，ｙ）＝ｆ１（ｘ，ｙ）＋ｆ２
（ｘ，ｙ） 図３（ｄ）は、新たに求めた画像ｆ３（ｘ，ｙ）と、そ
の横断面Ａ３の輝度グラフを示し、画像から干渉縞のみ
が除去され、輝点欠陥、黒点欠陥、輝点の虚像および黒
点の虚像が含まれている。
（ｘ，ｙ） 図３（ｄ）は、新たに求めた画像ｆ３（ｘ，ｙ）と、そ
の横断面Ａ３の輝度グラフを示し、画像から干渉縞のみ
が除去され、輝点欠陥、黒点欠陥、輝点の虚像および黒
点の虚像が含まれている。
【００２９】次に、差分処理部５は、新たに求めた画像
ｆ３（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞の間隔Ｐを用いて、次式
によってさらに新たな画像ｆ４（ｘ，ｙ）を求める。
ｆ３（ｘ，ｙ）に対し、干渉縞の間隔Ｐを用いて、次式
によってさらに新たな画像ｆ４（ｘ，ｙ）を求める。
【００３０】ｆ４（ｘ，ｙ）＝２×ｆ３（ｘ，ｙ）−ｆ
３（ｘ−Ｐ，ｙ）−ｆ３（ｘ＋Ｐ，ｙ） 図４（ｅ）は、新たに求めた画像ｆ４（ｘ，ｙ）と、そ
の横断面Ａ４の輝度グラフを示し、画像から干渉縞、輝
点の虚像および黒点の虚像が除去され、輝点欠陥と黒点
欠陥とが強調されている。
３（ｘ−Ｐ，ｙ）−ｆ３（ｘ＋Ｐ，ｙ） 図４（ｅ）は、新たに求めた画像ｆ４（ｘ，ｙ）と、そ
の横断面Ａ４の輝度グラフを示し、画像から干渉縞、輝
点の虚像および黒点の虚像が除去され、輝点欠陥と黒点
欠陥とが強調されている。
【００３１】最後に、差分処理部５は、新たに求めた画
像ｆ４（ｘ，ｙ）に対し、２値化処理を行い、画像ｆ５
（ｘ，ｙ）を求める。
像ｆ４（ｘ，ｙ）に対し、２値化処理を行い、画像ｆ５
（ｘ，ｙ）を求める。
【００３２】図４（ｆ）は、２値化した画像ｆ５（ｘ，
ｙ）と、その横断面Ａ５の輝度グラフを示し、輝点欠陥
および黒点欠陥のみを容易に抽出できることを示してい
る。
ｙ）と、その横断面Ａ５の輝度グラフを示し、輝点欠陥
および黒点欠陥のみを容易に抽出できることを示してい
る。
【００３３】欠陥検出制御部６は、差分処理部５にて求
められた２値化した画像ｆ５（ｘ，ｙ）を用いて、各画
素の明るさが設定された値よりも大きいか否かを比較し
て、液晶パネル１０の画面の欠陥の有無を検出する。そ
して、欠陥有りと判断した場合は、その個数、大きさ等
を検出する。
められた２値化した画像ｆ５（ｘ，ｙ）を用いて、各画
素の明るさが設定された値よりも大きいか否かを比較し
て、液晶パネル１０の画面の欠陥の有無を検出する。そ
して、欠陥有りと判断した場合は、その個数、大きさ等
を検出する。
【００３４】このように、本発明は簡易な構成にて、欠
陥部のみを強調した画像を容易に得ることができ、干渉
縞を有する画像からでも微弱、微細な輝点および黒点の
両方を正確に検出することができる。
陥部のみを強調した画像を容易に得ることができ、干渉
縞を有する画像からでも微弱、微細な輝点および黒点の
両方を正確に検出することができる。
【００３５】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の表示パネ
ルの欠陥検査装置によれば、撮像画像の検査対象画素の
明るさの２倍から干渉縞の間隔データだけ検査対象画素
から前後に離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算処
理して輝点の差分情報画像を求め、干渉縞の間隔データ
だけ検査対象画素から前後に離れた位置の画素の明るさ
をそれぞれ加算したものから検査対象画素の明るさの２
倍を減算処理して黒点の差分情報画像を求め、輝点の差
分情報画像と黒点の差分情報画像とを加算処理して差分
加算情報画像を求め、差分加算情報画像から差分情報を
求めることにより、干渉縞および表示パネルの輝度むら
による欠陥検査への悪影響を排除することができ、表示
パネルの欠陥画素を正確に検出することができる。
ルの欠陥検査装置によれば、撮像画像の検査対象画素の
明るさの２倍から干渉縞の間隔データだけ検査対象画素
から前後に離れた位置の画素の明るさをそれぞれ減算処
理して輝点の差分情報画像を求め、干渉縞の間隔データ
だけ検査対象画素から前後に離れた位置の画素の明るさ
をそれぞれ加算したものから検査対象画素の明るさの２
倍を減算処理して黒点の差分情報画像を求め、輝点の差
分情報画像と黒点の差分情報画像とを加算処理して差分
加算情報画像を求め、差分加算情報画像から差分情報を
求めることにより、干渉縞および表示パネルの輝度むら
による欠陥検査への悪影響を排除することができ、表示
パネルの欠陥画素を正確に検出することができる。
【００３６】さらに、差分加算情報画像における検査対
象位置の明るさの２倍から干渉縞の間隔データだけ検査
対象位置から前後に離れた位置の差分加算情報画像の明
るさをそれぞれ減算処理して差分情報を求めることによ
り、欠陥の前後に生じるあたかも欠陥であるかの様な虚
像を排除することができるため、欠陥部のみを強調した
画像を容易に得ることができ、干渉縞を有する画像から
でも微弱、微細な輝点および黒点の両方を正確に検出す
ることができる。
象位置の明るさの２倍から干渉縞の間隔データだけ検査
対象位置から前後に離れた位置の差分加算情報画像の明
るさをそれぞれ減算処理して差分情報を求めることによ
り、欠陥の前後に生じるあたかも欠陥であるかの様な虚
像を排除することができるため、欠陥部のみを強調した
画像を容易に得ることができ、干渉縞を有する画像から
でも微弱、微細な輝点および黒点の両方を正確に検出す
ることができる。
【図１】本発明の表示パネルの欠陥検査装置の機能ブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】液晶パネルの撮像画像に生じた干渉縞を示す図
である。
である。
【図３】（ａ）は画像ｆ（ｘ，ｙ）とその横断面Ａの輝
度、（ｂ）は画像ｆ１（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ１の輝
度、（ｃ）は画像ｆ２（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ２の輝
度、（ｄ）は画像ｆ３（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ３の輝
度を示す図である。
度、（ｂ）は画像ｆ１（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ１の輝
度、（ｃ）は画像ｆ２（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ２の輝
度、（ｄ）は画像ｆ３（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ３の輝
度を示す図である。
【図４】（ｅ）は画像ｆ４（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ４
の輝度、（ｆ）は画像ｆ５（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ５
の輝度を示す図である。
の輝度、（ｆ）は画像ｆ５（ｘ，ｙ）とその横断面Ａ５
の輝度を示す図である。
１ バックライト
２ 液晶パネル点灯制御部
３ ＣＣＤアレイカメラ
４ 画像メモリ
５ 差分処理部
６ 欠陥検出制御部
７ モニタ
８ データ入力部
１０ 液晶パネル
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平８−75542（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−149358（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−181125（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−146211（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−327496（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−72097（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−149359（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−308047（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G09F 9/00 - 9/46
G02F 1/13 - 1/141
G09G 3/18,3/36
Claims (2)
- 【請求項１】 表示パネルを点灯させる点灯手段と、 前記表示パネルの画面を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段にて前記表示パネルの画面を撮像した際に
生じた干渉縞の間隔データを入力するためのデータ入力
手段と、 撮像された前記表示パネルの画面の検査対象画素の明る
さと、前記データ入力手段から入力された干渉縞の間隔
データだけ前記検査対象画素から離れた位置の画素の明
るさとの差分情報を求める差分処理手段と、 前記差分処理手段の求めた差分情報に基づき、前記表示
パネルの明るさを所定の値と比較して欠陥部を検出する
欠陥検出手段と、を具備する表示パネルの欠陥検査装置
であって、 前記差分処理手段は、 前記検査対象画素の明るさの２倍から、前記干渉縞の間
隔データだけ前記検査対象画素から前後に離れた位置の
画素の明るさをそれぞれ減算処理して、輝点の差分情報
画像を求める輝点差分処理手段と、 前記干渉縞の間隔データだけ前記検査対象画素から前後
に離れた位置の画素の明るさをそれぞれ加算したものか
ら、前記検査対象画素の明るさの２倍を減算処理して、
黒点の差分情報画像を求める黒点差分処理手段と、 前記輝点の差分情報画像と黒点の差分情報画像とを加算
処理して、差分加算情報画像を求める差分加算処理手段
と、を具備することを特徴とする表示パネルの欠陥検査
装置。 - 【請求項２】 前記差分処理手段が、前記差分加算情報
画像における検査対象位置の明るさの２倍から、前記干
渉縞の間隔データだけ前記検査対象位置から前後に離れ
た位置の前記差分加算情報画像の明るさをそれぞれ減算
処理して、前記差分情報を求めることを特徴とする請求
項１記載の表示パネルの欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28351397A JP3451183B2 (ja) | 1997-10-16 | 1997-10-16 | 表示パネルの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28351397A JP3451183B2 (ja) | 1997-10-16 | 1997-10-16 | 表示パネルの欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11119684A JPH11119684A (ja) | 1999-04-30 |
| JP3451183B2 true JP3451183B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=17666520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28351397A Expired - Fee Related JP3451183B2 (ja) | 1997-10-16 | 1997-10-16 | 表示パネルの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3451183B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4428296B2 (ja) | 2005-06-10 | 2010-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 表示パネルモジュールおよび表示装置 |
| JP2008039462A (ja) | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Fujitsu Ltd | 表示パネル検査装置及び方法 |
| CN115035015A (zh) * | 2021-02-23 | 2022-09-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 图片处理方法、装置、计算机设备及存储介质 |
-
1997
- 1997-10-16 JP JP28351397A patent/JP3451183B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11119684A (ja) | 1999-04-30 |
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